JP7319082B2 - Film forming apparatus and film forming method - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 27
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 62
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 62
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 35
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 28
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 23
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims description 13
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims description 13
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 4
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 71
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 25
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 23
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 23
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 22
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 14
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 11
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 11
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 9
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 7
- 239000007773 negative electrode material Substances 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 5
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 5
- 229910018068 Li 2 O Inorganic materials 0.000 description 4
- WMFOQBRAJBCJND-UHFFFAOYSA-M Lithium hydroxide Chemical compound [Li+].[OH-] WMFOQBRAJBCJND-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical group [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004833 X-ray photoelectron spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 2
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- 229910012851 LiCoO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910013870 LiPF 6 Inorganic materials 0.000 description 1
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 240000007594 Oryza sativa Species 0.000 description 1
- 235000007164 Oryza sativa Nutrition 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 238000004737 colorimetric analysis Methods 0.000 description 1
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021450 lithium metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- FUJCRWPEOMXPAD-UHFFFAOYSA-N lithium oxide Chemical compound [Li+].[Li+].[O-2] FUJCRWPEOMXPAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001947 lithium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002932 luster Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 231100000572 poisoning Toxicity 0.000 description 1
- 230000000607 poisoning effect Effects 0.000 description 1
- -1 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 239000007774 positive electrode material Substances 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 235000009566 rice Nutrition 0.000 description 1
- 238000000682 scanning probe acoustic microscopy Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005211 surface analysis Methods 0.000 description 1
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Description
本発明は、成膜装置及び成膜方法に関する。 The present invention relates to a film forming apparatus and a film forming method.
成膜装置の中に、例えば、蓄電デバイスに用いられる電池の負極を形成する装置がある。このような成膜装置では、成膜材料としてリチウム等のアルカリ金属を用い、基板にアルカリ金属膜を形成する（例えば、特許文献１参照）。 Among film forming apparatuses, for example, there is an apparatus for forming a negative electrode of a battery used for an electric storage device. In such a film forming apparatus, an alkali metal such as lithium is used as a film forming material, and an alkali metal film is formed on the substrate (see, for example, Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2002-100003).
しかし、リチウム等のアルカリ金属膜は、酸素、水等との反応性が高い。また、上記の成膜装置は、半導体製造装置等に比べると、その真空容器の容量が大きい。このため、真空容器に酸素、水等が微量に残存していると、アルカリ金属膜の一部が酸化して良質なアルカリ金属膜が得られなくなる場合がある。 However, alkali metal films such as lithium have high reactivity with oxygen, water and the like. In addition, the above-described film forming apparatus has a larger capacity of the vacuum vessel than the semiconductor manufacturing apparatus or the like. Therefore, if a small amount of oxygen, water, or the like remains in the vacuum vessel, a part of the alkali metal film may be oxidized, making it impossible to obtain a good quality alkali metal film.
さらに、アルカリ金属膜は、真空容器から取り出した後に、空気、水蒸気と触れ合うと、その反応（被毒）が進む。このため、アルカリ金属膜においては、成膜中に既に被毒しているのか、真空容器から取り出した後に被毒したのかの判別が繁雑になっている。換言すれば、真空容器内で良質なアルカリ金属膜が形成されたとしても、アルカリ金属膜を真空容器から取り出した後に、アルカリ金属膜が被毒する場合もある。 Further, when the alkali metal film comes into contact with air or water vapor after it is removed from the vacuum vessel, the reaction (poisoning) proceeds. For this reason, it is complicated to determine whether the alkali metal film has already been poisoned during film formation or has been poisoned after being removed from the vacuum vessel. In other words, even if a good quality alkali metal film is formed in the vacuum chamber, the alkali metal film may be poisoned after it is removed from the vacuum chamber.
従って、アルカリ金属膜の成膜中にアルカリ金属膜が適性に形成されているか否かを確実、簡便に判断できる成膜装置及び成膜方法が求められている。 Therefore, there is a demand for a film forming apparatus and a film forming method that can reliably and simply determine whether an alkali metal film is properly formed during the formation of the alkali metal film.
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、より良質なアルカリ金属膜を形成したか否かを確実、簡便に判断することができる成膜装置及び成膜方法を提供することにある。 SUMMARY OF THE INVENTION In view of the circumstances as described above, an object of the present invention is to provide a film forming apparatus and a film forming method that can reliably and easily determine whether or not an alkali metal film of better quality has been formed.
上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る成膜装置は、基板支持機構と、成膜源と、検知機構と、真空容器とを具備する。
上記基板支持機構は、基板を支持する。
上記成膜源は、上記基板に金属膜を形成する。
上記検知機構は、上記基板に上記金属膜が形成される成膜中に、上記金属膜の状態を光学的に検知する。
上記真空容器は、上記基板支持機構、上記成膜源、及び上記検知機構を収容する。
To achieve the above object, a film formation apparatus according to one aspect of the present invention includes a substrate support mechanism, a film formation source, a detection mechanism, and a vacuum vessel.
The substrate support mechanism supports the substrate.
The film formation source forms a metal film on the substrate.
The detection mechanism optically detects the state of the metal film during deposition of the metal film on the substrate.
The vacuum vessel accommodates the substrate support mechanism, the film formation source, and the detection mechanism.
このような成膜装置によれば、より良質なアルカリ金属膜を形成したか否かを確実、簡便に判断することができる。 According to such a film forming apparatus, it is possible to reliably and easily determine whether or not an alkali metal film of better quality has been formed.
上記の成膜装置においては、上記検知機構は、減圧雰囲気で上記金属膜の状態を上記金属膜の色度により検知してもよい。 In the above film forming apparatus, the detection mechanism may detect the state of the metal film in a reduced pressure atmosphere based on the chromaticity of the metal film.
このような成膜装置によれば、検知機構が減圧雰囲気で金属膜の状態を金属膜の色度により検知するので、より良質なアルカリ金属膜を形成したか否かを確実、簡便に判断することができる。 According to such a film forming apparatus, the detection mechanism detects the state of the metal film based on the chromaticity of the metal film in a reduced-pressure atmosphere, so whether or not an alkali metal film of better quality has been formed can be reliably and easily determined. be able to.
上記の成膜装置においては、上記検知機構によって検知された上記金属膜の上記色度に応じて、上記金属膜の成膜条件を制御する制御装置をさらに具備してもよい。 The deposition apparatus may further include a control device for controlling deposition conditions of the metal film according to the chromaticity of the metal film detected by the detection mechanism.
このような成膜装置によれば、検知機構によって検知された金属膜の色度に応じて、金属膜の成膜条件を制御する制御装置を具備するので、より良質なアルカリ金属膜を確実、簡便に形成することができる。 According to such a film forming apparatus, since the control device is provided for controlling the film forming conditions of the metal film according to the chromaticity of the metal film detected by the detection mechanism, the alkali metal film of better quality can be reliably formed. It can be formed easily.
上記の成膜装置においては、上記制御装置は、Ｌ＊ａ＊ｂ＊色空間における上記金属膜のｂ＊値が１０以下なるように上記成膜条件を制御してもよい。 In the film forming apparatus, the control device may control the film forming conditions so that the metal film has a b * value of 10 or less in an L * a * b * color space.
このような成膜装置によれば、制御装置は、Ｌ＊ａ＊ｂ＊色空間における金属膜のｂ＊値が１０以下なるように成膜条件を制御するので、より良質なアルカリ金属膜を確実、簡便に形成することができる。 According to such a film forming apparatus, the control device controls the film forming conditions so that the b * value of the metal film in the L * a * b * color space is 10 or less. It can be formed reliably and simply.
上記の成膜装置においては、上記制御装置は、上記Ｌ＊ａ＊ｂ＊色空間における上記金属膜のＬ＊値が９０以上なるように上記成膜条件を制御してもよい。 In the film forming apparatus, the control device may control the film forming conditions so that the metal film has an L * value of 90 or more in the L * a * b * color space.
このような成膜装置によれば、制御装置は、Ｌ＊ａ＊ｂ＊色空間における金属膜のＬ＊値が９０以上なるように成膜条件を制御するので、より良質なアルカリ金属膜を確実、簡便に形成することができる。 According to such a film forming apparatus, the control device controls the film forming conditions so that the L * value of the metal film in the L * a * b * color space is 90 or more. It can be formed reliably and simply.
上記の成膜装置においては、上記検知機構は、上記金属膜の状態を上記金属膜の反射率により検知してもよい。 In the above film forming apparatus, the detection mechanism may detect the state of the metal film based on the reflectance of the metal film.
このような成膜装置によれば、検知機構は、金属膜の状態を金属膜の反射率により検知するので、より良質なアルカリ金属膜を形成したか否かを確実、簡便に判断することができる。 According to such a film forming apparatus, since the detection mechanism detects the state of the metal film based on the reflectance of the metal film, it is possible to reliably and easily determine whether or not a better quality alkali metal film has been formed. can.
上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る成膜方法は、基板支持機構に支持された基板に金属膜が形成される成膜中に、上記金属膜の状態を光学的手法で検知しながら、上記基板に上記金属膜を成膜する。 To achieve the above object, a film formation method according to one aspect of the present invention optically detects the state of a metal film during film formation in which a metal film is formed on a substrate supported by a substrate support mechanism. Meanwhile, the metal film is formed on the substrate.
このような成膜方法によれば、より良質なアルカリ金属膜を形成したか否かを確実、簡便に判断することができる。 According to such a film forming method, it is possible to reliably and easily determine whether or not an alkali metal film of better quality has been formed.
上記の成膜方法においては、減圧雰囲気で上記金属膜の状態を上記金属膜の色度により検知してもよい。 In the film forming method, the state of the metal film may be detected from the chromaticity of the metal film in a reduced pressure atmosphere.
このような成膜方法によれば、減圧雰囲気で金属膜の状態を金属膜の色度により検知するので、より良質なアルカリ金属膜を形成したか否かを確実、簡便に判断することができる。 According to such a film forming method, the state of the metal film is detected from the chromaticity of the metal film in a reduced pressure atmosphere, so it is possible to reliably and easily determine whether or not a better quality alkali metal film has been formed. .
上記の成膜方法においては、Ｌ＊ａ＊ｂ＊色空間における上記金属膜のｂ＊値が１０以下の成膜条件で上記基板に上記金属膜を成膜してもよい。 In the film forming method, the metal film may be formed on the substrate under film forming conditions such that the b * value of the metal film in the L * a * b * color space is 10 or less.
このような成膜方法によれば、Ｌ＊ａ＊ｂ＊色空間における金属膜のｂ＊値が１０以下の成膜条件で基板に金属膜を成膜するので、より良質なアルカリ金属膜を確実、簡便に形成することができる。 According to such a film formation method, a metal film is formed on a substrate under film formation conditions in which the b * value of the metal film in the L * a * b * color space is 10 or less. It can be formed reliably and simply.
上記の成膜方法においては、上記Ｌ＊ａ＊ｂ＊色空間における上記金属膜のＬ＊値が９０以上の成膜条件で上記基板に上記金属膜を成膜してもよい。 In the film forming method, the metal film may be formed on the substrate under film forming conditions such that the L * value of the metal film in the L * a * b * color space is 90 or more.
このような成膜方法によれば、Ｌ＊ａ＊ｂ＊色空間における金属膜のＬ＊値が９０以上の成膜条件で基板に金属膜を成膜するので、より良質なアルカリ金属膜を確実、簡便に形成することができる。 According to such a film forming method, the metal film is formed on the substrate under film forming conditions in which the L * value of the metal film in the L * a * b * color space is 90 or more, so that an alkali metal film of better quality can be obtained. It can be formed reliably and simply.
上記の成膜方法においては、上記金属膜の状態を上記金属膜の反射率により検知してもよい。 In the film forming method described above, the state of the metal film may be detected by the reflectance of the metal film.
このような成膜方法によれば、金属膜の状態を金属膜の反射率により検知するので、より良質なアルカリ金属膜を形成したか否かを確実、簡便に判断することができる。 According to such a film forming method, the state of the metal film is detected by the reflectance of the metal film, so it is possible to reliably and easily determine whether or not a better quality alkali metal film has been formed.
以上述べたように、本発明によれば、より良質なアルカリ金属膜を形成したか否かを確実、簡便に判断することができる成膜装置及び成膜方法が提供される。 As described above, according to the present invention, there is provided a film forming apparatus and a film forming method that can reliably and easily determine whether or not an alkali metal film of better quality has been formed.
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。各図面には、ＸＹＺ軸座標が導入される場合がある。また、同一の部材または同一の機能を有する部材には同一の符号を付す場合があり、その部材を説明した後には適宜説明を省略する場合がある。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. XYZ axis coordinates may be introduced in each drawing. Also, the same members or members having the same function may be denoted by the same reference numerals, and the description may be omitted as appropriate after describing the members.
［成膜装置］ [Deposition equipment]
図１は、本実施形態に係る成膜装置の一例を示す模式的断面図である。 FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of a film forming apparatus according to this embodiment.
本実施形態に係る成膜装置の一例として、巻取式の成膜装置１が示される。本実施形態は、巻取式の成膜装置１に限らず、インライン式の成膜装置、バッチ式の成膜装置等にも適用される。
A winding-type
成膜装置１では、真空容器７０内でフィルム６０が走行しながら、フィルム６０の成膜面６０ｄにアルカリ金属膜が形成される。成膜装置１は、例えば、主ローラ１０と、成膜源２０と、基板支持機構３０と、防着板４０と、検知機構５０と、真空容器７０とを具備する。アルカリ金属膜としては、例えば、リチウム金属膜が例示される。
In the
主ローラ１０は、鉄、ステンレス鋼、アルミニウム等の金属製の筒状ローラである。主ローラ１０は、中心軸Ｃ１を中心に回転する。主ローラ１０は、フィルム６０と、成膜源２０との間に配置される。
The
成膜装置１の外部には、主ローラ１０を回転駆動させる回転駆動機構が設けられている。あるいは、主ローラ１０が回転駆動機構を有してもよい。あるいは、主ローラ１０は、回転駆動機構によって回転されず、中心軸１０ｃを中心に自由に回転するローラであってもよい。主ローラ１０においては、その外周面１０ｓがローラ面となり、外周面１０ｓがフィルム６０の成膜面６０ｄとは反対側のフィルム６０の非成膜面６０ｒに当接する。
A rotation driving mechanism for rotating the
フィルム６０が矢印Ａの方向に走行しているとき、例えば、フィルム６０に接する主ローラ１０は、反時計回りに回転する。このとき、外周面１０ｓが中心軸１０ｃを中心に動く速度（接線速度）は、例えば、フィルム６０の走行速度と同じ速度に設定される。
When the
本実施形態においては、主ローラ１０の内部に、外周面１０ｓの温度を調節する温調媒体循環系等の温調機構が設けられてもよい。温調機構は、例えば、温調媒体循環系等の温調機構である。
In this embodiment, a temperature control mechanism such as a temperature control medium circulation system that controls the temperature of the outer
成膜源２０は、フィルム６０の成膜面６０ｄにリチウム金属膜を形成する。成膜源２０は、溶融容器２１（坩堝）を有する。成膜源２０は、主ローラ１０の外周面１０ｓに対向する。溶融容器２１には、蒸着材料２５が収容される。蒸着材料２５は、例えば、リチウム（Ｌｉ）等の金属材である。蒸着材料２５は、例えば、溶融容器２１内において抵抗加熱、誘導加熱、電子ビーム加熱等の手法によって溶融される。
The
基板支持機構３０は、フィルム６０を支持する支持機構と、フィルム６０を走行させる走行機構とを兼ね備える。基板支持機構３０は、巻出ローラ３１と、巻取ローラ３２と、ガイドローラ３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄとを有する。成膜装置１の外部には、巻出ローラ３１及び巻取ローラ３２を回転駆動させる回転駆動機構が設けられている。あるいは、巻出ローラ３１及び巻取ローラ３２のそれぞれが回転駆動機構を有してもよい。
The
フィルム６０は、予め巻出ローラ３１に巻かれ、巻出ローラ３１から繰り出される。この後、フィルム６０には、成膜源２０によって成膜処理が施され、フィルム６０は、巻取ローラ３２によって巻き取られる。
The
例えば、巻出ローラ３１から連続的に繰り出されたフィルム６０は、走行中にガイドローラ３３ａ、３３ｂによって支持されつつ、ガイドローラ３３ａ、３３ｂのそれぞれによって走行方向が変えられ、主ローラ１０に巻回される。
For example, the
主ローラ１０に巻回されたフィルム６０は、主ローラ１０の外周面１０ｓに接触しながら、主ローラ１０によって支持されて、ガイドローラ３３ｃに導かれる。
The
主ローラ１０の外周面１０ｓから離れたフィルム６０は、走行中にガイドローラ３３ｃ、３３ｄに支持されつつ、ガイドローラ３３ｃ、３３ｄのそれぞれによって走行方向が変えられ、巻取ローラ３２に連続的に巻き取られる。
The
防着板４０は、成膜源２０と主ローラ１０との間に配置される。防着板４０には、成膜源２０を主ローラ１０の外周面１０ｓに向けて開口する開口４１が設けられている。防着板４０は、真空容器７０に収容される真空部品の一例である。真空部品は、防着板４０に限らず、例えば、リフレクタ、シャッタ、支持アーム、及び配管等でもよい。
The
検知機構５０は、フィルム６０にリチウム金属膜が形成される成膜中に、減圧雰囲気のｉｎ－ｓｉｔｅでリチウム金属膜の状態、一例として、金属膜の酸化の程度を光学的に検知する。検知機構５０は、色度計５１と、制御装置５２と、光源５３とを有する。例えば、検知機構５０は、リチウム金属膜の酸化の程度をリチウム金属膜の色度により検知する。
The
色度計５１は、主ローラ１０にフィルム６０を介して対向する。色度計５１としては、例えば、ＣＩＥ Ｌ＊ａ＊ｂ＊表色系を利用して、色度を求める色度センサが適用される。色度計５１は、光源５３により照射されたリチウム金属膜の反射光を測色する。
The
色度計５１は、フィルム６０を介して、ガイドローラ３３ｃ（または３３ｄ）に対向させてもよく、ガイドローラ３３ｃと主ローラ１０との間のフィルム６０に対向させてもよく、フィルム６０を介して、巻取ローラ３２に対向させることが好ましい。さらに、色度計５１は、真空容器７０外に配置してもよい。この場合、真空容器７０には、色度計５１が真空容器内を覗く窓部が設けられる。
The
主ローラ１０と色度計５１との間には、シャッタ５６が設けられる。色度計５１が測色をしない場合には、シャッタ５６が閉じられ、色度計５１がシャッタ５６により遮蔽される。
A
制御装置５２は、フィルム６０に形成されたリチウム金属膜の酸化の程度が適切か否かの判断を行う。制御装置５２は、リチウム金属膜の色によって、フィルム６０に堆積したリチウム金属膜の状態、例えば、その反応の程度を判断する。制御装置５２は、リチウム金属膜の酸化の程度が目的値よりも進行した判断したならば、その合図をすることができる。
The
例えば、白色光下で、Ｌｉ膜は銀色、ＬｉＯＨは白色、Ｌｉ２Ｏ及びＬｉ２ＣＯ３は黄色、オレンジ等のＬｉ及びＬｉＯＨと異なる色味を帯びる。検知機構５０は、リチウム金属膜の反応の程度が進行したことをリチウム金属膜の色度によって確実且つ簡便に判断する。
For example, under white light, the Li film is silver, LiOH is white, and Li 2 O and Li 2 CO 3 are yellow, orange, and other colors different from Li and LiOH. The
例えば、リチウム金属膜の酸化が進行してリチウム含有膜となった膜を酸化の程度に応じて複数個用意する。そして、それぞれの膜の組成をＸＰＳ（Ｘ線光電子分光法）、ＦＥ－ＡＥＳ（電界放射型オージェ電子分光分析）等の表面分析法により求めておく。ここで、リチウム含有膜とは、リチウム金属とリチウム酸化物とが混在した膜を意味する。 For example, a plurality of lithium-containing films are prepared according to the degree of oxidation as the lithium metal film is oxidized. The composition of each film is determined in advance by surface analysis methods such as XPS (X-ray photoelectron spectroscopy) and FE-AES (field emission Auger electron spectroscopy). Here, the lithium-containing film means a film in which lithium metal and lithium oxide are mixed.
さらに、これらの組成と、リチウム含有膜のＬ＊値、ａ＊値、及びｂ＊値のそれぞれとの対応付けを実験、シミュレーション等で行う。例えば、リチウム含有膜の各組成と、Ｌ＊値、ａ＊値、及びｂ＊値のそれぞれの値とを対応させた検量線を制御装置５２にデータベースとして格納しておく。
Furthermore, experiments, simulations, and the like are performed to associate these compositions with the L * value, a * value, and b * value of the lithium-containing film. For example, a calibration curve that associates each composition of the lithium-containing film with each of the L * value, a * value, and b * value is stored in the
検知機構５０は、色度計５１によって、リチウム含有膜の色度を検知し、検知した信号を制御装置５２に送信する。制御装置５２は、送信された色度が蓄電デバイスとして利用される酸化の程度になければ、その合図を示す。
The
これにより、真空容器７０内でフィルム６０に形成されたリチウム金属膜が蓄電デバイスとして適性に利用できるか否かの判断が真空容器７０からリチウム金属膜を取り出す前に確実且つ簡便に判断される。
As a result, whether or not the lithium metal film formed on the
さらに、制御装置５２は、検知機構５０によって検知されたリチウム金属膜の色度に応じて、リチウム金属膜の成膜条件を制御してもよい。
Furthermore, the
例えば、制御装置５２は、Ｌ＊ａ＊ｂ＊色空間におけるリチウム金属膜のｂ＊値が１０以下なるように成膜条件を制御する。または、制御装置５２は、リチウム金属膜のＬ＊値が９０以上なるように成膜条件を制御する。
For example, the
ここで、成膜条件とは、成膜中における真空容器７０内の圧力（真空度）、堆積速度、フィルム６０の走行速度等である。
Here, the film formation conditions include the pressure (degree of vacuum) in the
また、検知機構５０は、リチウム金属膜の酸化の程度をリチウム金属膜の反射率により検知してもよい。例えば、波長が３００ｎｍ以上８００ｎｍ以下のレーザ光を利用して、リチウム金属膜の酸化の程度をリチウム金属膜の光反射率から判断してもよい。ここで、光反射率が５０％以上のときに、フィルム６０に良質なリチウム金属膜が形成されているとする。
Further, the
光源５３は、例えば、白色光を放出する照明装置（ランプ）である。これにより、リチウム金属膜には、白色光が照らされる。光源５３は、白熱電球、キセノンランプ、ハロゲンランプ、ＬＥＤ等のいずれかである。真空容器７０内には、光源５３に対向するようにシャッタ５７が設けられ、シャッタ５７が閉じることにより、光源５３が遮蔽される。光源５３は、必要に応じて真空容器７０外に設置してよい。この場合、光源５３は、真空容器７０外から窓部（不図示）を介して真空容器７０内の真空部品を照らすことになる。
The
フィルム６０は、成膜対象の基板である。フィルム６０は、所謂ｗｅｂであり、所定幅に裁断された長尺のフィルムである。フィルム６０は、銅箔、アルミニウム箔、ニッケル箔、ステンレス箔、樹脂フィルムの少なくともいずれかを含む。
The
真空容器７０は、主ローラ１０、成膜源２０、基板支持機構３０、防着板４０、検知機構５０の一部、及びフィルム６０等を収容する。真空容器７０は、減圧状態を維持することができ、例えば、真空ポンプ等の真空排気系（不図示）に接続された排気管７１を通じている。これにより、真空容器７０の内部が所定の真空度に維持される。
The
真空容器７０内には、ガス供給機構７２によって、二酸化炭素（ＣＯ２）、窒素（Ｎ２）、不活性ガス（Ａｒ、Ｈｅ等）等のガスが供給される。
A
また、本実施形態においては、リチウム以外に、インジウム（Ｉｎ）、亜鉛（Ｚｎ）、錫（Ｓｎ）、ガリウム（Ｇａ）、ビスマス（Ｂｉ）、ナトリウム（Ｎａ）、及びカリウム（Ｋ）等の少なくともいずれかが溶融容器２１内に収容されてもよい。
In the present embodiment, in addition to lithium, at least indium (In), zinc (Zn), tin (Sn), gallium (Ga), bismuth (Bi), sodium (Na), potassium (K) Either may be contained within melting
このように、本実施形態では、成膜装置１を用いて、基板支持機構３０に支持されたフィルム６０にリチウム金属膜が形成される成膜中に、リチウム金属膜の酸化の程度を検知しながら、フィルム６０にリチウム金属膜が成膜される。
As described above, in the present embodiment, the
ここで、減圧雰囲気でリチウム金属膜の酸化の程度がリチウム金属膜の色度により検知される。また、Ｌ＊ａ＊ｂ＊色空間におけるリチウム金属膜のｂ＊値が１０以下の成膜条件でフィルム６０にリチウム金属膜が成膜される。さらにＬ＊ａ＊ｂ＊色空間におけるリチウム金属膜のＬ＊値が９０以上の成膜条件でフィルム６０にリチウム金属膜が成膜される。なお、リチウム金属膜の酸化の程度は、リチウム金属膜の反射率により検知してもよい。
Here, the degree of oxidation of the lithium metal film is detected by the chromaticity of the lithium metal film in the reduced pressure atmosphere. In addition, the lithium metal film is formed on the
本実施形態の試料と、比較例１、２の試料を準備して、それぞれの色（目視）、色度、サイクル試験を検討した。 A sample of this embodiment and samples of Comparative Examples 1 and 2 were prepared, and their colors (visual observation), chromaticity, and cycle tests were examined.
比較例１のリチウム含有膜は、目視で変色が認められた。比較例１のリチウム含有膜の色度を測定すると、Ｌ＊値は、－６９．９３であり、ａ＊値は、１．４１であり、ｂ＊値は、－２．１１であった。組成分析をすると、比較例１のリチウム含有膜では、純粋Ｌｉのほかに、Ｌｉ２Ｏ組成またはＬｉ２ＣＯ３組成が高くなっていることが分かった。 The lithium-containing film of Comparative Example 1 was visually observed to be discolored. When the chromaticity of the lithium-containing film of Comparative Example 1 was measured, the L * value was −69.93, the a * value was 1.41, and the b * value was −2.11. A composition analysis revealed that the lithium-containing film of Comparative Example 1 had a high Li 2 O composition or Li 2 CO 3 composition in addition to pure Li.
比較例２のリチウム含有膜は、目視で黄色味を帯びていた。比較例２のリチウム含有膜の色度を測定すると、Ｌ＊値は、９４．０６であり、ａ＊値は、－０．０８であり、ｂ＊値は、１３．６２であった。組成分析をすると、比較例２のリチウム含有膜では、深さ方向にＬｉ２Ｏ組成またはＬｉ２ＣＯ３組成が多く存在することが分かった。 The lithium-containing film of Comparative Example 2 was visually yellowish. When the chromaticity of the lithium-containing film of Comparative Example 2 was measured, the L * value was 94.06, the a * value was -0.08, and the b * value was 13.62. A composition analysis revealed that the lithium-containing film of Comparative Example 2 had a large amount of Li 2 O composition or Li 2 CO 3 composition in the depth direction.
これに対し、本実施形態のリチウム含有膜は、目視で金属光沢（銀色）を帯びていた。本実施形態のリチウム金属膜の色度を測定すると、Ｌ＊値は、９５．８５であり、ａ＊値は、－０．４６であり、ｂ＊値は、７．６７であった。本実施形態のリチウム金属膜では、深さ方向にＬｉ２Ｏ組成、Ｌｉ２ＣＯ３組成が少なく、より浅い箇所にて純粋Ｌｉが存在することが分かった。 In contrast, the lithium-containing film of the present embodiment visually had a metallic luster (silver color). When the chromaticity of the lithium metal film of this embodiment was measured, the L * value was 95.85, the a * value was −0.46, and the b * value was 7.67. It was found that in the lithium metal film of the present embodiment, the Li 2 O composition and the Li 2 CO 3 composition were less in the depth direction, and pure Li was present at shallower locations.
図２（ａ）は、比較例１に係るリチウム含有膜を蓄電池の負極材に適用したときの蓄電池における放電容量のサイクル試験結果である。図２（ｂ）は、比較例２に係るリチウム含有膜を蓄電池の負極材に適用したときの蓄電池における放電容量のサイクル試験結果である。図３は、本実施形態に係るリチウム含有膜を蓄電池の負極材に適用したときの蓄電池における放電容量のサイクル試験結果である。 FIG. 2(a) shows the results of a cycle test of the discharge capacity of a storage battery when the lithium-containing film according to Comparative Example 1 is applied to the negative electrode material of the storage battery. FIG. 2(b) is a cycle test result of the discharge capacity of a storage battery when the lithium-containing film according to Comparative Example 2 is applied to the negative electrode material of the storage battery. FIG. 3 shows the results of a cycle test of the discharge capacity of a storage battery when the lithium-containing film according to this embodiment is applied to the negative electrode material of the storage battery.
蓄電池は、コイン型の電池であり、正極材としてＬｉＣｏＯ２が用いられ、セパレータとして、ポリプロピレン樹脂が用いられ、電解液としてＬｉＰＦ６系電解液が用いられている。また、図２（ａ）、（ｂ）、図３のそれぞれでは、４個の蓄電池が評価されている。蓄電池の放電容量の初期値（理論容量）は、約１４０ｍＡｈ／ｇとする。 The storage battery is a coin-type battery, using LiCoO 2 as a positive electrode material, a polypropylene resin as a separator, and a LiPF 6 based electrolyte as an electrolyte. Also, in each of FIGS. 2(a), (b) and 3, four storage batteries are evaluated. The initial value (theoretical capacity) of the discharge capacity of the storage battery is assumed to be approximately 140 mAh/g.
図２（ａ）に示す比較例１では、５サイクル程度で大きく劣化し、１０サイクルで放電容量が得られなくなることが分かった。 In Comparative Example 1 shown in FIG. 2(a), it was found that the battery deteriorated significantly after about 5 cycles, and the discharge capacity could not be obtained after 10 cycles.
図２（ｂ）に示す比較例２では、１０サイクルを超えると、一部の蓄電池の放電容量が初期値から大きく減少することが分かった。また、別の一部の蓄電池においては、サイクル増加とともに、放電容量が連続的に減少せず、その値がばらつくものがあった。 In Comparative Example 2 shown in FIG. 2(b), it was found that the discharge capacity of some storage batteries significantly decreased from the initial value after 10 cycles. In addition, in some other storage batteries, the discharge capacity did not decrease continuously as the number of cycles increased, and the value varied.
これに対し、図３に示す本実施形態では、２０サイクルを超えても、全ての蓄電池が初期値に近い値を示し、３０サイクルを超えたあたりから、徐々に放電容量が減少することが分かった。但し、その減少量は、比較例１、２に比べて圧倒的に低くなることが分かった。 In contrast, in the present embodiment shown in FIG. 3, all the storage batteries show values close to the initial value even after 20 cycles, and the discharge capacity gradually decreases after 30 cycles. rice field. However, it was found that the amount of decrease was overwhelmingly lower than in Comparative Examples 1 and 2.
このように、蓄電デバイス等のデバイスに適用できる良質なリチウム金属膜を得るには、Ｌ＊ａ＊ｂ＊色空間におけるリチウム金属膜のｂ＊値が１０以下であることが好ましく、Ｌ＊ａ＊ｂ＊色空間におけるリチウム金属膜のＬ＊値が９０以上であることが好ましいことが分かった。 Thus, in order to obtain a high-quality lithium metal film that can be applied to devices such as electricity storage devices, the b * value of the lithium metal film in the L * a * b * color space is preferably 10 or less, and L * a It has been found that the L * value of the lithium metal film in the * b * color space is preferably 90 or more.
巻取式成膜のように、長尺のフィルム６０に対して長時間にわたり成膜処理を行う場合、長い距離にわたり、フィルム６０に粗悪なリチウム含有膜が成膜される場合がある。このような場合、この距離分のリチウム含有膜については、デバイスに適用することができなくなり、この距離分のリチウム含有膜を回収したり、または廃棄したりする場合がある。
When the
これに対して、本実施形態によれば、フィルム６０にリチウム金属膜を成膜している際中に、リチウム金属膜がデバイスに適用し得るか否かを光学的な手法で、確実且つ簡便に判断することができる。さらに、光学的な情報を基に、デバイスに適用し得る良質なリチウム金属膜をフィルム６０に確実に形成することができる。
In contrast, according to the present embodiment, while the lithium metal film is formed on the
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態にのみ限定されるものではなく種々変更を加え得ることは勿論である。各実施形態は、独立の形態とは限らず、技術的に可能な限り複合することができる。 Although the embodiments of the present invention have been described above, it is needless to say that the present invention is not limited to the above-described embodiments and can be modified in various ways. Each embodiment is not limited to an independent form, and can be combined as much as technically possible.
１…成膜装置
１０…主ローラ
１０ｓ…外周面
１０ｃ…中心軸
２０…成膜源
２１…溶融容器
２５…蒸着材料
３０…基板支持機構
３１…巻出ローラ
３２…巻取ローラ
３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄ…ガイドローラ
４０…防着板
４１…開口
５０…検知機構
５１…色度計
５２…制御装置
５３…光源
５６、５７…シャッタ
６０…フィルム
６０ｄ…成膜面
６０ｒ…非成膜面
７０…真空容器
７１…排気管
７２…ガス供給機構
DESCRIPTION OF
Claims (9)
前記基板に金属膜を形成する成膜源と、
前記成膜源に対向する主ローラと、
前記基板に前記金属膜が形成される成膜中に、前記金属膜の状態を光学的に検知する検知機構と、
前記基板支持機構、前記成膜源、及び前記検知機構を収容する真空容器と
を具備し、
前記検知機構は、前記主ローラに巻回される前記基板に向けて白色光を放出する光源と、前記金属膜の色度を検知する色度計とを有し、
前記色度計は、前記主ローラに前記基板を介して対向し、前記光源により照射された前記金属膜の反射光を測色する成膜装置。 a substrate support mechanism that supports the substrate;
a film formation source for forming a metal film on the substrate;
a main roller facing the film formation source;
a detection mechanism for optically detecting the state of the metal film during film formation in which the metal film is formed on the substrate;
a vacuum vessel housing the substrate support mechanism, the film formation source, and the detection mechanism;
The detection mechanism has a light source that emits white light toward the substrate wound around the main roller and a chromaticity meter that detects the chromaticity of the metal film,
The chromaticity meter faces the main roller through the substrate, and measures the color of reflected light from the metal film irradiated by the light source.
前記検知機構は、減圧雰囲気で前記金属膜の酸化が進行した状態を前記金属膜の色度により検知する
成膜装置。 The film forming apparatus according to claim 1,
The film forming apparatus, wherein the detection mechanism detects a state in which oxidation of the metal film has progressed in a reduced-pressure atmosphere based on chromaticity of the metal film.
前記検知機構によって検知された前記金属膜の前記色度に応じて、前記金属膜の成膜条件を制御する制御装置をさらに具備する
成膜装置。 The film forming apparatus according to claim 2,
A film forming apparatus, further comprising: a control device for controlling film forming conditions of the metal film according to the chromaticity of the metal film detected by the detecting mechanism.
前記制御装置は、Ｌ＊ａ＊ｂ＊色空間における前記金属膜のｂ＊値が１０以下なるように前記成膜条件を制御する
成膜装置。 The film forming apparatus according to claim 3,
The film forming apparatus, wherein the control device controls the film forming conditions such that the metal film has a b * value of 10 or less in an L * a * b * color space.
前記制御装置は、前記Ｌ＊ａ＊ｂ＊色空間における前記金属膜のＬ＊値が９０以上なるように前記成膜条件を制御する
成膜装置。 The film forming apparatus according to claim 4,
The film forming apparatus, wherein the control device controls the film forming conditions such that the metal film has an L * value of 90 or more in the L * a * b * color space.
前記主ローラに巻回される前記基板に向けた光源から白色光を放出し、前記光源によって照射された前記金属膜の反射光を前記主ローラに前記基板を介して対向させた色度計によって測色し、前記色度計によって前記金属膜の色度を検知する光学的手法を用い、
前記金属膜の状態を前記光学的手法で検知しながら、前記基板に前記金属膜を成膜する成膜方法。 During the film formation in which the metal film is formed on the substrate supported by the substrate support mechanism and wound around the main roller,
White light is emitted from a light source directed toward the substrate wound around the main roller, and the reflected light from the metal film irradiated by the light source is emitted by a chromaticity meter that faces the main roller through the substrate. Using an optical method of measuring the color and detecting the chromaticity of the metal film with the chromaticity meter,
A film forming method for forming the metal film on the substrate while detecting the state of the metal film by the optical method.
減圧雰囲気で前記金属膜の酸化が進行した状態を前記金属膜の色度により検知する
成膜方法。 The film forming method according to claim 6 ,
A film forming method, wherein a state in which oxidation of the metal film has progressed in a reduced-pressure atmosphere is detected by chromaticity of the metal film.
Ｌ＊ａ＊ｂ＊色空間における前記金属膜のｂ＊値が１０以下の成膜条件で前記基板に前記金属膜を成膜する
成膜方法。 The film forming method according to claim 7 ,
A film forming method for forming the metal film on the substrate under film forming conditions such that the metal film has a b * value of 10 or less in an L*a * b * color space.
前記Ｌ＊ａ＊ｂ＊色空間における前記金属膜のＬ＊値が９０以上の成膜条件で前記基板に前記金属膜を成膜する
成膜方法。 The film forming method according to claim 8 ,
A film forming method for forming the metal film on the substrate under film forming conditions such that the L * value of the metal film in the L * a * b * color space is 90 or more.
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Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003082452A (en) | 2001-09-13 | 2003-03-19 | Citizen Watch Co Ltd | Decorative gold colored coating film |
| JP2016069684A (en) | 2014-09-30 | 2016-05-09 | 住友金属鉱山株式会社 | Film deposition device and each manufacturing method of laminate film and electrode substrate film |
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Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5852475A (en) * | 1981-09-24 | 1983-03-28 | Ulvac Corp | Method and device for monitoring and measuring thin film in thin film former |
| JP3179648B2 (en) * | 1993-02-19 | 2001-06-25 | シチズン時計株式会社 | Golden decorative component and method of manufacturing the same |
-
2019
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Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003082452A (en) | 2001-09-13 | 2003-03-19 | Citizen Watch Co Ltd | Decorative gold colored coating film |
| JP2016069684A (en) | 2014-09-30 | 2016-05-09 | 住友金属鉱山株式会社 | Film deposition device and each manufacturing method of laminate film and electrode substrate film |
| JP2017218674A (en) | 2016-06-07 | 2017-12-14 | 日東電工株式会社 | Manufacturing method of optical film |
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| Date | Code | Title | Description |
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| A621 | Written request for application examination |
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|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20220315 |
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| A977 | Report on retrieval |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
| A521 | Request for written amendment filed |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
| A521 | Request for written amendment filed |
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| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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