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JP7325899B2 - METHOD FOR MANUFACTURING METAL-CLAD LAMINATE, METHOD FOR MANUFACTURE AND REPAIR METHOD FOR COATED PRESSURE ROLL - Google Patents
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Description

本発明は、電子製品に使用されるフレキシブル回路基板(FPC;Flexible Printed Circuits)などに用いられる金属張積層板の製造方法、その方法に使用可能な被覆加圧ロールの製造方法及び修復方法に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for manufacturing a metal-clad laminate used for flexible printed circuits (FPC) used in electronic products, and a method for manufacturing and repairing a covering pressure roll that can be used in the method.

FPCは、樹脂層と銅層を積層した銅張積層板(CCL;Copper Clad Laminate)の銅層をエッチングして回路配線加工することによって製造される。FPCに使用されるCCLは、樹脂層の片側のみに銅箔が積層する片面銅張積層板(以下、片面CCL)、樹脂層の両側に銅箔が積層する両面銅張積層板(以下、両面CCL)が知られている。 An FPC is manufactured by etching a copper layer of a copper clad laminate (CCL) in which a resin layer and a copper layer are laminated to form circuit wiring. CCLs used in FPCs include single-sided copper-clad laminates (hereinafter referred to as single-sided CCL) in which copper foil is laminated only on one side of a resin layer, and double-sided copper-clad laminates (hereinafter referred to as double-sided copper-clad laminates in which copper foil is laminated on both sides of a resin layer). CCL) are known.

CCLの製造方法として、例えば金属製のプレスロールを用いて、銅箔と樹脂フィルムとを熱圧着するラミネート法が知られている(例えば、特許文献1、2参照)。 As a method for producing CCL, for example, a lamination method is known in which a copper foil and a resin film are thermocompressed using a metal press roll (see, for example, Patent Documents 1 and 2).

また、ラミネート法に関し、液晶ポリマーフィルムと金属箔とを積層する際に、積層体の外観を良好にするため、金属製のプレスロールの表面に厚さ0.02~5mmのフッ素ゴム、シリコンゴム又はポリイミドの樹脂被覆層を設けたものを使用することが提案されている(例えば、特許文献3参照)。 Regarding the lamination method, when laminating the liquid crystal polymer film and the metal foil, in order to improve the appearance of the laminate, a fluororubber or silicone rubber having a thickness of 0.02 to 5 mm is applied to the surface of a metal press roll. Alternatively, it has been proposed to use one provided with a polyimide resin coating layer (see, for example, Patent Document 3).

特開2001-129918号公報(特許請求の範囲など)Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-129918 (Claims etc.) 特開2009-66911号公報(図2など)Japanese Patent Application Laid-Open No. 2009-66911 (Fig. 2, etc.) 特許第4398179号公報(特許請求の範囲など)Japanese Patent No. 4398179 (Claims etc.)

近年、スマートフォンをはじめとするモバイル機器におけるディスプレイの高精細化及び多機能化により、これらの機器の筐体内部品の接続に使用されるFPCにおいて、配線の微細化が進行している。これに伴い、積層された銅箔を加工して配線を形成することで接続部品としての機能を果たすCCLにおいては、銅箔と樹脂層との接着性などに対する要求品質がより厳格化している。しかし、ラミネート法で金属箔とポリイミドフィルムを積層する場合、貼り合わせ面の接着性、熱圧着面の充填が不十分になりやすく、微細配線加工した場合に配線の剥離を引き起こす原因となる。
従って、本発明は、ポリイミドフィルムが金属箔の表面の凹凸にむらなく充填しており、ポリイミドフィルムと金属箔の接着性が高い金属張積層板を提供することを目的とする。
2. Description of the Related Art In recent years, due to the high definition and multi-functionality of displays in mobile devices such as smartphones, finer wiring is progressing in FPCs used to connect components inside the housings of these devices. Along with this, in the CCL, which functions as a connection part by processing laminated copper foils to form wiring, the quality requirements for the adhesiveness between the copper foil and the resin layer are becoming stricter. However, when a metal foil and a polyimide film are laminated by a lamination method, the adhesiveness of the bonding surface and the filling of the thermocompression bonding surface tend to be insufficient, which causes peeling of the wiring when fine wiring is processed.
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a metal-clad laminate in which the polyimide film evenly fills the irregularities on the surface of the metal foil and has high adhesiveness between the polyimide film and the metal foil.

本発明者らは、鋭意検討を重ねた結果、ラミネート法によって金属張積層板を製造する際に、一対の加圧ロールのうち、少なくとも片側の加圧ロールの圧迫面をフィルム状緩衝材によって被覆した状態で熱圧着を行うことによって、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成した。 As a result of extensive studies, the present inventors have found that when manufacturing a metal-clad laminate by the lamination method, the pressure surface of at least one of the pair of pressure rolls is covered with a film-like cushioning material. The present inventors have found that the above problems can be solved by performing thermocompression bonding in a state in which they are held together, and completed the present invention.

すなわち、本発明の金属張積層板の製造方法は、ポリイミドフィルムと金属箔とを重ね合わせて連続的に一対の加圧ロール間を通過させることによって、前記ポリイミドフィルムと前記金属箔とを熱圧着して金属張積層板を製造する方法である。そして、本発明の金属張積層板の製造方法は、前記一対の加圧ロールのうち、少なくとも片側の加圧ロールの圧迫面を、該加圧ロールと同期して移動可能なフィルム状緩衝材によって被覆した状態で熱圧着を行うとともに、前記フィルム状緩衝材が、非熱可塑性ポリイミドからなる非熱可塑性ポリイミド層を含むものであることを特徴とする。 That is, in the method for producing a metal-clad laminate of the present invention, a polyimide film and a metal foil are superimposed and continuously passed through a pair of pressure rolls to bond the polyimide film and the metal foil together by thermocompression. It is a method of manufacturing a metal-clad laminate by In the method for manufacturing a metal-clad laminate of the present invention, the pressure surface of at least one pressure roll of the pair of pressure rolls is moved in synchronization with the pressure roll by a film-like cushioning material. Thermocompression bonding is performed in a covered state, and the film-like cushioning material includes a non-thermoplastic polyimide layer made of non-thermoplastic polyimide.

本発明の金属張積層板の製造方法は、前記フィルム状緩衝材が、前記片側の加圧ロールの表面を周方向に被覆する被覆層を形成していてもよい。 In the method for manufacturing a metal-clad laminate of the present invention, the film-like cushioning material may form a coating layer that covers the surface of the pressure roll on one side in the circumferential direction.

本発明の金属張積層板の製造方法は、前記片側の加圧ロールが前記被覆層を有する被覆加圧ロールであってもよく、他方の加圧ロールが金属製ロールであってもよい。 In the method for producing a metal-clad laminate of the present invention, the pressure roll on one side may be a coated pressure roll having the coating layer, and the pressure roll on the other side may be a metal roll.

本発明の金属張積層板の製造方法は、前記金属製ロールを前記金属箔側に配置してもよい。 In the method for manufacturing a metal-clad laminate of the present invention, the metal roll may be arranged on the metal foil side.

本発明の金属張積層板の製造方法は、前記フィルム状緩衝材が、環状に形成されていてもよく、前記片側の加圧ロールと、複数のガイドロールとによって回転可能に形成されていてもよい。 In the method for manufacturing a metal-clad laminate of the present invention, the film-like cushioning material may be formed in an annular shape, or may be rotatably formed by the pressure roll on one side and a plurality of guide rolls. good.

本発明の金属張積層板の製造方法は、前記フィルム状緩衝材が、長尺に形成され、ロール・トゥ・ロール式に搬送されるものであってもよい。 In the method for manufacturing a metal-clad laminate of the present invention, the film-like cushioning material may be formed in a long length and transported in a roll-to-roll manner.

本発明の金属張積層板の製造方法は、前記フィルム状緩衝材の厚さが1~200μmの範囲内であってもよい。 In the method for producing a metal-clad laminate of the present invention, the film-like cushioning material may have a thickness of 1 to 200 μm.

本発明の金属張積層板の製造方法において、前記ポリイミドフィルムは、単層または複数層のポリイミド層を含んでいてもよく、少なくとも一層が非熱可塑性ポリイミドであってもよく、かつ、少なくとも前記金属箔と熱圧着される側の表面が熱可塑性ポリイミド層であってもよい。 In the method for producing a metal-clad laminate of the present invention, the polyimide film may contain a single or multiple layers of polyimide layers, at least one layer may be a non-thermoplastic polyimide, and at least the metal A thermoplastic polyimide layer may be provided on the surface of the side to be thermocompressed with the foil.

本発明の金属張積層板の製造方法は、前記ポリイミドフィルムが、基材と、該基材上に積層形成されたポリイミド層と、を含む積層構造体であってもよい。 In the method for producing a metal-clad laminate of the present invention, the polyimide film may be a laminate structure including a substrate and a polyimide layer laminated on the substrate.

本発明の金属張積層板の製造方法は、前記基材が、銅箔であってもよい。 In the method for producing a metal-clad laminate of the present invention, the base material may be copper foil.

本発明の被覆加圧ロールの製造方法は、ポリイミドフィルムと金属箔とを重ね合わせて連続的に一対の加圧ロール間を通過させることによって、前記ポリイミドフィルムと前記金属箔とを熱圧着して金属張積層板を製造する際に用いられる被覆加圧ロールの製造方法である。そして、本発明の被覆加圧ロールの製造方法は、前記被覆加圧ロールが、金属製ロールと、該金属製ロールの表面を周方向に被覆する被覆層と、を有するものであり、
前記金属製ロールの表面にポリイミドまたはポリイミド前駆体の樹脂溶液を塗布する工程と、
前記金属製ロール上で前記樹脂溶液の熱処理を完了させることによって、前記被覆層を形成する工程と、
を含むことを特徴とする。
In the method for producing a coated pressure roll of the present invention, a polyimide film and a metal foil are superimposed and continuously passed between a pair of pressure rolls to bond the polyimide film and the metal foil by thermocompression. A method for manufacturing a coated pressure roll used when manufacturing a metal-clad laminate. In the method for manufacturing a coated pressure roll of the present invention, the coated pressure roll has a metal roll and a coating layer that covers the surface of the metal roll in the circumferential direction,
A step of applying a resin solution of polyimide or a polyimide precursor to the surface of the metal roll;
forming the coating layer by completing heat treatment of the resin solution on the metal roll;
characterized by comprising

本発明の被覆加圧ロールの製造方法は、前記金属製ロールを回転させながら、その表面に前記樹脂溶液を塗布してもよい。この場合、塗布手段を、前記金属製ロールの回転軸方向に相対的に移動させながら前記樹脂溶液を塗布してもよい。 In the method for manufacturing a coated pressure roll of the present invention, the resin solution may be applied to the surface of the metal roll while the roll is being rotated. In this case, the resin solution may be applied while relatively moving the applying means in the rotating shaft direction of the metal roll.

本発明の被覆加圧ロールの製造方法は、前記金属製ロールの加熱機構を用いて、該金属製ロールを加熱することにより前記樹脂溶液の熱処理を行ってもよい。 In the method for manufacturing a coated pressure roll of the present invention, the resin solution may be heat-treated by heating the metal roll using a heating mechanism for the metal roll.

本発明の被覆加圧ロールの修復方法は、ポリイミドフィルムと金属箔とを重ね合わせて連続的に一対の加圧ロール間を通過させることによって、前記ポリイミドフィルムと前記金属箔とを熱圧着して金属張積層板を製造する際に用いられる被覆加圧ロールの修復方法である。そして、本発明の被覆加圧ロールの修復方法は、前記被覆加圧ロールが、金属製ロールと、該金属製ロールの表面を周方向に被覆する被覆層と、を有するものであり、
前記被覆層の表面の少なくとも一部に、ポリイミドまたはポリイミド前駆体の樹脂溶液を塗布する工程と、
前記被覆加圧ロール上で前記樹脂溶液の熱処理を完了させる工程と、
を含むことを特徴とする。
In the method for repairing a covering pressure roll of the present invention, the polyimide film and the metal foil are thermally compressed by overlapping the polyimide film and the metal foil and passing them continuously between a pair of pressure rolls. A method for repairing a coated pressure roll used in manufacturing a metal-clad laminate. In the method for repairing a coated pressure roll of the present invention, the coated pressure roll has a metal roll and a coating layer circumferentially coating the surface of the metal roll,
A step of applying a resin solution of polyimide or a polyimide precursor to at least part of the surface of the coating layer;
completing heat treatment of the resin solution on the coated pressure roll;
characterized by comprising

本発明によれば、ポリイミドフィルムが金属箔の表面の凹凸にむらなく充填しており、ポリイミドフィルムと金属箔とが強固に接着した金属張積層板を製造できる。このようにして製造された金属張積層板をFPCなどの回路基板材料として用いることによって、微細化された配線と絶縁樹脂層との密着性に優れた回路基板を製造できる。従って、本発明により、回路基板及び回路基板を使用する電子製品の歩留まりと信頼性を向上させることができる。
また、加圧ロールとして金属製ロールを用いた場合、ポリイミドフィルムの厚みむら、金属製ロールの幅方向の径のばらつきに起因して圧迫面への圧力が不均一になりやすい。この際、圧力が低い箇所ではポリイミドフィルムが金属箔の表面の凹凸に十分に充填しないといった問題が起こることがある。本発明方法では、フィルム状緩衝材を用いることで、この圧力むらを均一にし、全面に渡りポリイミドフィルムが金属箔の表面の凹凸に十分に充填し強固に接着した金属張積層板の製造が可能となる。
According to the present invention, it is possible to manufacture a metal-clad laminate in which the polyimide film evenly fills the irregularities on the surface of the metal foil, and in which the polyimide film and the metal foil are firmly bonded. By using the metal-clad laminate thus produced as a material for circuit boards such as FPCs, it is possible to produce circuit boards having excellent adhesion between the miniaturized wiring and the insulating resin layer. Therefore, according to the present invention, the yield and reliability of circuit boards and electronic products using circuit boards can be improved.
Further, when a metal roll is used as the pressure roll, the pressure applied to the pressing surface tends to be non-uniform due to unevenness in the thickness of the polyimide film and variation in diameter of the metal roll in the width direction. At this time, a problem may arise in that the polyimide film does not sufficiently fill the irregularities on the surface of the metal foil at locations where the pressure is low. In the method of the present invention, by using a film-like cushioning material, this pressure unevenness is made uniform, and it is possible to manufacture a metal-clad laminate in which the unevenness of the surface of the metal foil is sufficiently filled with the polyimide film over the entire surface and firmly adhered. becomes.

本発明の第1の実施の形態の金属張積層板の製造方法を説明する図面である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is drawing explaining the manufacturing method of the metal clad laminated board of the 1st Embodiment of this invention. 被覆加圧ロールの構造を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing the structure of a covering pressure roll; 被覆加圧ロールの製造方法を説明する図面である。It is drawing explaining the manufacturing method of a covering pressure roll. 被覆加圧ロールの修復方法を説明する図面である。It is drawing explaining the repair method of a covering pressure roll. 第1の実施の形態の金属張積層板の製造方法の変形例を説明する図面である。It is drawing explaining the modification of the manufacturing method of the metal clad laminated board of 1st Embodiment. 本発明の第2の実施の形態の金属張積層板の製造方法を説明する図面である。It is drawing explaining the manufacturing method of the metal clad laminated board of the 2nd Embodiment of this invention. 第2の実施の形態の金属張積層板の製造方法の変形例を説明する図面である。It is drawing explaining the modification of the manufacturing method of the metal clad laminated board of 2nd Embodiment. 本発明の第3の実施の形態の金属張積層板の製造方法を説明する図面である。It is drawing explaining the manufacturing method of the metal clad laminated board of the 3rd Embodiment of this invention. 第3の実施の形態の金属張積層板の製造方法の変形例を説明する図面である。It is drawing explaining the modification of the manufacturing method of the metal clad laminated board of 3rd Embodiment.

以下、適宜図面を参照しながら、本発明の実施の形態について説明する。本発明の金属張積層板の製造方法は、ポリイミドフィルムと金属箔とを重ね合わせて連続的に一対の加圧ロール間を通過させることによって、ポリイミドフィルムと金属箔とを熱圧着して金属張積層板を製造する。このとき、一対の加圧ロールのうち、少なくとも片側の加圧ロールの圧迫面を、この加圧ロールと同期して移動可能なフィルム状緩衝材によって被覆した状態で熱圧着を行う。ここで、フィルム状緩衝材は、非熱可塑性ポリイミドからなる非熱可塑性ポリイミド層を含んでいる。なお、「非熱可塑性ポリイミド」とは、一般に加熱しても軟化、接着性を示さないポリイミドのことであるが、本発明では、動的粘弾性測定装置(DMA)を用いて測定した、30℃における貯蔵弾性率が1.0×10Pa以上であり、300℃における貯蔵弾性率が3.0×10Pa以上であるポリイミドをいう。また、「熱可塑性ポリイミド」とは、一般にガラス転移温度(Tg)が明確に確認できるポリイミドのことであるが、本発明では、動的粘弾性測定装置(DMA)を用いて測定した、30℃における貯蔵弾性率が1.0×10Pa以上であり、320℃における貯蔵弾性率が3.0×10Pa未満であるポリイミドをいう。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings as appropriate. In the method for producing a metal-clad laminate of the present invention, a polyimide film and a metal foil are superimposed and continuously passed through a pair of pressure rolls, whereby the polyimide film and the metal foil are thermocompression bonded to form a metal-clad laminate. Manufacture laminates. At this time, thermocompression bonding is performed in a state in which the pressing surface of at least one pressure roll of the pair of pressure rolls is covered with a film-like cushioning material that can move in synchronism with the pressure roll. Here, the film-like cushioning material includes a non-thermoplastic polyimide layer made of non-thermoplastic polyimide. The term "non-thermoplastic polyimide" generally refers to polyimide that does not soften or exhibit adhesiveness when heated. A polyimide having a storage modulus of 1.0×10 9 Pa or more at °C and a storage modulus of 3.0×10 8 Pa or more at 300°C. Further, "thermoplastic polyimide" generally refers to a polyimide whose glass transition temperature (Tg) can be clearly confirmed. A polyimide having a storage modulus of 1.0×10 9 Pa or more at 320° C. and less than 3.0×10 8 Pa at 320° C.

以下、本発明方法で用いる「フィルム状緩衝材」の好ましい態様について、第1~第3の実施の形態を挙げて説明する。 Preferred aspects of the "film-like cushioning material" used in the method of the present invention will be described below with reference to first to third embodiments.

[第1の実施の形態]
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る金属張積層板の製造方法の説明図である。図2は、この方法に使用する被覆加圧ロールの要部拡大断面図である。本実施の形態では、ポリイミドフィルム10と金属箔20を重ね合わせて連続的に一対の加圧ロール30,40間を通過させることによって、ポリイミドフィルム10と金属箔20とを熱圧着して金属張積層板100を製造する。そして、フィルム状緩衝材が、加圧ロール30の表面を周方向に被覆する被覆層50を形成している。つまり、片側の加圧ロール30が被覆層50を有する被覆加圧ロールである。従って、本実施の形態では、一対の加圧ロール30,40のうち、少なくとも片側の加圧ロール30の圧迫面を、加圧ロール30と同期して移動可能なフィルム状緩衝材としての被覆層50によって被覆した状態で熱圧着を行う。ここで、加圧ロール30の「圧迫面」とは、回転する加圧ロール30の表面であって、ポリイミドフィルム10を、金属箔20側(他方の加圧ロール40側)へ押圧する部分を意味する。圧迫面は、加圧ロール30の回転によって順次入れ替わる。また、被覆層50がポリイミドフィルム10に圧接する部分も、加圧ロール30の回転に同期して順次入れ替わる。なお、図1中の矢印は、搬送方向や回転方向を示しており、巻出ロール、巻取ロール、ガイドロールなどの図示は省略している。また、一対の加圧ロール30,40は、それぞれ加熱機構(図示省略)を備えている。
[First embodiment]
FIG. 1 is an explanatory diagram of a method for manufacturing a metal-clad laminate according to the first embodiment of the present invention. FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of the main part of the covering pressure roll used in this method. In the present embodiment, the polyimide film 10 and the metal foil 20 are superimposed and continuously passed between a pair of pressure rolls 30 and 40, whereby the polyimide film 10 and the metal foil 20 are thermocompression bonded and metal-clad. A laminate 100 is manufactured. The film-like cushioning material forms a coating layer 50 that covers the surface of the pressure roll 30 in the circumferential direction. That is, the pressure roll 30 on one side is a coated pressure roll having the coating layer 50 . Therefore, in the present embodiment, the pressure surface of at least one of the pressure rolls 30 and 40 out of the pair of pressure rolls 30 and 40 is a covering layer as a film-like cushioning material that can move in synchronization with the pressure roll 30. Thermal compression bonding is performed in the state covered with 50 . Here, the "pressing surface" of the pressure roll 30 is the surface of the rotating pressure roll 30, and the portion that presses the polyimide film 10 toward the metal foil 20 (the other pressure roll 40). means. The pressing surfaces are sequentially replaced by the rotation of the pressure roll 30 . Further, the portion of the coating layer 50 that is pressed against the polyimide film 10 is also sequentially replaced in synchronism with the rotation of the pressure roll 30 . Arrows in FIG. 1 indicate the direction of conveyance and the direction of rotation, and illustration of an unwinding roll, a winding roll, a guide roll, and the like is omitted. Also, the pair of pressure rolls 30 and 40 are each provided with a heating mechanism (not shown).

図1において、他方の加圧ロール40は被覆層50を有しない金属製ロールであるが、加圧ロール30,40の両方が被覆層50を有する被覆加圧ロールであってもよい。加圧ロール30,40の両方を被覆加圧ロールとすることは、ロール幅方向の熱圧着時の圧力のばらつきの低減に有効である。
一方、加圧ロール30,40の片方を被覆加圧ロールとし、他方のロールを被覆層50を有しない金属製ロールとすることは、圧着部位に熱を効率的に伝えるために有効である。この場合、図1のように、金属箔20側から押圧する加圧ロール40を、被覆層50を有しない金属製ロールとすることが好ましい。金属箔20側に金属製ロールを配置することにより、圧着部位に、より効率的に熱を伝えることができる。つまり、金属製の加圧ロール40と金属箔20とを直接接触させることによって、図示しない加熱機構によって加熱された加圧ロール40から、熱伝導率の高い金属箔20を介してポリイミドフィルム10との圧着部位へ素早く熱を伝えることができるので、熱圧着の効率が高くなり、ポリイミドフィルム10と金属箔20との接着性が良好となる。
In FIG. 1, the other pressure roll 40 is a metal roll that does not have the coating layer 50, but both of the pressure rolls 30 and 40 may be coated pressure rolls that have the coating layer 50. FIG. Using coated pressure rolls as both of the pressure rolls 30 and 40 is effective in reducing variations in pressure during thermocompression bonding in the width direction of the rolls.
On the other hand, setting one of the pressure rolls 30 and 40 as a coated pressure roll and the other roll as a metal roll without the coating layer 50 is effective for efficiently conducting heat to the pressure bonding portion. In this case, as shown in FIG. 1, the pressure roll 40 that presses from the metal foil 20 side is preferably a metal roll that does not have the coating layer 50 . By arranging the metal roll on the metal foil 20 side, the heat can be more efficiently transferred to the crimping portion. That is, by bringing the metal pressure roll 40 and the metal foil 20 into direct contact, the pressure roll 40 heated by a heating mechanism (not shown) and the polyimide film 10 through the metal foil 20 with high thermal conductivity. Since heat can be quickly transferred to the pressure-bonded portion, the efficiency of thermocompression bonding is increased, and the adhesion between the polyimide film 10 and the metal foil 20 is improved.

<被覆加圧ロール>
図2に示すように、加圧ロール30は、コアとなる金属製ロール31と、この金属製ロール31の周囲を覆う接着剤層33と、接着剤層33を介して金属製ロール31を覆うポリイミド被覆層35を含んでいる。接着剤層33とポリイミド被覆層35とによって被覆層50が構成されている。なお、接着剤層33は設けなくてもよい。
<Coated pressure roll>
As shown in FIG. 2, the pressure roll 30 includes a core metal roll 31, an adhesive layer 33 surrounding the metal roll 31, and the metal roll 31 covered with the adhesive layer 33. A polyimide coating layer 35 is included. A coating layer 50 is composed of the adhesive layer 33 and the polyimide coating layer 35 . Note that the adhesive layer 33 may not be provided.

接着剤層33は、ポリイミド系接着剤からなることが好ましい。接着剤層33により、金属製ロール31とポリイミド被覆層35との接着性が確保される。なお、ポリイミド系接着剤とは、イミド結合を有する接着剤を指し、例えば、シロキサンポリイミド、ポリエーテルイミド等も含む。 The adhesive layer 33 is preferably made of a polyimide adhesive. The adhesive layer 33 ensures adhesion between the metal roll 31 and the polyimide coating layer 35 . The polyimide-based adhesive refers to an adhesive having an imide bond, and includes, for example, siloxane polyimide, polyetherimide, and the like.

一方、ポリイミド被覆層35は、非熱可塑性ポリイミドからなることが好ましい。ポリイミドフィルム10と直接接触するポリイミド被覆層35を非熱可塑性ポリイミドによって形成することにより、ポリイミド被覆層35がポリイミドフィルム10に部分的に熱融着することによる、しわ、しみ等の外観異常の発生を防止できる。
ポリイミド被覆層35を構成するポリイミドは、例えばガラス転移温度(Tg)が300℃以上の耐熱性を有するポリイミドであることが好ましい。Tgが300℃以上のポリイミドを用いることによって、熱圧着時の加熱による変形や損傷を回避し、被覆層50の耐久性を高めることができる。
また、同様の観点から、ポリイミド被覆層35を構成するポリイミドのTgは、ポリイミドフィルム10の一部分を構成する熱可塑性ポリイミド(後述)のTgよりも、例えば10℃以上高いことが好ましい。
また、ポリイミド被覆層35は、熱圧着時のポリイミドフィルム10への熱衝撃を緩和する観点から、熱伝導率が0.2W/m・K未満であることが好ましい。
On the other hand, the polyimide coating layer 35 is preferably made of non-thermoplastic polyimide. By forming the polyimide coating layer 35 that is in direct contact with the polyimide film 10 from a non-thermoplastic polyimide, the polyimide coating layer 35 is partially heat-sealed to the polyimide film 10, causing appearance abnormalities such as wrinkles and stains. can be prevented.
The polyimide forming the polyimide coating layer 35 is preferably a heat-resistant polyimide having a glass transition temperature (Tg) of 300° C. or higher, for example. By using polyimide with a Tg of 300° C. or more, it is possible to avoid deformation and damage due to heating during thermocompression bonding, and increase the durability of the coating layer 50 .
From the same point of view, the Tg of the polyimide forming the polyimide coating layer 35 is preferably higher than the Tg of the thermoplastic polyimide (described later) forming part of the polyimide film 10 by, for example, 10° C. or more.
Moreover, the polyimide coating layer 35 preferably has a thermal conductivity of less than 0.2 W/m·K from the viewpoint of mitigating the thermal shock to the polyimide film 10 during thermocompression bonding.

また、熱圧着時の温度変化による寸法変化を抑制し、搬送されてくるポリイミドフィルム10に対する追従性を確保するため、被覆層50を構成するポリイミド被覆層35の熱膨張係数Eは、後述するポリイミドフィルム10の全体の熱膨張係数E1に対し、例えば0.5×E≦E1≦1.5×Eの関係になるようにすることが好ましい。 In addition, in order to suppress dimensional changes due to temperature changes during thermocompression bonding and to ensure followability to the polyimide film 10 that is conveyed, the thermal expansion coefficient E of the polyimide coating layer 35 constituting the coating layer 50 is It is preferable that the coefficient of thermal expansion E1 of the film 10 as a whole satisfies, for example, 0.5×E≦E1≦1.5×E.

被覆層50の厚み(本実施の形態では、接着剤層33とポリイミド被覆層35との合計の厚みを意味する)は、特に限定されないが、例えば1~200μmの範囲内であることが好ましく、10~100μmの範囲内であることがより好ましい。厚みの上限は、熱を効率的に伝えるために200μm以下が好ましい。また、後述するように、ポリイミドまたはポリイミド前駆体の樹脂溶液を金属製ロール31の表面に塗布した後熱処理を行って被覆層50を形成する場合には、被覆層50の形成を容易にするため100μm以下がより好ましい。さらに、金属製ロール31の幅方向の温度ばらつきを防止するために、被覆層50の厚みが25μm以下であることが好ましい。厚みの下限は、繰り返し使用に耐えられるように1μm以上が好ましく、5μm以上がより好ましい。 The thickness of the coating layer 50 (meaning the total thickness of the adhesive layer 33 and the polyimide coating layer 35 in the present embodiment) is not particularly limited, but is preferably in the range of 1 to 200 μm, It is more preferably within the range of 10 to 100 μm. The upper limit of the thickness is preferably 200 μm or less for efficient heat transfer. Further, as will be described later, when the coating layer 50 is formed by applying a polyimide or polyimide precursor resin solution to the surface of the metal roll 31 and then performing heat treatment, the coating layer 50 can be easily formed. 100 μm or less is more preferable. Furthermore, in order to prevent temperature variations in the width direction of the metal roll 31, the thickness of the coating layer 50 is preferably 25 μm or less. The lower limit of the thickness is preferably 1 μm or more, more preferably 5 μm or more, so as to withstand repeated use.

フィルム状緩衝材としての被覆層50は、熱圧着時の圧力の偏りを緩和して圧力を均等に配分する作用を有し、ポリイミドフィルム10と金属箔20とを均一に接着させる効果がある。そのため、ポリイミドフィルム10が金属箔20の表面の凹凸にむらなく充填しており、ポリイミドフィルム10と金属箔20とが強固に接着した金属張積層板100を製造できる。 The coating layer 50 as a film-like cushioning material has the effect of alleviating pressure imbalance during thermocompression bonding and evenly distributing the pressure, and has the effect of uniformly bonding the polyimide film 10 and the metal foil 20 . Therefore, the polyimide film 10 evenly fills the irregularities on the surface of the metal foil 20, and the metal-clad laminate 100 in which the polyimide film 10 and the metal foil 20 are strongly bonded can be manufactured.

被覆層50は、少なくとも非熱可塑性ポリイミドを含むフィルムを好ましく用いることができるが、非熱可塑性ポリイミドのみからなるフィルムであってもよいし、必要に応じて他の成分を含有してもよい。他の成分とは、具体的には、非熱可塑性ポリイミド以外の樹脂、被覆層50としての諸特性を改善するための各種添加剤等を挙げることができる。なお、非熱可塑性ポリイミドも複数種類組み合わせて用いられていてもよい。また、フィラー等も含有してもよい。 A film containing at least a non-thermoplastic polyimide can be preferably used for the coating layer 50, but a film consisting of only the non-thermoplastic polyimide may be used, or may contain other components as necessary. Other components specifically include resins other than non-thermoplastic polyimide, various additives for improving various properties of the coating layer 50, and the like. In addition, non-thermoplastic polyimides may also be used in combination. Moreover, a filler or the like may also be contained.

<被覆加圧ロールの製造方法>
金属製ロール31と、この金属製ロール31の表面を周方向に被覆する被覆層50と、を有する加圧ロール30は、例えば、以下の工程a及び工程b;
a)金属製ロール31の表面にポリイミドまたはポリイミド前駆体の樹脂溶液を塗布する工程、
b)金属製ロール31上で樹脂溶液の熱処理を完了させることによって、被覆層50を形成する工程、
を含む方法で製造することができる。
<Manufacturing method of coated pressure roll>
The pressure roll 30 having the metal roll 31 and the coating layer 50 that covers the surface of the metal roll 31 in the circumferential direction, for example, the following steps a and b;
a) a step of applying a resin solution of polyimide or a polyimide precursor to the surface of the metal roll 31;
b) forming the coating layer 50 by completing the heat treatment of the resin solution on the metal roll 31;
It can be manufactured by a method including

工程aでは、金属製ロール31を回転させながら、その表面に樹脂溶液を塗布することが好ましい。樹脂溶液を金属製ロール31上に塗布する方法としては、例えばコーター、スプレーなどの塗布手段を使用いてもよく、金属製ロール31を樹脂溶液に浸漬した後、金属製ロール31を引き上げるディッピング法でもよい。コーター、スプレーなどの塗布手段を用い、樹脂溶液を金属製ロール31の表面に塗布する場合には、塗布手段を金属製ロール31の回転軸方向に相対的に移動させながら樹脂溶液を塗布することがより好ましい。例えば、図3に示すように、塗布手段61の吐出口を金属製ロール31の表面に近接または接触させ、金属製ロール31を回転させながら、かつ吐出口を金属製ロール31の回転軸方向に相対的に移動させながら、吐出口より、金属製ロール31の表面に樹脂溶液63を連続的に供給することが好ましい。ここで、吐出口を「金属製ロール31の回転軸方向に相対的に移動させる」とは、回転している金属製ロール31の一方の端から他方の端に移動させることを意味する。従って、樹脂溶液63は金属製ロール31の表面に螺旋状に塗布される。また、樹脂溶液63を金属製ロール31の表面に塗布した後、樹脂溶液63の厚みの均一化などを目的に熱処理開始前に金属製ロール31を回転させてもよい。 In step a, it is preferable to apply the resin solution to the surface of the metal roll 31 while rotating it. As a method of applying the resin solution onto the metal roll 31, for example, a coating means such as a coater or a spray may be used. good. When the resin solution is applied to the surface of the metal roll 31 using a coating means such as a coater or a sprayer, the resin solution is applied while the coating means is relatively moved in the rotational axis direction of the metal roll 31. is more preferred. For example, as shown in FIG. 3, the ejection port of the coating means 61 is brought close to or in contact with the surface of the metal roll 31, and while the metal roll 31 is rotated, the ejection port is moved in the direction of the rotation axis of the metal roll 31. It is preferable to continuously supply the resin solution 63 to the surface of the metal roll 31 from the discharge port while moving it relatively. Here, "relatively moving the outlet in the direction of the rotation axis of the metal roll 31" means moving from one end of the rotating metal roll 31 to the other end. Therefore, the resin solution 63 is spirally applied to the surface of the metal roll 31 . After applying the resin solution 63 to the surface of the metal roll 31 , the metal roll 31 may be rotated before starting the heat treatment for the purpose of uniforming the thickness of the resin solution 63 .

工程bでは、金属製ロール31上で加熱することにより熱処理を完了させ、被覆層50を形成する。加熱は金属製ロール31をオーブンに入れ全体を加熱してもよく、金属製ロール31表面をヒーターにより熱風を当て加熱してもよい。また、金属製ロール31自体の加熱機構(図示省略)を利用し、金属製ロール31の内部から加熱してもよい。 In step b, the heat treatment is completed by heating on the metal roll 31 to form the coating layer 50 . Heating may be performed by placing the metal roll 31 in an oven to heat the entire surface, or by applying hot air to the surface of the metal roll 31 from a heater. Alternatively, the inside of the metal roll 31 may be heated using a heating mechanism (not shown) of the metal roll 31 itself.

熱処理条件は、被膜層50を構成するポリイミドの化学構造、厚み、面積、樹脂溶液63の溶剤種などに応じて異なるが、最高温度は300℃以上500℃以下の範囲内とすることが好ましい。また、急速に加熱すると、昇温時のアウトガスが発生し、気泡が生じることがあるため、例えば30分以上の時間をかけて最高温度まで昇温することが好ましい。 The heat treatment conditions vary depending on the chemical structure, thickness and area of the polyimide constituting the coating layer 50, the type of solvent of the resin solution 63, etc., but the maximum temperature is preferably in the range of 300° C. or higher and 500° C. or lower. Moreover, rapid heating may generate outgassing at the time of temperature rise and generate air bubbles. Therefore, it is preferable to raise the temperature to the maximum temperature over a period of 30 minutes or longer, for example.

被覆層50を複数のポリイミド層によって構成する場合は、上記工程aと工程bを繰り返してもよいし、工程aを所定回数繰り返したのち、一括して工程bを実施してもよい。 When the coating layer 50 is composed of a plurality of polyimide layers, the above steps a and b may be repeated, or step a may be repeated a predetermined number of times and then step b may be collectively performed.

<被覆加圧ロールの修復方法>
被覆層50は、金属製ロール31の表面に被覆層50を形成する際に気泡、表面荒れ、異物付着等の欠陥が発生しうる。また、被覆層50を有する加圧ロール30の使用、すなわち、金属張積層板100の製造においても同様の欠陥が発生しうる。加圧ロール30の被覆層50に欠陥が発生した場合、その欠陥箇所を修復することができる。被覆層50を有する加圧ロール30の修復は、例えば、以下の工程c及び工程d;
c)被覆層50の表面の少なくとも一部(例えば欠陥部分とその周囲)に、ポリイミドまたはポリイミド前駆体の樹脂溶液を塗布する工程、
d)被覆層50を有する加圧ロール30上で樹脂溶液の熱処理を完了させる工程、
を含むことができる。
<Method for repairing coated pressure roll>
When forming the coating layer 50 on the surface of the metal roll 31, the coating layer 50 may have defects such as air bubbles, surface roughness, and adhesion of foreign substances. Also, similar defects may occur in the use of the pressure roll 30 having the coating layer 50 , that is, in the manufacture of the metal-clad laminate 100 . If a defect occurs in the coating layer 50 of the pressure roll 30, the defect can be repaired. The repair of the pressure roll 30 having the coating layer 50 is performed, for example, by the following steps c and d;
c) applying a polyimide or polyimide precursor resin solution to at least a portion of the surface of the coating layer 50 (e.g., the defective portion and its surroundings);
d) completing the heat treatment of the resin solution on the pressure roll 30 with the coating layer 50;
can include

工程cでは、例えば図4に示すように、シリンジなどの塗布手段61の吐出口を金属製ロール31の表面に近接または接触させ、吐出口より、金属製ロール31の表面に樹脂溶液63を局所的に塗布する。 In step c, for example, as shown in FIG. 4, the ejection port of coating means 61 such as a syringe is brought close to or in contact with the surface of the metal roll 31, and the resin solution 63 is locally applied to the surface of the metal roll 31 from the ejection port. apply evenly.

工程dの熱処理は、被覆加圧ロールの製造方法における工程bと同様に実施できる。 The heat treatment in step d can be carried out in the same manner as in step b in the manufacturing method of the coated pressure roll.

なお、工程cに先立ち、欠陥や欠陥とその周辺の被覆層50を金属製ロール31の表面から除去した後、工程cを行ってもよい。また、工程dの熱処理が完了した後、被覆層50の表面を平滑にするための処理、例えば研磨材による研磨を行ってもよい。 Prior to step c, the step c may be performed after removing the defects and the coating layer 50 therearound from the surface of the metal roll 31 . Further, after the heat treatment in step d is completed, a treatment for smoothing the surface of the coating layer 50, for example, polishing with an abrasive may be performed.

<ポリイミドフィルム>
金属箔20と熱圧着されるポリイミドフィルム10は、単層または複数層のポリイミド層を含み、さらにポリイミド層以外の任意の層を含んでいてもよい。この場合、少なくとも一層が非熱可塑性ポリイミド層であり、かつ、少なくとも金属箔20と熱圧着される側の表面が熱可塑性ポリイミド層であることが好ましい。この場合、金属箔20との接着性を確保するため、熱可塑性ポリイミドのガラス転移温度(Tg)は、200~350℃の範囲内であることが好ましく、280~320℃の範囲内がより好ましくい。
<Polyimide film>
The polyimide film 10 to be thermocompression-bonded to the metal foil 20 includes a single-layer or multiple-layer polyimide layer, and may include any layer other than the polyimide layer. In this case, it is preferable that at least one layer is a non-thermoplastic polyimide layer, and at least the surface of the metal foil 20 that is thermocompression bonded is a thermoplastic polyimide layer. In this case, in order to ensure adhesion with the metal foil 20, the glass transition temperature (Tg) of the thermoplastic polyimide is preferably within the range of 200 to 350°C, more preferably within the range of 280 to 320°C. stomach.

ポリイミドフィルム10の厚みは、金属張積層板100を加工して得られるFPC等の回路基板の薄型化を実現する観点から、例えば、1~150μmの範囲内が好ましく、2~100μmの範囲内がより好ましい。ポリイミドフィルム10の厚みが1μm未満では、電気的絶縁性などの機能が損なわれるおそれがある。ポリイミドフィルム10の厚みが150μmを超えると、FPC等の回路基板の薄型化が困難になる。 The thickness of the polyimide film 10 is, for example, preferably in the range of 1 to 150 μm, more preferably in the range of 2 to 100 μm, from the viewpoint of realizing a thinner circuit board such as an FPC obtained by processing the metal-clad laminate 100. more preferred. If the thickness of the polyimide film 10 is less than 1 μm, functions such as electrical insulation may be impaired. When the thickness of the polyimide film 10 exceeds 150 μm, it becomes difficult to reduce the thickness of circuit boards such as FPCs.

ポリイミドフィルム10の全体の熱膨張係数は、金属箔20の熱膨張係数に出来るだけ近似していることが好ましい。ポリイミドフィルム10の熱膨張係数を金属箔20の熱膨張係数に近づけることによって、FPCの加工プロセスにおける反りの発生などを抑制できる。このような観点から、金属張積層板100において、ポリイミドフィルム10の全体の熱膨張係数E1と、金属箔20の熱膨張係数E2とが、例えば0.7×E1≦E2≦1.1×E1の関係になるようにすることが好ましい。 It is preferable that the thermal expansion coefficient of the entire polyimide film 10 approximates that of the metal foil 20 as closely as possible. By bringing the coefficient of thermal expansion of the polyimide film 10 close to that of the metal foil 20, it is possible to suppress the occurrence of warping during the processing of the FPC. From this point of view, in the metal-clad laminate 100, the coefficient of thermal expansion E1 of the entire polyimide film 10 and the coefficient of thermal expansion E2 of the metal foil 20 are, for example, 0.7×E1≦E2≦1.1×E1. It is preferable to have a relationship of

また、ポリイミドフィルム10は、ポリイミド層以外に、任意の層を含む積層構造体の形態であってもよい。任意の層としては、例えば、基材、剥離フィルムなどを挙げることができる。ポリイミドフィルム10の好ましい態様として、図5に示すように、基材71と、該基材71に積層形成されたポリイミド層73と、を含む積層構造を有するポリイミドフィルム10Aを挙げることができる。ここで、基材71としては、例えば銅箔などの金属箔を挙げることができる。基材71が銅箔である場合、ポリイミドフィルム10Aは、片面CCLである。ポリイミドフィルム10Aとして片面CCLを用いることによって、高密度配線が可能な両面回路基板に用いられる両面CCL(両面銅張積層板)が製造可能となるため、特に有利である。また、ポリイミドフィルム10Aとして片面CCLを用いる場合、片面CCLの銅箔層側に被覆層50を有する加圧ロール30が圧接するように配置することが好ましい。加圧ロール30の被覆層50が介在するため、基材71としての銅箔に過剰な熱履歴が加わることを回避できるためである。また、片面CCLの銅箔層側に被覆層50を有する加圧ロール30が圧接するように配置することによって、加圧ロール30が、基材71としての銅箔と密着することを防止し、搬送性を維持することができ、銅箔の微小サイズの欠陥を防止することができる。 Moreover, the polyimide film 10 may be in the form of a laminated structure containing arbitrary layers other than the polyimide layer. Optional layers include, for example, a substrate and a release film. A preferred embodiment of the polyimide film 10 is a polyimide film 10A having a laminated structure including a substrate 71 and a polyimide layer 73 laminated on the substrate 71, as shown in FIG. Here, as the base material 71, for example, a metal foil such as a copper foil can be used. When the base material 71 is copper foil, the polyimide film 10A is single-sided CCL. The use of a single-sided CCL as the polyimide film 10A is particularly advantageous because it enables the manufacture of a double-sided CCL (double-sided copper-clad laminate) used for a double-sided circuit board capable of high-density wiring. Further, when a single-sided CCL is used as the polyimide film 10A, it is preferable that the pressure roll 30 having the coating layer 50 is placed in pressure contact with the copper foil layer side of the single-sided CCL. This is because the coating layer 50 of the pressure roll 30 intervenes, so that the copper foil as the base material 71 can be prevented from being subjected to excessive heat history. In addition, by arranging the pressure roll 30 having the coating layer 50 on the copper foil layer side of the single-sided CCL so as to be in pressure contact, the pressure roll 30 is prevented from coming into close contact with the copper foil as the base material 71, Transportability can be maintained, and micro-sized defects in the copper foil can be prevented.

また、ポリイミドフィルム10Aとしての片面CCLは、基材71上に、ポリイミドまたはポリイミド前駆体の樹脂溶液を塗布し、乾燥させた後、熱処理を行うことによってポリイミド層73を形成するキャスト法によって製造された片面CCLであることが好ましい。また、ポリイミド層73は、単層のみから形成されるものでもよいが、ポリイミド層73と銅箔との接着性及び寸法安定性を考慮すると複数層からなるものが好ましい。ポリイミド層73を複数層とする場合、ポリイミドまたはポリイミド前駆体の樹脂溶液の上に、異なる構成成分からなる他のポリイミドまたはポリイミド前駆体の樹脂溶液を順次塗布して形成することができる。ポリイミド層73が複数層からなる場合、同一の構成の樹脂溶液を2回以上使用してもよい。また、キャスト法によって製造された片面CCLは寸法安定性に優れる有利な実施形態であり、さらに片面CCLの銅箔層側にのみに被覆層50を配置することによって、熱圧着時における寸法変化率を低く抑えることができる。なお、ポリイミドフィルム10Aとして片面CCLを用いる場合、得られる金属張積層板100Aは両面CCL(両面銅張積層板)となる。 The single-sided CCL as the polyimide film 10A is manufactured by a casting method in which a resin solution of polyimide or a polyimide precursor is applied onto the substrate 71, dried, and then heat-treated to form the polyimide layer 73. A single-sided CCL is preferred. Also, the polyimide layer 73 may be formed of only a single layer, but it is preferable that it be formed of multiple layers in consideration of the adhesiveness and dimensional stability between the polyimide layer 73 and the copper foil. When the polyimide layer 73 is formed as a plurality of layers, it can be formed by sequentially applying other polyimides or polyimide precursor resin solutions having different components on a polyimide or polyimide precursor resin solution. When the polyimide layer 73 is composed of multiple layers, the same resin solution may be used two or more times. In addition, the single-sided CCL manufactured by the casting method is an advantageous embodiment with excellent dimensional stability. can be kept low. When using a single-sided CCL as the polyimide film 10A, the metal-clad laminate 100A obtained is a double-sided CCL (double-sided copper-clad laminate).

片面CCLにおけるポリイミド層73を非熱可塑性ポリイミド層と熱可塑性ポリイミド層との積層構造とした場合、好ましくは、非熱可塑性ポリイミド層と熱可塑性ポリイミド層との厚さ比(非熱可塑性ポリイミド層/熱可塑性ポリイミド層)が1.5~10.0の範囲内であることがよい。この比の値が、1.5に満たないとポリイミド層73全体に対する非熱可塑性ポリイミド層が薄くなるため、銅箔をエッチングした際の寸法変化率が大きくなりやすく、10.0を超えると熱可塑性ポリイミド層が薄くなるため、ポリイミド層73と銅箔との接着信頼性が低下しやすくなる。 When the polyimide layer 73 in the single-sided CCL has a laminated structure of a non-thermoplastic polyimide layer and a thermoplastic polyimide layer, the thickness ratio of the non-thermoplastic polyimide layer and the thermoplastic polyimide layer (non-thermoplastic polyimide layer/ thermoplastic polyimide layer) is preferably in the range of 1.5 to 10.0. If the value of this ratio is less than 1.5, the non-thermoplastic polyimide layer becomes thin with respect to the entire polyimide layer 73, so the dimensional change rate when etching the copper foil tends to increase. Since the plastic polyimide layer becomes thin, the adhesion reliability between the polyimide layer 73 and the copper foil tends to be lowered.

<金属箔>
金属箔20の金属として、例えば、銅、アルミニウム、ステンレス、鉄、銀、パラジウム、ニッケル、クロム、モリブデン、タングステン、ジルコニウム、金、コバルト、チタン、タンタル、亜鉛、鉛、錫、シリコン、ビスマス、インジウム又はこれらの合金などから選択される金属を挙げることができる。導電性の点で特に好ましいものは銅又は銅合金の金属箔である。金属張積層板100,100Aを連続的に生産するために、所定の厚さのものがロール状に巻き取られた長尺状の金属箔20が用いられる。
<Metal foil>
Examples of metals for the metal foil 20 include copper, aluminum, stainless steel, iron, silver, palladium, nickel, chromium, molybdenum, tungsten, zirconium, gold, cobalt, titanium, tantalum, zinc, lead, tin, silicon, bismuth, and indium. Alternatively, metals selected from these alloys can be used. A metal foil of copper or a copper alloy is particularly preferable in terms of conductivity. In order to continuously produce the metal-clad laminates 100 and 100A, a long metal foil 20 having a predetermined thickness wound into a roll is used.

金属箔20のポリイミドフィルム10と直接接する面の表面粗さは、例えばRzで0.1~7μmであることが好ましい。この範囲であれば、ポリイミドフィルム10との接着力が十分に良好となるためである。さらには、Rzが0.3~3.0μmであれば、より好ましい。ここで、Rzは、JIS B 0601(1994)に規定される十点平均粗さを示す。 The surface roughness of the surface of the metal foil 20 that is in direct contact with the polyimide film 10 is preferably, for example, 0.1 to 7 μm in terms of Rz. This is because within this range, the adhesive strength with the polyimide film 10 is sufficiently good. Furthermore, it is more preferable if Rz is 0.3 to 3.0 μm. Here, Rz indicates the ten-point average roughness specified in JIS B 0601 (1994).

<熱圧着条件>
加圧ロール30,40の加熱方法は、所定の温度で加熱することができるものであれば特に限定されず、例えば、熱媒循環方式、熱風加熱方式、誘電加熱方式等が挙げられる。加圧方式についても所定の圧力を加えることができるものであれば特に限定されず、例えば、油圧方式、空気圧方式、ギャップ間圧力方式等が挙げられる。
<Thermal compression bonding conditions>
A heating method for the pressure rolls 30 and 40 is not particularly limited as long as it can be heated at a predetermined temperature. The pressurization method is not particularly limited as long as it can apply a predetermined pressure, and examples thereof include a hydraulic method, an air pressure method, and a gap pressure method.

加圧ロール30,40によるポリイミドフィルム10と金属箔20との熱圧着時の圧力は特に限定されないが、例えば0.1~50MPaの範囲内が好ましい。 The pressure during thermocompression bonding between the polyimide film 10 and the metal foil 20 by the pressure rolls 30 and 40 is not particularly limited, but is preferably in the range of 0.1 to 50 MPa, for example.

また、熱圧着時の温度は、例えば280℃以上が好ましく、より好ましくは300~400℃の範囲内である。 The temperature during thermocompression bonding is preferably 280.degree. C. or higher, more preferably within the range of 300.degree.

[第2の実施の形態]
図6は、本発明の第2の実施の形態に係る金属張積層板の製造方法の説明図である。本実施の形態では、フィルム状緩衝材が環状に形成されている。つまり、本実施の形態では、環状ポリイミドフィルム50Aを、一対の金属製の加圧ロール40A,40Bのうち、少なくとも片側の加圧ロール40Aの外周に配置し、これをフィルム状緩衝材とする。ここで、「環状」には円筒状も含まれる。図6では、他方の加圧ロール40Bの側にはフィルム状緩衝材を配置していないが、加圧ロール40A,40Bの両方をフィルム状緩衝材によって被覆した状態で熱圧着を行ってもよい。
[Second embodiment]
FIG. 6 is an explanatory diagram of a method for manufacturing a metal-clad laminate according to the second embodiment of the present invention. In this embodiment, the film-like cushioning material is formed in an annular shape. That is, in the present embodiment, the annular polyimide film 50A is arranged on the outer periphery of at least one pressure roll 40A of the pair of metal pressure rolls 40A and 40B, and this is used as a film cushioning material. Here, "annular" includes a cylindrical shape. In FIG. 6, the film-like cushioning material is not arranged on the side of the other pressure roll 40B, but the thermocompression bonding may be performed in a state in which both the pressure rolls 40A and 40B are covered with the film-like cushioning material. .

環状ポリイミドフィルム50Aの内径は、加圧ロール40Aの外径より大きく形成されており、片側の加圧ロール40Aと、ガイドロール80A,80Bによって回転可能に形成されている。環状ポリイミドフィルム50Aを、加圧ロール40Aの回転方向と同方向に回転させることによって、加圧ロール40Aの圧迫面を、加圧ロール40Aと同期して移動可能な環状ポリイミドフィルム50Aによって被覆した状態で熱圧着を行うことができる。なお、ガイドロールは2つに限らず、1つ、または3つ以上配置してもよい。 The inner diameter of the annular polyimide film 50A is larger than the outer diameter of the pressure roll 40A, and is rotatable by the pressure roll 40A on one side and the guide rolls 80A and 80B. By rotating the annular polyimide film 50A in the same direction as the rotation direction of the pressure roll 40A, the pressing surface of the pressure roll 40A is covered with the annular polyimide film 50A movable in synchronization with the pressure roll 40A. Thermal compression bonding can be performed at The number of guide rolls is not limited to two, and one or three or more may be arranged.

上記のとおり、環状ポリイミドフィルム50Aの内径は、加圧ロール40Aの外径より大きいため、環状ポリイミドフィルム50Aは加圧ロール40Aに固定されていない。ポリイミドは吸湿特性があり、環状ポリイミドフィルム50Aに含まれる水分が熱圧着時に急激に揮発し、これが金属張積層板100の外観不良を引き起こす懸念がある。環状ポリイミドフィルム50Aの内径が加圧ロール40Aの外径より十分に大きい場合は、環状ポリイミドフィルム50Aが熱圧着面に達する前に、加圧ロール40Aの一部を被覆するように接触させて予熱することが可能になるため、環状ポリイミドフィルム50Aに含まれる水分を低減することができる。環状ポリイミドフィルム50Aが加圧ロール40Aに接する時間は1秒以上とすることが好ましい。 As described above, since the inner diameter of the annular polyimide film 50A is larger than the outer diameter of the pressure roll 40A, the annular polyimide film 50A is not fixed to the pressure roll 40A. Polyimide has a hygroscopic property, and there is concern that moisture contained in the annular polyimide film 50A may rapidly volatilize during thermocompression bonding, causing the appearance of the metal-clad laminate 100 to be poor. When the inner diameter of the annular polyimide film 50A is sufficiently larger than the outer diameter of the pressure roll 40A, before the annular polyimide film 50A reaches the thermocompression bonding surface, the pressure roll 40A is partially covered and preheated. Therefore, the water contained in the annular polyimide film 50A can be reduced. It is preferable that the time for which the annular polyimide film 50A is in contact with the pressure roll 40A is 1 second or longer.

環状ポリイミドフィルム50Aの厚みは、特に限定されないが、例えば1~200μmの範囲内であることが好ましく、10~100μmの範囲内であることがより好ましい。厚みの上限は、熱を効率的に伝えるために200μm以下が好ましく、加圧ロール40Aの幅方向の温度ばらつきを防止するためには25μm以下が好ましい。厚みの下限は、繰り返し使用に耐えられるように1μm以上が好ましく、5μm以上がより好ましい。 Although the thickness of the cyclic polyimide film 50A is not particularly limited, it is preferably in the range of 1 to 200 μm, more preferably in the range of 10 to 100 μm . The upper limit of the thickness is preferably 200 μm or less in order to efficiently conduct heat, and is preferably 25 μm or less in order to prevent temperature variations in the width direction of the pressure roll 40A. The lower limit of the thickness is preferably 1 μm or more, more preferably 5 μm or more, so as to withstand repeated use.

環状ポリイミドフィルム50Aは、例えば、円柱状若しくは円筒状の離型材の表面に、ポリイミドまたはポリイミド前駆体の樹脂溶液を塗布し、離型材上で樹脂溶液の熱処理を完了させた後、離型材から剥離することによって製造することができる。離型材への樹脂溶液の塗布方法や熱処理条件は、被覆加圧ロールの製造方法における工程a、bに準じて実施できる。 For the annular polyimide film 50A, for example, a resin solution of polyimide or a polyimide precursor is applied to the surface of a cylindrical or cylindrical release material, the resin solution is completely heat-treated on the release material, and then peeled off from the release material. It can be manufactured by The method of applying the resin solution to the release material and the heat treatment conditions can be carried out according to the steps a and b in the method of manufacturing the coated pressure roll.

環状ポリイミドフィルム50Aは、単層または複数層のポリイミド層を含んでいてもよい。この場合、少なくとも一層が非熱可塑性ポリイミドであり、かつ、少なくとも加圧ロール40Aと接する側の表面(内周面)が熱可塑性ポリイミド層であることが好ましい。つまり、環状ポリイミドフィルム50Aは、接着性の高い熱可塑性ポリイミド層を用いて金属製の加圧ロール40Aの表面と密着しやすくしてもよい。 The annular polyimide film 50A may include a single or multiple polyimide layers. In this case, it is preferable that at least one layer is a non-thermoplastic polyimide layer, and at least the surface (inner peripheral surface) in contact with the pressure roll 40A is a thermoplastic polyimide layer. In other words, the annular polyimide film 50A may be easily adhered to the surface of the metal pressure roll 40A by using a highly adhesive thermoplastic polyimide layer.

一方、環状ポリイミドフィルム50Aにおいて、ポリイミドフィルム10と直接接触させる側の表面(外周面)は、非熱可塑性ポリイミドからなることが好ましい。ポリイミドフィルム10と直接接触する表面を非熱可塑性ポリイミド層によって形成することにより、環状ポリイミドフィルム50Aがポリイミドフィルム10に部分的に熱融着することによる、しわ、しみ等の外観異常の発生を防止できる。環状ポリイミドフィルム50Aにおける非熱可塑性ポリイミド層を構成するポリイミドは、例えばガラス転移温度(Tg)が300℃以上の耐熱性を有するポリイミドであることが好ましい。Tgが300℃以上のポリイミドを用いることによって、熱圧着時の加熱による変形や損傷を回避し、環状ポリイミドフィルム50Aの耐久性を高めることができる。
また、同様の観点から、環状ポリイミドフィルム50Aにおける非熱可塑性ポリイミド層のTgは、ポリイミドフィルム10の一部分を構成する熱可塑性ポリイミド(後述)のTgよりも、例えば10℃以上高いことが好ましい。
On the other hand, in the annular polyimide film 50A, the surface (peripheral surface) of the side that is in direct contact with the polyimide film 10 is preferably made of non-thermoplastic polyimide. By forming the surface in direct contact with the polyimide film 10 with a non-thermoplastic polyimide layer, it is possible to prevent appearance abnormalities such as wrinkles and stains due to partial heat-sealing of the annular polyimide film 50A to the polyimide film 10. can. The polyimide constituting the non-thermoplastic polyimide layer in the cyclic polyimide film 50A is preferably a heat-resistant polyimide having a glass transition temperature (Tg) of 300° C. or higher, for example. By using a polyimide having a Tg of 300° C. or more, it is possible to avoid deformation and damage due to heat during thermocompression bonding, and increase the durability of the annular polyimide film 50A.
Also, from the same point of view, the Tg of the non-thermoplastic polyimide layer in the annular polyimide film 50A is preferably higher than the Tg of the thermoplastic polyimide (described later) forming part of the polyimide film 10 by, for example, 10° C. or more.

また、熱圧着時の温度変化による寸法変化を抑制し、搬送されてくるポリイミドフィルム10に対する精密な追従性を確保するため、環状ポリイミドフィルム50Aの全体の熱膨張係数E3は、後述するポリイミドフィルム10の全体の熱膨張係数E1に対し、例えば0.5×E3≦E1≦1.5×E3の関係になるようにすることが好ましい。 In addition, in order to suppress dimensional changes due to temperature changes during thermocompression bonding and to ensure precise followability to the polyimide film 10 being conveyed, the thermal expansion coefficient E3 of the entire annular polyimide film 50A is It is preferable to satisfy the relationship of, for example, 0.5×E3≦E1≦1.5×E3 with respect to the thermal expansion coefficient E1 of the whole.

また、環状ポリイミドフィルム50Aとして、環状のCCLなどの環状金属張積層板を使用してもよい。環状ポリイミドフィルム50Aとして環状金属張積層板を用いることによって、ハンドリング性が向上するとともに、耐久性を高めることができる。環状ポリイミドフィルム50Aとして使用する環状金属張積層板としては、耐久性の観点から、キャスト法によって製造された環状金属張積層板であることが好ましい。 A ring-shaped metal-clad laminate such as a ring-shaped CCL may also be used as the ring-shaped polyimide film 50A. By using a ring-shaped metal-clad laminate as the ring-shaped polyimide film 50A, handleability and durability can be improved. From the viewpoint of durability, the annular metal-clad laminate used as the annular polyimide film 50A is preferably an annular metal-clad laminate produced by a casting method.

フィルム状緩衝材としての環状ポリイミドフィルム50Aは、熱圧着時の圧力を緩和するとともに均等に配分する作用を有し、ポリイミドフィルム10と金属箔20とを均一に接着させる効果がある。 The annular polyimide film 50A as a film-like cushioning material has the effect of relieving and evenly distributing the pressure during thermocompression bonding, and has the effect of uniformly bonding the polyimide film 10 and the metal foil 20 together.

本実施の形態における他の構成及び効果は、第1の実施の形態と同様である。なお、本実施の形態においても、変形例として、図7に示すように、ポリイミドフィルム10に替えて、積層構造を有するポリイミドフィルム10Aを用いることによって、金属張積層板100Aを製造できる。 Other configurations and effects in this embodiment are the same as those in the first embodiment. Also in this embodiment, as a modification, metal-clad laminate 100A can be manufactured by using polyimide film 10A having a laminated structure instead of polyimide film 10, as shown in FIG.

環状ポリイミドフィルム50Aは、熱圧着前に予め加熱して水分を低減しておくことが好ましい。例えば、環状ポリイミドフィルム50Aを構成するポリイミドは吸湿特性があり、これに伴う含有する水分が熱圧着時に揮発し、特にポリイミドフィルム10Aの場合には、片面CCL側における銅箔の外観不良を引き起こす懸念がある。熱圧着の際、環状ポリイミドフィルム50Aを用いる場合は、挿入角を大きくするなどして熱圧着面に達する前の加圧ロール40Aと接触させる時間をとっておくことにより、環状ポリイミドフィルム50Aを加圧ロール40Aの一部を覆うように接触させ、環状ポリイミドフィルム50Aを予め加熱することが可能となる。このとき、加圧ロール40Aに環状ポリイミドフィルム50Aが接する時間は、1秒以上とすることが好ましい。 It is preferable that the annular polyimide film 50A is preheated to reduce the water content before the thermocompression bonding. For example, the polyimide that constitutes the annular polyimide film 50A has a hygroscopic property, and the accompanying moisture volatilizes at the time of thermocompression bonding. There is When the annular polyimide film 50A is used for thermocompression bonding, the annular polyimide film 50A is heated by increasing the angle of insertion, for example, to allow time for contact with the pressure roll 40A before reaching the thermocompression bonding surface. It is possible to preheat the annular polyimide film 50A by contacting it so as to cover a part of the pressure roll 40A. At this time, the contact time of the annular polyimide film 50A with the pressure roll 40A is preferably 1 second or longer.

[第3の実施の形態]
図8は、本発明の第3の実施の形態に係る金属張積層板の製造方法の説明図である。本実施の形態では、フィルム状緩衝材が長尺に形成されており、ロール・トゥ・ロール式に搬送される構成となっている。つまり、本実施の形態では、長尺状ポリイミドフィルム50Bを一対の金属製の加圧ロール40A,40Bのうち、少なくとも片側の加圧ロール40Aとポリイミドフィルム10との間に配置し、これをフィルム状緩衝材とする。図8では、他方の加圧ロール40Bの側にはフィルム状緩衝材を配置していないが、加圧ロール40A,40Bの両方をフィルム状緩衝材によって被覆した状態で熱圧着を行ってもよい。
[Third Embodiment]
FIG. 8 is an explanatory diagram of a method for manufacturing a metal-clad laminate according to the third embodiment of the present invention. In this embodiment, the film-like cushioning material is formed in a long length and is transported in a roll-to-roll manner. That is, in the present embodiment, the long polyimide film 50B is arranged between the pressure roll 40A on at least one side of the pair of metal pressure rolls 40A and 40B and the polyimide film 10. cushioning material. In FIG. 8, the film-like cushioning material is not arranged on the side of the other pressure roll 40B, but the thermocompression bonding may be performed in a state in which both the pressure rolls 40A and 40B are covered with the film-like cushioning material. .

長尺状ポリイミドフィルム50Bは、加圧ロール40Aと、巻出ロール90Aと巻取ロール90Bとによって搬送可能に形成されている。長尺状ポリイミドフィルム50Bを、加圧ロール40Aの回転方向と同方向に搬送させることによって、加圧ロール40Aの圧迫面を、加圧ロール40Aと同期して移動可能な長尺状ポリイミドフィルム50Bによって被覆した状態で熱圧着を行うことができる。なお、加圧ロール40Aに対する接触時の角度及び離間時の角度を調節するため、任意に1つ以上のガイドロールを設けてもよい。 The long polyimide film 50B is formed so as to be transportable by the pressure roll 40A, the unwind roll 90A, and the winding roll 90B. The long polyimide film 50B is transported in the same direction as the rotation direction of the pressure roll 40A so that the pressing surface of the pressure roll 40A can move in synchronization with the pressure roll 40A. Thermocompression bonding can be performed in a state covered by. In addition, one or more guide rolls may optionally be provided in order to adjust the angle at the time of contact with the pressure roll 40A and the angle at the time of separation.

上記のとおり、長尺状ポリイミドフィルム50Bは、加圧ロール40Aに固定されていない。第2の実施の形態における環状ポリイミドフィルム50Aの場合と同様に、加圧ロール40Aと同速度で搬送される長尺状ポリイミドフィルム50Bは、熱圧着面に達する前に、加圧ロール40Aの一部を被覆するように接触させて予熱することが可能になるため、長尺状ポリイミドフィルム50Bに含まれる水分を低減することができる。長尺状ポリイミドフィルム50Bが加圧ロール40Aに接する時間は1秒以上とすることが好ましい。 As described above, the long polyimide film 50B is not fixed to the pressure roll 40A. As in the case of the annular polyimide film 50A in the second embodiment, the long polyimide film 50B, which is conveyed at the same speed as the pressure roll 40A, reaches one of the pressure rolls 40A before reaching the thermocompression bonding surface. Since it is possible to preheat by contacting the part so as to cover it, the moisture contained in the long polyimide film 50B can be reduced. It is preferable that the long polyimide film 50B is in contact with the pressure roll 40A for 1 second or longer.

長尺状ポリイミドフィルム50Bの厚みは、特に限定されないが、例えば1~200μmの範囲内であることが好ましく、10~100μmの範囲内であることがより好ましい。厚みの上限は、熱を効率的に伝えるために200μm以下が好ましく、加圧ロール40Aの幅方向の温度ばらつきを防止するためには25μm以下が好ましい。厚みの下限は、繰り返し使用に耐えられるように1μm以上が好ましく、5μm以上がよりに好ましい。 Although the thickness of the long polyimide film 50B is not particularly limited, it is preferably in the range of 1 to 200 μm, more preferably in the range of 10 to 100 μm . The upper limit of the thickness is preferably 200 μm or less in order to efficiently conduct heat, and is preferably 25 μm or less in order to prevent temperature variations in the width direction of the pressure roll 40A. The lower limit of the thickness is preferably 1 μm or more, more preferably 5 μm or more, so as to withstand repeated use.

長尺状ポリイミドフィルム50Bは、単層または複数層のポリイミド層を含んでいてもよい。この場合、少なくとも一層が非熱可塑性ポリイミドであり、かつ、少なくとも加圧ロール40Aと接する側の表面が熱可塑性ポリイミド層であることが好ましい。つまり、長尺状ポリイミドフィルム50Bは、接着性の高い熱可塑性ポリイミド層を用いて金属製の加圧ロール40Aの表面と密着しやすくしてもよい。 The long polyimide film 50B may include a single or multiple polyimide layers. In this case, it is preferable that at least one layer is a non-thermoplastic polyimide layer, and at least the surface that contacts the pressure roll 40A is a thermoplastic polyimide layer. In other words, the elongated polyimide film 50B may be easily adhered to the surface of the metal pressure roll 40A by using a highly adhesive thermoplastic polyimide layer.

一方、長尺状ポリイミドフィルム50Bにおいて、ポリイミドフィルム10と直接接触させる側の表面は、非熱可塑性ポリイミドからなることが好ましい。ポリイミドフィルム10と直接接触する表面を非熱可塑性ポリイミド層によって形成することにより、長尺状ポリイミドフィルム50Bがポリイミドフィルム10に部分的に融着することによるしわ、しみ等の外観異常の発生を防止できる。長尺状ポリイミドフィルム50Bにおける非熱可塑性ポリイミド層を構成するポリイミドは、例えばガラス転移温度(Tg)が300℃以上の耐熱性を有するポリイミドであることが好ましい。Tgが300℃以上のポリイミドを用いることによって、熱圧着時の加熱による変形や損傷を回避し、長尺状ポリイミドフィルム50Bの耐久性を高めることができる。
また、同様の観点から、長尺状ポリイミドフィルム50Bにおける非熱可塑性ポリイミド層のTgは、ポリイミドフィルム10の一部分を構成する熱可塑性ポリイミド(後述)のTgよりも、例えば10℃以上高いことが好ましい。
On the other hand, it is preferable that the surface of the long polyimide film 50B that is in direct contact with the polyimide film 10 is made of non-thermoplastic polyimide. By forming the surface in direct contact with the polyimide film 10 with a non-thermoplastic polyimide layer, it is possible to prevent appearance abnormalities such as wrinkles and stains due to partial fusion of the long polyimide film 50B to the polyimide film 10. can. The polyimide constituting the non-thermoplastic polyimide layer in the elongated polyimide film 50B is preferably a heat-resistant polyimide with a glass transition temperature (Tg) of 300° C. or higher, for example. By using polyimide with a Tg of 300° C. or more, deformation and damage due to heat during thermocompression bonding can be avoided, and the durability of the long polyimide film 50B can be increased.
Also, from the same point of view, the Tg of the non-thermoplastic polyimide layer in the long polyimide film 50B is preferably higher than the Tg of the thermoplastic polyimide (described later) that constitutes a part of the polyimide film 10 by, for example, 10° C. or more. .

また、熱圧着時の温度変化による寸法変化を抑制し、搬送されてくるポリイミドフィルム10に対する精密な追従性を確保するため、長尺状ポリイミドフィルム50Bの全体の熱膨張係数E4は、後述するポリイミドフィルム10の全体の熱膨張係数E1に対し、例えば0.5×E4≦E1≦1.3×E4の関係になるようにすることが好ましい。 In addition, in order to suppress dimensional changes due to temperature changes during thermocompression bonding and to ensure precise followability to the polyimide film 10 being conveyed, the thermal expansion coefficient E4 of the entire long polyimide film 50B is set to polyimide to be described later. It is preferable that the coefficient of thermal expansion E1 of the film 10 as a whole satisfies, for example, 0.5×E4≦E1≦1.3×E4.

長尺状ポリイミドフィルム50Bとして、例えば東レ・デュポン社製のカプトンV(商品名)、宇部興産社製のユーピレックスS(商品名)などの市販のポリイミドフィルムを使用してもよい。 As the long polyimide film 50B, commercially available polyimide films such as Kapton V (trade name) manufactured by Toray DuPont and Upilex S (trade name) manufactured by Ube Industries, Ltd. may be used.

また、長尺状ポリイミドフィルム50Bとして、長尺なCCLなどの金属張積層板を使用してもよい。長尺状ポリイミドフィルム50Bとして金属張積層板を用いることによって、ハンドリング性が向上するとともに、耐久性を高めることができる。長尺状ポリイミドフィルム50Bとして使用する金属張積層板としては、耐久性、厚み均一性の観点から、キャスト法によって製造された金属張積層板であることが好ましい。 Also, a long metal-clad laminate such as CCL may be used as the long polyimide film 50B. By using a metal-clad laminate as the elongated polyimide film 50B, it is possible to improve handling properties and durability. The metal-clad laminate used as the long polyimide film 50B is preferably a metal-clad laminate manufactured by a casting method from the viewpoint of durability and thickness uniformity.

フィルム状緩衝材としての長尺状ポリイミドフィルム50Bは、熱圧着時の圧力を緩和するとともに均等に配分する作用を有し、ポリイミドフィルム10と金属箔20とを均一に接着させる効果がある。 The long polyimide film 50B as a film-like cushioning material has the effect of relieving and evenly distributing the pressure during thermocompression bonding, and has the effect of uniformly bonding the polyimide film 10 and the metal foil 20 together.

本実施の形態における他の構成及び効果は、第1及び第2の実施の形態と同様である。なお、本実施の形態においても、変形例として、図9に示すように、ポリイミドフィルム10に替えて、積層構造を有するポリイミドフィルム10Aを用いることによって、金属張積層板100Aを製造できる。 Other configurations and effects in this embodiment are the same as those in the first and second embodiments. Also in this embodiment, as a modification, metal-clad laminate 100A can be manufactured by using polyimide film 10A having a laminated structure instead of polyimide film 10, as shown in FIG.

長尺状ポリイミドフィルム50Bは、熱圧着前に予め加熱して水分を低減しておくことが好ましい。例えば、長尺状ポリイミドフィルム50Bを構成するポリイミドは吸湿特性があり、これに伴う含有する水分が熱圧着時に揮発し、特にポリイミドフィルム10Aの場合には、片面CCL側における銅箔の外観不良を引き起こす懸念がある。熱圧着の際、長尺状ポリイミドフィルム50Bを用いる場合は、挿入角を大きくするなどして熱圧着面に達する前の加圧ロール40Aと接触させる時間をとっておくことにより、長尺状ポリイミドフィルム50Bを加圧ロール40Aの一部を覆うように接触させ、長尺状ポリイミドフィルム50Bを予め加熱することが可能となる。このとき、加圧ロール40Aに長尺状ポリイミドフィルム50Bが接する時間は、1秒以上とすることが好ましい。 It is preferable that the elongated polyimide film 50B is preheated to reduce the water content before the thermocompression bonding. For example, the polyimide that constitutes the long polyimide film 50B has a hygroscopic property, and the moisture contained accompanying this evaporates during thermocompression bonding. There are concerns that arise. When the long polyimide film 50B is used for thermocompression bonding, the long polyimide film 50B is allowed to contact with the pressure roll 40A before reaching the thermocompression bonding surface by, for example, increasing the insertion angle. The long polyimide film 50B can be heated in advance by contacting the film 50B so as to partially cover the pressure roll 40A. At this time, the length of time that the long polyimide film 50B is in contact with the pressure roll 40A is preferably 1 second or longer.

以上、第1~第3の実施の形態で得られる金属張積層板100,100Aは、ポリイミドフィルム10,10Aが金属箔20の表面の凹凸にむらなく充填しているとともに、ポリイミドフィルム10,10Aと金属箔20とが強固に接着したものとなる。ポリイミドフィルム10,10Aと金属箔20との接着強度(剥離強度)は、ポリイミドフィルム10,10Aを構成するポリイミドの原料モノマーの種類や比率、熱処理条件などによって制御できる。 As described above, in the metal-clad laminates 100 and 100A obtained in the first to third embodiments, the polyimide films 10 and 10A evenly fill the irregularities on the surface of the metal foil 20, and the polyimide films 10 and 10A and the metal foil 20 are strongly bonded. The adhesive strength (peel strength) between the polyimide films 10 and 10A and the metal foil 20 can be controlled by the type and ratio of raw material monomers of polyimide constituting the polyimide films 10 and 10A, heat treatment conditions, and the like.

[ポリイミド]
次に、上記第1~第3の実施の形態において、ポリイミドフィルム10,10A、被覆層50、環状ポリイミドフィルム50A又は長尺状ポリイミドフィルム50Bの一部分もしくは全体を構成するポリイミドについて説明する。ポリイミドは、前駆体であるポリアミド酸をイミド化してなるものであり、特定の酸無水物とジアミン化合物とを反応させて製造されるので、酸無水物とジアミン化合物を説明することにより、ポリイミドの具体例が理解される。なお、本発明でポリイミドという場合、ポリイミドの他、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリエステルイミド、ポリシロキサンイミド、ポリベンズイミダゾールイミドなど、分子構造中にイミド基を有するポリマーからなる樹脂を意味する。
[Polyimide]
Next, the polyimide constituting part or all of the polyimide films 10, 10A, the coating layer 50, the annular polyimide film 50A, or the elongated polyimide film 50B in the first to third embodiments will be described. Polyimide is produced by imidizing polyamic acid, which is a precursor, and is produced by reacting a specific acid anhydride with a diamine compound. A specific example is understood. In the present invention, the term "polyimide" means a resin composed of a polymer having an imide group in its molecular structure, such as polyamideimide, polyetherimide, polyesterimide, polysiloxaneimide, and polybenzimidazoleimide, in addition to polyimide.

ポリイミドの原料となるジアミン化合物としては、芳香族ジアミン化合物、脂肪族ジアミン化合物などを使用できるが、例えば、NH-Ar1-NHで表される芳香族ジアミン化合物が好適なものとして挙げられる。ここで、Ar1は下記式で表される基から選択されるものであり、アミノ基の置換位置は任意であるが、p,p’位が好ましい。Ar1は置換基を有することもできるが、好ましくは有しないか、有する場合にはその置換基は炭素数1~6の低級アルキルまたは低級アルコキシ基がよい。これらの芳香族ジアミン化合物は1種のみを使用してもよく、また2種以上を併用してもよい。 Aromatic diamine compounds, aliphatic diamine compounds, and the like can be used as the diamine compound as a raw material of the polyimide. For example, an aromatic diamine compound represented by NH 2 —Ar1—NH 2 is preferable. Here, Ar1 is selected from the groups represented by the following formulas, and the substitution position of the amino group is arbitrary, but the p and p' positions are preferred. Ar1 may have a substituent, but it preferably does not have one, or if it has one, the substituent is preferably a lower alkyl or lower alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms. These aromatic diamine compounds may be used alone or in combination of two or more.

Figure 0007325899000001
Figure 0007325899000001

ジアミン化合物と反応させる酸無水物としては、ポリアミド酸の合成の容易さの点で、芳香族テトラカルボン酸無水物が好ましい。芳香族テトラカルボン酸無水物としては、特に限定されるものでははいが、例えば、O(CO)Ar2(CO)Oで表される化合物が好適なものとして挙げられる。ここで、Ar2は、下記式で表される4価の芳香族基であることが好ましく、酸無水物基[(CO)O]の置換位置は任意であるが、対称の位置が好ましい。Ar2は、置換基を有することもできるが、好ましくは有しないか、有する場合にはその置換基は炭素数1~6の低級アルキル基であるのがよい。 As the acid anhydride to be reacted with the diamine compound, an aromatic tetracarboxylic acid anhydride is preferable from the viewpoint of ease of synthesizing polyamic acid. The aromatic tetracarboxylic acid anhydride is not particularly limited, but suitable examples thereof include compounds represented by O(CO) 2 Ar2(CO) 2 O. Here, Ar2 is preferably a tetravalent aromatic group represented by the following formula, and although the substitution position of the acid anhydride group [(CO) 2 O] is arbitrary, symmetrical positions are preferred. Ar2 may have a substituent, but it preferably has no substituent, or if it does, the substituent is preferably a lower alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.

Figure 0007325899000002
Figure 0007325899000002

ポリイミドフィルム10,10A、被覆層50、環状ポリイミドフィルム50A、長尺状ポリイミドフィルム50Bは、熱可塑性ポリイミド層と非熱可塑性ポリイミド層を含む多層構造であり得るので、熱可塑性ポリイミド、非熱可塑性ポリイミドのそれぞれに使用される酸無水物とジアミン化合物の好ましい例について説明する。 The polyimide films 10, 10A, the coating layer 50, the annular polyimide film 50A, and the elongated polyimide film 50B can have a multilayer structure including a thermoplastic polyimide layer and a non-thermoplastic polyimide layer. Preferable examples of the acid anhydride and the diamine compound used for each of are described below.

熱可塑性ポリイミド:
ポリイミドが熱可塑性ポリイミドである場合、特に限定されるものではないが、原料のジアミノ成分として、例えば3,4’-ジアミノジフェニルエーテル、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパンから選ばれる1種以上を50モル%以上含有するジアミン化合物を用いることが好ましい。また、特に限定されるものではないが、原料の酸無水物成分として、例えばピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、4,4’-オキシジフタル酸無水物から選ばれる1種以上を50モル%以上含有する酸無水物を用いることが好ましい。これらのジアミン化合物や酸無水物を所定量使用することで、熱可塑性ポリイミドによる接着性が十分に発揮され、熱圧着性が高くなる。
Thermoplastic polyimide:
When the polyimide is a thermoplastic polyimide, it is not particularly limited, but examples of the diamino component of the raw material include 3,4'-diaminodiphenyl ether, 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene, 1,4- It is preferable to use a diamine compound containing 50 mol % or more of one or more selected from bis(4-aminophenoxy)benzene and 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane. In addition, although not particularly limited, as the acid anhydride component of the raw material, for example, pyromellitic dianhydride, 3,3′,4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, benzophenonetetracarboxylic dianhydride, Using an acid anhydride containing 50 mol % or more of one or more selected from anhydride, 3,3′,4,4′-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, and 4,4′-oxydiphthalic anhydride is preferred. By using a predetermined amount of these diamine compounds and acid anhydrides, the adhesiveness of the thermoplastic polyimide is sufficiently exhibited, and the thermocompression bondability is enhanced.

非熱可塑性ポリイミド:
ポリイミドが非熱可塑性ポリイミドである場合、特に限定されるものではないが、原料のジアミノ成分として、例えば1,3-フェニレンジアミン、2,2'-ジメチル-4,4'-ジアミノビフェニル、2,2’-ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン、3,4’-ジアミノジフェニルエーテルから選ばれる1種以上を60モル%以上含有するジアミン化合物を用いることが好ましい。また、特に限定されるものではないが、原料の酸無水物成分として、例えばピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物から選ばれる1種以上を60モル%以上含有する酸無水物を用いることが好ましい。これらのジアミン化合物や酸無水物を所定量使用することで、非熱可塑性ポリイミドによる耐熱性、寸法安定性などの特性が発揮される。
Non-Thermoplastic Polyimide:
When the polyimide is a non-thermoplastic polyimide, it is not particularly limited, but examples of the diamino component of the raw material include 1,3-phenylenediamine, 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 2, It is preferable to use a diamine compound containing 60 mol % or more of one or more selected from 2'-bis(trifluoromethyl)benzidine and 3,4'-diaminodiphenyl ether. In addition, although not particularly limited, as the acid anhydride component of the raw material, for example, one or more selected from pyromellitic dianhydride and 3,3′,4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride It is preferable to use an acid anhydride containing 60 mol % or more of. By using a predetermined amount of these diamine compounds and acid anhydrides, the properties of non-thermoplastic polyimide such as heat resistance and dimensional stability are exhibited.

上記熱可塑性ポリイミド及び非熱可塑性ポリイミドにおいて、ジアミン化合物及び酸無水物の種類や、それぞれのモル比を選定することにより、熱膨張係数、貯蔵弾性率、ガラス転移温度等を制御することができる。 In the thermoplastic polyimide and non-thermoplastic polyimide, the thermal expansion coefficient, storage modulus, glass transition temperature, etc. can be controlled by selecting the types of diamine compounds and acid anhydrides and their respective molar ratios.

なお、上記熱可塑性ポリイミド及び非熱可塑性ポリイミドにおいて、ポリイミドの構造単位を複数有する場合は、ブロックとして存在しても、ランダムに存在していてもよいが、ランダムに存在することが好ましい。 When the thermoplastic polyimide and the non-thermoplastic polyimide have a plurality of polyimide structural units, they may be present as blocks or randomly, but are preferably present randomly.

ポリイミドは、例えば溶媒中で、上記のジアミン化合物および酸無水物をほぼ等モルの割合で混合し、反応温度0~200℃の範囲で、好ましくは0~100℃の範囲で反応させてポリアミド酸の樹脂溶液を得、さらに、これをイミド化することにより得ることができる。溶媒としては、例えば、N-メチルピロリドン(NMP)、ジメチルホルムアミド(DMF)、ジメチルアセトアミド(DMAc)、ジメチルスルフォキサイド(DMSO)、硫酸ジメチル、スルフォラン、ブチロラクトン、クレゾール、フェノール、ハロゲン化フェノール、シクロヘキサノン、ジオキサン、テトラヒドロフラン、ジグライム、トリグライムなどが挙げられる。 For polyimide, for example, in a solvent, the above diamine compound and acid anhydride are mixed in a substantially equimolar ratio and reacted at a reaction temperature of 0 to 200 ° C., preferably 0 to 100 ° C. to produce polyamic acid. can be obtained by obtaining a resin solution of and further imidizing it. Examples of solvents include N-methylpyrrolidone (NMP), dimethylformamide (DMF), dimethylacetamide (DMAc), dimethylsulfoxide (DMSO), dimethyl sulfate, sulfolane, butyrolactone, cresol, phenol, halogenated phenol, Cyclohexanone, dioxane, tetrahydrofuran, diglyme, triglyme and the like.

通常、ポリアミド酸の合成は、反応容器等の中で行われる。例えば、ポリアミド酸の樹脂溶液を任意の基材上に塗布し、乾燥してポリアミド酸層を形成し、続く熱処理によってポリアミド酸層をイミド化することでポリイミド層を得ることができる。重畳的に、すでに形成されているポリアミド酸層上あるいはポリイミド層上に塗布を繰り返してもよい。あるいは、任意の基材の表面に、予めイミド化したポリイミドを溶媒に溶解させた溶液の形態で塗布し、乾燥させることによってポリイミド層を形成してもよい。ポリイミドフィルム10,10A、被覆層50、環状ポリイミドフィルム50A、長尺状ポリイミドフィルム50Bが多層構造である場合、任意の基材上に、逐次的に複数のポリアミド酸の樹脂溶液を塗布、乾燥した後に一括してイミド化する方法が好ましいが、これに限定されるものではない。すなわち、任意の基材に対し、多層ダイ等により複数のポリアミド酸の樹脂溶液を一括して塗布し、これを乾燥した後に一括して熱処理によるイミド化を行うことで複数のポリイミド層を形成してもよい。また、複数のポリアミド酸の樹脂溶液の塗布乾燥からイミド化までを逐次的に行うことで1層ずつポリイミド層を形成してもよい。複数のポリイミド層を形成するに当たって、これらの各処理は任意に組み合わせることができる。 Synthesis of polyamic acid is usually carried out in a reaction vessel or the like. For example, a polyimide layer can be obtained by coating a polyamic acid resin solution on an arbitrary substrate, drying to form a polyamic acid layer, and imidizing the polyamic acid layer by subsequent heat treatment. The application may be repeated on top of an already formed polyamic acid layer or on a polyimide layer. Alternatively, the polyimide layer may be formed by coating the surface of any base material in the form of a solution obtained by dissolving preliminarily imidized polyimide in a solvent and drying the solution. When the polyimide films 10 and 10A, the coating layer 50, the cyclic polyimide film 50A, and the long polyimide film 50B have a multilayer structure, a plurality of polyamic acid resin solutions are sequentially applied on an arbitrary substrate and dried. Although the method of imidizing them all at once later is preferable, it is not limited to this method. That is, a plurality of polyamic acid resin solutions are applied to an arbitrary base material at once using a multi-layer die or the like, dried, and then imidized by heat treatment at once to form a plurality of polyimide layers. may Alternatively, the polyimide layers may be formed one by one by successively performing the processes from application and drying of a plurality of polyamic acid resin solutions to imidization. Each of these treatments can be combined arbitrarily to form a plurality of polyimide layers.

ポリイミド溶液又はポリアミド酸の樹脂溶液を、任意の基材上に、塗布する方法としては特に制限されず、例えばコンマ、ダイ、ナイフ、リップ等のコーターに代表される塗布手段にて塗布することが可能である。多層のポリイミド層の形成に際しては、ポリイミド溶液(又はポリアミド酸の樹脂溶液)を基材に塗布、乾燥する操作を繰り返す方法が好ましい。 The method of applying the polyimide solution or polyamic acid resin solution onto any substrate is not particularly limited, and can be applied by a coating means represented by a coater such as a comma, die, knife, lip, or the like. It is possible. When forming multiple polyimide layers, it is preferable to repeat the operation of applying a polyimide solution (or polyamic acid resin solution) to a base material and drying it.

乾燥および加熱イミド化処理の方法としては、例えばバッチ処理方式、連続処理方式などの任意の方法を選択可能である。バッチ処理方式は、ポリアミド酸の樹脂溶液を長尺状の金属箔に塗布した後、イミド化していない状態でその積層体をロール状に巻き取り、所定の温度に設定可能な熱風乾燥炉の中に一定時間静置し、最終的に200℃以上の高温にて熱処理することでイミド化を完了させる方法である。連続処理方式は、ポリアミド酸の樹脂溶液を長尺状の金属箔に塗布した後、乾燥炉内を連続移動させて所定の熱処理時間を確保させた上で、最終的に200℃以上の高温にて熱処理を行う方法である。これらは、生産性や歩留り等の観点からいずれの方法を選択してもよいが、200℃以上の高温における熱処理は減圧環境下、還元性気体雰囲気下、あるいは還元性気体雰囲気下かつ減圧環境下にて行うことが好ましい。なお、乾燥およびイミド化処理工程における加熱によってポリアミド酸樹脂の溶媒が除去されイミド化されるが、この際、高温で急激に熱処理を行うと樹脂表面にスキン層が生成して溶媒が蒸発しづらくなったり、発砲が生じたりするため、低温から段階的に高温まで上昇させながら熱処理を行うことが好ましい。また、加熱イミド化工程においては最終的に300~400℃の温度で熱処理することが好ましい。 As a method for drying and heat imidization treatment, any method such as a batch treatment method or a continuous treatment method can be selected. In the batch processing method, after coating a polyamic acid resin solution on a long metal foil, the laminate is wound into a roll without being imidized, and dried in a hot air drying oven that can be set to a predetermined temperature. is left at rest for a certain period of time, and finally imidization is completed by heat-treating at a high temperature of 200° C. or higher. In the continuous processing method, after applying a resin solution of polyamic acid to a long metal foil, it is continuously moved in a drying furnace to secure a predetermined heat treatment time, and finally heated to a high temperature of 200 ° C or higher. It is a method of performing heat treatment by Any of these methods may be selected from the viewpoint of productivity, yield, etc., but the heat treatment at a high temperature of 200 ° C. or higher is performed in a reduced pressure environment, in a reducing gas atmosphere, or in a reducing gas atmosphere and a reduced pressure environment. It is preferable to perform The solvent of the polyamic acid resin is removed and imidized by heating in the drying and imidization treatment steps. At this time, if the heat treatment is performed rapidly at a high temperature, a skin layer is formed on the resin surface and the solvent is difficult to evaporate. It is preferable to perform the heat treatment while gradually increasing the temperature from a low temperature to a high temperature. Further, in the thermal imidization step, it is preferable to finally heat-treat at a temperature of 300 to 400°C.

以下に実施例を示し、本発明の特徴をより具体的に説明する。ただし、本発明の範囲は、実施例に限定されない。なお、以下の実施例において、特にことわりのない限り各種測定、評価は下記によるものである。 EXAMPLES Examples are given below to more specifically describe the features of the present invention. However, the scope of the present invention is not limited to the examples. In the following examples, unless otherwise specified, various measurements and evaluations are as follows.

[熱膨張係数(CTE)]
3mm×20mmのサイズのポリイミドフィルムを、サーモメカニカルアナライザー(Bruker社製、商品名;4000SA)を用い、5.0gの荷重を加えながら一定の昇温速度で30℃から265℃まで昇温させ、更にその温度で10分保持した後、5℃/分の速度で冷却し、240℃から100℃までの平均熱膨張係数(線熱膨張係数)を求めた。
[Coefficient of thermal expansion (CTE)]
A polyimide film having a size of 3 mm × 20 mm is heated from 30 ° C. to 265 ° C. at a constant heating rate while applying a load of 5.0 g using a thermomechanical analyzer (manufactured by Bruker, trade name: 4000SA). Further, after holding at that temperature for 10 minutes, it was cooled at a rate of 5°C/min, and the average thermal expansion coefficient (linear thermal expansion coefficient) from 240°C to 100°C was determined.

[ガラス転移温度(Tg)]
ガラス転移温度は、5mm×20mmのサイズのポリイミドフィルムを、動的粘弾性測定装置(DMA:ユー・ビー・エム社製、商品名;E4000F)を用いて、30℃から400℃まで昇温速度4℃/分、周波数11Hzで測定を行い、弾性率変化(tanδ)が最大となる温度をガラス転移温度とした。
[Glass transition temperature (Tg)]
For the glass transition temperature, a polyimide film having a size of 5 mm × 20 mm was measured using a dynamic viscoelasticity measuring device (DMA: manufactured by UBM, trade name: E4000F), and the temperature was increased from 30 ° C. to 400 ° C. Measurement was performed at 4° C./min and a frequency of 11 Hz, and the temperature at which the change in elastic modulus (tan δ) was maximum was taken as the glass transition temperature.

[粘度の測定]
粘度の測定は、E型粘度計(ブルックフィールド社製、商品名;DV-II+Pro)を用いて、25℃における粘度を測定した。トルクが10%~90%になるよう回転数を設定し、測定を開始してから2分経過後、粘度が安定した時の値を読み取った
[Measurement of viscosity]
The viscosity was measured at 25° C. using an E-type viscometer (manufactured by Brookfield, trade name: DV-II+Pro). The rotation speed was set so that the torque was 10% to 90%, and after 2 minutes from the start of measurement, the value was read when the viscosity stabilized.

[ピール強度]
ピール強度は、テンシロンテスター(東洋精機製作所社製、商品名;ストログラフVE-1D)を用いて、導体層側の金属が幅1mmの配線に加工された金属張積層板の樹脂層側を両面テープによりSUS板に固定し、180°方向に50mm/分の速度で、樹脂層から金属配線を剥離するときの力を求めた。
[Peel strength]
The peel strength was measured using a Tensilon tester (manufactured by Toyo Seiki Seisakusho Co., Ltd., trade name: Strograph VE-1D), and the metal on the conductor layer side was processed into wiring with a width of 1 mm. It was fixed to the SUS plate with a tape, and the force when peeling the metal wiring from the resin layer was obtained at a speed of 50 mm/min in the direction of 180°.

[熱圧着面充填状態]
熱圧着後の銅張積層板の銅箔を全幅に渡りエッチング後、ポリイミドフィルム表面を目視で観察し、全面が均一な色調であるものを全面良好とし、色調が異なる部分があるものを不良とした。
[Filling state of thermocompression surface]
After etching the entire width of the copper foil of the copper-clad laminate after thermocompression bonding, the surface of the polyimide film was visually observed. did.

実施例等で用いた略号は、以下の化合物を示す。
BAPP:2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン
m-TB:2,2'-ジメチル-4,4'-ジアミノビフェニル
PMDA:ピロメリット酸二無水物
BPDA:3,3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
DMAc:N,N-ジメチルアセトアミド
Abbreviations used in Examples and the like indicate the following compounds.
BAPP: 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane m-TB: 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl PMDA: pyromellitic dianhydride BPDA: 3,3 ',4,4'-Biphenyltetracarboxylic dianhydride DMAc: N,N-dimethylacetamide

<ポリアミド酸溶液の合成>
(合成例1)
熱電対及び攪拌機を備えると共に窒素導入が可能な反応容器に、87.5kgのDMAcを入れ、さらに、この反応容器に8.11kgのBAPPを投入して容器中で撹拌しながら溶解させた。次に、4.10kgのPMDAを投入した。その後、3時間撹拌を続けて重合反応を行い、ポリアミド酸aの樹脂溶液1を得た。樹脂溶液1(固形分:12.5%)の粘度は1,300cpsであった。また、ポリアミド酸aをイミド化して得られるポリイミドは熱可塑性であり、ポリアミド酸aから形成された厚み25μmのポリイミドフィルムの熱膨張係数(CTE)は、55×10-6/Kであり、ガラス転移温度は320℃であった。
<Synthesis of polyamic acid solution>
(Synthesis example 1)
87.5 kg of DMAc was placed in a reaction vessel equipped with a thermocouple and a stirrer and capable of introducing nitrogen, and 8.11 kg of BAPP was added to the reaction vessel and dissolved while stirring in the vessel. Then 4.10 kg of PMDA was charged. Thereafter, stirring was continued for 3 hours to carry out a polymerization reaction to obtain a resin solution 1 of polyamic acid a. Resin solution 1 (solid content: 12.5%) had a viscosity of 1,300 cps. In addition, the polyimide obtained by imidating polyamic acid a is thermoplastic, and the coefficient of thermal expansion (CTE) of a 25 μm-thick polyimide film formed from polyamic acid a is 55×10 −6 /K, and glass The transition temperature was 320°C.

(合成例2)
熱電対及び攪拌機を備えると共に窒素導入が可能な反応容器に、212.5kgのDMAcを入れ、さらに、この反応容器に17.9kgのm-TBを投入して容器中で攪拌しながら溶解させた。次に、4.94kgのBPDAおよび14.7kgのPMDAを投入した。その後、3時間撹拌を続けて重合反応を行い、ポリアミド酸bの樹脂溶液2を得た。樹脂溶液2(固形分:15%)の粘度は26,500cpsであった。また、ポリアミド酸bをイミド化して得られるポリイミドは非熱可塑性であり、ポリアミド酸bから形成された厚み25μmのポリイミドフィルムの熱膨張係数(CTE)は、22×10-6/Kであった。
(Synthesis example 2)
212.5 kg of DMAc was put into a reaction vessel equipped with a thermocouple and a stirrer and capable of introducing nitrogen, and 17.9 kg of m-TB was added to the reaction vessel and dissolved while stirring in the vessel. . Then 4.94 kg BPDA and 14.7 kg PMDA were charged. Thereafter, stirring was continued for 3 hours to carry out a polymerization reaction to obtain a resin solution 2 of polyamic acid b. Resin solution 2 (solid content: 15%) had a viscosity of 26,500 cps. In addition, the polyimide obtained by imidating the polyamic acid b is non-thermoplastic, and the thermal expansion coefficient (CTE) of the 25 μm-thick polyimide film formed from the polyamic acid b was 22×10 −6 /K. .

[ポリイミド被覆ロールの製造]
内部にヒーターを備えた金属製ロールを回転させながら、合成例2で調製した樹脂溶液2を金属製ロールの表面にコーターを用いて塗布した後、ヒーターにより金属製ロールを加熱することにより室温から360℃まで一時間かけて昇温し、表面に所定の厚さのポリイミド被覆層を有するポリイミド被覆ロールを得た。
[Manufacture of polyimide-coated roll]
While rotating the metal roll equipped with a heater inside, the resin solution 2 prepared in Synthesis Example 2 was applied to the surface of the metal roll using a coater, and then the metal roll was heated with the heater to cool from room temperature. The temperature was raised to 360° C. over one hour to obtain a polyimide-coated roll having a polyimide coating layer with a predetermined thickness on the surface.

(実施例1)
長尺状の銅箔1(圧延銅箔、厚さ;12μm、横幅;500mm)を基材として、銅箔1の粗化面にダイコーターを用いて、合成例1で調製した樹脂溶液1を硬化後の厚みが2.5μmとなるように均一に塗布した後、130℃で加熱乾燥し溶媒を除去した。次に、この塗布面側に合成例2で調製した樹脂溶液2を硬化後の厚みが20μmとなるように均一に塗布し、120℃で加熱乾燥し溶媒を除去した。更に、この塗布面側に第1層目で塗布したものと同じ樹脂溶液1を硬化後の厚みが2.5μmとなるように均一に塗布し、130℃で加熱乾燥し溶媒を除去し、360℃まで段階的に熱処理し、厚みが25μmのポリイミドフィルムを有する片面銅張積層板1aを得た。
(Example 1)
Using a long copper foil 1 (rolled copper foil, thickness: 12 μm, width: 500 mm) as a base material, using a die coater on the roughened surface of the copper foil 1, the resin solution 1 prepared in Synthesis Example 1 was applied. It was applied uniformly so that the thickness after curing was 2.5 μm, and then dried by heating at 130° C. to remove the solvent. Next, the resin solution 2 prepared in Synthesis Example 2 was uniformly applied to the coating surface so that the thickness after curing would be 20 μm, and dried by heating at 120° C. to remove the solvent. Furthermore, the same resin solution 1 as that applied in the first layer was applied to the coated surface side uniformly so that the thickness after curing was 2.5 μm, and dried by heating at 130° C. to remove the solvent. C. to obtain a single-sided copper-clad laminate 1a having a polyimide film with a thickness of 25 .mu.m.

一対の加圧ロールを有する加熱加圧装置を用い、片面銅張積層板1aの銅箔1側にポリイミド被覆ロール1(ポリイミド被覆層の厚さ;50μm)を配置し、また、片面銅張積層板1aのポリイミド層側に長尺状の銅箔2(電解銅箔、厚さ;12μm、横幅;540mm)を配置し、さらに、銅箔2の熱圧着面の反対側に金属製ロールを配置した。これらを、ガイドロールを経由して搬送しながら、窒素雰囲気下において、ロール表面温度;300~400℃、プレスロールの線圧;38.6~115.8kgf/cmの範囲内、搬送速度;4.0m/分の条件で、連続的に熱圧着させて、両面銅張積層板1bを得た。得られた両面銅張積層板1bの塗布面側の銅箔表面の外観は全面良好であり、圧着側の銅箔のピール強度は、1.6kN/mであった。 Using a heating and pressing device having a pair of pressure rolls, a polyimide coating roll 1 (polyimide coating layer thickness: 50 μm) is placed on the copper foil 1 side of the single-sided copper-clad laminate 1a, and single-sided copper-clad lamination is performed. A long copper foil 2 (electrolytic copper foil, thickness: 12 μm, width: 540 mm) is placed on the polyimide layer side of the plate 1a, and a metal roll is placed on the side opposite to the thermocompression bonding surface of the copper foil 2. did. While transporting these via guide rolls, under a nitrogen atmosphere, the roll surface temperature: 300 to 400 ° C., the linear pressure of the press roll: within the range of 38.6 to 115.8 kgf / cm, the transport speed: 4. A double-sided copper-clad laminate 1b was obtained by continuous thermocompression bonding under the condition of .0 m/min. The appearance of the copper foil surface on the coating side of the obtained double-sided copper-clad laminate 1b was good throughout, and the peel strength of the copper foil on the compression side was 1.6 kN/m.

(比較例1)
両方の加圧ロールを金属製ロールとした以外は実施例1と同様にして、両面銅張積層板1b’を得た。得られた両面銅張積層板1b’の塗布面側の銅箔表面の外観は一部不良であり、圧着側の銅箔のピール強度は、1.2kN/mであった。
(Comparative example 1)
A double-sided copper-clad laminate 1b' was obtained in the same manner as in Example 1, except that both pressure rolls were metal rolls. The appearance of the copper foil surface on the coating side of the obtained double-sided copper-clad laminate 1b' was partially defective, and the peel strength of the copper foil on the compression side was 1.2 kN/m.

実施例1及び比較例1の結果を表1に示す。

Figure 0007325899000003
The results of Example 1 and Comparative Example 1 are shown in Table 1.

Figure 0007325899000003

(実施例2)
ポリイミド被覆ロール2(ポリイミド被覆層の厚さ;75μm)を使用したこと以外、実施例1と同様にして、両面銅張積層板2bを得た。得られた両面銅張積層板2bの塗布面側の銅箔表面の外観は全面良好であり、圧着側の銅箔のピール強度は、1.6kN/mであった。
(Example 2)
A double-sided copper-clad laminate 2b was obtained in the same manner as in Example 1, except that the polyimide-coated roll 2 (polyimide coating layer thickness: 75 μm) was used. The appearance of the copper foil surface on the coating side of the obtained double-sided copper-clad laminate 2b was good throughout, and the peel strength of the copper foil on the pressure bonding side was 1.6 kN/m.

(実施例3)
ポリイミド被覆ロール3(ポリイミド被覆層の厚さ;25μm)を使用したこと以外、実施例1と同様にして、両面銅張積層板3bを得た。得られた両面銅張積層板3bの塗布面側の銅箔表面の外観は全面良好であり、圧着側の銅箔のピール強度は、1.6kN/mであった。
(Example 3)
A double-sided copper-clad laminate 3b was obtained in the same manner as in Example 1, except that the polyimide-coated roll 3 (polyimide coating layer thickness: 25 μm) was used. The appearance of the copper foil surface on the coating side of the obtained double-sided copper-clad laminate 3b was good throughout, and the peel strength of the copper foil on the compression side was 1.6 kN/m.

(実施例4)
ポリイミド被覆ロール4(ポリイミド被覆層の厚さ;20μm)を使用したこと以外、実施例1と同様にして、両面銅張積層板4bを得た。得られた両面銅張積層板4bの塗布面側の銅箔表面の外観は全面良好であり、圧着側の銅箔のピール強度は、1.6kN/mであった。
(Example 4)
A double-sided copper-clad laminate 4b was obtained in the same manner as in Example 1, except that the polyimide-coated roll 4 (polyimide coating layer thickness: 20 μm) was used. The appearance of the copper foil surface on the coating side of the obtained double-sided copper clad laminate 4b was good throughout, and the peel strength of the copper foil on the compression side was 1.6 kN/m.

(実施例5)
ポリイミド被覆ロール5(ポリイミド被覆層の厚さ;15μm)を使用したこと以外、実施例1と同様にして、両面銅張積層板5bを得た。得られた両面銅張積層板5bの塗布面側の銅箔表面の外観は全面良好であり、圧着側の銅箔のピール強度は、1.6kN/mであった。
(Example 5)
A double-sided copper-clad laminate 5b was obtained in the same manner as in Example 1, except that the polyimide-coated roll 5 (polyimide coating layer thickness: 15 μm) was used. The appearance of the copper foil surface on the coating side of the obtained double-sided copper-clad laminate 5b was good throughout, and the peel strength of the copper foil on the compression side was 1.6 kN/m.

(実施例6)
ポリイミド被覆ロール6(ポリイミド被覆層の厚さ;12μm)を使用したこと以外、実施例1と同様にして、両面銅張積層板6bを得た。得られた両面銅張積層板6bの塗布面側の銅箔表面の外観は全面良好であり、圧着側の銅箔のピール強度は、1.6kN/mであった。
(Example 6)
A double-sided copper-clad laminate 6b was obtained in the same manner as in Example 1, except that the polyimide-coated roll 6 (polyimide coating layer thickness; 12 μm) was used. The appearance of the copper foil surface on the coating side of the obtained double-sided copper clad laminate 6b was good throughout, and the peel strength of the copper foil on the compression side was 1.6 kN/m.

(実施例7)
ポリイミド被覆ロール7(ポリイミド被覆層の厚さ;10μm)を使用したこと以外、実施例1と同様にして、両面銅張積層板7bを得た。得られた両面銅張積層板7bの塗布面側の銅箔表面の外観は全面良好であり、圧着側の銅箔のピール強度は、1.6kN/mであった。
(Example 7)
A double-sided copper-clad laminate 7b was obtained in the same manner as in Example 1, except that the polyimide-coated roll 7 (polyimide coating layer thickness: 10 μm) was used. The appearance of the copper foil surface on the coated side of the obtained double-sided copper-clad laminate 7b was good throughout, and the peel strength of the copper foil on the compression side was 1.6 kN/m.

(実施例8)
ポリイミド被覆ロール8(ポリイミド被覆層の厚さ;8μm)を使用したこと以外、実施例1と同様にして、両面銅張積層板8bを得た。得られた両面銅張積層板8bの塗布面側の銅箔表面の外観は全面良好であり、圧着側の銅箔のピール強度は、1.6kN/mであった。
(Example 8)
A double-sided copper-clad laminate 8b was obtained in the same manner as in Example 1, except that the polyimide-coated roll 8 (polyimide coating layer thickness: 8 μm) was used. The appearance of the copper foil surface on the coating side of the obtained double-sided copper-clad laminate 8b was good throughout, and the peel strength of the copper foil on the compression side was 1.6 kN/m.

(実施例9)
ポリイミド被覆ロール9(ポリイミド被覆層の厚さ;100μm)を使用したこと以外、実施例1と同様にして、両面銅張積層板9bを得た。得られた両面銅張積層板9bの塗布面側の銅箔表面の外観は全面良好であり、圧着側の銅箔のピール強度は、1.6kN/mであった。
(Example 9)
A double-sided copper-clad laminate 9b was obtained in the same manner as in Example 1, except that the polyimide-coated roll 9 (polyimide coating layer thickness: 100 μm) was used. The appearance of the copper foil surface on the coating side of the obtained double-sided copper clad laminate 9b was good throughout, and the peel strength of the copper foil on the compression side was 1.6 kN/m.

(実施例10)
実施例1における片面銅張積層板1aの銅箔1側にポリイミド被覆ロール1を配置する代わりに、予備加熱により水分を除去したポリイミドベルト10(厚さ;20μm、引張り強度;400MPa、引張り弾性率;9GPa、シームレスタイプ)を配置したこと以外、実施例1と同様にして、両面銅張積層板10bを得た。得られた両面銅張積層板10bの塗布面側の銅箔表面の外観は全面良好であり、圧着側の銅箔のピール強度は、1.6kN/mであった。なお、ポリイミドベルト10の加圧ロールとの接触時間は2秒とした。
(Example 10)
Instead of placing the polyimide coating roll 1 on the copper foil 1 side of the single-sided copper clad laminate 1a in Example 1, a polyimide belt 10 (thickness: 20 μm, tensile strength: 400 MPa, tensile modulus ; 9 GPa, seamless type) was arranged in the same manner as in Example 1 to obtain a double-sided copper-clad laminate 10b. The appearance of the copper foil surface on the coating side of the obtained double-sided copper-clad laminate 10b was good throughout, and the peel strength of the copper foil on the compression side was 1.6 kN/m. The contact time of the polyimide belt 10 with the pressure roll was 2 seconds.

(実施例11)
実施例1における片面銅張積層板1aの銅箔1側にポリイミド被覆ロール1を配置する代わりに、予備加熱により水分を除去した市販のポリイミドフィルム11(厚さ;25μm)を配置したこと以外、実施例1と同様にして、両面銅張積層板11bを得た。得られた両面銅張積層板11bの塗布面側の銅箔表面の外観は全面良好であり、圧着側の銅箔のピール強度は、1.6kN/mであった。なお、ポリイミドフィルム11の加圧ロールへの挿入角は70°とした。
(Example 11)
Instead of placing the polyimide coating roll 1 on the copper foil 1 side of the single-sided copper clad laminate 1a in Example 1, a commercially available polyimide film 11 (thickness: 25 μm) from which moisture was removed by preheating was placed. A double-sided copper-clad laminate 11b was obtained in the same manner as in Example 1. The appearance of the copper foil surface on the coating side of the obtained double-sided copper-clad laminate 11b was good throughout, and the peel strength of the copper foil on the compression side was 1.6 kN/m. The insertion angle of the polyimide film 11 into the pressure roll was 70°.

以上、詳述したように、本実施の形態の金属張積層板の製造方法によれば、ポリイミドフィルムが金属箔の表面の凹凸にむらなく充填しており、ポリイミドフィルムと金属箔とが強固に接着した金属張積層板が得られる。このようにして製造された金属張積層板をFPCなどの回路基板材料として用いることによって、微細化された配線と絶縁樹脂層との密着性に優れた回路基板を製造できる。従って、本発明により、回路基板及び回路基板を使用する電子製品の歩留まりと信頼性を向上させることができる。 As described above in detail, according to the method for manufacturing a metal-clad laminate of the present embodiment, the polyimide film evenly fills the irregularities on the surface of the metal foil, and the polyimide film and the metal foil are firmly bonded. A bonded metal-clad laminate is obtained. By using the metal-clad laminate thus produced as a material for circuit boards such as FPCs, it is possible to produce circuit boards having excellent adhesion between the miniaturized wiring and the insulating resin layer. Therefore, according to the present invention, the yield and reliability of circuit boards and electronic products using circuit boards can be improved.

以上、本発明の実施の形態を例示の目的で詳細に説明したが、本発明は上記実施の形態に制約されることはない。 Although the embodiments of the present invention have been described in detail for purposes of illustration, the present invention is not limited to the above embodiments.

10,10A…ポリイミドフィルム、20…金属箔、30…加圧ロール(被覆加圧ロール)、31…金属製ロール、33…接着剤層、35…ポリイミド被覆層、40…加圧ロール、50…被覆層、50A…環状ポリイミドフィルム、50B…長尺状ポリイミドフィルム、61…塗布手段、63…樹脂溶液、71…基材、73…ポリイミド層、80A,80B…ガイドロール、90A…巻出ロール、90B…巻取ロール、100,100A…金属張積層板
10, 10A Polyimide film 20 Metal foil 30 Pressure roll (coated pressure roll) 31 Metal roll 33 Adhesive layer 35 Polyimide coating layer 40 Pressure roll 50 Coating layer 50A... cyclic polyimide film, 50B... long polyimide film, 61... application means, 63... resin solution, 71... base material, 73... polyimide layer, 80A, 80B... guide roll, 90A... unwinding roll, 90B... Winding roll, 100, 100A... Metal-clad laminate

Claims (8)

ポリイミドフィルムと金属箔とを重ね合わせて連続的に一対の加圧ロール間を通過させることによって、前記ポリイミドフィルムと前記金属箔とを熱圧着して金属張積層板を製造する方法であって、
前記ポリイミドフィルムが、銅箔と、該銅箔の片方の面に積層形成されたポリイミド層と、を含む片面銅張積層板であって該ポリイミド層側に前記金属箔が熱圧着されるものであり、
前記一対の加圧ロールのうち、片側の加圧ロールの圧迫面を、該片側の加圧ロールと同期して移動可能なフィルム状緩衝材によって被覆した状態で、かつ、該フィルム状緩衝材を前記片面銅張積層板の銅箔側にのみ配置して熱圧着を行うとともに、前記フィルム状緩衝材が、非熱可塑性ポリイミドからなる非熱可塑性ポリイミド層を含むものであることを特徴とする金属張積層板の製造方法。
A method for producing a metal-clad laminate by thermally compressing the polyimide film and the metal foil by superimposing the polyimide film and the metal foil and continuously passing them through a pair of pressure rolls,
The polyimide film is a single-sided copper-clad laminate including a copper foil and a polyimide layer laminated on one side of the copper foil, and the metal foil is thermocompression bonded to the polyimide layer side. can be,
Of the pair of pressure rolls, the pressure surface of one of the pressure rolls is covered with a film-like cushioning material that can move in synchronization with the one-side pressure roll , and the film-like cushioning material is A metal-clad laminate characterized in that it is placed only on the copper foil side of the single-sided copper-clad laminate and subjected to thermocompression bonding, and the film-like cushioning material includes a non-thermoplastic polyimide layer made of non-thermoplastic polyimide. Board manufacturing method.
前記フィルム状緩衝材が、前記片側の加圧ロールの表面を周方向に被覆する被覆層を形成している請求項1に記載の金属張積層板の製造方法。 2. The method for producing a metal-clad laminate according to claim 1, wherein the film-like cushioning material forms a covering layer that covers the surface of the pressure roll on one side in the circumferential direction. 前記片側の加圧ロールが前記被覆層を有する被覆加圧ロールであり、他方の加圧ロールが金属製ロールであることを特徴とする請求項2に記載の金属張積層板の製造方法。 3. The method for producing a metal-clad laminate according to claim 2, wherein the pressure roll on one side is a coated pressure roll having the coating layer, and the pressure roll on the other side is a metal roll. 前記金属製ロールを前記金属箔側に配置することを特徴とする請求項3に記載の金属張積層板の製造方法。 4. The method for producing a metal-clad laminate according to claim 3, wherein the metal roll is placed on the metal foil side. 前記フィルム状緩衝材が、環状に形成されており、前記片側の加圧ロールと、複数のガイドロールとによって回転可能に形成されている請求項1に記載の金属張積層板の製造方法。 2. The method of manufacturing a metal-clad laminate according to claim 1, wherein said film-like cushioning material is formed in a ring shape and is rotatable by means of said pressure roll on one side and a plurality of guide rolls. 前記フィルム状緩衝材が、長尺に形成されており、ロール・トゥ・ロール式に搬送される請求項1に記載の金属張積層板の製造方法。 2. The method for manufacturing a metal-clad laminate according to claim 1, wherein the film-like cushioning material is formed in a long length and is conveyed in a roll-to-roll manner. 前記フィルム状緩衝材の厚さが1~200μmの範囲内であることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の金属張積層板の製造方法。 7. The method for producing a metal-clad laminate according to any one of claims 1 to 6, wherein the film-like cushioning material has a thickness in the range of 1 to 200 µm. 前記ポリイミドフィルムは、単層または複数層のポリイミド層を含み、少なくとも一層が非熱可塑性ポリイミドであり、かつ、少なくとも前記金属箔と熱圧着される側の表面が熱可塑性ポリイミド層である請求項1から7のいずれか1項に記載の金属張積層板の製造方法。
1. The polyimide film comprises a single layer or multiple layers of polyimide layers, at least one layer of which is a non-thermoplastic polyimide layer, and at least a surface of which is thermally bonded to the metal foil is a thermoplastic polyimide layer. 8. The method for producing a metal-clad laminate according to any one of 7 above.
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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111703185B (en) * 2020-07-09 2021-11-05 昆山乐邦精密科技有限公司 Polyimide screen hot-pressing device and using method thereof
JP6900138B1 (en) * 2020-09-18 2021-07-07 株式会社日本製鋼所 Laminate molding press equipment, laminating molding system, and laminating molding method
CN112739048A (en) * 2020-12-10 2021-04-30 厦门柔性电子研究院有限公司 Roll type manufacturing method of double-sided flexible circuit board and flexible circuit board manufactured by same
JP7662375B2 (en) * 2021-03-31 2025-04-15 日鉄ケミカル&マテリアル株式会社 Manufacturing method for double-sided metal-clad laminate
JP2024035266A (en) * 2022-09-02 2024-03-14 日鉄ケミカル&マテリアル株式会社 Manufacturing method for metal clad laminates
CN115592964B (en) * 2022-10-08 2025-12-09 深圳市益达兴科技股份有限公司 FDC hot-press molding process using PET as base film
JP7509459B1 (en) 2023-02-10 2024-07-02 プロマティック株式会社 Manufacturing method and manufacturing device for laminate

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001046963A (en) 1999-08-13 2001-02-20 Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd Repair method of metal surface
JP2004358677A (en) 2003-06-02 2004-12-24 Nippon Steel Chem Co Ltd Manufacturing method of laminate
JP2007118477A (en) 2005-10-31 2007-05-17 Toray Ind Inc Double-sided metal foil laminate and method for producing the same
JP2009262534A (en) 2008-03-31 2009-11-12 Toray Ind Inc Method of manufacturing metal foil laminated film

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6335991A (en) * 1986-07-30 1988-02-16 森本 吉春 Blind displaying thick or thin figure
JPH06335991A (en) * 1993-05-28 1994-12-06 Mitsui Toatsu Chem Inc Heat resistant resin coated elastic roll
JP3989145B2 (en) 1999-11-01 2007-10-10 株式会社カネカ Laminate production method
CN100503215C (en) * 2003-12-26 2009-06-24 株式会社钟化 Method for producing flexible laminate
JP5217321B2 (en) 2007-09-13 2013-06-19 東レ株式会社 Method for producing flexible metal laminate
FI20106107L (en) * 2010-10-26 2012-03-19 Metso Paper Inc Method for manufacturing a roller for a nonwoven web machine and a roller for a nonwoven web machine

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001046963A (en) 1999-08-13 2001-02-20 Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd Repair method of metal surface
JP2004358677A (en) 2003-06-02 2004-12-24 Nippon Steel Chem Co Ltd Manufacturing method of laminate
JP2007118477A (en) 2005-10-31 2007-05-17 Toray Ind Inc Double-sided metal foil laminate and method for producing the same
JP2009262534A (en) 2008-03-31 2009-11-12 Toray Ind Inc Method of manufacturing metal foil laminated film

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TW202000477A (en) 2020-01-01
JP2020006685A (en) 2020-01-16

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