JP7328486B2 - 溶存ガス除去方法および溶存ガス除去装置 - Google Patents
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Description
容器A内の液体に存する溶存ガス量を基準値以下にする為の装置であって、
前記装置は容器B内の液体が容器A内に輸送される輸送路を具備してなり、
前記輸送路は減圧室を具備してなる
装置を提案する。
容器A内の液体の溶存ガス量を基準値以下にする為の方法であって、
前記容器A内の液体は容器B内から輸送され、
幅(前記輸送途中における液体の幅方向の平均長)W>深さ(前記輸送途中における液体の深さの平均厚)Hである個所において、前記液体は減圧処理を受ける
方法を提案する。
容器A内の液体の溶存ガス量を基準値以下にする為の方法であって、
前記容器A内の液体は容器B内から輸送され、
前記輸送途中において、前記液体は、その厚さが0.3m以下であるよう制御され、
前記液体の厚さが0.3m以下の状態において、前記液体は減圧処理を受ける
方法を提案する。
容器A内の液体の溶存ガス量を基準値以下にする為の方法であって、
前記容器A内の液体は容器B内から輸送され、
前記輸送途中において、前記液体は、その厚さが0.3m未満であるよう制御され、
前記液体の厚さが0.3m未満の状態において、前記液体は減圧処理を受ける
方法を提案する。
4 液体
5 排気口
Claims (15)
- ボンベA内の液体に存する溶存ガス量を基準値以下にする為の装置であって、
前記装置は容器B内の液体が前記ボンベA内に輸送される輸送路を具備してなり、
前記輸送路における略水平面方向に延在した輸送路には減圧室が構成されてなり、
前記減圧室における略水平面方向に延在した輸送路は、
前記輸送路を輸送される液体の平均深さHが0.5cm~0.3mを満たす事が出来るよう、かつ、前記輸送路を輸送される液体の幅方向の平均長Wが4cm以上を満たす事が出来るよう構成されてなり、
3.8≦W/Hである
装置。 - 前記減圧室における略水平面方向に延在した輸送路は、
前記輸送路を輸送される液体の平均深さHが0.5cm~3cmを満たす事が出来るよう、かつ、前記輸送路を輸送される液体の幅方向の平均長Wが4cm以上を満たす事が出来るよう構成されてなる
請求項1の装置。 - 前記輸送路は、更に、前記略水平面方向に延在した輸送路の出口側端に繋がった上下方向の輸送路を具備すると共に、前記略水平面方向に延在した輸送路の入口側端に繋がった上下方向の輸送路を具備する
請求項1又は請求項2の装置。 - 前記減圧室の内形は略扁平箱形状であり、
前記略扁平箱形状減圧室における前記輸送液体の輸送方向の平均長L1と、前記略扁平箱形状減圧室における前記輸送方向に略直交する幅方向の平均長W1と、前記略扁平箱形状減圧室における前記輸送液体の深さ方向の平均長H1とが、L1>H1,W1>H1を満たすよう構成されてなる
請求項1~請求項3いずれかの装置。 - 前記L1が13cm以上、前記W1が4cm以上、前記H1が0.5cm~0.3mである
請求項4の装置。 - 0<H/S(前記Hは前記減圧室内を輸送される液体の深さの平均値で単位はcm。前記Sは前記減圧室内を輸送される液体と気相との界面の面積で単位はcm2。)<0.039cm-1である
請求項1~請求項5いずれかの装置。 - 前記装置は前記輸送路に接続される容器Bを更に具備してなる
請求項1~請求項6いずれかの装置。 - 前記装置は前記輸送路に接続されるボンベAを更に具備してなる
請求項1~請求項7いずれかの装置。 - 前記装置は容器B内の液体がボンベA内に充填される際に用いられる装置であって、
前記充填の作業中に液体中の溶存ガス量が基準値以下になる
請求項1~請求項6いずれかの装置。 - ガス供給装置と冷却装置とを更に具備してなり、
前記ガス供給装置は前記液体を輸送する為のものであり、
前記冷却装置は前記輸送路を冷却する為のものである
請求項1~請求項9いずれかの装置。 - ボンベA内の液体の溶存ガス量を基準値以下にする為の方法であって、
前記ボンベA内の液体は容器B内から輸送され、
前記輸送の途中において前記液体は平均深さが0.5cm~0.3mであるよう制御され、
前記液体の平均深さが0.5cm~0.3mの状態、かつ、3.8≦幅(前記輸送途中における液体の幅方向の平均長)W/深さ(前記輸送途中における液体の深さの平均深さ)Hである個所において、前記液体は減圧処理を受ける
方法。 - 前記輸送の途中において前記液体は平均深さが0.5cm~3cmであるよう制御され、
前記液体の平均深さが0.5cm~3cmの状態、かつ、3.8≦幅(前記輸送途中における液体の幅方向の平均長)W/深さ(前記輸送途中における液体の深さの平均深さ)Hである個所において、前記液体は減圧処理を受ける
請求項11の方法。 - 容器B内の液体がボンベA内に充填される際に用いられる方法であって、
前記充填の作業中に液体中の溶存ガス量が基準値以下になる
請求項11又は請求項12の方法。 - 容器B内の液体をボンベA内に輸送する為の輸送路が冷却される
請求項11~請求項13いずれかの方法。 - 請求項11~請求項14いずれかの方法であって、
前記方法は請求項1~請求項10いずれかの装置が用いられて処理される
方法。
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Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004060820A1 (ja) | 2002-12-27 | 2004-07-22 | Asahi Glass Company, Limited | 溶融ガラス用導管、溶融ガラス脱泡方法および溶融ガラス脱泡装置 |
| JP2007533419A (ja) | 2003-06-24 | 2007-11-22 | モーテン・ミューラー・リミテッド・アンパルトセルスカブ | 2相ストリームを所望の気体/液体比を有する2つ以上のストリームに分割するためのデバイス |
| JP2010000503A (ja) | 2008-06-23 | 2010-01-07 | Seiko Epson Corp | 純水製造装置及び純水製造装置の制御方法 |
| WO2012141152A1 (ja) | 2011-04-12 | 2012-10-18 | 旭硝子株式会社 | 溶融ガラスの減圧脱泡方法、溶融ガラスの減圧脱泡装置、溶融ガラスの製造方法、溶融ガラスの製造装置、ガラス製品の製造方法、およびガラス製品の製造装置 |
| JP2013544647A (ja) | 2010-11-24 | 2013-12-19 | シーファーム・プロダクツ・エーエス | 水処理 |
| US20140157983A1 (en) | 2012-12-11 | 2014-06-12 | Stratec Biomedical Ag | Device and Method for Degassing of Liquids |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57105207A (en) * | 1980-12-20 | 1982-06-30 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | Method and apparatus for separating gas from high-viscosity liquid fluidized by gas agitation |
| JPS6452513U (ja) * | 1987-09-22 | 1989-03-31 |
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Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004060820A1 (ja) | 2002-12-27 | 2004-07-22 | Asahi Glass Company, Limited | 溶融ガラス用導管、溶融ガラス脱泡方法および溶融ガラス脱泡装置 |
| JP2007533419A (ja) | 2003-06-24 | 2007-11-22 | モーテン・ミューラー・リミテッド・アンパルトセルスカブ | 2相ストリームを所望の気体/液体比を有する2つ以上のストリームに分割するためのデバイス |
| JP2010000503A (ja) | 2008-06-23 | 2010-01-07 | Seiko Epson Corp | 純水製造装置及び純水製造装置の制御方法 |
| JP2013544647A (ja) | 2010-11-24 | 2013-12-19 | シーファーム・プロダクツ・エーエス | 水処理 |
| WO2012141152A1 (ja) | 2011-04-12 | 2012-10-18 | 旭硝子株式会社 | 溶融ガラスの減圧脱泡方法、溶融ガラスの減圧脱泡装置、溶融ガラスの製造方法、溶融ガラスの製造装置、ガラス製品の製造方法、およびガラス製品の製造装置 |
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