JP7370442B2

JP7370442B2 - Placement machine, measuring device

Info

Publication number: JP7370442B2
Application number: JP2022171561A
Authority: JP
Inventors: 利幸澤田; 賢史岩島
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2020-03-30
Filing date: 2022-10-26
Publication date: 2023-10-27
Anticipated expiration: 2035-07-15
Also published as: JP2020096205A; JP6912620B2; JP2021170661A; JP7167265B2; JP2023001190A

Description

本発明は、回路基板に装着される部品の検査を行う装着機に関するものである。 The present invention relates to a mounting machine that inspects components mounted on a circuit board.

特許文献２，３には、プローブを備え、そのプローブの接触により部品の電気的特性を測定する検査装置が記載されている。特許文献１には、保持台に載置させられた部品を両端から挟んで電気的特性を測定する検査装置が記載されている。この検査装置において、送風口部２８から保持台のＶ溝に沿ってエアが供給され、そのＶ溝上にある測定後の部品が導入口部７´へ送られる。そして、不良品は廃棄され、良品は回路基板への装着に用いられる。 Patent Documents 2 and 3 describe inspection devices that include a probe and measure the electrical characteristics of a component by contacting the probe. Patent Document 1 describes an inspection device that measures electrical characteristics of a component placed on a holding table by sandwiching it from both ends. In this inspection device, air is supplied from the air outlet section 28 along the V-groove of the holding table, and the measured component placed on the V-groove is sent to the introduction port 7'. Defective products are then discarded, and non-defective products are used for mounting on circuit boards.

特公昭５２－３０７０３号公報Special Publication No. 52-30703 実開平１－７６１００号公報Utility Model Publication No. 1-76100 国際公開第２０１４／１５５６５７パンフレットInternational Publication No. 2014/155657 pamphlet

本発明の課題は、部品の電気的特性を自動で測定可能な装着機において、電気的特性の測定後、部品をごみ箱に良好に収容することである。 An object of the present invention is to provide a mounting machine that can automatically measure the electrical characteristics of a component, and to store the component in a trash box in a good manner after measuring the electrical characteristics.

Means, actions and effects for solving problems

本発明に係る装着機は、測定位置で部品の電気的特性を測定する一対の測定子と、一対の測定子により測定された後の部品を収容するごみ箱と、一対の測定子により測定された後の部品をごみ箱に収容するためのエアを噴出する開口とを備えたものである。また、本装着機において、ごみ箱と開口とが測定位置を挟んで配置される。
このように、ごみ箱と開口とが測定位置を挟んで配置された装着機において、電気的特性が測定された後の部品をごみ箱に収容するために開口からエアが噴出されるため、電気的特性が測定された後の部品をごみ箱に良好に収容することができる。 The mounting machine according to the present invention includes a pair of probes that measure the electrical characteristics of a component at a measurement position, a trash box that stores the components after being measured by the pair of probes, and It is equipped with an opening that blows out air for storing the subsequent parts in the trash can. In addition, in this mounting machine, the trash can and the opening are arranged with the measurement position in between.
In this way, in a mounting machine in which a trash can and an opening are placed across the measurement position, air is blown out from the opening to store the parts in the trash can after the electrical characteristics have been measured. After the parts have been measured, they can be easily stored in the trash can.

本発明の一実施形態である検査装置を含む装着機の斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of a mounting machine including an inspection device that is an embodiment of the present invention. 上記検査装置の要部の斜視図である。It is a perspective view of the main part of the above-mentioned inspection device. 上記検査装置の要部の断面図である。FIG. 3 is a sectional view of a main part of the inspection device. 上記検査装置の一部平面図である。It is a partial plan view of the said inspection apparatus. 上記検査装置に含まれるエア回路図である。It is an air circuit diagram included in the above-mentioned inspection device. 上記装着機の制御装置を概念的に示す図である。It is a figure conceptually showing the control device of the above-mentioned mounting machine. (a)上記制御装置の記憶部に記憶されたLCR測定プログラムを表すフローチャートである。(b)上記検査装置においてLCRが測定される場合のタイムチャートである。(a) It is a flowchart representing an LCR measurement program stored in the storage unit of the control device. (b) It is a time chart when LCR is measured in the above-mentioned inspection device. 上記制御装置の記憶部に記憶された部品適正判定プログラムを表すフローチャートである。2 is a flowchart representing a component suitability determination program stored in a storage unit of the control device. 上記検査装置の作動を示す図である。(a)初期状態を示す図であり、(b)クランプ状態を示す図であり、(c)測定状態を示す図であり、(d)廃棄状態を示す図である。It is a figure showing operation of the above-mentioned inspection device. (a) A diagram showing an initial state, (b) a diagram showing a clamping state, (c) a diagram showing a measurement state, and (d) a diagram showing a discarding state. 上記検査装置の図２とは異なる角度から見た斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of the inspection device seen from a different angle from FIG. 2;

Embodiment of the invention

以下、本発明の一実施形態である検査装置を含む装着機について図面に基づいて詳細に説明する。
図１に示す装着機は、部品を回路基板に装着するものであり、装置本体２，回路基板搬送保持装置４，部品供給装置６，ヘッド移動装置８等を含む。
回路基板搬送保持装置４は、回路基板Ｐ（以下、基板Ｐと略称する）を水平な姿勢で搬送して保持するものであり、図１において、基板Ｐの搬送方向をｘ方向、基板Ｐの幅方向をｙ方向、基板Ｐの厚み方向をｚ方向とする。ｙ方向、ｚ方向は、それぞれ、装着機の前後方向、上下方向である。これら、ｘ方向、ｙ方向、ｚ方向は互いに直交する。部品供給装置６は、基板Ｐに装着される電子部品（以下、部品と略称する）ｓを供給するものであり、複数のテープフィーダ１４等を含む。ヘッド移動装置８は、装着ヘッド１６を保持してｘ、ｙ、ｚ方向へ移動させるものであり、装着ヘッド１６は、部品ｓを吸着して保持する吸着ノズル１８を有する。 DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A mounting machine including an inspection device according to an embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.
The mounting machine shown in FIG. 1 is for mounting components onto a circuit board, and includes a device main body 2, a circuit board conveyance/holding device 4, a component supply device 6, a head moving device 8, and the like.
The circuit board transport/holding device 4 transports and holds a circuit board P (hereinafter abbreviated as "board P") in a horizontal position. In FIG. The width direction is the y direction, and the thickness direction of the substrate P is the z direction. The y direction and the z direction are the front-back direction and the up-down direction of the mounting machine, respectively. These x, y, and z directions are orthogonal to each other. The component supply device 6 supplies electronic components (hereinafter abbreviated as components) s to be mounted on the board P, and includes a plurality of tape feeders 14 and the like. The head moving device 8 holds and moves the mounting head 16 in the x, y, and z directions, and the mounting head 16 has a suction nozzle 18 that suctions and holds the component s.

また、符号２０はカメラを示す。カメラ２０は、吸着ノズル１８によって保持された部品ｓを撮像するものであり、カメラ２０によって撮像された画像に基づいて、部品ｓが回路基板Ｐに装着される予定のものであるか否かが判定される。符号２２は検査装置を示す。検査装置２２は、部品ｓの電気的特性を測定して、検査するものである。部品ｓの電気的特性が測定され、測定された電気的特性が、JOB情報に含まれる部品ｓに関する情報（電気的特性）と一致するか否か、すなわち、次の作業に用いられる予定の部品ｓが備えた電気的特性と一致するか否かが判定されるのである。
部品ｓの電気的特性としては、Ｌ（インダクタンス）、Ｃ（キャパシタンス）、Ｒ（レジスタンス）、Ｚ′（インピーダンス）等が該当し、検査装置２２によってこれらのうちの１つ以上が測定される。 Further, the reference numeral 20 indicates a camera. The camera 20 takes an image of the component s held by the suction nozzle 18, and based on the image taken by the camera 20, it is determined whether the component s is scheduled to be mounted on the circuit board P. It will be judged. Reference numeral 22 indicates an inspection device. The inspection device 22 measures and inspects the electrical characteristics of the component s. The electrical characteristics of the part s are measured, and whether or not the measured electrical characteristics match the information (electrical characteristics) regarding the part s included in the JOB information, that is, the part scheduled to be used in the next work. It is determined whether the electrical characteristics match the electrical characteristics of s.
The electrical characteristics of the component s include L (inductance), C (capacitance), R (resistance), Z' (impedance), etc., and the inspection device 22 measures one or more of these.

検査装置２２は、ごみ箱２６を介して回路基板搬送保持装置４の本体に設けられる。ごみ箱２６と検査装置２２とは廃棄通路２８によって接続されるが、電気的特性が測定された部品ｓが、廃棄通路２８を経てごみ箱２６に収容される。検査装置２２は、ごみ箱２６に高さ調整可能に設けられる。図２，１０に示すように、ごみ箱２６には、昇降可能にベース部３０が係合させられ、ベース部３０に本体２９がボルトおよびナットを含む締結部３１（図３，４，１０参照）によって固定され、これらベース部３０および本体２９が一体的に昇降可能に保持される。また、本体２９、ベース部３０には、それぞれ、廃棄通路２８と連通可能な開口２９ａ、３０ａが設けられる（図３，４参照）。
検査装置２２は、図２～４，１０に示すように、(i)上記本体２９およびベース部３０、(ii)部品ｓを保持可能な保持台３２、(iii)固定子３４および可動子３６から成る一対の測定子３７、(iv)保持台３２を移動させる保持台移動装置４０、(v)可動子３６を固定子３４に対して接近・離間させる可動子移動装置４１、(vi)電気的特性検出部としてのLCR検出部４２等を含む。本実施例において、部品ｓは、両端部に電極を有し、一対の測定子３７によって把持可能なものとすることができる。部品ｓとしては、例えば、角チップと称するものが該当する。 The inspection device 22 is provided in the main body of the circuit board conveyance/holding device 4 via a trash box 26 . The trash can 26 and the inspection device 22 are connected by a waste passage 28, and the parts s whose electrical characteristics have been measured are stored in the trash can 26 via the waste passage 28. The inspection device 22 is installed in the trash can 26 so that its height can be adjusted. As shown in FIGS. 2 and 10, a base portion 30 is engaged with the trash can 26 so as to be movable up and down, and a fastening portion 31 (see FIGS. 3, 4, and 10) that includes a main body 29 and a bolt and a nut is attached to the base portion 30. The base portion 30 and the main body 29 are held integrally so as to be movable up and down. Further, the main body 29 and the base portion 30 are provided with openings 29a and 30a, respectively, which can communicate with the waste passage 28 (see FIGS. 3 and 4).
As shown in FIGS. 2 to 4 and 10, the inspection device 22 includes (i) the main body 29 and the base portion 30, (ii) a holding table 32 capable of holding the component s, and (iii) a stator 34 and a movable member 36. (iv) a holding table moving device 40 for moving the holding table 32; (v) a moving piece moving device 41 for moving the mover 36 toward and away from the stator 34; (vi) an electrical It includes an LCR detection section 42 and the like as a characteristic detection section. In this embodiment, the component s has electrodes at both ends and can be gripped by a pair of probes 37 . An example of the component s is a so-called square chip.

保持台３２は、部品載置部４４と、部品載置部４４を保持する載置部保持体４６とを含む。部品載置部４４の上面にはV溝４４ｃが形成され、部品ｓが載せられる。Ｖ形状とされているため、部品ｓの位置が精度よく決まる。
部品載置部４４は、導電性、耐摩耗性を有し、かつ、酸化が進み難い材料で製造されたものとすることができる。部品載置部４４は、複数の導電性を有する部材を介してベース部３０に電気的に接続されるが、ベース部３０が接地されることにより、部品載置部４４も接地される。本実施例においては、部品載置部４４が載置部保持体４６に当接し、かつ、締結部４７によって固定されるとともに、載置部保持体４６が本体２９にストッパ８０（図３参照）を介して当接し、本体２９がベース部３０に締結部３１によって固定される。そして、載置部保持体４６、ストッパ８０、本体２９、ベース部３０、締結部３１、４７等は導電性を有するものである。したがって、部品載置部４４は接地されるのである。
このように、部品載置部４４が導電性を有する材料で製造され、かつ、接地されることにより、部品載置部４４に載置させられた部品ｓの除電を行うことができる。また、部品載置部４４が、耐摩耗性を有する材料で製造されることにより、部品載置部４４の摩耗を抑制し、耐久性を向上させることができる。さらに、酸化が進み難い材料、すなわち、金属の酸化被膜である不動態皮膜が形成され得る材料で製造されることにより、部品載置部４４が錆び難くすることができる。錆が部品ｓに付き難くすること等ができ、部品ｓの電気的特性の測定精度の低下を抑制することができる。例えば、部品載置部４４は、アルミニウム合金またはステンレス材料等によって製造されたものとすることができる。 The holding table 32 includes a component placement section 44 and a placement section holder 46 that holds the component placement section 44 . A V-groove 44c is formed on the upper surface of the component placement section 44, and the component s is placed thereon. Since it is V-shaped, the position of the component s can be determined with high accuracy.
The component placement portion 44 may be made of a material that has conductivity, wear resistance, and is resistant to oxidation. The component mounting section 44 is electrically connected to the base section 30 via a plurality of conductive members, and when the base section 30 is grounded, the component mounting section 44 is also grounded. In this embodiment, the component placement part 44 contacts the placement part holder 46 and is fixed by the fastening part 47, and the placement part holder 46 is attached to the main body 29 by the stopper 80 (see FIG. 3). The main body 29 is fixed to the base portion 30 by the fastening portion 31 . The placing part holder 46, the stopper 80, the main body 29, the base part 30, the fastening parts 31, 47, etc. are electrically conductive. Therefore, the component mounting section 44 is grounded.
In this way, by making the component mounting section 44 from a conductive material and grounding it, static electricity can be removed from the component s placed on the component mounting section 44. Furthermore, by manufacturing the component placement section 44 with a material having wear resistance, wear of the component placement section 44 can be suppressed and durability can be improved. Furthermore, by being manufactured from a material that is difficult to oxidize, that is, a material that can form a passive film, which is a metal oxide film, the component mounting portion 44 can be made less likely to rust. It is possible to make it difficult for rust to adhere to the component s, and it is possible to suppress a decrease in measurement accuracy of the electrical characteristics of the component s. For example, the component mounting portion 44 may be made of aluminum alloy, stainless steel, or the like.

固定子３４、可動子３６は、それぞれ、互いに対向する対向面３４ｆ、３６ｆを有し、これら一対の対向面３４ｆ、３６ｆによって部品ｓが把持される。固定子３４は固定子保持体５５を介して本体２９に固定される。可動子３６は、可動子保持体５６に一体的に移動可能に保持されたものであり、固定子３４に対して接近・離間可能とされる。本実施例において、対向面３６ｆは、断面が三角形状を成し、Ｖ溝４４ｃに沿って移動可能とされる。換言すれば、可動子３６の対向面３６ｆの形状は、ほぼＶ溝４４ｃに対応する形状とされ、可動子３６の対向面３６ｆ、固定子３４の対向面３４ｆおよび保持台３２のＶ溝４４ｃは、ほぼ同一高さに位置する。そのため、部品ｓがＶ溝４４ｃ内のいずれにあっても、一対の対向面３４ｆ、３６ｆによって部品ｓが把持可能とされる。
また、可動子３６は、本実施例において、ｙ方向（移動方向）に伸びた長手部材であり、後退端において可動子保持体５６に保持される。さらに、対向面３６ｆを含む先端部より後部は、先端部よりｘ方向にはみ出す部分を有さない形状を成す。その結果、保持台３２と可動子３６とは互いに相対移動可能とされ、保持台３２は、Ｖ溝４４の底部が可動子３６を下方に位置する状態で、対向面３６ｆの前方へ移動したり後方へ移動したりすることが可能である。
さらに、可動子３６と固定子３４とから成る一対の測定子３７、LCR検出部４２、図示を省略する電源装置等を含む電気回路５８が形成される。これら固定子３４と可動子３６との間に電流が供給されるとともに流れた電流が検出され、これらの関係に基づいて部品ｓの電気的特性がＬＣＲ検出部４２によって測定される。LCR検出部４２は、Ｌ，Ｃ，Ｒを検出する検出部に限らず、Ｌ，Ｃ，Ｒ，Ｚ´等の電気的特性を表す物理量の１つ以上を検出するものとすることができる。なお、図２～４の符号５８ａ、ｂは、一対の測定子３７の電気回路５８への接続部である。 The stator 34 and the mover 36 each have opposing surfaces 34f and 36f that face each other, and the component s is gripped by these pair of opposing surfaces 34f and 36f. The stator 34 is fixed to the main body 29 via a stator holder 55. The movable element 36 is movably held integrally with a movable element holder 56, and can approach and move away from the stator 34. In this embodiment, the opposing surface 36f has a triangular cross section and is movable along the V-groove 44c. In other words, the shape of the facing surface 36f of the movable element 36 is made to correspond approximately to the V-groove 44c, and the facing surface 36f of the movable element 36, the facing surface 34f of the stator 34, and the V-groove 44c of the holding base 32 are , located at almost the same height. Therefore, no matter where the component s is in the V-groove 44c, the component s can be gripped by the pair of opposing surfaces 34f and 36f.
Further, in this embodiment, the movable element 36 is a longitudinal member extending in the y direction (movement direction), and is held by the movable element holder 56 at the retreating end. Further, the rear portion of the tip including the opposing surface 36f has a shape that does not have a portion protruding from the tip in the x direction. As a result, the holding table 32 and the movable element 36 are movable relative to each other, and the holding table 32 can be moved forward of the opposing surface 36f with the bottom of the V-groove 44 positioned below the movable element 36. It is possible to move backwards.
Furthermore, an electric circuit 58 including a pair of measuring elements 37 consisting of a movable element 36 and a stator 34, an LCR detection section 42, a power supply device (not shown), etc. is formed. A current is supplied between the stator 34 and the movable element 36, and the flowing current is detected, and the electrical characteristics of the component s are measured by the LCR detection section 42 based on these relationships. The LCR detection section 42 is not limited to a detection section that detects L, C, and R, but may detect one or more physical quantities representing electrical characteristics such as L, C, R, and Z'. Note that reference numerals 58a and 58b in FIGS. 2 to 4 are connection portions of the pair of probes 37 to the electric circuit 58.

保持台３２にはカバー部５０が取り付けられる。カバー部５０は、互いにｘ方向に隔たって、Ｖ溝４４ｃの両側にそれぞれ設けられた一対のカバー用板部５２，５４を含む。カバー用板部５２，５４は、それぞれ、保持台３２の固定子３４側に設けられ、ｙ方向およびｚ方向、すなわち、保持台３２、可動子３６の移動方向および上下方向に伸びたものであり、板状部材が曲げられた形状を成す。カバー用板部５２は、平面視において溝形を成し、底板部５２ａと、それの両側に、ｘ方向に隔たって設けられた側板部５２ｂ、５２ｃとを含む。底板部５２ａは、下部が曲げられた形状を成し、側面視においてＬ字形を成し、上部において部品載置部４４の固定子３４側の側面に取り付けられる。また、保持台３２の前進端位置において、底板部５２の下部が固定子保持体５５の上方に位置し、側板部５２ｂが固定子３４の外側、かつ、固定子保持体５５の上方に位置し、側板部５２ｃが側板部５２ｂより外側であって、固定子保持体５５の外側に位置する。側板部５２ｃは、側板部５２ｂより上下方向の寸法が大きいものであり、下端部が本体２９の開口２９ａ付近まで伸びる。カバー用板部５４は、Ｖ溝４４ｃに対してカバー用板部５２の反対側の載置部保持体４６に取り付けられる。カバー用板部５４は、保持台３２の前進端位置において、固定子保持体５５の外側に位置する。カバー用板部５４は、上下方向に曲げられた形状を成し、下端部が本体２９の開口２９ａ付近まで伸びたものである。
また、側板部５２ｃ、カバー用板部５４のｙ方向の寸法は、固定子３４と可動子３６とが互いに離間させられる場合の少なくとも一時期に一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間の空間のほぼ全体をｘ方向から覆い得る大きさとされる。
なお、カバー部５０は、後述するように、エアの拡散を防止するとともに、エアの噴出によって落下させられた部品ｓの飛散を防止する機能を果たす。 A cover portion 50 is attached to the holding base 32. The cover portion 50 includes a pair of cover plate portions 52 and 54 provided on both sides of the V-groove 44c and separated from each other in the x direction. The cover plate parts 52 and 54 are respectively provided on the stator 34 side of the holding base 32 and extend in the y direction and the z direction, that is, in the moving direction of the holding base 32 and the movable element 36, and in the vertical direction. , the plate member has a bent shape. The cover plate portion 52 has a groove shape in a plan view, and includes a bottom plate portion 52a and side plate portions 52b and 52c provided on both sides of the bottom plate portion 52a to be spaced apart in the x direction. The bottom plate part 52a has a bent lower part and an L-shape in side view, and the upper part is attached to the side surface of the component mounting part 44 on the stator 34 side. Further, at the forward end position of the holding base 32, the lower part of the bottom plate part 52 is located above the stator holder 55, and the side plate part 52b is located outside the stator 34 and above the stator holder 55. , the side plate portion 52c is located on the outside of the side plate portion 52b and on the outside of the stator holder 55. The side plate portion 52c has a larger dimension in the vertical direction than the side plate portion 52b, and its lower end portion extends to the vicinity of the opening 29a of the main body 29. The cover plate part 54 is attached to the mounting part holder 46 on the opposite side of the cover plate part 52 with respect to the V-groove 44c. The cover plate portion 54 is located outside the stator holder 55 at the forward end position of the holder 32 . The cover plate portion 54 has a shape bent in the vertical direction, and its lower end portion extends to the vicinity of the opening 29a of the main body 29.
Further, the dimensions in the y direction of the side plate portion 52c and the cover plate portion 54 are approximately the entire space between the pair of opposing surfaces 34f and 36f at least for a period of time when the stator 34 and the movable element 36 are separated from each other. The size is such that it can cover from the x direction.
Note that, as will be described later, the cover portion 50 functions to prevent the diffusion of air and also to prevent the parts s dropped by the air from being scattered.

固定子側の部材｛例えば、固定子３４の上部または固定子保持体５５の固定子３４の上方の部分または本体２９｝には、可動子３６の対向面３６ｆに対向するエア通路６０の開口６０ａが形成される。エア通路６０は、図３に示すように概してｙ方向に伸びたエア噴出通路６０ｓ、本体２９に形成された内部通路６０ｈ等を含む。エア噴出通路６０ｓは、可動子３６に近づくにつれて下方へいく向きに傾斜して伸び、可動子３６が固定子３４から離間した位置にある場合に、延長線ｋが可動子３６の対向面３６ｆの部分Ｒの上方または部分Ｒ内に達する状態で伸びたものである。部分Ｒは、可動子３６の対向面３６ｆの部品ｓを把持する頻度が高い部分であり、把持部と称することができる。エアは、対向面３６ｆの延長線ｋが交差する部分に、斜め上方から当たる。
エア通路６０には、エアシリンダ６４，７０が接続される。また、エア通路６０のエアシリンダ６４，７０の下流側の部分にはイオナイザ６２が設けられる。イオナイザ６２は、コロナ放電を生起させて空気をイオン化するものであり、対向面３６ｆにイオン化された空気が供給され得る。 The stator side member {for example, the upper part of the stator 34 or the upper part of the stator 34 of the stator holder 55 or the main body 29} has an opening 60a of the air passage 60 facing the opposing surface 36f of the movable element 36. is formed. The air passage 60 includes an air jet passage 60s extending generally in the y direction as shown in FIG. 3, an internal passage 60h formed in the main body 29, and the like. The air blowing passage 60s extends downward as it approaches the movable element 36, and when the movable element 36 is in a position separated from the stator 34, the extension line k extends from the opposing surface 36f of the movable element 36. It extends above part R or into part R. The portion R is a portion that frequently grips the component s on the facing surface 36f of the movable element 36, and can be referred to as a gripping portion. The air hits the portion where the extension line k of the opposing surface 36f intersects from diagonally above.
Air cylinders 64 and 70 are connected to the air passage 60. Further, an ionizer 62 is provided in a portion of the air passage 60 on the downstream side of the air cylinders 64 and 70. The ionizer 62 generates corona discharge to ionize air, and ionized air can be supplied to the opposing surface 36f.

保持台移動装置４０は、本体２９またはベース部３０に固定的に設けられた駆動源としてのエアシリンダ６４を含む。エアシリンダ６４のピストンロッド６６（図５参照）には載置部保持体４６が連結される。エアシリンダ６４は、シリンダハウジングの内部にピストンによって仕切られた２つのエア室６４ａ、６４ｂを含み、２つのエア室６４ａ、６４ｂとエア源６８、エア通路６０、フィルタ（大気）との間に電磁弁装置６９が設けられる。電磁弁装置６９は、１つ以上の電磁弁、例えば、図５に示すように、方向切換弁、可変絞りを含むものとすることができる。方向切換弁により、載置部保持体４６の移動方向が制御され、可変絞りにより載置部保持体４６の移動・停止が制御される。電磁弁装置６９によって、エア室６４ｂがエア源６８に連通させられエア室６４ａがエア通路６０に連通させられることにより、保持台３２が前進（図３の矢印Ｆ方向の移動）させられ、エア室６４ｂが大気に開放されエア室６４ａがエア源６８に連通させられることにより、保持台３２が後退（図３の矢印Ｂ方向の移動）させられる。 The holding table moving device 40 includes an air cylinder 64 as a driving source fixedly provided on the main body 29 or the base portion 30. A mounting portion holder 46 is connected to a piston rod 66 (see FIG. 5) of the air cylinder 64. The air cylinder 64 includes two air chambers 64a, 64b partitioned by a piston inside the cylinder housing, and an electromagnetic connection between the two air chambers 64a, 64b, an air source 68, an air passage 60, and a filter (atmosphere). A valve arrangement 69 is provided. The solenoid valve arrangement 69 may include one or more solenoid valves, for example, as shown in FIG. 5, a directional valve, a variable throttle. The direction switching valve controls the moving direction of the placing part holder 46, and the variable throttle controls the movement and stopping of the placing part holder 46. The solenoid valve device 69 causes the air chamber 64b to communicate with the air source 68 and the air chamber 64a to communicate with the air passage 60, so that the holding table 32 is moved forward (movement in the direction of arrow F in FIG. 3), and the air By opening the chamber 64b to the atmosphere and communicating the air chamber 64a to the air source 68, the holding table 32 is moved backward (moved in the direction of arrow B in FIG. 3).

可動子移動装置４１は、本体２９に固定的に設けられた駆動源としてのエアシリンダ７０を含む。エアシリンダ７０のピストンロッド７１には可動子と一体的に移動可能な可動子保持体５６が連結される。エアシリンダ７０のハウジングの内部にピストンによって仕切られた２つのエア室７０ａ、７０ｂには、電磁弁装置７２を介して、エア源６８、エア通路６０、フィルタ（大気）に接続される。電磁弁装置７２は、１つ以上の電磁弁を含むものであり、例えば、方向切換弁、可変絞り等を含むものとすることができる。電磁弁装置７２により、エア室７０ｂがエア通路６０に連通させられエア室７０ａがエア源６８に連通させられることにより、可動子３６が後退させられ、エア室７０ａが大気に開放されエア室７０ｂがエア源６８に連通させられることにより、可動子３６が前進させられる。
本実施例においては、エアシリンダ６４，７０、エア通路６０（エア噴出通路６０ｓを含む）、開口６０ａ、カバー部５０、イオナイザ６２等によりエア供給装置７３が構成される。エア供給装置７３は、可動子供給部、駆動源連動型供給部でもある。また、対向面３６ｆが供給対象面に対応する。
なお、電磁弁装置６９，７２の構造は、本実施例のそれに限らない。例えば、１つの３位置弁を含むものとしたり、複数の開閉弁を含むものとしたりすること等ができる。また、イオナイザ６２を設けることは不可欠ではない。 The movable element moving device 41 includes an air cylinder 70 that is fixedly provided on the main body 29 and serves as a driving source. A movable element holder 56 is connected to the piston rod 71 of the air cylinder 70 and is movable integrally with the movable element. Two air chambers 70a and 70b partitioned by a piston inside the housing of the air cylinder 70 are connected to an air source 68, an air passage 60, and a filter (atmosphere) via a solenoid valve device 72. The electromagnetic valve device 72 includes one or more electromagnetic valves, and may include, for example, a directional control valve, a variable throttle, and the like. The solenoid valve device 72 causes the air chamber 70b to communicate with the air passage 60 and the air chamber 70a with the air source 68, thereby causing the mover 36 to move backward, the air chamber 70a to be opened to the atmosphere, and the air chamber 70b to be opened to the atmosphere. By communicating with the air source 68, the movable element 36 is moved forward.
In this embodiment, an air supply device 73 is constituted by the air cylinders 64, 70, the air passage 60 (including the air jet passage 60s), the opening 60a, the cover portion 50, the ionizer 62, and the like. The air supply device 73 is also a movable child supply section and a drive source-linked supply section. Moreover, the opposing surface 36f corresponds to the supply target surface.
Note that the structure of the electromagnetic valve devices 69 and 72 is not limited to that of this embodiment. For example, it may include one three-position valve, or it may include a plurality of on-off valves. Further, it is not essential to provide the ionizer 62.

可動子保持体５６と本体２９との間には、ｙ方向に伸びた一対のガイドロッド７４，７５が設けられ、保持台３２と可動子保持体５６との間には、ｙ方向に伸びた一対のガイドロッド７６，７７が設けられる。ガイドロッド７４，７５の一端部は、可動子保持体５６に連結され、他端部は、本体２９に摺動可能に係合させられる。ガイドロッド７６，７７は、一端部において載置部保持体４６に連結されるとともに、可動子保持体５６に摺動可能に係合させられる。これらガイドロッド７４，７５、７６，７７により保持台３２と可動子３６とは本体２９に対して、ｙ方向に互いに相対移動可能とされるとともに、保持台３２と可動子３６とは互いにｙ方向に相対移動可能とされる。
また、図３に示すように、可動子保持体５６の固定子側にはストッパ８２が設けられ、本体２９の固定子保持体５５を保持する部分にはストッパ８０が設けられる。ストッパ８２は、可動子保持体５６と保持台３２（載置部保持体４６）との接近限度を規定するものであり、ストッパ８０は、固定子３４（本体２９）と保持台３２（載置部保持体４６）との接近限度を規定するものである。
本実施例において、ガイドロッド７４～７７は、保持台移動装置４０、可動子移動装置４１に共有され、ストッパ８０，８２は保持台移動装置４０の構成要素であると考えることができる。
なお、図３に示すように、可動子３６が後退端位置にある場合のストッパ８２の前端部と、保持台３２が前進端位置にある場合の載置部保持体４６との間の隙間Ｌｄが、可動子３６と保持台３２との相対移動が許容される距離である。 A pair of guide rods 74 and 75 extending in the y direction are provided between the movable element holder 56 and the main body 29, and a pair of guide rods 74 and 75 extending in the y direction are provided between the holder 32 and the movable element holder 56. A pair of guide rods 76 and 77 are provided. One end of the guide rods 74 and 75 is connected to the movable element holder 56, and the other end is slidably engaged with the main body 29. The guide rods 76 and 77 are connected to the mounting portion holder 46 at one end and are slidably engaged with the movable element holder 56. These guide rods 74, 75, 76, and 77 allow the holding base 32 and the movable element 36 to move relative to each other in the y direction with respect to the main body 29, and the holding base 32 and the movable element 36 can be moved relative to each other in the y direction. It is assumed that relative movement is possible.
Further, as shown in FIG. 3, a stopper 82 is provided on the stator side of the movable element holder 56, and a stopper 80 is provided in the portion of the main body 29 that holds the stator holder 55. The stopper 82 defines the approach limit between the movable element holder 56 and the holding base 32 (mounting part holder 46), and the stopper 80 defines the approach limit between the movable element holder 56 and the holding base 32 (mounting part holder 46). This defines the approach limit to the part holder 46).
In this embodiment, the guide rods 74 to 77 are shared by the holding table moving device 40 and the mover moving device 41, and the stoppers 80 and 82 can be considered to be components of the holding table moving device 40.
As shown in FIG. 3, the gap Ld between the front end of the stopper 82 when the mover 36 is at the backward end position and the mounting part holder 46 when the holding base 32 is at the forward end position. is the distance in which relative movement between the mover 36 and the holding base 32 is allowed.

当該装着機は制御装置１００を含む。制御装置１００は、図６に示すように、コンピュータを主体とするコントローラ１０２と、複数の駆動回路１０４とを含む。コントローラ１０２は、実行部１１０、記憶部１１２、入出力部１１４等を含み、入出力部１１４には、基板搬送保持装置４、部品供給装置６、ヘッド移動装置８が、それぞれ、駆動回路１０４を介して接続されるとともに、可動子移動装置４１、保持台移動装置４０の電磁弁装置６９，７２等が接続される。また、ＬＣＲ検出部４２、ディスプレイ１１６、可動子位置センサ１１８、保持台位置センサ１２０、ノズル１８の高さを検出するノズル高さセンサ１２２等が接続される。記憶部１１２には、図７(a)のフローチャートで表されるLCR検出プログラム等の複数のプログラム、テーブルが記憶されている。また、コントローラ１０２に設けられたタイマ１２４によって時間の計測が行われる。
なお、本実施例においては、制御装置１００によって装着機全体が制御される場合について説明したが、基板搬送保持装置４、部品供給装置６、ヘッド移動装置８等がそれぞれ互いに個別の制御装置によって制御されるようにすることもできる。 The mounting machine includes a control device 100. As shown in FIG. 6, the control device 100 includes a controller 102 mainly composed of a computer, and a plurality of drive circuits 104. The controller 102 includes an execution section 110, a storage section 112, an input/output section 114, and the like. At the same time, the movable element moving device 41, the electromagnetic valve devices 69, 72, etc. of the holding table moving device 40 are connected. Further, an LCR detection unit 42, a display 116, a movable element position sensor 118, a holder position sensor 120, a nozzle height sensor 122 that detects the height of the nozzle 18, and the like are connected. The storage unit 112 stores a plurality of programs and tables, such as the LCR detection program shown in the flowchart of FIG. 7(a). Further, time is measured by a timer 124 provided in the controller 102.
In this embodiment, a case has been described in which the entire mounting machine is controlled by the control device 100, but the substrate transport and holding device 4, the component supply device 6, the head moving device 8, etc. are each controlled by separate control devices. You can also make it so that

以下、装着機の作動について説明する。
段取り替えが行われる場合等、新たなテープフィーダ１４のセット、テープフィーダ１４の交換等が行われた場合等に、そのテープフィーダ１４に保持された部品ｓの電気的特性が測定され、そのテープフィーダ１４（または部品ｓ）が適切なものであるか否かが検査される。また、その検査結果がディスプレイ１１６に表示される。不適切である場合には、テープフィーダ１４が取り替えられる。 The operation of the mounting machine will be explained below.
When a setup is changed, a new tape feeder 14 is set, a tape feeder 14 is replaced, etc., the electrical characteristics of the parts s held in the tape feeder 14 are measured, and the tape The suitability of the feeder 14 (or part s) is checked. Further, the test results are displayed on the display 116. If unsuitable, tape feeder 14 is replaced.

部品ｓの電気的特性は、図７(a)のフローチャートで表されるLCR測定プログラムの実行により測定される。また、保持台３２、可動子３６の動き、保持台位置センサ１２０、可動子位置センサ１１８の状態を図７(b)に示す。
検査装置２２は、常には、図９(a)に示す初期状態にある。可動子３６は後退端位置にあり、保持台３２は前進端位置、すなわち、ストッパ８０に当接した位置にある。この状態において、保持台３２は、内部導通等によりアースされた状態にある。保持台３２のＶ溝４４ｃの上方に可動子３６が存在せず、部品ｓを載置可能な状態にある。また、カバー部５０は固定子３４の両側（ｘ方向に隔たって）に位置する。可動子位置センサ１１８、保持台位置センサ１２０は、いずれもＯＮ状態にある。
ステップ１（以下、Ｓ１と略称する。他のステップについても同様とする）において、部品ｓの電気的特性の測定指令が出されたか否かが判定される。段取り替えが行われる場合等には電気的特性の測定指令が出される。測定指令が出されると、Ｓ２において、装着ヘッド１６が移動させられ、例えば、新たに取り付けられたテープフィーダ１４に保持された部品ｓが吸着ノズル１８によってピックアップされて、保持台３２のＶ溝４４ｃ上に載せられる。吸着ノズル１８が下降させられ、部品ｓが開放されることにより、部品ｓがＶ溝４４ｃ上に載置させられたことがわかる。 The electrical characteristics of the component s are measured by executing the LCR measurement program shown in the flowchart of FIG. 7(a). Further, the movements of the holding table 32 and the movable element 36, and the states of the holding table position sensor 120 and the movable element position sensor 118 are shown in FIG. 7(b).
The inspection device 22 is always in the initial state shown in FIG. 9(a). The movable element 36 is at the backward end position, and the holding base 32 is at the forward end position, that is, at a position where it abuts against the stopper 80. In this state, the holding base 32 is grounded due to internal conduction or the like. The movable element 36 does not exist above the V-groove 44c of the holding table 32, and the component s can be placed thereon. Further, the cover portions 50 are located on both sides of the stator 34 (separated in the x direction). The movable element position sensor 118 and the holding table position sensor 120 are both in the ON state.
In step 1 (hereinafter abbreviated as S1; the same applies to other steps), it is determined whether a command to measure the electrical characteristics of component s has been issued. When a setup change is to be performed, an electrical characteristic measurement command is issued. When a measurement command is issued, the mounting head 16 is moved in S2, and, for example, the component s held on the newly attached tape feeder 14 is picked up by the suction nozzle 18 and placed in the V-groove 44c of the holding table 32. be placed on top. It can be seen that the suction nozzle 18 is lowered and the component s is released, so that the component s is placed on the V-groove 44c.

そして、吸着ノズル１８が部品ｓをＶ溝４４ｃ上に載置させて上昇端に達したことがノズル高さセンサ１２２によって検出されると、Ｓ３において、電磁弁装置７２の制御により可動子３６が前進させられ、可動子位置センサ１１８がＯＮからＯＦＦに切り換えられる。可動子３６の先端の対向面３６ｆは、部品載置部４４のＶ溝４４ｃに沿って前進させられ、対向面３６ｆと固定子３４の対向面３４ｆとによって部品ｓがクランプされる｛図９(b)｝。本実施例においては、後退端位置から部品ｓをクランプするまでの可動子３６のストロークＬ₁（図３参照）は、クランプされる部品ｓの大きさ等で決まり、予め決められている。可動子３６の前進開始時から、可動子３６がストロークＬ₁前進するまでに要する時間である前進時間が経過した後に、可変絞りの制御等により、可動子３６の前進が停止させられる。前進時間は、タイマ１２４によって計測される。この保持台３２が前進端位置にあり、可動子３６が前進させられ、一対の対向面３４ｆ、３６ｆにより部品ｓがクランプされた状態がクランプ状態である。 When the nozzle height sensor 122 detects that the suction nozzle 18 has placed the component s on the V-groove 44c and reached the rising end, in S3, the movable element 36 is moved under the control of the solenoid valve device 72. It is moved forward, and the movable element position sensor 118 is switched from ON to OFF. The opposing surface 36f at the tip of the movable element 36 is advanced along the V-groove 44c of the component placement section 44, and the component s is clamped by the opposing surface 36f and the opposing surface 34f of the stator 34 {Fig. b)}. In this embodiment, the stroke L ₁ (see FIG. 3) of the movable member 36 from the rearward end position to clamping the component s is determined in advance by the size of the component s to be clamped. After the advance time, which is the time required for the movable element 36 to move forward by a stroke L ₁ from when the movable element 36 starts moving forward, has elapsed, the advancement of the movable element 36 is stopped by controlling the variable aperture or the like. The forward time is measured by a timer 124. A clamped state is a state in which the holding base 32 is at the forward end position, the mover 36 is advanced, and the component s is clamped by the pair of opposing surfaces 34f and 36f.

Ｓ４において、電磁弁装置６９の制御により保持台３２が後退させられ、保持台位置センサ１２０がＯＮからＯＦＦに切り換えられる。保持台３２は、ストッパ８２に当接するまで後退させられ｛図９(c)｝、その位置で保持される。その間の保持台３２のストロークはＬ₂（図３参照）である。
Ｌ₂＝Ｌｄ－Ｌ₁
本実施例においては、ストロークＬ₂は設定値Ｌｘ以上の大きさとされていて（Ｌ₂≧Ｌｘ）、部品載置部４４が部品ｓから設定値Ｌｘ以上離間させられる。導電性を有する部材（部品載置部４４）が電気的特性の測定時に部品ｓの近傍に位置すると静電誘導が起きたり、渦電流が生じたりする等、電気的特性を正確に検出することができない。それに対して、部品載置部４４を部品ｓから設定値Ｌｘ以上離間させれば（部品載置部４４と部品ｓとの最短距離が設定値Ｌｘ以上とすれば）、部品載置部４４が部品ｓの近傍に位置することに起因して生じる電気的特性の測定誤差を小さくすることができる。このように、設定値Ｌｘは、部品載置部４４が部品ｓの電気的特性の測定に影響を及ぼし難い距離であり、予め実験等により取得された値である。この状態が測定状態である。
なお、保持台３２の後退開始時から、保持台３２がストロークＬ₂後退するのに要する時間である後退時間Taが経過した後に、電磁弁装置６９の制御により保持台３２の位置が保持される。後退時間Taは、タイマ１２４によって計測される。 In S4, the holding stand 32 is moved backward under the control of the electromagnetic valve device 69, and the holding stand position sensor 120 is switched from ON to OFF. The holding stand 32 is moved backward until it comes into contact with the stopper 82 {FIG. 9(c)}, and is held at that position. The stroke of the holding table 32 during this period is L ₂ (see FIG. 3).
L ₂ = Ld - L ₁
In this embodiment, the stroke L ₂ is greater than or equal to the set value Lx (L ₂ ≧Lx), and the component mounting portion 44 is spaced apart from the component s by the set value Lx or more. If a conductive member (component placement part 44) is located near the component s when measuring the electrical characteristics, electrostatic induction or eddy current will occur, etc., so that the electrical characteristics can be accurately detected. I can't. On the other hand, if the component placement section 44 is separated from the component s by the set value Lx or more (if the shortest distance between the component placement section 44 and the component s is greater than or equal to the set value Lx), the component placement section 44 It is possible to reduce measurement errors in electrical characteristics caused by being located near the component s. In this way, the set value Lx is a distance at which the component placement section 44 is unlikely to affect the measurement of the electrical characteristics of the component s, and is a value obtained in advance through experiments or the like. This state is the measurement state.
Note that the position of the holding stand 32 is maintained by the control of the solenoid valve device 69 after the retraction time Ta, which is the time required for the holding stand 32 to move backward by a stroke L ₂ , has elapsed from the time when the holding stand 32 started retreating. . The retreat time Ta is measured by the timer 124.

Ｓ５において、吸着ノズル１８により部品ｓが開放され、Ｖ溝４４ｃ上に載せられた時から、設定時間である除電時間が経過するのが待たれる。テープフィーダ１４に保持された部品ｓの各々は、テープフィーダ１４の運搬に伴う振動、物との接触等に起因して生じた静電気により帯電した状態にある。この帯電された部品ｓが、導電性を有する材料で製造され、かつ、アースされた部品載置部４４に載置されることにより除電されたり、空気中への放電により除電されたりする。除電時間は、部品ｓが有していると推定される容量の静電気を除去するのに要する時間であり、予め実験等により求めたり、部品ｓの大きさ、特性等に基づいて理論的に求めたりすること等ができる。部品ｓが部品保持台４４に載せられてからの経過時間が除電時間に達すると、Ｓ５の判定がＹＥＳとなり、Ｓ６において部品ｓの電気的特性が測定される。
そして、電気的特性の測定に要する時間である測定時間が経過すると、Ｓ７が実行されるのであるが、測定時間は部品ｓの種類等によって決まる時間としても、一定の時間としてもよい。いずれにしても予め取得されて記憶されている。 In S5, the part s is released by the suction nozzle 18 and is placed on the V-groove 44c, after which it is waited for the static elimination time which is the set time to elapse. Each of the parts s held by the tape feeder 14 is electrically charged due to static electricity generated due to vibrations caused by transportation of the tape feeder 14, contact with objects, and the like. The charged component s is made of a conductive material and is neutralized by being placed on the grounded component mounting section 44, or by being discharged into the air. The static electricity removal time is the time required to remove the static electricity that is estimated to be present in the component s, and can be determined in advance through experiments, etc., or theoretically based on the size, characteristics, etc. of the component s. You can do things like When the time elapsed since the component s was placed on the component holding table 44 reaches the static elimination time, the determination in S5 becomes YES, and the electrical characteristics of the component s are measured in S6.
Then, when the measurement time, which is the time required to measure the electrical characteristics, has elapsed, S7 is executed. The measurement time may be determined depending on the type of the component s, or may be a fixed time. In any case, it is acquired and stored in advance.

測定時間が経過し、部品ｓの電気的特性の測定が終了すると、Ｓ７において、電磁弁装置７２の制御により可動子３６が後退させられる。後退端に達すると、可動子位置センサ１１８がＯＮとなる。Ｓ８において、電磁弁装置６９の制御により、保持台３２が後退させられる｛図９(d)｝。保持台３２が測定状態から後退端位置にある可動子３６のストッパ８２に当接するまでのストロークはＬ₁である。そのため、保持台３２がストロークＬ₁後退するのに要する時間である後退時間Tbが経過した後に、ストッパ８２に当接したとわかる。図９(d)に示すように、保持台３２は、可動子３６の対向面３６ｆより後方に位置し、一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間の下方に存在しない。この状態が廃棄状態である。
保持台３２がストッパ８２に当接するまで後退させられると、Ｓ９において、電磁弁装置６９の制御により、エアシリンダ６４においてエア室６４ｂがエア源６８に連通させられ、エア室６４ａがエア通路６０に連通させられる。保持台３２が前進させられ、ストッパ８０に当たると保持台位置センサ１２０がＯＮとなる。保持台３２は、一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間に位置し（Ｖ溝４４が対向面３４ｆ、３６ｆの間の下方に位置し）、Ｖ溝４４ｃの上方が空間とされている。そのため、部品ｓが載置可能とされる。この状態が初期状態である。 When the measurement time has elapsed and the measurement of the electrical characteristics of the component s is completed, the movable element 36 is moved backward under the control of the solenoid valve device 72 in S7. When the rearward end is reached, the movable element position sensor 118 is turned on. In S8, the holding base 32 is moved back under the control of the electromagnetic valve device 69 {FIG. 9(d)}. The stroke from the measurement state to when the holding base 32 contacts the stopper 82 of the movable element 36 at the backward end position is _L1 . Therefore, it can be seen that the holding table 32 has come into contact with the stopper 82 after the retraction time Tb, which is the time required for the holding table 32 to retract by the stroke _L1 , has elapsed. As shown in FIG. 9(d), the holding table 32 is located behind the facing surface 36f of the movable element 36, and does not exist below between the pair of facing surfaces 34f and 36f. This state is the discarded state.
When the holding table 32 is moved backward until it contacts the stopper 82, the air chamber 64b in the air cylinder 64 is communicated with the air source 68 under the control of the solenoid valve device 69 in S9, and the air chamber 64a is connected to the air passage 60. be communicated. When the holding table 32 is advanced and hits the stopper 80, the holding table position sensor 120 is turned on. The holding base 32 is located between a pair of opposing surfaces 34f and 36f (the V groove 44 is located below between the opposing surfaces 34f and 36f), and a space is provided above the V groove 44c. Therefore, the component s can be placed. This state is the initial state.

可動子３６の対向面３６ｆが固定子３４の対向面３４ｆから離間することにより、これらの間に把持されていた部品ｓが開放される。また、可動子３６の後退時には、エアシリンダ７０のエア室７０ａがエア通路６０に連通させられ、カバー用板部５２，５４は、それぞれ、一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間の空間のｘ方向の両側に位置する。さらに、保持台３２が可動子３６の対向面３６ｆの後方に移動させられることにより、一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間の下方に存在しなくなり、一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間は、開口２９ａ、３０ａ、廃棄通路２８に連通させられる。
可動子３６の後退に伴って、エア室７０ａから流出させられたエアが開口６０ａから可動子３６の対向面３６ｆに斜め上方から供給されるが、エアが供給される空間、換言すれば、一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間の空間が、カバー部５０によってｘ方向から覆われる。エアは、主として対向面３６ｆに当たった後、対向面３６ｆに沿って下方へ流れる。そのため、仮に、対向面３６ｆから部品ｓが落下せず、部分Ｒに付着していても、それを良好に落下させることができる。また、エアは、カバー部５０の内部を渦状に流れるため、仮に、固定子３４の対向面３４ｆに部品ｓが付着していたとしても落下させることができる。さらに、対向面３４ｆ、３６ｆから落下して保持台３２の上に載った部品ｓもエアにより落下させ得るが、仮に、Ｖ溝４４上に部品ｓが載って、エアにより落下しなかった場合であっても、保持台３２の後退に伴う可動子３６の対向面３６ｆの前進により確実に落下させることができる。このように、本実施例において、廃棄状態は、部品ｓが良好に落下させられた状態と考えることができる。
なお、一対の対向面３４ｆ、３６ｆから落下した部品ｓは、開口２９ａ、３０ａ、廃棄通路２８を経て良好にごみ箱２６へ収容される。 By separating the opposing surface 36f of the movable element 36 from the opposing surface 34f of the stator 34, the component s held between them is released. Furthermore, when the movable element 36 is retracted, the air chamber 70a of the air cylinder 70 is communicated with the air passage 60, and the cover plate parts 52 and 54 are arranged in the x direction of the space between the pair of opposing surfaces 34f and 36f, respectively. located on both sides of Furthermore, by moving the holding base 32 to the rear of the opposing surface 36f of the movable element 36, it no longer exists below between the pair of opposing surfaces 34f and 36f, and there is no opening between the pair of opposing surfaces 34f and 36f. 29a, 30a, and the waste passage 28 are communicated with each other.
As the mover 36 retreats, air flowing out from the air chamber 70a is supplied from the opening 60a to the facing surface 36f of the mover 36 from diagonally above. The space between the opposing surfaces 34f and 36f is covered by the cover part 50 from the x direction. After mainly hitting the opposing surface 36f, the air flows downward along the opposing surface 36f. Therefore, even if the component s does not fall from the opposing surface 36f and is attached to the portion R, it can be dropped favorably. Furthermore, since the air flows in a spiral inside the cover portion 50, even if the component s is attached to the facing surface 34f of the stator 34, it can be dropped. Furthermore, the component s that has fallen from the opposing surfaces 34f and 36f and is placed on the holding table 32 can also be dropped by air, but if the component s is placed on the V-groove 44 and does not fall due to the air. Even if there is, the movable member 36 can be reliably dropped by moving the facing surface 36f of the movable member 36 forward as the holding table 32 retreats. In this way, in this embodiment, the discarded state can be considered as a state in which the component s has been successfully dropped.
Note that the parts s that have fallen from the pair of opposing surfaces 34f and 36f are properly accommodated in the trash can 26 through the openings 29a and 30a and the disposal passage 28.

また、カバー部５０を設けることにより、落下した部品ｓが飛び散らないようにすることもできる。カバー用板部５２の側板部５２ｃ、カバー用板部５４の下端部は本体２９の開口２９ａの近傍まで伸びているため、部品ｓを良好に開口２９ａから廃棄通路２８を経てごみ箱２６へ収容させることができる。一方、イオン化されたエアが供給される場合には可動子３６、固定子３４の対向面３６ｆ、３４ｆを電気的に中和させることが可能となり、次の部品ｓの電気的特性の測定精度を向上させることができる。
さらに、エアシリンダ６４において、保持台３２の前進時（Ｓ９）にエア室６４ａがエア噴出通路６０ｓに連通させられる。廃棄状態から初期状態へ移行する場合にも、可動子３６の対向面３６ｆにエアを供給することができるのであり、可動子３６の対向面３６ｆの除電を良好に行うことが可能となる。 Moreover, by providing the cover part 50, it is possible to prevent the fallen parts s from scattering. Since the side plate portion 52c of the cover plate portion 52 and the lower end portion of the cover plate portion 54 extend to the vicinity of the opening 29a of the main body 29, the parts s can be properly accommodated from the opening 29a through the waste passage 28 into the trash can 26. be able to. On the other hand, when ionized air is supplied, it becomes possible to electrically neutralize the opposing surfaces 36f and 34f of the mover 36 and stator 34, thereby improving the accuracy of measuring the electrical characteristics of the next component s. can be improved.
Further, in the air cylinder 64, the air chamber 64a is communicated with the air jet passage 60s when the holding table 32 moves forward (S9). Even when transitioning from the discarded state to the initial state, air can be supplied to the opposing surface 36f of the movable element 36, making it possible to satisfactorily eliminate static electricity from the opposing surface 36f of the movable element 36.

一方、測定された電気的特性とJOB情報に含まれる電気的特性とが比較され、当該部品ｓが、これから行われる作業（JOB）に用いられるべきものであるかどうかが判定され、その判定結果がディスプレイ１１６に表示される。
Ｓ２１において、当該部品ｓの電気的特性の測定値が取得され、Ｓ２２において、次のJOBのJOB情報から対応する情報が読み込まれる。Ｓ２３において、これらが比較され、一致するかどうかが判定される。一致する場合であっても不一致の場合であっても、判定結果はディスプレイ１１６に表示される。仮に、不一致の場合には、適切なテープフィーダと交換される等の作業が行われる。 On the other hand, the measured electrical characteristics and the electrical characteristics included in the JOB information are compared, and it is determined whether the part s should be used for the job to be performed (JOB), and the determination result is is displayed on the display 116.
In S21, the measured values of the electrical characteristics of the component s are acquired, and in S22, corresponding information is read from the job information of the next job. In S23, these are compared and it is determined whether they match. The determination result is displayed on the display 116, whether it is a match or a mismatch. If there is a mismatch, work such as replacing the tape feeder with a suitable tape feeder is performed.

以上のように、本実施例においては、部品載置部４４が導電性を有する材料で製造されるとともに接地される。その結果、電気的特性の測定前に部品載置部４４に載せられた部品ｓの除電を良好に行うことができる。一方、部品ｓが帯電していると、部品ｓのインピーダンスを測定することが困難であった。それに対して、本実施例においては、部品ｓの除電が良好に行われるため、部品ｓのインピーダンスを良好に測定することができる。
さらに、可動子３６の後退と並行して部品ｓを廃棄通路２８に落下させることができるのであり、可動子の後退と、部品ｓの送出とを別の工程で行われる場合に比較して、電気的特性の測定に要する時間を短くすることができる。 As described above, in this embodiment, the component mounting section 44 is made of a conductive material and is grounded. As a result, static electricity can be effectively removed from the component s placed on the component mounting section 44 before measuring the electrical characteristics. On the other hand, when the component s is charged, it is difficult to measure the impedance of the component s. On the other hand, in this embodiment, the static electricity of the component s is removed satisfactorily, so that the impedance of the component s can be measured satisfactorily.
Furthermore, the part s can be dropped into the disposal path 28 in parallel with the retreat of the mover 36, compared to the case where the retreat of the mover and the delivery of the part s are performed in separate processes. The time required to measure electrical characteristics can be shortened.

以上のように、本実施例においては、コントローラ１０２のLCR測定プログラムのＳ４，７，８を記憶する部分、実行する部分、タイマ１２４、可動子位置センサ１１８、保持台位置センサ１２０等により移動制御装置、相対移動制御装置が構成される。また、そのうちの、Ｓ４を記憶する部分、実行する部分等により測定時制御部が構成され、Ｓ８を記憶する部分、実行する部分等により廃棄時制御部が構成され、Ｓ９を記憶する部分、実行する部分等により準備時制御部が構成される。移動制御装置は、保持台移動制御装置、相対移動制御部でもある。
また、エアシリンダ７０が可動子用シリンダに対応し、エアシリンダ６４が保持台用シリンダに対応する。エア供給装置７３は、可動子供給部、駆動源連動型供給部でもある。さらに、一対の測定子３７、LCR検出部４２を含む電気回路５８、コントローラ１０２のＳ６を記憶する部分、実行する部分等により電気的特性取得装置が構成される。
さらに、Ｓ３がクランプ工程に対応し、Ｓ４、６が測定工程に対応し、Ｓ７，８が廃棄工程に対応し、Ｓ９が準備工程に対応する。 As described above, in this embodiment, the movement is controlled by the part that stores and executes S4, 7, and 8 of the LCR measurement program of the controller 102, the timer 124, the mover position sensor 118, the holder position sensor 120, etc. A device and a relative movement control device are configured. Furthermore, the part that stores S4, the part that executes S4, etc. constitutes a measurement control unit, the part that stores S8, the part that executes S8, etc. constitutes a discard control unit, and the part that stores S9, the part that executes S9, etc. The preparation control unit is composed of the parts and the like. The movement control device is also a holding table movement control device and a relative movement control section.
Further, the air cylinder 70 corresponds to a cylinder for a mover, and the air cylinder 64 corresponds to a cylinder for a holding table. The air supply device 73 is also a movable child supply section and a drive source-linked supply section. Further, an electrical characteristic acquisition device is constituted by the pair of probes 37, an electric circuit 58 including the LCR detection section 42, a section for storing S6 of the controller 102, a section for executing S6, and the like.
Further, S3 corresponds to the clamping process, S4 and 6 correspond to the measuring process, S7 and 8 correspond to the discarding process, and S9 corresponds to the preparation process.

なお、一対の測定子の両方を移動可能とし、保持台を本体に固定とすることもできる。その場合であっても、保持台上に載せられた部品ｓを一対の測定子が把持し、一対の測定子が移動させられることにより、部品ｓから保持台を設定値以上離間させることができる。
また、保持台は、上下方向へ移動可能とすることもできる。その場合であっても、部品ｓが一対の測定子によってクランプされた状態で、保持台を部品ｓから設定値以上離間させることができる。
さらに、エア噴出通路を検査装置２２の本体２９の側部に、概してｘ方向に開く開口を有する状態で設けることもできる。換言すれば、カバー用板部５２，５４のいずれか一方をなくし（例えば、カバー用板部５４をなくし）、そのなくした側に、ｘ方向に開口を有するエア噴出通路を設けることができる。その結果、エアは、対向面３４ｆ、３６ｆ（ｘｚ方向に伸びた面）に沿って、カバー用板部５２に向かって供給されることになり、それにより、一対の対向面３４ｆ、３６ｆに付着した部品ｓを落とすことが可能となる。
また、部品ｓの電気的特性の測定後に、保持台３２を可動子３６の後退に伴って後退させる（例えば、同時に後退させる）ことも可能である。この保持台３２および可動子３６が後退させられる状態を廃棄状態とすることもできる。
さらに、可動子位置センサ１１８、保持台位置センサ１２０は不可欠ではない。例えば、タイマ１２４による計測により電磁弁装置６９，７２を制御することもできる。また、エア供給装置も不可欠ではない等、本発明は、前記実施形態に記載の態様の他、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した形態で実施することができる。 Note that it is also possible to make both of the pair of probes movable and to fix the holding base to the main body. Even in that case, the holding table can be separated from the part s by a set value or more by gripping the part s placed on the holding table and moving the pair of measuring pieces. .
Moreover, the holding stand can also be made movable in the vertical direction. Even in that case, the holding table can be separated from the component s by a predetermined value or more while the component s is clamped by the pair of probes.
Furthermore, an air jet passage may be provided on the side of the main body 29 of the inspection device 22 with an opening that opens generally in the x direction. In other words, one of the cover plate parts 52 and 54 can be eliminated (for example, the cover plate part 54 is eliminated), and an air jet passage having an opening in the x direction can be provided on the side where the cover plate part 54 is eliminated. As a result, air is supplied toward the cover plate part 52 along the opposing surfaces 34f and 36f (surfaces extending in the xz direction), thereby causing air to adhere to the pair of opposing surfaces 34f and 36f. It becomes possible to drop the part s that has been removed.
Furthermore, after measuring the electrical characteristics of the component s, it is also possible to move the holding table 32 backward along with the movement of the movable element 36 (for example, to move it backward at the same time). The state in which the holding base 32 and the movable element 36 are retracted can also be set as a discarded state.
Furthermore, the mover position sensor 118 and the holding table position sensor 120 are not essential. For example, the electromagnetic valve devices 69 and 72 can also be controlled by measurement by the timer 124. Further, the present invention can be implemented in various modifications and improvements based on the knowledge of those skilled in the art, in addition to the embodiments described in the above embodiments, such as that an air supply device is not essential.

２２：検査装置２６：ごみ箱２８：廃棄通路２９：本体２９ａ：開口３０：ベース部３０ａ：開口３１：締結部３２：保持台３４：固定子３６：可動子３４ｆ，３６ｆ：対向面４０：保持台移動装置４１：可動子移動装置４２：ＬＣＲ検出部４４：部品載置部４４ｃ：Ｖ溝５０：カバー部７２：エア供給装置１００：制御装置１１８：可動子位置センサ１１８：保持台位置センサ１２４：タイマ 22: Inspection device 26: Trash can 28: Disposal passage 29: Main body 29a: Opening 30: Base portion 30a: Opening 31: Fastening portion 32: Holding stand 34: Stator 36: Mover 34f, 36f: Opposing surface 40: Holding stand Moving device 41: Mover moving device 42: LCR detection section 44: Component placement section 44c: V groove 50: Cover section 72: Air supply device 100: Control device 118: Mover position sensor 118: Holding table position sensor 124: timer

Patentable inventions

（１）部品供給装置によって供給された部品をピックアップして回路基板に装着する装着機に含まれる検査装置であって、
部品を保持可能な保持台と、
互いに接近・離間可能とされるとともに、前記部品を挟んでその部品の電気的特性を測定可能な一対の測定子と、
前記保持台を移動させる保持台移動装置と、
その保持台移動装置を制御する保持台移動制御装置とを含み、かつ、前記保持台移動制御装置が、前記一対の測定子が前記保持台に保持された前記部品を把持するクランプ状態から、前記保持台を前記部品から設定値以上離間させて、前記部品の電気的特性を測定可能な測定状態とする測定時制御部を含むことを特徴とする検査装置。
保持台は、一対の測定子の接近・離間方向と平行な方向に移動可能としても、交差する方向に移動可能としてもよい。設定値は、例えば、保持台が導電性を有するものである場合において、保持台の影響が部品の電気的特性の測定に及び難い距離とすることができる。
（２）前記保持台を、導電性を有するものとした(1)項に記載の検査装置。
（３）前記一対の測定子が、互いに対向し、前記部品に接触可能な一対の対向面を含み、それら一対の対向面が互いに接近させられることにより前記部品を保持し、互いに離間させられることにより前記部品を放すものであり、
前記保持台移動装置が、前記測定状態から、前記保持台を移動させることにより、前記互いに離間させられた一対の対向面の間の下方に前記保持台が存在しない廃棄状態とする廃棄時制御部を含む(1)項または(2)項に記載の検査装置。
（４）前記保持台移動制御装置が、前記廃棄状態から、前記互いに離間させられた一対の対向面の間の下方へ前記保持台を移動させて、前記保持台が前記部品を保持可能な初期状態とする準備時制御部を含む(3)項に記載の検査装置。
（５）前記装着機が、前記検査装置に接続された廃棄通路を含み、当該検査装置の本体が、前記廃棄通路に連通可能な開口を有する(1)項ないし(4)項のいずれか１つに記載の検査装置。
開口の位置、大きさは、少なくとも、廃棄状態において一対の対向面の間の下方に開口状態にあるように決めることができる。
（６）当該検査装置が、前記一対の測定子の間に電流を供給するとともに前記一対の測定子の間に流れる電流を検出して、前記部品の前記電気的特性を取得する電気的特性取得装置を含み、その電気的特性取得装置が、前記保持台に前記部品が載置させられた時点から設定時間以上が経過した場合に、前記部品の前記電気的特性の測定を開始する遅延型測定部を含む(1)項ないし(5)項のいずれか１つに記載の検査装置。
設定時間は、例えば、部品の除電に要する時間である除電時間とすることができる。除電時間は、部品によって決まる時間であっても、部品に関係なく予め定められた時間であってもよい。
なお、保持台に部品が載置させられている時間を除電時間とすることもできる。
（７）前記一対の測定子が、本体に固定の固定子と、前記固定子に対して相対移動可能な可動子とを含み、
当該検査装置が、前記可動子を前記固定子に対して移動させる可動子移動装置と、その可動子移動装置を制御することにより前記一対の測定子を互いに接近・離間させる可動子移動制御部とを含む(1)項ないし(6)項のいずれか１つに記載の検査装置。（８）当該検査装置が、前記可動子と前記保持台とを互いに相対移動可能に連結する連結機構を含む(7)項に記載の検査装置。
例えば、可動子は、その可動子の移動方向と平行に伸びた長手形状を成すものとすることができる。また、保持台は、可動子の先端の前方に位置する場合、後方に位置する場合がある。
（９）前記保持台が、横断面がＶ字状を成す溝であるＶ溝を有し、前記一対の測定子の少なくとも一方の先端部の横断面が前記Ｖ溝に対応する三角形状を成す(1)項ないし(8)項のいずれか１つに記載の検査装置。 (1) An inspection device included in a mounting machine that picks up components supplied by a component supply device and mounts them on a circuit board,
a holding stand capable of holding parts;
a pair of probes that can approach and separate from each other and that can measure the electrical characteristics of the component by sandwiching the component;
a holding table moving device that moves the holding table;
a holding table movement control device that controls the holding table moving device, and the holding table movement control device is configured to change the holding table from a clamped state in which the pair of probes grips the component held on the holding table. An inspection device comprising: a measurement control unit that sets a holding stand apart from the component by at least a set value to bring the component into a measurement state in which the electrical characteristics of the component can be measured.
The holding stand may be movable in a direction parallel to the direction in which the pair of probes approach and separate, or may be movable in a direction that intersects with the direction in which the pair of probes approach and separate. The set value can be set to a distance at which the measurement of the electrical characteristics of the component is hardly affected by the holding stand, for example, when the holding stand is conductive.
(2) The inspection device according to item (1), wherein the holding stand is electrically conductive.
(3) The pair of probes include a pair of opposing surfaces that face each other and are capable of contacting the component, and the pair of opposing surfaces are brought close to each other to hold the component and to be separated from each other. The part is released by
A discard control unit in which the holding table moving device moves the holding table from the measurement state to a discarding state in which the holding table does not exist below between the pair of opposing surfaces spaced apart from each other. The inspection device described in paragraph (1) or (2) including
(4) The holding table movement control device moves the holding table from the discarded state downward between the pair of opposing surfaces spaced apart from each other, so that the holding table can initially hold the component. The inspection device according to item (3), which includes a preparation control unit for controlling the state.
(5) Any one of paragraphs (1) to (4), wherein the mounting machine includes a disposal passage connected to the inspection device, and the main body of the inspection device has an opening that can communicate with the disposal passage. Inspection equipment described in .
The position and size of the opening can be determined so that at least in the discarded state, the opening is located below between the pair of opposing surfaces.
(6) Electrical characteristic acquisition in which the inspection device supplies a current between the pair of probes and detects the current flowing between the pair of probes to obtain the electrical characteristics of the component. Delayed measurement including a device, the electrical property acquisition device of which starts measuring the electrical properties of the part when a set time or more has elapsed since the part was placed on the holding table. The inspection device according to any one of paragraphs (1) to (5), including:
The set time can be, for example, a static elimination time that is the time required to neutralize the static electricity of the component. The static elimination time may be a time determined depending on the component, or may be a predetermined time regardless of the component.
Note that the time during which the component is placed on the holding table can also be set as the static elimination time.
(7) The pair of measuring elements includes a stator fixed to the main body and a movable element movable relative to the stator,
The inspection device includes a movable element moving device that moves the movable element relative to the stator, and a movable element movement control section that controls the movable element moving apparatus to move the pair of measuring elements toward and away from each other. The inspection device according to any one of paragraphs (1) to (6), including: (8) The inspection device according to item (7), wherein the inspection device includes a connection mechanism that connects the movable element and the holding table so that they can move relative to each other.
For example, the movable element may have a longitudinal shape extending parallel to the moving direction of the movable element. Further, the holding stand may be located in front of the tip of the movable element, or may be located at the rear thereof.
(9) The holding base has a V groove having a V-shaped cross section, and the cross section of the tip of at least one of the pair of probes has a triangular shape corresponding to the V groove. The inspection device described in any one of paragraphs (1) to (8).

（１０）部品供給装置によって供給された部品をピックアップして、回路基板に装着する装着機に含まれる検査装置であって、
部品を保持可能な保持台と、
互いに接近・離間可能とされ、前記部品を挟んでその部品の電気的特性を測定可能な一対の測定子と、
前記一対の測定子と前記保持台とを互いに相対移動させる相対移動装置と、
その相対移動装置を制御する相対移動制御装置とを含み、かつ、前記相対移動制御装置が、前記一対の測定子が前記保持台に保持された前記部品を把持するクランプ状態から、前記部品と前記保持台とを設定値以上離間させて、前記部品の電気的特性を測定可能な測定状態とする測定時制御部を含むことを特徴とする検査装置。
本項に記載の検査装置には、(1)項ないし(9)項のいずれかに記載の技術的特徴を採用することができる。
相対移動装置は、(a)保持台を固定、一対の測定子を移動させる装置としたり、(b)一対の測定子のうちの一方を固定、一対の測定子の他方と保持台とを移動させる装置としたりすること等ができる。(a)の場合として、例えば、保持台に保持された部品が一対の測定子によってクランプされた状態で、一対の測定子が保持台に対して相対移動させられ、部品と保持台とが設定値以上離間させられる場合が該当する。 (10) An inspection device included in a mounting machine that picks up components supplied by a component supply device and mounts them on a circuit board,
a holding stand capable of holding parts;
a pair of probes that can approach and separate from each other and can measure the electrical characteristics of the component by sandwiching the component;
a relative movement device that moves the pair of probes and the holding base relative to each other;
a relative movement control device that controls the relative movement device, and the relative movement control device controls the movement of the part from a clamped state in which the pair of probes grips the part held on the holding base. An inspection device comprising: a measurement control unit that sets the component to a measurement state in which the electrical characteristics of the component can be measured by separating the component from the holding table by a set value or more.
The technical features described in any of paragraphs (1) to (9) can be adopted for the inspection equipment described in this paragraph.
Relative movement devices can be (a) a device that fixes the holding base and moves a pair of probes, or (b) a device that fixes one of the pair of probes and moves the other of the pair of probes and the holding base. For example, it can be used as a device to In case (a), for example, when a component held on a holding base is clamped by a pair of probes, the pair of probes are moved relative to the holder, and the component and the holder are set. This applies to cases where the distance is greater than the value.

（１１）部品供給装置によって供給された部品をピックアップして、回路基板に装着する装着機に設けられ、(i)部品を保持可能な保持台と、(ii)互いに接近・離間可能とされ、前記部品を挟んでその部品の電気的特性を測定可能な一対の測定子とを含む検査装置において前記部品の電気的特性に関する検査を行う検査方法であって、
前記保持台に保持された部品を、一対の測定子が把持するクランプ工程と、
前記一対の測定子によって把持された前記部品から前記保持台を設定値以上離間させて、前記部品の電気的特性を測定する測定工程と
を含むことを特徴とする検査方法。
本項に記載の検査方法は、(1)項ないし(10)項のいずれかに記載の検査装置において実行され得る。
（１２）前記測定工程の実行後に、前記一対の測定子を互いに離間させ、前記保持台を前記一対の測定子の互いに対向する対向面の間の下方領域から退避させる廃棄工程と、
前記保持台を、前記一対の測定子の互いに対向する対向面の間の下方へ侵入させて、前記部品を保持可能な初期状態とする準備工程とを含む(11)項に記載の検査方法。
廃棄工程において、一対の測定子の離間と保持台の退避とを順番に行っても、並行しておこなってもよい。 (11) A mounting machine that picks up components supplied by a component supply device and mounts them on a circuit board is provided with (i) a holding table capable of holding the components, and (ii) capable of approaching and separating from each other; An inspection method for inspecting the electrical characteristics of the component in an inspection device including a pair of probes that can sandwich the component and measure the electrical characteristics of the component,
a clamping step in which a pair of probes grips the component held on the holding base;
An inspection method comprising the step of: separating the holding stand from the component gripped by the pair of probes by a set value or more, and measuring the electrical characteristics of the component.
The inspection method described in this section can be performed in the inspection apparatus described in any one of sections (1) to (10).
(12) a discarding step of separating the pair of probes from each other and retracting the holding base from a lower area between opposing surfaces of the pair of probes after performing the measurement step;
The inspection method according to item (11), including a preparation step of causing the holding stand to enter below between the mutually opposing surfaces of the pair of probes to bring the component into an initial state in which it can be held.
In the disposal process, the separation of the pair of probes and the retraction of the holding table may be performed in sequence or may be performed in parallel.

（１３）部品供給装置によって供給された部品をピックアップして、回路基板に装着する装着機に含まれる検査装置であって、
導電性を有し、部品を保持する保持台と、
前記保持台に保持された前記部品を把持するとともに、前記部品が前記保持台から離間した状態で前記部品の電気的特性を取得する電気的特性取得装置と
を含むことを特徴とする検査装置。
本項に記載の検査装置は、(1)項ないし(12)項のいずれか１つに記載の技術的特徴を採用することができる。 (13) An inspection device included in a mounting machine that picks up components supplied by a component supply device and mounts them on a circuit board,
a holding stand that is conductive and holds the component;
An inspection device comprising: an electrical characteristic acquisition device that grips the component held on the holding table and acquires electrical characteristics of the component in a state where the component is separated from the holding table.
The inspection device described in this section can adopt the technical features described in any one of paragraphs (1) to (12).

（１４）前記一対の測定子が、互いに接近させられることにより、一対の対向面が前記部品を挟んで、その部品の電気的特性を測定し、互いに離間させられることにより、前記一対の対向面から前記部品を放すものであり、
当該検査装置が、それら一対の測定子が離間させられる場合に、前記一対の対向面のうちの少なくとも一方である供給対象面に、エアを供給するエア供給装置を含む(1)項ないし(13)項のいずれか１つに記載の検査装置。
一対の測定子が離間させられる場合とは、互いに離間している間、離間している間の一部または全行程、離間開始時、離間終了時等が該当する。
（１５）前記エア供給装置が、前記エアをイオン化するイオナイザを含み、前記イオン化されたエアを前記供給対象面に供給する(14)項に記載の検査装置。
（１６）前記エア供給装置が、前記供給対象面に対向する開口を有するエア通路を含む(14)項または(15)項に記載の検査装置。
供給対象面が一対の対向面の一方である場合には、その一方の供給対象面に対向する開口が１つ設けられ、供給対象面が一対の対向面の両方である場合には、それぞれに対向して開口が２つ設けられる。
（１７）前記エア通路が、前記供給対象面に近づくにつれて下方へ行く向きに傾斜したエア噴出通路を含む(16)項に記載の検査装置。
（１８）前記エア噴出通路の傾斜角度が、前記エアが前記供給対象面の前記部品を把持する部分の上方に当たる角度とされた(17)項に記載の検査装置。
（１９）前記一対の測定子が、本体に固定の固定子と、その固定子に接近・離間可能な可動子とを含み、
前記エア供給装置が、前記可動子が前記固定子から離間させられる場合に、前記供給対象面である前記可動子の対向面に前記エアを供給する可動子供給部を含む(14)項ないし(18)項のいずれか１つに記載の検査装置。
（２０）当該検査装置が、可動子用シリンダを備え、その可動子用シリンダの作動により前記可動子を前記固定子に対して接近・離間させる可動子移動装置を含み、
前記エア供給装置が、前記可動子の前記固定子からの離間に伴って前記可動子用シリンダから流出させられるエアを前記可動子の対向面に供給する駆動源連動型供給部を含む(19)項に記載の検査装置。
（２１）当該検査装置が、前記一対の対向面が離間した状態で、これらの間を覆うカバー部を含む(1)項ないし(20)項のいずれか１つに記載の検査装置。
カバー部は、一対の対向面の間の大部分を覆うものであり、一対の対向面の間の全体を覆うものとする必要は必ずしもなく、多少の隙間がある状態で覆うものであってもよい。一対の対向面が互いに離間させられる場合の少なくとも一時期に一対の対向面の間の全体を両側から覆うものとすることが望ましい。
（２２）前記カバー部が、前記保持台に取り付けられ、前記保持台が後退端位置にある状態で、前記一対の対向面の間の大部分を側から覆うものである(21)項に記載の検査装置。 (14) When the pair of probes are brought close to each other, the pair of opposing surfaces sandwich the component and measure the electrical characteristics of the component, and when they are separated from each other, the pair of opposing surfaces the part is released from the
Items (1) to (13), wherein the inspection device includes an air supply device that supplies air to at least one of the pair of opposing surfaces, which is the supply target surface, when the pair of probes are separated. ) The inspection device according to any one of the items.
The case where a pair of probes are separated corresponds to the time when they are separated from each other, a part or all of the stroke while they are separated, the time when separation starts, the time when separation ends, etc.
(15) The inspection device according to item (14), wherein the air supply device includes an ionizer that ionizes the air, and supplies the ionized air to the supply target surface.
(16) The inspection device according to item (14) or (15), wherein the air supply device includes an air passage having an opening facing the supply target surface.
When the surface to be supplied is one of a pair of opposing surfaces, one opening is provided facing that one of the surfaces, and when the surface to be supplied is both of the pair of opposing surfaces, an opening is provided for each of the surfaces to be supplied. Two openings are provided facing each other.
(17) The inspection device according to item (16), wherein the air passage includes an air jet passage that is inclined downward as it approaches the supply target surface.
(18) The inspection device according to item (17), wherein the inclination angle of the air jetting passage is such that the air hits above a portion of the supply target surface that grips the component.
(19) The pair of measurement elements includes a stator fixed to the main body and a movable element that can approach and move away from the stator,
Items (14) through (14), wherein the air supply device includes a movable child supply section that supplies the air to the opposing surface of the movable element, which is the supply target surface, when the movable element is separated from the stator. Inspection device according to any one of paragraph 18).
(20) The inspection device includes a mover moving device that includes a mover cylinder and moves the mover closer to and away from the stator by operating the mover cylinder,
The air supply device includes a drive source-linked supply unit that supplies air, which is discharged from the movable cylinder as the movable element is separated from the stator, to an opposing surface of the movable element (19). Inspection equipment described in section.
(21) The inspection device according to any one of items (1) to (20), wherein the inspection device includes a cover portion that covers between the pair of opposing surfaces in a state where they are separated.
The cover part covers most of the area between the pair of opposing surfaces, and it is not necessarily necessary to cover the entire area between the pair of opposing surfaces, even if it covers the area with some gap. good. It is desirable that the entire area between the pair of opposing surfaces be covered from both sides at least for a period of time when the pair of opposing surfaces are separated from each other.
(22) According to item (21), the cover portion is attached to the holding base, and covers most of the area between the pair of opposing surfaces from the side when the holding base is at the rearward end position. inspection equipment.

Claims

A mounting machine equipped with a measuring device for measuring electrical characteristics of parts,
The measuring device includes:
The main body and
a pair of probes provided on the main body and measuring the electrical characteristics of a component transported to a measurement position by a suction nozzle in a state where the component is released from the suction nozzle;
a first opening provided in the main body and capable of communicating with a waste passage;
a trash box that accommodates the parts after being measured by the pair of probes via the waste passage ;
a second opening provided in a member fixedly provided on the main body and blowing out air for accommodating the part after being measured by the pair of measuring elements in the trash box;
Equipped with
The mounting machine characterized in that the trash box and the second opening are arranged to sandwich the measurement position when viewed from above and below .

2. The mounting machine according to claim 1, wherein the trash box and the second opening are arranged side by side in a direction in which air is blown out from the second opening.

A measuring device mounted on the main body of a mounting machine,
The main body and
a pair of probes that are provided on the main body and measure the electrical characteristics of the component at the measurement position;
a first opening provided in the main body and capable of communicating with a waste passage;
a trash box that accommodates the parts after being measured by the pair of probes via the waste passage ;
a second opening provided in a member fixedly provided on the main body and blowing out air for storing the component in the trash box after being measured by the pair of probes;
Equipped with
A measuring device characterized in that the trash can and the second opening are arranged to sandwich the measuring position when viewed from above and below .