JP7570396B2

JP7570396B2 - Placement machine

Info

Publication number: JP7570396B2
Application number: JP2022207866A
Authority: JP
Inventors: 利幸澤田; 賢史岩島
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2022-10-05
Filing date: 2022-12-26
Publication date: 2024-10-21
Anticipated expiration: 2035-07-15
Also published as: JP2023024733A; JP7804030B2; JP2024177509A

Description

本発明は、回路基板に装着される部品の検査を行う検査装置を含む装着機に関するものである。 The present invention relates to a mounting machine that includes an inspection device that inspects components mounted on a circuit board.

特許文献２，３には、プローブを備え、そのプローブの接触により部品の電気的特性を測定する検査装置が記載されている。特許文献１には、保持台に載置させられた部品を両端から挟んで電気的特性を測定する検査装置が記載されている。この検査装置において、送風口部２８から保持台のＶ溝に沿ってエアが供給され、そのＶ溝上にある測定後の部品が導入口部７´へ送られる。そして、不良品は廃棄され、良品は回路基板への装着に用いられる。 Patent documents 2 and 3 describe an inspection device that is equipped with a probe and measures the electrical characteristics of a component by contact with the probe. Patent document 1 describes an inspection device that clamps a component placed on a holding table from both ends to measure its electrical characteristics. In this inspection device, air is supplied from the air outlet 28 along the V-groove of the holding table, and the measured component on the V-groove is sent to the inlet 7'. Defective products are then discarded, and non-defective products are used for mounting on a circuit board.

特公昭５２－３０７０３号公報Special Publication No. 52-30703 実開平１－７６１００号公報Japanese Utility Model Application Publication No. 1-76100 国際公開第２０１４／１５５６５７パンフレットInternational Publication No. 2014/155657

本発明の課題は、新規な構造の装着機を提供することである。 The objective of the present invention is to provide a mounting machine with a new structure.

Means for solving the problems, actions and effects

本発明に係る装着機は、回路基板搬送保持装置と、部品供給装置と、装着ヘッドと、装着ヘッドにより保持された部品を撮像するカメラと、部品の電気的特性を測定する検査装置とを備え、検査装置が、電気的特性が測定された部品に対して回路基板の搬送方向である第1方向に直交する第二方向にエアを供給するエア供給装置を備え、検査装置が、第一方向において、カメラよりも側方に近い側に設けられるとともに、カメラおよび検査装置が、回路基板搬送保持装置と部品供給装置との間に設けられたものである。係る構造を有する装着機は、特許文献1-3のいずれにも記載されておらず、新規なものである。 The mounting machine according to the present invention comprises a circuit board transport and holding device, a component supply device, a mounting head, a camera that captures images of components held by the mounting head, and an inspection device that measures electrical characteristics of the components, the inspection device comprising an air supply device that supplies air to the components whose electrical characteristics have been measured in a second direction perpendicular to a first direction that is the transport direction of the circuit board, the inspection device being provided closer to the side than the camera in the first direction, and the camera and inspection device being provided between the circuit board transport and holding device and the component supply device. A mounting machine having such a structure is not described in any of Patent Documents 1-3 and is therefore novel.

本発明の一実施形態である検査装置を含む装着機の斜視図である。1 is a perspective view of a mounting machine including an inspection device according to an embodiment of the present invention; 上記検査装置の要部の斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of a main part of the inspection device. 上記検査装置の要部の断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of a main part of the inspection device. 上記検査装置の一部平面図である。FIG. 2 is a partial plan view of the inspection device. 上記検査装置に含まれるエア回路図である。FIG. 4 is an air circuit diagram included in the inspection device. 上記装着機の制御装置を概念的に示す図である。FIG. 2 is a diagram conceptually illustrating a control device of the placement machine. (a)上記制御装置の記憶部に記憶されたLCR測定プログラムを表すフローチャートである。(b)上記検査装置においてLCRが測定される場合のタイムチャートである。1A is a flow chart showing an LCR measurement program stored in a storage unit of the control device, and FIG. 1B is a time chart showing a case where LCR is measured in the inspection device. 上記制御装置の記憶部に記憶された部品適正判定プログラムを表すフローチャートである。5 is a flowchart showing a part suitability determination program stored in a storage unit of the control device. 上記検査装置の作動を示す図である。(a)初期状態を示す図であり、(b)クランプ状態を示す図であり、(c)測定状態を示す図であり、(d)廃棄状態を示す図である。1A to 1D are diagrams showing the operation of the inspection device, in which (a) is a diagram showing an initial state, (b) is a diagram showing a clamped state, (c) is a diagram showing a measurement state, and (d) is a diagram showing a disposal state. 上記検査装置の図２とは異なる角度から見た斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of the inspection device as seen from an angle different from that of FIG. 2 .

EMBODIMENTS OF THE PRESENTINVENTION

以下、本発明の一実施形態である検査装置を含む装着機について図面に基づいて詳細に説明する。
図１に示す装着機は、部品を回路基板に装着するものであり、装置本体２，回路基板搬送保持装置４，部品供給装置６，ヘッド移動装置８等を含む。
回路基板搬送保持装置４は、回路基板Ｐ（以下、基板Ｐと略称する）を水平な姿勢で搬送して保持するものであり、図１において、基板Ｐの搬送方向をｘ方向、基板Ｐの幅方向をｙ方向、基板Ｐの厚み方向をｚ方向とする。ｙ方向、ｚ方向は、それぞれ、装着機の前後方向、上下方向である。これら、ｘ方向、ｙ方向、ｚ方向は互いに直交する。部品供給装置６は、基板Ｐに装着される電子部品（以下、部品と略称する）ｓを供給するものであり、複数のテープフィーダ１４等を含む。ヘッド移動装置８は、装着ヘッド１６を保持してｘ、ｙ、ｚ方向へ移動させるものであり、装着ヘッド１６は、部品ｓを吸着して保持する吸着ノズル１８を有する。 DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A mounting machine including an inspection device according to an embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
The mounting machine shown in FIG. 1 is for mounting components onto a circuit board, and includes a main body 2, a circuit board conveying and holding device 4, a component supplying device 6, a head moving device 8, and the like.
The circuit board transport and holding device 4 transports and holds the circuit board P (hereinafter, abbreviated as board P) in a horizontal position, and in FIG. 1, the transport direction of the board P is the x direction, the width direction of the board P is the y direction, and the thickness direction of the board P is the z direction. The y direction and the z direction are the front-rear and up-down directions of the mounting machine, respectively. These x direction, y direction, and z direction are perpendicular to each other. The component supply device 6 supplies electronic components (hereinafter, abbreviated as components) s to be mounted on the board P, and includes a plurality of tape feeders 14 and the like. The head moving device 8 holds a mounting head 16 and moves it in the x, y, and z directions, and the mounting head 16 has a suction nozzle 18 that suctions and holds the components s.

また、符号２０はカメラを示す。カメラ２０は、吸着ノズル１８によって保持された部品ｓを撮像するものであり、カメラ２０によって撮像された画像に基づいて、部品ｓが回路基板Ｐに装着される予定のものであるか否かが判定される。符号２２は検査装置を示す。検査装置２２は、部品ｓの電気的特性を測定して、検査するものである。部品ｓの電気的特性が測定され、測定された電気的特性が、JOB情報に含まれる部品ｓに関する情報（電気的特性）と一致するか否か、すなわち、次の作業に用いられる予定の部品ｓが備えた電気的特性と一致するか否かが判定されるのである。
部品ｓの電気的特性としては、Ｌ（インダクタンス）、Ｃ（キャパシタンス）、Ｒ（レジスタンス）、Ｚ′（インピーダンス）等が該当し、検査装置２２によってこれらのうちの１つ以上が測定される。 Further, reference numeral 20 denotes a camera. The camera 20 captures an image of the component s held by the suction nozzle 18, and based on the image captured by the camera 20, it is determined whether or not the component s is to be mounted on the circuit board P. Reference numeral 22 denotes an inspection device. The inspection device 22 measures and inspects the electrical characteristics of the component s. The electrical characteristics of the component s are measured, and it is determined whether or not the measured electrical characteristics match information (electrical characteristics) about the component s included in the JOB information, that is, whether or not they match the electrical characteristics of the component s to be used in the next job.
The electrical characteristics of the component s include L (inductance), C (capacitance), R (resistance), Z′ (impedance), etc., and the inspection device 22 measures one or more of these.

検査装置２２は、ごみ箱２６を介して回路基板搬送保持装置４の本体に設けられる。ごみ箱２６と検査装置２２とは廃棄通路２８によって接続されるが、電気的特性が測定された部品ｓが、廃棄通路２８を経てごみ箱２６に収容される。検査装置２２は、ごみ箱２６に高さ調整可能に設けられる。図２，１０に示すように、ごみ箱２６には、昇降可能にベース部３０が係合させられ、ベース部３０に本体２９がボルトおよびナットを含む締結部３１（図３，４，１０参照）によって固定され、これらベース部３０および本体２９が一体的に昇降可能に保持される。また、本体２９、ベース部３０には、それぞれ、廃棄通路２８と連通可能な開口２９ａ、３０ａが設けられる（図３，４参照）。
検査装置２２は、図２～４，１０に示すように、(i)上記本体２９およびベース部３０、(ii)部品ｓを保持可能な保持台３２、(iii)固定子３４および可動子３６から成る一対の測定子３７、(iv)保持台３２を移動させる保持台移動装置４０、(v)可動子３６を固定子３４に対して接近・離間させる可動子移動装置４１、(vi)電気的特性検出部としてのLCR検出部４２等を含む。本実施例において、部品ｓは、両端部に電極を有し、一対の測定子３７によって把持可能なものとすることができる。部品ｓとしては、例えば、角チップと称するものが該当する。 The inspection device 22 is provided on the main body of the circuit board conveying and holding device 4 via a waste bin 26. The waste bin 26 and the inspection device 22 are connected by a waste passage 28, and the parts s whose electrical characteristics have been measured are stored in the waste bin 26 via the waste passage 28. The inspection device 22 is provided on the waste bin 26 so that its height can be adjusted. As shown in Figures 2 and 10, a base portion 30 is engaged with the waste bin 26 so as to be movable up and down, and a main body 29 is fixed to the base portion 30 by fastening portions 31 (see Figures 3, 4, and 10) including bolts and nuts, and the base portion 30 and the main body 29 are held integrally so as to be movable up and down. The main body 29 and the base portion 30 are provided with openings 29a and 30a, respectively, which can communicate with the waste passage 28 (see Figures 3 and 4).
2 to 4 and 10, the inspection device 22 includes (i) the main body 29 and base portion 30, (ii) a holder 32 capable of holding the component s, (iii) a pair of probes 37 consisting of a stator 34 and a mover 36, (iv) a holder moving device 40 for moving the holder 32, (v) a mover moving device 41 for moving the mover 36 toward and away from the stator 34, and (vi) an LCR detection unit 42 as an electrical characteristic detection unit. In this embodiment, the component s has electrodes on both ends and can be held by the pair of probes 37. An example of the component s is what is called a square chip.

保持台３２は、部品載置部４４と、部品載置部４４を保持する載置部保持体４６とを含む。部品載置部４４の上面にはV溝４４ｃが形成され、部品ｓが載せられる。Ｖ形状とされているため、部品ｓの位置が精度よく決まる。
部品載置部４４は、導電性、耐摩耗性を有し、かつ、酸化が進み難い材料で製造されたものとすることができる。部品載置部４４は、複数の導電性を有する部材を介してベース部３０に電気的に接続されるが、ベース部３０が接地されることにより、部品載置部４４も接地される。本実施例においては、部品載置部４４が載置部保持体４６に当接し、かつ、締結部４７によって固定されるとともに、載置部保持体４６が本体２９にストッパ８０（図３参照）を介して当接し、本体２９がベース部３０に締結部３１によって固定される。そして、載置部保持体４６、ストッパ８０、本体２９、ベース部３０、締結部３１、４７等は導電性を有するものである。したがって、部品載置部４４は接地されるのである。
このように、部品載置部４４が導電性を有する材料で製造され、かつ、接地されることにより、部品載置部４４に載置させられた部品ｓの除電を行うことができる。また、部品載置部４４が、耐摩耗性を有する材料で製造されることにより、部品載置部４４の摩耗を抑制し、耐久性を向上させることができる。さらに、酸化が進み難い材料、すなわち、金属の酸化被膜である不動態皮膜が形成され得る材料で製造されることにより、部品載置部４４が錆び難くすることができる。錆が部品ｓに付き難くすること等ができ、部品ｓの電気的特性の測定精度の低下を抑制することができる。例えば、部品載置部４４は、アルミニウム合金またはステンレス材料等によって製造されたものとすることができる。 The holding table 32 includes a component placement section 44 and a placement section holder 46 that holds the component placement section 44. A V-shaped groove 44c is formed on the upper surface of the component placement section 44, and the component s is placed in the V-shaped groove 44c. Because of the V-shape, the position of the component s is determined with high precision.
The component placement portion 44 may be made of a material that is conductive, wear-resistant, and resistant to oxidation. The component placement portion 44 is electrically connected to the base portion 30 via a plurality of conductive members, and the component placement portion 44 is also grounded when the base portion 30 is grounded. In this embodiment, the component placement portion 44 abuts against the placement portion holder 46 and is fixed by the fastening portion 47, and the placement portion holder 46 abuts against the main body 29 via a stopper 80 (see FIG. 3), and the main body 29 is fixed to the base portion 30 by the fastening portion 31. The placement portion holder 46, the stopper 80, the main body 29, the base portion 30, the fastening portions 31, 47, etc. are conductive. Therefore, the component placement portion 44 is grounded.
In this way, the component placement portion 44 is manufactured from a conductive material and is grounded, so that the component s placed on the component placement portion 44 can be de-electrified. Furthermore, the component placement portion 44 is manufactured from a material having wear resistance, so that wear of the component placement portion 44 can be suppressed and durability can be improved. Furthermore, the component placement portion 44 can be made to be less susceptible to rust by being manufactured from a material that is less susceptible to oxidation, that is, a material on which a passivation film, which is a metal oxide film, can be formed. It is possible to make the component s less susceptible to rust, and to suppress a decrease in the measurement accuracy of the electrical characteristics of the component s. For example, the component placement portion 44 can be manufactured from an aluminum alloy, a stainless steel material, or the like.

固定子３４、可動子３６は、それぞれ、互いに対向する対向面３４ｆ、３６ｆを有し、これら一対の対向面３４ｆ、３６ｆによって部品ｓが把持される。固定子３４は固定子保持体５５を介して本体２９に固定される。可動子３６は、可動子保持体５６に一体的に移動可能に保持されたものであり、固定子３４に対して接近・離間可能とされる。本実施例において、対向面３６ｆは、断面が三角形状を成し、Ｖ溝４４ｃに沿って移動可能とされる。換言すれば、可動子３６の対向面３６ｆの形状は、ほぼＶ溝４４ｃに対応する形状とされ、可動子３６の対向面３６ｆ、固定子３４の対向面３４ｆおよび保持台３２のＶ溝４４ｃは、ほぼ同一高さに位置する。そのため、部品ｓがＶ溝４４ｃ内のいずれにあっても、一対の対向面３４ｆ、３６ｆによって部品ｓが把持可能とされる。
また、可動子３６は、本実施例において、ｙ方向（移動方向）に伸びた長手部材であり、後退端において可動子保持体５６に保持される。さらに、対向面３６ｆを含む先端部より後部は、先端部よりｘ方向にはみ出す部分を有さない形状を成す。その結果、保持台３２と可動子３６とは互いに相対移動可能とされ、保持台３２は、Ｖ溝４４の底部が可動子３６を下方に位置する状態で、対向面３６ｆの前方へ移動したり後方へ移動したりすることが可能である。
さらに、可動子３６と固定子３４とから成る一対の測定子３７、LCR検出部４２、図示を省略する電源装置等を含む電気回路５８が形成される。これら固定子３４と可動子３６との間に電流が供給されるとともに流れた電流が検出され、これらの関係に基づいて部品ｓの電気的特性がＬＣＲ検出部４２によって測定される。LCR検出部４２は、Ｌ，Ｃ，Ｒを検出する検出部に限らず、Ｌ，Ｃ，Ｒ，Ｚ´等の電気的特性を表す物理量の１つ以上を検出するものとすることができる。なお、図２～４の符号５８ａ、ｂは、一対の測定子３７の電気回路５８への接続部である。 The stator 34 and the mover 36 have opposing surfaces 34f and 36f, respectively, which face each other, and the part s is gripped by the pair of opposing surfaces 34f and 36f. The stator 34 is fixed to the main body 29 via the stator holder 55. The mover 36 is held by the mover holder 56 so as to be integrally movable, and can move toward and away from the stator 34. In this embodiment, the opposing surface 36f has a triangular cross section and can move along the V-groove 44c. In other words, the shape of the opposing surface 36f of the mover 36 is substantially corresponding to the V-groove 44c, and the opposing surface 36f of the mover 36, the opposing surface 34f of the stator 34, and the V-groove 44c of the holder 32 are located at substantially the same height. Therefore, no matter where the part s is in the V-groove 44c, the part s can be gripped by the pair of opposing surfaces 34f and 36f.
In this embodiment, the mover 36 is a longitudinal member extending in the y direction (movement direction) and is held by the mover holder 56 at its retreated end. Furthermore, the rear part of the mover 36, including the facing surface 36f, is shaped so that there is no part that protrudes from the tip in the x direction. As a result, the holder 32 and the mover 36 are movable relative to each other, and the holder 32 can move forward or backward along the facing surface 36f with the bottom of the V-groove 44 positioned below the mover 36.
Furthermore, an electric circuit 58 is formed, which includes a pair of probes 37 consisting of the movable element 36 and the stator 34, an LCR detector 42, a power supply device (not shown), and the like. A current is supplied between the stator 34 and the movable element 36 and the current that flows is detected, and the electrical characteristics of the component s are measured by the LCR detector 42 based on the relationship between these. The LCR detector 42 is not limited to a detector that detects L, C, and R, but may be one that detects one or more physical quantities that represent electrical characteristics such as L, C, R, and Z'. Reference numerals 58a and b in Figs. 2 to 4 denote connections of the pair of probes 37 to the electric circuit 58.

保持台３２にはカバー部５０が取り付けられる。カバー部５０は、互いにｘ方向に隔たって、Ｖ溝４４ｃの両側にそれぞれ設けられた一対のカバー用板部５２，５４を含む。カバー用板部５２，５４は、それぞれ、保持台３２の固定子３４側に設けられ、ｙ方向およびｚ方向、すなわち、保持台３２、可動子３６の移動方向および上下方向に伸びたものであり、板状部材が曲げられた形状を成す。カバー用板部５２は、平面視において溝形を成し、底板部５２ａと、それの両側に、ｘ方向に隔たって設けられた側板部５２ｂ、５２ｃとを含む。底板部５２ａは、下部が曲げられた形状を成し、側面視においてＬ字形を成し、上部において部品載置部４４の固定子３４側の側面に取り付けられる。また、保持台３２の前進端位置において、底板部５２の下部が固定子保持体５５の上方に位置し、側板部５２ｂが固定子３４の外側、かつ、固定子保持体５５の上方に位置し、側板部５２ｃが側板部５２ｂより外側であって、固定子保持体５５の外側に位置する。側板部５２ｃは、側板部５２ｂより上下方向の寸法が大きいものであり、下端部が本体２９の開口２９ａ付近まで伸びる。カバー用板部５４は、Ｖ溝４４ｃに対してカバー用板部５２の反対側の載置部保持体４６に取り付けられる。カバー用板部５４は、保持台３２の前進端位置において、固定子保持体５５の外側に位置する。カバー用板部５４は、上下方向に曲げられた形状を成し、下端部が本体２９の開口２９ａ付近まで伸びたものである。
また、側板部５２ｃ、カバー用板部５４のｙ方向の寸法は、固定子３４と可動子３６とが互いに離間させられる場合の少なくとも一時期に一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間の空間のほぼ全体をｘ方向から覆い得る大きさとされる。
なお、カバー部５０は、後述するように、エアの拡散を防止するとともに、エアの噴出によって落下させられた部品ｓの飛散を防止する機能を果たす。 A cover portion 50 is attached to the holding base 32. The cover portion 50 includes a pair of cover plates 52, 54 that are spaced apart from each other in the x direction and provided on both sides of the V-groove 44c. The cover plates 52, 54 are provided on the stator 34 side of the holding base 32, and extend in the y direction and z direction, i.e., in the moving direction of the holding base 32 and the movable element 36 and in the up-down direction, and are formed into a curved shape of a plate-like member. The cover plate portion 52 has a groove shape in a plan view and includes a bottom plate portion 52a and side plate portions 52b, 52c that are provided on both sides of the bottom plate portion 52a and spaced apart from each other in the x direction. The bottom plate portion 52a has a curved shape at the lower portion and an L shape in a side view, and is attached at the upper portion to the side surface of the component mounting portion 44 on the stator 34 side. In addition, at the forward end position of the holding base 32, the lower part of the bottom plate portion 52 is located above the stator holding body 55, the side plate portion 52b is located outside the stator 34 and above the stator holding body 55, and the side plate portion 52c is located outside the side plate portion 52b and outside the stator holding body 55. The side plate portion 52c has a larger vertical dimension than the side plate portion 52b, and its lower end portion extends to the vicinity of the opening 29a of the main body 29. The cover plate portion 54 is attached to the placement portion holding body 46 on the opposite side of the cover plate portion 52 with respect to the V-groove 44c. The cover plate portion 54 is located outside the stator holding body 55 at the forward end position of the holding base 32. The cover plate portion 54 is bent in the vertical direction, and its lower end portion extends to the vicinity of the opening 29a of the main body 29.
In addition, the y-direction dimensions of the side plate portion 52c and the cover plate portion 54 are large enough to cover almost the entire space between the pair of opposing surfaces 34f, 36f from the x-direction at least for a period of time when the stator 34 and the movable member 36 are separated from each other.
As will be described later, the cover portion 50 serves to prevent the diffusion of air and to prevent the components s, which have been dropped by the ejection of air, from scattering.

固定子側の部材｛例えば、固定子３４の上部または固定子保持体５５の固定子３４の上方の部分または本体２９｝には、可動子３６の対向面３６ｆに対向するエア通路６０の開口６０ａが形成される。エア通路６０は、図３に示すように概してｙ方向に伸びたエア噴出通路６０ｓ、本体２９に形成された内部通路６０ｈ等を含む。エア噴出通路６０ｓは、可動子３６に近づくにつれて下方へいく向きに傾斜して伸び、可動子３６が固定子３４から離間した位置にある場合に、延長線ｋが可動子３６の対向面３６ｆの部分Ｒの上方または部分Ｒ内に達する状態で伸びたものである。部分Ｒは、可動子３６の対向面３６ｆの部品ｓを把持する頻度が高い部分であり、把持部と称することができる。エアは、対向面３６ｆの延長線ｋが交差する部分に、斜め上方から当たる。
エア通路６０には、エアシリンダ６４，７０が接続される。また、エア通路６０のエアシリンダ６４，７０の下流側の部分にはイオナイザ６２が設けられる。イオナイザ６２は、コロナ放電を生起させて空気をイオン化するものであり、対向面３６ｆにイオン化された空気が供給され得る。 An opening 60a of an air passage 60 facing the facing surface 36f of the mover 36 is formed in a member on the stator side (for example, an upper portion of the stator 34, or a portion of the stator holder 55 above the stator 34, or the main body 29). The air passage 60 includes an air ejection passage 60s extending generally in the y direction as shown in FIG. 3, an internal passage 60h formed in the main body 29, and the like. The air ejection passage 60s extends at an incline downward as it approaches the mover 36, and extends in a state where an extension line k reaches above or within a portion R of the facing surface 36f of the mover 36 when the mover 36 is in a position separated from the stator 34. The portion R is a portion of the facing surface 36f of the mover 36 that frequently grips the part s, and can be called a gripping portion. Air hits the portion where the extension lines k of the facing surface 36f intersect from diagonally above.
Air cylinders 64, 70 are connected to the air passage 60. An ionizer 62 is provided in the air passage 60 downstream of the air cylinders 64, 70. The ionizer 62 ionizes air by generating a corona discharge, and the ionized air can be supplied to the opposing surface 36f.

保持台移動装置４０は、本体２９またはベース部３０に固定的に設けられた駆動源としてのエアシリンダ６４を含む。エアシリンダ６４のピストンロッド６６（図５参照）には載置部保持体４６が連結される。エアシリンダ６４は、シリンダハウジングの内部にピストンによって仕切られた２つのエア室６４ａ、６４ｂを含み、２つのエア室６４ａ、６４ｂとエア源６８、エア通路６０、フィルタ（大気）との間に電磁弁装置６９が設けられる。電磁弁装置６９は、１つ以上の電磁弁、例えば、図５に示すように、方向切換弁、可変絞りを含むものとすることができる。方向切換弁により、載置部保持体４６の移動方向が制御され、可変絞りにより載置部保持体４６の移動・停止が制御される。電磁弁装置６９によって、エア室６４ｂがエア源６８に連通させられエア室６４ａがエア通路６０に連通させられることにより、保持台３２が前進（図３の矢印Ｆ方向の移動）させられ、エア室６４ｂが大気に開放されエア室６４ａがエア源６８に連通させられることにより、保持台３２が後退（図３の矢印Ｂ方向の移動）させられる。 The holder moving device 40 includes an air cylinder 64 as a driving source fixedly provided on the main body 29 or the base portion 30. The placement portion holder 46 is connected to a piston rod 66 (see FIG. 5) of the air cylinder 64. The air cylinder 64 includes two air chambers 64a and 64b separated by a piston inside the cylinder housing, and an electromagnetic valve device 69 is provided between the two air chambers 64a and 64b and the air source 68, the air passage 60, and the filter (atmosphere). The electromagnetic valve device 69 can include one or more electromagnetic valves, for example, a directional control valve and a variable throttle as shown in FIG. 5. The direction of movement of the placement portion holder 46 is controlled by the directional control valve, and the movement and stop of the placement portion holder 46 is controlled by the variable throttle. The solenoid valve device 69 connects the air chamber 64b to the air source 68 and the air chamber 64a to the air passage 60, causing the holding table 32 to move forward (moving in the direction of arrow F in FIG. 3), and the air chamber 64b is opened to the atmosphere and the air chamber 64a is connected to the air source 68, causing the holding table 32 to move backward (moving in the direction of arrow B in FIG. 3).

可動子移動装置４１は、本体２９に固定的に設けられた駆動源としてのエアシリンダ７０を含む。エアシリンダ７０のピストンロッド７１には可動子と一体的に移動可能な可動子保持体５６が連結される。エアシリンダ７０のハウジングの内部にピストンによって仕切られた２つのエア室７０ａ、７０ｂには、電磁弁装置７２を介して、エア源６８、エア通路６０、フィルタ（大気）に接続される。電磁弁装置７２は、１つ以上の電磁弁を含むものであり、例えば、方向切換弁、可変絞り等を含むものとすることができる。電磁弁装置７２により、エア室７０ｂがエア通路６０に連通させられエア室７０ａがエア源６８に連通させられることにより、可動子３６が後退させられ、エア室７０ａが大気に開放されエア室７０ｂがエア源６８に連通させられることにより、可動子３６が前進させられる。
本実施例においては、エアシリンダ６４，７０、エア通路６０（エア噴出通路６０ｓを含む）、開口６０ａ、カバー部５０、イオナイザ６２等によりエア供給装置７３が構成される。エア供給装置７３は、可動子供給部、駆動源連動型供給部でもある。また、対向面３６ｆが供給対象面に対応する。
なお、電磁弁装置６９，７２の構造は、本実施例のそれに限らない。例えば、１つの３位置弁を含むものとしたり、複数の開閉弁を含むものとしたりすること等ができる。また、イオナイザ６２を設けることは不可欠ではない。 The movable piece moving device 41 includes an air cylinder 70 as a driving source fixedly provided on the main body 29. A movable piece holding body 56 that can move integrally with the movable piece is connected to a piston rod 71 of the air cylinder 70. Two air chambers 70a, 70b separated by a piston inside the housing of the air cylinder 70 are connected to an air source 68, an air passage 60, and a filter (atmosphere) via an electromagnetic valve device 72. The electromagnetic valve device 72 includes one or more electromagnetic valves, and may include, for example, a directional control valve, a variable throttle, etc. The electromagnetic valve device 72 connects the air chamber 70b to the air passage 60 and the air chamber 70a to the air source 68, thereby moving the movable piece 36 backward, and opens the air chamber 70a to the atmosphere and connects the air chamber 70b to the air source 68, thereby moving the movable piece 36 forward.
In this embodiment, the air cylinders 64, 70, the air passage 60 (including the air ejection passage 60s), the opening 60a, the cover 50, the ionizer 62, etc. constitute an air supply device 73. The air supply device 73 also serves as a mover supply unit and a drive source-linked supply unit. The opposing surface 36f corresponds to the supply target surface.
The structure of the solenoid valve devices 69 and 72 is not limited to that of the present embodiment. For example, the solenoid valve devices 69 and 72 may include one three-position valve or may include multiple on-off valves. Also, it is not essential to provide the ionizer 62.

可動子保持体５６と本体２９との間には、ｙ方向に伸びた一対のガイドロッド７４，７５が設けられ、保持台３２と可動子保持体５６との間には、ｙ方向に伸びた一対のガイドロッド７６，７７が設けられる。ガイドロッド７４，７５の一端部は、可動子保持体５６に連結され、他端部は、本体２９に摺動可能に係合させられる。ガイドロッド７６，７７は、一端部において載置部保持体４６に連結されるとともに、可動子保持体５６に摺動可能に係合させられる。これらガイドロッド７４，７５、７６，７７により保持台３２と可動子３６とは本体２９に対して、ｙ方向に互いに相対移動可能とされるとともに、保持台３２と可動子３６とは互いにｙ方向に相対移動可能とされる。
また、図３に示すように、可動子保持体５６の固定子側にはストッパ８２が設けられ、本体２９の固定子保持体５５を保持する部分にはストッパ８０が設けられる。ストッパ８２は、可動子保持体５６と保持台３２（載置部保持体４６）との接近限度を規定するものであり、ストッパ８０は、固定子３４（本体２９）と保持台３２（載置部保持体４６）との接近限度を規定するものである。
本実施例において、ガイドロッド７４～７７は、保持台移動装置４０、可動子移動装置４１に共有され、ストッパ８０，８２は保持台移動装置４０の構成要素であると考えることができる。
なお、図３に示すように、可動子３６が後退端位置にある場合のストッパ８２の前端部と、保持台３２が前進端位置にある場合の載置部保持体４６との間の隙間Ｌｄが、可動子３６と保持台３２との相対移動が許容される距離である。 A pair of guide rods 74, 75 extending in the y direction are provided between the mover holder 56 and the main body 29, and a pair of guide rods 76, 77 extending in the y direction are provided between the holder 32 and the mover holder 56. One end of the guide rods 74, 75 is connected to the mover holder 56, and the other end is slidably engaged with the main body 29. One end of the guide rods 76, 77 is connected to the mounting portion holder 46, and is slidably engaged with the mover holder 56. These guide rods 74, 75, 76, 77 allow the holder 32 and the mover 36 to move relatively to each other in the y direction with respect to the main body 29, and allow the holder 32 and the mover 36 to move relatively to each other in the y direction.
3, a stopper 82 is provided on the stator side of the mover holder 56, and a stopper 80 is provided on the portion of the main body 29 that holds the stator holder 55. The stopper 82 determines the approach limit between the mover holder 56 and the holder 32 (mounting portion holder 46), and the stopper 80 determines the approach limit between the stator 34 (main body 29) and the holder 32 (mounting portion holder 46).
In this embodiment, the guide rods 74 to 77 are shared by the holder-table moving device 40 and the mover moving device 41 , and the stoppers 80 and 82 can be considered to be components of the holder-table moving device 40 .
As shown in Figure 3, the gap Ld between the front end of the stopper 82 when the movable member 36 is in the retracted end position and the mounting portion holder 46 when the holding base 32 is in the forward end position is the distance over which relative movement between the movable member 36 and the holding base 32 is permitted.

当該装着機は制御装置１００を含む。制御装置１００は、図６に示すように、コンピュータを主体とするコントローラ１０２と、複数の駆動回路１０４とを含む。コントローラ１０２は、実行部１１０、記憶部１１２、入出力部１１４等を含み、入出力部１１４には、基板搬送保持装置４、部品供給装置６、ヘッド移動装置８が、それぞれ、駆動回路１０４を介して接続されるとともに、可動子移動装置４１、保持台移動装置４０の電磁弁装置６９，７２等が接続される。また、ＬＣＲ検出部４２、ディスプレイ１１６、可動子位置センサ１１８、保持台位置センサ１２０、ノズル１８の高さを検出するノズル高さセンサ１２２等が接続される。記憶部１１２には、図７(a)のフローチャートで表されるLCR検出プログラム等の複数のプログラム、テーブルが記憶されている。また、コントローラ１０２に設けられたタイマ１２４によって時間の計測が行われる。
なお、本実施例においては、制御装置１００によって装着機全体が制御される場合について説明したが、基板搬送保持装置４、部品供給装置６、ヘッド移動装置８等がそれぞれ互いに個別の制御装置によって制御されるようにすることもできる。 The placement machine includes a control device 100. As shown in Fig. 6, the control device 100 includes a controller 102 mainly composed of a computer and a plurality of drive circuits 104. The controller 102 includes an execution unit 110, a storage unit 112, an input/output unit 114, etc., to which the board transport and holding device 4, the component supply device 6, and the head moving device 8 are connected via the drive circuits 104, and also to which the movable element moving device 41 and the electromagnetic valve devices 69, 72 of the holding table moving device 40 are connected. Also connected to the input/output unit 114 are an LCR detection unit 42, a display 116, a movable element position sensor 118, a holding table position sensor 120, a nozzle height sensor 122 for detecting the height of the nozzle 18, etc. The storage unit 112 stores a plurality of programs and tables, such as an LCR detection program shown in the flow chart of Fig. 7(a). Also, a timer 124 provided in the controller 102 measures time.
In this embodiment, the case where the entire mounting machine is controlled by the control device 100 has been described, but it is also possible to configure the board transport and holding device 4, component supply device 6, head moving device 8, etc. to be each controlled by an individual control device.

以下、装着機の作動について説明する。
段取り替えが行われる場合等、新たなテープフィーダ１４のセット、テープフィーダ１４の交換等が行われた場合等に、そのテープフィーダ１４に保持された部品ｓの電気的特性が測定され、そのテープフィーダ１４（または部品ｓ）が適切なものであるか否かが検査される。また、その検査結果がディスプレイ１１６に表示される。不適切である場合には、テープフィーダ１４が取り替えられる。 The operation of the placement machine will now be described.
When a changeover is performed, a new tape feeder 14 is set, or a tape feeder 14 is replaced, the electrical characteristics of the component s held by that tape feeder 14 are measured to check whether the tape feeder 14 (or the component s) is suitable. The test results are displayed on the display 116. If the tape feeder 14 is not suitable, the tape feeder 14 is replaced.

部品ｓの電気的特性は、図７(a)のフローチャートで表されるLCR測定プログラムの実行により測定される。また、保持台３２、可動子３６の動き、保持台位置センサ１２０、可動子位置センサ１１８の状態を図７(b)に示す。
検査装置２２は、常には、図９(a)に示す初期状態にある。可動子３６は後退端位置にあり、保持台３２は前進端位置、すなわち、ストッパ８０に当接した位置にある。この状態において、保持台３２は、内部導通等によりアースされた状態にある。保持台３２のＶ溝４４ｃの上方に可動子３６が存在せず、部品ｓを載置可能な状態にある。また、カバー部５０は固定子３４の両側（ｘ方向に隔たって）に位置する。可動子位置センサ１１８、保持台位置センサ１２０は、いずれもＯＮ状態にある。
ステップ１（以下、Ｓ１と略称する。他のステップについても同様とする）において、部品ｓの電気的特性の測定指令が出されたか否かが判定される。段取り替えが行われる場合等には電気的特性の測定指令が出される。測定指令が出されると、Ｓ２において、装着ヘッド１６が移動させられ、例えば、新たに取り付けられたテープフィーダ１４に保持された部品ｓが吸着ノズル１８によってピックアップされて、保持台３２のＶ溝４４ｃ上に載せられる。吸着ノズル１８が下降させられ、部品ｓが開放されることにより、部品ｓがＶ溝４４ｃ上に載置させられたことがわかる。 The electrical characteristics of the component s are measured by executing an LCR measurement program shown in the flow chart of Fig. 7(a). The movements of the support table 32 and the mover 36, and the states of the support table position sensor 120 and the mover position sensor 118 are shown in Fig. 7(b).
The inspection device 22 is always in the initial state shown in Fig. 9(a). The mover 36 is at the retracted end position, and the holder 32 is at the advanced end position, i.e., in the position where it abuts against the stopper 80. In this state, the holder 32 is in an earthed state due to internal conduction or the like. The mover 36 is not present above the V-groove 44c of the holder 32, and the component s can be placed thereon. The cover parts 50 are located on both sides of the stator 34 (spaced apart in the x direction). The mover position sensor 118 and the holder position sensor 120 are both in the ON state.
In step 1 (hereinafter abbreviated as S1, the same applies to the other steps), it is determined whether or not a command to measure the electrical characteristics of component s has been issued. A command to measure the electrical characteristics is issued when a changeover is to be performed, etc. When a measurement command is issued, in S2, the mounting head 16 is moved, and, for example, the component s held by the newly attached tape feeder 14 is picked up by the suction nozzle 18 and placed on the V-groove 44c of the holding table 32. The suction nozzle 18 is lowered and the component s is released, indicating that the component s has been placed on the V-groove 44c.

そして、吸着ノズル１８が部品ｓをＶ溝４４ｃ上に載置させて上昇端に達したことがノズル高さセンサ１２２によって検出されると、Ｓ３において、電磁弁装置７２の制御により可動子３６が前進させられ、可動子位置センサ１１８がＯＮからＯＦＦに切り換えられる。可動子３６の先端の対向面３６ｆは、部品載置部４４のＶ溝４４ｃに沿って前進させられ、対向面３６ｆと固定子３４の対向面３４ｆとによって部品ｓがクランプされる｛図９(b)｝。本実施例においては、後退端位置から部品ｓをクランプするまでの可動子３６のストロークＬ₁（図３参照）は、クランプされる部品ｓの大きさ等で決まり、予め決められている。可動子３６の前進開始時から、可動子３６がストロークＬ₁前進するまでに要する時間である前進時間が経過した後に、可変絞りの制御等により、可動子３６の前進が停止させられる。前進時間は、タイマ１２４によって計測される。この保持台３２が前進端位置にあり、可動子３６が前進させられ、一対の対向面３４ｆ、３６ｆにより部品ｓがクランプされた状態がクランプ状態である。 Then, when the nozzle height sensor 122 detects that the suction nozzle 18 has placed the component s on the V-groove 44c and reached the upper end, the solenoid valve device 72 controls the movable member 36 to advance in S3, and the movable member position sensor 118 is switched from ON to OFF. The facing surface 36f at the tip of the movable member 36 advances along the V-groove 44c of the component placement section 44, and the component s is clamped by the facing surface 36f and the facing surface 34f of the stator 34 (FIG. 9(b)). In this embodiment, the stroke L ₁ of the movable member 36 from the retreat end position to clamping the component s (see FIG. 3) is determined in advance based on the size of the component s to be clamped, etc. After the forward movement time, which is the time required for the movable member 36 to advance the stroke L ₁ from the start of the forward movement of the movable member 36, has elapsed, the forward movement of the movable member 36 is stopped by the control of the variable throttle, etc. The forward movement time is measured by the timer 124. The clamped state is when the support table 32 is at the forward end position, the mover 36 is advanced, and the part s is clamped by the pair of opposing surfaces 34f, 36f.

Ｓ４において、電磁弁装置６９の制御により保持台３２が後退させられ、保持台位置センサ１２０がＯＮからＯＦＦに切り換えられる。保持台３２は、ストッパ８２に当接するまで後退させられ｛図９(c)｝、その位置で保持される。その間の保持台３２のストロークはＬ₂（図３参照）である。
Ｌ₂＝Ｌｄ－Ｌ₁
本実施例においては、ストロークＬ₂は設定値Ｌｘ以上の大きさとされていて（Ｌ₂≧Ｌｘ）、部品載置部４４が部品ｓから設定値Ｌｘ以上離間させられる。導電性を有する部材（部品載置部４４）が電気的特性の測定時に部品ｓの近傍に位置すると静電誘導が起きたり、渦電流が生じたりする等、電気的特性を正確に検出することができない。それに対して、部品載置部４４を部品ｓから設定値Ｌｘ以上離間させれば（部品載置部４４と部品ｓとの最短距離が設定値Ｌｘ以上とすれば）、部品載置部４４が部品ｓの近傍に位置することに起因して生じる電気的特性の測定誤差を小さくすることができる。このように、設定値Ｌｘは、部品載置部４４が部品ｓの電気的特性の測定に影響を及ぼし難い距離であり、予め実験等により取得された値である。この状態が測定状態である。
なお、保持台３２の後退開始時から、保持台３２がストロークＬ₂後退するのに要する時間である後退時間Taが経過した後に、電磁弁装置６９の制御により保持台３２の位置が保持される。後退時間Taは、タイマ１２４によって計測される。 In S4, the holder 32 is moved backward by the control of the solenoid valve device 69, and the holder position sensor 120 is switched from ON to OFF. The holder 32 is moved backward until it abuts against the stopper 82 (FIG. 9(c)) and is held in that position. The stroke of the holder 32 during this period is _L2 (see FIG. 3).
_L2 = Ld - _L1
In this embodiment, the stroke _L2 is set to a value equal to or larger than the set value Lx ( _L2 ≥ Lx), and the component placement portion 44 is spaced apart from the component s by the set value Lx or more. If a conductive member (component placement portion 44) is located near the component s during measurement of the electrical characteristics, electrostatic induction or eddy currents may occur, making it impossible to accurately detect the electrical characteristics. On the other hand, if the component placement portion 44 is spaced apart from the component s by the set value Lx or more (if the shortest distance between the component placement portion 44 and the component s is set to be equal to or larger than the set value Lx), the measurement error of the electrical characteristics caused by the component placement portion 44 being located near the component s can be reduced. In this way, the set value Lx is a distance at which the component placement portion 44 is unlikely to affect the measurement of the electrical characteristics of the component s, and is a value obtained in advance by experiments or the like. This state is the measurement state.
After a retraction time Ta, which is the time required for the holder 32 to retract by the stroke _L2 from the start of the retraction of the holder 32, has elapsed, the position of the holder 32 is maintained by control of the solenoid valve device 69. The retraction time Ta is measured by a timer 124.

Ｓ５において、吸着ノズル１８により部品ｓが開放され、Ｖ溝４４ｃ上に載せられた時から、設定時間である除電時間が経過するのが待たれる。テープフィーダ１４に保持された部品ｓの各々は、テープフィーダ１４の運搬に伴う振動、物との接触等に起因して生じた静電気により帯電した状態にある。この帯電された部品ｓが、導電性を有する材料で製造され、かつ、アースされた部品載置部４４に載置されることにより除電されたり、空気中への放電により除電されたりする。除電時間は、部品ｓが有していると推定される容量の静電気を除去するのに要する時間であり、予め実験等により求めたり、部品ｓの大きさ、特性等に基づいて理論的に求めたりすること等ができる。部品ｓが部品保持台４４に載せられてからの経過時間が除電時間に達すると、Ｓ５の判定がＹＥＳとなり、Ｓ６において部品ｓの電気的特性が測定される。
そして、電気的特性の測定に要する時間である測定時間が経過すると、Ｓ７が実行されるのであるが、測定時間は部品ｓの種類等によって決まる時間としても、一定の時間としてもよい。いずれにしても予め取得されて記憶されている。 In S5, the component s is released by the suction nozzle 18 and placed on the V-groove 44c, and the process waits for the elapse of the set charge removal time. Each of the components s held by the tape feeder 14 is charged with static electricity generated due to vibrations caused by the transport of the tape feeder 14, contact with objects, and the like. The charged components s are removed by being placed on the component placement unit 44, which is made of a conductive material and is grounded, or by discharging into the air. The charge removal time is the time required to remove the static electricity of a capacity estimated to be possessed by the component s, and can be obtained in advance by experiments, or theoretically based on the size, characteristics, and the like of the component s. When the elapsed time since the component s was placed on the component holding table 44 reaches the charge removal time, the determination in S5 becomes YES, and the electrical characteristics of the component s are measured in S6.
Then, when the measurement time, which is the time required to measure the electrical characteristics, has elapsed, S7 is executed, but the measurement time may be a time determined depending on the type of component s, etc., or may be a fixed time. In either case, it is obtained and stored in advance.

測定時間が経過し、部品ｓの電気的特性の測定が終了すると、Ｓ７において、電磁弁装置７２の制御により可動子３６が後退させられる。後退端に達すると、可動子位置センサ１１８がＯＮとなる。Ｓ８において、電磁弁装置６９の制御により、保持台３２が後退させられる｛図９(d)｝。保持台３２が測定状態から後退端位置にある可動子３６のストッパ８２に当接するまでのストロークはＬ₁である。そのため、保持台３２がストロークＬ₁後退するのに要する時間である後退時間Tbが経過した後に、ストッパ８２に当接したとわかる。図９(d)に示すように、保持台３２は、可動子３６の対向面３６ｆより後方に位置
し、一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間の下方に存在しない。この状態が廃棄状態である。
保持台３２がストッパ８２に当接するまで後退させられると、Ｓ９において、電磁弁装置６９の制御により、エアシリンダ６４においてエア室６４ｂがエア源６８に連通させられ、エア室６４ａがエア通路６０に連通させられる。保持台３２が前進させられ、ストッパ８０に当たると保持台位置センサ１２０がＯＮとなる。保持台３２は、一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間に位置し（Ｖ溝４４が対向面３４ｆ、３６ｆの間の下方に位置し）、Ｖ溝４４ｃの上方が空間とされている。そのため、部品ｓが載置可能とされる。この状態が初期状態である。 When the measurement time has elapsed and the measurement of the electrical characteristics of the component s has been completed, in S7, the movable member 36 is retracted by the control of the electromagnetic valve device 72. When the movable member 36 reaches the retracted end, the movable member position sensor 118 is turned ON. In S8, the holder 32 is retracted by the control of the electromagnetic valve device 69 (FIG. 9(d)). The stroke from the measurement state until the holder 32 abuts against the stopper 82 of the movable member 36 at the retracted end position is L _1. Therefore, it can be seen that the holder 32 abuts against the stopper 82 after the retraction time Tb, which is the time required for the holder 32 to retract by the stroke L ₁ , has elapsed. As shown in FIG. 9(d), the holder 32 is located behind the opposing surface 36f of the movable member 36 and is not present below between the pair of opposing surfaces 34f, 36f. This state is the discarded state.
When the holder 32 is moved backward until it abuts against the stopper 82, in S9, the air chamber 64b in the air cylinder 64 is connected to the air source 68 and the air chamber 64a is connected to the air passage 60 under the control of the solenoid valve device 69. When the holder 32 is moved forward and abuts against the stopper 80, the holder position sensor 120 turns ON. The holder 32 is located between the pair of opposing surfaces 34f, 36f (the V-groove 44 is located below the opposing surfaces 34f, 36f), and there is space above the V-groove 44c. Therefore, the component s can be placed. This state is the initial state.

可動子３６の対向面３６ｆが固定子３４の対向面３４ｆから離間することにより、これらの間に把持されていた部品ｓが開放される。また、可動子３６の後退時には、エアシリンダ７０のエア室７０ａがエア通路６０に連通させられ、カバー用板部５２，５４は、それぞれ、一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間の空間のｘ方向の両側に位置する。さらに、保持台３２が可動子３６の対向面３６ｆの後方に移動させられることにより、一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間の下方に存在しなくなり、一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間は、開口２９ａ、３０ａ、廃棄通路２８に連通させられる。
可動子３６の後退に伴って、エア室７０ａから流出させられたエアが開口６０ａから可動子３６の対向面３６ｆに斜め上方から供給されるが、エアが供給される空間、換言すれば、一対の対向面３４ｆ、３６ｆの間の空間が、カバー部５０によってｘ方向から覆われる。エアは、主として対向面３６ｆに当たった後、対向面３６ｆに沿って下方へ流れる。そのため、仮に、対向面３６ｆから部品ｓが落下せず、部分Ｒに付着していても、それを良好に落下させることができる。また、エアは、カバー部５０の内部を渦状に流れるため、仮に、固定子３４の対向面３４ｆに部品ｓが付着していたとしても落下させることができる。さらに、対向面３４ｆ、３６ｆから落下して保持台３２の上に載った部品ｓもエアにより落下させ得るが、仮に、Ｖ溝４４上に部品ｓが載って、エアにより落下しなかった場合であっても、保持台３２の後退に伴う可動子３６の対向面３６ｆの前進により確実に落下させることができる。このように、本実施例において、廃棄状態は、部品ｓが良好に落下させられた状態と考えることができる。
なお、一対の対向面３４ｆ、３６ｆから落下した部品ｓは、開口２９ａ、３０ａ、廃棄通路２８を経て良好にごみ箱２６へ収容される。 As the opposing surface 36f of the mover 36 moves away from the opposing surface 34f of the stator 34, the component s that was held therebetween is released. When the mover 36 moves backward, the air chamber 70a of the air cylinder 70 is connected to the air passage 60, and the cover plates 52, 54 are located on both sides in the x direction of the space between the pair of opposing surfaces 34f, 36f. As the holding base 32 is moved rearward of the opposing surface 36f of the mover 36, it is no longer located below the space between the pair of opposing surfaces 34f, 36f, and the space between the pair of opposing surfaces 34f, 36f is connected to the openings 29a, 30a and the waste passage 28.
As the mover 36 retreats, air flowing out of the air chamber 70a is supplied from the opening 60a to the opposing surface 36f of the mover 36 from above at an angle, and the space to which the air is supplied, in other words, the space between the pair of opposing surfaces 34f, 36f, is covered from the x direction by the cover part 50. The air mainly hits the opposing surface 36f and then flows downward along the opposing surface 36f. Therefore, even if the component s does not fall from the opposing surface 36f and is attached to the portion R, it can be dropped satisfactorily. In addition, since the air flows in a vortex inside the cover part 50, even if the component s is attached to the opposing surface 34f of the stator 34, it can be dropped. Furthermore, the component s that has fallen from the opposing surfaces 34f, 36f and landed on the holder 32 can also be dropped by the air, but even if the component s is placed on the V-groove 44 and does not fall by the air, it can be reliably dropped by the advancement of the opposing surface 36f of the mover 36 accompanying the retreat of the holder 32. Thus, in this embodiment, the discarded state can be considered to be a state in which the component s has been successfully dropped.
The parts s that fall from the pair of opposing surfaces 34f, 36f are properly received in the waste box 26 via the openings 29a, 30a and the disposal passage 28.

また、カバー部５０を設けることにより、落下した部品ｓが飛び散らないようにすることもできる。カバー用板部５２の側板部５２ｃ、カバー用板部５４の下端部は本体２９の開口２９ａの近傍まで伸びているため、部品ｓを良好に開口２９ａから廃棄通路２８を経てごみ箱２６へ収容させることができる。一方、イオン化されたエアが供給される場合には可動子３６、固定子３４の対向面３６ｆ、３４ｆを電気的に中和させることが可能となり、次の部品ｓの電気的特性の測定精度を向上させることができる。
さらに、エアシリンダ６４において、保持台３２の前進時（Ｓ９）にエア室６４ａがエア噴出通路６０ｓに連通させられる。廃棄状態から初期状態へ移行する場合にも、可動子３６の対向面３６ｆにエアを供給することができるのであり、可動子３６の対向面３６ｆの除電を良好に行うことが可能となる。 Furthermore, the provision of the cover 50 can prevent the dropped component s from scattering. Since the side plate 52c of the cover plate 52 and the lower end of the cover plate 54 extend to the vicinity of the opening 29a of the main body 29, the component s can be smoothly stored in the waste bin 26 through the opening 29a and the disposal passage 28. On the other hand, when ionized air is supplied, it is possible to electrically neutralize the opposing surfaces 36f, 34f of the mover 36 and the stator 34, and the measurement accuracy of the electrical characteristics of the next component s can be improved.
Furthermore, in the air cylinder 64, the air chamber 64a is connected to the air ejection passage 60s when the holder 32 moves forward (S9). Even when transitioning from the disposal state to the initial state, air can be supplied to the facing surface 36f of the movable member 36, and static electricity can be effectively removed from the facing surface 36f of the movable member 36.

一方、測定された電気的特性とJOB情報に含まれる電気的特性とが比較され、当該部品ｓが、これから行われる作業（JOB）に用いられるべきものであるかどうかが判定され、その判定結果がディスプレイ１１６に表示される。
Ｓ２１において、当該部品ｓの電気的特性の測定値が取得され、Ｓ２２において、次のJOBのJOB情報から対応する情報が読み込まれる。Ｓ２３において、これらが比較され、一致するかどうかが判定される。一致する場合であっても不一致の場合であっても、判定結果はディスプレイ１１６に表示される。仮に、不一致の場合には、適切なテープフィーダと交換される等の作業が行われる。 On the other hand, the measured electrical characteristics are compared with the electrical characteristics contained in the JOB information to determine whether the part S should be used in the job to be performed, and the result of the determination is shown on the display 116.
In S21, the measured values of the electrical characteristics of the component s are obtained, and in S22, the corresponding information is read from the job information of the next job. In S23, these are compared to determine whether they match. Whether they match or not, the result of the determination is displayed on the display 116. If they do not match, an appropriate tape feeder is replaced, or some other action is taken.

以上のように、本実施例においては、部品載置部４４が導電性を有する材料で製造されるとともに接地される。その結果、電気的特性の測定前に部品載置部４４に載せられた部品ｓの除電を良好に行うことができる。一方、部品ｓが帯電していると、部品ｓのインピーダンスを測定することが困難であった。それに対して、本実施例においては、部品ｓの除電が良好に行われるため、部品ｓのインピーダンスを良好に測定することができる。
さらに、可動子３６の後退と並行して部品ｓを廃棄通路２８に落下させることができるのであり、可動子の後退と、部品ｓの送出とを別の工程で行われる場合に比較して、電気的特性の測定に要する時間を短くすることができる。 As described above, in this embodiment, the component placement portion 44 is made of a conductive material and is grounded. As a result, the component s placed on the component placement portion 44 can be de-electrified well before the measurement of its electrical characteristics. On the other hand, if the component s is charged, it is difficult to measure the impedance of the component s. In contrast, in this embodiment, the component s is de-electrified well, so that the impedance of the component s can be measured well.
Furthermore, the component s can be dropped into the disposal path 28 in parallel with the retraction of the movable member 36, and the time required to measure the electrical characteristics can be shortened compared to when the retraction of the movable member and the delivery of the component s are performed in separate processes.

以上のように、本実施例においては、コントローラ１０２のLCR測定プログラムのＳ４，７，８を記憶する部分、実行する部分、タイマ１２４、可動子位置センサ１１８、保持台位置センサ１２０等により移動制御装置、相対移動制御装置が構成される。また、そのうちの、Ｓ４を記憶する部分、実行する部分等により測定時制御部が構成され、Ｓ８を記憶する部分、実行する部分等により廃棄時制御部が構成され、Ｓ９を記憶する部分、実行する部分等により準備時制御部が構成される。移動制御装置は、保持台移動制御装置、相対移動制御部でもある。
また、エアシリンダ７０が可動子用シリンダに対応し、エアシリンダ６４が保持台用シリンダに対応する。エア供給装置７３は、可動子供給部、駆動源連動型供給部でもある。さらに、一対の測定子３７、LCR検出部４２を含む電気回路５８、コントローラ１０２のＳ６を記憶する部分、実行する部分等により電気的特性取得装置が構成される。
さらに、Ｓ３がクランプ工程に対応し、Ｓ４、６が測定工程に対応し、Ｓ７，８が廃棄工程に対応し、Ｓ９が準備工程に対応する。 As described above, in this embodiment, the movement control device and the relative movement control device are constituted by the part that stores and executes S4, 7, and 8 of the LCR measurement program of the controller 102, the timer 124, the mover position sensor 118, the holding table position sensor 120, etc. Among these, the part that stores and executes S4 constitutes the measurement control unit, the part that stores and executes S8 constitutes the disposal control unit, and the part that stores and executes S9 constitutes the preparation control unit. The movement control device also serves as the holding table movement control device and the relative movement control unit.
The air cylinder 70 corresponds to the cylinder for the mover, and the air cylinder 64 corresponds to the cylinder for the holder. The air supply device 73 also serves as a mover supply unit and a drive source-linked supply unit. Furthermore, the pair of probes 37, the electric circuit 58 including the LCR detection unit 42, the part of the controller 102 that stores S6, the part that executes S6, etc. constitute an electric characteristic acquisition device.
Furthermore, S3 corresponds to a clamping step, S4 and S6 correspond to a measuring step, S7 and S8 correspond to a discarding step, and S9 corresponds to a preparation step.

なお、一対の測定子の両方を移動可能とし、保持台を本体に固定とすることもできる。その場合であっても、保持台上に載せられた部品ｓを一対の測定子が把持し、一対の測定子が移動させられることにより、部品ｓから保持台を設定値以上離間させることができる。
また、保持台は、上下方向へ移動可能とすることもできる。その場合であっても、部品ｓが一対の測定子によってクランプされた状態で、保持台を部品ｓから設定値以上離間させることができる。
さらに、エア噴出通路を検査装置２２の本体２９の側部に、概してｘ方向に開く開口を有する状態で設けることもできる。換言すれば、カバー用板部５２，５４のいずれか一方をなくし（例えば、カバー用板部５４をなくし）、そのなくした側に、ｘ方向に開口を有するエア噴出通路を設けることができる。その結果、エアは、対向面３４ｆ、３６ｆ（ｘｚ方向に伸びた面）に沿って、カバー用板部５２に向かって供給されることになり、それにより、一対の対向面３４ｆ、３６ｆに付着した部品ｓを落とすことが可能となる。
また、部品ｓの電気的特性の測定後に、保持台３２を可動子３６の後退に伴って後退させる（例えば、同時に後退させる）ことも可能である。この保持台３２および可動子３６が後退させられる状態を廃棄状態とすることもできる。
さらに、可動子位置センサ１１８、保持台位置センサ１２０は不可欠ではない。例えば、タイマ１２４による計測により電磁弁装置６９，７２を制御することもできる。また、エア供給装置も不可欠ではない等、本発明は、前記実施形態に記載の態様の他、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した形態で実施することができる。 It is also possible to make both of the pair of probes movable and to fix the holder to the main body. Even in this case, the pair of probes can grip the component s placed on the holder and can be moved to separate the holder from the component s by a set distance or more.
The holding table can also be made movable in the vertical direction. Even in this case, the holding table can be moved away from the component s by a set distance or more while the component s is clamped by the pair of probes.
Furthermore, the air ejection passage can be provided on the side of the main body 29 of the inspection device 22 with an opening that opens generally in the x direction. In other words, one of the cover plates 52, 54 can be eliminated (for example, the cover plate 54 can be eliminated), and an air ejection passage having an opening in the x direction can be provided on the side where one of the cover plates 52, 54 is eliminated. As a result, air is supplied toward the cover plate 52 along the opposing surfaces 34f, 36f (surfaces extending in the xz directions), which makes it possible to remove the components s attached to the pair of opposing surfaces 34f, 36f.
In addition, after the electrical characteristics of the component s are measured, the holder 32 can be retracted together with the retraction of the mover 36 (for example, retracted simultaneously). This state in which the holder 32 and the mover 36 are retracted can also be regarded as a disposal state.
Furthermore, the mover position sensor 118 and the holder position sensor 120 are not essential. For example, the solenoid valve devices 69, 72 can be controlled by measurement using a timer 124. Furthermore, the air supply device is not essential. In addition to the aspects described in the above embodiment, the present invention can be embodied in various forms with various modifications and improvements based on the knowledge of those skilled in the art.

２２：検査装置２６：ごみ箱２８：廃棄通路２９：本体２９ａ：開口３０：ベース部３０ａ：開口３１：締結部３２：保持台３４：固定子３６：可動子３４ｆ，３６ｆ：対向面４０：保持台移動装置４１：可動子移動装置４２：ＬＣＲ検出部４４：部品載置部４４ｃ：Ｖ溝５０：カバー部７２：エア供給装置１００：制御装置１１８：可動子位置センサ１１８：保持台位置センサ１２４：タイマ 22: Inspection device 26: Garbage can 28: Disposal passage 29: Main body 29a: Opening 30: Base 30a: Opening 31: Fastening section 32: Holder 34: Stator 36: Movable piece 34f, 36f: Opposing surface 40: Holder moving device 41: Movable piece moving device 42: LCR detection section 44: Part placement section 44c: V-groove 50: Cover section 72: Air supply device 100: Control device 118: Movable piece position sensor 118: Holder position sensor 124: Timer

Patentable inventions

（１）部品供給装置によって供給された部品をピックアップして回路基板に装着する装着機に含まれる検査装置であって、
部品を保持可能な保持台と、
互いに接近・離間可能とされるとともに、前記部品を挟んでその部品の電気的特性を測定可能な一対の測定子と、
前記保持台を移動させる保持台移動装置と、
その保持台移動装置を制御する保持台移動制御装置とを含み、かつ、前記保持台移動制御装置が、前記一対の測定子が前記保持台に保持された前記部品を把持するクランプ状態から、前記保持台を前記部品から設定値以上離間させて、前記部品の電気的特性を測定可能な測定状態とする測定時制御部を含むことを特徴とする検査装置。
保持台は、一対の測定子の接近・離間方向と平行な方向に移動可能としても、交差する方向に移動可能としてもよい。設定値は、例えば、保持台が導電性を有するものである場合において、保持台の影響が部品の電気的特性の測定に及び難い距離とすることができる。
（２）前記保持台を、導電性を有するものとした(1)項に記載の検査装置。
（３）前記一対の測定子が、互いに対向し、前記部品に接触可能な一対の対向面を含み、それら一対の対向面が互いに接近させられることにより前記部品を保持し、互いに離間させられることにより前記部品を放すものであり、
前記保持台移動装置が、前記測定状態から、前記保持台を移動させることにより、前記互いに離間させられた一対の対向面の間の下方に前記保持台が存在しない廃棄状態とする廃棄時制御部を含む(1)項または(2)項に記載の検査装置。
（４）前記保持台移動制御装置が、前記廃棄状態から、前記互いに離間させられた一対の対向面の間の下方へ前記保持台を移動させて、前記保持台が前記部品を保持可能な初期状態とする準備時制御部を含む(3)項に記載の検査装置。
（５）前記装着機が、前記検査装置に接続された廃棄通路を含み、当該検査装置の本体が、前記廃棄通路に連通可能な開口を有する(1)項ないし(4)項のいずれか１つに記載の検査装置。
開口の位置、大きさは、少なくとも、廃棄状態において一対の対向面の間の下方に開口状態にあるように決めることができる。
（６）当該検査装置が、前記一対の測定子の間に電流を供給するとともに前記一対の測定子の間に流れる電流を検出して、前記部品の前記電気的特性を取得する電気的特性取得装置を含み、その電気的特性取得装置が、前記保持台に前記部品が載置させられた時点から設定時間以上が経過した場合に、前記部品の前記電気的特性の測定を開始する遅延型測定部を含む(1)項ないし(5)項のいずれか１つに記載の検査装置。
設定時間は、例えば、部品の除電に要する時間である除電時間とすることができる。除電時間は、部品によって決まる時間であっても、部品に関係なく予め定められた時間であってもよい。
なお、保持台に部品が載置させられている時間を除電時間とすることもできる。
（７）前記一対の測定子が、本体に固定の固定子と、前記固定子に対して相対移動可能な可動子とを含み、
当該検査装置が、前記可動子を前記固定子に対して移動させる可動子移動装置と、その可動子移動装置を制御することにより前記一対の測定子を互いに接近・離間させる可動子移動制御部とを含む(1)項ないし(6)項のいずれか１つに記載の検査装置。
（８）当該検査装置が、前記可動子と前記保持台とを互いに相対移動可能に連結する連結機構を含む(7)項に記載の検査装置。
例えば、可動子は、その可動子の移動方向と平行に伸びた長手形状を成すものとすることができる。また、保持台は、可動子の先端の前方に位置する場合、後方に位置する場合がある。
（９）前記保持台が、横断面がＶ字状を成す溝であるＶ溝を有し、前記一対の測定子の少なくとも一方の先端部の横断面が前記Ｖ溝に対応する三角形状を成す(1)項ないし(8)項のいずれか１つに記載の検査装置。 (1) An inspection device included in a mounting machine that picks up components supplied by a component supplying device and mounts them on a circuit board,
A holding table capable of holding a component;
a pair of probes that can approach and move away from each other and sandwich the component to measure electrical characteristics of the component;
a holder moving device that moves the holder;
and a holder table movement control device that controls the holder table movement device, and the holder table movement control device includes a measurement control unit that moves the holder table away from the component by a set value or more from a clamped state in which the pair of measuring probes grip the component held on the holder table, to a measurement state in which the electrical characteristics of the component can be measured.
The holding stage may be movable in a direction parallel to the direction in which the pair of probes approach and separate, or in a direction intersecting the direction. For example, when the holding stage is conductive, the set value may be a distance at which the influence of the holding stage is unlikely to affect the measurement of the electrical characteristics of the component.
(2) The inspection device according to (1), wherein the support table is conductive.
(3) The pair of probes includes a pair of opposing surfaces that face each other and are capable of coming into contact with the component, and the pair of opposing surfaces is brought close to each other to hold the component and is moved away from each other to release the component,
The inspection apparatus according to claim 1 or 2, wherein the holding table moving device includes a disposal control unit that moves the holding table from the measurement state to a disposal state in which the holding table is not present below between the pair of opposing surfaces that are spaced apart from each other.
(4) An inspection device as described in (3), wherein the holder movement control device includes a preparation control unit that moves the holder from the disposal state downward between the pair of opposing surfaces that are spaced apart from each other, thereby bringing the holder into an initial state in which it can hold the part.
(5) An inspection device according to any one of (1) to (4), wherein the placement machine includes a waste passage connected to the inspection device, and a main body of the inspection device has an opening that can communicate with the waste passage.
The position and size of the opening can be determined so that the opening is open downward between the pair of opposing surfaces at least in the disposal state.
(6) An inspection apparatus as described in any one of (1) to (5), wherein the inspection apparatus includes an electrical characteristic acquisition device that supplies a current between the pair of probes and detects the current flowing between the pair of probes to acquire the electrical characteristics of the component, and the electrical characteristic acquisition device includes a delayed measurement unit that starts measuring the electrical characteristics of the component when a set time or more has elapsed since the component was placed on the holding table.
The set time may be, for example, a static elimination time that is a time required to eliminate static electricity from a component. The static elimination time may be a time determined depending on the component, or may be a time that is set in advance regardless of the component.
The time during which the component is placed on the support table may be the static elimination time.
(7) The pair of probes includes a stator fixed to the main body and a movable element movable relative to the stator,
The inspection device according to any one of items (1) to (6), further comprising a mover moving device that moves the mover relative to the stator, and a mover movement control unit that controls the mover moving device to move the pair of measuring elements closer to or farther away from each other.
(8) The inspection device according to (7), further comprising a connecting mechanism that connects the mover and the support table so as to be movable relative to each other.
For example, the mover may have an elongated shape extending parallel to the direction of movement of the mover, and the support table may be located in front of the tip of the mover, or may be located behind the tip of the mover.
(9) An inspection device described in any one of (1) to (8), wherein the holding base has a V-groove, which is a groove having a V-shaped cross section, and the cross section of the tip of at least one of the pair of measuring probes forms a triangular shape corresponding to the V-groove.

（１０）部品供給装置によって供給された部品をピックアップして、回路基板に装着する装着機に含まれる検査装置であって、
部品を保持可能な保持台と、
互いに接近・離間可能とされ、前記部品を挟んでその部品の電気的特性を測定可能な一対の測定子と、
前記一対の測定子と前記保持台とを互いに相対移動させる相対移動装置と、
その相対移動装置を制御する相対移動制御装置とを含み、かつ、前記相対移動制御装置が、前記一対の測定子が前記保持台に保持された前記部品を把持するクランプ状態から、前記部品と前記保持台とを設定値以上離間させて、前記部品の電気的特性を測定可能な測定状態とする測定時制御部を含むことを特徴とする検査装置。
本項に記載の検査装置には、(1)項ないし(9)項のいずれかに記載の技術的特徴を採用することができる。
相対移動装置は、(a)保持台を固定、一対の測定子を移動させる装置としたり、(b)一対の測定子のうちの一方を固定、一対の測定子の他方と保持台とを移動させる装置としたりすること等ができる。(a)の場合として、例えば、保持台に保持された部品が一対の測定子によってクランプされた状態で、一対の測定子が保持台に対して相対移動させられ、部品と保持台とが設定値以上離間させられる場合が該当する。 (10) An inspection device included in a mounting machine that picks up components supplied by a component supplying device and mounts them on a circuit board, comprising:
A holding table capable of holding a component;
a pair of probes that can approach and move away from each other and sandwich the component to measure electrical characteristics of the component;
a relative movement device that moves the pair of measuring elements and the holding table relative to each other;
and a relative movement control device that controls the relative movement device, and the relative movement control device includes a measurement control unit that moves the component and the holding table away from each other by a set value or more from a clamped state in which the pair of measuring probes grip the component held on the holding table, to a measurement state in which the electrical characteristics of the component can be measured.
The inspection device described in this section may employ any of the technical features described in (1) to (9).
The relative movement device can be (a) a device that fixes the holding table and moves the pair of gauge heads, or (b) a device that fixes one of the pair of gauge heads and moves the other of the pair of gauge heads and the holding table, etc. An example of (a) is a device in which, with a part held on the holding table clamped by the pair of gauge heads, the pair of gauge heads are moved relative to the holding table, and the part and the holding table are separated by a set value or more.

（１１）部品供給装置によって供給された部品をピックアップして、回路基板に装着する装着機に設けられ、(i)部品を保持可能な保持台と、(ii)互いに接近・離間可能とされ、前記部品を挟んでその部品の電気的特性を測定可能な一対の測定子とを含む検査装置において前記部品の電気的特性に関する検査を行う検査方法であって、
前記保持台に保持された部品を、一対の測定子が把持するクランプ工程と、
前記一対の測定子によって把持された前記部品から前記保持台を設定値以上離間させて、前記部品の電気的特性を測定する測定工程とを含むことを特徴とする検査方法。
本項に記載の検査方法は、(1)項ないし(10)項のいずれかに記載の検査装置において実行され得る。
（１２）前記測定工程の実行後に、前記一対の測定子を互いに離間させ、前記保持台を前記一対の測定子の互いに対向する対向面の間の下方から退避させる廃棄工程と、
前記保持台を、前記一対の測定子の互いに対向する対向面の間の下方へ侵入させて、前記部品を保持可能な初期状態とする準備工程とを含む(11)項に記載の検査方法。
廃棄工程において、一対の測定子の離間と保持台の退避とを順番に行っても、並行しておこなってもよい。 (11) An inspection method for inspecting electrical characteristics of a component using an inspection device that is provided in a mounting machine that picks up a component supplied by a component supply device and mounts the component on a circuit board, the inspection device including: (i) a holding table capable of holding the component; and (ii) a pair of probes that are capable of moving toward and away from each other and that can sandwich the component and measure the electrical characteristics of the component, the method comprising:
a clamping step in which a pair of probes grips the part held on the holding table;
and a measuring step of measuring electrical characteristics of the component by moving the holding table away from the component gripped by the pair of probes by a distance equal to or greater than a set value.
The inspection method described in this section can be performed in the inspection device described in any one of sections (1) to (10).
(12) a disposal step of separating the pair of probes from each other and retracting the holding table from below between the opposing surfaces of the pair of probes that face each other after the measurement step is performed;
and a preparation step of inserting the holding base downward between the opposing surfaces of the pair of probes to bring the holding base into an initial state in which it can hold the component.
In the disposal step, the separation of the pair of probes and the withdrawal of the support table may be performed in that order or in parallel.

（１３）部品供給装置によって供給された部品をピックアップして、回路基板に装着する装着機に含まれる検査装置であって、
導電性を有し、部品を保持する保持台と、
前記保持台に保持された前記部品を把持するとともに、前記部品が前記保持台から離間した状態で前記部品の電気的特性を取得する電気的特性取得装置とを含むことを特徴とする検査装置。
本項に記載の検査装置は、(1)項ないし(12)項のいずれか１つに記載の技術的特徴を採用することができる。 (13) An inspection device included in a mounting machine that picks up components supplied by a component supplying device and mounts them on a circuit board, comprising:
a conductive support table for supporting a component;
and an electrical characteristic acquisition device that grasps the component held on the holding table and acquires electrical characteristics of the component while the component is separated from the holding table.
The inspection device described in this section can employ any one of the technical features described in sections (1) to (12).

（１４）前記一対の測定子が、互いに接近させられることにより、一対の対向面が前記部品を挟んで、その部品の電気的特性を測定し、互いに離間させられることにより、前記一対の対向面から前記部品を放すものであり、
当該検査装置が、それら一対の測定子が離間させられる場合に、前記一対の対向面のうちの少なくとも一方である供給対象面に、エアを供給するエア供給装置を含む(1)項ないし(13)項のいずれか１つに記載の検査装置。
一対の測定子が離間させられる場合とは、互いに離間している間、離間している間の一部または全行程、離間開始時、離間終了時等が該当する。
（１５）前記エア供給装置が、前記エアをイオン化するイオナイザを含み、前記イオン化されたエアを前記供給対象面に供給する(14)項に記載の検査装置。
（１６）前記エア供給装置が、前記供給対象面に対向する開口を有するエア通路を含む(14)項または(15)項に記載の検査装置。
供給対象面が一対の対向面の一方である場合には、その一方の供給対象面に対向する開口が１つ設けられ、供給対象面が一対の対向面の両方である場合には、それぞれに対向して開口が２つ設けられる。
（１７）前記エア通路が、前記供給対象面に近づくにつれて下方へ行く向きに傾斜したエア噴出通路を含む(16)項に記載の検査装置。
（１８）前記エア噴出通路の傾斜角度が、前記エアが前記供給対象面の前記部品を把持する部分の上方に当たる角度とされた(17)項に記載の検査装置。
（１９）前記一対の測定子が、本体に固定の固定子と、その固定子に接近・離間可能な可動子とを含み、
前記エア供給装置が、前記可動子が前記固定子から離間させられる場合に、前記供給対象面である前記可動子の対向面に前記エアを供給する可動子供給部を含む(14)項ないし(18)項のいずれか１つに記載の検査装置。
（２０）当該検査装置が、可動子用シリンダを備え、その可動子用シリンダの作動により前記可動子を前記固定子に対して接近・離間させる可動子移動装置を含み、
前記エア供給装置が、前記可動子の前記固定子からの離間に伴って前記可動子用シリンダから流出させられるエアを前記可動子の対向面に供給する駆動源連動型供給部を含む(19)項に記載の検査装置。
（２１）当該検査装置が、前記一対の対向面が離間した状態で、これらの間を覆うカバー部を含む(1)項ないし(20)項のいずれか１つに記載の検査装置。
カバー部は、一対の対向面の間の大部分を覆うものであり、一対の対向面の間の全体を覆うものとする必要は必ずしもなく、多少の隙間がある状態で覆うものであってもよい。一対の対向面が互いに離間させられる場合の少なくとも一時期に一対の対向面の間の全体を両側から覆うものとすることが望ましい。
（２２）前記カバー部が、前記保持台に取り付けられ、前記保持台が後退端位置にある状態で、前記一対の対向面の間の大部分を側から覆うものである(21)項に記載の検査装置。 (14) The pair of probes are brought close to each other, so that the pair of opposing surfaces sandwich the component and measure the electrical characteristics of the component, and the pair of probes are moved away from each other, so that the component is released from the pair of opposing surfaces,
The inspection device according to any one of items (1) to (13), further comprising an air supply device that supplies air to a supply target surface, which is at least one of the pair of opposing surfaces, when the pair of probes are separated from each other.
The cases where the pair of probes are separated include the period during which they are separated from each other, a part or the entire period during which they are separated, when they start to separate, when they finish to separate, etc.
(15) The inspection device according to (14), wherein the air supply device includes an ionizer that ionizes the air and supplies the ionized air to the target surface.
(16) The inspection device according to (14) or (15), wherein the air supply device includes an air passage having an opening facing the target surface.
When the surface to be supplied is one of a pair of opposing surfaces, one opening is provided facing that one of the surfaces to be supplied, and when the surface to be supplied is both of the pair of opposing surfaces, two openings are provided facing each of them.
(17) The inspection device according to (16), wherein the air passage includes an air ejection passage that is inclined downward as it approaches the target surface.
(18) The inspection device according to (17), wherein the inclination angle of the air ejection passage is set to an angle at which the air hits the upper portion of the supply target surface that grips the component.
(19) The pair of probes includes a stator fixed to the main body and a movable element movable toward and away from the stator,
The inspection device according to any one of items (14) to (18), wherein the air supply device includes a mover supply unit that supplies air to the opposing surface of the mover, which is the supply target surface, when the mover is separated from the stator.
(20) The inspection device includes a mover moving device that has a mover cylinder and moves the mover toward and away from the stator by operating the mover cylinder,
The inspection device according to item (19), wherein the air supply device includes a drive source-linked supply unit that supplies air, which is forced out of the cylinder for the mover as the mover moves away from the stator, to the opposing surface of the mover.
(21) An inspection device according to any one of (1) to (20), comprising a cover portion that covers the space between the pair of opposing surfaces when the surfaces are spaced apart.
The cover portion covers most of the area between the pair of opposing surfaces, but does not necessarily have to cover the entire area between the pair of opposing surfaces, and may cover the area with some gap. It is desirable that the cover portion covers the entire area between the pair of opposing surfaces from both sides at least for a period when the pair of opposing surfaces are separated from each other.
(22) An inspection device as described in (21), wherein the cover portion is attached to the holding base and covers most of the area between the pair of opposing surfaces from the side when the holding base is in the retracted end position.

Claims

A test device for measuring the electrical characteristics of the component;
a circuit board conveying and holding device that conveys and holds a circuit board in a first direction;
a component supplying device for supplying components to be mounted on the circuit board;
a mounting head that is movable in the first direction and in a second direction perpendicular to the first direction, holds the component supplied by the component supply device , and places the component on the inspection device ;
a camera that captures an image of the component held by the mounting head,
the inspection apparatus includes an air supply device that supplies air in the second direction to the component whose electrical characteristics have been measured;
The inspection device is provided closer to a side than the camera in the first direction,
The camera and the inspection device are provided in a placement machine between the circuit board transport and holding device and the component supply device.

a circuit board conveying and holding device that conveys and holds a circuit board in a first direction;
a component supplying device for supplying components to be mounted on the circuit board;
a mounting head movable in the first direction and in a second direction perpendicular to the first direction, the mounting head holding the component supplied by the component supply device;
a camera that captures an image of the component held by the mounting head;
an inspection device for measuring electrical characteristics of components when the component supply device is newly installed or when the component supply device is replaced;
Equipped with
the inspection apparatus includes an air supply device that supplies air in the second direction to the component whose electrical characteristics have been measured;
The inspection device is provided closer to a side than the camera in the first direction,
The camera and the inspection device are provided in a placement machine between the circuit board transport and holding device and the component supply device.

3. The placement machine according to claim 1, further comprising a display for displaying a result of a comparison between an electrical characteristic value representing an electrical characteristic of a component to be used in a next job and a measured value of the electrical characteristic of the component measured by the inspection device.