JP7468890B2

JP7468890B2 - Substrate Processing Equipment

Info

Publication number: JP7468890B2
Application number: JP2020071401A
Authority: JP
Inventors: 弘吉森
Original assignee: M Dia and Co Ltd
Current assignee: M Dia and Co Ltd
Priority date: 2020-04-13
Filing date: 2020-04-13
Publication date: 2024-04-16
Anticipated expiration: 2040-04-13
Also published as: JP2021166971A

Description

特許法第３０条第２項適用販売場所：グリーンサイクル株式会社、販売日：令和２年２月１９日Applicable under Article 30, Paragraph 2 of the Patent Act. Sold at: Green Cycle Co., Ltd. Sold on: February 19, 2020

本発明は、ＩＣ、抵抗やコンデンサなどの電子部品を取り付けたプリント基板から電子部品を分離するための基板処理装置に関する。 The present invention relates to a substrate processing apparatus for separating electronic components such as ICs, resistors, and capacitors from printed circuit boards on which the electronic components are mounted.

パソコン、携帯電話などに内蔵されるプリント基板には、種々の希少な金属が含まれており、近年、これらを回収して再利用する取り組みが盛んに行われている。希少金属は、基板自体と、基板上の電子部品の両方に含まれており、回収作業の初期段階として、基板と部品を精度良く分別することで、回収効率を高めることができる。従来、分別方法として、基板を加熱してはんだを溶融させる方法や、薬液により基板を溶融させる方法が知られている。しかし、それらの方法には、加熱のために多くのエネルギを消費する、薬液の処理に手間がかかるといった問題があった。そこで本願発明者は、特許文献１において、加熱処理や薬液処理を行うことなく基板上の部品を分離できる装置を提案している。この装置は、基板を上下から挟んで搬送するベルトコンベアと、基板に対して下側から接する回転刃を備えており、１度の動作で基板の片面（下面）から部品を分離するものである。 Printed circuit boards built into personal computers, mobile phones, etc. contain various rare metals, and in recent years, efforts to recover and reuse these metals have been actively undertaken. Rare metals are contained both in the board itself and in the electronic components on the board, and recovery efficiency can be increased by accurately separating the board and the components in the initial stage of the recovery work. Conventional separation methods include heating the board to melt the solder and melting the board with a chemical solution. However, these methods have problems such as consuming a lot of energy for heating and taking time to process the chemical solution. Therefore, the inventor of the present application has proposed an apparatus in Patent Document 1 that can separate components on a board without performing heating or chemical treatment. This apparatus is equipped with a belt conveyor that conveys the board by clamping it from above and below, and a rotary blade that contacts the board from below, and separates components from one side (the bottom side) of the board in one operation.

特許第６５５４４５４号公報Patent No. 6554454

このような従来の装置において、より回収効率を高めるため、さらにできる限り基板を損傷することなく、部品のみを基板から分離できるようにすることが求められていた。 In order to improve the recovery efficiency of such conventional devices, there was a demand for devices that could separate only the components from the substrate without damaging the substrate as much as possible.

本発明は、このような事情を鑑みたものであり、基板を損傷することなく基板から部品を分離させられる基板処理装置を提供することを目的とする。 The present invention has been developed in consideration of these circumstances, and aims to provide a substrate processing apparatus that can separate components from a substrate without damaging the substrate.

本発明は、電子部品が取り付けられた基板から前記電子部品を分離させるための基板処理装置であって、前記基板を上流側から下流側へ搬送する搬送部と、前記基板から前記電子部品を分離させる回転刃を有するものであり、前記搬送部が、前記回転刃と上下の同じ側に位置しかつ前記回転刃と搬送方向に並ぶ並列ベルトコンベアと、前記回転刃と上下の反対側に位置しかつ前記回転刃および前記並列ベルトコンベアと上下に対向する対向ベルトコンベアと、前記並列ベルトコンベアを前記対向ベルトコンベアに対して弾性力により押し付ける調整具を有し、前記並列ベルトコンベアと前記対向ベルトコンベアが何れも循環する無端ベルトを有するものであって、前記並列ベルトコンベアの前記無端ベルトと前記対向ベルトコンベアの前記無端ベルトとで前記基板を挟んで搬送するものであり、前記対向ベルトコンベアの前記無端ベルトの内側に補助ロッドが設けられており、前記補助ロッドが、前記無端ベルトの前記回転刃側の部分に内側から当接しており前記回転刃に対する上下位置が固定されているものであって、前記補助ロッドの搬送方向の位置が前記並列ベルトコンベアよりも前記回転刃側の位置であることを特徴とする。 The present invention is a substrate processing apparatus for separating electronic components from a substrate on which the electronic components are attached, the substrate processing apparatus having a transport section for transporting the substrate from an upstream side to a downstream side, and a rotary blade for separating the electronic components from the substrate, the transport section having a parallel belt conveyor located on the same side as the rotary blade vertically and aligned with the rotary blade in the transport direction, an opposing belt conveyor located on the opposite side vertically to the rotary blade and facing the rotary blade and the parallel belt conveyor vertically, and an adjustment tool for pressing the parallel belt conveyor against the opposing belt conveyor by elastic force, Both the belt conveyor and the opposing belt conveyor have circulating endless belts, and the substrate is transported by being sandwiched between the endless belt of the parallel belt conveyor and the endless belt of the opposing belt conveyor. An auxiliary rod is provided on the inside of the endless belt of the opposing belt conveyor, and the auxiliary rod abuts against the part of the endless belt on the rotating blade side from the inside , and its vertical position relative to the rotating blade is fixed. The position of the auxiliary rod in the transport direction is on the rotating blade side of the parallel belt conveyors .

また、本発明は、前記搬送部が、前記対向ベルトコンベアの前記無端ベルトの内側に位置する調整ローラを有しており、前記調整ローラが、前記回転刃と上下に並んで位置するものであって前記回転刃に対する上下位置が調整可能なものであり、前記補助ロッドが、前記調整ローラの上流側と下流側に位置するものであってもよい。 In addition, the present invention may be such that the conveying section has an adjustment roller located inside the endless belt of the opposing belt conveyor, the adjustment roller is positioned vertically alongside the rotary blade, and the vertical position of the adjustment roller relative to the rotary blade can be adjusted, and the auxiliary rod is positioned upstream and downstream of the adjustment roller.

本発明によれば、対向ベルトコンベアの無端ベルトの内側に補助ロッドを有することで、基板に取り付けられた部品が大きい場合などにおいて、回転刃による部品の分離の際に、回転刃から対向ベルトコンベアへ向けた衝撃力が生じても、固定された補助ロッドがその力を受け止めて、対向ベルトコンベアの無端ベルトが上下に変位しないように補助するので、スムーズな処理が可能であって、対向ベルトコンベアの損傷を防ぐことができる。そして、基板は調整具の弾性力により並列ベルトコンベアを介して対向ベルトコンベアに押し付けられた状態で搬送されるものであるが、補助ロッドは、搬送方向の位置が並列ベルトコンベアよりも回転刃側の位置であり、すなわち、並列ベルトコンベアに対して搬送方向の位置がずれているので、固定された補助ロッドに対して基板が押し付けられることはなく、基板に作用する力を逃がすことができる。これにより、基板に過度な力が作用せず、基板を損傷することなく基板から部品を分離させることができる。 According to the present invention, by providing an auxiliary rod on the inside of the endless belt of the opposing belt conveyor, even if an impact force from the rotary blade toward the opposing belt conveyor occurs when the rotating blade separates the parts, the fixed auxiliary rod receives the force and assists the endless belt of the opposing belt conveyor not to be displaced up and down, so that smooth processing is possible and damage to the opposing belt conveyor can be prevented. The board is conveyed in a state where it is pressed against the opposing belt conveyor via the parallel belt conveyor by the elastic force of the adjustment tool, but the position of the auxiliary rod in the conveying direction is closer to the rotary blade than the parallel belt conveyor, that is, the position of the auxiliary rod in the conveying direction is shifted from the parallel belt conveyor, so that the board is not pressed against the fixed auxiliary rod and the force acting on the board can be released. As a result, excessive force is not applied to the board, and the parts can be separated from the board without damaging the board.

また、調整ローラの上流側と下流側に補助ロッドを有するものであれば、回転刃による部品の分離の際に、回転刃の上流側と下流側においてより確実に衝撃力を受け止めるので、より対向ベルトコンベアの損傷を防ぐことができる。 In addition, if there are auxiliary rods on the upstream and downstream sides of the adjustment roller, the impact force can be more reliably absorbed on the upstream and downstream sides of the rotary blade when the parts are separated by the rotary blade, which can better prevent damage to the opposing belt conveyor.

本発明の基板処理装置を示し、（ａ）は平面図（図の上側半分は上側のベルトコンベアを透過した状態を示す）、（ｂ）は側面図である。1A and 1B show a substrate processing apparatus according to the present invention, in which (a) is a plan view (the upper half of the figure shows the upper belt conveyor seen through), and (b) is a side view. 下面処理部の拡大図である。FIG. 上面処理部の拡大図である。FIG. 回転刃の詳細を示し、（ａ）はロータの側面図（切断刃取付前）、（ｂ）はロータの側面図（切断刃取付後）、（ｃ）はロータの正面図、（ｄ）は回転刃の正面図である。1 shows details of the rotary blade, with (a) being a side view of the rotor (before the cutting blade is attached), (b) being a side view of the rotor (after the cutting blade is attached), (c) being a front view of the rotor, and (d) being a front view of the rotary blade. 基板処理装置による基板の処理の流れの説明図である。3A to 3C are explanatory diagrams of a flow of substrate processing by the substrate processing apparatus. 補助ロッドの効果および補助ロッドと並列ベルトコンベアの位置関係の説明図である。11 is an explanatory diagram of the effect of the auxiliary rod and the positional relationship between the auxiliary rod and the parallel belt conveyors. FIG. 回転刃の刃先の周速度と基板の搬送速度の説明図である。4 is an explanatory diagram of the peripheral speed of the blade edge of a rotary blade and the transport speed of a substrate. FIG.

以下、本発明の基板処理装置の具体的な内容について説明する。なお、以下においては、基板が搬送される上流側を前側、下流側を後側とし、左右は装置を前側から見たときの左右方向を示す。また、基板は略水平向きの状態で搬送されるものであり、その上面と下面に電子部品が取り付けられているものとする。図１に示すように、この基板処理装置は、下面処理部１００と、上面処理部２００を備えており、上面処理部２００は下面処理部１００の後側（下流側）に位置している。下面処理部１００と上面処理部２００は、架台１０の上に設置されている。架台１０は、略直方体形の骨組構造体の上面に天板を設けたものである。 The specific details of the substrate processing apparatus of the present invention will be described below. In the following, the upstream side along which the substrate is transported is referred to as the front side, the downstream side as the rear side, and left and right refer to the left and right directions when the apparatus is viewed from the front side. The substrate is transported in a substantially horizontal orientation, and electronic components are attached to its upper and lower surfaces. As shown in FIG. 1, this substrate processing apparatus includes a lower surface processing section 100 and an upper surface processing section 200, and the upper surface processing section 200 is located behind (downstream from) the lower surface processing section 100. The lower surface processing section 100 and the upper surface processing section 200 are installed on a stand 10. The stand 10 is a substantially rectangular parallelepiped framework structure with a top plate provided on the upper surface.

下面処理部１００と上面処理部２００は、それぞれ、基板を上流側から下流側へ搬送する搬送部と、基板から電子部品を分離させる回転刃を有している。搬送部は、回転刃と上下の同じ側に位置しかつ回転刃と搬送方向に並ぶ並列ベルトコンベアと、回転刃と上下の反対側に位置しかつ並列ベルトコンベアと上下に対向する対向ベルトコンベアと、並列ベルトコンベアを対向ベルトコンベアに対して弾性力により押し付ける調整具を有し、並列ベルトコンベアと対向ベルトコンベアとで基板を挟んで搬送するものである。 The bottom surface processing section 100 and the top surface processing section 200 each have a transport section that transports the board from the upstream side to the downstream side, and a rotary blade that separates the electronic components from the board. The transport section has a parallel belt conveyor located on the same side as the rotary blade above and below and aligned with the rotary blade in the transport direction, an opposing belt conveyor located on the opposite side above and below the rotary blade and facing the parallel belt conveyor above and below, and an adjustment tool that presses the parallel belt conveyor against the opposing belt conveyor by elastic force, and transports the board sandwiched between the parallel belt conveyor and the opposing belt conveyor.

まず、下面処理部１００について説明する。下面処理部１００は、基板の下面から電子部品を分離させるためのものである。図１および図２に示すように、下面処理部１００は、上記の対向ベルトコンベアである上側の第１ベルトコンベア１と、上記の並列ベルトコンベアである下側の第２ベルトコンベア２および第３ベルトコンベア３と、上記の回転刃である下面用回転刃８を備えるものである。第２ベルトコンベア２と第３ベルトコンベア３は前後方向（基板の搬送方向）に並んでいて、第２ベルトコンベア２は第１ベルトコンベア１の前側部の下側に位置しており、第３ベルトコンベア３は第１ベルトコンベア１の後側部の下側に位置している。また、下面用回転刃８は第２ベルトコンベア２と第３ベルトコンベア３の間に位置している。そして、第１ベルトコンベア１と、第２ベルトコンベア２および第３ベルトコンベア３とで基板を挟んで搬送するものであり、第１ベルトコンベア１、第２ベルトコンベア２および第３ベルトコンベア３が、上記の搬送部である下面処理用搬送部１０１を構成している。 First, the bottom processing section 100 will be described. The bottom processing section 100 is for separating electronic components from the bottom surface of the substrate. As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the bottom processing section 100 is provided with the upper first belt conveyor 1, which is the above-mentioned opposing belt conveyor, the lower second belt conveyor 2 and the third belt conveyor 3, which are the above-mentioned parallel belt conveyors, and the bottom rotary blade 8, which is the above-mentioned rotary blade. The second belt conveyor 2 and the third belt conveyor 3 are aligned in the front-rear direction (the conveying direction of the substrate), the second belt conveyor 2 is located below the front side of the first belt conveyor 1, and the third belt conveyor 3 is located below the rear side of the first belt conveyor 1. The bottom rotary blade 8 is located between the second belt conveyor 2 and the third belt conveyor 3. The substrate is sandwiched between the first belt conveyor 1 and the second and third belt conveyors 2 and 3, and the first belt conveyor 1, the second belt conveyor 2, and the third belt conveyor 3 form the lower surface processing conveyor 101, which is the above-mentioned conveyor section.

第１ベルトコンベア１は、前後方向に延びる無端ベルト１１と、無端ベルト１１の内側の前後両端に設けた端部ローラ１２，１３を有する。端部ローラ１２，１３は、左右方向軸周りに回転するものであって、無端ベルト１１と略同じ幅である。後側の端部ローラ１３にはモータが内蔵されており、この後側の端部ローラ１３が駆動することで無端ベルト１１が循環するものであって、循環方向は、無端ベルト１１の下面が後側に進む向き（図１（ｂ）において反時計回り方向）である。また、第１ベルトコンベア１の左右には、前後方向に延びる桁材１４が設けられており、前側の端部ローラ１２の左右端部が桁材１４に回転自在に支持されており、後側の端部ローラ１３の左右端部が桁材１４に取り付けられた板状の軸受部１５に回転自在に支持されている。そして、軸受部１５は、桁材１４に対して前後方向に可動となっている。より詳しくは、軸受部１５は桁材１４にボルト止めされているが、そのボルト孔が前後方向に延びる長孔となっている。そして、桁材１４の軸受部１５前側に直方体形の支持体１５１が固定されており、ボルト１５２が支持体１５１に対して前側から螺合し、かつボルト１５２が支持体１５１を前後に貫通しており、ボルト１５２の先端（後端）が前側から軸受部１５に当接している。このような構成により、ボルト１５２をねじ込むとボルト１５２が後側に進み、これにより軸受部１５が後側へ移動する。すなわち、ボルト１５２をねじ込むことで、後側の端部ローラ１３が後側へ移動して、無端ベルト１１に前後方向の張力がかけられる（軸受部１５を桁材１４に固定するボルトを緩めた状態で移動させ、移動後にボルトを締め付ける）。そして、左右の桁材１４は、前側部および後側部に設けた支柱１６によって、架台１０の上面に取り付けられている。 The first belt conveyor 1 has an endless belt 11 extending in the front-rear direction, and end rollers 12, 13 provided at both front and rear ends of the inner side of the endless belt 11. The end rollers 12, 13 rotate around a left-right axis and have approximately the same width as the endless belt 11. A motor is built into the rear end roller 13, and the endless belt 11 circulates when the rear end roller 13 is driven, and the circulation direction is the direction in which the lower surface of the endless belt 11 moves to the rear side (counterclockwise direction in FIG. 1 (b)). In addition, beam members 14 extending in the front-rear direction are provided on the left and right sides of the first belt conveyor 1, and the left and right ends of the front end roller 12 are rotatably supported by the beam members 14, and the left and right ends of the rear end roller 13 are rotatably supported by plate-shaped bearing parts 15 attached to the beam members 14. The bearing parts 15 are movable in the front-rear direction relative to the beam members 14. More specifically, the bearing 15 is bolted to the beam 14, and the bolt hole is a long hole extending in the front-rear direction. A rectangular parallelepiped support 151 is fixed to the front side of the bearing 15 of the beam 14, and a bolt 152 is screwed into the support 151 from the front side and penetrates the support 151 in the front-rear direction, with the tip (rear end) of the bolt 152 abutting against the bearing 15 from the front side. With this configuration, when the bolt 152 is screwed in, the bolt 152 advances to the rear side, and the bearing 15 moves to the rear side. That is, by screwing in the bolt 152, the rear end roller 13 moves to the rear side, and tension is applied to the endless belt 11 in the front-rear direction (the bolt fixing the bearing 15 to the beam 14 is moved in a loose state, and the bolt is tightened after the movement). The left and right beams 14 are attached to the upper surface of the frame 10 by supports 16 provided on the front and rear sides.

第２ベルトコンベア２は、前後方向に延びる無端ベルト２１と、無端ベルト２１の内側の前後両端に設けた端部ローラ２２，２３を有する。無端ベルト２１は、前後方向長さおよび左右方向幅が第１ベルトコンベア１の無端ベルト１１と略同じであり、左右の支柱１６の間に納まっていて、第１ベルトコンベア１の無端ベルト１１の下面に第２ベルトコンベア２の無端ベルト２１の上面が対向して当接している。ただし、第２ベルトコンベア２の前端は、第１ベルトコンベア１の前端よりも前側に位置しており、第２ベルトコンベア２の全長の略半分が前側に突出している。端部ローラ２２，２３は、左右方向軸周りに回転するものであって、無端ベルト２１と略同じ幅で、第１ベルトコンベア１の端部ローラ１２，１３よりも小径である。後側の端部ローラ２３にはモータが内蔵されており、この後側の端部ローラ２３が駆動することで無端ベルト２１が循環するものであって、循環方向は、無端ベルト２１の上面が後側に進む向き（図１（ｂ）において時計回り方向）である。また、第２ベルトコンベア２の左右には、前後方向に延びる桁材２４が設けられており、前側の端部ローラ２２の左右端部が桁材２４に回転自在に支持されており、後側の端部ローラ２３の左右端部が桁材２４に取り付けられた板状の軸受部２５に回転自在に支持されている。軸受部２５の構成は、第１ベルトコンベア１の軸受部１５と同様であり、軸受部２５により、無端ベルト２１に前後方向の張力がかけられる。そして、左右の桁材２４は、前側部および後側部に設けた上記の調整具である支持ダンパ２６によって、架台１０の上面に取り付けられている。支持ダンパ２６は、スプリングダンパからなるものであって、スプリングの弾性力により、第２ベルトコンベア２を下側から第１ベルトコンベア１に押し付けている。なお、図１（ｂ）および図２において、第２ベルトコンベア２の前側部分（一点鎖線より前側の部分）は、支持ダンパ２６が縮んで第２ベルトコンベア２が下がった状態を表している。 The second belt conveyor 2 has an endless belt 21 extending in the front-rear direction, and end rollers 22, 23 provided on both front and rear ends of the inner side of the endless belt 21. The endless belt 21 has approximately the same length in the front-rear direction and width in the left-right direction as the endless belt 11 of the first belt conveyor 1, and is placed between the left and right support columns 16, and the upper surface of the endless belt 21 of the second belt conveyor 2 faces and abuts against the lower surface of the endless belt 11 of the first belt conveyor 1. However, the front end of the second belt conveyor 2 is located forward of the front end of the first belt conveyor 1, and approximately half of the total length of the second belt conveyor 2 protrudes forward. The end rollers 22, 23 rotate around a left-right axis, have approximately the same width as the endless belt 21, and are smaller in diameter than the end rollers 12, 13 of the first belt conveyor 1. A motor is built into the rear end roller 23, and the endless belt 21 circulates when the rear end roller 23 is driven. The endless belt 21 circulates in a direction in which the upper surface of the endless belt 21 moves rearward (clockwise in FIG. 1B). On the left and right sides of the second belt conveyor 2, beams 24 extending in the front-rear direction are provided, and the left and right ends of the front end roller 22 are rotatably supported by the beams 24, and the left and right ends of the rear end roller 23 are rotatably supported by plate-shaped bearings 25 attached to the beams 24. The configuration of the bearings 25 is the same as that of the bearings 15 of the first belt conveyor 1, and the bearings 25 apply tension in the front-rear direction to the endless belt 21. The left and right beams 24 are attached to the upper surface of the frame 10 by the support dampers 26, which are the above-mentioned adjustment tools provided on the front and rear sides. The support damper 26 is a spring damper, and the elastic force of the spring presses the second belt conveyor 2 from below against the first belt conveyor 1. Note that in Figures 1(b) and 2, the front part of the second belt conveyor 2 (the part in front of the dashed line) shows the state in which the support damper 26 has contracted and the second belt conveyor 2 has lowered.

第３ベルトコンベア３は、前後方向に延びる無端ベルト３１と、無端ベルト３１の内側の前後両端に設けた端部ローラ３２，３３を有する。無端ベルト３１は、前後方向長さが第１ベルトコンベア１の無端ベルト１１の略１／３であり、左右方向幅が第１ベルトコンベア１の無端ベルト１１と略同じであり、左右の支柱１６の間に納まっていて、第１ベルトコンベア１の無端ベルト１１の下面に第３ベルトコンベア３の無端ベルト３１の上面が対向して当接している。ただし、第３ベルトコンベア３の前端は、第２ベルトコンベア２の後端と離隔しており、第３ベルトコンベア３の後端は、第１ベルトコンベア１の後端と略同じ前後位置である。端部ローラ３２，３３は、左右方向軸周りに回転するものであって、無端ベルト３１と略同じ幅で、第２ベルトコンベア２の端部ローラ２２，２３と同径である。後側の端部ローラ３３にはモータが内蔵されており、この後側の端部ローラ３３が駆動することで無端ベルト３１が循環するものであって、循環方向は、無端ベルト３１の上面が後側に進む向き（図１（ｂ）において時計回り方向）である。また、第３ベルトコンベア３の左右には、前後方向に延びる桁材３４が設けられており、前側の端部ローラ３２の左右端部が桁材３４に回転自在に支持されており、後側の端部ローラ３３の左右端部が桁材３４に取り付けられた板状の軸受部３５に回転自在に支持されている。軸受部３５の構成は、第１ベルトコンベア１の軸受部１５と同様であり、軸受部３５により、無端ベルト３１に前後方向の張力がかけられる。そして、左右の桁材３４は、前側部および後側部に設けた上記の調整具である支持ダンパ３６によって、架台１０の上面に取り付けられている。支持ダンパ３６は、スプリングダンパからなるものであって、スプリングの弾性力により、第３ベルトコンベア３を下側から第１ベルトコンベア１に押し付けている。 The third belt conveyor 3 has an endless belt 31 extending in the front-rear direction, and end rollers 32, 33 provided on both front and rear ends of the inner side of the endless belt 31. The endless belt 31 has a front-rear length of approximately 1/3 of the endless belt 11 of the first belt conveyor 1, a left-right width of approximately the same as the endless belt 11 of the first belt conveyor 1, and is placed between the left and right supports 16, and the upper surface of the endless belt 31 of the third belt conveyor 3 faces and abuts against the lower surface of the endless belt 11 of the first belt conveyor 1. However, the front end of the third belt conveyor 3 is separated from the rear end of the second belt conveyor 2, and the rear end of the third belt conveyor 3 is at approximately the same front-rear position as the rear end of the first belt conveyor 1. The end rollers 32, 33 rotate around a left-right axis, have approximately the same width as the endless belt 31, and have the same diameter as the end rollers 22, 23 of the second belt conveyor 2. The rear end roller 33 has a built-in motor, and the endless belt 31 circulates when the rear end roller 33 is driven. The endless belt 31 circulates in a direction in which the upper surface of the endless belt 31 moves rearward (clockwise in FIG. 1B). On the left and right sides of the third belt conveyor 3, beam members 34 extending in the front-rear direction are provided, and the left and right ends of the front end roller 32 are rotatably supported by the beam members 34, and the left and right ends of the rear end roller 33 are rotatably supported by plate-shaped bearing parts 35 attached to the beam members 34. The configuration of the bearing parts 35 is the same as that of the bearing part 15 of the first belt conveyor 1, and the bearing part 35 applies tension in the front-rear direction to the endless belt 31. The left and right beam members 34 are attached to the upper surface of the frame 10 by the support dampers 36, which are the above-mentioned adjustment tools provided on the front and rear parts. The support damper 36 is a spring damper that presses the third belt conveyor 3 against the first belt conveyor 1 from below by the elastic force of the spring.

下面用回転刃８は、第１ベルトコンベア１の下側で、第２ベルトコンベア２と第３ベルトコンベア３の間に設けられている。下面用回転刃８は左右方向軸周りに回転するものであって、回転方向は、第２ベルトコンベア２および第３ベルトコンベア３と同様に、上面が後側に進む向き（図１（ｂ）において時計回り方向）である。すなわち、回転刃（下面用回転刃８）の回転方向は、搬送される基板に対して上流側から接触する方向である。また、回転刃（下面用回転刃８）の刃先の周速度は、並列ベルトコンベア（第２ベルトコンベア２および第３ベルトコンベア３）と対向ベルトコンベア（第１ベルトコンベア１）による基板の搬送速度より速いものである。なお、回転刃の刃先の周速度とは、回転する刃先がその円周軌道上を移動する速度である。そして、下面用回転刃８の上面は、第１ベルトコンベア１の無端ベルト１１の下面と僅かに離隔している。より詳しくは、下面用回転刃８は、中心に左右方向に延びる回転軸８１を有しており、回転軸８１の左右部が、架台１０の上面の左右にそれぞれ固定された支持壁８２により回転自在に支持されている。また、回転軸８１の左右端が支持壁８２よりも外側に突出しており、右端にプーリ８３が取り付けられており、左端にカウンターウェイト８４が取り付けられている。そして、架台１０の内側の前側部にモータ８５が設置されており、モータ８５の駆動軸にもプーリ８６が取り付けられていて、下面用回転刃８のプーリ８３とモータ８５のプーリ８６に駆動ベルト８７が渡し掛けられており、モータ８５を駆動することで下面用回転刃８が回転する。 The lower surface rotary blade 8 is provided below the first belt conveyor 1, between the second belt conveyor 2 and the third belt conveyor 3. The lower surface rotary blade 8 rotates around a left-right axis, and the rotation direction is the direction in which the upper surface advances backward (clockwise direction in FIG. 1(b)), similar to the second belt conveyor 2 and the third belt conveyor 3. That is, the rotation direction of the rotary blade (lower surface rotary blade 8) is the direction in which it contacts the substrate being transported from the upstream side. In addition, the peripheral speed of the blade tip of the rotary blade (lower surface rotary blade 8) is faster than the conveying speed of the substrate by the parallel belt conveyors (second belt conveyor 2 and third belt conveyor 3) and the opposing belt conveyor (first belt conveyor 1). The peripheral speed of the blade tip of the rotary blade is the speed at which the rotating blade tip moves on its circumferential orbit. The upper surface of the lower surface rotary blade 8 is slightly separated from the lower surface of the endless belt 11 of the first belt conveyor 1. More specifically, the lower surface rotary blade 8 has a rotary shaft 81 extending left and right at its center, and the left and right parts of the rotary shaft 81 are rotatably supported by support walls 82 fixed to the left and right sides of the upper surface of the stand 10. The left and right ends of the rotary shaft 81 protrude outward beyond the support walls 82, and a pulley 83 is attached to the right end and a counterweight 84 is attached to the left end. A motor 85 is installed at the front inside the stand 10, and a pulley 86 is also attached to the drive shaft of the motor 85. A drive belt 87 is stretched between the pulley 83 of the lower surface rotary blade 8 and the pulley 86 of the motor 85, and the lower surface rotary blade 8 rotates when the motor 85 is driven.

さらに、下面用回転刃８の構成についてより詳しくは、回転軸８１の、左右の支持壁８２の間部分には、１８枚のロータ８０が左右に並んで取り付けられている。図４（ａ）に示すように、ロータ８０は、板状のロータ本体８０１を備え、ロータ本体８０１の中心には回転軸８１を通す挿通孔８０２が形成されおり、挿通孔８０２の縁部にはキー溝８０３が形成されている。そして、ロータ本体８０１の周縁部には、中心軸（挿通孔８０２）周りに９０度間隔で切断刃用切欠部８０４が形成されていて、図４（ａ）、（ｂ）に示すように、各切断刃用切欠部８０４に切断刃８０５が取り付けられている。この切断刃用切欠部８０４は、挿入した切断刃８０５の先端がロータ本体８０１の周縁部から突出する深さであって、さらに図４（ｃ）に示すように、切断刃８０５の刃先が下面用回転刃８の回転方向に対して傾斜するように側壁面が傾斜している。そして、各切断刃用切欠部８０４の回転方向（図４（ａ）において時計回り方向）前方には、切断刃用切欠部８０４と連通して固定駒用切欠部８０６が形成されている。固定駒用切欠部８０６は、開口部側（外周側）に向けて広がった形状であり、切断刃用切欠部８０４に切断刃８０５を挿入した後、固定駒用切欠部８０６に略台形の固定駒８０７を挿入してロータ本体８０１にボルト止めすることで、切断刃８０５がロータ本体８０１に固定される。さらに、各ロータ８０において、切断刃８０５の位置に対するキー溝８０３の位置（円周方向の角度）を異ならせてある。角度は３種類あり、さらにそれぞれについて左右対称なものがあり、計６種類を１組として、これが３組で１８枚となっている。ロータ８０を１８枚合わせた左右方向幅は、第１ベルトコンベア１の無端ベルト１１の左右方向幅よりもやや狭い。これらのロータ８０が、図４（ｄ）に示すように並べられ、切断刃８０５が波形に配置されており、キー８０８によって回転軸８１と一体に回転するように固定されている。なお、回転軸８１に対してロータ８０を取り付ける順序を入れ替えることで、切断刃８０５の配置パターンを変更できる。 More specifically, the configuration of the lower surface rotary blade 8 is such that 18 rotors 80 are attached to the left and right between the left and right support walls 82 of the rotary shaft 81. As shown in FIG. 4(a), the rotor 80 has a plate-shaped rotor body 801, and a through hole 802 through which the rotary shaft 81 passes is formed in the center of the rotor body 801, and a key groove 803 is formed on the edge of the through hole 802. Cutting blade notches 804 are formed at 90 degree intervals around the central axis (through hole 802) on the periphery of the rotor body 801, and cutting blades 805 are attached to each cutting blade notch 804 as shown in FIG. 4(a) and (b). The cutting blade notch 804 is deep enough that the tip of the inserted cutting blade 805 protrudes from the periphery of the rotor body 801, and the side wall surface is inclined so that the tip of the cutting blade 805 is inclined with respect to the rotation direction of the lower surface rotary blade 8, as shown in FIG. 4(c). A fixed piece notch 806 is formed in front of each cutting blade notch 804 in the rotation direction (clockwise direction in FIG. 4(a)) and communicates with the cutting blade notch 804. The fixed piece notch 806 has a shape that widens toward the opening side (outer periphery side). After the cutting blade 805 is inserted into the cutting blade notch 804, a substantially trapezoidal fixed piece 807 is inserted into the fixed piece notch 806 and bolted to the rotor body 801, whereby the cutting blade 805 is fixed to the rotor body 801. Furthermore, the position (angle in the circumferential direction) of the key groove 803 relative to the position of the cutting blade 805 is made different in each rotor 80. There are three different angles, each of which has a symmetrical configuration, with a total of six different angles in one set, and three sets of these for a total of 18 rotors. The combined width of the 18 rotors 80 in the left-right direction is slightly narrower than the width of the endless belt 11 of the first belt conveyor 1 in the left-right direction. These rotors 80 are lined up as shown in FIG. 4(d), with the cutting blades 805 arranged in a wave pattern and fixed by a key 808 so that they rotate together with the rotating shaft 81. The arrangement pattern of the cutting blades 805 can be changed by changing the order in which the rotors 80 are attached to the rotating shaft 81.

また、第１ベルトコンベア１の無端ベルト１１の内側の、第２ベルトコンベア２の後側の端部ローラ２３の上側位置には、押さえローラ１７が設けられている。押さえローラ１７は、左右方向軸周りに回転するものであって、無端ベルト１１と略同じ幅であり、左右端部が桁材１４に回転自在に支持されている。そして、押さえローラ１７は第１ベルトコンベア１の端部ローラ１２，１３よりも小径であって、中心軸が端部ローラ１２，１３の中心軸よりも下側にずれており、第１ベルトコンベア１の無端ベルト１１の下面を、第２ベルトコンベア２の無端ベルト２１の上面に押さえ付けている。 A pressure roller 17 is provided inside the endless belt 11 of the first belt conveyor 1, above the end roller 23 on the rear side of the second belt conveyor 2. The pressure roller 17 rotates around a left-right axis, has approximately the same width as the endless belt 11, and has its left and right ends rotatably supported by the beams 14. The pressure roller 17 has a smaller diameter than the end rollers 12 and 13 of the first belt conveyor 1, and its central axis is shifted downward from the central axis of the end rollers 12 and 13, pressing the lower surface of the endless belt 11 of the first belt conveyor 1 against the upper surface of the endless belt 21 of the second belt conveyor 2.

さらに、図２に示すように、第１ベルトコンベア１の無端ベルト１１の内側の、下面用回転刃８の上側位置には、調整ローラ１８が設けられている。調整ローラ１８は、左右方向軸周りに回転するものであって、無端ベルト１１と略同じ幅であり、左右端部がそれぞれ桁材１４に取り付けられた軸受部１８１に回転自在に支持されている。また、調整ローラ１８は第１ベルトコンベア１の端部ローラ１２，１３と同径である。そして、軸受部１８１は、桁材１４に対して上下動可能となっている。より詳しくは、図１および図２に示すように、左右の軸受部１８１には、それぞれ上側に向けて延びるネジ棒１８２が取り付けられており、ネジ棒１８２に斜歯歯車１８３が螺合している。斜歯歯車１８３の後側に、左右に延び左右方向軸周りに回転自在なシャフト１８４が設けられており、シャフト１８４の左右の斜歯歯車１８３に対応する位置にウォームギヤ１８５が取り付けられていて、斜歯歯車１８３とウォームギヤ１８５が噛み合っている。そして、シャフト１８４の右端部にハンドル１８６が取り付けられている。このような構成により、ハンドル１８６を回転させると、シャフト１８４および左右のウォームギヤ１８５も回転し、さらに斜歯歯車１８３も回転する。すると、左右の斜歯歯車１８３にそれぞれ螺合したネジ棒１８２が上下動するので、これにより軸受部１８１も上下動する。すなわち、ハンドル１８６を回転させることで、左右の軸受部１８１を上下動させて、調整ローラ１８の下面用回転刃８に対する上下位置を調整し、これにより、第１ベルトコンベア１の無端ベルト１１と下面用回転刃８の間の間隔を調整することができる。 2, an adjustment roller 18 is provided on the inside of the endless belt 11 of the first belt conveyor 1, above the lower surface rotary blade 8. The adjustment roller 18 rotates around a left-right axis, has approximately the same width as the endless belt 11, and is rotatably supported at its left and right ends by bearings 181 attached to the beam 14. The adjustment roller 18 also has the same diameter as the end rollers 12 and 13 of the first belt conveyor 1. The bearings 181 are movable up and down relative to the beam 14. More specifically, as shown in FIGS. 1 and 2, the left and right bearings 181 are each fitted with a screw rod 182 extending upward, and a helical gear 183 is screwed onto the screw rod 182. A shaft 184 is provided behind the helical gear 183, extending left and right and rotatable around a left and right axis. Worm gears 185 are attached to the shaft 184 at positions corresponding to the left and right helical gears 183, and the helical gears 183 and the worm gears 185 mesh with each other. A handle 186 is attached to the right end of the shaft 184. With this configuration, when the handle 186 is rotated, the shaft 184 and the left and right worm gears 185 also rotate, and the helical gear 183 also rotates. Then, the threaded rods 182 screwed into the left and right helical gears 183 move up and down, and the bearings 181 also move up and down. That is, by rotating the handle 186, the left and right bearings 181 are moved up and down to adjust the vertical position of the adjustment roller 18 relative to the lower surface rotary blade 8, and the distance between the endless belt 11 of the first belt conveyor 1 and the lower surface rotary blade 8 can be adjusted.

また、図２に示すように、対向ベルトコンベア（第１ベルトコンベア１）の無端ベルト１１の内側の、調整ローラ１８の前側および後側の位置には、補助ロッド１９が設けられている。より詳しくは、前側の補助ロッド１９は、調整ローラ１８の前側であって第２ベルトコンベア２よりも後側の位置に設けられており、後側の補助ロッド１９は、調整ローラ１８の後側であって第３ベルトコンベア３よりも前側の位置に設けられている。すなわち、補助ロッド１９は、並列ベルトコンベア（第２ベルトコンベア２および第３ベルトコンベア３）に対して搬送方向（前後方向）の位置がずれている。そして、補助ロッド１９は、左右に延びる丸棒状のものであって、左右の桁材１４の下面に固定されている。すなわち、補助ロッド１９は下面用回転刃８に対する上下位置が固定されている。また、補助ロッド１９は、調整ローラ１８や押さえローラ１７よりも小径であって、無端ベルト１１の下側の走行部に内側（上側）から当接している。 As shown in FIG. 2, auxiliary rods 19 are provided at positions in front and behind the adjustment roller 18 on the inside of the endless belt 11 of the opposing belt conveyor (first belt conveyor 1). More specifically, the front auxiliary rod 19 is provided at a position in front of the adjustment roller 18 and behind the second belt conveyor 2, and the rear auxiliary rod 19 is provided at a position behind the adjustment roller 18 and ahead of the third belt conveyor 3. That is, the auxiliary rods 19 are misaligned in the conveying direction (front-rear direction) with respect to the parallel belt conveyors (second belt conveyor 2 and third belt conveyor 3). The auxiliary rods 19 are round rods extending left and right and are fixed to the lower surfaces of the left and right beam members 14. That is, the auxiliary rods 19 are fixed in their vertical positions with respect to the lower surface rotary blade 8. The auxiliary rods 19 are smaller in diameter than the adjustment roller 18 and the pressure roller 17, and abut against the lower running portion of the endless belt 11 from the inside (upper side).

次に、上面処理部２００について説明する。上面処理部２００は、基板の上面から電子部品を分離させるためのものである。図１および図３に示すように、上面処理部２００は、上記の並列ベルトコンベアである上側の第４ベルトコンベア４および第５ベルトコンベア５と、上記の対向ベルトコンベアである下側の第６ベルトコンベア６および第７ベルトコンベア７と、上記の回転刃である上面用回転刃９を備えるものである。第４ベルトコンベア４と第５ベルトコンベア５は前後方向（基板の搬送方向）に並んでおり、第６ベルトコンベア６と第７ベルトコンベア７も前後方向（基板の搬送方向）に並んでいて、第６ベルトコンベア６は第４ベルトコンベア４の下側に位置しており、第７ベルトコンベア７は第５ベルトコンベア５の下側に位置している。また、上面用回転刃９は第４ベルトコンベア４と第５ベルトコンベア５の間に位置しておりかつ上面用回転刃９の後側部分が第６ベルトコンベア６と第７ベルトコンベア７の間の隙間に対向している。そして、第４ベルトコンベア４と第６ベルトコンベア６および第５ベルトコンベア５と第７ベルトコンベア７で基板を挟んで搬送するものであり、第４ベルトコンベア４、第５ベルトコンベア５、第６ベルトコンベア６および第７ベルトコンベア７が、上記の搬送部である上面処理用搬送部２０１を構成している。 Next, the upper surface processing section 200 will be described. The upper surface processing section 200 is for separating electronic components from the upper surface of the board. As shown in FIG. 1 and FIG. 3, the upper surface processing section 200 is provided with the upper fourth belt conveyor 4 and the fifth belt conveyor 5, which are the above-mentioned parallel belt conveyors, the lower sixth belt conveyor 6 and the seventh belt conveyor 7, which are the above-mentioned opposing belt conveyors, and the upper surface rotary blade 9, which is the above-mentioned rotary blade. The fourth belt conveyor 4 and the fifth belt conveyor 5 are aligned in the front-rear direction (the conveying direction of the board), the sixth belt conveyor 6 and the seventh belt conveyor 7 are also aligned in the front-rear direction (the conveying direction of the board), the sixth belt conveyor 6 is located below the fourth belt conveyor 4, and the seventh belt conveyor 7 is located below the fifth belt conveyor 5. In addition, the upper surface rotary blade 9 is located between the fourth belt conveyor 4 and the fifth belt conveyor 5, and the rear part of the upper surface rotary blade 9 faces the gap between the sixth belt conveyor 6 and the seventh belt conveyor 7. The substrate is sandwiched between the fourth belt conveyor 4 and the sixth belt conveyor 6, and between the fifth belt conveyor 5 and the seventh belt conveyor 7, and the fourth belt conveyor 4, the fifth belt conveyor 5, the sixth belt conveyor 6, and the seventh belt conveyor 7 constitute the upper surface processing conveyor 201, which is the above-mentioned conveyor.

第４ベルトコンベア４と第５ベルトコンベア５は同じ構造であり、併せて説明する。第４ベルトコンベア４（第５ベルトコンベア５）は、前後方向に延びる無端ベルト４１（５１）と、無端ベルト４１（５１）の内側の前後両端に設けた端部ローラ４２，４３（５２，５３）を有する。無端ベルト４１（５１）は、前後方向長さが下面処理部１００の第３ベルトコンベア３の無端ベルト３１と略同じであり、左右方向幅が下面処理部１００の第１ベルトコンベア１の無端ベルト１１と略同じである。端部ローラ４２，４３（５２，５３）は、左右方向軸周りに回転するものであって、無端ベルト４１（５１）と略同じ幅で、下面処理部１００の第２ベルトコンベア２の端部ローラ２２，２３と同径である。後側の端部ローラ４３（５３）にはモータが内蔵されており、この後側の端部ローラ４３（５３）が駆動することで無端ベルト４１（５１）が循環するものであって、循環方向は、無端ベルト４１（５１）の下面が後側に進む向き（図１（ｂ）において反時計回り方向）である。また、第４ベルトコンベア４（第５ベルトコンベア５）の左右には、前後方向に延びる桁材４４（５４）が設けられており、前側の端部ローラ４２（５２）の左右端部が桁材４４（５４）に回転自在に支持されており、後側の端部ローラ４３（５３）の左右端部が桁材４４（５４）に取り付けられた板状の軸受部４５（５５）に回転自在に支持されている。軸受部４５（５５）の構成は、第１ベルトコンベア１の軸受部１５と同様であり、軸受部４５（５５）により、無端ベルト４１（５１）に前後方向の張力がかけられる。そして、左右の桁材４４（５４）は、前側部および後側部に設けた上記の調整具である支持ダンパ４６（５６）によって、架台１０の上面に取り付けられている。支持ダンパ４６（５６）は、スプリングダンパからなるものであって、スプリングの弾性力により、第４ベルトコンベア４（第５ベルトコンベア５）を上側から後述の第６ベルトコンベア６（第７ベルトコンベア７）に押し付けている。 The fourth belt conveyor 4 and the fifth belt conveyor 5 have the same structure and will be described together. The fourth belt conveyor 4 (fifth belt conveyor 5) has an endless belt 41 (51) extending in the front-rear direction and end rollers 42, 43 (52, 53) provided on both the front and rear ends of the inner side of the endless belt 41 (51). The endless belt 41 (51) has a front-rear length that is approximately the same as the endless belt 31 of the third belt conveyor 3 of the lower surface processing section 100, and a left-right width that is approximately the same as the endless belt 11 of the first belt conveyor 1 of the lower surface processing section 100. The end rollers 42, 43 (52, 53) rotate around a left-right axis, have approximately the same width as the endless belt 41 (51), and have the same diameter as the end rollers 22, 23 of the second belt conveyor 2 of the lower surface processing section 100. The rear end roller 43 (53) has a built-in motor, and the endless belt 41 (51) circulates when the rear end roller 43 (53) is driven. The endless belt 41 (51) circulates in a direction in which the lower surface of the endless belt 41 (51) moves rearward (counterclockwise in FIG. 1(b)). On the left and right sides of the fourth belt conveyor 4 (fifth belt conveyor 5), beam members 44 (54) extending in the front-rear direction are provided, and the left and right ends of the front end roller 42 (52) are rotatably supported by the beam members 44 (54), and the left and right ends of the rear end roller 43 (53) are rotatably supported by plate-shaped bearings 45 (55) attached to the beam members 44 (54). The configuration of the bearings 45 (55) is the same as that of the bearings 15 of the first belt conveyor 1, and the bearings 45 (55) apply tension in the front-rear direction to the endless belt 41 (51). The left and right beams 44 (54) are attached to the top surface of the frame 10 by the support dampers 46 (56), which are the above-mentioned adjustment tools provided on the front and rear sides. The support dampers 46 (56) are spring dampers, and the elastic force of the spring presses the fourth belt conveyor 4 (fifth belt conveyor 5) from above against the sixth belt conveyor 6 (seventh belt conveyor 7), which will be described later.

第６ベルトコンベア６は、前後方向に延びる無端ベルト６１と、無端ベルト６１の内側の前後両端に設けた端部ローラ６２，６３と、両端部ローラ６２，６３の間に設けた中間ローラ６７を有する。無端ベルト６１は、前後方向長さが第４ベルトコンベア４の無端ベルトよりも長く、左右方向幅が第４ベルトコンベア４の無端ベルト４１と略同じであり、左右の支持ダンパ４６の間に納まっていて、第４ベルトコンベア４の無端ベルト４１の下面に第６ベルトコンベア６の無端ベルト６１の上面が対向して当接している。ただし、第６ベルトコンベア６の前端は、第４ベルトコンベア４の前端と略同じ前後位置であり、第６ベルトコンベア６の後端は、第４ベルトコンベア４の後端よりも後側に位置している。端部ローラ６２，６３および中間ローラ６７は、左右方向軸周りに回転するものであって、無端ベルト６１と略同じ幅で、下面処理部１００の第１ベルトコンベア１の端部ローラ１２，１３よりも小径かつ下面処理部１００の第２ベルトコンベア２の端部ローラ２２，２３よりも大径である。前側の端部ローラ６２にはモータが内蔵されており、この前側の端部ローラ６２が駆動することで無端ベルト６１が循環するものであって、循環方向は、無端ベルト６１の上面が後側に進む向き（図１（ｂ）において時計回り方向）である。また、第６ベルトコンベア６の左右には、前後方向に延びる桁材６４が設けられており、中間ローラ６７の左右端部が桁材６４に回転自在に支持されており、前側の端部ローラ６２の左右端部が桁材６４に取り付けられた板状の軸受部６５に回転自在に支持されている。軸受部６５の構成は、第１ベルトコンベア１の軸受部１５と同様であって前後対称に配置されており、軸受部６５により、無端ベルト６１に前後方向の張力がかけられる。なお、桁材６４の前後方向長さは無端ベルト６１の前後方向長さよりも短いものであり、後側の端部ローラ６３については、左右端部が架台１０の上面の左右にそれぞれ固定された支持壁９２に取り付けられた板状の軸受部６８に回転自在に支持されている。軸受部６８の構成は、第１ベルトコンベア１の軸受部１５と同様であって９０度回転した向き（ボルトをねじ込むと軸受部６８が上側へ移動する向き）であり、軸受部６８により、無端ベルト６１に上下方向の張力がかけられる。それとともに、軸受部６８は、後側の端部ローラ６３が前側の端部ローラ６２よりも上側に位置するように上下位置調整が可能であり、後側の端部ローラ６３が前側の端部ローラ６２よりも上側に位置することで、第６ベルトコンベア６の上面が、後側（下流側）へ向けて上向きに傾斜する。そして、左右の桁材６４は、前後方向中央部に設けた支柱６６によって、架台１０の上面に取り付けられている。 The sixth conveyor belt 6 has an endless belt 61 extending in the front-rear direction, end rollers 62, 63 provided on both front and rear ends of the inner side of the endless belt 61, and an intermediate roller 67 provided between the end rollers 62, 63. The endless belt 61 has a front-rear length longer than the endless belt of the fourth conveyor belt 4, a left-right width approximately the same as that of the endless belt 41 of the fourth conveyor belt 4, and is fitted between the left and right support dampers 46, and the upper surface of the endless belt 61 of the sixth conveyor belt 6 faces and abuts against the lower surface of the endless belt 41 of the fourth conveyor belt 4. However, the front end of the sixth conveyor belt 6 is approximately the same front-rear position as the front end of the fourth conveyor belt 4, and the rear end of the sixth conveyor belt 6 is located rearward of the rear end of the fourth conveyor belt 4. The end rollers 62, 63 and the intermediate roller 67 rotate around a left-right axis, have approximately the same width as the endless belt 61, and are smaller in diameter than the end rollers 12, 13 of the first belt conveyor 1 of the lower surface processing section 100 and larger in diameter than the end rollers 22, 23 of the second belt conveyor 2 of the lower surface processing section 100. A motor is built into the front end roller 62, and the endless belt 61 circulates when the front end roller 62 is driven, and the circulation direction is the direction in which the upper surface of the endless belt 61 moves backward (clockwise direction in FIG. 1(b)). In addition, beam members 64 extending in the front-rear direction are provided on the left and right sides of the sixth belt conveyor 6, and the left and right ends of the intermediate roller 67 are rotatably supported by the beam members 64, and the left and right ends of the front end roller 62 are rotatably supported by plate-shaped bearing parts 65 attached to the beam members 64. The bearing 65 has the same structure as the bearing 15 of the first belt conveyor 1 and is arranged symmetrically in the front-rear direction, and the bearing 65 applies tension in the front-rear direction to the endless belt 61. The length of the beam 64 in the front-rear direction is shorter than the length of the endless belt 61 in the front-rear direction, and the rear end roller 63 is rotatably supported by a plate-shaped bearing 68 attached to a support wall 92 fixed at the left and right ends of the upper surface of the frame 10. The bearing 68 has the same structure as the bearing 15 of the first belt conveyor 1 and is rotated 90 degrees (the bearing 68 moves upward when the bolt is screwed in), and the bearing 68 applies tension in the up-down direction to the endless belt 61. At the same time, the bearing portion 68 can be adjusted vertically so that the rear end roller 63 is positioned higher than the front end roller 62, and by positioning the rear end roller 63 higher than the front end roller 62, the upper surface of the sixth belt conveyor 6 is inclined upward toward the rear (downstream). The left and right beams 64 are attached to the upper surface of the frame 10 by supports 66 provided in the center in the front-to-rear direction.

第７ベルトコンベア７は、前後方向に延びる無端ベルト７１と、無端ベルト７１の内側の前後両端に設けた端部ローラ７２，７３を有する。無端ベルト７１は、前後方向長さおよび左右方向幅が第５ベルトコンベア５の無端ベルト５１と略同じであり、左右の支持ダンパ５６の間に納まっていて、第５ベルトコンベア５の無端ベルト５１の下面に第７ベルトコンベア７の無端ベルト７１の上面が対向して当接している。ただし、第７ベルトコンベア７の前端は、第５ベルトコンベア５の前端と略同じ前後位置であり、第７ベルトコンベア７の後端は、第５ベルトコンベア５の後端と略同じ前後位置である。端部ローラ７２，７３は、左右方向軸周りに回転するものであって、無端ベルト７１と略同じ幅で、下面処理部１００の第１ベルトコンベア１の端部ローラ１２，１３よりも小径かつ下面処理部１００の第２ベルトコンベア２の端部ローラ２２，２３よりも大径である。後側の端部ローラ７３にはモータが内蔵されており、この後側の端部ローラ７３が駆動することで無端ベルト７１が循環するものであって、循環方向は、無端ベルト７１の上面が後側に進む向き（図１（ｂ）において時計回り方向）である。また、第７ベルトコンベア７の左右には、前後方向に延びる桁材７４が設けられており、前側の端部ローラ７２の左右端部が桁材７４に回転自在に支持されており、後側の端部ローラ７３の左右端部が桁材７４に取り付けられた板状の軸受部７５に回転自在に支持されている。軸受部７５の構成は、第１ベルトコンベア１の軸受部１５と同様であり、軸受部７５により、無端ベルト７１に前後方向の張力がかけられる。そして、左右の桁材７４は、前後方向中央部に設けた支柱７６によって、架台１０の上面に取り付けられている。 The seventh belt conveyor 7 has an endless belt 71 extending in the front-rear direction, and end rollers 72, 73 provided on both front and rear ends of the inner side of the endless belt 71. The endless belt 71 has approximately the same front-rear length and left-right width as the endless belt 51 of the fifth belt conveyor 5, and is placed between the left and right support dampers 56, with the upper surface of the endless belt 71 of the seventh belt conveyor 7 facing and abutting against the lower surface of the endless belt 51 of the fifth belt conveyor 5. However, the front end of the seventh belt conveyor 7 is in approximately the same front-rear position as the front end of the fifth belt conveyor 5, and the rear end of the seventh belt conveyor 7 is in approximately the same front-rear position as the rear end of the fifth belt conveyor 5. The end rollers 72, 73 rotate around a left-right axis, have approximately the same width as the endless belt 71, and are smaller in diameter than the end rollers 12, 13 of the first belt conveyor 1 of the lower surface processing section 100 and larger in diameter than the end rollers 22, 23 of the second belt conveyor 2 of the lower surface processing section 100. A motor is built into the rear end roller 73, and the endless belt 71 circulates when the rear end roller 73 is driven, and the circulation direction is the direction in which the upper surface of the endless belt 71 advances to the rear side (clockwise direction in FIG. 1(b)). In addition, beam members 74 extending in the front-rear direction are provided on the left and right sides of the seventh belt conveyor 7, and the left and right ends of the front end roller 72 are rotatably supported by the beam members 74, and the left and right ends of the rear end roller 73 are rotatably supported by plate-shaped bearing parts 75 attached to the beam members 74. The bearing portion 75 has the same configuration as the bearing portion 15 of the first belt conveyor 1, and tension is applied to the endless belt 71 in the front-rear direction by the bearing portion 75. The left and right beam members 74 are attached to the upper surface of the frame 10 by a support pillar 76 provided in the center in the front-rear direction.

なお、第１ベルトコンベア１の無端ベルト１１の下面に対して、第６ベルトコンベア６の無端ベルト６１の上面は、下側に位置している。すなわち、第１ベルトコンベア１と第３ベルトコンベア３の出口部と、第４ベルトコンベア４と第６ベルトコンベア６の入口部の間において、基板の搬送高さが段違いになっている（後側の方が低くなっている）。この段差は、第２ベルトコンベア２の端部ローラ２２，２３の半径以下である。また、第６ベルトコンベア６の無端ベルト６１の上面に対して、第７ベルトコンベア７の無端ベルト７１の上面は、上側に位置している（第６ベルトコンベア６の支柱６６よりも第７ベルトコンベア７の支柱７６の方が高い）。すなわち、第４ベルトコンベア４と第６ベルトコンベア６の出口部と、第５ベルトコンベア５と第７ベルトコンベア７の入口部の間において、基板の搬送高さが段違いになっている（後側の方が高くなっている）。この段差は、第２ベルトコンベア２の端部ローラ２２，２３の半径以下である。 The upper surface of the endless belt 61 of the sixth belt conveyor 6 is located below the lower surface of the endless belt 11 of the first belt conveyor 1. That is, the conveying height of the substrate is stepped between the exit of the first belt conveyor 1 and the third belt conveyor 3 and the entrance of the fourth belt conveyor 4 and the sixth belt conveyor 6 (the rear side is lower). This step is equal to or smaller than the radius of the end rollers 22, 23 of the second belt conveyor 2. Also, the upper surface of the endless belt 71 of the seventh belt conveyor 7 is located above the upper surface of the endless belt 61 of the sixth belt conveyor 6 (the support 76 of the seventh belt conveyor 7 is higher than the support 66 of the sixth belt conveyor 6). That is, the conveying height of the substrate is stepped between the exit of the fourth belt conveyor 4 and the sixth belt conveyor 6 and the entrance of the fifth belt conveyor 5 and the seventh belt conveyor 7 (the rear side is higher). This step is less than the radius of the end rollers 22, 23 of the second belt conveyor 2.

上面用回転刃９は、第４ベルトコンベア４と第５ベルトコンベア５の間に設けられており、第６ベルトコンベア６の後側の端部ローラ６３の真上に対向している。また、上面用回転刃９の後側部分が、第６ベルトコンベア６と第７ベルトコンベア７の間の隙間に対向している。上面用回転刃９は左右方向軸周りに回転するものであって、回転方向は、第４ベルトコンベア４および第５ベルトコンベア５と同様に、下面が後側に進む向き（図１（ｂ）において反時計回り方向）である。すなわち、回転刃（上面用回転刃９）の回転方向は、搬送される基板に対して上流側から接触する方向である。また、回転刃（上面用回転刃９）の刃先の周速度は、並列ベルトコンベア（第４ベルトコンベア４および第５ベルトコンベア５）と対向ベルトコンベア（第６ベルトコンベア６およぎ第７ベルトコンベア７）による基板の搬送速度より速いものである。そして、上面用回転刃９の下面は、第６ベルトコンベア６の無端ベルト６１の上面と僅かに離隔している。より詳しくは、上面用回転刃９は、中心に左右方向に延びる回転軸９１を有しており、回転軸９１の左右部が、架台１０の上面の左右にそれぞれ固定された支持壁９２により回転自在に支持されている（第６ベルトコンベア６の軸受部６８の上側部分に取り付けられている）。また、回転軸９１の左右端が支持壁９２よりも外側に突出しており、右端にプーリ９３が取り付けられており、左端にカウンターウェイト（図示省略）が取り付けられている。そして、架台１０の内側の前側部にモータ９５が設置されており、モータ９５の駆動軸にもプーリ９６が取り付けられていて、上面用回転刃９のプーリ９３とモータ９５のプーリ９６に駆動ベルト９７が渡し掛けられており、モータ９５を駆動することで上面用回転刃９が回転する。上面用回転刃９自体のより詳しい構成については、図４に示す下面用回転刃８と同じであり、説明を省略する。 The upper surface rotary blade 9 is provided between the fourth belt conveyor 4 and the fifth belt conveyor 5, and faces directly above the rear end roller 63 of the sixth belt conveyor 6. In addition, the rear part of the upper surface rotary blade 9 faces the gap between the sixth belt conveyor 6 and the seventh belt conveyor 7. The upper surface rotary blade 9 rotates around a left-right axis, and the rotation direction is the direction in which the lower surface advances to the rear side (counterclockwise direction in FIG. 1 (b)), similar to the fourth belt conveyor 4 and the fifth belt conveyor 5. In other words, the rotation direction of the rotary blade (upper surface rotary blade 9) is the direction in which it contacts the substrate being transported from the upstream side. In addition, the peripheral speed of the blade tip of the rotary blade (upper surface rotary blade 9) is faster than the transport speed of the substrate by the parallel belt conveyors (fourth belt conveyor 4 and fifth belt conveyor 5) and the opposing belt conveyors (sixth belt conveyor 6 and seventh belt conveyor 7). The lower surface of the upper surface rotary blade 9 is slightly separated from the upper surface of the endless belt 61 of the sixth belt conveyor 6. More specifically, the upper surface rotary blade 9 has a rotary shaft 91 extending in the left-right direction at its center, and the left and right parts of the rotary shaft 91 are rotatably supported by support walls 92 fixed to the left and right sides of the upper surface of the base 10 (attached to the upper part of the bearing part 68 of the sixth belt conveyor 6). In addition, the left and right ends of the rotary shaft 91 protrude outward from the support walls 92, a pulley 93 is attached to the right end, and a counterweight (not shown) is attached to the left end. A motor 95 is installed at the front side of the inner side of the base 10, a pulley 96 is also attached to the drive shaft of the motor 95, a drive belt 97 is stretched across the pulley 93 of the upper surface rotary blade 9 and the pulley 96 of the motor 95, and the upper surface rotary blade 9 rotates by driving the motor 95. The detailed configuration of the upper surface rotary blade 9 itself is the same as that of the lower surface rotary blade 8 shown in Figure 4, so a detailed explanation will be omitted.

また、架台１０の内側には、上下に開口し下窄まり形状となった漏斗部３０１が設けられている。漏斗部３０１の上側の開口端部は、下面用回転刃８の下方から上面用回転刃９の下方まで広がっている。そして、漏斗部３０１の下側の開口部の下側には、回収箱３００が設置されている。これらにより、下面用回転刃８および上面用回転刃９によって基板から分離された部品は、漏斗部３０１を経由して回収箱３００に回収される。また、架台１０の上側に載置された下面処理部１００と上面処理部２００の全体が、略直方体形のカバー（図示省略）で覆われている。カバーの前側面と後側面には、それぞれ基板の投入口と排出口が形成されている。 Furthermore, a funnel section 301 is provided inside the stand 10, which is open at the top and bottom and tapered at the bottom. The upper open end of the funnel section 301 extends from below the lower surface rotary blade 8 to below the upper surface rotary blade 9. A collection box 300 is installed below the lower opening of the funnel section 301. As a result, parts separated from the board by the lower surface rotary blade 8 and the upper surface rotary blade 9 are collected in the collection box 300 via the funnel section 301. Furthermore, the entire lower surface processing section 100 and upper surface processing section 200 placed on the upper side of the stand 10 are covered by a cover (not shown) that is approximately rectangular. An inlet and an outlet for the board are formed on the front and rear sides of the cover, respectively.

続いて、このように構成した基板処理装置によって基板を処理する工程について、図５に基づき説明する。この基板処理装置は、ＩＣ、抵抗やコンデンサなどの電子部品が両面に取り付けられたプリント基板から電子部品を分離させるためのものである。作業者は、まず、全てのベルトコンベア（第１ベルトコンベア１～第７ベルトコンベア７）と回転刃（下面用回転刃８と上面用回転刃９）を駆動させ、カバーの投入口から処理対象の基板Ｂを投入する。この際、基板Ｂの両面のうち、より大きな部品Ｐが取り付けられた面を下側にする（図５の（１））。基板Ｂは、第２ベルトコンベア２の前端部に載り、第１ベルトコンベア１と第２ベルトコンベア２に挟まれて、後側へ搬送される（図５の（２））。この際、第２ベルトコンベア２は、支持ダンパ２６により支持されているので、基板Ｂの厚さに応じて適宜上下動する。第２ベルトコンベア２の後端まで到達した基板Ｂは、続いて第１ベルトコンベア１と下面用回転刃８に挟まれ、後側へ搬送されつつ、下面用回転刃８により、下面の部品Ｐが剥ぎ取られる（図５の（３））。なお、下面用回転刃８の切断刃８０５の刃先の周速度は、基板Ｂの搬送速度よりも速い。分離された部品Ｐは、下面用回転刃８と第３ベルトコンベア３の間から落下し、漏斗部３０１を経由して回収箱３００に回収される。部品Ｐが分離された基板Ｂは、第１ベルトコンベア１と第３ベルトコンベア３に挟まれて、後側へ搬送される（図５の（４））。この際、第３ベルトコンベア３は、支持ダンパ３６により支持されているので、基板Ｂの厚さに応じて適宜上下動する。そして、第３ベルトコンベア３の後端まで到達した基板Ｂは、続けて第４ベルトコンベア４と第６ベルトコンベア６に挟まれて、さらに後側へ搬送される（図５の（５））。この際、第４ベルトコンベア４は、支持ダンパ４６により支持されているので、基板Ｂの厚さに応じて適宜上下動する。第４ベルトコンベア４の後端まで到達した基板Ｂは、続いて上面用回転刃９と第６ベルトコンベア６に挟まれ、後側へ搬送されつつ、上面用回転刃９により、上面の部品Ｐが剥ぎ取られる（図５の（６））。なお、上面用回転刃９の切断刃の刃先の周速度は、基板Ｂの搬送速度よりも速い。分離された部品Ｐは、第６ベルトコンベア６と第７ベルトコンベア７の間から落下し、漏斗部３０１を経由して回収箱３００に回収される。部品Ｐが分離された基板Ｂは、第５ベルトコンベア５と第７ベルトコンベア７に挟まれて、後側へ搬送される（図５の（７））。この際、第５ベルトコンベア５は、支持ダンパ５６により支持されているので、基板Ｂの厚さに応じて適宜上下動する。そして、第５ベルトコンベア５および第７ベルトコンベア７の後端まで到達した基板Ｂは、カバーの排出口から排出される（図５の（８））。このようにして、基板Ｂと部品Ｐとが分離される。基板Ｂと部品Ｐは、それぞれ適宜処理され、基板Ｂからは基板Ｂ上のパターンに用いられる金や銅などが回収され、部品Ｐからはタンタルなどのレアメタルなどが回収される。 Next, the process of processing a substrate using the substrate processing apparatus thus configured will be described with reference to FIG. 5. This substrate processing apparatus is for separating electronic components such as ICs, resistors, and capacitors from a printed circuit board on both sides of which electronic components are attached. The worker first drives all the belt conveyors (first belt conveyor 1 to seventh belt conveyor 7) and the rotary blades (lower surface rotary blade 8 and upper surface rotary blade 9) and inserts the substrate B to be processed through the inlet of the cover. At this time, the surface of the substrate B on which the larger component P is attached is placed on the bottom (FIG. 5 (1)). The substrate B is placed on the front end of the second belt conveyor 2 and is conveyed to the rear side by being sandwiched between the first belt conveyor 1 and the second belt conveyor 2 (FIG. 5 (2)). At this time, the second belt conveyor 2 is supported by a support damper 26, so it moves up and down as appropriate according to the thickness of the substrate B. The board B that has reached the rear end of the second belt conveyor 2 is then sandwiched between the first belt conveyor 1 and the lower surface rotary blade 8, and while being transported rearward, the components P on the lower surface are peeled off by the lower surface rotary blade 8 (FIG. 5 (3)). The peripheral speed of the cutting edge of the cutting blade 805 of the lower surface rotary blade 8 is faster than the transport speed of the board B. The separated components P fall between the lower surface rotary blade 8 and the third belt conveyor 3, and are collected in the collection box 300 via the funnel section 301. The board B from which the components P have been separated is sandwiched between the first belt conveyor 1 and the third belt conveyor 3, and is transported rearward (FIG. 5 (4)). At this time, the third belt conveyor 3 is supported by the support damper 36, so it moves up and down as appropriate according to the thickness of the board B. Then, the board B that has reached the rear end of the third belt conveyor 3 is sandwiched between the fourth belt conveyor 4 and the sixth belt conveyor 6 and transported further rearward (FIG. 5 (5)). At this time, the fourth belt conveyor 4 is supported by the support damper 46, so it moves up and down as appropriate according to the thickness of the board B. The board B that has reached the rear end of the fourth belt conveyor 4 is then sandwiched between the upper surface rotary blade 9 and the sixth belt conveyor 6 and transported rearward, while the upper surface rotary blade 9 peels off the components P from the upper surface (FIG. 5 (6)). Note that the peripheral speed of the cutting blade of the upper surface rotary blade 9 is faster than the transport speed of the board B. The separated components P fall between the sixth belt conveyor 6 and the seventh belt conveyor 7 and are collected in the collection box 300 via the funnel section 301. The board B from which the components P have been separated is sandwiched between the fifth belt conveyor 5 and the seventh belt conveyor 7 and transported rearward (FIG. 5 (7)). At this time, the fifth belt conveyor 5 is supported by a support damper 56, so it moves up and down as appropriate depending on the thickness of the board B. Then, the board B that has reached the rear end of the fifth belt conveyor 5 and the seventh belt conveyor 7 is discharged from the discharge port of the cover ((8) in FIG. 5). In this way, the board B and the component P are separated. The board B and the component P are each appropriately processed, and gold, copper, and other metals used in the patterns on the board B are recovered from the board B, and rare metals such as tantalum are recovered from the component P.

このように構成された本発明の上記実施形態の基板処理装置によれば、図６に示すように、下面処理部１００において、対向ベルトコンベア（第１ベルトコンベア１）の無端ベルト１１の内側の、調整ローラ１８の上流側と下流側に補助ロッド１９を有することで、基板Ｂに取り付けられた部品が大きい場合などにおいて、下面用回転刃８による部品の分離の際に、下面用回転刃８から第１ベルトコンベア１へ向けた衝撃力Ｆが生じても、下面用回転刃８の上流側と下流側において固定された補助ロッド１９がその力を受け止めて、第１ベルトコンベア１の無端ベルト１１が上下に変位しないように補助するので、スムーズな処理が可能であって、第１ベルトコンベア１の損傷を防ぐことができる。そして、基板Ｂは調整具（支持ダンパ２６，３６、図６では図示省略）の弾性力Ｌにより並列ベルトコンベア（第２ベルトコンベア２および第３ベルトコンベア３、図６では第３ベルトコンベア３の場合を示す）を介して対向ベルトコンベア（第１ベルトコンベア１）に押し付けられた状態で搬送されるものであるが、補助ロッド１９は、第３ベルトコンベア３に対して搬送方向の位置がずれているので、基板Ｂは、第１ベルトコンベア１の無端ベルト１１の、固定された補助ロッド１９が存在しない部分（図６の斜線で示した領域Ｓ）に対して押し付けられることになる。無端ベルト１１は、ある程度の弾性を有するものであるから、補助ロッド１９が存在しない領域Ｓにおける無端ベルト１１は、弾性変形しつつ弾性力Ｌを受け止めるので、基板Ｂに作用する力を逃がすことができる。これにより、基板に過度な力が作用せず、基板を損傷することなく基板から部品を分離させることができる。なお、上面処理部２００では、既に基板の下面が処理済みなので基板全体の厚さは薄くなっており、衝撃は小さいので補助ロッドがなくても問題ない。 According to the substrate processing apparatus of the above embodiment of the present invention configured in this manner, as shown in FIG. 6, in the bottom processing section 100, auxiliary rods 19 are provided on the upstream and downstream sides of the adjustment roller 18 inside the endless belt 11 of the opposing belt conveyor (first belt conveyor 1). In such a case that the components attached to the substrate B are large, even if an impact force F is generated from the bottom rotating blade 8 toward the first belt conveyor 1 when the bottom rotating blade 8 separates the components, the auxiliary rods 19 fixed on the upstream and downstream sides of the bottom rotating blade 8 receive the force and assist in preventing the endless belt 11 of the first belt conveyor 1 from displacing up and down, thereby enabling smooth processing and preventing damage to the first belt conveyor 1. The board B is conveyed in a state of being pressed against the opposing belt conveyor (first belt conveyor 1) via the parallel belt conveyors (second belt conveyor 2 and third belt conveyor 3, the case of the third belt conveyor 3 is shown in FIG. 6) by the elastic force L of the adjustment tool (support dampers 26, 36, not shown in FIG. 6), but since the auxiliary rod 19 is misaligned in the conveying direction with respect to the third belt conveyor 3, the board B is pressed against the portion of the endless belt 11 of the first belt conveyor 1 where the fixed auxiliary rod 19 does not exist (area S shown by diagonal lines in FIG. 6). Since the endless belt 11 has a certain degree of elasticity, the endless belt 11 in the area S where the auxiliary rod 19 does not exist receives the elastic force L while elastically deforming, and the force acting on the board B can be released. As a result, excessive force is not applied to the board, and the components can be separated from the board without damaging the board. In addition, in the top surface processing section 200, the bottom surface of the substrate has already been processed, so the overall thickness of the substrate is thin and the impact is small, so there is no problem even without an auxiliary rod.

また、下面処理部１００と上面処理部２００のそれぞれにおいて、図７（下面処理部１００の場合を例示）に示すように、回転刃（下面用回転刃８または上面用回転刃９）の回転方向が搬送される基板Ｂに対して上流側から接触する方向でかつ回転刃の刃先の周速度ｖが基板Ｂの搬送速度ｕよりも速いので、搬送される基板Ｂに対して、回転刃が搬送方向の上流側から追い抜くように接触することになる。これにより、基板に対する回転刃の相対速度（＝ｖ－ｕ）が抑えられるので、回転刃から基板に作用する力も抑えられ、基板を損傷することなく基板から部品を分離させることができる。 In addition, in each of the bottom surface processing section 100 and the top surface processing section 200, as shown in FIG. 7 (illustrating the case of the bottom surface processing section 100), the rotation direction of the rotary blade (bottom surface rotary blade 8 or top surface rotary blade 9) is a direction in which the rotary blade contacts the transported board B from the upstream side, and the peripheral speed v of the rotary blade's cutting edge is faster than the transport speed u of the board B, so the rotary blade contacts the transported board B from the upstream side in the transport direction so as to overtake it. This reduces the relative speed of the rotary blade to the board (= v-u), and therefore reduces the force acting from the rotary blade on the board, allowing the components to be separated from the board without damaging it.

さらに、下面処理部１００と上面処理部２００を備えていてそれらが上流側と下流側に位置しているので、１度の動作で基板の両面から部品を分離させることができる。また、下面処理用搬送部１０１は上流側から下流側まで延びる１つの第１ベルトコンベア１を有するので、上下のベルトコンベアが何れも２つに分かれている上面処理用搬送部２０１と比べて、より基板を安定して搬送できる（上面処理用搬送部２０１は分離した部品を落下させるために下側のベルトコンベアを２つに分けざるを得ない）。そして、下面処理部１００が上流側に位置しているので、上下面とも未処理の分厚い基板を下面処理用搬送部１０１でより安定して搬送できる。また、下面処理部１００が、下側の２つのベルトコンベア（第２ベルトコンベア２、第３ベルトコンベア３）の間に下面用回転刃８が位置するものであり、上面処理部２００が、下側の２つのベルトコンベア（第６ベルトコンベア６、第７ベルトコンベア７）の間の隙間に上面用回転刃９が対向するものであるから、下面処理部１００で分離された部品は下側のベルトコンベアと下面用回転刃８の間から落下し、上面処理部２００で分離された部品は下側のベルトコンベア同士の間から落下するので、どちらにおいても部品をスムーズに回収できる。また、第１ベルトコンベア１と第３ベルトコンベア３の出口部と第４ベルトコンベア４と第６ベルトコンベア６の入口部の間および第４ベルトコンベア４と第６ベルトコンベア６の出口部と第５ベルトコンベア５と第７ベルトコンベア７の入口部の間において、基板の搬送高さが段違いになっているものであるから、基板が当該部分を通過する際に搬送速度が減速され、上面用回転刃９による部品の分離がより確実に行われる。特に後者の部分では、上面用回転刃９の上流側と下流側部分において下流側が高くなっていることにより、当該部分を通過する基板が、後側が持ち上がる向きに傾斜するので、基板の上面に対して上面用回転刃９が確実に接触して部品が分離される。さらに、第６ベルトコンベア６の下流側の端部が上面用回転刃９の下側まで延びるものであって、かつ第６ベルトコンベア６の上面が下流側へ向けて上向きに傾斜するものであるから、上面用回転刃９による部品の分離の際に基板が第６ベルトコンベア６によって保持され、かつ傾斜によって基板が上面用回転刃９に接近するように搬送されるので、上面用回転刃９による部品の分離がより確実に行われる。 Furthermore, since the lower surface processing section 100 and the upper surface processing section 200 are provided and located on the upstream and downstream sides, components can be separated from both sides of the board in a single operation. Also, since the lower surface processing transport section 101 has one first belt conveyor 1 extending from the upstream side to the downstream side, the board can be transported more stably than the upper surface processing transport section 201, in which both the upper and lower belt conveyors are divided into two (the upper surface processing transport section 201 has no choice but to divide the lower belt conveyor into two in order to drop the separated components). And, since the lower surface processing section 100 is located on the upstream side, thick boards that are not processed on both the upper and lower sides can be transported more stably by the lower surface processing transport section 101. In addition, in the lower surface processing section 100, the lower surface rotating blade 8 is positioned between the two lower belt conveyors (the second belt conveyor 2 and the third belt conveyor 3), and in the upper surface processing section 200, the upper surface rotating blade 9 faces the gap between the two lower belt conveyors (the sixth belt conveyor 6 and the seventh belt conveyor 7). Therefore, parts separated in the lower surface processing section 100 fall between the lower belt conveyor and the lower surface rotating blade 8, and parts separated in the upper surface processing section 200 fall between the lower belt conveyors, so that parts can be smoothly collected in either case. In addition, the conveying height of the board is different between the exit of the first belt conveyor 1 and the third belt conveyor 3 and the entrance of the fourth belt conveyor 4 and the sixth belt conveyor 6, and between the exit of the fourth belt conveyor 4 and the sixth belt conveyor 6 and the entrance of the fifth belt conveyor 5 and the seventh belt conveyor 7, so that the conveying speed of the board is reduced when the board passes through the corresponding parts, and the separation of the parts by the upper surface rotary blade 9 is more reliable. In particular, in the latter part, the downstream side is higher than the upstream side and the downstream side of the upper surface rotary blade 9, so that the board passing through the corresponding part is inclined in a direction in which the rear side is lifted, and the upper surface rotary blade 9 reliably comes into contact with the upper surface of the board to separate the parts. Furthermore, since the downstream end of the sixth belt conveyor 6 extends to the underside of the upper surface rotary blade 9 and the upper surface of the sixth belt conveyor 6 is inclined upward toward the downstream side, the board is held by the sixth belt conveyor 6 when the upper surface rotary blade 9 separates the parts, and the inclination transports the board so that it approaches the upper surface rotary blade 9, so that the separation of the parts by the upper surface rotary blade 9 is more reliable.

本発明は、上記の実施形態に限定されない。たとえば、下面処理部と上面処理部のうち、下面処理部のみを備える装置であってもよいし、上面処理部のみを備える装置であってもよい。そして、下面処理部と上面処理部の両方を備える装置においては、上面処理部が下面処理部の上流側に位置するものであってもよい。また、上面処理部が補助ロッドを有するものであってもよい。その場合、補助ロッドは対向ベルトコンベアである第６ベルトコンベアと第７ベルトコンベアの何れかまたは両方の内側に設けられる。さらに、下面処理部と上面処理部の両方が補助ロッドを有するものであってもよい。また、各ベルトコンベアおよび各回転刃を支持する構造については、どのようなものであってもよい。さらに、回転刃の構造についても、一例を示したものであって、どのようなものであってもよい。また、上流側と下流側の上下のベルトコンベアの間における基板の搬送高さについて、上記とは異なる態様で段違いになっているものであってもよいし、段違いになっていないものであってもよい。なお、上記の実施形態の装置は、パソコンの基板を対象としたものであるが、たとえば、より小さい携帯電話の基板を対象とする場合には、回転刃のロータの数を少なくしたり、各ベルトコンベアの幅や長さを短くしたりするなど、上記の構成のまま全体を小さくすればよい。 The present invention is not limited to the above embodiment. For example, the device may be equipped with only the lower surface processing section, or may be equipped with only the upper surface processing section, out of the lower surface processing section and the upper surface processing section. In an apparatus equipped with both the lower surface processing section and the upper surface processing section, the upper surface processing section may be located upstream of the lower surface processing section. The upper surface processing section may also have an auxiliary rod. In that case, the auxiliary rod is provided inside either or both of the sixth and seventh belt conveyors, which are the opposing belt conveyors. Furthermore, both the lower surface processing section and the upper surface processing section may have an auxiliary rod. Furthermore, the structure supporting each belt conveyor and each rotary blade may be of any type. Furthermore, the structure of the rotary blade is merely an example, and may be of any type. Furthermore, the conveying height of the substrate between the upper and lower belt conveyors on the upstream and downstream sides may be stepped in a manner different from that described above, or may not be stepped. Note that the device in the above embodiment is intended for computer circuit boards, but if it is intended for smaller cell phone circuit boards, for example, the number of rotors in the rotary blades can be reduced, the width and length of each conveyor belt can be shortened, or other measures can be taken to make the overall size smaller while keeping the above configuration.

１第１ベルトコンベア（対向ベルトコンベア）
２第２ベルトコンベア（並列ベルトコンベア）
３第３ベルトコンベア（並列ベルトコンベア）
４第４ベルトコンベア（並列ベルトコンベア）
５第５ベルトコンベア（並列ベルトコンベア）
６第６ベルトコンベア（対向ベルトコンベア）
７第７ベルトコンベア（対向ベルトコンベア）
８下面用回転刃（回転刃）
９上面用回転刃（回転刃）
１１，２１，３１，４１，５１，６１，７１無端ベルト
１８調整ローラ
１９補助ロッド
２６，３６，４６，５６支持ダンパ（調整具）
１００下面処理部
１０１下面処理用搬送部（搬送部）
２００上面処理部
２０１上面処理用搬送部（搬送部）

1. First belt conveyor (opposing belt conveyor)
2. Second belt conveyor (parallel belt conveyor)
3. Third belt conveyor (parallel belt conveyor)
4. Fourth belt conveyor (parallel belt conveyor)
5. Fifth belt conveyor (parallel belt conveyor)
6. 6th belt conveyor (opposing belt conveyor)
7. 7th belt conveyor (opposing belt conveyor)
8. Rotary blade for lower surface (rotary blade)
9. Upper surface rotary blade (rotary blade)
11, 21, 31, 41, 51, 61, 71 Endless belt 18 Adjustment roller 19 Auxiliary rod 26, 36, 46, 56 Support damper (adjustment tool)
100 Lower surface processing section 101 Lower surface processing transport section (transport section)
200 Upper surface processing section 201 Upper surface processing transport section (transport section)

Claims

1. A substrate processing apparatus for separating electronic components from a substrate on which the electronic components are attached, comprising:
a conveying section that conveys the substrate from an upstream side to a downstream side, and a rotary blade that separates the electronic components from the substrate,
the transport section has a parallel belt conveyor located on the same vertical side as the rotary blade and aligned with the rotary blade in the transport direction, an opposing belt conveyor located on the vertical opposite side of the rotary blade and facing the rotary blade and the parallel belt conveyor in the vertical direction, and an adjustment tool that presses the parallel belt conveyor against the opposing belt conveyor by elastic force, and both the parallel belt conveyor and the opposing belt conveyor have endless belts that circulate, and the substrate is transported by being sandwiched between the endless belt of the parallel belt conveyor and the endless belt of the opposing belt conveyor,
a supporting rod is provided on the inside of the endless belt of the opposing belt conveyor, the supporting rod abuts against the part of the endless belt on the rotary blade side from the inside and has a fixed vertical position relative to the rotary blade, and the position of the supporting rod in the transport direction is on the rotary blade side of the parallel belt conveyor .

The conveying unit has an adjustment roller located inside the endless belt of the opposing belt conveyor,
The adjustment roller is positioned vertically alongside the rotary blade, and its vertical position relative to the rotary blade is adjustable,
2. The substrate processing apparatus according to claim 1, wherein the auxiliary rods are positioned on the upstream side and downstream side of the adjustment roller.