JP7474064B2 - Resin materials and multilayer printed wiring boards - Google Patents
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Description
本発明は、マレイミド化合物を含む樹脂材料に関する。また、本発明は、上記樹脂材料を用いた多層プリント配線板に関する。 The present invention relates to a resin material containing a maleimide compound. The present invention also relates to a multilayer printed wiring board using the resin material.
従来、半導体装置、積層板及びプリント配線板等の電子部品を得るために、様々な樹脂材料が用いられている。例えば、多層プリント配線板では、内部の層間を絶縁するための絶縁層を形成したり、表層部分に位置する絶縁層を形成したりするために、樹脂材料が用いられている。上記絶縁層の表面には、一般に金属である配線が積層される。また、上記絶縁層を形成するために、上記樹脂材料がフィルム化された樹脂フィルムが用いられることがある。上記樹脂材料及び上記樹脂フィルムは、ビルドアップフィルムを含む多層プリント配線板用の絶縁材料等として用いられている。 Conventionally, various resin materials have been used to obtain electronic components such as semiconductor devices, laminates, and printed wiring boards. For example, in multilayer printed wiring boards, resin materials are used to form insulating layers for insulating between internal layers, and to form insulating layers located on the surface. Wiring, which is generally metal, is laminated on the surface of the insulating layer. In addition, resin films in which the resin materials are filmized may be used to form the insulating layers. The resin materials and resin films are used as insulating materials for multilayer printed wiring boards, including build-up films.
下記の特許文献1には、マレイミド基と、少なくとも2つのイミド結合を有する2価の基及び飽和又は不飽和の2価の炭化水素基とを有する化合物を含有する樹脂組成物が開示されている。特許文献1には、この樹脂組成物の硬化物を、多層プリント配線板等の絶縁層として用いることができることが記載されている。 The following Patent Document 1 discloses a resin composition containing a compound having a maleimide group, a divalent group having at least two imide bonds, and a saturated or unsaturated divalent hydrocarbon group. Patent Document 1 also describes that a cured product of this resin composition can be used as an insulating layer for a multilayer printed wiring board or the like.
下記の特許文献2には、ビスマレイミド化合物を含み、該ビスマレイミド化合物が、マレイミド基2個と、特定の構造を有するポリイミド基1個以上とを有する電子材料用樹脂組成物が開示されている。上記ビスマレイミド化合物において、2個の上記マレイミド基は、各々独立して、8以上の原子が直鎖状に連結した第1の連結基を少なくとも介して、上記ポリイミド基の両端に結合している。 The following Patent Document 2 discloses a resin composition for electronic materials that contains a bismaleimide compound having two maleimide groups and one or more polyimide groups having a specific structure. In the bismaleimide compound, the two maleimide groups are each independently bonded to both ends of the polyimide group via at least a first linking group in which eight or more atoms are linearly linked.
また、下記の特許文献3には、エポキシ化合物と硬化剤と無機充填材とポリイミドとを含む樹脂組成物の硬化体が開示されている。上記硬化体100重量%中、上記無機充填材の含有量が30重量%以上90重量%以下である。また、上記硬化体は、海部と島部とを有する海島構造を有し、該島部の平均長径が5μm以下であり、該島部が上記ポリイミドを含む。 In addition, the following Patent Document 3 discloses a cured body of a resin composition containing an epoxy compound, a curing agent, an inorganic filler, and a polyimide. The content of the inorganic filler is 30% by weight or more and 90% by weight or less in 100% by weight of the cured body. The cured body has a sea-island structure having a sea portion and an island portion, the average major axis of the island portion is 5 μm or less, and the island portion contains the polyimide.
特許文献1~3に記載のような従来の樹脂材料を用いて絶縁層を形成した場合に、硬化物の誘電正接が十分に低くならなかったり、熱寸法安定性が十分に高くならなかったりすることがある。 When an insulating layer is formed using conventional resin materials such as those described in Patent Documents 1 to 3, the dielectric tangent of the cured product may not be sufficiently low, or the thermal dimensional stability may not be sufficiently high.
また、従来の樹脂材料を用いて絶縁層を形成した場合に、硬化物の伸び特性が十分に高くならなかったり、硬化物の曲げ特性が十分に高くならなかったり、金属層と絶縁層とのピール強度が十分に高くならなかったりすることがある。 In addition, when an insulating layer is formed using conventional resin materials, the elongation properties of the cured product may not be sufficiently high, the bending properties of the cured product may not be sufficiently high, and the peel strength between the metal layer and the insulating layer may not be sufficiently high.
本発明の目的は、樹脂材料の硬化物において、1)誘電正接を低くすることができ、2)熱寸法安定性を高めることができ、3)伸び特性を高めることができ、4)曲げ特性を高めることができ、5)金属層に対するピール強度を高めることができる樹脂材料を提供することである。また、本発明は、上記樹脂材料を用いた多層プリント配線板を提供することも目的とする。 The object of the present invention is to provide a resin material that, in a cured product thereof, 1) can lower the dielectric tangent, 2) can increase the thermal dimensional stability, 3) can increase the elongation characteristics, 4) can increase the bending characteristics, and 5) can increase the peel strength against the metal layer. Another object of the present invention is to provide a multilayer printed wiring board using the above-mentioned resin material.
本発明の広い局面によれば、熱硬化性化合物と、1個以上のマレイミド骨格及び2個以上のイミド骨格を有し、かつ前記熱硬化性化合物と反応可能な官能基を少なくとも1個有するイミド骨格含有マレイミド化合物とを含む、樹脂材料が提供される。 According to a broad aspect of the present invention, a resin material is provided that includes a thermosetting compound and an imide skeleton-containing maleimide compound that has one or more maleimide skeletons and two or more imide skeletons and has at least one functional group that can react with the thermosetting compound.
本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記イミド骨格含有マレイミド化合物が、2個以上のマレイミド骨格を有し、かつ末端に前記マレイミド骨格を有する。 In a particular aspect of the resin material according to the present invention, the imide skeleton-containing maleimide compound has two or more maleimide skeletons and has the maleimide skeleton at a terminal.
本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記熱硬化性化合物が、マレイミド化合物、エポキシ化合物、ビニル化合物、又はベンゾオキサジン化合物である。 In a particular aspect of the resin material according to the present invention, the thermosetting compound is a maleimide compound, an epoxy compound, a vinyl compound, or a benzoxazine compound.
本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記イミド骨格含有マレイミド化合物における前記熱硬化性化合物と反応可能な前記官能基が、ビニル基、フェノール性水酸基、又は活性エステル基である。 In a particular aspect of the resin material according to the present invention, the functional group in the imide skeleton-containing maleimide compound that can react with the thermosetting compound is a vinyl group, a phenolic hydroxyl group, or an active ester group.
本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記イミド骨格含有マレイミド化合物が、ダイマージアミンに由来する骨格又はトリマートリアミンに由来する骨格を有する。 In a particular aspect of the resin material according to the present invention, the imide skeleton-containing maleimide compound has a skeleton derived from a dimer triamine or a skeleton derived from a trimer triamine.
本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記イミド骨格含有マレイミド化合物が、ダイマージアミンに由来する骨格を有する。 In a particular aspect of the resin material according to the present invention, the imide skeleton-containing maleimide compound has a skeleton derived from dimer diamine.
本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記イミド骨格含有マレイミド化合物において、前記ダイマージアミンに由来する骨格が、前記マレイミド骨格と直接結合している。 In a particular aspect of the resin material according to the present invention, in the imide skeleton-containing maleimide compound, the skeleton derived from the dimer diamine is directly bonded to the maleimide skeleton.
本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記イミド骨格含有マレイミド化合物が、ダイマージアミン以外のジアミン化合物と酸二無水物との反応物に由来する骨格を有する。 In a particular aspect of the resin material according to the present invention, the imide skeleton-containing maleimide compound has a skeleton derived from a reaction product of a diamine compound other than dimer diamine and an acid dianhydride.
本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記イミド骨格含有マレイミド化合物の分子量が1000以上50000以下である。 In a particular aspect of the resin material according to the present invention, the molecular weight of the imide skeleton-containing maleimide compound is 1,000 or more and 50,000 or less.
本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記樹脂材料は、無機充填材を含む。 In a particular aspect of the resin material according to the present invention, the resin material contains an inorganic filler.
本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記樹脂材料は、硬化剤を含む。 In a particular aspect of the resin material according to the present invention, the resin material includes a hardener.
本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記熱硬化性化合物及び前記硬化剤の内の少なくとも一方が、アミド結合又はイミド結合を有する。 In a particular aspect of the resin material according to the present invention, at least one of the thermosetting compound and the curing agent has an amide bond or an imide bond.
本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記熱硬化性化合物が、エポキシ化合物を含み、前記硬化剤が、フェノール化合物、活性エステル化合物、シアネートエステル化合物、及びカルボジイミド化合物の内の少なくとも1種の成分を含む。 In a particular aspect of the resin material according to the present invention, the thermosetting compound includes an epoxy compound, and the curing agent includes at least one component selected from the group consisting of a phenol compound, an active ester compound, a cyanate ester compound, and a carbodiimide compound.
本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記硬化剤が、フェノール化合物と活性エステル化合物とを含む。 In a particular aspect of the resin material according to the present invention, the curing agent contains a phenol compound and an active ester compound.
本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記熱硬化性化合物が、アミド結合又はイミド結合を有する。 In a particular aspect of the resin material according to the present invention, the thermosetting compound has an amide bond or an imide bond.
本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記樹脂材料は、樹脂フィルムである。 In a particular aspect of the resin material according to the present invention, the resin material is a resin film.
本発明に係る樹脂材料は、多層プリント配線板において、絶縁層を形成するために好適に用いられる。 The resin material according to the present invention is suitable for use in forming insulating layers in multilayer printed wiring boards.
本発明の広い局面によれば、回路基板と、前記回路基板の表面上に配置された複数の絶縁層と、複数の前記絶縁層間に配置された金属層とを備え、複数の前記絶縁層の内の少なくとも1層が、上述した樹脂材料の硬化物である、多層プリント配線板が提供される。 According to a broad aspect of the present invention, there is provided a multilayer printed wiring board comprising a circuit board, a plurality of insulating layers disposed on a surface of the circuit board, and a metal layer disposed between the plurality of insulating layers, at least one of the plurality of insulating layers being a cured product of the above-mentioned resin material.
本発明に係る樹脂材料は、熱硬化性化合物と、1個以上のマレイミド骨格及び2個以上のイミド骨格を有し、かつ上記熱硬化性化合物と反応可能な官能基を少なくとも1個有するイミド骨格含有マレイミド化合物とを含む。本発明に係る樹脂材料では、上記の構成が備えられているので、樹脂材料の硬化物において、1)誘電正接を低くすることができ、2)熱寸法安定性を高めることができ、3)伸び特性を高めることができ、4)曲げ特性を高めることができ、5)金属層に対するピール強度を高めることができるという、1)~5)の効果を全て発揮することができる。 The resin material according to the present invention includes a thermosetting compound and an imide skeleton-containing maleimide compound having one or more maleimide skeletons and two or more imide skeletons, and having at least one functional group capable of reacting with the thermosetting compound. The resin material according to the present invention has the above-mentioned configuration, and therefore, in a cured product of the resin material, it is possible to achieve all of the effects 1) to 5), namely, 1) a low dielectric tangent, 2) improved thermal dimensional stability, 3) improved elongation properties, 4) improved bending properties, and 5) improved peel strength against a metal layer.
以下、本発明を詳細に説明する。 The present invention is described in detail below.
本発明に係る樹脂材料は、熱硬化性化合物と、1個以上のマレイミド骨格及び2個以上のイミド骨格を有し、かつ上記熱硬化性化合物と反応可能な官能基を少なくとも1個有するイミド骨格含有マレイミド化合物とを含む。 The resin material according to the present invention includes a thermosetting compound and an imide skeleton-containing maleimide compound that has one or more maleimide skeletons and two or more imide skeletons and has at least one functional group that can react with the thermosetting compound.
したがって、本発明に係る樹脂材料は、熱硬化性化合物と、イミド骨格含有マレイミド化合物とを含む。 Therefore, the resin material according to the present invention contains a thermosetting compound and a maleimide compound containing an imide skeleton.
本発明に係る樹脂材料では、上記の構成が備えられているので、樹脂材料の硬化物において、1)誘電正接を低くすることができ、2)熱寸法安定性を高めることができ、3)伸び特性を高めることができ、4)曲げ特性を高めることができ、5)金属層に対するピール強度を高めることができるという、1)~5)の効果を全て発揮することができる。 The resin material according to the present invention has the above-mentioned configuration, and therefore, in the cured product of the resin material, it is possible to achieve all of the following effects 1) to 5): 1) a lower dielectric tangent, 2) improved thermal dimensional stability, 3) improved elongation properties, 4) improved bending properties, and 5) improved peel strength against the metal layer.
また、本発明に係る樹脂材料では、上記の構成が備えられているので、デスミア処理によってスミアを効果的に除去することができる。 In addition, since the resin material according to the present invention has the above-mentioned configuration, smears can be effectively removed by desmearing.
また、本発明に係る樹脂材料では、上記の構成が備えられているので、硬化物のガラス転移温度を高めることができる。ガラス転移温度の向上は、熱サイクル試験において信頼性が向上する点で好ましい。 In addition, since the resin material according to the present invention has the above-mentioned configuration, the glass transition temperature of the cured product can be increased. Increasing the glass transition temperature is preferable in terms of improving reliability in thermal cycle tests.
本発明に係る樹脂材料は、樹脂組成物であってもよく、樹脂フィルムであってもよい。上記樹脂組成物は、流動性を有する。上記樹脂組成物は、ペースト状であってもよい。上記ペースト状には液状が含まれる。取扱性に優れることから、本発明に係る樹脂材料は、樹脂フィルムであることが好ましい。 The resin material according to the present invention may be a resin composition or a resin film. The resin composition has fluidity. The resin composition may be in a paste form. The paste form includes a liquid form. Since the resin material according to the present invention has excellent handleability, it is preferable that the resin material is a resin film.
本発明に係る樹脂材料は、熱硬化性材料であることが好ましい。上記樹脂材料が樹脂フィルムである場合には、該樹脂フィルムは、熱硬化性樹脂フィルムであることが好ましい。 The resin material according to the present invention is preferably a thermosetting material. When the resin material is a resin film, the resin film is preferably a thermosetting resin film.
以下、本発明に係る樹脂材料に用いられる各成分の詳細、及び本発明に係る樹脂材料の用途などを説明する。 The following describes the details of each component used in the resin material according to the present invention, as well as applications of the resin material according to the present invention.
[熱硬化性化合物]
上記樹脂材料は、熱硬化性化合物を含む。上記熱硬化性化合物は、1個以上のマレイミド骨格及び2個以上のイミド骨格を有し、かつ上記熱硬化性化合物と反応可能な官能基を少なくとも1個有するマレイミド化合物とは異なる熱硬化性化合物である。上記熱硬化性化合物は、上記イミド骨格含有マレイミド化合物とは異なる熱硬化性化合物である。上記熱硬化性化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Thermosetting compound]
The resin material includes a thermosetting compound. The thermosetting compound has one or more maleimide skeletons and two or more imide skeletons, and is a thermosetting compound different from the maleimide compound having at least one functional group capable of reacting with the thermosetting compound. The thermosetting compound is a thermosetting compound different from the imide skeleton-containing maleimide compound. Only one type of the thermosetting compound may be used, or two or more types may be used in combination.
上記熱硬化性化合物としては、スチレン化合物、フェノキシ化合物、オキセタン化合物、マレイミド化合物、エポキシ化合物、ビニル化合物、ベンゾオキサジン化合物、ポリアリレート化合物、ジアリルフタレート化合物、アクリレート化合物、エピスルフィド化合物、(メタ)アクリル化合物、アミノ化合物、不飽和ポリエステル化合物、ポリウレタン化合物、及びシリコーン化合物等が挙げられる。 The above-mentioned thermosetting compounds include styrene compounds, phenoxy compounds, oxetane compounds, maleimide compounds, epoxy compounds, vinyl compounds, benzoxazine compounds, polyarylate compounds, diallyl phthalate compounds, acrylate compounds, episulfide compounds, (meth)acrylic compounds, amino compounds, unsaturated polyester compounds, polyurethane compounds, and silicone compounds.
上記熱硬化性化合物は、マレイミド化合物、エポキシ化合物、ビニル化合物、又はベンゾオキサジン化合物であることが好ましく、エポキシ化合物、又はビニル化合物を含むことがより好ましく、エポキシ化合物を含むことが更に好ましい。この場合には、硬化物の誘電正接をより一層低くし、かつ硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The thermosetting compound is preferably a maleimide compound, an epoxy compound, a vinyl compound, or a benzoxazine compound, more preferably contains an epoxy compound or a vinyl compound, and even more preferably contains an epoxy compound. In this case, the dielectric tangent of the cured product can be further lowered and the thermal dimensional stability of the cured product can be further improved.
上記熱硬化性化合物及び後述する硬化剤の内の少なくとも一方が、アミド結合又はイミド結合を有することが好ましい。上記熱硬化性化合物が、アミド結合又はイミド結合を有することが好ましい。上記硬化剤が、アミド結合又はイミド結合を有することが好ましい。上記熱硬化性化合物及び上記硬化剤の内の双方が、アミド結合又はイミド結合を有することが好ましい。アミド結合又はイミド結合を有する熱硬化性化合物の使用により、熱硬化性化合物とマレイミド化合物との相溶性を高めることができ、デスミア性をより一層高めることができる。アミド結合又はイミド結合を有する硬化剤の使用により、硬化剤とマレイミド化合物との相溶性を高めることができ、デスミア性をより一層高めることができる。上記熱硬化性化合物及び上記硬化剤はそれぞれ、アミド結合を有していてもよく、イミド結合を有していてもよい。上記樹脂材料は、アミド結合又はイミド結合を有するエポキシ化合物を含むことが特に好ましい。 At least one of the thermosetting compound and the curing agent described later preferably has an amide bond or an imide bond. The thermosetting compound preferably has an amide bond or an imide bond. The curing agent preferably has an amide bond or an imide bond. Both the thermosetting compound and the curing agent preferably have an amide bond or an imide bond. By using a thermosetting compound having an amide bond or an imide bond, the compatibility between the thermosetting compound and the maleimide compound can be increased, and the desmearing property can be further improved. By using a curing agent having an amide bond or an imide bond, the compatibility between the curing agent and the maleimide compound can be increased, and the desmearing property can be further improved. The thermosetting compound and the curing agent may each have an amide bond or an imide bond. It is particularly preferable that the resin material contains an epoxy compound having an amide bond or an imide bond.
<マレイミド化合物>
上記マレイミド化合物は、1個以上のマレイミド骨格及び2個以上のイミド骨格を有し、かつ上記熱硬化性化合物と反応可能な官能基を少なくとも1個有するマレイミド化合物とは異なるマレイミド化合物(以下、「マレイミド化合物X」と記載することがある)である。上記マレイミド化合物Xは、上記イミド骨格含有マレイミド化合物とは異なるマレイミド化合物である。上記マレイミド化合物Xは、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
<Maleimide Compound>
The maleimide compound is a maleimide compound (hereinafter, sometimes referred to as "maleimide compound X") that has one or more maleimide skeletons and two or more imide skeletons and is different from a maleimide compound having at least one functional group capable of reacting with the thermosetting compound. The maleimide compound X is a maleimide compound that is different from the imide skeleton-containing maleimide compound. Only one type of maleimide compound X may be used, or two or more types may be used in combination.
上記マレイミド化合物Xは、ビスマレイミド化合物であってもよい。 The maleimide compound X may be a bismaleimide compound.
上記マレイミド化合物Xとしては、N-フェニルマレイミド及びN-アルキルビスマレイミド等が挙げられる。 Examples of the maleimide compound X include N-phenylmaleimide and N-alkylbismaleimide.
上記マレイミド化合物Xは、ダイマージアミン以外のジアミン化合物又はトリマートリアミン以外のトリアミン化合物に由来する骨格を有することが好ましい。 It is preferable that the maleimide compound X has a skeleton derived from a diamine compound other than a dimer diamine or a triamine compound other than a trimer triamine.
上記マレイミド化合物Xは、芳香族骨格を有することが好ましい。 The maleimide compound X preferably has an aromatic skeleton.
上記マレイミド化合物Xでは、マレイミド骨格における窒素原子と、芳香族環とが結合していることが好ましい。 In the maleimide compound X, it is preferable that the nitrogen atom in the maleimide skeleton is bonded to an aromatic ring.
硬化物の熱寸法安定性をより一層高める観点からは、樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、上記マレイミド化合物Xの含有量は、好ましくは1重量%以上、より好ましくは3重量%以上、好ましくは20重量%以下、より好ましくは10重量%以下である。 From the viewpoint of further enhancing the thermal dimensional stability of the cured product, the content of the maleimide compound X is preferably 1% by weight or more, more preferably 3% by weight or more, and preferably 20% by weight or less, more preferably 10% by weight or less, based on 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material.
上記樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記マレイミド化合物Xの含有量は、好ましくは2.5重量%以上、より好ましくは5重量%以上、更に好ましくは10重量%以上、好ましくは60重量%以下、より好ましくは35重量%以下である。上記マレイミド化合物Xの含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The content of the maleimide compound X in 100% by weight of the components in the resin material excluding the inorganic filler and the solvent is preferably 2.5% by weight or more, more preferably 5% by weight or more, even more preferably 10% by weight or more, preferably 60% by weight or less, and more preferably 35% by weight or less. When the content of the maleimide compound X is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the thermal dimensional stability of the cured product can be further improved.
本発明の効果を効果的に発揮する観点からは、上記マレイミド化合物Xの分子量は、好ましくは500以上、より好ましくは1000以上、好ましくは60000未満、より好ましくは30000未満である。 From the viewpoint of effectively exerting the effects of the present invention, the molecular weight of the maleimide compound X is preferably 500 or more, more preferably 1000 or more, and preferably less than 60000, more preferably less than 30000.
上記マレイミド化合物Xの分子量は、上記マレイミド化合物Xが重合体ではない場合、及び上記マレイミド化合物Xの構造式が特定できる場合は、当該構造式から算出できる分子量を意味する。また、上記マレイミド化合物Xの分子量は、上記マレイミド化合物Xが重合体である場合は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を示す。 When the maleimide compound X is not a polymer and when the structural formula of the maleimide compound X can be specified, the molecular weight of the maleimide compound X means the molecular weight that can be calculated from the structural formula. When the maleimide compound X is a polymer, the molecular weight of the maleimide compound X means the weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by gel permeation chromatography (GPC).
上記マレイミド化合物Xの市販品としては、例えば、大和化成工業社製「BMI4000」及び「BMI5100」、Designer Molecules Inc.製「BMI-3000」、並びに日本化薬社製「MIR-3000」等が挙げられる。 Commercially available examples of the maleimide compound X include "BMI4000" and "BMI5100" manufactured by Daiwa Chemical Industry Co., Ltd., "BMI-3000" manufactured by Designer Molecules Inc., and "MIR-3000" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.
<エポキシ化合物>
上記エポキシ化合物として、従来公知のエポキシ化合物を使用可能である。上記エポキシ化合物は、少なくとも1個のエポキシ基を有する有機化合物である。上記エポキシ化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
<Epoxy Compound>
As the epoxy compound, a conventionally known epoxy compound can be used. The epoxy compound is an organic compound having at least one epoxy group. The epoxy compound may be used alone or in combination of two or more kinds.
上記エポキシ化合物としては、ビスフェノールA型エポキシ化合物、ビスフェノールF型エポキシ化合物、ビスフェノールS型エポキシ化合物、フェノールノボラック型エポキシ化合物、ビフェニル型エポキシ化合物、ビフェニルノボラック型エポキシ化合物、ビフェノール型エポキシ化合物、ナフタレン型エポキシ化合物、フルオレン型エポキシ化合物、フェノールアラルキル型エポキシ化合物、ナフトールアラルキル型エポキシ化合物、ジシクロペンタジエン型エポキシ化合物、アントラセン型エポキシ化合物、アダマンタン骨格を有するエポキシ化合物、トリシクロデカン骨格を有するエポキシ化合物、ナフチレンエーテル型エポキシ化合物、及びトリアジン核を骨格に有するエポキシ化合物等が挙げられる。 The above epoxy compounds include bisphenol A type epoxy compounds, bisphenol F type epoxy compounds, bisphenol S type epoxy compounds, phenol novolac type epoxy compounds, biphenyl type epoxy compounds, biphenyl novolac type epoxy compounds, biphenol type epoxy compounds, naphthalene type epoxy compounds, fluorene type epoxy compounds, phenol aralkyl type epoxy compounds, naphthol aralkyl type epoxy compounds, dicyclopentadiene type epoxy compounds, anthracene type epoxy compounds, epoxy compounds having an adamantane skeleton, epoxy compounds having a tricyclodecane skeleton, naphthylene ether type epoxy compounds, and epoxy compounds having a triazine nucleus in the skeleton.
上記エポキシ化合物は、グリシジルエーテル化合物であってもよい。上記グリシジルエーテル化合物とは、グリシジルエーテル基を少なくとも1個有する化合物である。 The epoxy compound may be a glycidyl ether compound. The glycidyl ether compound is a compound having at least one glycidyl ether group.
誘電正接をより一層低くし、かつ硬化物の熱寸法安定性及び難燃性を高める観点からは、上記エポキシ化合物は、芳香族骨格を有するエポキシ化合物を含むことが好ましく、ナフタレン骨格又はフェニル骨格を有するエポキシ化合物を含むことが好ましく、芳香族骨格を有するエポキシ化合物であることがより好ましい。 From the viewpoint of further lowering the dielectric tangent and improving the thermal dimensional stability and flame retardancy of the cured product, the above epoxy compound preferably contains an epoxy compound having an aromatic skeleton, preferably contains an epoxy compound having a naphthalene skeleton or a phenyl skeleton, and more preferably is an epoxy compound having an aromatic skeleton.
誘電正接をより一層低くし、かつ硬化物の線膨張係数(CTE)を良好にする観点からは、上記エポキシ化合物は、25℃で液状のエポキシ化合物と、25℃で固形のエポキシ化合物とを含むことが好ましい。 From the viewpoint of further lowering the dielectric tangent and improving the coefficient of linear expansion (CTE) of the cured product, it is preferable that the epoxy compound contains an epoxy compound that is liquid at 25°C and an epoxy compound that is solid at 25°C.
上記25℃で液状のエポキシ化合物の25℃での粘度は、1000mPa・s以下であることが好ましく、500mPa・s以下であることがより好ましい。 The viscosity of the epoxy compound that is liquid at 25°C is preferably 1000 mPa·s or less, and more preferably 500 mPa·s or less, at 25°C.
上記エポキシ化合物の粘度は、例えば動的粘弾性測定装置(レオロジカ・インスツルメンツ社製「VAR-100」)等を用いて測定することができる。 The viscosity of the epoxy compound can be measured, for example, using a dynamic viscoelasticity measuring device ("VAR-100" manufactured by Rheologica Instruments).
上記エポキシ化合物の分子量は1000以下であることがより好ましい。この場合には、樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、無機充填材の含有量が50重量%以上であっても、絶縁層の形成時に流動性が高い樹脂材料が得られる。このため、樹脂材料の未硬化物又はBステージ化物を回路基板上にラミネートした場合に、無機充填材を均一に存在させることができる。 It is more preferable that the molecular weight of the epoxy compound is 1000 or less. In this case, even if the content of the inorganic filler is 50% by weight or more out of 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material, a resin material with high fluidity can be obtained when forming the insulating layer. Therefore, when the uncured or B-staged resin material is laminated onto a circuit board, the inorganic filler can be uniformly present.
上記エポキシ化合物の分子量は、上記エポキシ化合物が重合体ではない場合、及び上記エポキシ化合物の構造式が特定できる場合は、当該構造式から算出できる分子量を意味する。また、上記エポキシ化合物が重合体である場合は、重量平均分子量を意味する。 When the epoxy compound is not a polymer and when the structural formula of the epoxy compound can be specified, the molecular weight of the epoxy compound refers to the molecular weight that can be calculated from the structural formula. When the epoxy compound is a polymer, the molecular weight refers to the weight average molecular weight.
硬化物の熱寸法安定性をより一層高める観点からは、樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記エポキシ化合物の含有量は、好ましくは15重量%以上、より好ましくは25重量%以上、好ましくは50重量%以下、より好ましくは40重量%以下である。 From the viewpoint of further improving the thermal dimensional stability of the cured product, the content of the above epoxy compound is preferably 15% by weight or more, more preferably 25% by weight or more, preferably 50% by weight or less, more preferably 40% by weight or less, based on 100% by weight of the components in the resin material excluding the inorganic filler and the solvent.
上記樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、上記エポキシ化合物の含有量は、好ましくは5重量%以上、より好ましくは7重量%以上、好ましくは15重量%以下、より好ましくは12重量%以下である。上記エポキシ化合物の含有量が上記下限以上であると、硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。上記エポキシ化合物の含有量が上記上限以下であると、硬化物の誘電正接一層低くすることができる。 The content of the epoxy compound is preferably 5% by weight or more, more preferably 7% by weight or more, and preferably 15% by weight or less, more preferably 12% by weight or less, based on 100% by weight of the components in the resin material excluding the solvent. When the content of the epoxy compound is equal to or more than the lower limit, the thermal dimensional stability of the cured product can be further improved. When the content of the epoxy compound is equal to or less than the upper limit, the dielectric tangent of the cured product can be further reduced.
上記エポキシ化合物の含有量の、上記イミド骨格含有マレイミド化合物と後述するフェノール化合物と活性エステル化合物との合計の含有量に対する重量比(エポキシ化合物の含有量/イミド骨格含有マレイミド化合物とフェノール化合物と活性エステル化合物との合計の含有量)は、好ましくは0.1以上、より好ましくは0.3以上である。上記エポキシ化合物の含有量の、上記イミド骨格含有マレイミド化合物と後述するフェノール化合物と活性エステル化合物との合計の含有量に対する重量比(エポキシ化合物の含有量/イミド骨格含有マレイミド化合物とフェノール化合物と活性エステル化合物との合計の含有量)は、好ましくは0.9以下、より好ましくは0.8以下である。上記重量比が上記下限以上及び上記上限以下であると、誘電正接をより一層低くし、熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The weight ratio of the content of the epoxy compound to the total content of the imide skeleton-containing maleimide compound, the phenol compound, and the active ester compound described below (epoxy compound content/total content of the imide skeleton-containing maleimide compound, the phenol compound, and the active ester compound described below) is preferably 0.1 or more, more preferably 0.3 or more. The weight ratio of the content of the epoxy compound to the total content of the imide skeleton-containing maleimide compound, the phenol compound, and the active ester compound described below (epoxy compound content/total content of the imide skeleton-containing maleimide compound, the phenol compound, and the active ester compound) is preferably 0.9 or less, more preferably 0.8 or less. When the weight ratio is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the dielectric tangent can be further lowered and the thermal dimensional stability can be further improved.
<ビニル化合物>
上記ビニル化合物として、従来公知のビニル化合物を使用可能である。上記ビニル化合物は、少なくとも1個のビニル基を有する有機化合物である。上記ビニル化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
<Vinyl Compounds>
As the vinyl compound, a conventionally known vinyl compound can be used. The vinyl compound is an organic compound having at least one vinyl group. The vinyl compound may be used alone or in combination of two or more kinds.
上記ビニル化合物としては、ジビニルベンジルエーテル化合物等が挙げられる。 Examples of the vinyl compounds include divinylbenzyl ether compounds.
上記樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記ビニル化合物の含有量は、好ましくは5重量%以上、より好ましくは10重量%以上、好ましくは80重量%以下、より好ましくは70重量%以下である。上記ビニル化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The content of the vinyl compound is preferably 5% by weight or more, more preferably 10% by weight or more, and preferably 80% by weight or less, more preferably 70% by weight or less, based on 100% by weight of the components in the resin material excluding the inorganic filler and the solvent. When the content of the vinyl compound is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the thermal dimensional stability of the cured product can be further improved.
<ベンゾオキサジン化合物>
上記ベンゾオキサジン化合物としては、P-d型ベンゾオキサジン、及びF-a型ベンゾオキサジン等が挙げられる。
<Benzoxazine Compound>
Examples of the benzoxazine compound include Pd type benzoxazine and Fa type benzoxazine.
上記ベンゾオキサジン化合物の市販品としては、四国化成工業社製「P-d型」等が挙げられる。 Commercially available products of the above benzoxazine compounds include "P-d type" manufactured by Shikoku Chemical Industry Co., Ltd.
上記樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記ベンゾオキサジン化合物の含有量は、好ましくは1重量%以上、より好ましくは5重量%以上、更に好ましくは10重量%以上、好ましくは70重量%以下、より好ましくは60重量%以下である。上記ベンゾオキサジン化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The content of the benzoxazine compound in the resin material (100% by weight, excluding inorganic fillers and solvents) is preferably 1% by weight or more, more preferably 5% by weight or more, even more preferably 10% by weight or more, preferably 70% by weight or less, and more preferably 60% by weight or less. When the content of the benzoxazine compound is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the thermal dimensional stability of the cured product can be further improved.
[イミド骨格含有マレイミド化合物]
本発明に係る樹脂材料は、イミド骨格含有マレイミド化合物を含む。上記イミド骨格含有マレイミド化合物は、1個以上のマレイミド骨格及び2個以上のイミド骨格を有し、かつ上記熱硬化性化合物と反応可能な官能基を少なくとも1個有するマレイミド化合物である。上記イミド骨格含有マレイミド化合物は、マレイミド骨格を1個以上有しかつイミド骨格を2個以上有する。上記マレイミド骨格及び上記イミド骨格はそれぞれ、イミド骨格含有マレイミド化合物において、部分骨格として存在する。上記イミド骨格含有マレイミド化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Maleimide compound containing an imide skeleton]
The resin material according to the present invention includes an imide skeleton-containing maleimide compound. The imide skeleton-containing maleimide compound is a maleimide compound having one or more maleimide skeletons and two or more imide skeletons, and having at least one functional group capable of reacting with the thermosetting compound. The imide skeleton-containing maleimide compound has one or more maleimide skeletons and two or more imide skeletons. The maleimide skeleton and the imide skeleton each exist as a partial skeleton in the imide skeleton-containing maleimide compound. Only one type of the imide skeleton-containing maleimide compound may be used, or two or more types may be used in combination.
上記イミド骨格含有マレイミド化合物は、熱硬化性化合物である。 The above imide skeleton-containing maleimide compound is a thermosetting compound.
上記の1)~5)の効果を全て発揮させる観点から、上記イミド骨格含有マレイミド化合物における上記マレイミド骨格の数は、1個以上である。 In order to achieve all of the above effects 1) to 5), the number of the maleimide skeletons in the imide skeleton-containing maleimide compound is 1 or more.
上記イミド骨格含有マレイミド化合物における上記マレイミド骨格の数は、好ましくは2個以上、好ましくは25個以下、より好ましくは10個以下、更に好ましくは5個以下である。上記マレイミド骨格の数が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の誘電正接をより一層低くすることができ、かつ硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。なお、上記イミド骨格含有マレイミド化合物における上記マレイミド骨格の数は1個であってもよい。 The number of the maleimide skeletons in the imide skeleton-containing maleimide compound is preferably 2 or more, preferably 25 or less, more preferably 10 or less, and even more preferably 5 or less. When the number of the maleimide skeletons is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the dielectric tangent of the cured product can be further reduced, and the thermal dimensional stability of the cured product can be further improved. The number of the maleimide skeletons in the imide skeleton-containing maleimide compound may be 1.
上記イミド骨格含有マレイミド化合物は、2個以上のマレイミド骨格を有し、かつ末端に上記マレイミド骨格を有することが好ましい。上記イミド骨格含有マレイミド化合物は、主鎖の両末端に、上記マレイミド骨格を有することが好ましい。 The imide skeleton-containing maleimide compound preferably has two or more maleimide skeletons and has the maleimide skeleton at the terminal. The imide skeleton-containing maleimide compound preferably has the maleimide skeleton at both terminals of the main chain.
上記の1)~5)の効果を全て発揮させる観点から、上記イミド骨格含有マレイミド化合物における上記イミド骨格の数は、2個以上である。 In order to achieve all of the above effects 1) to 5), the number of imide skeletons in the imide skeleton-containing maleimide compound is two or more.
上記イミド骨格含有マレイミド化合物における上記イミド骨格の数は、好ましくは3個以上、好ましくは25個以下、より好ましくは15個以下である。上記イミド骨格の数が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の誘電正接をより一層低くすることができ、かつ硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。なお、上記イミド骨格含有マレイミド化合物における上記イミド骨格の数は2個であってもよい。 The number of the imide skeletons in the imide skeleton-containing maleimide compound is preferably 3 or more, preferably 25 or less, and more preferably 15 or less. When the number of the imide skeletons is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the dielectric tangent of the cured product can be further reduced, and the thermal dimensional stability of the cured product can be further improved. The number of the imide skeletons in the imide skeleton-containing maleimide compound may be 2.
上記イミド骨格含有マレイミド化合物において、上記マレイミド骨格の数と上記イミド骨格の数とは同一であってもよく、異なっていてもよい。 In the above imide skeleton-containing maleimide compound, the number of the maleimide skeletons and the number of the imide skeletons may be the same or different.
硬化物の誘電正接をより一層低くする観点及び硬化物の熱寸法安定性をより一層高める観点からは、上記イミド骨格含有マレイミド化合物における上記マレイミド骨格の数と、上記イミド骨格の数とは同一であるか、又は、上記イミド骨格の数が上記マレイミド骨格の数よりも多いことが好ましい。 From the viewpoint of further lowering the dielectric tangent of the cured product and further increasing the thermal dimensional stability of the cured product, it is preferable that the number of the maleimide skeletons in the imide skeleton-containing maleimide compound is the same as the number of the imide skeletons, or that the number of the imide skeletons is greater than the number of the maleimide skeletons.
硬化反応を良好に進行させる観点、硬化物の誘電正接を低くする観点及び硬化物の熱寸法安定性を高める観点から、上記イミド骨格含有マレイミド化合物は、複数の上記イミド骨格の間に位置する骨格中に、上記熱硬化性化合物と反応可能な官能基を少なくとも1つ有することが好ましい。 From the viewpoint of smoothly progressing the curing reaction, lowering the dielectric tangent of the cured product, and increasing the thermal dimensional stability of the cured product, it is preferable that the imide skeleton-containing maleimide compound has at least one functional group capable of reacting with the thermosetting compound in the skeleton located between the multiple imide skeletons.
上記イミド骨格含有マレイミド化合物における上記熱硬化性化合物と反応可能な上記官能基は、ビニル基、フェノール性水酸基、又は活性エステル基であることが好ましく、フェノール性水酸基であることがより好ましい。上記樹脂材料がエポキシ化合物を含む場合に、フェノール性水酸基を有する化合物を用いることで、硬化反応が十分に進行しやすくなる場合がある。 The functional group in the imide skeleton-containing maleimide compound that can react with the thermosetting compound is preferably a vinyl group, a phenolic hydroxyl group, or an active ester group, and more preferably a phenolic hydroxyl group. When the resin material contains an epoxy compound, the use of a compound having a phenolic hydroxyl group may facilitate the curing reaction to proceed sufficiently.
上記活性エステル基とは、例えば、下記式(10A)で表される基である。 The active ester group is, for example, a group represented by the following formula (10A):
上記式(10A)中、R1は、脂肪族鎖、脂肪族環又は芳香族環を表し、R2は、芳香族環を表す。 In the above formula (10A), R1 represents an aliphatic chain, an aliphatic ring, or an aromatic ring, and R2 represents an aromatic ring.
上記熱硬化性化合物が上記マレイミド化合物Xである場合には、上記イミド骨格含有マレイミド化合物における上記熱硬化性化合物と反応可能な上記官能基は、ビニル基又はベンゾオキサジン基であることが好ましい。 When the thermosetting compound is the maleimide compound X, the functional group in the imide skeleton-containing maleimide compound capable of reacting with the thermosetting compound is preferably a vinyl group or a benzoxazine group.
上記熱硬化性化合物が上記エポキシ化合物である場合には、上記イミド骨格含有マレイミド化合物における上記熱硬化性化合物と反応可能な上記官能基は、フェノール性水酸基、活性エステル基又はベンゾオキサジン基であることが好ましい。上記イミド骨格含有マレイミド化合物における上記熱硬化性化合物と反応可能な上記官能基は、フェノール性水酸基又はベンゾオキサジン基であってもよい。 When the thermosetting compound is the epoxy compound, the functional group in the imide skeleton-containing maleimide compound that can react with the thermosetting compound is preferably a phenolic hydroxyl group, an active ester group, or a benzoxazine group. The functional group in the imide skeleton-containing maleimide compound that can react with the thermosetting compound may be a phenolic hydroxyl group or a benzoxazine group.
上記熱硬化性化合物が上記ビニル化合物である場合には、上記イミド骨格含有マレイミド化合物における上記熱硬化性化合物と反応可能な上記官能基は、ビニル基であることが好ましい。 When the thermosetting compound is a vinyl compound, the functional group in the imide skeleton-containing maleimide compound that can react with the thermosetting compound is preferably a vinyl group.
上記イミド骨格含有マレイミド化合物における上記熱硬化性化合物と反応可能な上記官能基の数は、好ましくは1個以上、より好ましくは2個以上、好ましくは15個以下、より好ましくは10個以下である。 The number of functional groups in the imide skeleton-containing maleimide compound that can react with the thermosetting compound is preferably 1 or more, more preferably 2 or more, and preferably 15 or less, more preferably 10 or less.
上記イミド骨格含有マレイミド化合物は、ダイマージアミンに由来する骨格又はトリマートリアミンに由来する骨格を有することが好ましく、ダイマージアミンに由来する骨格を有することがより好ましい。上記ダイマージアミンに由来する骨格又は上記トリマートリアミンに由来する骨格は、柔軟性を有する骨格である。そのため、上記イミド骨格含有マレイミド化合物が、上記ダイマージアミンに由来する骨格又は上記トリマートリアミンに由来する骨格を有する場合には、マレイミド基の反応性を高めることができ、硬化反応を十分に進行させることができる。その結果、硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができ、また、絶縁層と金属層との密着性をより一層高めることができる。 The imide skeleton-containing maleimide compound preferably has a skeleton derived from a dimer diamine or a skeleton derived from a trimer triamine, and more preferably has a skeleton derived from a dimer diamine. The skeleton derived from the dimer diamine or the skeleton derived from the trimer triamine is a flexible skeleton. Therefore, when the imide skeleton-containing maleimide compound has a skeleton derived from the dimer diamine or the skeleton derived from the trimer triamine, the reactivity of the maleimide group can be increased and the curing reaction can be sufficiently advanced. As a result, the thermal dimensional stability of the cured product can be further improved, and the adhesion between the insulating layer and the metal layer can be further improved.
硬化物の熱寸法安定性をより一層高める観点及び絶縁層と金属層との密着性をより一層高める観点からは、上記イミド骨格含有マレイミド化合物における上記ダイマージアミンに由来する骨格の数は、好ましくは1個以上、より好ましくは2個以上、好ましくは25個以下、より好ましくは10個以下である。 From the viewpoint of further increasing the thermal dimensional stability of the cured product and further increasing the adhesion between the insulating layer and the metal layer, the number of skeletons derived from the dimer diamine in the imide skeleton-containing maleimide compound is preferably 1 or more, more preferably 2 or more, and preferably 25 or less, more preferably 10 or less.
硬化物の熱寸法安定性をより一層高める観点からは、上記イミド骨格含有マレイミド化合物において、全てのジアミン化合物に由来する骨格100モル%中、上記ダイマージアミンに由来する骨格の割合は、好ましくは10モル%以上、より好ましくは20モル%以上、好ましくは50モル%以下、より好ましくは40モル%以下である。 From the viewpoint of further enhancing the thermal dimensional stability of the cured product, in the above imide skeleton-containing maleimide compound, the proportion of the skeleton derived from the above dimer diamine out of 100 mol % of skeletons derived from all diamine compounds is preferably 10 mol % or more, more preferably 20 mol % or more, preferably 50 mol % or less, more preferably 40 mol % or less.
上記イミド骨格含有マレイミド化合物において、上記ダイマージアミンに由来する骨格は、該イミド骨格含有マレイミド化合物の上記末端における上記マレイミド骨格と直接結合していることが好ましい。より具体的には、上記ダイマージアミンに由来する骨格における窒素原子の内の1個は、上記末端における上記マレイミド骨格における窒素原子であることが好ましい。この場合には、マレイミド基の反応性をより一層高めることができ、硬化反応を十分に進行させることができる。その結果、硬化物の熱寸法安定性を更により一層高めることができ、また、絶縁層と金属層との密着性を更により一層高めることができる。 In the imide skeleton-containing maleimide compound, the skeleton derived from the dimer diamine is preferably directly bonded to the maleimide skeleton at the end of the imide skeleton-containing maleimide compound. More specifically, one of the nitrogen atoms in the skeleton derived from the dimer diamine is preferably a nitrogen atom in the maleimide skeleton at the end. In this case, the reactivity of the maleimide group can be further increased, and the curing reaction can be sufficiently promoted. As a result, the thermal dimensional stability of the cured product can be further increased, and the adhesion between the insulating layer and the metal layer can be further increased.
なお、上記イミド骨格含有マレイミド化合物において、全ての上記マレイミド骨格が、上記ダイマージアミンに由来する骨格と直接結合していてもよく、直接結合していなくてもよい。 In the imide skeleton-containing maleimide compound, all of the maleimide skeletons may or may not be directly bonded to the skeleton derived from the dimer diamine.
上記イミド骨格含有マレイミド化合物における上記マレイミド骨格の数と、上記ダイマージアミンに由来する骨格の数とは、同一であってもよく、異なっていてもよい。 The number of the maleimide skeletons in the imide skeleton-containing maleimide compound and the number of skeletons derived from the dimer diamine may be the same or different.
硬化物の熱寸法安定性をより一層高める観点からは、上記イミド骨格含有マレイミド化合物における上記イミド骨格の数が、上記ダイマージアミンに由来する骨格の数よりも少ないことが好ましい。 From the viewpoint of further improving the thermal dimensional stability of the cured product, it is preferable that the number of imide skeletons in the imide skeleton-containing maleimide compound is smaller than the number of skeletons derived from the dimer diamine.
上記イミド骨格含有マレイミド化合物において、上記トリマートリアミンに由来する骨格は、該イミド骨格含有マレイミド化合物の上記マレイミド骨格と直接結合していることが好ましい。より具体的には、上記トリマートリアミンに由来する骨格における窒素原子の内の1個は、上記末端における上記マレイミド骨格における窒素原子であることが好ましい。この場合には、マレイミド基の反応性をより一層高めることができ、硬化反応を十分に進行させることができる。その結果、硬化物の熱寸法安定性を更により一層高めることができ、また、絶縁層と金属層との密着性を更により一層高めることができる。 In the imide skeleton-containing maleimide compound, the skeleton derived from the trimer triamine is preferably directly bonded to the maleimide skeleton of the imide skeleton-containing maleimide compound. More specifically, one of the nitrogen atoms in the skeleton derived from the trimer triamine is preferably a nitrogen atom in the maleimide skeleton at the terminal. In this case, the reactivity of the maleimide group can be further increased, and the curing reaction can be sufficiently advanced. As a result, the thermal dimensional stability of the cured product can be further increased, and the adhesion between the insulating layer and the metal layer can be further increased.
なお、上記イミド骨格含有マレイミド化合物において、全ての上記マレイミド骨格が、上記トリマートリアミンに由来する骨格と直接結合していなくてもよい。 In the imide skeleton-containing maleimide compound, all of the maleimide skeletons do not have to be directly bonded to the skeleton derived from the trimer triamine.
上記イミド骨格含有マレイミド化合物における上記マレイミド骨格の数と、上記トリマートリアミンに由来する骨格の数とは、同一であってもよく、異なっていてもよい。 The number of the maleimide skeletons in the imide skeleton-containing maleimide compound and the number of skeletons derived from the trimer triamine may be the same or different.
硬化物の熱寸法安定性をより一層高める観点からは、上記イミド骨格含有マレイミド化合物における上記イミド骨格の数と、上記トリマートリアミンに由来する骨格の数とは同じであるか、又は、上記イミド骨格の数が上記トリマートリアミンに由来する骨格の数よりも多いことが好ましい。 From the viewpoint of further enhancing the thermal dimensional stability of the cured product, it is preferable that the number of the imide skeletons in the imide skeleton-containing maleimide compound is the same as the number of skeletons derived from the trimer triamine, or that the number of the imide skeletons is greater than the number of skeletons derived from the trimer triamine.
上記イミド骨格含有マレイミド化合物は、上記ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格を有していてもよく、上記トリマートリアミン以外のトリアミン化合物に由来する骨格を有していてもよい。 The imide skeleton-containing maleimide compound may have a skeleton derived from a diamine compound other than the dimer diamine, or may have a skeleton derived from a triamine compound other than the trimer triamine.
本発明の効果を効果的に発揮させる観点からは、上記イミド骨格含有マレイミド化合物は、ダイマージアミンと酸二無水物との反応物に由来する骨格を有することが好ましい。なお、上記ダイマージアミンと酸二無水物との反応物に由来する骨格は、上記ダイマージアミンに由来する骨格を有する。 From the viewpoint of effectively exerting the effects of the present invention, it is preferable that the imide skeleton-containing maleimide compound has a skeleton derived from a reaction product of dimer diamine and acid dianhydride. The skeleton derived from the reaction product of dimer diamine and acid dianhydride has a skeleton derived from the dimer diamine.
本発明の効果を効果的に発揮させる観点からは、上記イミド骨格含有マレイミド化合物は、上記ダイマージアミン以外のジアミン化合物と酸二無水物との反応物に由来する骨格を有することが好ましい。なお、上記ダイマージアミン以外のジアミンと酸二無水物との反応物に由来する骨格は、上記ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格を有する。 From the viewpoint of effectively exerting the effects of the present invention, it is preferable that the imide skeleton-containing maleimide compound has a skeleton derived from a reaction product of a diamine compound other than the dimer diamine and an acid dianhydride. The skeleton derived from a reaction product of a diamine compound other than the dimer diamine and an acid dianhydride has a skeleton derived from a diamine compound other than the dimer diamine.
上記イミド骨格含有マレイミド化合物は、上記ダイマージアミン以外のジアミンと酸二無水物との反応物に由来する骨格において、上記熱硬化性化合物と反応可能な上記官能基を有することが好ましい。 The imide skeleton-containing maleimide compound preferably has the functional group capable of reacting with the thermosetting compound in the skeleton derived from the reaction product of the diamine other than the dimer diamine and the acid dianhydride.
上記熱硬化性化合物と反応可能な上記官能基は、ジアミン及び酸二無水物の内の少なくとも一方に由来する基であってもよい。 The functional group capable of reacting with the thermosetting compound may be a group derived from at least one of a diamine and an acid dianhydride.
上記イミド骨格含有マレイミド化合物は、例えば以下のようにして合成することができる。 The above imide skeleton-containing maleimide compound can be synthesized, for example, as follows.
テトラカルボン酸二無水物等の酸二無水物と、ダイマージアミンと、2,2-ビス(3-アミノ-4-ヒドロキシフェニル)プロパンとを反応させて第1の反応物を得る。得られた第1の反応物と無水マレイン酸とを反応させる。 An acid dianhydride such as tetracarboxylic dianhydride, dimer diamine, and 2,2-bis(3-amino-4-hydroxyphenyl)propane are reacted to obtain a first reactant. The obtained first reactant is reacted with maleic anhydride.
上記テトラカルボン酸二無水物としては、例えば、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ビフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ジメチルジフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-テトラフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4-フランテトラカルボン酸二無水物、4,4’-ビス(3,4-ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスルフィド二無水物、4,4’-ビス(3,4-ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスルホン二無水物、4,4’-ビス(3,4-ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルプロパン二無水物、3,3’,4,4’-パーフルオロイソプロピリデンジフタル酸二無水物、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビス(フタル酸)フェニルホスフィンオキサイド二無水物、p-フェニレン-ビス(トリフェニルフタル酸)二無水物、m-フェニレン-ビス(トリフェニルフタル酸)二無水物、ビス(トリフェニルフタル酸)-4,4’-ジフェニルエーテル二無水物、及びビス(トリフェニルフタル酸)-4,4’-ジフェニルメタン二無水物等が挙げられる。 Examples of the tetracarboxylic dianhydride include pyromellitic dianhydride, 3,3',4,4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-biphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-biphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-dimethyldiphenylsilane tetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-tetraphenylsilane tetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-furan tetracarboxylic dianhydride, 4,4'-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)diphenylsulfonyl tetracarboxylic dianhydride, and 4,4'-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)diphenylsulfonyl tetracarboxylic dianhydride. dianhydride, 4,4'-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)diphenylsulfone dianhydride, 4,4'-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)diphenylpropane dianhydride, 3,3',4,4'-perfluoroisopropylidenediphthalic dianhydride, 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, bis(phthalic acid)phenylphosphine oxide dianhydride, p-phenylene-bis(triphenylphthalic acid) dianhydride, m-phenylene-bis(triphenylphthalic acid) dianhydride, bis(triphenylphthalic acid)-4,4'-diphenyl ether dianhydride, and bis(triphenylphthalic acid)-4,4'-diphenylmethane dianhydride are examples of such anhydrides.
上記ダイマージアミンとしては、例えば、バーサミン551(商品名、BASFジャパン社製、3,4-ビス(1-アミノヘプチル)-6-ヘキシル-5-(1-オクテニル)シクロヘキセン)、バーサミン552(商品名、コグニクスジャパン社製、バーサミン551の水添物)、並びにPRIAMINE1075、及びPRIAMINE1074(商品名、いずれもクローダジャパン社製)等が挙げられる。 Examples of the dimer diamine include VERSAMINE 551 (product name, manufactured by BASF Japan, 3,4-bis(1-aminoheptyl)-6-hexyl-5-(1-octenyl)cyclohexene), VERSAMINE 552 (product name, manufactured by Cognix Japan, hydrogenated VERSAMINE 551), and PRIAMINE 1075 and PRIAMINE 1074 (product names, both manufactured by Croda Japan).
上記トリマートリアミンとしては、例えば、PRIAMINE1071(商品名、クローダジャパン社製)等が挙げられる。ただし、PRIAMINE1071は、トリアミン成分を約20質量%~25質量%で含むため、比率を考慮して反応に用いる必要がある。 An example of the trimer triamine is PRIAMINE 1071 (product name, manufactured by Croda Japan). However, since PRIAMINE 1071 contains approximately 20% to 25% by mass of triamine components, it is necessary to take the ratio into consideration when using it in the reaction.
上記ダイマージアミン以外のジアミン化合物としては、1,3-ビス(アミノメチル)シクロヘキサン、1,4-ビス(アミノメチル)シクロヘキサン、ビス(アミノメチル)ノルボルナン、3(4),8(9)-ビス(アミノメチル)トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン、1,1-ビス(4-アミノフェニル)シクロヘキサン、1,3-シクロヘキサンジアミン、1,4-シクロヘキサンジアミン、2,7-ジアミノフルオレン、4,4’-エチレンジアニリン、イソホロンジアミン、4,4’-メチレンビス(シクロヘキシルアミン)、4,4’-メチレンビス(2,6-ジエチルアニリン)、4,4’-メチレンビス(2-エチル-6-メチルアニリン)、4,4’-メチレンビス(2-メチルシクロヘキシルアミン)、1,4-ジアミノブタン、1,10-ジアミノデカン、1,12-ジアミノドデカン、1,7-ジアミノヘプタン、1,6-ジアミノヘキサン、1,5-ジアミノペンタン、1,8-ジアミノオクタン、1,3-ジアミノプロパン、1,11-ジアミノウンデカン、及び2-メチル-1,5-ジアミノペンタン等が挙げられる。 Diamine compounds other than the above dimer diamines include 1,3-bis(aminomethyl)cyclohexane, 1,4-bis(aminomethyl)cyclohexane, bis(aminomethyl)norbornane, 3(4),8(9)-bis(aminomethyl)tricyclo[5.2.1.02,6]decane, 1,1-bis(4-aminophenyl)cyclohexane, 1,3-cyclohexanediamine, 1,4-cyclohexanediamine, 2,7-diaminofluorene, 4,4'-ethylenedianiline, isophoronediamine, 4,4'-methylenebis(cyclohe xylamine), 4,4'-methylenebis(2,6-diethylaniline), 4,4'-methylenebis(2-ethyl-6-methylaniline), 4,4'-methylenebis(2-methylcyclohexylamine), 1,4-diaminobutane, 1,10-diaminodecane, 1,12-diaminododecane, 1,7-diaminoheptane, 1,6-diaminohexane, 1,5-diaminopentane, 1,8-diaminooctane, 1,3-diaminopropane, 1,11-diaminoundecane, and 2-methyl-1,5-diaminopentane.
上記トリマートリアミン以外のトリアミン化合物としては、トリス(2-アミノエチル)アミン(東京化成工業社製)等が挙げられる。 An example of a triamine compound other than the above trimer triamine is tris(2-aminoethyl)amine (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.).
上記ダイマージアミンに由来する骨格は、脂肪族環を有するか又は有さない。上記ダイマージアミンに由来する骨格は、脂肪族環を有していてもよく、有さなくてもよい。 The skeleton derived from the dimer diamine may or may not have an aliphatic ring. The skeleton derived from the dimer diamine may or may not have an aliphatic ring.
上記ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格は、芳香族環を有するか又は有さない。上記ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格は、芳香族環を有していてもよく、有さなくてもよい。 The skeleton derived from the diamine compound other than the dimer diamine may or may not have an aromatic ring. The skeleton derived from the diamine compound other than the dimer diamine may or may not have an aromatic ring.
上記ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格は、脂肪族環を有するか又は有さない。上記ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格は、脂肪族環を有していてもよく、有さなくてもよい。 The skeleton derived from the diamine compound other than the dimer diamine may or may not have an aliphatic ring. The skeleton derived from the diamine compound other than the dimer diamine may or may not have an aliphatic ring.
上記芳香族環としては、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、テトラセン環、クリセン環、トリフェニレン環、テトラフェン環、ピレン環、ペンタセン環、ピセン環及びペリレン環等が挙げられる。 The aromatic rings include a benzene ring, a naphthalene ring, an anthracene ring, a phenanthrene ring, a tetracene ring, a chrysene ring, a triphenylene ring, a tetraphene ring, a pyrene ring, a pentacene ring, a picene ring, and a perylene ring.
上記脂肪族環としては、モノシクロアルカン環、ビシクロアルカン環、トリシクロアルカン環、テトラシクロアルカン環、及びジシクロペンタジエン等が挙げられる。 Examples of the aliphatic ring include a monocycloalkane ring, a bicycloalkane ring, a tricycloalkane ring, a tetracycloalkane ring, and a dicyclopentadiene ring.
上記イミド骨格含有マレイミド化合物の分子量は、好ましくは1000以上、より好ましくは5000以上、更に好ましくは5000を超え、特に好ましくは7500以上、最も好ましくは8000以上、好ましくは50000以下、より好ましくは25000以下、更に好ましくは18000以下、特に好ましくは15000以下である。上記イミド骨格含有マレイミド化合物の分子量が上記下限以上であると、硬化物の線膨張係数を低く抑えることができる。また、上記イミド骨格含有マレイミド化合物の分子量が50000を超えると、上記イミド骨格含有マレイミド化合物の分子量が50000以下である場合と比べて、樹脂材料の溶融粘度が高くなり、凹凸表面に対する埋め込み性が低下することがある。上記イミド骨格含有マレイミド化合物の分子量は1000以上50000以下であることが特に好ましい。 The molecular weight of the imide skeleton-containing maleimide compound is preferably 1000 or more, more preferably 5000 or more, even more preferably more than 5000, particularly preferably 7500 or more, most preferably 8000 or more, preferably 50000 or less, more preferably 25000 or less, even more preferably 18000 or less, and particularly preferably 15000 or less. When the molecular weight of the imide skeleton-containing maleimide compound is equal to or greater than the lower limit, the linear expansion coefficient of the cured product can be kept low. In addition, when the molecular weight of the imide skeleton-containing maleimide compound exceeds 50000, the melt viscosity of the resin material becomes higher than when the molecular weight of the imide skeleton-containing maleimide compound is 50000 or less, and the embeddability of the resin material in the uneven surface may decrease. It is particularly preferable that the molecular weight of the imide skeleton-containing maleimide compound is 1000 or more and 50000 or less.
上記イミド骨格含有マレイミド化合物の分子量は、上記イミド骨格含有マレイミド化合物が重合体ではない場合、及び上記イミド骨格含有マレイミド化合物の構造式が特定できる場合は、当該構造式から算出できる分子量を意味する。また、上記イミド骨格含有マレイミド化合物の分子量は、上記イミド骨格含有マレイミド化合物が重合体である場合は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を示す。 The molecular weight of the imide skeleton-containing maleimide compound means the molecular weight that can be calculated from the structural formula when the imide skeleton-containing maleimide compound is not a polymer and when the structural formula of the imide skeleton-containing maleimide compound can be specified. In addition, when the imide skeleton-containing maleimide compound is a polymer, the molecular weight of the imide skeleton-containing maleimide compound indicates the weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by gel permeation chromatography (GPC).
硬化物の熱寸法安定性をより一層高める観点、絶縁層と金属層との密着性をより一層高める観点から、上記イミド骨格含有マレイミド化合物の軟化点は、好ましくは70℃以上、より好ましくは100℃以上である。 From the viewpoint of further increasing the thermal dimensional stability of the cured product and further increasing the adhesion between the insulating layer and the metal layer, the softening point of the imide skeleton-containing maleimide compound is preferably 70°C or higher, more preferably 100°C or higher.
上記軟化点は、示差走査熱量測定装置(例えば、TA・インスツルメント社製「Q2000」を用いて、昇温速度3℃/分で-30℃から260℃まで窒素雰囲気下で加熱を行い、リバースヒートフローの変曲点から求めることができる。 The softening point can be determined from the inflection point of the reverse heat flow by heating from -30°C to 260°C at a heating rate of 3°C/min in a nitrogen atmosphere using a differential scanning calorimeter (e.g., TA Instruments' Q2000).
上記樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、イミド骨格含有マレイミド化合物の含有量は、好ましくは5重量%以上、より好ましくは10重量%以上、更に好ましくは15重量%以上、好ましくは80重量%以下、より好ましくは70重量%以下である。上記イミド骨格含有マレイミド化合物の含有量が上記下限以上であると、硬化物の誘電正接を低くしかつ絶縁層と金属層との密着性をより一層高めることができ、エッチング後の表面粗度をより一層小さくすることができる。上記イミド骨格含有マレイミド化合物の含有量が上記上限以下であると、溶融粘度を低く押させることができ、また、硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The content of the imide skeleton-containing maleimide compound in 100% by weight of the components in the resin material excluding the inorganic filler and the solvent is preferably 5% by weight or more, more preferably 10% by weight or more, even more preferably 15% by weight or more, preferably 80% by weight or less, more preferably 70% by weight or less. When the content of the imide skeleton-containing maleimide compound is equal to or more than the lower limit, the dielectric tangent of the cured product can be lowered and the adhesion between the insulating layer and the metal layer can be further improved, and the surface roughness after etching can be further reduced. When the content of the imide skeleton-containing maleimide compound is equal to or less than the upper limit, the melt viscosity can be lowered and the thermal dimensional stability of the cured product can be further improved.
[無機充填材]
上記樹脂材料は、無機充填材を含むことが好ましい。上記無機充填材の使用により、硬化物の誘電正接をより一層低くすることができる。また、上記無機充填材の使用により、硬化物の熱による寸法変化がより一層小さくなる。上記無機充填材は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Inorganic filler]
The resin material preferably contains an inorganic filler. By using the inorganic filler, the dielectric tangent of the cured product can be further reduced. In addition, by using the inorganic filler, the dimensional change of the cured product due to heat can be further reduced. The inorganic filler may be used alone or in combination of two or more kinds.
上記無機充填材としては、シリカ、タルク、クレイ、マイカ、ハイドロタルサイト、アルミナ、酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、及び窒化ホウ素等が挙げられる。 Examples of the inorganic fillers include silica, talc, clay, mica, hydrotalcite, alumina, magnesium oxide, aluminum hydroxide, aluminum nitride, and boron nitride.
硬化物の表面の表面粗さを小さくし、硬化物と金属層との接着強度をより一層高くし、かつ硬化物の表面により一層微細な配線を形成し、かつ硬化物により良好な絶縁信頼性を付与する観点からは、上記無機充填材は、シリカ又はアルミナであることが好ましく、シリカであることがより好ましく、溶融シリカであることが更に好ましい。シリカの使用により、硬化物の熱膨張率がより一層低くなり、また、硬化物の誘電正接がより一層低くなる。また、シリカの使用により、硬化物の表面の表面粗さが効果的に小さくなり、硬化物と金属層との接着強度が効果的に高くなる。シリカの形状は球状であることが好ましい。 From the viewpoint of reducing the surface roughness of the cured product, further increasing the adhesive strength between the cured product and the metal layer, forming finer wiring on the surface of the cured product, and imparting better insulation reliability to the cured product, the inorganic filler is preferably silica or alumina, more preferably silica, and even more preferably fused silica. By using silica, the thermal expansion coefficient of the cured product is further reduced, and the dielectric tangent of the cured product is further reduced. In addition, by using silica, the surface roughness of the cured product is effectively reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is effectively increased. The silica is preferably spherical in shape.
硬化環境によらず、樹脂の硬化を進め、硬化物のガラス転移温度を効果的に高くし、硬化物の熱線膨張係数を効果的に小さくする観点からは、上記無機充填材は球状シリカであることが好ましい。 From the viewpoint of promoting resin curing regardless of the curing environment, effectively increasing the glass transition temperature of the cured product, and effectively reducing the coefficient of linear thermal expansion of the cured product, it is preferable that the inorganic filler be spherical silica.
上記無機充填材の平均粒径は、好ましくは50nm以上、より好ましくは100nm以上、更に好ましくは500nm以上、好ましくは5μm以下、より好ましくは3μm以下、更に好ましくは1μm以下である。上記無機充填材の平均粒径が上記下限以上及び上記上限以下であると、エッチング後の表面粗度を小さくし、かつメッキピール強度を高くすることができ、また、絶縁層と金属層との密着性をより一層高めることができる。 The average particle size of the inorganic filler is preferably 50 nm or more, more preferably 100 nm or more, even more preferably 500 nm or more, and preferably 5 μm or less, more preferably 3 μm or less, and even more preferably 1 μm or less. When the average particle size of the inorganic filler is equal to or greater than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the surface roughness after etching can be reduced and the plating peel strength can be increased, and the adhesion between the insulating layer and the metal layer can be further improved.
上記無機充填材の平均粒径として、50%となるメディアン径(d50)の値が採用される。上記平均粒径は、レーザー回折散乱方式の粒度分布測定装置を用いて測定可能である。 The median diameter (d50) at 50% is used as the average particle size of the inorganic filler. The average particle size can be measured using a laser diffraction scattering particle size distribution measuring device.
上記無機充填材は、球状であることが好ましく、球状シリカであることがより好ましい。この場合には、硬化物の表面の表面粗さが効果的に小さくなり、更に硬化物と金属層との接着強度が効果的に高くなる。上記無機充填材が球状である場合には、上記無機充填材のアスペクト比は好ましくは2以下、より好ましくは1.5以下である。 The inorganic filler is preferably spherical, and more preferably spherical silica. In this case, the surface roughness of the cured product is effectively reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is effectively increased. When the inorganic filler is spherical, the aspect ratio of the inorganic filler is preferably 2 or less, and more preferably 1.5 or less.
上記無機充填材は、表面処理されていることが好ましく、カップリング剤による表面処理物であることがより好ましく、シランカップリング剤による表面処理物であることが更に好ましい。上記無機充填材が表面処理されていることにより、粗化硬化物の表面の表面粗さがより一層小さくなり、硬化物と金属層との接着強度がより一層高くなる。また、上記無機充填材が表面処理されていることにより、硬化物の表面により一層微細な配線を形成することができ、かつより一層良好な配線間絶縁信頼性及び層間絶縁信頼性を硬化物に付与することができる。 The inorganic filler is preferably surface-treated, more preferably surface-treated with a coupling agent, and even more preferably surface-treated with a silane coupling agent. By surface-treating the inorganic filler, the surface roughness of the roughened cured product is further reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is further increased. In addition, by surface-treating the inorganic filler, finer wiring can be formed on the surface of the cured product, and better inter-wiring insulation reliability and inter-layer insulation reliability can be imparted to the cured product.
上記カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタンカップリング剤及びアルミニウムカップリング剤等が挙げられる。上記シランカップリング剤としては、メタクリルシラン、アクリルシラン、アミノシラン、イミダゾールシラン、ビニルシラン、及びエポキシシラン等が挙げられる。 Examples of the coupling agent include silane coupling agents, titanium coupling agents, and aluminum coupling agents. Examples of the silane coupling agent include methacrylsilane, acrylic silane, amino silane, imidazole silane, vinyl silane, and epoxy silane.
樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、上記無機充填材の含有量は、好ましくは50重量%以上、より好ましくは60重量%以上、更に好ましくは65重量%以上、特に好ましくは68重量%以上、好ましくは90重量%以下、より好ましくは85重量%以下、更に好ましくは80重量%以下、特に好ましくは75重量%以下である。上記無機充填材の含有量が上記下限以上であると、誘電正接が効果的に低くなる。上記無機充填材の含有量が上記上限以下であると、熱寸法安定性を高め、硬化物の反りを効果的に抑えることができる。上記無機充填材の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の表面の表面粗さをより一層小さくすることができ、かつ硬化物の表面により一層微細な配線を形成することができる。さらに、この無機充填材の含有量であれば、硬化物の熱膨張率を低くすることと同時に、スミア除去性を良好にすることも可能である。 The content of the inorganic filler is preferably 50% by weight or more, more preferably 60% by weight or more, even more preferably 65% by weight or more, particularly preferably 68% by weight or more, preferably 90% by weight or less, more preferably 85% by weight or less, even more preferably 80% by weight or less, and particularly preferably 75% by weight or less, out of 100% by weight of the components in the resin material excluding the solvent. When the content of the inorganic filler is equal to or greater than the lower limit, the dielectric tangent is effectively lowered. When the content of the inorganic filler is equal to or less than the upper limit, the thermal dimensional stability is improved and the warping of the cured product can be effectively suppressed. When the content of the inorganic filler is equal to or greater than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the surface roughness of the cured product can be further reduced, and finer wiring can be formed on the surface of the cured product. Furthermore, with this content of the inorganic filler, it is possible to lower the thermal expansion coefficient of the cured product and at the same time improve the smear removal properties.
[硬化剤]
上記樹脂材料は、硬化剤を含むことが好ましい。上記硬化剤は特に限定されない。上記硬化剤として、従来公知の硬化剤を使用可能である。上記硬化剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Curing agent]
The resin material preferably contains a curing agent. The curing agent is not particularly limited. A conventionally known curing agent can be used as the curing agent. The curing agent may be used alone or in combination of two or more kinds.
上記硬化剤としては、フェノール化合物(フェノール硬化剤)、活性エステル化合物、アミン化合物(アミン硬化剤)、チオール化合物(チオール硬化剤)、イミダゾール化合物、ホスフィン化合物、ジシアンジアミド、及び酸無水物等が挙げられる。上記硬化剤は、上記エポキシ化合物のエポキシ基と反応可能な官能基を有することが好ましい。 The curing agent may be a phenol compound (phenol curing agent), an active ester compound, an amine compound (amine curing agent), a thiol compound (thiol curing agent), an imidazole compound, a phosphine compound, dicyandiamide, or an acid anhydride. The curing agent preferably has a functional group capable of reacting with the epoxy group of the epoxy compound.
熱寸法安定性をより一層高める観点から、上記硬化剤は、フェノール化合物、活性エステル化合物、シアネートエステル化合物、カルボジイミド化合物及び酸無水物の内の少なくとも1種の成分を含むことが好ましい。熱寸法安定性をより一層高める観点から、上記硬化剤は、フェノール化合物、活性エステル化合物、シアネートエステル化合物、及びカルボジイミド化合物の内の少なくとも1種の成分を含むことがより好ましく、フェノール化合物と活性エステル化合物との双方を含むことが更に好ましい。 From the viewpoint of further improving the thermal dimensional stability, it is preferable that the curing agent contains at least one component selected from the group consisting of a phenolic compound, an active ester compound, a cyanate ester compound, a carbodiimide compound, and an acid anhydride. From the viewpoint of further improving the thermal dimensional stability, it is more preferable that the curing agent contains at least one component selected from the group consisting of a phenolic compound, an active ester compound, a cyanate ester compound, and a carbodiimide compound, and it is even more preferable that the curing agent contains both a phenolic compound and an active ester compound.
熱寸法安定性をより一層高める観点から、上記熱硬化性化合物がエポキシ化合物を含み、上記硬化剤が活性エステル化合物とフェノール化合物との双方を含むことが好ましい。 From the viewpoint of further improving thermal dimensional stability, it is preferable that the thermosetting compound contains an epoxy compound and the curing agent contains both an active ester compound and a phenol compound.
上記フェノール化合物としては、ノボラック型フェノール、ビフェノール型フェノール、ナフタレン型フェノール、ジシクロペンタジエン型フェノール、アラルキル型フェノール及びジシクロペンタジエン型フェノール等が挙げられる。 Examples of the phenolic compounds include novolac-type phenols, biphenol-type phenols, naphthalene-type phenols, dicyclopentadiene-type phenols, aralkyl-type phenols, and dicyclopentadiene-type phenols.
上記フェノール化合物の市販品としては、ノボラック型フェノール(DIC社製「TD-2091」)、ビフェニルノボラック型フェノール(明和化成社製「MEH-7851」)、アラルキル型フェノール化合物(明和化成社製「MEH-7800」)、並びにアミノトリアジン骨格を有するフェノール(DIC社製「LA-1356」及び「LA-3018-50P」)等が挙げられる。 Commercially available products of the above phenol compounds include novolac type phenols (DIC Corporation's "TD-2091"), biphenyl novolac type phenols (Meiwa Chemical Industry Co., Ltd.'s "MEH-7851"), aralkyl type phenol compounds (Meiwa Chemical Industry Co., Ltd.'s "MEH-7800"), and phenols having an aminotriazine skeleton (DIC Corporation's "LA-1356" and "LA-3018-50P").
上記活性エステル化合物とは、構造体中にエステル結合を少なくとも1つ含み、かつ、エステル結合の両側に脂肪族鎖、脂肪族環又は芳香族環が結合している化合物をいう。活性エステル化合物は、例えばカルボン酸化合物又はチオカルボン酸化合物と、ヒドロキシ化合物又はチオール化合物との縮合反応によって得られる。活性エステル化合物の例としては、下記式(1)で表される化合物が挙げられる。 The above-mentioned active ester compound refers to a compound that contains at least one ester bond in the structure and has an aliphatic chain, an aliphatic ring, or an aromatic ring bonded to both sides of the ester bond. The active ester compound is obtained, for example, by a condensation reaction between a carboxylic acid compound or a thiocarboxylic acid compound and a hydroxy compound or a thiol compound. An example of an active ester compound is a compound represented by the following formula (1).
上記式(1)中、X1は、脂肪族鎖を含む基、脂肪族環を含む基又は芳香族環を含む基を表し、X2は、芳香族環を含む基を表す。上記芳香族環を含む基の好ましい例としては、置換基を有していてもよいベンゼン環、及び置換基を有していてもよいナフタレン環等が挙げられる。上記置換基としては、炭化水素基が挙げられる。該炭化水素基の炭素数は、好ましくは12以下、より好ましくは6以下、更に好ましくは4以下である。 In the above formula (1), X1 represents a group containing an aliphatic chain, a group containing an aliphatic ring, or a group containing an aromatic ring, and X2 represents a group containing an aromatic ring. Preferred examples of the group containing an aromatic ring include a benzene ring which may have a substituent, and a naphthalene ring which may have a substituent. Examples of the substituent include a hydrocarbon group. The number of carbon atoms in the hydrocarbon group is preferably 12 or less, more preferably 6 or less, and even more preferably 4 or less.
上記式(1)中、X1及びX2の組み合わせとしては、置換基を有していてもよいベンゼン環と、置換基を有していてもよいベンゼン環との組み合わせ、置換基を有していてもよいベンゼン環と、置換基を有していてもよいナフタレン環との組み合わせが挙げられる。さらに、上記式(1)中、X1及びX2の組み合わせとしては、置換基を有していてもよいナフタレン環と、置換基を有していてもよいナフタレン環との組み合わせが挙げられる。 In the above formula (1), examples of the combination of X1 and X2 include a combination of a benzene ring which may have a substituent and a benzene ring which may have a substituent, and a combination of a benzene ring which may have a substituent and a naphthalene ring which may have a substituent. Furthermore, in the above formula (1), examples of the combination of X1 and X2 include a combination of a naphthalene ring which may have a substituent and a naphthalene ring which may have a substituent.
上記活性エステル化合物は特に限定されない。熱寸法安定性及び難燃性をより一層高める観点からは、上記活性エステル化合物は、2個以上の芳香族骨格を有する活性エステル化合物であることが好ましい。硬化物の誘電正接を低くし、かつ硬化物の熱寸法安定性を高める観点から、活性エステル化合物の主鎖骨格中にナフタレン環を有することがより好ましい。 The active ester compound is not particularly limited. From the viewpoint of further improving the thermal dimensional stability and flame retardancy, the active ester compound is preferably an active ester compound having two or more aromatic skeletons. From the viewpoint of lowering the dielectric tangent of the cured product and improving the thermal dimensional stability of the cured product, it is more preferable that the active ester compound has a naphthalene ring in the main chain skeleton.
上記活性エステル化合物の市販品としては、DIC社製「HPC-8000-65T」、「EXB9416-70BK」及び「EXB8100-65T」等が挙げられる。 Commercially available products of the above active ester compounds include "HPC-8000-65T," "EXB9416-70BK," and "EXB8100-65T" manufactured by DIC Corporation.
上記シアネートエステル化合物としては、ノボラック型シアネートエステル樹脂、ビスフェノール型シアネートエステル樹脂、並びにこれらが一部三量化されたプレポリマー等が挙げられる。上記ノボラック型シアネートエステル樹脂としては、フェノールノボラック型シアネートエステル樹脂及びアルキルフェノール型シアネートエステル樹脂等が挙げられる。上記ビスフェノール型シアネートエステル樹脂としては、ビスフェノールA型シアネートエステル樹脂、ビスフェノールE型シアネートエステル樹脂及びテトラメチルビスフェノールF型シアネートエステル樹脂等が挙げられる。 The above cyanate ester compounds include novolac-type cyanate ester resins, bisphenol-type cyanate ester resins, and prepolymers in which these are partially trimerized. The above novolac-type cyanate ester resins include phenol novolac-type cyanate ester resins and alkylphenol-type cyanate ester resins. The above bisphenol-type cyanate ester resins include bisphenol A-type cyanate ester resins, bisphenol E-type cyanate ester resins, and tetramethylbisphenol F-type cyanate ester resins.
上記シアネートエステル化合物の市販品としては、フェノールノボラック型シアネートエステル樹脂(ロンザジャパン社製「PT-30」及び「PT-60」)、並びにビスフェノール型シアネートエステル樹脂が三量化されたプレポリマー(ロンザジャパン社製「BA-230S」、「BA-3000S」、「BTP-1000S」及び「BTP-6020S」)等が挙げられる。 Commercially available products of the above cyanate ester compounds include phenol novolac type cyanate ester resins (PT-30 and PT-60 manufactured by Lonza Japan) and prepolymers in which bisphenol type cyanate ester resins are trimerized (BA-230S, BA-3000S, BTP-1000S, and BTP-6020S manufactured by Lonza Japan).
上記樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記シアネートエステル化合物の含有量は、好ましくは10重量%以上、より好ましくは15重量%以上、更に好ましくは20重量%以上、好ましくは85重量%以下、より好ましくは75重量%以下である。上記シアネートエステル化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The content of the cyanate ester compound in 100% by weight of the components in the resin material excluding the inorganic filler and the solvent is preferably 10% by weight or more, more preferably 15% by weight or more, even more preferably 20% by weight or more, preferably 85% by weight or less, and more preferably 75% by weight or less. When the content of the cyanate ester compound is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the thermal dimensional stability of the cured product can be further improved.
上記カルボジイミド化合物は、下記式(2)で表される構造単位を有する化合物である。下記式(2)において、右端部及び左端部は、他の基との結合部位である。上記カルボジイミド化合物は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 The carbodiimide compound is a compound having a structural unit represented by the following formula (2). In the following formula (2), the right end and the left end are bonding sites with other groups. The above carbodiimide compounds may be used alone or in combination of two or more types.
上記式(2)中、Xは、アルキレン基、アルキレン基に置換基が結合した基、シクロアルキレン基、シクロアルキレン基に置換基が結合した基、アリーレン基、又はアリーレン基に置換基が結合した基を表し、pは1~5の整数を表す。Xが複数存在する場合、複数のXは同一であってもよく、異なっていてもよい。 In the above formula (2), X represents an alkylene group, a group in which a substituent is bonded to an alkylene group, a cycloalkylene group, a group in which a substituent is bonded to a cycloalkylene group, an arylene group, or a group in which a substituent is bonded to an arylene group, and p represents an integer of 1 to 5. When there are multiple Xs, the multiple Xs may be the same or different.
好適な一つの形態において、少なくとも1つのXは、アルキレン基、アルキレン基に置換基が結合した基、シクロアルキレン基、又はシクロアルキレン基に置換基が結合した基である。 In one preferred embodiment, at least one X is an alkylene group, a group in which a substituent is bonded to an alkylene group, a cycloalkylene group, or a group in which a substituent is bonded to a cycloalkylene group.
上記カルボジイミド化合物の市販品としては、日清紡ケミカル社製「カルボジライト V-02B」、「カルボジライト V-03」、「カルボジライト V-04K」、「カルボジライト V-07」、「カルボジライト V-09」、「カルボジライト 10M-SP」、及び「カルボジライト 10M-SP(改)」、並びに、ラインケミー社製「スタバクゾールP」、「スタバクゾールP400」、及び「ハイカジル510」等が挙げられる。 Commercially available products of the above carbodiimide compounds include "Carbodilite V-02B", "Carbodilite V-03", "Carbodilite V-04K", "Carbodilite V-07", "Carbodilite V-09", "Carbodilite 10M-SP", and "Carbodilite 10M-SP (modified)" manufactured by Nisshinbo Chemical Inc., as well as "Stavaxol P", "Stavaxol P400", and "Hi-Kasil 510" manufactured by Rhein Chemie AG.
上記酸無水物としては、テトラヒドロフタル酸無水物、及びアルキルスチレン-無水マレイン酸共重合体等が挙げられる。 Examples of the acid anhydrides include tetrahydrophthalic anhydride and alkylstyrene-maleic anhydride copolymers.
上記酸無水物の市販品としては、新日本理化社製「リカシッド TDA-100」等が挙げられる。 Commercially available products of the above acid anhydrides include "Rikacid TDA-100" manufactured by New Japan Chemical Co., Ltd.
上記エポキシ化合物100重量部に対する上記活性エステル化合物と上記フェノール化合物との合計の含有量は、好ましくは70重量部以上、より好ましくは85重量部以上、好ましくは150重量部以下、より好ましくは120重量部以下である。上記活性エステル化合物と上記フェノール化合物との合計の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化性により一層優れ、熱寸法安定性をより一層高め、残存未反応成分の揮発をより一層抑制できる。 The total content of the active ester compound and the phenol compound relative to 100 parts by weight of the epoxy compound is preferably 70 parts by weight or more, more preferably 85 parts by weight or more, preferably 150 parts by weight or less, more preferably 120 parts by weight or less. When the total content of the active ester compound and the phenol compound is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the curing property is more excellent, the thermal dimensional stability is further improved, and the volatilization of the remaining unreacted components can be further suppressed.
上記樹脂フィルム中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記イミド骨格含有マレイミド化合物と上記熱硬化性化合物と上記硬化剤との合計の含有量は、好ましくは50重量%以上、より好ましくは60重量%以上、好ましくは95重量%以下、より好ましくは90重量%以下である。上記イミド骨格含有マレイミド化合物と上記熱硬化性化合物と上記硬化剤との合計の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化性により一層優れ、熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The total content of the imide skeleton-containing maleimide compound, the thermosetting compound, and the curing agent in the resin film (100% by weight, excluding inorganic fillers and solvents) is preferably 50% by weight or more, more preferably 60% by weight or more, and preferably 95% by weight or less, and more preferably 90% by weight or less. When the total content of the imide skeleton-containing maleimide compound, the thermosetting compound, and the curing agent is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the curing property is more excellent and the thermal dimensional stability can be further improved.
[硬化促進剤]
上記樹脂材料は、硬化促進剤を含むことが好ましい。上記硬化促進剤の使用により、硬化速度がより一層速くなる。樹脂材料を速やかに硬化させることで、硬化物における架橋構造が均一になると共に、未反応の官能基数が減り、結果的に架橋密度が高くなる。上記硬化促進剤は特に限定されず、従来公知の硬化促進剤を使用可能である。上記硬化促進剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Curing accelerator]
The resin material preferably contains a curing accelerator. The use of the curing accelerator further increases the curing speed. By quickly curing the resin material, the crosslinked structure in the cured product becomes uniform, and the number of unreacted functional groups is reduced, resulting in a high crosslink density. The curing accelerator is not particularly limited, and conventionally known curing accelerators can be used. The curing accelerator may be used alone or in combination of two or more.
上記硬化促進剤としては、例えば、イミダゾール化合物等のアニオン性硬化促進剤、アミン化合物等のカチオン性硬化促進剤、リン化合物及び有機金属化合物等のアニオン性及びカチオン性硬化促進剤以外の硬化促進剤、並びに過酸化物等のラジカル性硬化促進剤等が挙げられる。 Examples of the curing accelerator include anionic curing accelerators such as imidazole compounds, cationic curing accelerators such as amine compounds, curing accelerators other than anionic and cationic curing accelerators such as phosphorus compounds and organometallic compounds, and radical curing accelerators such as peroxides.
上記イミダゾール化合物としては、2-ウンデシルイミダゾール、2-ヘプタデシルイミダゾール、2-メチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、2-フェニルイミダゾール、2-フェニル-4-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-フェニルイミダゾール、1,2-ジメチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-メチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-エチル-4-メチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-ウンデシルイミダゾール、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾール、1-シアノエチル-2-ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4-ジアミノ-6-[2’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-ウンデシルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-エチル-4’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジンイソシアヌル酸付加物、2-フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2-メチルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2-フェニル-4,5-ジヒドロキシメチルイミダゾール及び2-フェニル-4-メチル-5-ジヒドロキシメチルイミダゾール等が挙げられる。 The above imidazole compounds include 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 2-methylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate, and 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimethylate. Examples include melitate, 2,4-diamino-6-[2'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2'-undecylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2'-ethyl-4'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine isocyanuric acid adduct, 2-phenylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-methylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, and 2-phenyl-4-methyl-5-dihydroxymethylimidazole.
上記アミン化合物としては、ジエチルアミン、トリエチルアミン、ジエチレンテトラミン、トリエチレンテトラミン及び4,4-ジメチルアミノピリジン等が挙げられる。 Examples of the amine compounds include diethylamine, triethylamine, diethylenetetramine, triethylenetetramine, and 4,4-dimethylaminopyridine.
上記リン化合物としては、トリフェニルホスフィン化合物等が挙げられる。 Examples of the phosphorus compounds include triphenylphosphine compounds.
上記有機金属化合物としては、ナフテン酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、オクチル酸スズ、オクチル酸コバルト、ビスアセチルアセトナートコバルト(II)及びトリスアセチルアセトナートコバルト(III)等が挙げられる。 The organometallic compounds include zinc naphthenate, cobalt naphthenate, tin octoate, cobalt octoate, cobalt bisacetylacetonate (II), and cobalt trisacetylacetonate (III).
上記過酸化物としてはジクミルペルオキシド、及びパーヘキシル25B等が挙げられる。 Examples of the above peroxides include dicumyl peroxide and perhexyl 25B.
硬化温度をより一層低く抑え、硬化物の反りを効果的に抑える観点からは、上記硬化促進剤は、上記アニオン性硬化促進剤を含むことが好ましく、上記イミダゾール化合物を含むことがより好ましい。 From the viewpoint of further reducing the curing temperature and effectively suppressing warping of the cured product, it is preferable that the curing accelerator contains the anionic curing accelerator, and it is more preferable that the curing accelerator contains the imidazole compound.
過酸化物である硬化促進剤とアニオン性硬化促進剤とを併用していてもよい。特にビニル化合物とエポキシ化合物とが併用される場合に、上記の2種の硬化促進剤を用いることにより、より一層良好な硬化物が得られる場合がある。 A peroxide curing accelerator may be used in combination with an anionic curing accelerator. In particular, when a vinyl compound and an epoxy compound are used in combination, the use of the above two types of curing accelerators may result in an even better cured product.
硬化温度をより一層低く抑え、硬化物の反りを効果的に抑える観点からは、上記硬化促進剤100重量%中、上記アニオン性硬化促進剤の含有量は、好ましくは20重量%以上、より好ましくは50重量%以上、更に好ましくは70重量%以上、最も好ましくは100重量%(全量)である。したがって、上記硬化促進剤は、上記アニオン性硬化促進剤であることが最も好ましい。 From the viewpoint of further reducing the curing temperature and effectively suppressing warping of the cured product, the content of the anionic curing accelerator in 100% by weight of the curing accelerator is preferably 20% by weight or more, more preferably 50% by weight or more, even more preferably 70% by weight or more, and most preferably 100% by weight (total amount). Therefore, it is most preferable that the curing accelerator is the anionic curing accelerator.
上記硬化促進剤の含有量は特に限定されない。樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記硬化促進剤の含有量は、好ましくは0.01重量%以上、より好ましくは0.05重量%以上、好ましくは5重量%以下、より好ましくは3重量%以下である。上記硬化促進剤の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、樹脂材料が効率的に硬化する。上記硬化促進剤の含有量がより好ましい範囲であれば、樹脂材料の保存安定性がより一層高くなり、かつより一層良好な硬化物が得られる。 The content of the curing accelerator is not particularly limited. The content of the curing accelerator is preferably 0.01% by weight or more, more preferably 0.05% by weight or more, preferably 5% by weight or less, more preferably 3% by weight or less, based on 100% by weight of the components in the resin material excluding the inorganic filler and the solvent. When the content of the curing accelerator is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the resin material is cured efficiently. When the content of the curing accelerator is within a more preferred range, the storage stability of the resin material is further improved, and a better cured product is obtained.
[熱可塑性樹脂]
上記樹脂材料は、熱可塑性樹脂を含むことが好ましい。上記熱可塑性樹脂としては、ポリビニルアセタール樹脂、ポリイミド樹脂及びフェノキシ樹脂等が挙げられる。上記熱可塑性樹脂は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Thermoplastic resin]
The resin material preferably contains a thermoplastic resin. Examples of the thermoplastic resin include polyvinyl acetal resin, polyimide resin, and phenoxy resin. The thermoplastic resin may be used alone or in combination of two or more.
硬化環境によらず、誘電正接を効果的に低くし、かつ、金属配線の密着性を効果的に高める観点からは、上記熱可塑性樹脂は、フェノキシ樹脂であることが好ましい。フェノキシ樹脂の使用により、樹脂フィルムの回路基板の穴又は凹凸に対する埋め込み性の悪化及び無機充填材の不均一化が抑えられる。また、フェノキシ樹脂の使用により、溶融粘度を調整可能であるために無機充填材の分散性が良好になり、かつ硬化過程で、意図しない領域に樹脂組成物又はBステージ化物が濡れ拡がり難くなる。 From the viewpoint of effectively lowering the dielectric tangent and effectively increasing the adhesion of the metal wiring regardless of the curing environment, the thermoplastic resin is preferably a phenoxy resin. The use of phenoxy resin suppresses the deterioration of the embedding ability of the resin film in holes or irregularities in the circuit board and the non-uniformity of the inorganic filler. In addition, the use of phenoxy resin improves the dispersibility of the inorganic filler because the melt viscosity can be adjusted, and the resin composition or B-stage product is less likely to wet and spread to unintended areas during the curing process.
上記樹脂材料に含まれているフェノキシ樹脂は特に限定されない。上記フェノキシ樹脂として、従来公知のフェノキシ樹脂を使用可能である。上記フェノキシ樹脂は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 The phenoxy resin contained in the resin material is not particularly limited. Any conventionally known phenoxy resin can be used as the phenoxy resin. Only one type of the phenoxy resin may be used, or two or more types may be used in combination.
上記フェノキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型の骨格、ビスフェノールF型の骨格、ビスフェノールS型の骨格、ビフェニル骨格、ノボラック骨格、ナフタレン骨格及びイミド骨格などの骨格を有するフェノキシ樹脂等が挙げられる。 Examples of the phenoxy resin include phenoxy resins having a skeleton such as a bisphenol A skeleton, a bisphenol F skeleton, a bisphenol S skeleton, a biphenyl skeleton, a novolac skeleton, a naphthalene skeleton, and an imide skeleton.
上記フェノキシ樹脂の市販品としては、例えば、新日鉄住金化学社製の「YP50」、「YP55」及び「YP70」、並びに三菱化学社製の「1256B40」、「4250」、「4256H40」、「4275」、「YX6954BH30」及び「YX8100BH30」等が挙げられる。 Commercially available products of the above phenoxy resins include, for example, "YP50", "YP55", and "YP70" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., and "1256B40", "4250", "4256H40", "4275", "YX6954BH30", and "YX8100BH30" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation.
ハンドリング性、低粗度でのメッキピール強度及び絶縁層と金属層との密着性を高める観点から、上記熱可塑性樹脂は、ポリイミド樹脂(ポリイミド化合物)であることが好ましい。 From the viewpoint of improving handling properties, plating peel strength at low roughness, and adhesion between the insulating layer and the metal layer, the thermoplastic resin is preferably a polyimide resin (polyimide compound).
溶解性を良好にする観点からは、上記ポリイミド化合物は、テトラカルボン酸二無水物とダイマージアミンとを反応させる方法によって得られたポリイミド化合物であることが好ましい。 From the viewpoint of improving solubility, the polyimide compound is preferably a polyimide compound obtained by reacting a tetracarboxylic dianhydride with a dimer diamine.
上記テトラカルボン酸二無水物としては、例えば、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ビフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ジメチルジフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-テトラフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4-フランテトラカルボン酸二無水物、4,4’-ビス(3,4-ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスルフィド二無水物、4,4’-ビス(3,4-ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスルホン二無水物、4,4’-ビス(3,4-ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルプロパン二無水物、3,3’,4,4’-パーフルオロイソプロピリデンジフタル酸二無水物、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビス(フタル酸)フェニルホスフィンオキサイド二無水物、p-フェニレン-ビス(トリフェニルフタル酸)二無水物、m-フェニレン-ビス(トリフェニルフタル酸)二無水物、ビス(トリフェニルフタル酸)-4,4’-ジフェニルエーテル二無水物、及びビス(トリフェニルフタル酸)-4,4’-ジフェニルメタン二無水物等が挙げられる。 Examples of the tetracarboxylic dianhydride include pyromellitic dianhydride, 3,3',4,4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-biphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-biphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-dimethyldiphenylsilane tetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-tetraphenylsilane tetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-furan tetracarboxylic dianhydride, 4,4'-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)diphenylsulfonyl tetracarboxylic dianhydride, and 4,4'-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)diphenylsulfonyl tetracarboxylic dianhydride. dianhydride, 4,4'-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)diphenylsulfone dianhydride, 4,4'-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)diphenylpropane dianhydride, 3,3',4,4'-perfluoroisopropylidenediphthalic dianhydride, 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, bis(phthalic acid)phenylphosphine oxide dianhydride, p-phenylene-bis(triphenylphthalic acid) dianhydride, m-phenylene-bis(triphenylphthalic acid) dianhydride, bis(triphenylphthalic acid)-4,4'-diphenyl ether dianhydride, and bis(triphenylphthalic acid)-4,4'-diphenylmethane dianhydride are examples of such anhydride.
上記ダイマージアミンとしては、例えば、バーサミン551(商品名BASFジャパン社製、3,4-ビス(1-アミノヘプチル)-6-ヘキシル-5-(1-オクテニル)シクロヘキセン)、バーサミン552(商品名、コグニクスジャパン社製、バーサミン551の水添物)、PRIAMINE1075、PRIAMINE1074(商品名、いずれもクローダジャパン社製)等が挙げられる。 Examples of the dimer diamine include VERSAMINE 551 (product name, manufactured by BASF Japan, 3,4-bis(1-aminoheptyl)-6-hexyl-5-(1-octenyl)cyclohexene), VERSAMINE 552 (product name, manufactured by Cognix Japan, hydrogenated VERSAMINE 551), PRIAMINE 1075, and PRIAMINE 1074 (product names, all manufactured by Croda Japan).
なお、上記ポリイミド化合物は末端に、酸無水物構造、マレイミド構造、シトラコンイミド構造を有していてもよい。この場合には、上記ポリイミド化合物とエポキシ樹脂とを反応させることができる。上記ポリイミド化合物とエポキシ樹脂とを反応させることにより、硬化物の熱寸法安定性を高めることができる。 The polyimide compound may have an acid anhydride structure, a maleimide structure, or a citraconic imide structure at the end. In this case, the polyimide compound can be reacted with an epoxy resin. By reacting the polyimide compound with an epoxy resin, the thermal dimensional stability of the cured product can be improved.
保存安定性により一層優れた樹脂材料を得る観点からは、上記熱可塑性樹脂、上記ポリイミド樹脂及び上記フェノキシ樹脂の重量平均分子量は、好ましくは5000以上、より好ましくは10000以上、好ましくは100000以下、より好ましくは50000以下である。 From the viewpoint of obtaining a resin material with even better storage stability, the weight average molecular weight of the thermoplastic resin, the polyimide resin, and the phenoxy resin is preferably 5,000 or more, more preferably 10,000 or more, and preferably 100,000 or less, more preferably 50,000 or less.
上記熱可塑性樹脂、上記ポリイミド樹脂及び上記フェノキシ樹脂の上記重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を示す。 The weight average molecular weights of the thermoplastic resin, polyimide resin, and phenoxy resin are polystyrene-equivalent weight average molecular weights measured by gel permeation chromatography (GPC).
上記熱可塑性樹脂、上記ポリイミド樹脂及び上記フェノキシ樹脂の含有量は特に限定されない。樹脂材料中の上記無機充填材及び上記溶剤を除く成分100重量%中、上記熱可塑性樹脂の含有量(熱可塑性樹脂がポリイミド樹脂又はフェノキシ樹脂である場合には、ポリイミド樹脂又はフェノキシ樹脂の含有量)は、好ましくは1重量%以上、より好ましくは2重量%以上、好ましくは30重量%以下、より好ましくは20重量%以下である。上記熱可塑性樹脂の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、樹脂材料の回路基板の穴又は凹凸に対する埋め込み性が良好になる。上記熱可塑性樹脂の含有量が上記下限以上であると、樹脂フィルムの形成がより一層容易になり、より一層良好な絶縁層が得られる。上記熱可塑性樹脂の含有量が上記上限以下であると、硬化物の熱膨張率がより一層低くなる。上記熱可塑性樹脂の含有量が上記上限以下であると、硬化物の表面の表面粗さがより一層小さくなり、硬化物と金属層との接着強度がより一層高くなる。 The contents of the thermoplastic resin, the polyimide resin, and the phenoxy resin are not particularly limited. In 100% by weight of the components in the resin material excluding the inorganic filler and the solvent, the content of the thermoplastic resin (when the thermoplastic resin is a polyimide resin or a phenoxy resin, the content of the polyimide resin or the phenoxy resin) is preferably 1% by weight or more, more preferably 2% by weight or more, preferably 30% by weight or less, more preferably 20% by weight or less. When the content of the thermoplastic resin is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the resin material has good embedding properties in holes or irregularities in the circuit board. When the content of the thermoplastic resin is equal to or more than the lower limit, the formation of the resin film becomes easier, and a better insulating layer is obtained. When the content of the thermoplastic resin is equal to or less than the upper limit, the thermal expansion coefficient of the cured product becomes even lower. When the content of the thermoplastic resin is equal to or less than the upper limit, the surface roughness of the surface of the cured product becomes even smaller, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer becomes even higher.
[溶剤]
上記樹脂材料は、溶剤を含まないか又は含む。上記溶剤の使用により、樹脂材料の粘度を好適な範囲に制御でき、樹脂材料の塗工性を高めることができる。また、上記溶剤は、上記無機充填材を含むスラリーを得るために用いられてもよい。上記溶剤は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[solvent]
The resin material does not contain or contains a solvent. By using the solvent, the viscosity of the resin material can be controlled within a suitable range, and the coatability of the resin material can be improved. The solvent may be used to obtain a slurry containing the inorganic filler. Only one type of the solvent may be used, or two or more types may be used in combination.
上記溶剤としては、アセトン、メタノール、エタノール、ブタノール、2-プロパノール、2-メトキシエタノール、2-エトキシエタノール、1-メトキシ-2-プロパノール、2-アセトキシ-1-メトキシプロパン、トルエン、キシレン、メチルエチルケトン、N,N-ジメチルホルムアミド、メチルイソブチルケトン、N-メチル-ピロリドン、n-ヘキサン、シクロヘキサン、シクロヘキサノン及び混合物であるナフサ等が挙げられる。 The above-mentioned solvents include acetone, methanol, ethanol, butanol, 2-propanol, 2-methoxyethanol, 2-ethoxyethanol, 1-methoxy-2-propanol, 2-acetoxy-1-methoxypropane, toluene, xylene, methyl ethyl ketone, N,N-dimethylformamide, methyl isobutyl ketone, N-methyl-pyrrolidone, n-hexane, cyclohexane, cyclohexanone, and naphtha, which is a mixture.
上記溶剤の多くは、上記樹脂組成物をフィルム状に成形するときに、除去されることが好ましい。従って、上記溶剤の沸点は好ましくは200℃以下、より好ましくは180℃以下である。上記樹脂組成物中の上記溶剤の含有量は特に限定されない。上記樹脂組成物の塗工性などを考慮して、上記溶剤の含有量は適宜変更可能である。 It is preferable that most of the solvent is removed when the resin composition is formed into a film. Therefore, the boiling point of the solvent is preferably 200°C or less, more preferably 180°C or less. The content of the solvent in the resin composition is not particularly limited. The content of the solvent can be changed as appropriate, taking into account the coatability of the resin composition, etc.
上記樹脂材料がBステージフィルムである場合には、上記Bステージフィルム100重量%中、上記溶剤の含有量は、好ましくは1重量%以上、より好ましくは2重量%以上、好ましくは10重量%以下、より好ましくは5重量%以下である。 When the resin material is a B-stage film, the content of the solvent in 100% by weight of the B-stage film is preferably 1% by weight or more, more preferably 2% by weight or more, preferably 10% by weight or less, more preferably 5% by weight or less.
[他の成分]
耐衝撃性、耐熱性、樹脂の相溶性及び作業性等の改善を目的として、上記樹脂材料は、有機充填材、レベリング剤、難燃剤、カップリング剤、着色剤、酸化防止剤、紫外線劣化防止剤、消泡剤、増粘剤、及び揺変性付与剤等を含んでいてもよい。
[Other ingredients]
For the purpose of improving impact resistance, heat resistance, resin compatibility, workability, and the like, the resin material may contain an organic filler, a leveling agent, a flame retardant, a coupling agent, a colorant, an antioxidant, an ultraviolet degradation inhibitor, a defoaming agent, a thickener, a thixotropy imparting agent, and the like.
上記有機充填材としては、ベンゾオキサジン樹脂、ベンゾオキサゾール樹脂、フッ素樹脂、アクリル樹脂及びスチレン樹脂等からなる粒子状物が挙げられる。上記有機充填材としてフッ素樹脂粒子を用いることにより、硬化物の比誘電率をより一層低くすることができる。上記有機充填材の平均粒径は1μm以下であることが好ましい。上記有機充填材の平均粒径が上記上限以下であると、エッチング後の表面粗度を小さくし、かつメッキピール強度を高くすることができ、また、絶縁層と金属層との密着性をより一層高めることができる。上記有機充填材の平均粒径は、50nm以上であってもよい。 The organic filler may be a particulate material made of benzoxazine resin, benzoxazole resin, fluororesin, acrylic resin, styrene resin, or the like. By using fluororesin particles as the organic filler, the dielectric constant of the cured product can be further reduced. The average particle size of the organic filler is preferably 1 μm or less. If the average particle size of the organic filler is equal to or less than the upper limit, the surface roughness after etching can be reduced and the plating peel strength can be increased, and the adhesion between the insulating layer and the metal layer can be further improved. The average particle size of the organic filler may be 50 nm or more.
上記有機充填材の平均粒径として、50%となるメディアン径(d50)の値が採用される。上記平均粒径は、レーザー回折散乱方式の粒度分布測定装置を用いて測定可能である。 The median diameter (d50) at 50% is used as the average particle size of the organic filler. The average particle size can be measured using a laser diffraction scattering particle size distribution measuring device.
上記カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタンカップリング剤及びアルミニウムカップリング剤等が挙げられる。上記シランカップリング剤としては、ビニルシラン、アミノシラン、イミダゾールシラン及びエポキシシラン等が挙げられる。 Examples of the coupling agent include silane coupling agents, titanium coupling agents, and aluminum coupling agents. Examples of the silane coupling agent include vinyl silane, amino silane, imidazole silane, and epoxy silane.
(樹脂フィルム)
上述した樹脂組成物をフィルム状に成形することにより樹脂フィルム(Bステージ化物/Bステージフィルム)が得られる。上記樹脂材料は、樹脂フィルムであることが好ましい。樹脂フィルムは、Bステージフィルムであることが好ましい。
(Resin film)
The above-mentioned resin composition is molded into a film to obtain a resin film (B-stage product/B-stage film). The above-mentioned resin material is preferably a resin film. The resin film is preferably a B-stage film.
樹脂組成物をフィルム状に成形して、樹脂フィルムを得る方法としては、以下の方法が挙げられる。押出機を用いて、樹脂組成物を溶融混練し、押出した後、Tダイ又はサーキュラーダイ等により、フィルム状に成形する押出成形法。溶剤を含む樹脂組成物をキャスティングしてフィルム状に成形するキャスティング成形法。従来公知のその他のフィルム成形法。薄型化に対応可能であることから、押出成形法又はキャスティング成形法が好ましい。フィルムにはシートが含まれる。 Methods for forming a resin composition into a film to obtain a resin film include the following: Extrusion molding, in which the resin composition is melt-kneaded and extruded using an extruder, and then molded into a film using a T-die or circular die. Casting molding, in which a resin composition containing a solvent is cast into a film. Other conventionally known film molding methods. Extrusion molding and casting molding are preferred because they can be made thinner. Films include sheets.
樹脂組成物をフィルム状に成形し、熱による硬化が進行し過ぎない程度に、例えば50℃~150℃で1分間~10分間加熱乾燥させることにより、Bステージフィルムである樹脂フィルムを得ることができる。 The resin composition is molded into a film and dried by heating at, for example, 50°C to 150°C for 1 to 10 minutes to a degree that does not cause excessive curing due to heat, to obtain a resin film that is a B-stage film.
上述のような乾燥工程により得ることができるフィルム状の樹脂組成物をBステージフィルムと称する。上記Bステージフィルムは、半硬化状態にある。半硬化物は、完全に硬化しておらず、硬化がさらに進行され得る。 The film-like resin composition that can be obtained by the drying process described above is called a B-stage film. The B-stage film is in a semi-cured state. A semi-cured product is not completely cured, and curing can continue.
上記樹脂フィルムは、プリプレグでなくてもよい。上記樹脂フィルムがプリプレグではない場合には、ガラスクロス等に沿ってマイグレーションが生じなくなる。また、樹脂フィルムをラミネート又はプレキュアする際に、表面にガラスクロスに起因する凹凸が生じなくなる。 The resin film does not have to be a prepreg. If the resin film is not a prepreg, migration will not occur along the glass cloth or the like. In addition, when the resin film is laminated or precured, irregularities caused by the glass cloth will not occur on the surface.
上記樹脂フィルムは、金属箔又は基材フィルムと、該金属箔又は基材の表面に積層された樹脂フィルムとを備える積層フィルムの形態で用いることができる。上記金属箔は銅箔であることが好ましい。 The resin film can be used in the form of a laminated film comprising a metal foil or a base film and a resin film laminated on the surface of the metal foil or base film. The metal foil is preferably a copper foil.
上記積層フィルムの上記基材フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレートフィルム及びポリブチレンテレフタレートフィルム等のポリエステル樹脂フィルム、ポリエチレンフィルム及びポリプロピレンフィルム等のオレフィン樹脂フィルム、並びにポリイミド樹脂フィルム等が挙げられる。上記基材フィルムの表面は、必要に応じて、離型処理されていてもよい。 Examples of the base film of the laminated film include polyester resin films such as polyethylene terephthalate film and polybutylene terephthalate film, olefin resin films such as polyethylene film and polypropylene film, and polyimide resin films. The surface of the base film may be subjected to a release treatment, if necessary.
樹脂フィルムの硬化度をより一層均一に制御する観点からは、上記樹脂フィルムの厚さは、好ましくは5μm以上であり、好ましくは200μm以下である。上記樹脂フィルムを回路の絶縁層として用いる場合、上記樹脂フィルムにより形成された絶縁層の厚さは、回路を形成する導体層(金属層)の厚さ以上であることが好ましい。上記絶縁層の厚さは、好ましくは5μm以上であり、好ましくは200μm以下である。 From the viewpoint of controlling the degree of cure of the resin film more uniformly, the thickness of the resin film is preferably 5 μm or more and preferably 200 μm or less. When the resin film is used as an insulating layer of a circuit, the thickness of the insulating layer formed by the resin film is preferably equal to or greater than the thickness of the conductor layer (metal layer) that forms the circuit. The thickness of the insulating layer is preferably 5 μm or more and preferably 200 μm or less.
(半導体装置、プリント配線板、銅張積層板及び多層プリント配線板)
上記樹脂材料は、半導体装置において半導体チップを埋め込むモールド樹脂を形成するために好適に用いられる。
(Semiconductor device, printed wiring board, copper-clad laminate, and multilayer printed wiring board)
The above-mentioned resin material is suitably used for forming a molding resin in which a semiconductor chip is embedded in a semiconductor device.
上記樹脂材料は、絶縁材料として好適に用いられる。上記樹脂材料は、プリント配線板において絶縁層を形成するために好適に用いられる。 The above resin material is preferably used as an insulating material. The above resin material is preferably used to form an insulating layer in a printed wiring board.
上記プリント配線板は、例えば、上記樹脂材料を加熱加圧成形することにより得られる。 The printed wiring board is obtained, for example, by heating and pressurizing the resin material.
上記樹脂フィルムに対して、片面又は両面に金属層を表面に有する積層対象部材を積層できる。金属層を表面に有する積層対象部材と、上記金属層の表面上に積層された樹脂フィルムとを備え、上記樹脂フィルムが、上述した樹脂材料である、積層構造体を好適に得ることができる。上記樹脂フィルムと上記金属層を表面に有する積層対象部材とを積層する方法は特に限定されず、公知の方法を用いることができる。例えば、平行平板プレス機又はロールラミネーター等の装置を用いて、加熱しながら又は加熱せずに加圧しながら、上記樹脂フィルムを、金属層を表面に有する積層対象部材に積層可能である。 A laminated member having a metal layer on one or both sides can be laminated onto the resin film. A laminated structure can be suitably obtained, which includes a laminated member having a metal layer on its surface and a resin film laminated on the surface of the metal layer, the resin film being the resin material described above. There is no particular limitation on the method for laminating the resin film and the laminated member having the metal layer on its surface, and a known method can be used. For example, the resin film can be laminated onto the laminated member having a metal layer on its surface while applying pressure with or without heating using a device such as a parallel plate press or a roll laminator.
上記金属層の材料は銅であることが好ましい。 The material of the metal layer is preferably copper.
上記金属層を表面に有する積層対象部材は、銅箔等の金属箔であってもよい。 The lamination target component having the above-mentioned metal layer on its surface may be a metal foil such as copper foil.
上記樹脂材料は、銅張積層板を得るために好適に用いられる。上記銅張積層板の一例として、銅箔と、該銅箔の一方の表面に積層された樹脂フィルムとを備える銅張積層板が挙げられる。 The above resin material is preferably used to obtain a copper-clad laminate. One example of the above copper-clad laminate is a copper-clad laminate that includes a copper foil and a resin film laminated on one surface of the copper foil.
上記銅張積層板の上記銅箔の厚さは特に限定されない。上記銅箔の厚さは、1μm~50μmの範囲内であることが好ましい。また、上記樹脂材料の硬化物と銅箔との接着強度を高めるために、上記銅箔は微細な凹凸を表面に有することが好ましい。凹凸の形成方法は特に限定されない。上記凹凸の形成方法としては、公知の薬液を用いた処理による形成方法等が挙げられる。 The thickness of the copper foil of the copper-clad laminate is not particularly limited. The thickness of the copper foil is preferably within the range of 1 μm to 50 μm. In addition, in order to increase the adhesive strength between the cured resin material and the copper foil, it is preferable that the copper foil has fine irregularities on its surface. The method of forming the irregularities is not particularly limited. Examples of the method of forming the irregularities include a method of forming the irregularities by treatment using a known chemical solution.
上記樹脂材料は、多層基板を得るために好適に用いられる。 The above resin materials are suitable for use in producing multilayer substrates.
上記多層基板の一例として、回路基板と、該回路基板上に積層された絶縁層とを備える多層基板が挙げられる。この多層基板の絶縁層が、上記樹脂材料により形成されている。また、多層基板の絶縁層が、積層フィルムを用いて、上記積層フィルムの上記樹脂フィルムにより形成されていてもよい。上記絶縁層は、回路基板の回路が設けられた表面上に積層されていることが好ましい。上記絶縁層の一部は、上記回路間に埋め込まれていることが好ましい。 One example of the multilayer board is a multilayer board including a circuit board and an insulating layer laminated on the circuit board. The insulating layer of the multilayer board is formed from the resin material. The insulating layer of the multilayer board may also be formed from the resin film of the laminate film using a laminate film. The insulating layer is preferably laminated on the surface of the circuit board on which the circuits are provided. A portion of the insulating layer is preferably embedded between the circuits.
上記多層基板では、上記絶縁層の上記回路基板が積層された表面とは反対側の表面が粗化処理されていることが好ましい。 In the multilayer board, it is preferable that the surface of the insulating layer opposite the surface on which the circuit board is laminated is roughened.
粗化処理方法は、従来公知の粗化処理方法を用いることができ、特に限定されない。上記絶縁層の表面は、粗化処理の前に膨潤処理されていてもよい。 The roughening method can be a conventionally known roughening method, and is not particularly limited. The surface of the insulating layer may be subjected to a swelling treatment before the roughening treatment.
また、上記多層基板は、上記絶縁層の粗化処理された表面に積層された銅めっき層をさらに備えることが好ましい。 It is also preferable that the multilayer substrate further comprises a copper plating layer laminated on the roughened surface of the insulating layer.
また、上記多層基板の他の例として、回路基板と、該回路基板の表面上に積層された絶縁層と、該絶縁層の上記回路基板が積層された表面とは反対側の表面に積層された銅箔とを備える多層基板が挙げられる。上記絶縁層が、銅箔と該銅箔の一方の表面に積層された樹脂フィルムとを備える銅張積層板を用いて、上記樹脂フィルムを硬化させることにより形成されていることが好ましい。さらに、上記銅箔はエッチング処理されており、銅回路であることが好ましい。 Another example of the multilayer board is a multilayer board comprising a circuit board, an insulating layer laminated on the surface of the circuit board, and copper foil laminated on the surface of the insulating layer opposite to the surface on which the circuit board is laminated. The insulating layer is preferably formed by using a copper-clad laminate comprising copper foil and a resin film laminated on one surface of the copper foil, and curing the resin film. Furthermore, the copper foil is preferably etched to form a copper circuit.
上記多層基板の他の例として、回路基板と、該回路基板の表面上に積層された複数の絶縁層とを備える多層基板が挙げられる。上記回路基板上に配置された上記複数層の絶縁層の内の少なくとも1層が、上記樹脂材料を用いて形成される。上記多層基板は、上記樹脂フィルムを用いて形成されている上記絶縁層の少なくとも一方の表面に積層されている回路をさらに備えることが好ましい。 Another example of the multilayer board is a multilayer board including a circuit board and a plurality of insulating layers laminated on a surface of the circuit board. At least one of the insulating layers arranged on the circuit board is formed using the resin material. It is preferable that the multilayer board further includes a circuit laminated on at least one surface of the insulating layer formed using the resin film.
多層基板のうち多層プリント配線板においては、低い誘電正接が求められ、絶縁層による高い絶縁信頼性が求められる。本発明に係る樹脂材料では、誘電正接を低くし、かつ絶縁層と金属層との密着性及びエッチング性能を高めることによって絶縁信頼性を効果的に高めることができる。従って、本発明に係る樹脂材料は、多層プリント配線板において、絶縁層を形成するために好適に用いられる。 Among multilayer substrates, multilayer printed wiring boards require a low dielectric tangent and high insulation reliability from the insulating layer. The resin material of the present invention can effectively improve insulation reliability by lowering the dielectric tangent and improving adhesion between the insulating layer and the metal layer and etching performance. Therefore, the resin material of the present invention is suitable for use in forming an insulating layer in a multilayer printed wiring board.
上記多層プリント配線板は、例えば、回路基板と、上記回路基板の表面上に配置された複数の絶縁層と、複数の上記絶縁層間に配置された金属層とを備える。上記絶縁層の内の少なくとも1層が、上記樹脂材料の硬化物である。 The multilayer printed wiring board includes, for example, a circuit board, a plurality of insulating layers arranged on the surface of the circuit board, and a metal layer arranged between the insulating layers. At least one of the insulating layers is a cured product of the resin material.
図1は、本発明の一実施形態に係る樹脂材料を用いた多層プリント配線板を模式的に示す断面図である。 Figure 1 is a cross-sectional view showing a multilayer printed wiring board using a resin material according to one embodiment of the present invention.
図1に示す多層プリント配線板11では、回路基板12の上面12aに、複数層の絶縁層13~16が積層されている。絶縁層13~16は、硬化物層である。回路基板12の上面12aの一部の領域には、金属層17が形成されている。複数層の絶縁層13~16のうち、回路基板12側とは反対の外側の表面に位置する絶縁層16以外の絶縁層13~15には、上面の一部の領域に金属層17が形成されている。金属層17は回路である。回路基板12と絶縁層13の間、及び積層された絶縁層13~16の各層間に、金属層17がそれぞれ配置されている。下方の金属層17と上方の金属層17とは、図示しないビアホール接続及びスルーホール接続の内の少なくとも一方により互いに接続されている。
In the multilayer printed
多層プリント配線板11では、絶縁層13~16が、上記樹脂材料の硬化物により形成されている。本実施形態では、絶縁層13~16の表面が粗化処理されているので、絶縁層13~16の表面に図示しない微細な孔が形成されている。また、微細な孔の内部に金属層17が至っている。また、多層プリント配線板11では、金属層17の幅方向寸法(L)と、金属層17が形成されていない部分の幅方向寸法(S)とを小さくすることができる。また、多層プリント配線板11では、図示しないビアホール接続及びスルーホール接続で接続されていない上方の金属層と下方の金属層との間に、良好な絶縁信頼性が付与されている。
In the multilayer printed
(粗化処理及び膨潤処理)
上記樹脂材料は、粗化処理又はデスミア処理される硬化物を得るために用いられることが好ましい。上記硬化物には、更に硬化が可能な予備硬化物も含まれる。
(Roughening treatment and swelling treatment)
The resin material is preferably used to obtain a cured product to be subjected to roughening treatment or desmear treatment. The cured product also includes a pre-cured product that can be further cured.
上記樹脂材料を予備硬化させることにより得られた硬化物の表面に微細な凹凸を形成するために、硬化物は粗化処理されることが好ましい。粗化処理の前に、硬化物は膨潤処理されることが好ましい。硬化物は、予備硬化の後、かつ粗化処理される前に、膨潤処理されており、さらに粗化処理の後に硬化されていることが好ましい。ただし、硬化物は、必ずしも膨潤処理されなくてもよい。 In order to form fine irregularities on the surface of the cured product obtained by pre-curing the resin material, the cured product is preferably subjected to a roughening treatment. Before the roughening treatment, the cured product is preferably subjected to a swelling treatment. After the pre-curing and before the roughening treatment, the cured product is preferably subjected to a swelling treatment, and is further preferably cured after the roughening treatment. However, the cured product does not necessarily have to be subjected to a swelling treatment.
上記膨潤処理の方法としては、例えば、エチレングリコールなどを主成分とする化合物の水溶液又は有機溶媒分散溶液などにより、硬化物を処理する方法が用いられる。膨潤処理に用いる膨潤液は、一般にpH調整剤などとして、アルカリを含む。膨潤液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。具体的には、例えば、上記膨潤処理は、40重量%エチレングリコール水溶液等を用いて、処理温度30℃~85℃で1分間~30分間、硬化物を処理することにより行なわれる。上記膨潤処理の温度は50℃~85℃の範囲内であることが好ましい。上記膨潤処理の温度が低すぎると、膨潤処理に長時間を要し、更に硬化物と金属層との接着強度が低くなる傾向がある。 The swelling treatment may be carried out by treating the cured product with an aqueous solution or an organic solvent dispersion of a compound mainly composed of ethylene glycol. The swelling liquid used in the swelling treatment generally contains an alkali as a pH adjuster. The swelling liquid preferably contains sodium hydroxide. Specifically, the swelling treatment is carried out by treating the cured product with a 40% by weight aqueous solution of ethylene glycol at a treatment temperature of 30°C to 85°C for 1 to 30 minutes. The temperature of the swelling treatment is preferably within the range of 50°C to 85°C. If the temperature of the swelling treatment is too low, the swelling treatment takes a long time and the adhesive strength between the cured product and the metal layer tends to be lower.
上記粗化処理には、例えば、マンガン化合物、クロム化合物又は過硫酸化合物などの化学酸化剤等が用いられる。これらの化学酸化剤は、水又は有機溶剤が添加された後、水溶液又は有機溶媒分散溶液として用いられる。粗化処理に用いられる粗化液は、一般にpH調整剤などとしてアルカリを含む。粗化液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。 In the above roughening treatment, a chemical oxidizing agent such as a manganese compound, a chromium compound, or a persulfate compound is used. These chemical oxidizing agents are used as an aqueous solution or an organic solvent dispersion solution after water or an organic solvent is added. The roughening liquid used in the roughening treatment generally contains an alkali as a pH adjuster or the like. The roughening liquid preferably contains sodium hydroxide.
上記マンガン化合物としては、過マンガン酸カリウム及び過マンガン酸ナトリウム等が挙げられる。上記クロム化合物としては、重クロム酸カリウム及び無水クロム酸カリウム等が挙げられる。上記過硫酸化合物としては、過硫酸ナトリウム、過硫酸カリウム及び過硫酸アンモニウム等が挙げられる。 The manganese compounds include potassium permanganate and sodium permanganate. The chromium compounds include potassium dichromate and potassium chromate anhydride. The persulfate compounds include sodium persulfate, potassium persulfate, and ammonium persulfate.
硬化物の表面の算術平均粗さRaは、好ましくは10nm以上であり、好ましくは300nm未満、より好ましくは200nm未満、更に好ましくは150nm未満である。この場合には、硬化物と金属層との接着強度が高くなり、更に絶縁層の表面により一層微細な配線が形成される。さらに、導体損失を抑えることができ、信号損失を低く抑えることができる。上記算術平均粗さRaは、JIS B0601:1994に準拠して測定される。 The arithmetic mean roughness Ra of the surface of the cured product is preferably 10 nm or more, and is preferably less than 300 nm, more preferably less than 200 nm, and even more preferably less than 150 nm. In this case, the adhesive strength between the cured product and the metal layer is increased, and finer wiring is formed on the surface of the insulating layer. Furthermore, conductor loss can be suppressed, and signal loss can be kept low. The arithmetic mean roughness Ra is measured in accordance with JIS B0601:1994.
(デスミア処理)
上記樹脂材料を予備硬化させることにより得られた硬化物に、貫通孔が形成されることがある。上記多層基板などでは、貫通孔として、ビア又はスルーホール等が形成される。例えば、ビアは、CO2レーザー等のレーザーの照射により形成できる。ビアの直径は特に限定されないが、60μm~80μm程度である。上記貫通孔の形成により、ビア内の底部には、硬化物に含まれている樹脂成分に由来する樹脂の残渣であるスミアが形成されることが多い。
(Desmearing)
Through holes may be formed in the cured product obtained by pre-curing the resin material. In the multilayer board, etc., vias or through holes are formed as the through holes. For example, vias can be formed by irradiating a laser such as a CO2 laser. The diameter of the via is not particularly limited, but is about 60 μm to 80 μm. Due to the formation of the through holes, smears, which are resin residues derived from the resin components contained in the cured product, are often formed at the bottom of the via.
上記スミアを除去するために、硬化物の表面は、デスミア処理されることが好ましい。デスミア処理が粗化処理を兼ねることもある。 In order to remove the smears, the surface of the cured product is preferably subjected to a desmear treatment. The desmear treatment may also serve as a roughening treatment.
上記デスミア処理には、上記粗化処理と同様に、例えば、マンガン化合物、クロム化合物又は過硫酸化合物等の化学酸化剤等が用いられる。これらの化学酸化剤は、水又は有機溶剤が添加された後、水溶液又は有機溶媒分散溶液として用いられる。デスミア処理に用いられるデスミア処理液は、一般にアルカリを含む。デスミア処理液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。 In the desmear treatment, a chemical oxidizing agent such as a manganese compound, a chromium compound, or a persulfate compound is used, as in the roughening treatment. These chemical oxidizing agents are used as an aqueous solution or an organic solvent dispersion solution after water or an organic solvent is added. The desmear treatment liquid used in the desmear treatment generally contains an alkali. The desmear treatment liquid preferably contains sodium hydroxide.
上記樹脂材料の使用により、デスミア処理された硬化物の表面の表面粗さが十分に小さくなる。 By using the above resin material, the surface roughness of the desmeared cured product is sufficiently small.
以下、実施例及び比較例を挙げることにより、本発明を具体的に説明する。本発明は、以下の実施例に限定されない。 The present invention will be specifically explained below by giving examples and comparative examples. The present invention is not limited to the following examples.
以下の材料を用意した。 The following materials were prepared:
(イミド骨格含有マレイミド化合物)
イミド骨格含有マレイミド化合物1:
以下の合成例1に従って、下記式(X1)で表されるイミド骨格含有マレイミド化合物1(分子量9500)を合成した。
(Maleimide Compound Containing Imide Skeleton)
Imide skeleton-containing maleimide compound 1:
According to the following Synthesis Example 1, an imide skeleton-containing maleimide compound 1 (molecular weight 9,500) represented by the following formula (X1) was synthesized.
上記式(X1)中、X11は下記式(X11)で表される構造を表し、X12は下記式(X12)で表される構造を表し、X13は下記式(X13)で表される構造を表し、Rはジアミン化合物に由来する部分骨格を表す。なお、下記式(X12)で表される構造のうち、ダイマージアミンに由来する骨格は、該ダイマージアミンに由来する骨格の代表構造であり、例えば、該ダイマージアミンに由来する骨格における炭化水素鎖は不飽和結合を有している場合もある。例えば、下記式(X12)において、該ダイマージアミンに由来する骨格における炭化水素鎖に不飽和結合が存在するイミド骨格含有マレイミド化合物が含まれる場合がある。合成されたイミド骨格含有マレイミド化合物は、ダイマージアミンに由来する骨格における炭化水素鎖が不飽和結合を有しているイミド骨格含有マレイミド化合物を含む場合がある。 In the above formula (X1), X11 represents a structure represented by the following formula (X11), X12 represents a structure represented by the following formula (X12), X13 represents a structure represented by the following formula (X13), and R represents a partial skeleton derived from a diamine compound. In addition, among the structures represented by the following formula (X12), the skeleton derived from dimer diamine is a representative structure of the skeleton derived from the dimer diamine, and for example, the hydrocarbon chain in the skeleton derived from the dimer diamine may have an unsaturated bond. For example, in the following formula (X12), an imide skeleton-containing maleimide compound in which an unsaturated bond exists in the hydrocarbon chain in the skeleton derived from the dimer diamine may be included. The synthesized imide skeleton-containing maleimide compound may include an imide skeleton-containing maleimide compound in which the hydrocarbon chain in the skeleton derived from the dimer diamine has an unsaturated bond.
<合成例1>
500mLのナスフラスコに150mLのトルエン及び100mLのN-メチル-2-ピロリドンを入れ、プリアミン1075を20.5g(50mmol)、2,2-ビス(3-アミノ-4-ヒドロキシフェニル)プロパンを6.46g(25mmol)、ビス(アミノメチル)ノルボルナンを7.71g(50mmol)添加した。次いで、ピロメリット酸二無水物21.8g(100mmol)を少しずつ添加した。次いで、ディーンスターク装置にナスフラスコを取り付け、4時間加熱還流した。このようにして、両末端にアミンを有しかつ複数のイミド骨格を有する化合物を得た。縮合時に排出される水分を除去し、室温に戻した後、無水マレイン酸を5.88g(60mmol)加えて攪拌し、同様に加熱し反応させた。このようにして、両末端にマレイミド骨格を有する化合物を得た。得られた溶液を水洗し、有機層をメタノール中に滴下し、生成物を再沈殿させ、回収した後、乾燥させてイミド骨格含有マレイミド化合物1を得た。
<Synthesis Example 1>
150 mL of toluene and 100 mL of N-methyl-2-pyrrolidone were placed in a 500 mL eggplant flask, and 20.5 g (50 mmol) of Priamine 1075, 6.46 g (25 mmol) of 2,2-bis(3-amino-4-hydroxyphenyl)propane, and 7.71 g (50 mmol) of bis(aminomethyl)norbornane were added. Then, 21.8 g (100 mmol) of pyromellitic dianhydride was added little by little. Then, the eggplant flask was attached to a Dean-Stark apparatus and heated under reflux for 4 hours. In this way, a compound having amines at both ends and a plurality of imide skeletons was obtained. After removing the moisture discharged during condensation and returning to room temperature, 5.88 g (60 mmol) of maleic anhydride was added and stirred, and similarly heated and reacted. In this way, a compound having a maleimide skeleton at both ends was obtained. The obtained solution was washed with water, the organic layer was dropped into methanol, and the product was reprecipitated, collected, and then dried to obtain an imide skeleton-containing maleimide compound 1.
イミド骨格含有マレイミド化合物2:
以下の合成例2に従って、下記式(X2)で表されるイミド骨格含有マレイミド化合物2(分子量22000)を合成した。
Imide skeleton-containing maleimide compound 2:
According to the following Synthesis Example 2, an imide skeleton-containing maleimide compound 2 (molecular weight 22,000) represented by the following formula (X2) was synthesized.
上記式(X2)中、X21は下記式(X21)で表される構造を表し、X22は下記式(X22)で表される構造を表し、X23は下記式(X23)で表される構造を表し、Rはいずれかのジアミン化合物に由来する部分骨格を表す。下記式(X21)におけるl、下記式(X22)におけるm、下記式(X23)におけるnは、式:n/(l+m+n)=0.2を満たす。なお、下記式(X22)で表される構造のうち、ダイマージアミンに由来する骨格は、該ダイマージアミンに由来する骨格の代表構造であり、例えば、該ダイマージアミンに由来する骨格における炭化水素鎖は不飽和結合を有している場合もある。例えば、下記式(X22)において、該ダイマージアミンに由来する骨格における炭化水素鎖に不飽和結合が存在するイミド骨格含有マレイミド化合物が含まれる場合がある。合成されたイミド骨格含有マレイミド化合物は、ダイマージアミンに由来する骨格における炭化水素鎖が不飽和結合を有しているイミド骨格含有マレイミド化合物を含む場合がある。 In the above formula (X2), X21 represents a structure represented by the following formula (X21), X22 represents a structure represented by the following formula (X22), X23 represents a structure represented by the following formula (X23), and R represents a partial skeleton derived from any diamine compound. l in the following formula (X21), m in the following formula (X22), and n in the following formula (X23) satisfy the formula: n/(l+m+n)=0.2. Among the structures represented by the following formula (X22), the skeleton derived from the dimer diamine is a representative structure of the skeleton derived from the dimer diamine, and for example, the hydrocarbon chain in the skeleton derived from the dimer diamine may have an unsaturated bond. For example, in the following formula (X22), an imide skeleton-containing maleimide compound in which an unsaturated bond exists in the hydrocarbon chain in the skeleton derived from the dimer diamine may be included. The synthesized imide skeleton-containing maleimide compound may include an imide skeleton-containing maleimide compound in which the hydrocarbon chain in the skeleton derived from the dimer diamine has an unsaturated bond.
<合成例2>
500mLのナスフラスコに150mLのトルエン及び100mLのN-メチル-2-ピロリドンを入れ、プリアミン1075を20.0g(48.8mmol)、ビス(アミノメチル)ノルボルナンを5.01g(32.5mmol)、ジアミノプロパノールを2.25g(25mmol)添加した。次いで、4,4’-(4,4’-イソプロピリデンジフェノキシ)ジフタル酸無水物65.7g(126mmol)を少しずつ添加した。次いで、ディーンスターク装置にナスフラスコを取り付け、4時間加熱還流した。このようにして、両末端にアミンを有しかつ複数のイミド骨格を有する化合物を得た。縮合時に排出される水分を除去し、室温に戻した後、フェノール2.35g(25mmol)を加えて攪拌し、さらに、パラホルムアルデヒド1.5gを少しずつ加えて攪拌した。次いで40℃で反応させた後、60℃で1時間及び80℃で1時間反応させた。このようにして、両末端にベンゾオキサジン基を有する化合物を得た。次いで、水洗し、有機層に6-マレイミドカプロン酸を3.96g(18.8mmol)加えて攪拌し、同様に加熱して反応させた。得られた溶液を水洗し、有機層をメタノール中に滴下し、マレイミド化合物を再沈殿させ、回収した後、乾燥させてイミド骨格含有マレイミド化合物2を得た。
<Synthesis Example 2>
150 mL of toluene and 100 mL of N-methyl-2-pyrrolidone were placed in a 500 mL eggplant flask, and 20.0 g (48.8 mmol) of Priamine 1075, 5.01 g (32.5 mmol) of bis(aminomethyl)norbornane, and 2.25 g (25 mmol) of diaminopropanol were added. Then, 65.7 g (126 mmol) of 4,4'-(4,4'-isopropylidenediphenoxy)diphthalic anhydride were added little by little. Then, the eggplant flask was attached to a Dean-Stark apparatus and heated under reflux for 4 hours. In this way, a compound having amines at both ends and multiple imide skeletons was obtained. After removing the moisture discharged during condensation and returning to room temperature, 2.35 g (25 mmol) of phenol was added and stirred, and further, 1.5 g of paraformaldehyde was added little by little and stirred. Then, the mixture was reacted at 40°C, and then reacted at 60°C for 1 hour and at 80°C for 1 hour. In this way, a compound having benzoxazine groups at both ends was obtained. Next, it was washed with water, and 3.96 g (18.8 mmol) of 6-maleimidocaproic acid was added to the organic layer, stirred, and similarly heated to react. The obtained solution was washed with water, and the organic layer was dropped into methanol to reprecipitate the maleimide compound, which was then recovered and dried to obtain imide skeleton-containing maleimide compound 2.
イミド骨格含有マレイミド化合物3:
以下の合成例3に従って、下記式(X3)で表されるイミド骨格含有マレイミド化合物1(分子量6500)を合成した。
Imide skeleton-containing maleimide compound 3:
According to the following Synthesis Example 3, an imide skeleton-containing maleimide compound 1 (molecular weight 6,500) represented by the following formula (X3) was synthesized.
上記式(X3)中、X31は下記式(X31)で表される構造を表し、X32は下記式(X32)で表される構造を表し、X33は下記式(X33)で表される構造を表し、Rはジアミン化合物に由来する部分骨格を表す。なお、下記式(X32)で表される構造のうち、ダイマージアミンに由来する骨格は、該ダイマージアミンに由来する骨格の代表構造であり、例えば、該ダイマージアミンに由来する骨格における炭化水素鎖は不飽和結合を有している場合もある。例えば、下記式(X32)において、該ダイマージアミンに由来する骨格における炭化水素鎖に不飽和結合が存在するイミド骨格含有マレイミド化合物が含まれる場合がある。合成されたイミド骨格含有マレイミド化合物は、ダイマージアミンに由来する骨格における炭化水素鎖が不飽和結合を有しているイミド骨格含有マレイミド化合物を含む場合がある。また、下記式(X31)において、ジフェニル-3,3’,4,4’-テトラカルボン酸二無水物に由来する骨格が示されているが、該骨格は、ピロメリット酸二無水物に由来する骨格に入れ替わっていてもよい。また、酸二無水物に由来する骨格の位置はランダムである。 In the above formula (X3), X31 represents a structure represented by the following formula (X31), X32 represents a structure represented by the following formula (X32), X33 represents a structure represented by the following formula (X33), and R represents a partial skeleton derived from a diamine compound. Among the structures represented by the following formula (X32), the skeleton derived from dimer diamine is a representative structure of the skeleton derived from the dimer diamine, and for example, the hydrocarbon chain in the skeleton derived from the dimer diamine may have an unsaturated bond. For example, in the following formula (X32), an imide skeleton-containing maleimide compound in which an unsaturated bond exists in the hydrocarbon chain in the skeleton derived from the dimer diamine may be included. The synthesized imide skeleton-containing maleimide compound may include an imide skeleton-containing maleimide compound in which the hydrocarbon chain in the skeleton derived from the dimer diamine has an unsaturated bond. In addition, in the following formula (X31), a skeleton derived from diphenyl-3,3',4,4'-tetracarboxylic dianhydride is shown, but the skeleton may be replaced with a skeleton derived from pyromellitic dianhydride. In addition, the position of the skeleton derived from the dianhydride is random.
<合成例3>
500mLのナスフラスコに150mLのトルエン及び100mLのN-メチル-2-ピロリドンを入れた。このナスフラスコ中に、プリアミン1075を16.4g(40mmol)、2,2-ビス(3-アミノ-4-ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン(東京化成社製)を7.33g(20mmol)、ビス(アミノメチル)ノルボルナン(三井化学ファイン社製)を6.17g(40mmol)更に添加した。次いで、ピロメリット酸二無水物9.81g(45mmol)、ジフェニル-3,3’,4,4’-テトラカルボン酸二無水物(東京化成社製)13.24g(45mmol)を少しずつ添加した。次いで、ディーンスターク装置にナスフラスコを取り付け、4時間加熱還流した。このようにして、両末端にアミンを有しかつ複数のイミド骨格を有する化合物を得た。縮合時に排出される水分を除去し、室温に戻した後、無水マレイン酸を5.88g(60mmol)加えて攪拌し、同様に加熱し反応させた。このようにして、両末端にマレイミド骨格を有する化合物を得た。得られた溶液を水洗した後、有機層をメタノールに滴下し、マレイミド化合物を再沈殿させ、回収した後、乾燥させてイミド骨格含有マレイミド化合物3を得た。
<Synthesis Example 3>
150 mL of toluene and 100 mL of N-methyl-2-pyrrolidone were placed in a 500 mL eggplant flask. 16.4 g (40 mmol) of Priamine 1075, 7.33 g (20 mmol) of 2,2-bis(3-amino-4-hydroxyphenyl)hexafluoropropane (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.), and 6.17 g (40 mmol) of bis(aminomethyl)norbornane (manufactured by Mitsui Fine Chemicals Co., Ltd.) were further added to this eggplant flask. Next, 9.81 g (45 mmol) of pyromellitic dianhydride and 13.24 g (45 mmol) of diphenyl-3,3',4,4'-tetracarboxylic dianhydride (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) were added little by little. Next, the eggplant flask was attached to a Dean-Stark apparatus and heated under reflux for 4 hours. In this way, a compound having amines at both ends and having multiple imide skeletons was obtained. The water discharged during the condensation was removed, and the mixture was returned to room temperature, after which 5.88 g (60 mmol) of maleic anhydride was added, stirred, and similarly heated to react. In this way, a compound having a maleimide skeleton at both ends was obtained. After washing the obtained solution with water, the organic layer was dropped into methanol to reprecipitate the maleimide compound, which was then recovered and dried to obtain an imide skeleton-containing maleimide compound 3.
合成例1~3で合成したイミド骨格含有マレイミド化合物の分子量は、以下のようにして求めた。 The molecular weights of the imide skeleton-containing maleimide compounds synthesized in Synthesis Examples 1 to 3 were determined as follows.
GPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー)測定:
島津製作所社製高速液体クロマトグラフシステムを使用し、テトラヒドロフラン(THF)を展開媒として、カラム温度40℃、流速1.0ml/分で測定を行った。検出器として「SPD-10A」を用い、カラムはShodex社製「KF-804L」(排除限界分子量400,000)を2本直列につないで使用した。標準ポリスチレンとして、東ソー社製「TSKスタンダードポリスチレン」を用い、重量平均分子量Mw=354,000、189,000、98,900、37,200、17,100、9,830、5,870、2,500、1,050、500の物質を使用して較正曲線を作成し、分子量の計算を行った。
GPC (Gel Permeation Chromatography) Measurement:
Using a high performance liquid chromatograph system manufactured by Shimadzu Corporation, measurements were performed at a column temperature of 40°C and a flow rate of 1.0 ml/min, with tetrahydrofuran (THF) as the developing medium. An "SPD-10A" was used as the detector, and two "KF-804L" columns (exclusion limit molecular weight 400,000) manufactured by Shodex Corporation were used in series. "TSK Standard Polystyrene" manufactured by Tosoh Corporation was used as the standard polystyrene, and a calibration curve was created using substances with weight average molecular weights Mw = 354,000, 189,000, 98,900, 37,200, 17,100, 9,830, 5,870, 2,500, 1,050, and 500, and the molecular weight was calculated.
(熱硬化性化合物)
ビフェニル型エポキシ化合物(日本化薬社製「NC-3000」)
ナフタレン型エポキシ化合物(新日鉄住金化学社製「ESN-475V」)
レゾルシノールジグリシジルエーテル(ナガセケムテックス社製「EX-201」)
アミド結合含有エポキシ化合物(日本化薬社製「WHR-991S」)
マレイミド化合物(N-アルキルビスマレイミド、Designer Molecules Inc.製「BMI-1500」)
(Thermosetting Compound)
Biphenyl type epoxy compound ("NC-3000" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
Naphthalene-type epoxy compound ("ESN-475V" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.)
Resorcinol diglycidyl ether ("EX-201" manufactured by Nagase Chemtex Corporation)
Amide bond-containing epoxy compound ("WHR-991S" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
Maleimide compound (N-alkylbismaleimide, "BMI-1500" manufactured by Designer Molecules Inc.)
(無機充填材)
シリカ含有スラリー(シリカ75重量%:アドマテックス社製「SC4050-HOA」、平均粒径1.0μm、アミノシラン処理、シクロヘキサノン25重量%)
(Inorganic filler)
Silica-containing slurry (75% silica by weight: Admatechs "SC4050-HOA", average particle size 1.0 μm, aminosilane treatment, cyclohexanone 25% by weight)
(硬化剤)
活性エステル化合物1含有液(DIC社製「EXB-9416-70BK」、固形分70重量%)
活性エステル化合物2含有液(DIC社製「HPC-8150-62T」、固形分62重量%)
フェノール化合物含有液(DIC社製「LA-1356」、固形分60重量%
(Hardening agent)
Active ester compound 1-containing solution (DIC Corporation "EXB-9416-70BK", solid content 70% by weight)
Active ester compound 2-containing liquid (DIC Corporation "HPC-8150-62T", solid content 62% by weight)
Phenol compound-containing liquid (DIC Corporation "LA-1356", solid content 60% by weight)
(硬化促進剤)
ジメチルアミノピリジン(和光純薬工業社製「DMAP」)
2-フェニル-4-メチルイミダゾール(四国化成工業社製「2P4MZ」、アニオン性硬化促進剤)
(Cure Accelerator)
Dimethylaminopyridine ("DMAP" manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.)
2-Phenyl-4-methylimidazole ("2P4MZ" manufactured by Shikoku Chemical Industry Co., Ltd., anionic curing accelerator)
(熱可塑性樹脂)
ポリイミド化合物(ポリイミド樹脂):
テトラカルボン酸二無水物とダイマージアミンとの反応物であるポリイミド化合物含有溶液(不揮発分26.8重量%)を以下の合成例4に従って合成した。
(Thermoplastic resin)
Polyimide compounds (polyimide resins):
A solution containing a polyimide compound (non-volatile content: 26.8% by weight), which is a reaction product of tetracarboxylic dianhydride and dimer diamine, was synthesized according to Synthesis Example 4 below.
<合成例4>
撹拌機、分水器、温度計及び窒素ガス導入管を備えた反応容器に、テトラカルボン酸二無水物(SABICジャパン合同会社製「BisDA-1000」)300.0gと、シクロヘキサノン665.5gとを入れ、反応容器中の溶液を60℃まで加熱した。次いで、反応容器中に、ダイマージアミン(クローダジャパン社製「PRIAMINE1075」)89.0gと、1,3-ビスアミノメチルシクロヘキサン(三菱ガス化学社製)54.7gとを滴下した。次いで、反応容器中に、メチルシクロヘキサン121.0gと、エチレングリコールジメチルエーテル423.5gとを添加し、140℃で10時間かけてイミド化反応を行った。このようにして、ポリイミド化合物含有溶液(不揮発分26.8重量%)を得た。得られたポリイミド化合物の分子量(重量平均分子量)は20000であった。なお、酸成分/アミン成分のモル比は1.04であった。
<Synthesis Example 4>
In a reaction vessel equipped with a stirrer, a water divider, a thermometer and a nitrogen gas inlet tube, 300.0 g of tetracarboxylic dianhydride ("BisDA-1000" manufactured by SABIC Japan LLC) and 665.5 g of cyclohexanone were placed, and the solution in the reaction vessel was heated to 60 ° C. Then, 89.0 g of dimer diamine ("PRIAMINE 1075" manufactured by Croda Japan) and 54.7 g of 1,3-bisaminomethylcyclohexane (manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd.) were dropped into the reaction vessel. Next, 121.0 g of methylcyclohexane and 423.5 g of ethylene glycol dimethyl ether were added to the reaction vessel, and the imidization reaction was carried out at 140 ° C. for 10 hours. In this way, a polyimide compound-containing solution (non-volatile content 26.8 wt%) was obtained. The molecular weight (weight average molecular weight) of the obtained polyimide compound was 20,000. The molar ratio of acid component/amine component was 1.04.
合成例4で合成したポリイミド化合物の分子量は、以下のようにして求めた。 The molecular weight of the polyimide compound synthesized in Synthesis Example 4 was determined as follows.
GPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー)測定:
島津製作所社製高速液体クロマトグラフシステムを使用し、テトラヒドロフラン(THF)を展開媒として、カラム温度40℃、流速1.0ml/分で測定を行った。検出器として「SPD-10A」を用い、カラムはShodex社製「KF-804L」(排除限界分子量400,000)を2本直列につないで使用した。標準ポリスチレンとして、東ソー社製「TSKスタンダードポリスチレン」を用い、重量平均分子量Mw=354,000、189,000、98,900、37,200、17,100、9,830、5,870、2,500、1,050、500の物質を使用して較正曲線を作成し、分子量の計算を行った。
GPC (Gel Permeation Chromatography) Measurement:
Using a high performance liquid chromatograph system manufactured by Shimadzu Corporation, measurements were performed at a column temperature of 40°C and a flow rate of 1.0 ml/min, with tetrahydrofuran (THF) as the developing medium. An "SPD-10A" was used as the detector, and two "KF-804L" columns (exclusion limit molecular weight 400,000) manufactured by Shodex Corporation were used in series. "TSK Standard Polystyrene" manufactured by Tosoh Corporation was used as the standard polystyrene, and a calibration curve was created using substances with weight average molecular weights Mw = 354,000, 189,000, 98,900, 37,200, 17,100, 9,830, 5,870, 2,500, 1,050, and 500, and the molecular weight was calculated.
(実施例1~4及び比較例1~3)
下記の表1に示す成分を下記の表1に示す配合量(単位は固形分重量部)で配合し、均一な溶液となるまで常温で攪拌し、樹脂材料を得た。
(Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 3)
The components shown in Table 1 below were mixed in the amounts (unit: parts by weight of solid content) shown in Table 1 below, and stirred at room temperature until a homogeneous solution was obtained, to obtain a resin material.
樹脂フィルムの作製:
アプリケーターを用いて、離型処理されたPETフィルム(東レ社製「XG284」、厚み25μm)の離型処理面上に得られた樹脂材料を塗工した後、100℃のギヤオーブン内で2分30秒間乾燥し、溶剤を揮発させた。このようにして、PETフィルム上に、厚さが40μmである樹脂フィルム(Bステージフィルム)が積層されている積層フィルム(PETフィルムと樹脂フィルムとの積層フィルム)を得た。
Preparation of resin film:
The obtained resin material was applied to the release-treated surface of a release-treated PET film ("XG284" manufactured by Toray Industries, Inc., thickness 25 μm) using an applicator, and then dried for 2 minutes and 30 seconds in a gear oven at 100° C. to volatilize the solvent. In this way, a laminated film (a laminated film of a PET film and a resin film) was obtained in which a resin film (B-stage film) having a thickness of 40 μm was laminated on the PET film.
(評価)
(1)誘電正接及び比誘電率
得られた樹脂フィルムを190℃で90分間加熱して、硬化物を得た。得られた硬化物を幅2mm、長さ80mmの大きさに裁断して10枚を重ね合わせて、関東電子応用開発社製「空洞共振摂動法誘電率測定装置CP521」及びキーサイトテクノロジー社製「ネットワークアナライザーN5224A PNA」を用いて、空洞共振法で常温(23℃)にて、周波数5.8GHzにて誘電正接及び比誘電率を測定した。
(evaluation)
(1) Dielectric loss tangent and relative dielectric constant The obtained resin film was heated at 190° C. for 90 minutes to obtain a cured product. The obtained cured product was cut into a size of 2 mm in width and 80 mm in length, and 10 sheets were stacked together. The dielectric loss tangent and relative dielectric constant were measured at room temperature (23° C.) and a frequency of 5.8 GHz by the cavity resonance method using a "Cavity Resonance Perturbation Method Dielectric Constant Measurement Device CP521" manufactured by Kanto Electronics Application Development Co., Ltd. and a "Network Analyzer N5224A PNA" manufactured by Keysight Technologies, Inc.
[誘電正接の判定基準]
○:誘電正接が2.9×10-3未満
×:誘電正接が2.9×10-3以上
[Criteria for dielectric tangent]
○: Dielectric tangent is less than 2.9×10 −3 ×: Dielectric tangent is 2.9×10 −3 or more
(2)熱寸法安定性(平均線膨張係数(CTE))
得られた厚さ40μmの樹脂フィルム(Bステージフィルム)を190℃で90分間加熱して得られた硬化物を3mm×25mmの大きさに裁断した。熱機械的分析装置(エスアイアイ・ナノテクノロジー社製「EXSTAR TMA/SS6100」)を用いて、引っ張り荷重33mN及び昇温速度5℃/分の条件で、裁断された硬化物の25℃~150℃までの平均線膨張係数(ppm/℃)を算出した。
(2) Thermal dimensional stability (average coefficient of linear expansion (CTE))
The resulting 40 μm thick resin film (B-stage film) was heated at 190° C. for 90 minutes, and the resulting cured product was cut into pieces measuring 3 mm x 25 mm. The average linear expansion coefficient (ppm/° C.) of the cut cured product from 25° C. to 150° C. was calculated using a thermomechanical analyzer ("EXSTAR TMA/SS6100" manufactured by SII NanoTechnology Inc.) under conditions of a tensile load of 33 mN and a heating rate of 5° C./min.
[平均線膨張係数の判定基準]
○○:平均線膨張係数が23ppm/℃以下
○:平均線膨張係数が23ppm/℃を超え27ppm/℃以下
×:平均線膨張係数が27ppm/℃を超える
[Criteria for Average Linear Expansion Coefficient]
○○: Average linear expansion coefficient is 23 ppm/°C or less. ○: Average linear expansion coefficient is more than 23 ppm/°C and less than 27 ppm/°C. ×: Average linear expansion coefficient is more than 27 ppm/°C.
(3)伸び特性
得られた厚さ40μmの樹脂フィルム(Bステージフィルム)を190℃で90分間加熱して得られた硬化物を10mm×100mmの大きさに裁断した。引っ張り試験機(SHIMADZU社製「AGS-J 100N」)を用いて、チャック間距離60mm、引っ張り速度5mm/minの条件で測定し、最大伸びの測定を行った。初期張力は0.35Nとした。測定は繰り返し5回行い、破断伸びの平均値(平均破断伸び)を算出した。
(3) Elongation properties The obtained resin film (B-stage film) having a thickness of 40 μm was heated at 190° C. for 90 minutes, and the obtained cured product was cut into a size of 10 mm×100 mm. Using a tensile tester (Shimadzu Corporation, “AGS-J 100N”), measurements were performed under conditions of a chuck distance of 60 mm and a pulling speed of 5 mm/min, and the maximum elongation was measured. The initial tension was 0.35 N. The measurement was repeated five times, and the average value of the breaking elongation (average breaking elongation) was calculated.
[伸び特性の判定基準]
○○:平均破断伸びが1.5%以上
○:平均破断伸びが1.2%以上1.5%未満
×:平均破断伸びが1.2%未満
[Elongation property evaluation criteria]
◯: Average breaking elongation is 1.5% or more. ○: Average breaking elongation is 1.2% or more and less than 1.5%. ×: Average breaking elongation is less than 1.2%.
(4)曲げ特性(繰り返し折り曲げ性)
得られた厚さ40μmの樹脂フィルム(Bステージフィルム)を190℃で90分間加熱して得られた硬化物を30mm×150mmの大きさに裁断した。面状体U字折り返し試験機(ユアサ社製)を用いて、200回/min、180℃折り曲げ(折り曲げギャップ5mm)、フィルムストローク70mmの条件で折り曲げ試験を行った。測定は繰り返し5回行い、平均値を算出した。
(4) Bending properties (repeated bending properties)
The resulting 40 μm thick resin film (B-stage film) was heated at 190° C. for 90 minutes, and the resulting cured product was cut into a size of 30 mm×150 mm. A folding test was performed using a planar U-shaped folding tester (manufactured by Yuasa Corporation) under the conditions of 200 times/min, 180° folding (folding gap 5 mm), and film stroke 70 mm. The measurement was repeated five times, and the average value was calculated.
[曲げ特性(繰り返し折り曲げ性)の判定基準]
○○:2000回折り曲げ後割れなし
○:折り曲げ回数が100回以上、2000回未満で割れ
×:折り曲げ回数が100回未満で割れ
[Criteria for flexural properties (repeated bending properties)]
○○: No cracks after 2000 folds ○: Cracks after 100 or more folds but less than 2000 folds ×: Cracks after less than 100 folds
(5)ガラス転移温度
得られた厚さ40μmの樹脂フィルム(Bステージフィルム)を190℃で90分間加熱して得られた硬化物を5mm×50mmの大きさに裁断した。熱機械的分析装置(エスアイアイ・ナノテクノロジー社製「DMS6100」)を用いて、チャック間距離20mm、振幅10μm、張力振幅初期値400mN、5℃/分の昇温速度で50℃から330℃まで温度を上昇させる条件、及び周波数10Hzの条件で測定を行った。得られた測定結果において、損失正接のピーク温度をガラス転移温度Tg(℃)とした。
(5) Glass transition temperature The obtained resin film (B-stage film) having a thickness of 40 μm was heated at 190° C. for 90 minutes, and the obtained cured product was cut into a size of 5 mm×50 mm. Measurements were performed using a thermomechanical analyzer (SII Nanotechnology Inc.'s "DMS6100") under the following conditions: chuck distance 20 mm, amplitude 10 μm, initial tension amplitude value 400 mN, temperature increase rate of 5° C./min from 50° C. to 330° C., and frequency of 10 Hz. In the obtained measurement results, the peak temperature of the loss tangent was taken as the glass transition temperature Tg (° C.).
[ガラス転移温度の判定基準]
〇:ガラス転移温度が170℃以上
×:ガラス転移温度が170℃未満
[Criteria for glass transition temperature]
◯: Glass transition temperature is 170° C. or higher. ×: Glass transition temperature is less than 170° C.
(6)デスミア性(ビア底の残渣の除去性)
ラミネート・半硬化処理:
得られた樹脂フィルムを、CCL基板(日立化成工業社製「E679FG」)に真空ラミネートし、180℃で30分間加熱し、半硬化させた。このようにして、CCL基板に樹脂フィルムの半硬化物が積層されている積層体Aを得た。
(6) Desmearing ability (ability to remove residues at the bottom of vias)
Lamination and semi-curing process:
The obtained resin film was vacuum laminated onto a CCL substrate ("E679FG" manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) and semi-cured by heating at 180° C. for 30 minutes. In this way, a laminate A in which a semi-cured resin film was laminated onto a CCL substrate was obtained.
ビア(貫通孔)形成:
得られた積層体Aの樹脂フィルムの半硬化物に、CO2レーザー(日立ビアメカニクス社製)を用いて、上端での直径が60μm、下端(底部)での直径が40μmであるビア(貫通孔)を形成した。このようにして、CCL基板に樹脂フィルムの半硬化物が積層されており、かつ樹脂フィルムの半硬化物にビア(貫通孔)が形成されている積層体Bを得た。
Via formation:
A via (through hole) having a diameter of 60 μm at the top and a diameter of 40 μm at the bottom (bottom) was formed using a CO2 laser (manufactured by Hitachi Via Mechanics Co., Ltd.) in the semi-cured resin film of the obtained laminate A. In this way, a laminate B was obtained in which the semi-cured resin film was laminated on the CCL substrate and the via (through hole) was formed in the semi-cured resin film.
ビアの底部の残渣の除去処理:
(a)膨潤処理
60℃の膨潤液(アトテックジャパン社製「スウェリングディップセキュリガントP」)に、得られた積層体Bを入れて、10分間揺動させた。その後、純水で洗浄した。
Via bottom residue removal process:
(a) Swelling Treatment The obtained laminate B was placed in a swelling liquid (Swelling Dip Securigant P, manufactured by Atotech Japan) at 60° C. and shaken for 10 minutes. Thereafter, it was washed with pure water.
(b)過マンガン酸塩処理(粗化処理及びデスミア処理)
80℃の過マンガン酸カリウム(アトテックジャパン社製「コンセントレートコンパクトCP」)粗化水溶液に、膨潤処理後の積層体Bを入れて、30分間揺動させた。次に、25℃の洗浄液(アトテックジャパン社製「リダクションセキュリガントP」)を用いて2分間処理した後、純水で洗浄を行い、評価サンプルを得た。
(b) Permanganate treatment (roughening treatment and desmear treatment)
The laminate B after the swelling treatment was placed in a roughening aqueous solution of potassium permanganate ("Concentrate Compact CP" manufactured by Atotech Japan) at 80° C. and was shaken for 30 minutes. Next, it was treated for 2 minutes using a cleaning solution ("Reduction Securigant P" manufactured by Atotech Japan) at 25° C., and then washed with pure water to obtain an evaluation sample.
評価サンプルのビアの底部を走査電子顕微鏡(SEM)にて観察し、ビア底の壁面からの最大スミア長を測定した。ビア底の残渣の除去性を以下の基準で判定した。 The bottom of the via of the evaluation sample was observed with a scanning electron microscope (SEM) and the maximum smear length from the wall surface of the via bottom was measured. The removability of the residue at the via bottom was judged according to the following criteria.
[ビア底の残渣の除去性の判定基準]
○○:最大スミア長が2μm未満
○:最大スミア長が2μm以上3μm未満
×:最大スミア長が3μm以上
[Criteria for Removability of Residue at Via Bottom]
○○: The maximum smear length is less than 2 μm. ○: The maximum smear length is 2 μm or more and less than 3 μm. ×: The maximum smear length is 3 μm or more.
(7)絶縁層と金属層との密着性(ピール強度)
ラミネート工程:
両面銅張積層板(各面の銅箔の厚み18μm、基板の厚み0.7mm、基板サイズ100mm×100mm、日立化成社製「MCL-E679FG」)を用意した。この両面銅張積層板の銅箔面の両面をメック社製「Cz8101」に浸漬して、銅箔の表面を粗化処理した。粗化処理された銅張積層板の両面に、名機製作所社製「バッチ式真空ラミネーターMVLP-500-IIA」を用いて、積層フィルムの樹脂フィルム(Bステージフィルム)側を銅張積層板上に重ねてラミネートして、積層構造体を得た。ラミネートの条件は、30秒減圧して気圧を13hPa以下とし、その後30秒間、100℃及び圧力0.4MPaでプレスする条件とした。
(7) Adhesion between insulating layer and metal layer (peel strength)
Lamination process:
A double-sided copper-clad laminate (copper foil thickness of 18 μm on each side, substrate thickness of 0.7 mm, substrate size 100 mm × 100 mm, Hitachi Chemical Co., Ltd. "MCL-E679FG") was prepared. Both sides of the copper foil surface of this double-sided copper-clad laminate were immersed in MEC Co., Ltd.'s "Cz8101" to roughen the copper foil surface. On both sides of the roughened copper-clad laminate, the resin film (B stage film) side of the laminated film was laminated on the copper-clad laminate using Meiki Seisakusho Co., Ltd.'s "batch vacuum laminator MVLP-500-IIA" to obtain a laminated structure. The lamination conditions were reduced pressure for 30 seconds to an atmospheric pressure of 13 hPa or less, and then pressed at 100 ° C. and a pressure of 0.4 MPa for 30 seconds.
フィルム剥離工程:
得られた積層構造体において、両面のPETフィルムを剥離した。
Film peeling process:
The PET films on both sides of the resulting laminated structure were peeled off.
銅箔貼り付け工程:
銅箔(厚み35μm、三井金属社製)のシャイニー面をCz処理(メック社製「Cz8101」)して、銅箔表面を1μm程度エッチングした。PETフィルムを剥離した上記積層構造体に、エッチング処理した銅箔を貼り合せて、銅箔付き基板を得た。得られた銅箔付き基板をギアオーブン内で190℃で90分間熱処理し、評価サンプルを得た。
Copper foil attachment process:
The shiny side of the copper foil (thickness 35 μm, manufactured by Mitsui Kinzoku Co., Ltd.) was subjected to Cz treatment ("Cz8101" manufactured by MEC Co., Ltd.) to etch the copper foil surface by about 1 μm. The etched copper foil was attached to the laminated structure from which the PET film had been peeled off to obtain a copper foil-attached substrate. The obtained copper foil-attached substrate was heat-treated at 190° C. for 90 minutes in a gear oven to obtain an evaluation sample.
ピール強度の測定:
評価サンプルの銅箔の表面に1cm幅の短冊状の切込みを入れた。90°剥離試験機(テスター産業社製「TE-3001」)に評価サンプルをセットし、つかみ具で切込みの入った銅箔の端部をつまみあげ、銅箔を20mm剥離して剥離強度(ピール強度)を測定した。
Peel strength measurement:
A 1 cm-wide rectangular cut was made on the surface of the copper foil of the evaluation sample. The evaluation sample was set in a 90° peel tester (TE-3001, manufactured by Tester Sangyo Co., Ltd.), the end of the copper foil with the cut was picked up with a gripper, and the copper foil was peeled off by 20 mm to measure the peel strength.
[ピール強度の判定基準]
○○:ピール強度が0.6kgf以上
○:ピール強度が0.4kgf以上0.6kgf未満
×:ピール強度が0.4kgf未満
[Peel strength evaluation criteria]
○○: Peel strength is 0.6 kgf or more. ○: Peel strength is 0.4 kgf or more but less than 0.6 kgf. ×: Peel strength is less than 0.4 kgf.
組成及び結果を下記の表1に示す。 The composition and results are shown in Table 1 below.
11…多層プリント配線板
12…回路基板
12a…上面
13~16…絶縁層
17…金属層
11: multilayer printed wiring board 12:
Claims (17)
1個以上のマレイミド骨格及び2個以上のイミド骨格を有し、かつ前記熱硬化性化合物と反応可能な官能基を少なくとも1個有するイミド骨格含有マレイミド化合物とを含み、
前記イミド骨格含有マレイミド化合物が、ダイマージアミンに由来する骨格又はトリマートリアミンに由来する骨格を有する、樹脂材料。 A thermosetting compound;
an imide skeleton-containing maleimide compound having one or more maleimide skeletons and two or more imide skeletons and having at least one functional group capable of reacting with the thermosetting compound ;
The resin material , wherein the imide skeleton-containing maleimide compound has a skeleton derived from a dimer triamine or a skeleton derived from a trimer triamine .
前記硬化剤が、フェノール化合物、活性エステル化合物、シアネートエステル化合物、及びカルボジイミド化合物の内の少なくとも1種の成分を含む、請求項10又は11に記載の樹脂材料。 the thermosetting compound comprises an epoxy compound,
The resin material according to claim 10 or 11 , wherein the curing agent comprises at least one component selected from the group consisting of a phenol compound, an active ester compound, a cyanate ester compound, and a carbodiimide compound.
前記回路基板の表面上に配置された複数の絶縁層と、
複数の前記絶縁層間に配置された金属層とを備え、
複数の前記絶縁層の内の少なくとも1層が、請求項1~16のいずれか1項に記載の樹脂材料の硬化物である、多層プリント配線板。 A circuit board;
a plurality of insulating layers disposed on a surface of the circuit board;
a metal layer disposed between a plurality of the insulating layers;
A multilayer printed wiring board, wherein at least one of the insulating layers is a cured product of the resin material according to any one of claims 1 to 16 .
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