JP7680839B2 - Resin materials and multilayer printed wiring boards - Google Patents
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Description
本発明は、イミド骨格を有する化合物を含む樹脂材料に関する。また、本発明は、上記樹脂材料を用いた多層プリント配線板に関する。The present invention relates to a resin material containing a compound having an imide skeleton. The present invention also relates to a multilayer printed wiring board using the resin material.
従来、半導体装置、積層板及びプリント配線板等の電子部品を得るために、様々な樹脂材料が用いられている。例えば、多層プリント配線板では、内部の層間を絶縁するための絶縁層を形成したり、表層部分に位置する絶縁層を形成したりするために、樹脂材料が用いられている。上記絶縁層の表面には、一般に金属である配線が積層される。また、上記絶縁層を形成するために、上記樹脂材料がフィルム化された樹脂フィルムが用いられることがある。上記樹脂材料及び上記樹脂フィルムは、ビルドアップフィルムを含む多層プリント配線板用の絶縁材料等として用いられている。Conventionally, various resin materials have been used to obtain electronic components such as semiconductor devices, laminates, and printed wiring boards. For example, in multilayer printed wiring boards, resin materials are used to form insulating layers for insulating between internal layers and to form insulating layers located on the surface. Wiring, which is generally metal, is laminated on the surface of the insulating layer. In addition, resin films in which the resin materials are filmized may be used to form the insulating layers. The resin materials and resin films are used as insulating materials for multilayer printed wiring boards, including build-up films.
下記の特許文献1には、マレイミド基と、少なくとも2つのイミド結合を有する2価の基及び飽和又は不飽和の2価の炭化水素基とを有する化合物を含有する樹脂組成物が開示されている。特許文献1には、この樹脂組成物の硬化物を、多層プリント配線板等の絶縁層として用いることができることが記載されている。The following Patent Document 1 discloses a resin composition containing a compound having a maleimide group, a divalent group having at least two imide bonds, and a saturated or unsaturated divalent hydrocarbon group. Patent Document 1 describes that a cured product of this resin composition can be used as an insulating layer for a multilayer printed wiring board or the like.
下記の特許文献2には、(A)エポキシ樹脂、及び(B)マレイミド化合物を含み、(B)成分が、炭素原子数が5以上のアルキル基及び炭素原子数が5以上のアルキレン基の内の少なくともいずれかを含む樹脂組成物が開示されている。The following Patent Document 2 discloses a resin composition comprising (A) an epoxy resin and (B) a maleimide compound, in which component (B) contains at least one of an alkyl group having 5 or more carbon atoms and an alkylene group having 5 or more carbon atoms.
下記の特許文献3には、ビスマレイミド化合物を含み、該ビスマレイミド化合物が、マレイミド基2個と、特定の構造を有するポリイミド基1個以上とを有する電子材料用樹脂組成物が開示されている。上記ビスマレイミド化合物において、2個の上記マレイミド基は、各々独立して、8以上の原子が直鎖状に連結した第1の連結基を少なくとも介して、上記ポリイミド基の両端に結合している。The following Patent Document 3 discloses a resin composition for electronic materials that contains a bismaleimide compound having two maleimide groups and one or more polyimide groups having a specific structure. In the bismaleimide compound, the two maleimide groups are each independently bonded to both ends of the polyimide group via at least a first linking group in which eight or more atoms are linearly linked.
下記の特許文献4には、プリント配線基板における絶縁層を形成するために用いられる熱硬化性樹脂組成物であって、マレイミド化合物(A)を含み、前記マレイミド化合物(A)が特定の構造を有するビスマレイミド化合物(A1)を少なくとも含むプリント配線基板用樹脂組成物が開示されている。The following Patent Document 4 discloses a thermosetting resin composition used to form an insulating layer in a printed wiring board, the resin composition containing a maleimide compound (A) and containing at least a bismaleimide compound (A1) having a specific structure.
特許文献1に記載のような従来の樹脂材料を用いて絶縁層を形成した場合に、硬化物の熱寸法安定性が十分に高くならないことがある。また、特許文献2に記載のような従来の樹脂材料を用いて絶縁層を形成した場合に、硬化物の誘電正接が十分に低くならないことがある。特許文献3,4に記載のように、特定の構造を有するマレイミド化合物を含む樹脂材料を用いると、誘電正接及び熱寸法安定性をある程度良好にすることができるものの、更なる向上が望まれる。When an insulating layer is formed using a conventional resin material such as that described in Patent Document 1, the thermal dimensional stability of the cured product may not be sufficiently high. Also, when an insulating layer is formed using a conventional resin material such as that described in Patent Document 2, the dielectric tangent of the cured product may not be sufficiently low. As described in Patent Documents 3 and 4, when a resin material containing a maleimide compound having a specific structure is used, the dielectric tangent and thermal dimensional stability can be improved to a certain extent, but further improvement is desired.
また、特許文献1-4に記載のような従来の樹脂材料では、絶縁層の形成時にデスミア処理によって、ビア内のスミアが十分に除去されないことがある。Furthermore, with conventional resin materials such as those described in Patent Documents 1-4, smears within the vias may not be sufficiently removed by the desmear process during the formation of the insulating layer.
さらに、従来の樹脂材料を用いて絶縁層を形成した場合に、エッチング後の表面粗度がばらついたり、該絶縁層の表面上にめっき処理により積層した金属層とのメッキピール強度が十分に高くならなかったりすることがある。 Furthermore, when an insulating layer is formed using conventional resin materials, the surface roughness after etching may vary, and the plating peel strength with the metal layer laminated on the surface of the insulating layer by plating may not be sufficiently high.
本発明の目的は、1)硬化物の誘電正接を低くすることができ、2)硬化物の熱寸法安定性を高めることができ、3)デスミア処理によってスミアを効果的に除去することができ、4)エッチング後の表面粗度のばらつきを抑えることができ、5)メッキピール強度を高めることができる樹脂材料を提供することである。また、本発明は、上記樹脂材料を用いた多層プリント配線板を提供することも目的とする。The object of the present invention is to provide a resin material that can 1) reduce the dielectric tangent of the cured product, 2) increase the thermal dimensional stability of the cured product, 3) effectively remove smears by desmearing, 4) reduce the variation in surface roughness after etching, and 5) increase plating peel strength. Another object of the present invention is to provide a multilayer printed wiring board using the above resin material.
本発明の広い局面によれば、下記式(X)で表される構造を有する化合物と、硬化促進剤とを含む、樹脂材料が提供される。According to a broad aspect of the present invention, there is provided a resin material comprising a compound having a structure represented by the following formula (X) and a curing accelerator:
前記式(X)中、Rは有機基を表し、nは1以上の数を表す。In the formula (X), R represents an organic group and n represents a number of 1 or more.
本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記式(X)中、nは2以上の数を表す。In a particular aspect of the resin material of the present invention, in formula (X), n represents a number of 2 or more.
本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記式(X)中、Rは脂肪族環を有する基である。In a particular aspect of the resin material according to the present invention, in formula (X), R is a group having an aliphatic ring.
本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記式(X)中、Rはダイマージアミンに由来する骨格の部分骨格を有する。In a particular aspect of the resin material according to the present invention, in formula (X), R has a partial skeleton derived from a dimer diamine.
本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記式(X)中、Rはダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格の部分骨格を有する。In a particular aspect of the resin material according to the present invention, in formula (X), R has a partial skeleton derived from a diamine compound other than dimer diamine.
本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記化合物において、イミド骨格を構成する窒素原子が、脂肪族骨格を構成する炭素原子のみに結合している。In a particular aspect of the resin material according to the present invention, in the compound, the nitrogen atoms constituting the imide skeleton are bonded only to the carbon atoms constituting the aliphatic skeleton.
本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記化合物が、マレイミド骨格を有する化合物である。In a particular aspect of the resin material of the present invention, the compound is a compound having a maleimide skeleton.
本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記化合物が、両末端にマレイミド骨格を有する化合物である。In a particular aspect of the resin material of the present invention, the compound is a compound having a maleimide skeleton at both ends.
本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記化合物の重量平均分子量が、1000以上100000以下である。In a particular aspect of the resin material of the present invention, the weight average molecular weight of the compound is 1,000 or more and 100,000 or less.
本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記化合物が、下記式(Y)で表される構造を有し、前記式(X)で表される構造の繰り返し数と、下記式(Y)で表される構造の繰り返し数との合計100%中、前記式(X)で表される構造の繰り返し数が、10%以上90%以下である。
前記式(Y)中、R1は4価の有機基を表し、R2は有機基を表し、mは1以上の数を表す。In the formula (Y), R1 represents a tetravalent organic group, R2 represents an organic group, and m represents a number of 1 or more.
本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記式(Y)中、R1はフタルイミドに由来する骨格を有さず、前記式(Y)中、R2はフタルイミドに由来する骨格を有さない。In a particular aspect of the resin material of the present invention, in formula (Y), R1 does not have a skeleton derived from phthalimide, and in formula (Y), R2 does not have a skeleton derived from phthalimide.
本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記式(Y)中、R1は芳香族骨格を有さない。In a particular aspect of the resin material of the present invention, in formula (Y), R1 does not have an aromatic skeleton.
本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、熱硬化性化合物と、硬化剤とを含み、前記熱硬化性化合物が、エポキシ化合物を含む。In one particular aspect, the resin material of the present invention comprises a thermosetting compound and a curing agent, and the thermosetting compound comprises an epoxy compound.
本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記硬化剤が、活性エステル化合物を含む。In a particular aspect of the resin material of the present invention, the curing agent comprises an active ester compound.
本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記エポキシ化合物と前記活性エステル化合物との内の少なくとも一方が、イミド骨格又はアミド骨格を有する。In a particular aspect of the resin material of the present invention, at least one of the epoxy compound and the active ester compound has an imide skeleton or an amide skeleton.
本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記熱硬化性化合物が、ラジカル硬化性化合物を含む。In a particular aspect of the resin material of the present invention, the thermosetting compound includes a radically curable compound.
本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記樹脂材料は、無機充填材を含む。In a particular aspect of the resin material of the present invention, the resin material contains an inorganic filler.
本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、前記無機充填材の含有量が50重量%以上である。In a particular aspect of the resin material of the present invention, the content of the inorganic filler is 50% by weight or more out of 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material.
本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記無機充填材がシリカである。 In a particular aspect of the resin material of the present invention, the inorganic filler is silica.
本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記樹脂材料は、樹脂フィルムである。 In one particular aspect of the resin material of the present invention, the resin material is a resin film.
本発明に係る樹脂材料は、多層プリント配線板において、絶縁層を形成するために好適に用いられる。The resin material of the present invention is suitable for use in forming insulating layers in multilayer printed wiring boards.
本発明の広い局面によれば、回路基板と、前記回路基板の表面上に配置された複数の絶縁層と、複数の前記絶縁層間に配置された金属層とを備え、複数の前記絶縁層の内の少なくとも1層が、上述した樹脂材料の硬化物である、多層プリント配線板が提供される。According to a broad aspect of the present invention, there is provided a multilayer printed wiring board comprising a circuit board, a plurality of insulating layers disposed on a surface of the circuit board, and a metal layer disposed between the plurality of insulating layers, at least one of the plurality of insulating layers being a cured product of the resin material described above.
本発明に係る樹脂材料は、式(X)で表される構造を有する化合物と、硬化促進剤とを含む。本発明に係る樹脂材料では、上記の構成が備えられているので、1)硬化物の誘電正接を低くすることができ、2)硬化物の熱寸法安定性を高めることができ、3)デスミア処理によってスミアを効果的に除去することができ、4)エッチング後の表面粗度のばらつきを抑えることができ、5)メッキピール強度を高めることができる。The resin material according to the present invention includes a compound having a structure represented by formula (X) and a curing accelerator. The resin material according to the present invention has the above-mentioned configuration, and therefore 1) the dielectric tangent of the cured product can be reduced, 2) the thermal dimensional stability of the cured product can be increased, 3) smears can be effectively removed by desmearing, 4) the variation in surface roughness after etching can be suppressed, and 5) plating peel strength can be increased.
以下、本発明を詳細に説明する。 The present invention is described in detail below.
本発明に係る樹脂材料は、下記式(X)で表される構造を有する化合物(以下、化合物Xと記載することがある)と、硬化促進剤とを含む。The resin material according to the present invention contains a compound having a structure represented by the following formula (X) (hereinafter, sometimes referred to as compound X) and a curing accelerator.
上記式(X)中、Rは有機基を表し、nは1以上の数を表す。In the above formula (X), R represents an organic group and n represents a number of 1 or more.
本発明に係る樹脂材料では、上記の構成が備えられているので、1)硬化物の誘電正接を低くすることができ、2)硬化物の熱寸法安定性を高めることができ、3)デスミア処理によってスミアを効果的に除去することができ、4)エッチング後の表面粗度のばらつきを抑えることができ、5)メッキピール強度を高めることができる。本発明に係る樹脂材料では、1)-5)の効果を全て発揮することができる。 The resin material according to the present invention has the above-mentioned configuration, and therefore 1) the dielectric tangent of the cured product can be lowered, 2) the thermal dimensional stability of the cured product can be increased, 3) smears can be effectively removed by desmearing, 4) variations in surface roughness after etching can be suppressed, and 5) plating peel strength can be increased. The resin material according to the present invention can achieve all of the effects 1)-5).
また、本発明に係る樹脂材料では、上記の構成が備えられているので、樹脂材料の相溶性を高めることができる。また、本発明に係る樹脂材料では、上記の構成が備えられているので、樹脂材料の硬化物の伸び特性を高めることができる。In addition, since the resin material according to the present invention has the above-mentioned configuration, it is possible to improve the compatibility of the resin material. In addition, since the resin material according to the present invention has the above-mentioned configuration, it is possible to improve the elongation characteristics of the cured product of the resin material.
本発明に係る樹脂材料は、樹脂組成物であってもよく、樹脂フィルムであってもよい。上記樹脂組成物は、流動性を有する。上記樹脂組成物は、ペースト状であってもよい。上記ペースト状には液状が含まれる。取扱性に優れることから、本発明に係る樹脂材料は、樹脂フィルムであることが好ましい。The resin material according to the present invention may be a resin composition or a resin film. The resin composition has fluidity. The resin composition may be in a paste form. The paste form includes a liquid form. Since the resin material according to the present invention has excellent handleability, it is preferable that the resin material is a resin film.
本発明に係る樹脂材料は、熱硬化性樹脂材料であることが好ましい。上記樹脂材料が樹脂フィルムである場合には、該樹脂フィルムは、熱硬化性樹脂フィルムであることが好ましい。The resin material according to the present invention is preferably a thermosetting resin material. When the resin material is a resin film, the resin film is preferably a thermosetting resin film.
以下、本発明に係る樹脂材料に用いられる各成分の詳細、及び本発明に係る樹脂材料の用途などを説明する。Below, we will explain the details of each component used in the resin material of the present invention, as well as uses of the resin material of the present invention.
[化合物X]
本発明に係る樹脂材料は、下記式(X)で表される構造を有する化合物Xを含む。下記式(X)で表される構造は、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物に由来する骨格を有する。下記式(X)で表される構造は、イミド骨格を有する。したがって、化合物Xは、イミド骨格を有する。化合物Xは、熱硬化性化合物であることが好ましい。化合物Xは、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。以下、本発明の効果をより一層効果的に発揮させることができる好ましい構造などを具体的に説明する。
[Compound X]
The resin material according to the present invention contains a compound X having a structure represented by the following formula (X). The structure represented by the following formula (X) has a skeleton derived from 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride. The structure represented by the following formula (X) has an imide skeleton. Therefore, the compound X has an imide skeleton. The compound X is preferably a thermosetting compound. Only one type of compound X may be used, or two or more types may be used in combination. Preferred structures and the like that can more effectively exert the effects of the present invention will be specifically described below.
上記式(X)中、Rは有機基を表し、nは1以上の数を表す。In the above formula (X), R represents an organic group and n represents a number of 1 or more.
上記式(X)中、nは、2以上の数を表すことが好ましく、20以下の数を表すことが好ましく、10以下の数を表すことがより好ましい。In the above formula (X), n preferably represents a number of 2 or more, preferably a number of 20 or less, and more preferably a number of 10 or less.
上記式(X)中、Rとしては、脂肪族環を有する基等が挙げられる。上記脂肪族環を有する基としては、シクロヘキサン環を有する基、及びダイマージアミンに由来する骨格の一部を形成している基等が挙げられる。In the above formula (X), R may be a group having an aliphatic ring. Examples of the group having an aliphatic ring include a group having a cyclohexane ring and a group that forms part of a skeleton derived from dimer diamine.
本発明の効果をより一層効果的に発揮する観点からは、上記式(X)中、Rは、脂肪族環を有する基であることが好ましく、シクロヘキサン環を有する基であることがより好ましい。In order to more effectively exert the effects of the present invention, in the above formula (X), R is preferably a group having an aliphatic ring, and more preferably a group having a cyclohexane ring.
なお、本明細書において、シクロヘキサン環とは、6個の炭素原子が環状に結合した六員環の脂環式構造を意味する。上記シクロヘキサン環を構成している炭素原子は、炭素数1以上20以下の炭化水素基と結合していてもよく、炭素数1以上4以下の炭化水素基と結合していてもよい。また、上記化合物Xは、トリシクロデカン環、ノルボルナン環、アダマンタン骨格等を構成している環としてシクロヘキサン環を有していてもよい。また、上記化合物Xは、複数個のシクロヘキサン環がアルキル基等の炭化水素基を介して繋がれている構造を有していてもよい。In this specification, the cyclohexane ring means a six-membered alicyclic structure in which six carbon atoms are bonded in a ring. The carbon atoms constituting the cyclohexane ring may be bonded to a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, or may be bonded to a hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms. The compound X may have a cyclohexane ring as a ring constituting a tricyclodecane ring, a norbornane ring, an adamantane skeleton, or the like. The compound X may have a structure in which multiple cyclohexane rings are connected via a hydrocarbon group such as an alkyl group.
上記式(X)中のRがシクロヘキサン環を有する基である場合に、該シクロヘキサン環を構成する炭素原子と、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物に由来する骨格における窒素原子とが、直接結合しているか、又は、3個以下の原子を介して結合していることが好ましい。該原子は、炭素原子であることが好ましい。When R in the above formula (X) is a group having a cyclohexane ring, it is preferable that the carbon atom constituting the cyclohexane ring is directly bonded to a nitrogen atom in the skeleton derived from 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride or is bonded via three or less atoms. The atoms are preferably carbon atoms.
上記式(X)中のRがシクロヘキサン環として上記トリシクロデカン環を有する場合に、該トリシクロデカン環を構成する炭素原子と、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物に由来する骨格における窒素原子とが、直接結合しているか、又は、2個以下の原子を介して結合していることが好ましい。該原子は、炭素原子であることが好ましい。When R in the above formula (X) has the above tricyclodecane ring as the cyclohexane ring, it is preferable that the carbon atom constituting the tricyclodecane ring is directly bonded to the nitrogen atom in the skeleton derived from 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride or is bonded via two or less atoms. The atoms are preferably carbon atoms.
本発明の効果を更により一層効果的に発揮する観点からは、上記式(X)中、Rは、下記式(A1)、下記式(A2)、下記式(A3)、下記式(A4)、下記式(A5)、下記式(A6)、又は下記式(A7)で表される基であることが好ましい。From the viewpoint of exerting the effects of the present invention even more effectively, in the above formula (X), it is preferable that R is a group represented by the following formula (A1), the following formula (A2), the following formula (A3), the following formula (A4), the following formula (A5), the following formula (A6), or the following formula (A7).
上記式(A1)中、R1~R10はそれぞれ、水素原子、又は炭素数1以上20以下の炭化水素基を表す。上記式(A1)中、R1~R10はそれぞれ、水素原子、又はメチル基であることが好ましい。上記式(A1)中、R1~R10はそれぞれ同一であってもよく、異なっていてもよい。In the above formula (A1), R1 to R10 each represent a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms. In the above formula (A1), it is preferable that R1 to R10 each represent a hydrogen atom or a methyl group. In the above formula (A1), R1 to R10 may be the same or different.
上記式(A1)で表される基は、シクロヘキサン環を有する。The group represented by the above formula (A1) has a cyclohexane ring.
上記式(A1)で表される基を有する上記式(X)で表される構造では、シクロヘキサン環を構成する炭素原子と、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物に由来する骨格における窒素原子とが、1個の炭素原子を介して結合している。In the structure represented by formula (X) having a group represented by formula (A1) above, the carbon atom constituting the cyclohexane ring and the nitrogen atom in the skeleton derived from 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride are bonded via one carbon atom.
上記式(A2)中、R1~R10はそれぞれ、水素原子、又は炭素数1以上20以下の炭化水素基を表す。上記式(A2)中、R1~R10はそれぞれ、水素原子、又はメチル基であることが好ましい。上記式(A2)中、R1~R10はそれぞれ同一であってもよく、異なっていてもよい。In the above formula (A2), R1 to R10 each represent a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms. In the above formula (A2), it is preferable that R1 to R10 each represent a hydrogen atom or a methyl group. In the above formula (A2), R1 to R10 may be the same or different.
上記式(A2)で表される基は、シクロヘキサン環を有する。The group represented by the above formula (A2) has a cyclohexane ring.
上記式(A2)で表される基を有する上記式(X)で表される構造では、シクロヘキサン環を構成する第1の炭素原子(左側の炭素原子)と、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物に由来する骨格における窒素原子とが、直接結合している。上記式(A2)で表される基を有する上記式(X)で表される構造では、シクロヘキサン環を構成する第2の炭素原子(右側の炭素原子)と、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物に由来する骨格における窒素原子とが、1個の炭素原子を介して結合している。In the structure represented by formula (X) having a group represented by formula (A2), the first carbon atom (left carbon atom) constituting the cyclohexane ring is directly bonded to a nitrogen atom in the skeleton derived from 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride. In the structure represented by formula (X) having a group represented by formula (A2), the second carbon atom (right carbon atom) constituting the cyclohexane ring is bonded to a nitrogen atom in the skeleton derived from 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride via one carbon atom.
上記式(A3)中、R1~R10はそれぞれ、水素原子、又は炭素数1以上20以下の炭化水素基を表す。上記式(A3)中、R1~R10はそれぞれ、水素原子、又はメチル基であることが好ましい。上記式(A3)中、R1~R10はそれぞれ同一であってもよく、異なっていてもよい。In the above formula (A3), R1 to R10 each represent a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms. In the above formula (A3), it is preferable that R1 to R10 each represent a hydrogen atom or a methyl group. In the above formula (A3), R1 to R10 may be the same or different.
上記式(A3)で表される基は、シクロヘキサン環を有する。The group represented by the above formula (A3) has a cyclohexane ring.
上記式(A3)で表される基を有する上記式(X)で表される構造では、シクロヘキサン環を構成する第1の炭素原子(左側の炭素原子)と、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物に由来する骨格における窒素原子とが、2個の炭素原子を介して結合している。上記式(A3)で表される基を有する上記式(X)で表される構造では、シクロヘキサン環を構成する第2の炭素原子(右側の炭素原子)と、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物に由来する骨格における窒素原子とが、直接結合している。In the structure represented by formula (X) having a group represented by formula (A3), the first carbon atom (left carbon atom) constituting the cyclohexane ring is bonded to a nitrogen atom in the skeleton derived from 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride via two carbon atoms. In the structure represented by formula (X) having a group represented by formula (A3), the second carbon atom (right carbon atom) constituting the cyclohexane ring is bonded directly to a nitrogen atom in the skeleton derived from 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride.
上記式(A4)中、R1~R18はそれぞれ、水素原子、又は炭素数1以上20以下の炭化水素基を表し、Qは、任意の基を表す。上記式(A4)中、R1~R18はそれぞれ、水素原子、又はメチル基であることが好ましい。上記式(A4)中、Qは炭素数1以上4以下の炭化水素基、又は芳香族環を有する基であることが好ましく、アルキレン基であることがより好ましく、メチレン基であることが更に好ましい。上記式(A4)中、Qが芳香族環を有する基である場合に、Qは、芳香族環同士がエステル結合を介して結合した基であってもよい。上記式(A4)中、R1~R18はそれぞれ同一であってもよく、異なっていてもよい。In the above formula (A4), R1 to R18 each represent a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, and Q represents any group. In the above formula (A4), it is preferable that R1 to R18 each represent a hydrogen atom or a methyl group. In the above formula (A4), it is preferable that Q represent a hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms or a group having an aromatic ring, more preferably an alkylene group, and even more preferably a methylene group. In the above formula (A4), when Q represents a group having an aromatic ring, Q may be a group in which the aromatic rings are bonded to each other via an ester bond. In the above formula (A4), R1 to R18 may be the same or different.
上記式(A4)で表される基は、シクロヘキサン環を有する。The group represented by the above formula (A4) has a cyclohexane ring.
上記式(A4)で表される基を有する上記式(X)で表される構造では、シクロヘキサン環を構成する第1の炭素原子(左側の炭素原子)と、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物に由来する骨格における窒素原子とが、直接結合している。上記式(A4)で表される基を有する上記式(X)で表される構造では、シクロヘキサン環を構成する第2の炭素原子(右側の炭素原子)と、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物に由来する骨格における窒素原子とが、直接結合している。In the structure represented by formula (X) having a group represented by formula (A4), the first carbon atom (left carbon atom) constituting the cyclohexane ring is directly bonded to a nitrogen atom in the skeleton derived from 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride. In the structure represented by formula (X) having a group represented by formula (A4), the second carbon atom (right carbon atom) constituting the cyclohexane ring is directly bonded to a nitrogen atom in the skeleton derived from 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride.
上記式(A5)中、R1~R8はそれぞれ、水素原子、又は炭素数1以上20以下の炭化水素基を表す。上記式(A5)中、R1~R8はそれぞれ、水素原子、又はメチル基であることが好ましい。上記式(A5)中、R1~R8はそれぞれ同一であってもよく、異なっていてもよい。In the above formula (A5), R1 to R8 each represent a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms. In the above formula (A5), it is preferable that R1 to R8 each represent a hydrogen atom or a methyl group. In the above formula (A5), R1 to R8 may be the same or different.
なお、上記式(X)中、Rは、下記式(A5-1)で表される基であってもよい。In addition, in the above formula (X), R may be a group represented by the following formula (A5-1).
上記式(A5-1)中、R1~R10はそれぞれ、水素原子、又は炭素数1以上20以下の炭化水素基を表し、R1~R10の内の2つが、イミド骨格を構成する窒素原子との結合している基を表す。上記式(A5-1)中、R9及びR10が、イミド骨格を構成する窒素原子との結合している基を表す場合が、上記式(A5)に相当する。In the above formula (A5-1), R1 to R10 each represent a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, and two of R1 to R10 represent groups bonded to the nitrogen atom constituting the imide skeleton. In the above formula (A5-1), when R9 and R10 represent groups bonded to the nitrogen atom constituting the imide skeleton, this corresponds to the above formula (A5).
上記式(A5)及び上記式(A5-1)で表される基は、ノルボルナン環を有する。The groups represented by the above formula (A5) and formula (A5-1) have a norbornane ring.
上記式(A5)及び上記式(A5-1)で表される基を有する上記式(X)で表される構造では、シクロヘキサン環を構成する炭素原子と、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物に由来する骨格における窒素原子とが、1個の炭素原子を介して結合している。In the structure represented by formula (X) having groups represented by formula (A5) and formula (A5-1), the carbon atom constituting the cyclohexane ring and the nitrogen atom in the skeleton derived from 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride are bonded via one carbon atom.
上記式(A6)中、R1~R12はそれぞれ、水素原子、又は炭素数1以上20以下の炭化水素基を表す。上記式(A6)中、R1~R12はそれぞれ、水素原子、又はメチル基であることが好ましい。上記式(A6)中、R1~R12はそれぞれ同一であってもよく、異なっていてもよい。In the above formula (A6), R1 to R12 each represent a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms. In the above formula (A6), it is preferable that R1 to R12 each represent a hydrogen atom or a methyl group. In the above formula (A6), R1 to R12 may be the same or different.
なお、上記式(X)中、Rは、下記式(A6-1)で表される基であってもよい。In addition, in the above formula (X), R may be a group represented by the following formula (A6-1).
上記式(A6-1)中、R1~R14はそれぞれ、水素原子、又は炭素数1以上20以下の炭化水素基を表し、R1~R14の内の2つが、イミド骨格を構成する窒素原子との結合している基を表す。上記式(A6-1)中、R13及びR14が、イミド骨格を構成する窒素原子との結合している基を表す場合が、上記式(A6)に相当する。In the above formula (A6-1), R1 to R14 each represent a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, and two of R1 to R14 represent a group bonded to the nitrogen atom constituting the imide skeleton. In the above formula (A6-1), when R13 and R14 represent a group bonded to the nitrogen atom constituting the imide skeleton, it corresponds to the above formula (A6).
上記式(A6)及び上記式(A6-1)で表される基は、トリシクロデカン環を有する。The groups represented by the above formula (A6) and formula (A6-1) have a tricyclodecane ring.
上記式(A6)及び上記式(A6-1)で表される基を有する上記式(X)で表される構造では、シクロヘキサン環を構成する第1の炭素原子(左側の炭素原子)と、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物に由来する骨格における窒素原子とが、1個の炭素原子を介して結合している。上記式(A6)及び上記式(A6-1)で表される基を有する上記式(X)で表される構造では、シクロヘキサン環を構成する第2の炭素原子(右側の炭素原子)と、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物に由来する骨格における窒素原子とが、2個の炭素原子を介して結合している。上記式(A6)及び上記式(A6-1)で表される基を有する上記式(X)で表される構造では、トリシクロデカン環を構成する第2の炭素原子(右側の炭素原子)と、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物に由来する骨格における窒素原子とが、1個の炭素原子を介して結合している。In the structure represented by formula (X) having the groups represented by formula (A6) and formula (A6-1), the first carbon atom (left carbon atom) constituting the cyclohexane ring and the nitrogen atom in the skeleton derived from 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride are bonded via one carbon atom. In the structure represented by formula (X) having the groups represented by formula (A6) and formula (A6-1), the second carbon atom (right carbon atom) constituting the cyclohexane ring and the nitrogen atom in the skeleton derived from 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride are bonded via two carbon atoms. In the structure represented by formula (X) having the groups represented by formula (A6) and formula (A6-1), the second carbon atom (right carbon atom) constituting the tricyclodecane ring and the nitrogen atom in the skeleton derived from 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride are bonded via one carbon atom.
上記式(A7)で表される基は、シクロヘキサン環を有する。上記式(A7)で表される基は、ダイマージアミンに由来する基である。上記式(A7)で表される基を有する化合物Xを合成する際には、原料としてダイマージアミンが用いられる。しかしながら、ダイマージアミンは天然物(混合物)であるため、該ダイマージアミンの構造を一構造に定義することは困難である。そのため、得られる化合物Xでは、上記式(A7)で表される基のほかに、例えば、上記式(A7)中、二重結合を有する基を有する化合物が存在していてもよい。The group represented by the above formula (A7) has a cyclohexane ring. The group represented by the above formula (A7) is a group derived from dimer diamine. When synthesizing compound X having a group represented by the above formula (A7), dimer diamine is used as a raw material. However, since dimer diamine is a natural product (mixture), it is difficult to define the structure of the dimer diamine as a single structure. Therefore, in the obtained compound X, in addition to the group represented by the above formula (A7), for example, a compound having a group having a double bond in the above formula (A7) may be present.
本発明の効果をより一層効果的に発揮する観点からは、上記化合物Xは、上記式(X)中、Rが、ダイマージアミンに由来する骨格の部分骨格を有することが好ましく、ダイマージアミン以外のジアミン化合物に由来する骨格の部分骨格を有することも好ましい。From the viewpoint of exerting the effects of the present invention more effectively, it is preferable that in the compound X, in the above formula (X), R has a partial skeleton of a skeleton derived from a dimer diamine, and it is also preferable that R has a partial skeleton of a skeleton derived from a diamine compound other than dimer diamine.
本発明の効果をより一層効果的に発揮する観点からは、上記式(X)中、イミド骨格を構成する窒素原子が、脂肪族骨格を構成する炭素原子のみに結合していることが好ましい。本発明の効果をより一層効果的に発揮する観点からは、上記化合物Xにおいて、イミド骨格を構成する窒素原子が、脂肪族骨格を構成する炭素原子のみに結合していることが好ましい。From the viewpoint of exerting the effects of the present invention more effectively, in the above formula (X), it is preferable that the nitrogen atom constituting the imide skeleton is bonded only to the carbon atom constituting the aliphatic skeleton. From the viewpoint of exerting the effects of the present invention more effectively, in the above compound X, it is preferable that the nitrogen atom constituting the imide skeleton is bonded only to the carbon atom constituting the aliphatic skeleton.
本発明の効果をより一層効果的に発揮する観点からは、上記化合物Xは、上記式(X)中、Rとして、上記式(A5)、上記式(A6)又は上記(A7)で表される基を有することが好ましく、上記式(A6)又は上記(A7)で表される基を有することがより好ましい。From the viewpoint of exerting the effects of the present invention more effectively, it is preferable that the compound X has, as R in the formula (X), a group represented by the formula (A5), the formula (A6) or the formula (A7), and it is more preferable that the compound X has a group represented by the formula (A6) or the formula (A7).
デスミア性をより一層高める観点及び熱寸法安定性をより一層高める観点からは、上記化合物Xは、上記式(X)中、Rとして、上記式(A5)又は上記式(A6)で表される基を有することが好ましい。上記式(A5)又は上記式(A6)で表される基を有する化合物Xは、上記式(A7)で表される基を有する化合物Xと比べて、イミド骨格間の距離が短いため、分子内のイミド骨格の濃度を高めることが可能となるためである。From the viewpoint of further enhancing the desmear property and further enhancing the thermal dimensional stability, it is preferable that the compound X has a group represented by the above formula (A5) or the above formula (A6) as R in the above formula (X). This is because the compound X having the group represented by the above formula (A5) or the above formula (A6) has a shorter distance between imide skeletons than the compound X having the group represented by the above formula (A7), and therefore it is possible to increase the concentration of imide skeletons in the molecule.
上記化合物Xは、上記式(X)で表される構造を2種類有していてもよく、2種類以上有していてもよく、3種類以上有していてもよい。The compound X may have two, two or more, or three or more of the structures represented by the formula (X).
例えば、上記化合物Xは、上記式(X)で表される構造として、下記式(X1)で表される構造を有していてもよい。下記式(X1)で表される構造の2つの骨格(左側の骨格Aと右側の骨格B)が、ランダムに配置されていてもよい(例えば、…A/B/A/B…等)。For example, the compound X may have a structure represented by the following formula (X1) as the structure represented by the above formula (X). The two skeletons (skeleton A on the left side and skeleton B on the right side) of the structure represented by the following formula (X1) may be randomly arranged (for example, ...A/B/A/B..., etc.).
上記式(X1)中、R1及びR2はそれぞれ有機基を表し、p,qはそれぞれ1以上の数を表す。In the above formula (X1), R1 and R2 each represent an organic group, and p and q each represent a number of 1 or more.
上記式(X1)中、p及びqはそれぞれ2以上の数を表すことが好ましく、10以下の数を表すことが好ましく、7以下の数を表すことがより好ましい。In the above formula (X1), p and q each preferably represent a number of 2 or more, preferably a number of 10 or less, and more preferably a number of 7 or less.
上記式(X1)中、R1とR2との組み合わせは、以下の第1の組み合わせであることが好ましく、以下の第2の組み合わせであることがより好ましい。In the above formula (X1), the combination of R1 and R2 is preferably the first combination below, and more preferably the second combination below.
第1の組み合わせ:R1が上記式(A1)、上記式(A2)、上記式(A3)、上記式(A4)、上記式(A5)、又は上記式(A6)であり、R2が上記式(A7)である。 First combination: R1 is the above formula (A1), the above formula (A2), the above formula (A3), the above formula (A4), the above formula (A5), or the above formula (A6), and R2 is the above formula (A7).
第2の組み合わせ:R1が上記式(A6)であり、R2が上記式(A7)である。 Second combination: R1 is the above formula (A6) and R2 is the above formula (A7).
上記式(X1)が上記第1の組み合わせである場合に、上記式(X1)中、pは1以上の数を表すことが好ましく、3以上の数を表すことがより好ましく、18以下の数を表すことが好ましく、12以下の数を表すことがより好ましい。上記式(X1)が上記第1の組み合わせである場合に、上記式(X1)中、qは1以上の数を表すことがより好ましく、10以下の数を表すことが好ましく、8以下の数を表すことがより好ましい。When the above formula (X1) is the first combination, in the above formula (X1), p preferably represents a number of 1 or more, more preferably represents a number of 3 or more, preferably represents a number of 18 or less, and more preferably represents a number of 12 or less. When the above formula (X1) is the first combination, in the above formula (X1), q more preferably represents a number of 1 or more, preferably represents a number of 10 or less, and more preferably represents a number of 8 or less.
上記式(X1)が上記第2の組み合わせである場合に、上記式(X1)中、pは2以上の数を表すことが好ましく、3以上の数を表すことがより好ましく、18以下の数を表すことが好ましく、12以下の数を表すことがより好ましい。上記式(X1)が上記第2の組み合わせである場合に、上記式(X1)中、qは1以上の数を表すことが好ましく、2以上の数を表すことがより好ましく、10以下の数を表すことが好ましく、8以下の数を表すことがより好ましい。When the above formula (X1) is the second combination, in the above formula (X1), p preferably represents a number of 2 or more, more preferably represents a number of 3 or more, preferably represents a number of 18 or less, and more preferably represents a number of 12 or less. When the above formula (X1) is the second combination, in the above formula (X1), q preferably represents a number of 1 or more, more preferably represents a number of 2 or more, preferably represents a number of 10 or less, and more preferably represents a number of 8 or less.
以下、上記式(A1)、(A2)、(A3)、(A4)、(A5)、(A6)及び(A7)で表される基を有する上記式(X)で表される骨格を形成することができる化合物について更に説明する。さらに、上記式(A1)、(A2)、(A3)、(A4)、(A5)、(A6)及び(A7)で表される基とは異なる基を有する上記式(X)で表される骨格を形成させることができる化合物等について更に説明する。Hereinafter, the compounds capable of forming the skeleton represented by the above formula (X) having groups represented by the above formulas (A1), (A2), (A3), (A4), (A5), (A6), and (A7) will be further described. Furthermore, the compounds capable of forming the skeleton represented by the above formula (X) having groups different from the groups represented by the above formulas (A1), (A2), (A3), (A4), (A5), (A6), and (A7) will be further described.
上記式(X)で表される構造は、例えば、ジアミン化合物と、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物とを反応させることによって得ることができる。The structure represented by the above formula (X) can be obtained, for example, by reacting a diamine compound with 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride.
上記ジアミン化合物は、脂肪族ジアミン化合物であってもよく、脂肪族ジアミン化合物とは異なるジアミン化合物であってもよい。The above diamine compound may be an aliphatic diamine compound or may be a diamine compound different from an aliphatic diamine compound.
脂肪族ジアミン化合物としては、ダイマージアミン、トリシクロデカンジアミン、1,3-ビス(アミノメチル)シクロヘキサン、1,4-ビス(アミノメチル)シクロヘキサン、ビス(アミノメチル)ノルボルナン、3(4),8(9)-ビス(アミノメチル)トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン、1,3-シクロヘキサンジアミン、1,4-シクロヘキサンジアミン、イソホロンジアミン、4,4’-メチレンビス(シクロヘキシルアミン)、及び4,4’-メチレンビス(2-メチルシクロヘキシルアミン)等が挙げられる。脂肪族ジアミン化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。Examples of aliphatic diamine compounds include dimer diamine, tricyclodecane diamine, 1,3-bis(aminomethyl)cyclohexane, 1,4-bis(aminomethyl)cyclohexane, bis(aminomethyl)norbornane, 3(4),8(9)-bis(aminomethyl)tricyclo[5.2.1.02,6]decane, 1,3-cyclohexanediamine, 1,4-cyclohexanediamine, isophoronediamine, 4,4'-methylenebis(cyclohexylamine), and 4,4'-methylenebis(2-methylcyclohexylamine). Only one type of aliphatic diamine compound may be used, or two or more types may be used in combination.
上記ダイマージアミンとしては、例えば、バーサミン551(商品名、BASFジャパン社製、3,4-ビス(1-アミノヘプチル)-6-ヘキシル-5-(1-オクテニル)シクロヘキセン)、バーサミン552(商品名、コグニクスジャパン社製、バーサミン551の水添物)、並びにPRIAMINE1075、及びPRIAMINE1074(商品名、いずれもクローダジャパン社製)等が挙げられる。Examples of the dimer diamine include VERSAMINE 551 (product name, manufactured by BASF Japan, 3,4-bis(1-aminoheptyl)-6-hexyl-5-(1-octenyl)cyclohexene), VERSAMINE 552 (product name, manufactured by Cognix Japan, hydrogenated VERSAMINE 551), and PRIAMINE 1075 and PRIAMINE 1074 (product names, both manufactured by Croda Japan).
硬化物の誘電正接をより一層低くする観点からは、上記ダイマージアミンは、クローダジャパン社製「PRIAMINE1075」のダイマージアミンであることが好ましい。From the viewpoint of further lowering the dielectric tangent of the cured product, it is preferable that the above dimer diamine is "PRIAMINE 1075" dimer diamine manufactured by Croda Japan.
デスミア性をより一層高める観点からは、上記ダイマージアミンは、クローダジャパン社製「PRIAMINE1074」のダイマージアミンであることが好ましい。From the viewpoint of further improving the desmearing property, it is preferable that the above dimer diamine is "PRIAMINE 1074" dimer diamine manufactured by Croda Japan.
本発明の効果をより一層効果的に発揮させる観点からは、上記脂肪族ジアミン化合物は、炭素数が36個以下である化合物であることが好ましい。In order to more effectively exert the effects of the present invention, it is preferable that the above-mentioned aliphatic diamine compound is a compound having 36 or less carbon atoms.
本発明の効果をより一層効果的に発揮させる観点からは、上記脂肪族ジアミン化合物は、ダイマージアミン、トリシクロデカンジアミン、ビス(アミノメチル)ノルボルナン、イソホロンジアミン又は4,4’-メチレンビス(2-メチルシクロヘキシルアミン)であることが好ましい。本発明の効果をより一層効果的に発揮させる観点からは、上記脂肪族ジアミン化合物は、ダイマージアミン、トリシクロデカンジアミン、又はビス(アミノメチル)ノルボルナンであることがより好ましい。上記脂肪族ジアミン化合物がビス(アミノメチル)ノルボルナンである場合には、上記化合物Xは、例えば、上記式(A5)で表される基を有する。上記脂肪族ジアミン化合物がトリシクロデカンジアミンである場合には、上記化合物Xは、例えば、上記式(A6)で表される基を有する。上記脂肪族ジアミン化合物がダイマージアミンである場合には、上記化合物Xは、例えば、上記式(A7)で表される基を有する。From the viewpoint of exerting the effects of the present invention more effectively, the aliphatic diamine compound is preferably dimer diamine, tricyclodecane diamine, bis(aminomethyl)norbornane, isophorone diamine, or 4,4'-methylene bis(2-methylcyclohexylamine). From the viewpoint of exerting the effects of the present invention more effectively, the aliphatic diamine compound is more preferably dimer diamine, tricyclodecane diamine, or bis(aminomethyl)norbornane. When the aliphatic diamine compound is bis(aminomethyl)norbornane, the compound X has, for example, a group represented by the above formula (A5). When the aliphatic diamine compound is tricyclodecane diamine, the compound X has, for example, a group represented by the above formula (A6). When the aliphatic diamine compound is dimer diamine, the compound X has, for example, a group represented by the above formula (A7).
上記脂肪族ジアミン化合物とは異なるジアミン化合物としては、1,1-ビス(4-アミノフェニル)シクロヘキサン、2,7-ジアミノフルオレン、4,4’-エチレンジアニリン、4,4’-メチレンビス(2,6-ジエチルアニリン)、4,4’-メチレンビス(2-エチル-6-メチルアニリン)、1,4-ジアミノブタン、1,10-ジアミノデカン、1,12-ジアミノドデカン、1,7-ジアミノヘプタン、1,6-ジアミノヘキサン、1,5-ジアミノペンタン、1,8-ジアミノオクタン、1,3-ジアミノプロパン、1,11-ジアミノウンデカン、2-メチル-1,5-ジアミノペンタン、2,2-ビス(3-アミノ-4-ヒドロキシフェニル)プロパン、及び2,2-ビス(3-アミノ-4-ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン等が挙げられる。上記脂肪族ジアミン化合物とは異なるジアミン化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。Examples of diamine compounds different from the above aliphatic diamine compounds include 1,1-bis(4-aminophenyl)cyclohexane, 2,7-diaminofluorene, 4,4'-ethylenedianiline, 4,4'-methylenebis(2,6-diethylaniline), 4,4'-methylenebis(2-ethyl-6-methylaniline), 1,4-diaminobutane, 1,10-diaminodecane, 1,12-diaminododecane, 1,7-diaminoheptane, 1,6-diaminohexane, 1,5-diaminopentane, 1,8-diaminooctane, 1,3-diaminopropane, 1,11-diaminoundecane, 2-methyl-1,5-diaminopentane, 2,2-bis(3-amino-4-hydroxyphenyl)propane, and 2,2-bis(3-amino-4-hydroxyphenyl)hexafluoropropane. The diamine compound different from the aliphatic diamine compound may be used alone or in combination of two or more kinds.
上記脂肪族ジアミン化合物とは異なるジアミン化合物は、フェノール性水酸基を有する芳香族ジアミンであってもよい。この場合には、線膨張係数をより一層小さくすることができる。The diamine compound other than the aliphatic diamine compound may be an aromatic diamine having a phenolic hydroxyl group. In this case, the linear expansion coefficient can be further reduced.
上記化合物Xは、ジアミン化合物と、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物以外の酸二無水物との反応物に由来する骨格を有していてもよい。The compound X may have a skeleton derived from a reaction product of a diamine compound and an acid dianhydride other than 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride.
上記3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物以外の酸二無水物としては、テトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。該テトラカルボン酸二無水物としては、例えば、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ビフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ジメチルジフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-テトラフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4-フランテトラカルボン酸二無水物、4,4’-ビス(3,4-ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスルフィド二無水物、4,4’-ビス(3,4-ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスルホン二無水物、4,4’-ビス(3,4-ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルプロパン二無水物、3,3’,4,4’-パーフルオロイソプロピリデンジフタル酸二無水物、ビス(フタル酸)フェニルホスフィンオキサイド二無水物、p-フェニレン-ビス(トリフェニルフタル酸)二無水物、m-フェニレン-ビス(トリフェニルフタル酸)二無水物、ビス(トリフェニルフタル酸)-4,4’-ジフェニルエーテル二無水物、ビス(トリフェニルフタル酸)-4,4’-ジフェニルメタン二無水物、4,4’-(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸無水物、ビシクロ[2.2.2]オクト-7-エン-2,3,5,6-テトラカルボン酸二無水物、及び5-(2,5-ジオキソテトラヒドロフリル)-3-メチル-3-シクロヘキセン-1,2-ジカルボン酸無水物等が挙げられる。 Examples of acid dianhydrides other than the above-mentioned 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride include tetracarboxylic dianhydrides, etc. Examples of the tetracarboxylic dianhydride include pyromellitic dianhydride, 3,3',4,4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-biphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-biphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-dimethyldiphenylsilane tetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-tetraphenylsilane tetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-furan tetracarboxylic dianhydride, 4,4'-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)diphenyl sulfide dianhydride, 4,4'-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)diphenyl sulfone dianhydride, 4, 4'-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)diphenylpropane dianhydride, 3,3',4,4'-perfluoroisopropylidenediphthalic dianhydride, bis(phthalic acid)phenylphosphine oxide dianhydride, p-phenylene-bis(triphenylphthalic acid) dianhydride, m-phenylene-bis(triphenylphthalic acid) dianhydride, bis(triphenylphthalic acid)-4,4'-diphenyl ether dianhydride, bis(triphenylphthalic acid)-4,4'-diphenylmethane dianhydride, 4,4'-(hexafluoroisopropylidene)diphthalic anhydride, bicyclo[2.2.2]oct-7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic acid dianhydride, and 5-(2,5-dioxotetrahydrofuryl)-3-methyl-3-cyclohexene-1,2-dicarboxylic acid anhydride.
硬化物の誘電正接を低くする観点及び硬化物の熱寸法安定性を高める観点からは、上記化合物Xは、マレイミド骨格を有することが好ましい。From the viewpoint of lowering the dielectric tangent of the cured product and increasing the thermal dimensional stability of the cured product, it is preferable that the above compound X has a maleimide skeleton.
上記化合物Xにおけるマレイミド骨格の数は、好ましくは2個以上、より好ましくは3個以上、好ましくは10個以下、より好ましくは5個以下である。上記マレイミド骨格の数が上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮させることができる。The number of maleimide skeletons in the compound X is preferably 2 or more, more preferably 3 or more, and preferably 10 or less, more preferably 5 or less. When the number of maleimide skeletons is equal to or more than the above lower limit and equal to or less than the above upper limit, the effects of the present invention can be more effectively exhibited.
硬化物の誘電正接をより一層低くする観点及び硬化物の熱寸法安定性をより一層高める観点からは、上記化合物Xは、両末端にマレイミド骨格を有することが好ましい。From the viewpoint of further lowering the dielectric tangent of the cured product and further increasing the thermal dimensional stability of the cured product, it is preferable that the above compound X has a maleimide skeleton at both ends.
上記化合物Xは、分岐構造を有していてもよく、有していなくてもよい。The compound X may or may not have a branched structure.
本発明の効果をより一層効果的に発揮する観点からは、上記化合物Xは、下記式(Y)で表される構造を有することが好ましい。
上記式(Y)中、R1は4価の有機基を表し、R2は有機基を表し、mは1以上の数を表す。In the above formula (Y), R1 represents a tetravalent organic group, R2 represents an organic group, and m represents a number of 1 or more.
上記式(Y)中、mは、2以上の数を表すことが好ましく、20以下の数を表すことが好ましく、10以下の数を表すことがより好ましい。In the above formula (Y), m preferably represents a number of 2 or more, preferably a number of 20 or less, and more preferably a number of 10 or less.
上記式(Y)中、R1としては、ビフェニル骨格を有さない骨格が挙げられ、例えば、上述した3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物以外の酸二無水物に由来する骨格が挙げられる。上記式(Y)中、R2としては、上述した上記式(X)中のRの有機基と同様の有機基が挙げられる。In the above formula (Y), R1 may be a skeleton that does not have a biphenyl skeleton, such as a skeleton derived from an acid dianhydride other than the above-mentioned 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride. In the above formula (Y), R2 may be an organic group similar to the organic group of R in the above formula (X).
本発明の効果をより一層効果的に発揮する観点からは、上記式(Y)中、R1はフタルイミドに由来する骨格を有さないことが好ましい。本発明の効果をより一層効果的に発揮する観点からは、上記式(Y)中、R1は芳香族骨格を有さないことが好ましい。From the viewpoint of exerting the effects of the present invention more effectively, it is preferable that R1 in the above formula (Y) does not have a skeleton derived from phthalimide. From the viewpoint of exerting the effects of the present invention more effectively, it is preferable that R1 in the above formula (Y) does not have an aromatic skeleton.
本発明の効果をより一層効果的に発揮する観点からは、上記式(Y)中、R2はフタルイミドに由来する骨格を有さないことが好ましい。In order to more effectively exert the effects of the present invention, it is preferable that R2 in the above formula (Y) does not have a skeleton derived from phthalimide.
上記化合物Xにおいて、上記式(X)で表される構造の繰り返し数(n)と、上記式(Y)で表される構造の繰り返し数(m)との合計100%中、上記式(X)で表される構造の繰り返し数(n)は、好ましくは10%以上、より好ましくは20%以上、好ましくは90%以下、より好ましくは75%以下、更に好ましくは60%以下である。この場合には、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。In the compound X, the number of repeats (n) of the structure represented by the formula (X) and the number of repeats (m) of the structure represented by the formula (Y) are 100% in total, and the number of repeats (n) of the structure represented by the formula (X) is preferably 10% or more, more preferably 20% or more, preferably 90% or less, more preferably 75% or less, and even more preferably 60% or less. In this case, the effect of the present invention can be exerted even more effectively.
上記化合物Xは、偶数個のイミド骨格を有していてもよく、奇数個のイミド骨格を有していてもよく、偶数個のイミド骨格を有する化合物と奇数個のイミド骨格を有する化合物との混合物であってもよい。The compound X may have an even number of imide skeletons, an odd number of imide skeletons, or a mixture of a compound having an even number of imide skeletons and a compound having an odd number of imide skeletons.
上記化合物Xは、例えば以下のようにして合成することができる。ジアミン化合物と、ダイマージアミンと、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物とを反応させて第1の反応物を得る。得られた第1の反応物と、無水マレイン酸とを反応させる。The compound X can be synthesized, for example, as follows. A diamine compound, dimer diamine, and 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride are reacted to obtain a first reactant. The obtained first reactant is reacted with maleic anhydride.
また、末端にダイマージアミン骨格を有する化合物Xは、例えば以下のようにして合成することができる。ジアミン化合物と、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物とを反応させて、両末端に酸無水物構造を有する第1の反応物を得る。得られた第1の化合物と、ダイマージアミンとを反応させて第2の反応物を得る。得られた第2の反応物と無水マレイン酸とを反応させる。 Compound X having a dimer diamine skeleton at its terminal can be synthesized, for example, as follows. A diamine compound is reacted with 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride to obtain a first reactant having an acid anhydride structure at both terminals. The obtained first compound is reacted with dimer diamine to obtain a second reactant. The obtained second reactant is reacted with maleic anhydride.
上記化合物Xの重量平均分子量は、好ましくは1000以上、より好ましくは3100以上、更に好ましくは4500以上、好ましくは100000以下、より好ましくは70000以下、更に好ましくは25000以下、特に好ましくは18000以下、最も好ましくは15000以下である。上記重量平均分子量が上記下限以上であると、線膨張係数をより一層小さくすることができる。また、上記重量平均分子量が25000を超えると、上記重量平均分子量が25000以下である場合と比べて、樹脂材料の溶融粘度が高くなり、凹凸表面に対する埋め込み性が低下することがある。The weight average molecular weight of the compound X is preferably 1000 or more, more preferably 3100 or more, even more preferably 4500 or more, preferably 100000 or less, more preferably 70000 or less, even more preferably 25000 or less, particularly preferably 18000 or less, and most preferably 15000 or less. When the weight average molecular weight is equal to or greater than the lower limit, the linear expansion coefficient can be further reduced. In addition, when the weight average molecular weight exceeds 25000, the melt viscosity of the resin material becomes higher than when the weight average molecular weight is 25000 or less, and the embeddability in the uneven surface may decrease.
上記化合物Xの重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を示す。The weight average molecular weight of the above compound X indicates the weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by gel permeation chromatography (GPC).
硬化物の熱寸法安定性をより一層高める観点、絶縁層と金属層との密着性をより一層高める観点から、上記化合物Xのガラス転移温度は、好ましくは70℃以上、より好ましくは85℃以上である。From the viewpoint of further enhancing the thermal dimensional stability of the cured product and further enhancing the adhesion between the insulating layer and the metal layer, the glass transition temperature of the above compound X is preferably 70°C or higher, more preferably 85°C or higher.
上記ガラス転移温度は、示差走査熱量測定装置(例えば、TA・インスツルメント社製「Q2000」)を用いて、昇温速度3℃/分で-30℃から260℃まで窒素雰囲気下で加熱を行い、リバースヒートフローの変曲点から求めることができる。The above glass transition temperature can be determined from the inflection point of the reverse heat flow by heating in a nitrogen atmosphere from -30°C to 260°C at a heating rate of 3°C/min using a differential scanning calorimeter (e.g., "Q2000" manufactured by TA Instruments).
上記樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記化合物Xの含有量は、好ましくは3重量%以上、より好ましくは5重量%以上、更に好ましくは10重量%以上、好ましくは80重量%以下、より好ましくは70重量%以下、更に好ましくは50重量%以下である。上記化合物Xの含有量が上記下限以上であると、硬化物の誘電正接をより一層低くし、デスミア性をより一層高めることができる。上記化合物Xの含有量が上記上限以下であると、樹脂材料のデスミア処理後の表面粗度を低くすることができ、基板等の凹凸に対する埋め込み性を高めることができる。In 100% by weight of the components excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material, the content of the compound X is preferably 3% by weight or more, more preferably 5% by weight or more, even more preferably 10% by weight or more, preferably 80% by weight or less, more preferably 70% by weight or less, and even more preferably 50% by weight or less. When the content of the compound X is equal to or more than the lower limit, the dielectric tangent of the cured product can be further lowered and the desmearing property can be further improved. When the content of the compound X is equal to or less than the upper limit, the surface roughness of the resin material after the desmearing treatment can be reduced, and the embedding property of the unevenness of the substrate, etc. can be improved.
[熱硬化性化合物]
上記樹脂材料は、下記式(100)で表される構造を有さない熱硬化性化合物を含むことが好ましい。上記熱硬化性化合物は、上記化合物Xとは異なる熱硬化性化合物である。上記熱硬化性化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Thermosetting compound]
The resin material preferably contains a thermosetting compound that does not have a structure represented by the following formula (100). The thermosetting compound is a thermosetting compound different from the compound X. The thermosetting compound may be used alone or in combination of two or more kinds.
上記式(100)中、Rは有機基を表し、nは1以上の数を表す。In the above formula (100), R represents an organic group and n represents a number of 1 or more.
上記熱硬化性化合物としては、フェノキシ化合物、オキセタン化合物、マレイミド化合物、エポキシ化合物、シアネート化合物、ビニル化合物、ポリアリレート化合物、ジアリルフタレート化合物、エピスルフィド化合物、(メタ)アクリル化合物、アミノ化合物、不飽和ポリエステル化合物、ポリウレタン化合物、及びシリコーン化合物等が挙げられる。 Examples of the thermosetting compounds include phenoxy compounds, oxetane compounds, maleimide compounds, epoxy compounds, cyanate compounds, vinyl compounds, polyarylate compounds, diallyl phthalate compounds, episulfide compounds, (meth)acrylic compounds, amino compounds, unsaturated polyester compounds, polyurethane compounds, and silicone compounds.
上記熱硬化性化合物は、マレイミド化合物、エポキシ化合物、又はビニル化合物であることが好ましく、エポキシ化合物、又はビニル化合物を含むことがより好ましく、エポキシ化合物を含むことが更に好ましい。上記ビニル化合物は、スチレン化合物又はアクリレート化合物を含むことが好ましく、スチレン化合物を含むことが好ましい。この場合には、硬化物の誘電正接をより一層低くし、かつ硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。The thermosetting compound is preferably a maleimide compound, an epoxy compound, or a vinyl compound, more preferably contains an epoxy compound or a vinyl compound, and even more preferably contains an epoxy compound. The vinyl compound preferably contains a styrene compound or an acrylate compound, and more preferably contains a styrene compound. In this case, the dielectric tangent of the cured product can be further lowered and the thermal dimensional stability of the cured product can be further increased.
<マレイミド化合物>
上記マレイミド化合物は、上記式(100)で表される構造を有さないマレイミド化合物である。上記マレイミド化合物は、上記化合物Xとは異なるマレイミド化合物である。上記マレイミド化合物はシトラコンイミド化合物であってもよい。上記マレイミド化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
<Maleimide Compound>
The maleimide compound is a maleimide compound that does not have a structure represented by the formula (100). The maleimide compound is a maleimide compound different from the compound X. The maleimide compound may be a citraconimide compound. The maleimide compound may be used alone or in combination of two or more.
上記マレイミド化合物は、ビスマレイミド化合物であってもよい。The maleimide compound may be a bismaleimide compound.
上記マレイミド化合物としては、N-フェニルマレイミド及びN-アルキルビスマレイミド等が挙げられる。 Examples of the maleimide compounds include N-phenylmaleimide and N-alkylbismaleimide.
上記マレイミド化合物は、ダイマージアミン以外のジアミン化合物又はトリマートリアミン以外のトリアミン化合物に由来する骨格を有していてもよく、有していなくてもよい。The maleimide compound may or may not have a skeleton derived from a diamine compound other than a dimer diamine or a triamine compound other than a trimer triamine.
上記マレイミド化合物は、芳香族骨格を有することが好ましい。It is preferable that the maleimide compound has an aromatic skeleton.
上記マレイミド化合物では、マレイミド骨格における窒素原子と、芳香族環とが結合していることが好ましい。In the above maleimide compound, it is preferable that the nitrogen atom in the maleimide skeleton is bonded to an aromatic ring.
硬化物の熱寸法安定性をより一層高める観点からは、樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、上記マレイミド化合物の含有量は、好ましくは0.5重量%以上、より好ましくは1重量%以上、好ましくは15重量%以下、より好ましくは10重量%以下である。From the viewpoint of further enhancing the thermal dimensional stability of the cured product, the content of the above maleimide compound is preferably 0.5% by weight or more, more preferably 1% by weight or more, preferably 15% by weight or less, more preferably 10% by weight or less, based on 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material.
上記樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記マレイミド化合物の含有量は、好ましくは2.5重量%以上、より好ましくは5重量%以上、好ましくは50重量%以下、より好ましくは35重量%以下、更に好ましくは20重量%以下である。上記マレイミド化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。The content of the maleimide compound in 100% by weight of the components excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material is preferably 2.5% by weight or more, more preferably 5% by weight or more, preferably 50% by weight or less, more preferably 35% by weight or less, and even more preferably 20% by weight or less. When the content of the maleimide compound is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the thermal dimensional stability of the cured product can be further improved.
本発明の効果を効果的に発揮する観点からは、上記マレイミド化合物の分子量は、好ましくは500以上、より好ましくは1000以上、好ましくは30000未満、より好ましくは20000未満である。 In order to effectively exert the effects of the present invention, the molecular weight of the above maleimide compound is preferably 500 or more, more preferably 1,000 or more, and preferably less than 30,000, more preferably less than 20,000.
上記マレイミド化合物の分子量は、上記マレイミド化合物が重合体ではない場合、及び上記マレイミド化合物の構造式が特定できる場合は、当該構造式から算出できる分子量を意味する。また、上記マレイミド化合物の分子量は、上記マレイミド化合物が重合体である場合は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を示す。The molecular weight of the maleimide compound means the molecular weight that can be calculated from the structural formula when the maleimide compound is not a polymer and when the structural formula of the maleimide compound can be specified. When the maleimide compound is a polymer, the molecular weight of the maleimide compound means the weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by gel permeation chromatography (GPC).
上記マレイミド化合物の市販品としては、例えば、大和化成工業社製「BMI4000」及び「BMI5100」、日本化薬社製「MIR-3000」、並びにDesigner Molecules Inc.製「BMI-3000」及び「BMI-689」等が挙げられる。Commercially available examples of the maleimide compound include "BMI4000" and "BMI5100" manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd., "MIR-3000" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., and "BMI-3000" and "BMI-689" manufactured by Designer Molecules Inc.
<エポキシ化合物>
上記エポキシ化合物として、従来公知のエポキシ化合物を使用可能である。上記エポキシ化合物は、少なくとも1個のエポキシ基を有する有機化合物である。上記エポキシ化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
<Epoxy Compound>
As the epoxy compound, a conventionally known epoxy compound can be used. The epoxy compound is an organic compound having at least one epoxy group. The epoxy compound may be used alone or in combination of two or more kinds.
上記エポキシ化合物としては、ビスフェノールA型エポキシ化合物、ビスフェノールF型エポキシ化合物、ビスフェノールS型エポキシ化合物、フェノールノボラック型エポキシ化合物、ビフェニル型エポキシ化合物、ビフェニルノボラック型エポキシ化合物、ビフェノール型エポキシ化合物、ナフタレン型エポキシ化合物、フルオレン型エポキシ化合物、フェノールアラルキル型エポキシ化合物、ナフトールアラルキル型エポキシ化合物、ジシクロペンタジエン型エポキシ化合物、アントラセン型エポキシ化合物、アダマンタン骨格を有するエポキシ化合物、トリシクロデカン骨格を有するエポキシ化合物、ナフチレンエーテル型エポキシ化合物、及びトリアジン核を骨格に有するエポキシ化合物等が挙げられる。Examples of the epoxy compounds include bisphenol A type epoxy compounds, bisphenol F type epoxy compounds, bisphenol S type epoxy compounds, phenol novolac type epoxy compounds, biphenyl type epoxy compounds, biphenyl novolac type epoxy compounds, biphenol type epoxy compounds, naphthalene type epoxy compounds, fluorene type epoxy compounds, phenol aralkyl type epoxy compounds, naphthol aralkyl type epoxy compounds, dicyclopentadiene type epoxy compounds, anthracene type epoxy compounds, epoxy compounds having an adamantane skeleton, epoxy compounds having a tricyclodecane skeleton, naphthylene ether type epoxy compounds, and epoxy compounds having a triazine nucleus in the skeleton.
上記エポキシ化合物は、グリシジルエーテル化合物であってもよい。上記グリシジルエーテル化合物とは、グリシジルエーテル基を少なくとも1個有する化合物である。The epoxy compound may be a glycidyl ether compound. The glycidyl ether compound is a compound having at least one glycidyl ether group.
上記エポキシ化合物は、フッ素原子を有するエポキシ化合物であってもよい。The epoxy compound may be an epoxy compound having a fluorine atom.
硬化物の誘電正接をより一層低くし、かつ熱寸法安定性及び難燃性を高める観点からは、上記エポキシ化合物は、芳香族骨格を有するエポキシ化合物を含むことが好ましく、ナフタレン骨格又はフェニル骨格を有するエポキシ化合物を含むことが好ましく、芳香族骨格を有するエポキシ化合物であることがより好ましい。From the viewpoint of further lowering the dielectric tangent of the cured product and improving the thermal dimensional stability and flame retardancy, it is preferable that the above epoxy compound contains an epoxy compound having an aromatic skeleton, preferably an epoxy compound having a naphthalene skeleton or a phenyl skeleton, and more preferably an epoxy compound having an aromatic skeleton.
誘電正接をより一層低くし、かつ硬化物の線膨張係数(CTE)を良好にする観点からは、上記エポキシ化合物は、25℃で液状のエポキシ化合物と、25℃で固形のエポキシ化合物とを含むことが好ましい。From the viewpoint of further lowering the dielectric tangent and improving the coefficient of linear expansion (CTE) of the cured product, it is preferable that the above epoxy compound contains an epoxy compound that is liquid at 25°C and an epoxy compound that is solid at 25°C.
上記25℃で液状のエポキシ化合物の25℃での粘度は、1000mPa・s以下であることが好ましく、500mPa・s以下であることがより好ましい。The viscosity of the above-mentioned epoxy compound that is liquid at 25°C is preferably 1000 mPa·s or less, and more preferably 500 mPa·s or less, at 25°C.
上記エポキシ化合物の粘度は、例えば動的粘弾性測定装置(レオロジカ・インスツルメンツ社製「VAR-100」)等を用いて測定することができる。The viscosity of the above epoxy compound can be measured, for example, using a dynamic viscoelasticity measuring device (VAR-100 manufactured by Rheologica Instruments).
上記エポキシ化合物の分子量は1000以下であることがより好ましい。この場合には、樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、無機充填材の含有量が50重量%以上であっても、絶縁層の形成時に流動性が高い樹脂材料が得られる。このため、樹脂材料の未硬化物又はBステージ化物を回路基板上にラミネートした場合に、無機充填材を均一に存在させることができる。It is more preferable that the molecular weight of the epoxy compound is 1000 or less. In this case, even if the content of the inorganic filler is 50% by weight or more out of 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material, a resin material with high fluidity can be obtained when forming the insulating layer. Therefore, when the uncured or B-staged resin material is laminated on the circuit board, the inorganic filler can be uniformly present.
上記エポキシ化合物の分子量は、上記エポキシ化合物が重合体ではない場合、及び上記エポキシ化合物の構造式が特定できる場合は、当該構造式から算出できる分子量を意味する。また、上記エポキシ化合物が重合体である場合は、重量平均分子量を意味する。The molecular weight of the epoxy compound means the molecular weight that can be calculated from the structural formula when the epoxy compound is not a polymer and when the structural formula of the epoxy compound can be specified. When the epoxy compound is a polymer, the molecular weight means the weight average molecular weight.
硬化物の熱寸法安定性をより一層高める観点からは、樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、上記エポキシ化合物の含有量は、好ましくは4重量%以上、より好ましくは7重量%以上、好ましくは15重量%以下、より好ましくは12重量%以下である。From the viewpoint of further enhancing the thermal dimensional stability of the cured product, the content of the above epoxy compound is preferably 4% by weight or more, more preferably 7% by weight or more, preferably 15% by weight or less, more preferably 12% by weight or less, based on 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material.
上記樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記エポキシ化合物の含有量は、好ましくは15重量%以上、より好ましくは25重量%以上、好ましくは50重量%以下、より好ましくは40重量%以下である。上記エポキシ化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。The content of the epoxy compound is preferably 15% by weight or more, more preferably 25% by weight or more, preferably 50% by weight or less, more preferably 40% by weight or less, based on 100% by weight of the components in the resin material excluding the inorganic filler and the solvent. When the content of the epoxy compound is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the thermal dimensional stability of the cured product can be further improved.
上記エポキシ化合物の含有量の、上記化合物Xと後述する硬化剤との合計の含有量に対する重量比(上記エポキシ化合物の含有量/上記化合物Xと後述する硬化剤との合計の含有量)は、好ましくは0.2以上、より好ましくは0.3以上である。上記エポキシ化合物の含有量の、上記化合物Xと後述する硬化剤との合計の含有量に対する重量比(上記エポキシ化合物の含有量/上記化合物Xと後述する硬化剤との合計の含有量)は、好ましくは1以下、より好ましくは0.8以下である。上記重量比が上記下限以上及び上記上限以下であると、誘電正接をより一層低くし、熱寸法安定性をより一層高めることができる。The weight ratio of the content of the epoxy compound to the total content of the compound X and the curing agent described later (the content of the epoxy compound/the total content of the compound X and the curing agent described later) is preferably 0.2 or more, more preferably 0.3 or more. The weight ratio of the content of the epoxy compound to the total content of the compound X and the curing agent described later (the content of the epoxy compound/the total content of the compound X and the curing agent described later) is preferably 1 or less, more preferably 0.8 or less. When the weight ratio is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the dielectric tangent can be further lowered and the thermal dimensional stability can be further improved.
<ビニル化合物>
上記ビニル化合物として、従来公知のビニル化合物を使用可能である。上記ビニル化合物は、少なくとも1個のビニル基を有する有機化合物である。上記ビニル化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
<Vinyl Compounds>
As the vinyl compound, a conventionally known vinyl compound can be used. The vinyl compound is an organic compound having at least one vinyl group. The vinyl compound may be used alone or in combination of two or more kinds.
上記ビニル化合物としては、スチレン化合物、アクリレート化合物、及びジビニル化合物等が挙げられる。上記ジビニル化合物としては、ジビニルベンジルエーテル化合物が挙げられる。上記ビニル化合物は、脂肪族骨格を有するジビニル化合物であってもよく、ジビニルエーテル化合物であってもよい。Examples of the vinyl compound include a styrene compound, an acrylate compound, and a divinyl compound. Examples of the divinyl compound include a divinyl benzyl ether compound. The vinyl compound may be a divinyl compound having an aliphatic skeleton or a divinyl ether compound.
上記スチレン化合物としては、末端スチレン変性のフェニレンエーテル化合物が挙げられる。上記スチレン化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。The styrene compound may be a styrene-terminated phenylene ether compound. Only one type of the styrene compound may be used, or two or more types may be used in combination.
スチレン化合物の市販品としては、例えば、三菱ガス化学社製「OPE-2St」等が挙げられる。 Commercially available styrene compounds include, for example, "OPE-2St" manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
なお、上記スチレン化合物及び上記アクリレート化合物等のビニル化合物は、ラジカル硬化性化合物にも相当する。したがって、上記熱硬化性化合物は、ラジカル硬化性化合物を含むことが好ましい。上記樹脂材料は、ラジカル硬化性化合物を含むことが好ましい。In addition, the above-mentioned styrene compound and the above-mentioned vinyl compound such as the acrylate compound also correspond to a radical curing compound. Therefore, it is preferable that the above-mentioned thermosetting compound contains a radical curing compound. It is preferable that the above-mentioned resin material contains a radical curing compound.
上記樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記ビニル化合物の含有量は、好ましくは5重量%以上、より好ましくは10重量%以上、更に好ましくは20重量%以上、好ましくは80重量%以下、より好ましくは70重量%以下である。上記ビニル化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。The content of the vinyl compound is preferably 5% by weight or more, more preferably 10% by weight or more, even more preferably 20% by weight or more, preferably 80% by weight or less, more preferably 70% by weight or less, based on 100% by weight of the components in the resin material excluding the inorganic filler and the solvent. If the content of the vinyl compound is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the thermal dimensional stability of the cured product can be further improved.
[無機充填材]
上記樹脂材料は、無機充填材を含むことが好ましい。上記無機充填材の使用により、硬化物の誘電正接をより一層低くすることができる。また、上記無機充填材の使用により、硬化物の熱による寸法変化がより一層小さくなる。上記無機充填材は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Inorganic filler]
The resin material preferably contains an inorganic filler. By using the inorganic filler, the dielectric tangent of the cured product can be further reduced. In addition, by using the inorganic filler, the dimensional change of the cured product due to heat can be further reduced. The inorganic filler may be used alone or in combination of two or more kinds.
上記無機充填材としては、シリカ、タルク、クレイ、マイカ、ハイドロタルサイト、アルミナ、酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、ダイヤモンド、窒化アルミニウム、及び窒化ホウ素等が挙げられる。 Examples of the inorganic fillers include silica, talc, clay, mica, hydrotalcite, alumina, magnesium oxide, aluminum hydroxide, diamond, aluminum nitride, and boron nitride.
上記無機充填材は、アルミナ及び窒化ホウ素等の熱伝導率が10W/mK以上である無機充填材であることが好ましい。この場合には、放熱性を高めることができる。The inorganic filler is preferably an inorganic filler having a thermal conductivity of 10 W/mK or more, such as alumina or boron nitride. In this case, heat dissipation can be improved.
硬化物の表面の表面粗さを小さくし、硬化物と金属層との接着強度をより一層高くし、かつ硬化物の表面により一層微細な配線を形成し、かつ硬化物により良好な絶縁信頼性を付与する観点からは、上記無機充填材は、シリカ又はアルミナであることが好ましく、シリカであることがより好ましく、溶融シリカであることが更に好ましい。上記シリカは、中空シリカであってもよい。シリカの使用により、硬化物の熱膨張率がより一層低くなり、また、硬化物の誘電正接がより一層低くなる。また、シリカの使用により、硬化物の表面の表面粗さが効果的に小さくなり、硬化物と金属層との接着強度が効果的に高くなる。シリカの形状は球状であることが好ましい。From the viewpoint of reducing the surface roughness of the cured product, further increasing the adhesive strength between the cured product and the metal layer, forming finer wiring on the surface of the cured product, and imparting better insulation reliability to the cured product, the inorganic filler is preferably silica or alumina, more preferably silica, and even more preferably fused silica. The silica may be hollow silica. By using silica, the thermal expansion coefficient of the cured product is further reduced, and the dielectric tangent of the cured product is further reduced. In addition, by using silica, the surface roughness of the cured product is effectively reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is effectively increased. The silica is preferably spherical in shape.
硬化環境によらず、樹脂の硬化を進め、硬化物のガラス転移温度を効果的に高くし、硬化物の熱線膨張係数を効果的に小さくする観点からは、上記無機充填材は球状シリカであることが好ましい。From the viewpoint of promoting the curing of the resin regardless of the curing environment, effectively increasing the glass transition temperature of the cured product, and effectively reducing the coefficient of linear thermal expansion of the cured product, it is preferable that the above-mentioned inorganic filler is spherical silica.
熱伝導率を高め、かつ絶縁性を高める観点からは、上記無機充填材はアルミナ又は窒化ホウ素であることが好ましい。特に、窒化ホウ素は異方性を有するため、熱線膨張係数をより一層小さくすることができる。From the viewpoint of increasing thermal conductivity and insulating properties, it is preferable that the inorganic filler is alumina or boron nitride. In particular, boron nitride has anisotropy, which can further reduce the coefficient of linear thermal expansion.
上記無機充填材の平均粒径は、好ましくは50nm以上、より好ましくは100nm以上、更に好ましくは500nm以上、好ましくは5μm以下、より好ましくは3μm以下、更に好ましくは1μm以下である。上記無機充填材の平均粒径が上記下限以上及び上記上限以下であると、エッチング後の表面粗度を小さくし、かつメッキピール強度を高くすることができ、また、絶縁層と金属層との密着性をより一層高めることができる。The average particle size of the inorganic filler is preferably 50 nm or more, more preferably 100 nm or more, even more preferably 500 nm or more, and preferably 5 μm or less, more preferably 3 μm or less, and even more preferably 1 μm or less. When the average particle size of the inorganic filler is equal to or greater than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the surface roughness after etching can be reduced and the plating peel strength can be increased, and the adhesion between the insulating layer and the metal layer can be further improved.
上記無機充填材の平均粒径として、50%となるメディアン径(d50)の値が採用される。上記平均粒径は、レーザー回折散乱方式の粒度分布測定装置を用いて測定可能である。なお、無機充填材が凝集粒子の場合には、無機充填材の平均粒径は、一次粒子径を意味する。The median diameter (d50) at 50% is used as the average particle diameter of the inorganic filler. The average particle diameter can be measured using a particle size distribution measuring device that uses a laser diffraction scattering method. In addition, when the inorganic filler is an agglomerated particle, the average particle diameter of the inorganic filler means the primary particle diameter.
上記無機充填材は、球状であることが好ましく、球状シリカであることがより好ましい。この場合には、硬化物の表面の表面粗さが効果的に小さくなり、更に硬化物と金属層との接着強度が効果的に高くなる。上記無機充填材が球状である場合には、上記無機充填材のアスペクト比は好ましくは2以下、より好ましくは1.5以下である。The inorganic filler is preferably spherical, and more preferably spherical silica. In this case, the surface roughness of the cured product is effectively reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is effectively increased. When the inorganic filler is spherical, the aspect ratio of the inorganic filler is preferably 2 or less, and more preferably 1.5 or less.
上記無機充填材は、表面処理されていることが好ましく、カップリング剤による表面処理物であることがより好ましく、シランカップリング剤による表面処理物であることが更に好ましい。上記無機充填材が表面処理されていることにより、粗化硬化物の表面の表面粗さがより一層小さくなり、硬化物と金属層との接着強度がより一層高くなる。また、上記無機充填材が表面処理されていることにより、硬化物の表面により一層微細な配線を形成することができ、かつより一層良好な配線間絶縁信頼性及び層間絶縁信頼性を硬化物に付与することができる。The inorganic filler is preferably surface-treated, more preferably surface-treated with a coupling agent, and even more preferably surface-treated with a silane coupling agent. By surface-treating the inorganic filler, the surface roughness of the roughened cured product is further reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is further increased. In addition, by surface-treating the inorganic filler, finer wiring can be formed on the surface of the cured product, and better inter-wiring insulation reliability and inter-layer insulation reliability can be imparted to the cured product.
上記カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタンカップリング剤及びアルミニウムカップリング剤等が挙げられる。上記シランカップリング剤としては、メタクリルシラン、アクリルシラン、アミノシラン、イミダゾールシラン、ビニルシラン、及びエポキシシラン等が挙げられる。Examples of the coupling agent include silane coupling agents, titanium coupling agents, and aluminum coupling agents. Examples of the silane coupling agent include methacrylsilane, acrylic silane, aminosilane, imidazole silane, vinyl silane, and epoxy silane.
樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、上記無機充填材の含有量は、好ましくは50重量%以上、より好ましくは60重量%以上、更に好ましくは65重量%以上、特に好ましくは68重量%以上、好ましくは90重量%以下、より好ましくは85重量%以下、更に好ましくは80重量%以下、特に好ましくは75重量%以下である。上記無機充填材の含有量が上記下限以上であると、誘電正接が効果的に低くなる。上記無機充填材の含有量が上記上限以下であると、熱寸法安定性を高め、硬化物の反りを効果的に抑えることができる。上記無機充填材の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の表面の表面粗さをより一層小さくすることができ、かつ硬化物の表面により一層微細な配線を形成することができる。さらに、この無機充填材の含有量であれば、硬化物の熱膨張率を低くすることと同時に、スミア除去性を良好にすることも可能である。The content of the inorganic filler in 100% by weight of the resin material excluding the solvent is preferably 50% by weight or more, more preferably 60% by weight or more, even more preferably 65% by weight or more, particularly preferably 68% by weight or more, preferably 90% by weight or less, more preferably 85% by weight or less, even more preferably 80% by weight or less, particularly preferably 75% by weight or less. When the content of the inorganic filler is equal to or greater than the lower limit, the dielectric tangent is effectively lowered. When the content of the inorganic filler is equal to or less than the upper limit, the thermal dimensional stability is improved and the warping of the cured product can be effectively suppressed. When the content of the inorganic filler is equal to or greater than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the surface roughness of the cured product can be further reduced, and finer wiring can be formed on the surface of the cured product. Furthermore, with this content of the inorganic filler, it is possible to lower the thermal expansion coefficient of the cured product and at the same time improve the smear removability.
[硬化剤]
上記樹脂材料は、硬化剤を含むことが好ましい。上記硬化剤は特に限定されない。上記硬化剤として、従来公知の硬化剤を使用可能である。上記硬化剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Curing agent]
The resin material preferably contains a curing agent. The curing agent is not particularly limited. A conventionally known curing agent can be used as the curing agent. The curing agent may be used alone or in combination of two or more kinds.
上記硬化剤としては、フェノール化合物(フェノール硬化剤)、活性エステル化合物、シアネートエステル化合物(シアネートエステル硬化剤)、イミド結合を有さないベンゾオキサジン化合物(ベンゾオキサジン硬化剤)、カルボジイミド化合物(カルボジイミド硬化剤)、アミン化合物(アミン硬化剤)、チオール化合物(チオール硬化剤)、ホスフィン化合物、ジシアンジアミド、及び酸無水物等が挙げられる。上記硬化剤は、上記エポキシ化合物のエポキシ基と反応可能な官能基を有することが好ましい。Examples of the curing agent include phenol compounds (phenol curing agents), active ester compounds, cyanate ester compounds (cyanate ester curing agents), benzoxazine compounds without imide bonds (benzoxazine curing agents), carbodiimide compounds (carbodiimide curing agents), amine compounds (amine curing agents), thiol compounds (thiol curing agents), phosphine compounds, dicyandiamide, and acid anhydrides. It is preferable that the curing agent has a functional group capable of reacting with the epoxy group of the epoxy compound.
熱寸法安定性をより一層高める観点及び誘電正接を一層低くする観点から、上記硬化剤は、フェノール化合物、活性エステル化合物、シアネートエステル化合物、イミド結合を有さないベンゾオキサジン化合物、カルボジイミド化合物及び酸無水物の内の少なくとも1種の成分を含むことが好ましい。熱寸法安定性をより一層高める観点及び誘電正接を一層低くする観点から、上記硬化剤は、フェノール化合物、活性エステル化合物、シアネートエステル化合物、イミド結合を有さないベンゾオキサジン化合物、及びカルボジイミド化合物の内の少なくとも1種の成分を含むことがより好ましく、活性エステル化合物を含むことが更に好ましい。From the viewpoint of further increasing the thermal dimensional stability and further decreasing the dielectric tangent, it is preferable that the curing agent contains at least one component selected from the group consisting of a phenolic compound, an active ester compound, a cyanate ester compound, a benzoxazine compound having no imide bond, a carbodiimide compound, and an acid anhydride. From the viewpoint of further increasing the thermal dimensional stability and further decreasing the dielectric tangent, it is more preferable that the curing agent contains at least one component selected from the group consisting of a phenolic compound, an active ester compound, a cyanate ester compound, a benzoxazine compound having no imide bond, and a carbodiimide compound, and it is even more preferable that the curing agent contains an active ester compound.
熱寸法安定性をより一層高める観点及び誘電正接を一層低くする観点から、上記熱硬化性化合物がエポキシ化合物を含み、上記硬化剤がフェノール化合物と活性エステル化合物との双方を含むことが好ましい。From the viewpoint of further increasing the thermal dimensional stability and further decreasing the dielectric tangent, it is preferable that the thermosetting compound contains an epoxy compound and the curing agent contains both a phenol compound and an active ester compound.
上記フェノール化合物としては、ノボラック型フェノール、ビフェノール型フェノール、ナフタレン型フェノール、ジシクロペンタジエン型フェノール、アラルキル型フェノール及びジシクロペンタジエン型フェノール等が挙げられる。Examples of the phenol compounds include novolac-type phenols, biphenol-type phenols, naphthalene-type phenols, dicyclopentadiene-type phenols, aralkyl-type phenols, and dicyclopentadiene-type phenols.
上記フェノール化合物の市販品としては、ノボラック型フェノール(DIC社製「TD-2091」)、ビフェニルノボラック型フェノール(明和化成社製「MEH-7851」)、アラルキル型フェノール化合物(明和化成社製「MEH-7800」)、並びにアミノトリアジン骨格を有するフェノール(DIC社製「LA-1356」及び「LA-3018-50P」)等が挙げられる。Commercially available phenol compounds include novolac phenol (DIC Corporation's "TD-2091"), biphenyl novolac phenol (Meiwa Chemical Industry Co., Ltd.'s "MEH-7851"), aralkyl phenol compounds (Meiwa Chemical Industry Co., Ltd.'s "MEH-7800"), and phenols having an aminotriazine skeleton (DIC Corporation's "LA-1356" and "LA-3018-50P").
上記活性エステル化合物とは、構造体中にエステル結合を少なくとも1つ含み、かつ、エステル結合の両側に脂肪族鎖、脂肪族環又は芳香族環が結合している化合物をいう。活性エステル化合物は、例えばカルボン酸化合物又はチオカルボン酸化合物と、ヒドロキシ化合物又はチオール化合物との縮合反応によって得られる。活性エステル化合物の例としては、下記式(1)で表される化合物が挙げられる。The above-mentioned active ester compound refers to a compound that contains at least one ester bond in the structure and has an aliphatic chain, an aliphatic ring, or an aromatic ring bonded to both sides of the ester bond. The active ester compound is obtained, for example, by a condensation reaction between a carboxylic acid compound or a thiocarboxylic acid compound and a hydroxy compound or a thiol compound. An example of an active ester compound is a compound represented by the following formula (1).
上記式(1)中、X1は、脂肪族鎖を含む基、脂肪族環を含む基又は芳香族環を含む基を表し、X2は、芳香族環を含む基を表す。上記芳香族環を含む基の好ましい例としては、置換基を有していてもよいベンゼン環、及び置換基を有していてもよいナフタレン環等が挙げられる。上記置換基としては、炭化水素基が挙げられる。該炭化水素基の炭素数は、好ましくは12以下、より好ましくは6以下、更に好ましくは4以下である。In the above formula (1), X1 represents a group containing an aliphatic chain, a group containing an aliphatic ring, or a group containing an aromatic ring, and X2 represents a group containing an aromatic ring. Preferred examples of the group containing an aromatic ring include a benzene ring which may have a substituent, and a naphthalene ring which may have a substituent. Examples of the substituent include a hydrocarbon group. The number of carbon atoms in the hydrocarbon group is preferably 12 or less, more preferably 6 or less, and even more preferably 4 or less.
上記式(1)中、X1及びX2の組み合わせとしては、置換基を有していてもよいベンゼン環と、置換基を有していてもよいベンゼン環との組み合わせ、置換基を有していてもよいベンゼン環と、置換基を有していてもよいナフタレン環との組み合わせが挙げられる。さらに、上記式(1)中、X1及びX2の組み合わせとしては、置換基を有していてもよいナフタレン環と、置換基を有していてもよいナフタレン環との組み合わせが挙げられる。In the above formula (1), examples of the combination of X1 and X2 include a combination of a benzene ring which may have a substituent and a benzene ring which may have a substituent, and a combination of a benzene ring which may have a substituent and a naphthalene ring which may have a substituent. Furthermore, in the above formula (1), examples of the combination of X1 and X2 include a combination of a naphthalene ring which may have a substituent and a naphthalene ring which may have a substituent.
上記活性エステル化合物は特に限定されない。熱寸法安定性及び難燃性をより一層高める観点からは、上記活性エステル化合物は、2個以上の芳香族骨格を有する活性エステル化合物であることが好ましい。硬化物の誘電正接を低くし、かつ硬化物の熱寸法安定性を高める観点から、活性エステル化合物は、主鎖骨格中にナフタレン環、又はジシクロペンタジエン骨格を有することがより好ましい。The active ester compound is not particularly limited. From the viewpoint of further improving the thermal dimensional stability and flame retardancy, it is preferable that the active ester compound is an active ester compound having two or more aromatic skeletons. From the viewpoint of lowering the dielectric tangent of the cured product and improving the thermal dimensional stability of the cured product, it is more preferable that the active ester compound has a naphthalene ring or a dicyclopentadiene skeleton in the main chain skeleton.
上記樹脂材料が上記エポキシ化合物と上記活性エステル化合物とを含む場合に、該エポキシ化合物と該活性エステル化合物との内の少なくとも一方が、イミド骨格又はアミド骨格を有することが好ましい。この場合には、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。When the resin material contains the epoxy compound and the active ester compound, it is preferable that at least one of the epoxy compound and the active ester compound has an imide skeleton or an amide skeleton. In this case, the effect of the present invention can be exerted more effectively.
上記活性エステル化合物の市販品としては、DIC社製「HPC-8000-65T」、「EXB9416-70BK」、「EXB8100-65T」、「HPC-8150-62T」及び「EXB-8」等が挙げられる。Commercially available products of the above active ester compounds include "HPC-8000-65T", "EXB9416-70BK", "EXB8100-65T", "HPC-8150-62T" and "EXB-8" manufactured by DIC Corporation.
樹脂材料の溶融粘度を低くし、架橋点間距離を短くし、硬化物の線膨張係数をより一層小さくする観点からは、上記活性エステル化合物は、低分子活性を有するエステル化合物であることが好ましい。低分子活性を有するエステル化合物の市販品としては、上述したDIC社製「EXB-8」等が挙げられる。From the viewpoint of lowering the melt viscosity of the resin material, shortening the distance between crosslinking points, and further reducing the linear expansion coefficient of the cured product, it is preferable that the active ester compound is an ester compound with low molecular weight activity. Commercially available ester compounds with low molecular weight activity include the above-mentioned "EXB-8" manufactured by DIC Corporation.
上記シアネートエステル化合物としては、ノボラック型シアネートエステル樹脂、ビスフェノール型シアネートエステル樹脂、並びにこれらが一部三量化されたプレポリマー等が挙げられる。上記ノボラック型シアネートエステル樹脂としては、フェノールノボラック型シアネートエステル樹脂及びアルキルフェノール型シアネートエステル樹脂等が挙げられる。上記ビスフェノール型シアネートエステル樹脂としては、ビスフェノールA型シアネートエステル樹脂、ビスフェノールE型シアネートエステル樹脂及びテトラメチルビスフェノールF型シアネートエステル樹脂等が挙げられる。Examples of the cyanate ester compounds include novolac-type cyanate ester resins, bisphenol-type cyanate ester resins, and prepolymers in which these are partially trimerized. Examples of the novolac-type cyanate ester resins include phenol novolac-type cyanate ester resins and alkylphenol-type cyanate ester resins. Examples of the bisphenol-type cyanate ester resins include bisphenol A-type cyanate ester resins, bisphenol E-type cyanate ester resins, and tetramethylbisphenol F-type cyanate ester resins.
上記シアネートエステル化合物の市販品としては、フェノールノボラック型シアネートエステル樹脂(ロンザジャパン社製「PT-30」及び「PT-60」)、並びにビスフェノール型シアネートエステル樹脂が三量化されたプレポリマー(ロンザジャパン社製「BA-230S」、「BA-3000S」、「BTP-1000S」及び「BTP-6020S」)等が挙げられる。Commercially available products of the above cyanate ester compounds include phenol novolac type cyanate ester resins (PT-30 and PT-60 manufactured by Lonza Japan) and prepolymers of trimerized bisphenol type cyanate ester resins (BA-230S, BA-3000S, BTP-1000S, and BTP-6020S manufactured by Lonza Japan).
上記樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記シアネートエステル化合物の含有量は、好ましくは10重量%以上、より好ましくは15重量%以上、更に好ましくは20重量%以上、好ましくは85重量%以下、より好ましくは75重量%以下である。上記シアネートエステル化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。The content of the cyanate ester compound in 100% by weight of the components excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material is preferably 10% by weight or more, more preferably 15% by weight or more, even more preferably 20% by weight or more, preferably 85% by weight or less, more preferably 75% by weight or less. When the content of the cyanate ester compound is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the thermal dimensional stability of the cured product can be further improved.
上記イミド結合を有さないベンゾオキサジン化合物としては、P-d型ベンゾオキサジン、及びF-a型ベンゾオキサジン等が挙げられる。 Examples of benzoxazine compounds that do not have the above-mentioned imide bond include P-d type benzoxazine and Fa type benzoxazine.
上記イミド結合を有さないベンゾオキサジン化合物の市販品としては、四国化成工業社製「P-d型」、JFEケミカル社製「ODA-BOZ」等が挙げられる。Commercially available examples of benzoxazine compounds that do not have the above imide bonds include "P-d type" manufactured by Shikoku Chemical Industry Co., Ltd. and "ODA-BOZ" manufactured by JFE Chemical Corporation.
上記樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記イミド結合を有さないベンゾオキサジン化合物の含有量は、好ましくは1重量%以上、より好ましくは5重量%以上、更に好ましくは10重量%以上、好ましくは70重量%以下、より好ましくは60重量%以下である。上記イミド結合を有さないベンゾオキサジン化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の誘電正接を低くし、かつ熱寸法安定性をより一層高めることができる。In 100% by weight of the components in the resin material excluding the inorganic filler and the solvent, the content of the benzoxazine compound not having the imide bond is preferably 1% by weight or more, more preferably 5% by weight or more, even more preferably 10% by weight or more, preferably 70% by weight or less, more preferably 60% by weight or less. When the content of the benzoxazine compound not having the imide bond is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the dielectric tangent of the cured product can be lowered and the thermal dimensional stability can be further improved.
上記カルボジイミド化合物は、下記式(2)で表される構造単位を有する化合物である。下記式(2)において、右端部及び左端部は、他の基との結合部位である。上記カルボジイミド化合物は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。The carbodiimide compound is a compound having a structural unit represented by the following formula (2). In the following formula (2), the right end and the left end are bonding sites with other groups. Only one type of the carbodiimide compound may be used, or two or more types may be used in combination.
上記式(2)中、Xは、アルキレン基、アルキレン基に置換基が結合した基、シクロアルキレン基、シクロアルキレン基に置換基が結合した基、アリーレン基、又はアリーレン基に置換基が結合した基を表し、pは1~5の整数を表す。Xが複数存在する場合、複数のXは同一であってもよく、異なっていてもよい。In the above formula (2), X represents an alkylene group, a group in which a substituent is bonded to an alkylene group, a cycloalkylene group, a group in which a substituent is bonded to a cycloalkylene group, an arylene group, or a group in which a substituent is bonded to an arylene group, and p represents an integer of 1 to 5. When there are multiple Xs, the multiple Xs may be the same or different.
好適な一つの形態において、少なくとも1つのXは、アルキレン基、アルキレン基に置換基が結合した基、シクロアルキレン基、又はシクロアルキレン基に置換基が結合した基である。In one preferred embodiment, at least one X is an alkylene group, a group having a substituent bonded to an alkylene group, a cycloalkylene group, or a group having a substituent bonded to a cycloalkylene group.
上記カルボジイミド化合物の市販品としては、日清紡ケミカル社製「カルボジライト V-02B」、「カルボジライト V-03」、「カルボジライト V-04K」、「カルボジライト V-07」、「カルボジライト V-09」、「カルボジライト 10M-SP」、及び「カルボジライト 10M-SP(改)」、並びに、ラインケミー社製「スタバクゾールP」、「スタバクゾールP400」、及び「ハイカジル510」等が挙げられる。Commercially available examples of the above carbodiimide compounds include "Carbodilite V-02B", "Carbodilite V-03", "Carbodilite V-04K", "Carbodilite V-07", "Carbodilite V-09", "Carbodilite 10M-SP", and "Carbodilite 10M-SP (modified)" manufactured by Nisshinbo Chemical Inc., as well as "Stavaxol P", "Stavaxol P400", and "Hi-Kasil 510" manufactured by Rhein Chemie.
上記酸無水物としては、テトラヒドロフタル酸無水物、及びアルキルスチレン-無水マレイン酸共重合体等が挙げられる。 Examples of the above acid anhydrides include tetrahydrophthalic anhydride and alkylstyrene-maleic anhydride copolymers.
上記酸無水物の市販品としては、新日本理化社製「リカシッド TDA-100」等が挙げられる。 Commercially available products of the above acid anhydrides include "Rikacid TDA-100" manufactured by New Japan Chemical Co., Ltd.
上記エポキシ化合物100重量部に対する上記硬化剤の含有量は、好ましくは70重量部以上、より好ましくは85重量部以上、好ましくは150重量部以下、より好ましくは120重量部以下である。上記硬化剤の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化性により一層優れ、熱寸法安定性をより一層高め、残存未反応成分の揮発をより一層抑制できる。The content of the curing agent relative to 100 parts by weight of the epoxy compound is preferably 70 parts by weight or more, more preferably 85 parts by weight or more, preferably 150 parts by weight or less, more preferably 120 parts by weight or less. When the content of the curing agent is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the curing property is more excellent, the thermal dimensional stability is further improved, and the volatilization of the remaining unreacted components can be further suppressed.
上記樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記化合物Xと上記熱硬化性化合物と上記硬化剤との合計の含有量は、好ましくは40重量%以上、より好ましくは60重量%以上、好ましくは98重量%以下、より好ましくは95重量%以下である。上記化合物Xと上記熱硬化性化合物と上記硬化剤との合計の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化性により一層優れ、熱寸法安定性をより一層高めることができる。In 100% by weight of the components excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material, the total content of the compound X, the thermosetting compound, and the curing agent is preferably 40% by weight or more, more preferably 60% by weight or more, preferably 98% by weight or less, and more preferably 95% by weight or less. When the total content of the compound X, the thermosetting compound, and the curing agent is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the curing property is more excellent and the thermal dimensional stability can be further improved.
[硬化促進剤]
上記樹脂材料は、硬化促進剤を含む。上記硬化促進剤の使用により、硬化速度がより一層速くなる。樹脂材料を速やかに硬化させることで、硬化物における架橋構造が均一になると共に、未反応の官能基数が減り、結果的に架橋密度が高くなる。上記硬化促進剤は特に限定されず、従来公知の硬化促進剤を使用可能である。上記硬化促進剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Curing accelerator]
The resin material includes a curing accelerator. The use of the curing accelerator further accelerates the curing speed. By quickly curing the resin material, the crosslinked structure in the cured product becomes uniform, and the number of unreacted functional groups is reduced, resulting in a high crosslink density. The curing accelerator is not particularly limited, and a conventionally known curing accelerator can be used. The curing accelerator may be used alone or in combination of two or more.
上記硬化促進剤としては、例えば、イミダゾール化合物等のアニオン性硬化促進剤、アミン化合物等のカチオン性硬化促進剤、リン化合物及び有機金属化合物等のアニオン性及びカチオン性硬化促進剤以外の硬化促進剤、並びに過酸化物等のラジカル性硬化促進剤等が挙げられる。Examples of the curing accelerator include anionic curing accelerators such as imidazole compounds, cationic curing accelerators such as amine compounds, curing accelerators other than anionic and cationic curing accelerators such as phosphorus compounds and organometallic compounds, and radical curing accelerators such as peroxides.
上記イミダゾール化合物としては、2-ウンデシルイミダゾール、2-ヘプタデシルイミダゾール、2-メチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、2-フェニルイミダゾール、2-フェニル-4-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-フェニルイミダゾール、1,2-ジメチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-メチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-エチル-4-メチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-ウンデシルイミダゾール、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾール、1-シアノエチル-2-ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4-ジアミノ-6-[2’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-ウンデシルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-エチル-4’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジンイソシアヌル酸付加物、2-フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2-メチルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2-フェニル-4,5-ジヒドロキシメチルイミダゾール及び2-フェニル-4-メチル-5-ジヒドロキシメチルイミダゾール等が挙げられる。 The above imidazole compounds include 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 2-methylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate, and 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimethylate. Limellitate, 2,4-diamino-6-[2'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2'-undecylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2'-ethyl-4'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine isocyanuric acid adduct, 2-phenylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-methylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole and 2-phenyl-4-methyl-5-dihydroxymethylimidazole.
上記アミン化合物としては、ジエチルアミン、トリエチルアミン、ジエチレンテトラミン、トリエチレンテトラミン及び4,4-ジメチルアミノピリジン等が挙げられる。 Examples of the above amine compounds include diethylamine, triethylamine, diethylenetetramine, triethylenetetramine, and 4,4-dimethylaminopyridine.
上記リン化合物としては、トリフェニルホスフィン化合物等が挙げられる。 Examples of the above phosphorus compounds include triphenylphosphine compounds.
上記有機金属化合物としては、ナフテン酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、オクチル酸スズ、オクチル酸コバルト、ビスアセチルアセトナートコバルト(II)及びトリスアセチルアセトナートコバルト(III)等が挙げられる。Examples of the organometallic compounds include zinc naphthenate, cobalt naphthenate, tin octoate, cobalt octoate, cobalt bis(II) acetylacetonate, and cobalt tris(III) acetylacetonate.
上記過酸化物としてはジクミルペルオキシド、及びパーヘキシル25B等が挙げられる。 Examples of the above peroxides include dicumyl peroxide and perhexyl 25B.
硬化温度をより一層低く抑え、硬化物の反りを効果的に抑える観点からは、上記硬化促進剤は、上記アニオン性硬化促進剤を含むことが好ましく、上記イミダゾール化合物を含むことがより好ましい。From the viewpoint of further reducing the curing temperature and effectively suppressing warping of the cured product, it is preferable that the curing accelerator contains the anionic curing accelerator, and it is more preferable that the curing accelerator contains the imidazole compound.
硬化温度をより一層低く抑え、硬化物の反りを効果的に抑える観点からは、上記硬化促進剤100重量%中、上記アニオン性硬化促進剤の含有量は、好ましくは20重量%以上、より好ましくは50重量%以上、更に好ましくは70重量%以上、最も好ましくは100重量%(全量)である。したがって、上記硬化促進剤は、上記アニオン性硬化促進剤であることが最も好ましい。From the viewpoint of further suppressing the curing temperature and effectively suppressing warping of the cured product, the content of the anionic curing accelerator in 100% by weight of the curing accelerator is preferably 20% by weight or more, more preferably 50% by weight or more, even more preferably 70% by weight or more, and most preferably 100% by weight (total amount). Therefore, it is most preferable that the curing accelerator is the anionic curing accelerator.
上記熱硬化性化合物が上記ビニル化合物、上記アクリレート化合物及び上記スチレン化合物等のラジカル硬化性化合物を含む場合、ラジカル硬化が進行するため、上記硬化促進剤は、上記ラジカル性硬化促進剤を含むことが好ましい。When the thermosetting compound contains a radically curable compound such as the vinyl compound, the acrylate compound, and the styrene compound, radical curing proceeds, so it is preferable that the curing accelerator contains the radical curing accelerator.
上記硬化促進剤の含有量は特に限定されない。樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記硬化促進剤の含有量は、好ましくは0.01重量%以上、より好ましくは0.05重量%以上、好ましくは5重量%以下、より好ましくは3重量%以下である。上記硬化促進剤の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、樹脂材料が効率的に硬化する。上記硬化促進剤の含有量がより好ましい範囲であれば、樹脂材料の保存安定性がより一層高くなり、かつより一層良好な硬化物が得られる。The content of the curing accelerator is not particularly limited. The content of the curing accelerator is preferably 0.01% by weight or more, more preferably 0.05% by weight or more, preferably 5% by weight or less, more preferably 3% by weight or less, based on 100% by weight of the components in the resin material excluding the inorganic filler and the solvent. When the content of the curing accelerator is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the resin material is cured efficiently. When the content of the curing accelerator is within a more preferred range, the storage stability of the resin material is further increased, and a better cured product is obtained.
[熱可塑性樹脂]
上記樹脂材料は、熱可塑性樹脂を含むことが好ましい。上記熱可塑性樹脂としては、ポリビニルアセタール樹脂、ポリイミド樹脂、フェノキシ樹脂及びスチレンブタジエン樹脂等が挙げられる。上記熱可塑性樹脂は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Thermoplastic resin]
The resin material preferably contains a thermoplastic resin. Examples of the thermoplastic resin include polyvinyl acetal resin, polyimide resin, phenoxy resin, and styrene-butadiene resin. The thermoplastic resin may be used alone or in combination of two or more kinds.
硬化環境によらず、誘電正接を効果的に低くし、かつ、金属配線の密着性を効果的に高める観点からは、上記熱可塑性樹脂は、フェノキシ樹脂であることが好ましい。フェノキシ樹脂の使用により、樹脂フィルムの回路基板の穴又は凹凸に対する埋め込み性の悪化及び無機充填材の不均一化が抑えられる。また、フェノキシ樹脂の使用により、溶融粘度を調整可能であるために無機充填材の分散性が良好になり、かつ硬化過程で、意図しない領域に樹脂組成物又はBステージ化物が濡れ拡がり難くなる。From the viewpoint of effectively lowering the dielectric tangent and effectively increasing the adhesion of metal wiring regardless of the curing environment, the thermoplastic resin is preferably a phenoxy resin. The use of phenoxy resin suppresses the deterioration of the embedding ability of the resin film into holes or irregularities in the circuit board and the non-uniformity of the inorganic filler. In addition, the use of phenoxy resin improves the dispersibility of the inorganic filler because the melt viscosity can be adjusted, and the resin composition or B-staged product is less likely to wet and spread into unintended areas during the curing process.
上記樹脂材料に含まれているフェノキシ樹脂は特に限定されない。上記フェノキシ樹脂として、従来公知のフェノキシ樹脂を使用可能である。上記フェノキシ樹脂は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。The phenoxy resin contained in the resin material is not particularly limited. Conventionally known phenoxy resins can be used as the phenoxy resin. Only one type of the phenoxy resin may be used, or two or more types may be used in combination.
上記フェノキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型の骨格、ビスフェノールF型の骨格、ビスフェノールS型の骨格、ビフェニル骨格、ノボラック骨格、ナフタレン骨格及びイミド骨格などの骨格を有するフェノキシ樹脂等が挙げられる。Examples of the phenoxy resin include phenoxy resins having a skeleton such as a bisphenol A type skeleton, a bisphenol F type skeleton, a bisphenol S type skeleton, a biphenyl skeleton, a novolac skeleton, a naphthalene skeleton, and an imide skeleton.
上記フェノキシ樹脂の市販品としては、例えば、新日鉄住金化学社製の「YP50」、「YP55」及び「YP70」、並びに三菱化学社製の「1256B40」、「4250」、「4256H40」、「4275」、「YX6954BH30」及び「YX8100BH30」等が挙げられる。Commercially available examples of the above phenoxy resins include "YP50", "YP55" and "YP70" manufactured by Nippon Steel & Sumitomo Metal Chemical Co., Ltd., and "1256B40", "4250", "4256H40", "4275", "YX6954BH30" and "YX8100BH30" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation.
ハンドリング性、低粗度でのメッキピール強度及び絶縁層と金属層との密着性を高める観点から、上記熱可塑性樹脂は、ポリイミド樹脂(ポリイミド化合物)であることが好ましい。From the viewpoint of improving handling properties, plating peel strength at low roughness, and adhesion between the insulating layer and the metal layer, it is preferable that the above thermoplastic resin is a polyimide resin (polyimide compound).
溶解性を良好にする観点からは、上記ポリイミド化合物は、テトラカルボン酸二無水物と脂肪族ジアミン化合物とを反応させる方法によって得られたポリイミド化合物であることが好ましい。From the viewpoint of improving solubility, it is preferable that the polyimide compound is a polyimide compound obtained by a method of reacting a tetracarboxylic dianhydride with an aliphatic diamine compound.
上記テトラカルボン酸二無水物としては、例えば、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ビフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ジメチルジフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-テトラフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4-フランテトラカルボン酸二無水物、4,4’-ビス(3,4-ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスルフィド二無水物、4,4’-ビス(3,4-ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスルホン二無水物、4,4’-ビス(3,4-ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルプロパン二無水物、3,3’,4,4’-パーフルオロイソプロピリデンジフタル酸二無水物、ビス(フタル酸)フェニルホスフィンオキサイド二無水物、p-フェニレン-ビス(トリフェニルフタル酸)二無水物、m-フェニレン-ビス(トリフェニルフタル酸)二無水物、ビス(トリフェニルフタル酸)-4,4’-ジフェニルエーテル二無水物、及びビス(トリフェニルフタル酸)-4,4’-ジフェニルメタン二無水物等が挙げられる。Examples of the tetracarboxylic dianhydride include pyromellitic dianhydride, 3,3',4,4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-biphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-biphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-dimethyldiphenylsilane tetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-tetraphenylsilane tetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-furan tetracarboxylic dianhydride, 4,4'-bis(3,4-dicarboxylic acid dianhydride, 1,2,3,4-furan tetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8 ... Examples of the dianhydride include 4,4'-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)diphenyl sulfide dianhydride, 4,4'-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)diphenyl sulfone dianhydride, 4,4'-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)diphenylpropane dianhydride, 3,3',4,4'-perfluoroisopropylidenediphthalic dianhydride, bis(phthalic acid)phenylphosphine oxide dianhydride, p-phenylene-bis(triphenylphthalic acid) dianhydride, m-phenylene-bis(triphenylphthalic acid) dianhydride, bis(triphenylphthalic acid)-4,4'-diphenyl ether dianhydride, and bis(triphenylphthalic acid)-4,4'-diphenylmethane dianhydride.
上記脂肪族ジアミンとしては、ダイマージアミン等が挙げられる。上記ダイマージアミンとしては、例えば、バーサミン551(商品名BASFジャパン社製、3,4-ビス(1-アミノヘプチル)-6-ヘキシル-5-(1-オクテニル)シクロヘキセン)、バーサミン552(商品名、コグニクスジャパン社製、バーサミン551の水添物)、PRIAMINE1075、PRIAMINE1074(商品名、いずれもクローダジャパン社製)等が挙げられる。Examples of the aliphatic diamine include dimer diamine. Examples of the dimer diamine include VERSAMINE 551 (product name, manufactured by BASF Japan, 3,4-bis(1-aminoheptyl)-6-hexyl-5-(1-octenyl)cyclohexene), VERSAMINE 552 (product name, manufactured by Cognix Japan, hydrogenated VERSAMINE 551), PRIAMINE 1075, and PRIAMINE 1074 (product names, all manufactured by Croda Japan).
なお、上記ポリイミド化合物は末端に、酸無水物構造、マレイミド構造、シトラコンイミド構造を有していてもよい。この場合には、上記ポリイミド化合物とエポキシ化合物とを反応させることができる。上記ポリイミド化合物とエポキシ化合物とを反応させることにより、硬化物の熱寸法安定性を高めることができる。The polyimide compound may have an acid anhydride structure, a maleimide structure, or a citraconic imide structure at the end. In this case, the polyimide compound can be reacted with an epoxy compound. By reacting the polyimide compound with an epoxy compound, the thermal dimensional stability of the cured product can be improved.
保存安定性により一層優れた樹脂材料を得る観点からは、上記熱可塑性樹脂、上記ポリイミド樹脂及び上記フェノキシ樹脂の重量平均分子量は、好ましくは10000以上、より好ましくは15000以上、好ましくは100000以下、より好ましくは50000以下である。From the viewpoint of obtaining a resin material having even better storage stability, the weight average molecular weight of the above thermoplastic resin, the above polyimide resin and the above phenoxy resin is preferably 10,000 or more, more preferably 15,000 or more, preferably 100,000 or less, more preferably 50,000 or less.
上記熱可塑性樹脂、上記ポリイミド樹脂及び上記フェノキシ樹脂の上記重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を示す。The weight average molecular weights of the thermoplastic resin, the polyimide resin and the phenoxy resin indicate the weight average molecular weights in terms of polystyrene measured by gel permeation chromatography (GPC).
上記熱可塑性樹脂、上記ポリイミド樹脂及び上記フェノキシ樹脂の含有量は特に限定されない。樹脂材料中の上記無機充填材及び上記溶剤を除く成分100重量%中、上記熱可塑性樹脂の含有量(熱可塑性樹脂がポリイミド樹脂又はフェノキシ樹脂である場合には、ポリイミド樹脂又はフェノキシ樹脂の含有量)は、好ましくは1重量%以上、より好ましくは2重量%以上、好ましくは30重量%以下、より好ましくは20重量%以下である。上記熱可塑性樹脂の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、樹脂材料の回路基板の穴又は凹凸に対する埋め込み性が良好になる。上記熱可塑性樹脂の含有量が上記下限以上であると、樹脂フィルムの形成がより一層容易になり、より一層良好な絶縁層が得られる。上記熱可塑性樹脂の含有量が上記上限以下であると、硬化物の熱膨張率がより一層低くなる。上記熱可塑性樹脂の含有量が上記上限以下であると、硬化物の表面の表面粗さがより一層小さくなり、硬化物と金属層との接着強度がより一層高くなる。The contents of the thermoplastic resin, the polyimide resin, and the phenoxy resin are not particularly limited. In 100% by weight of the components excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material, the content of the thermoplastic resin (when the thermoplastic resin is a polyimide resin or a phenoxy resin, the content of the polyimide resin or the phenoxy resin) is preferably 1% by weight or more, more preferably 2% by weight or more, preferably 30% by weight or less, more preferably 20% by weight or less. When the content of the thermoplastic resin is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the resin material has good embedding properties in holes or irregularities in the circuit board. When the content of the thermoplastic resin is equal to or more than the lower limit, the formation of the resin film becomes easier, and a better insulating layer is obtained. When the content of the thermoplastic resin is equal to or less than the upper limit, the thermal expansion coefficient of the cured product becomes even lower. When the content of the thermoplastic resin is equal to or less than the upper limit, the surface roughness of the surface of the cured product becomes even smaller, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer becomes even higher.
[溶剤]
上記樹脂材料は、溶剤を含まないか又は含む。上記溶剤の使用により、樹脂材料の粘度を好適な範囲に制御でき、樹脂材料の塗工性を高めることができる。また、上記溶剤は、上記無機充填材を含むスラリーを得るために用いられてもよい。上記溶剤は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[solvent]
The resin material does not contain or contains a solvent. By using the solvent, the viscosity of the resin material can be controlled within a suitable range, and the coatability of the resin material can be improved. The solvent may be used to obtain a slurry containing the inorganic filler. Only one type of the solvent may be used, or two or more types may be used in combination.
上記溶剤としては、アセトン、メタノール、エタノール、ブタノール、2-プロパノール、2-メトキシエタノール、2-エトキシエタノール、1-メトキシ-2-プロパノール、2-アセトキシ-1-メトキシプロパン、トルエン、キシレン、メチルエチルケトン、N,N-ジメチルホルムアミド、メチルイソブチルケトン、N-メチル-ピロリドン、n-ヘキサン、シクロヘキサン、シクロヘキサノン及び混合物であるナフサ等が挙げられる。 Examples of the above solvents include acetone, methanol, ethanol, butanol, 2-propanol, 2-methoxyethanol, 2-ethoxyethanol, 1-methoxy-2-propanol, 2-acetoxy-1-methoxypropane, toluene, xylene, methyl ethyl ketone, N,N-dimethylformamide, methyl isobutyl ketone, N-methyl-pyrrolidone, n-hexane, cyclohexane, cyclohexanone, and naphtha, which is a mixture.
上記溶剤の多くは、上記樹脂組成物をフィルム状に成形するときに、除去されることが好ましい。従って、上記溶剤の沸点は好ましくは200℃以下、より好ましくは180℃以下である。上記樹脂組成物中の上記溶剤の含有量は特に限定されない。上記樹脂組成物の塗工性などを考慮して、上記溶剤の含有量は適宜変更可能である。It is preferable that most of the solvent is removed when the resin composition is molded into a film. Therefore, the boiling point of the solvent is preferably 200°C or less, more preferably 180°C or less. The content of the solvent in the resin composition is not particularly limited. The content of the solvent can be changed as appropriate, taking into account the coatability of the resin composition, etc.
上記樹脂材料がBステージフィルムである場合には、上記Bステージフィルム100重量%中、上記溶剤の含有量は、好ましくは1重量%以上、より好ましくは2重量%以上、好ましくは10重量%以下、より好ましくは5重量%以下である。When the resin material is a B-stage film, the content of the solvent in 100% by weight of the B-stage film is preferably 1% by weight or more, more preferably 2% by weight or more, preferably 10% by weight or less, more preferably 5% by weight or less.
[他の成分]
耐衝撃性、耐熱性、樹脂の相溶性及び作業性等の改善を目的として、上記樹脂材料は、有機充填材、レベリング剤、難燃剤、カップリング剤、着色剤、酸化防止剤、紫外線劣化防止剤、消泡剤、増粘剤、及び揺変性付与剤等を含んでいてもよい。
[Other ingredients]
For the purpose of improving impact resistance, heat resistance, resin compatibility, workability, and the like, the resin material may contain an organic filler, a leveling agent, a flame retardant, a coupling agent, a colorant, an antioxidant, an ultraviolet degradation inhibitor, a defoaming agent, a thickener, a thixotropy imparting agent, and the like.
上記有機充填材としては、ベンゾオキサジン樹脂、ベンゾオキサゾール樹脂、フッ素樹脂、アクリル樹脂及びスチレン樹脂等からなる粒子状物が挙げられる。上記フッ素樹脂としては、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)等が挙げられる。上記有機充填材としてフッ素樹脂粒子を用いることにより、硬化物の比誘電率をより一層低くすることができる。上記有機充填材の平均粒径は1μm以下であることが好ましい。上記有機充填材の平均粒径が上記上限以下であると、エッチング後の表面粗度を小さくし、かつメッキピール強度を高くすることができ、また、絶縁層と金属層との密着性をより一層高めることができる。上記有機充填材の平均粒径は、50nm以上であってもよい。Examples of the organic filler include particulate materials made of benzoxazine resin, benzoxazole resin, fluororesin, acrylic resin, and styrene resin. Examples of the fluororesin include polytetrafluoroethylene (PTFE). By using fluororesin particles as the organic filler, the relative dielectric constant of the cured product can be further reduced. The average particle size of the organic filler is preferably 1 μm or less. If the average particle size of the organic filler is equal to or less than the upper limit, the surface roughness after etching can be reduced and the plating peel strength can be increased, and the adhesion between the insulating layer and the metal layer can be further improved. The average particle size of the organic filler may be 50 nm or more.
上記有機充填材の平均粒径として、50%となるメディアン径(d50)の値が採用される。上記平均粒径は、レーザー回折散乱方式の粒度分布測定装置を用いて測定可能である。The median diameter (d50) at 50% is used as the average particle size of the organic filler. The average particle size can be measured using a laser diffraction scattering particle size distribution measuring device.
上記カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタンカップリング剤及びアルミニウムカップリング剤等が挙げられる。上記シランカップリング剤としては、ビニルシラン、アミノシラン、イミダゾールシラン及びエポキシシラン等が挙げられる。Examples of the coupling agent include silane coupling agents, titanium coupling agents, and aluminum coupling agents. Examples of the silane coupling agent include vinyl silane, amino silane, imidazole silane, and epoxy silane.
(樹脂フィルム)
上述した樹脂組成物をフィルム状に成形することにより樹脂フィルム(Bステージ化物/Bステージフィルム)が得られる。上記樹脂材料は、樹脂フィルムであることが好ましい。樹脂フィルムは、Bステージフィルムであることが好ましい。
(Resin film)
The resin composition described above is molded into a film to obtain a resin film (B-stage product/B-stage film). The resin material is preferably a resin film. The resin film is preferably a B-stage film.
樹脂組成物をフィルム状に成形して、樹脂フィルムを得る方法としては、以下の方法が挙げられる。押出機を用いて、樹脂組成物を溶融混練し、押出した後、Tダイ又はサーキュラーダイ等により、フィルム状に成形する押出成形法。溶剤を含む樹脂組成物をキャスティングしてフィルム状に成形するキャスティング成形法。従来公知のその他のフィルム成形法。薄型化に対応可能であることから、押出成形法又はキャスティング成形法が好ましい。フィルムにはシートが含まれる。The following methods can be used to form a resin composition into a film to obtain a resin film. An extrusion molding method in which a resin composition is melt-kneaded and extruded using an extruder, and then molded into a film using a T-die or circular die. A casting molding method in which a resin composition containing a solvent is cast into a film. Other conventionally known film molding methods. Extrusion molding and casting molding are preferred because they can be made thinner. Films include sheets.
樹脂組成物をフィルム状に成形し、熱による硬化が進行し過ぎない程度に、例えば50℃~150℃で1分間~10分間加熱乾燥させることにより、Bステージフィルムである樹脂フィルムを得ることができる。The resin composition is molded into a film and then heated and dried for 1 to 10 minutes at, for example, 50°C to 150°C to a degree that does not cause excessive curing due to heat, to obtain a resin film that is a B-stage film.
上述のような乾燥工程により得ることができるフィルム状の樹脂組成物をBステージフィルムと称する。上記Bステージフィルムは、半硬化状態にある。半硬化物は、完全に硬化しておらず、硬化がさらに進行され得る。The film-like resin composition that can be obtained by the drying process described above is called a B-stage film. The B-stage film is in a semi-cured state. The semi-cured material is not completely cured and curing can continue.
上記樹脂フィルムは、プリプレグでなくてもよい。上記樹脂フィルムがプリプレグではない場合には、ガラスクロス等に沿ってマイグレーションが生じなくなる。また、樹脂フィルムをラミネート又はプレキュアする際に、表面にガラスクロスに起因する凹凸が生じなくなる。The resin film does not have to be a prepreg. If the resin film is not a prepreg, migration will not occur along the glass cloth or the like. In addition, when the resin film is laminated or precured, irregularities caused by the glass cloth will not occur on the surface.
上記樹脂フィルムは、金属箔又は基材フィルムと、該金属箔又は基材の表面に積層された樹脂フィルムとを備える積層フィルムの形態で用いることができる。上記金属箔は銅箔であることが好ましい。The resin film can be used in the form of a laminated film comprising a metal foil or a base film and a resin film laminated on the surface of the metal foil or the base film. The metal foil is preferably a copper foil.
上記積層フィルムの上記基材フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレートフィルム及びポリブチレンテレフタレートフィルム等のポリエステル樹脂フィルム、ポリエチレンフィルム及びポリプロピレンフィルム等のオレフィン樹脂フィルム、並びにポリイミド樹脂フィルム等が挙げられる。上記基材フィルムの表面は、必要に応じて、離型処理されていてもよい。Examples of the base film of the laminated film include polyester resin films such as polyethylene terephthalate film and polybutylene terephthalate film, olefin resin films such as polyethylene film and polypropylene film, and polyimide resin films. The surface of the base film may be subjected to a release treatment as necessary.
樹脂フィルムの硬化度をより一層均一に制御する観点からは、上記樹脂フィルムの厚さは、好ましくは5μm以上であり、好ましくは200μm以下である。上記樹脂フィルムを回路の絶縁層として用いる場合、上記樹脂フィルムにより形成された絶縁層の厚さは、回路を形成する導体層(金属層)の厚さ以上であることが好ましい。上記絶縁層の厚さは、好ましくは5μm以上であり、好ましくは200μm以下である。From the viewpoint of controlling the degree of cure of the resin film more uniformly, the thickness of the resin film is preferably 5 μm or more and preferably 200 μm or less. When the resin film is used as an insulating layer of a circuit, the thickness of the insulating layer formed by the resin film is preferably equal to or greater than the thickness of the conductor layer (metal layer) that forms the circuit. The thickness of the insulating layer is preferably 5 μm or more and preferably 200 μm or less.
(半導体装置、プリント配線板、銅張積層板及び多層プリント配線板)
上記樹脂材料は、半導体装置において半導体チップを埋め込むモールド樹脂を形成するために好適に用いられる。
(Semiconductor device, printed wiring board, copper-clad laminate, and multilayer printed wiring board)
The above-mentioned resin material is suitably used for forming a molding resin in which a semiconductor chip is embedded in a semiconductor device.
上記樹脂材料は、絶縁材料として好適に用いられる。上記樹脂材料は、プリント配線板において絶縁層を形成するために好適に用いられる。The above resin material is preferably used as an insulating material. The above resin material is preferably used to form an insulating layer in a printed wiring board.
上記プリント配線板は、例えば、上記樹脂材料を加熱加圧成形することにより得られる。The above printed wiring board is obtained, for example, by heating and pressurizing the above resin material.
上記樹脂フィルムに対して、片面又は両面に金属層を表面に有する積層対象部材を積層できる。金属層を表面に有する積層対象部材と、上記金属層の表面上に積層された樹脂フィルムとを備え、上記樹脂フィルムが、上述した樹脂材料である、積層構造体を好適に得ることができる。上記樹脂フィルムと上記金属層を表面に有する積層対象部材とを積層する方法は特に限定されず、公知の方法を用いることができる。例えば、平行平板プレス機又はロールラミネーター等の装置を用いて、加熱しながら又は加熱せずに加圧しながら、上記樹脂フィルムを、金属層を表面に有する積層対象部材に積層可能である。A laminated member having a metal layer on one or both sides can be laminated onto the resin film. A laminated structure can be suitably obtained, which includes a laminated member having a metal layer on its surface and a resin film laminated on the surface of the metal layer, and the resin film is the above-mentioned resin material. The method for laminating the resin film and the laminated member having the metal layer on its surface is not particularly limited, and a known method can be used. For example, the resin film can be laminated onto the laminated member having a metal layer on its surface while applying pressure with or without heating using a device such as a parallel plate press or a roll laminator.
上記金属層の材料は銅であることが好ましい。 The material of the metal layer is preferably copper.
上記金属層を表面に有する積層対象部材は、銅箔等の金属箔であってもよい。The laminated component having the above-mentioned metal layer on its surface may be a metal foil such as copper foil.
上記樹脂材料は、銅張積層板を得るために好適に用いられる。上記銅張積層板の一例として、銅箔と、該銅箔の一方の表面に積層された樹脂フィルムとを備える銅張積層板が挙げられる。The above resin material is preferably used to obtain a copper-clad laminate. An example of the copper-clad laminate is a copper-clad laminate having a copper foil and a resin film laminated on one surface of the copper foil.
上記銅張積層板の上記銅箔の厚さは特に限定されない。上記銅箔の厚さは、1μm~50μmの範囲内であることが好ましい。また、上記樹脂材料の硬化物と銅箔との接着強度を高めるために、上記銅箔は微細な凹凸を表面に有することが好ましい。凹凸の形成方法は特に限定されない。上記凹凸の形成方法としては、公知の薬液を用いた処理による形成方法等が挙げられる。The thickness of the copper foil of the copper-clad laminate is not particularly limited. The thickness of the copper foil is preferably within the range of 1 μm to 50 μm. In addition, in order to increase the adhesive strength between the cured product of the resin material and the copper foil, it is preferable that the copper foil has fine irregularities on its surface. The method of forming the irregularities is not particularly limited. Examples of the method of forming the irregularities include a formation method by treatment using a known chemical solution.
上記樹脂材料は、多層基板を得るために好適に用いられる。The above resin materials are preferably used to obtain multilayer substrates.
上記多層基板の一例として、回路基板と、該回路基板上に積層された絶縁層とを備える多層基板が挙げられる。この多層基板の絶縁層が、上記樹脂材料により形成されている。また、多層基板の絶縁層が、積層フィルムを用いて、上記積層フィルムの上記樹脂フィルムにより形成されていてもよい。上記絶縁層は、回路基板の回路が設けられた表面上に積層されていることが好ましい。上記絶縁層の一部は、上記回路間に埋め込まれていることが好ましい。An example of the multilayer board is a multilayer board including a circuit board and an insulating layer laminated on the circuit board. The insulating layer of the multilayer board is formed from the resin material. The insulating layer of the multilayer board may also be formed from the resin film of the laminate film using a laminate film. The insulating layer is preferably laminated on the surface of the circuit board on which the circuits are provided. A portion of the insulating layer is preferably embedded between the circuits.
上記多層基板では、上記絶縁層の上記回路基板が積層された表面とは反対側の表面が粗化処理されていることが好ましい。In the above multilayer substrate, it is preferable that the surface of the insulating layer opposite to the surface on which the circuit board is laminated is roughened.
粗化処理方法は、従来公知の粗化処理方法を用いることができ、特に限定されない。上記絶縁層の表面は、粗化処理の前に膨潤処理されていてもよい。The roughening treatment method may be any conventionally known roughening treatment method, and is not particularly limited. The surface of the insulating layer may be subjected to a swelling treatment before the roughening treatment.
また、上記多層基板は、上記絶縁層の粗化処理された表面に積層された銅めっき層をさらに備えることが好ましい。It is also preferable that the multilayer substrate further comprises a copper plating layer laminated on the roughened surface of the insulating layer.
また、上記多層基板の他の例として、回路基板と、該回路基板の表面上に積層された絶縁層と、該絶縁層の上記回路基板が積層された表面とは反対側の表面に積層された銅箔とを備える多層基板が挙げられる。上記絶縁層が、銅箔と該銅箔の一方の表面に積層された樹脂フィルムとを備える銅張積層板を用いて、上記樹脂フィルムを硬化させることにより形成されていることが好ましい。さらに、上記銅箔はエッチング処理されており、銅回路であることが好ましい。Another example of the multilayer board is a multilayer board comprising a circuit board, an insulating layer laminated on a surface of the circuit board, and copper foil laminated on the surface of the insulating layer opposite to the surface on which the circuit board is laminated. It is preferable that the insulating layer is formed by using a copper-clad laminate comprising copper foil and a resin film laminated on one surface of the copper foil, and curing the resin film. Furthermore, it is preferable that the copper foil is etched to form a copper circuit.
上記多層基板の他の例として、回路基板と、該回路基板の表面上に積層された複数の絶縁層とを備える多層基板が挙げられる。上記回路基板上に配置された上記複数の絶縁層の内の少なくとも1層が、上記樹脂材料を用いて形成される。上記多層基板は、上記樹脂フィルムを用いて形成されている上記絶縁層の少なくとも一方の表面に積層されている回路をさらに備えることが好ましい。Another example of the multilayer board is a multilayer board including a circuit board and a plurality of insulating layers laminated on a surface of the circuit board. At least one of the insulating layers arranged on the circuit board is formed using the resin material. It is preferable that the multilayer board further includes a circuit laminated on at least one surface of the insulating layer formed using the resin film.
多層基板のうち多層プリント配線板においては、低い誘電正接が求められ、絶縁層による高い絶縁信頼性が求められる。本発明に係る樹脂材料では、誘電正接を低くし、かつ絶縁層と金属層との密着性及びエッチング性能を高めることによって絶縁信頼性を効果的に高めることができる。従って、本発明に係る樹脂材料は、多層プリント配線板において、絶縁層を形成するために好適に用いられる。Among multilayer substrates, multilayer printed wiring boards require a low dielectric tangent and high insulation reliability from the insulating layer. The resin material of the present invention can effectively improve insulation reliability by lowering the dielectric tangent and improving adhesion and etching performance between the insulating layer and the metal layer. Therefore, the resin material of the present invention is suitable for use in forming an insulating layer in a multilayer printed wiring board.
上記多層プリント配線板は、例えば、回路基板と、上記回路基板の表面上に配置された複数の絶縁層と、複数の上記絶縁層間に配置された金属層とを備える。上記絶縁層の内の少なくとも1層が、上記樹脂材料の硬化物である。The multilayer printed wiring board includes, for example, a circuit board, a plurality of insulating layers disposed on a surface of the circuit board, and a metal layer disposed between the plurality of insulating layers. At least one of the insulating layers is a cured product of the resin material.
図1は、本発明の一実施形態に係る樹脂材料を用いた多層プリント配線板を模式的に示す断面図である。 Figure 1 is a cross-sectional view showing a schematic diagram of a multilayer printed wiring board using a resin material according to one embodiment of the present invention.
図1に示す多層プリント配線板11では、回路基板12の上面12aに、複数の絶縁層13~16が積層されている。絶縁層13~16は、硬化物層である。回路基板12の上面12aの一部の領域には、金属層17が形成されている。複数の絶縁層13~16のうち、回路基板12側とは反対の外側の表面に位置する絶縁層16以外の絶縁層13~15には、上面の一部の領域に金属層17が形成されている。金属層17は回路である。回路基板12と絶縁層13の間、及び積層された絶縁層13~16の各層間に、金属層17がそれぞれ配置されている。下方の金属層17と上方の金属層17とは、図示しないビアホール接続及びスルーホール接続の内の少なくとも一方により互いに接続されている。In the multilayer printed
多層プリント配線板11では、絶縁層13~16が、上記樹脂材料の硬化物により形成されている。本実施形態では、絶縁層13~16の表面が粗化処理されているので、絶縁層13~16の表面に図示しない微細な孔が形成されている。また、微細な孔の内部に金属層17が至っている。また、多層プリント配線板11では、金属層17の幅方向寸法(L)と、金属層17が形成されていない部分の幅方向寸法(S)とを小さくすることができる。また、多層プリント配線板11では、図示しないビアホール接続及びスルーホール接続で接続されていない上方の金属層と下方の金属層との間に、良好な絶縁信頼性が付与されている。In the multilayer printed
(粗化処理及び膨潤処理)
上記樹脂材料は、粗化処理又はデスミア処理される硬化物を得るために用いられることが好ましい。上記硬化物には、更に硬化が可能な予備硬化物も含まれる。
(Roughening treatment and swelling treatment)
The resin material is preferably used to obtain a cured product to be subjected to roughening treatment or desmear treatment. The cured product also includes a pre-cured product that can be further cured.
上記樹脂材料を予備硬化させることにより得られた硬化物の表面に微細な凹凸を形成するために、硬化物は粗化処理されることが好ましい。粗化処理の前に、硬化物は膨潤処理されることが好ましい。硬化物は、予備硬化の後、かつ粗化処理される前に、膨潤処理されており、さらに粗化処理の後に硬化されていることが好ましい。ただし、硬化物は、必ずしも膨潤処理されなくてもよい。 In order to form fine irregularities on the surface of the cured product obtained by pre-curing the above resin material, the cured product is preferably subjected to a roughening treatment. Before the roughening treatment, the cured product is preferably subjected to a swelling treatment. After the pre-curing and before the roughening treatment, the cured product is preferably subjected to a swelling treatment, and further to curing after the roughening treatment. However, the cured product does not necessarily have to be subjected to a swelling treatment.
上記膨潤処理の方法としては、例えば、エチレングリコールなどを主成分とする化合物の水溶液又は有機溶媒分散溶液などにより、硬化物を処理する方法が用いられる。膨潤処理に用いる膨潤液は、一般にpH調整剤などとして、アルカリを含む。膨潤液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。具体的には、例えば、上記膨潤処理は、40重量%エチレングリコール水溶液等を用いて、処理温度30℃~85℃で1分間~30分間、硬化物を処理することにより行なわれる。上記膨潤処理の温度は50℃~85℃の範囲内であることが好ましい。上記膨潤処理の温度が低すぎると、膨潤処理に長時間を要し、更に硬化物と金属層との接着強度が低くなる傾向がある。The swelling treatment may be carried out, for example, by treating the cured product with an aqueous solution or an organic solvent dispersion of a compound whose main component is ethylene glycol. The swelling liquid used in the swelling treatment generally contains an alkali as a pH adjuster. The swelling liquid preferably contains sodium hydroxide. Specifically, for example, the swelling treatment is carried out by treating the cured product with a 40% by weight aqueous solution of ethylene glycol at a treatment temperature of 30°C to 85°C for 1 to 30 minutes. The temperature of the swelling treatment is preferably within the range of 50°C to 85°C. If the temperature of the swelling treatment is too low, the swelling treatment takes a long time, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer tends to be reduced.
上記粗化処理には、例えば、マンガン化合物、クロム化合物又は過硫酸化合物などの化学酸化剤等が用いられる。これらの化学酸化剤は、水又は有機溶剤が添加された後、水溶液又は有機溶媒分散溶液として用いられる。粗化処理に用いられる粗化液は、一般にpH調整剤などとしてアルカリを含む。粗化液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。In the above roughening treatment, a chemical oxidizing agent such as a manganese compound, a chromium compound, or a persulfate compound is used. These chemical oxidizing agents are used as an aqueous solution or an organic solvent dispersion solution after water or an organic solvent is added. The roughening liquid used in the roughening treatment generally contains an alkali as a pH adjuster or the like. The roughening liquid preferably contains sodium hydroxide.
上記マンガン化合物としては、過マンガン酸カリウム及び過マンガン酸ナトリウム等が挙げられる。上記クロム化合物としては、重クロム酸カリウム及び無水クロム酸カリウム等が挙げられる。上記過硫酸化合物としては、過硫酸ナトリウム、過硫酸カリウム及び過硫酸アンモニウム等が挙げられる。 The manganese compounds include potassium permanganate and sodium permanganate. The chromium compounds include potassium dichromate and potassium chromate anhydride. The persulfate compounds include sodium persulfate, potassium persulfate, and ammonium persulfate.
硬化物の表面の算術平均粗さRaは、好ましくは10nm以上であり、好ましくは300nm未満、より好ましくは200nm未満、更に好ましくは150nm未満である。この場合には、硬化物と金属層との接着強度が高くなり、更に絶縁層の表面により一層微細な配線が形成される。さらに、導体損失を抑えることができ、信号損失を低く抑えることができる。上記算術平均粗さRaは、JIS B0601:1994に準拠して測定される。The arithmetic mean roughness Ra of the surface of the cured product is preferably 10 nm or more, preferably less than 300 nm, more preferably less than 200 nm, and even more preferably less than 150 nm. In this case, the adhesive strength between the cured product and the metal layer is increased, and even finer wiring is formed on the surface of the insulating layer. Furthermore, conductor loss can be suppressed, and signal loss can be kept low. The arithmetic mean roughness Ra is measured in accordance with JIS B0601:1994.
(デスミア処理)
上記樹脂材料を予備硬化させることにより得られた硬化物に、貫通孔が形成されることがある。上記多層基板などでは、貫通孔として、ビア又はスルーホール等が形成される。例えば、ビアは、CO2レーザー等のレーザーの照射により形成できる。ビアの直径は特に限定されないが、60μm~80μm程度である。上記貫通孔の形成により、ビア内の底部には、硬化物に含まれている樹脂成分に由来する樹脂の残渣であるスミアが形成されることが多い。
(Desmearing)
Through holes may be formed in the cured product obtained by pre-curing the resin material. In the multilayer board, etc., vias or through holes are formed as the through holes. For example, vias can be formed by irradiating a laser such as a CO2 laser. The diameter of the via is not particularly limited, but is about 60 μm to 80 μm. Due to the formation of the through holes, smears, which are resin residues derived from the resin components contained in the cured product, are often formed at the bottom of the via.
上記スミアを除去するために、硬化物の表面は、デスミア処理されることが好ましい。デスミア処理が粗化処理を兼ねることもある。In order to remove the smears, the surface of the cured product is preferably subjected to a desmear treatment. The desmear treatment may also serve as a roughening treatment.
上記デスミア処理には、上記粗化処理と同様に、例えば、マンガン化合物、クロム化合物又は過硫酸化合物等の化学酸化剤等が用いられる。これらの化学酸化剤は、水又は有機溶剤が添加された後、水溶液又は有機溶媒分散溶液として用いられる。デスミア処理に用いられるデスミア処理液は、一般にアルカリを含む。デスミア処理液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。In the desmear treatment, a chemical oxidizing agent such as a manganese compound, a chromium compound, or a persulfate compound is used, as in the roughening treatment. These chemical oxidizing agents are used as an aqueous solution or an organic solvent dispersion solution after water or an organic solvent is added. The desmear treatment liquid used in the desmear treatment generally contains an alkali. The desmear treatment liquid preferably contains sodium hydroxide.
上記樹脂材料の使用により、デスミア処理された硬化物の表面の表面粗さが十分に小さくなる。 By using the above resin material, the surface roughness of the desmeared cured material is sufficiently reduced.
以下、実施例及び比較例を挙げることにより、本発明を具体的に説明する。本発明は、以下の実施例に限定されない。The present invention will be specifically described below by giving examples and comparative examples. The present invention is not limited to the following examples.
以下の材料を用意した。 The following materials were prepared:
(化合物X)
化合物X-1:
以下の合成例1に従って、下記式(X-1)で表される化合物X-1(分子量4000)を合成した。
(Compound X)
Compound X-1:
According to the following Synthesis Example 1, a compound X-1 (molecular weight 4000) represented by the following formula (X-1) was synthesized.
<合成例1>
500mLのナスフラスコに、90gのトルエンと、46gのN-メチル-2-ピロリドン(NMP)と、9gのメタンスルホン酸とを入れた。次いで、トリシクロデカンジアミン15.6g(80mmol)を添加した。次いで、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物17.7g(60mmol)を少しずつ添加した。次いで、ディーンスターク装置にナスフラスコを取り付け、3.5時間加熱還流した。このようにして、末端に酸無水物構造を有しかつ複数のイミド骨格を有する化合物を得た。縮合時に排出される水分を除去し、室温に戻した後、無水マレイン酸4.42g(45mmol)を加えて攪拌し、同様に加熱して反応させた。有機層を、水とエタノールとの混合溶媒で洗浄した後、混合溶媒を除去し、トルエン溶液を得た。次いで、トルエン溶液にイソプロパノールを添加して生成物の再沈殿を行った。その後真空オーブンで乾燥させ、化合物X-1を得た。
<Synthesis Example 1>
In a 500 mL eggplant flask, 90 g of toluene, 46 g of N-methyl-2-pyrrolidone (NMP), and 9 g of methanesulfonic acid were placed. Then, 15.6 g (80 mmol) of tricyclodecanediamine was added. Then, 17.7 g (60 mmol) of 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride was added little by little. Then, the eggplant flask was attached to a Dean-Stark apparatus and heated under reflux for 3.5 hours. In this way, a compound having an acid anhydride structure at the end and a plurality of imide skeletons was obtained. After removing the moisture discharged during condensation and returning to room temperature, 4.42 g (45 mmol) of maleic anhydride was added and stirred, and similarly heated to react. The organic layer was washed with a mixed solvent of water and ethanol, and the mixed solvent was removed to obtain a toluene solution. Then, isopropanol was added to the toluene solution to reprecipitate the product. Then, the mixture was dried in a vacuum oven to obtain compound X-1.
化合物X-2:
以下の合成例2に従って、下記式(X-2)で表される化合物X-2(分子量4500)を合成した。得られた化合物X-2において、ジアミン化合物に由来する骨格の全構造単位100モル%中、トリシクロデカンジアミンに由来する第1の骨格の平均割合は72モル%、ダイマージアミンに由来する第2の骨格の平均割合は28モル%であった。なお、下記式(X-2)は合成例2で得られる化合物X-2の一例であり、化合物X-2は、各アミンの位置が異なる化合物の混合物として得られる。
Compound X-2:
According to Synthesis Example 2 below, compound X-2 (molecular weight 4500) represented by the following formula (X-2) was synthesized. In the obtained compound X-2, the average proportion of the first skeleton derived from tricyclodecanediamine was 72 mol %, and the average proportion of the second skeleton derived from dimer diamine was 28 mol %, relative to 100 mol % of all structural units derived from diamine compounds. Note that the following formula (X-2) is an example of compound X-2 obtained in Synthesis Example 2, and compound X-2 is obtained as a mixture of compounds in which the positions of the amines are different.
<合成例2>
500mLのナスフラスコに、90gのトルエンと、46gのN-メチル-2-ピロリドン(NMP)と、7gのメタンスルホン酸とを入れた。次いで、ダイマージアミン(クローダジャパン社製「PRIAMINE1075」)6.6g(16mmol)と、トリシクロデカンジアミン12.5g(64mmol)とを添加した。次いで、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物17.7g(60mmol)を少しずつ添加した。ディーンスターク装置にナスフラスコを取り付け、3.5時間加熱還流した。このようにして、両末端にアミンを有しかつ複数のイミド骨格を有する化合物を得た。縮合時に排出される水分を除去し、室温に戻した後、無水マレイン酸4.42g(45mmol)を加えて攪拌し、同様に加熱し反応させた。このようにして、両末端にマレイミド骨格を有する化合物を得た。有機層を、水とエタノールとの混合溶媒で洗浄した後、混合溶媒を除去し、トルエン溶液を得た。次いで、トルエン溶液にイソプロパノールを添加して生成物の再沈殿を行った。その後真空オーブンで乾燥させ、化合物X-2を得た。
<Synthesis Example 2>
In a 500 mL eggplant flask, 90 g of toluene, 46 g of N-methyl-2-pyrrolidone (NMP), and 7 g of methanesulfonic acid were placed. Then, 6.6 g (16 mmol) of dimer diamine ("PRIAMINE 1075" manufactured by Croda Japan) and 12.5 g (64 mmol) of tricyclodecane diamine were added. Then, 17.7 g (60 mmol) of 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride was added little by little. The eggplant flask was attached to a Dean-Stark apparatus and heated under reflux for 3.5 hours. In this way, a compound having amines at both ends and multiple imide skeletons was obtained. After removing the moisture discharged during condensation and returning to room temperature, 4.42 g (45 mmol) of maleic anhydride was added and stirred, and similarly heated to react. In this way, a compound having maleimide skeletons at both ends was obtained. The organic layer was washed with a mixed solvent of water and ethanol, and the mixed solvent was removed to obtain a toluene solution. Next, isopropanol was added to the toluene solution to reprecipitate the product, which was then dried in a vacuum oven to obtain compound X-2.
化合物X-3:
以下の合成例3に従って、下記式(X-3)で表される化合物X-3(分子量4200)を合成した。得られた化合物X-3において、ジアミン化合物に由来する骨格の全構造単位100モル%中、トリシクロデカンジアミンに由来する第1の骨格の平均割合は75モル%、ダイマージアミンに由来する第2の骨格の平均割合は25モル%であった。なお、下記式(X-3)は合成例3で得られる化合物X-3の一例であり、化合物X-3は、各アミンの位置が異なる化合物の混合物として得られる。
Compound X-3:
According to Synthesis Example 3 below, compound X-3 (molecular weight 4200) represented by the following formula (X-3) was synthesized. In the obtained compound X-3, the average proportion of the first skeleton derived from tricyclodecanediamine was 75 mol %, and the average proportion of the second skeleton derived from dimer diamine was 25 mol %, relative to 100 mol % of all structural units derived from diamine compounds. Note that the following formula (X-3) is an example of compound X-3 obtained in Synthesis Example 3, and compound X-3 is obtained as a mixture of compounds in which the positions of the amines are different.
<合成例3>
500mLのナスフラスコに、90gのトルエンと、46gのN-メチル-2-ピロリドン(NMP)と、7gのメタンスルホン酸とを入れた。次いで、ダイマージアミン(クローダジャパン社製「PRIAMINE1075」)6.6g(16mmol)と、ノルボルナンジアミン(三井化学ファイン社製「Pro-NBDA」9.9g(64mmol)とを添加した。次いで、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物15.9g(54mmol)と、ビシクロ[2.2.2]オクト-7-エン-2,3,5,6-テトラカルボン酸二無水物1.5g(6mmol)とを混合した後、少しずつ添加した。ディーンスターク装置にナスフラスコを取り付け、3.5時間加熱還流した。このようにして、両末端にアミンを有しかつ複数のイミド骨格を有する化合物を得た。縮合時に排出される水分を除去し、室温に戻した後、無水マレイン酸4.42g(45mmol)を加えて攪拌し、同様に加熱し反応させた。このようにして、両末端にマレイミド骨格を有する化合物を得た。有機層を、水とエタノールとの混合溶媒で洗浄した後、混合溶媒を除去し、化合物X-3のトルエン溶液を得た。
<Synthesis Example 3>
In a 500 mL eggplant flask, 90 g of toluene, 46 g of N-methyl-2-pyrrolidone (NMP), and 7 g of methanesulfonic acid were placed. Next, 6.6 g (16 mmol) of dimer diamine (PRIAMINE 1075 manufactured by Croda Japan) and 9.9 g (64 mmol) of norbornane diamine (Pro-NBDA manufactured by Mitsui Fine Chemicals, Inc.) were added. Next, 15.9 g (54 mmol) of 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride and 1.5 g (6 mmol) of bicyclo[2.2.2]oct-7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride were mixed and then added little by little. The eggplant flask was attached to the Queen-Stark apparatus and heated to reflux for 3.5 hours. In this way, a compound having amines at both ends and multiple imide skeletons was obtained. After removing the moisture discharged during condensation and returning to room temperature, 4.42 g (45 mmol) of maleic anhydride was added and stirred, and similarly heated to react. In this way, a compound having maleimide skeletons at both ends was obtained. The organic layer was washed with a mixed solvent of water and ethanol, and the mixed solvent was then removed to obtain a toluene solution of compound X-3.
(化合物Xに相当しない化合物(化合物Y))
化合物Y-1:
以下の合成例4に従って、化合物Y-1(分子量3300)を合成した。
(Compound Y not corresponding to compound X)
Compound Y-1:
According to the following Synthesis Example 4, compound Y-1 (molecular weight 3300) was synthesized.
<合成例4>
500mLのナスフラスコに、90gのトルエンと、46gのN-メチル-2-ピロリドン(NMP)と、9gのメタンスルホン酸とを入れた。次いで、トリシクロデカンジアミン15.6g(80mmol)を添加した。次いで、ピロメリット酸二無水物13.1g(60mmol)を少しずつ添加した。次いで、ディーンスターク装置にナスフラスコを取り付け、3.5時間加熱還流した。このようにして、末端に酸無水物構造を有しかつ複数のイミド骨格を有する化合物を得た。縮合時に排出される水分を除去し、室温に戻した後、無水マレイン酸4.42g(45mmol)を加えて攪拌し、同様に加熱して反応させた。有機層を、水とエタノールとの混合溶媒で洗浄した後、混合溶媒を除去し、トルエン溶液を得た。次いで、トルエン溶液にイソプロパノールを添加して生成物の再沈殿を行った。その後真空オーブンで乾燥させ、化合物Y-1を得た。
<Synthesis Example 4>
In a 500 mL eggplant flask, 90 g of toluene, 46 g of N-methyl-2-pyrrolidone (NMP), and 9 g of methanesulfonic acid were placed. Then, 15.6 g (80 mmol) of tricyclodecanediamine was added. Then, 13.1 g (60 mmol) of pyromellitic dianhydride was added little by little. Then, the eggplant flask was attached to a Dean-Stark apparatus and heated under reflux for 3.5 hours. In this way, a compound having an acid anhydride structure at the end and a plurality of imide skeletons was obtained. After removing the moisture discharged during condensation and returning to room temperature, 4.42 g (45 mmol) of maleic anhydride was added and stirred, and similarly heated to react. The organic layer was washed with a mixed solvent of water and ethanol, and the mixed solvent was removed to obtain a toluene solution. Then, isopropanol was added to the toluene solution to perform reprecipitation of the product. Then, the mixture was dried in a vacuum oven to obtain compound Y-1.
化合物Y-2:
以下の合成例5に従って、化合物Y-2(分子量5100)を合成した。
Compound Y-2:
According to the following Synthesis Example 5, compound Y-2 (molecular weight 5100) was synthesized.
<合成例5>
500mLのナスフラスコに、90gのトルエンと、46gのN-メチル-2-ピロリドン(NMP)と、7gのメタンスルホン酸とを入れた。次いで、ダイマージアミン(クローダジャパン社製「PRIAMINE1075」)6.6g(16mmol)と、トリシクロデカンジアミン12.5g(64mmol)とを添加した。次いで、BisA型酸二無水物31.3g(60mmol)を少しずつ添加した。ディーンスターク装置にナスフラスコを取り付け、3.5時間加熱還流した。このようにして、両末端にアミンを有しかつ複数のイミド骨格を有する化合物を得た。縮合時に排出される水分を除去し、室温に戻した後、無水マレイン酸を4.42g(45mmol)加えて攪拌し、同様に加熱し反応させた。このようにして、両末端にマレイミド骨格を有する化合物を得た。有機層を、水とエタノールとの混合溶媒で洗浄した後、混合溶媒を除去、トルエン溶液を得た。次いで、トルエン溶液にイソプロパノールを添加して生成物の再沈殿を行った。その後真空オーブンで乾燥させ、化合物Y-2を得た。
<Synthesis Example 5>
In a 500 mL eggplant flask, 90 g of toluene, 46 g of N-methyl-2-pyrrolidone (NMP), and 7 g of methanesulfonic acid were placed. Then, 6.6 g (16 mmol) of dimer diamine ("PRIAMINE 1075" manufactured by Croda Japan) and 12.5 g (64 mmol) of tricyclodecane diamine were added. Then, 31.3 g (60 mmol) of BisA-type acid dianhydride was added little by little. The eggplant flask was attached to a Dean-Stark apparatus and heated under reflux for 3.5 hours. In this way, a compound having amines at both ends and multiple imide skeletons was obtained. After removing the moisture discharged during condensation and returning to room temperature, 4.42 g (45 mmol) of maleic anhydride was added and stirred, and similarly heated and reacted. In this way, a compound having maleimide skeletons at both ends was obtained. The organic layer was washed with a mixed solvent of water and ethanol, and the mixed solvent was removed to obtain a toluene solution. Next, isopropanol was added to the toluene solution to reprecipitate the product, which was then dried in a vacuum oven to obtain compound Y-2.
合成例1-5で合成した化合物X及び化合物Yの分子量は、以下のようにして求めた。The molecular weights of compounds X and Y synthesized in Synthesis Examples 1-5 were determined as follows.
GPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー)測定:
島津製作所社製高速液体クロマトグラフシステムを使用し、テトラヒドロフラン(THF)を展開媒として、カラム温度40℃、流速1.0ml/分で測定を行った。検出器として「SPD-10A」を用い、カラムはShodex社製「KF-804L」(排除限界分子量400,000)を2本直列につないで使用した。標準ポリスチレンとして、東ソー社製「TSKスタンダードポリスチレン」を用い、重量平均分子量Mw=354,000、189,000、98,900、37,200、17,100、9,830、5,870、2,500、1,050、500の物質を使用して較正曲線を作成し、分子量の計算を行った。
GPC (Gel Permeation Chromatography) Measurement:
Using a high performance liquid chromatograph system manufactured by Shimadzu Corporation, measurements were performed at a column temperature of 40°C and a flow rate of 1.0 ml/min, with tetrahydrofuran (THF) as the developing medium. An "SPD-10A" was used as the detector, and two "KF-804L" columns (exclusion limit molecular weight 400,000) manufactured by Shodex Corporation were used in series. "TSK Standard Polystyrene" manufactured by Tosoh Corporation was used as the standard polystyrene, and a calibration curve was created using substances with weight average molecular weights Mw = 354,000, 189,000, 98,900, 37,200, 17,100, 9,830, 5,870, 2,500, 1,050, and 500, and the molecular weight was calculated.
合成例2,3で合成した化合物X-2,X-3の各骨格の平均割合は、1H-NMR測定により、それぞれのジアミン骨格を構成する窒素原子に結合した炭素原子に結合した水素原子のシグナルの面積比より算出した。 The average ratio of each skeleton of compounds X-2 and X-3 synthesized in Synthesis Examples 2 and 3 was calculated from the signal area ratio of hydrogen atoms bonded to carbon atoms bonded to nitrogen atoms constituting each diamine skeleton by 1 H-NMR measurement.
(熱硬化性化合物)
ビフェニル型エポキシ化合物(日本化薬社製「NC-3000」)
ナフタレン型エポキシ化合物(新日鉄住金化学社製「ESN-475V」)
レゾルシノールジグリシジルエーテル(ナガセケムテックス社製「EX-201」)
グリシジルアミン骨格を有するエポキシ化合物(三菱ケミカル社製「630」)
ポリブタジエン骨格を有するエポキシ化合物(ダイセル社製「PB3600」)
アミド骨格を有するエポキシ化合物(日本化薬社製「WHR-991S」)
多分岐脂肪族エポキシ化合物(日産化学社製「FoldiE101」)
マレイミド化合物1(Designer Molecules Inc.製「BMI-689」)
マレイミド化合物2(N-アルキルビスマレイミド化合物、Designer Molecules Inc.製「BMI-1500」)
マレイミド化合物3(N-アルキルビスマレイミド化合物、Designer Molecules Inc.製「BMI-1700」)
マレイミド化合物4(大和化成社製「BMI-4100」)
マレイミド化合物5(日本化薬社製「MIR-3000」)
スチレン化合物(三菱ガス化学「OPE-2St-1200」、ラジカル硬化性化合物、フェニレンエーテル骨格を有するスチレン化合物)
アクリレート化合物(共栄社化学社製「ライトアクリレートDCP-A」、ラジカル硬化性化合物、表では「DCP-A」と略記)
(thermosetting compound)
Biphenyl type epoxy compound ("NC-3000" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
Naphthalene-type epoxy compound ("ESN-475V" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.)
Resorcinol diglycidyl ether ("EX-201" manufactured by Nagase Chemtex Corporation)
Epoxy compound having a glycidylamine skeleton ("630" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation)
Epoxy compound having a polybutadiene skeleton ("PB3600" manufactured by Daicel Corporation)
Epoxy compound having an amide skeleton ("WHR-991S" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
Hyperbranched aliphatic epoxy compound (Nissan Chemical's "Foldi E101")
Maleimide compound 1 ("BMI-689" manufactured by Designer Molecules Inc.)
Maleimide compound 2 (N-alkyl bismaleimide compound, "BMI-1500" manufactured by Designer Molecules Inc.)
Maleimide compound 3 (N-alkyl bismaleimide compound, "BMI-1700" manufactured by Designer Molecules Inc.)
Maleimide compound 4 (manufactured by Daiwa Kasei Co., Ltd., "BMI-4100")
Maleimide compound 5 ("MIR-3000" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
Styrene compounds (Mitsubishi Gas Chemical's "OPE-2St-1200", radical curing compounds, styrene compounds having a phenylene ether skeleton)
Acrylate compound (Kyoeisha Chemical's "Light Acrylate DCP-A", a radical curing compound, abbreviated as "DCP-A" in the table)
(無機充填材)
シリカ含有スラリー(シリカ75重量%:アドマテックス社製「SC4050-HOA」、平均粒径1.0μm、アミノシラン処理、シクロヘキサノン25重量%)
(Inorganic filler)
Silica-containing slurry (75% silica by weight: Admatechs "SC4050-HOA", average particle size 1.0 μm, aminosilane treatment, cyclohexanone 25% by weight)
(硬化剤)
活性エステル化合物1含有液(DIC社製「EXB-9416-70BK」、固形分70重量%)
活性エステル化合物2含有液(DIC社製「HPC-8150-62T」、固形分62重量%)
活性エステル化合物3含有液(DIC社製「HPC-8000L-65T」、固形分65重量%)
活性エステル化合物4(DIC社製「EXB-8」、固形分100重量%)
カルボジイミド化合物(日清紡ケミカル社製「カルボジライト V-03」、表では「V-03」と略記)
フェノール化合物含有液(DIC社製「LA-1356」、固形分60重量%、アミノトリアジン骨格を有するフェノール化合物)
(Hardening agent)
Active ester compound 1-containing solution (DIC Corporation "EXB-9416-70BK", solid content 70% by weight)
Active ester compound 2-containing liquid (DIC Corporation "HPC-8150-62T", solid content 62% by weight)
Active ester compound 3-containing liquid (DIC Corporation "HPC-8000L-65T", solid content 65% by weight)
Active ester compound 4 ("EXB-8" manufactured by DIC Corporation, solid content 100% by weight)
Carbodiimide compound ("Carbodilite V-03" manufactured by Nisshinbo Chemical Co., Ltd., abbreviated as "V-03" in the table)
Phenol compound-containing liquid (DIC Corporation "LA-1356", solid content 60% by weight, phenol compound having an aminotriazine skeleton)
(硬化促進剤)
ジメチルアミノピリジン(和光純薬工業社製「DMAP」)
2-フェニル-4-メチルイミダゾール(四国化成工業社製「2P4MZ」、アニオン性硬化促進剤)
ジクミルペルオキシド
(Cure Accelerator)
Dimethylaminopyridine ("DMAP" manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.)
2-Phenyl-4-methylimidazole ("2P4MZ" manufactured by Shikoku Chemical Industry Co., Ltd., anionic curing accelerator)
Dicumyl Peroxide
(熱可塑性樹脂)
スチレンブタジエン樹脂(旭化成社製「タフテックH1043」、表では「H1043」と略記)
未水添脂環族/芳香族炭化水素樹脂(JXTG社製「ネオレジンEP-140」、表では「EP-140」と略記)
ポリイミド化合物(ポリイミド樹脂):
テトラカルボン酸二無水物とダイマージアミンとの反応物であるポリイミド化合物含有溶液(不揮発分26.8重量%)を以下の合成例6に従って合成した。
(thermoplastic resin)
Styrene butadiene resin ("Tuftec H1043" manufactured by Asahi Kasei Corporation, abbreviated as "H1043" in the table)
Unhydrogenated alicyclic/aromatic hydrocarbon resin ("Neoresin EP-140" manufactured by JXTG Corporation, abbreviated as "EP-140" in the table)
Polyimide compounds (polyimide resins):
A solution containing a polyimide compound (non-volatile content: 26.8% by weight), which is a reaction product of tetracarboxylic dianhydride and dimer diamine, was synthesized according to Synthesis Example 6 below.
<合成例6>
撹拌機、分水器、温度計及び窒素ガス導入管を備えた反応容器に、テトラカルボン酸二無水物(SABICジャパン合同会社製「BisDA-1000」)300.0gと、シクロヘキサノン665.5gとを入れ、反応容器中の溶液を60℃まで加熱した。次いで、反応容器中に、ダイマージアミン(クローダジャパン社製「PRIAMINE1075」)89.0gと、1,3-ビスアミノメチルシクロヘキサン(三菱ガス化学社製)54.7gとを滴下した。次いで、反応容器中に、メチルシクロヘキサン121.0gと、エチレングリコールジメチルエーテル423.5gとを添加し、140℃で10時間かけてイミド化反応を行った。このようにして、ポリイミド化合物含有溶液(不揮発分26.8重量%)を得た。得られたポリイミド化合物の分子量(重量平均分子量)は20000であった。なお、酸成分/アミン成分のモル比は1.04であった。
<Synthesis Example 6>
In a reaction vessel equipped with a stirrer, a water divider, a thermometer and a nitrogen gas inlet tube, 300.0 g of tetracarboxylic dianhydride ("BisDA-1000" manufactured by SABIC Japan LLC) and 665.5 g of cyclohexanone were placed, and the solution in the reaction vessel was heated to 60 ° C. Then, 89.0 g of dimer diamine ("PRIAMINE 1075" manufactured by Croda Japan) and 54.7 g of 1,3-bisaminomethylcyclohexane (manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd.) were dropped into the reaction vessel. Next, 121.0 g of methylcyclohexane and 423.5 g of ethylene glycol dimethyl ether were added to the reaction vessel, and the imidization reaction was carried out at 140 ° C. for 10 hours. In this way, a polyimide compound-containing solution (non-volatile content 26.8 wt%) was obtained. The molecular weight (weight average molecular weight) of the obtained polyimide compound was 20,000. The molar ratio of acid component/amine component was 1.04.
合成例6で合成したポリイミド化合物の分子量は、以下のようにして求めた。The molecular weight of the polyimide compound synthesized in Synthesis Example 6 was determined as follows.
GPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー)測定:
島津製作所社製高速液体クロマトグラフシステムを使用し、テトラヒドロフラン(THF)を展開媒として、カラム温度40℃、流速1.0ml/分で測定を行った。検出器として「SPD-10A」を用い、カラムはShodex社製「KF-804L」(排除限界分子量400,000)を2本直列につないで使用した。標準ポリスチレンとして、東ソー社製「TSKスタンダードポリスチレン」を用い、重量平均分子量Mw=354,000、189,000、98,900、37,200、17,100、9,830、5,870、2,500、1,050、500の物質を使用して較正曲線を作成し、分子量の計算を行った。
GPC (Gel Permeation Chromatography) Measurement:
Using a high performance liquid chromatograph system manufactured by Shimadzu Corporation, measurements were performed at a column temperature of 40°C and a flow rate of 1.0 ml/min, with tetrahydrofuran (THF) as the developing medium. An "SPD-10A" was used as the detector, and two "KF-804L" columns (exclusion limit molecular weight 400,000) manufactured by Shodex Corporation were used in series. "TSK Standard Polystyrene" manufactured by Tosoh Corporation was used as the standard polystyrene, and a calibration curve was created using substances with weight average molecular weights Mw = 354,000, 189,000, 98,900, 37,200, 17,100, 9,830, 5,870, 2,500, 1,050, and 500, and the molecular weight was calculated.
(実施例1~9及び比較例1~5)
下記の表1~3に示す成分を下記の表1~3に示す配合量(単位は固形分重量部)で配合し、均一な溶液となるまで常温で攪拌し、樹脂材料を得た。
(Examples 1 to 9 and Comparative Examples 1 to 5)
The components shown in Tables 1 to 3 below were mixed in the amounts (unit: parts by weight of solid content) shown in Tables 1 to 3 below, and stirred at room temperature until a homogeneous solution was obtained, to obtain a resin material.
樹脂フィルムの作製:
アプリケーターを用いて、離型処理されたPETフィルム(東レ社製「XG284」、厚み25μm)の離型処理面上に得られた樹脂材料を塗工した後、100℃のギヤオーブン内で2分30秒間乾燥し、溶剤を揮発させた。このようにして、PETフィルム上に、厚さが40μmである樹脂フィルム(Bステージフィルム)が積層されている積層フィルム(PETフィルムと樹脂フィルムとの積層フィルム)を得た。
Preparation of resin film:
The obtained resin material was applied to the release-treated surface of a release-treated PET film ("XG284" manufactured by Toray Industries, Inc., thickness 25 μm) using an applicator, and then dried for 2 minutes and 30 seconds in a gear oven at 100° C. to volatilize the solvent. In this way, a laminated film (a laminated film of a PET film and a resin film) was obtained in which a resin film (B-stage film) having a thickness of 40 μm was laminated on the PET film.
(評価)
(1)誘電正接
得られた樹脂フィルムを190℃で90分間加熱して、硬化物を得た。得られた硬化物を幅2mm、長さ80mmの大きさに裁断して10枚を重ね合わせて、関東電子応用開発社製「空洞共振摂動法誘電率測定装置CP521」及びキーサイトテクノロジー社製「ネットワークアナライザーN5224A PNA」を用いて、空洞共振法で常温(23℃)にて、周波数5.8GHzにて誘電正接を測定した。
(evaluation)
(1) Dielectric loss tangent The obtained resin film was heated at 190° C. for 90 minutes to obtain a cured product. The obtained cured product was cut into a size of 2 mm in width and 80 mm in length, and 10 sheets were stacked together. The dielectric loss tangent was measured at room temperature (23° C.) and a frequency of 5.8 GHz by the cavity resonance method using a "Cavity Resonance Perturbation Dielectric Constant Measurement Device CP521" manufactured by Kanto Electronics Application Development Co., Ltd. and a "Network Analyzer N5224A PNA" manufactured by Keysight Technologies, Inc.
[誘電正接の判定基準]
○:誘電正接が2.9×10-3未満
×:誘電正接が2.9×10-3以上
[Criteria for dielectric tangent]
○: Dielectric tangent is less than 2.9×10 −3 ×: Dielectric tangent is 2.9×10 −3 or more
(2)熱寸法安定性(平均線膨張係数(CTE))
得られた厚さ40μmの樹脂フィルム(Bステージフィルム)を190℃で90分間加熱して得られた硬化物を3mm×25mmの大きさに裁断した。熱機械的分析装置(エスアイアイ・ナノテクノロジー社製「EXSTAR TMA/SS6100」)を用いて、引っ張り荷重33mN及び昇温速度5℃/分の条件で、裁断された硬化物の25℃~150℃までの平均線膨張係数(ppm/℃)を算出した。
(2) Thermal dimensional stability (average coefficient of linear expansion (CTE))
The resulting 40 μm thick resin film (B-stage film) was heated at 190° C. for 90 minutes, and the resulting cured product was cut into pieces measuring 3 mm x 25 mm. The average linear expansion coefficient (ppm/° C.) of the cut cured product from 25° C. to 150° C. was calculated using a thermomechanical analyzer ("EXSTAR TMA/SS6100" manufactured by SII NanoTechnology Inc.) under conditions of a tensile load of 33 mN and a heating rate of 5° C./min.
[平均線膨張係数の判定基準]
○○:平均線膨張係数が25ppm/℃以下
○:平均線膨張係数が25ppm/℃を超え29ppm/℃以下
×:平均線膨張係数が29ppm/℃を超える
[Criteria for Average Linear Expansion Coefficient]
○○: Average linear expansion coefficient is 25 ppm/°C or less. ○: Average linear expansion coefficient is more than 25 ppm/°C and less than 29 ppm/°C. ×: Average linear expansion coefficient is more than 29 ppm/°C.
(3)デスミア性(ビア底の残渣の除去性)
ラミネート・半硬化処理:
得られた樹脂フィルムを、CCL基板(日立化成工業社製「E679FG」)に真空ラミネートし、180℃で30分間加熱し、半硬化させた。このようにして、CCL基板に樹脂フィルムの半硬化物が積層されている積層体Aを得た。
(3) Desmearing ability (ability to remove residues at the bottom of vias)
Lamination and semi-curing process:
The obtained resin film was vacuum laminated onto a CCL substrate ("E679FG" manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) and semi-cured by heating at 180° C. for 30 minutes. In this way, a laminate A in which a semi-cured resin film was laminated onto a CCL substrate was obtained.
ビア(貫通孔)形成:
得られた積層体Aの樹脂フィルムの半硬化物に、CO2レーザー(日立ビアメカニクス社製)を用いて、上端での直径が60μm、下端(底部)での直径が40μmであるビア(貫通孔)を形成した。このようにして、CCL基板に樹脂フィルムの半硬化物が積層されており、かつ樹脂フィルムの半硬化物にビア(貫通孔)が形成されている積層体Bを得た。
Via formation:
A via (through hole) having a diameter of 60 μm at the top and a diameter of 40 μm at the bottom (bottom) was formed using a CO2 laser (manufactured by Hitachi Via Mechanics Co., Ltd.) in the semi-cured resin film of the obtained laminate A. In this way, a laminate B was obtained in which the semi-cured resin film was laminated on the CCL substrate and the via (through hole) was formed in the semi-cured resin film.
ビアの底部の残渣の除去処理:
(a)膨潤処理
60℃の膨潤液(アトテックジャパン社製「スウェリングディップセキュリガントP」)に、得られた積層体Bを入れて、10分間揺動させた。その後、純水で洗浄した。
Via bottom residue removal process:
(a) Swelling Treatment The obtained laminate B was placed in a swelling liquid (Swelling Dip Securigant P, manufactured by Atotech Japan) at 60° C. and shaken for 10 minutes. Thereafter, it was washed with pure water.
(b)過マンガン酸塩処理(粗化処理及びデスミア処理)
80℃の過マンガン酸カリウム(アトテックジャパン社製「コンセントレートコンパクトCP」)粗化水溶液に、膨潤処理後の積層体Bを入れて、30分間揺動させた。次に、25℃の洗浄液(アトテックジャパン社製「リダクションセキュリガントP」)を用いて2分間処理した後、純水で洗浄を行い、評価サンプル1を得た。
(b) Permanganate treatment (roughening treatment and desmear treatment)
The laminate B after the swelling treatment was placed in a roughening aqueous solution of potassium permanganate ("Concentrate Compact CP" manufactured by Atotech Japan) at 80° C. and was shaken for 30 minutes. Next, it was treated for 2 minutes using a cleaning solution ("Reduction Securigant P" manufactured by Atotech Japan) at 25° C., and then washed with pure water to obtain evaluation sample 1.
評価サンプル1のビアの底部を走査電子顕微鏡(SEM)にて観察し、ビア底の壁面からの最大スミア長を測定した。ビア底の残渣の除去性を以下の基準で判定した。The bottom of the via of evaluation sample 1 was observed with a scanning electron microscope (SEM) and the maximum smear length from the wall surface of the via bottom was measured. The removability of the residue at the via bottom was evaluated according to the following criteria.
[ビア底の残渣の除去性の判定基準]
○○:最大スミア長が2μm未満
○:最大スミア長が2μm以上5μm未満
×:最大スミア長が5μm以上
[Criteria for Removability of Residue at Via Bottom]
○○: The maximum smear length is less than 2 μm. ○: The maximum smear length is 2 μm or more and less than 5 μm. ×: The maximum smear length is 5 μm or more.
(4)エッチング後の表面粗度(表面粗さ)及び表面粗度の均一性
ラミネート工程及び半硬化処理:
両面銅張積層板(CCL基板)(日立化成社製「E679FG」)を用意した。この両面銅張積層板の銅箔面の両面をメック社製「Cz8101」に浸漬して、銅箔の表面を粗化処理した。粗化処理された銅張積層板の両面に、名機製作所社製「バッチ式真空ラミネーターMVLP-500-IIA」を用いて、積層フィルムの樹脂フィルム(Bステージフィルム)側を銅張積層板上に重ねてラミネートして、積層構造体を得た。ラミネートの条件は、30秒減圧して気圧を13hPa以下とし、その後30秒間、100℃及び圧力0.4MPaでプレスする条件とした。その後、180℃で30分間加熱し、樹脂フィルムを半硬化させた。このようにして、CCL基板に樹脂フィルムの半硬化物が積層されている積層体を得た。
(4) Surface roughness after etching (surface roughness) and uniformity of surface roughness Lamination process and semi-curing treatment:
A double-sided copper-clad laminate (CCL substrate) (Hitachi Chemical Co., Ltd. "E679FG") was prepared. Both sides of the copper foil surface of this double-sided copper-clad laminate were immersed in MEC Co., Ltd.'s "Cz8101" to roughen the copper foil surface. On both sides of the roughened copper-clad laminate, the resin film (B stage film) side of the laminate film was laminated on the copper-clad laminate using Meiki Seisakusho Co., Ltd.'s "batch vacuum laminator MVLP-500-IIA" to obtain a laminated structure. The lamination conditions were reduced pressure for 30 seconds to make the
粗化処理:
(a)膨潤処理:
60℃の膨潤液(アトテックジャパン社製「スウェリングディップセキュリガントP」)に、得られた積層体を入れて、10分間揺動させた。その後、純水で洗浄した。
Roughening treatment:
(a) Swelling treatment:
The obtained laminate was placed in a swelling liquid (Swelling Dip Securigant P, manufactured by Atotech Japan) at 60° C. and shaken for 10 minutes, and then washed with pure water.
(b)過マンガン酸塩処理(粗化処理及びデスミア処理):
80℃の過マンガン酸カリウム(アトテックジャパン社製「コンセントレートコンパクトCP」)粗化水溶液に、膨潤処理後の積層体を入れて、30分間揺動させた。次に、25℃の洗浄液(アトテックジャパン社製「リダクションセキュリガントP」)を用いて2分間処理した後、純水で洗浄を行い、評価サンプルを得た。
(b) Permanganate treatment (roughening treatment and desmear treatment):
The laminate after the swelling treatment was placed in a roughening aqueous solution of potassium permanganate ("Concentrate Compact CP" manufactured by Atotech Japan) at 80° C. and swung for 30 minutes. Next, the laminate was treated for 2 minutes using a cleaning solution ("Reduction Securigant P" manufactured by Atotech Japan) at 25° C., and then washed with pure water to obtain an evaluation sample.
表面粗さの測定:
評価サンプル(粗化処理された硬化物)の表面において、94μm×123μmの領域を任意に10箇所選択した。この10箇所の各領域について、非接触3次元表面形状測定装置(Veeco社製「WYKO NT1100」)を用いて、算術平均粗さRaを測定した。測定された10箇所の算術平均粗さRaの平均値から下記の表面粗度を評価し、測定された10箇所の算術平均粗さRaの最大値と最小値との差の絶対値から下記の表面粗さの均一性を評価した。なお、上記算術平均粗さRaは、JIS B0601:1994に準拠して測定した。
Surface roughness measurement:
On the surface of the evaluation sample (roughened cured product), 10 areas of 94 μm × 123 μm were arbitrarily selected. For each of the 10 areas, the arithmetic mean roughness Ra was measured using a non-contact three-dimensional surface profiler (Veeco's "WYKO NT1100"). The following surface roughness was evaluated from the average value of the arithmetic mean roughness Ra measured at the 10 points, and the following surface roughness uniformity was evaluated from the absolute value of the difference between the maximum and minimum values of the arithmetic mean roughness Ra measured at the 10 points. The arithmetic mean roughness Ra was measured in accordance with JIS B0601:1994.
[エッチング後の表面粗度の判定基準]
○:算術平均粗さRaの平均値が50nm未満
△:算術平均粗さRaの平均値が50nm以上80nm未満
×:算術平均粗さRaの平均値が80nm以上
[Criteria for surface roughness after etching]
◯: The average value of the arithmetic mean roughness Ra is less than 50 nm Δ: The average value of the arithmetic mean roughness Ra is 50 nm or more and less than 80 nm ×: The average value of the arithmetic mean roughness Ra is 80 nm or more
[エッチング後の表面粗度(表面粗さ)の均一性の判定基準]
○:算術平均粗さRaの最大値と最小値との差の絶対値が10nm未満
△:算術平均粗さRaの最大値と最小値との差の絶対値が10nm以上20nm未満
×:算術平均粗さRaの最大値と最小値との差の絶対値が20nm以上
[Criteria for judging uniformity of surface roughness after etching]
◯: The absolute value of the difference between the maximum and minimum values of the arithmetic mean roughness Ra is less than 10 nm. Δ: The absolute value of the difference between the maximum and minimum values of the arithmetic mean roughness Ra is 10 nm or more and less than 20 nm. ×: The absolute value of the difference between the maximum and minimum values of the arithmetic mean roughness Ra is 20 nm or more.
(5)メッキピール強度
ラミネート工程及び半硬化処理:
100mm角の両面銅張積層板(CCL基板)(日立化成社製「E679FG」)を用意した。この両面銅張積層板の銅箔面の両面をメック社製「Cz8101」に浸漬して、銅箔の表面を粗化処理した。名機製作所社製「バッチ式真空ラミネーターMVLP-500-IIA」を用いて、粗化処理された銅張積層板の両面に、積層フィルムの樹脂フィルム(Bステージフィルム)側を銅張積層板上に重ねてラミネートして、積層構造体を得た。ラミネートの条件は、30秒減圧して気圧を13hPa以下とし、その後30秒間、100℃及び圧力0.7MPaでラミネートし、更にプレス圧力0.8MPa及びプレス温度100℃で60秒間プレスした。その後、PETフィルムを付けたまま、積層構造体における樹脂フィルムを100℃で30分間加熱した後、180℃で30分間さらに加熱し、樹脂フィルムを半硬化させた。その後、PETフィルムを剥離することで、CCL基板に樹脂フィルムの半硬化物が積層されている積層体を得た。
(5) Plating peel strength Lamination process and semi-curing treatment:
A 100 mm square double-sided copper-clad laminate (CCL substrate) (Hitachi Chemical Co., Ltd. "E679FG") was prepared. Both sides of the copper foil surface of this double-sided copper-clad laminate were immersed in MEC Co., Ltd.'s "Cz8101" to roughen the copper foil surface. Using Meiki Seisakusho Co., Ltd.'s "batch vacuum laminator MVLP-500-IIA", the resin film (B stage film) side of the laminate film was laminated on both sides of the roughened copper-clad laminate to obtain a laminated structure. The lamination conditions were reduced pressure for 30 seconds to make the
粗化処理:
(a)膨潤処理:
60℃の膨潤液(アトテックジャパン社製「スウェリングディップセキュリガントP」)に、得られた積層体を入れて、10分間揺動させた。その後、純水で洗浄した。
Roughening treatment:
(a) Swelling treatment:
The obtained laminate was placed in a swelling liquid (Swelling Dip Securigant P, manufactured by Atotech Japan) at 60° C. and shaken for 10 minutes, and then washed with pure water.
(b)過マンガン酸塩処理(粗化処理及びデスミア処理):
80℃の過マンガン酸カリウム(アトテックジャパン社製「コンセントレートコンパクトCP」)粗化水溶液に、膨潤処理後の積層体を入れて、30分間揺動させた。次に、25℃の洗浄液(アトテックジャパン社製「リダクションセキュリガントP」)を用いて2分間処理した後、純水で洗浄を行い、粗化処理した。
(b) Permanganate treatment (roughening treatment and desmear treatment):
The laminate after the swelling treatment was placed in a roughening aqueous solution of potassium permanganate ("Concentrate Compact CP" manufactured by Atotech Japan) at 80° C. and was shaken for 30 minutes. Next, the laminate was treated for 2 minutes using a cleaning solution ("Reduction Securigant P" manufactured by Atotech Japan) at 25° C., and then washed with pure water to perform a roughening treatment.
無電解めっき処理:
得られた粗化処理された硬化物の表面を、60℃のアルカリクリーナ(アトテックジャパン社製「クリーナーセキュリガント902」)で5分間処理し、脱脂洗浄した。洗浄後、上記硬化物を25℃のプリディップ液(アトテックジャパン社製「プリディップネオガントB」)で2分間処理した。その後、上記硬化物を40℃のアクチベーター液(アトテックジャパン社製「アクチベーターネオガント834」)で5分間処理し、パラジウム触媒を付けた。次に、30℃の還元液(アトテックジャパン社製「リデューサーネオガントWA」)により、硬化物を5分間処理した。
Electroless plating process:
The surface of the roughened cured product was treated with an alkaline cleaner at 60°C (Atotech Japan's "Cleaner Securigant 902") for 5 minutes and degreased. After cleaning, the cured product was treated with a pre-dip liquid at 25°C (Atotech Japan's "Pre-dip Neogant B") for 2 minutes. The cured product was then treated with an activator liquid at 40°C (Atotech Japan's "Activator Neogant 834") for 5 minutes to attach a palladium catalyst. Next, the cured product was treated with a reducing liquid at 30°C (Atotech Japan's "Reducer Neogant WA") for 5 minutes.
次に、上記硬化物を化学銅液(アトテックジャパン社製「ベーシックプリントガントMSK-DK」、「カッパープリントガントMSK」、「スタビライザープリントガントMSK」、及び「リデューサーCu」)に入れ、無電解めっきをめっき厚さが0.5μm程度になるまで実施した。無電解めっき後に、残留している水素ガスを除去するため、120℃の温度で30分間アニール処理した。なお、無電解めっきの工程までの全ての工程は、ビーカースケールで処理液を2Lとし、硬化物を揺動させながら実施した。Next, the above cured material was placed in a chemical copper liquid (Atotech Japan's "Basic Printganth MSK-DK", "Copper Printganth MSK", "Stabilizer Printganth MSK", and "Reducer Cu") and electroless plating was carried out until the plating thickness reached approximately 0.5 μm. After electroless plating, an annealing treatment was carried out at a temperature of 120°C for 30 minutes to remove any remaining hydrogen gas. All steps up to the electroless plating step were carried out using 2 L of treatment liquid on a beaker scale, while the cured material was agitated.
電解めっき処理:
次に、無電解めっき処理された硬化物に、電解めっきをめっき厚さが25μmとなるまで実施した。電解銅めっきとして硫酸銅溶液(和光純薬工業社製「硫酸銅五水和物」、和光純薬工業社製「硫酸」、アトテックジャパン社製「ベーシックレベラーカパラシド HL」、アトテックジャパン社製「補正剤カパラシド GS」)を用いて、0.6A/cm2の電流を流しめっき厚さが25μm程度となるまで電解めっきを実施した。銅めっき処理後、硬化物を200℃で60分間加熱し、硬化物を更に硬化させた。このようにして、銅めっき層が上面に積層された硬化物を得た。
Electrolytic plating process:
Next, electrolytic plating was performed on the electroless plated cured product until the plating thickness reached 25 μm. As electrolytic copper plating, a copper sulfate solution ("copper sulfate pentahydrate" manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., "sulfuric acid" manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., "basic leveler Cupracid HL" manufactured by Atotech Japan, and "corrector Cupracid GS" manufactured by Atotech Japan) was used, and electrolytic plating was performed by passing a current of 0.6 A/cm 2 until the plating thickness reached about 25 μm. After the copper plating, the cured product was heated at 200° C. for 60 minutes to further cure the cured product. In this way, a cured product having a copper plating layer laminated on the upper surface was obtained.
メッキピール強度の測定:
得られた銅めっき層が上面に積層された硬化物の銅めっき層の表面に10mm幅の短冊状の切込みを、5mm間隔で合計6箇所入れた。90°剥離試験機(テスター産業社製「TE-3001」)に銅めっき層が上面に積層された硬化物をセットし、つかみ具で切込みの入った銅めっき層の端部をつまみあげ、銅めっき層を20mm剥離して剥離強度(メッキピール強度)を測定した。6箇所の切り込み箇所に対してそれぞれ剥離強度(メッキピール強度)を測定し、メッキピール強度の平均値を求めた。メッキピール強度を下記の基準で判定した。
Measurement of plating peel strength:
A total of six 10 mm-wide rectangular cuts were made at 5 mm intervals on the surface of the copper plating layer of the cured product having a copper plating layer laminated on the upper surface. The cured product having a copper plating layer laminated on the upper surface was set in a 90° peel tester (TE-3001 manufactured by Tester Sangyo Co., Ltd.), the end of the copper plating layer with the cut was picked up with a gripper, and the copper plating layer was peeled off by 20 mm to measure the peel strength (plating peel strength). The peel strength (plating peel strength) was measured for each of the six cut locations, and the average plating peel strength was calculated. The plating peel strength was judged according to the following criteria.
[メッキピール強度の判定基準]
○○:メッキピール強度の平均値が0.5kgf/cm以上
○:メッキピール強度の平均値が0.45kgf/cm以上0.5kgf/cm未満
△:メッキピール強度の平均値が0.35kgf/cm以上0.45kgf/cm未満
×:メッキピール強度の平均値が0.35kgf/cm未満
[Criteria for plating peel strength]
○○: The average value of the plating peel strength is 0.5 kgf/cm or more. ○: The average value of the plating peel strength is 0.45 kgf/cm or more and less than 0.5 kgf/cm. △: The average value of the plating peel strength is 0.35 kgf/cm or more and less than 0.45 kgf/cm. ×: The average value of the plating peel strength is less than 0.35 kgf/cm.
組成及び結果を下記の表1~3に示す。The composition and results are shown in Tables 1 to 3 below.
11…多層プリント配線板
12…回路基板
12a…上面
13~16…絶縁層
17…金属層
11: multilayer printed wiring board 12:
Claims (20)
前記化合物が、熱硬化性化合物であり、
前記化合物が、マレイミド骨格を有する化合物であり、
前記硬化促進剤が、アニオン性硬化促進剤又はラジカル性硬化促進剤を含む、樹脂材料。
the compound is a thermosetting compound,
the compound is a compound having a maleimide skeleton,
The resin material , wherein the curing accelerator comprises an anionic curing accelerator or a radical curing accelerator .
前記式(X)で表される構造の繰り返し数と、下記式(Y)で表される構造の繰り返し数との合計100%中、前記式(X)で表される構造の繰り返し数が、10%以上90%以下である、請求項1~7のいずれか1項に記載の樹脂材料。
The resin material according to any one of claims 1 to 7, wherein the number of repetitions of the structure represented by formula (X) is 10% or more and 90% or less of a total of 100% of the number of repetitions of the structure represented by formula ( Y) :
前記式(Y)中、R2はフタルイミドに由来する骨格を有さない、請求項8に記載の樹脂材料。 In the formula (Y), R1 does not have a skeleton derived from phthalimide,
The resin material according to claim 8 , wherein in formula (Y), R2 does not have a skeleton derived from phthalimide.
前記式(100)で表される構造を有さない熱硬化性化合物が、エポキシ化合物を含む、請求項1~10のいずれか1項に記載の樹脂材料。
The resin material according to any one of claims 1 to 10 , wherein the thermosetting compound not having a structure represented by the formula (100) includes an epoxy compound.
前記回路基板の表面上に配置された複数の絶縁層と、
複数の前記絶縁層間に配置された金属層とを備え、
複数の前記絶縁層の内の少なくとも1層が、請求項1~19のいずれか1項に記載の樹脂材料の硬化物である、多層プリント配線板。 A circuit board;
a plurality of insulating layers disposed on a surface of the circuit board;
a metal layer disposed between a plurality of the insulating layers;
A multilayer printed wiring board, wherein at least one of the insulating layers is a cured product of the resin material according to any one of claims 1 to 19 .
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