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JP7492224B2 - Treatment equipment and blower - Google Patents
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Description

本発明は、被処理物に気体を吹き付けることにより、被処理物に対して所定の処理を施すための処理装置に関する。また、本発明は、被処理物に気体を吹き付けるための送風機に関する。 The present invention relates to a treatment device for performing a predetermined treatment on an object to be treated by blowing gas onto the object. The present invention also relates to a blower for blowing gas onto the object to be treated.

被加熱物に過熱水蒸気を吹き付けることにより、被加熱物に対して加熱処理を施すための加熱処理装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。従来の加熱処理装置は、搬入口及び搬出口を有する処理室と、被加熱物を処理室の搬入口から搬出口へ搬送するコンベアと、過熱水蒸気を生成する過熱水蒸気生成部と、コンベア上の被加熱物に向けて過熱水蒸気生成部からの過熱水蒸気を吹き出すノズルとを備えている。 There is known a heat treatment device for performing a heat treatment on an object to be heated by spraying superheated steam onto the object to be heated (see, for example, Patent Document 1). A conventional heat treatment device includes a treatment chamber having an inlet and an outlet, a conveyor for transporting the object to be heated from the inlet to the outlet of the treatment chamber, a superheated steam generating unit for generating superheated steam, and a nozzle for blowing the superheated steam from the superheated steam generating unit toward the object to be heated on the conveyor.

処理室の内部において、ノズルからの過熱水蒸気がコンベア上の被加熱物に吹き付けられることにより、被加熱物が例えば200℃~300℃程度まで加熱される。 Inside the processing chamber, superheated steam from a nozzle is sprayed onto the object to be heated on the conveyor, heating the object to, for example, about 200°C to 300°C.

特開2014-012099号公報JP 2014-012099 A

上述した従来の加熱処理装置では、ノズルから吹き出された過熱水蒸気が、処理室の搬入口及び搬出口から処理室の外部に漏洩してしまう。そのため、被加熱物の加熱効率が低下するとともに、加熱処理装置を操作する作業者等が搬入口及び搬出口から漏洩した過熱水蒸気に触れるおそれがある。 In the conventional heat treatment device described above, the superheated steam ejected from the nozzle leaks out of the treatment chamber from the entrance and exit of the treatment chamber. This reduces the heating efficiency of the object to be heated, and there is a risk that workers operating the heat treatment device may come into contact with the superheated steam leaking from the entrance and exit.

本発明は、上述した課題を解決しようとするものであり、その目的は、気体が処理室の開口部から処理室の外部に漏洩するのを抑制することができる処理装置及び送風機を提供することである。 The present invention seeks to solve the above-mentioned problems, and its purpose is to provide a processing device and a blower that can prevent gas from leaking from the opening of the processing chamber to the outside of the processing chamber.

本発明の一態様に係る処理装置は、被処理物に気体を吹き付けることにより、前記被処理物に対して所定の処理を施すための処理装置であって、前記被処理物を内部に搬入又は外部に搬出するための開口部を有し、前記被処理物に対して前記所定の処理を施すための処理領域が内部に配置された処理室と、前記処理室の内部に配置され、前記被処理物を前記処理室の前記開口部と前記処理領域との間で搬送するための搬送経路と、気体を吸い込む吸気口、及び、前記吸気口から吸い込んだ気体を前記処理領域に向けて吹き出す排気口を有する送風機と、前記処理室の内部に配置されたガイド部材であって、前記送風機の前記排気口から吹き出された気体を、前記搬送経路に沿った方向と交差する方向に導きながら前記送風機の前記吸気口に導くための複数の流路を有するガイド部材と、を備え、前記ガイド部材は、前記搬送経路に沿った方向に並んで配置された複数の隔壁部を有し、前記複数の流路の各々は、前記複数の隔壁部の隣り合う一対の隔壁部の間に形成されている。 The processing apparatus according to one aspect of the present invention is a processing apparatus for performing a predetermined processing on a workpiece by blowing gas onto the workpiece, the processing apparatus comprising: a processing chamber having an opening for carrying the workpiece inside or outside and having a processing area disposed therein for carrying the workpiece to the predetermined processing; a transport path disposed inside the processing chamber for transporting the workpiece between the opening of the processing chamber and the processing area; a blower having an intake port for sucking in gas and an exhaust port for blowing the gas sucked from the intake port toward the processing area; and a guide member disposed inside the processing chamber, the guide member having a plurality of flow paths for guiding the gas blown out from the exhaust port of the blower in a direction intersecting the direction along the transport path to the intake port of the blower, the guide member having a plurality of partition parts arranged side by side in a direction along the transport path, and each of the plurality of flow paths being formed between a pair of adjacent partition parts of the plurality of partition parts.

本発明の一態様に係る処理装置によれば、気体が処理室の開口部から処理室の外部に漏洩するのを抑制することができる。 The processing apparatus according to one aspect of the present invention can prevent gas from leaking from the opening of the processing chamber to the outside of the processing chamber.

実施の形態に係る処理装置の全体構成を示す断面図である。1 is a cross-sectional view showing an overall configuration of a processing apparatus according to an embodiment; 実施の形態に係る処理装置におけるコンベア、送風機、ガイド部材及び噴射機構を抜き出して示す斜視図である。2 is a perspective view showing a conveyor, a blower, a guide member, and a spray mechanism in the processing apparatus according to the embodiment. FIG. 図2のIII-III線断面図である。3 is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG. 2. 図3のIV-IV線断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV in FIG. 実施の形態に係る処理装置におけるガイド部材を抜き出して示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a guide member in the processing apparatus according to the embodiment. 図2のVI-VI線断面図である。6 is a cross-sectional view taken along line VI-VI in FIG. 2. 実施の形態に係る処理装置における噴射機構及びガイド壁部を拡大して示す斜視図である。4 is an enlarged perspective view showing a spray mechanism and a guide wall portion in the processing apparatus according to the embodiment; FIG. 実施の形態に係る処理装置におけるガイド壁部に形成された複数の突部を拡大して示す斜視図である。4 is an enlarged perspective view showing a plurality of protrusions formed on a guide wall portion in the processing apparatus according to the embodiment; FIG. 実施の形態に係る処理装置におけるガイド壁部に形成された複数の突部を拡大して示す斜視図である。4 is an enlarged perspective view showing a plurality of protrusions formed on a guide wall portion in the processing apparatus according to the embodiment; FIG. 実施の形態に係る処理装置における遮熱用チェーンカーテンを拡大して示す図である。4 is an enlarged view showing a heat-shielding chain curtain in the processing apparatus according to the embodiment; FIG. 図9のX-X線断面図である。10 is a cross-sectional view taken along line XX in FIG. 9. 比較例に係る遮熱用チェーンカーテンの使用例を示す図である。FIG. 13 is a diagram showing an example of use of a heat-shielding chain curtain according to a comparative example. 実施の形態に係る処理装置における遮熱用チェーンカーテンの使用例を示す図である。1 is a diagram showing an example of use of a heat-shielding chain curtain in a processing apparatus according to an embodiment. FIG. 変形例に係る処理装置における複数の送風機及びガイド部材を抜き出して示す斜視図である。13 is a perspective view showing a plurality of blowers and guide members in a processing apparatus according to a modified example. FIG.

本発明の一態様に係る処理装置は、被処理物に気体を吹き付けることにより、前記被処理物に対して所定の処理を施すための処理装置であって、前記被処理物を内部に搬入又は外部に搬出するための開口部を有し、前記被処理物に対して前記所定の処理を施すための処理領域が内部に配置された処理室と、前記処理室の内部に配置され、前記被処理物を前記処理室の前記開口部と前記処理領域との間で搬送するための搬送経路と、気体を吸い込む吸気口、及び、前記吸気口から吸い込んだ気体を前記処理領域に向けて吹き出す排気口を有する送風機と、前記処理室の内部に配置されたガイド部材であって、前記送風機の前記排気口から吹き出された気体を、前記搬送経路に沿った方向と交差する方向に導きながら前記送風機の前記吸気口に導くための複数の流路を有するガイド部材と、を備え、前記ガイド部材は、前記搬送経路に沿った方向に並んで配置された複数の隔壁部を有し、前記複数の流路の各々は、前記複数の隔壁部の隣り合う一対の隔壁部の間に形成されている。 The processing apparatus according to one aspect of the present invention is a processing apparatus for performing a predetermined processing on a workpiece by blowing gas onto the workpiece, the processing apparatus comprising: a processing chamber having an opening for carrying the workpiece inside or outside and having a processing area disposed therein for carrying the workpiece to the predetermined processing; a transport path disposed inside the processing chamber for transporting the workpiece between the opening of the processing chamber and the processing area; a blower having an intake port for sucking in gas and an exhaust port for blowing the gas sucked from the intake port toward the processing area; and a guide member disposed inside the processing chamber, the guide member having a plurality of flow paths for guiding the gas blown out from the exhaust port of the blower in a direction intersecting the direction along the transport path to the intake port of the blower, the guide member having a plurality of partition parts arranged side by side in a direction along the transport path, and each of the plurality of flow paths being formed between a pair of adjacent partition parts of the plurality of partition parts.

本態様によれば、ガイド部材の複数の流路は、送風機の排気口から吹き出された気体を、搬送経路に沿った方向と交差する方向に導きながら送風機の吸気口に導く。この時、複数の流路の各々は、複数の隔壁部により搬送経路に沿った方向に仕切られているので、送風機の排気口から吹き出された気体が搬送経路に沿った方向に広がりながら流れるのを抑制することができ、送風機の排気口から吹き出された気体を、送風機の吸気口に効率良く導くことができる。その結果、送風機の排気口から吹き出された気体が、処理室の開口部から処理室の外部に漏洩するのを抑制することができる。 According to this aspect, the multiple flow paths of the guide member guide the gas blown out from the exhaust port of the blower in a direction intersecting the direction along the transport path, while guiding it to the intake port of the blower. At this time, since each of the multiple flow paths is partitioned in the direction along the transport path by multiple partitions, it is possible to prevent the gas blown out from the exhaust port of the blower from spreading and flowing in the direction along the transport path, and the gas blown out from the exhaust port of the blower can be efficiently guided to the intake port of the blower. As a result, it is possible to prevent the gas blown out from the exhaust port of the blower from leaking out of the processing chamber from the opening of the processing chamber.

例えば、前記複数の流路は、各々が前記送風機の前記排気口から吹き出された気体を、前記搬送経路に沿った方向と交差する第1の方向、及び、前記第1の方向と反対方向である第2の方向に分流する複数の分流路と、前記複数の分流路とそれぞれ連通され、前記複数の分流路により前記第1の方向に分流された気体をそれぞれ前記送風機の前記吸気口に導く複数の第1のガイド流路と、前記複数の分流路とそれぞれ連通され、前記複数の分流路により前記第2の方向に分流された気体をそれぞれ前記送風機の前記吸気口に導く複数の第2のガイド流路と、を有するように構成してもよい。 For example, the multiple flow paths may be configured to include multiple branch flow paths each of which branches the gas blown out from the exhaust port of the blower into a first direction intersecting the direction along the transport path and into a second direction opposite to the first direction, multiple first guide flow paths each of which is connected to the multiple branch flow paths and guides the gas branched in the first direction by the multiple branch flow paths to the intake port of the blower, and multiple second guide flow paths each of which is connected to the multiple branch flow paths and guides the gas branched in the second direction by the multiple branch flow paths to the intake port of the blower.

本態様によれば、送風機の排気口から吹き出された気体を、搬送経路に沿った方向と交差する第1の方向及び第2の方向に分流しながら送風機の吸気口に効率良く導くことができる。 According to this aspect, the gas blown out from the exhaust port of the blower can be efficiently guided to the intake port of the blower while being diverted into a first direction and a second direction that intersect with the direction along the conveying path.

例えば、前記複数の分流路の各々は、前記処理領域に対して前記送風機の前記排気口と反対側に配置され、前記排気口に向けて凸状に形成されているように構成してもよい。 For example, each of the multiple branch channels may be arranged on the opposite side of the processing area from the exhaust port of the blower and configured to be convex toward the exhaust port.

本態様によれば、複数の分流路の各々は、送風機の排気口に向けて凸状に形成されているので、送風機の排気口から吹き出された気体を効率良く分流することができる。 According to this aspect, each of the multiple branch paths is formed in a convex shape toward the exhaust port of the blower, so that the gas blown out from the exhaust port of the blower can be efficiently branched.

例えば、前記処理装置は、さらに、有圧気体を供給する有圧気体供給源と、前記送風機の前記排気口と前記処理室の前記開口部との間に配置され、前記有圧気体供給源からの有圧気体を前記処理領域に向けて噴射するノズルと、を備えるように構成してもよい。 For example, the processing apparatus may further include a pressurized gas supply source that supplies pressurized gas, and a nozzle that is disposed between the exhaust port of the blower and the opening of the processing chamber and that sprays the pressurized gas from the pressurized gas supply source toward the processing region.

本態様によれば、ノズルは、有圧気体供給源からの有圧気体を処理領域に向けて噴射するので、送風機の排気口と処理室の開口部との間には、有圧気体によるエアーカーテンが形成される。これにより、送風機の排気口から吹き出された気体が、処理室の開口部に向けて流れるのを抑制することができる。さらに、ノズルから噴射された有圧気体の圧力により処理室の内部の圧力が正圧に保持されるので、外気が処理室の開口部から処理室の内部に流入するのを抑制することができる。 According to this aspect, the nozzle injects pressurized gas from the pressurized gas supply source toward the processing area, so that an air curtain of pressurized gas is formed between the exhaust port of the blower and the opening of the processing chamber. This makes it possible to prevent the gas blown out from the exhaust port of the blower from flowing toward the opening of the processing chamber. Furthermore, the pressure inside the processing chamber is kept positive by the pressure of the pressurized gas injected from the nozzle, so that it is possible to prevent outside air from flowing into the processing chamber from the opening of the processing chamber.

例えば、前記処理室は、前記送風機の前記排気口と前記処理室の前記開口部との間において、前記搬送経路に対向して配置されたガイド壁部を有し、前記ガイド壁部は、前記搬送経路から離れる方向に凹状に形成され、且つ、前記排気口から吹き出された気体を所定の方向に導くガイド面を有するように構成してもよい。 For example, the processing chamber may have a guide wall portion disposed opposite the transport path between the exhaust port of the blower and the opening of the processing chamber, and the guide wall portion may be configured to have a concave shape in a direction away from the transport path and to have a guide surface that guides the gas blown out of the exhaust port in a predetermined direction.

本態様によれば、ガイド壁部は、搬送経路から離れる方向に凹状に形成されたガイド面を有するので、ガイド面に誘い込まれた気体は、コアンダ効果によりガイド面に沿って流れるようになる。これにより、ガイド面に沿って流れる気体に作用する通風抵抗が増大し、気体の流速が低下する。さらに、気体がガイド面に沿って流れることにより、気体の通過面積が増大する。この時、いわゆる連続の方程式(連続の式)により、気体の通過面積が増大するのに従って、気体の流速が低下する。その結果、ガイド面に沿って流れる気体は、処理室の開口部まで到達し難くなるため、気体が処理室の開口部から処理室の外部に漏洩するのを効果的に抑制することができる。 According to this aspect, the guide wall portion has a guide surface formed in a concave shape in a direction away from the transport path, so that the gas drawn into the guide surface flows along the guide surface due to the Coanda effect. This increases the ventilation resistance acting on the gas flowing along the guide surface, and the flow rate of the gas decreases. Furthermore, as the gas flows along the guide surface, the passing area of the gas increases. At this time, according to the so-called continuity equation, the flow rate of the gas decreases as the passing area of the gas increases. As a result, the gas flowing along the guide surface has difficulty reaching the opening of the processing chamber, so that the gas can be effectively prevented from leaking out of the processing chamber from the opening of the processing chamber.

例えば、前記ガイド壁部は、前記ガイド面の上流側端部に形成され、前記送風機の前記排気口から吹き出されて前記ガイド面に誘い込まれる気体に乱流を生じさせるための複数の突部を有するように構成してもよい。 For example, the guide wall portion may be configured to have a plurality of protrusions formed at the upstream end of the guide surface to generate turbulence in the gas blown out of the exhaust port of the blower and drawn into the guide surface.

本態様によれば、ガイド壁部は複数の突部を有するので、処理室の開口部に向けて流れる気体は、複数の突部のうち隣り合う一対の突部の間の隙間を流れるようになる。この時、隙間には、気体による小さな渦が発生する。これにより、処理室の開口部に向けて流れる気体の主流が上記の小さな渦に巻き込まれるので、気体の主流をガイド面に効率良く誘い込むことができる。 According to this aspect, the guide wall portion has multiple protrusions, so that the gas flowing toward the opening of the processing chamber flows through the gap between a pair of adjacent protrusions among the multiple protrusions. At this time, small vortexes of the gas are generated in the gap. As a result, the main flow of the gas flowing toward the opening of the processing chamber is caught up in the small vortexes, so that the main flow of the gas can be efficiently guided into the guide surface.

例えば、前記処理装置は、さらに、前記処理室の前記開口部の上端部から吊り下げられた第1のチェーンカーテンと、前記処理室の前記開口部の前記上端部から吊り下げられた第2のチェーンカーテンであって、前記第1のチェーンカーテンと重なるように配置され、前記第1のチェーンカーテンよりも長さの短い第2のチェーンカーテンと、を備えるように構成してもよい。 For example, the processing apparatus may further include a first chain curtain suspended from the upper end of the opening of the processing chamber, and a second chain curtain suspended from the upper end of the opening of the processing chamber, the second chain curtain being arranged to overlap the first chain curtain and being shorter in length than the first chain curtain.

本態様によれば、処理室の開口部の上端部には、第1のチェーンカーテンと、第1のチェーンカーテンと重なるように配置された第2のチェーンカーテンとが吊り下げられている。これにより、被処理物は、処理室の開口部を通過する際に、第1のチェーンカーテンを左右方向及び後ろ方向に押し広げる。この時、左右方向及び後ろ方向に押し広げられた第1のチェーンカーテンに隙間が生じるが、この隙間は第2のチェーンカーテンにより閉塞されるようになる。そのため、処理室の内部の気体が上記隙間から処理室の外部に漏洩するのを抑制することができる。 According to this aspect, a first chain curtain and a second chain curtain arranged to overlap the first chain curtain are suspended from the upper end of the opening of the processing chamber. As a result, when the object to be processed passes through the opening of the processing chamber, the first chain curtain is pushed open in the left-right and rearward directions. At this time, gaps are created in the first chain curtain that is pushed open in the left-right and rearward directions, but these gaps are blocked by the second chain curtain. Therefore, it is possible to prevent gas inside the processing chamber from leaking out of the processing chamber through the above-mentioned gaps.

例えば、前記送風機は、さらに、前記吸気口と前記排気口とを連通するダクト流路が内部に形成され、前記吸気口と前記排気口との間で、前記ダクト流路の断面積を前記吸気口側から前記排気口側に向けて絞る絞り部を有するダクトと、前記ダクトの内部に配置され、前記絞り部と前記排気口との間における前記ダクト流路を格子状に仕切る仕切り板と、を有するように構成してもよい。 For example, the blower may further include a duct having a duct passage formed therein that connects the intake port and the exhaust port, the duct having a narrowing section between the intake port and the exhaust port that narrows the cross-sectional area of the duct passage from the intake port side to the exhaust port side, and a partition plate disposed inside the duct that divides the duct passage between the narrowing section and the exhaust port into a lattice pattern.

本態様によれば、送風機のダクトには、吸気口と排気口との間で、ダクト流路の断面積を吸気口側から排気口側に向けて絞る絞り部が形成されているので、吸気口から吸い込まれた気体が絞り部の内部を通過した際に、気体の流速分布はほぼ均一となる。さらに、ダクトの内部には、絞り部と排気口との間におけるダクト流路を格子状に仕切る仕切り板が配置されているので、絞り部の内部を通過した気体は、ダクトの内部において仕切り板により形成された複数の分割流路の各々にほぼ均等に分配される。これにより、複数の分割流路の各々を流れる気体の流速はほぼ等しくなるため、排気口から吹き出される気体の流速分布はほぼ均一となる。その結果、排気口から吹き出された気体は被処理物の表面にほぼ均一に吹き付けられるので、被処理物に対して所定の処理をムラなく施すことができる。 According to this aspect, the duct of the blower is formed with a constriction section between the intake port and the exhaust port that narrows the cross-sectional area of the duct flow path from the intake port side to the exhaust port side, so that when the gas sucked in from the intake port passes through the inside of the constriction section, the flow velocity distribution of the gas is almost uniform. Furthermore, a partition plate is arranged inside the duct to divide the duct flow path between the constriction section and the exhaust port in a lattice shape, so that the gas that passes through the inside of the constriction section is distributed almost evenly to each of the multiple divided flow paths formed by the partition plate inside the duct. As a result, the flow velocity of the gas flowing through each of the multiple divided flow paths is almost equal, so the flow velocity distribution of the gas blown out from the exhaust port is almost uniform. As a result, the gas blown out from the exhaust port is blown almost uniformly onto the surface of the workpiece, so that the workpiece can be treated without unevenness.

本発明の一態様に係る処理装置は、被処理物に気体を吹き付けることにより、前記被処理物に対して所定の処理を施すための処理装置であって、前記被処理物を内部に搬入又は外部に搬出するための開口部を有し、前記被処理物に対して前記所定の処理を施すための処理領域が内部に配置された処理室と、前記処理室の内部に配置され、前記被処理物を前記処理室の前記開口部と前記処理領域との間で搬送するための搬送経路と、気体を吸い込む吸気口、及び、前記吸気口から吸い込んだ気体を前記処理領域に向けて吹き出す排気口を有する送風機と、有圧気体を供給する有圧気体供給源と、前記送風機の前記排気口と前記処理室の前記開口部との間に配置され、前記有圧気体供給源からの有圧気体を前記処理領域に向けて噴射するノズルと、を備える。 A processing apparatus according to one aspect of the present invention is a processing apparatus for performing a predetermined processing on a workpiece by blowing gas onto the workpiece, and includes a processing chamber having an opening for carrying the workpiece in or out and having a processing area disposed therein for carrying the workpiece in the predetermined processing, a transport path disposed inside the processing chamber for transporting the workpiece between the opening of the processing chamber and the processing area, a blower having an intake port for sucking in gas and an exhaust port for blowing the gas sucked in from the intake port toward the processing area, a pressurized gas supply source for supplying pressurized gas, and a nozzle disposed between the exhaust port of the blower and the opening of the processing chamber for spraying the pressurized gas from the pressurized gas supply source toward the processing area.

本態様によれば、ノズルは、有圧気体供給源からの有圧気体を処理領域に向けて噴射するので、送風機の排気口と処理室の開口部との間には、有圧気体によるエアーカーテンが形成される。これにより、送風機の排気口から吹き出された気体が、処理室の開口部に向けて流れるのを抑制することができる。さらに、ノズルから噴射された有圧気体の圧力により処理室の内部の圧力が正圧に保持されるので、外気が処理室の開口部から処理室の内部に流入するのを抑制することができる。 According to this aspect, the nozzle injects pressurized gas from the pressurized gas supply source toward the processing area, so that an air curtain of pressurized gas is formed between the exhaust port of the blower and the opening of the processing chamber. This makes it possible to prevent the gas blown out from the exhaust port of the blower from flowing toward the opening of the processing chamber. Furthermore, the pressure inside the processing chamber is kept positive by the pressure of the pressurized gas injected from the nozzle, so that it is possible to prevent outside air from flowing into the processing chamber from the opening of the processing chamber.

本発明の一態様に係る処理装置は、被処理物に気体を吹き付けることにより、前記被処理物に対して所定の処理を施すための処理装置であって、前記被処理物を内部に搬入又は外部に搬出するための開口部を有し、前記被処理物に対して前記所定の処理を施すための処理領域が内部に配置された処理室と、前記処理室の内部に配置され、前記被処理物を前記処理室の前記開口部と前記処理領域との間で搬送するための搬送経路と、気体を吸い込む吸気口、及び、前記吸気口から吸い込んだ気体を前記処理領域に向けて吹き出す排気口を有する送風機と、を備え、前記処理室は、前記送風機の前記排気口と前記処理室の前記開口部との間において、前記搬送経路に対向して配置されたガイド壁部を有し、前記ガイド壁部は、前記搬送経路から離れる方向に凹状に形成され、且つ、前記排気口から吹き出された気体を所定の方向に導くガイド面を有する。 The processing apparatus according to one aspect of the present invention is a processing apparatus for performing a predetermined process on a workpiece by blowing gas onto the workpiece, and includes a processing chamber having an opening for carrying the workpiece inside or outside and a processing area for carrying the workpiece to the inside, and a transport path for transporting the workpiece between the opening of the processing chamber and the processing area, and a blower having an intake port for sucking in gas and an exhaust port for blowing the gas sucked in from the intake port toward the processing area. The processing chamber has a guide wall portion disposed opposite the transport path between the exhaust port of the blower and the opening of the processing chamber, and the guide wall portion is formed in a concave shape in a direction away from the transport path, and has a guide surface for guiding the gas blown out from the exhaust port in a predetermined direction.

本態様によれば、ガイド壁部は、搬送経路から離れる方向に凹状に形成されたガイド面を有するので、ガイド面に誘い込まれた気体は、コアンダ効果によりガイド面に沿って流れるようになる。これにより、ガイド面に沿って流れる気体に作用する通風抵抗が増大し、気体の流速が低下する。さらに、気体がガイド面に沿って流れることにより、気体の通過面積が増大する。この時、いわゆる連続の方程式により、気体の通過面積が増大するのに従って、気体の流速が低下する。その結果、ガイド面に沿って流れる気体は、処理室の開口部まで到達し難くなるため、気体が処理室の開口部から処理室の外部に漏洩するのを効果的に抑制することができる。 According to this aspect, the guide wall portion has a guide surface formed in a concave shape in a direction away from the transport path, so that the gas drawn into the guide surface flows along the guide surface due to the Coanda effect. This increases the ventilation resistance acting on the gas flowing along the guide surface, and the flow rate of the gas decreases. Furthermore, as the gas flows along the guide surface, the passing area of the gas increases. At this time, according to the so-called continuity equation, the flow rate of the gas decreases as the passing area of the gas increases. As a result, the gas flowing along the guide surface has difficulty reaching the opening of the processing chamber, so that the gas can be effectively prevented from leaking out of the processing chamber from the opening of the processing chamber.

本発明の一態様に係る処理装置は、被処理物に気体を吹き付けることにより、前記被処理物に対して所定の処理を施すための処理装置であって、前記被処理物を内部に搬入又は外部に搬出するための開口部を有し、前記被処理物に対して前記所定の処理を施すための処理領域が内部に配置された処理室と、前記処理室の内部に配置され、前記被処理物を前記処理室の前記開口部と前記処理領域との間で搬送するための搬送経路と、気体を吸い込む吸気口、及び、前記吸気口から吸い込んだ気体を前記処理領域に向けて吹き出す排気口を有する送風機と、を備え、前記処理室は、前記送風機の前記排気口と前記処理室の前記開口部との間において、前記搬送経路に対向して配置されたガイド壁部を有し、前記ガイド壁部は、前記排気口から吹き出された気体を所定の方向に導くガイド面と、前記ガイド面の上流側端部に形成され、前記排気口から吹き出されて前記ガイド面に誘い込まれる気体に乱流を生じさせるための複数の突部と、を有する。 The processing apparatus according to one aspect of the present invention is a processing apparatus for performing a predetermined process on a workpiece by blowing gas onto the workpiece, and includes a processing chamber having an opening for carrying the workpiece inside or outside and a processing area for carrying the workpiece to the inside and the processing area, and a blower arranged inside the processing chamber and having a transport path for transporting the workpiece between the opening of the processing chamber and the processing area, an intake port for sucking in gas, and an exhaust port for blowing the gas sucked from the intake port toward the processing area. The processing chamber has a guide wall portion arranged opposite the transport path between the exhaust port of the blower and the opening of the processing chamber, and the guide wall portion has a guide surface for guiding the gas blown out from the exhaust port in a predetermined direction, and a plurality of protrusions formed at the upstream end of the guide surface for generating turbulence in the gas blown out from the exhaust port and drawn into the guide surface.

本態様によれば、ガイド壁部は複数の突部を有するので、処理室の開口部に向けて流れる気体は、複数の突部のうち隣り合う一対の突部の間の隙間を流れるようになる。この時、隙間には、気体による小さな渦が発生する。これにより、処理室の開口部に向けて流れる気体の主流が上記の小さな渦に巻き込まれるので、気体の主流をガイド面に効率良く誘い込むことができる。 According to this aspect, the guide wall portion has multiple protrusions, so that the gas flowing toward the opening of the processing chamber flows through the gap between a pair of adjacent protrusions among the multiple protrusions. At this time, small vortexes of the gas are generated in the gap. As a result, the main flow of the gas flowing toward the opening of the processing chamber is caught up in the small vortexes, so that the main flow of the gas can be efficiently guided into the guide surface.

本発明の一態様に係る処理装置は、被処理物に気体を吹き付けることにより、前記被処理物に対して所定の処理を施すための処理装置であって、前記被処理物を内部に搬入又は外部に搬出するための開口部を有し、前記被処理物に対して前記所定の処理を施すための処理領域が内部に配置された処理室と、前記処理室の内部に配置され、前記被処理物を前記処理室の前記開口部と前記処理領域との間で搬送するための搬送経路と、気体を吸い込む吸気口、及び、前記吸気口から吸い込んだ気体を前記処理領域に向けて吹き出す排気口を有する送風機と、前記処理室の前記開口部の上端部から吊り下げられた第1のチェーンカーテンと、前記処理室の前記開口部の前記上端部から吊り下げられた第2のチェーンカーテンであって、前記第1のチェーンカーテンと重なるように配置され、前記第1のチェーンカーテンよりも長さの短い第2のチェーンカーテンと、を備える。 The processing apparatus according to one aspect of the present invention is a processing apparatus for performing a predetermined processing on a workpiece by blowing gas onto the workpiece, and includes a processing chamber having an opening for carrying the workpiece in and out and a processing area for carrying the workpiece in, and a blower having a transport path for transporting the workpiece between the opening of the processing chamber and the processing area, an intake port for sucking in gas, and an exhaust port for blowing the gas sucked in from the intake port toward the processing area, a first chain curtain suspended from the upper end of the opening of the processing chamber, and a second chain curtain suspended from the upper end of the opening of the processing chamber, the second chain curtain being arranged to overlap with the first chain curtain and being shorter in length than the first chain curtain.

本態様によれば、処理室の開口部の上端部には、第1のチェーンカーテンと、第1のチェーンカーテンと重なるように配置された第2のチェーンカーテンとが吊り下げられている。これにより、被処理物は、処理室の開口部を通過する際に、第1のチェーンカーテンを左右方向及び後ろ方向に押し広げる。この時、左右方向及び後ろ方向に押し広げられた第1のチェーンカーテンに隙間が生じるが、この隙間は第2のチェーンカーテンにより閉塞されるようになる。そのため、処理室の内部の気体が上記隙間から処理室の外部に漏洩するのを抑制することができる。 According to this aspect, a first chain curtain and a second chain curtain arranged to overlap the first chain curtain are suspended from the upper end of the opening of the processing chamber. As a result, when the workpiece passes through the opening of the processing chamber, it spreads the first chain curtain in the left-right and rearward directions. At this time, gaps are created in the first chain curtain that is spread in the left-right and rearward directions, but these gaps are blocked by the second chain curtain. Therefore, it is possible to prevent gas inside the processing chamber from leaking out of the processing chamber through the gaps.

本発明の一態様に係る送風機は、被処理物に気体を吹き付けるための送風機であって、気体を吸い込む吸気口と、前記吸気口から吸い込んだ気体を吹き出す排気口と、前記吸気口と前記排気口とを連通するダクト流路が内部に形成され、前記吸気口と前記排気口との間で、前記ダクト流路の断面積を前記吸気口側から前記排気口側に向けて絞る絞り部を有するダクトと、前記ダクトの内部に配置され、前記絞り部と前記排気口との間における前記ダクト流路を格子状に仕切る仕切り板と、を備える。 The blower according to one aspect of the present invention is a blower for blowing gas onto a workpiece, and includes an intake port for sucking in gas, an exhaust port for blowing out the gas sucked in from the intake port, a duct having a duct passage formed therein that connects the intake port and the exhaust port, and a constriction section between the intake port and the exhaust port that narrows the cross-sectional area of the duct passage from the intake port side toward the exhaust port side, and a partition plate disposed inside the duct that divides the duct passage between the constriction section and the exhaust port into a lattice shape.

本態様によれば、ダクトには、吸気口と排気口との間で、ダクト流路の断面積を吸気口側から排気口側に向けて絞る絞り部が形成されているので、吸気口から吸い込まれた気体が絞り部の内部を通過した際に、気体の流速分布はほぼ均一となる。さらに、ダクトの内部には、絞り部と排気口との間におけるダクト流路を格子状に仕切る仕切り板が配置されているので、絞り部の内部を通過した気体は、ダクトの内部において仕切り板により形成された複数の分割流路の各々にほぼ均等に分配される。これにより、複数の分割流路の各々を流れる気体の流速はほぼ等しくなるため、排気口から吹き出される気体の流速分布はほぼ均一となる。その結果、排気口から吹き出された気体を被処理物の表面にほぼ均一に吹き付けることができる。 According to this aspect, the duct is formed with a constriction section between the intake port and the exhaust port that narrows the cross-sectional area of the duct flow path from the intake port side to the exhaust port side, so that when the gas sucked in from the intake port passes through the inside of the constriction section, the flow velocity distribution of the gas is almost uniform. Furthermore, a partition plate is arranged inside the duct to divide the duct flow path between the constriction section and the exhaust port in a lattice shape, so that the gas that passes through the inside of the constriction section is distributed almost evenly to each of the multiple divided flow paths formed by the partition plate inside the duct. As a result, the flow velocity of the gas flowing through each of the multiple divided flow paths becomes almost equal, so the flow velocity distribution of the gas blown out from the exhaust port is almost uniform. As a result, the gas blown out from the exhaust port can be blown almost evenly onto the surface of the workpiece.

以下、実施の形態について、図面を参照しながら具体的に説明する。 The following describes the embodiment in detail with reference to the drawings.

なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも包括的または具体的な例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、ステップ、ステップの順序などは、一例であり、特許請求の範囲を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。 The embodiments described below are all comprehensive or specific examples. The numerical values, shapes, materials, components, component placement and connection forms, steps, and order of steps shown in the following embodiments are merely examples and are not intended to limit the scope of the claims. Furthermore, among the components in the following embodiments, components that are not described in an independent claim that represents a superordinate concept are described as optional components.

また、各図は、必ずしも厳密に図示したものではない。各図において、実質的に同一の構成については同一の符号を付し、重複する説明は省略又は簡略化する。 The figures are not necessarily strict illustrations. In each figure, the same reference numerals are used for substantially the same configurations, and duplicate explanations are omitted or simplified.

(実施の形態)
以下、図1~図12を参照しながら、実施の形態について説明する。なお、図1~図12において、処理室6の幅方向をX軸、処理室6の奥行き方向(被加熱物4の搬送方向)をY軸、処理室6の高さ方向をZ軸とする。
(Embodiment)
Hereinafter, an embodiment will be described with reference to Fig. 1 to Fig. 12. In Fig. 1 to Fig. 12, the width direction of the processing chamber 6 is defined as the X-axis, the depth direction of the processing chamber 6 (the transport direction of the object 4 to be heated) is defined as the Y-axis, and the height direction of the processing chamber 6 is defined as the Z-axis.

[1.処理装置の全体構成]
まず、図1を参照しながら、実施の形態に係る処理装置2の全体構成について説明する。図1は、実施の形態に係る処理装置2の全体構成を示す断面図である。
[1. Overall configuration of the processing device]
First, the overall configuration of a processing apparatus 2 according to an embodiment will be described with reference to Fig. 1. Fig. 1 is a cross-sectional view showing the overall configuration of a processing apparatus 2 according to an embodiment.

処理装置2は、被加熱物4(被処理物の一例)に過熱水蒸気(気体の一例)を吹き付けることにより、被加熱物4に対して加熱処理(所定の処理の一例)を施すための加熱処理装置である。なお、過熱水蒸気とは、常圧で100℃の飽和水蒸気をさらに加熱することにより得られる、無色透明の気体(HOガス)を意味する。 The processing device 2 is a heat processing device for performing a heat treatment (an example of a predetermined treatment) on a heated object 4 (an example of an object to be processed) by spraying superheated steam (an example of a gas) onto the heated object 4. Note that superheated steam refers to a colorless and transparent gas (H 2 O gas) obtained by further heating saturated steam at 100° C. under normal pressure.

被加熱物4は、例えば常温の金属、又は、炭素繊維強化プラスチック(Carbon Fiber Reinforced Plastics)等の常温の樹脂で形成されている。被加熱物4の高さは、例えば数十cm程度である。処理装置2は、例えば被加熱物4を200℃~500℃程度まで加熱するための連続式の加熱処理装置として用いられる。 The object 4 is made of, for example, a room temperature metal or a room temperature resin such as carbon fiber reinforced plastics. The height of the object 4 is, for example, several tens of centimeters. The processing device 2 is used as a continuous heat processing device for heating the object 4 to, for example, about 200°C to 500°C.

図1に示すように、処理装置2は、処理室6と、過熱水蒸気発生部8と、ヒータ群10a,10bと、コンベア12と、送風機14と、ガイド部材16と、噴射機構18と、遮熱用チェーンカーテン20a,20bとを備えている。 As shown in FIG. 1, the processing device 2 includes a processing chamber 6, a superheated steam generating section 8, heater groups 10a and 10b, a conveyor 12, a blower 14, a guide member 16, an injection mechanism 18, and heat-shielding chain curtains 20a and 20b.

処理室6は、被加熱物4に対して加熱処理を施すための加熱炉である。処理室6は、ハウジング部27と、ガイド壁部28a,28bとを有している。ハウジング部27の内部には、被加熱物4に対して加熱処理を施すための処理領域26が配置されている。また、ハウジング部27の内部において、処理領域26の上方には、送風機14の排気口42(後述する)が対向して配置されている。 The processing chamber 6 is a heating furnace for performing a heat treatment on the object to be heated 4. The processing chamber 6 has a housing portion 27 and guide wall portions 28a, 28b. Inside the housing portion 27, a processing area 26 for performing a heat treatment on the object to be heated 4 is arranged. Also, inside the housing portion 27, an exhaust port 42 (described later) of the blower 14 is arranged above the processing area 26, facing it.

ガイド壁部28aは、ハウジング部27の奥行き方向における手前側(Y軸のマイナス側)に配置されている。ガイド壁部28aの端部には、被加熱物4を処理室6の内部に搬入するための搬入口22(開口部の一例)が形成されている。また、ガイド壁部28bは、ハウジング部27の奥行き方向における奥側(Y軸のプラス側)に配置されている。ガイド壁部28bの端部には、被加熱物4を処理室6の外部に搬出するための搬出口24(開口部の一例)が形成されている。 The guide wall portion 28a is disposed on the front side in the depth direction of the housing portion 27 (negative side of the Y axis). An inlet 22 (an example of an opening) for carrying the object to be heated 4 into the inside of the processing chamber 6 is formed at the end of the guide wall portion 28a. The guide wall portion 28b is disposed on the rear side in the depth direction of the housing portion 27 (positive side of the Y axis). An outlet 24 (an example of an opening) for carrying the object to be heated 4 out of the processing chamber 6 is formed at the end of the guide wall portion 28b.

過熱水蒸気発生部8は、過熱水蒸気を発生するためのものであり、例えば処理室6の外部に配置されている。過熱水蒸気発生部8は、ボイラ(図示せず)と、加熱部(図示せず)とを有している。ボイラは、飽和水蒸気を生成し、生成した飽和水蒸気を加熱部に供給する。なお、飽和水蒸気とは、常圧で100℃の水蒸気(無色透明の気体)を意味する。加熱部は、例えば電熱ヒータ又はガスバーナ等で構成されており、ボイラから供給されてきた飽和水蒸気を常圧で100℃以上に加熱することにより、過熱水蒸気を生成する。なお、過熱水蒸気の温度は、例えば常圧で200℃~500℃である。加熱部により生成された過熱水蒸気は、処理室6の内部に供給される。 The superheated steam generating unit 8 generates superheated steam and is disposed, for example, outside the processing chamber 6. The superheated steam generating unit 8 has a boiler (not shown) and a heating unit (not shown). The boiler generates saturated steam and supplies the generated saturated steam to the heating unit. Note that saturated steam means steam (colorless, transparent gas) at 100°C at normal pressure. The heating unit is, for example, composed of an electric heater or a gas burner, and generates superheated steam by heating the saturated steam supplied from the boiler to 100°C or higher at normal pressure. Note that the temperature of the superheated steam is, for example, 200°C to 500°C at normal pressure. The superheated steam generated by the heating unit is supplied to the inside of the processing chamber 6.

ヒータ群10a,10bの各々は、処理室6の内部を加熱するためのものであり、処理室6のハウジング部27の内部に配置されている。ヒータ群10a,10bはそれぞれ、複数の電熱ヒータ30a,30bを有している。複数の電熱ヒータ30a,30bの各々は、例えば直線状に形成されたシーズヒータで構成されている。図1に示すように、複数の電熱ヒータ30aは、送風機14をハウジング部27の奥行き方向(Y軸方向)から囲むように配置されている。複数の電熱ヒータ30aは、ハウジング部27の幅方向(X軸方向)に延びており、ハウジング部27の高さ方向(Z軸方向)に間隔を置いて配置されている。また、複数の電熱ヒータ30bは、送風機14をハウジング部27の幅方向から囲むように配置されている。なお、説明の都合上、図1では、送風機14よりも手前側(X軸のプラス側)に配置された複数の電熱ヒータ30bの図示を省略してある。複数の電熱ヒータ30bは、ハウジング部27の奥行き方向に延びており、ハウジング部27の高さ方向に間隔を置いて配置されている。複数の電熱ヒータ30a,30bの各々は、通電されることにより発熱し、処理室6の内部を例えば200℃~500℃に加熱する。 Each of the heater groups 10a and 10b is for heating the inside of the processing chamber 6 and is arranged inside the housing part 27 of the processing chamber 6. The heater groups 10a and 10b each have a plurality of electric heaters 30a and 30b. Each of the electric heaters 30a and 30b is composed of, for example, a sheath heater formed in a straight line. As shown in FIG. 1, the electric heaters 30a are arranged so as to surround the blower 14 from the depth direction (Y-axis direction) of the housing part 27. The electric heaters 30a extend in the width direction (X-axis direction) of the housing part 27 and are arranged at intervals in the height direction (Z-axis direction) of the housing part 27. The electric heaters 30b are also arranged so as to surround the blower 14 from the width direction of the housing part 27. For convenience of explanation, the electric heaters 30b arranged on the front side (positive side of the X-axis) of the blower 14 are omitted in FIG. 1. The electric heaters 30b extend in the depth direction of the housing part 27 and are spaced apart in the height direction of the housing part 27. Each of the electric heaters 30a, 30b generates heat when electricity is applied, heating the inside of the processing chamber 6 to, for example, 200°C to 500°C.

コンベア12は、被加熱物4を、処理室6の搬入口22から処理領域26を通過して搬出口24へ搬送するためのベルトコンベアである。コンベア12は、例えば通気性を有するメッシュコンベアで構成されている。処理室6の内部におけるコンベア12上には、コンベア12の長手方向(Y軸方向)に沿って、処理室6の搬入口22から処理領域26を経て搬出口24まで直線状に延びる搬送経路32が形成されている。 The conveyor 12 is a belt conveyor for transporting the object 4 to be heated from the entrance 22 of the processing chamber 6 through the processing area 26 to the exit 24. The conveyor 12 is composed of, for example, a mesh conveyor having breathability. A transport path 32 is formed on the conveyor 12 inside the processing chamber 6, extending linearly from the entrance 22 of the processing chamber 6 through the processing area 26 to the exit 24 along the longitudinal direction (Y-axis direction) of the conveyor 12.

送風機14は、過熱水蒸気発生部8から処理室6の内部に供給された過熱水蒸気を吸い込み、吸い込んだ過熱水蒸気を処理領域26に向けて下方に吹き出すための送風ファンである。送風機14は、処理室6のハウジング部27の内部において、処理領域26の上方に配置されている。 The blower 14 is a blower fan that draws in superheated steam supplied from the superheated steam generating unit 8 to the inside of the processing chamber 6 and blows the drawn in superheated steam downward toward the processing area 26. The blower 14 is disposed above the processing area 26 inside the housing portion 27 of the processing chamber 6.

被加熱物4がコンベア12により処理室6の搬入口22から処理領域26まで搬送されてきた際に、送風機14は、処理領域26上の被加熱物4に過熱水蒸気を吹き付ける。これにより、被加熱物4は、過熱水蒸気の熱によって例えば200℃~500℃程度まで加熱される。この時、被加熱物4を比較的短時間(例えば数秒~3分程度)で加熱するためには、送風機14から吹き出される過熱水蒸気の平均流速は10m/秒以上が好ましく、20m/秒以上がより好ましい。 When the object 4 to be heated is transported by the conveyor 12 from the entrance 22 of the processing chamber 6 to the processing area 26, the blower 14 blows superheated steam onto the object 4 to be heated in the processing area 26. As a result, the object 4 to be heated is heated to, for example, about 200°C to 500°C by the heat of the superheated steam. At this time, in order to heat the object 4 to be heated in a relatively short time (for example, about several seconds to about 3 minutes), the average flow velocity of the superheated steam blown out from the blower 14 is preferably 10 m/s or more, and more preferably 20 m/s or more.

なお、送風機14から吹き出された過熱水蒸気は、ヒータ群10a,10bにより加熱された後に送風機14に再度吸い込まれる。これにより、過熱水蒸気は、送風機14によって処理室6の内部を循環するようになる。 The superheated steam blown out from the blower 14 is heated by the heater groups 10a and 10b and then sucked back into the blower 14. This causes the superheated steam to circulate inside the treatment chamber 6 by the blower 14.

ガイド部材16は、送風機14の排気口42から下方に吹き出された過熱水蒸気を、搬送経路32に沿った方向(Y軸方向)と交差する2方向(X軸のプラス側及びマイナス側)に分流しながら送風機14の吸気口36(後述する)に向けて上方に導くための部材である。ガイド部材16は、処理室6のハウジング部27の内部に配置されている。 The guide member 16 is a member for guiding the superheated steam blown downward from the exhaust port 42 of the blower 14 upward toward the intake port 36 (described later) of the blower 14 while dividing the superheated steam into two directions (the positive and negative sides of the X-axis) that intersect with the direction along the transport path 32 (the Y-axis direction). The guide member 16 is disposed inside the housing portion 27 of the processing chamber 6.

噴射機構18は、有圧過熱水蒸気(有圧気体の一例)を処理領域26に向けて噴射するための機構であり、処理室6の内部に配置されている。なお、有圧過熱水蒸気とは、常圧の過熱水蒸気を膨張加圧することにより得られる無色透明の気体(HOガス)、すなわち圧送された過熱水蒸気を意味する。 The injection mechanism 18 is a mechanism for injecting pressurized superheated steam (an example of pressurized gas) toward the processing region 26, and is disposed inside the processing chamber 6. Note that the pressurized superheated steam refers to a colorless and transparent gas (H 2 O gas) obtained by expanding and pressurizing superheated steam at normal pressure, i.e., pressurized superheated steam.

遮熱用チェーンカーテン20a,20bはそれぞれ、処理室6の搬入口22及び搬出口24から漏洩する過熱水蒸気の熱を遮蔽するためのものである。遮熱用チェーンカーテン20a,20bはそれぞれ、処理室6の搬入口22及び搬出口24に配置されている。 The heat-shielding chain curtains 20a and 20b are intended to shield the heat of superheated steam leaking from the inlet 22 and outlet 24 of the processing chamber 6, respectively. The heat-shielding chain curtains 20a and 20b are arranged at the inlet 22 and outlet 24 of the processing chamber 6, respectively.

以下、実施の形態に係る処理装置2の上記各構成要素のうち、特徴的なものについて詳細に説明する。 The following describes in detail the distinctive components of the processing device 2 according to the embodiment.

[2.送風機の構成]
図2~図4を参照しながら、送風機14の構成について説明する。図2は、実施の形態に係る処理装置2におけるコンベア12、送風機14、ガイド部材16及び噴射機構18を抜き出して示す斜視図である。図3は、図2のIII-III線断面図である。図4は、図3のIV-IV線断面図である。なお、説明の都合上、図3では、噴射機構18の図示を省略してある。
2. Configuration of the Blower
The configuration of the blower 14 will be described with reference to Figures 2 to 4. Figure 2 is a perspective view showing the conveyor 12, the blower 14, the guide member 16, and the injection mechanism 18 in the processing device 2 according to the embodiment. Figure 3 is a cross-sectional view taken along line III-III in Figure 2. Figure 4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV in Figure 3. For ease of explanation, the injection mechanism 18 is omitted from Figure 3.

図2及び図3に示すように、送風機14は、ダクト34と、吸気口36と、シロッコファン38と、モータ40と、排気口42とを有している。 As shown in Figures 2 and 3, the blower 14 has a duct 34, an intake port 36, a sirocco fan 38, a motor 40, and an exhaust port 42.

ダクト34は、吸気部44と、絞り部46と、排気部48とを有している。ダクト34の内部には、吸気口36と排気口42とを連通するダクト流路50が形成されている。 The duct 34 has an intake section 44, a constriction section 46, and an exhaust section 48. Inside the duct 34, a duct flow path 50 is formed that connects the intake port 36 and the exhaust port 42.

吸気部44は中空状の略円柱状に形成され、吸気部44の内部にはシロッコファン38が配置されている。吸気部44の一方の側面には、シロッコファン38と連通する吸気口36が形成されている。吸気部44の他方の側面には、シロッコファン38を駆動するためのモータ40が支持されている。シロッコファン38が回転することにより、処理室6の内部の過熱水蒸気が吸気口36から吸気部44の内部に吸い込まれる。 The intake section 44 is formed in a hollow, roughly cylindrical shape, and a sirocco fan 38 is disposed inside the intake section 44. An intake port 36 that communicates with the sirocco fan 38 is formed on one side of the intake section 44. A motor 40 for driving the sirocco fan 38 is supported on the other side of the intake section 44. As the sirocco fan 38 rotates, superheated steam inside the processing chamber 6 is sucked into the intake section 44 through the intake port 36.

絞り部46は、吸気部44と排気部48との間に形成された、中空状のくびれ部分である。図2及び図3に示すように、この絞り部46では、ダクト流路50の断面積(XY平面における断面積)が吸気口36側から排気口42側に向けて絞られている。すなわち、ダクト流路50の断面積は、吸気部44から絞り部46にかけて縮小した後に一定となり、排気部48で拡大する。 The constriction section 46 is a hollow, constricted portion formed between the intake section 44 and the exhaust section 48. As shown in Figures 2 and 3, in this constriction section 46, the cross-sectional area (cross-sectional area in the XY plane) of the duct flow path 50 is constricted from the intake port 36 side toward the exhaust port 42 side. In other words, the cross-sectional area of the duct flow path 50 decreases from the intake section 44 to the constriction section 46, then becomes constant, and then increases at the exhaust section 48.

排気部48は、絞り部46から吸気部44と反対方向に延び、中空状のブーツ状に形成されている。排気部48の下端面には、吸気口36から吸い込まれた過熱水蒸気を吹き出すための排気口42が形成されている。図2及び図3に示すように、排気口42は、処理領域26の上方に対向して配置されている。この排気部48では、絞り部46から排気口42に向かう方向に、ダクト流路50の断面積が拡大している。 The exhaust section 48 extends from the narrowing section 46 in the opposite direction to the intake section 44, and is formed in a hollow boot shape. An exhaust port 42 is formed on the lower end surface of the exhaust section 48 for blowing out the superheated steam sucked in from the intake port 36. As shown in Figures 2 and 3, the exhaust port 42 is disposed facing the upper part of the processing area 26. In this exhaust section 48, the cross-sectional area of the duct flow path 50 expands in the direction from the narrowing section 46 toward the exhaust port 42.

また、図3及び図4に示すように、排気部48の内部には、仕切り板52が配置されている。仕切り板52は、複数の板状部材が格子状に組み合わされることにより構成されている。図4に示すように、絞り部46と排気口42との間におけるダクト流路50は、XY平面視において仕切り板52により格子状に仕切られている。すなわち、絞り部46と排気口42との間におけるダクト流路50は、XY平面視において、仕切り板52によりほぼ等しい大きさの複数の分割流路54に分割される。なお、本実施の形態では、XY平面視における複数の分割流路54の各断面形状を矩形状に形成したが、これに限定されず、例えば多角形状、円形状又は楕円形状等に形成してもよい。 As shown in Figs. 3 and 4, a partition plate 52 is disposed inside the exhaust section 48. The partition plate 52 is configured by combining a plurality of plate-shaped members in a lattice shape. As shown in Fig. 4, the duct flow path 50 between the narrowing section 46 and the exhaust port 42 is partitioned in a lattice shape by the partition plate 52 in the XY plane view. That is, the duct flow path 50 between the narrowing section 46 and the exhaust port 42 is divided into a plurality of divided flow paths 54 of approximately equal size in the XY plane view by the partition plate 52. In this embodiment, the cross-sectional shape of each of the plurality of divided flow paths 54 in the XY plane view is formed into a rectangular shape, but is not limited thereto, and may be formed into a polygonal shape, a circular shape, an elliptical shape, or the like.

図3に示すように、吸気口36から吸い込まれた過熱水蒸気は、吸気部44の内部から絞り部46の内部を通過して排気部48の内部へと流れる。この時、絞り部46では、ダクト流路50の断面積が吸気口36側から排気口42側に向けて絞られているので、過熱水蒸気が絞り部46の内部を通過した際に、過熱水蒸気の流速分布はほぼ均一となる。さらに、絞り部46の内部を通過した過熱水蒸気は、排気部48の内部において仕切り板52により形成された複数の分割流路54の各々にほぼ均等に分配される。これにより、複数の分割流路54の各々を流れる過熱水蒸気の流速はほぼ等しくなるため、排気口42から吹き出される過熱水蒸気の流速分布はほぼ均一となる。その結果、排気口42から吹き出された過熱水蒸気は被加熱物4の表面にほぼ均一に吹き付けられるので、被加熱物4をムラなくほぼ均一に加熱することができる。 As shown in FIG. 3, the superheated steam sucked in from the intake port 36 flows from the inside of the intake section 44 through the inside of the throttling section 46 to the inside of the exhaust section 48. At this time, in the throttling section 46, the cross-sectional area of the duct flow path 50 is narrowed from the intake port 36 side toward the exhaust port 42 side, so that when the superheated steam passes through the inside of the throttling section 46, the flow velocity distribution of the superheated steam becomes almost uniform. Furthermore, the superheated steam that has passed through the inside of the throttling section 46 is distributed almost evenly to each of the multiple divided flow paths 54 formed by the partition plate 52 inside the exhaust section 48. As a result, the flow velocity of the superheated steam flowing through each of the multiple divided flow paths 54 becomes almost equal, so that the flow velocity distribution of the superheated steam blown out from the exhaust port 42 becomes almost uniform. As a result, the superheated steam blown out from the exhaust port 42 is blown almost uniformly onto the surface of the heated object 4, so that the heated object 4 can be heated almost uniformly without unevenness.

[3.ガイド部材の構成]
図2、図3、図5及び図6を参照しながら、ガイド部材16の構成について説明する。図5は、実施の形態に係る処理装置2におけるガイド部材16を抜き出して示す斜視図である。図6は、図2のVI-VI線断面図である。なお、説明の都合上、図6では、ダクト34の排気部48を一点鎖線で簡略化して図示してある。
[3. Configuration of guide member]
The configuration of the guide member 16 will be described with reference to Figures 2, 3, 5, and 6. Figure 5 is a perspective view showing the guide member 16 in the processing device 2 according to the embodiment. Figure 6 is a cross-sectional view taken along line VI-VI in Figure 2. For ease of explanation, the exhaust section 48 of the duct 34 is simplified and shown by a dashed line in Figure 6.

図5に示すように、ガイド部材16は、分流部56と、第1のガイド部58と、第2のガイド部60とを有している。ガイド部材16の内面(処理領域26に対向する側の面)には、搬送経路32に沿った方向(Y軸方向)に並んで配置された複数の隔壁部61が形成されている。複数の隔壁部61の各々は、例えばXZ側面視で略W字状に形成されている。 As shown in FIG. 5, the guide member 16 has a flow dividing section 56, a first guide section 58, and a second guide section 60. A plurality of partition sections 61 are formed on the inner surface of the guide member 16 (the surface facing the processing region 26) and are arranged side by side in the direction along the transport path 32 (Y-axis direction). Each of the plurality of partition sections 61 is formed, for example, in a substantially W-shape when viewed from the XZ side.

図2及び図3に示すように、分流部56は、処理領域26に対して送風機14の排気口42と反対側に配置されている。すなわち、分流部56は、処理領域26の下方に対向して配置されている。図5に示すように、分流部56の内面(処理領域26に対向する側の面)には、溝状の複数の分流路62(複数の流路の一例)が形成されている。複数の分流路62の各々は、分流部56における複数の隔壁部61の隣り合う一対の隔壁部61の間に形成されている。すなわち、複数の分流路62の各々は、複数の隔壁部61により、搬送経路32に沿った方向に仕切られている。複数の分流路62は、搬送経路32に沿った方向に並んで配置されている。また、複数の分流路62の各々は、送風機14の排気口42に向けて凸状に形成されている。これにより、複数の分流路62の各々は、その頂部から、搬送経路32に沿った方向と交差する第1の方向(X軸のプラス側)に斜め下方に延びるとともに、第1の方向と反対方向である第2の方向(X軸のマイナス側)に斜め下方に延びている。 2 and 3, the diverter 56 is disposed on the opposite side of the processing area 26 from the exhaust port 42 of the blower 14. That is, the diverter 56 is disposed facing the lower side of the processing area 26. As shown in FIG. 5, a plurality of groove-shaped diverter channels 62 (one example of a plurality of channels) are formed on the inner surface (the surface facing the processing area 26) of the diverter 56. Each of the plurality of diverter channels 62 is formed between a pair of adjacent partition walls 61 of the plurality of partition walls 61 in the diverter 56. That is, each of the plurality of diverter channels 62 is partitioned in the direction along the conveying path 32 by the plurality of partition walls 61. The plurality of diverter channels 62 are arranged side by side in the direction along the conveying path 32. In addition, each of the plurality of diverter channels 62 is formed in a convex shape toward the exhaust port 42 of the blower 14. As a result, each of the multiple branch paths 62 extends diagonally downward from its apex in a first direction (the positive side of the X-axis) that intersects with the direction along the transport path 32, and also extends diagonally downward in a second direction (the negative side of the X-axis) that is opposite to the first direction.

図2及び図3に示すように、第1のガイド部58は、分流部56の一方の端部から送風機14の吸気口36に向けて上方に延びている。図5に示すように、第1のガイド部58の内面(処理領域26に対向する側の面)には、溝状の複数の第1のガイド流路64(複数の流路の一例)が形成されている。複数の第1のガイド流路64の各々は、第1のガイド部58における複数の隔壁部61の隣り合う一対の隔壁部61の間に形成されている。すなわち、複数の第1のガイド流路64の各々は、複数の隔壁部61により、搬送経路32に沿った方向に仕切られている。複数の第1のガイド流路64は、搬送経路32に沿った方向に並んで配置されている。また、複数の第1のガイド流路64はそれぞれ、分流部56に形成された複数の分流路62と連通されるとともに、送風機14の吸気口36に向けて上方に直線状に延びている。なお、複数の第1のガイド流路64の各端部(分流路62と反対側の端部)は、開口されている。 2 and 3, the first guide section 58 extends upward from one end of the flow dividing section 56 toward the intake port 36 of the blower 14. As shown in FIG. 5, a plurality of groove-shaped first guide channels 64 (an example of a plurality of channels) are formed on the inner surface (the surface facing the processing area 26) of the first guide section 58. Each of the plurality of first guide channels 64 is formed between a pair of adjacent partition walls 61 of the plurality of partition walls 61 in the first guide section 58. That is, each of the plurality of first guide channels 64 is partitioned in the direction along the conveying path 32 by the plurality of partition walls 61. The plurality of first guide channels 64 are arranged in a line in the direction along the conveying path 32. In addition, each of the plurality of first guide channels 64 is connected to the plurality of branch channels 62 formed in the flow dividing section 56 and extends upward in a straight line toward the intake port 36 of the blower 14. Each end of the multiple first guide channels 64 (the end opposite the branch channel 62) is open.

図2及び図3に示すように、第2のガイド部60は、分流部56の他方の端部から送風機14の吸気口36に向けて上方に延びており、第1のガイド部58に対向して配置されている。図5に示すように、第2のガイド部60の内面(処理領域26に対向する側の面)には、溝状の複数の第2のガイド流路66(複数の流路の一例)が形成されている。複数の第2のガイド流路66の各々は、第2のガイド部60における複数の隔壁部61の隣り合う一対の隔壁部61の間に形成されている。すなわち、複数の第2のガイド流路66の各々は、複数の隔壁部61により、搬送経路32に沿った方向に仕切られている。複数の第2のガイド流路66は、搬送経路32に沿った方向に並んで配置されている。また、複数の第2のガイド流路66はそれぞれ、分流部56に形成された複数の分流路62と連通されるとともに、送風機14の吸気口36に向けて上方に直線状に延びている。なお、複数の第2のガイド流路66の各端部(分流路62と反対側の端部)は、開口されている。 2 and 3, the second guide section 60 extends upward from the other end of the diverter section 56 toward the intake port 36 of the blower 14, and is disposed opposite the first guide section 58. As shown in FIG. 5, a plurality of groove-shaped second guide channels 66 (an example of a plurality of channels) are formed on the inner surface (the surface facing the processing area 26) of the second guide section 60. Each of the plurality of second guide channels 66 is formed between a pair of adjacent partition walls 61 of the plurality of partition walls 61 in the second guide section 60. That is, each of the plurality of second guide channels 66 is partitioned in the direction along the conveying path 32 by the plurality of partition walls 61. The plurality of second guide channels 66 are arranged in a line in the direction along the conveying path 32. In addition, each of the plurality of second guide channels 66 is connected to the plurality of diverter channels 62 formed in the diverter section 56, and extends upward in a straight line toward the intake port 36 of the blower 14. In addition, each end of the multiple second guide channels 66 (the end opposite the branch channel 62) is open.

図3に示すように、送風機14の排気口42から下方に吹き出された過熱水蒸気は、コンベア12を通過して下方へと流れる。この時、図3及び図6に示すように、下方へと流れる過熱水蒸気は、分流部56の複数の分流路62により、第1の方向及び第2の方向に分流される。複数の分流路62により第1の方向に分流された過熱水蒸気は、複数の第1のガイド流路64に沿って上方に流れ、送風機14の吸気口36に導かれる。また、複数の分流路62により第2の方向に分流された過熱水蒸気は、複数の第2のガイド流路66に沿って上方に流れ、送風機14の吸気口36に導かれる。 As shown in FIG. 3, the superheated steam blown downward from the exhaust port 42 of the blower 14 passes through the conveyor 12 and flows downward. At this time, as shown in FIG. 3 and FIG. 6, the superheated steam flowing downward is diverted into a first direction and a second direction by the multiple diverting channels 62 of the diverting section 56. The superheated steam diverted into the first direction by the multiple diverting channels 62 flows upward along the multiple first guide channels 64 and is guided to the intake port 36 of the blower 14. The superheated steam diverted into the second direction by the multiple diverting channels 62 flows upward along the multiple second guide channels 66 and is guided to the intake port 36 of the blower 14.

この時、複数の分流路62、複数の第1のガイド流路64及び複数の第2のガイド流路66の各々は、複数の隔壁部61により搬送経路32に沿った方向に仕切られているので、送風機14の排気口42から吹き出された過熱水蒸気が搬送経路32に沿った方向に広がりながら流れるのを抑制することができ、送風機14の排気口42から吹き出された過熱水蒸気を、送風機14の吸気口36に効率良く導くことができる。その結果、送風機14の排気口42から吹き出された過熱水蒸気が、処理室6の搬入口22及び搬出口24から処理室6の外部に漏洩するのを抑制することができる。 At this time, each of the multiple branch paths 62, the multiple first guide paths 64, and the multiple second guide paths 66 is partitioned in the direction along the transport path 32 by multiple partitions 61, so that the superheated steam blown out from the exhaust port 42 of the blower 14 can be prevented from spreading and flowing in the direction along the transport path 32, and the superheated steam blown out from the exhaust port 42 of the blower 14 can be efficiently guided to the intake port 36 of the blower 14. As a result, the superheated steam blown out from the exhaust port 42 of the blower 14 can be prevented from leaking out of the processing chamber 6 from the inlet 22 and outlet 24 of the processing chamber 6.

[4.噴射機構の構成]
図2、図6及び図7を参照しながら、噴射機構18の構成について説明する。図7は、実施の形態に係る処理装置2における噴射機構18及びガイド壁部28a,28bを拡大して示す斜視図である。なお、説明の都合上、図7では、ガイド部材16及び遮熱用チェーンカーテン20a,20b等の図示を省略してある。
[4. Configuration of the injection mechanism]
The configuration of the spray mechanism 18 will be described with reference to Figures 2, 6, and 7. Figure 7 is an enlarged perspective view of the spray mechanism 18 and guide walls 28a, 28b in the processing apparatus 2 according to the embodiment. For convenience of explanation, the guide member 16 and the heat-shielding chain curtains 20a, 20b are omitted in Figure 7.

図2及び図6に示すように、噴射機構18は、第1の有圧過熱水蒸気供給源68(有圧気体供給源の一例)と、第1の接続管70と、複数の第1のノズル72(ノズルの一例)と、第2の有圧過熱水蒸気供給源74(有圧気体供給源の一例)と、第2の接続管76と、複数の第2のノズル78(ノズルの一例)とを有している。 As shown in Figures 2 and 6, the injection mechanism 18 has a first pressurized superheated steam supply source 68 (an example of a pressurized gas supply source), a first connecting pipe 70, a plurality of first nozzles 72 (an example of a nozzle), a second pressurized superheated steam supply source 74 (an example of a pressurized gas supply source), a second connecting pipe 76, and a plurality of second nozzles 78 (an example of a nozzle).

第1の有圧過熱水蒸気供給源68は、有圧過熱水蒸気を供給するためのものであり、ガイド部材16の第1のガイド部58の外面に対向して配置されている。 The first pressurized superheated steam supply source 68 is for supplying pressurized superheated steam and is disposed opposite the outer surface of the first guide portion 58 of the guide member 16.

第1の接続管70は、第1の有圧過熱水蒸気供給源68と複数の第1のノズル72の各々とを連通するための接続管であり、略L字状に形成されている。 The first connecting pipe 70 is a connecting pipe for communicating between the first pressurized superheated steam supply source 68 and each of the multiple first nozzles 72, and is formed in a roughly L-shape.

複数の第1のノズル72の各々は、第1の有圧過熱水蒸気供給源68からの有圧過熱水蒸気を処理領域26に向けて噴射するためのノズルであり、直線状に延びている。複数の第1のノズル72は、送風機14の排気口42と処理室6の搬入口22との間において、搬送経路32の上方に対向して配置されている。また、複数の第1のノズル72は、搬送経路32に沿った方向に並んで配置されている。なお、複数の第1のノズル72の各々からの有圧過熱水蒸気の噴射方向は、例えば搬送経路32に沿った方向に対して斜め下方である。 Each of the multiple first nozzles 72 is a nozzle for spraying pressurized superheated steam from the first pressurized superheated steam supply source 68 toward the processing area 26, and extends in a straight line. The multiple first nozzles 72 are arranged facing each other above the transport path 32, between the exhaust port 42 of the blower 14 and the entrance 22 of the processing chamber 6. The multiple first nozzles 72 are also arranged side by side in a direction along the transport path 32. The direction in which the pressurized superheated steam is sprayed from each of the multiple first nozzles 72 is, for example, diagonally downward with respect to the direction along the transport path 32.

第2の有圧過熱水蒸気供給源74は、有圧過熱水蒸気を供給するためのものであり、ガイド部材16の第2のガイド部60の外面に対向して配置されている。 The second pressurized superheated steam supply source 74 is for supplying pressurized superheated steam and is disposed opposite the outer surface of the second guide portion 60 of the guide member 16.

第2の接続管76は、第2の有圧過熱水蒸気供給源74と複数の第2のノズル78の各々とを連通するための接続管であり、略L字状に形成されている。 The second connection pipe 76 is a connection pipe for communicating between the second pressurized superheated steam supply source 74 and each of the multiple second nozzles 78, and is formed in a roughly L-shape.

複数の第2のノズル78の各々は、第2の有圧過熱水蒸気供給源74からの有圧過熱水蒸気を処理領域26に向けて噴射するためのノズルであり、直線状に延びている。複数の第2のノズル78は、送風機14の排気口42と処理室6の搬出口24との間において、搬送経路32の上方に対向して配置されている。また、複数の第2のノズル78は、搬送経路32に沿った方向に並んで配置されている。なお、複数の第2のノズル78の各々からの有圧過熱水蒸気の噴射方向は、例えば搬送経路32に沿った方向に対して斜め下方である。 Each of the multiple second nozzles 78 is a nozzle for spraying pressurized superheated steam from the second pressurized superheated steam supply source 74 toward the processing area 26, and extends in a straight line. The multiple second nozzles 78 are arranged facing each other above the transport path 32 between the exhaust port 42 of the blower 14 and the discharge port 24 of the processing chamber 6. The multiple second nozzles 78 are also arranged side by side in a direction along the transport path 32. The direction in which the pressurized superheated steam is sprayed from each of the multiple second nozzles 78 is, for example, diagonally downward with respect to the direction along the transport path 32.

図7に示すように、送風機14の排気口42から下方に吹き出された過熱水蒸気は、被加熱物4又はコンベア12に衝突して、略水平方向に放射状に広がりながら流れるようになる。この時、複数の第1のノズル72及び複数の第2のノズル78は、互いに反対方向から有圧過熱水蒸気を処理領域26に向けて斜め下方に噴射する。これにより、送風機14の排気口42と処理室6の搬入口22との間には、複数の第1のノズル72から噴射された有圧過熱水蒸気によるエアーカーテンが形成される。また、送風機14の排気口42と処理室6の搬出口24との間には、複数の第2のノズル78から噴射された有圧過熱水蒸気によるエアーカーテンが形成される。これにより、送風機14の排気口42から吹き出された過熱水蒸気が、処理室6の搬入口22及び搬出口24に向けて流れるのを抑制することができる。 As shown in FIG. 7, the superheated steam blown downward from the exhaust port 42 of the blower 14 collides with the object to be heated 4 or the conveyor 12 and flows while spreading radially in an approximately horizontal direction. At this time, the first nozzles 72 and the second nozzles 78 spray the pressurized superheated steam obliquely downward toward the processing area 26 from opposite directions. As a result, an air curtain is formed by the pressurized superheated steam sprayed from the first nozzles 72 between the exhaust port 42 of the blower 14 and the inlet 22 of the processing chamber 6. In addition, an air curtain is formed by the pressurized superheated steam sprayed from the second nozzles 78 between the exhaust port 42 of the blower 14 and the outlet 24 of the processing chamber 6. As a result, the superheated steam blown from the exhaust port 42 of the blower 14 can be prevented from flowing toward the inlet 22 and outlet 24 of the processing chamber 6.

さらに、複数の第1のノズル72及び複数の第2のノズル78から噴射された有圧過熱水蒸気の圧力によって、処理室6の内部の圧力が正圧に保持される。これにより、外気が処理室6の搬入口22及び搬出口24から処理室6の内部に流入するのを抑制することができる。 Furthermore, the pressure inside the processing chamber 6 is maintained at a positive pressure by the pressure of the pressurized superheated steam sprayed from the first nozzles 72 and the second nozzles 78. This makes it possible to prevent outside air from flowing into the processing chamber 6 from the inlet 22 and outlet 24 of the processing chamber 6.

[5.ガイド壁部の構成]
図7、図8A及び図8Bを参照しながら、ガイド壁部28a,28bの構成について説明する。図8Aは、実施の形態に係る処理装置2におけるガイド壁部28aに形成された複数の突部90を拡大して示す斜視図である。図8Bは、実施の形態に係る処理装置2におけるガイド壁部28bに形成された複数の突部102を拡大して示す斜視図である。
[5. Configuration of the guide wall portion]
The configuration of the guide walls 28a, 28b will be described with reference to Figures 7, 8A, and 8B. Figure 8A is an enlarged perspective view of a plurality of protrusions 90 formed on the guide wall 28a in the processing device 2 according to the embodiment. Figure 8B is an enlarged perspective view of a plurality of protrusions 102 formed on the guide wall 28b in the processing device 2 according to the embodiment.

図7に示すように、ガイド壁部28aは、送風機14の排気口42と処理室6の搬入口22との間において、搬送経路32の上方に対向して配置されている。ガイド壁部28aは、水平壁部80と、垂直壁部82と、水平壁部84と、垂直壁部86とを有している。 As shown in FIG. 7, the guide wall portion 28a is disposed facing the upper portion of the transport path 32 between the exhaust port 42 of the blower 14 and the entrance 22 of the processing chamber 6. The guide wall portion 28a has a horizontal wall portion 80, a vertical wall portion 82, a horizontal wall portion 84, and a vertical wall portion 86.

水平壁部80は、ハウジング部27(図1参照)の奥行き方向における手前側(Y軸のマイナス側)から略水平方向に延びて配置されている。垂直壁部82は、水平壁部80の端部から鉛直上方に延びて配置されている。水平壁部84は、垂直壁部82の上端部から略水平方向に延びて配置されている。垂直壁部86は、水平壁部84の端部から鉛直下方に延び、垂直壁部82に対向して配置されている。 The horizontal wall portion 80 is arranged to extend in a substantially horizontal direction from the front side (negative side of the Y axis) in the depth direction of the housing portion 27 (see FIG. 1). The vertical wall portion 82 is arranged to extend vertically upward from the end of the horizontal wall portion 80. The horizontal wall portion 84 is arranged to extend in a substantially horizontal direction from the upper end of the vertical wall portion 82. The vertical wall portion 86 is arranged to extend vertically downward from the end of the horizontal wall portion 84 and faces the vertical wall portion 82.

垂直壁部82、水平壁部84及び垂直壁部86の各内面には、送風機14から吹き出された過熱水蒸気を搬入口22に向かう方向(所定の方向の一例)に導くためのガイド面88が形成されている。ガイド面88は、搬送経路32から離れる方向に凹状に形成されている。 A guide surface 88 is formed on the inner surface of each of the vertical wall portion 82, the horizontal wall portion 84, and the vertical wall portion 86 to guide the superheated steam blown out from the blower 14 in a direction toward the entrance 22 (an example of a predetermined direction). The guide surface 88 is formed concavely in a direction away from the conveying path 32.

図8Aに示すように、ガイド面88の上流側端部、すなわち、水平壁部80と垂直壁部82との境界部分(角部分)には、鉛直下方に延びる複数の突部90が形成されている。複数の突部90は、搬送経路32に沿った方向と直交する方向(X軸方向)に間隔を置いて配置されている。複数の突部90は、送風機14の排気口42から吹き出されてガイド面88に誘い込まれる過熱水蒸気に乱流を生じさせる、いわゆるボルテックスジェネレータとして機能する。 As shown in FIG. 8A, the upstream end of the guide surface 88, i.e., the boundary (corner) between the horizontal wall portion 80 and the vertical wall portion 82, has multiple protrusions 90 extending vertically downward. The multiple protrusions 90 are spaced apart in a direction (X-axis direction) perpendicular to the direction along the conveying path 32. The multiple protrusions 90 function as so-called vortex generators that generate turbulence in the superheated steam blown out of the exhaust port 42 of the blower 14 and drawn into the guide surface 88.

図7に示すように、ガイド壁部28bは、送風機14の排気口42と処理室6の搬出口24との間において、搬送経路32の上方に対向して配置されている。ガイド壁部28bは、水平壁部92と、垂直壁部94と、水平壁部96と、垂直壁部98とを有している。 As shown in FIG. 7, the guide wall portion 28b is disposed facing the upper portion of the transport path 32 between the exhaust port 42 of the blower 14 and the discharge port 24 of the processing chamber 6. The guide wall portion 28b has a horizontal wall portion 92, a vertical wall portion 94, a horizontal wall portion 96, and a vertical wall portion 98.

水平壁部92は、ハウジング部27の奥行き方向における奥側(Y軸のプラス側)から略水平方向に延びて配置されている。垂直壁部94は、水平壁部92の端部から鉛直上方に延びて配置されている。水平壁部96は、垂直壁部94の上端部から略水平方向に延びて配置されている。垂直壁部98は、水平壁部96の端部から鉛直下方に延び、垂直壁部94に対向して配置されている。 The horizontal wall portion 92 is arranged to extend in a substantially horizontal direction from the rear side in the depth direction of the housing portion 27 (the positive side of the Y axis). The vertical wall portion 94 is arranged to extend vertically upward from the end of the horizontal wall portion 92. The horizontal wall portion 96 is arranged to extend in a substantially horizontal direction from the upper end of the vertical wall portion 94. The vertical wall portion 98 is arranged to extend vertically downward from the end of the horizontal wall portion 96 and faces the vertical wall portion 94.

垂直壁部94、水平壁部96及び垂直壁部98の各内面には、送風機14から吹き出された過熱水蒸気を搬出口24に向かう方向(所定の方向の一例)に導くためのガイド面100が形成されている。ガイド面100は、搬送経路32から離れる方向に凹状に形成されている。 A guide surface 100 is formed on the inner surface of each of the vertical wall portion 94, the horizontal wall portion 96, and the vertical wall portion 98 to guide the superheated steam blown out from the blower 14 in a direction toward the discharge port 24 (an example of a predetermined direction). The guide surface 100 is formed concavely in a direction away from the conveying path 32.

図8Bに示すように、ガイド面100の上流側端部、すなわち、水平壁部92と垂直壁部94との境界部分(角部分)には、鉛直下方に延びる複数の突部102が形成されている。複数の突部102は、搬送経路32に沿った方向と直交する方向に間隔を置いて配置されている。複数の突部102は、送風機14の排気口42から吹き出されてガイド面100に誘い込まれる過熱水蒸気に乱流を生じさせる、いわゆるボルテックスジェネレータとして機能する。 As shown in FIG. 8B, the upstream end of the guide surface 100, i.e., the boundary (corner) between the horizontal wall portion 92 and the vertical wall portion 94, has a plurality of protrusions 102 extending vertically downward. The protrusions 102 are spaced apart in a direction perpendicular to the direction along the conveying path 32. The protrusions 102 function as so-called vortex generators that generate turbulence in the superheated steam that is blown out of the exhaust port 42 of the blower 14 and drawn into the guide surface 100.

上述した通り、図7に示すように、送風機14の排気口42から下方に吹き出された過熱水蒸気は、被加熱物4又はコンベア12に衝突して、略水平方向に放射状に広がりながら流れるようになる。この時、略水平方向に流れる過熱水蒸気の一部は、噴射機構18により形成された有圧過熱水蒸気によるエアーカーテンをくぐり抜けて、処理室6の搬入口22及び搬出口24に向けて流れるようになる。 As described above, as shown in FIG. 7, the superheated steam blown downward from the exhaust port 42 of the blower 14 collides with the object to be heated 4 or the conveyor 12 and flows while spreading radially in a substantially horizontal direction. At this time, a portion of the superheated steam flowing in a substantially horizontal direction passes through the air curtain of pressurized superheated steam formed by the injection mechanism 18 and flows toward the inlet 22 and outlet 24 of the processing chamber 6.

図8Aに示すように、処理室6の搬入口22に向けて流れる過熱水蒸気は、複数の突部90のうち隣り合う一対の突部90の間の隙間104を流れるようになる。この時、複数の隙間104の各々には、過熱水蒸気による小さな渦が発生する。これにより、処理室6の搬入口22に向けて流れる過熱水蒸気の主流が複数の小さな渦に巻き込まれるので、過熱水蒸気の主流をガイド面88に効率良く誘い込むことができる。 As shown in FIG. 8A, the superheated steam flowing toward the inlet 22 of the processing chamber 6 flows through the gaps 104 between adjacent pairs of the protrusions 90. At this time, small vortices are generated by the superheated steam in each of the multiple gaps 104. As a result, the main flow of the superheated steam flowing toward the inlet 22 of the processing chamber 6 is caught up in multiple small vortices, so that the main flow of the superheated steam can be efficiently guided into the guide surface 88.

同様に、図8Bに示すように、処理室6の搬出口24に向けて流れる過熱水蒸気は、複数の突部102のうち隣り合う一対の突部102の間の隙間106を流れるようになる。この時、複数の隙間106の各々には、過熱水蒸気による小さな渦が発生する。これにより、処理室6の搬出口24に向けて流れる過熱水蒸気の主流が複数の小さな渦に巻き込まれるので、過熱水蒸気の主流をガイド面100に効率良く誘い込むことができる。 Similarly, as shown in FIG. 8B, the superheated steam flowing toward the discharge port 24 of the processing chamber 6 flows through the gaps 106 between adjacent pairs of the multiple protrusions 102. At this time, small vortices are generated by the superheated steam in each of the multiple gaps 106. As a result, the main flow of the superheated steam flowing toward the discharge port 24 of the processing chamber 6 is caught up in the multiple small vortices, so that the main flow of the superheated steam can be efficiently guided into the guide surface 100.

また、図7に示すように、ガイド面88,100に誘い込まれた過熱水蒸気は、コアンダ効果によりガイド面88,100に沿って流れるようになる。この場合における過熱水蒸気の移動距離は、過熱水蒸気が搬送経路32に沿って流れる場合における過熱水蒸気の移動距離よりも長くなる。これにより、ガイド面88,100に沿って流れる過熱水蒸気に作用する通風抵抗が増大し、過熱水蒸気の流速が低下する。 As shown in FIG. 7, the superheated steam drawn into the guide surfaces 88, 100 flows along the guide surfaces 88, 100 due to the Coanda effect. The distance traveled by the superheated steam in this case is longer than the distance traveled by the superheated steam when it flows along the transport path 32. This increases the ventilation resistance acting on the superheated steam flowing along the guide surfaces 88, 100, and reduces the flow rate of the superheated steam.

さらに、過熱水蒸気がガイド面88,100に沿って流れることにより、過熱水蒸気の通過面積が増大する。この時、いわゆる連続の方程式により、過熱水蒸気の通過面積が増大するのに従って、過熱水蒸気の流速が低下する。 Furthermore, as the superheated steam flows along the guide surfaces 88, 100, the area through which the superheated steam passes increases. At this time, according to the so-called continuity equation, the flow rate of the superheated steam decreases as the area through which the superheated steam passes increases.

その結果、ガイド面88,100に沿って流れる過熱水蒸気は、処理室6の搬入口22及び搬出口24まで到達し難くなるため、過熱水蒸気が処理室6の搬入口22及び搬出口24から処理室6の外部に漏洩するのを効果的に抑制することができる。 As a result, the superheated steam flowing along the guide surfaces 88, 100 is less likely to reach the inlet 22 and outlet 24 of the processing chamber 6, effectively preventing the superheated steam from leaking from the inlet 22 and outlet 24 of the processing chamber 6 to the outside of the processing chamber 6.

なお、本実施の形態では、ガイド壁部28a,28bを搬送経路32の上方に対向して配置したが、これに限定されず、例えばガイド壁部28a,28bを搬送経路32の下方に対向して配置してもよいし、ガイド壁部28a,28bを搬送経路32の側方(左側方及び/又は右側方)に対向して配置してもよい。あるいは、ガイド壁部28a,28bを搬送経路32の全周方向に亘って対向するように配置してもよい。 In this embodiment, the guide walls 28a, 28b are arranged facing each other above the transport path 32, but this is not limited thereto. For example, the guide walls 28a, 28b may be arranged facing each other below the transport path 32, or the guide walls 28a, 28b may be arranged facing each other on the sides (left side and/or right side) of the transport path 32. Alternatively, the guide walls 28a, 28b may be arranged to face each other around the entire circumference of the transport path 32.

[6.遮熱用チェーンカーテンの構成]
図1及び図9及び図10を参照しながら、遮熱用チェーンカーテン20a,20bの構成について説明する。図9は、実施の形態に係る処理装置2における遮熱用チェーンカーテン20aを拡大して示す図である。図10は、図9のX-X線断面図である。
[6. Configuration of heat-shielding chain curtain]
The configuration of the heat-shielding chain curtains 20a, 20b will be described with reference to Figures 1, 9, and 10. Figure 9 is an enlarged view of the heat-shielding chain curtain 20a in the processing apparatus 2 according to the embodiment. Figure 10 is a cross-sectional view taken along line XX in Figure 9.

図1に示すように、遮熱用チェーンカーテン20aは、第1のチェーンカーテン108と、第2のチェーンカーテン110とを有している。また、遮熱用チェーンカーテン20bは、第1のチェーンカーテン112と、第2のチェーンカーテン114とを有している。 As shown in FIG. 1, the heat-shielding chain curtain 20a has a first chain curtain 108 and a second chain curtain 110. The heat-shielding chain curtain 20b has a first chain curtain 112 and a second chain curtain 114.

なお、図1に示すように、遮熱用チェーンカーテン20aにおいて、第1のチェーンカーテン108は、被加熱物4の搬送方向における奥側(Y軸のプラス側)に配置され、第2のチェーンカーテン110は、被加熱物4の搬送方向における手前側(Y軸のマイナス側)に配置されている。また、遮熱用チェーンカーテン20bにおいて、第1のチェーンカーテン112は、被加熱物4の搬送方向における奥側に配置され、第2のチェーンカーテン114は、被加熱物4の搬送方向における手前側に配置されている。 As shown in FIG. 1, in the heat-shielding chain curtain 20a, the first chain curtain 108 is positioned at the rear side in the transport direction of the heated object 4 (positive side of the Y axis), and the second chain curtain 110 is positioned at the front side in the transport direction of the heated object 4 (negative side of the Y axis). In addition, in the heat-shielding chain curtain 20b, the first chain curtain 112 is positioned at the rear side in the transport direction of the heated object 4, and the second chain curtain 114 is positioned at the front side in the transport direction of the heated object 4.

遮熱用チェーンカーテン20a,20bは同一の構成を有しているため、以下、遮熱用チェーンカーテン20aの構成についてのみ説明する。 Since heat-shielding chain curtains 20a and 20b have the same configuration, only the configuration of heat-shielding chain curtain 20a will be described below.

図9及び図10に示すように、第1のチェーンカーテン108及び第2のチェーンカーテン110の各々は、搬送経路32に沿った方向と直交する方向(X軸方向)に並んだ複数の金属チェーンで構成されており、処理室6の搬入口22の上端部から吊り下げられている。第2のチェーンカーテン110は、第1のチェーンカーテン108と重なるように配置され、第2のチェーンカーテン110の長さL2は、第1のチェーンカーテン108の長さL1よりも短い。すなわち、遮熱用チェーンカーテン20aでは、長さの異なる第1のチェーンカーテン108及び第2のチェーンカーテン110の二重構造となっている。なお、第2のチェーンカーテン110の長さL2は、第2のチェーンカーテン110の下端部が被加熱物4の上面に接触しない程度の長さであるのが好ましい。 9 and 10, each of the first chain curtain 108 and the second chain curtain 110 is composed of a plurality of metal chains arranged in a direction (X-axis direction) perpendicular to the direction along the transport path 32, and is suspended from the upper end of the loading entrance 22 of the processing chamber 6. The second chain curtain 110 is arranged so as to overlap with the first chain curtain 108, and the length L2 of the second chain curtain 110 is shorter than the length L1 of the first chain curtain 108. In other words, the heat-shielding chain curtain 20a has a double structure of the first chain curtain 108 and the second chain curtain 110 of different lengths. It is preferable that the length L2 of the second chain curtain 110 is long enough that the lower end of the second chain curtain 110 does not contact the upper surface of the heated object 4.

ここで、図11及び図12を参照しながら、本実施の形態に係る遮熱用チェーンカーテン20aの機能について説明する。図11は、比較例に係る遮熱用チェーンカーテン116の使用例を示す図である。図12は、実施の形態に係る処理装置2における遮熱用チェーンカーテン20aの使用例を示す図である。 Now, the function of the heat-shielding chain curtain 20a according to this embodiment will be described with reference to Figures 11 and 12. Figure 11 is a diagram showing an example of use of the heat-shielding chain curtain 116 according to a comparative example. Figure 12 is a diagram showing an example of use of the heat-shielding chain curtain 20a in the processing device 2 according to this embodiment.

まず、比較例に係る遮熱用チェーンカーテン116について説明する。図11に示すように、比較例に係る遮熱用チェーンカーテン116は、一重構造のチェーンカーテンである。被加熱物4は、コンベア12で搬送されながら処理室6の搬入口22を通過する際に、遮熱用チェーンカーテン116を左右方向(X軸方向)及び後ろ方向(Y軸方向のプラス側)に押し広げる。この時、左右方向及び後ろ方向に押し広げられた遮熱用チェーンカーテン116に隙間118が生じ、処理室6の内部の過熱水蒸気がこの隙間118から処理室6の外部に漏洩するおそれがある。 First, the heat-shielding chain curtain 116 according to the comparative example will be described. As shown in FIG. 11, the heat-shielding chain curtain 116 according to the comparative example is a single-layered chain curtain. When the object 4 to be heated is transported by the conveyor 12 and passes through the entrance 22 of the processing chamber 6, it spreads the heat-shielding chain curtain 116 in the left-right direction (X-axis direction) and backward direction (positive side of the Y-axis direction). At this time, gaps 118 are created in the heat-shielding chain curtain 116 spread in the left-right direction and backward direction, and there is a risk that superheated steam inside the processing chamber 6 will leak from these gaps 118 to the outside of the processing chamber 6.

これに対して、本実施の形態に係る遮熱用チェーンカーテン20aは、上述したように、長さの異なる第1のチェーンカーテン108及び第2のチェーンカーテン110の二重構造である。被加熱物4は、コンベア12で搬送されながら処理室6の搬入口22を通過する際に、第1のチェーンカーテン108を左右方向(X軸方向)及び後ろ方向(Y軸方向のプラス側)に押し広げる。この時、左右方向及び後ろ方向に押し広げられた第1のチェーンカーテン108に隙間120が生じるが、この隙間120は第2のチェーンカーテン110により閉塞されるようになる。その結果、処理室6の内部の過熱水蒸気が上記隙間120から処理室6の外部に漏洩するのを抑制することができる。 In contrast, the heat-shielding chain curtain 20a according to this embodiment has a double structure of a first chain curtain 108 and a second chain curtain 110 of different lengths, as described above. When the object 4 to be heated passes through the entrance 22 of the processing chamber 6 while being transported by the conveyor 12, it pushes the first chain curtain 108 open in the left-right direction (X-axis direction) and the rear direction (positive side of the Y-axis direction). At this time, a gap 120 is created in the first chain curtain 108 that is pushed open in the left-right direction and the rear direction, but this gap 120 is blocked by the second chain curtain 110. As a result, it is possible to prevent the superheated steam inside the processing chamber 6 from leaking from the gap 120 to the outside of the processing chamber 6.

なお、被加熱物4は、コンベア12で搬送されながら処理室6の搬出口24を通過する際には、上述と同様に、遮熱用チェーンカーテン20bの第1のチェーンカーテン112を左右方向(X軸方向)及び後ろ方向(Y軸方向のプラス側)に押し広げる。この場合にも、上述と同様に、左右方向及び後ろ方向に押し広げられた第1のチェーンカーテン112に隙間(図示せず)が生じるが、この隙間は第2のチェーンカーテン114により閉塞されるようになる。その結果、処理室6の内部の過熱水蒸気が上記隙間から処理室6の外部に漏洩するのを抑制することができる。 When the object 4 to be heated is transported by the conveyor 12 and passes through the discharge port 24 of the processing chamber 6, the first chain curtain 112 of the heat-shielding chain curtain 20b is pushed open in the left-right direction (X-axis direction) and rearward direction (positive side in the Y-axis direction) as described above. In this case, too, a gap (not shown) is created in the first chain curtain 112 pushed open in the left-right direction and rearward direction as described above, but this gap is blocked by the second chain curtain 114. As a result, it is possible to prevent the superheated steam inside the processing chamber 6 from leaking out of the processing chamber 6 through the gap.

[7.効果]
本実施の形態の処理装置2では、ガイド部材16が設けられているので、送風機14の排気口42から吹き出された過熱水蒸気が搬送経路32に沿った方向に広がりながら流れるのを抑制することができ、送風機14の排気口42から吹き出された過熱水蒸気を、送風機14の吸気口36に効率良く導くことができる。その結果、送風機14の排気口42から吹き出された過熱水蒸気が、処理室6の搬入口22及び搬出口24から処理室6の外部に漏洩するのを抑制することができる。
[7. Effects]
In the processing apparatus 2 of this embodiment, the guide member 16 is provided, so that the superheated steam blown out from the exhaust port 42 of the blower 14 can be prevented from spreading and flowing in the direction along the transport path 32, and the superheated steam blown out from the exhaust port 42 of the blower 14 can be efficiently guided to the intake port 36 of the blower 14. As a result, the superheated steam blown out from the exhaust port 42 of the blower 14 can be prevented from leaking out of the processing chamber 6 from the carry-in entrance 22 and the carry-out exit 24 of the processing chamber 6.

また、本実施の形態の送風機14では、ダクト34にはダクト流路50の断面積が吸気口36側から排気口42側に向けて絞られた絞り部46が形成されているので、過熱水蒸気が絞り部46の内部を通過した際に、過熱水蒸気の流速分布はほぼ均一となる。さらに、絞り部46と排気口42との間におけるダクト流路50が仕切り板52により格子状に仕切られているので、仕切り板52により形成された複数の分割流路54の各々を流れる過熱水蒸気の流速はほぼ等しくなり、排気口42から吹き出される過熱水蒸気の流速分布はほぼ均一となる。その結果、排気口42から吹き出された過熱水蒸気は被加熱物4の表面にほぼ均一に吹き付けられるので、被加熱物4をムラなくほぼ均一に加熱することができる。 In addition, in the blower 14 of this embodiment, the duct 34 is formed with a constriction section 46 in which the cross-sectional area of the duct flow path 50 is narrowed from the intake port 36 side toward the exhaust port 42 side, so that when the superheated steam passes through the inside of the constriction section 46, the flow velocity distribution of the superheated steam becomes almost uniform. Furthermore, since the duct flow path 50 between the constriction section 46 and the exhaust port 42 is divided into a lattice shape by the partition plate 52, the flow velocity of the superheated steam flowing through each of the multiple divided flow paths 54 formed by the partition plate 52 becomes almost equal, and the flow velocity distribution of the superheated steam blown out from the exhaust port 42 becomes almost uniform. As a result, the superheated steam blown out from the exhaust port 42 is blown almost uniformly onto the surface of the heated object 4, so that the heated object 4 can be heated almost uniformly without unevenness.

[8.変形例]
本実施の形態では、処理装置2が1つの送風機14を備えるように構成したが、これに限定されず、複数の送風機14を備えるように構成してもよい。
8. Modifications
In the present embodiment, the processing apparatus 2 is configured to include one blower 14, but is not limited to this, and may be configured to include a plurality of blowers 14.

図13は、変形例に係る処理装置2Aにおける複数の送風機14及びガイド部材16を抜き出して示す斜視図である。なお、説明の都合上、図13では、コンベア12及び噴射機構18等の図示を省略してある。 Figure 13 is a perspective view showing multiple blowers 14 and guide members 16 in a processing device 2A according to a modified example. For ease of explanation, the conveyor 12 and spray mechanism 18 are omitted from Figure 13.

図13に示すように、変形例に係る処理装置2Aは、例えば4つの送風機14を備えている。また、4つの送風機14に対応して1つのガイド部材16が配置されている。 As shown in FIG. 13, the processing device 2A according to the modified example has, for example, four blowers 14. In addition, one guide member 16 is arranged corresponding to the four blowers 14.

これにより、ガイド部材16は、4つの送風機14の各々の排気口42から下方に吹き出された過熱水蒸気を、搬送経路32(図1参照)に沿った方向(Y軸方向)と交差する2方向(X軸のプラス側及びマイナス側)に分流しながら4つの送風機14の各々の吸気口36に向けて上方に導く。この時、複数の分流路62、複数の第1のガイド流路64及び複数の第2のガイド流路66の各々は、複数の隔壁部61により搬送経路32に沿った方向に仕切られているので、本変形例においても、上述と同様の効果を得ることができる。 As a result, the guide member 16 guides the superheated steam blown downward from the exhaust port 42 of each of the four blowers 14 upward toward the intake port 36 of each of the four blowers 14 while dividing the superheated steam into two directions (the positive and negative sides of the X-axis) that intersect with the direction (the Y-axis direction) along the conveying path 32 (see FIG. 1). At this time, each of the multiple branch paths 62, the multiple first guide paths 64, and the multiple second guide paths 66 is partitioned in the direction along the conveying path 32 by the multiple partitions 61, so that the same effect as described above can be obtained in this modified example as well.

(他の変形例等)
以上、本発明の1つ又は複数の態様に係る処理装置及び送風機について、上記実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。本発明の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思い付く各種変形を本実施の形態に施したものや、異なる実施の形態における構成要素を組み合わせて構築される形態も、本発明の1つ又は複数の態様の範囲内に含まれてもよい。
(Other variations, etc.)
Although the treatment device and the blower according to one or more aspects of the present invention have been described based on the above-mentioned embodiment, the present invention is not limited to the above-mentioned embodiment. As long as it does not deviate from the spirit of the present invention, various modifications conceived by a person skilled in the art to the present embodiment and forms constructed by combining components of different embodiments may also be included within the scope of one or more aspects of the present invention.

上記実施の形態では、処理装置2,2Aは、被加熱物4に対して加熱処理を施すための加熱処理装置であるとしたが、これに限定されず、例えば被冷却物(被処理物の一例)に冷却ガス(気体の一例)を吹き付けることにより、被冷却物に対して冷却処理(所定の処理の一例)を施すための冷却処理装置であってもよい。 In the above embodiment, the processing device 2, 2A is a heat processing device for performing a heat treatment on the object to be heated 4, but is not limited to this, and may be, for example, a cooling processing device for performing a cooling process (an example of a predetermined process) on the object to be cooled (an example of an object to be treated) by spraying a cooling gas (an example of a gas) on the object to be cooled.

また、上記実施の形態では、気体が過熱水蒸気であるとしたが、これに限定されず、例えば200℃~500℃程度の高温空気又は不活性ガス等であってもよい。 In addition, in the above embodiment, the gas is superheated steam, but this is not limited to this and may be, for example, high-temperature air of about 200°C to 500°C or an inert gas.

また、上記実施の形態では、ガイド部材16は、送風機14の排気口42から吹き出された過熱水蒸気を、搬送経路32に沿った方向と交差する2方向に分流したが、これに限定されず、3方向以上に分流してもよい。 In addition, in the above embodiment, the guide member 16 divides the superheated steam blown out from the exhaust port 42 of the blower 14 into two directions intersecting the direction along the transport path 32, but this is not limited thereto, and the guide member 16 may divide the superheated steam into three or more directions.

また、上記実施の形態では、送風機14を処理室6の内部に配置したが、これに限定されず、処理室6の外部に配置してもよい。 In addition, in the above embodiment, the blower 14 is disposed inside the treatment chamber 6, but this is not limited thereto, and it may be disposed outside the treatment chamber 6.

また、上記実施の形態では、処理室6が搬入口22及び搬出口24を有するようにしたが、これに限定されず、処理室6が1つの開口部のみを有するようにしてもよい。この場合には、コンベア12を省略し、被加熱物4を、処理室6の開口部と処理領域26との間の搬送経路32に沿って手作業等により搬送してもよい。 In addition, in the above embodiment, the processing chamber 6 has an entrance 22 and an exit 24, but this is not limited thereto, and the processing chamber 6 may have only one opening. In this case, the conveyor 12 may be omitted, and the heated object 4 may be transported manually or the like along the transport path 32 between the opening of the processing chamber 6 and the processing area 26.

本発明に係る処理装置は、例えば金属又は樹脂等で形成された被加熱物に対して加熱処理を施すための加熱処理装置等として適用することができる。 The processing device according to the present invention can be used as a heat treatment device for performing heat treatment on a heated object made of, for example, metal or resin.

2,2A 処理装置
4 被加熱物
6 処理室
8 過熱水蒸気発生部
10a,10b ヒータ群
12 コンベア
14 送風機
16 ガイド部材
18 噴射機構
20a,20b,116 遮熱用チェーンカーテン
22 搬入口
24 搬出口
26 処理領域
27 ハウジング部
28a,28b ガイド壁部
30a,30b 電熱ヒータ
32 搬送経路
34 ダクト
36 吸気口
38 シロッコファン
40 モータ
42 排気口
44 吸気部
46 絞り部
48 排気部
50 ダクト流路
52 仕切り板
54 分割流路
56 分流部
58 第1のガイド部
60 第2のガイド部
61 隔壁部
62 分流路
64 第1のガイド流路
66 第2のガイド流路
68 第1の有圧過熱水蒸気供給源
70 第1の接続管
72 第1のノズル
74 第2の有圧過熱水蒸気供給源
76 第2の接続管
78 第2のノズル
80,84,92,96 水平壁部
82,86,94,98 垂直壁部
88,100 ガイド面
90,102 突部
104,106,118,120 隙間
108,112 第1のチェーンカーテン
110,114 第2のチェーンカーテン
Reference Signs List 2, 2A Processing device 4 Object to be heated 6 Processing chamber 8 Superheated steam generating section 10a, 10b Heater group 12 Conveyor 14 Blower 16 Guide member 18 Spray mechanism 20a, 20b, 116 Heat-shielding chain curtain 22 Carry-in entrance 24 Carry-out exit 26 Processing area 27 Housing section 28a, 28b Guide wall section 30a, 30b Electric heater 32 Transport path 34 Duct 36 Air intake 38 Sirocco fan 40 Motor 42 Exhaust port 44 Air intake section 46 Throttle section 48 Exhaust section 50 Duct flow path 52 Partition plate 54 Divided flow path 56 Dividing section 58 First guide section 60 Second guide section 61 Partition section 62 Dividing flow path 64 First guide flow path 66 Second guide flow path 68 First pressurized superheated steam supply source 70 First connecting pipe 72 First nozzle 74 Second pressurized superheated steam supply source 76 Second connecting pipe 78 Second nozzle 80, 84, 92, 96 Horizontal wall portion 82, 86, 94, 98 Vertical wall portion 88, 100 Guide surface 90, 102 Protrusion portion 104, 106, 118, 120 Gap 108, 112 First chain curtain 110, 114 Second chain curtain

Claims (13)

被処理物に気体を吹き付けることにより、前記被処理物に対して所定の処理を施すための処理装置であって、
前記被処理物を内部に搬入又は外部に搬出するための開口部を有し、前記被処理物に対して前記所定の処理を施すための処理領域が内部に配置された処理室と、
前記処理室の内部に配置され、前記被処理物を前記処理室の前記開口部と前記処理領域との間で搬送するための搬送経路と、
気体を吸い込む吸気口、及び、前記吸気口から吸い込んだ気体を前記処理領域に向けて吹き出す排気口を有する送風機と、
前記処理室の内部に配置されたガイド部材であって、前記送風機の前記排気口から吹き出された気体を、前記搬送経路に沿った方向と水平方向に交差する方向に導きながら前記送風機の前記吸気口に導くための複数の流路を有するガイド部材と、を備え、
前記ガイド部材は、前記搬送経路に沿った方向に並んで配置された複数の隔壁部を有し、
前記複数の流路の各々は、前記複数の隔壁部の隣り合う一対の隔壁部の間に形成されている
処理装置。
A treatment apparatus for performing a predetermined treatment on a workpiece by blowing a gas onto the workpiece,
a processing chamber having an opening for carrying the object to be processed therein or carrying it to the outside, and a processing region for performing the predetermined processing on the object to be processed disposed therein;
a transport path disposed inside the processing chamber for transporting the object to be processed between the opening of the processing chamber and the processing region;
a blower having an intake port for sucking in a gas and an exhaust port for blowing out the gas sucked from the intake port toward the processing area;
a guide member disposed inside the processing chamber, the guide member having a plurality of flow paths for guiding the gas blown out from the exhaust port of the blower in a direction intersecting a horizontal direction with a direction along the transport path, to the intake port of the blower;
The guide member has a plurality of partition walls arranged side by side in a direction along the transport path,
each of the plurality of flow paths is formed between a pair of adjacent partition walls of the plurality of partition walls.
前記複数の流路は、
各々が前記送風機の前記排気口から吹き出された気体を、前記搬送経路に沿った方向と前記水平方向に交差する第1の方向、及び、前記第1の方向と反対方向である第2の方向に分流する複数の分流路と、
前記複数の分流路とそれぞれ連通され、前記複数の分流路により前記第1の方向に分流
された気体をそれぞれ前記送風機の前記吸気口に導く複数の第1のガイド流路と、
前記複数の分流路とそれぞれ連通され、前記複数の分流路により前記第2の方向に分流された気体をそれぞれ前記送風機の前記吸気口に導く複数の第2のガイド流路と、を有する
請求項1に記載の処理装置。
The plurality of flow paths include
a plurality of branch flow paths each of which branches the gas blown out from the exhaust port of the blower into a first direction intersecting a direction along the transport path and the horizontal direction, and into a second direction opposite to the first direction;
a plurality of first guide passages each communicating with the plurality of branch passages and each guiding the gas diverted in the first direction by the plurality of branch passages to the intake port of the blower;
The treatment apparatus according to claim 1 , further comprising: a plurality of second guide passages each connected to the plurality of branch passages and each configured to guide the gas branched in the second direction by the plurality of branch passages to the intake port of the blower.
前記複数の分流路の各々は、前記処理領域に対して前記送風機の前記排気口と反対側に配置され、前記排気口に向けて凸状に形成されている
請求項2に記載の処理装置。
The processing apparatus according to claim 2 , wherein each of the plurality of branch channels is disposed on an opposite side of the processing region from the exhaust port of the blower, and is formed in a convex shape toward the exhaust port.
前記処理装置は、さらに、
有圧気体を供給する有圧気体供給源と、
前記送風機の前記排気口と前記処理室の前記開口部との間に配置され、前記有圧気体供給源からの有圧気体を前記処理領域に向けて噴射するノズルと、を備える
請求項1~3のいずれか1項に記載の処理装置。
The processing device further comprises:
A pressurized gas supply source that supplies pressurized gas;
4. The processing apparatus according to claim 1, further comprising: a nozzle disposed between the exhaust port of the blower and the opening of the processing chamber, the nozzle injecting pressurized gas from the pressurized gas supply source toward the processing region.
前記処理室は、前記送風機の前記排気口と前記処理室の前記開口部との間において、前記搬送経路に対向して配置されたガイド壁部を有し、
前記ガイド壁部は、前記搬送経路から離れる方向に凹状に形成され、且つ、前記排気口から吹き出された気体を前記搬送経路から離れる方向に導くガイド面を有する
請求項1~4のいずれか1項に記載の処理装置。
the processing chamber has a guide wall portion disposed between the exhaust port of the blower and the opening of the processing chamber so as to face the transport path,
5. The processing apparatus according to claim 1, wherein the guide wall portion is formed concavely in a direction away from the transport path, and has a guide surface that guides the gas blown out of the exhaust port in a direction away from the transport path .
前記ガイド壁部は、前記ガイド面の上流側端部に形成され、前記送風機の前記排気口から吹き出されて前記ガイド面に誘い込まれる気体に乱流を生じさせるための複数の突部を有する
請求項5に記載の処理装置。
The processing apparatus according to claim 5 , wherein the guide wall portion is formed at an upstream end of the guide surface and has a plurality of protrusions for generating turbulence in the gas blown out of the exhaust port of the blower and guided into the guide surface.
前記処理装置は、さらに、
前記処理室の前記開口部の上端部から吊り下げられた第1のチェーンカーテンと、
前記処理室の前記開口部の前記上端部から吊り下げられた第2のチェーンカーテンであって、前記第1のチェーンカーテンと重なるように配置され、前記第1のチェーンカーテンよりも長さの短い第2のチェーンカーテンと、を備える
請求項1~6のいずれか1項に記載の処理装置。
The processing device further comprises:
a first chain curtain suspended from an upper end of the opening of the processing chamber;
The processing apparatus according to any one of claims 1 to 6, further comprising: a second chain curtain suspended from the upper end of the opening of the processing chamber, the second chain curtain being arranged to overlap the first chain curtain and having a length shorter than that of the first chain curtain.
前記送風機は、さらに、
前記吸気口と前記排気口とを連通するダクト流路が内部に形成され、前記吸気口と前記排気口との間で、前記ダクト流路の断面積を前記吸気口側から前記排気口側に向けて絞る絞り部を有するダクトと、
前記ダクトの内部に配置され、前記絞り部と前記排気口との間における前記ダクト流路を格子状に仕切る仕切り板と、を有する
請求項1~7のいずれか1項に記載の処理装置。
The blower further comprises:
a duct having a duct passage formed therein that communicates the intake port and the exhaust port, and a constriction portion that constricts a cross-sectional area of the duct passage from the intake port side toward the exhaust port side between the intake port and the exhaust port;
The treatment apparatus according to claim 1 , further comprising: a partition plate disposed inside the duct, the partition plate dividing the duct flow path between the narrowing portion and the exhaust port into a lattice shape.
被処理物に気体を吹き付けることにより、前記被処理物に対して所定の処理を施すための処理装置であって、
前記被処理物を内部に搬入又は外部に搬出するための開口部を有し、前記被処理物に対して前記所定の処理を施すための処理領域が内部に配置された処理室と、
前記処理室の内部に配置され、前記被処理物を前記処理室の前記開口部と前記処理領域との間で搬送するための搬送経路と、
気体を吸い込む吸気口、及び、前記吸気口から吸い込んだ気体を前記処理領域に向けて吹き出す排気口を有する送風機と、
有圧気体を供給する有圧気体供給源と、
前記送風機の前記排気口と前記処理室の前記開口部との間に配置され、前記有圧気体供給源からの有圧気体を前記処理領域に向けて噴射するノズルと、を備える
処理装置。
A treatment apparatus for performing a predetermined treatment on a workpiece by blowing a gas onto the workpiece,
a processing chamber having an opening for carrying the object to be processed therein or carrying it to the outside, and a processing region for performing the predetermined processing on the object to be processed disposed therein;
a transport path disposed inside the processing chamber for transporting the object to be processed between the opening of the processing chamber and the processing region;
a blower having an intake port for sucking in a gas and an exhaust port for blowing out the gas sucked from the intake port toward the processing area;
A pressurized gas supply source that supplies pressurized gas;
a nozzle disposed between the exhaust port of the blower and the opening of the processing chamber, the nozzle injecting pressurized gas from the pressurized gas supply source toward the processing region.
被処理物に気体を吹き付けることにより、前記被処理物に対して所定の処理を施すための処理装置であって、
前記被処理物を内部に搬入又は外部に搬出するための開口部を有し、前記被処理物に対して前記所定の処理を施すための処理領域が内部に配置された処理室と、
前記処理室の内部に配置され、前記被処理物を前記処理室の前記開口部と前記処理領域との間で搬送するための搬送経路と、
気体を吸い込む吸気口、及び、前記吸気口から吸い込んだ気体を前記処理領域に向けて吹き出す排気口を有する送風機と、を備え、
前記処理室は、前記送風機の前記排気口と前記処理室の前記開口部との間において、前記搬送経路に対向して配置されたガイド壁部を有し、
前記ガイド壁部は、前記搬送経路から離れる方向に凹状に形成され、且つ、前記排気口から吹き出された気体を前記搬送経路から離れる方向に導くガイド面を有する
処理装置。
A treatment apparatus for performing a predetermined treatment on a workpiece by blowing a gas onto the workpiece,
a processing chamber having an opening for carrying the object to be processed therein or carrying it to the outside, and a processing region for performing the predetermined processing on the object to be processed disposed therein;
a transport path disposed inside the processing chamber for transporting the object to be processed between the opening of the processing chamber and the processing region;
a blower having an intake port for sucking in a gas and an exhaust port for blowing out the gas sucked from the intake port toward the processing area;
the processing chamber has a guide wall portion disposed between the exhaust port of the blower and the opening of the processing chamber so as to face the transport path,
the guide wall portion is formed concavely in a direction away from the transport path, and has a guide surface that guides the gas blown out from the exhaust port in a direction away from the transport path .
被処理物に気体を吹き付けることにより、前記被処理物に対して所定の処理を施すための処理装置であって、
前記被処理物を内部に搬入又は外部に搬出するための開口部を有し、前記被処理物に対して前記所定の処理を施すための処理領域が内部に配置された処理室と、
前記処理室の内部に配置され、前記被処理物を前記処理室の前記開口部と前記処理領域との間で搬送するための搬送経路と、
気体を吸い込む吸気口、及び、前記吸気口から吸い込んだ気体を前記処理領域に向けて吹き出す排気口を有する送風機と、を備え、
前記処理室は、前記送風機の前記排気口と前記処理室の前記開口部との間において、前記搬送経路に対向して配置されたガイド壁部を有し、
前記ガイド壁部は、
前記排気口から吹き出された気体を前記搬送経路から離れる方向に導くガイド面と、
前記ガイド面の上流側端部に形成され、前記排気口から吹き出されて前記ガイド面に誘い込まれる気体に乱流を生じさせるための複数の突部と、を有する
処理装置。
A treatment apparatus for performing a predetermined treatment on a workpiece by blowing a gas onto the workpiece,
a processing chamber having an opening for carrying the object to be processed therein or carrying it to the outside, and a processing region for performing the predetermined processing on the object to be processed disposed therein;
a transport path disposed inside the processing chamber for transporting the object to be processed between the opening of the processing chamber and the processing region;
a blower having an intake port for sucking in a gas and an exhaust port for blowing out the gas sucked from the intake port toward the processing area;
the processing chamber has a guide wall portion disposed between the exhaust port of the blower and the opening of the processing chamber so as to face the transfer path,
The guide wall portion is
a guide surface that guides the gas blown out from the exhaust port in a direction away from the transport path ;
a plurality of protrusions formed on an upstream end of the guide surface for generating turbulence in the gas blown out from the exhaust port and guided into the guide surface.
被処理物に気体を吹き付けることにより、前記被処理物に対して所定の処理を施すための処理装置であって、
前記被処理物を内部に搬入又は外部に搬出するための開口部を有し、前記被処理物に対して前記所定の処理を施すための処理領域が内部に配置された処理室と、
前記処理室の内部に配置され、前記被処理物を前記処理室の前記開口部と前記処理領域との間で搬送するための搬送経路と、
気体を吸い込む吸気口、及び、前記吸気口から吸い込んだ気体を前記処理領域に向けて吹き出す排気口を有する送風機と、
前記処理室の前記開口部の上端部から吊り下げられた第1のチェーンカーテンと、
前記処理室の前記開口部の前記上端部から吊り下げられた第2のチェーンカーテンであって、前記第1のチェーンカーテンと重なるように配置され、前記第1のチェーンカーテンよりも長さの短い且つ下端部が前記被処理物の上面に接触しない長さである第2のチェーンカーテンと、を備え
前記第2のチェーンカーテンは、前記被処理物の搬送方向に見て、前記第1のチェーンカーテンよりも手前側に配置され、
前記第2のチェーンカーテンは、前記被処理物が前記処理室の前記開口部を通過する際に、前記被処理物により前記第1のチェーンカーテンが押し広げられることにより生じる前記第1のチェーンカーテンの隙間を閉塞する
処理装置。
A treatment apparatus for performing a predetermined treatment on a workpiece by blowing a gas onto the workpiece,
a processing chamber having an opening for carrying the object to be processed therein or carrying it to the outside, and a processing region for performing the predetermined processing on the object to be processed disposed therein;
a transport path disposed inside the processing chamber for transporting the object to be processed between the opening of the processing chamber and the processing region;
a blower having an intake port for sucking in a gas and an exhaust port for blowing out the gas sucked from the intake port toward the processing area;
a first chain curtain suspended from an upper end of the opening of the processing chamber;
a second chain curtain suspended from the upper end of the opening of the processing chamber, arranged so as to overlap the first chain curtain, the second chain curtain being shorter in length than the first chain curtain and having a length such that a lower end of the second chain curtain does not contact an upper surface of the workpiece ;
the second chain curtain is disposed on the front side of the first chain curtain as viewed in a conveying direction of the workpiece,
The second chain curtain closes a gap in the first chain curtain that is generated when the first chain curtain is pushed open by the object to be treated when the object passes through the opening of the treatment chamber.
Processing unit.
被処理物に気体を吹き付けるための送風機であって、
気体を吸い込む吸気口と、
前記吸気口から吸い込んだ気体を吹き出す排気口と、
前記吸気口と前記排気口とを連通するダクト流路が内部に形成され、前記吸気口と前記排気口との間で、前記ダクト流路の断面積を前記吸気口側から前記排気口側に向けて絞る絞り部を有するダクトと、
前記ダクトの内部に配置され、前記絞り部と前記排気口との間における前記ダクト流路を格子状に仕切る仕切り板と、を備える
送風機。
A blower for blowing gas onto an object to be treated,
An intake port for sucking in gas;
an exhaust port for blowing out the gas sucked in through the intake port;
a duct having a duct passage formed therein that communicates the intake port and the exhaust port, and a constriction portion that constricts a cross-sectional area of the duct passage from the intake port side toward the exhaust port side between the intake port and the exhaust port;
a partition plate disposed inside the duct and partitioning the duct flow path between the throttle portion and the exhaust port into a lattice pattern.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001198671A (en) 1999-11-12 2001-07-24 Tamura Seisakusho Co Ltd Reflow device
JP2005341834A (en) 2004-06-01 2005-12-15 Osaka Industrial Promotion Organization Continuous normal pressure high temperature sterilization method and apparatus
JP2010004013A (en) 2008-05-19 2010-01-07 Green Technologies Corp Reflow apparatus
JP2014012099A (en) 2012-07-05 2014-01-23 Taiyo Seisakusho Co Ltd Continuous type heat treatment device

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5217443Y2 (en) * 1973-04-03 1977-04-20
JPH05296663A (en) * 1992-03-31 1993-11-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd Heating device
JP3913334B2 (en) * 1996-11-20 2007-05-09 三菱電機株式会社 Ventilation blower and ventilation blower system

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001198671A (en) 1999-11-12 2001-07-24 Tamura Seisakusho Co Ltd Reflow device
JP2005341834A (en) 2004-06-01 2005-12-15 Osaka Industrial Promotion Organization Continuous normal pressure high temperature sterilization method and apparatus
JP2010004013A (en) 2008-05-19 2010-01-07 Green Technologies Corp Reflow apparatus
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