JP7495232B2 - 測定装置 - Google Patents

Description

本発明は、測定対象から入力した高周波信号に基づいて予め規定された被測定量を測定可能に構成された測定装置に関するものである。

この種の測定装置として、複数の実装用電極が設けられた回路基板の部品実装面がシールド導電層によって覆われたモジュールを検査対象として電気的に検査可能な検査装置が下記の特許文献に開示されている。この検査装置は、測定基板、ノズル、駆動機構および制御装置を備えている。

測定基板は、モジュールの回路基板における各実装用電極を制御装置に接続するための接続具であって、各実装用電極にそれぞれ接触させられる複数の測定端子がモジュールの載置面に設けられている。この測定基板の外側面には、各測定端子にそれぞれ接続された複数の接続端子が設けられており、この接続端子に接続したケーブルを介して各実装用電極を制御装置に接続することが可能となっている。ノズルは、シールド導電層を吸着してモジュールを保持可能に構成されると共に、シールド導電層に接触する部分が導電性材料で形成されて「プローブ」として機能するように構成されている。このノズルは、制御装置に対してケーブルによって電気的に接続されている。

駆動機構は、モジュールを保持した状態のノズルを移動させることでモジュールを測定基板上に搬送して載置面に載置すると共に、測定基板に向けてモジュールを押圧することで各実装用電極を各測定端子に対して押し付けた状態とする。制御装置は、ノズルによるモジュールの保持、および駆動機構によるノズルの移動を制御する。また、制御装置は、各測定端子を介してモジュール（各実装用電極）に検査用信号を順次入出力してモジュールの電気的特性を測定すると共に、シールド導電層に接触させたノズルと、実装用電極に接触させた測定端子との間の抵抗値を測定して導通状態の検査などを実行する。

この検査装置によるモジュールの検査時には、最初に、駆動機構によってノズルを移動させて検査対象のモジュールにおけるシールド導電層に当接させると共に、ノズルによってモジュールを吸着して保持させる。この際には、シールド導電層がノズル（プローブ）およびケーブルを介して制御装置に接続された状態となる。次いで、モジュールを保持した状態のノズルを測定基板上に移動させて測定基板の載置面にモジュールを載置する。この際には、モジュールの各実装用電極が測定基板の各測定端子にそれぞれ接触させられて各実装用電極が制御装置に接続された状態となる。

続いて、各測定端子を介してモジュールに検査用信号を入力してモジュールの電気的特性を測定すると共に、ノズル（プローブ）が接しているシールド導電層と各測定端子が接している各実装用電極との間の抵抗値の測定などを実行する。これにより、測定結果に基づいてモジュールの良否が検査される。この後、検査を完了したモジュールを検査済みモジュールの回収用トレイに搬送することにより、一連の検査処理が完了する。

特開２０１２－１５９３５９号公報（第４－５頁、第１－４図）

ところが、上記特許文献に開示の検査装置には、以下のような解決すべき課題が存在する。具体的には、上記の検査装置では、モジュールのシールド導電層にノズル（プローブ）を接触させると共に、モジュールの回路基板（回路基板に形成された各実装用電極）に測定基板の各測定端子をそれぞれ接触させることによって制御装置にモジュールを接続して検査をする構成が採用されている。この場合、各測定端子を接触させるべき実装用電極の数や配置は、検査対象のモジュールの種類に応じて相違する。したがって、上記の検査装置では、異なる種類のモジュールを検査しようとしたときに、新たな検査対象のモジュールにおける実装用電極の数や配置に対応して測定端子を配設した新たな測定基板を製作する必要があり、これに起因して検査コストの低減が困難となっている。

このような課題を解決すべく、出願人は、上記特許文献に開示の検査装置における測定基板の測定端子に代えて数本のコンタクトプローブ（以下、単に「プローブ」ともいう）を使用して、モジュールの回路基板における各実装用電極にプローブを順次プロービングさせることでモジュールを制御装置に接続させる構成の検査装置を試作した。出願人が試作した検査装置によれば、回路基板に形成されている実装用電極の数や配置に対応してプロービングの回数やプロービング位置を変更するだけで各種のモジュールを検査することが可能となる。このため、出願人が試作した検査装置では、モジュールの種類に対応させて測定基板を製作する必要がなくなり、検査コストを低減することができている。

しかしながら、出願人は、上記特許文献に開示の検査装置の構成に代えて、モジュール（回路基板）の各実装用電極にプローブを順次接触させる構成を採用したときに、各実装用電極の形成位置に応じて測定値に誤差が生じることがあるのを見出した。

具体的には、出願人が試作した検査装置では、信号生成部と、モジュールに信号を出力するプローブとが信号ケーブルを介して接続され、かつモジュールから信号を入力するプローブと、入力した信号を処理する信号処理回路（Ａ／Ｄ変換部等）とが他の信号ケーブルを介して接続されている。また、出願人が試作した検査装置では、信号生成部や信号処理回路が移動機構の基部と共に静置された状態で、両プローブが移動機構によって任意のプロービング位置（各実装用電極の形成位置）に移動させられる構成が採用されている。

また、この種の検査装置では、例えば、検査対象のモジュールにおける各実装用電極の間のインピーダンス測定（スルー測定）に際して、一対の実装用電極のいずれか一方に検査装置から高周波信号を出力しつつ、両実装用電極の他方から検査装置にこの信号を入力して、出力した信号と入力した信号とに基づいて（一例として、出力信号の振幅および位相と、入力信号の振幅および位相とに基づいて）、両実装用電極間のスルー測定を実行する構成が採用されている。

この場合、各実装用電極に対するプロービングのために、高周波信号を入出力するプローブを移動させたときには、プロービングする実装用電極の形成位置（すなわち、プロービング位置）に応じて、信号生成部および信号処理回路と両プローブとの間の距離や、両者を接続しているケーブルの形状などが変化して、この変化の度合いに応じて、出力信号の振幅と入力信号の振幅のレベル差や出力信号の位相と入力信号の位相との位相差などが増減する。このため、一対の実装用電極の間の電気的特性に起因する出力信号と入力信号とのレベル差や位相差だけでなく、実装用電極の形成位置、すなわち、実装用電極にプロービングさせたプローブと信号生成部および信号処理回路との位置の相違に起因する出力信号と入力信号とのレベル差や位相差が加味されて検出されることがあり、スルー測定を高精度に実行するのが困難となるおそれがある。したがって、この点を改善するのが好ましい。

一方、上記特許文献に開示の検査装置では、測定基板における測定端子およびノズル（プローブ）の減耗等や、検査装置の温度変化などの影響を受けて、検査対象についての測定値が変化することがある。したがって、検査装置の状態に応じて測定値を補正可能な補正用データを取得する校正作業を定期的に実施するのが好ましい。この場合、この種の検査装置（測定装置）を対象とする校正作業では、一例として、検査対象（測定対象）と同様の測定値が測定される校正基準部（校正用測定体）を用意して、この校正基準部についての測定値に基づいて補正用データを生成する作業手順が広く採用されている。しかしながら、上記特許文献に開示の検査装置では、検査対象のモジュールにおける実装用電極に対応させて測定基板に測定端子が配設されているため、このような測定基板に接続可能とするために、モジュールの種類毎に校正基準部を用意する必要がある。このため、上記特許文献に開示の検査装置では、装置の校正に要するコストの低減が困難となっている。

また、この種の検査装置（測定装置）では、上記のように検査対象の種類毎に校正基準部を用意するのが困難であるとの現状に鑑み、例えば、制御装置から測定基板を切り離し、代わりに、校正基準部を制御装置に直接接続した状態（測定基板を介さずに校正基準部を制御装置に接続した状態）で測定処理を行って、その測定値に基づいて補正用データを生成することも行われている。このような校正作業によれば、１種類の校正基準部を用意するだけで、制御装置の温度変化等に起因する測定値の変化を検出することができる。しかしながら、モジュールの検査時に各実装用電極に対して実際に接触させられる測定基板の温度変化や、測定基板における各測定端子の減耗の影響については一切検出することができないため、検査対象のモジュールについての測定値を正確に補正可能な補正用データを得ることはできない。また、校正作業前の測定基板の切り離しおよび校正基準部の接続の作業や、校正作業後の校正基準部の切り離しおよび測定基板の接続の作業に長時間を要することから、検査を中断しなくてはならない時間が長くなり、検査効率の低下を招くという問題点もある。

本発明は、かかる解決すべき課題に鑑みてなされたものであり、測定に要するコストの高騰や測定効率の低下を招くことなく、測定対象についての被測定量を正確に測定し得る測定装置を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく、請求項１記載の測定装置は、測定対象を保持可能に構成された保持部と、前記測定対象にプロービングさせられて当該測定対象から第１の高周波信号を入力するプローブと、前記保持部によって保持された前記測定対象に対して前記プローブをプロービング可能に少なくとも当該保持部に対する当該プローブの移動が可能に構成された第１の移動機構と、前記第１の高周波信号をＡ／Ｄ変換して第１のデータを生成する第１のＡ／Ｄ変換部を有すると共に前記プローブが接続されるプローブ接続部が設けられた信号処理部と、前記第１の移動機構を制御して前記プローブを前記測定対象にプロービングさせると共に前記第１のデータに基づいて当該測定対象についての予め規定された被測定量を特定可能な測定結果データを生成する測定処理を実行する処理部とを備えた測定装置であって、複数の前記信号処理部を備えると共に、前記第１の移動機構による前記プローブの前記保持部に対する相対的な移動によって当該プローブをプロービング可能なプロービング可能領域内に配設された校正基準部を備え、前記保持部は、前記測定対象および前記校正基準部を前記プロービング可能領域内に並べて載置可能に構成され、前記第１の移動機構は、前記保持部および前記校正基準部に対して前記各信号処理部を別個独立して移動可能に構成され、前記信号処理部は、前記プローブ接続部、前記第１のＡ／Ｄ変換部、当該プローブ接続部から当該第１のＡ／Ｄ変換部に至る第１の信号伝達経路を構成する第１の構成要素、第２の高周波信号を生成する信号生成部、当該第２の高周波信号をＡ／Ｄ変換して第２のデータを生成する第２のＡ／Ｄ変換部、当該信号生成部から前記プローブ接続部に至る第２の信号伝達経路を構成する第２の構成要素、および当該信号生成部から当該第２のＡ／Ｄ変換部に至る第３の信号伝達経路を構成する第３の構成要素を備え、前記プローブ接続部、前記第１のＡ／Ｄ変換部、前記第１の構成要素、前記信号生成部、前記第２のＡ／Ｄ変換部、前記第２の構成要素および前記第３の構成要素は、相互に位置決めされて相互間の位置ずれが規制された状態で前記プローブと共に前記第１の移動機構に取り付けられ、前記処理部は、前記第１の移動機構を制御して前記プローブを前記校正基準部にプロービングさせて当該校正基準部から前記第１の高周波信号を入力させると共に、前記第１のＡ／Ｄ変換部によって生成された前記第１のデータに基づき、前記測定対象についての前記測定結果データを補正するための補正用データを生成する補正用データ生成処理を実行可能に構成され、前記測定処理において、前記第１の移動機構を制御して前記プローブを前記測定対象にプロービングさせ、かつ前記信号生成部によって生成される前記第２の高周波信号を当該測定対象に対して当該プローブを介して出力させた状態で前記第１のＡ／Ｄ変換部によって生成された前記第１のデータおよび前記第２のＡ／Ｄ変換部によって生成された前記第２のデータに基づいて前記測定結果データを生成し、かつ前記補正用データ生成処理において、前記第１の移動機構を制御して前記プローブを前記校正基準部にプロービングさせ、かつ前記信号生成部によって生成される前記第２の高周波信号を当該校正基準部に対して当該プローブを介して出力させた状態で前記第１のＡ／Ｄ変換部によって生成された前記第１のデータおよび前記第２のＡ／Ｄ変換部によって生成された前記第２のデータに基づいて前記補正用データを生成すると共に、いずれかの前記信号処理部に接続された前記プローブから前記第２の高周波信号を出力させ、かつ当該いずれかの信号処理部に接続された当該プローブから前記第１の高周波信号を入力させた状態で、当該いずれかの信号処理部における前記第１のＡ／Ｄ変換部によって生成される前記第１のデータ、および当該いずれかの信号処理部における前記第２のＡ／Ｄ変換部によって生成される前記第２のデータに基づいて、前記測定処理時には前記測定結果データを生成し、かつ前記補正用データ生成処理時には前記補正用データを生成する第１の処理と、いずれかの前記信号処理部に接続された前記プローブから前記第２の高周波信号を出力させ、かつ他のいずれかの信号処理部に接続された前記プローブから前記第１の高周波信号を入力させた状態で、当該他のいずれかの信号処理部における前記第１のＡ／Ｄ変換部によって生成される前記第１のデータ、および当該いずれかの信号処理部における前記第２のＡ／Ｄ変換部によって生成される前記第２のデータに基づいて、前記測定処理時には前記測定結果データを生成し、かつ前記補正用データ生成処理時には前記補正用データを生成する第２の処理とを実行可能に構成され、当該第２の処理において第１の周波数の前記第２の高周波信号を出力させる前記測定処理としての第１の測定処理の後に、前記第２の処理において前記第１の周波数とは異なる第２の周波数の前記第２の高周波信号を出力させる前記測定処理としての第２の測定処理を実行するときに、前記第２の処理において前記第２の周波数の前記第２の高周波信号を出力させる前記補正用データ生成処理を実行する。

請求項２記載の測定装置は、測定対象を保持可能に構成された保持部と、前記測定対象にプロービングさせられて当該測定対象から第１の高周波信号を入力するプローブと、前記保持部によって保持された前記測定対象に対して前記プローブをプロービング可能に少なくとも当該保持部に対する当該プローブの移動が可能に構成された第１の移動機構と、前記第１の高周波信号をＡ／Ｄ変換して第１のデータを生成する第１のＡ／Ｄ変換部を有すると共に前記プローブが接続されるプローブ接続部が設けられた信号処理部と、前記第１の移動機構を制御して前記プローブを前記測定対象にプロービングさせると共に前記第１のデータに基づいて当該測定対象についての予め規定された被測定量を特定可能な測定結果データを生成する測定処理を実行する処理部とを備えた測定装置であって、複数の前記信号処理部を備えると共に、前記第１の移動機構による前記プローブの前記保持部に対する相対的な移動によって当該プローブをプロービング可能なプロービング可能領域内に配設された校正基準部を備え、前記保持部は、前記プロービング可能領域内に前記校正基準部と並べて配置され、前記第１の移動機構は、前記保持部および前記校正基準部に対して前記各信号処理部を別個独立して移動可能に構成され、前記信号処理部は、前記プローブ接続部、前記第１のＡ／Ｄ変換部、当該プローブ接続部から当該第１のＡ／Ｄ変換部に至る第１の信号伝達経路を構成する第１の構成要素、第２の高周波信号を生成する信号生成部、当該第２の高周波信号をＡ／Ｄ変換して第２のデータを生成する第２のＡ／Ｄ変換部、当該信号生成部から前記プローブ接続部に至る第２の信号伝達経路を構成する第２の構成要素、および当該信号生成部から当該第２のＡ／Ｄ変換部に至る第３の信号伝達経路を構成する第３の構成要素を備え、前記プローブ接続部、前記第１のＡ／Ｄ変換部、前記第１の構成要素、前記信号生成部、前記第２のＡ／Ｄ変換部、前記第２の構成要素および前記第３の構成要素は、相互に位置決めされて相互間の位置ずれが規制された状態で前記プローブと共に前記第１の移動機構に取り付けられ、前記処理部は、前記第１の移動機構を制御して前記プローブを前記校正基準部にプロービングさせて当該校正基準部から前記第１の高周波信号を入力させると共に、前記第１のＡ／Ｄ変換部によって生成された前記第１のデータに基づき、前記測定対象についての前記測定結果データを補正するための補正用データを生成する補正用データ生成処理を実行可能に構成され、前記測定処理において、前記第１の移動機構を制御して前記プローブを前記測定対象にプロービングさせ、かつ前記信号生成部によって生成される前記第２の高周波信号を当該測定対象に対して当該プローブを介して出力させた状態で前記第１のＡ／Ｄ変換部によって生成された前記第１のデータおよび前記第２のＡ／Ｄ変換部によって生成された前記第２のデータに基づいて前記測定結果データを生成し、かつ前記補正用データ生成処理において、前記第１の移動機構を制御して前記プローブを前記校正基準部にプロービングさせ、かつ前記信号生成部によって生成される前記第２の高周波信号を当該校正基準部に対して当該プローブを介して出力させた状態で前記第１のＡ／Ｄ変換部によって生成された前記第１のデータおよび前記第２のＡ／Ｄ変換部によって生成された前記第２のデータに基づいて前記補正用データを生成すると共に、いずれかの前記信号処理部に接続された前記プローブから前記第２の高周波信号を出力させ、かつ当該いずれかの信号処理部に接続された当該プローブから前記第１の高周波信号を入力させた状態で、当該いずれかの信号処理部における前記第１のＡ／Ｄ変換部によって生成される前記第１のデータ、および当該いずれかの信号処理部における前記第２のＡ／Ｄ変換部によって生成される前記第２のデータに基づいて、前記測定処理時には前記測定結果データを生成し、かつ前記補正用データ生成処理時には前記補正用データを生成する第１の処理と、いずれかの前記信号処理部に接続された前記プローブから前記第２の高周波信号を出力させ、かつ他のいずれかの信号処理部に接続された前記プローブから前記第１の高周波信号を入力させた状態で、当該他のいずれかの信号処理部における前記第１のＡ／Ｄ変換部によって生成される前記第１のデータ、および当該いずれかの信号処理部における前記第２のＡ／Ｄ変換部によって生成される前記第２のデータに基づいて、前記測定処理時には前記測定結果データを生成し、かつ前記補正用データ生成処理時には前記補正用データを生成する第２の処理とを実行可能に構成され、当該第２の処理において第１の周波数の前記第２の高周波信号を出力させる前記測定処理としての第１の測定処理の後に、前記第２の処理において前記第１の周波数とは異なる第２の周波数の前記第２の高周波信号を出力させる前記測定処理としての第２の測定処理を実行するときに、前記第２の処理において前記第２の周波数の前記第２の高周波信号を出力させる前記補正用データ生成処理を実行する。

請求項３記載の測定装置は、測定対象を保持可能に構成された保持部と、前記測定対象にプロービングさせられて当該測定対象から第１の高周波信号を入力するプローブと、前記保持部によって保持された前記測定対象に対して前記プローブをプロービング可能に少なくとも当該保持部に対する当該プローブの移動が可能に構成された第１の移動機構と、前記第１の高周波信号をＡ／Ｄ変換して第１のデータを生成する第１のＡ／Ｄ変換部を有すると共に前記プローブが接続されるプローブ接続部が設けられた複数の信号処理部と、前記第１の移動機構を制御して前記プローブを前記測定対象にプロービングさせると共に前記第１のデータに基づいて当該測定対象についての予め規定された被測定量を特定可能な測定結果データを生成する測定処理を実行する処理部とを備えた測定装置であって、校正基準部と、前記第１の移動機構による前記プローブの前記保持部に対する相対的な移動によって当該プローブをプロービング可能なプロービング可能領域内への前記校正基準部の移動が可能に構成された第２の移動機構とを備え、前記信号処理部は、前記プローブ接続部、第２の高周波信号を生成する信号生成部、前記第１のＡ／Ｄ変換部、前記第２の高周波信号をＡ／Ｄ変換して第２のデータを生成する第２のＡ／Ｄ変換部、当該プローブ接続部から当該第１のＡ／Ｄ変換部に至る第１の信号伝達経路を構成する第１の構成要素、当該信号生成部から当該プローブ接続部に至る第２の信号伝達経路を構成する第２の構成要素、および当該信号生成部から当該第２のＡ／Ｄ変換部に至る第３の信号伝達経路を構成する第３の構成要素を備え、前記プローブ接続部、前記信号生成部、前記第１のＡ／Ｄ変換部、前記第２のＡ／Ｄ変換部、前記第１の構成要素、前記第２の構成要素および前記第３の構成要素は、相互に位置決めされて相互間の位置ずれが規制された状態で前記プローブと共に前記第１の移動機構に取り付けられ、前記第１の移動機構は、前記保持部および前記校正基準部に対して前記各信号処理部を別個独立して移動可能に構成され、前記処理部は、前記第２の移動機構を制御して前記校正基準部を前記プロービング可能領域内に移動させ、かつ前記第１の移動機構を制御して前記プローブを前記校正基準部にプロービングさせて当該校正基準部から前記第１の高周波信号を入力させると共に、前記第１のＡ／Ｄ変換部によって生成された前記第１のデータに基づき、前記測定対象についての前記測定結果データを補正するための補正用データを生成する補正用データ生成処理を実行可能に構成され、前記測定処理において、前記第１の移動機構を制御して前記プローブを前記測定対象にプロービングさせ、かつ前記信号生成部によって生成される前記第２の高周波信号を当該測定対象に対して当該プローブを介して出力させた状態で前記第１のＡ／Ｄ変換部によって生成された前記第１のデータおよび前記第２のＡ／Ｄ変換部によって生成された前記第２のデータに基づいて前記測定結果データを生成し、かつ前記補正用データ生成処理において、前記第２の移動機構を制御して前記校正基準部を前記プロービング可能領域内に移動させ、前記第１の移動機構を制御して前記プローブを前記校正基準部にプロービングさせ、かつ前記信号生成部によって生成される前記第２の高周波信号を当該校正基準部に対して当該プローブを介して出力させた状態で前記第１のＡ／Ｄ変換部によって生成された前記第１のデータおよび前記第２のＡ／Ｄ変換部によって生成された前記第２のデータに基づいて前記補正用データを生成すると共に、いずれかの前記信号処理部に接続された前記プローブから前記第２の高周波信号を出力させ、かつ当該いずれかの信号処理部に接続された当該プローブから前記第１の高周波信号を入力させた状態で、当該いずれかの信号処理部における前記第１のＡ／Ｄ変換部によって生成される前記第１のデータ、および当該いずれかの信号処理部における前記第２のＡ／Ｄ変換部によって生成される前記第２のデータに基づいて、前記測定処理時には前記測定結果データを生成し、かつ前記補正用データ生成処理時には前記補正用データを生成する第１の処理と、いずれかの前記信号処理部に接続された前記プローブから前記第２の高周波信号を出力させ、かつ他のいずれかの信号処理部に接続された前記プローブから前記第１の高周波信号を入力させた状態で、当該他のいずれかの信号処理部における前記第１のＡ／Ｄ変換部によって生成される前記第１のデータ、および当該いずれかの信号処理部における前記第２のＡ／Ｄ変換部によって生成される前記第２のデータに基づいて、前記測定処理時には前記測定結果データを生成し、かつ前記補正用データ生成処理時には前記補正用データを生成する第２の処理とを実行可能に構成され、かつ当該第２の処理において第１の周波数の前記第２の高周波信号を出力させる前記測定処理としての第１の測定処理の後に、前記第２の処理において前記第１の周波数とは異なる第２の周波数の前記第２の高周波信号を出力させる前記測定処理としての第２の測定処理を実行するときに、前記第２の処理において前記第２の周波数の前記第２の高周波信号を出力させる前記補正用データ生成処理を実行する。

請求項４記載の測定装置は、請求項１から３のいずれかに記載の測定装置において、前記処理部は、前記測定装置が起動されたとの条件、前記プローブが交換されたとの条件、前記信号処理部の温度が予め設定された温度を超えて変化したとの条件、前記測定対象および前記校正基準部に対する前記プローブのプロービング回数が予め設定された回数に達したとの条件、当該測定装置の連続稼働時間が予め設定された時間に達したとの条件、および前記測定結果データの値と対応する基準値とが予め設定された相違量を超えて相違するとの条件のうちの予め規定された条件が満たされたか否かを監視すると共に、当該予め規定された条件が満たされたときに前記補正用データ生成処理を実行する。

請求項５記載の測定装置は、請求項１から４のいずれかに記載の測定装置において、前記処理部は、前記測定対象についての前記測定結果データを前記補正用データに基づいて補正するデータ補正処理を実行する。

請求項１，２記載の測定装置では、第１の移動機構によるプローブの保持部に対する相対的な移動によってプローブをプロービング可能なプロービング可能領域内に配設された校正基準部を備え、信号処理部が、プローブ接続部、第１のＡ／Ｄ変換部、および第１の信号伝達経路を構成する第１の構成要素を備え、これらが相互に位置決めされて相互間の位置ずれが規制された状態でプローブと共に第１の移動機構に取り付けられ、処理部が、第１の移動機構を制御してプローブを校正基準部にプロービングさせて校正基準部から第１の高周波信号を入力させると共に、第１のＡ／Ｄ変換部によって生成された第１のデータに基づき、測定対象についての測定結果データを補正するための補正用データを生成する補正用データ生成処理を実行する。

したがって、請求項１，２記載の測定装置によれば、上記特許文献に開示の検査装置とは異なり、種類が異なる測定対象毎に測定基板や校正基準部を製作することなく、各種の測定対象や校正基準部に対して第１の移動機構によってプローブを移動させてプロービングさせることで測定対象や校正基準部から第１の高周波信号を入力することができ、測定処理や補正用データ生成処理を行うことができる。このため、測定処理や補正用データ生成処理に要するコストを十分に低減することができる。また、測定対象や校正基準部に対するプローブのプロービング時に、プローブ接続部、第１のＡ／Ｄ変換部および第１の構成要素の相互間の位置ずれが生じないため、これらの位置ずれ（位置関係の変化）に起因して測定値に誤差が生じる事態が好適に回避される結果、正確な測定結果データを確実かつ容易に生成することができる。さらに、測定対象に対してプロービングさせるプローブを第１の移動機構によって移動させて校正基準部にプロービングさせた状態で測定処理を行い、その際に生成される第１のデータに基づいて補正用データを生成することができるため、第１の移動機構によるプローブの移動に要する時間、および測定処理に要する時間を合計した非常に短い時間で補正用データの生成を完了させることができる。この結果、測定対象についての測定（検査）処理を中断する時間を短時間とすることができ、新たな補正用データを頻繁に生成したとしても測定（検査）処理の効率を大きく低下させることがないため、最新の補正用データに基づいて測定結果データを高精度に補正することができる。

また、請求項１，２記載の測定装置では、信号処理部が、信号生成部、第２のＡ／Ｄ変換部、第２の信号伝達経路を構成する第２の構成要素、および第３の信号伝達経路を構成する第３の構成要素をさらに備え、プローブ接続部、第１のＡ／Ｄ変換部、第２のＡ／Ｄ変換部、信号生成部、第１の構成要素、第２の構成要素および第３の構成要素が、相互に位置決めされて相互間の位置ずれが規制された状態でプローブと共に前記第１の移動機構に取り付けられ、処理部が、補正用データ生成処理において、第１の移動機構を制御してプローブを校正基準部にプロービングさせ、かつ信号生成部によって生成される第２の高周波信号を校正基準部に対してプローブを介して出力させた状態で第１のＡ／Ｄ変換部によって生成された第１のデータおよび第２のＡ／Ｄ変換部によって生成された第２のデータに基づいて補正用データを生成する。

したがって、請求項１，２記載の測定装置によれば、各種の測定対象や校正基準部に対して第１の移動機構によってプローブを移動させてプロービングさせ、その状態で測定対象や校正基準部に対して第２の高周波信号を出力して第１の高周波信号を入力することで、測定処理や補正用データの生成処理を行うことができる。このため、測定処理や補正用データの生成処理に要するコストを十分に低減することができる。また、測定対象や校正基準部に対するプローブのプロービング時に、信号生成部、プローブ接続部、第１のＡ／Ｄ変換部、第２のＡ／Ｄ変換部、第１の構成要素、第２の構成要素および第３の構成要素の相互間の位置ずれが生じないため、これらの位置ずれ（位置関係の変化）に起因して測定値に誤差が生じる事態が好適に回避される結果、正確な測定結果データを容易に生成することができる。さらに、測定対象に対してプロービングさせるプローブを第１の移動機構によって移動させて校正基準部にプロービングさせた状態で測定処理を行い、その際に生成される第１のデータおよび第２のデータに基づいて補正用データを生成することができるため、第１の移動機構によるプローブの移動に要する時間、および測定処理に要する時間を合計した非常に短い時間で補正用データの生成を完了させることができる。この結果、測定対象についての測定（検査）処理を中断する時間を短時間とすることができ、新たな補正用データを頻繁に生成したとしても測定（検査）処理の効率を大きく低下させることがないため、最新の補正用データに基づいて測定結果データを高精度に補正することができる。

請求項３記載の測定装置では、校正用基準部と、第１の移動機構によるプローブの保持部に対する相対的な移動によってプローブをプロービング可能なプロービング可能領域内に校正用基準部を移動可能な第２の移動機構とを備え、信号処理部が、プローブ接続部、第１のＡ／Ｄ変換部、および第１の信号伝達経路を構成する第１の構成要素を備え、これらが相互に位置決めされて相互間の位置ずれが規制された状態でプローブと共に第１の移動機構に取り付けられ、処理部が、第２の移動機構を制御して校正用基準部をプロービング可能領域内に移動させ、かつ第１の移動機構を制御してプローブを校正基準部にプロービングさせて校正基準部から第１の高周波信号を入力させると共に、第１のＡ／Ｄ変換部によって生成された第１のデータに基づき、測定対象についての測定結果データを補正するための補正用データを生成する補正用データ生成処理を実行する。

したがって、請求項３記載の測定装置によれば、上記特許文献に開示の検査装置とは異なり、種類が異なる測定対象毎に測定基板や校正基準部を製作することなく、各種の測定対象や校正基準部に対して第１の移動機構によってプローブを移動させてプロービングさせることで測定対象や校正基準部から第１の高周波信号を入力することができ、測定処理や補正用データ生成処理を行うことができる。このため、測定処理や補正用データ生成処理に要するコストを十分に低減することができる。また、測定対象や校正基準部に対するプローブのプロービング時に、プローブ接続部、第１のＡ／Ｄ変換部および第１の構成要素の相互間の位置ずれが生じないため、これらの位置ずれ（位置関係の変化）に起因して測定値に誤差が生じる事態が好適に回避される結果、正確な測定結果データを確実かつ容易に生成することができる。さらに、測定対象に対してプロービングさせるプローブを第１の移動機構によって移動させて校正基準部にプロービングさせた状態で測定処理を行い、その際に生成される第１のデータに基づいて補正用データを生成することができるため、第２の移動機構による校正用基準部の移動に要する時間、第１の移動機構によるプローブの移動に要する時間、および測定処理に要する時間を合計した非常に短い時間で補正用データの生成を完了させることができる。この結果、測定対象についての測定（検査）処理を中断する時間を短時間とすることができ、新たな補正用データを頻繁に生成したとしても測定（検査）処理の効率を大きく低下させることがないため、最新の補正用データに基づいて測定結果データを高精度に補正することができる。

また、請求項３記載の測定装置では、信号処理部が、信号生成部、第２のＡ／Ｄ変換部、第２の信号伝達経路を構成する第２の構成要素、および第３の信号伝達経路を構成する第３の構成要素をさらに備え、プローブ接続部、第１のＡ／Ｄ変換部、第２のＡ／Ｄ変換部、信号生成部、第１の構成要素、第２の構成要素および第３の構成要素が、相互に位置決めされて相互間の位置ずれが規制された状態でプローブと共に前記第１の移動機構に取り付けられ、処理部が、補正用データ生成処理において、第２の移動機構を制御して校正用基準部をプロービング可能領域内に移動させると共に、第１の移動機構を制御してプローブを校正基準部にプロービングさせ、かつ信号生成部によって生成される第２の高周波信号を校正基準部に対してプローブを介して出力させた状態で第１のＡ／Ｄ変換部によって生成された第１のデータおよび第２のＡ／Ｄ変換部によって生成された第２のデータに基づいて補正用データを生成する。

したがって、請求項３記載の測定装置によれば、各種の測定対象や校正基準部に対して第１の移動機構によってプローブを移動させてプロービングさせ、その状態で測定対象や校正基準部に対して第２の高周波信号を出力して第１の高周波信号を入力することで、測定処理や補正用データの生成処理を行うことができる。このため、測定処理や補正用データの生成処理に要するコストを十分に低減することができる。また、プロービング可能領域内への校正基準部の移動時、および測定対象や校正基準部に対するプローブのプロービング時に、信号生成部、プローブ接続部、第１のＡ／Ｄ変換部、第２のＡ／Ｄ変換部、第１の構成要素、第２の構成要素および第３の構成要素の相互間の位置ずれが生じないため、これらの位置ずれ（位置関係の変化）に起因して測定値に誤差が生じる事態が好適に回避される結果、正確な測定結果データを容易に生成することができる。さらに、校正用基準部を第２の移動機構によってプロービング可能領域内へ移動させ、かつ測定対象に対してプロービングさせるプローブを第１の移動機構によって移動させて校正基準部にプロービングさせた状態で測定処理を行い、その際に生成される第１のデータおよび第２のデータに基づいて補正用データを生成することができるため、第２の移動機構による校正用基準部の移動に要する時間、第１の移動機構によるプローブの移動に要する時間、および測定処理に要する時間を合計した非常に短い時間で補正用データの生成を完了させることができる。この結果、測定対象についての測定（検査）処理を中断する時間を短時間とすることができ、新たな補正用データを頻繁に生成したとしても測定（検査）処理の効率を大きく低下させることがないため、最新の補正用データに基づいて測定結果データを高精度に補正することができる。

また、請求項１，２，３記載の測定装置では、第１の移動機構が、保持部および校正基準部に対して各信号処理部を別個独立して移動可能に構成されている。また、処理部が、いずれかの信号処理部に接続されたプローブから第２の高周波信号を出力させ、かついずれかの信号処理部に接続されたプローブから第１の高周波信号を入力させた状態で、いずれかの信号処理部における第１のＡ／Ｄ変換部によって生成される第１のデータ、およびいずれかの信号処理部における第２のＡ／Ｄ変換部によって生成される第２のデータに基づいて、測定処理時には測定結果データを生成し、補正用データ生成処理時には補正用データを生成する第１の処理と、いずれかの信号処理部に接続されたプローブから第２の高周波信号を出力させ、かつ他のいずれかの信号処理部に接続されたプローブから第１の高周波信号を入力させた状態で、他のいずれかの信号処理部における第１のＡ／Ｄ変換部によって生成される第１のデータ、およびいずれかの信号処理部における第２のＡ／Ｄ変換部によって生成される第２のデータに基づいて、測定処理時には測定結果データを生成し、補正用データ生成処理時には補正用データを生成する第２の処理とを実行可能に構成されている。

したがって、請求項１，２，３記載の測定装置によれば、測定対象や校正基準部における複数箇所で第１の処理を並行して実行することで、これらの複数箇所についての第１のデータおよび第２のデータの生成に要する時間を短縮することができると共に、測定対象や校正基準部においてある程度離間した部位については、いずれかの信号処理部のプローブのプロービング位置と他の信号処理部のプローブのプロービング位置とを任意に変更して第２の処理を実行することができるため、各種の測定対象や校正基準部についての第１のデータおよび第２のデータを確実かつ容易に生成して測定結果データや補正用データを生成することができる。

また、請求項１，２，３記載の測定装置では、処理部が、第２の処理において第１の周波数の第２の高周波信号を出力させる第１の測定処理の後に、第２の処理において第２の周波数の第２の高周波信号を出力させる第２の測定処理を実行するときに、第２の処理において第２の周波数の第２の高周波信号を出力させる補正用データ生成処理を実行することにより、第２の高周波信号の周波数の変更に伴って、第２の高周波信号を出力する信号処理部と、第１の高周波信号を入力する信号処理部との位相関係が変化するときに、そのような信号処理部から出力される測定値に基づいて演算される測定結果データを正確な値に補正可能な補正用データを得ることができる。

請求項４記載の測定装置では、処理部が、測定装置が起動されたとの条件、プローブが交換されたとの条件、信号処理部の温度が予め設定された温度を超えて変化したとの条件、測定対象および校正基準部に対するプローブのプロービング回数が予め設定された回数に達したとの条件、測定装置の連続稼働時間が予め設定された時間に達したとの条件、および測定結果データの値と対応する基準値とが予め設定された相違量を超えて相違するとの条件のうちの予め規定された条件が満たされたか否かを監視すると共に、予め規定された条件が満たされたときに補正用データ生成処理を実行する。したがって、請求項４記載の測定装置によれば、測定装置の動作状態等を監視していなくても、測定結果データを正確な値に補正可能な補正用データを自動的に取得させることができる。

請求項５記載の測定装置では、処理部が、測定対象についての測定結果データを補正用データに基づいて補正するデータ補正処理を実行することにより、データ補正処理後の正確な測定結果データを提供することができる。

検査装置１の構成図である。 信号処理ユニット３の構成図である。 検査装置１Ａの構成図である。

以下、測定装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。

図１に示す検査装置１は、「測定装置」の一例であって、保持部２、信号処理ユニット３，３、プローブ４ａ，４ａ，４ｂ，４ｂ、移動機構５，５、操作部６、表示部７、処理部８、記憶部９および校正基準部１０を備え、検査対象Ｘ（「測定対象」の一例）についての測定処理、および測定結果に基づく検査対象Ｘの検査を実行可能に構成されている。なお、検査対象Ｘについては、特に限定されるものではないが、一例として、前述の特許文献に開示されている検査装置の検査対象であるモジュールを検査対象Ｘとして検査する例について説明する。また、校正基準部１０は、「校正基準部」の一例であって、検査対象Ｘを含む各種の「検査対象（測定対象）」に対する測定処理時と同様の測定処理を実行可能な被測定回路（ダミー回路：図示せず）が形成されている。

保持部２は、「保持部」に相当し、一例として、図示しない真空ポンプに接続されて検査対象Ｘを吸着して保持する構成や、検査対象Ｘの側面に当接可能な当接具を介して検査対象Ｘを挟持して保持する構成など（いずれも図示せず）が採用されている。この場合、前述のモジュールを検査対象Ｘとして検査する本例では、検査対象Ｘにおけるシールド導電層を保持部２に接触させるように（つまり、回路基板における各実装用電極の形成面が上向きとなるように）して検査対象Ｘを保持させることにより、検査対象Ｘの各実装用電極に対するプロービングを可能となる。また、本例では、保持部２において検査対象Ｘ（シールド導電層）に接する部位の少なくとも一部が電極として機能し、この電極として機能する部位が信号ケーブルＣａを介して処理部８に接続されることにより、検査対象Ｘ（シールド導電層）が処理部８に接続される構成が採用されている。

信号処理ユニット３は、「信号処理部」の一例であって、図２に示すように、信号生成部１１、Ａ／Ｄ変換部１２ｏ，１２ｉおよび信号分離部１３を備えている。この信号処理ユニット３は、プローブ４ａ，４ｂを接続可能なプローブ接続部１４ａ，１４ｂ（以下、区別しないときには「プローブ接続部１４」ともいう）、および処理部８に接続されたデータケーブルＣｂを接続可能なケーブル接続部１５ａ～１５ｃ（以下、区別しないときには「ケーブル接続部１５」ともいう）が設けられると共に、移動機構５に対して着脱可能に構成されている。

この場合、本例の信号処理ユニット３では、プローブ４ａが「プローブ」に相当すると共に、このプローブ４ａが接続されるプローブ接続部１４ａが「プローブ接続部」に相当する。また、プローブ４ｂが接続されるプローブ接続部１４ｂは、信号処理ユニット３内のグランド電位に接続されており、これにより、検査対象Ｘや校正基準部１０においてプローブ４ｂがプロービングされた部位がグランド電位に接続されることとなる。この場合、本例の検査装置１では、プローブ４ａ，４ｂ（以下、区別しないときには「プローブ４」ともいう）に減耗や破損が生じたときに、減耗や破損が生じたプローブ４を信号処理ユニット３から取り外して新たなプローブ４に交換することが可能となっている。

信号生成部１１は、「信号生成部」の一例であって、ケーブル接続部１５ａに接続されたデータケーブルＣｂの信号線を介して「第２の高周波信号」に相当する出力信号Ｓｏを生成する。この場合、信号生成部１１は、良否を検査すべき導体の形状、大きさおよび材質や、プローブ４ａ，４ｂのプロービング位置（後述の検査ポイント）の離間距離などに応じて予め規定された周波数の出力信号Ｓｏを、処理部８から出力される制御データＤｃに従って生成する。Ａ／Ｄ変換部１２ｏは、「第２のＡ／Ｄ変換部」の一例であって、信号生成部１１によって生成されて検査対象Ｘに対して出力される出力信号ＳｏをＡ／Ｄ変換して「第２のデータ」の一例である測定値データＤｍｏを生成し、ケーブル接続部１５ｂに接続されているデータケーブルＣｂの信号線を介して処理部８に出力する。

Ａ／Ｄ変換部１２ｉは、「第１のＡ／Ｄ変換部」の一例であって、検査対象Ｘから入力される入力信号Ｓｉ（「第１の高周波信号」の一例）をＡ／Ｄ変換して「第１のデータ」の一例である測定値データＤｍｉを生成し、ケーブル接続部１５ｃに接続されているデータケーブルＣｂの信号線を介して処理部８に出力する。信号分離部１３は、いわゆるカップラーで構成されて、信号生成部１１によって生成された出力信号Ｓｏとプローブ接続部１４ａから入力される入力信号Ｓｉとを分離して、出力信号Ｓｏをプローブ接続部１４ａおよびＡ／Ｄ変換部１２ｏに出力すると共に、入力信号ＳｉをＡ／Ｄ変換部１２ｉに出力する。

この場合、この信号処理ユニット３では、信号生成部１１からプローブ接続部１４ａに至る信号伝達経路Ｌ１が「第２の信号伝達経路」に相当すると共に、この信号伝達経路Ｌ１を構成する構成要素（配線パターンや信号分離部１３等）が「第２の構成要素」に相当する。また、この信号処理ユニット３では、信号生成部１１からＡ／Ｄ変換部１２ｏに至る信号伝達経路Ｌ２が「第３の信号伝達経路」に相当すると共に、この信号伝達経路Ｌ２を構成する構成要素（配線パターンや信号分離部１３等）が「第３の構成要素」に相当する。さらに、この信号処理ユニット３では、プローブ接続部１４ａからＡ／Ｄ変換部１２ｉに至る信号伝達経路Ｌ３が「第１の信号伝達経路」に相当すると共に、この信号伝達経路Ｌ３を構成する構成要素（配線パターンや信号分離部１３等）が「第１の構成要素」に相当する。

また、この信号処理ユニット３では、信号生成部１１、Ａ／Ｄ変換部１２ｏ，１２ｉ、プローブ接続部１４ａ，１４ｂおよび信号伝達経路Ｌ１～Ｌ３の各構成要素（配線パターンや信号分離部１３等）がパッケージングされて一体化されている。これにより、本例の信号処理ユニット３では、信号生成部１１、Ａ／Ｄ変換部１２ｏ，１２ｉ、プローブ接続部１４ａ，１４ｂおよび信号伝達経路Ｌ１～Ｌ３の各構成要素が相互に位置決めされて、信号生成部１１、Ａ／Ｄ変換部１２ｏ，１２ｉ、プローブ接続部１４ａ，１４ｂおよび信号伝達経路Ｌ１～Ｌ３の各構成要素の相互間の位置ずれが規制された状態となっている（「プローブ接続部、第１のＡ／Ｄ変換部および第１の構成要素が相互に位置決めされて、相互間の位置ずれが規制される」との状態、および「信号生成部、プローブ接続部、第２のＡ／Ｄ変換部、第２の構成要素および第３の構成要素が相互に位置決めされて、相互間の位置ずれが規制される」との状態の一例）。

移動機構５は、「第１の移動機構」の一例であって、処理部８の制御に従い、保持部２によって保持されている検査対象Ｘに対して各プローブ４を移動させて任意のプロービング位置（検査対象Ｘにおける実装用電極の形成位置：検査ポイント）にプロービングさせる。この場合、本例の検査装置１では、図１に示すように、一例として、静置状態の保持部２に検査対象Ｘを保持させると共に、Ｘ軸方向（保持部２の載置面に沿った方向）に移動させるＸ軸移動機構、Ｙ軸方向（保持部２の載置面に沿った方向であってＸ軸と交差（例えば、直交）する方向）に移動させるＹ軸移動機構、θ方向に回動させる（保持部２の載置面に沿って回転させる）θ軸回転機構、およびＺ軸方向（保持部２の載置面に対して交差（例えば、直交）する方向）に移動させるＺ軸移動機構の４つ（いずれも図示せず）を備えた移動機構５によって検査対象Ｘにプローブ４をプロービングさせる構成が採用されている。

なお、移動機構５に取り付けられる信号処理ユニット３のプローブ接続部１４にプローブ４を接続して信号処理ユニット３にプローブ４を取り付ける本例の検査装置１では、保持部２に対して信号処理ユニット３を移動させることにより（「保持部に対して各信号処理部を別個独立して移動可能」との構成の一例）、信号処理ユニット３と共にプローブ４が保持部２に対して移動させられることとなる。したがって、本例の検査装置１では、移動機構５による信号処理ユニット３の移動が「第１の移動機構によるプローブの保持部に対する相対的な移動」に相当する。

また、本例の検査装置１では、移動機構５による信号処理ユニット３（プローブ４）の移動可能範囲が「プロービング可能領域」に相当し、この移動可能範囲（プロービング可能領域）内に保持部２や校正基準部１０が配設されている。なお、図１では、保持部２の上に検査対象Ｘおよび校正基準部１０を載置した状態を図示しているが、上記の移動可能範囲（プロービング可能領域）内に保持部２と並べて校正基準部１０を配置することもできる。

操作部６は、検査対象Ｘについての検査処理の実行条件や、後述する校正処理（補正用データ生成処理）の実行条件などの設定、および検査処理や校正処理の開始の指示が可能な各種の操作スイッチを備え、スイッチ操作に応じた操作信号を処理部８に出力する。表示部７は、処理部８の制御に従い、上記の各実行条件を設定する設定画面や、検査装置１の動作状態を示す画面、および検査対象Ｘについての検査結果の表示画面など（いずれも図示せず）を表示する。

処理部８は、検査装置１を総括的に制御する。具体的には、処理部８は、「処理部」の一例であって、移動機構５によるプローブ４（信号処理ユニット３）の移動、および信号生成部１１による出力信号Ｓｏの生成（検査対象Ｘへの出力信号Ｓｏの出力）を制御すると共に、Ａ／Ｄ変換部１２ｏ，１２ｉによって生成された測定値データＤｍｏ，Ｄｍｉに基づく被測定量の演算、および演算結果に基づく測定結果データＤｒ（「測定結果データ」の一例）の生成に関する処理（「測定処理」の一例）などを実行する。

なお、本例の検査装置１では、検査対象Ｘについての検査時に、両信号処理ユニット３を単独で使用して各信号処理ユニット３毎に行う「オープン測定（検査）」、「ショート測定（検査）」および「ロード測定検査」と、両信号処理ユニット３，３を併用して行う「スルー測定（検査）」との４つの測定（検査）のいずれかを検査すべき内容に応じて実行可能に構成されている。

この場合、「オープン測定（検査）」、「ショート測定（検査）」および「ロード測定検査」としては、一例として、両信号処理ユニット３，３のいずれかに取り付けられたプローブ４を用いてプロービングポイントにおける例えば電圧値や反射電力値などを「測定対象についての予め規定された被測定量」として上記の測定結果データＤｒを生成する処理（「第１の処理」の一例）が実行される。また、「スルー測定（検査）」としては、両信号処理ユニット３，３の一方に取り付けられたプローブ４のプロービングポイント（実装用電極）と、両信号処理ユニット３，３の他方に取り付けられたプローブ４のプロービングポイント（実装用電極）との間のインピーダンスや位相差を「測定対象についての予め規定された被測定量」として上記の測定結果データＤｒを生成する処理（「第２の処理」の一例）が実行される。

さらに、検査すべき内容によっては、両信号処理ユニット３，３のいずれかに取り付けられたプローブ４のプロービングポイント（実装用電極）と、保持部２が接触しているシールド導電層との間のインピーダンス値を「測定対象についての予め規定された被測定量」として上記の測定結果データＤｒを生成する処理が実行される。

また、本例の検査装置１における処理部８は、上記の「測定処理」によって生成した測定結果データＤｒの値を、後述の校正処理（補正用データ生成処理）によって生成した補正用データＤｐに基づいて補正し（「データ補正処理」の一例）、補正後の値と比較用基準値との比較によって検査対象Ｘの良否を検査可能に構成されている。

さらに、処理部８は、後述の「予め設定された開始条件」が満たされたか否かを監視すると共に、「開始条件」が満たされたときに、両移動機構５，５を制御して各プローブ４ａ，４ｂを校正基準部１０の所定のプロービングポイント（被測定回路（ダミー回路））にプロービングさせて信号生成部１１から校正基準部１０に対して出力信号Ｓｏを出力させつつ、校正基準部１０から入力信号Ｓｉを入力させると共に、Ａ／Ｄ変換部１２ｏ，１２ｉによって生成された測定値データＤｍｏ，Ｄｍｉと、記憶部９に記憶されている校正基準部１０についての基準値データＤｓとに基づき、検査対象Ｘについての測定結果データＤｒを補正するための補正用データＤｐを生成する「補正用データ生成処理」を実行する。

なお、本例の検査装置１では、上記の「開始条件（校正処理の実行条件）」として、「検査装置１が起動された」との条件、「プローブ４が交換された」との条件、「図示しない温度センサによって検出される信号処理ユニット３の温度が設定温度（「予め設定された温度」の一例）を超えて変化した」との条件（「信号処理部の温度が予め設定された温度を超えて変化した」との条件の一例）、「検査対象Ｘおよび校正基準部１０に対するプローブ４のプロービング回数が設定回数（「予め設定された回数」の一例）に達した」との条件、「検査処理の連続実行時間（検査装置１の連続稼働時間）が設定時間（予め設定された時間）に達した」との条件、「測定結果データＤｒの値と、対応する基準値データＤｓの値（基準値）とが予め設定された相違量を超えて相違する」との条件、「［第２の処理］において［第１の周波数］の出力信号Ｓｏを出力させる［測定処理としての第１の測定処理］の後に、［第２の処理］において［第１の周波数］とは異なる［第２の周波数］の出力信号Ｓｏを出力させる［測定処理としての第２の測定処理］を実行する」との条件、および「利用者から実行を指示された」との条件のうちから任意の条件を選択して設定することが可能となっている。

この場合、本例では、上記の各条件のうちから利用者によって選択された条件が「予め規定された条件」に相当する。また、本例の検査装置１では、上記の各条件のうちの「設定温度」、「設定回数」、「設定時間」および「相違量」については、検査対象Ｘの種類や、検査装置１の設置環境（動作環境）に応じて利用者が任意に変更することが可能となっている。さらに、本例の検査装置１では、上記のように予め設定した条件に従って実行した「補正用データ生成処理」において有効な測定結果データＤｒを得ることができなかったとき（例えば、測定結果データＤｒの値が、対応する基準値データＤｓの値に対して予め規定された相違量を超え大きく相違するとき））に「補正用データ生成処理」を再び実行する構成が採用されている。

記憶部９は、処理部８の動作プログラムや、校正基準部１０についての基準値データＤｓ（プローブ４に減耗や汚れの付着が発生していない状態で、常温下で校正基準部１０に対する測定処理を行った際に測定されるべき測定値や、校正基準部１０に対してプローブ４が正常な接触状態でプロービングさせられた状態において測定されるべき測定値（一例としてインピーダンスや反射係数）が記録されたデータ）、および検査対象Ｘについての基準値データＤｓ（プローブ４に減耗や汚れの付着が発生していない状態で、常温下で良品の検査対象Ｘに対する測定処理を行った際に測定されるべき測定値や、検査対象Ｘに対してプローブ４が正常な接触状態でプロービングさせられた状態において測定されるべき測定値（一例としてインピーダンスや反射係数）が記録されたデータ）などを記憶すると共に、処理部８によって生成される測定結果データＤｒや補正用データＤｐを記憶する。

この検査装置１では、電源が投入されて起動させられたときに、処理部８が、校正処理の実行条件（予め規定された開始条件）の１つが満たされたとして、校正処理（補正用データ生成処理）を開始する。この校正処理では、処理部８は、最初に、例えば５０Ωの基準器で構成されて一対の電極（一例として、「ロード測定」用の電極部）の一方が基準電位に接続されている校正基準部１０を対象とする反射係数についての測定処理を実行する。

具体的には、処理部８は、移動機構５を制御して、信号処理ユニット３の両プローブ４を校正基準部１０に設けられた他方の電極部にプロービングさせると共に、信号生成部１１に制御データＤｃを出力して出力信号Ｓｏを生成させる。この際には、信号生成部１１によって生成された出力信号Ｓｏが信号伝達経路Ｌ１およびプローブ接続部１４ａを介してプローブ４ａから校正基準部１０に出力されると共に、Ａ／Ｄ変換部１２ｏが信号伝達経路Ｌ２を介して入力される出力信号ＳｏをＡ／Ｄ変換して測定値データＤｍｏを生成し、生成した測定値データＤｍｏを処理部８に出力する。また、校正基準部１０からプローブ４ａを介して信号処理ユニット３に入力された入力信号Ｓｉとしての反射信号が信号伝達経路Ｌ３を介してＡ／Ｄ変換部１２ｉに入力されると共に、Ａ／Ｄ変換部１２ｉが入力された入力信号ＳｉをＡ／Ｄ変換して測定値データＤｍｉを生成し、生成した測定値データＤｍｉを処理部８に出力する。

この場合、本例の検査装置１では、前述したように、信号処理ユニット３の信号生成部１１、Ａ／Ｄ変換部１２ｏ，１２ｉ、プローブ接続部１４ａおよび信号伝達経路Ｌ１～Ｌ３の各構成要素（配線パターンや信号分離部１３）が相互に位置決めされて相互間の位置ずれが規制されると共に、そのような信号処理ユニット３のプローブ接続部１４ａ，１４ｂにプローブ４ａ，４ｂが接続されて取り付けられている。したがって、本例の検査装置１では、校正基準部１０についての測定処理時や、後述する検査対象Ｘについての測定処理時におけるプロービングに際して、入力信号Ｓｉおよび出力信号Ｓｏ（高周波信号）が通過するすべての構成要素が、相互間の位置関係が変化することなく、移動機構５によってプローブ４ａ，４ｂと共に移動させられる。

このため、本例の検査装置１では、信号生成部１１とプローブ４ａとの距離、プローブ４ａとＡ／Ｄ変換部１２ｏ，１２ｉとの距離、および各信号伝達経路Ｌ１～Ｌ３の形状などが、プロービング時に変化することがない。したがって、本例の検査装置１では、移動機構５による信号処理ユニット３（プローブ４）の移動可能範囲内のいずれの部位にプローブ４をプロービングさせたとしても、プローブ４のプロービング位置の相違に応じて例えば出力信号Ｓｏや入力信号Ｓｉの振幅、および出力信号Ｓｏの位相と入力信号Ｓｉの位相との位相差などが変化することがないため、後述する測定値データＤｍｏ，Ｄｍｉに基づく反射係数の測定の際の測定誤差の発生が好適に回避されている。

一方、処理部８は、信号処理ユニット３のＡ／Ｄ変換部１２ｏから出力された測定値データＤｍｏの値に基づいて特定される出力信号Ｓｏの振幅および位相と、Ａ／Ｄ変換部１２ｉから出力された測定値データＤｍｉの値に基づいて特定される入力信号Ｓｉの振幅および位相とに基づき、校正基準部１０についての反射係数を測定すると共に校正基準部１０のインピーダンス値を示す測定結果データＤｒを生成する（校正基準部１０を対象とする「第１の処理」の一例）。また、処理部８は、生成した測定結果データＤｒの値と、記憶部９から読み出した基準値データＤｓ（基準のインピーダンス値）とに基づき、後に検査対象Ｘについての測定処理時（本例では、「ロード測定」時）に生成する検査対象Ｘについての測定結果データＤｒを補正するための補正用データＤｐを生成し（「補正用データ生成処理」の一例）、生成した補正用データＤｐを記憶部９に記憶させる。

なお、詳細な説明を省略するが、「補正用データ生成処理」時には、「オープン測定」用の補正用データＤｐや、「ショート測定」用の補正用データＤｐについても、校正基準部１０を対象とする「測定処理」によって生成される測定結果データＤｒおよび基準値データＤｓに基づいて順次生成して記憶部９に記憶させる。また、１つの信号処理ユニット３に取り付けられたプローブ４ａから出力信号Ｓｏを出力し、同じ信号処理ユニット３に取り付けられたプローブ４ａから入力信号Ｓｉを入力して測定値データＤｍｏ，Ｄｍｉを生成し、生成した測定値データＤｍｏ，Ｄｍｉに基づいて測定結果データＤｒを演算して補正用データＤｐを生成する処理（「ロード測定」の測定結果データＤｒを補正可能な補正用データＤｐ等を生成する例）について説明したが、「スルー測定」の測定結果データＤｒを補正可能な補正用データＤｐを生成する際には、以下のような処理が行われる。

具体的には、処理部８は、移動機構５，５を制御して一方の信号処理ユニット３に取り付けられているプローブ４ａを校正基準部１０に設けられた「スルー測定」用の導体部の一端部にプロービングさせると共に、プローブ４ｂを校正基準部１０に設けられた「スルー測定」用の基準電位にプロービングさせ、かつ他方の信号処理ユニット３に取り付けられているプローブ４ａを校正基準部１０の「スルー測定」用の導体部の他端部にプロービングさせると共に、プローブ４ｂを校正基準部１０に設けられた「スルー測定」用の基準電位にプロービングさせる。次いで、処理部８は、一方の信号処理ユニット３の信号生成部１１に対して制御データＤｃを出力して出力信号Ｓｏを生成させ、生成された出力信号Ｓｏを、その信号処理ユニット３に取り付けられているプローブ４ａから校正基準部１０に出力させる。

この際には、他方の信号処理ユニット３に取り付けられているプローブ４ａを介して校正基準部１０からの入力信号Ｓｉがその信号処理ユニット３に入力される。続いて、処理部８は、上記の一方の信号処理ユニット３におけるＡ／Ｄ変換部１２ｏから出力された出力信号Ｓｏの振幅および位相についての測定値データＤｍｏ、および上記の他方の信号処理ユニット３におけるＡ／Ｄ変換部１２ｉから出力された入力信号Ｓｉの振幅および位相についての測定値データＤｍｉに基づいて、「スルー測定」用の導体部のインピーダンスについての測定結果データＤｒを演算する測定処理（「第２の処理」の一例）を実行し、演算した測定結果データＤｒと、対応する基準値データＤｓとに基づいて補正用データＤｐを生成する。このように各種の測定結果データＤｒを補正可能な各種の補正用データＤｐを順次生成することにより、一連の校正処理が完了する。

一方、上記のように校正処理が完了して各種の補正用データＤｐの記憶部９への記憶が完了し、かつ図示しない搬送機構によって搬送された検査対象Ｘが保持部２上に保持されたときに、処理部８は、検査対象Ｘについての検査処理を開始する。なお、検査対象Ｘについての検査処理時にも、検査の内容に応じて、「オープン測定」、「ショート測定」および「ロード測定」や「スルー測定」が行われるが、以下、一例として、「ロード測定」を行うときの手順、および「スルー測定」を行うときの手順について説明する。

最初に、「ロード測定」を行うときの手順について説明する。処理部８は、校正処理時と同様にして、移動機構５を制御して、信号処理ユニット３の両プローブ４を検査対象Ｘの電極部にプロービングさせると共に、信号生成部１１に制御データＤｃを出力して出力信号Ｓｏを生成させる。この際には、信号生成部１１によって生成された出力信号Ｓｏが信号伝達経路Ｌ１およびプローブ接続部１４ａを介してプローブ４ａから検査対象Ｘに出力されると共に、Ａ／Ｄ変換部１２ｏが信号伝達経路Ｌ２を介して入力される出力信号ＳｏをＡ／Ｄ変換して測定値データＤｍｏを生成し、生成した測定値データＤｍｏを処理部８に出力する。また、検査対象Ｘからプローブ４ａを介して信号処理ユニット３に入力された入力信号Ｓｉが信号伝達経路Ｌ３を介してＡ／Ｄ変換部１２ｉに入力されると共に、Ａ／Ｄ変換部１２ｉが入力される入力信号ＳｉをＡ／Ｄ変換して測定値データＤｍｉを生成し、生成した測定値データＤｍｉを処理部８に出力する。

この場合、本例の検査装置１では、前述した「補正用データ生成処理」時と同様にして、入力信号Ｓｉおよび出力信号Ｓｏ（高周波信号）が通過するすべての構成要素が、相互間の位置関係が変化することなく、移動機構５によってプローブ４ａ，４ｂと共に移動させられる。したがって、本例の検査装置１では、移動機構５による信号処理ユニット３（プローブ４）の移動可能範囲内のいずれの部位にプローブ４をプロービングさせたとしても、プローブ４のプロービング位置の相違に応じて出力信号Ｓｏの位相と入力信号Ｓｉの位相との位相差が変化することがないため、測定値データＤｍｏ，Ｄｍｉに基づく反射係数の測定誤差の発生が好適に回避されている。

次いで、処理部８は、信号処理ユニット３（Ａ／Ｄ変換部１２ｏ，１２ｉ）から出力された測定値データＤｍｏ，Ｄｍｉの値に基づいて特定される反射係数を示す測定結果データＤｒを生成する（検査対象Ｘを対象とする「第１の処理」の一例）。続いて、処理部８は、生成した測定結果データＤｒの値を、補正用データＤｐに基づいて補正し（「データ補正処理」の一例）、補正後の測定結果データＤｒを記憶部９に記憶させる。

この場合、検査対象Ｘについての検査処理の開始直後であるこの時点においては、多数の検査対象Ｘを連続して検査した後の状態と比較して、検査装置１の各部の温度（信号処理ユニット３の温度）が低い状態となっている。このため、この時点において測定された測定結果データＤｒの値は、稼働時における標準的な温度まで検査装置１の各部（信号処理ユニット３）が温度上昇した状態において測定される測定結果データＤｒとは相違する可能性がある。そこで、本例の検査装置１では、最初の検査対象である検査対象Ｘについての測定結果データＤｒを、先に生成した補正用データＤｐに基づいて補正することにより、検査装置１（信号処理ユニット３）が温度上昇していないことに起因する測定誤差を好適に補正して正確な測定結果データＤｒを得ることが可能となっている。これにより、１つの検査対象Ｘについての「ロード測定」の結果を示す正確な測定結果データＤｒが記憶部９に記憶された状態となる。

一方、「スルー測定」に際しては、処理部８は、移動機構５，５を制御して一方の信号処理ユニット３に取り付けられている両プローブ４を検査対象Ｘにおける任意の一対の実装用電極の一方と基準電位とにプロービングさせると共に、他方の信号処理ユニット３に取り付けられている両プローブ４を検査対象Ｘにおける任意の一対の実装用電極の他方と基準電位とにプロービングさせる。次いで、処理部８は、一方の信号処理ユニット３の信号生成部１１に対して制御データＤｃを出力して出力信号Ｓｏを生成させ、生成された出力信号Ｓｏを、その信号処理ユニット３に取り付けられているプローブ４ａから出力させる。

この際には、他方の信号処理ユニット３に取り付けられているプローブ４ａを介して検査対象Ｘからの入力信号Ｓｉがその信号処理ユニット３に入力される。続いて、処理部８は、上記の一方の信号処理ユニット３におけるＡ／Ｄ変換部１２ｏから出力された出力信号Ｓｏの振幅および位相についての測定値データＤｍｏ、および上記の他方の信号処理ユニット３におけるＡ／Ｄ変換部１２ｉから出力された入力信号Ｓｉの振幅および位相についての測定値データＤｍｉに基づいて検査対象Ｘにおける任意の一対の実装用電極の間のインピーダンスについての測定結果データＤｒを演算する（「第２の処理」の一例）。

また、処理部８は、演算した測定結果データＤｒを補正用データＤｐに基づいて補正し（「データ補正処理」の他の一例）、補正後の測定結果データＤｒを記憶部９に記憶させる。これにより、検査対象Ｘにおける任意の一対の実装用電極についての「スルー測定」の結果を示す正確な測定結果データＤｒが記憶部９に記憶された状態となる。なお、補正用データＤｐに基づく測定結果データＤｒの「データ補正処理」については、各検査ポイントについての測定結果データＤｒの生成の都度実行してもよいし、複数の検査ポイント（例えば、検査対象Ｘについてのすべての検査ポイント）についての測定結果データＤｒの生成が完了したときに実行してもよい。

この場合、検査対象Ｘには、形状、大きさおよび材質が異なる各種の導体が存在する。また、検査対象Ｘには、良否を検査すべき導体の形状、大きさおよび材質に応じて、各種の離間距離で複数の検査ポイント（プローブ４ａ，４ｂをプロービングさせるプロービング位置）が規定されている。さらに、上記したような「スルー測定」に際しては、測定（検査）対象の導体の形状、大きさおよび材質や、プローブ４ａ，４ｂのプロービング位置間の距離（離間距離）に応じて、高精度な測定結果を得ることが可能な周波数の出力信号Ｓｏを出力させるのが好ましい。そこで、本例の検査装置１では、信号生成部１１が、各種周波数の出力信号Ｓｏを生成可能に構成されて、処理部８からの制御データＤｃに従って任意の周波数の出力信号Ｓｏを出力する構成が採用されている。

また、本例の検査装置１では、前述したように、「スルー測定」において、別個独立して配設された２つの信号処理ユニット３，３の一方から出力信号Ｓｏを出力させ、他方の信号処理ユニット３に入力信号Ｓｉとして入力させて出力信号Ｓｏの振幅および位相（測定値データＤｍｏ）と、入力信号Ｓｉの振幅および位相（測定値データＤｍｉ）とに基づいて一対の検査ポイント間のインピーダンスを測定する構成が採用されている。この場合、一方の信号処理ユニット３において出力信号Ｓｏを生成する信号生成部１１や出力信号ＳｏをＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換部１２ｏと、他方の信号処理ユニット３において入力信号ＳｉをＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換部１２ｉとが同期されていないため、２つの信号処理ユニット３，３を使用する「スルー測定」において一方の信号処理ユニット３から出力させる出力信号Ｓｏの周波数を変更したときには、信号処理ユニット３，３における位相関係が、周波数の変更前とは相違する状態となる。

したがって、最後に実行した「スルー測定（「第１の測定処理」の一例）」において出力させた出力信号Ｓｏの周波数（「第１の周波数」の一例）とは相違する周波数（「第２の周波数」の一例）の出力信号Ｓｏを出力させる「スルー測定（「第２の測定処理」の一例）」を実行するときには、「［第２の処理］において［第２の周波数］の出力信号Ｓｏを出力させる補正用データ生成処理」を実行して、出力信号Ｓｏの振幅および位相と、入力信号Ｓｉの振幅および位相とに基づいて正確なインピーダンスを測定可能な（正確なインピーダンスに補正可能な）補正用データＤｐを生成する必要がある。なお、上記の「第２の測定処理」によって生成される測定結果データＤｒを補正するための補正用データＤｐを生成する「補正用データ生成処理」時の「測定処理」については、検査対象Ｘを対象として実行する「スルー測定」時の処理と同様のため、詳細な説明を省略するが、このような「補正用データ生成処理」は、「第２の測定処理」を実行する前、および「第２の測定処理」を実行した後のいずれの時点で実行してもよい。

一方、本例の検査装置１では、「補正用データ生成処理」の開始条件として、前述したように、上記のような「検査装置１が起動された」との条件、および「［第２の処理］において［第１の周波数］の出力信号Ｓｏを出力させる［測定処理としての第１の測定処理］の後に、［第２の処理］において［第１の周波数］とは異なる［第２の周波数］の出力信号Ｓｏを出力させる［測定処理としての第２の測定処理］を実行する」との条件の他にも任意の条件を選択して「補正用データ生成処理」を実行させることが可能となっている。

例えば、信号処理ユニット３に接続されたプローブ４ａ，４ｂを新たなプローブ４ａ，４ｂに交換したときには、出力信号Ｓｏや入力信号Ｓｉが通過する構成要素の相互間の位置関係が変化することとなる。このため、出力信号Ｓｏの振幅および位相と、入力信号Ｓｉの振幅および位相との関係がプローブ４ａ，４ｂの交換前とは相違する状態となる。したがって、「プローブ４が交換された」との条件を開始条件として選択し、いずれかのプローブ４が交換されたときに「補正用データ生成処理」を実行させることにより、プローブ４の交換後における新たな位置関係に応じて、測定結果データＤｒを正確な値に補正可能な補正用データＤｐを生成するのが好ましい。

また、移動機構５からの発熱や、信号処理ユニット３自身の発熱によって信号処理ユニット３の温度が上昇したような場合であったり、処理の中断（一時停止）時の放熱によって信号処理ユニット３の温度が低下したような場合には、信号生成部１１、Ａ／Ｄ変換部１２ｏ，１２ｉおよび信号分離部１３などの動作速度が変化したり、信号処理ユニット３内における各導体部の膨張／収縮などが生じたりして、正確な測定値データＤｍｏ，Ｄｍｉの出力が困難となるおそれがある。したがって、「図示しない温度センサによって検出される信号処理ユニット３の温度が設定温度を超えて変化した」との条件を開始条件として選択し、信号処理ユニット３の温度が設定温度を超えて上昇または低下したときに「補正用データ生成処理」を実行させることにより、測定値データＤｍｏ，Ｄｍｉに基づいて生成される測定結果データＤｒを、変化後の温度に応じた正確な値に補正可能な補正用データＤｐを生成するのが好ましい。なお、信号処理ユニット３の温度については、信号処理ユニット３の近傍に配設した温度センサや、輻射式温度センサ等によって信号処理ユニット３の温度を直接的に検出する構成に限定されず、検査装置１において信号処理ユニット３と共に温度変化する任意の部位の温度を検出したり、検査装置１の設置場所の温度を検出したりして、信号処理ユニット３の温度変化を間接的に検出する構成を採用することもできる。

さらに、検査対象Ｘについての検査に長時間を要するときや、後述するように他の検査対象Ｘについての検査を連続して実行するときには、検査環境（温度、湿度や、検査装置１に混入する外乱の影響など）が変化することがある。したがって、「検査対象Ｘおよび校正基準部１０に対するプローブ４のプロービング回数が設定回数に達した」との条件や、「検査処理の連続実行時間が設定時間に達した」との条件を開始条件として選択し、いずれかの条件が満たされたときに「補正用データ生成処理」を実行させることにより、変化後の検査環境に応じた補正用データＤｐを定期的に生成するのが好ましい。

また、上記のような要因の他にも、各種の原因（不定期に発生する事象）によって正確な測定結果データＤｒを生成するのが困難な状態となることがある。したがって、「測定結果データＤｒの値と、対応する基準値データＤｓの値とが予め設定された相違量を超えて相違する」との条件を開始条件として選択し、基準値との相違量が大きく相違する状態となったときに「補正用データ生成処理」を実行させることにより、測定結果データＤｒを正確な値に補正可能な補正用データＤｐを生成するのが好ましい。

この場合、本例の検査装置１では、検査対象Ｘについての「測定処理時」や、校正基準部１０についての「補正用データ生成処理」時に、検査対象Ｘや校正基準部１０に対してプローブ４ａ，４ｂをプロービングさせる都度、プローブ４ａ，４ｂが正常にプロービング（接触）されたか否かを確認する「コンタクトチェック」を実行する構成が採用されている。この「コンタクトチェック」時にプローブ４ａ，４ｂが正常にプロービングされたか否かを判定するために測定する測定値は、いずれのプロービングポイントにおいても同程度の値が測定される。このため、判定用の基準値については、各プロービングポイントにおいて共通の値が使用される。

したがって、「コンタクトチェック時における測定結果データＤｒの値と、コンタクトチェック用の基準値データＤｓの値とが予め設定された相違量を超えて相違する」との条件を開始条件として選択して処理部８に監視させることにより、不定期に発生する事象によって正確な測定結果データＤｒを生成するのが困難な状態となったときに「補正用データ生成処理」を的確なタイミングで実行させることができ、しかも、共通の基準値との比較によって「補正用データ生成処理」を実行すべきか否かを判定できるため、処理部８に大きな負荷を掛ける事態を回避することができる。

以上のような各種の条件のうちから任意の条件を選択し、条件が満たされたか否かを処理部８に監視させることにより、操作部６の操作等によって指示をすることなく、「補正用データ生成処理」を任意のタイミングで自動的に実行させることができる。また、利用者が希望するタイミングで「補正用データ生成処理」を実行させるときには、操作部６に対するスイッチ操作によって処理開始を指示する。これにより、利用者が希望するタイミングで補正用データＤｐが生成される。

次いで、処理部８は、補正後の正確な測定結果データＤｒと、検査対象Ｘについての基準値データＤｓとを比較し、両データの値の差が良否判定用の基準範囲内のときに、プローブ４ａ，４ｂを接触させた検査ポイント（両実装用電極間）が良好であると検査する。この場合、補正後の測定結果データＤｒおよび基準値データＤｓに基づく各検査ポイントの良品判定については、複数の検査ポイント（例えば、検査対象Ｘについてのすべての検査ポイント）についての補正後の測定結果データＤｒが取得されたときに実行してもよいし、１つの検査ポイントについての補正後の測定結果データＤｒを生成する都度、各検査ポイント毎に個別に実行してもよい。以上のような一連の処理により、検査対象Ｘについての検査処理が完了する。

この後、処理部８は、検査を完了した検査対象Ｘに代えて、他の検査対象の検査対象Ｘについての検査処理を順次実行する。また、処理部８は、設定した「校正処理の実行条件」が満たされたときに、前述の校正処理時と同様にして校正基準部１０についての測定処理を実行して測定結果データＤｒを生成し、生成した測定結果データＤｒと校正基準部１０についての基準値データＤｓとを比較して補正用データＤｐを生成して記憶部９に上書きする。

これにより、検査装置１が再起動されたとき、プローブ４が交換されたとき、図示しない温度センサによって検出される信号処理ユニット３の温度が設定温度を超えて変化したとき、検査対象Ｘ等に対するプローブ４のプロービング回数が設定回数を超えたとき、検査処理の連続実行時間が設定時間を超えたとき、測定結果データＤｒの値と基準値データＤｓの値とが予め設定された相違量を超えて相違するとき、「第２の処理」において「第１の周波数」の出力信号Ｓｏを出力させる「測定処理としての第１の測定処理」の後に、「第２の処理］において「第２の周波数」の出力信号Ｓｏを出力させる「測定処理としての第２の測定処理」を実行するとき、および利用者によって指示されたときなどに校正処理が自動的に実行されて最新の補正用データＤｐが記憶部９に記憶される結果、その校正処理後の検査対象Ｘについての測定結果データＤｒを正確に補正される。

このように、この検査装置１では、信号処理ユニット３が、信号生成部１１、Ａ／Ｄ変換部１２ｏ，１２ｉ、プローブ接続部１４、信号伝達経路Ｌ３を構成する「第１の構成要素（本例では、信号分離部１３および配線パターン）」、信号伝達経路Ｌ１を構成する「第２の構成要素（本例では、信号分離部１３および配線パターン）」および信号伝達経路Ｌ２を構成する「第３の構成要素（本例では、信号分離部１３および配線パターン）」を備え、これらが相互に位置決めされて相互間の位置ずれが規制された状態でプローブ４と共に移動機構５に取り付けられ、処理部８が、「補正用データ生成処理」において、移動機構５を制御してプローブ４を校正基準部１０にプロービングさせ、かつ信号生成部１１によって生成される出力信号Ｓｏを校正基準部１０に対してプローブ４を介して出力させた状態でＡ／Ｄ変換部１２ｉによって生成された測定値データＤｍｉおよびＡ／Ｄ変換部１２ｏによって生成された測定値データＤｍｏに基づいて補正用データＤｐを生成する。

したがって、この検査装置１によれば、各種の検査対象Ｘや校正基準部１０に対して移動機構５によってプローブ４を移動させてプロービングさせ、その状態で検査対象Ｘや校正基準部１０に対して出力信号Ｓｏを出力して入力信号Ｓｉを入力することで、測定処理や補正用データＤｐの生成処理を行うことができる。このため、測定処理や補正用データＤｐの生成処理に要するコストを十分に低減することができる。また、検査対象Ｘや校正基準部１０に対するプローブ４のプロービング時に、信号生成部１１、プローブ接続部１４、Ａ／Ｄ変換部１２ｏ，１２ｉ、「第１の構成要素」、「第２の構成要素」および「第３の構成要素」の相互間の位置ずれが生じないため、これらの位置ずれ（位置関係の変化）に起因して測定値に誤差が生じる事態が好適に回避される結果、正確な測定結果データＤｒを容易に生成することができる。さらに、検査対象Ｘに対してプロービングさせるプローブ４を移動機構５によって移動させて校正基準部１０にプロービングさせた状態で測定処理を行い、その際に生成される測定値データＤｍｏ，Ｄｍｉに基づいて補正用データＤｐを生成することができるため、移動機構５によるプローブ４の移動に要する時間、および測定処理に要する時間を合計した非常に短い時間で補正用データＤｐの生成を完了させることができる。この結果、検査対象Ｘについての測定（検査）処理を中断する時間を短時間とすることができ、新たな補正用データＤｐを頻繁に生成したとしても測定（検査）処理の効率を大きく低下させることがないため、最新の補正用データＤｐに基づいて測定結果データＤｒを高精度に補正することができる。

また、この検査装置１では、移動機構５が、保持部２および校正基準部１０に対して各信号処理ユニット３を別個独立して移動可能に構成されている。また、この検査装置１では、処理部８が、いずれかの信号処理ユニット３に接続されたプローブ４から出力信号Ｓｏを出力させ、かつその信号処理ユニット３に接続されたプローブ４から入力信号Ｓｉを入力させた状態で、その信号処理ユニット３におけるＡ／Ｄ変換部１２ｉによって生成される測定値データＤｍｉ、およびその信号処理ユニット３におけるＡ／Ｄ変換部１２ｏによって生成される測定値データＤｍｏに基づいて、測定処理時には測定結果データＤｒを生成し、かつ補正用データ生成処理時には補正用データＤｐを生成する「第１の処理」と、いずれかの信号処理ユニット３に接続されたプローブ４から出力信号Ｓｏを出力させ、かつ他のいずれかの信号処理ユニット３に接続されたプローブ４から入力信号Ｓｉを入力させた状態で、他のいずれかの信号処理ユニット３におけるＡ／Ｄ変換部１２ｉによって生成される測定値データＤｍｉ、および上記のいずれかの信号処理ユニット３におけるＡ／Ｄ変換部１２ｏによって生成される測定値データＤｍｏに基づいて、測定処理時には測定結果データＤｒを生成し、かつ補正用データ生成処理時には補正用データＤｐを生成する「第２の処理」とを実行可能に構成されている。

したがって、この検査装置１によれば、検査対象Ｘや校正基準部１０における複数箇所（本例では２箇所）で「第１の処理」を並行して実行することで、これらの複数箇所（２箇所）についての測定値データＤｍｏ，Ｄｍｉの生成に要する時間を短縮することができると共に、検査対象Ｘや校正基準部１０においてある程度離間した部位については、いずれかの信号処理ユニット３のプローブ４のプロービング位置と他の信号処理ユニット３のプローブ４のプロービング位置とを任意に変更して「第２の処理」を実行することができるため、各種の検査対象Ｘや校正基準部１０についての測定値データＤｍｏ，Ｄｍｉを確実かつ容易に生成して測定結果データＤｒや補正用データＤｐを生成することができる。

さらに、この検査装置１では、処理部８が、「第２の処理」において「第１の周波数」の出力信号Ｓｏを出力させる「第１の測定処理」の後に、「第２の処理」において「第２の周波数」の出力信号Ｓｏを出力させる「第２の測定処理」を実行するときに、「第２の処理」において「第２の周波数」の出力信号Ｓｏを出力させる「補正用データ生成処理」を実行することにより、出力信号Ｓｏの周波数の変更に伴って、出力信号Ｓｏを出力する信号処理ユニット３と、入力信号Ｓｉを入力する信号処理ユニット３との位相関係が変化するときに、そのような信号処理ユニット３，３から出力される測定値データＤｍｏ，Ｄｍｉに基づいて演算される測定結果データＤｒを正確な値に補正可能な補正用データＤｐを得ることができる。

また、この検査装置１では、処理部８が、「検査装置１が起動された」との条件、「プローブ４が交換された」との条件、「信号処理ユニット３の温度が予め設定された温度を超えて変化した」との条件、「検査対象Ｘおよび校正基準部１０に対するプローブ４のプロービング回数が予め設定された回数に達した」との条件、「検査装置１の連続稼働時間が予め設定された時間に達した」との条件、および「測定結果データＤｒの値と対応する基準値データＤｓの値とが予め設定された相違量を超えて相違する」との条件のうちの予め規定された条件が満たされたか否かを監視すると共に、予め規定された条件が満たされたときに「補正用データ生成処理」を実行する。したがって、この検査装置１によれば、検査装置１の動作状態等を監視することなく、測定結果データＤｒを正確な値に補正可能な補正用データＤｐを自動的に取得させることができる。

さらに、この検査装置１では、処理部８が、検査対象Ｘについての測定結果データＤｒを補正用データＤｐに基づいて補正する「データ補正処理」を実行することにより、「データ補正処理」後の正確な測定結果データＤｒを提供することができる。

なお、「測定装置」の構成は、上記の検査装置１の構成の例に限定されない。例えば、「第１の移動機構」による「プローブ」の「保持部」に対する相対的な移動によって「プローブ」をプロービング可能なプロービング可能領域内に配設された「校正基準部」を備え、「処理部」が、「第１の移動機構」を制御して「プローブ」を「校正基準部」にプロービングさせる構成を備えた例に挙げて説明したが、このような構成に代えて、「第１の移動機構」による「プローブ」の「保持部」に対する相対的な移動によって「プローブ」をプロービング可能なプロービング可能領域内への「校正基準部」の移動が可能に構成された「第２の移動機構」を備え、「処理部」が、「第２の移動機構」を制御して「校正用基準部」をプロービング可能領域内に移動させ、かつ「第１の移動機構」を制御して「プローブ」を「校正基準部」にプロービングさせる構成を採用することもできる。

具体的には、図３に示す検査装置１Ａは、「測定装置」の他の一例であって、前述の検査装置１の各構成要素に加え、「第２の移動機構」に相当する移動機構５ａを備え、校正用基準部１０が移動機構５ａに取り付けられると共に、処理部８が、移動機構５ａを制御して校正用基準部１０を移動機構５による信号処理ユニット３（プローブ４）の移動可能範囲（「プロービング可能領域」の一例）内に移動させる構成が採用されている。なお、この検査装置１Ａにおいて前述の検査装置１の構成要素と同様の構成要素については、同一の符号を付して重複する説明を省略すると共に、前述の検査装置１において実行される各処理と同様の処理についての重複する説明を省略する。

この検査装置１Ａでは、校正処理を実行しないとき（例えば、検査処理を実行しているとき）に、移動機構５ａが処理部８の制御に従って校正用基準部１０を移動機構５による信号処理ユニット３（プローブ４）の移動可能範囲外に移動させた状態（「プロビング可能範囲外に退避させた状態」）を維持する構成が採用されている。また、この検査装置１Ａでは、前述の各「開始条件（校正処理の実行条件）」のうちから選択されて設定された「開始条件」が満たされたときに、処理部８が校正処理（補正用データ生成処理）を開始する。

この校正処理では、処理部８は、まず、移動機構５ａを制御して校正用基準部１０を移動機構５による信号処理ユニット３（プローブ４）の移動可能範囲内に移動させる。次いで、処理部８は、移動機構５を制御して、信号処理ユニット３の両プローブ４を校正基準部１０にプロービングさせる。この後、処理部８は、一例として、前述の検査装置１における校正処理時と同様に測定値データＤｍｏ，Ｄｍｉを取得して測定結果データＤｒを生成し、測定結果データＤｒの値と、基準値データＤｓとに基づいて補正用データＤｐを生成して記憶部９に記憶させる。また、検査対象Ｘについての検査処理時には、補正用データＤｐに基づいて補正した正確な測定結果データＤｒと基準値データＤｓとの比較によって検査対象Ｘ状の各検査ポイントの良否が検査される。

このように、この検査装置１Ａでは、信号処理ユニット３が、信号生成部１１、Ａ／Ｄ変換部１２ｏ，１２ｉ、プローブ接続部１４、信号伝達経路Ｌ３を構成する「第１の構成要素（本例では、信号分離部１３および配線パターン）」、信号伝達経路Ｌ１を構成する「第２の構成要素（本例では、信号分離部１３および配線パターン）」および信号伝達経路Ｌ２を構成する「第３の構成要素（本例では、信号分離部１３および配線パターン）」を備え、これらが相互に位置決めされて相互間の位置ずれが規制された状態でプローブ４と共に移動機構５に取り付けられると共に、校正基準部１０が移動機構５ａに取り付けられ、処理部８が、「補正用データ生成処理」において、移動機構５ａを制御して校正用基準部１０を「プロービング可能領域」内に移動させると共に、移動機構５を制御してプローブ４を校正基準部１０にプロービングさせ、かつ信号生成部１１によって生成される出力信号Ｓｏを校正基準部１０に対してプローブ４を介して出力させた状態でＡ／Ｄ変換部１２ｉによって生成された測定値データＤｍｉおよびＡ／Ｄ変換部１２ｏによって生成された測定値データＤｍｏに基づいて補正用データＤｐを生成する。

したがって、この検査装置１Ａによれば、前述した検査装置１と同様にして、各種の検査対象Ｘや校正基準部１０に対して移動機構５によってプローブ４を移動させてプロービングさせ、その状態で検査対象Ｘや校正基準部１０に対して出力信号Ｓｏを出力して入力信号Ｓｉを入力することで、測定処理や補正用データＤｐの生成処理を行うことができる。このため、測定処理や補正用データＤｐの生成処理に要するコストを十分に低減することができる。また、「プロービング可能領域」内への校正基準部１０の移動時、および検査対象Ｘや校正基準部１０に対するプローブ４のプロービング時に、信号生成部１１、プローブ接続部１４、Ａ／Ｄ変換部１２ｏ，１２ｉ、「第１の構成要素」、「第２の構成要素」および「第３の構成要素」の相互間の位置ずれが生じないため、これらの位置ずれ（位置関係の変化）に起因して測定値に誤差が生じる事態が好適に回避される結果、正確な測定結果データＤｒを容易に生成することができる。さらに、校正用基準部１０を移動機構５ａによって「プロービング可能領域」内へ移動させ、かつ検査対象Ｘに対してプロービングさせるプローブ４を移動機構５によって移動させて校正基準部１０にプロービングさせた状態で測定処理を行い、その際に生成される測定値データＤｍｏ，Ｄｍｉに基づいて補正用データＤｐを生成することができるため、移動機構５ａによる校正用基準部１０の移動に要する時間、移動機構５によるプローブ４の移動に要する時間、および測定処理に要する時間を合計した非常に短い時間で補正用データＤｐの生成を完了させることができる。この結果、検査対象Ｘについての測定（検査）処理を中断する時間を短時間とすることができ、新たな補正用データＤｐを頻繁に生成したとしても測定（検査）処理の効率を大きく低下させることがないため、最新の補正用データＤｐに基づいて測定結果データＤｒを高精度に補正することができる。

また、検査対象Ｘや校正基準部１０に対して出力した出力信号Ｓｏを、検査対象Ｘや校正基準部１０から入力信号Ｓｉとして入力してＡ／Ｄ変換部１２ｏ，１２ｉにおいてＡ／Ｄ変換処理して測定値データＤｍｏ，Ｄｍｉを生成する例について説明したが、検査対象Ｘ等の「測定対象」や、校正基準部１０等の「校正基準部」等に対して出力信号Ｓｏ等の「第２の高周波信号」を出力せずに、「測定対象」や「校正基準部」などから出力される「第１の高周波信号」を入力して「Ａ／Ｄ変換部」においてＡ／Ｄ変換処理して「第１のデータ」を生成することもできる。

具体的には、「第１の移動機構」による「プローブ」の「保持部」に対する相対的な移動によって「プローブ」をプロービング可能なプロービング可能領域内に配設された「校正基準部」を備え、「プローブ接続部」、「第１のＡ／Ｄ変換部」および「第１の構成要素」が相互に位置決めされて、「プローブ接続部」、「第１のＡ／Ｄ変換部」および「第１の構成要素」の相互間の位置ずれが規制されると共に、「プローブ接続部」、「第１のＡ／Ｄ変換部」および「第１の構成要素」が「プローブ」と共に「第１の移動機構」に取り付けられ、「処理部」が、「第１の移動機構」を制御して「プローブ」を「校正基準部」にプロービングさせて「校正基準部」から「第１の高周波信号」を入力させると共に、「第１のＡ／Ｄ変換部」によって生成された「第１のデータ」に基づき、「測定対象」についての「測定結果データ」を補正するための「補正用データ」を生成する「補正用データ生成処理」を実行可能に「測定装置」を構成することができる。

また、「校正用基準部」と、「第１の移動機構」による「プローブ」の「保持部」に対する相対的な移動によって「プローブ」をプロービング可能なプロービング可能領域内に「校正用基準部」を移動させる「第２の移動機構」とを備え、「プローブ接続部」、「第１のＡ／Ｄ変換部」および「第１の構成要素」が相互に位置決めされて、「プローブ接続部」、「第１のＡ／Ｄ変換部」および「第１の構成要素」の相互間の位置ずれが規制されると共に、「プローブ接続部」、「第１のＡ／Ｄ変換部」および「第１の構成要素」が「プローブ」と共に「第１の移動機構」に取り付けられ、「処理部」が、「第２の移動機構」を制御して「校正基準部」をプロービング可能領域内に移動させ、かつ「第１の移動機構」を制御して「プローブ」を「校正基準部」にプロービングさせて「校正基準部」から「第１の高周波信号」を入力させると共に、「第１のＡ／Ｄ変換部」によって生成された「第１のデータ」に基づき、「測定対象」についての「測定結果データ」を補正するための「補正用データ」を生成する「補正用データ生成処理」を実行可能に「測定装置」を構成することができる。

この場合、「第２の高周波信号（前述の検査装置１における出力信号Ｓｏ）」の出力が不要な場合には、上記の検査装置１の信号処理ユニット３におけるケーブル接続部１５ａ，１５ｂ、信号生成部１１、Ａ／Ｄ変換部１２ｏ、信号分離部１３および信号伝達経路Ｌ１，Ｌ２を設けずに、ケーブル接続部１５ｃ、Ａ／Ｄ変換部１２ｉ、プローブ接続部１４ａ，１４ｂ、信号伝達経路Ｌ３、およびプローブ接続部１４ａ，１４ｂに接続されたプローブ４ａ，４ｂを相互に位置決めして相互間の位置ずれを規制した「信号処理部」を使用することで、両プローブ４のプロービング位置の相違に起因する反射係数などの測定誤差の発生を好適に回避することができる。

また、そのような「信号処理部」を使用する「測定装置」では、「第１の高周波信号」としての基準信号を生成する（出力する）基準信号生成部を設けた「校正基準部」を「第１の移動機構によるプローブの保持部に対する相対的な移動によってプローブをプロービング可能なプロービング可能領域」内に配設するか、そのような「校正基準部」を「第２の移動機構」によって「プロービング可能領域」内に移動させる構成を採用し、「補正用データ生成処理」時には、そのような「校正基準部」から出力される高周波信号を入力して、その信号の振幅や位相等に基づいて「補正用データ」を生成する。

したがって、このような構成の「測定装置」によれば、上記特許文献に開示の検査装置とは異なり、種類が異なる「測定対象」毎に測定基板や校正基準部を製作することなく、各種の「測定対象」や「校正基準部」に対して「第１の移動機構」によって「プローブ」を移動させてプロービングさせることで「測定対象」や「校正基準部」から「第１の高周波信号」を入力することができ、「測定処理」や「補正用データ生成処理」を行うことができる。このため、「測定処理」や「補正用データ生成処理」に要するコストを十分に低減することができる。また、「測定対象」や「校正基準部」に対する「プローブ」のプロービング時に、「プローブ接続部」、「第１のＡ／Ｄ変換部」および「第１の構成要素」の相互間の位置ずれが生じないため、これらの位置ずれ（位置関係の変化）に起因して測定値に誤差が生じる事態が好適に回避される結果、正確な「測定結果データ」を確実かつ容易に生成することができる。

さらに、「測定対象」に対してプロービングさせる「プローブ」を「第１の移動機構」によって移動させて「プロービング可能領域」内の「校正基準部」にプロービングさせた状態で「測定処理」を行い、その際に生成される「第１のデータ」に基づいて「補正用データ」を生成することができるため、「校正用基準部」を「プロービング可能領域」内に配設した構成を採用したときには、「第１の移動機構」による「プローブ」の移動に要する時間、および「測定処理」に要する時間を合計した非常に短い時間で「補正用データ」の生成を完了させることができ、「校正用基準部」を「第２の移動機構」によって「プロービング可能領域」内に移動させる構成を採用したときには、「第２の移動機構」による「校正用基準部」の移動に要する時間、「第１の移動機構」による「プローブ」の移動に要する時間、および「測定処理」に要する時間を合計した非常に短い時間で「補正用データ」の生成を完了させることができる。この結果、「測定対象」についての測定（検査）処理を中断する時間を短時間とすることができ、新たな「補正用データ」）を頻繁に生成したとしても測定（検査）処理の効率を大きく低下させることがないため、最新の「補正用データ」に基づいて「測定結果データ」を高精度に補正することができる。

また、Ｘ軸移動機構、Ｙ軸移動機構、θ軸回転機構、およびＺ軸移動機構の４つを備えた移動機構５によって検査対象Ｘ（保持部２）や校正基準部１０に対してプローブ４を移動させる構成を例に挙げて説明したが、「第１の移動機構」の構成はこれに限定されず、Ｘ軸移動機構、Ｙ軸移動機構、θ軸回転機構、およびＺ軸移動機構のうちの少なくとも１つの機構を備えた「第１の移動機構」によってプローブ４を移動させ、かつ、Ｘ軸移動機構、Ｙ軸移動機構、θ軸回転機構、およびＺ軸移動機構のうちの他の機構によって検査対象Ｘ（保持部２）や校正基準部１０をプローブ４に対して移動させる構成を採用することもできる（図示せず）。

また、１系統の「信号処理部（信号生成部１１、Ａ／Ｄ変換部１２ｏ，１２ｉ、信号分離部１３およびプローブ接続部１４ａ，１４ｂ）」をパッケージングして一体化した１つの信号処理ユニット３に対して１組のプローブ４ａ，４ｂを接続（装着）して移動機構５に取り付けることで、１つの移動機構５によって１系統の「信号処理部」および１組のプローブ４ａ，４ｂを移動させる構成を例に挙げて説明したが、複数系統の「信号処理部」をパッケージングして一体化した１つの「信号処理ユニット」に対して複数組の「プローブ」を接続（装着）して「第１の移動機構」に取り付けることで、１つの「第１の移動機構」によって複数系統の「信号処理部」および複数組の「プローブ」を移動させる構成を採用することもできる。

さらに、処理部８が検査対象Ｘについての測定結果データＤｒを補正用データＤｐに基づいて補正する構成を例に挙げて説明したが、このような構成に代えて、補正前の測定結果データＤｒおよび補正用データＤｐを外部装置（一例として、パーソナルコンピュータ等のデータ処理端末）に出力し、外部装置において測定結果データＤｒを補正用データＤｐに基づいて補正させる構成を採用することもできる。また、検査対象Ｘについての測定結果データＤｒと基準値データＤｓとの比較によって検査対象Ｘの良否を検査する処理を行う構成を例に挙げて説明したが、測定結果データＤｒと基準値データＤｓとの比較の処理、すなわち、検査対象Ｘの良否の判定については、外部装置において実行させる構成（検査装置１を測定結果データＤｒや補正用データＤｐを生成する「測定装置」として機能させる構成）を採用することもできる。

本願発明は、測定対象から入力した高周波信号に基づいて予め規定された被測定量を測定可能に構成された測定装置に関するものであり、種類が異なる測定対象毎に測定基板や校正基準部を製作することなく、各種の測定対象や校正基準部に対して第１の移動機構によってプローブを移動させてプロービングさせることで測定対象や校正基準部から第１の高周波信号を入力することができ、測定処理や補正用データ生成処理を行うことができるため、測定処理や補正用データ生成処理に要するコストを十分に低減することができ、測定対象や校正基準部に対するプローブのプロービング時に、プローブ接続部、第１のＡ／Ｄ変換部および第１の構成要素の相互間の位置ずれが生じないため、これらの位置ずれ（位置関係の変化）に起因して測定値に誤差が生じる事態が好適に回避される結果、正確な測定結果データを確実かつ容易に生成することができる。

１，１Ａ 検査装置
２ 保持部
３ 信号処理ユニット
４ａ，４ｂ プローブ
５，５ａ 移動機構
８ 処理部
９ 記憶部
１０ 校正基準部
１１ 信号生成部
１４ａ，１４ｂ プローブ接続部
１５ａ～１５ｃ ケーブル接続部
１２ Ａ／Ｄ変換部
Ｃａ 信号ケーブル
Ｃｂ データケーブル
Ｄｃ 制御データ
Ｄｍｏ，Ｄｍｉ 測定値データ
Ｄｐ 補正用データ
Ｄｒ 測定結果データ
Ｄｓ 基準値データ
Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３ 信号伝達経路
Ｓｉ 入力信号
Ｓｏ 出力信号
Ｘ 検査対象

Claims (5)

1. 測定対象を保持可能に構成された保持部と、
   前記測定対象にプロービングさせられて当該測定対象から第１の高周波信号を入力するプローブと、
   前記保持部によって保持された前記測定対象に対して前記プローブをプロービング可能に少なくとも当該保持部に対する当該プローブの移動が可能に構成された第１の移動機構と、
   前記第１の高周波信号をＡ／Ｄ変換して第１のデータを生成する第１のＡ／Ｄ変換部を有すると共に前記プローブが接続されるプローブ接続部が設けられた信号処理部と、
   前記第１の移動機構を制御して前記プローブを前記測定対象にプロービングさせると共に前記第１のデータに基づいて当該測定対象についての予め規定された被測定量を特定可能な測定結果データを生成する測定処理を実行する処理部とを備えた測定装置であって、
   複数の前記信号処理部を備えると共に、前記第１の移動機構による前記プローブの前記保持部に対する相対的な移動によって当該プローブをプロービング可能なプロービング可能領域内に配設された校正基準部を備え、
   前記保持部は、前記測定対象および前記校正基準部を前記プロービング可能領域内に並べて載置可能に構成され、
   前記第１の移動機構は、前記保持部および前記校正基準部に対して前記各信号処理部を別個独立して移動可能に構成され、
   前記信号処理部は、前記プローブ接続部、前記第１のＡ／Ｄ変換部、当該プローブ接続部から当該第１のＡ／Ｄ変換部に至る第１の信号伝達経路を構成する第１の構成要素、第２の高周波信号を生成する信号生成部、当該第２の高周波信号をＡ／Ｄ変換して第２のデータを生成する第２のＡ／Ｄ変換部、当該信号生成部から前記プローブ接続部に至る第２の信号伝達経路を構成する第２の構成要素、および当該信号生成部から当該第２のＡ／Ｄ変換部に至る第３の信号伝達経路を構成する第３の構成要素を備え、
   前記プローブ接続部、前記第１のＡ／Ｄ変換部、前記第１の構成要素、前記信号生成部、前記第２のＡ／Ｄ変換部、前記第２の構成要素および前記第３の構成要素は、相互に位置決めされて相互間の位置ずれが規制された状態で前記プローブと共に前記第１の移動機構に取り付けられ、
   前記処理部は、前記第１の移動機構を制御して前記プローブを前記校正基準部にプロービングさせて当該校正基準部から前記第１の高周波信号を入力させると共に、前記第１のＡ／Ｄ変換部によって生成された前記第１のデータに基づき、前記測定対象についての前記測定結果データを補正するための補正用データを生成する補正用データ生成処理を実行可能に構成され、前記測定処理において、前記第１の移動機構を制御して前記プローブを前記測定対象にプロービングさせ、かつ前記信号生成部によって生成される前記第２の高周波信号を当該測定対象に対して当該プローブを介して出力させた状態で前記第１のＡ／Ｄ変換部によって生成された前記第１のデータおよび前記第２のＡ／Ｄ変換部によって生成された前記第２のデータに基づいて前記測定結果データを生成し、かつ前記補正用データ生成処理において、前記第１の移動機構を制御して前記プローブを前記校正基準部にプロービングさせ、かつ前記信号生成部によって生成される前記第２の高周波信号を当該校正基準部に対して当該プローブを介して出力させた状態で前記第１のＡ／Ｄ変換部によって生成された前記第１のデータおよび前記第２のＡ／Ｄ変換部によって生成された前記第２のデータに基づいて前記補正用データを生成すると共に、いずれかの前記信号処理部に接続された前記プローブから前記第２の高周波信号を出力させ、かつ当該いずれかの信号処理部に接続された当該プローブから前記第１の高周波信号を入力させた状態で、当該いずれかの信号処理部における前記第１のＡ／Ｄ変換部によって生成される前記第１のデータ、および当該いずれかの信号処理部における前記第２のＡ／Ｄ変換部によって生成される前記第２のデータに基づいて、前記測定処理時には前記測定結果データを生成し、かつ前記補正用データ生成処理時には前記補正用データを生成する第１の処理と、いずれかの前記信号処理部に接続された前記プローブから前記第２の高周波信号を出力させ、かつ他のいずれかの信号処理部に接続された前記プローブから前記第１の高周波信号を入力させた状態で、当該他のいずれかの信号処理部における前記第１のＡ／Ｄ変換部によって生成される前記第１のデータ、および当該いずれかの信号処理部における前記第２のＡ／Ｄ変換部によって生成される前記第２のデータに基づいて、前記測定処理時には前記測定結果データを生成し、かつ前記補正用データ生成処理時には前記補正用データを生成する第２の処理とを実行可能に構成され、当該第２の処理において第１の周波数の前記第２の高周波信号を出力させる前記測定処理としての第１の測定処理の後に、前記第２の処理において前記第１の周波数とは異なる第２の周波数の前記第２の高周波信号を出力させる前記測定処理としての第２の測定処理を実行するときに、前記第２の処理において前記第２の周波数の前記第２の高周波信号を出力させる前記補正用データ生成処理を実行する測定装置。
2. 測定対象を保持可能に構成された保持部と、
   前記測定対象にプロービングさせられて当該測定対象から第１の高周波信号を入力するプローブと、
   前記保持部によって保持された前記測定対象に対して前記プローブをプロービング可能に少なくとも当該保持部に対する当該プローブの移動が可能に構成された第１の移動機構と、
   前記第１の高周波信号をＡ／Ｄ変換して第１のデータを生成する第１のＡ／Ｄ変換部を有すると共に前記プローブが接続されるプローブ接続部が設けられた信号処理部と、
   前記第１の移動機構を制御して前記プローブを前記測定対象にプロービングさせると共に前記第１のデータに基づいて当該測定対象についての予め規定された被測定量を特定可能な測定結果データを生成する測定処理を実行する処理部とを備えた測定装置であって、
   複数の前記信号処理部を備えると共に、前記第１の移動機構による前記プローブの前記保持部に対する相対的な移動によって当該プローブをプロービング可能なプロービング可能領域内に配設された校正基準部を備え、
   前記保持部は、前記プロービング可能領域内に前記校正基準部と並べて配置され、
   前記第１の移動機構は、前記保持部および前記校正基準部に対して前記各信号処理部を別個独立して移動可能に構成され、
   前記信号処理部は、前記プローブ接続部、前記第１のＡ／Ｄ変換部、当該プローブ接続部から当該第１のＡ／Ｄ変換部に至る第１の信号伝達経路を構成する第１の構成要素、第２の高周波信号を生成する信号生成部、当該第２の高周波信号をＡ／Ｄ変換して第２のデータを生成する第２のＡ／Ｄ変換部、当該信号生成部から前記プローブ接続部に至る第２の信号伝達経路を構成する第２の構成要素、および当該信号生成部から当該第２のＡ／Ｄ変換部に至る第３の信号伝達経路を構成する第３の構成要素を備え、
   前記プローブ接続部、前記第１のＡ／Ｄ変換部、前記第１の構成要素、前記信号生成部、前記第２のＡ／Ｄ変換部、前記第２の構成要素および前記第３の構成要素は、相互に位置決めされて相互間の位置ずれが規制された状態で前記プローブと共に前記第１の移動機構に取り付けられ、
   前記処理部は、前記第１の移動機構を制御して前記プローブを前記校正基準部にプロービングさせて当該校正基準部から前記第１の高周波信号を入力させると共に、前記第１のＡ／Ｄ変換部によって生成された前記第１のデータに基づき、前記測定対象についての前記測定結果データを補正するための補正用データを生成する補正用データ生成処理を実行可能に構成され、前記測定処理において、前記第１の移動機構を制御して前記プローブを前記測定対象にプロービングさせ、かつ前記信号生成部によって生成される前記第２の高周波信号を当該測定対象に対して当該プローブを介して出力させた状態で前記第１のＡ／Ｄ変換部によって生成された前記第１のデータおよび前記第２のＡ／Ｄ変換部によって生成された前記第２のデータに基づいて前記測定結果データを生成し、かつ前記補正用データ生成処理において、前記第１の移動機構を制御して前記プローブを前記校正基準部にプロービングさせ、かつ前記信号生成部によって生成される前記第２の高周波信号を当該校正基準部に対して当該プローブを介して出力させた状態で前記第１のＡ／Ｄ変換部によって生成された前記第１のデータおよび前記第２のＡ／Ｄ変換部によって生成された前記第２のデータに基づいて前記補正用データを生成すると共に、いずれかの前記信号処理部に接続された前記プローブから前記第２の高周波信号を出力させ、かつ当該いずれかの信号処理部に接続された当該プローブから前記第１の高周波信号を入力させた状態で、当該いずれかの信号処理部における前記第１のＡ／Ｄ変換部によって生成される前記第１のデータ、および当該いずれかの信号処理部における前記第２のＡ／Ｄ変換部によって生成される前記第２のデータに基づいて、前記測定処理時には前記測定結果データを生成し、かつ前記補正用データ生成処理時には前記補正用データを生成する第１の処理と、いずれかの前記信号処理部に接続された前記プローブから前記第２の高周波信号を出力させ、かつ他のいずれかの信号処理部に接続された前記プローブから前記第１の高周波信号を入力させた状態で、当該他のいずれかの信号処理部における前記第１のＡ／Ｄ変換部によって生成される前記第１のデータ、および当該いずれかの信号処理部における前記第２のＡ／Ｄ変換部によって生成される前記第２のデータに基づいて、前記測定処理時には前記測定結果データを生成し、かつ前記補正用データ生成処理時には前記補正用データを生成する第２の処理とを実行可能に構成され、当該第２の処理において第１の周波数の前記第２の高周波信号を出力させる前記測定処理としての第１の測定処理の後に、前記第２の処理において前記第１の周波数とは異なる第２の周波数の前記第２の高周波信号を出力させる前記測定処理としての第２の測定処理を実行するときに、前記第２の処理において前記第２の周波数の前記第２の高周波信号を出力させる前記補正用データ生成処理を実行する測定装置。
3. 測定対象を保持可能に構成された保持部と、
   前記測定対象にプロービングさせられて当該測定対象から第１の高周波信号を入力するプローブと、
   前記保持部によって保持された前記測定対象に対して前記プローブをプロービング可能に少なくとも当該保持部に対する当該プローブの移動が可能に構成された第１の移動機構と、
   前記第１の高周波信号をＡ／Ｄ変換して第１のデータを生成する第１のＡ／Ｄ変換部を有すると共に前記プローブが接続されるプローブ接続部が設けられた複数の信号処理部と、
   前記第１の移動機構を制御して前記プローブを前記測定対象にプロービングさせると共に前記第１のデータに基づいて当該測定対象についての予め規定された被測定量を特定可能な測定結果データを生成する測定処理を実行する処理部とを備えた測定装置であって、
   校正基準部と、
   前記第１の移動機構による前記プローブの前記保持部に対する相対的な移動によって当該プローブをプロービング可能なプロービング可能領域内への前記校正基準部の移動が可能に構成された第２の移動機構とを備え、
   前記信号処理部は、前記プローブ接続部、第２の高周波信号を生成する信号生成部、前記第１のＡ／Ｄ変換部、前記第２の高周波信号をＡ／Ｄ変換して第２のデータを生成する第２のＡ／Ｄ変換部、当該プローブ接続部から当該第１のＡ／Ｄ変換部に至る第１の信号伝達経路を構成する第１の構成要素、当該信号生成部から当該プローブ接続部に至る第２の信号伝達経路を構成する第２の構成要素、および当該信号生成部から当該第２のＡ／Ｄ変換部に至る第３の信号伝達経路を構成する第３の構成要素を備え、
   前記プローブ接続部、前記信号生成部、前記第１のＡ／Ｄ変換部、前記第２のＡ／Ｄ変換部、前記第１の構成要素、前記第２の構成要素および前記第３の構成要素は、相互に位置決めされて相互間の位置ずれが規制された状態で前記プローブと共に前記第１の移動機構に取り付けられ、
   前記第１の移動機構は、前記保持部および前記校正基準部に対して前記各信号処理部を別個独立して移動可能に構成され、
   前記処理部は、
   前記第２の移動機構を制御して前記校正基準部を前記プロービング可能領域内に移動させ、かつ前記第１の移動機構を制御して前記プローブを前記校正基準部にプロービングさせて当該校正基準部から前記第１の高周波信号を入力させると共に、前記第１のＡ／Ｄ変換部によって生成された前記第１のデータに基づき、前記測定対象についての前記測定結果データを補正するための補正用データを生成する補正用データ生成処理を実行可能に構成され、
   前記測定処理において、前記第１の移動機構を制御して前記プローブを前記測定対象にプロービングさせ、かつ前記信号生成部によって生成される前記第２の高周波信号を当該測定対象に対して当該プローブを介して出力させた状態で前記第１のＡ／Ｄ変換部によって生成された前記第１のデータおよび前記第２のＡ／Ｄ変換部によって生成された前記第２のデータに基づいて前記測定結果データを生成し、かつ前記補正用データ生成処理において、前記第２の移動機構を制御して前記校正基準部を前記プロービング可能領域内に移動させ、前記第１の移動機構を制御して前記プローブを前記校正基準部にプロービングさせ、かつ前記信号生成部によって生成される前記第２の高周波信号を当該校正基準部に対して当該プローブを介して出力させた状態で前記第１のＡ／Ｄ変換部によって生成された前記第１のデータおよび前記第２のＡ／Ｄ変換部によって生成された前記第２のデータに基づいて前記補正用データを生成すると共に、
   いずれかの前記信号処理部に接続された前記プローブから前記第２の高周波信号を出力させ、かつ当該いずれかの信号処理部に接続された当該プローブから前記第１の高周波信号を入力させた状態で、当該いずれかの信号処理部における前記第１のＡ／Ｄ変換部によって生成される前記第１のデータ、および当該いずれかの信号処理部における前記第２のＡ／Ｄ変換部によって生成される前記第２のデータに基づいて、前記測定処理時には前記測定結果データを生成し、かつ前記補正用データ生成処理時には前記補正用データを生成する第１の処理と、いずれかの前記信号処理部に接続された前記プローブから前記第２の高周波信号を出力させ、かつ他のいずれかの信号処理部に接続された前記プローブから前記第１の高周波信号を入力させた状態で、当該他のいずれかの信号処理部における前記第１のＡ／Ｄ変換部によって生成される前記第１のデータ、および当該いずれかの信号処理部における前記第２のＡ／Ｄ変換部によって生成される前記第２のデータに基づいて、前記測定処理時には前記測定結果データを生成し、かつ前記補正用データ生成処理時には前記補正用データを生成する第２の処理とを実行可能に構成され、かつ当該第２の処理において第１の周波数の前記第２の高周波信号を出力させる前記測定処理としての第１の測定処理の後に、前記第２の処理において前記第１の周波数とは異なる第２の周波数の前記第２の高周波信号を出力させる前記測定処理としての第２の測定処理を実行するときに、前記第２の処理において前記第２の周波数の前記第２の高周波信号を出力させる前記補正用データ生成処理を実行する測定装置。
4. 前記処理部は、前記測定装置が起動されたとの条件、前記プローブが交換されたとの条件、前記信号処理部の温度が予め設定された温度を超えて変化したとの条件、前記測定対象および前記校正基準部に対する前記プローブのプロービング回数が予め設定された回数に達したとの条件、当該測定装置の連続稼働時間が予め設定された時間に達したとの条件、および前記測定結果データの値と対応する基準値とが予め設定された相違量を超えて相違するとの条件のうちの予め規定された条件が満たされたか否かを監視すると共に、当該予め規定された条件が満たされたときに前記補正用データ生成処理を実行する請求項１から３のいずれかに記載の測定装置。
5. 前記処理部は、前記測定対象についての前記測定結果データを前記補正用データに基づいて補正するデータ補正処理を実行する請求項１から４のいずれかに記載の測定装置。

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