Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JP7546232B2 - Component imaging device and component mounting device - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JP7546232B2 - Component imaging device and component mounting device - Google Patents

Component imaging device and component mounting device Download PDF

Info

Publication number
JP7546232B2
JP7546232B2 JP2021563758A JP2021563758A JP7546232B2 JP 7546232 B2 JP7546232 B2 JP 7546232B2 JP 2021563758 A JP2021563758 A JP 2021563758A JP 2021563758 A JP2021563758 A JP 2021563758A JP 7546232 B2 JP7546232 B2 JP 7546232B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
component
mark
imaging
unit
camera
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2021563758A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPWO2021117319A1 (en
Inventor
康一 岡田
秀雄 森
鷹則 松田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Original Assignee
Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd filed Critical Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Publication of JPWO2021117319A1 publication Critical patent/JPWO2021117319A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7546232B2 publication Critical patent/JP7546232B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/08Monitoring manufacture of assemblages

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Operations Research (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Description

本開示は、部品を撮像する部品撮像装置および部品を基板に実装する部品実装装置に関する。 The present disclosure relates to a component imaging device that images components and a component mounting device that mounts components on a substrate.

部品実装装置は、部品供給部と、部品供給部が供給する部品を水平に移動する実装ヘッドと、基板を保持する基板搬送コンベアとを有する。実装ヘッドはノズルを有し、ノズルは部品を取り出し、基板に実装する。部品の実装精度を向上するために、例えば、特許文献1に記載の部品実装装置は、部品認識カメラ(部品撮像装置)と、基板認識カメラ(基板撮像装置)とを有する。部品認識カメラは、ノズルが保持する部品の位置を撮像する。基板認識カメラは、実装ヘッドと一体となって移動して基板上に形成されたマークを撮像する。 The component mounting device has a component supply unit, a mounting head that horizontally moves the components supplied by the component supply unit, and a board transport conveyor that holds the board. The mounting head has a nozzle that picks up the components and mounts them on the board. To improve the accuracy of component mounting, for example, the component mounting device described in Patent Document 1 has a component recognition camera (component imaging device) and a board recognition camera (board imaging device). The component recognition camera images the position of the component held by the nozzle. The board recognition camera moves together with the mounting head to image the marks formed on the board.

実装ヘッドは部品実装装置の本体に対して着脱可能である。このような実装ヘッドのノズルと基板認識カメラとの位置関係を補正して部品の実装精度を確保するため、特許文献1では次のように設定されている。すなわち、部品認識カメラの上面には、基準マークが形成されたガラス板が載置されている。ガラス板は、基準マークが部品認識カメラの視野内に入るように配置されている。さらに実装ヘッドは、この視野内にノズルが入るように移動する。この状態で、部品認識カメラは、ノズルと基準マークの位置とを検出する。基板認識カメラは、撮像された基準マークと基板認識カメラの光軸の位置とから、ノズルと基板認識カメラの位置関係を算出する。The mounting head is detachable from the main body of the component mounting device. In order to ensure component mounting accuracy by correcting the positional relationship between the nozzle of such a mounting head and the board recognition camera, the following is set in Patent Document 1. That is, a glass plate on which a reference mark is formed is placed on the upper surface of the component recognition camera. The glass plate is positioned so that the reference mark is within the field of view of the component recognition camera. The mounting head further moves so that the nozzle is within this field of view. In this state, the component recognition camera detects the positions of the nozzle and the reference mark. The board recognition camera calculates the positional relationship between the nozzle and the board recognition camera from the imaged reference mark and the position of the optical axis of the board recognition camera.

特開2004-179636号公報JP 2004-179636 A

本開示の部品撮像装置は、撮像素子に設けられ、部品を撮像する部品撮像部と、前記部品撮像部が前記部品を撮像する第1の光路上に設けられた透明部材と、前記透明部材の前記部品撮像部の視野の外に設けられたマークと、前記撮像素子に設けられ、前記マークを撮像するマーク撮像部と、前記マーク撮像部による前記マークの撮像結果に基づいて、前記部品撮像部の前記視野の位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出部と、を備え、前記透明部材は前記マーク撮像部が前記マークを撮像する第2の光路上に設けられた The component imaging device disclosed herein comprises a component imaging section provided on an imaging element for imaging a component , a transparent member provided on a first optical path along which the component imaging section images the component, a mark provided on the transparent member outside the field of view of the component imaging section, a mark imaging section provided on the imaging element for imaging the mark, and a positional deviation calculation section for calculating a positional deviation amount of the field of view of the component imaging section based on the imaging result of the mark by the mark imaging section, and the transparent member is provided on a second optical path along which the mark imaging section images the mark .

本開示の部品実装装置は、部品を保持して基板に装着するノズルと、前記ノズルで保持された前記部品を撮像する部品撮像装置と、前記ノズルと一体的に移動して前記基板を撮像する基板撮像装置と、前記ノズルと前記基板撮像装置とのオフセット量を算出するオフセット量算出部と、を備え、前記部品撮像装置は、撮像素子に設けられ、前記部品を撮像する部品撮像部と、前記部品撮像部が前記部品を撮像する第1の光路上に設けられた透明部材と、前記透明部材の前記部品撮像部の視野の外に設けられたマークと、前記撮像素子に設けられ、前記マークを撮像するマーク撮像部と、を有し、前記透明部材は前記マーク撮像部が前記マークを撮像する第2の光路上に設けられ、前記オフセット量算出部は、前記部品撮像装置の前記マーク撮像部による前記マークの撮像結果と前記基板撮像装置による前記マークの撮像結果とに基づいて、前記オフセット量を算出する。 The component mounting apparatus of the present disclosure includes a nozzle that holds a component and mounts it on a board, a component imaging device that images the component held by the nozzle, a board imaging device that moves integrally with the nozzle to image the board, and an offset amount calculation unit that calculates an offset amount between the nozzle and the board imaging device, the component imaging device having a component imaging unit provided on an imaging element and imaging the component, a transparent member provided on a first optical path along which the component imaging unit images the component, a mark provided on the transparent member outside a field of view of the component imaging unit, and a mark imaging unit provided on the imaging element and imaging the mark, the transparent member being provided on a second optical path along which the mark imaging unit images the mark, and the offset amount calculation unit calculates the offset amount based on the imaging result of the mark by the mark imaging unit of the component imaging device and the imaging result of the mark by the board imaging device.

本開示によれば、部品を撮像するカメラの光軸の経時的なずれを算出し、このずれによる部品の搭載位置のずれを補正することができる。また、実装基板の生産中にノズルと基板撮像装置とのオフセット量を精度良く算出することができることができる。According to the present disclosure, it is possible to calculate the shift over time of the optical axis of a camera that captures images of components, and correct the shift in the mounting position of the components caused by this shift. It is also possible to accurately calculate the offset between the nozzle and the board imaging device during the production of the mounting board.

本開示の実施の形態に係る部品実装装置の平面図FIG. 1 is a plan view of a component mounting apparatus according to an embodiment of the present disclosure; 図1に示す部品実装装置の構成を示す透視側面図FIG. 2 is a perspective side view showing the configuration of the component mounting apparatus shown in FIG. 図1、図2に示す部品実装装置が有する部品認識カメラの透過部材の平面図FIG. 3 is a plan view of a transparent member of a component recognition camera provided in the component mounting apparatus shown in FIGS. 図2に示す部品実装装置が有する部品認識カメラの構成説明図FIG. 3 is a configuration explanatory diagram of a component recognition camera provided in the component mounting device shown in FIG. 図1、図2に示す部品実装装置が有する部品認識カメラのセンサ基板の平面図FIG. 3 is a plan view of a sensor board of a component recognition camera provided in the component mounting device shown in FIGS. 1 and 2 ; 図3Bに示す部品認識カメラにより、ノズルが保持する部品を撮像する様子を説明する図FIG. 3C is a diagram illustrating how the component held by the nozzle is imaged by the component recognition camera shown in FIG. 図1、図2に示す部品実装装置が有する基板認識カメラの構成説明図FIG. 3 is a configuration explanatory diagram of a board recognition camera provided in the component mounting device shown in FIG. 1 and FIG. 2 . 図1、図2に示す部品実装装置の制御系の構成を示す機能ブロック図FIG. 3 is a functional block diagram showing the configuration of a control system of the component mounting apparatus shown in FIGS. 1 and 2 . 図3Bに示す部品認識カメラの発熱に起因する光軸のずれを説明する図FIG. 3C is a diagram for explaining deviation of the optical axis caused by heat generated by the component recognition camera shown in FIG. 3B. 図3Bに示す部品認識カメラのマーク撮像部によって撮像されたマークの撮像画像の例を示す図FIG. 3C is a diagram showing an example of a captured image of a mark captured by a mark capturing unit of the component recognition camera shown in FIG. 3B ; 図3Bに示す部品認識カメラの部品撮像部によって撮像されたノズルが保持する部品の撮像画像の例を示す図FIG. 3C is a diagram showing an example of a captured image of a part held by a nozzle captured by a part imaging unit of a part recognition camera shown in FIG. 図5に示す基板認識カメラにより、図3Bに示す部品認識カメラに設けられたマークを撮像する様子を説明する図FIG. 6 is a diagram for explaining how a mark provided on the component recognition camera shown in FIG. 3B is imaged by the board recognition camera shown in FIG. 5 . 図10に示す基板認識カメラによって撮像された、部品認識カメラに設けられたマークの撮像画像の例を示す図FIG. 11 is a diagram showing an example of a captured image of a mark provided on a component recognition camera captured by the board recognition camera shown in FIG. 10 .

本開示の実施の形態の説明に先立ち、本開示の着想に至った経緯を簡単に説明する。従来の部品実装装置における部品認識カメラは、カメラの光軸の位置からノズルが保持する部品の位置を検出している。しかしながら、継続して実装基板を生産する過程において、部品認識カメラが含む撮像素子の発熱などによる経時変化によってカメラの光軸がずれる(歪む)ことがある。そのため、部品の実装精度を維持するためには、部品認識カメラの光軸のずれを定期的に検出して部品の実装位置を適切に補正する必要がある。特許文献1を含む従来技術では、実装基板の生産中に部品認識カメラの光軸のずれを検出する方法は開示されておらず、部品の実装精度を向上するためにはさらなる改善の余地がある。Prior to describing the embodiments of the present disclosure, the background to the concept of the present disclosure will be briefly described. The component recognition camera in a conventional component mounting device detects the position of the component held by the nozzle from the position of the optical axis of the camera. However, in the process of continuously producing mounted boards, the optical axis of the camera may shift (distort) due to changes over time caused by heat generation of the imaging element included in the component recognition camera. Therefore, in order to maintain the mounting accuracy of the components, it is necessary to periodically detect the shift in the optical axis of the component recognition camera and appropriately correct the mounting position of the components. In the conventional technology including Patent Document 1, a method for detecting the shift in the optical axis of the component recognition camera during the production of mounted boards is not disclosed, and there is room for further improvement in order to improve the mounting accuracy of the components.

本開示は、部品を撮像するカメラの光軸のずれを検出し、そのずれに基づき部品を実装する位置を補正することができる部品撮像装置を提供する。すなわち、この部品撮像装置は、部品を撮像するカメラである部品撮像部の視野の位置ズレ量を算出する。また本開示は、実装基板の生産中にノズルと基板撮像装置とのオフセット量を精度良く算出することができる部品実装装置を提供する。 The present disclosure provides a component imaging device that can detect deviation in the optical axis of a camera that images a component and correct the position at which the component is mounted based on that deviation. That is, the component imaging device calculates the amount of positional deviation of the field of view of a component imaging unit, which is a camera that images the component. The present disclosure also provides a component mounting device that can accurately calculate the amount of offset between a nozzle and a board imaging device during production of a mounting board.

以下に図面を参照しながら、本開示の実施の形態を詳細に説明する。以下で述べる構成、形状等は説明のための例示であって、部品実装装置、基板認識カメラ、部品認識カメラの仕様に応じ、適宜変更が可能である。以下では、全ての図面において対応する要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。なお、各図面において、基板はX軸に沿って搬送される。Y軸は、水平面内でX軸に直交する。またZ軸は、水平面と直交し、下から上に延びている。 The embodiments of the present disclosure will be described in detail below with reference to the drawings. The configurations, shapes, etc. described below are examples for explanatory purposes and can be modified as appropriate depending on the specifications of the component mounting device, the board recognition camera, and the component recognition camera. In the following, the same reference numerals are used for corresponding elements in all drawings, and duplicated explanations will be omitted. In each drawing, the board is transported along the X-axis. The Y-axis is perpendicular to the X-axis in the horizontal plane. The Z-axis is perpendicular to the horizontal plane and extends from bottom to top.

まず図1、図2を参照して、部品実装装置1の構成を説明する。なお図2は、図1における部品実装装置1の一部を模式的に示している。部品実装装置1は、部品供給部4から供給された部品Dを基板3に装着する部品実装作業を実行する。図1に示すように、基台1aの中央には、基板搬送機構(以下、搬送機構)2がX軸に沿って配置されている。搬送機構2は、上流から搬送された基板3を、実装作業位置に搬入して位置決めし、保持する。また、搬送機構2は、部品実装作業が完了した基板3を下流に搬出する。 First, the configuration of the component mounting device 1 will be described with reference to Figures 1 and 2. Note that Figure 2 shows a schematic view of a portion of the component mounting device 1 in Figure 1. The component mounting device 1 performs component mounting work by mounting components D supplied from a component supply unit 4 onto a board 3. As shown in Figure 1, a board transport mechanism (hereinafter, transport mechanism) 2 is arranged along the X-axis at the center of the base 1a. The transport mechanism 2 transports the board 3 transported from upstream to the mounting work position, positions it, and holds it. The transport mechanism 2 also transports the board 3 downstream after the component mounting work has been completed.

搬送機構2のY軸における両側方には、部品供給部4が配置されている。それぞれの部品供給部4には、複数のテープフィーダ5が並列に装着されている。テープフィーダ5は、部品Dを格納するポケットが形成されたテープ11を部品供給部4の外側から搬送機構2に向かう方向(テープ送り方向)にピッチ送りする。これによりテープフィーダ5は、以下に説明するように、実装ヘッド8によって部品Dが取り出される部品供給位置5a(図2参照)に部品Dを供給する。 Component supply units 4 are arranged on both sides of the Y axis of the transport mechanism 2. Multiple tape feeders 5 are attached in parallel to each component supply unit 4. The tape feeders 5 pitch-feed a tape 11, on which pockets for storing components D are formed, in a direction (tape feed direction) from the outside of the component supply unit 4 toward the transport mechanism 2. In this way, the tape feeders 5 supply components D to component supply positions 5a (see FIG. 2) from which the mounting head 8 picks up the components D, as described below.

基台1aの上面のX軸における両端部にはそれぞれ、Y軸テーブル6がY軸に沿って延びるように配置されている。Y軸テーブル6はそれぞれ、リニア駆動機構を有する。一対のY軸テーブル6には、Y軸テーブル6同志をつなぐように、ビーム7が結合されている。ビーム7はX軸に沿って延びている。ビーム7は、Y軸テーブル6のリニア駆動機構により、Y軸に沿って移動可能である。またビーム7は、Y軸テーブル6と同様にリニア駆動機構を有している。ビーム7には、実装ヘッド8が装着されている。実装ヘッド8は、ビーム7が有するリニア駆動機構により、X軸に沿って移動可能である。図2に示すように、実装ヘッド8は、吸着ユニット8aを有している。吸着ユニット8aは、昇降可能であり、部品Dを吸着することにより保持する。吸着ユニット8aの下端部には、部品Dを吸着保持するノズル8bが装着されている。 At both ends of the X-axis of the upper surface of the base 1a, Y-axis tables 6 are arranged so as to extend along the Y-axis. Each Y-axis table 6 has a linear drive mechanism. A beam 7 is connected to the pair of Y-axis tables 6 so as to connect the Y-axis tables 6. The beam 7 extends along the X-axis. The beam 7 can be moved along the Y-axis by the linear drive mechanism of the Y-axis table 6. The beam 7 also has a linear drive mechanism like the Y-axis table 6. A mounting head 8 is attached to the beam 7. The mounting head 8 can be moved along the X-axis by the linear drive mechanism of the beam 7. As shown in FIG. 2, the mounting head 8 has a suction unit 8a. The suction unit 8a can be raised and lowered, and holds the component D by suction. A nozzle 8b that suctions and holds the component D is attached to the lower end of the suction unit 8a.

図1において、Y軸テーブル6およびビーム7は、実装ヘッド8をX軸、Y軸に沿って移動させるヘッド移動機構(以下、移動機構)9を構成する。移動機構9および実装ヘッド8は、部品供給部4に配置されたテープフィーダ5の部品供給位置5aから部品Dをノズル8bによって吸着して取り出して、搬送機構2に位置決めされた基板3の実装位置に装着する実装ターンを実行する。すなわち、Y軸テーブル6、ビーム7および実装ヘッド8は、テープフィーダ5の部品供給位置5aに供給される部品Dをノズル8bで保持して基板3に装着する。 In Fig. 1, the Y-axis table 6 and beam 7 constitute a head movement mechanism (hereinafter, movement mechanism) 9 that moves the mounting head 8 along the X-axis and Y-axis. The movement mechanism 9 and mounting head 8 perform a mounting turn in which the nozzle 8b picks up and removes a component D from the component supply position 5a of the tape feeder 5 arranged in the component supply section 4, and mounts it at the mounting position of the board 3 positioned by the transport mechanism 2. That is, the Y-axis table 6, beam 7 and mounting head 8 hold the component D supplied to the component supply position 5a of the tape feeder 5 with the nozzle 8b and mount it on the board 3.

部品供給部4と搬送機構2との間には、部品認識カメラ(以下、第1カメラ)20が配置されている。部品供給部4から部品Dを取り出した実装ヘッド8が第1カメラ20の上方を移動する際に、第1カメラ20は実装ヘッド8に保持された部品Dを撮像して部品Dの姿勢を認識する。実装ヘッド8が取り付けられたプレート7aには基板認識カメラ30(以下、第2カメラ)が取り付けられている。第2カメラ30は、実装ヘッド8と一体的に移動する。A component recognition camera (hereinafter, the first camera) 20 is disposed between the component supply unit 4 and the transport mechanism 2. When the mounting head 8 which has picked up a component D from the component supply unit 4 moves above the first camera 20, the first camera 20 captures an image of the component D held by the mounting head 8 to recognize the posture of the component D. A board recognition camera 30 (hereinafter, the second camera) is attached to the plate 7a to which the mounting head 8 is attached. The second camera 30 moves integrally with the mounting head 8.

実装ヘッド8が移動することにより、第2カメラ30は搬送機構2に位置決めされた基板3の上方に移動し、基板3に設けられた基板マーク3aを撮像して基板3の位置を認識する。実装ヘッド8による基板3への部品実装動作においては、第1カメラ20による部品Dの認識結果と、第2カメラ30による基板3の位置の認識結果とを加味して実装位置が補正される。As the mounting head 8 moves, the second camera 30 moves above the board 3 positioned on the transport mechanism 2 and captures an image of the board mark 3a provided on the board 3 to recognize the position of the board 3. When the mounting head 8 mounts components on the board 3, the mounting position is corrected taking into account the recognition result of the component D by the first camera 20 and the recognition result of the position of the board 3 by the second camera 30.

図2において、部品供給部4には、台車10がセットされる。台車10はフィーダベース10aを有し、フィーダベース10aには、予め複数のテープフィーダ5が装着されている。台車10は、テープリール12を保持している。テープリール12は、部品Dを保持したテープ11を巻回した状態で収納している。テープリール12から引き出されたテープ11は、テープフィーダ5によって部品供給位置5aまでピッチ送りされる。 In FIG. 2, a cart 10 is set in the component supply section 4. The cart 10 has a feeder base 10a, on which a number of tape feeders 5 are pre-installed. The cart 10 holds a tape reel 12. The tape reel 12 stores a tape 11 holding a component D in a wound state. The tape 11 pulled out from the tape reel 12 is pitch-fed by the tape feeder 5 to the component supply position 5a.

図1において、部品実装装置1の前面で作業者が作業する位置には、作業者が操作するタッチパネル13が設置されている。タッチパネル13は、その表示部に各種情報を表示する。また作業者は、表示部に表示される操作ボタンなどを使ってタッチパネル13からデータを入力したり、部品実装装置1を操作したりする。 In Fig. 1, a touch panel 13 operated by an operator is installed at the position where the operator works on the front side of the component mounting device 1. The touch panel 13 displays various information on its display. The operator also inputs data from the touch panel 13 and operates the component mounting device 1 using operation buttons and the like displayed on the display.

次に図3A~図3Cを参照して、第1カメラ20の構成について説明する。図3Bに示すように、第1カメラ20は、筐体21と、センサ基板23と、レンズ24と、部品照明部25と、透明部材26とを有する。センサ基板23は、筐体21の内部の底21aに設置されている。センサ基板23には、2次元CMOS(相補型金属酸化膜半導体)センサなどの撮像素子22が実装されている。レンズ24は、筐体21内において、センサ基板23の上方に設置され、部品照明部25は、レンズ24の上方に設置されている。透明部材26は、筐体21の上部21bの、筐体21の一部を切り欠いた箇所に設置されている。 Next, the configuration of the first camera 20 will be described with reference to Figures 3A to 3C. As shown in Figure 3B, the first camera 20 has a housing 21, a sensor board 23, a lens 24, a component illumination section 25, and a transparent member 26. The sensor board 23 is installed on the bottom 21a inside the housing 21. An imaging element 22 such as a two-dimensional CMOS (complementary metal oxide semiconductor) sensor is mounted on the sensor board 23. The lens 24 is installed above the sensor board 23 within the housing 21, and the component illumination section 25 is installed above the lens 24. The transparent member 26 is installed at a location on the upper part 21b of the housing 21 where a part of the housing 21 is cut out.

透明部材26は、光を透過する板状のガラスなどで構成されている。透明部材26の上面26cの一部には、撮像素子22の光軸のずれを検出するためのマーク27が設けられている。図3Aに示すように、マーク27は、撮像素子22がノズル8bに保持された部品Dを撮像する際の部品撮像視野26aの外であって、撮像素子22がマーク27を撮像する際のマーク撮像視野26bの中に配置されている。この例では、マーク撮像視野26bの中に、マーク27として、光を透過しない金属薄膜で形成された5個の円板がY軸に沿って等間隔に配置されている。なお、図3Aに示すマーク27の形状、数、配置は一例であり、この例に限定されることはない。図3Bに示すように、透明部材26は、部品撮像部22aが部品Dを撮像する第1の光路Pa上であって、かつマーク撮像部22bがマーク27を撮像する第2の光路Pb上に設けられている。The transparent member 26 is made of a plate-like glass that transmits light. A mark 27 for detecting the deviation of the optical axis of the imaging element 22 is provided on a part of the upper surface 26c of the transparent member 26. As shown in FIG. 3A, the mark 27 is outside the component imaging field 26a when the imaging element 22 images the component D held by the nozzle 8b, and is arranged in the mark imaging field 26b when the imaging element 22 images the mark 27. In this example, five disks formed of a metal thin film that does not transmit light are arranged at equal intervals along the Y axis as the marks 27 in the mark imaging field 26b. Note that the shape, number, and arrangement of the marks 27 shown in FIG. 3A are only an example, and are not limited to this example. As shown in FIG. 3B, the transparent member 26 is provided on the first optical path Pa where the component imaging unit 22a images the component D, and on the second optical path Pb where the mark imaging unit 22b images the mark 27.

図3Cに示すように、撮像素子22は、X軸に沿って並んで配置された部品撮像部22aと、マーク撮像部22bとを有する。部品撮像部22a、マーク撮像部22bは、Y軸に沿って延びている。すなわち、Y軸に沿った長さは、X軸に沿った長さより短い。部品撮像部22aは、ノズル8bが保持している部品Dを撮像する。マーク撮像部22bは、透明部材26に設けられたマーク27を撮像する。部品撮像部22aは、図3Bおよび図4に示すように、透明部材26の上面26cのマーク認識高さHbよりも上方に設定された部品認識高さHaに下面Daが位置する部品Dを撮像する。このように、撮像素子22には、部品Dを撮像する部品撮像部22aと、マーク27を撮像するマーク撮像部22bとが設けられている。図3Aに示すように、マーク27は、部品撮像部22aの視野である部品撮像視野26aの外であるマーク撮像視野26bの中に設けられている。 As shown in FIG. 3C, the imaging element 22 has a part imaging section 22a and a mark imaging section 22b arranged side by side along the X-axis. The part imaging section 22a and the mark imaging section 22b extend along the Y-axis. That is, the length along the Y-axis is shorter than the length along the X-axis. The part imaging section 22a images the part D held by the nozzle 8b. The mark imaging section 22b images the mark 27 provided on the transparent member 26. As shown in FIG. 3B and FIG. 4, the part imaging section 22a images the part D whose lower surface Da is located at the part recognition height Ha set above the mark recognition height Hb of the upper surface 26c of the transparent member 26. In this way, the imaging element 22 is provided with the part imaging section 22a that images the part D and the mark imaging section 22b that images the mark 27. As shown in FIG. 3A, the mark 27 is provided in a mark imaging field of view 26b outside a component imaging field of view 26a which is the field of view of the component imaging section 22a.

部品撮像部22aは撮像素子22の一部に設けられ、マーク撮像部22bは撮像素子22の部品撮像部22aとは異なる部分に設けられている。このように、部品撮像部22aとマーク撮像部22bとが同じ撮像素子22に設けられていることで、後述するように、部品撮像部22aの視野の位置ずれ量の検出精度が高まる。The part imaging section 22a is provided in a part of the imaging element 22, and the mark imaging section 22b is provided in a part of the imaging element 22 different from the part imaging section 22a. In this way, by providing the part imaging section 22a and the mark imaging section 22b in the same imaging element 22, the detection accuracy of the positional deviation amount of the field of view of the part imaging section 22a is improved, as described below.

図3Bに示すように、撮像素子22の上方に配置されたレンズ24は、透明部材26の上方であって部品認識高さHaに位置する撮像対象物(部品Dなど)を部品撮像部22aに結像させる。また、レンズ24は、透明部材26に形成されたマーク27をマーク撮像部22bに結像させる。マーク27は、マーク認識高さHbに位置している。部品撮像部22aから部品認識高さHaに位置する撮像対象物までの第1の光路Paの物理的距離Lpaは、マーク撮像部22bからマーク27までの第2の光路Pbの物理的距離Lpbと異なっている。 As shown in Figure 3B, the lens 24 arranged above the imaging element 22 forms an image of an imaged object (such as part D) located above the transparent member 26 at part recognition height Ha on the part imaging section 22a. The lens 24 also forms an image of a mark 27 formed on the transparent member 26 on the mark imaging section 22b. The mark 27 is located at mark recognition height Hb. The physical distance Lpa of the first optical path Pa from the part imaging section 22a to the imaged object located at part recognition height Ha is different from the physical distance Lpb of the second optical path Pb from the mark imaging section 22b to the mark 27.

図3B、図3Cに示すように、部品撮像部22aの上には、空気と異なる屈折率を有し、光を透過するガラスなどで構成された補正部材28が設置されている。補正部材28の屈折率と厚さTは、第1の光路Paの光路長Loa(光学的距離)を補正して、部品撮像部22aとマーク撮像部22bの各々で結像するように設定されている。これによって、レンズ24は、部品撮像部22aに結像させる撮像対象物の像とマーク撮像部22bに結像させるマーク27の像とに、同時にピントを合わせることができる。3B and 3C, a correction member 28 made of a material such as glass that transmits light and has a refractive index different from that of air is placed on the component imaging unit 22a. The refractive index and thickness T of the correction member 28 are set to correct the optical path length Loa (optical distance) of the first optical path Pa to form an image in each of the component imaging unit 22a and the mark imaging unit 22b. This allows the lens 24 to simultaneously focus on the image of the object to be imaged in the component imaging unit 22a and the image of the mark 27 to be imaged in the mark imaging unit 22b.

なお、本実施の形態では補正部材28は部品撮像部22a上に設置されているが、補正部材28は第1の光路Paと第2の光路Pbとの何れか一方の途中に設置されていればよい。すなわち、第1カメラ20は、部品撮像部22aが部品Dを撮像する第1の光路Paとマーク撮像部22bがマーク27を撮像する第2の光路Pbとの何れか一方に、光路長Loa、光路長Lobの何れか一方を補正する補正部材28を有している。なお、屈折率および/または厚さTの異なる補正部材28を第1の光路Paと第2の光路Pbの両方に設置してもよい。また、レンズ24の被写界深度が深く、補正部材28がなくとも撮像対象物とマーク27の2つの像に同時にピントを合わせることができれば、補正部材28を省略することができる。In this embodiment, the correction member 28 is installed on the part imaging unit 22a, but the correction member 28 may be installed in the middle of either the first optical path Pa or the second optical path Pb. That is, the first camera 20 has a correction member 28 that corrects either the optical path length Loa or the optical path length Lob in either the first optical path Pa in which the part imaging unit 22a images the part D or the second optical path Pb in which the mark imaging unit 22b images the mark 27. Note that correction members 28 with different refractive indices and/or thicknesses T may be installed in both the first optical path Pa and the second optical path Pb. In addition, if the depth of field of the lens 24 is deep and the two images of the imaging object and the mark 27 can be focused on simultaneously without the correction member 28, the correction member 28 can be omitted.

図3Bに示すように、部品照明部25は、側射照明部25aと、同軸照明部25bと、ハーフミラー25cとを含む。側射照明部25aは、複数の発光ダイオード(LED)チップなどを有しており、斜め下から部品認識高さHaに位置する撮像対象物(部品Dなど)とマーク27とを照明する光を照射する。同軸照明部25bは、複数のLEDチップなどを有しており、側射照明部25aの下方に配置されている。3B, the component illumination unit 25 includes a side illumination unit 25a, a coaxial illumination unit 25b, and a half mirror 25c. The side illumination unit 25a has a plurality of light-emitting diode (LED) chips, etc., and emits light that illuminates the imaging target object (component D, etc.) and mark 27 located at the component recognition height Ha from diagonally below. The coaxial illumination unit 25b has a plurality of LED chips, etc., and is disposed below the side illumination unit 25a.

ハーフミラー25cは、第1の光路Paと第2の光路Pbの途中に配置されている。ハーフミラー25cは、同軸照明部25bから照射された光を、ハーフミラー25cの上方に位置する部品認識高さHaに位置する撮像対象物(部品Dなど)とマーク27とに向かって反射させる。すなわち、同軸照明部25bとハーフミラー25cとは、第1の光路Paと第2の光路Pbと同軸で撮像対象物とマーク27を照明する。The half mirror 25c is disposed midway between the first optical path Pa and the second optical path Pb. The half mirror 25c reflects the light irradiated from the coaxial illumination unit 25b toward the imaging object (such as component D) and the mark 27 located at the component recognition height Ha above the half mirror 25c. In other words, the coaxial illumination unit 25b and the half mirror 25c illuminate the imaging object and the mark 27 coaxially with the first optical path Pa and the second optical path Pb.

部品照明部25は、撮像する対象の材質等に応じて、側射照明部25aによる照射と同軸照明部25bによる照明を切り替えて、もしくは組み合わせて照明する。このように、第1カメラ20は、マーク27を照らす照明部(部品照明部25)を有している。The part illumination unit 25 switches between illumination by the lateral illumination unit 25a and illumination by the coaxial illumination unit 25b, or combines them, depending on the material of the object to be imaged. In this way, the first camera 20 has an illumination unit (part illumination unit 25) that illuminates the mark 27.

次に図4を参照して、第1カメラ20による部品Dの撮像について説明する。部品Dをノズル8bで保持した実装ヘッド8は、部品Dの下面Daを部品認識高さHaに位置させて、部品Dが第1カメラ20の第1の光路Paの上を通過するように、矢印aで示すようにX軸に沿って移動する。この間、部品照明部25が部品Dを照明する。第1カメラ20は、撮像素子22(部品撮像部22a、マーク撮像部22b)が撮像した撮像結果を、図6に示す制御部40に送信する。Next, referring to Figure 4, the imaging of component D by the first camera 20 will be described. The mounting head 8 holding component D by the nozzle 8b positions the underside Da of component D at the component recognition height Ha, and moves along the X-axis as shown by arrow a so that component D passes over the first optical path Pa of the first camera 20. During this time, the component illumination unit 25 illuminates component D. The first camera 20 transmits the imaging results captured by the imaging element 22 (component imaging unit 22a, mark imaging unit 22b) to the control unit 40 shown in Figure 6.

次に図5を参照して、第2カメラ30の構成について説明する。第2カメラ30は、筐体31と、窓部材34と、筐体31の内部に設置されたカメラユニット32と基板照明部33とを有する。窓部材34は、光を透過するガラスなどで構成され、筐体31の下部の一部を切り欠いた部分に設置されている。カメラユニット32は、光軸を下方に向けた2次元CMOSセンサなどの撮像素子、レンズなどで構成されている。Next, the configuration of the second camera 30 will be described with reference to Figure 5. The second camera 30 has a housing 31, a window member 34, and a camera unit 32 and a board illumination unit 33 installed inside the housing 31. The window member 34 is made of light-transmitting glass or the like, and is installed in a cut-out portion of the lower part of the housing 31. The camera unit 32 is made of an imaging element such as a two-dimensional CMOS sensor with its optical axis facing downward, a lens, etc.

基板照明部33は、上斜めから下方の撮像対象の基板3を照明する側射照明部33aと、同軸照明部33bと、ハーフミラー33cとを含む。ハーフミラー33cは、同軸照明部33bから照射された光を下方の撮像対象に向けて反射させる。基板照明部33は、カメラユニット32が撮像する対象の材質等に応じて、側射照明部33aによる照射と、同軸照明部33bによる照明を切り替えて、もしくは組み合わせて照明する。The board illumination unit 33 includes a side illumination unit 33a that illuminates the board 3 of the imaging target from above diagonally below, a coaxial illumination unit 33b, and a half mirror 33c. The half mirror 33c reflects the light irradiated from the coaxial illumination unit 33b toward the imaging target below. The board illumination unit 33 switches between illumination by the side illumination unit 33a and illumination by the coaxial illumination unit 33b, or combines them, depending on the material of the target imaged by the camera unit 32.

第2カメラ30は、基板3上に形成された基板マーク3aや第1カメラ20の透明部材26上に設けられたマーク27などの撮像対象を撮像する。その際、第2カメラ30は、実装ヘッド8とともに撮像対象の上方に移動し、基板照明部33が撮像対象を照明しながらカメラユニット32が撮像対象を撮像する。このように、第2カメラ30は、基板3上に形成された基板マーク3aとマーク27とを照らす基板照明部33を有し、ノズル8bと一体的に移動して基板3やマーク27を撮像する基板撮像装置である。第2カメラ30は、カメラユニット32が撮像した撮像結果を、制御部40に送信する。The second camera 30 captures an image of an object to be imaged, such as the board mark 3a formed on the board 3 and the mark 27 provided on the transparent member 26 of the first camera 20. In this case, the second camera 30 moves above the object to be imaged together with the mounting head 8, and the camera unit 32 images the object to be imaged while the board illumination unit 33 illuminates the object to be imaged. In this way, the second camera 30 is a board imaging device that has a board illumination unit 33 that illuminates the board mark 3a and the mark 27 formed on the board 3, and moves integrally with the nozzle 8b to capture the board 3 and the mark 27. The second camera 30 transmits the image captured by the camera unit 32 to the control unit 40.

次に図6を参照して、部品実装装置1の制御系の構成について説明する。部品実装装置1は、制御部40と、搬送機構2と、テープフィーダ5と、実装ヘッド8と、移動機構9と、第1カメラ20と、第2カメラ30と、タッチパネル13とを有している。制御部40は、撮像処理部(以下、第1処理部)41と、位置ずれ量算出部(以下、第1算出部)42と、オフセット量算出部(以下、第2算出部)43と、実装動作処理部(以下、第2処理部)44と、実装記憶部(以下、記憶部)45とを有している。記憶部45は、実装データ46、撮像データ47、マーク視野位置ずれ量(以下、第1位置ずれ量)48、部品視野位置ずれ量(以下、第2位置ずれ量)49、基板視野位置ずれ量(以下、第3位置ずれ量)50、オフセット量51などを記憶している。Next, the configuration of the control system of the component mounting device 1 will be described with reference to FIG. 6. The component mounting device 1 has a control unit 40, a transport mechanism 2, a tape feeder 5, a mounting head 8, a moving mechanism 9, a first camera 20, a second camera 30, and a touch panel 13. The control unit 40 has an imaging processing unit (hereinafter, first processing unit) 41, a position deviation calculation unit (hereinafter, first calculation unit) 42, an offset amount calculation unit (hereinafter, second calculation unit) 43, a mounting operation processing unit (hereinafter, second processing unit) 44, and a mounting memory unit (hereinafter, memory unit) 45. The memory unit 45 stores mounting data 46, imaging data 47, a mark field position deviation amount (hereinafter, first position deviation amount) 48, a component field position deviation amount (hereinafter, second position deviation amount) 49, a board field position deviation amount (hereinafter, third position deviation amount) 50, an offset amount 51, and the like.

なお、制御部40を構成する第1処理部41、第1算出部42、第2算出部43、第2処理部44は、それぞれCPU(中央演算処理装置)またはLSI(大規模集積回路)で構成されている。必要に応じて、メモリを含んでいてもよい。これらは専用回路で構成されていてもよく、汎用のハードウェアを、一過性または非一過性の記憶装置や記録媒体から読みだしたソフトウェアで制御して実現してもよい。またこれらの2つ以上を一体に構成してもよい。記憶部58は、書き換え可能なRAMやフラッシュメモリ、ハードディスク等で構成されている。なお記憶部58は、複数のメモリで構成し、実装データ46~オフセット量51を個別に記憶してもよいし、一体に構成してこれらのデータを一括して記憶してもよい。 The first processing unit 41, the first calculation unit 42, the second calculation unit 43, and the second processing unit 44 constituting the control unit 40 are each composed of a CPU (Central Processing Unit) or an LSI (Large Scale Integrated Circuit). They may include memory as necessary. They may be composed of dedicated circuits, or may be realized by controlling general-purpose hardware with software read from a transient or non-transient storage device or recording medium. Two or more of these may also be integrated. The storage unit 58 is composed of a rewritable RAM, flash memory, hard disk, etc. The storage unit 58 may be composed of multiple memories and may store the implementation data 46 to the offset amount 51 individually, or may be integrated to store these data collectively.

実装データ46は、基板3の種類毎の、基板3のサイズ、実装される部品Dの種類と実装位置(XY座標)など、部品実装作業に必要な情報を含む。第1処理部41は、第1カメラ20の撮像視野の位置ずれを検出(算出)する際は、第1カメラ20のマーク撮像部22bと部品照明部25とを制御する。具体的には第1処理部41は、透明部材26上に設けられたマーク27を部品照明部25に照らさせながらマーク撮像部22bにマーク27を撮像させる。第1処理部41は、撮像結果を撮像データ47として記憶部45に記憶させる。The mounting data 46 includes information necessary for component mounting work, such as the size of the board 3 for each type of board 3, the type of component D to be mounted, and the mounting position (XY coordinates). When detecting (calculating) the positional deviation of the imaging field of view of the first camera 20, the first processing unit 41 controls the mark imaging unit 22b and the component illumination unit 25 of the first camera 20. Specifically, the first processing unit 41 causes the mark imaging unit 22b to image the mark 27 provided on the transparent member 26 while illuminating the mark 27 with the component illumination unit 25. The first processing unit 41 stores the imaging result in the memory unit 45 as imaging data 47.

ここで図7、図8を参照して、第1カメラ20が撮像したマーク27の撮像結果について説明する。第1カメラ20は、部品実装作業においてノズル8bに保持された部品Dの撮像を繰り返し実行する。この過程において、撮像素子22の発熱や部品照明部25の発熱に起因して、センサ基板23や筐体21に経時的な歪が発生することがある。図7は、このような経時的な変化によってセンサ基板23が歪んで撮像素子22がXY面内で位置ずれし、部品撮像部22aの第1の光路Pa(光軸)とマーク撮像部22bの第2の光路Pb(光軸)とが初期の状態からずれた状態を示している。X軸上において、第1の光路Paは、位置ずれ量ΔXdだけずれており、第2の光路Pbは、位置ずれ量ΔXmだけずれている。 Now, referring to Figures 7 and 8, the imaging result of the mark 27 captured by the first camera 20 will be described. The first camera 20 repeatedly captures the component D held by the nozzle 8b during the component mounting operation. During this process, the sensor board 23 and the housing 21 may be distorted over time due to heat generation from the imaging element 22 and the component illumination unit 25. Figure 7 shows a state in which the sensor board 23 is distorted due to such a change over time, causing the imaging element 22 to shift in position within the XY plane, and the first optical path Pa (optical axis) of the component imaging unit 22a and the second optical path Pb (optical axis) of the mark imaging unit 22b are shifted from their initial states. On the X axis, the first optical path Pa is shifted by a position shift amount ΔXd, and the second optical path Pb is shifted by a position shift amount ΔXm.

図7において、第1カメラ20に歪がない初期の状態において、部品認識高さHaにおける第1の光路Paの位置を初期部品視野中心位置Cd0と定義し、マーク認識高さHbにおける第2の光路Pbの位置を初期マーク視野中心位置Cm0と定義する。また、撮像素子22がXY面内で位置ずれしている状態において、部品認識高さHaにおける第1の光路Paの位置を部品視野中心位置Cdと定義し、マーク認識高さHbにおける第2の光路Pbの位置をマーク視野中心位置Cmと定義する。7, in an initial state where there is no distortion in the first camera 20, the position of the first optical path Pa at the part recognition height Ha is defined as the initial part field center position Cd0, and the position of the second optical path Pb at the mark recognition height Hb is defined as the initial mark field center position Cm0. Also, in a state where the image sensor 22 is misaligned in the XY plane, the position of the first optical path Pa at the part recognition height Ha is defined as the part field center position Cd, and the position of the second optical path Pb at the mark recognition height Hb is defined as the mark field center position Cm.

図8は、図7に示すように撮像素子22がXY面内で位置ずれしている状態において、第1カメラ20によって撮像されたマーク27の画像であるマーク画像60を示している。マーク画像60には、マーク撮像部22bによって撮像された5個のマーク27が並んで写っている。5個並んだマーク27のうちの3番目のマーク27(以下、中央マーク27A)の中心が、初期マーク視野中心位置Cm0である。また、マーク画像60の中心60cが、マーク視野中心位置Cmである。 Figure 8 shows a mark image 60, which is an image of the mark 27 captured by the first camera 20 when the image sensor 22 is misaligned in the XY plane as shown in Figure 7. The mark image 60 shows a line of five marks 27 captured by the mark imaging unit 22b. The center of the third mark 27 (hereinafter, central mark 27A) of the five lined up marks 27 is the initial mark field of view central position Cm0. The center 60c of the mark image 60 is the mark field of view central position Cm.

第1カメラ20に歪がない初期状態では、第1カメラ20によって撮像された画像において、初期マーク視野中心位置Cm0がマーク画像60の中心60cに位置し、5個のマーク27は点線で示す位置にある。図8では、撮像素子22が位置ずれすることで、マーク認識高さHbにおける第2の光路Pbの位置が中央マーク27Aの中心から移動してずれている。In the initial state where there is no distortion in the first camera 20, in the image captured by the first camera 20, the initial mark field center position Cm0 is located at the center 60c of the mark image 60, and the five marks 27 are located at the positions indicated by the dotted lines. In Figure 8, the image sensor 22 is misaligned, causing the position of the second optical path Pb at the mark recognition height Hb to move away from the center of the central mark 27A.

図6に示す第1算出部42は、マーク画像60に基づいて、マーク撮像部22bの視野の初期状態からの位置ずれ量である第1位置ずれ量48を算出して、記憶部45に記憶させる。具体的には、第1算出部42は、図8に示すマーク画像60の中心60cに対する中央マーク27Aの位置より、X軸におけるずれ量ΔXmとY軸におけるずれ量ΔYmとを算出する。また、5個のマーク27の中心を結ぶ直線の傾きからZ軸を回転軸とする回転の方向であるθ方向のずれ量Δθmを算出する。The first calculation unit 42 shown in Fig. 6 calculates a first positional deviation amount 48, which is a positional deviation amount from the initial state of the field of view of the mark imaging unit 22b, based on the mark image 60, and stores the first positional deviation amount 48 in the storage unit 45. Specifically, the first calculation unit 42 calculates a deviation amount ΔXm on the X axis and a deviation amount ΔYm on the Y axis from the position of the central mark 27A relative to the center 60c of the mark image 60 shown in Fig. 8. In addition, the first calculation unit 42 calculates a deviation amount Δθm in the θ direction, which is the direction of rotation about the Z axis, from the inclination of the straight line connecting the centers of the five marks 27.

図9は、図7に示す撮像素子22がXY面内で位置ずれしている状態において、第1カメラ20が撮像した部品Dの画像である部品撮像画像(以下、第1画像)61を示す。なお、ノズル8bは、部品Dの中心を保持している。第1画像61に写っている部品Dの中心が、初期部品視野中心位置Cd0である。また、第1画像61の中心61cが、部品視野中心位置Cdである。第1カメラ20に歪がない初期状態では、第1画像61において、初期部品視野中心位置Cd0が第1画像61の中心61cに位置し、部品Dと部品Dを保持するノズル8bとは点線で示す位置にある。 Figure 9 shows a part image (hereinafter, first image) 61, which is an image of part D captured by the first camera 20 when the image sensor 22 shown in Figure 7 is misaligned in the XY plane. The nozzle 8b holds the center of part D. The center of part D captured in the first image 61 is the initial part view center position Cd0. The center 61c of the first image 61 is the part view center position Cd. In the initial state where there is no distortion in the first camera 20, in the first image 61, the initial part view center position Cd0 is located at the center 61c of the first image 61, and the part D and the nozzle 8b holding the part D are located at the positions shown by the dotted lines.

第1画像61に基づく部品撮像部22aの視野の初期状態からの位置ずれ量である第2位置ずれ量49は、X軸におけるずれ量ΔXdとY軸におけるずれ量ΔYdとで表される。すなわち、第1画像61の中心61cに対する部品Dの中心の位置のずれは、ずれ量ΔXdとずれ量ΔYdである。また、部品Dの回転具合(部品Dの各辺の傾きなど)が、Z軸を回転軸とする回転の方向であるθ方向のずれ量Δθdである。 The second positional deviation amount 49, which is the amount of positional deviation from the initial state of the field of view of the component imaging unit 22a based on the first image 61, is expressed as a deviation amount ΔXd on the X axis and a deviation amount ΔYd on the Y axis. That is, the deviation of the position of the center of the component D from the center 61c of the first image 61 is a deviation amount ΔXd and a deviation amount ΔYd. In addition, the degree of rotation of the component D (such as the inclination of each side of the component D) is a deviation amount Δθd in the θ direction, which is the direction of rotation about the Z axis.

第1カメラ20では、部品撮像部22aとマーク撮像部22bとが単一の撮像素子22に形成されている。そのため、第1カメラ20の経時的な変化によって、部品撮像部22aの第1の光路Paのずれとマーク撮像部22bの第2の光路Pbのずれとは連動して発生する。したがって、第1位置ずれ量48と第2位置ずれ量49には、第1カメラ20の構成で決まる所定の関係(例えば、比例関係)がある。すなわち、第2位置ずれ量49は、第1位置ずれ量48から算出することができる。In the first camera 20, the part imaging section 22a and the mark imaging section 22b are formed in a single imaging element 22. Therefore, due to changes over time in the first camera 20, the shift of the first optical path Pa of the part imaging section 22a and the shift of the second optical path Pb of the mark imaging section 22b occur in conjunction with each other. Therefore, the first positional deviation amount 48 and the second positional deviation amount 49 have a predetermined relationship (e.g., a proportional relationship) determined by the configuration of the first camera 20. In other words, the second positional deviation amount 49 can be calculated from the first positional deviation amount 48.

第1算出部42は、マーク画像60から算出した第1位置ずれ量48に対して、所定の演算を実行して第2位置ずれ量49を算出して、記憶部45に記憶させる。所定の演算とは、例えば、X軸の成分とY軸の成分には所定の係数を掛け、θ方向はそのままにする、といった演算である。すなわち、第1算出部42は、マーク撮像部22bによるマーク27の撮像結果であるマーク画像60に基づいて、部品撮像部22aの視野の位置ずれ量(第2位置ずれ量49)を算出する。そして、部品撮像部22a、マーク撮像部22b、マーク27、第1算出部42は、ノズル8bで保持された部品Dを撮像し、第2位置ずれ量49を算出する部品撮像装置を構成する。The first calculation unit 42 performs a predetermined calculation on the first positional deviation amount 48 calculated from the mark image 60 to calculate the second positional deviation amount 49, and stores the second positional deviation amount 49 in the memory unit 45. The predetermined calculation is, for example, a calculation in which the X-axis component and the Y-axis component are multiplied by a predetermined coefficient, and the θ direction is left unchanged. That is, the first calculation unit 42 calculates the positional deviation amount (second positional deviation amount 49) of the field of view of the part imaging unit 22a based on the mark image 60, which is the imaging result of the mark 27 by the mark imaging unit 22b. The part imaging unit 22a, the mark imaging unit 22b, the mark 27, and the first calculation unit 42 constitute a part imaging device that images the part D held by the nozzle 8b and calculates the second positional deviation amount 49.

図6に示す第2処理部44は、実装データ46に基づいて部品実装装置1の各部を制御する。具体的には、実装ヘッド8のノズル8bを制御して、テープフィーダ5が供給する部品Dを保持させる。そして、ノズル8bが保持した部品Dの位置ずれを第1カメラ20に検出させる。さらに、ノズル8bを制御して、実装作業位置に保持された基板3に部品Dを装着させる。第2処理部44は、このような一連の部品実装作業を制御する。その際、第2処理部44は、記憶部45に記憶されている第2位置ずれ量49に基づいて、第1カメラ20が検出したノズル8bに対する部品Dの位置を補正する。 The second processing unit 44 shown in FIG. 6 controls each part of the component mounting device 1 based on the mounting data 46. Specifically, it controls the nozzle 8b of the mounting head 8 to hold the component D supplied by the tape feeder 5. Then, it causes the first camera 20 to detect the positional deviation of the component D held by the nozzle 8b. Furthermore, it controls the nozzle 8b to mount the component D on the board 3 held at the mounting work position. The second processing unit 44 controls this series of component mounting operations. At that time, the second processing unit 44 corrects the position of the component D relative to the nozzle 8b detected by the first camera 20 based on the second positional deviation amount 49 stored in the memory unit 45.

マーク撮像部22bは、実装ヘッド8がテープフィーダ5からの部品Dの取り出しや基板3への部品の装着を実行している間に、マーク27を撮像することができる。すなわちマーク撮像部22bは、実装ヘッド8が第1カメラ20の上方にない空き時間に、実装ヘッド8の動作などとは独立してマーク27を撮像することができる。このため、空き時間にマーク撮像部22bがマーク27を撮像して第2位置ずれ量49を最新の値に更新することできる。これにより、部品実装作業の効率を低下させることなく部品Dを撮像する部品撮像カメラ20の光軸のずれ(第2位置ずれ量49)を検出して部品Dを実装する位置を補正し、部品Dを高精度に正規の実装位置に装着することができる。The mark imaging unit 22b can image the mark 27 while the mounting head 8 is taking out the component D from the tape feeder 5 or mounting the component on the board 3. That is, the mark imaging unit 22b can image the mark 27 independently of the operation of the mounting head 8 during the idle time when the mounting head 8 is not above the first camera 20. Therefore, the mark imaging unit 22b can image the mark 27 during the idle time and update the second positional deviation amount 49 to the latest value. This allows the optical axis deviation (second positional deviation amount 49) of the component imaging camera 20 that images the component D to be detected without reducing the efficiency of the component mounting work, and the position at which the component D is mounted can be corrected, and the component D can be mounted in the normal mounting position with high accuracy.

図6に示す第1処理部41は、移動機構9の経時的な歪に起因する実装ヘッド8、ノズル8b、第2カメラ30の位置ずれを検出(算出)する。具体的には第1処理部41は、移動機構9、第2カメラ30、第1カメラ20を制御して、透明部材26上に形成されたマーク27をカメラユニット32に撮像させる。第1処理部41は、撮像結果を撮像データ47として記憶部45に記憶させる。6 detects (calculates) positional deviations of the mounting head 8, nozzle 8b, and second camera 30 caused by distortion of the moving mechanism 9 over time. Specifically, the first processing unit 41 controls the moving mechanism 9, the second camera 30, and the first camera 20 to cause the camera unit 32 to capture an image of the mark 27 formed on the transparent member 26. The first processing unit 41 stores the image capture result in the memory unit 45 as image capture data 47.

次に、図10、図11を参照して、第2カメラ30によるマーク27の撮像の詳細と撮像結果について説明する。第2カメラ30によりマーク27を撮像する際、まず図6に示す第1処理部41は移動機構9を制御して、第1カメラ20に設けられたマーク27を撮像する位置に第2カメラ30を移動させる。次いで第1処理部41は、第1カメラ20の部品照明部25を制御して、透明部材26上に設けられたマーク27を下方から照らさせながら、図10に示すカメラユニット32を制御してマーク27を撮像させる。Next, the details of the imaging of the mark 27 by the second camera 30 and the imaging results will be described with reference to Figures 10 and 11. When imaging the mark 27 by the second camera 30, the first processing unit 41 shown in Figure 6 first controls the moving mechanism 9 to move the second camera 30 to a position where the mark 27 provided on the first camera 20 is imaged. Next, the first processing unit 41 controls the component illumination unit 25 of the first camera 20 to illuminate the mark 27 provided on the transparent member 26 from below, while controlling the camera unit 32 shown in Figure 10 to image the mark 27.

すなわち、基板撮像装置としての第2カメラ30がマーク27を撮像する際には、部品照明部25が透過照明によりマーク27を照らす。これにより、例えば透明部材26に汚れが付着している場合でも、第2カメラ30は、マーク27を鮮明に撮像することができる。なお、基板照明部33がマーク27を照らしながらカメラユニット32がマーク27を撮像してもよい。また、部品照明部25は透過照明としたが、透過照明は照明種別の一例であり、この例に限定されることはない。That is, when the second camera 30 serving as a board imaging device images the mark 27, the part illumination unit 25 illuminates the mark 27 with transmitted illumination. This allows the second camera 30 to clearly image the mark 27 even if, for example, the transparent member 26 is dirty. Note that the camera unit 32 may image the mark 27 while the board illumination unit 33 illuminates the mark 27. Also, although the part illumination unit 25 uses transmitted illumination, transmitted illumination is one example of a type of illumination and is not limited to this example.

ところで、移動機構9は、部品実装作業において実装ヘッド8を繰り返し移動させる。この過程において、移動機構9のリニア駆動機構などの発熱によって移動機構9に経時的な歪が発生することがある。制御部40では、部品実装装置1に設定されている基点(図示省略)を原点として、移動機構9に歪がない初期状態を想定して実装ヘッド8やノズル8bの位置が制御されるように各種制御パラメータが設定されている。移動機構9に歪がある場合、実装ヘッド8やノズル8bが初期状態の位置からずれるため補正が必要となる。The moving mechanism 9 repeatedly moves the mounting head 8 during component mounting operations. During this process, the moving mechanism 9 may become distorted over time due to heat generated by the linear drive mechanism of the moving mechanism 9. In the control unit 40, various control parameters are set so that the positions of the mounting head 8 and nozzle 8b are controlled assuming an initial state in which there is no distortion in the moving mechanism 9, with a base point (not shown) set in the component mounting device 1 as the origin. If there is distortion in the moving mechanism 9, the mounting head 8 and nozzle 8b will deviate from their initial positions, requiring correction.

図10は、第1処理部41が移動機構9を制御して、カメラユニット32の第3の光路Phがマーク27の中心と一致させるにもかかわらず、移動機構9の歪に基因して第2カメラ30が位置ずれして停止している状態を示している。前述のようにカメラユニット32を含む第2カメラ30は、移動機構9により実装ヘッド8と一体的に移動する。移動機構9に歪がない初期の状態において、第3の光路Phのマーク27上の位置を初期基板視野中心位置Ch0と定義する。また、移動機構9に歪がある状態における、第3の光路Phの透明部材26上の位置を基板視野中心位置Chと定義する。 Figure 10 shows a state in which the second camera 30 is misaligned and stopped due to distortion of the moving mechanism 9, even though the first processing unit 41 controls the moving mechanism 9 to align the third optical path Ph of the camera unit 32 with the center of the mark 27. As described above, the second camera 30 including the camera unit 32 moves integrally with the mounting head 8 by the moving mechanism 9. In an initial state in which there is no distortion in the moving mechanism 9, the position of the third optical path Ph on the mark 27 is defined as the initial board view center position Ch0. Furthermore, in a state in which there is distortion in the moving mechanism 9, the position of the third optical path Ph on the transparent member 26 is defined as the board view center position Ch.

図11は、図10に示すように移動機構9に歪がある状態において、第2カメラ30のカメラユニット32によって撮像されたマーク27の基板認識カメラ画像(以下、第2画像)62を示している。第2画像62の中心62cが基板視野中心位置Chである。また、第2画像62に写っている5個のマーク27のうちの3番目の中央マーク27Aの中心が、初期基板視野中心位置Ch0である。移動機構9に歪がない初期状態では、第2画像62において、中心62cに初期基板視野中心位置Ch0が位置し、5個のマーク27は点線で示す位置にある。 Figure 11 shows a board recognition camera image (hereinafter, second image) 62 of the mark 27 captured by the camera unit 32 of the second camera 30 when there is distortion in the moving mechanism 9 as shown in Figure 10. The center 62c of the second image 62 is the board view center position Ch. Furthermore, the center of the third central mark 27A of the five marks 27 captured in the second image 62 is the initial board view center position Ch0. In the initial state when there is no distortion in the moving mechanism 9, the initial board view center position Ch0 is located at the center 62c in the second image 62, and the five marks 27 are at the positions shown by the dotted lines.

図6に示す第2算出部43は、図11に示す第2画像62に基づいて、カメラユニット32の視野の初期状態からの位置ずれ量である第3位置ずれ量50を算出して、記憶部45に記憶させる。具体的には、第2算出部43は、第2画像62の中心62cに対する中央マーク27Aの位置よりX軸におけるずれ量ΔXhとY軸におけるずれ量ΔYhとを算出する。また、5個のマーク27の中心を結ぶ直線の傾きから、Z軸を回転軸とする回転の方向であるθ方向のずれ量Δθhを算出する。The second calculator 43 shown in Fig. 6 calculates a third positional deviation amount 50, which is a positional deviation amount from the initial state of the field of view of the camera unit 32, based on the second image 62 shown in Fig. 11, and stores the third positional deviation amount 50 in the memory unit 45. Specifically, the second calculator 43 calculates a deviation amount ΔXh on the X axis and a deviation amount ΔYh on the Y axis from the position of the central mark 27A relative to the center 62c of the second image 62. In addition, the second calculator 43 calculates a deviation amount Δθh in the θ direction, which is the direction of rotation about the Z axis, from the inclination of the straight line connecting the centers of the five marks 27.

第2処理部44は、第2カメラ30を制御して、実装作業位置に保持された基板3の基板マーク3aを撮像させて基板3の位置を認識する。その際、第2処理部44は、記憶部45に記憶されている第3位置ずれ量50に基づいて、基板3の停止位置を補正する。また、部品実装作業では、部品実装装置1に設定されている基点に対するノズル8bの位置を補正して、ノズル8bが保持する部品Dを基板3上の所定の実装位置に実装する必要がある。ノズル8bの位置を補正するには、移動機構9の歪に加えて、上述したノズル8bが保持する部品Dを撮像する第1カメラ20の歪も考慮する必要がある。The second processing unit 44 controls the second camera 30 to capture an image of the board mark 3a of the board 3 held at the mounting work position to recognize the position of the board 3. At that time, the second processing unit 44 corrects the stop position of the board 3 based on the third positional deviation amount 50 stored in the memory unit 45. In addition, in the component mounting work, it is necessary to correct the position of the nozzle 8b with respect to the base point set in the component mounting device 1 and mount the component D held by the nozzle 8b at a predetermined mounting position on the board 3. To correct the position of the nozzle 8b, in addition to the distortion of the moving mechanism 9, it is also necessary to take into account the distortion of the first camera 20 that captures the component D held by the nozzle 8b described above.

図10において、第2算出部43は、実装ヘッド8における第2カメラ30とノズル8bとの位置関係(Xn,Yn)に加え、第3位置ずれ量50と、第1位置ずれ量48とに基づいて、ノズル8bと第2カメラ30とのオフセット量51を算出する。そして第2算出部43は、オフセット量51を記憶部45に記憶させる。前述のように、第1位置ずれ量48は、第1カメラ20の歪を表わす第1カメラ20の視野の位置ずれ量である。第2処理部44は、記憶部45に記憶された実装データ46とオフセット量51とに基づいてノズル8bの位置を補正して、ノズル8bを制御し、ノズル8bが保持する部品Dを基板3上の実装位置に実装させる。10, the second calculation unit 43 calculates an offset amount 51 between the nozzle 8b and the second camera 30 based on the positional relationship (Xn, Yn) between the second camera 30 and the nozzle 8b in the mounting head 8, as well as the third positional deviation amount 50 and the first positional deviation amount 48. The second calculation unit 43 then stores the offset amount 51 in the memory unit 45. As described above, the first positional deviation amount 48 is a positional deviation amount of the field of view of the first camera 20 that represents the distortion of the first camera 20. The second processing unit 44 corrects the position of the nozzle 8b based on the mounting data 46 and the offset amount 51 stored in the memory unit 45, controls the nozzle 8b, and mounts the component D held by the nozzle 8b at the mounting position on the board 3.

前述のように、第1カメラ20の視野の位置ずれ量は、第1カメラ20のマーク撮像部22bによるマークの撮像結果に基づいて、第1算出部42によって算出される。すなわち、第1算出部42は、図8に示すマーク画像60に基づいて第1位置ずれ量48を算出する。第1カメラ20がマーク27を撮像する際、第1処理部41は、第2カメラ30の基板照明部33を制御して透明部材26上に設けられたマーク27を上方から照らさせた状態で、マーク撮像部22bを制御してマーク27を撮像させる。すなわち、第1カメラ20がマーク27を撮像する際は、基板照明部33がマーク27を透過照明で照らす。これにより、例えば、透明部材26に汚れが付着している場合でも、マーク27を鮮明に撮像することができる。As described above, the positional deviation amount of the field of view of the first camera 20 is calculated by the first calculation unit 42 based on the image capturing result of the mark by the mark capturing unit 22b of the first camera 20. That is, the first calculation unit 42 calculates the first positional deviation amount 48 based on the mark image 60 shown in FIG. 8. When the first camera 20 captures the mark 27, the first processing unit 41 controls the board illumination unit 33 of the second camera 30 to illuminate the mark 27 provided on the transparent member 26 from above, and controls the mark imaging unit 22b to capture the mark 27. That is, when the first camera 20 captures the mark 27, the board illumination unit 33 illuminates the mark 27 with transmitted illumination. As a result, for example, even if the transparent member 26 is dirty, the mark 27 can be clearly captured.

このように、第2算出部43は、部品撮像装置である第1カメラ20のマーク撮像部22bによるマーク27の撮像結果と、基板撮像装置である第2カメラ30によるマーク27の撮像結果とに基づいて、ノズル8bと第2カメラ30とのオフセット量51を算出する。すなわち、第2算出部43は、マーク画像60と基板認識カメラ画像62とに基づいて、オフセット量51を算出する。In this way, the second calculation unit 43 calculates the offset amount 51 between the nozzle 8b and the second camera 30 based on the imaging result of the mark 27 by the mark imaging unit 22b of the first camera 20, which is a component imaging device, and the imaging result of the mark 27 by the second camera 30, which is a board imaging device. That is, the second calculation unit 43 calculates the offset amount 51 based on the mark image 60 and the board recognition camera image 62.

上記のように、部品実装装置1は、ノズル8bで保持された部品Dを撮像する部品撮像装置(第1カメラ20、第1算出部42)と、ノズル8bと一体的に移動して基板3を撮像する基板撮像装置(第2カメラ30)と、オフセット量51を算出するオフセット量算出部(第2算出部)43とを有している。これによって、ノズル8bと基板認識装置とのオフセット量51を精度良く算出することができる。As described above, the component mounting device 1 has a component imaging device (first camera 20, first calculation unit 42) that images the component D held by the nozzle 8b, a board imaging device (second camera 30) that moves integrally with the nozzle 8b to image the board 3, and an offset amount calculation unit (second calculation unit) 43 that calculates the offset amount 51. This allows the offset amount 51 between the nozzle 8b and the board recognition device to be calculated with high accuracy.

本開示の部品撮像装置は、部品を撮像するカメラの光軸のずれを算出することができる。また、本開示の部品実装装置は、実装基板の生産中にノズルと基板撮像装置とのオフセット量を精度良く算出することができることができる。そのため、いずれも、部品を基板に実装する分野において有用である。The component imaging device of the present disclosure can calculate the misalignment of the optical axis of the camera that images the component. In addition, the component mounting device of the present disclosure can accurately calculate the offset between the nozzle and the board imaging device during the production of the mounted board. Therefore, both are useful in the field of mounting components on boards.

1 部品実装装置
1a 基台
2 基板搬送機構(搬送機構)
3 基板
3a 基板マーク
4 部品供給部
5 テープフィーダ
5a 部品供給位置
6 Y軸テーブル
7 ビーム
7a プレート
8 実装ヘッド
8a 吸着ユニット
8b ノズル
9 ヘッド移動機構(移動機構)
10 台車
10a フィーダベース
11 テープ
12 テープリール
13 タッチパネル
20 部品認識カメラ(第1カメラ)
21,31 筐体
21a 底
21b 上部
22 撮像素子
22a 部品撮像部
22b マーク撮像部
23 センサ基板
24 レンズ
25 部品照明部
25a,33a 側射照明部
25b,33b 同軸照明部
25c,33c ハーフミラー
26 透明部材
26a 部品撮像視野
26b マーク撮像視野
26c 上面
27 マーク
27A 中央マーク
28 補正部材
30 基板認識カメラ(第2カメラ)
32 カメラユニット
33 基板照明部
34 窓部材
40 制御部
41 撮像処理部(第1処理部)
42 位置ずれ量算出部(第1算出部)
43 オフセット量算出部(第2算出部)
44 実装動作処理部(第2処理部)
45 実装記憶部(記憶部)
46 実装データ
47 撮像データ
48 マーク視野位置ずれ量(第1位置ずれ量)
49 部品視野位置ずれ量(第2位置ずれ量)
50 基板視野位置ずれ量(第3位置ずれ量)
51 オフセット量
60 マーク画像
60c,61c,62c 中心
61 部品撮像画像(第1画像)
62 基板認識カメラ画像(第2画像)
D 部品
Pa 第1の光路
Pb 第2の光路
Ph 第3の光路
1 Component mounting device 1a Base 2 Substrate transport mechanism (transport mechanism)
3: Board 3a: Board mark 4: Component supply unit 5: Tape feeder 5a: Component supply position 6: Y-axis table 7: Beam 7a: Plate 8: Mounting head 8a: Suction unit 8b: Nozzle 9: Head moving mechanism (moving mechanism)
10: Cart 10a: Feeder base 11: Tape 12: Tape reel 13: Touch panel 20: Component recognition camera (first camera)
21, 31 Housing 21a Bottom 21b Upper portion 22 Imaging element 22a Component imaging section 22b Mark imaging section 23 Sensor board 24 Lens 25 Component illumination section 25a, 33a Side illumination section 25b, 33b Coaxial illumination section 25c, 33c Half mirror 26 Transparent member 26a Component imaging field 26b Mark imaging field 26c Upper surface 27 Mark 27A Central mark 28 Correction member 30 Board recognition camera (second camera)
32 camera unit 33 board illumination unit 34 window member 40 control unit 41 imaging processing unit (first processing unit)
42 Position deviation amount calculation unit (first calculation unit)
43 offset amount calculation unit (second calculation unit)
44 Mounting operation processing unit (second processing unit)
45 Implementation memory unit (memory unit)
46 Mounting data 47 Imaging data 48 Mark field position shift amount (first position shift amount)
49 Component field position shift amount (second position shift amount)
50 Substrate field position deviation amount (third position deviation amount)
51 Offset amount 60 Mark image 60c, 61c, 62c Center 61 Part image (first image)
62 Board recognition camera image (second image)
D Part Pa First optical path Pb Second optical path Ph Third optical path

Claims (9)

撮像素子に設けられ、部品を撮像する部品撮像部と、
前記部品撮像部が前記部品を撮像する第1の光路上に設けられた透明部材と、
前記透明部材の前記部品撮像部の視野の外に設けられたマークと、
前記撮像素子に設けられ、前記マークを撮像するマーク撮像部と、
前記マーク撮像部による前記マークの撮像結果に基づいて、前記部品撮像部の前記視野の位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出部と、を備え
前記透明部材は前記マーク撮像部が前記マークを撮像する第2の光路上に設けられた、
部品撮像装置。
a component imaging unit provided in the imaging element for imaging a component;
a transparent member provided on a first optical path along which the component imaging unit images the component;
a mark provided on the transparent member outside the field of view of the component imaging unit;
a mark imaging unit provided in the imaging element for imaging the mark;
a positional deviation amount calculation unit that calculates a positional deviation amount of the field of view of the component imaging unit based on an imaging result of the mark by the mark imaging unit ,
the transparent member is provided on a second optical path along which the mark imaging unit images the mark;
Parts imaging device.
前記部品撮像部と前記マーク撮像部とは、前記撮像素子における互いに異なる部分に設けられた、
請求項1に記載の部品撮像装置。
The component imaging unit and the mark imaging unit are provided in different portions of the imaging element.
The part imaging device according to claim 1 .
前記部品撮像部が前記部品を撮像する前記第1の光路と前記マーク撮像部が前記マークを撮像する前記第2の光路との少なくとも何れか一方に、光路長を補正する補正部材が設けられた、
請求項1または2に記載の部品撮像装置。
a correction member that corrects an optical path length is provided in at least one of the first optical path in which the component imaging unit images the component and the second optical path in which the mark imaging unit images the mark;
The part imaging device according to claim 1 .
前記マークを照らす照明部をさらに備えた、
請求項1から3のいずれか一項に記載の部品撮像装置。
Further comprising an illumination unit that illuminates the mark.
The part imaging device according to claim 1 .
部品を保持して基板に装着するノズルと、
前記ノズルで保持された前記部品を撮像する部品撮像装置と、
前記ノズルと一体的に移動して前記基板を撮像する基板撮像装置と、
前記ノズルと前記基板撮像装置とのオフセット量を算出するオフセット量算出部と、を備え、
前記部品撮像装置は、
撮像素子に設けられ、前記部品を撮像する部品撮像部と、
前記部品撮像部が前記部品を撮像する第1の光路上に設けられた透明部材と、
前記透明部材の前記部品撮像部の視野の外に設けられたマークと、
前記撮像素子に設けられ、前記マークを撮像するマーク撮像部と、を有し、
前記透明部材は前記マーク撮像部が前記マークを撮像する第2の光路上に設けられ、
前記オフセット量算出部は、前記部品撮像装置の前記マーク撮像部による前記マークの撮像結果と前記基板撮像装置による前記マークの撮像結果とに基づいて、前記オフセット量を算出する、
部品実装装置。
a nozzle for holding the component and placing it on the board;
a component imaging device that images the component held by the nozzle;
a substrate imaging device that moves integrally with the nozzle to image the substrate;
an offset amount calculation unit that calculates an offset amount between the nozzle and the substrate imaging device,
The component imaging device includes:
a component imaging unit provided in the imaging element for imaging the component;
a transparent member provided on a first optical path along which the component imaging unit images the component;
a mark provided on the transparent member outside the field of view of the component imaging unit;
a mark imaging unit provided in the imaging element and configured to image the mark;
the transparent member is provided on a second optical path along which the mark imaging unit images the mark,
the offset amount calculation unit calculates the offset amount based on an imaging result of the mark by the mark imaging unit of the component imaging device and an imaging result of the mark by the board imaging device.
Component mounting equipment.
前記部品撮像部と前記マーク撮像部とは、前記撮像素子における互いに異なる部分に設けられた、
請求項に記載の部品実装装置。
The component imaging unit and the mark imaging unit are provided in different portions of the imaging element.
The component mounting apparatus according to claim 5 .
前記部品撮像部が前記部品を撮像する前記第1の光路と前記マーク撮像部が前記マークを撮像する前記第2の光路との少なくとも何れか一方に、光路長を補正する補正部材が設けられた、
請求項またはに記載の部品実装装置。
a correction member that corrects an optical path length is provided in at least one of the first optical path in which the component imaging unit images the component and the second optical path in which the mark imaging unit images the mark;
7. The component mounting apparatus according to claim 5 or 6 .
前記部品撮像装置は、前記マーク撮像部による前記マークの撮像結果に基づいて、前記部品撮像部の視野の位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出部を有し、
前記オフセット量算出部は、前記基板撮像装置による前記マークの撮像結果と前記部品撮像装置の前記視野の位置ずれ量とに基づいて、前記オフセット量を算出する、
請求項からのいずれか一項に記載の部品実装装置。
the component imaging device includes a positional deviation amount calculation unit that calculates a positional deviation amount of a field of view of the component imaging unit based on an imaging result of the mark by the mark imaging unit,
the offset amount calculation unit calculates the offset amount based on an imaging result of the mark by the board imaging device and a positional deviation amount of the field of view of the component imaging device.
The component mounting device according to claim 5 .
前記部品撮像装置は、前記部品撮像装置が前記マークを撮像する際に前記マークを照らす部品照明部を有し、
前記基板撮像装置は、前記基板撮像装置が前記マークを撮像する際に前記マークを照らす基板照明部を有する、
請求項からのいずれかに記載の部品実装装置。
the component imaging device includes a component illumination unit that illuminates the mark when the component imaging device images the mark,
The substrate imaging device has a substrate illumination unit that illuminates the mark when the substrate imaging device images the mark.
9. The component mounting apparatus according to claim 5 ,
JP2021563758A 2019-12-11 2020-09-29 Component imaging device and component mounting device Active JP7546232B2 (en)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019223374 2019-12-11
JP2019223374 2019-12-11
JP2019223373 2019-12-11
JP2019223373 2019-12-11
PCT/JP2020/036798 WO2021117319A1 (en) 2019-12-11 2020-09-29 Component-imaging device and component-mounting device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2021117319A1 JPWO2021117319A1 (en) 2021-06-17
JP7546232B2 true JP7546232B2 (en) 2024-09-06

Family

ID=76329368

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021563758A Active JP7546232B2 (en) 2019-12-11 2020-09-29 Component imaging device and component mounting device

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP7546232B2 (en)
CN (1) CN114747308B (en)
WO (1) WO2021117319A1 (en)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3129134B2 (en) 1995-02-23 2001-01-29 松下電器産業株式会社 Chip mounting method
JP2004179636A (en) 2002-11-13 2004-06-24 Fuji Mach Mfg Co Ltd Method and device of calibration in electronic part packaging apparatus
JP2008270649A (en) 2007-04-24 2008-11-06 Juki Corp Surface mounter and camera position correction method thereof
JP2011035148A (en) 2009-07-31 2011-02-17 Nec Corp Electronic component mounting device, and camera position correcting method in the same
WO2013153834A1 (en) 2012-04-12 2013-10-17 富士機械製造株式会社 Component mounting machine
WO2013153645A1 (en) 2012-04-12 2013-10-17 富士機械製造株式会社 Image pickup device and image processing device
WO2015049721A1 (en) 2013-10-01 2015-04-09 富士機械製造株式会社 Component mounting device and component mounting method

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07162200A (en) * 1993-12-04 1995-06-23 Tdk Corp Method and apparatus for mounting electronic part
JP4901451B2 (en) * 2006-12-19 2012-03-21 Juki株式会社 Component mounting equipment
WO2014020733A1 (en) * 2012-08-01 2014-02-06 富士機械製造株式会社 Component mounting apparatus
JP6174677B2 (en) * 2013-03-18 2017-08-02 富士機械製造株式会社 Component mounting apparatus and calibration method in component mounting apparatus
JP6211808B2 (en) * 2013-06-05 2017-10-11 富士機械製造株式会社 Substrate production support system
WO2015040696A1 (en) * 2013-09-18 2015-03-26 富士機械製造株式会社 Component mounting machine

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3129134B2 (en) 1995-02-23 2001-01-29 松下電器産業株式会社 Chip mounting method
JP2004179636A (en) 2002-11-13 2004-06-24 Fuji Mach Mfg Co Ltd Method and device of calibration in electronic part packaging apparatus
JP2008270649A (en) 2007-04-24 2008-11-06 Juki Corp Surface mounter and camera position correction method thereof
JP2011035148A (en) 2009-07-31 2011-02-17 Nec Corp Electronic component mounting device, and camera position correcting method in the same
WO2013153834A1 (en) 2012-04-12 2013-10-17 富士機械製造株式会社 Component mounting machine
WO2013153645A1 (en) 2012-04-12 2013-10-17 富士機械製造株式会社 Image pickup device and image processing device
WO2015049721A1 (en) 2013-10-01 2015-04-09 富士機械製造株式会社 Component mounting device and component mounting method

Also Published As

Publication number Publication date
WO2021117319A1 (en) 2021-06-17
JPWO2021117319A1 (en) 2021-06-17
CN114747308A (en) 2022-07-12
CN114747308B (en) 2024-10-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6103800B2 (en) Component mounter
JP2011066041A (en) Electronic component mounting device
JP2011124461A (en) Electronic component mounting apparatus
JP4331054B2 (en) Adsorption state inspection device, surface mounter, and component testing device
JP7546232B2 (en) Component imaging device and component mounting device
JP2009212251A (en) Component transfer equipment
JPH0816787A (en) Positioning method and apparatus for mounting machine
JP7535734B2 (en) Component imaging device and component mounting device
JP6990309B2 (en) Surface mounter
JP7546228B2 (en) Component mounting system and component mounting method
JP4437686B2 (en) Surface mount machine
JP6985901B2 (en) Component mounting machine and mounting line
JP4421281B2 (en) Component recognition method, component recognition device, surface mounter, component test device, and board inspection device
CN108370662B (en) Movement error detecting device for mounting head and component mounting device
CN108432361B (en) Movement error detecting device for mounting head and component mounting device
JP3860919B2 (en) Component recognition mounting apparatus and component recognition method
JP4296029B2 (en) Electronic component mounting equipment
JP7319264B2 (en) Control method, electronic component mounting device
WO2024190128A1 (en) Component imaging device
JP4386425B2 (en) Surface mount machine
JP2022120245A (en) Component imaging device
JP4358015B2 (en) Surface mount machine
JPH08195599A (en) Mounting device component mounting state detection method and device
JP7630101B2 (en) Parts Imaging Device
JP4368709B2 (en) Surface mount machine

Legal Events

Date Code Title Description
RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20221024

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20230705

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20240213

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20240222

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20240507

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20240705

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20240723

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20240815

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7546232

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150