JP7549006B2 - Circuit forming method and circuit forming device - Google Patents
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Description
本発明は、基材の上に形成された配線と、基材の上に装着された電子部品とにより回路を形成する回路形成方法、および回路形成装置に関する。 The present invention relates to a circuit formation method and a circuit formation device that form a circuit using wiring formed on a substrate and electronic components mounted on the substrate.
下記特許文献に記載されているように、基材の上に形成された配線と、基材の上に装着された電子部品とにより回路を形成する技術が開発されている。 As described in the following patent document, a technology has been developed to form a circuit using wiring formed on a substrate and electronic components mounted on the substrate.
基材の上に形成された配線と、基材の上に装着された電子部品とにより回路を適切に形成することを課題とする。 The objective is to properly form a circuit using wiring formed on a substrate and electronic components mounted on the substrate.
上記課題を解決するために、本明細書は、紫外線硬化樹脂の吐出と吐出された紫外線硬化樹脂への紫外線の照射とを繰り返すことにより、樹脂層を積層した樹脂積層体である基材を形成する基材形成工程と、前記基材の上に配線を形成する配線形成工程と、前記基材の上に前記紫外線硬化樹脂の吐出と吐出された紫外線硬化樹脂への紫外線の照射とを繰り返すことにより、装着予定の電子部品の高さ寸法よりも大きい深さ寸法のキャビティを有する樹脂積層体を、前記キャビティの内部に前記配線の一部が露出するように、前記基材の上に形成するキャビティ形成工程と、前記電子部品の電極を下方に向けた状態で、当該電極が前記キャビティの内部に露出する配線と通電するように、前記電子部品を前記基材の上に装着する装着工程と、前記基材と、当該基材の上に装着された電子部品との間に、熱硬化性樹脂を封入し硬化させる封入工程と、前記キャビティの内部に前記紫外線硬化樹脂の吐出と吐出された紫外線硬化樹脂への紫外線の照射とを繰り返すことにより樹脂積層体を形成することで、前記キャビティの内部に装着された電子部品を前記樹脂積層体により封止する封止工程と、を含む回路形成方法を開示する。 In order to solve the above problems, the present specification provides a substrate forming step of forming a substrate which is a resin laminate having resin layers laminated thereon by repeating the discharge of an ultraviolet curing resin and the irradiation of ultraviolet light to the discharged ultraviolet curing resin, a wiring forming step of forming wiring on the substrate, and a cavity-shaped resin laminate having a depth dimension larger than the height dimension of an electronic component to be mounted, which is formed on the substrate by repeating the discharge of the ultraviolet curing resin on the substrate and the irradiation of ultraviolet light to the discharged ultraviolet curing resin, such that a part of the wiring is exposed inside the cavity. the mounting step of mounting the electronic component on the substrate with the electrodes of the electronic component facing downward so that the electrodes are electrically connected to wiring exposed inside the cavity; the encapsulation step of injecting and curing a thermosetting resin between the substrate and the electronic component mounted on the substrate; and the sealing step of forming a resin laminate by repeatedly discharging the ultraviolet curing resin into the cavity and irradiating the discharged ultraviolet curing resin with ultraviolet rays , thereby sealing the electronic component mounted inside the cavity with the resin laminate.
また、上記課題を解決するために、本明細書は、配線を形成する第1造形ユニットと、樹脂層を形成する第2造形ユニットと、基板に電子部品を装着する装着ユニットと、を備え、前記第2造形ユニットにより、紫外線硬化樹脂の吐出と吐出された紫外線硬化樹脂への紫外線の照射とを繰り返すことで、樹脂層を積層した樹脂積層体である基材を形成し、前記第1造形ユニットにより、前記基材の上に配線を形成し、前記第2造形ユニットにより、前記基材の上に前記紫外線硬化樹脂の吐出と吐出された紫外線硬化樹脂への紫外線の照射とを繰り返すことで、装着予定の電子部品の高さ寸法よりも大きい深さ寸法のキャビティを有する樹脂積層体を、前記キャビティの内部に前記配線の一部が露出するように、前記基材の上に形成し、前記装着ユニットにより、前記電子部品の電極を下方に向けた状態で、当該電極が前記キャビティの内部に露出する配線と通電するように、前記電子部品を前記基材の上に装着し、前記第2造形ユニットにより、前記基材と、当該基材の上に装着された電子部品との間に、熱硬化性樹脂を封入し硬化させ、前記第2造形ユニットにより、前記キャビティの内部に前記紫外線硬化樹脂の吐出と吐出された紫外線硬化樹脂への紫外線の照射とを繰り返すことで樹脂積層体を形成することで、前記キャビティの内部に装着された電子部品を前記樹脂積層体により封止する、回路形成装置を開示する。 In order to solve the above-mentioned problems, the present specification provides a method for manufacturing a resin laminate comprising: a first modeling unit that forms wiring; a second modeling unit that forms a resin layer; and a mounting unit that mounts an electronic component on a substrate; the second modeling unit repeatedly discharges an ultraviolet curing resin and irradiates the discharged ultraviolet curing resin with ultraviolet light to form a base material that is a resin laminate formed by stacking resin layers; the first modeling unit forms wiring on the base material; and the second modeling unit repeatedly discharges the ultraviolet curing resin on the base material and irradiates the discharged ultraviolet curing resin with ultraviolet light to form a resin laminate having a cavity with a depth dimension larger than the height dimension of an electronic component to be mounted, the resin laminate being formed by stacking resin layers on the base material, the the mounting unit mounts the electronic component on the substrate with the electrodes of the electronic component facing downward so that the electrodes are electrically connected to the wiring exposed inside the cavity; the second modeling unit injects and hardens a thermosetting resin between the substrate and the electronic component mounted on the substrate; and the second modeling unit repeatedly ejects the ultraviolet-curing resin into the cavity and irradiates the ejected ultraviolet-curing resin with ultraviolet light to form a resin laminate, thereby sealing the electronic component mounted inside the cavity with the resin laminate.
本開示では、電極を下方に向けた状態で当該電極が配線と通電するように電子部品が基材の上に装着される。そして、基材と、当該基材の上に装着された電子部品との間に、熱硬化性樹脂が封入されるとともに、基材の上に装着された電子部品が紫外線硬化樹脂により封止される。これにより、回路を適切に形成することができる。 In the present disclosure, electronic components are mounted on a substrate with the electrodes facing downwards so that the electrodes are electrically connected to the wiring. Then, a thermosetting resin is filled between the substrate and the electronic components mounted on the substrate, and the electronic components mounted on the substrate are sealed with an ultraviolet-curing resin. This allows the circuit to be properly formed.
図1に回路形成装置10を示す。回路形成装置10は、搬送装置20と、第1造形ユニット22と、第2造形ユニット24と、装着ユニット26と、制御装置(図2参照)28とを備える。それら搬送装置20と第1造形ユニット22と第2造形ユニット24と装着ユニット26とは、回路形成装置10のベース29の上に配置されている。ベース29は、概して長方形状をなしており、以下の説明では、ベース29の長手方向をX軸方向、ベース29の短手方向をY軸方向、X軸方向及びY軸方向の両方に直交する方向をZ軸方向と称して説明する。
Figure 1 shows the
搬送装置20は、X軸スライド機構30と、Y軸スライド機構32とを備えている。そのX軸スライド機構30は、X軸スライドレール34とX軸スライダ36とを有している。X軸スライドレール34は、X軸方向に延びるように、ベース29の上に配設されている。X軸スライダ36は、X軸スライドレール34によって、X軸方向にスライド可能に保持されている。さらに、X軸スライド機構30は、電磁モータ(図2参照)38を有しており、電磁モータ38の駆動により、X軸スライダ36がX軸方向の任意の位置に移動する。また、Y軸スライド機構32は、Y軸スライドレール50とステージ52とを有している。Y軸スライドレール50は、Y軸方向に延びるように、ベース29の上に配設されており、X軸方向に移動可能とされている。そして、Y軸スライドレール50の一端部が、X軸スライダ36に連結されている。そのY軸スライドレール50には、ステージ52が、Y軸方向にスライド可能に保持されている。さらに、Y軸スライド機構32は、電磁モータ(図2参照)56を有しており、電磁モータ56の駆動により、ステージ52がY軸方向の任意の位置に移動する。これにより、ステージ52は、X軸スライド機構30及びY軸スライド機構32の駆動により、ベース29上の任意の位置に移動する。
The
ステージ52は、基台60と、保持装置62と、昇降装置64とを有している。基台60は、平板状に形成され、上面に基板が載置される。保持装置62は、基台60のX軸方向の両側部に設けられている。そして、基台60に載置された基板のX軸方向の両縁部が、保持装置62によって挟まれることで、基板が固定的に保持される。また、昇降装置64は、基台60の下方に配設されており、基台60を昇降させる。
The
第1造形ユニット22は、回路基板の配線を造形するユニットであり、第1印刷部72と、加熱部74とを有している。第1印刷部72は、インクジェットヘッド(図2参照)76とディスペンスヘッド(図2参照)77とを有している。インクジェットヘッド76が金属インクを線状に吐出する。金属インクは、ナノメートルサイズの金属の微粒子が溶剤中に分散されたものである。また、金属微粒子の表面は分散剤によりコーティングされており、溶剤中での凝集が防止されている。なお、インクジェットヘッド76は、例えば、圧電素子を用いたピエゾ方式によって複数のノズルから金属インクを吐出する。
The
また、ディスペンスヘッド77は金属ペーストを吐出する。金属ペーストは、加熱により硬化する樹脂に、マイクロメートルサイズの金属粒子が分散されたものである。ちなみに、金属粒子は、フレーク状とされている。なお、金属ペーストの粘度は、金属インクと比較して、比較的高いため、ディスペンスヘッド77は、インクジェットヘッド76のノズルの径より大きな径の1個のノズルから金属ペーストを吐出する。
The
加熱部74は、ヒータ(図2参照)78を有している。ヒータ78は、インクジェットヘッド76により吐出された金属インクを加熱する装置である。金属インクは、ヒータ78により加熱されることで焼成し、配線が形成される。なお、金属インクの焼成とは、エネルギーを付与することによって、溶媒の気化や金属微粒子の保護膜、つまり、分散剤の分解等が行われ、金属微粒子が接触または融着をすることで、導電率が高くなる現象である。そして、金属インクを焼成することで、金属製の配線が形成される。
The
また、ヒータ78は、ディスペンスヘッド77により吐出された金属ペーストをも加熱する装置である。金属ペーストは、ヒータ78により加熱されることで、樹脂が硬化する。この際、金属ペーストでは、硬化した樹脂が収縮し、その樹脂に分散されたフレーク状の金属粒子が互いに接触する。これにより、金属ペーストが導電性を発現する。
The
また、第2造形ユニット24は、回路基板の樹脂層を造形するユニットであり、第2印刷部84と、硬化部86とを有している。第2印刷部84は、インクジェットヘッド(図2参照)88とディスペンスヘッド(図2参照)89とを有している。インクジェットヘッド88は紫外線硬化樹脂を吐出する。紫外線硬化樹脂は、紫外線の照射により硬化する樹脂である。また、ディスペンスヘッド89は熱硬化性樹脂を吐出する。熱硬化性樹脂は、加熱により硬化する樹脂である。なお、インクジェットヘッド88は、例えば、圧電素子を用いたピエゾ方式でもよく、樹脂を加熱して気泡を発生させ複数のノズルから吐出するサーマル方式でもよい。
The
硬化部86は、平坦化装置(図2参照)90と照射装置(図2参照)92とヒータ(図2参照)93とを有している。平坦化装置90は、インクジェットヘッド88によって吐出された紫外線硬化樹脂の上面を平坦化するものであり、例えば、紫外線硬化樹脂の表面を均しながら余剰分の樹脂を、ローラもしくはブレードによって掻き取ることで、紫外線硬化樹脂の厚みを均一させる。また、照射装置92は、光源として水銀ランプもしくはLEDを備えており、吐出された紫外線硬化樹脂に紫外線を照射する。これにより、吐出された紫外線硬化樹脂が硬化し、樹脂層が形成される。また、ヒータ93は、ディスペンスヘッド89により吐出された熱硬化性樹脂を加熱する。これにより、吐出された熱硬化性樹脂が硬化し、樹脂層が形成される。
The curing
また、装着ユニット26は、回路基板に電子部品を装着するユニットであり、供給部110と、装着部112とを有している。供給部110は、テーピング化された電子部品を1つずつ送り出すテープフィーダ(図2参照)114を複数有しており、供給位置において、電子部品を供給する。なお、供給部110は、テープフィーダ114に限らず、トレイから電子部品をピックアップして供給するトレイ型の供給装置でもよい。また、供給部110は、テープ型とトレイ型との両方、あるいはそれ以外の供給装置を備えた構成でもよい。
The mounting
装着部112は、装着ヘッド(図2参照)116と、移動装置(図2参照)118とを有している。装着ヘッド116は、電子部品(図11参照)119を吸着保持するための吸着ノズル(図示省略)を有する。吸着ノズルは、正負圧供給装置(図示省略)から負圧が供給されることで、エアの吸引により電子部品を吸着保持する。そして、正負圧供給装置から僅かな正圧が供給されることで、電子部品を離脱する。また、移動装置118は、テープフィーダ114による電子部品の供給位置と、基台60との間で、装着ヘッド116を移動させる。これにより、装着部112では、テープフィーダ114から供給された電子部品が、吸着ノズルにより保持され、その吸着ノズルによって保持された電子部品が、回路基板に装着される。
The mounting
また、制御装置28は、図2に示すように、コントローラ120と、複数の駆動回路122とを備えている。複数の駆動回路122は、上記電磁モータ38,56、保持装置62、昇降装置64、インクジェットヘッド76、ディスペンスヘッド77、ヒータ78、インクジェットヘッド88、ディスペンスヘッド89、平坦化装置90、照射装置92、ヒータ93、テープフィーダ114、装着ヘッド116、移動装置118に接続されている。コントローラ120は、CPU,ROM,RAM等を備え、コンピュータを主体とするものであり、複数の駆動回路122に接続されている。これにより、搬送装置20、第1造形ユニット22、第2造形ユニット24、装着ユニット26の作動が、コントローラ120によって制御される。
2, the
回路形成装置10では、上述した構成によって、基板の上に樹脂積層体が形成され、その樹脂積層体の上に電子部品が装着されるとともに、その電子部品と通電するように配線が形成されることで、回路が形成される。
In the
具体的には、ステージ52の基台60に基板(図3参照)70がセットされ、そのステージ52が、第2造形ユニット24の下方に移動される。そして、第2造形ユニット24において、図3に示すように、基板70の上に樹脂積層体130が形成される。樹脂積層体130は、インクジェットヘッド88からの紫外線硬化樹脂の吐出と、吐出された紫外線硬化樹脂への照射装置92による紫外線の照射とが繰り返されることにより形成される。
Specifically, a substrate (see FIG. 3) 70 is set on the
詳しくは、第2造形ユニット24の第2印刷部84において、インクジェットヘッド88が、基板70の上面に紫外線硬化樹脂を薄膜状に吐出する。続いて、紫外線硬化樹脂が薄膜状に吐出されると、硬化部86において、紫外線硬化樹脂の膜厚が均一となるように、紫外線硬化樹脂が平坦化装置90によって平坦化される。そして、照射装置92が、その薄膜状の紫外線硬化樹脂に紫外線を照射する。これにより、基板70の上に薄膜状の樹脂層132が形成される。
More specifically, in the
続いて、インクジェットヘッド88が、その薄膜状の樹脂層132の上に紫外線硬化樹脂を薄膜状に吐出する。そして、平坦化装置90によって薄膜状の紫外線硬化樹脂が平坦化され、照射装置92が、その薄膜状に吐出された紫外線硬化樹脂に紫外線を照射することで、薄膜状の樹脂層132の上に薄膜状の樹脂層132が積層される。このように、薄膜状の樹脂層132の上への紫外線硬化樹脂の吐出と、紫外線の照射とが繰り返され、複数の樹脂層132が積層されることで、樹脂積層体130が形成される。
Then, the inkjet head 88 ejects a thin film of ultraviolet curable resin onto the thin
次に、その樹脂積層体130の上に、図4に示すように、更に、樹脂積層体140が形成される。樹脂積層体140は、キャビティ142を有しており、樹脂積層体130と略同じ手法により作成される。つまり、第2造形ユニット24の第2印刷部84において、インクジェットヘッド88が、樹脂積層体130の上面に紫外線硬化樹脂を薄膜状に吐出する。この際、インクジェットヘッド88は、樹脂積層体130の上面の所定の部分が概して矩形に露出するように、紫外線硬化樹脂を吐出する。続いて、紫外線硬化樹脂が薄膜状に吐出されると、硬化部86において、薄膜状に吐出された紫外線硬化樹脂が平坦化装置90により平坦化され、照射装置92により紫外線が照射される。これにより、樹脂積層体130の上に薄膜状の樹脂層144が形成される。
Next, as shown in FIG. 4, a
続いて、インクジェットヘッド88が、その薄膜状の樹脂層144の上の部分にのみ紫外線硬化樹脂を薄膜状に吐出する。そして、薄膜状に吐出された紫外線硬化樹脂が平坦化装置90により平坦化され、照射装置92により紫外線が照射されることで、薄膜状の樹脂層144の上に薄膜状の樹脂層144が積層される。このように、樹脂積層体130の上面の概して矩形の部分を除いた薄膜状の樹脂層144の上への紫外線硬化樹脂の吐出と、紫外線の照射とが繰り返され、複数の樹脂層144が積層されることで、キャビティ142を有する樹脂積層体140が形成される。
Then, the inkjet head 88 ejects a thin film of ultraviolet curable resin only onto the portion above the thin
そして、キャビティ142を有する樹脂積層体140が形成されると、ステージ52が装着ユニット26の下方に移動される。装着ユニット26では、テープフィーダ114により電子部品が供給され、その電子部品が装着ヘッド116の吸着ノズルによって、保持される。なお、図5に示すように、電子部品150は、概してブロック状の部品本体152と、部品本体152の1の面に配設された1対の電極154とにより構成されている。そして、装着ヘッド116が、移動装置118によって移動され、吸着ノズルにより保持された電子部品150が、樹脂積層体140のキャビティ142の内部において、樹脂積層体130の上面に装着される。この際、電子部品150の1対の電極154が上方を向いた状態で、電子部品150は樹脂積層体140のキャビティ142の内部において、樹脂積層体130の上面に装着される。なお、樹脂積層体140のキャビティ142の深さ寸法は、電子部品150の部品本体152の高さ寸法と略同じとされている。このため、キャビティ142の内部に装着された電子部品150の部品本体152の上面と、樹脂積層体140の上面との高さは略同じとされている。
Then, when the
次に、ステージ52は第2造形ユニット24の下方に移動される。そして、第2造形ユニット24において、図6に示すように、樹脂積層体140のキャビティ142の隙間、つまり、電子部品150の部品本体152の側面と、樹脂積層体140のキャビティ142を区画する内壁面との間に樹脂積層体160が形成される。この際、樹脂積層体160の上面と樹脂積層体140の上面とが平らとなるように、つまり、面一となるように樹脂積層体160が形成される。これにより、樹脂積層体140の上面と、樹脂積層体160の上面と、電子部品150の部品本体152の上面とが面一となる。なお、樹脂積層体160は、樹脂積層体130と同様に、インクジェットヘッド88による紫外線硬化樹脂の吐出と、照射装置92による紫外線の照射とが繰り返されることで、形成される。
Next, the
続いて、ステージ52は第1造形ユニット22の下方に移動される。そして、第1造形ユニット22の第1印刷部72において、インクジェットヘッド76によって、金属インクが樹脂積層体140,160の上に、回路パターンに応じて線状に吐出される。この際、図7に示すように、金属インク170は、電子部品150の電極154と、他の電子部品(図示省略)の電極とを繋ぐように、線状に吐出される。そして、第1造形ユニット22の加熱部74において、金属インク170が、ヒータ78により加熱される。これにより、金属インク170が焼成し、配線172が形成される。つまり、電子部品150の電極154と導通する配線172が形成される。
Then, the
このように、回路形成装置10では、紫外線硬化樹脂により樹脂積層体130,140,160が形成され、電子部品150が装着されるとともに、その電子部品と通電する配線172が金属インク170により形成されることで、回路を形成することが可能とされている。しかしながら、上述した方法により回路が形成される場合には、部品の寸法公差などに依拠して、回路を適切に形成できない虞がある。
In this way, in the
具体的には、例えば、電子部品150の寸法、特に、部品本体152の高さ寸法が小さい場合には、図8に示すように、電子部品150がキャビティ142の内部に装着され、キャビティ142の内部に樹脂積層体160が形成されると、電子部品150が樹脂積層体160の内部に埋没する。このように、電子部品150が樹脂積層体160の内部に埋没すると、電子部品150の電極154が露出しないため、電極154を配線172に導通させることができず、適切な回路を形成することができない。
Specifically, for example, when the dimensions of
一方で、電子部品150の寸法、特に、部品本体152の高さ寸法が大きい場合には、図9に示すように、電子部品150がキャビティ142の内部に装着され、キャビティ142の内部に樹脂積層体160が形成されると、部品本体152が樹脂積層体160の上面から突出する。このように、電子部品150の部品本体152が樹脂積層体160の上面から突出すると、樹脂積層体160の上面と部品本体152の上面とが段差面となり、配線172が断線するため、電極154を配線172に導通させることができず、適切な回路を形成することができない。
On the other hand, when the dimensions of the
このため、電極154を上方に向けた状態で電子部品150を装着する方法(以下、「Face-up装着法」と記載する)でなく、電極154を下方に向けた状態で電子部品150を装着する方法(以下、「Face-down装着法」と記載する)を用いて、回路を形成することが考えられる。具体的には、まず、第2造形ユニット24において、Face-up装着法と同様に、図3に示すように、基板70の上面に、樹脂積層体130が形成される。次に、ステージ52が第1造形ユニット22の下方に移動され、第1造形ユニット22において、図10に示すように、配線172が形成される。
For this reason, it is conceivable to form a circuit using a method of mounting the
続いて、ステージ52が第2造形ユニット24の下方に移動され、第2造形ユニット24において、図11に示すように、キャビティ142を有する樹脂積層体140が樹脂積層体130の上に形成される。この際、樹脂積層体130の上に形成された配線172の端部がキャビティ142の内部で露出するように、樹脂積層体140が形成される。そして、ステージ52が第1造形ユニット22の下方に移動され、第1造形ユニット22の第1印刷部72において、ディスペンスヘッド77が、キャビティ142の内部で露出する配線172の端部に金属ペースト180を吐出する。
Then, the
続いて、ステージ52が装着ユニット26の下方に移動される。装着ユニット26では、テープフィーダ114により電子部品150が供給され、その電子部品150が装着ヘッド116の吸着ノズルによって、保持される。そして、装着ヘッド116が、移動装置118によって移動され、吸着ノズルにより保持された電子部品150が、樹脂積層体140のキャビティ142の内部に装着される。この際、図12に示すように、電子部品150の1対の電極154が下方を向いた状態で、電子部品150はキャビティ142の内部において、配線172の上に吐出された金属ペースト180と接触するように装着される。そして、ステージ52が第1造形ユニット22の下方に移動され、第1造形ユニット22の加熱部74において、金属ペースト180が、ヒータ78により加熱される。これにより、金属ペースト180が硬化し、金属ペースト180が導電化することで、電子部品150の電極が、導電化した金属ペースト180を介して、配線172と導通する。
Next, the
次に、ステージ52は第2造形ユニット24の下方に移動される。そして、第2造形ユニット24において、図13に示すように、樹脂積層体140のキャビティ142の内部、つまり、樹脂積層体140のキャビティ142を区画する内壁面と電子部品150との間に樹脂積層体190が形成される。なお、樹脂積層体190は、樹脂積層体130と同様に、インクジェットヘッド88による紫外線硬化樹脂の吐出と、照射装置92による紫外線の照射とが繰り返されることで、形成される。
Next, the
また、キャビティ142の深さ寸法は、電子部品150の高さ寸法より大きくされているため、キャビティ142に装着された電子部品150は、キャビティ142に形成された樹脂積層体190の内部に埋没する。これにより、電子部品150が樹脂積層体190の内部に密閉された回路、つまり、電子部品150が樹脂積層体190において封止された回路が形成される。このように、電子部品150が樹脂積層体190において封止されることで、電子部品150及び配線172の剥離、酸化、イオンマイグレーション等を防止することができる。また、電子部品150の寸法公差により、例えば、部品本体152の高さ寸法が異なる場合であっても、電子部品150の電極154を確実に配線172と通電させることができる。さらに言えば、電子部品150が埋没された樹脂積層体190の上面と、樹脂積層体140の上面とが平らに繋がる平面とされている。つまり、樹脂積層体190が形成される際に、樹脂積層体190の上面として吐出された紫外線硬化樹脂の表面が、樹脂積層体140の上面と面一となるように、平坦化装置90により平坦化された後に、紫外線硬化樹脂に紫外線が照射される。これにより、表面が平らな回路を形成することができる。
In addition, since the depth dimension of the
このように、Face-down装着法を採用することで、電子部品150を樹脂積層体190において封止し、電子部品150と配線172との確実な通電,電子部品150及び配線172の剥離、酸化、イオンマイグレーション等の防止を図ることができる。しかしながら、樹脂積層体190は、キャビティ142の内部に電子部品150が装着された後に、その電子部品150とキャビティ142との間に紫外線硬化樹脂が吐出され、その紫外線硬化樹脂が紫外線の照射により形成されるため、紫外線硬化樹脂が部分的に硬化不良を起こす虞がある。
In this way, by adopting the face-down mounting method, the
詳しくは、樹脂積層体190も、樹脂積層体130と同様に、複数の薄膜状の樹脂層が積層されることで形成されるが、樹脂積層体190の下層の樹脂層が形成される際に、キャビティ142の底面において、電子部品150の下面と樹脂積層体130の上面との間に、紫外線硬化樹脂が入り込む。このように、電子部品150の下面と樹脂積層体130の上面との間に入り込んだ紫外線硬化樹脂には、紫外線を照射することができないため、硬化不良が生じる。つまり、電子部品150を封止する樹脂積層体190では、電子部品150の下面と樹脂積層体130の上面との間に入り込んだ紫外線硬化樹脂が硬化不良の状態となっている虞がある。
In more detail, like the
このようなことに鑑みて、Face-down装着法を用いて回路が形成される際に、電子部品150を封止する樹脂として、紫外線硬化樹脂だけでなく、熱硬化性樹脂も使用されている。具体的には、Face-down装着法を用いた上記方法と同様に、図12に示すように、樹脂積層体140のキャビティ142において、電極154を下方に向けた状態で電子部品150を装着する。この際、電子部品150の電極154を、配線172の上に吐出された金属ペースト180に接触させる。そして、ヒータ78により金属ペースト180を加熱することで、金属ペースト180を導電化させて、電子部品150の電極154を、金属ペースト180を介して配線172に導通させる。
In view of this, when a circuit is formed using the face-down mounting method, not only an ultraviolet curing resin but also a thermosetting resin is used as the resin for sealing the
次に、ステージ52が第2造形ユニット24の下方に移動される。そして、ディスペンスヘッド89が、図14に示すように、キャビティ142の内部において、樹脂積層体130の上面に装着されている電子部品150の側面の外縁に沿って、熱硬化性樹脂200を樹脂積層体130の上面に吐出する。この際、ディスペンスヘッド89は、電子部品150の4つの側面のうちの1の側面と、その1の側面と連続する別の1の側面の外縁に沿って、概してL字型に熱硬化性樹脂200を吐出する。なお、図14は、形成時の回路を上方からの視点において示す図である。
Next, the
このように、電子部品150の側面の外縁に沿って、熱硬化性樹脂200が樹脂積層体130の上面に吐出されると、樹脂積層体130の上面と電子部品150の部品本体152の下面との間に、熱硬化性樹脂200が毛管現象により侵入する。これにより、図15に示すように、樹脂積層体130の上面と電子部品150の部品本体152の下面との間に、熱硬化性樹脂200が封じ込められる。つまり、樹脂積層体130の上面と部品本体152の下面との間に、熱硬化性樹脂200が封入される。そして、熱硬化性樹脂200がヒータ93により加熱されることで、熱硬化性樹脂200が、樹脂積層体130の上面と部品本体152の下面との間に封入された状態で硬化する。
When the
続いて、第2造形ユニット24において、キャビティ142の内部、つまり、樹脂積層体140のキャビティ142を区画する内壁面と電子部品150との間への薄膜状の紫外線硬化樹脂の吐出と、その紫外線硬化樹脂への紫外線の照射とが繰り返される。これにより、図16に示すように、キャビティ142の内部において、電子部品150が、硬化した紫外線硬化樹脂の樹脂積層体210により封止される。つまり、キャビティ142の内部において、樹脂積層体130の上面と部品本体152の下面との間に、硬化した熱硬化性樹脂200が封入された状態で、電子部品150が紫外線硬化樹脂の樹脂積層体210により封止される。このように、キャビティ142の内部において、樹脂積層体130の上面と部品本体152の下面との間に封入される樹脂として、熱硬化性樹脂200が使用される。一方、その熱硬化性樹脂200の上方において電子部品150をキャビティ142の内部に封止する樹脂として、紫外線硬化樹脂が使用される。これにより、電子部品150が装着されたキャビティ142の内部での樹脂の硬化不良を防止することが可能となり、適切な回路の形成を担保することができる。
Next, in the
なお、樹脂積層体210の形成時においても、樹脂積層体190の形成時と同様に、樹脂積層体210の上面として吐出された紫外線硬化樹脂の表面が、樹脂積層体140の上面と面一となるように、平坦化装置90により平坦化された後に、紫外線硬化樹脂に紫外線が照射される。これにより、電子部品150を封止する樹脂積層体210の上面と、樹脂積層体140の上面とが平らに繋がる平面とされている。
When forming the
なお、制御装置28のコントローラ120は、図2に示すように、形成部220と、塗布部222と、装着部224と、封入部226と、封止部228と、平坦化部230とを有している。形成部220は、樹脂積層体130の上に配線172を形成するための機能部である。塗布部222は、配線172の上に金属ペースト180を塗布するための機能部である。装着部224は、電極154が金属ペースト180に接触するように電子部品150をキャビティ142の内部に装着するための機能部である。封入部226は、キャビティ142に装着された電子部品150の下面と樹脂積層体130の上面との間に熱硬化性樹脂200を封入するための機能部である。封止部228は、キャビティ142に装着された電子部品150を樹脂積層体210により封止するための機能部である。平坦化部230は、電子部品150を封止する樹脂積層体210の上面を樹脂積層体140の上面と面一となるように平坦化させるための機能部である。
As shown in FIG. 2, the controller 120 of the
なお、上記実施例において、回路形成装置10は、回路形成装置の一例である。インクジェットヘッド76は、形成装置の一例である。ヒータ78は、形成装置の一例である。インクジェットヘッド88は、封止装置の一例である。ディスペンスヘッド89は、封入装置の一例である。照射装置92は、封止装置の一例である。ヒータ93は、封入装置の一例である。装着ヘッド116は、装着装置の一例である。移動装置118は、装着装置の一例である。樹脂積層体130は、基材の一例である。樹脂積層体140は、基材の一例である。キャビティ142は、キャビティの一例である。電子部品150は、電子部品の一例である。電極154は、電極の一例である。配線172は、配線の一例である。金属ペースト180は、導電性流体の一例である。熱硬化性樹脂200は、熱硬化性樹脂の一例である。形成部220により実行される工程は、形成工程の一例である。塗布部222により実行される工程は、塗布工程の一例である。装着部224により実行される工程は、装着工程の一例である。封入部226により実行される工程は、封入工程の一例である。封止部228により実行される工程は、封止工程の一例である。平坦化部230により実行される工程は、平坦化工程の一例である。
In the above embodiment, the
なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。例えば、上記実施例では、電子部品150がキャビティ142の内部に電極154を下方に向けた状態で装着されているが、キャビティ以外の部分に電極154を下方に向けた状態で装着されてもよい。
The present invention is not limited to the above embodiment, and can be implemented in various forms with various modifications and improvements based on the knowledge of those skilled in the art. For example, in the above embodiment, the
また、熱硬化性樹脂200が樹脂積層体130の上面と電子部品150の下面との間に封入される際に、部品本体152の側面の2つの面に沿って熱硬化性樹脂200が塗布されているが、部品本体152の側面の任意の数の面に沿って熱硬化性樹脂200が塗布されてもよい。ただし、部品本体152の全ての側面に沿って熱硬化性樹脂200が塗布されると、樹脂積層体130の上面と電子部品150の下面との間にエアが封入される虞があるため、部品本体152の全ての側面より少ない数の面に沿って熱硬化性樹脂200が塗布されることが好ましい。
When the
また、上記実施例では、樹脂積層体130の上面と電子部品150の下面との間に封入される樹脂として、熱硬化性樹脂が採用されているが、紫外線硬化樹脂以外の硬化性樹脂であれば、任意の樹脂を採用することが可能である。具体的には、例えば、2液混合型の硬化性樹脂などを採用することが可能である。
In the above embodiment, a thermosetting resin is used as the resin filled between the upper surface of the
また、上記実施例では、樹脂積層体130,140,210、配線172、電子部品150、熱硬化性樹脂200等により回路が構成されているが、その回路の上に、更に、配線の形成、電子部品の装着、樹脂積層体の積層などを行ってもよい。
In the above embodiment, the circuit is composed of the resin laminates 130, 140, 210, wiring 172,
また、上記実施例では、ヒータ78により、金属インク及び金属ペーストが加熱されているが、レーザ光等の照射により、金属インク及び金属ペーストが加熱されてもよい。
In addition, in the above embodiment, the metal ink and metal paste are heated by the
また、上記実施例では、金属ペースト180が、ディスペンスヘッド77により吐出されているが、スタンプ等により金属ペースト180が転写されてもよい。また、スクリーン印刷により、金属インク若しくは金属ペーストが印刷されてもよい。
In the above embodiment, the
10:回路形成装置 76:インクジェットヘッド(形成装置) 78:ヒータ(形成装置) 88:インクジェットヘッド(封止装置) 89:ディスペンスヘッド(封入装置) 92:照射装置(封止装置) 93:ヒータ(封入装置) 116:装着ヘッド(装着装置) 118:移動装置(装着装置) 130:樹脂積層体(基材) 140:樹脂積層体(基材) 142:キャビティ 150:電子部品 154:電極 172:配線 180:金属ペースト(導電性流体) 200:熱硬化性樹脂 220:形成部(形成工程) 222:塗布部(塗布工程) 224:装着部(装着工程) 226:封入部(封入工程) 228:封止部(封止工程) 230:平坦化部(平坦化工程) 10: Circuit forming device 76: Inkjet head (forming device) 78: Heater (forming device) 88: Inkjet head (sealing device) 89: Dispense head (encapsulation device) 92: Irradiation device (sealing device) 93: Heater (encapsulation device) 116: Mounting head (mounting device) 118: Moving device (mounting device) 130: Resin laminate (substrate) 140: Resin laminate (substrate) 142: Cavity 150: Electronic component 154: Electrode 172: Wiring 180: Metal paste (conductive fluid) 200: Thermosetting resin 220: Forming section (forming process) 222: Coating section (coating process) 224: Mounting section (mounting process) 226: Encapsulation section (encapsulation process) 228: Sealing section (sealing process) 230: Flattening section (flattening process)
Claims (5)
前記基材の上に配線を形成する配線形成工程と、
前記基材の上に前記紫外線硬化樹脂の吐出と吐出された紫外線硬化樹脂への紫外線の照射とを繰り返すことにより、装着予定の電子部品の高さ寸法よりも大きい深さ寸法のキャビティを有する樹脂積層体を、前記キャビティの内部に前記配線の一部が露出するように、前記基材の上に形成するキャビティ形成工程と、
前記電子部品の電極を下方に向けた状態で、当該電極が前記キャビティの内部に露出する配線と通電するように、前記電子部品を前記基材の上に装着する装着工程と、
前記基材と、当該基材の上に装着された電子部品との間に、熱硬化性樹脂を封入し硬化させる封入工程と、
前記キャビティの内部に前記紫外線硬化樹脂の吐出と吐出された紫外線硬化樹脂への紫外線の照射とを繰り返すことにより樹脂積層体を形成することで、前記キャビティの内部に装着された電子部品を前記樹脂積層体により封止する封止工程と、
を含む回路形成方法。 a substrate forming step of forming a substrate which is a resin laminate having resin layers stacked thereon by repeating the ejection of an ultraviolet curable resin and the irradiation of ultraviolet rays to the ejected ultraviolet curable resin ;
a wiring forming step of forming wiring on the base material;
a cavity forming step of forming a resin laminate having a cavity with a depth dimension larger than a height dimension of an electronic component to be mounted on the base material by repeating the discharge of the ultraviolet curing resin onto the base material and the irradiation of ultraviolet rays to the discharged ultraviolet curing resin, so that a part of the wiring is exposed inside the cavity;
a mounting step of mounting the electronic component on the substrate with the electrodes of the electronic component facing downward so that the electrodes are electrically connected to wiring exposed inside the cavity;
an encapsulation step of encapsulating and curing a thermosetting resin between the substrate and the electronic components mounted on the substrate;
a sealing process in which the electronic component mounted inside the cavity is sealed with the resin laminate by repeatedly discharging the ultraviolet curing resin inside the cavity and irradiating the discharged ultraviolet curing resin with ultraviolet light to form a resin laminate;
A circuit forming method comprising the steps of:
前記装着工程は、
前記配線の上に塗布された前記導電性流体に前記電極が接触するように前記電子部品を装着する請求項1に記載の回路形成方法。 A coating step of coating the wiring with a conductive fluid that exhibits conductivity when heated,
The mounting step includes:
The method for forming a circuit according to claim 1 , further comprising the step of mounting the electronic component so that the electrode is in contact with the conductive fluid applied onto the wiring.
前記基材の上に装着された電子部品の外縁に沿って熱硬化樹脂を吐出することで、前記基材と前記電子部品との間に熱硬化性樹脂を封入する請求項1ないし請求項3のいずれか1つに記載の回路形成方法。 The encapsulation step includes:
4. The circuit forming method according to claim 1, further comprising discharging a thermosetting resin along an outer edge of an electronic component mounted on the substrate, thereby sealing the thermosetting resin between the substrate and the electronic component.
樹脂層を形成する第2造形ユニットと、
基板に電子部品を装着する装着ユニットと、
を備え、
前記第2造形ユニットにより、紫外線硬化樹脂の吐出と吐出された紫外線硬化樹脂への紫外線の照射とを繰り返すことで、樹脂層を積層した樹脂積層体である基材を形成し、
前記第1造形ユニットにより、前記基材の上に配線を形成し、
前記第2造形ユニットにより、前記基材の上に前記紫外線硬化樹脂の吐出と吐出された紫外線硬化樹脂への紫外線の照射とを繰り返すことで、装着予定の電子部品の高さ寸法よりも大きい深さ寸法のキャビティを有する樹脂積層体を、前記キャビティの内部に前記配線の一部が露出するように、前記基材の上に形成し、
前記装着ユニットにより、前記電子部品の電極を下方に向けた状態で、当該電極が前記キャビティの内部に露出する配線と通電するように、前記電子部品を前記基材の上に装着し、
前記第2造形ユニットにより、前記基材と、当該基材の上に装着された電子部品との間に、熱硬化性樹脂を封入し硬化させ、
前記第2造形ユニットにより、前記キャビティの内部に前記紫外線硬化樹脂の吐出と吐出された紫外線硬化樹脂への紫外線の照射とを繰り返すことで樹脂積層体を形成することで、前記キャビティの内部に装着された電子部品を前記樹脂積層体により封止する、回路形成装置。 a first modeling unit that forms wiring;
a second modeling unit that forms a resin layer;
a mounting unit for mounting electronic components on a board;
Equipped with
The second modeling unit repeats the discharge of the ultraviolet curing resin and the irradiation of the ultraviolet ray to the discharged ultraviolet curing resin, thereby forming a base material which is a resin laminate in which resin layers are laminated;
forming wiring on the base material by the first modeling unit;
By repeating the discharging of the ultraviolet curing resin onto the base material and the irradiation of ultraviolet rays to the discharged ultraviolet curing resin by the second modeling unit, a resin laminate having a cavity with a depth dimension larger than a height dimension of an electronic component to be mounted is formed on the base material such that a part of the wiring is exposed inside the cavity;
The mounting unit mounts the electronic component on the substrate with the electrodes of the electronic component facing downward so that the electrodes are electrically connected to wiring exposed inside the cavity;
by the second modeling unit, filling a space between the base material and the electronic component mounted on the base material with a thermosetting resin and curing the resin;
A circuit forming device in which the second molding unit forms a resin laminate by repeatedly ejecting the ultraviolet-curing resin inside the cavity and irradiating the ejected ultraviolet-curing resin with ultraviolet light , thereby sealing an electronic component mounted inside the cavity with the resin laminate.
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