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JP7549006B2 - Circuit forming method and circuit forming device - Google Patents
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JP7549006B2 - Circuit forming method and circuit forming device - Google Patents

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Description

本発明は、基材の上に形成された配線と、基材の上に装着された電子部品とにより回路を形成する回路形成方法、および回路形成装置に関する。 The present invention relates to a circuit formation method and a circuit formation device that form a circuit using wiring formed on a substrate and electronic components mounted on the substrate.

下記特許文献に記載されているように、基材の上に形成された配線と、基材の上に装着された電子部品とにより回路を形成する技術が開発されている。 As described in the following patent document, a technology has been developed to form a circuit using wiring formed on a substrate and electronic components mounted on the substrate.

特開2013-115070号公報JP 2013-115070 A

基材の上に形成された配線と、基材の上に装着された電子部品とにより回路を適切に形成することを課題とする。 The objective is to properly form a circuit using wiring formed on a substrate and electronic components mounted on the substrate.

上記課題を解決するために、本明細書は、紫外線硬化樹脂の吐出と吐出された紫外線硬化樹脂への紫外線の照射とを繰り返すことにより、樹脂層を積層した樹脂積層体である基材を形成する基材形成工程と、前記基材の上に配線を形成する配線形成工程と、前記基材の上に前記紫外線硬化樹脂の吐出と吐出された紫外線硬化樹脂への紫外線の照射とを繰り返すことにより、装着予定の電子部品の高さ寸法よりも大きい深さ寸法のキャビティを有する樹脂積層体を、前記キャビティの内部に前記配線の一部が露出するように、前記基材の上に形成するキャビティ形成工程と、前記電子部品の電極を下方に向けた状態で、当該電極が前記キャビティの内部に露出する配線と通電するように、前記電子部品を前記基材の上に装着する装着工程と、前記基材と、当該基材の上に装着された電子部品との間に、熱硬化性樹脂を封入し硬化させる封入工程と、前記キャビティの内部に前記紫外線硬化樹脂の吐出と吐出された紫外線硬化樹脂への紫外線の照射とを繰り返すことにより樹脂積層体を形成することで、前記キャビティの内部に装着された電子部品を前記樹脂積層体により封止する封止工程と、を含む回路形成方法を開示する。 In order to solve the above problems, the present specification provides a substrate forming step of forming a substrate which is a resin laminate having resin layers laminated thereon by repeating the discharge of an ultraviolet curing resin and the irradiation of ultraviolet light to the discharged ultraviolet curing resin, a wiring forming step of forming wiring on the substrate, and a cavity-shaped resin laminate having a depth dimension larger than the height dimension of an electronic component to be mounted, which is formed on the substrate by repeating the discharge of the ultraviolet curing resin on the substrate and the irradiation of ultraviolet light to the discharged ultraviolet curing resin, such that a part of the wiring is exposed inside the cavity. the mounting step of mounting the electronic component on the substrate with the electrodes of the electronic component facing downward so that the electrodes are electrically connected to wiring exposed inside the cavity; the encapsulation step of injecting and curing a thermosetting resin between the substrate and the electronic component mounted on the substrate; and the sealing step of forming a resin laminate by repeatedly discharging the ultraviolet curing resin into the cavity and irradiating the discharged ultraviolet curing resin with ultraviolet rays , thereby sealing the electronic component mounted inside the cavity with the resin laminate.

また、上記課題を解決するために、本明細書は、配線を形成する第1造形ユニットと、樹脂層を形成する第2造形ユニットと、基板に電子部品を装着する装着ユニットと、を備え、前記第2造形ユニットにより、紫外線硬化樹脂の吐出と吐出された紫外線硬化樹脂への紫外線の照射とを繰り返すことで、樹脂層を積層した樹脂積層体である基材を形成し、前記第1造形ユニットにより、前記基材の上に配線を形成し、前記第2造形ユニットにより、前記基材の上に前記紫外線硬化樹脂の吐出と吐出された紫外線硬化樹脂への紫外線の照射とを繰り返すことで、装着予定の電子部品の高さ寸法よりも大きい深さ寸法のキャビティを有する樹脂積層体を、前記キャビティの内部に前記配線の一部が露出するように、前記基材の上に形成し、前記装着ユニットにより、前記電子部品の電極を下方に向けた状態で、当該電極が前記キャビティの内部に露出する配線と通電するように、前記電子部品を前記基材の上に装着し、前記第2造形ユニットにより、前記基材と、当該基材の上に装着された電子部品との間に、熱硬化性樹脂を封入し硬化させ、前記第2造形ユニットにより、前記キャビティの内部に前記紫外線硬化樹脂の吐出と吐出された紫外線硬化樹脂への紫外線の照射とを繰り返すことで樹脂積層体を形成することで、前記キャビティの内部に装着された電子部品を前記樹脂積層体により封止する、回路形成装置を開示する。 In order to solve the above-mentioned problems, the present specification provides a method for manufacturing a resin laminate comprising: a first modeling unit that forms wiring; a second modeling unit that forms a resin layer; and a mounting unit that mounts an electronic component on a substrate; the second modeling unit repeatedly discharges an ultraviolet curing resin and irradiates the discharged ultraviolet curing resin with ultraviolet light to form a base material that is a resin laminate formed by stacking resin layers; the first modeling unit forms wiring on the base material; and the second modeling unit repeatedly discharges the ultraviolet curing resin on the base material and irradiates the discharged ultraviolet curing resin with ultraviolet light to form a resin laminate having a cavity with a depth dimension larger than the height dimension of an electronic component to be mounted, the resin laminate being formed by stacking resin layers on the base material, the the mounting unit mounts the electronic component on the substrate with the electrodes of the electronic component facing downward so that the electrodes are electrically connected to the wiring exposed inside the cavity; the second modeling unit injects and hardens a thermosetting resin between the substrate and the electronic component mounted on the substrate; and the second modeling unit repeatedly ejects the ultraviolet-curing resin into the cavity and irradiates the ejected ultraviolet-curing resin with ultraviolet light to form a resin laminate, thereby sealing the electronic component mounted inside the cavity with the resin laminate.

本開示では、電極を下方に向けた状態で当該電極が配線と通電するように電子部品が基材の上に装着される。そして、基材と、当該基材の上に装着された電子部品との間に、熱硬化性樹脂が封入されるとともに、基材の上に装着された電子部品が紫外線硬化樹脂により封止される。これにより、回路を適切に形成することができる。 In the present disclosure, electronic components are mounted on a substrate with the electrodes facing downwards so that the electrodes are electrically connected to the wiring. Then, a thermosetting resin is filled between the substrate and the electronic components mounted on the substrate, and the electronic components mounted on the substrate are sealed with an ultraviolet-curing resin. This allows the circuit to be properly formed.

回路形成装置を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a circuit forming device. 制御装置を示すブロック図である。FIG. 2 is a block diagram showing a control device. 樹脂積層体が形成された状態の回路を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing a circuit in a state in which a resin laminate has been formed. 樹脂積層体の上に更に樹脂積層体が形成された状態の回路を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing a circuit in a state in which a resin laminate is further formed on the resin laminate. 樹脂積層体のキャビティの内部に電子部品が装着された状態の回路を示す断面図である。4 is a cross-sectional view showing a circuit in a state where an electronic component is mounted inside a cavity of a resin laminate. FIG. キャビティの内部に樹脂積層体が封入された状態の回路を示す断面図である。4 is a cross-sectional view showing a circuit in a state where a resin laminate is sealed inside a cavity. FIG. 電子部品と導通する配線が形成された状態の回路を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing a circuit in a state in which wiring electrically connected to an electronic component is formed. 電子部品と適切に導通できない配線が形成された状態の回路を示す断面図である。1 is a cross-sectional view showing a circuit in a state in which wiring that cannot be properly electrically connected to an electronic component is formed. 電子部品と適切に導通できない配線が形成された状態の回路を示す断面図である。1 is a cross-sectional view showing a circuit in a state in which wiring that cannot be properly electrically connected to an electronic component is formed. 樹脂積層体の上に配線が形成された状態の回路を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing a circuit in a state in which wiring is formed on a resin laminate. 樹脂積層体の上に更に樹脂積層体が形成された状態の回路を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing a circuit in a state in which a resin laminate is further formed on the resin laminate. 樹脂積層体のキャビティの内部に電子部品が装着された状態の回路を示す断面図である。4 is a cross-sectional view showing a circuit in a state where an electronic component is mounted inside a cavity of a resin laminate. FIG. キャビティに装着された電子部品が樹脂積層体により封止された状態の回路を示す断面図である。4 is a cross-sectional view showing a circuit in a state in which an electronic component mounted in a cavity is sealed with a resin laminate. FIG. 電子部品の側面に沿って熱硬化性樹脂が吐出された状態の回路を示す平面図である。11 is a plan view showing a circuit in a state in which a thermosetting resin has been discharged along a side surface of an electronic component. FIG. 樹脂積層体の上面と電子部品の下面との間に熱硬化性樹脂が封入された状態の回路を示す断面図である。4 is a cross-sectional view showing a circuit in a state in which a thermosetting resin is sealed between the upper surface of the resin laminate and the lower surface of the electronic component. FIG. キャビティに装着された電子部品が樹脂積層体により封止された状態の回路を示す断面図である。4 is a cross-sectional view showing a circuit in a state in which an electronic component mounted in a cavity is sealed with a resin laminate. FIG.

図1に回路形成装置10を示す。回路形成装置10は、搬送装置20と、第1造形ユニット22と、第2造形ユニット24と、装着ユニット26と、制御装置(図2参照)28とを備える。それら搬送装置20と第1造形ユニット22と第2造形ユニット24と装着ユニット26とは、回路形成装置10のベース29の上に配置されている。ベース29は、概して長方形状をなしており、以下の説明では、ベース29の長手方向をX軸方向、ベース29の短手方向をY軸方向、X軸方向及びY軸方向の両方に直交する方向をZ軸方向と称して説明する。 Figure 1 shows the circuit forming device 10. The circuit forming device 10 includes a conveying device 20, a first modeling unit 22, a second modeling unit 24, a mounting unit 26, and a control device (see Figure 2) 28. The conveying device 20, the first modeling unit 22, the second modeling unit 24, and the mounting unit 26 are arranged on a base 29 of the circuit forming device 10. The base 29 is generally rectangular in shape, and in the following description, the longitudinal direction of the base 29 is referred to as the X-axis direction, the lateral direction of the base 29 as the Y-axis direction, and the direction perpendicular to both the X-axis direction and the Y-axis direction as the Z-axis direction.

搬送装置20は、X軸スライド機構30と、Y軸スライド機構32とを備えている。そのX軸スライド機構30は、X軸スライドレール34とX軸スライダ36とを有している。X軸スライドレール34は、X軸方向に延びるように、ベース29の上に配設されている。X軸スライダ36は、X軸スライドレール34によって、X軸方向にスライド可能に保持されている。さらに、X軸スライド機構30は、電磁モータ(図2参照)38を有しており、電磁モータ38の駆動により、X軸スライダ36がX軸方向の任意の位置に移動する。また、Y軸スライド機構32は、Y軸スライドレール50とステージ52とを有している。Y軸スライドレール50は、Y軸方向に延びるように、ベース29の上に配設されており、X軸方向に移動可能とされている。そして、Y軸スライドレール50の一端部が、X軸スライダ36に連結されている。そのY軸スライドレール50には、ステージ52が、Y軸方向にスライド可能に保持されている。さらに、Y軸スライド機構32は、電磁モータ(図2参照)56を有しており、電磁モータ56の駆動により、ステージ52がY軸方向の任意の位置に移動する。これにより、ステージ52は、X軸スライド機構30及びY軸スライド機構32の駆動により、ベース29上の任意の位置に移動する。 The transport device 20 includes an X-axis slide mechanism 30 and a Y-axis slide mechanism 32. The X-axis slide mechanism 30 includes an X-axis slide rail 34 and an X-axis slider 36. The X-axis slide rail 34 is disposed on the base 29 so as to extend in the X-axis direction. The X-axis slider 36 is held by the X-axis slide rail 34 so as to be slidable in the X-axis direction. The X-axis slide mechanism 30 also includes an electromagnetic motor (see FIG. 2) 38, and the X-axis slider 36 is moved to any position in the X-axis direction by the drive of the electromagnetic motor 38. The Y-axis slide mechanism 32 also includes a Y-axis slide rail 50 and a stage 52. The Y-axis slide rail 50 is disposed on the base 29 so as to extend in the Y-axis direction and is movable in the X-axis direction. One end of the Y-axis slide rail 50 is connected to the X-axis slider 36. The stage 52 is held on the Y-axis slide rail 50 so as to be slidable in the Y-axis direction. Furthermore, the Y-axis slide mechanism 32 has an electromagnetic motor (see FIG. 2) 56, and the stage 52 moves to any position in the Y-axis direction by driving the electromagnetic motor 56. As a result, the stage 52 moves to any position on the base 29 by driving the X-axis slide mechanism 30 and the Y-axis slide mechanism 32.

ステージ52は、基台60と、保持装置62と、昇降装置64とを有している。基台60は、平板状に形成され、上面に基板が載置される。保持装置62は、基台60のX軸方向の両側部に設けられている。そして、基台60に載置された基板のX軸方向の両縁部が、保持装置62によって挟まれることで、基板が固定的に保持される。また、昇降装置64は、基台60の下方に配設されており、基台60を昇降させる。 The stage 52 has a base 60, a holding device 62, and a lifting device 64. The base 60 is formed in a flat plate shape, and a substrate is placed on the upper surface. The holding devices 62 are provided on both sides of the base 60 in the X-axis direction. The substrate is fixedly held by clamping both edges in the X-axis direction of the substrate placed on the base 60 between the holding devices 62. The lifting device 64 is disposed below the base 60, and raises and lowers the base 60.

第1造形ユニット22は、回路基板の配線を造形するユニットであり、第1印刷部72と、加熱部74とを有している。第1印刷部72は、インクジェットヘッド(図2参照)76とディスペンスヘッド(図2参照)77とを有している。インクジェットヘッド76が金属インクを線状に吐出する。金属インクは、ナノメートルサイズの金属の微粒子が溶剤中に分散されたものである。また、金属微粒子の表面は分散剤によりコーティングされており、溶剤中での凝集が防止されている。なお、インクジェットヘッド76は、例えば、圧電素子を用いたピエゾ方式によって複数のノズルから金属インクを吐出する。 The first modeling unit 22 is a unit that models the wiring of the circuit board, and has a first printing unit 72 and a heating unit 74. The first printing unit 72 has an inkjet head (see FIG. 2) 76 and a dispense head (see FIG. 2) 77. The inkjet head 76 ejects metal ink in a linear shape. The metal ink is a dispersion of nanometer-sized metal particles in a solvent. The surfaces of the metal particles are coated with a dispersant to prevent aggregation in the solvent. The inkjet head 76 ejects the metal ink from multiple nozzles, for example, by a piezo method using a piezoelectric element.

また、ディスペンスヘッド77は金属ペーストを吐出する。金属ペーストは、加熱により硬化する樹脂に、マイクロメートルサイズの金属粒子が分散されたものである。ちなみに、金属粒子は、フレーク状とされている。なお、金属ペーストの粘度は、金属インクと比較して、比較的高いため、ディスペンスヘッド77は、インクジェットヘッド76のノズルの径より大きな径の1個のノズルから金属ペーストを吐出する。 The dispense head 77 also ejects metal paste. The metal paste is a resin that hardens when heated and has micrometer-sized metal particles dispersed in it. The metal particles are in the form of flakes. The viscosity of the metal paste is relatively high compared to metal ink, so the dispense head 77 ejects the metal paste from a single nozzle with a diameter larger than that of the nozzle of the inkjet head 76.

加熱部74は、ヒータ(図2参照)78を有している。ヒータ78は、インクジェットヘッド76により吐出された金属インクを加熱する装置である。金属インクは、ヒータ78により加熱されることで焼成し、配線が形成される。なお、金属インクの焼成とは、エネルギーを付与することによって、溶媒の気化や金属微粒子の保護膜、つまり、分散剤の分解等が行われ、金属微粒子が接触または融着をすることで、導電率が高くなる現象である。そして、金属インクを焼成することで、金属製の配線が形成される。 The heating unit 74 has a heater 78 (see FIG. 2). The heater 78 is a device that heats the metal ink ejected by the inkjet head 76. The metal ink is baked by being heated by the heater 78, and wiring is formed. Note that baking of metal ink is a phenomenon in which, by applying energy, the solvent is evaporated and the protective film for the metal particles, i.e., the dispersant is decomposed, and the metal particles come into contact or fuse together, thereby increasing the electrical conductivity. Then, by baking the metal ink, metal wiring is formed.

また、ヒータ78は、ディスペンスヘッド77により吐出された金属ペーストをも加熱する装置である。金属ペーストは、ヒータ78により加熱されることで、樹脂が硬化する。この際、金属ペーストでは、硬化した樹脂が収縮し、その樹脂に分散されたフレーク状の金属粒子が互いに接触する。これにより、金属ペーストが導電性を発現する。 The heater 78 is also a device that heats the metal paste dispensed by the dispense head 77. When the metal paste is heated by the heater 78, the resin hardens. At this time, the hardened resin in the metal paste shrinks, and the flake-shaped metal particles dispersed in the resin come into contact with each other. This causes the metal paste to exhibit electrical conductivity.

また、第2造形ユニット24は、回路基板の樹脂層を造形するユニットであり、第2印刷部84と、硬化部86とを有している。第2印刷部84は、インクジェットヘッド(図2参照)88とディスペンスヘッド(図2参照)89とを有している。インクジェットヘッド88は紫外線硬化樹脂を吐出する。紫外線硬化樹脂は、紫外線の照射により硬化する樹脂である。また、ディスペンスヘッド89は熱硬化性樹脂を吐出する。熱硬化性樹脂は、加熱により硬化する樹脂である。なお、インクジェットヘッド88は、例えば、圧電素子を用いたピエゾ方式でもよく、樹脂を加熱して気泡を発生させ複数のノズルから吐出するサーマル方式でもよい。 The second modeling unit 24 is a unit that models the resin layer of the circuit board, and has a second printing section 84 and a curing section 86. The second printing section 84 has an inkjet head (see FIG. 2) 88 and a dispense head (see FIG. 2) 89. The inkjet head 88 dispenses ultraviolet curing resin. The ultraviolet curing resin is a resin that is cured by irradiation with ultraviolet light. The dispense head 89 dispenses thermosetting resin. The thermosetting resin is a resin that is cured by heating. The inkjet head 88 may be, for example, a piezo type that uses a piezoelectric element, or a thermal type that heats the resin to generate bubbles and discharges the resin from multiple nozzles.

硬化部86は、平坦化装置(図2参照)90と照射装置(図2参照)92とヒータ(図2参照)93とを有している。平坦化装置90は、インクジェットヘッド88によって吐出された紫外線硬化樹脂の上面を平坦化するものであり、例えば、紫外線硬化樹脂の表面を均しながら余剰分の樹脂を、ローラもしくはブレードによって掻き取ることで、紫外線硬化樹脂の厚みを均一させる。また、照射装置92は、光源として水銀ランプもしくはLEDを備えており、吐出された紫外線硬化樹脂に紫外線を照射する。これにより、吐出された紫外線硬化樹脂が硬化し、樹脂層が形成される。また、ヒータ93は、ディスペンスヘッド89により吐出された熱硬化性樹脂を加熱する。これにより、吐出された熱硬化性樹脂が硬化し、樹脂層が形成される。 The curing section 86 has a flattening device (see FIG. 2) 90, an irradiation device (see FIG. 2) 92, and a heater (see FIG. 2) 93. The flattening device 90 flattens the upper surface of the ultraviolet curing resin discharged by the inkjet head 88, for example, by leveling the surface of the ultraviolet curing resin and scraping off excess resin with a roller or blade, thereby making the thickness of the ultraviolet curing resin uniform. The irradiation device 92 has a mercury lamp or LED as a light source and irradiates the discharged ultraviolet curing resin with ultraviolet rays. This hardens the discharged ultraviolet curing resin, forming a resin layer. The heater 93 heats the thermosetting resin discharged by the dispense head 89. This hardens the discharged thermosetting resin, forming a resin layer.

また、装着ユニット26は、回路基板に電子部品を装着するユニットであり、供給部110と、装着部112とを有している。供給部110は、テーピング化された電子部品を1つずつ送り出すテープフィーダ(図2参照)114を複数有しており、供給位置において、電子部品を供給する。なお、供給部110は、テープフィーダ114に限らず、トレイから電子部品をピックアップして供給するトレイ型の供給装置でもよい。また、供給部110は、テープ型とトレイ型との両方、あるいはそれ以外の供給装置を備えた構成でもよい。 The mounting unit 26 is a unit that mounts electronic components on a circuit board, and has a supply section 110 and a mounting section 112. The supply section 110 has a plurality of tape feeders (see FIG. 2) 114 that feed taped electronic components one by one, and supplies the electronic components at a supply position. Note that the supply section 110 is not limited to the tape feeders 114, and may be a tray-type supply device that picks up and supplies electronic components from a tray. The supply section 110 may also be configured to include both tape-type and tray-type supply devices, or other types of supply devices.

装着部112は、装着ヘッド(図2参照)116と、移動装置(図2参照)118とを有している。装着ヘッド116は、電子部品(図11参照)119を吸着保持するための吸着ノズル(図示省略)を有する。吸着ノズルは、正負圧供給装置(図示省略)から負圧が供給されることで、エアの吸引により電子部品を吸着保持する。そして、正負圧供給装置から僅かな正圧が供給されることで、電子部品を離脱する。また、移動装置118は、テープフィーダ114による電子部品の供給位置と、基台60との間で、装着ヘッド116を移動させる。これにより、装着部112では、テープフィーダ114から供給された電子部品が、吸着ノズルにより保持され、その吸着ノズルによって保持された電子部品が、回路基板に装着される。 The mounting section 112 has a mounting head 116 (see FIG. 2) and a moving device 118 (see FIG. 2). The mounting head 116 has a suction nozzle (not shown) for suctioning and holding an electronic component (see FIG. 11) 119. The suction nozzle suctions and holds the electronic component by sucking air when negative pressure is supplied from a positive/negative pressure supply device (not shown). Then, the electronic component is released when a slight positive pressure is supplied from the positive/negative pressure supply device. The moving device 118 moves the mounting head 116 between the supply position of the electronic component by the tape feeder 114 and the base 60. As a result, in the mounting section 112, the electronic component supplied from the tape feeder 114 is held by the suction nozzle, and the electronic component held by the suction nozzle is mounted on the circuit board.

また、制御装置28は、図2に示すように、コントローラ120と、複数の駆動回路122とを備えている。複数の駆動回路122は、上記電磁モータ38,56、保持装置62、昇降装置64、インクジェットヘッド76、ディスペンスヘッド77、ヒータ78、インクジェットヘッド88、ディスペンスヘッド89、平坦化装置90、照射装置92、ヒータ93、テープフィーダ114、装着ヘッド116、移動装置118に接続されている。コントローラ120は、CPU,ROM,RAM等を備え、コンピュータを主体とするものであり、複数の駆動回路122に接続されている。これにより、搬送装置20、第1造形ユニット22、第2造形ユニット24、装着ユニット26の作動が、コントローラ120によって制御される。 2, the control device 28 includes a controller 120 and a plurality of drive circuits 122. The plurality of drive circuits 122 are connected to the electromagnetic motors 38, 56, the holding device 62, the lifting device 64, the inkjet head 76, the dispense head 77, the heater 78, the inkjet head 88, the dispense head 89, the flattening device 90, the irradiation device 92, the heater 93, the tape feeder 114, the mounting head 116, and the moving device 118. The controller 120 includes a CPU, ROM, RAM, etc., and is mainly a computer, and is connected to the plurality of drive circuits 122. As a result, the operation of the transport device 20, the first modeling unit 22, the second modeling unit 24, and the mounting unit 26 is controlled by the controller 120.

回路形成装置10では、上述した構成によって、基板の上に樹脂積層体が形成され、その樹脂積層体の上に電子部品が装着されるとともに、その電子部品と通電するように配線が形成されることで、回路が形成される。 In the circuit forming device 10, a resin laminate is formed on a substrate using the above-mentioned configuration, electronic components are mounted on the resin laminate, and wiring is formed to electrically connect to the electronic components, thereby forming a circuit.

具体的には、ステージ52の基台60に基板(図3参照)70がセットされ、そのステージ52が、第2造形ユニット24の下方に移動される。そして、第2造形ユニット24において、図3に示すように、基板70の上に樹脂積層体130が形成される。樹脂積層体130は、インクジェットヘッド88からの紫外線硬化樹脂の吐出と、吐出された紫外線硬化樹脂への照射装置92による紫外線の照射とが繰り返されることにより形成される。 Specifically, a substrate (see FIG. 3) 70 is set on the base 60 of the stage 52, and the stage 52 is moved below the second modeling unit 24. Then, in the second modeling unit 24, a resin laminate 130 is formed on the substrate 70, as shown in FIG. 3. The resin laminate 130 is formed by repeatedly ejecting ultraviolet curable resin from the inkjet head 88 and irradiating the ejected ultraviolet curable resin with ultraviolet light by the irradiation device 92.

詳しくは、第2造形ユニット24の第2印刷部84において、インクジェットヘッド88が、基板70の上面に紫外線硬化樹脂を薄膜状に吐出する。続いて、紫外線硬化樹脂が薄膜状に吐出されると、硬化部86において、紫外線硬化樹脂の膜厚が均一となるように、紫外線硬化樹脂が平坦化装置90によって平坦化される。そして、照射装置92が、その薄膜状の紫外線硬化樹脂に紫外線を照射する。これにより、基板70の上に薄膜状の樹脂層132が形成される。 More specifically, in the second printing section 84 of the second modeling unit 24, the inkjet head 88 ejects a thin film of ultraviolet curable resin onto the upper surface of the substrate 70. Next, once the ultraviolet curable resin has been ejected in a thin film, the ultraviolet curable resin is flattened by the flattening device 90 in the curing section 86 so that the film thickness of the ultraviolet curable resin is uniform. Then, the irradiation device 92 irradiates the thin film of ultraviolet curable resin with ultraviolet light. This forms a thin film resin layer 132 on the substrate 70.

続いて、インクジェットヘッド88が、その薄膜状の樹脂層132の上に紫外線硬化樹脂を薄膜状に吐出する。そして、平坦化装置90によって薄膜状の紫外線硬化樹脂が平坦化され、照射装置92が、その薄膜状に吐出された紫外線硬化樹脂に紫外線を照射することで、薄膜状の樹脂層132の上に薄膜状の樹脂層132が積層される。このように、薄膜状の樹脂層132の上への紫外線硬化樹脂の吐出と、紫外線の照射とが繰り返され、複数の樹脂層132が積層されることで、樹脂積層体130が形成される。 Then, the inkjet head 88 ejects a thin film of ultraviolet curable resin onto the thin film resin layer 132. The thin film of ultraviolet curable resin is then flattened by the flattening device 90, and the irradiation device 92 irradiates the ejected thin film of ultraviolet curable resin with ultraviolet light, thereby laminating a thin film of resin layer 132 on top of the thin film of resin layer 132. In this manner, ejection of ultraviolet curable resin onto the thin film of resin layer 132 and irradiation with ultraviolet light are repeated, and a plurality of resin layers 132 are laminated to form the resin laminate 130.

次に、その樹脂積層体130の上に、図4に示すように、更に、樹脂積層体140が形成される。樹脂積層体140は、キャビティ142を有しており、樹脂積層体130と略同じ手法により作成される。つまり、第2造形ユニット24の第2印刷部84において、インクジェットヘッド88が、樹脂積層体130の上面に紫外線硬化樹脂を薄膜状に吐出する。この際、インクジェットヘッド88は、樹脂積層体130の上面の所定の部分が概して矩形に露出するように、紫外線硬化樹脂を吐出する。続いて、紫外線硬化樹脂が薄膜状に吐出されると、硬化部86において、薄膜状に吐出された紫外線硬化樹脂が平坦化装置90により平坦化され、照射装置92により紫外線が照射される。これにより、樹脂積層体130の上に薄膜状の樹脂層144が形成される。 Next, as shown in FIG. 4, a resin laminate 140 is further formed on the resin laminate 130. The resin laminate 140 has a cavity 142 and is created by substantially the same method as the resin laminate 130. That is, in the second printing section 84 of the second modeling unit 24, the inkjet head 88 ejects the ultraviolet curing resin in a thin film on the upper surface of the resin laminate 130. At this time, the inkjet head 88 ejects the ultraviolet curing resin so that a predetermined portion of the upper surface of the resin laminate 130 is exposed in a generally rectangular shape. Next, when the ultraviolet curing resin is ejected in a thin film, the ultraviolet curing resin ejected in a thin film is flattened by the flattening device 90 in the curing section 86, and ultraviolet light is irradiated by the irradiation device 92. As a result, a thin-film resin layer 144 is formed on the resin laminate 130.

続いて、インクジェットヘッド88が、その薄膜状の樹脂層144の上の部分にのみ紫外線硬化樹脂を薄膜状に吐出する。そして、薄膜状に吐出された紫外線硬化樹脂が平坦化装置90により平坦化され、照射装置92により紫外線が照射されることで、薄膜状の樹脂層144の上に薄膜状の樹脂層144が積層される。このように、樹脂積層体130の上面の概して矩形の部分を除いた薄膜状の樹脂層144の上への紫外線硬化樹脂の吐出と、紫外線の照射とが繰り返され、複数の樹脂層144が積層されることで、キャビティ142を有する樹脂積層体140が形成される。 Then, the inkjet head 88 ejects a thin film of ultraviolet curable resin only onto the portion above the thin film resin layer 144. The ejected thin film of ultraviolet curable resin is then flattened by the flattening device 90, and the thin film resin layer 144 is laminated on the thin film resin layer 144 by irradiating it with ultraviolet light by the irradiation device 92. In this manner, ejection of ultraviolet curable resin onto the thin film resin layer 144 except for the generally rectangular portion of the upper surface of the resin laminate 130 and irradiation with ultraviolet light are repeated, and a plurality of resin layers 144 are laminated to form a resin laminate 140 having a cavity 142.

そして、キャビティ142を有する樹脂積層体140が形成されると、ステージ52が装着ユニット26の下方に移動される。装着ユニット26では、テープフィーダ114により電子部品が供給され、その電子部品が装着ヘッド116の吸着ノズルによって、保持される。なお、図5に示すように、電子部品150は、概してブロック状の部品本体152と、部品本体152の1の面に配設された1対の電極154とにより構成されている。そして、装着ヘッド116が、移動装置118によって移動され、吸着ノズルにより保持された電子部品150が、樹脂積層体140のキャビティ142の内部において、樹脂積層体130の上面に装着される。この際、電子部品150の1対の電極154が上方を向いた状態で、電子部品150は樹脂積層体140のキャビティ142の内部において、樹脂積層体130の上面に装着される。なお、樹脂積層体140のキャビティ142の深さ寸法は、電子部品150の部品本体152の高さ寸法と略同じとされている。このため、キャビティ142の内部に装着された電子部品150の部品本体152の上面と、樹脂積層体140の上面との高さは略同じとされている。 Then, when the resin laminate 140 having the cavity 142 is formed, the stage 52 is moved below the mounting unit 26. In the mounting unit 26, the electronic component is supplied by the tape feeder 114, and the electronic component is held by the suction nozzle of the mounting head 116. As shown in FIG. 5, the electronic component 150 is generally composed of a block-shaped component body 152 and a pair of electrodes 154 arranged on one surface of the component body 152. Then, the mounting head 116 is moved by the moving device 118, and the electronic component 150 held by the suction nozzle is mounted on the upper surface of the resin laminate 130 inside the cavity 142 of the resin laminate 140. At this time, the electronic component 150 is mounted on the upper surface of the resin laminate 130 inside the cavity 142 of the resin laminate 140 with the pair of electrodes 154 of the electronic component 150 facing upward. The depth dimension of the cavity 142 of the resin laminate 140 is approximately the same as the height dimension of the component body 152 of the electronic component 150. Therefore, the height of the top surface of the component body 152 of the electronic component 150 mounted inside the cavity 142 is approximately the same as the top surface of the resin laminate 140.

次に、ステージ52は第2造形ユニット24の下方に移動される。そして、第2造形ユニット24において、図6に示すように、樹脂積層体140のキャビティ142の隙間、つまり、電子部品150の部品本体152の側面と、樹脂積層体140のキャビティ142を区画する内壁面との間に樹脂積層体160が形成される。この際、樹脂積層体160の上面と樹脂積層体140の上面とが平らとなるように、つまり、面一となるように樹脂積層体160が形成される。これにより、樹脂積層体140の上面と、樹脂積層体160の上面と、電子部品150の部品本体152の上面とが面一となる。なお、樹脂積層体160は、樹脂積層体130と同様に、インクジェットヘッド88による紫外線硬化樹脂の吐出と、照射装置92による紫外線の照射とが繰り返されることで、形成される。 Next, the stage 52 is moved below the second modeling unit 24. Then, in the second modeling unit 24, as shown in FIG. 6, the resin laminate 160 is formed in the gap of the cavity 142 of the resin laminate 140, that is, between the side of the component body 152 of the electronic component 150 and the inner wall surface that defines the cavity 142 of the resin laminate 140. At this time, the resin laminate 160 is formed so that the upper surface of the resin laminate 160 and the upper surface of the resin laminate 140 are flat, that is, flush with each other. As a result, the upper surface of the resin laminate 140, the upper surface of the resin laminate 160, and the upper surface of the component body 152 of the electronic component 150 are flush with each other. Note that the resin laminate 160 is formed by repeating the ejection of ultraviolet curable resin by the inkjet head 88 and the irradiation of ultraviolet light by the irradiation device 92, similar to the resin laminate 130.

続いて、ステージ52は第1造形ユニット22の下方に移動される。そして、第1造形ユニット22の第1印刷部72において、インクジェットヘッド76によって、金属インクが樹脂積層体140,160の上に、回路パターンに応じて線状に吐出される。この際、図7に示すように、金属インク170は、電子部品150の電極154と、他の電子部品(図示省略)の電極とを繋ぐように、線状に吐出される。そして、第1造形ユニット22の加熱部74において、金属インク170が、ヒータ78により加熱される。これにより、金属インク170が焼成し、配線172が形成される。つまり、電子部品150の電極154と導通する配線172が形成される。 Then, the stage 52 is moved below the first modeling unit 22. Then, in the first printing section 72 of the first modeling unit 22, the inkjet head 76 ejects metal ink in a line shape onto the resin laminates 140, 160 according to the circuit pattern. At this time, as shown in FIG. 7, the metal ink 170 is ejected in a line shape so as to connect the electrode 154 of the electronic component 150 to the electrode of another electronic component (not shown). Then, in the heating section 74 of the first modeling unit 22, the metal ink 170 is heated by the heater 78. As a result, the metal ink 170 is baked, and the wiring 172 is formed. In other words, the wiring 172 that is conductive to the electrode 154 of the electronic component 150 is formed.

このように、回路形成装置10では、紫外線硬化樹脂により樹脂積層体130,140,160が形成され、電子部品150が装着されるとともに、その電子部品と通電する配線172が金属インク170により形成されることで、回路を形成することが可能とされている。しかしながら、上述した方法により回路が形成される場合には、部品の寸法公差などに依拠して、回路を適切に形成できない虞がある。 In this way, in the circuit forming device 10, the resin laminates 130, 140, 160 are formed from the UV-curable resin, the electronic components 150 are mounted, and the wiring 172 that conducts electricity to the electronic components is formed from the metal ink 170, making it possible to form a circuit. However, when a circuit is formed using the above-mentioned method, there is a risk that the circuit may not be formed properly due to dimensional tolerances of the components, etc.

具体的には、例えば、電子部品150の寸法、特に、部品本体152の高さ寸法が小さい場合には、図8に示すように、電子部品150がキャビティ142の内部に装着され、キャビティ142の内部に樹脂積層体160が形成されると、電子部品150が樹脂積層体160の内部に埋没する。このように、電子部品150が樹脂積層体160の内部に埋没すると、電子部品150の電極154が露出しないため、電極154を配線172に導通させることができず、適切な回路を形成することができない。 Specifically, for example, when the dimensions of electronic component 150, particularly the height dimension of component body 152, are small, as shown in FIG. 8, when electronic component 150 is mounted inside cavity 142 and resin laminate 160 is formed inside cavity 142, electronic component 150 is embedded inside resin laminate 160. When electronic component 150 is embedded inside resin laminate 160 in this way, electrodes 154 of electronic component 150 are not exposed, so electrodes 154 cannot be electrically connected to wiring 172, and an appropriate circuit cannot be formed.

一方で、電子部品150の寸法、特に、部品本体152の高さ寸法が大きい場合には、図9に示すように、電子部品150がキャビティ142の内部に装着され、キャビティ142の内部に樹脂積層体160が形成されると、部品本体152が樹脂積層体160の上面から突出する。このように、電子部品150の部品本体152が樹脂積層体160の上面から突出すると、樹脂積層体160の上面と部品本体152の上面とが段差面となり、配線172が断線するため、電極154を配線172に導通させることができず、適切な回路を形成することができない。 On the other hand, when the dimensions of the electronic component 150, particularly the height dimension of the component body 152, are large, as shown in FIG. 9, when the electronic component 150 is mounted inside the cavity 142 and the resin laminate 160 is formed inside the cavity 142, the component body 152 protrudes from the upper surface of the resin laminate 160. When the component body 152 of the electronic component 150 protrudes from the upper surface of the resin laminate 160 in this way, the upper surface of the resin laminate 160 and the upper surface of the component body 152 form a step surface, and the wiring 172 is broken, so that the electrode 154 cannot be electrically connected to the wiring 172 and a suitable circuit cannot be formed.

このため、電極154を上方に向けた状態で電子部品150を装着する方法(以下、「Face-up装着法」と記載する)でなく、電極154を下方に向けた状態で電子部品150を装着する方法(以下、「Face-down装着法」と記載する)を用いて、回路を形成することが考えられる。具体的には、まず、第2造形ユニット24において、Face-up装着法と同様に、図3に示すように、基板70の上面に、樹脂積層体130が形成される。次に、ステージ52が第1造形ユニット22の下方に移動され、第1造形ユニット22において、図10に示すように、配線172が形成される。 For this reason, it is conceivable to form a circuit using a method of mounting the electronic components 150 with the electrodes 154 facing downward (hereinafter referred to as the "face-down mounting method"), rather than a method of mounting the electronic components 150 with the electrodes 154 facing upward (hereinafter referred to as the "face-up mounting method"). Specifically, first, in the second modeling unit 24, a resin laminate 130 is formed on the upper surface of the substrate 70 as shown in FIG. 3, similar to the face-up mounting method. Next, the stage 52 is moved below the first modeling unit 22, and wiring 172 is formed in the first modeling unit 22 as shown in FIG. 10.

続いて、ステージ52が第2造形ユニット24の下方に移動され、第2造形ユニット24において、図11に示すように、キャビティ142を有する樹脂積層体140が樹脂積層体130の上に形成される。この際、樹脂積層体130の上に形成された配線172の端部がキャビティ142の内部で露出するように、樹脂積層体140が形成される。そして、ステージ52が第1造形ユニット22の下方に移動され、第1造形ユニット22の第1印刷部72において、ディスペンスヘッド77が、キャビティ142の内部で露出する配線172の端部に金属ペースト180を吐出する。 Then, the stage 52 is moved below the second modeling unit 24, and in the second modeling unit 24, as shown in FIG. 11, a resin laminate 140 having a cavity 142 is formed on the resin laminate 130. At this time, the resin laminate 140 is formed so that the end of the wiring 172 formed on the resin laminate 130 is exposed inside the cavity 142. Then, the stage 52 is moved below the first modeling unit 22, and in the first printing section 72 of the first modeling unit 22, the dispense head 77 ejects metal paste 180 onto the end of the wiring 172 exposed inside the cavity 142.

続いて、ステージ52が装着ユニット26の下方に移動される。装着ユニット26では、テープフィーダ114により電子部品150が供給され、その電子部品150が装着ヘッド116の吸着ノズルによって、保持される。そして、装着ヘッド116が、移動装置118によって移動され、吸着ノズルにより保持された電子部品150が、樹脂積層体140のキャビティ142の内部に装着される。この際、図12に示すように、電子部品150の1対の電極154が下方を向いた状態で、電子部品150はキャビティ142の内部において、配線172の上に吐出された金属ペースト180と接触するように装着される。そして、ステージ52が第1造形ユニット22の下方に移動され、第1造形ユニット22の加熱部74において、金属ペースト180が、ヒータ78により加熱される。これにより、金属ペースト180が硬化し、金属ペースト180が導電化することで、電子部品150の電極が、導電化した金属ペースト180を介して、配線172と導通する。 Next, the stage 52 is moved below the mounting unit 26. In the mounting unit 26, the electronic component 150 is supplied by the tape feeder 114, and the electronic component 150 is held by the suction nozzle of the mounting head 116. Then, the mounting head 116 is moved by the moving device 118, and the electronic component 150 held by the suction nozzle is mounted inside the cavity 142 of the resin laminate 140. At this time, as shown in FIG. 12, with a pair of electrodes 154 of the electronic component 150 facing downward, the electronic component 150 is mounted inside the cavity 142 so as to come into contact with the metal paste 180 dispensed onto the wiring 172. Then, the stage 52 is moved below the first modeling unit 22, and the metal paste 180 is heated by the heater 78 in the heating section 74 of the first modeling unit 22. This causes the metal paste 180 to harden and become conductive, so that the electrodes of the electronic component 150 are electrically connected to the wiring 172 via the conductive metal paste 180.

次に、ステージ52は第2造形ユニット24の下方に移動される。そして、第2造形ユニット24において、図13に示すように、樹脂積層体140のキャビティ142の内部、つまり、樹脂積層体140のキャビティ142を区画する内壁面と電子部品150との間に樹脂積層体190が形成される。なお、樹脂積層体190は、樹脂積層体130と同様に、インクジェットヘッド88による紫外線硬化樹脂の吐出と、照射装置92による紫外線の照射とが繰り返されることで、形成される。 Next, the stage 52 is moved below the second modeling unit 24. Then, in the second modeling unit 24, as shown in FIG. 13, a resin laminate 190 is formed inside the cavity 142 of the resin laminate 140, that is, between the inner wall surface that defines the cavity 142 of the resin laminate 140 and the electronic component 150. Note that, like the resin laminate 130, the resin laminate 190 is formed by repeatedly ejecting ultraviolet curable resin from the inkjet head 88 and irradiating ultraviolet light from the irradiation device 92.

また、キャビティ142の深さ寸法は、電子部品150の高さ寸法より大きくされているため、キャビティ142に装着された電子部品150は、キャビティ142に形成された樹脂積層体190の内部に埋没する。これにより、電子部品150が樹脂積層体190の内部に密閉された回路、つまり、電子部品150が樹脂積層体190において封止された回路が形成される。このように、電子部品150が樹脂積層体190において封止されることで、電子部品150及び配線172の剥離、酸化、イオンマイグレーション等を防止することができる。また、電子部品150の寸法公差により、例えば、部品本体152の高さ寸法が異なる場合であっても、電子部品150の電極154を確実に配線172と通電させることができる。さらに言えば、電子部品150が埋没された樹脂積層体190の上面と、樹脂積層体140の上面とが平らに繋がる平面とされている。つまり、樹脂積層体190が形成される際に、樹脂積層体190の上面として吐出された紫外線硬化樹脂の表面が、樹脂積層体140の上面と面一となるように、平坦化装置90により平坦化された後に、紫外線硬化樹脂に紫外線が照射される。これにより、表面が平らな回路を形成することができる。 In addition, since the depth dimension of the cavity 142 is larger than the height dimension of the electronic component 150, the electronic component 150 mounted in the cavity 142 is embedded inside the resin laminate 190 formed in the cavity 142. As a result, a circuit in which the electronic component 150 is sealed inside the resin laminate 190, that is, a circuit in which the electronic component 150 is sealed in the resin laminate 190, is formed. In this way, by sealing the electronic component 150 in the resin laminate 190, peeling, oxidation, ion migration, etc. of the electronic component 150 and the wiring 172 can be prevented. In addition, even if, for example, the height dimension of the component body 152 differs due to the dimensional tolerance of the electronic component 150, the electrode 154 of the electronic component 150 can be reliably electrically connected to the wiring 172. Furthermore, the upper surface of the resin laminate 190 in which the electronic component 150 is embedded and the upper surface of the resin laminate 140 are made to be a flat plane that is connected to each other. That is, when the resin laminate 190 is formed, the surface of the UV-curable resin discharged as the upper surface of the resin laminate 190 is flattened by a flattening device 90 so that it is flush with the upper surface of the resin laminate 140, and then the UV-curable resin is irradiated with UV rays. This makes it possible to form a circuit with a flat surface.

このように、Face-down装着法を採用することで、電子部品150を樹脂積層体190において封止し、電子部品150と配線172との確実な通電,電子部品150及び配線172の剥離、酸化、イオンマイグレーション等の防止を図ることができる。しかしながら、樹脂積層体190は、キャビティ142の内部に電子部品150が装着された後に、その電子部品150とキャビティ142との間に紫外線硬化樹脂が吐出され、その紫外線硬化樹脂が紫外線の照射により形成されるため、紫外線硬化樹脂が部分的に硬化不良を起こす虞がある。 In this way, by adopting the face-down mounting method, the electronic component 150 is sealed in the resin laminate 190, which ensures reliable electrical continuity between the electronic component 150 and the wiring 172 and prevents peeling, oxidation, ion migration, and the like between the electronic component 150 and the wiring 172. However, since the resin laminate 190 is formed by discharging an ultraviolet-curable resin between the electronic component 150 and the cavity 142 after the electronic component 150 is mounted inside the cavity 142 and then irradiating the ultraviolet-curable resin with ultraviolet light, there is a risk that the ultraviolet-curable resin may partially fail to cure.

詳しくは、樹脂積層体190も、樹脂積層体130と同様に、複数の薄膜状の樹脂層が積層されることで形成されるが、樹脂積層体190の下層の樹脂層が形成される際に、キャビティ142の底面において、電子部品150の下面と樹脂積層体130の上面との間に、紫外線硬化樹脂が入り込む。このように、電子部品150の下面と樹脂積層体130の上面との間に入り込んだ紫外線硬化樹脂には、紫外線を照射することができないため、硬化不良が生じる。つまり、電子部品150を封止する樹脂積層体190では、電子部品150の下面と樹脂積層体130の上面との間に入り込んだ紫外線硬化樹脂が硬化不良の状態となっている虞がある。 In more detail, like the resin laminate 130, the resin laminate 190 is formed by laminating multiple thin-film resin layers, but when the lower resin layer of the resin laminate 190 is formed, ultraviolet-curable resin gets into the gap between the lower surface of the electronic component 150 and the upper surface of the resin laminate 130 at the bottom surface of the cavity 142. In this way, the ultraviolet-curable resin that gets into the gap between the lower surface of the electronic component 150 and the upper surface of the resin laminate 130 cannot be irradiated with ultraviolet light, and therefore, poor curing occurs. In other words, in the resin laminate 190 that seals the electronic component 150, there is a risk that the ultraviolet-curable resin that gets into the gap between the lower surface of the electronic component 150 and the upper surface of the resin laminate 130 is in a poorly cured state.

このようなことに鑑みて、Face-down装着法を用いて回路が形成される際に、電子部品150を封止する樹脂として、紫外線硬化樹脂だけでなく、熱硬化性樹脂も使用されている。具体的には、Face-down装着法を用いた上記方法と同様に、図12に示すように、樹脂積層体140のキャビティ142において、電極154を下方に向けた状態で電子部品150を装着する。この際、電子部品150の電極154を、配線172の上に吐出された金属ペースト180に接触させる。そして、ヒータ78により金属ペースト180を加熱することで、金属ペースト180を導電化させて、電子部品150の電極154を、金属ペースト180を介して配線172に導通させる。 In view of this, when a circuit is formed using the face-down mounting method, not only an ultraviolet curing resin but also a thermosetting resin is used as the resin for sealing the electronic component 150. Specifically, as in the above-mentioned method using the face-down mounting method, as shown in FIG. 12, the electronic component 150 is mounted in the cavity 142 of the resin laminate 140 with the electrode 154 facing downward. At this time, the electrode 154 of the electronic component 150 is brought into contact with the metal paste 180 dispensed onto the wiring 172. Then, the metal paste 180 is heated by the heater 78 to make the metal paste 180 conductive, and the electrode 154 of the electronic component 150 is made conductive to the wiring 172 via the metal paste 180.

次に、ステージ52が第2造形ユニット24の下方に移動される。そして、ディスペンスヘッド89が、図14に示すように、キャビティ142の内部において、樹脂積層体130の上面に装着されている電子部品150の側面の外縁に沿って、熱硬化性樹脂200を樹脂積層体130の上面に吐出する。この際、ディスペンスヘッド89は、電子部品150の4つの側面のうちの1の側面と、その1の側面と連続する別の1の側面の外縁に沿って、概してL字型に熱硬化性樹脂200を吐出する。なお、図14は、形成時の回路を上方からの視点において示す図である。 Next, the stage 52 is moved below the second modeling unit 24. Then, the dispense head 89 dispenses the thermosetting resin 200 onto the upper surface of the resin laminate 130 inside the cavity 142 along the outer edge of the side of the electronic component 150 attached to the upper surface of the resin laminate 130, as shown in FIG. 14. At this time, the dispense head 89 dispenses the thermosetting resin 200 in a generally L-shape along the outer edge of one of the four side surfaces of the electronic component 150 and another side surface that is continuous with the one side surface. Note that FIG. 14 is a view showing the circuit as it is being formed, viewed from above.

このように、電子部品150の側面の外縁に沿って、熱硬化性樹脂200が樹脂積層体130の上面に吐出されると、樹脂積層体130の上面と電子部品150の部品本体152の下面との間に、熱硬化性樹脂200が毛管現象により侵入する。これにより、図15に示すように、樹脂積層体130の上面と電子部品150の部品本体152の下面との間に、熱硬化性樹脂200が封じ込められる。つまり、樹脂積層体130の上面と部品本体152の下面との間に、熱硬化性樹脂200が封入される。そして、熱硬化性樹脂200がヒータ93により加熱されることで、熱硬化性樹脂200が、樹脂積層体130の上面と部品本体152の下面との間に封入された状態で硬化する。 When the thermosetting resin 200 is discharged onto the upper surface of the resin laminate 130 along the outer edge of the side of the electronic component 150, the thermosetting resin 200 penetrates between the upper surface of the resin laminate 130 and the lower surface of the component body 152 of the electronic component 150 by capillary action. As a result, as shown in FIG. 15, the thermosetting resin 200 is sealed between the upper surface of the resin laminate 130 and the lower surface of the component body 152 of the electronic component 150. In other words, the thermosetting resin 200 is sealed between the upper surface of the resin laminate 130 and the lower surface of the component body 152. Then, the thermosetting resin 200 is heated by the heater 93, and the thermosetting resin 200 hardens while being sealed between the upper surface of the resin laminate 130 and the lower surface of the component body 152.

続いて、第2造形ユニット24において、キャビティ142の内部、つまり、樹脂積層体140のキャビティ142を区画する内壁面と電子部品150との間への薄膜状の紫外線硬化樹脂の吐出と、その紫外線硬化樹脂への紫外線の照射とが繰り返される。これにより、図16に示すように、キャビティ142の内部において、電子部品150が、硬化した紫外線硬化樹脂の樹脂積層体210により封止される。つまり、キャビティ142の内部において、樹脂積層体130の上面と部品本体152の下面との間に、硬化した熱硬化性樹脂200が封入された状態で、電子部品150が紫外線硬化樹脂の樹脂積層体210により封止される。このように、キャビティ142の内部において、樹脂積層体130の上面と部品本体152の下面との間に封入される樹脂として、熱硬化性樹脂200が使用される。一方、その熱硬化性樹脂200の上方において電子部品150をキャビティ142の内部に封止する樹脂として、紫外線硬化樹脂が使用される。これにより、電子部品150が装着されたキャビティ142の内部での樹脂の硬化不良を防止することが可能となり、適切な回路の形成を担保することができる。 Next, in the second modeling unit 24, the ejection of a thin-film ultraviolet-curing resin into the cavity 142, that is, between the inner wall surface that defines the cavity 142 of the resin laminate 140 and the electronic component 150, and the irradiation of ultraviolet light to the ultraviolet-curing resin are repeated. As a result, as shown in FIG. 16, the electronic component 150 is sealed by the resin laminate 210 of the cured ultraviolet-curing resin inside the cavity 142. In other words, the electronic component 150 is sealed by the resin laminate 210 of the ultraviolet-curing resin in a state in which the cured thermosetting resin 200 is sealed between the upper surface of the resin laminate 130 and the lower surface of the component body 152 inside the cavity 142. In this way, the thermosetting resin 200 is used as the resin sealed between the upper surface of the resin laminate 130 and the lower surface of the component body 152 inside the cavity 142. On the other hand, an ultraviolet curing resin is used as the resin that seals the electronic component 150 inside the cavity 142 above the thermosetting resin 200. This makes it possible to prevent poor curing of the resin inside the cavity 142 in which the electronic component 150 is mounted, and ensures the formation of an appropriate circuit.

なお、樹脂積層体210の形成時においても、樹脂積層体190の形成時と同様に、樹脂積層体210の上面として吐出された紫外線硬化樹脂の表面が、樹脂積層体140の上面と面一となるように、平坦化装置90により平坦化された後に、紫外線硬化樹脂に紫外線が照射される。これにより、電子部品150を封止する樹脂積層体210の上面と、樹脂積層体140の上面とが平らに繋がる平面とされている。 When forming the resin laminate 210, similarly to when forming the resin laminate 190, the surface of the ultraviolet curable resin discharged as the upper surface of the resin laminate 210 is flattened by a flattening device 90 so that it is flush with the upper surface of the resin laminate 140, and then the ultraviolet curable resin is irradiated with ultraviolet light. This makes the upper surface of the resin laminate 210 that seals the electronic component 150 and the upper surface of the resin laminate 140 a flat, connected plane.

なお、制御装置28のコントローラ120は、図2に示すように、形成部220と、塗布部222と、装着部224と、封入部226と、封止部228と、平坦化部230とを有している。形成部220は、樹脂積層体130の上に配線172を形成するための機能部である。塗布部222は、配線172の上に金属ペースト180を塗布するための機能部である。装着部224は、電極154が金属ペースト180に接触するように電子部品150をキャビティ142の内部に装着するための機能部である。封入部226は、キャビティ142に装着された電子部品150の下面と樹脂積層体130の上面との間に熱硬化性樹脂200を封入するための機能部である。封止部228は、キャビティ142に装着された電子部品150を樹脂積層体210により封止するための機能部である。平坦化部230は、電子部品150を封止する樹脂積層体210の上面を樹脂積層体140の上面と面一となるように平坦化させるための機能部である。 As shown in FIG. 2, the controller 120 of the control device 28 has a forming section 220, an application section 222, an attachment section 224, an encapsulation section 226, a sealing section 228, and a flattening section 230. The forming section 220 is a functional section for forming the wiring 172 on the resin laminate 130. The application section 222 is a functional section for applying the metal paste 180 on the wiring 172. The attachment section 224 is a functional section for mounting the electronic component 150 inside the cavity 142 so that the electrode 154 contacts the metal paste 180. The encapsulation section 226 is a functional section for encapsulating the thermosetting resin 200 between the lower surface of the electronic component 150 attached to the cavity 142 and the upper surface of the resin laminate 130. The sealing section 228 is a functional section for sealing the electronic component 150 attached to the cavity 142 with the resin laminate 210. The planarizing section 230 is a functional section for planarizing the upper surface of the resin laminate 210 that encapsulates the electronic component 150 so that it is flush with the upper surface of the resin laminate 140.

なお、上記実施例において、回路形成装置10は、回路形成装置の一例である。インクジェットヘッド76は、形成装置の一例である。ヒータ78は、形成装置の一例である。インクジェットヘッド88は、封止装置の一例である。ディスペンスヘッド89は、封入装置の一例である。照射装置92は、封止装置の一例である。ヒータ93は、封入装置の一例である。装着ヘッド116は、装着装置の一例である。移動装置118は、装着装置の一例である。樹脂積層体130は、基材の一例である。樹脂積層体140は、基材の一例である。キャビティ142は、キャビティの一例である。電子部品150は、電子部品の一例である。電極154は、電極の一例である。配線172は、配線の一例である。金属ペースト180は、導電性流体の一例である。熱硬化性樹脂200は、熱硬化性樹脂の一例である。形成部220により実行される工程は、形成工程の一例である。塗布部222により実行される工程は、塗布工程の一例である。装着部224により実行される工程は、装着工程の一例である。封入部226により実行される工程は、封入工程の一例である。封止部228により実行される工程は、封止工程の一例である。平坦化部230により実行される工程は、平坦化工程の一例である。 In the above embodiment, the circuit forming device 10 is an example of a circuit forming device. The inkjet head 76 is an example of a forming device. The heater 78 is an example of a forming device. The inkjet head 88 is an example of a sealing device. The dispense head 89 is an example of an encapsulating device. The irradiation device 92 is an example of a sealing device. The heater 93 is an example of an encapsulating device. The mounting head 116 is an example of a mounting device. The moving device 118 is an example of a mounting device. The resin laminate 130 is an example of a substrate. The resin laminate 140 is an example of a substrate. The cavity 142 is an example of a cavity. The electronic component 150 is an example of an electronic component. The electrode 154 is an example of an electrode. The wiring 172 is an example of a wiring. The metal paste 180 is an example of a conductive fluid. The thermosetting resin 200 is an example of a thermosetting resin. The process performed by the forming unit 220 is an example of a forming process. The process performed by the coating unit 222 is an example of a coating process. The process performed by the mounting unit 224 is an example of a mounting process. The process performed by the encapsulation unit 226 is an example of an encapsulation process. The process performed by the sealing unit 228 is an example of a sealing process. The process performed by the flattening unit 230 is an example of a flattening process.

なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。例えば、上記実施例では、電子部品150がキャビティ142の内部に電極154を下方に向けた状態で装着されているが、キャビティ以外の部分に電極154を下方に向けた状態で装着されてもよい。 The present invention is not limited to the above embodiment, and can be implemented in various forms with various modifications and improvements based on the knowledge of those skilled in the art. For example, in the above embodiment, the electronic component 150 is mounted inside the cavity 142 with the electrode 154 facing downward, but the electronic component 150 may be mounted in a part other than the cavity with the electrode 154 facing downward.

また、熱硬化性樹脂200が樹脂積層体130の上面と電子部品150の下面との間に封入される際に、部品本体152の側面の2つの面に沿って熱硬化性樹脂200が塗布されているが、部品本体152の側面の任意の数の面に沿って熱硬化性樹脂200が塗布されてもよい。ただし、部品本体152の全ての側面に沿って熱硬化性樹脂200が塗布されると、樹脂積層体130の上面と電子部品150の下面との間にエアが封入される虞があるため、部品本体152の全ての側面より少ない数の面に沿って熱硬化性樹脂200が塗布されることが好ましい。 When the thermosetting resin 200 is filled between the upper surface of the resin laminate 130 and the lower surface of the electronic component 150, the thermosetting resin 200 is applied along two of the side surfaces of the component body 152, but the thermosetting resin 200 may be applied along any number of the side surfaces of the component body 152. However, if the thermosetting resin 200 is applied along all of the side surfaces of the component body 152, there is a risk that air will be filled between the upper surface of the resin laminate 130 and the lower surface of the electronic component 150, so it is preferable that the thermosetting resin 200 is applied along fewer than all of the side surfaces of the component body 152.

また、上記実施例では、樹脂積層体130の上面と電子部品150の下面との間に封入される樹脂として、熱硬化性樹脂が採用されているが、紫外線硬化樹脂以外の硬化性樹脂であれば、任意の樹脂を採用することが可能である。具体的には、例えば、2液混合型の硬化性樹脂などを採用することが可能である。 In the above embodiment, a thermosetting resin is used as the resin filled between the upper surface of the resin laminate 130 and the lower surface of the electronic component 150, but any resin other than ultraviolet curable resin can be used. Specifically, for example, a two-liquid mixed curable resin can be used.

また、上記実施例では、樹脂積層体130,140,210、配線172、電子部品150、熱硬化性樹脂200等により回路が構成されているが、その回路の上に、更に、配線の形成、電子部品の装着、樹脂積層体の積層などを行ってもよい。 In the above embodiment, the circuit is composed of the resin laminates 130, 140, 210, wiring 172, electronic components 150, thermosetting resin 200, etc., but wiring may be formed on top of the circuit, electronic components may be attached, and resin laminates may be laminated.

また、上記実施例では、ヒータ78により、金属インク及び金属ペーストが加熱されているが、レーザ光等の照射により、金属インク及び金属ペーストが加熱されてもよい。 In addition, in the above embodiment, the metal ink and metal paste are heated by the heater 78, but the metal ink and metal paste may also be heated by irradiation with laser light or the like.

また、上記実施例では、金属ペースト180が、ディスペンスヘッド77により吐出されているが、スタンプ等により金属ペースト180が転写されてもよい。また、スクリーン印刷により、金属インク若しくは金属ペーストが印刷されてもよい。 In the above embodiment, the metal paste 180 is ejected by the dispense head 77, but the metal paste 180 may be transferred by a stamp or the like. Also, the metal ink or metal paste may be printed by screen printing.

10:回路形成装置 76:インクジェットヘッド(形成装置) 78:ヒータ(形成装置) 88:インクジェットヘッド(封止装置) 89:ディスペンスヘッド(封入装置) 92:照射装置(封止装置) 93:ヒータ(封入装置) 116:装着ヘッド(装着装置) 118:移動装置(装着装置) 130:樹脂積層体(基材) 140:樹脂積層体(基材) 142:キャビティ 150:電子部品 154:電極 172:配線 180:金属ペースト(導電性流体) 200:熱硬化性樹脂 220:形成部(形成工程) 222:塗布部(塗布工程) 224:装着部(装着工程) 226:封入部(封入工程) 228:封止部(封止工程) 230:平坦化部(平坦化工程) 10: Circuit forming device 76: Inkjet head (forming device) 78: Heater (forming device) 88: Inkjet head (sealing device) 89: Dispense head (encapsulation device) 92: Irradiation device (sealing device) 93: Heater (encapsulation device) 116: Mounting head (mounting device) 118: Moving device (mounting device) 130: Resin laminate (substrate) 140: Resin laminate (substrate) 142: Cavity 150: Electronic component 154: Electrode 172: Wiring 180: Metal paste (conductive fluid) 200: Thermosetting resin 220: Forming section (forming process) 222: Coating section (coating process) 224: Mounting section (mounting process) 226: Encapsulation section (encapsulation process) 228: Sealing section (sealing process) 230: Flattening section (flattening process)

Claims (5)

紫外線硬化樹脂の吐出と吐出された紫外線硬化樹脂への紫外線の照射とを繰り返すことにより、樹脂層を積層した樹脂積層体である基材を形成する基材形成工程と、
前記基材の上に配線を形成する配線形成工程と、
前記基材の上に前記紫外線硬化樹脂の吐出と吐出された紫外線硬化樹脂への紫外線の照射とを繰り返すことにより、装着予定の電子部品の高さ寸法よりも大きい深さ寸法のキャビティを有する樹脂積層体を、前記キャビティの内部に前記配線の一部が露出するように、前記基材の上に形成するキャビティ形成工程と、
前記電子部品の電極を下方に向けた状態で、当該電極が前記キャビティの内部に露出する配線と通電するように、前記電子部品を前記基材の上に装着する装着工程と、
前記基材と、当該基材の上に装着された電子部品との間に、熱硬化性樹脂を封入し硬化させる封入工程と、
前記キャビティの内部に前記紫外線硬化樹脂の吐出と吐出された紫外線硬化樹脂への紫外線の照射とを繰り返すことにより樹脂積層体を形成することで、前記キャビティの内部に装着された電子部品を前記樹脂積層体により封止する封止工程と、
を含む回路形成方法。
a substrate forming step of forming a substrate which is a resin laminate having resin layers stacked thereon by repeating the ejection of an ultraviolet curable resin and the irradiation of ultraviolet rays to the ejected ultraviolet curable resin ;
a wiring forming step of forming wiring on the base material;
a cavity forming step of forming a resin laminate having a cavity with a depth dimension larger than a height dimension of an electronic component to be mounted on the base material by repeating the discharge of the ultraviolet curing resin onto the base material and the irradiation of ultraviolet rays to the discharged ultraviolet curing resin, so that a part of the wiring is exposed inside the cavity;
a mounting step of mounting the electronic component on the substrate with the electrodes of the electronic component facing downward so that the electrodes are electrically connected to wiring exposed inside the cavity;
an encapsulation step of encapsulating and curing a thermosetting resin between the substrate and the electronic components mounted on the substrate;
a sealing process in which the electronic component mounted inside the cavity is sealed with the resin laminate by repeatedly discharging the ultraviolet curing resin inside the cavity and irradiating the discharged ultraviolet curing resin with ultraviolet light to form a resin laminate;
A circuit forming method comprising the steps of:
加熱により導電性を発現する導電性流体を前記配線の上に塗布する塗布工程を含み、
前記装着工程は、
前記配線の上に塗布された前記導電性流体に前記電極が接触するように前記電子部品を装着する請求項1に記載の回路形成方法。
A coating step of coating the wiring with a conductive fluid that exhibits conductivity when heated,
The mounting step includes:
The method for forming a circuit according to claim 1 , further comprising the step of mounting the electronic component so that the electrode is in contact with the conductive fluid applied onto the wiring.
前記キャビティの内部に装着された電子部品を封止する前記紫外線硬化樹脂の上面を、前記基材の上面と面一となるように平坦化させる平坦化工程を含む請求項1または請求項2に記載の回路形成方法。 The circuit forming method according to claim 1 or 2, further comprising a planarizing step of planarizing the upper surface of the ultraviolet curing resin that seals the electronic components mounted inside the cavity so that it is flush with the upper surface of the substrate. 前記封入工程は、
前記基材の上に装着された電子部品の外縁に沿って熱硬化樹脂を吐出することで、前記基材と前記電子部品との間に熱硬化性樹脂を封入する請求項1ないし請求項3のいずれか1つに記載の回路形成方法。
The encapsulation step includes:
4. The circuit forming method according to claim 1, further comprising discharging a thermosetting resin along an outer edge of an electronic component mounted on the substrate, thereby sealing the thermosetting resin between the substrate and the electronic component.
配線を形成する第1造形ユニットと、
樹脂層を形成する第2造形ユニットと、
基板に電子部品を装着する装着ユニットと、
を備え、
前記第2造形ユニットにより、紫外線硬化樹脂の吐出と吐出された紫外線硬化樹脂への紫外線の照射とを繰り返すことで、樹脂層を積層した樹脂積層体である基材を形成し、
前記第1造形ユニットにより、前記基材の上に配線を形成し、
前記第2造形ユニットにより、前記基材の上に前記紫外線硬化樹脂の吐出と吐出された紫外線硬化樹脂への紫外線の照射とを繰り返すことで、装着予定の電子部品の高さ寸法よりも大きい深さ寸法のキャビティを有する樹脂積層体を、前記キャビティの内部に前記配線の一部が露出するように、前記基材の上に形成し、
前記装着ユニットにより、前記電子部品の電極を下方に向けた状態で、当該電極が前記キャビティの内部に露出する配線と通電するように、前記電子部品を前記基材の上に装着し、
前記第2造形ユニットにより、前記基材と、当該基材の上に装着された電子部品との間に、熱硬化性樹脂を封入し硬化させ、
前記第2造形ユニットにより、前記キャビティの内部に前記紫外線硬化樹脂の吐出と吐出された紫外線硬化樹脂への紫外線の照射とを繰り返すことで樹脂積層体を形成することで、前記キャビティの内部に装着された電子部品を前記樹脂積層体により封止する、回路形成装置。
a first modeling unit that forms wiring;
a second modeling unit that forms a resin layer;
a mounting unit for mounting electronic components on a board;
Equipped with
The second modeling unit repeats the discharge of the ultraviolet curing resin and the irradiation of the ultraviolet ray to the discharged ultraviolet curing resin, thereby forming a base material which is a resin laminate in which resin layers are laminated;
forming wiring on the base material by the first modeling unit;
By repeating the discharging of the ultraviolet curing resin onto the base material and the irradiation of ultraviolet rays to the discharged ultraviolet curing resin by the second modeling unit, a resin laminate having a cavity with a depth dimension larger than a height dimension of an electronic component to be mounted is formed on the base material such that a part of the wiring is exposed inside the cavity;
The mounting unit mounts the electronic component on the substrate with the electrodes of the electronic component facing downward so that the electrodes are electrically connected to wiring exposed inside the cavity;
by the second modeling unit, filling a space between the base material and the electronic component mounted on the base material with a thermosetting resin and curing the resin;
A circuit forming device in which the second molding unit forms a resin laminate by repeatedly ejecting the ultraviolet-curing resin inside the cavity and irradiating the ejected ultraviolet-curing resin with ultraviolet light , thereby sealing an electronic component mounted inside the cavity with the resin laminate.
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