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JP7568533B2 - Printed wiring board and its manufacturing method - Google Patents
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Description

本発明は、複数のめっきバンプを有するプリント配線板およびその製造方法に関する。 The present invention relates to a printed wiring board having multiple plated bumps and a method for manufacturing the same.

特許文献1は、複数のめっきバンプを有するプリント配線板の一例を開示している。 Patent document 1 discloses an example of a printed wiring board having multiple plated bumps.

特開2010-129996号公報JP 2010-129996 A

図6は、従来の複数のめっきバンプを有するプリント配線板のめっきバンプの一例を示す図である。図6において、プリント配線板51は、基部絶縁層61上にソルダーレジスト層62を形成し、ソルダーレジスト層62に形成された開口62a内の導体パッド63上にベースめっき層64を形成し、ベースめっき層64上にトップめっき層65を形成して、トップめっき層65をリフローしてめっきバンプ71を形成している。 Figure 6 is a diagram showing an example of a plated bump of a conventional printed wiring board having multiple plated bumps. In Figure 6, the printed wiring board 51 has a solder resist layer 62 formed on a base insulating layer 61, a base plating layer 64 formed on a conductor pad 63 in an opening 62a formed in the solder resist layer 62, a top plating layer 65 formed on the base plating layer 64, and the top plating layer 65 reflowed to form a plated bump 71.

この場合、図7に示すように、例えばSnからなるトップめっき層65のリフローなどの熱処理時に、溶融Snがベースめっき層64の側面に垂れ下がり、トップめっき層65のSn量が減少しバンプ71の高さが低下することがあった。その結果、顧客での実装で、実装部品のターミナルとバンプ71との間の接触不良が発生していた。 In this case, as shown in FIG. 7, during heat treatment such as reflow of the top plating layer 65 made of Sn, molten Sn may drip down the side of the base plating layer 64, reducing the amount of Sn in the top plating layer 65 and decreasing the height of the bump 71. As a result, poor contact occurs between the terminal of the mounted component and the bump 71 when the component is mounted by the customer.

本発明に係るプリント配線板は、複数のめっきバンプを有するプリント配線板であって、基部絶縁層と、前記基部絶縁層上に形成された導体層と、前記基部絶縁層上および前記導体層上に形成され、かつ、前記導体層の一部を導体パッドとして露出させる開口を有するソルダーレジスト層と、前記ソルダーレジスト層の開口内に形成されたベースめっき層と、前記ベースめっき層上に半球状に形成されたトップめっき層と、を含むめっきバンプと、を有し、前記めっきバンプが第、少なくとも第1バンプおよび第2バンプを有し、前記第1バンプおよび前記第2バンプは前記ベースめっき層の上面中央に凹曲面を有し、互いの曲率が異なり、前記第1バンプの径が前記第2バンプの径と略同じである。 The printed wiring board according to the present invention is a printed wiring board having a plurality of plated bumps, the plated bumps including a base insulating layer, a conductor layer formed on the base insulating layer, a solder resist layer formed on the base insulating layer and on the conductor layer and having an opening that exposes a part of the conductor layer as a conductor pad, a base plating layer formed in the opening of the solder resist layer, and a top plating layer formed in a hemispherical shape on the base plating layer, the plated bumps having at least a first bump and a second bump, the first bump and the second bump having a concave curved surface in the center of the upper surface of the base plating layer, having different curvatures, and the diameter of the first bump being approximately the same as the diameter of the second bump.

本発明に係るプリント配線板の製造方法は、基部絶縁層を形成することと、前記基部絶縁層上に導体層を形成することと、前記基部絶縁層上および前記導体層上にソルダーレジスト層を形成することと、前記ソルダーレジスト層に、前記導体層の一部を導体パッドとして露出させる開口を形成することと、前記開口内にベースめっき層を形成することと、
前記ベースめっき層上にトップめっき層を形成することと、前記トップめっき層をリフローすることでめっきバンプを形成することと、を含む、複数のめっきバンプを有するプリント配線板の製造方法であって、前記めっきバンプとして、少なくとも第1バンプおよび第2バンプを形成することと、前記第1バンプおよび前記第2バンプでは、前記ベースめっき層を形成する際、前記ベースめっき層の上面中央に、互いの曲率が異なる凹曲面を形成することと、前記第1バンプの径と前記第2バンプの径とが略同じとなるよう形成することと、を含む。
A method for manufacturing a printed wiring board according to the present invention includes forming a base insulating layer, forming a conductor layer on the base insulating layer, forming a solder resist layer on the base insulating layer and on the conductor layer, forming an opening in the solder resist layer that exposes a portion of the conductor layer as a conductor pad, and forming a base plating layer in the opening.
A method for manufacturing a printed wiring board having a plurality of plating bumps, comprising: forming a top plating layer on the base plating layer; and forming plating bumps by reflowing the top plating layer, wherein the plating bumps include forming at least a first bump and a second bump; and, when forming the base plating layer, forming the first bump and the second bump into concave curved surfaces having different curvatures at the center of an upper surface of the base plating layer, and forming the first bump and the second bump so that their diameters are approximately the same.

本発明の一実施形態に係るプリント配線板におけるめっきバンプの構成を説明するための断面図である。1 is a cross-sectional view for explaining a configuration of a plating bump in a printed wiring board according to an embodiment of the present invention. 本発明に係るプリント配線板の一実施形態を説明するための断面図である。1 is a cross-sectional view illustrating an embodiment of a printed wiring board according to the present invention. 本発明に係るプリント配線板の他の実施形態を説明するための断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view for explaining another embodiment of a printed wiring board according to the present invention. 本発明に係るプリント配線板の一実施形態におけるエリアを説明するための図である。FIG. 2 is a diagram for explaining areas in one embodiment of a printed wiring board according to the present invention. (a)~(d)は、それぞれ、本発明に係るプリント配線板の製造方法の一実施形態における各工程を説明するための図である。1A to 1D are diagrams illustrating steps in one embodiment of a method for producing a printed wiring board according to the present invention. 従来の複数のめっきバンプを有するプリント配線板の一例を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing an example of a conventional printed wiring board having a plurality of plated bumps. 従来の複数のめっきバンプを有するプリント配線板の一例における問題を説明するための図である。1A and 1B are diagrams for explaining a problem in an example of a conventional printed wiring board having a plurality of plated bumps.

<本発明のプリント配線板について>
本発明のプリント配線板の一実施形態が、図面を参照して説明される。なお、図1~図3に示す例において、各部材の寸法、特に高さ方向の寸法については、本発明の特徴をより良く理解できるようにするために、実際の寸法とは異なる寸法で記載している。
<About the printed wiring board of the present invention>
An embodiment of a printed wiring board of the present invention will be described with reference to the drawings. In the example shown in Figures 1 to 3, the dimensions of each component, particularly the height dimension, are shown as different from the actual dimensions in order to make it easier to understand the features of the present invention.

図1は、本発明の一実施形態に係るプリント配線板におけるめっきバンプの構成を説明するための断面図である。図1には、実施形態のプリント配線板10の一部が拡大して示されている。プリント配線板10は、コア基板(図示せず)の片面または両面に所定の回路パターンを有する導体層と樹脂絶縁層とを交互に積層してなるコア付き基板であってよい。コア基板の両面に導体層を形成する場合には、コア基板を介して対向する導体層同士は、スルーホール導体(図示せず)を介して接続されていてもよい。あるいは、プリント配線板10は、コア基板の代わりに支持板(図示せず)上で導体層と樹脂絶縁層とを交互に積層した後、支持板を除去してなるコアレス基板であってもよい。 1 is a cross-sectional view for explaining the configuration of a plated bump in a printed wiring board according to one embodiment of the present invention. FIG. 1 shows an enlarged portion of a printed wiring board 10 according to the embodiment. The printed wiring board 10 may be a cored substrate formed by alternately laminating conductor layers having a predetermined circuit pattern and resin insulating layers on one or both sides of a core substrate (not shown). When conductor layers are formed on both sides of the core substrate, the conductor layers facing each other via the core substrate may be connected via through-hole conductors (not shown). Alternatively, the printed wiring board 10 may be a coreless substrate formed by alternately laminating conductor layers and resin insulating layers on a support plate (not shown) instead of a core substrate, and then removing the support plate.

いずれにせよ、プリント配線板10は、図1に示すように、少なくとも1層の樹脂絶縁層のうち最外に配置されたものである基部絶縁層12と、基部絶縁層12上に形成された、所定の回路パターンを有する導体層14と、基部絶縁層12および導体層14上に形成されたソルダーレジスト層16とを備えている。基部絶縁層12の下層には他の複数の導体層および樹脂絶縁層が交互に設けられている場合が多いが、図では省略されている。しかし、プリント配線板10は、1層の基部絶縁層12と1層の導体層14とからなるものでもよい。 In any case, as shown in FIG. 1, the printed wiring board 10 includes a base insulating layer 12 that is the outermost of at least one resin insulating layer, a conductor layer 14 having a predetermined circuit pattern formed on the base insulating layer 12, and a solder resist layer 16 formed on the base insulating layer 12 and the conductor layer 14. In many cases, multiple other conductor layers and resin insulating layers are alternately provided below the base insulating layer 12, but these are omitted in the figure. However, the printed wiring board 10 may also be composed of one base insulating layer 12 and one conductor layer 14.

基部絶縁層12は、例えばシリカやアルミナ等の無機フィラーとエポキシ系樹脂とを含む樹脂組成物等で構成することができる。導体層14は導電性金属、例えば銅を主成分とする金属で形成される。ソルダーレジスト層16は、導体層14の一部を導体パッド14aとして露出させる開口16aを有している。開口16aのアスペクト比、つまり底部の口径に対する深さの比は0.5以下とすることができる。導体パッド14a上には下地層(図示せず)が形成されていてもよい。下地層としては、導体パッド14aの表面に形成されたニッケル層とニッケル層上に形成されたパラジウム層とパラジウム層上に形成された金層とを例示することができる。その他、ニッケル層とニッケル層上に形成された金層とを例示することができる。 The base insulating layer 12 may be made of a resin composition containing an inorganic filler such as silica or alumina and an epoxy resin. The conductor layer 14 is made of a conductive metal, for example a metal mainly composed of copper. The solder resist layer 16 has an opening 16a that exposes a part of the conductor layer 14 as a conductor pad 14a. The aspect ratio of the opening 16a, that is, the ratio of the depth to the bottom diameter, may be 0.5 or less. An underlayer (not shown) may be formed on the conductor pad 14a. Examples of the underlayer include a nickel layer formed on the surface of the conductor pad 14a, a palladium layer formed on the nickel layer, and a gold layer formed on the palladium layer. Other examples include a nickel layer and a gold layer formed on the nickel layer.

プリント配線板10はさらに、導体パッド14a上に形成されためっきバンプ20を備えている。めっきバンプ20は電源もしくはグランド線との接続あるいは信号線との接続に用いることができる。めっきバンプ20は、開口16a内に形成されたベースめっき層24と、ベースめっき層24の上面は曲率Cの凹曲面となっており、その上に形成されたトップめっき層28とを有する。ベースめっき層24上に、例えばニッケルを主成分とする中間層(図示せず)を形成することもできる。中間層の厚みは7μm以下とすることが好ましい。 The printed wiring board 10 further includes a plated bump 20 formed on the conductor pad 14a. The plated bump 20 can be used for connecting to a power source or ground line, or for connecting to a signal line. The plated bump 20 includes a base plating layer 24 formed in the opening 16a, and a top plating layer 28 formed on the base plating layer 24, the upper surface of which is a concave curved surface with a curvature C. An intermediate layer (not shown), for example, mainly composed of nickel, can also be formed on the base plating layer 24. The thickness of the intermediate layer is preferably 7 μm or less.

ベースめっき層24は、導電性金属、好ましくは銅を主成分とする金属から形成されている。ベースめっき層24はソルダーレジスト層16の表面(基部絶縁層12とは反対側の面)を超える高さまで形成する。これによりめっきバンプ20が開口16a内に安定して保持される。ソルダーレジスト層16の表面からのベースめっき層24の厚みは3μm~20μmの範囲内とすることが好ましい。トップめっき層28は、ベースめっき層24よりも融点が低くリフロー処理により溶融して図1に示すような略半球状に整形される金属、例えばスズを主成分とする金属からなる。トップめっき層28の厚み(めっきバンプ20の外周面においてトップめっき層28の下端からトップめっき層28の頂部までの垂直方向の距離)は5μm~45μmの範囲とすることが好ましい。トップめっき層28の厚みをこの範囲とすることで、めっきバンプ20と、プリント配線板10に実装される半導体チップやメモリなど電子部品の接続パッド(図示せず)との間で良好な接続信頼性が得られる。 The base plating layer 24 is formed of a conductive metal, preferably a metal mainly composed of copper. The base plating layer 24 is formed to a height exceeding the surface of the solder resist layer 16 (the surface opposite to the base insulating layer 12). This allows the plating bump 20 to be stably held within the opening 16a. The thickness of the base plating layer 24 from the surface of the solder resist layer 16 is preferably within the range of 3 μm to 20 μm. The top plating layer 28 is made of a metal, such as a metal mainly composed of tin, that has a lower melting point than the base plating layer 24 and is melted by reflow processing and shaped into an approximately hemispherical shape as shown in FIG. 1. The thickness of the top plating layer 28 (the vertical distance from the lower end of the top plating layer 28 to the top of the top plating layer 28 on the outer peripheral surface of the plating bump 20) is preferably within the range of 5 μm to 45 μm. By setting the thickness of the top plating layer 28 within this range, good connection reliability can be obtained between the plating bumps 20 and the connection pads (not shown) of electronic components such as semiconductor chips and memories mounted on the printed wiring board 10.

図2は、上述した構成のめっきバンプを有するプリント配線板の一実施形態を説明するための断面図である。本発明のプリント配線板の一実施形態の特徴は、図2に示すように、めっきバンプ20が第1バンプ20-1および第2バンプ20-2を有し、第1バンプ20-1および第2バンプ20-2はベースめっき層24の上面中央にそれぞれ曲率C1およびC2を有する凹曲面を有し、互いの曲率C1およびC2が異なり、第1バンプ20-1の径が第2バンプの径20-2と略同じ点である。また、図2に示すプリント配線板の一実施形態では、第1バンプ20-1の高さと第2バンプ20-2の高さが略同じである。 Figure 2 is a cross-sectional view for explaining one embodiment of a printed wiring board having a plated bump of the above-mentioned configuration. The feature of one embodiment of the printed wiring board of the present invention is that, as shown in Figure 2, the plated bump 20 has a first bump 20-1 and a second bump 20-2, and the first bump 20-1 and the second bump 20-2 have concave curved surfaces with curvatures C1 and C2, respectively, at the center of the upper surface of the base plating layer 24, the curvatures C1 and C2 are different from each other, and the diameter of the first bump 20-1 is approximately the same as the diameter 20-2 of the second bump. In the embodiment of the printed wiring board shown in Figure 2, the height of the first bump 20-1 and the height of the second bump 20-2 are approximately the same.

図2に示す本発明に係るプリント配線板の一実施形態では、ベースめっき層24の上面中央がそれぞれ曲率C1およびC2を有する凹曲面となっているため、リフロー後のトップめっき層28がそれぞれの凹曲面に止まることができ、第1バンプ20-1および第2バンプ20-2において、トップめっき層28がベースめっき層24の上面のみ被覆することができる。そのため、従来のプリント配線板で問題となっていた、図7に示すような、ベースめっき層の側面へのトップめっき層の垂れ下がりを防止できる。そのため、トップめっき層のSn量が減少せずバンプの高さの低下を防止することができる。その結果、顧客での実装で、実装部品のターミナルとバンプ71との間の接触不良の発生を防止することができる。なお、図2に示す本発明に係るプリント配線板の一実施形態では、第1バンプ20-1の高さと第2バンプ20-2の高さが略同じであるため、プリント配線板10に実装される半導体チップやメモリなど電子部品の接続パッド(図示せず)が同じ高さの場合に、好適に用いることができる。 In one embodiment of the printed wiring board according to the present invention shown in FIG. 2, the center of the upper surface of the base plating layer 24 is a concave curved surface having curvatures C1 and C2, respectively, so that the top plating layer 28 after reflow can stay on each concave curved surface, and in the first bump 20-1 and the second bump 20-2, the top plating layer 28 can cover only the upper surface of the base plating layer 24. Therefore, it is possible to prevent the top plating layer from sagging onto the side of the base plating layer as shown in FIG. 7, which was a problem in the conventional printed wiring board. Therefore, it is possible to prevent the amount of Sn in the top plating layer from decreasing and to prevent the height of the bump from decreasing. As a result, it is possible to prevent the occurrence of poor contact between the terminal of the mounted component and the bump 71 during mounting by the customer. In addition, in one embodiment of the printed wiring board according to the present invention shown in FIG. 2, the height of the first bump 20-1 and the height of the second bump 20-2 are approximately the same, so that it can be used preferably when the connection pads (not shown) of electronic components such as semiconductor chips and memories mounted on the printed wiring board 10 are the same height.

図3は、上述した構成のめっきバンプを有するプリント配線板の他の実施形態を説明するための断面図である。本発明のプリント配線板の他の実施形態の特徴は、図3に示すように、めっきバンプ20が第1バンプ20-1および第2バンプ20-2を有し、第1バンプ20-1および第2バンプ20-2はベースめっき層24の上面中央にそれぞれ曲率C1およびC2を有する凹曲面を有し、互いの曲率C1およびC2がC1<C2と異なり、第1バンプ20-1の径が第2バンプの径20-2と略同じ点である。また、図3に示すプリント配線板の一実施形態では、互いの曲率C1およびC2がC1<C2と異なるため、第1バンプ20-1の高さが第2バンプ20-2の高さよりHだけ高くなっている。 Figure 3 is a cross-sectional view for explaining another embodiment of a printed wiring board having the plated bumps of the above-mentioned configuration. The feature of the other embodiment of the printed wiring board of the present invention is that, as shown in Figure 3, the plated bump 20 has a first bump 20-1 and a second bump 20-2, and the first bump 20-1 and the second bump 20-2 have concave curved surfaces with curvatures C1 and C2, respectively, at the center of the upper surface of the base plating layer 24, and the curvatures C1 and C2 are different from each other, C1 < C2, and the diameter of the first bump 20-1 is approximately the same as the diameter 20-2 of the second bump. In addition, in one embodiment of the printed wiring board shown in Figure 3, since the curvatures C1 and C2 are different from each other, C1 < C2, the height of the first bump 20-1 is higher than the height of the second bump 20-2 by H.

図3に示す本発明に係るプリント配線板の一実施形態では、ベースめっき層24の上面中央がそれぞれ曲率C1およびC2を有する凹曲面となっているため、リフロー後のトップめっき層28がそれぞれの凹曲面に止まることができ、第1バンプ20-1および第2バンプ20-2においては、トップめっき層28がベースめっき層24の上面のみ被覆することができる。そのため、従来のプリント配線板で問題となっていた、図7に示すような、ベースめっき層の側面へのトップめっき層の垂れ下がりを防止できる。そのため、トップめっき層のSn量が減少せずバンプの高さの低下を防止することができる。その結果、顧客での実装で、実装部品のターミナルとバンプ71との間の接触不良の発生を防止することができる。なお、図3に示す本発明に係る他の実施形態では、第1バンプ20-1の高さが第2バンプ20-2の高さよりHだけ高くなっているため、プリント配線板10に実装される半導体チップやメモリなど電子部品の接続パッド(図示せず)がエリアごとに異なる高さの場合には、エリアごとに第1バンプ20-1および第2バンプ20-2を別個に配置することで、好適に用いることができる。 In one embodiment of the printed wiring board according to the present invention shown in FIG. 3, the center of the upper surface of the base plating layer 24 is a concave curved surface having curvatures C1 and C2, respectively, so that the top plating layer 28 after reflow can stay on each concave curved surface, and in the first bump 20-1 and the second bump 20-2, the top plating layer 28 can cover only the upper surface of the base plating layer 24. Therefore, it is possible to prevent the top plating layer from sagging onto the side of the base plating layer as shown in FIG. 7, which was a problem in conventional printed wiring boards. Therefore, it is possible to prevent the amount of Sn in the top plating layer from decreasing and to prevent the height of the bump from decreasing. As a result, it is possible to prevent the occurrence of poor contact between the terminal of the mounted component and the bump 71 during mounting by the customer. In addition, in another embodiment of the present invention shown in FIG. 3, the height of the first bump 20-1 is higher than the height of the second bump 20-2 by H, so if the connection pads (not shown) of electronic components such as semiconductor chips and memories mounted on the printed wiring board 10 have different heights in different areas, it can be preferably used by separately arranging the first bump 20-1 and the second bump 20-2 in each area.

図4は、本発明に係るプリント配線板の一実施形態におけるエリアを説明するための図である。図4に示すプリント配線板10(すべてが部品実装面)では、少なくとも、部品実装面の第1エリア10-1に含まれるバンプはすべて第1バンプ20-1からなり、第2エリア10-2に含まれるバンプはすべて第2バンプ20-2からなる。なお、ここではエリアを第1エリア10-1および第2エリア10-2の2つのエリアから構成する例を説明したが、エリアの数(バンプの種類に対応)はこれに限定されるものではない。本例の場合、第1エリア10-1の接続パッドの高さが、第2エリア10-2の接続パッドの高さよりHだけ低くなっている場合に、図3に示す本発明に係る他の実施形態のように、第1バンプ20-1の高さが第2バンプ20-2の高さよりHだけ高くなっているプリント配線板10を好適に用いることができる。 Figure 4 is a diagram for explaining the areas in one embodiment of the printed wiring board according to the present invention. In the printed wiring board 10 shown in Figure 4 (all parts are component mounting surfaces), at least the bumps included in the first area 10-1 of the component mounting surface are all first bumps 20-1, and the bumps included in the second area 10-2 are all second bumps 20-2. Note that, although an example in which the area is composed of two areas, the first area 10-1 and the second area 10-2, is described here, the number of areas (corresponding to the type of bumps) is not limited to this. In this example, when the height of the connection pads in the first area 10-1 is lower by H than the height of the connection pads in the second area 10-2, as in another embodiment according to the present invention shown in Figure 3, the printed wiring board 10 in which the height of the first bumps 20-1 is higher by H than the height of the second bumps 20-2 can be suitably used.

<本発明のプリント配線板の製造方法について>
以下、本発明に係る図1~図3に示すプリント配線板10の製造方法を、図5(a)~(d)を参照して説明する。
<Regarding the method for producing a printed wiring board according to the present invention>
A method for manufacturing the printed wiring board 10 shown in FIGS. 1 to 3 according to the present invention will now be described with reference to FIGS.

図5(a)には、公知の方法を用いて、第1バンプ10-1および第2バンプ10-2のそれぞれにおいて、基部絶縁層12上に、所定の回路パターンを有する導体層14、ソルダーレジスト層16、めっきレジスト31を形成し、めっきレジスト31の開口にベースめっき層24が形成された中間体が示されている。基部絶縁層12の下層には他の複数の導体層および樹脂絶縁層が交互に形成されている場合が多いが、図では省略されている。複数の導体層および樹脂絶縁層はコア基板上もしくは後に除去可能な支持板上で積層することができる。しかし、プリント配線板10は、基部絶縁層12としての1層の樹脂絶縁層と1層の導体層14とからなるものでもよく、この場合この樹脂絶縁層が基部絶縁層12に相当する。 Figure 5(a) shows an intermediate body in which a conductor layer 14 having a predetermined circuit pattern, a solder resist layer 16, and a plating resist 31 are formed on the base insulating layer 12 for each of the first bump 10-1 and the second bump 10-2 by a known method, and a base plating layer 24 is formed in the opening of the plating resist 31. In many cases, multiple other conductor layers and resin insulating layers are alternately formed under the base insulating layer 12, but these are omitted in the figure. Multiple conductor layers and resin insulating layers can be stacked on a core substrate or a support plate that can be removed later. However, the printed wiring board 10 may also be composed of one resin insulating layer as the base insulating layer 12 and one conductor layer 14, in which case the resin insulating layer corresponds to the base insulating layer 12.

基部絶縁層12には、シリカやアルミナ等の無機フィラーとエポキシ系樹脂とを含むビルドアップ用絶縁樹脂フィルムを用いることができる。ソルダーレジスト層16には、例えば炭酸ガスレーザまたはUV-YAGレーザ等により、導体層14の一部を導体パッド14aとして露出させる開口16aが形成される。開口16aのアスペクト比は0.5以下とするのが好ましい。導体パッド14a上には、めっきにより例えばニッケル層、パラジウム層、金層がこの順に積層されて下地層(図示せず)が形成されてもよい。ベースめっき層24は、ソルダーレジスト層16上に形成された、めっきバンプ20の形成予定部位に開口を有する所定パターンのめっきレジスト31を介して、例えば電解めっき処理を行うことで形成される。 The base insulating layer 12 may be a build-up insulating resin film containing inorganic fillers such as silica or alumina and epoxy resin. The solder resist layer 16 is formed with an opening 16a by, for example, a carbon dioxide gas laser or a UV-YAG laser, which exposes a part of the conductor layer 14 as a conductor pad 14a. The aspect ratio of the opening 16a is preferably 0.5 or less. A base layer (not shown) may be formed on the conductor pad 14a by plating, for example, a nickel layer, a palladium layer, and a gold layer stacked in this order. The base plating layer 24 is formed, for example, by electrolytic plating through a plating resist 31 of a predetermined pattern formed on the solder resist layer 16 and having an opening at the intended location for forming the plating bump 20.

次に、図5(b)に示すように、第1バンプ20-1および第2バンプ20-2のぞれぞれのベースめっき層24の上面中央に、それぞれ曲率C1およびC2を有する凹曲面を形成する。凹曲面の形成は、めっきレジスト31中のベースめっき層24の上面に対し、強撹拌めっきを行い添加剤のレベリング作用で凹曲面を形成する方法、エッチングの液撹拌の作用により凹曲面を形成する方法、などを利用することができる。また、第1バンプ20-1と第2バンプ20-2との異なる曲率は、強撹拌めっきおよびエッチングの使用条件を変えることで得ることができる。 Next, as shown in FIG. 5(b), concave surfaces having curvatures C1 and C2, respectively, are formed at the center of the upper surface of the base plating layer 24 of each of the first bump 20-1 and the second bump 20-2. The concave surfaces can be formed by a method of performing strong stirring plating on the upper surface of the base plating layer 24 in the plating resist 31 to form a concave surface by the leveling action of additives, a method of forming a concave surface by the action of stirring the etching liquid, or the like. Also, different curvatures for the first bump 20-1 and the second bump 20-2 can be obtained by changing the conditions used for strong stirring plating and etching.

凹曲面の形成の具体例として、抑制剤と促進剤を含むめっき液を用いて、該めっき液を攪拌させながら電解めっき処理をおこなう方法をとることができる。また、ソルダーレジスト層16上に形成された、めっきバンプ20の形成予定部位に開口を有する所定のパターンのめっきレジストを介して電解めっき処理をおこなうことと、電解めっき処理の後、エッチング液を攪拌しながらめっきレジストを介してエッチング処理をおこなうことと、とを含む方法をとることもできる。 As a specific example of forming a concave curved surface, a method can be used in which a plating solution containing an inhibitor and an accelerator is used and electrolytic plating is performed while stirring the plating solution. In addition, a method can be used that includes performing electrolytic plating through a plating resist of a predetermined pattern that has openings in the areas where plated bumps 20 are to be formed, which is formed on the solder resist layer 16, and performing an etching process through the plating resist after the electrolytic plating while stirring the etching solution.

次に、図5(c)に示すように、第1バンプ20-1および第2バンプ20-2において、めっきレジスト31内に、例えばスズを用いた電気めっきを施した後めっきレジスト31を除去することで、ベースめっき層24上にスズからなるトップめっき層28を形成する。その後、図5(d)に示すように、トップめっき層28をリフローすることで、第1バンプ20-1および第2バンプ20-2を得ることができる。 Next, as shown in FIG. 5(c), in the first bump 20-1 and the second bump 20-2, electroplating using, for example, tin is performed within the plating resist 31, and then the plating resist 31 is removed, thereby forming a top plating layer 28 made of tin on the base plating layer 24. Then, as shown in FIG. 5(d), the top plating layer 28 is reflowed to obtain the first bump 20-1 and the second bump 20-2.

10 プリント配線板
10-1 第1エリア
10-2 第2エリア
12 基部絶縁層
14 導体層
14a 導体パッド
16 ソルダーレジスト層
16a 開口
20 めっきバンプ
20-1 第1バンプ
20-2 第2バンプ
24 ベースめっき層
28 トップめっき層
31 めっきレジスト
REFERENCE SIGNS LIST 10 Printed wiring board 10-1 First area 10-2 Second area 12 Base insulating layer 14 Conductive layer 14a Conductive pad 16 Solder resist layer 16a Opening 20 Plated bump 20-1 First bump 20-2 Second bump 24 Base plating layer 28 Top plating layer 31 Plating resist

Claims (7)

複数のめっきバンプを有するプリント配線板であって、
基部絶縁層と、
前記基部絶縁層上に形成された導体層と、
前記基部絶縁層上および前記導体層上に形成され、かつ、前記導体層の一部を導体パッドとして露出させる開口を有するソルダーレジスト層と、
前記ソルダーレジスト層の開口内に形成されたベースめっき層と、
前記ベースめっき層上に半球状に形成されたトップめっき層と、を含むめっきバンプと、を有し、
前記めっきバンプが、少なくとも第1バンプおよび第2バンプを有し、
前記第1バンプおよび前記第2バンプは前記ベースめっき層の上面中央に凹曲面を有し、互いの曲率が異なり、
前記第1バンプの径が前記第2バンプの径と略同じである。
A printed wiring board having a plurality of plating bumps,
A base insulating layer;
a conductor layer formed on the base insulating layer;
a solder resist layer formed on the base insulating layer and the conductor layer, the solder resist layer having an opening for exposing a part of the conductor layer as a conductor pad;
a base plating layer formed in the opening of the solder resist layer;
a top plating layer formed in a hemispherical shape on the base plating layer; and
the plated bumps include at least a first bump and a second bump;
the first bump and the second bump have a concave curved surface at the center of the upper surface of the base plating layer, and have different curvatures;
The diameter of the first bump is approximately the same as the diameter of the second bump.
請求項1に記載のプリント配線板において、部品実装面の第1エリアに含まれるバンプはすべて前記第1バンプからなり、第2エリアに含まれるバンプはすべて前記第2バンプからなる。 In the printed wiring board described in claim 1, all of the bumps included in the first area of the component mounting surface are the first bumps, and all of the bumps included in the second area are the second bumps. 請求項2に記載のプリント配線板において、前記第1エリアの前記第1バンプの高さと前記第2エリアの前記第2バンプの高さとが異なる。 In the printed wiring board described in claim 2, the height of the first bump in the first area is different from the height of the second bump in the second area. 請求項1~3のいずれか1項に記載のプリント配線板において、前記第1バンプおよび前記第2バンプは、前記トップめっき層が前記ベースめっき層の上面のみ被覆する。 In the printed wiring board according to any one of claims 1 to 3, the first bump and the second bump are formed such that the top plating layer covers only the upper surface of the base plating layer. 基部絶縁層を形成することと、
前記基部絶縁層上に導体層を形成することと、
前記基部絶縁層上および前記導体層上にソルダーレジスト層を形成することと、
前記ソルダーレジスト層に、前記導体層の一部を導体パッドとして露出させる開口を形成することと、
前記開口内にベースめっき層を形成することと、
前記ベースめっき層上にトップめっき層を形成することと、
前記トップめっき層をリフローすることでめっきバンプを形成することと、を含む、複数のめっきバンプを有するプリント配線板の製造方法であって、
前記めっきバンプとして、少なくとも第1バンプおよび第2バンプを形成することと、
前記第1バンプおよび前記第2バンプでは、前記ベースめっき層を形成する際、前記ベースめっき層の上面中央に、互いの曲率が異なる凹曲面を形成することと、
前記第1バンプの径と前記第2バンプの径とが略同じとなるよう形成することと、
を含む。
forming a base insulating layer;
forming a conductor layer on the base insulating layer;
forming a solder resist layer on the base insulating layer and on the conductor layer;
forming an opening in the solder resist layer to expose a portion of the conductor layer as a conductor pad;
forming a base plating layer in the opening;
forming a top plating layer on the base plating layer;
and forming a plating bump by reflowing the top plating layer,
forming at least a first bump and a second bump as the plating bump;
When forming the base plating layer, the first bump and the second bump are provided with concave curved surfaces having different curvatures at the center of the upper surface of the base plating layer;
forming the first bump and the second bump so that their diameters are substantially the same;
Includes.
請求項5に記載のプリント配線板の製造方法において、前記互いの曲率が異なる凹曲面の形成は、抑制剤と促進剤を含むめっき液を用いて、該めっき液を攪拌させながら電解めっき処理をおこなうことを含む。 In the method for manufacturing a printed wiring board according to claim 5, the formation of the concave curved surfaces having different curvatures includes performing an electrolytic plating process using a plating solution containing a suppressor and an accelerator while stirring the plating solution. 請求項5に記載のプリント配線板の製造方法において、前記互いの曲率が異なる凹曲面の形成は、前記ソルダーレジスト層上に形成された、前記めっきバンプの形成予定部位に開口を有する所定のパターンのめっきレジストを介して電解めっき処理をおこなうことと、前記電解めっき処理の後、エッチング液を攪拌しながら前記めっきレジストを介してエッチング処理をおこなうことと、を含む。 In the method for manufacturing a printed wiring board according to claim 5, the formation of the concave curved surfaces having different curvatures includes performing an electrolytic plating process through a plating resist of a predetermined pattern formed on the solder resist layer and having openings at the locations where the plating bumps are to be formed, and performing an etching process through the plating resist while stirring an etching solution after the electrolytic plating process.
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