JP7595282B2 - 収納体移動装置と部材供給装置 - Google Patents

Description

本開示は、部材を収納した収納体を、部材を供給するための位置（供給位置）へ移動する収納体移動装置と、この収納体移動装置によって収納体が供給位置に配置されると、収納体に収納された部材を収納体から取り出して他の装置に供給する部材供給装置に関する。

従来、パターン開口が設けられたステンシルを用いて基板の表面に半田ペースト等のペーストを印刷するスクリーン印刷装置が知られている。このようなスクリーン印刷装置では通常、基板の品種が変わるとステンシルも交換される。一般的には、作業者が手作業でステンシルを交換する。一方、ステンシルを収納した収納体を筐体内で昇降自在に構成したステンシル交換部を有することにより、ステンシルを自動で交換するスクリーン印刷装置が、例えば特許文献１に開示されている。

特開平５－２９９８１２号公報

本開示による第１の収納体移動装置は、部材を供給するための供給位置へ部材を収納した収納体を移動する。この収納体移動装置は、筐体と、収納体移動機構と、第１の物体検出部と、第２の物体検出部と、安全制御部とを有する。筐体には、収納体を収納可能な内部空間と、この内部空間に対して収納体を出し入れ可能な入口とが設けられている。この内部空間の、入口から離れた位置には作業空間が設定されている。収納体移動機構は、入口近傍と作業空間との間で、搬入された収納体を移動させる。第１の物体検出部は、入口を通過する物体を検出する。第２の物体検出部は、内部空間において入口近傍から作業空間へ移動する物体を検出する。安全制御部は、収納体が入口を通過するときには第１の物体検出部による検出を無効にするとともに、第２の物体検出部が入口近傍から作業空間へ移動する物体を検出したら収納体移動機構への動力用電力の供給を停止させる。安全制御部は、収納体が入口を通過するとき以外には第２の物体検出部による検出を無効にするとともに、第１の物体検出部が入口を通過する物体を検出したら前記収納体移動機構への動力用電力の供給を停止させる。

本開示による第２の収納体移動装置もまた、部材を供給するための供給位置へ部材を収納した収納体を移動する。この収納体移動装置は、筐体と、収納体移動機構と、第１の物体検出部と、第２の物体検出部と、安全制御部とを有する。筐体には、収納体を収納可能な内部空間と、この内部空間に対して収納体を出し入れ可能な入口とが設けられている。この内部空間の、入口から離れた位置には作業空間が設定されている。収納体移動機構は、入口近傍と作業空間との間で、搬入された収納体を移動させる。第１の物体検出部は、入口を通過する物体を検出する。第２の物体検出部は、内部空間において入口近傍から作業空間へ移動する物体を検出する。安全制御部は、収納体が入口から搬入もしくは搬出可能な位置で停止しているときには第１の物体検出部による検出を無効にするとともに、第２の物体検出部が入口近傍から作業空間へ移動する物体を検出したら収納体移動機構への動力用電力の供給を停止させる。安全制御部は、収納体移動機構が作動するときには第２の物体検出部による検出を無効にするとともに、第１の物体検出部が入口を通過する物体を検出したら収納体移動機構への動力用電力の供給を停止させる。

本開示による部材供給装置は、上記いずれかの収納体移動装置と、部材移動機構とを有する。部材移動機構は、収納体移動装置によって収納体が供給位置に配置されたことを受けて、部材を収納体から取り出す。

本開示によれば、筐体の内部で収納体を昇降させる構成において、筐体に収納体を出し入れする作業者の安全を確保することができる。

本開示の実施の形態に係る部材供給装置としてのステンシル交換部を含むスクリーン印刷装置の斜視図 図１に示すスクリーン印刷装置の透視斜視図 図１に示すスクリーン印刷装置の透視側面図 図３に示すスクリーン印刷装置の印刷部の透視側面図 図４に示す印刷部の一部断面側面図 図４に示す印刷部の一部の平面図 図４に示す印刷部の一部の平面図 図１に示すスクリーン印刷装置が使用するステンシルの一例の平面図 図４に示す印刷部の一部の下面図 図５の部分拡大図 図４の部分拡大図 図２に示すスクリーン印刷装置がステンシルを印刷部に設置する過程を示す下面図 図４に示す印刷部の平面図 図４に示す印刷部の側面図 図２に示すスクリーン印刷装置が収納体より引き出したステンシルの上面に気体を吹き付けている状況を示す斜視図 図１に示すステンシル交換部の斜視図 図１６に示すステンシル交換部の透視斜視図 図１６に示すステンシル交換部が筐体の内部で移動する収納体の斜視図 図１６に示すステンシル交換部の透視側面図 図１６に示すステンシル交換部の透視斜視図 図１に示すスクリーン印刷装置の制御系統を示す機能ブロック図 図２に示すスクリーン印刷装置がステンシルをステンシル設置位置に設置する過程を示す平面図 図２２に続き、スクリーン印刷装置がステンシルをステンシル設置位置に設置する過程を示す平面図 図２３に続き、スクリーン印刷装置がステンシルをステンシル設置位置に設置する過程を示す平面図 図２４に続き、スクリーン印刷装置がステンシルをステンシル設置位置に設置する過程を示す平面図 図３に示すスクリーン印刷装置がステンシル保持部によってステンシルをステンシルガイドに固定する手順を示す側面図 図４に示す印刷部が印刷ヘッドによりスキージングを行う手順を示す側面図 図４に示す印刷部が有する下面クリーナによりステンシルの下面のクリーニングを行う手順を示す側面図 図２８に示す下面クリーナによりステンシルの下面をクリーニングしている状況を示す斜視図 図４に示す印刷部が有するスクレイパユニットによりステンシルの上面に残ったペーストを掬い取る動作の手順を示す側面図 図４に示す印刷部が有する上面クリーナと下面クリーナによりステンシルの上下両面をクリーニングする手順を示す側面図

本開示の実施の形態の説明に先立ち、本開示の着想に至った経緯を簡単に説明する。交換用のステンシルや回収されたステンシルは作業者が装置にアクセスして運搬する必要がある。しかしながら、特許文献１記載のスクリーン印刷装置では安全に対する配慮が不十分である。

本開示は、作業者の安全を確保することができる収納体移動装置と部材供給装置を提供する。

以下、図面を参照しながら本開示の実施の形態について説明する。図１、図２および図３は本開示の実施の形態に係るスクリーン印刷装置１を示している。スクリーン印刷装置１は、図２、図３に示す印刷対象物としての基板ＫＢの上面に、半田ペースト等のペーストＰｓｔを印刷する。

スクリーン印刷装置１は、印刷部２とステンシル交換部３とを有している。ステンシル交換部３は、印刷部２に隣接している。なお、以下の説明において、Ｙ軸は、ステンシル交換部３から印刷部２に向いており、Ｙ軸のマイナス側を後、プラス側を前と表現する場合がある。Ｘ軸は水平面内でＹ軸に直交する。Ｘ軸は基板ＫＢの搬送方向と逆に延びている。Ｚ軸は、下から上へ延びて、Ｘ軸、Ｙ軸に直交する。

図４、図５は印刷部２を示す。印刷部２は、図２～図４に示すように、印刷部カバー２Ｋによって覆われた基台１１と、基台１１上に配置された基板搬送保持部１２とを有している。図５に示すように、基板搬送保持部１２は、第１コンベア１２Ａと、第２コンベア１２Ｂと、第３コンベア１２Ｃと、基板保持部１２Ｄと、多段テーブル１２Ｅとを有している。第１コンベア１２Ａ、第２コンベア１２Ｂおよび第３コンベア１２Ｃはこの順でＸ軸に沿って逆向きに並んでおり、第１コンベア１２Ａ、第２コンベア１２Ｂ、第３コンベア１２Ｃの順に基板ＫＢを受け渡して搬送する。

基板保持部１２Ｄは、第２コンベア１２Ｂとともにユニットを構成している。基板保持部１２Ｄは、第２コンベア１２Ｂが第１コンベア１２Ａから受け取った基板ＫＢを第２コンベア１２Ｂから持ち上げた状態に支持し、基板ＫＢの両側をクランプして保持する。多段テーブル１２Ｅは、基台１１上に設けられており、第２コンベア１２Ｂと基板保持部１２Ｄとを含むユニットの全体を、基台１１に対して水平面内と上下とに移動させる。

図２、図３および図４に示すように、基板搬送保持部１２の上方にはステンシルガイド１３が設けられている。図６は、ステンシルガイド１３を示す平面図である。ステンシルガイド１３は、Ｘ軸ガイド部１３ｂと、一対のＹ軸ガイド部１３ａとを有している。Ｙ軸ガイド部１３ａはそれぞれ、Ｙ軸に沿って延びて、Ｘ軸に沿って対向するように平行に配置されている。Ｘ軸ガイド部１３ｂは、一対のＹ軸ガイド部１３ａのＹ軸プラス側の端部（前端部）の間で、Ｘ軸に沿って延びている。Ｙ軸ガイド部１３ａの端部は、ステンシル交換部３とは反対の側の端部である。Ｙ軸ガイド部１３ａのそれぞれの断面は、Ｌ字状である。すなわち、Ｙ軸ガイド部１３ａは、水平部１３Ｈと、水平部１３Ｈの外側に形成され、水平部１３Ｈに対して垂直な垂直部１３Ｖとを有している。一方、Ｘ軸ガイド部１３ｂは、Ｙ軸ガイド部１３ａのそれぞれの水平部１３Ｈと連接された水平部のみで構成されている。

図２、図３および図４に示すように、ステンシルガイド１３の上方にはステンシル保持部１４が配置されている。図７は、ステンシル保持部１４をステンシルガイド１３とともに示す平面図である。ステンシル保持部１４は平面視において矩形形状を有しており、一対のＹ軸辺と一対のX軸辺とを有する。図７において左右に位置するＹ軸辺は、ステンシルガイド１３の一対のＹ軸ガイド部１３ａの上方に位置する。図７において下に位置するＸ軸辺は、Ｘ軸ガイド部１３ｂの上方に位置している。ステンシルガイド１３上の所定の位置（ステンシル設置位置）には、図８に示す矩形のステンシル１５が設置される。ステンシル保持部１４は、ステンシルガイド１３とともに、ステンシル１５の四辺を挟んで押さえる。なお、ステンシル設置位置とは、図７において、ステンシルガイド１３とステンシル保持部１４との間の位置であり、ステンシルガイド１３の前端の位置である。

図８はステンシル１５の平面図である。ステンシル１５は矩形の金属板から構成されている。ステンシル１５の中央部には、基板ＫＢの表面に形成された電極パターン（図示せず）の配置に応じて、パターン開口１５Ｋが設けられている。ステンシル１５の四辺（周辺部）には、ステンシル１５を厚さ方向に貫通した複数の係合孔１５Ｈが設けられている。係合孔１５Ｈは、ステンシル１５の四辺のそれぞれに沿って並んで設けられている。

図３に示すように、ステンシルガイド１３のＹ軸ガイド部１３ａはステンシル交換部３の近傍位置まで延びている。Ｙ軸ガイド部１３ａは、ステンシル設置位置とステンシル交換部３との間で移動されるステンシル１５の移動経路となっている。図６に示すように、一対のＹ軸ガイド部１３ａの上面にはそれぞれ、段差によるガイド１３ＧがＹ軸に沿って延びている。ガイド１３Ｇは、ステンシル設置位置とステンシル交換部３との間で移動するステンシル１５の左右の側面を案内する。

図９は、ステンシル保持部１４をステンシルガイド１３とともに下から見た状態を示す平面図である。ステンシル保持部１４の下面には、複数の係合突起１４Ｔが下方に突出して設けられている。係合突起１４Ｔは、ステンシル保持部１４の形状（四辺）に沿って配置されている。ステンシル保持部１４のＹ軸に沿って並んだ係合突起１４Ｔの列はそれぞれ、Ｙ軸に沿って延びた連結部材１４Ｋによって連結されている。ステンシル保持部１４のＸ軸に沿って並んだ係合突起１４Ｔの列はそれぞれ、Ｘ軸に沿って延びた連結部材１４Ｋによって連結されている。

上述のように、ステンシル保持部１４のＹ軸に沿った二辺にはそれぞれ、Ｙ軸に沿って複数の係合突起１４Ｔが並んでいる。すなわち、これら二辺にはそれぞれ、係合突起１４Ｔの列が設けられている。またステンシル保持部１４のX軸に沿った二辺にもそれぞれ、X軸に沿って複数の係合突起１４Ｔが並んでいる。すなわち、これら二辺にもそれぞれ、係合突起１４Ｔの列が設けられている。図１０は、図５の部分拡大図である。ステンシル保持部１４のそれぞれの内部には、張力付与シリンダ（以下、シリンダ）１４Ａが設けられている。シリンダ１４Ａが、連結部材１４Ｋを水平に移動させると、係合突起１４Ｔの列は、ステンシル保持部１４の中央部から遠ざかるように移動する。具体的には、ステンシル保持部１４のＹ軸に沿って並んだ２つの係合突起１４Ｔの列は、Ｘ軸の互いに相反する方向に移動する。また、ステンシル保持部１４のＸ軸に沿って並んだ２つの係合突起１４Ｔの列は、Ｙ軸の互いに相反する方向に移動する。

図１１は、図４の一部拡大側面図である。図６、図７および図１１からわかるように、ステンシル保持部１４の上方には、２つのステンシル保持部昇降シリンダ（以下、昇降シリンダ）３１と、４つのステンシル保持部押さえシリンダ（以下、押さえシリンダ）３２とが設けられている。図１１に示すように、昇降シリンダ３１と押さえシリンダ３２はそれぞれ、ステンシルガイド１３のＹ軸ガイド部１３ａが有する垂直部１３Ｖに固定されている。図６、図７に示すように、昇降シリンダ３１はそれぞれ、ステンシル保持部１４のＹ軸に沿った辺の中央部の上方に設けられ、押さえシリンダ３２はそれぞれ、ステンシル保持部１４の四隅もしくはその近傍の上方に設けられている。

図１１に示すように、昇降シリンダ３１の出力軸である昇降ロッド３１Ｒの下端は、ステンシル保持部１４に固定されている。昇降ロッド３１Ｒは、Ｙ軸におけるステンシル保持部１４の中間位置に結合されている。２つの昇降シリンダ３１の昇降ロッド３１Ｒを同期して作動させることで、ステンシル保持部１４は、水平姿勢を維持したままステンシルガイド１３の上方で昇降する。押さえシリンダ３２のそれぞれは、出力軸である押さえロッド３２Ｒを作動させることで、ステンシル保持部１４の四隅を下方に押圧する。

ステンシル保持部１４の下面に設けられた複数の係合突起１４Ｔは、ステンシル設置位置にステンシル１５が位置した状態で、ステンシル１５に設けられた複数の係合孔１５Ｈに上方からそれぞれ嵌入する。ステンシル保持部１４は、昇降シリンダ３１と押さえシリンダ３２によって、ステンシルガイド１３に押し付けられている。このためステンシル１５は、その四辺のうちの三辺が、ステンシルガイド１３とステンシル保持部１４とによって挟まれる。

このように、ステンシル１５の三辺がステンシルガイド１３とステンシル保持部１４とによって挟まれた状態で、図１０に示すシリンダ１４Ａはそれぞれ、図１２の矢印Ｔｓで示すように、係合突起１４Ｔの列のそれぞれを、ステンシル保持部１４の中央部から遠ざかる方向に移動させる。これによりステンシル１５には、ステンシル１５を外側に引き伸ばす面内張力が与えられており、ステンシル１５は平面状態に保持されている。なお、図６、図７、図９、図１０に示すように、ステンシルガイド１３の２つのＹ軸ガイド部１３ａの水平部１３ＨとＸ軸ガイド部１３ｂのそれぞれには、溝１３Ｍが設けられている。係合突起１４Ｔはそれぞれ、溝１３Ｍ内に位置しており、図１０に示すように、ステンシルガイド１３と干渉しない。

図１３は、印刷部２の平面図である。図３、図４および図１３に示すように、ステンシル保持部１４の上方には、印刷ヘッド１６と、スクレイパユニット１７と、上面クリーナ１８と、吹付け部１９とが設けられている。図３、図４に示すように、ステンシル保持部１４の下方には、ステンシル移動機構２１と、カメラ２２と、下面クリーナ２３とが設けられている。

図１４は、図４の拡大図である。図５、図１１、図１３および図１４に示すように、印刷ヘッド１６は、スキージベース４１と、２つのスキージ４２と、昇降駆動部４３とを有している。スキージベース４１は、Ｘ軸に沿って延び、Ｙ軸に沿って移動可能である。スキージ４２はそれぞれ、スキージベース４１の下方に設けられている。昇降駆動部４３は、スキージベース４１の上面に設けられている。２つのスキージ４２は、図１３および図１４に示すように、Ｙ軸に沿って対向して配置されている。昇降駆動部４３は、２つのスキージ４２をスキージベース４１の下方にて個別に昇降させる。

図１３に示すように、スキージベース４１はＸ軸に沿って延びた形状を有している。スキージベース４１の両端部は、２つのスキージベースガイド４４によって支持されている。スキージベースガイド４４はそれぞれ、Ｙ軸に沿って延びてＸ軸に沿って対向するように平行に配置されている。スキージベースガイド４４のうちの一方の外側には、Ｙ軸に沿って延びたスキージベース移動ボール螺子（以下、螺子）４５が設けられている。すなわち、螺子４５は、スキージベースガイド４４のうちの一方の、Ｘ軸における外側に設けられている。螺子４５は、スキージベース４１に設けられたスキージベースナット（以下、ナット）４６に螺合している。螺子４５にはスキージベース駆動モータ（以下、第１モータ）４７が連結されており、第１モータ４７が作動して螺子４５が回転すると、ナット４６を介してスキージベース４１がＹ軸に沿って移動する。

スクレイパユニット１７は、ステンシル１５上のペーストＰｓｔを回収するペースト回収部として機能する。図１１、図１３および図１４に示すように、スクレイパユニット１７は、スクレイパベース５１と、スクレイパ昇降シリンダ（以下、昇降シリンダ）５２と、スクレイパ保持部５３と、スクレイパ５４とを有している。スクレイパベース５１はＸ軸に沿って延び、昇降シリンダ５２は、スクレイパベース５１に設けられている。昇降シリンダ５２は、スクレイパ保持部５３を昇降する。スクレイパ保持部５３は、スクレイパ５４を保持する。スクレイパベース５１の両端部は、スキージベース４１と同様に、２つのスキージベースガイド４４によってそれぞれ支持されている。図１１、図１４に示すように、スキージベース４１には、スクレイパユニット連結部（以下、第１連結部）４１Ｒが設けられている。スクレイパベース５１は、図１４に示すように、第１連結部４１Ｒによってスキージベース４１に連結される。スクレイパベース５１は、スキージベース４１に連結された状態で、スキージベース４１と一体となってＹ軸に沿って移動する。例えば、第１連結部４１Ｒは電磁石を有し、スクレイパベース５１は、少なくとも第１連結部４１Ｒと当接する箇所に磁性体を有していればよい。昇降シリンダ５２を作動させてスクレイパ保持部５３を昇降させると、スクレイパ５４が昇降する。

上面クリーナ１８は、スクレイパユニット１７によってペーストＰｓｔが回収された後のステンシル１５の上面をクリーニングする。上面クリーナ１８はスキージベース４１に取り付けられている。このため上面クリーナ１８は、スキージベース４１と一体となってＹ軸に沿って移動し、印刷ヘッド１６とともにステンシル設置位置に設置されたステンシル１５に対して移動する。スキージベース４１には、上面クリーナ昇降部１８Ｋが設けられている。上面クリーナ１８は、上面クリーナ昇降部１８Ｋを介してスキージベース４１に取り付けられている。上面クリーナ昇降部１８Ｋが作動することで、上面クリーナ１８は、スキージベース４１に対して昇降する。

上面クリーナ１８は、クリーニングペーパーＰＲを送出する送出ローラＲ１と、送出ローラＲ１から送出されるクリーニングペーパーＰＲを巻き取る巻取ローラＲ２とを有している。送出ローラＲ１から巻取ローラＲ２に至る位置において、クリーニングペーパーＰＲには、吸引口を下方に向けたノズル部ＮＺが上方から押し付けられてテンションが加えられている。ノズル部ＮＺの吸引口が押し付けられた部分は、ペーストＰｓｔの拭取り面として機能する。ノズル部ＮＺは、クリーニングペーパーＰＲを介して吸引口から空気を吸引し、ステンシル１５の上面に付着したペーストを吸引する。

吹付け部１９は、ペーストＰｓｔで汚れる前のステンシル１５の上面をクリーニングする使用前ステンシルクリーナとして機能する。すなわち吹付け部１９は、使用前、あるいはステンシル１５に最初のペーストＰｓｔが供給される前のステンシル１５の上面をクリーニングする。吹付け部１９は、図１５に示すように、ステンシル１５の移動経路の上方をステンシル１５の移動方向（Ｙ軸）に対して交差するＸ軸に沿って延びた管状部１９Ｐと、管状部１９Ｐの一端に繋がるバルブ部１９Ｖとを有している。管状部１９Ｐは、２つのＹ軸ガイド部１３ａにおいてステンシル保持部１４が取り付けられる位置と反対側に、２つのＹ軸ガイド部１３ａを跨ぐようにして設けられている。

図１１、図１２および図１３に示すように、吹付け部１９の下側には、Ｘ軸に沿って並んで複数の噴出孔１９Ｎが設けられている。管状部１９Ｐにはバルブ部１９Ｖを介して高圧気体が供給され、図１５に示すように、複数の噴出孔１９Ｎから下方に向かって高圧気体が噴射される。なお、使用前ステンシルクリーナとしてはステンシル１５の上面に気体を吹き付ける構成（ブロー）以外に、ステンシル１５の上面を吸引する構成、ステンシル１５の上面をブラッシングするあるいは拭き取る構成等もよい。よって、使用前ステンシルクリーナとして、上面クリーナ１８を用いることも可能である。

ステンシル移動機構２１は、ステンシル交換部３が有する後述の収納体７２とステンシル設置位置との間でステンシル１５を移動させる。詳細には、ステンシル移動機構２１は、収納体７２からステンシル１５を引き出してステンシル設置位置へ移動させ、ステンシル設置位置からステンシル１５を収納体７２に戻す。ステンシル移動機構２１は、図４、図７および図１１に示すように、移動ベース６１と、昇降アクチュエータ６２と、引出しプレート６３とを有している。移動ベース６１は、Ｘ軸に沿って延びている。昇降アクチュエータ６２は、移動ベース６１に設けられている。昇降アクチュエータ６２は、引出しプレート６３を昇降する。

図７に示すように、移動ベース６１の両端部は、２つの移動ベースガイド６４によってそれぞれ支持されている。移動ベースガイド６４は、Ｙ軸に沿って延びてＸ軸に沿って対向するように平行に配置されている。また２つの移動ベースガイド６４のうちの一方の外側（Ｘ軸における外側）には、Ｙ軸に沿って延びた移動ベース移動ボール螺子（以下、螺子）６５が設けられている。螺子６５は、移動ベース６１に設けられた移動ベースナット（以下、ナット）６６に螺合している。螺子６５には移動ベース駆動モータ（以下、第２モータ）６７が連結されており、第２モータ６７が作動して螺子６５が回転すると、ナット６６を介して移動ベース６１がＹ軸に沿って移動する。

図７、図１５に示すように、引出しプレート６３の上面には、２つのステンシル移動用係合突起６３ＴがＸ軸に沿って並んで設けられている。引出しプレート６３の上面にはまた、図７に示すように、ステンシル１５の下面を吸着するための吸着開口６３Ｋが設けられている。ステンシル移動機構２１では、移動ベース６１がＹ軸に沿って移動することによって引出しプレート６３をＹ軸に沿って移動させる。また、昇降アクチュエータ６２が引出しプレート６３を昇降させることによって、引出しプレート６３をＺ軸に沿って移動させる。

図７、図１１に示すように、カメラ２２は、ステンシル移動機構２１を構成する移動ベース６１の前端部に取り付けられている。このためカメラ２２は、ステンシル移動機構２１と一体となってＹ軸に沿って移動する。また、カメラ２２は移動ベース６１をＸ軸に沿って移動可能である。したがって、カメラ２２は、ステンシル移動機構２１によるＹ軸に沿った移動とカメラ２２自身のＸ軸に沿った移動とによってＸＹ面内を移動する。

図５、図７に示すように、カメラ２２は、下方に撮像光軸を向けた下方撮像カメラ２２Ａと、上方に撮像光軸を向けた上方撮像カメラ２２Ｂとを含む。下方撮像カメラ２２Ａは、基板ＫＢの上面に設けられた位置合わせマーク（図示せず）を上方から撮影する。上方撮像カメラ２２Ｂは、ステンシル設置位置に設置されたステンシル１５の下面に設けられた位置合わせマーク（図示せず）を下方から撮影する。

図１４に示すように、下面クリーナ２３は、図示しないクリーナガイドによって、ステンシルガイド１３の下方の領域をＹ軸に沿って移動する。下面クリーナ２３は、移動ベース連結部（以下、第２連結部）２３Ｒを有する。下面クリーナ２３は、第２連結部２３Ｒによって、図１１に示すステンシル移動機構２１の移動ベース６１と連結可能である。下面クリーナ２３は、移動ベース６１と連結された状態で、移動ベース６１と一体となってＹ軸に沿って移動する。第２連結部２３Ｒも例えば第１連結部４１Ｒと同様に構成することができる。

下面クリーナ２３は、上面クリーナ１８と同様の構成要素を有している。すなわち図１４に示すように、下面クリーナ２３は、クリーニングペーパーＰＲを送出する送出ローラＲ１と、送出ローラＲ１から送出されるクリーニングペーパーＰＲを巻き取る巻取ローラＲ２を有している。送出ローラＲ１から巻取ローラＲ２に至る位置において、クリーニングペーパーＰＲには吸引口を上方に向けたノズル部ＮＺが下方から押し付けられてテンションが加えられている。ノズル部ＮＺの吸引口が押し付けられた部分はペーストＰｓｔの拭取り面して機能する。ノズル部ＮＺは、クリーニングペーパーＰＲを介して吸引口から空気を吸引し、ステンシル１５の下面に付着したペーストを吸引する。下面クリーナ２３では、上面クリーナ１８とは異なり、ノズル部ＮＺが押し付けられたクリーニングペーパーＰＲの上面がペーストＰｓｔの拭取り面である。

下面クリーナ２３は、移動ベース６１によってＹ軸に沿って移動されないときは、図２に示すように、ステンシル設置位置の前方のクリーナ待機位置で待機している。下面クリーナ２３は、上述のクリーナガイドに設けられた下面クリーナ昇降部（図示せず）によって、ステンシルガイド１３に対して昇降する。すなわち下面クリーナ２３は、ステンシル設置位置に設置されたステンシル１５に対して昇降する。

次に、図１６、図１７を参照して、ステンシル交換部３について説明する。図１６は、ステンシル交換部３の外観を示し、図１７は、ステンシル交換部３の筐体７１の内部を示している。ステンシル交換部３は、図２、図３に示すように、印刷部２の後部（Ｙ軸マイナス側）に隣接している。図１６、図１７に示すように、ステンシル交換部３は、筐体７１と、収納体７２と、昇降機７３と、第１の物体検出部としての下側センサ７５と、第２の物体検出部としての上側センサ７６と、タッチパネル７７とを有している。筐体７１には、収納体７２を収納可能な内部空間ＳＰが設けられている。筐体７１の後面の下部には、内部空間ＳＰに対して収納体７２を出し入れ可能な入口７１Ａが設けられている。

図２、図３に示すように、筐体７１内の内部空間ＳＰのうち、入口７１Ａから上方に離れた領域は作業空間ＳＰ１となっている。作業空間ＳＰ１の下部の領域は、下部空間ＳＰ２となっている。すなわち、入口７１Ａは、筐体７１内の内部空間ＳＰの下部空間ＳＰ２にアクセス可能な位置に設けられている。

図１７に示すように、筐体７１の前面にはステンシル通過開口（以下、開口）７１Ｂが設けられている。すなわち、開口７１Ｂは、入口７１Ａよりも高い位置に設けられている。作業空間ＳＰ１は、開口７１Ｂを介して外部（筐体７１の前方）と連通している。開口７１Ｂは、ステンシル１５がＹ軸に沿って通過できる大きさを有している。

ステンシル移動機構２１は、作業空間ＳＰ１に配置された収納体７２に収納され、開口７１Ｂの高さに配置されたステンシル１５を開口７１Ｂから前方へ引き出してステンシル設置位置に設置する。またステンシル移動機構２１は、ステンシル設置位置に位置したステンシル１５を開口７１Ｂから収納体７２に収納する。詳細には、ステンシル移動機構２１は、収納体７２の棚部７２Ｓに収納されているステンシル１５を開口７１Ｂから前方へ引き出してステンシル設置位置に設置する。そして、ステンシル移動機構２１は、ステンシル設置位置に位置したステンシル１５を開口７１Ｂから収納体７２の棚部７２Ｓに戻す。このように、ステンシル交換部３は、部材であるステンシル１５を供給するための供給位置（例えば、作業空間ＳＰ１）へ、ステンシル１５を収納した収納体７２を移動する収納体移動装置として機能する。また、ステンシル移動機構２１は、この収納体移動装置によって収納体７２が供給位置に配置されたことを受けて、ステンシル１５を収納体７２から取り出す部材移動機構として機能する。これら収納体移動装置と部材移動機構は、図１５に示すように、部材供給装置７８を構成している。

図１８は、収納体７２の斜視図である。収納体７２はＹ軸に沿って前後に開口した方形筒状の形状を有しており、内部には上下に並んだ複数の棚部７２Ｓが設けられている。棚部７２Ｓにはそれぞれ、ステンシル１５が水平姿勢で載置（収納）されている。収納体７２には通常、基板ＫＢの品種に応じた複数種類のステンシル１５が収納されている。このように、収納体７２は、ステンシル１５を挿抜可能に収納している。

図１７に示すように、昇降機７３は、昇降体８１と、昇降体支持部８２と、ナット部８３と、ボール螺子８４と、昇降体昇降モータ（以下、第３モータ）８５とを有している。昇降体８１は、水平面内に拡がった形状を有し、収納体７２を支持する収納体支持部として機能する。昇降体支持部８２は、Ｘ軸に沿って延びて昇降体８１を支持する。ナット部８３は、昇降体支持部８２の一端に設けられている。ボール螺子８４は、ナット部８３に螺合して上下に延びている。第３モータ８５は、ボール螺子８４を回転する。第３モータ８５が作動するとボール螺子８４が回転する。これによりナット部８３を介して昇降体支持部８２が上下に移動する。その結果、昇降体支持部８２に連結された昇降体８１が上下に移動する。このように、昇降機７３では、収納体７２を支持する昇降体８１が、作業空間ＳＰ１と下部空間ＳＰ２にわたって昇降する。このように、昇降機７３は、筐体７１の入口７１Ａから搬入された収納体７２を、筐体７１の入口７１Ａの近傍と、入口７１Ａから離れた位置である作業空間ＳＰ１との間で移動させる収納体移動機構として機能する。

昇降体８１は、第３モータ８５の作動方向、すなわちボール螺子８４の回転方向に応じて上昇または下降する。図１９の（ａ）部に示すように、昇降体８１が筐体７１内において定められた下限位置にあるとき、作業者は、入口７１Ａから収納体７２を昇降体８１の上面に載置して収納体７２を筐体７１内にセットすることができる。また、昇降体８１が下限位置にあるとき、作業者は、昇降体８１に載置された収納体７２を入口７１Ａから取り出すことができる。このように、下限位置にある昇降体８１の上面は、筐体７１の内部に収納体７２をセットする位置である「収納体セット位置」となっている。

昇降機７３では、図１９の（ｂ）部に示すように、収納体セット位置に収納体７２がセットされた状態で昇降体８１が上昇する。すなわち昇降機７３は、ステンシル設置位置に設置させようとするステンシル１５を所定の作業高さＨｓに位置させる。以下、ステンシル設置位置に設置させようとするステンシル１５を設置対象ステンシル１５Ｐと称する。作業高さＨｓとは、ステンシル移動機構２１が開口７１Ｂを通じて収納体７２とステンシル設置位置との間で移動させることができる高さである。設置対象ステンシル１５Ｐを作業高さＨｓに位置させることで、ステンシル移動機構２１は、設置対象ステンシル１５Ｐを収納体７２とステンシル設置位置との間で移動させることができる。図１９の（ｂ）部は、設置対象ステンシル１５Ｐを作業高さＨｓに位置させた状態を示している。なお、図１９の（ｂ）部は、設置対象ステンシル１５Ｐが収納体７２の下方の棚部７２Ｓに載置されている場合に収納体７２が配置される供給位置を示している。設置対象ステンシル１５Ｐが収納体７２の上方の棚部７２Ｓに載置されている場合には、収納体７２の位置は図１９の（ｂ）部に示す位置より下になり、収納体７２は作業空間ＳＰ１と下部空間ＳＰ２とに跨った位置に配置される。このように、ステンシル移動機構２１にステンシル１５を供給するための供給位置は、収納体７２における設置対象ステンシル１５Ｐの高さ位置によって複数存在する。

下側センサ７５と上側センサ７６とはそれぞれ、例えば、光学的に物体を検出するエリアセンサを含む。図１７、図２０に示すように、下側センサ７５は、Ｘ軸に沿って互いに対向して配置された下側投光部７５Ａと下側受光部７５Ｂとから構成されている。図２０の（ｂ）部に示すように、下側投光部７５Ａは、Ｘ軸に沿って下側光Ｌ１を発し、下側受光部７５Ｂは下側光Ｌ１を受ける。このように、下側センサ７５は、ＸＺ面にほぼ平行なセーフティライトカーテン（以下、下側ライトカーテンＭ１）を形成することによって、入口７１Ａを通過する物体を検出する。一方、上側センサ７６は、図２０の（ａ）部に示すように、Ｘ軸に沿って互いに対向して配置された上側投光部７６Ａと上側受光部７６Ｂとから構成されている。上側投光部７６Ａは、Ｘ軸に沿って上側光Ｌ２を発し、上側受光部７６Ｂは上側光Ｌ２を受ける。このように、上側センサ７６は、ＸＹ面にほぼ平行なセーフティライトカーテン（以下、上側ライトカーテンＭ２）を形成することによって、内部空間ＳＰにおいて下部空間ＳＰ２から作業空間ＳＰ１へ移動する物体を検出する。下側センサ７５、上側センサ７６の検出対象である物体は、例えば、作業者の手である。

上側センサ７６は、収納体セット位置にセットされた収納体７２とステンシル移動機構２１との間に、上側ライトカーテンＭ２を形成するように設けられている。詳細には、上側ライトカーテンＭ２は、作業空間ＳＰ１と下部空間ＳＰ２を分ける高さの位置に形成される。より詳細には、収納体セット位置にセットされた収納体７２の上面よりも高く、ステンシル移動機構２１により移動されるステンシル１５の高さよりも低い位置に、上側ライトカーテンＭ２が形成される。一方、図２０の（ｂ）部に示すように、下側センサ７５は、入口７１Ａを覆う位置に下側ライトカーテンＭ１が形成されるように設けられている。

前述のように、筐体７１の内部空間ＳＰのうち、上側ライトカーテンＭ２よりも上側の空間が作業空間ＳＰ１であり、上側ライトカーテンＭ２よりも下側の空間が下部空間ＳＰ２である。収納体セット位置は下部空間ＳＰ２内にある。上側ライトカーテンＭ２を形成する検査光である上側光Ｌ２の少なくとも一部が遮られた場合には、下部空間ＳＰ２から作業空間ＳＰ１に向かって物体（具体的には作業者の手）が進入したことが検知される。また、下側ライトカーテンＭ１を形成する検査光である下側光Ｌ１の少なくとも一部が遮られた場合には、筐体７１の外部から下部空間ＳＰ２に向かって物体が進入したことが検知される。

図２１は、スクリーン印刷装置１の制御系統を示す機能ブロック図である。スクリーン印刷装置１が有する制御部９０は、基板動作制御部９１と、ステンシル動作制御部９２と、印刷制御部９３と、撮像制御部９４と、クリーナ制御部９５と、ペースト回収制御部９６と、昇降機制御部９７とを有している。基板動作制御部９１は、基板搬送保持部１２による基板ＫＢの搬送および保持の動作と、保持した基板ＫＢのステンシル１５に対する位置合わせ動作とを制御する。

ステンシル動作制御部９２は、ステンシル移動機構２１とシリンダ１４Ａとによるステンシル１５の搬送動作と設置動作とを制御する。詳細には、ステンシル動作制御部９２は、第２モータ６７による移動ベース６１のＹ軸に沿った移動動作と、昇降アクチュエータ６２による引出しプレート６３の昇降動作とを制御する。またステンシル動作制御部９２は、吸着開口６３Ｋを介したステンシル１５の下面の吸着と、シリンダ１４Ａによるステンシル設置位置に位置したステンシル１５への面内張力の付与動作とを制御する。

印刷制御部９３は、印刷ヘッド１６による印刷動作を制御する。詳細には、第１モータ４７によるスキージベース４１のＹ軸に沿った移動動作と、昇降駆動部４３によるスキージ４２の昇降動作とを制御する。

撮像制御部９４は、カメラ２２等を制御し、基板搬送保持部１２によって保持された基板ＫＢと、ステンシル設置位置に設置されたステンシル１５とを撮影させる。詳細には撮像制御部９４は、第２モータ６７による、移動ベース６１のＹ軸に沿った移動動作と、移動ベース６１に対するカメラ２２のＸ軸に沿った移動動作と、下方撮像カメラ２２Ａによる、下方撮像カメラ２２Ａの下方の領域の撮像動作とを制御する。また撮像制御部９４は、上方撮像カメラ２２Ｂによる、上方撮像カメラ２２Ｂの上方の領域の撮像動作を制御する。

クリーナ制御部９５は、吹付け部１９によるステンシル１５の上面のクリーニング動作と、上面クリーナ１８によるステンシル１５の上面のクリーニング動作と、下面クリーナ２３によるステンシル１５の下面のクリーニング動作とを制御する。

詳細には、クリーナ制御部９５は、吹付け部１９によるステンシル１５の上面のクリーニング動作では、バルブ部１９Ｖを作動させることで、管状部１９Ｐ内に高圧空気を供給し、噴出孔１９Ｎから気体を噴出させる。

上面クリーナ１８によるステンシル１５の上面のクリーニング動作では、クリーナ制御部９５は、第１モータ４７によるスキージベース４１のＹ軸に沿った移動動作と、上面クリーナ昇降部１８Ｋによる上面クリーナ１８の昇降動作とを制御する。さらにクリーナ制御部９５は、上面クリーナ１８における送出ローラＲ１と巻取ローラＲ２の動作と、ノズル部ＮＺによる空気の吸引動作とを制御する。

下面クリーナ２３によるステンシル１５の下面のクリーニング動作では、クリーナ制御部９５は、第２モータ６７による移動ベース６１のＹ軸に沿った移動動作と、第２連結部２３Ｒによる移動ベース６１への下面クリーナ２３の連結動作とを制御する。さらにクリーナ制御部９５は、下面クリーナ２３における送出ローラＲ１と巻取ローラＲ２の動作と、ノズル部ＮＺによる空気の吸引動作とを制御する。

図２１に示すように、クリーナ制御部９５は、第１クリーニング制御部９５ａと、第２クリーニング制御部９５ｂと、第３クリーニング制御部９５ｃとを有している。第１クリーニング制御部９５ａは、ステンシル設置位置に設置しようとするステンシル１５に対して行うクリーニングを制御する。第２クリーニング制御部９５ｂは、ステンシル設置位置に設置されたステンシル１５に対し、基板ＫＢに対するペーストＰｓｔの印刷作業の合間に行う通常クリーニングを制御する。また、第３クリーニング制御部９５ｃは、ステンシル設置位置に設置されたステンシル１５に対し、ステンシル移動機構２１によってステンシル１５をステンシル設置位置から収納体７２へ移動させる前に行うクリーニングを制御する。すなわち、第３クリーニング制御部９５ｃは、ステンシル１５をステンシル交換部３の収納体７２内に戻す直前に行うクリーニングを制御する。

クリーナ制御部９５は、下面クリーナ２３を少なくとも第１の動作モードと第２の動作モードのいずれかで動作させてステンシル１５の下面のクリーニングを行わせる。第２の動作モードは第１の動作モードよりもクリーニング時間が長い。具体的には、第１の動作モードよりも下面クリーナ２３をステンシル１５に対して相対的に往復させる回数が多い。クリーナ制御部９５は、収納体７２に戻される前のステンシル１５を、少なくとも第２のモードで下面クリーナ２３にクリーニングさせる。また、クリーナ制御部９５は、下面クリーナ２３にステンシル１５の下面をクリーニングさせるとき、第２の動作モードでは、第１の動作モードよりも強い吸引力でクリーニングさせる。

下面クリーナ２３は、クリーニングペーパーＰＲに洗浄用の液体を供給する図示しない液体供給部を有している。そして下面クリーナ２３は、クリーニングペーパーＰＲに液体を浸み込ませてクリーニングを行う湿式クリーニングと、クリーニングペーパーＰＲに液体を浸み込ませずにクリーニングを行う乾式クリーニングとを実行可能になっている。なお、第２の動作モードによるステンシル１５のクリーニングに湿式クリーニングを含めてもよい。

ペースト回収制御部９６は、スクレイパユニット１７によるステンシル１５の上面のクリーニング動作を制御する。詳細には、第１モータ４７によるスキージベース４１のＹ軸に沿った移動動作と、第１連結部４１Ｒによるスキージベース４１へのスクレイパベース５１の連結動作と、昇降シリンダ５２によるスクレイパ５４の昇降動作とを制御する。

昇降機制御部９７は、昇降機７３による収納体７２の昇降動作を制御する。具体的には、昇降機制御部９７は、第３モータ８５の動作を制御する。図２１に示すように、昇降機制御部９７は安全制御部９７ａを有している。

安全制御部９７ａは、下側センサ７５と上側センサ７６との各動作および昇降機７３とステンシル移動機構２１への電力供給停止を制御する。その際、安全制御部９７ａは、次に示す第１の運用モードまたは第２の運用モードに基づく。なお、これら第１の運用モードと第２の運用モードは任意に切り替えることが可能である。

第１の運用モードでは、安全制御部９７ａは、原則として、下側センサ７５を常時オンにして物体検出を有効にし、上側センサ７６を常時オフにして物体検出を無効にする。すなわち安全制御部９７ａは、下側センサ７５と上側センサ７６とを図２０の（ｂ）部に示す状態にする。そして、下側センサ７５が物体を検出した場合には、昇降機７３への動力用電力の供給を停止させるとともに、タッチパネル７７を通じて警報音を発生させて作業者に注意を喚起する。但し、入口７１Ａから収納体７２を出し入れする場合、または収納体７２からステンシル１５を出し入れする場合には上側センサ７６をオンにし、下側センサ７５をオフにする。すなわち安全制御部９７ａは、下側センサ７５と上側センサ７６とを図２０の（ａ）部に示す状態にする。このオンオフは、タッチパネル７７や印刷部２のタッチパネル（図示せず）から作業者が要求を入力した場合に切り替えられる。これ以外に例えば、収納体７２の交換作業に無人搬送システムが採用されている場合において、その無人搬送システムから収納体７２の交換要求があった場合に、このオンオフが切り替えられる。

このように安全制御部９７ａは、第１の運用モードでは、入口７１Ａから収納体７２が搬入もしくは搬出される場合には、下側センサ７５による物体検出を無効にするとともに、上側センサ７６が物体を検出したら昇降機７３への動力用電力の供給を停止させる。また安全制御部９７ａは、入口７１Ａから収納体７２が搬入もしくは搬出されるとき以外は上側センサ７６による物体検出を無効にするとともに下側センサ７５が物体を検出したら昇降機７３への動力用電力の供給を停止させる。すなわち安全制御部９７ａは、収納体７２が入口７１Ａを通過するときには、下側センサ７５による検出を無効にし、上側センサ７６が入口７１Ａから作業空間ＳＰ１へ移動する物体を検出したら昇降機７３への動力用電力の供給を停止させる。また安全制御部９７ａは、収納体７２が入口７１Ａを通過するとき以外には、上側センサ７６による検出を無効にし、下側センサ７５が入口７１Ａを通過する物体を検出したら昇降機７３への動力用電力の供給を停止させる。

一方、第２の運用モードでは、安全制御部９７ａは、現場の作業者の作業性を考慮し、収納体７２が下部空間ＳＰ２に位置していて昇降機７３が停止しているときは、常時、下側センサ７５をオフにし、上側センサ７６をオンにする。すなわち安全制御部９７ａは、図２０の（ａ）部に示す状態にする。この運用モードでは、作業者がいつでも収納体７２やステンシル１５を出し入れすることが可能である。したがって、印刷部２が作業空間ＳＰ１においてステンシル１５の出し入れを行うとき以外は、昇降機７３は下部空間ＳＰ２に収納体７２を位置させて停止し、待機する。昇降機７３が作動するときは、安全制御部９７ａは、下側センサ７５をオンにし、上側センサをオフにする。すなわち安全制御部９７ａは、下側センサ７５と上側センサ７６とを図２０の（ａ）部に示す状態にする。

このように安全制御部９７ａは、第２の運用モードでは、収納体７２が筐体７１の入口７１Ａから搬入もしくは搬出可能な位置で停止しているときは、下側センサ７５による物体検出を無効にする。また安全制御部９７ａは、上側センサ７６が入口７１Ａから作業空間ＳＰ１へ移動する物体を検出したら昇降機７３への動力用電力の供給を停止させる。昇降機７３が作動するときには、安全制御部９７ａは、上側センサ７６による物体検出を無効にするとともに下側センサ７５が入口７１Ａを通過する物体を検出したら昇降機７３への動力用電力の供給を停止させる。

「物体検出を無効にする」処理では、安全制御部９７ａは、エリアセンサが光を投光または受光しないようにしてセンシングそのものを行わないようにする。すなわち安全制御部９７ａは、下側センサ７５では下側光Ｌ１、上側センサ７６では上側光Ｌ２を投光または受光しないようにこれらのセンサの一方を制御する。あるいは、センシングは行うが、制御部９０において、センシングの結果を無視するようにしてもよい。

図２１に示すように、制御部９０にはタッチパネル７７が電気的に接続されている。タッチパネル７７は、スクリーン印刷装置１に対する入力装置および出力装置として機能する。なお、タッチパネル７７に代えて、スイッチ等の入力装置と表示パネル等の出力装置を別個に設けてもよい。

なお、制御部９０を構成する基板動作制御部９１、ステンシル動作制御部９２、印刷制御部９３、撮像制御部９４、クリーナ制御部９５、ペースト回収制御部９６、昇降機制御部９７は、それぞれＣＰＵ（中央演算処理装置）またはＬＳＩ（大規模集積回路）で構成されている。必要に応じて、メモリを含んでいてもよい。これらは専用回路で構成されていてもよく、汎用のハードウェアを、一過性または非一過性の記憶装置から読みだしたソフトウェアで制御して実現してもよい。またこれらの２つ以上を一体に構成してもよい。

次に、スクリーン印刷装置１の動作を説明する。まず、運用モードが第１の運用モードに設定されている場合を説明する。作業者は、収納体７２を筐体７１内の下部空間ＳＰ２にセットするときには、スクリーン印刷において必要となるステンシル１５を予め収納体７２に収納しておく。すなわち作業者は、必要なステンシル１５を収納体７２の棚部７２Ｓに載置する。

運用モードが第１の運用モードに設定されているので、作業者が収納体７２を収納体セット位置にセットする際、図２０の（ｂ）部に示すように、下側センサ７５はオン、上側センサ７６はオフになっている。このため作業者はまず、タッチパネル７７に対し、収納体７２を出し入れする動作を開始する旨を入力する。安全制御部９７ａは、タッチパネル７７への入力を検知したら、下側センサ７５と上側センサ７６のオンオフ状態を切り替える。すなわち安全制御部９７ａは、図２０の（ａ）部に示すように、下側センサ７５をオンからオフにし、上側センサ７６をオフからオンする。この際、安全制御部９７ａは、上側センサ７６をオフからオンに切り替えた後に、下側センサ７５をオンからオフに切り替える。下側センサ７５と上側センサ７６とのオンオフ状態が切り替えられたら、作業者は、下側センサ７５により物体検出がなされることなく、入口７１Ａから筐体７１の下部空間ＳＰ２内に収納体７２をセットすることが可能となる。

このように、作業者は、タッチパネル７７へ入力したら、図１９の（ａ）部に示すように、収納体７２を下部空間ＳＰ２にセットする。収納体７２をセットする作業の間、作業者が誤って作業空間ＳＰ１内へ手を差し入れてしまった場合には、上側センサ７６が、この動作を物体の進入として検出する。そして安全制御部９７ａは、ステンシル移動機構２１への動力用電力の供給を停止する。このため、作業者の安全が確保される。

作業者は、収納体７２を収納体セット位置にセットした後、入口７１Ａから手を抜き去ったら、タッチパネル７７に対し、収納体７２を出し入れする動作を終了する旨（セット終了の旨）を入力する。安全制御部９７ａは、タッチパネル７７への入力を検知したら、下側センサ７５と上側センサ７６のオンオフ状態を切り替える。すなわち安全制御部９７ａは、図２０の（ｂ）部に示すように、下側センサ７５をオフからオンにし、上側センサ７６をオンからオフにする。この際、安全制御部９７ａは、下側センサ７５をオフからオンに切り替えた後に、上側センサ７６をオンからオフに切り替える。作業者がセット終了の旨をタッチパネル７７に入力した後、作業者が誤って入口７１Ａに手を差し入れてしまった場合、下側センサ７５がこの動作を物体の進入として検出する。そして安全制御部９７ａは、昇降機７３への動力両電力の供給を停止する。このため、作業者の安全が確保される。

作業者がタッチパネル７７にセット終了の旨を入力し、入口７１Ａにおける物体検出が有効になったら、昇降機制御部９７は、昇降機７３を作動させて収納体７２を持ち上げる。そして昇降機制御部９７は、図１９の（ｂ）部に示すように、設置対象ステンシル１５Ｐを作業高さＨｓに配置する。このとき上側センサ７６はオフであるので、収納体７２が下部空間ＳＰ２から作業空間ＳＰ１に移動しても、上側センサ７６により物体検出がされることなく、ステンシル移動機構２１の動作は規制されない。

設置対象ステンシル１５Ｐの高さが作業高さＨｓになると、制御部９０は、ステンシル移動機構２１を制御して、設置対象ステンシル１５Ｐをステンシル設置位置へと搬送する。具体的には、制御部９０はまず、ステンシル動作制御部９２によって第２モータ６７を作動させる。移動ベース６１に取り付けられた引出しプレート６３の上面には、Ｘ軸に沿って並んで２つのステンシル移動用係合突起６３Ｔが設けられ、収納体７２内の設置対象ステンシル１５Ｐの前縁には、複数の係合孔１５Ｈが設けられている。ステンシル動作制御部９２は、移動ベース６１をステンシル交換部３に向かって移動させて、ステンシル移動用係合突起６３Ｔをそれぞれ、対応する係合孔１５Ｈの下方に配置する。

ステンシル移動用係合突起６３Ｔが係合孔１５Ｈの下方に配置されると、図２２に示すように、制御部９０は、昇降アクチュエータ６２を作動させて、ステンシル移動用係合突起６３Ｔをそれぞれ対応する係合孔１５Ｈに下方から係合させる。そして、制御部９０は、吸着開口６３Ｋでステンシル１５の下面を吸着し、第２モータ６７を作動させて、移動ベース６１をステンシル設置位置へ向かって移動させる。これによりステンシル１５は移動ベース６１とともに前方へ移動する。このときステンシル１５（設置対象ステンシル１５Ｐ）の左右の両辺は、図１５に示すように、一対のＹ軸ガイド部１３ａのガイド１３Ｇによって案内されるので、まっすぐに前方へ引き出される。

このようにしてステンシル１５がステンシル移動機構２１によって収納体７２から引き出されたら、制御部９０は昇降機制御部９７により昇降機７３を制御して、図１９の（ａ）部に示すように、昇降体８１を下限位置まで降ろす。作業者は、昇降体８１が下限位置まで降りたことを確認したら、タッチパネル７７に対し、収納体７２の出し入れを開始する旨を入力する。安全制御部９７ａは、タッチパネル７７への入力を検知したら、下側センサ７５と上側センサ７６のオンオフ状態を切り替える。すなわち安全制御部９７ａは、図２０の（ａ）部に示すように、下側センサ７５をオンからオフにし、上側センサ７６をオフからオンする。この際、安全制御部９７ａは、上側センサ７６をオフからオンに切り替えた後に、下側センサ７５をオンからオフに切り替える。下側センサ７５と上側センサ７６とのオンオフ状態が切り替えられたら、作業者は、下側センサ７５により物体検出がなされることなく、入口７１Ａから筐体７１の下部空間ＳＰ２から収納体７２を取り出しあるいは交換することが可能となる。

このように、作業者は、タッチパネル７７へ入力したら、収納体７２を下部空間ＳＰ２から取り出す。この作業の間、作業者が誤って作業空間ＳＰ１内へ手を差し入れてしまった場合には、上側センサ７６が、この動作を物体の進入として検出する。そして安全制御部９７ａは、ステンシル移動機構２１への動力用電力の供給を停止する。このため、作業者の安全が確保される。

上記のようにしてステンシル１５が前方へ向けて引き出される過程において、クリーナ制御部９５は、第１クリーニング制御部９５ａにより吹付け部１９を制御させて、ステンシル１５の上面をクリーニングする。具体的には、第１クリーニング制御部９５ａは、吹付け部１９を構成するバルブ部１９Ｖを制御して、図１５に示すように、管状部１９Ｐの噴出孔１９Ｎから高圧気体ＧＳを噴射させる。

第１クリーニング制御部９５ａは、吹付け部１９を制御して、高圧気体ＧＳの噴射領域をステンシル１５が通過し始めてから通過し終わるまでの間、高圧気体ＧＳを連続して噴射させる。吹付け部１９の管状部１９Ｐは、ステンシル１５の移動経路（ステンシル設置位置と収納体７２との間）の上方で、ステンシル１５の移動方向に対して交差するように横に延びている。吹付け部１９は、管状部１９Ｐの噴出孔１９Ｎから、ステンシル移動機構２１によって移動するステンシル１５をクリーニングする。これによりステンシル１５の上面に付着しているごみや埃等の異物が高圧気体ＧＳによって吹き飛ばされて除去される。

このように、吹付け部１９は、ステンシル移動機構２１がステンシル１５を収納体７２から引き出してステンシル設置位置へ移動させる間にステンシル１５の上面に気体（高圧気体ＧＳ）を吹き付ける。すなわち、スクリーン印刷装置１は、ペーストＰｓｔで汚れる前のステンシル１５をクリーニングする使用前ステンシルクリーナとしての吹付け部１９を有している。吹付け部１９は、ステンシル１５の上面に気体を吹き付けてクリーニングするので、収納体７２から引き出されたステンシル１５の上面にごみや埃等の異物が付着していてもガスが異物を吹き飛ばして除去する。このため、収納体７２内のステンシル１５の上面にごみや埃等の異物が付着していても印刷の品質が低下することを防止できる。

制御部９０は、移動ベース６１を前方へ移動させて収納体７２内のステンシル１５を前方へ引き出し、図２３に示すように、移動ベース６１が所定の停止位置に達したら、移動ベース６１を停止させる。移動ベース６１が停止位置に停止したときには、ステンシル１５はまだ、ステンシル設置位置には到達していない。制御部９０は、移動ベース６１を停止位置に停止させたら、吸着開口６３Ｋによるステンシル１５の吸着を解除する。そして制御部９０は、昇降アクチュエータ６２を作動させて引出しプレート６３を下降させ、ステンシル移動用係合突起６３Ｔを係合孔１５Ｈから離脱させる。

ステンシル移動用係合突起６３Ｔが係合孔１５Ｈから離脱したら、制御部９０は、ステンシル１５をその位置に維持したまま、移動ベース６１を停止位置から後方へ移動させる。そして制御部９０は、ステンシル移動用係合突起６３Ｔが、ステンシル１５の後縁の係合孔１５Ｈの下方に位置する位置に、引出しプレート６３を位置決めする。制御部９０は、引出しプレート６３を位置決めしたら、昇降アクチュエータ６２を作動させて、図２４に示すように、ステンシル移動用係合突起６３Ｔを係合孔１５Ｈに下方から係合させる。

制御部９０は、ステンシル移動用係合突起６３Ｔが係合孔１５Ｈに係合したら、吸着開口６３Ｋからステンシル１５の下面を吸着し、第２モータ６７を作動させて、移動ベース６１を前方へ移動させる。これによりステンシル１５は移動ベース６１とともに前方へ移動する。そして図２５および図２６の（ａ）部に示すように、ステンシル１５がステンシル設置位置に達したら、制御部９０は、移動ベース６１を停止させる。

制御部９０は、上記のようにしてステンシル１５をステンシル設置位置に配置すると、吸着開口６３Ｋによるステンシル１５の吸着を解除し、引出しプレート６３を下降させる。これによりステンシル移動用係合突起６３Ｔが係合孔１５Ｈから下方に離脱する。その後、制御部９０は、第２モータ６７を作動させて、移動ベース６１を後方へ移動させる。

移動ベース６１が後方へ移動すると、制御部９０は、２つの昇降シリンダ３１を作動させて、図２６の（ｂ）部に示すように、ステンシル保持部１４を下降させる。そして制御部９０は、ステンシル保持部１４の下面に設けられた複数の係合突起１４Ｔを、ステンシル１５に形成された複数の係合孔１５Ｈに上方から嵌入させる。

係合突起１４Ｔがそれぞれ、対応する係合孔１５Ｈに上方から嵌入したら、制御部９０は、４つの押さえシリンダ３２のそれぞれの押さえロッド３２Ｒを作動させて、図２６の（ｃ）部に示すように、ステンシル保持部１４の四隅を下方に押圧する。これにより押さえシリンダ３２は、ステンシル保持部１４を介して、ステンシル１５をステンシルガイド１３の上面に押し付ける。

ステンシル１５がステンシルガイド１３の上面に押し付けられたら、制御部９０は、図１０に示すシリンダ１４Ａを作動させる。これにより、Ｙ軸に沿った係合突起１４Ｔの２つの列とＸ軸に沿った係合突起１４Ｔの２つの列がそれぞれ、ステンシル保持部１４の中央部から遠ざかる方向に移動する。この結果、図２６の（ｄ）部および図１２の矢印Ｔｓで示すように、ステンシル１５には面内張力が与えられ、ステンシル１５はステンシル設置位置に設置される。

ステンシル１５がステンシル設置位置に設置されると、制御部９０は、図５に示す第１コンベア１２Ａを制御して外部から基板ＫＢを搬入させ、基板ＫＢを第２コンベア１２Ｂに受け渡させる。第２コンベア１２Ｂが基板ＫＢを受け取ったら、制御部９０は、基板保持部１２Ｄを制御して基板ＫＢを保持させる。

基板ＫＢが保持されると、制御部９０は、図７に示す第２モータ６７を作動させて移動ベース６１をＹ軸に沿って移動させるとともに、カメラ２２を移動ベース６１上でＸ軸に沿って移動させる。これによって制御部９０は、カメラ２２を基板ＫＢとステンシル１５との間に配置する。そして制御部９０は、下方撮像カメラ２２Ａによって基板ＫＢの上面に設けられた位置合わせマークを撮像させ、上方撮像カメラ２２Ｂによってステンシル１５の下面に設けられた位置合わせマークを撮像させる。これらのマークの位置に基づき、制御部９０は、基板ＫＢとステンシル１５の間の位置ずれを把握する。

制御部９０は、基板ＫＢとステンシル１５の間の位置ずれを把握したら、図５に示す多段テーブル１２Ｅを作動させる。これによって制御部９０は、その位置ずれがなくなるように基板保持部１２Ｄを水平面内で移動させる。すなわち制御部９０は、基板ＫＢの位置合わせマークとステンシル１５の位置合わせマークとが平面視において一致するように、基板ＫＢをステンシル１５に対して位置合わせする。基板ＫＢがステンシル１５に対して位置合わせされると、制御部９０は、多段テーブル１２Ｅを作動させて、基板保持部１２Ｄを上昇させる。

基板保持部１２Ｄを上昇させることによって基板ＫＢの上面がステンシル１５の下面に接触したら、制御部９０は、印刷ヘッド１６によりスキージングを行う。印刷ヘッド１６によるスキージングでは、まず、図示しないペースト供給部が、図２７の（ａ）部に示すように、ステンシル１５の上面にペーストＰｓｔを供給する。あるいは後述するようにスクレイパユニット１７が、掬い取ったペーストＰｓｔをステンシル１５の上面に下す。そして制御部９０は、図２７の（ｂ）部に示すように、印刷ヘッド１６が有するスキージ４２のうちの一方をスキージベース４１の下方に下降させる。スキージ４２の一方の下端がステンシル１５の上面に当接すると、制御部９０は、スキージ４２をＹ軸に沿って移動させる。

具体的には制御部９０は、第１モータ４７を作動させて、スキージベース４１をＹ軸に沿って移動させることによって、図２７の（ｃ）部の矢印Ｆで示すように、スキージ４２をＹ軸に沿って移動させる。スキージングによりスキージ４２はステンシル１５上を摺動し、ステンシル１５上のペーストＰｓｔをＹ軸に沿って掻き寄せる。その結果、ペーストＰｓｔはステンシル１５に設けられたパターン開口１５Ｋを通じて基板ＫＢの上面の電極パターンに塗布される。

上記のようにして基板ＫＢにペーストＰｓｔが塗布されると、制御部９０は、多段テーブル１２Ｅを作動させることによって、基板ＫＢをステンシル１５から下方に分離させて基板ＫＢを版離れさせる。基板ＫＢが版離れしたら、制御部９０は、第２コンベア１２Ｂを作動させて基板ＫＢを第３コンベア１２Ｃに受け渡す。第３コンベア１２Ｃは受け取った基板ＫＢを外部に搬出する。これにより基板ＫＢの１枚当たりの印刷作業が終了する。

次に、ステンシル１５をクリーニングする動作について説明する。クリーナ制御部９５は、基板ＫＢに対するペーストＰｓｔの印刷作業の合間に、ステンシル１５の表面（下面）のクリーニング（通常クリーニング）を行う。具体的には、第２クリーニング制御部９５ｂが下面クリーナ２３を制御して通常クリーニングを行わせる。ステンシル１５の下面のクリーニングを開始するとき、下面クリーナ２３は、図４に示すようにステンシル設置位置の前方のクリーナ待機位置に配置されている。クリーナ制御部９５は、まず、図７に示す第２モータ６７を作動させることによって移動ベース６１をＹ軸に沿って移動させ、移動ベース６１を下面クリーナ２３に近づける。そして、クリーナ制御部９５は、図１４に示す第２連結部２３Ｒを作動させることによって、下面クリーナ２３を移動ベース６１に連結させる。

下面クリーナ２３が移動ベース６１に連結すると、クリーナ制御部９５は、移動ベース６１をＹ軸に沿って移動させて、下面クリーナ２３のノズル部ＮＺをステンシル１５の下方に位置させる。そしてクリーナ制御部９５は、前述の図示しない下面クリーナ昇降部を作動させることによって、クリーニングペーパーＰＲを介して下面クリーナ２３のノズル部ＮＺをステンシル１５の下面に当接させる。

クリーニングペーパーＰＲを介して下面クリーナ２３のノズル部ＮＺがステンシル１５の下面に当接すると、クリーナ制御部９５は、ノズル部ＮＺが空気を吸引するように制御しつつ、移動ベース６１をＹ軸に沿って往復移動させる。具体的にはクリーナ制御部９５は、図２８の（ａ）部および図２９に示すように、移動ベース６１をＹ軸に沿って後方に移動させた後、図２８の（ｂ）部に示すように、移動ベース６１をＹ軸に沿って前方に移動させる。これにより、ステンシル１５のパターン開口１５Ｋを通ってステンシル１５の裏面に付着したペーストＰｓｔがクリーニングペーパーＰＲによって拭き取られ、ステンシル１５の裏面から除去される。通常クリーニングでは、このようなステンシル１５の下面のクリーニングが、基板ＫＢに対するペーストＰｓｔの印刷作業の合間に行われる。詳細には、ステンシル設置位置に設置したステンシル１５に対し、ノズル部ＮＺが、Ｙ軸に沿って１回あるいは２回程度往復する。

このように下面クリーナ２３は、クリーニングペーパーＰＲをステンシル１５の表面（下面）に接触させて相対的に往復移動することでステンシル１５の表面（下面）に付着したペーストＰｓｔを拭き取る。

クリーナ制御部９５は、上記の要領で通常クリーニングを行う。これ以外に、クリーナ制御部９５は、印刷すべき全ての基板ＫＢに対してペーストＰｓｔのスキージングを実行した後には、ステンシル設置位置に設置しているステンシル１５に対し、収納前クリーニングを実行する。具体的には、収納前クリーニングでは、第３クリーニング制御部９５ｃが下面クリーナ２３を制御して、ステンシル１５を念入りにクリーニングさせるとともに、上面クリーナ１８を制御して、ステンシル１５の上面をクリーニングさせる。

クリーナ制御部９５は、収納前クリーニングを行うときは、まず、スクレイパユニット１７によって、ステンシル１５の上面に残っているペーストＰｓｔを掬い取る。ペーストＰｓｔを掬い取るときには、クリーナ制御部９５は、図１３に示す第１モータ４７を作動させることによってスキージベース４１をＹ軸に沿って移動させ、スキージベース４１をスクレイパユニット１７に近づける。そしてクリーナ制御部９５は、スキージベース４１に設けられた第１連結部４１Ｒを作動させることによって、スクレイパユニット１７をスキージベース４１に連結させる。

スクレイパユニット１７がスキージベース４１に連結すると、ペースト回収制御部９６が、ステンシル１５上のペーストＰｓｔを回収する。具体的にはペースト回収制御部９６は、スキージベース４１のＹ軸に沿った移動動作と、昇降シリンダ５２によるスクレイパ５４のＺ軸に沿った移動動作とを連動させる。これによってペースト回収制御部９６は、ステンシル１５上のペーストＰｓｔをスクレイパ５４に掬い取らせる。具体的には、ペースト回収制御部９６はまず、昇降シリンダ５２を作動させて、図３０の（ａ）部の矢印Ｄ１で示すように、スクレイパ５４の先端部をステンシル１５の上面に当接させる。このときスクレイパ５４の先端部を、ペーストＰｓｔの近傍に位置させる。なお、ペーストＰｓｔの位置は、直前のスキージングにおいてスキージ４２を停止させた位置から認識することができる。

スクレイパ５４の先端部がステンシル１５の上面に当接すると、ペースト回収制御部９６は、図３０の（ｂ）部の矢印Ｄ２で示すように、スクレイパ５４がステンシル１５上のペーストＰｓｔの下に入り込むようにスキージベース４１をＹ軸に沿って移動させる。スクレイパ５４がペーストＰｓｔの下に入り込んだら、ペースト回収制御部９６は、昇降シリンダ５２を作動させて、図３０の（ｃ）部の矢印Ｄ３で示すように、スクレイパ５４を上昇させる。これによりステンシル１５上のペーストＰｓｔは、スクレイパ５４によって掬い取られる。

ペースト回収制御部９６がスクレイパユニット１７を作動させてペーストＰｓｔを回収すると、クリーナ制御部９５は、ペーストＰｓｔが回収された後のステンシル１５の上面をクリーニングするとともに、ステンシル１５の下面をクリーニングする。具体的には、上面クリーナ１８がステンシル１５の上面をクリーニングし、下面クリーナ２３がステンシル１５の下面をクリーニングする。クリーナ制御部９５は、まず、図３１の（ａ）部に示す上面クリーナ昇降部１８Ｋを作動させて、クリーニングペーパーＰＲを介して上面クリーナ１８のノズル部ＮＺをステンシル１５の上面に当接させる。

上面クリーナ１８のノズル部ＮＺがクリーニングペーパーＰＲを介してステンシル１５の上面に当接すると、クリーナ制御部９５は、ノズル部ＮＺが空気を吸引するように制御する。またクリーナ制御部９５は、図３１の（ａ）部、（ｂ）部に示す状態を繰り返し、スキージベース４１をＹ軸に沿って往復移動させる。これによりステンシル１５の上面に付着したペーストＰｓｔはクリーニングペーパーＰＲによって拭き取られ、ステンシル１５の上面から除去される。一方、ステンシル１５の下面のクリーニング手順は、前述の通常クリーニングの場合と同様である。

このように、スクリーン印刷装置１は、ステンシル１５上のペーストＰｓｔを回収するペースト回収部としてのスクレイパユニット１７を有している。上面クリーナ１８は、スクレイパユニット１７によってステンシル１５の上面に残っているペーストＰｓｔが掬い取られた後、ステンシル１５の上面をクリーニングする。また、上面クリーナ１８は、クリーニングペーパーＰＲをステンシル１５の表面（上面）に接触させながら、ステンシル１５に対して相対的に往復移動することでステンシル１５の表面（上面）に付着したペーストＰｓｔを拭き取る。

このようにスクリーン印刷装置１では、ペースト回収部としてのスクレイパユニット１７によって、ステンシル１５上のペーストＰｓｔを回収する。そして、上面クリーナ１８が、スクレイパユニット１７によってペーストＰｓｔが回収された後のステンシル１５の上面をクリーニングする。そのため、使用済みのステンシル１５を再使用可能な状態で回収することができる。

上述の収納前クリーニングでは、クリーナ制御部９５は、ステンシル１５の下面のクリーニングを、通常クリーニングのときよりも念入りに行う。すなわち、クリーナ制御部９５は、下面クリーナ２３を、通常クリーニングでは、第１の動作モードで、収納前クリーニングでは第２の動作モードで動作させる。具体的には、下面クリーナ２３のステンシル１５に対する往復回数を８～１０往復とするなど、通常クリーニングのときよりもステンシル１５に対する往復回数を多くする。これにより往復移動の総時間、すなわちペーストＰｓｔの拭取り時間も長くなる。このようにスクリーン印刷装置１では、収納体７２に戻される前のステンシル１５に対しては少なくとも通常よりも長い時間をかけてクリーニングすれば、使用済みのステンシル１５をより再使用しやすいな状態で回収することができる。

上面クリーナ１８によるステンシル１５の上面のクリーニングは、下面クリーナ２３によるステンシル１５の下面のクリーニングとは独立して行うことが可能である。しかしながら、上面クリーナ１８によるステンシル１５の上面のクリーニングを、下面クリーナ２３によるステンシル１５の下面のクリーニングと同期させて行うことが、クリーニングに要する時間短縮の観点から好ましい。この場合、図３１に示すように、上面クリーナ１８のノズル部ＮＺと下面クリーナ２３のノズル部ＮＺとによってステンシル１５を上下から挟み、ステンシル１５の上下両面に付着したペーストＰｓｔを上下のクリーナによって同時に拭き取ることが好ましい。

前述のように、クリーナ制御部９５は、下面クリーナ２３を少なくとも第１の動作モードと第２の動作モードのいずれかで動作させてステンシル１５の下面のクリーニングを行わせる。収納体７２に戻される前のステンシル１５に対して、クリーナ制御部９５は、下面クリーナ２３に、少なくとも第２のモードでクリーニングを行わせる。なお、通常クリーニングにおいても念入りに（すなわち第２の動作モード）でステンシル１５の下面をクリーニングしても構わない。但し、スクリーン印刷装置１におけるタクトを考慮すると、通常クリーニングのときは作業時間の短い第１の動作モードでクリーニングを実行することが好ましい。

制御部９０は、クリーナ制御部９５において、上記の要領によりステンシル１５の収納前クリーニングを行うと、ステンシル１５をステンシル交換部３に収納する。ステンシル１５をステンシル交換部３に収納する手順は、ステンシル１５をステンシル交換部３から引き出してステンシル設置位置に設置する手順と逆の手順である。ステンシル１５をステンシル交換部３に収納するときには、制御部９０は、昇降機７３の昇降体８１を下限位置から上昇させ、ステンシル１５を戻そうとする収納体７２の棚部７２Ｓを作業高さＨｓに配置する。

次に、ステンシル交換部３が第２の運用モードに設定されている場合について説明する。この場合には、作業者が収納体７２を収納体セット位置にセットする際、図２０の（ａ）部に示すように、下側センサ７５はオフ、上側センサ７６はオンになっている。そのため作業者は、タッチパネル７７から特別な入力操作を行うことなく、入口７１Ａから下部空間ＳＰ２内に収納体７２をセットすることができる。収納体７２をセットする作業の間、作業者が誤って作業空間ＳＰ１内へ手を差し入れてしまった場合には、上側センサ７６がこの動作を物体の進入として検出する。そして、安全制御部９７ａが、ステンシル移動機構２１への動力用電力の供給を停止するので、作業者の安全が確保される。

作業者は、収納体７２を下部空間ＳＰ２内にセットすえると、タッチパネル７７に対し、収納体７２の出し入れが終了した旨を入力する。安全制御部９７ａは、タッチパネル７７への入力を検知すると、下側センサ７５と上側センサ７６のオンオフ状態を切り替える。すなわち安全制御部９７ａは、図２０の（ｂ）部に示すように、下側センサ７５をオフからオンにし、上側センサ７６をオンからオフにする。そして、昇降機制御部９７は昇降機７３を作動させて、図１９の（ｂ）部に示すように、収納体７２を作業高さＨｓまで上昇させる。

収納体７２が作業高さＨｓまで上昇され、ステンシル移動機構２１によってステンシル１５が収納体７２に収納されたら、昇降機制御部９７は、図１９の（ａ）部に示すように、昇降体８１を（すなわち収納体７２を）下限位置まで降ろす。昇降機７３が収納体７２を昇降させている間、作業者が誤って入口７１Ａに手を差し入れてしまった場合には、下側センサ７５がこの動作を物体の進入を検出し、安全制御部９７ａが昇降機７３への動力両電力の供給を停止するので、作業者の安全が確保される。

安全制御部９７ａは、昇降体８１を下限位置まで降ろしたら、下側センサ７５と上側センサ７６のオンオフ状態を切り替える。そなわち、安全制御部９７ａは、図２０の（ａ）部に示すように、下側センサ７５をオンからオフにし、上側センサ７６をオフからオンにする。下側センサ７５と上側センサ７６のオンオフ状態が切り替えられたら、作業者は、下側センサ７５により物体検出がされることなく、入口７１Ａから筐体７１の下部空間ＳＰ２から収納体７２を取り出しあるいは交換することが可能となる。

このように、第１の運用モードと第２の運用モードのいずれにおいても、作業者が筐体７１の入口７１Ａから収納体７２を出し入れ（搬入もしくは搬出）する場面では、作業者が作業空間ＳＰ１内に手を差し入れた際に昇降機７３への動力用電力の供給が停止される。一方、昇降機７３が筐体７１内で収納体７２を昇降させる場面では、作業者が入口７１Ａから手を差し入れた際に昇降機７３への動力用電力の供給が停止される。そのため作業者の安全が確保される。これら作業者の手の差し入れを検出するセンサのオンオフは、タッチパネル７７から作業者自身が作業の状況を入力することにより切り替えられる。このように、筐体７１の内部で収納体７２を昇降させる構成において、作業者が稼動状態にある機構に手を触れてしまうことが防止され、筐体７１への収納体７２の出し入れをする作業者の安全を確保することができる。

これまで本開示の実施の形態について説明してきたが、本開示は上述したものに限定されず、種々の変形等が可能である。例えば、筐体７１の内部にセットされた収納体７２を昇降させて収納体７２内のステンシル１５を所定の作業高さに位置させる昇降機７３の構成は上述したものに限定されず、他の構成を有していてもよい。また、収納体７２からステンシル１５を引き出してステンシル設置位置へ移動させ、ステンシル設置位置に位置したステンシル１５を移動させて収納体７２に戻すステンシル移動機構２１は、必ずしも上述した構成でなくてもよい。また、本実施の形態では、ステンシル１５を部材として印刷部に供給しているが、これに限定されない。例えば、やすりを部材として研磨機に供給する構成に適用してもよい。すなわち、本開示は、部材を交換する必要が生じる装置に適用可能である。また、収納体移動装置であるステンシル交換部３は、縦型であり、入口７１Ａの近傍の下部空間ＳＰ１の上方に作業空間ＳＰ１が設けられている。しかしながら入口と作業空間の配置は縦に限定されない。部材に応じて横配置でもよい。

本開示によれば、収納体移動装置および部材供給装置において作業現場等における作業者の安全を確保することができる。そのため、部材を供給あるいは交換する装置において有用である。

１ スクリーン印刷装置
２ 印刷部
２Ｋ 印刷部カバー
３ ステンシル交換部
１１ 基台
１２ 基板搬送保持部
１２Ａ 第１コンベア
１２Ｂ 第２コンベア
１２Ｃ 第３コンベア
１２Ｄ 基板保持部
１２Ｅ 多段テーブル
１３ ステンシルガイド
１３ａ Ｙ軸ガイド部
１３ｂ Ｘ軸ガイド部
１３Ｇ ガイド
１３Ｈ 水平部
１３Ｍ 溝
１３Ｖ 垂直部
１４ ステンシル保持部
１４Ａ 張力付与シリンダ（シリンダ）
１４Ｋ 連結部材
１４Ｔ 係合突起
１５ ステンシル
１５Ｈ 係合孔
１５Ｋ パターン開口
１５Ｐ 設置対象ステンシル
１６ 印刷ヘッド
１７ スクレイパユニット
１８ 上面クリーナ
１８Ｋ 上面クリーナ昇降部
１９ 吹付け部
１９Ｎ 噴出孔
１９Ｐ 管状部
１９Ｖ バルブ部
２１ ステンシル移動機構
２２ カメラ
２２Ａ 下方撮像カメラ
２２Ｂ 上方撮像カメラ
２３ 下面クリーナ
２３Ｒ 移動ベース連結部（第２連結部）
３１ ステンシル保持部昇降シリンダ（昇降シリンダ）
３１Ｒ 昇降ロッド
３２ ステンシル保持部押さえシリンダ（押さえシリンダ）
３２Ｒ 押さえロッド
４１ スキージベース
４１Ｒ スクレイパユニット連結部（第１連結部）
４２ スキージ
４３ 昇降駆動部
４４ スキージベースガイド
４５ スキージベース移動ボール螺子（螺子）
４６ スキージベースナット（ナット）
４７ スキージベース駆動モータ（第１モータ）
５１ スクレイパベース
５２ スクレイパ昇降シリンダ（昇降シリンダ）
５３ スクレイパ保持部
５４ スクレイパ
６１ 移動ベース
６２ 昇降アクチュエータ
６３ 引出しプレート
６３Ｋ 吸着開口
６３Ｔ ステンシル移動用係合突起
６４ 移動ベースガイド
６５ 移動ベース移動ボール螺子（螺子）
６６ 移動ベースナット（ナット）
６７ 移動ベース駆動モータ（第２モータ）
７１ 筐体
７１Ａ 入口
７１Ｂ ステンシル通過開口（開口）
７２ 収納体
７２Ｓ 棚部
７３ 昇降機
７５ 下側センサ
７５Ａ 下側投光部
７５Ｂ 下側受光部
７６ 上側センサ
７６Ａ 上側投光部
７６Ｂ 上側受光部
７７ タッチパネル
７８ 部材供給装置
８１ 昇降体
８２ 昇降体支持部
８３ ナット部
８４ ボール螺子
８５ 昇降体昇降モータ（第３モータ）
９０ 制御部
９１ 基板動作制御部
９２ ステンシル動作制御部
９３ 印刷制御部
９４ 撮像制御部
９５ クリーナ制御部
９５ａ 第１クリーニング制御部
９５ｂ 第２クリーニング制御部
９５ｃ 第３クリーニング制御部
９６ ペースト回収制御部
９７ 昇降機制御部
９７ａ 安全制御部
ＧＳ 高圧気体
ＫＢ 基板
Ｌ１ 下側光
Ｌ２ 上側光
Ｍ１ 下側ライトカーテン
Ｍ２ 上側ライトカーテン
ＮＺ ノズル部
ＰＲ クリーニングペーパー
Ｐｓｔ ペースト
Ｒ１ 送出ローラ
Ｒ２ 巻取ローラ
ＳＰ 内部空間
ＳＰ１ 作業空間
ＳＰ２ 下部空間

Claims (9)

1. 部材を供給するための供給位置へ前記部材を収納した収納体を移動する収納体移動装置であって、
   前記収納体を収納可能な内部空間と、前記内部空間に対して前記収納体を出し入れ可能な入口とが設けられた筐体と、
   前記入口の近傍と、前記内部空間内の、前記入口から離れた位置の作業空間との間で搬入された前記収納体を移動させる収納体移動機構と、
   前記入口を通過する物体を検出する第１の物体検出部と、
   前記内部空間において前記入口の近傍から前記作業空間へ移動する物体を検出する第２の物体検出部と、
   前記収納体が前記入口を通過するときには、前記第１の物体検出部による検出を無効にするとともに前記第２の物体検出部が前記入口の近傍から前記作業空間へ移動する前記物体を検出したら前記収納体移動機構への動力用電力の供給を停止させ、
   前記収納体が前記入口を通過するとき以外には、前記第２の物体検出部による検出を無効にするとともに前記第１の物体検出部が前記入口を通過する前記物体を検出したら前記収納体移動機構への動力用電力の供給を停止させる安全制御部と、を備えた、
   収納体移動装置。
2. 前記第１の物体検出部および前記第２の物体検出部は、光学的に物体を検出するエリアセンサである、
   請求項１に記載の収納体移動装置。
3. 前記作業空間は、前記内部空間の上部に設けられ、前記内部空間の下部空間にアクセス可能な位置に前記入口が設けられており、
   前記収納体移動装置は、前記収納体を支持する収納体支持部をさらに備え、
   前記収納体移動機構は、前記収納体支持部を前記作業空間と前記下部空間との間で移動させる昇降機である、
   請求項１または２に記載の収納体移動装置。
4. 前記安全制御部は、前記収納体支持部を前記下部空間に位置させたら、前記第２の物体検出部を有効にした後、前記第１の物体検出部による検出を無効にして、前記収納体が前記入口を通過可能な状態にし、前記収納体が前記入口を通過し終えたら前記第１の物体検出部を有効にした後、前記第２の物体検出部を無効にする、
   請求項３に記載の収納体移動装置。
5. 部材を供給するための供給位置へ前記部材を収納した収納体を移動する収納体移動装置であって、
   前記収納体を収納可能な内部空間と、前記内部空間に対して前記収納体を出し入れ可能な入口とが設けられた筐体と、
   前記入口の近傍と、前記内部空間内の、前記入口から離れた位置の作業空間との間で搬入された前記収納体を移動させる収納体移動機構と、
   前記入口を通過する物体を検出する第１の物体検出部と、
   前記内部空間において前記入口の近傍から前記作業空間へ移動する物体を検出する第２の物体検出部と、
   前記収納体が前記入口から搬入もしくは搬出可能な位置で停止しているときには、前記第１の物体検出部による検出を無効にするとともに前記第２の物体検出部が前記入口の近傍から前記作業空間へ移動する前記物体を検出したら前記収納体移動機構への動力用電力の供給を停止させ、
   前記収納体移動機構が作動するときには前記第２の物体検出部による検出を無効にするとともに前記第１の物体検出部が前記入口を通過する前記物体を検出したら前記収納体移動機構への動力用電力の供給を停止させる安全制御部と、を備えた、
   収納体移動装置。
6. 前記第１の物体検出部および前記第２の物体検出部は、光学的に物体を検出するエリアセンサである、
   請求項５に記載の収納体移動装置。
7. 前記作業空間は前記内部空間の上部に設けられ、前記内部空間の下部空間にアクセス可能な位置に前記入口が設けられており、
   前記収納体移動装置は、前記収納体を支持する収納体支持部をさらに備え、
   前記収納体移動機構は、前記収納体支持部を前記作業空間と前記下部空間との間で移動させる昇降機である、
   請求項５または６に記載の収納体移動装置。
8. 前記安全制御部は、前記昇降機が前記収納体支持部を前記下部空間に位置させて停止したら、前記第２の物体検出部を有効にした後、前記第１の物体検出部を無効にし、前記昇降機が作動する場合は前記昇降機が作動する前に前記第１の物体検出部を有効にした後、前記第２の物体検出部を無効にする、
   請求項７に記載の収納体移動装置。
9. 請求項１～８のいずれか一項に記載の収納体移動装置と、
   前記収納体移動装置によって前記収納体が前記供給位置に配置されたことを受けて、前記部材を前記収納体から取り出す部材移動機構と、を備えた、
   部材供給装置。

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