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JP7595282B2 - Storage unit moving device and material supply device - Google Patents
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Description

本開示は、部材を収納した収納体を、部材を供給するための位置(供給位置)へ移動する収納体移動装置と、この収納体移動装置によって収納体が供給位置に配置されると、収納体に収納された部材を収納体から取り出して他の装置に供給する部材供給装置に関する。 The present disclosure relates to a storage body moving device that moves a storage body that contains members to a position for supplying the members (supply position), and a member supply device that, when the storage body is placed at the supply position by the storage body moving device, removes the members stored in the storage body from the storage body and supplies them to another device.

従来、パターン開口が設けられたステンシルを用いて基板の表面に半田ペースト等のペーストを印刷するスクリーン印刷装置が知られている。このようなスクリーン印刷装置では通常、基板の品種が変わるとステンシルも交換される。一般的には、作業者が手作業でステンシルを交換する。一方、ステンシルを収納した収納体を筐体内で昇降自在に構成したステンシル交換部を有することにより、ステンシルを自動で交換するスクリーン印刷装置が、例えば特許文献1に開示されている。Conventionally, there is known a screen printing device that uses a stencil with pattern openings to print a paste such as solder paste on the surface of a substrate. In such a screen printing device, the stencil is usually replaced when the type of substrate is changed. Generally, an operator replaces the stencil manually. Meanwhile, a screen printing device that automatically replaces stencils by having a stencil replacement unit in which a housing that stores the stencil can be freely raised and lowered within a housing is disclosed in, for example, Patent Document 1.

特開平5-299812号公報Japanese Patent Application Publication No. 5-299812

本開示による第1の収納体移動装置は、部材を供給するための供給位置へ部材を収納した収納体を移動する。この収納体移動装置は、筐体と、収納体移動機構と、第1の物体検出部と、第2の物体検出部と、安全制御部とを有する。筐体には、収納体を収納可能な内部空間と、この内部空間に対して収納体を出し入れ可能な入口とが設けられている。この内部空間の、入口から離れた位置には作業空間が設定されている。収納体移動機構は、入口近傍と作業空間との間で、搬入された収納体を移動させる。第1の物体検出部は、入口を通過する物体を検出する。第2の物体検出部は、内部空間において入口近傍から作業空間へ移動する物体を検出する。安全制御部は、収納体が入口を通過するときには第1の物体検出部による検出を無効にするとともに、第2の物体検出部が入口近傍から作業空間へ移動する物体を検出したら収納体移動機構への動力用電力の供給を停止させる。安全制御部は、収納体が入口を通過するとき以外には第2の物体検出部による検出を無効にするとともに、第1の物体検出部が入口を通過する物体を検出したら前記収納体移動機構への動力用電力の供給を停止させる。A first storage body moving device according to the present disclosure moves a storage body that stores a member to a supply position for supplying the member. This storage body moving device has a housing, a storage body moving mechanism, a first object detection unit, a second object detection unit, and a safety control unit. The housing has an internal space in which the storage body can be stored, and an entrance through which the storage body can be inserted and removed from the internal space. A working space is set in a position away from the entrance in the internal space. The storage body moving mechanism moves the carried storage body between the vicinity of the entrance and the working space. The first object detection unit detects an object passing through the entrance. The second object detection unit detects an object moving from the vicinity of the entrance to the working space in the internal space. The safety control unit disables detection by the first object detection unit when the storage body passes through the entrance, and stops the supply of power to the storage body moving mechanism when the second object detection unit detects an object moving from the vicinity of the entrance to the working space. The safety control unit disables detection by the second object detection unit except when the storage body passes through the entrance, and stops the supply of power to the storage body moving mechanism when the first object detection unit detects an object passing through the entrance.

本開示による第2の収納体移動装置もまた、部材を供給するための供給位置へ部材を収納した収納体を移動する。この収納体移動装置は、筐体と、収納体移動機構と、第1の物体検出部と、第2の物体検出部と、安全制御部とを有する。筐体には、収納体を収納可能な内部空間と、この内部空間に対して収納体を出し入れ可能な入口とが設けられている。この内部空間の、入口から離れた位置には作業空間が設定されている。収納体移動機構は、入口近傍と作業空間との間で、搬入された収納体を移動させる。第1の物体検出部は、入口を通過する物体を検出する。第2の物体検出部は、内部空間において入口近傍から作業空間へ移動する物体を検出する。安全制御部は、収納体が入口から搬入もしくは搬出可能な位置で停止しているときには第1の物体検出部による検出を無効にするとともに、第2の物体検出部が入口近傍から作業空間へ移動する物体を検出したら収納体移動機構への動力用電力の供給を停止させる。安全制御部は、収納体移動機構が作動するときには第2の物体検出部による検出を無効にするとともに、第1の物体検出部が入口を通過する物体を検出したら収納体移動機構への動力用電力の供給を停止させる。The second storage body moving device according to the present disclosure also moves a storage body that stores a member to a supply position for supplying the member. This storage body moving device has a housing, a storage body moving mechanism, a first object detection unit, a second object detection unit, and a safety control unit. The housing has an internal space in which the storage body can be stored, and an entrance through which the storage body can be inserted and removed from the internal space. A working space is set in the internal space at a position away from the entrance. The storage body moving mechanism moves the carried storage body between the vicinity of the entrance and the working space. The first object detection unit detects an object passing through the entrance. The second object detection unit detects an object moving from the vicinity of the entrance to the working space in the internal space. The safety control unit disables detection by the first object detection unit when the storage body is stopped at a position where it can be carried in or out from the entrance, and stops the supply of power to the storage body moving mechanism when the second object detection unit detects an object moving from the vicinity of the entrance to the working space. The safety control unit disables detection by the second object detection unit when the storage body moving mechanism is activated, and stops the supply of power to the storage body moving mechanism when the first object detection unit detects an object passing through the entrance.

本開示による部材供給装置は、上記いずれかの収納体移動装置と、部材移動機構とを有する。部材移動機構は、収納体移動装置によって収納体が供給位置に配置されたことを受けて、部材を収納体から取り出す。The component supply device according to the present disclosure includes any one of the above-described storage body moving devices and a component moving mechanism. The component moving mechanism removes a component from the storage body after the storage body is placed at the supply position by the storage body moving device.

本開示によれば、筐体の内部で収納体を昇降させる構成において、筐体に収納体を出し入れする作業者の安全を確保することができる。 According to the present disclosure, in a configuration in which a storage body is raised and lowered inside a housing, the safety of an operator who places the storage body in and removes it from the housing can be ensured.

本開示の実施の形態に係る部材供給装置としてのステンシル交換部を含むスクリーン印刷装置の斜視図FIG. 1 is a perspective view of a screen printing apparatus including a stencil replacement unit as a member supplying device according to an embodiment of the present disclosure; 図1に示すスクリーン印刷装置の透視斜視図FIG. 2 is a perspective view of the screen printing apparatus shown in FIG. 1 . 図1に示すスクリーン印刷装置の透視側面図FIG. 2 is a perspective side view of the screen printing apparatus shown in FIG. 図3に示すスクリーン印刷装置の印刷部の透視側面図FIG. 4 is a perspective side view of a printing unit of the screen printing apparatus shown in FIG. 図4に示す印刷部の一部断面側面図FIG. 5 is a partial cross-sectional side view of the printing unit shown in FIG. 図4に示す印刷部の一部の平面図FIG. 5 is a plan view of a portion of the printing unit shown in FIG. 図4に示す印刷部の一部の平面図FIG. 5 is a plan view of a portion of the printing unit shown in FIG. 図1に示すスクリーン印刷装置が使用するステンシルの一例の平面図FIG. 2 is a plan view of an example of a stencil used by the screen printing apparatus shown in FIG. 図4に示す印刷部の一部の下面図5 is a bottom view of a portion of the printing unit shown in FIG. 図5の部分拡大図FIG. 5 is a partially enlarged view of FIG. 図4の部分拡大図A partial enlarged view of FIG. 図2に示すスクリーン印刷装置がステンシルを印刷部に設置する過程を示す下面図FIG. 3 is a bottom view showing a process of placing a stencil on a printing unit of the screen printing apparatus shown in FIG. 図4に示す印刷部の平面図FIG. 5 is a plan view of the printing unit shown in FIG. 図4に示す印刷部の側面図FIG. 5 is a side view of the printing unit shown in FIG. 図2に示すスクリーン印刷装置が収納体より引き出したステンシルの上面に気体を吹き付けている状況を示す斜視図FIG. 3 is a perspective view showing a state in which the screen printing apparatus shown in FIG. 2 is blowing gas onto the upper surface of a stencil pulled out from a housing; 図1に示すステンシル交換部の斜視図FIG. 2 is a perspective view of the stencil replacement unit shown in FIG. 図16に示すステンシル交換部の透視斜視図FIG. 17 is a perspective view of the stencil exchange unit shown in FIG. 図16に示すステンシル交換部が筐体の内部で移動する収納体の斜視図FIG. 17 is a perspective view of a housing in which the stencil replacement unit shown in FIG. 16 moves inside the housing; 図16に示すステンシル交換部の透視側面図FIG. 17 is a perspective side view of the stencil exchange unit shown in FIG. 図16に示すステンシル交換部の透視斜視図FIG. 17 is a perspective view of the stencil exchange unit shown in FIG. 図1に示すスクリーン印刷装置の制御系統を示す機能ブロック図FIG. 2 is a functional block diagram showing a control system of the screen printing apparatus shown in FIG. 図2に示すスクリーン印刷装置がステンシルをステンシル設置位置に設置する過程を示す平面図FIG. 3 is a plan view showing a process in which the screen printing apparatus shown in FIG. 2 places a stencil at a stencil placement position; 図22に続き、スクリーン印刷装置がステンシルをステンシル設置位置に設置する過程を示す平面図FIG. 23 is a plan view showing a process in which the screen printing apparatus places a stencil at a stencil placement position, following FIG. 図23に続き、スクリーン印刷装置がステンシルをステンシル設置位置に設置する過程を示す平面図FIG. 24 is a plan view showing a process in which the screen printing apparatus places a stencil at a stencil placement position, following FIG. 図24に続き、スクリーン印刷装置がステンシルをステンシル設置位置に設置する過程を示す平面図FIG. 25 is a plan view showing the process of the screen printing apparatus placing the stencil at the stencil placement position, following FIG. 図3に示すスクリーン印刷装置がステンシル保持部によってステンシルをステンシルガイドに固定する手順を示す側面図4 is a side view showing a procedure in which the screen printing apparatus shown in FIG. 3 fixes the stencil to the stencil guide by the stencil holding portion. 図4に示す印刷部が印刷ヘッドによりスキージングを行う手順を示す側面図5 is a side view showing a procedure in which the printing unit shown in FIG. 4 performs squeegeeing using a print head. 図4に示す印刷部が有する下面クリーナによりステンシルの下面のクリーニングを行う手順を示す側面図5 is a side view showing a procedure for cleaning the lower surface of a stencil by a lower surface cleaner provided in the printing unit shown in FIG. 図28に示す下面クリーナによりステンシルの下面をクリーニングしている状況を示す斜視図FIG. 29 is a perspective view showing a state in which the underside of a stencil is being cleaned by the underside cleaner shown in FIG. 図4に示す印刷部が有するスクレイパユニットによりステンシルの上面に残ったペーストを掬い取る動作の手順を示す側面図5 is a side view showing a procedure for scraping off the paste remaining on the upper surface of the stencil by a scraper unit of the printing unit shown in FIG. 図4に示す印刷部が有する上面クリーナと下面クリーナによりステンシルの上下両面をクリーニングする手順を示す側面図FIG. 5 is a side view showing a procedure for cleaning both the upper and lower surfaces of a stencil by the upper and lower surface cleaners of the printing unit shown in FIG.

本開示の実施の形態の説明に先立ち、本開示の着想に至った経緯を簡単に説明する。交換用のステンシルや回収されたステンシルは作業者が装置にアクセスして運搬する必要がある。しかしながら、特許文献1記載のスクリーン印刷装置では安全に対する配慮が不十分である。Before describing the embodiments of the present disclosure, we will briefly explain how the idea for the present disclosure was conceived. Replacement stencils and recovered stencils need to be transported by workers who have access to the device. However, the screen printing device described in Patent Document 1 does not take safety into consideration insufficiently.

本開示は、作業者の安全を確保することができる収納体移動装置と部材供給装置を提供する。 The present disclosure provides a storage body moving device and a component supply device that can ensure the safety of workers.

以下、図面を参照しながら本開示の実施の形態について説明する。図1、図2および図3は本開示の実施の形態に係るスクリーン印刷装置1を示している。スクリーン印刷装置1は、図2、図3に示す印刷対象物としての基板KBの上面に、半田ペースト等のペーストPstを印刷する。An embodiment of the present disclosure will now be described with reference to the drawings. Figures 1, 2, and 3 show a screen printing apparatus 1 according to an embodiment of the present disclosure. The screen printing apparatus 1 prints a paste Pst, such as a solder paste, on the upper surface of a substrate KB, which is a printing object, as shown in Figures 2 and 3.

スクリーン印刷装置1は、印刷部2とステンシル交換部3とを有している。ステンシル交換部3は、印刷部2に隣接している。なお、以下の説明において、Y軸は、ステンシル交換部3から印刷部2に向いており、Y軸のマイナス側を後、プラス側を前と表現する場合がある。X軸は水平面内でY軸に直交する。X軸は基板KBの搬送方向と逆に延びている。Z軸は、下から上へ延びて、X軸、Y軸に直交する。 The screen printing apparatus 1 has a printing unit 2 and a stencil replacement unit 3. The stencil replacement unit 3 is adjacent to the printing unit 2. In the following description, the Y axis faces from the stencil replacement unit 3 to the printing unit 2, and the negative side of the Y axis may be expressed as the rear and the positive side as the front. The X axis is perpendicular to the Y axis in the horizontal plane. The X axis extends in the opposite direction to the transport direction of the substrate KB. The Z axis extends from bottom to top and is perpendicular to the X and Y axes.

図4、図5は印刷部2を示す。印刷部2は、図2~図4に示すように、印刷部カバー2Kによって覆われた基台11と、基台11上に配置された基板搬送保持部12とを有している。図5に示すように、基板搬送保持部12は、第1コンベア12Aと、第2コンベア12Bと、第3コンベア12Cと、基板保持部12Dと、多段テーブル12Eとを有している。第1コンベア12A、第2コンベア12Bおよび第3コンベア12Cはこの順でX軸に沿って逆向きに並んでおり、第1コンベア12A、第2コンベア12B、第3コンベア12Cの順に基板KBを受け渡して搬送する。 Figures 4 and 5 show the printing unit 2. As shown in Figures 2 to 4, the printing unit 2 has a base 11 covered by a printing unit cover 2K, and a board transport and holding unit 12 arranged on the base 11. As shown in Figure 5, the board transport and holding unit 12 has a first conveyor 12A, a second conveyor 12B, a third conveyor 12C, a board holding unit 12D, and a multi-stage table 12E. The first conveyor 12A, the second conveyor 12B, and the third conveyor 12C are lined up in the opposite directions along the X-axis in that order, and the board KB is handed over and transported in the order of the first conveyor 12A, the second conveyor 12B, and the third conveyor 12C.

基板保持部12Dは、第2コンベア12Bとともにユニットを構成している。基板保持部12Dは、第2コンベア12Bが第1コンベア12Aから受け取った基板KBを第2コンベア12Bから持ち上げた状態に支持し、基板KBの両側をクランプして保持する。多段テーブル12Eは、基台11上に設けられており、第2コンベア12Bと基板保持部12Dとを含むユニットの全体を、基台11に対して水平面内と上下とに移動させる。The board holding unit 12D and the second conveyor 12B form a unit. The board holding unit 12D supports the board KB received by the second conveyor 12B from the first conveyor 12A in a lifted state from the second conveyor 12B, and clamps and holds both sides of the board KB. The multi-stage table 12E is provided on the base 11, and moves the entire unit including the second conveyor 12B and the board holding unit 12D in the horizontal plane and up and down relative to the base 11.

図2、図3および図4に示すように、基板搬送保持部12の上方にはステンシルガイド13が設けられている。図6は、ステンシルガイド13を示す平面図である。ステンシルガイド13は、X軸ガイド部13bと、一対のY軸ガイド部13aとを有している。Y軸ガイド部13aはそれぞれ、Y軸に沿って延びて、X軸に沿って対向するように平行に配置されている。X軸ガイド部13bは、一対のY軸ガイド部13aのY軸プラス側の端部(前端部)の間で、X軸に沿って延びている。Y軸ガイド部13aの端部は、ステンシル交換部3とは反対の側の端部である。Y軸ガイド部13aのそれぞれの断面は、L字状である。すなわち、Y軸ガイド部13aは、水平部13Hと、水平部13Hの外側に形成され、水平部13Hに対して垂直な垂直部13Vとを有している。一方、X軸ガイド部13bは、Y軸ガイド部13aのそれぞれの水平部13Hと連接された水平部のみで構成されている。2, 3 and 4, a stencil guide 13 is provided above the substrate transport holder 12. FIG. 6 is a plan view showing the stencil guide 13. The stencil guide 13 has an X-axis guide portion 13b and a pair of Y-axis guide portions 13a. The Y-axis guide portions 13a each extend along the Y-axis and are arranged in parallel to face each other along the X-axis. The X-axis guide portion 13b extends along the X-axis between the ends (front ends) of the pair of Y-axis guide portions 13a on the positive side of the Y-axis. The end of the Y-axis guide portion 13a is the end on the side opposite the stencil exchange portion 3. The cross section of each of the Y-axis guide portions 13a is L-shaped. That is, the Y-axis guide portion 13a has a horizontal portion 13H and a vertical portion 13V formed outside the horizontal portion 13H and perpendicular to the horizontal portion 13H. On the other hand, the X-axis guide portion 13b is composed only of horizontal portions connected to the respective horizontal portions 13H of the Y-axis guide portion 13a.

図2、図3および図4に示すように、ステンシルガイド13の上方にはステンシル保持部14が配置されている。図7は、ステンシル保持部14をステンシルガイド13とともに示す平面図である。ステンシル保持部14は平面視において矩形形状を有しており、一対のY軸辺と一対のX軸辺とを有する。図7において左右に位置するY軸辺は、ステンシルガイド13の一対のY軸ガイド部13aの上方に位置する。図7において下に位置するX軸辺は、X軸ガイド部13bの上方に位置している。ステンシルガイド13上の所定の位置(ステンシル設置位置)には、図8に示す矩形のステンシル15が設置される。ステンシル保持部14は、ステンシルガイド13とともに、ステンシル15の四辺を挟んで押さえる。なお、ステンシル設置位置とは、図7において、ステンシルガイド13とステンシル保持部14との間の位置であり、ステンシルガイド13の前端の位置である。2, 3 and 4, the stencil holding section 14 is disposed above the stencil guide 13. FIG. 7 is a plan view showing the stencil holding section 14 together with the stencil guide 13. The stencil holding section 14 has a rectangular shape in a plan view and has a pair of Y-axis sides and a pair of X-axis sides. The Y-axis sides located on the left and right in FIG. 7 are located above the pair of Y-axis guide sections 13a of the stencil guide 13. The X-axis side located on the bottom in FIG. 7 is located above the X-axis guide section 13b. A rectangular stencil 15 shown in FIG. 8 is placed at a predetermined position (stencil installation position) on the stencil guide 13. The stencil holding section 14, together with the stencil guide 13, clamps and holds the four sides of the stencil 15. The stencil installation position is the position between the stencil guide 13 and the stencil holding section 14 in FIG. 7, and is the position of the front end of the stencil guide 13.

図8はステンシル15の平面図である。ステンシル15は矩形の金属板から構成されている。ステンシル15の中央部には、基板KBの表面に形成された電極パターン(図示せず)の配置に応じて、パターン開口15Kが設けられている。ステンシル15の四辺(周辺部)には、ステンシル15を厚さ方向に貫通した複数の係合孔15Hが設けられている。係合孔15Hは、ステンシル15の四辺のそれぞれに沿って並んで設けられている。 Figure 8 is a plan view of the stencil 15. The stencil 15 is composed of a rectangular metal plate. A pattern opening 15K is provided in the center of the stencil 15 according to the arrangement of the electrode pattern (not shown) formed on the surface of the substrate KB. A plurality of engagement holes 15H are provided on the four sides (periphery) of the stencil 15, penetrating the stencil 15 in the thickness direction. The engagement holes 15H are arranged in a line along each of the four sides of the stencil 15.

図3に示すように、ステンシルガイド13のY軸ガイド部13aはステンシル交換部3の近傍位置まで延びている。Y軸ガイド部13aは、ステンシル設置位置とステンシル交換部3との間で移動されるステンシル15の移動経路となっている。図6に示すように、一対のY軸ガイド部13aの上面にはそれぞれ、段差によるガイド13GがY軸に沿って延びている。ガイド13Gは、ステンシル設置位置とステンシル交換部3との間で移動するステンシル15の左右の側面を案内する。As shown in Figure 3, the Y-axis guide portion 13a of the stencil guide 13 extends to a position near the stencil replacement unit 3. The Y-axis guide portion 13a serves as a path for the stencil 15 to move between the stencil installation position and the stencil replacement unit 3. As shown in Figure 6, a stepped guide 13G extends along the Y-axis on each of the upper surfaces of the pair of Y-axis guide portions 13a. The guides 13G guide the left and right side surfaces of the stencil 15 that moves between the stencil installation position and the stencil replacement unit 3.

図9は、ステンシル保持部14をステンシルガイド13とともに下から見た状態を示す平面図である。ステンシル保持部14の下面には、複数の係合突起14Tが下方に突出して設けられている。係合突起14Tは、ステンシル保持部14の形状(四辺)に沿って配置されている。ステンシル保持部14のY軸に沿って並んだ係合突起14Tの列はそれぞれ、Y軸に沿って延びた連結部材14Kによって連結されている。ステンシル保持部14のX軸に沿って並んだ係合突起14Tの列はそれぞれ、X軸に沿って延びた連結部材14Kによって連結されている。 Figure 9 is a plan view showing the stencil holding portion 14 viewed from below together with the stencil guide 13. A plurality of engagement protrusions 14T are provided on the underside of the stencil holding portion 14 and protrude downward. The engagement protrusions 14T are arranged along the shape (four sides) of the stencil holding portion 14. Each row of engagement protrusions 14T aligned along the Y axis of the stencil holding portion 14 is connected by a connecting member 14K extending along the Y axis. Each row of engagement protrusions 14T aligned along the X axis of the stencil holding portion 14 is connected by a connecting member 14K extending along the X axis.

上述のように、ステンシル保持部14のY軸に沿った二辺にはそれぞれ、Y軸に沿って複数の係合突起14Tが並んでいる。すなわち、これら二辺にはそれぞれ、係合突起14Tの列が設けられている。またステンシル保持部14のX軸に沿った二辺にもそれぞれ、X軸に沿って複数の係合突起14Tが並んでいる。すなわち、これら二辺にもそれぞれ、係合突起14Tの列が設けられている。図10は、図5の部分拡大図である。ステンシル保持部14のそれぞれの内部には、張力付与シリンダ(以下、シリンダ)14Aが設けられている。シリンダ14Aが、連結部材14Kを水平に移動させると、係合突起14Tの列は、ステンシル保持部14の中央部から遠ざかるように移動する。具体的には、ステンシル保持部14のY軸に沿って並んだ2つの係合突起14Tの列は、X軸の互いに相反する方向に移動する。また、ステンシル保持部14のX軸に沿って並んだ2つの係合突起14Tの列は、Y軸の互いに相反する方向に移動する。As described above, a plurality of engagement protrusions 14T are arranged along the Y axis on each of the two sides of the stencil holding portion 14 along the Y axis. That is, a row of engagement protrusions 14T is provided on each of these two sides. A plurality of engagement protrusions 14T are also arranged along the X axis on each of the two sides of the stencil holding portion 14 along the X axis. That is, a row of engagement protrusions 14T is also provided on each of these two sides. FIG. 10 is a partially enlarged view of FIG. 5. A tensioning cylinder (hereinafter, cylinder) 14A is provided inside each of the stencil holding portions 14. When the cylinder 14A moves the connecting member 14K horizontally, the row of engagement protrusions 14T moves away from the center of the stencil holding portion 14. Specifically, the two rows of engagement protrusions 14T arranged along the Y axis of the stencil holding portion 14 move in opposite directions on the X axis. Furthermore, the two rows of engagement projections 14T aligned along the X-axis of the stencil holding portion 14 move in mutually opposite directions along the Y-axis.

図11は、図4の一部拡大側面図である。図6、図7および図11からわかるように、ステンシル保持部14の上方には、2つのステンシル保持部昇降シリンダ(以下、昇降シリンダ)31と、4つのステンシル保持部押さえシリンダ(以下、押さえシリンダ)32とが設けられている。図11に示すように、昇降シリンダ31と押さえシリンダ32はそれぞれ、ステンシルガイド13のY軸ガイド部13aが有する垂直部13Vに固定されている。図6、図7に示すように、昇降シリンダ31はそれぞれ、ステンシル保持部14のY軸に沿った辺の中央部の上方に設けられ、押さえシリンダ32はそれぞれ、ステンシル保持部14の四隅もしくはその近傍の上方に設けられている。 Figure 11 is a partially enlarged side view of Figure 4. As can be seen from Figures 6, 7 and 11, two stencil holder lifting cylinders (hereinafter referred to as lifting cylinders) 31 and four stencil holder pressing cylinders (hereinafter referred to as pressing cylinders) 32 are provided above the stencil holder 14. As shown in Figure 11, the lifting cylinders 31 and pressing cylinders 32 are each fixed to the vertical portion 13V of the Y-axis guide portion 13a of the stencil guide 13. As shown in Figures 6 and 7, the lifting cylinders 31 are each provided above the center of the side along the Y-axis of the stencil holder 14, and the pressing cylinders 32 are each provided above the four corners of the stencil holder 14 or in the vicinity thereof.

図11に示すように、昇降シリンダ31の出力軸である昇降ロッド31Rの下端は、ステンシル保持部14に固定されている。昇降ロッド31Rは、Y軸におけるステンシル保持部14の中間位置に結合されている。2つの昇降シリンダ31の昇降ロッド31Rを同期して作動させることで、ステンシル保持部14は、水平姿勢を維持したままステンシルガイド13の上方で昇降する。押さえシリンダ32のそれぞれは、出力軸である押さえロッド32Rを作動させることで、ステンシル保持部14の四隅を下方に押圧する。 As shown in Figure 11, the lower end of the lifting rod 31R, which is the output shaft of the lifting cylinder 31, is fixed to the stencil holding part 14. The lifting rod 31R is connected to the middle position of the stencil holding part 14 on the Y axis. By synchronously operating the lifting rods 31R of the two lifting cylinders 31, the stencil holding part 14 rises and falls above the stencil guide 13 while maintaining a horizontal position. Each of the pressure cylinders 32 presses the four corners of the stencil holding part 14 downward by operating the pressure rod 32R, which is the output shaft.

ステンシル保持部14の下面に設けられた複数の係合突起14Tは、ステンシル設置位置にステンシル15が位置した状態で、ステンシル15に設けられた複数の係合孔15Hに上方からそれぞれ嵌入する。ステンシル保持部14は、昇降シリンダ31と押さえシリンダ32によって、ステンシルガイド13に押し付けられている。このためステンシル15は、その四辺のうちの三辺が、ステンシルガイド13とステンシル保持部14とによって挟まれる。 When the stencil 15 is located at the stencil installation position, multiple engagement protrusions 14T provided on the underside of the stencil holding part 14 fit from above into multiple engagement holes 15H provided in the stencil 15. The stencil holding part 14 is pressed against the stencil guide 13 by the lifting cylinder 31 and the pressing cylinder 32. As a result, three of the four sides of the stencil 15 are sandwiched between the stencil guide 13 and the stencil holding part 14.

このように、ステンシル15の三辺がステンシルガイド13とステンシル保持部14とによって挟まれた状態で、図10に示すシリンダ14Aはそれぞれ、図12の矢印Tsで示すように、係合突起14Tの列のそれぞれを、ステンシル保持部14の中央部から遠ざかる方向に移動させる。これによりステンシル15には、ステンシル15を外側に引き伸ばす面内張力が与えられており、ステンシル15は平面状態に保持されている。なお、図6、図7、図9、図10に示すように、ステンシルガイド13の2つのY軸ガイド部13aの水平部13HとX軸ガイド部13bのそれぞれには、溝13Mが設けられている。係合突起14Tはそれぞれ、溝13M内に位置しており、図10に示すように、ステンシルガイド13と干渉しない。In this way, with the three sides of the stencil 15 sandwiched between the stencil guide 13 and the stencil holder 14, the cylinder 14A shown in Fig. 10 moves each of the rows of engagement projections 14T in a direction away from the center of the stencil holder 14, as shown by the arrow Ts in Fig. 12. This applies an in-plane tension to the stencil 15 that stretches it outward, and the stencil 15 is held in a flat state. As shown in Figs. 6, 7, 9, and 10, grooves 13M are provided in the horizontal parts 13H and X-axis guide parts 13b of the two Y-axis guide parts 13a of the stencil guide 13. The engagement projections 14T are each located within the grooves 13M, and do not interfere with the stencil guide 13, as shown in Fig. 10.

図13は、印刷部2の平面図である。図3、図4および図13に示すように、ステンシル保持部14の上方には、印刷ヘッド16と、スクレイパユニット17と、上面クリーナ18と、吹付け部19とが設けられている。図3、図4に示すように、ステンシル保持部14の下方には、ステンシル移動機構21と、カメラ22と、下面クリーナ23とが設けられている。 Figure 13 is a plan view of the printing unit 2. As shown in Figures 3, 4 and 13, above the stencil holding unit 14, a print head 16, a scraper unit 17, an upper surface cleaner 18 and a spray unit 19 are provided. As shown in Figures 3 and 4, below the stencil holding unit 14, a stencil moving mechanism 21, a camera 22 and a lower surface cleaner 23 are provided.

図14は、図4の拡大図である。図5、図11、図13および図14に示すように、印刷ヘッド16は、スキージベース41と、2つのスキージ42と、昇降駆動部43とを有している。スキージベース41は、X軸に沿って延び、Y軸に沿って移動可能である。スキージ42はそれぞれ、スキージベース41の下方に設けられている。昇降駆動部43は、スキージベース41の上面に設けられている。2つのスキージ42は、図13および図14に示すように、Y軸に沿って対向して配置されている。昇降駆動部43は、2つのスキージ42をスキージベース41の下方にて個別に昇降させる。 Figure 14 is an enlarged view of Figure 4. As shown in Figures 5, 11, 13 and 14, the print head 16 has a squeegee base 41, two squeegees 42, and a lifting drive unit 43. The squeegee base 41 extends along the X-axis and is movable along the Y-axis. The squeegees 42 are each provided below the squeegee base 41. The lifting drive unit 43 is provided on the upper surface of the squeegee base 41. The two squeegees 42 are disposed opposite each other along the Y-axis as shown in Figures 13 and 14. The lifting drive unit 43 raises and lowers the two squeegees 42 individually below the squeegee base 41.

図13に示すように、スキージベース41はX軸に沿って延びた形状を有している。スキージベース41の両端部は、2つのスキージベースガイド44によって支持されている。スキージベースガイド44はそれぞれ、Y軸に沿って延びてX軸に沿って対向するように平行に配置されている。スキージベースガイド44のうちの一方の外側には、Y軸に沿って延びたスキージベース移動ボール螺子(以下、螺子)45が設けられている。すなわち、螺子45は、スキージベースガイド44のうちの一方の、X軸における外側に設けられている。螺子45は、スキージベース41に設けられたスキージベースナット(以下、ナット)46に螺合している。螺子45にはスキージベース駆動モータ(以下、第1モータ)47が連結されており、第1モータ47が作動して螺子45が回転すると、ナット46を介してスキージベース41がY軸に沿って移動する。As shown in FIG. 13, the squeegee base 41 has a shape extending along the X-axis. Both ends of the squeegee base 41 are supported by two squeegee base guides 44. The squeegee base guides 44 are arranged in parallel so as to extend along the Y-axis and face each other along the X-axis. A squeegee base moving ball screw (hereinafter, screw) 45 extending along the Y-axis is provided on the outside of one of the squeegee base guides 44. That is, the screw 45 is provided on the outside of one of the squeegee base guides 44 in the X-axis. The screw 45 is screwed into a squeegee base nut (hereinafter, nut) 46 provided on the squeegee base 41. A squeegee base drive motor (hereinafter, first motor) 47 is connected to the screw 45, and when the first motor 47 is operated and the screw 45 rotates, the squeegee base 41 moves along the Y-axis via the nut 46.

スクレイパユニット17は、ステンシル15上のペーストPstを回収するペースト回収部として機能する。図11、図13および図14に示すように、スクレイパユニット17は、スクレイパベース51と、スクレイパ昇降シリンダ(以下、昇降シリンダ)52と、スクレイパ保持部53と、スクレイパ54とを有している。スクレイパベース51はX軸に沿って延び、昇降シリンダ52は、スクレイパベース51に設けられている。昇降シリンダ52は、スクレイパ保持部53を昇降する。スクレイパ保持部53は、スクレイパ54を保持する。スクレイパベース51の両端部は、スキージベース41と同様に、2つのスキージベースガイド44によってそれぞれ支持されている。図11、図14に示すように、スキージベース41には、スクレイパユニット連結部(以下、第1連結部)41Rが設けられている。スクレイパベース51は、図14に示すように、第1連結部41Rによってスキージベース41に連結される。スクレイパベース51は、スキージベース41に連結された状態で、スキージベース41と一体となってY軸に沿って移動する。例えば、第1連結部41Rは電磁石を有し、スクレイパベース51は、少なくとも第1連結部41Rと当接する箇所に磁性体を有していればよい。昇降シリンダ52を作動させてスクレイパ保持部53を昇降させると、スクレイパ54が昇降する。The scraper unit 17 functions as a paste recovery unit that recovers the paste Pst on the stencil 15. As shown in Figures 11, 13, and 14, the scraper unit 17 has a scraper base 51, a scraper lifting cylinder (hereinafter, lifting cylinder) 52, a scraper holding unit 53, and a scraper 54. The scraper base 51 extends along the X-axis, and the lifting cylinder 52 is provided on the scraper base 51. The lifting cylinder 52 raises and lowers the scraper holding unit 53. The scraper holding unit 53 holds the scraper 54. Both ends of the scraper base 51 are supported by two squeegee base guides 44, similar to the squeegee base 41. As shown in Figures 11 and 14, the squeegee base 41 is provided with a scraper unit connecting unit (hereinafter, first connecting unit) 41R. As shown in Fig. 14, the scraper base 51 is connected to the squeegee base 41 by the first connecting portion 41R. When the scraper base 51 is connected to the squeegee base 41, it moves together with the squeegee base 41 along the Y axis. For example, the first connecting portion 41R may have an electromagnet, and the scraper base 51 may have a magnetic body at least at the portion that abuts against the first connecting portion 41R. When the lifting cylinder 52 is operated to lift the scraper holding portion 53, the scraper 54 is lifted and lowered.

上面クリーナ18は、スクレイパユニット17によってペーストPstが回収された後のステンシル15の上面をクリーニングする。上面クリーナ18はスキージベース41に取り付けられている。このため上面クリーナ18は、スキージベース41と一体となってY軸に沿って移動し、印刷ヘッド16とともにステンシル設置位置に設置されたステンシル15に対して移動する。スキージベース41には、上面クリーナ昇降部18Kが設けられている。上面クリーナ18は、上面クリーナ昇降部18Kを介してスキージベース41に取り付けられている。上面クリーナ昇降部18Kが作動することで、上面クリーナ18は、スキージベース41に対して昇降する。The top surface cleaner 18 cleans the top surface of the stencil 15 after the paste Pst has been collected by the scraper unit 17. The top surface cleaner 18 is attached to the squeegee base 41. Therefore, the top surface cleaner 18 moves along the Y axis together with the squeegee base 41, and moves together with the print head 16 relative to the stencil 15 installed at the stencil installation position. The squeegee base 41 is provided with a top surface cleaner lifting unit 18K. The top surface cleaner 18 is attached to the squeegee base 41 via the top surface cleaner lifting unit 18K. When the top surface cleaner lifting unit 18K is activated, the top surface cleaner 18 rises and falls relative to the squeegee base 41.

上面クリーナ18は、クリーニングペーパーPRを送出する送出ローラR1と、送出ローラR1から送出されるクリーニングペーパーPRを巻き取る巻取ローラR2とを有している。送出ローラR1から巻取ローラR2に至る位置において、クリーニングペーパーPRには、吸引口を下方に向けたノズル部NZが上方から押し付けられてテンションが加えられている。ノズル部NZの吸引口が押し付けられた部分は、ペーストPstの拭取り面として機能する。ノズル部NZは、クリーニングペーパーPRを介して吸引口から空気を吸引し、ステンシル15の上面に付着したペーストを吸引する。The top surface cleaner 18 has a delivery roller R1 that delivers the cleaning paper PR, and a take-up roller R2 that takes up the cleaning paper PR delivered from the delivery roller R1. At the position from the delivery roller R1 to the take-up roller R2, the nozzle part NZ, with its suction port facing downward, is pressed from above onto the cleaning paper PR to apply tension. The portion against which the suction port of the nozzle part NZ is pressed functions as a wiping surface for the paste Pst. The nozzle part NZ draws air from its suction port through the cleaning paper PR, and sucks up the paste adhering to the top surface of the stencil 15.

吹付け部19は、ペーストPstで汚れる前のステンシル15の上面をクリーニングする使用前ステンシルクリーナとして機能する。すなわち吹付け部19は、使用前、あるいはステンシル15に最初のペーストPstが供給される前のステンシル15の上面をクリーニングする。吹付け部19は、図15に示すように、ステンシル15の移動経路の上方をステンシル15の移動方向(Y軸)に対して交差するX軸に沿って延びた管状部19Pと、管状部19Pの一端に繋がるバルブ部19Vとを有している。管状部19Pは、2つのY軸ガイド部13aにおいてステンシル保持部14が取り付けられる位置と反対側に、2つのY軸ガイド部13aを跨ぐようにして設けられている。The spray unit 19 functions as a pre-use stencil cleaner that cleans the upper surface of the stencil 15 before it becomes dirty with the paste Pst. In other words, the spray unit 19 cleans the upper surface of the stencil 15 before use or before the first paste Pst is supplied to the stencil 15. As shown in FIG. 15, the spray unit 19 has a tubular portion 19P that extends above the movement path of the stencil 15 along the X-axis that intersects with the movement direction (Y-axis) of the stencil 15, and a valve portion 19V that is connected to one end of the tubular portion 19P. The tubular portion 19P is provided across the two Y-axis guide portions 13a on the opposite side to the position where the stencil holding portion 14 is attached in the two Y-axis guide portions 13a.

図11、図12および図13に示すように、吹付け部19の下側には、X軸に沿って並んで複数の噴出孔19Nが設けられている。管状部19Pにはバルブ部19Vを介して高圧気体が供給され、図15に示すように、複数の噴出孔19Nから下方に向かって高圧気体が噴射される。なお、使用前ステンシルクリーナとしてはステンシル15の上面に気体を吹き付ける構成(ブロー)以外に、ステンシル15の上面を吸引する構成、ステンシル15の上面をブラッシングするあるいは拭き取る構成等もよい。よって、使用前ステンシルクリーナとして、上面クリーナ18を用いることも可能である。11, 12 and 13, the underside of the spraying section 19 is provided with a number of nozzles 19N aligned along the X-axis. High-pressure gas is supplied to the tubular section 19P via the valve section 19V, and as shown in FIG. 15, the high-pressure gas is sprayed downward from the multiple nozzles 19N. Note that the pre-use stencil cleaner may be configured to blow gas onto the top surface of the stencil 15 (blow), or may be configured to suck the top surface of the stencil 15, or to brush or wipe the top surface of the stencil 15. Therefore, the top surface cleaner 18 may also be used as the pre-use stencil cleaner.

ステンシル移動機構21は、ステンシル交換部3が有する後述の収納体72とステンシル設置位置との間でステンシル15を移動させる。詳細には、ステンシル移動機構21は、収納体72からステンシル15を引き出してステンシル設置位置へ移動させ、ステンシル設置位置からステンシル15を収納体72に戻す。ステンシル移動機構21は、図4、図7および図11に示すように、移動ベース61と、昇降アクチュエータ62と、引出しプレート63とを有している。移動ベース61は、X軸に沿って延びている。昇降アクチュエータ62は、移動ベース61に設けられている。昇降アクチュエータ62は、引出しプレート63を昇降する。The stencil moving mechanism 21 moves the stencil 15 between a storage body 72 (described later) of the stencil exchange unit 3 and the stencil installation position. In detail, the stencil moving mechanism 21 pulls out the stencil 15 from the storage body 72, moves it to the stencil installation position, and returns the stencil 15 from the stencil installation position to the storage body 72. As shown in Figures 4, 7, and 11, the stencil moving mechanism 21 has a moving base 61, a lifting actuator 62, and a pull-out plate 63. The moving base 61 extends along the X-axis. The lifting actuator 62 is provided on the moving base 61. The lifting actuator 62 raises and lowers the pull-out plate 63.

図7に示すように、移動ベース61の両端部は、2つの移動ベースガイド64によってそれぞれ支持されている。移動ベースガイド64は、Y軸に沿って延びてX軸に沿って対向するように平行に配置されている。また2つの移動ベースガイド64のうちの一方の外側(X軸における外側)には、Y軸に沿って延びた移動ベース移動ボール螺子(以下、螺子)65が設けられている。螺子65は、移動ベース61に設けられた移動ベースナット(以下、ナット)66に螺合している。螺子65には移動ベース駆動モータ(以下、第2モータ)67が連結されており、第2モータ67が作動して螺子65が回転すると、ナット66を介して移動ベース61がY軸に沿って移動する。As shown in FIG. 7, both ends of the moving base 61 are supported by two moving base guides 64. The moving base guides 64 are arranged in parallel so as to extend along the Y axis and face each other along the X axis. A moving base moving ball screw (hereinafter, screw) 65 extending along the Y axis is provided on the outside (outside in the X axis) of one of the two moving base guides 64. The screw 65 is screwed into a moving base nut (hereinafter, nut) 66 provided on the moving base 61. A moving base drive motor (hereinafter, second motor) 67 is connected to the screw 65, and when the second motor 67 is operated to rotate the screw 65, the moving base 61 moves along the Y axis via the nut 66.

図7、図15に示すように、引出しプレート63の上面には、2つのステンシル移動用係合突起63TがX軸に沿って並んで設けられている。引出しプレート63の上面にはまた、図7に示すように、ステンシル15の下面を吸着するための吸着開口63Kが設けられている。ステンシル移動機構21では、移動ベース61がY軸に沿って移動することによって引出しプレート63をY軸に沿って移動させる。また、昇降アクチュエータ62が引出しプレート63を昇降させることによって、引出しプレート63をZ軸に沿って移動させる。 As shown in Figures 7 and 15, two stencil movement engagement protrusions 63T are provided on the upper surface of the drawer plate 63 side by side along the X-axis. As shown in Figure 7, a suction opening 63K is also provided on the upper surface of the drawer plate 63 for adsorbing the lower surface of the stencil 15. In the stencil movement mechanism 21, the moving base 61 moves along the Y-axis to move the drawer plate 63 along the Y-axis. Also, the lifting actuator 62 lifts and lowers the drawer plate 63 to move the drawer plate 63 along the Z-axis.

図7、図11に示すように、カメラ22は、ステンシル移動機構21を構成する移動ベース61の前端部に取り付けられている。このためカメラ22は、ステンシル移動機構21と一体となってY軸に沿って移動する。また、カメラ22は移動ベース61をX軸に沿って移動可能である。したがって、カメラ22は、ステンシル移動機構21によるY軸に沿った移動とカメラ22自身のX軸に沿った移動とによってXY面内を移動する。 As shown in Figures 7 and 11, the camera 22 is attached to the front end of the moving base 61 that constitutes the stencil moving mechanism 21. Therefore, the camera 22 moves along the Y axis together with the stencil moving mechanism 21. The camera 22 can also move the moving base 61 along the X axis. Therefore, the camera 22 moves within the XY plane by movement along the Y axis by the stencil moving mechanism 21 and movement of the camera 22 itself along the X axis.

図5、図7に示すように、カメラ22は、下方に撮像光軸を向けた下方撮像カメラ22Aと、上方に撮像光軸を向けた上方撮像カメラ22Bとを含む。下方撮像カメラ22Aは、基板KBの上面に設けられた位置合わせマーク(図示せず)を上方から撮影する。上方撮像カメラ22Bは、ステンシル設置位置に設置されたステンシル15の下面に設けられた位置合わせマーク(図示せず)を下方から撮影する。5 and 7, the camera 22 includes a lower imaging camera 22A with an imaging optical axis facing downward, and an upper imaging camera 22B with an imaging optical axis facing upward. The lower imaging camera 22A photographs from above an alignment mark (not shown) provided on the upper surface of the board KB. The upper imaging camera 22B photographs from below an alignment mark (not shown) provided on the lower surface of the stencil 15 installed at the stencil installation position.

図14に示すように、下面クリーナ23は、図示しないクリーナガイドによって、ステンシルガイド13の下方の領域をY軸に沿って移動する。下面クリーナ23は、移動ベース連結部(以下、第2連結部)23Rを有する。下面クリーナ23は、第2連結部23Rによって、図11に示すステンシル移動機構21の移動ベース61と連結可能である。下面クリーナ23は、移動ベース61と連結された状態で、移動ベース61と一体となってY軸に沿って移動する。第2連結部23Rも例えば第1連結部41Rと同様に構成することができる。 As shown in Figure 14, the underside cleaner 23 moves along the Y axis in the area below the stencil guide 13 by means of a cleaner guide (not shown). The underside cleaner 23 has a moving base connection part (hereinafter, second connection part) 23R. The underside cleaner 23 can be connected to the moving base 61 of the stencil moving mechanism 21 shown in Figure 11 by the second connection part 23R. When connected to the moving base 61, the underside cleaner 23 moves together with the moving base 61 along the Y axis. The second connection part 23R can also be configured in the same way as the first connection part 41R, for example.

下面クリーナ23は、上面クリーナ18と同様の構成要素を有している。すなわち図14に示すように、下面クリーナ23は、クリーニングペーパーPRを送出する送出ローラR1と、送出ローラR1から送出されるクリーニングペーパーPRを巻き取る巻取ローラR2を有している。送出ローラR1から巻取ローラR2に至る位置において、クリーニングペーパーPRには吸引口を上方に向けたノズル部NZが下方から押し付けられてテンションが加えられている。ノズル部NZの吸引口が押し付けられた部分はペーストPstの拭取り面して機能する。ノズル部NZは、クリーニングペーパーPRを介して吸引口から空気を吸引し、ステンシル15の下面に付着したペーストを吸引する。下面クリーナ23では、上面クリーナ18とは異なり、ノズル部NZが押し付けられたクリーニングペーパーPRの上面がペーストPstの拭取り面である。The lower surface cleaner 23 has the same components as the upper surface cleaner 18. That is, as shown in FIG. 14, the lower surface cleaner 23 has a delivery roller R1 that delivers the cleaning paper PR and a take-up roller R2 that takes up the cleaning paper PR delivered from the delivery roller R1. At the position from the delivery roller R1 to the take-up roller R2, the nozzle part NZ with its suction port facing upward is pressed from below onto the cleaning paper PR to apply tension. The part against which the suction port of the nozzle part NZ is pressed functions as a wiping surface for the paste Pst. The nozzle part NZ sucks air from the suction port through the cleaning paper PR and sucks up the paste attached to the lower surface of the stencil 15. In the lower surface cleaner 23, unlike the upper surface cleaner 18, the upper surface of the cleaning paper PR against which the nozzle part NZ is pressed is the wiping surface for the paste Pst.

下面クリーナ23は、移動ベース61によってY軸に沿って移動されないときは、図2に示すように、ステンシル設置位置の前方のクリーナ待機位置で待機している。下面クリーナ23は、上述のクリーナガイドに設けられた下面クリーナ昇降部(図示せず)によって、ステンシルガイド13に対して昇降する。すなわち下面クリーナ23は、ステンシル設置位置に設置されたステンシル15に対して昇降する。When the lower surface cleaner 23 is not moved along the Y-axis by the moving base 61, it waits at a cleaner standby position in front of the stencil installation position, as shown in Fig. 2. The lower surface cleaner 23 is raised and lowered relative to the stencil guide 13 by a lower surface cleaner lifting section (not shown) provided on the above-mentioned cleaner guide. In other words, the lower surface cleaner 23 is raised and lowered relative to the stencil 15 installed at the stencil installation position.

次に、図16、図17を参照して、ステンシル交換部3について説明する。図16は、ステンシル交換部3の外観を示し、図17は、ステンシル交換部3の筐体71の内部を示している。ステンシル交換部3は、図2、図3に示すように、印刷部2の後部(Y軸マイナス側)に隣接している。図16、図17に示すように、ステンシル交換部3は、筐体71と、収納体72と、昇降機73と、第1の物体検出部としての下側センサ75と、第2の物体検出部としての上側センサ76と、タッチパネル77とを有している。筐体71には、収納体72を収納可能な内部空間SPが設けられている。筐体71の後面の下部には、内部空間SPに対して収納体72を出し入れ可能な入口71Aが設けられている。Next, the stencil exchange unit 3 will be described with reference to Figures 16 and 17. Figure 16 shows the appearance of the stencil exchange unit 3, and Figure 17 shows the inside of the housing 71 of the stencil exchange unit 3. As shown in Figures 2 and 3, the stencil exchange unit 3 is adjacent to the rear (Y-axis minus side) of the printing unit 2. As shown in Figures 16 and 17, the stencil exchange unit 3 has a housing 71, a storage body 72, an elevator 73, a lower sensor 75 as a first object detection unit, an upper sensor 76 as a second object detection unit, and a touch panel 77. The housing 71 has an internal space SP in which the storage body 72 can be stored. An entrance 71A that allows the storage body 72 to be inserted and removed from the internal space SP is provided at the lower part of the rear surface of the housing 71.

図2、図3に示すように、筐体71内の内部空間SPのうち、入口71Aから上方に離れた領域は作業空間SP1となっている。作業空間SP1の下部の領域は、下部空間SP2となっている。すなわち、入口71Aは、筐体71内の内部空間SPの下部空間SP2にアクセス可能な位置に設けられている。2 and 3, the area of the internal space SP within the housing 71 that is located above the entrance 71A is the working space SP1. The area below the working space SP1 is the lower space SP2. In other words, the entrance 71A is provided at a position that allows access to the lower space SP2 of the internal space SP within the housing 71.

図17に示すように、筐体71の前面にはステンシル通過開口(以下、開口)71Bが設けられている。すなわち、開口71Bは、入口71Aよりも高い位置に設けられている。作業空間SP1は、開口71Bを介して外部(筐体71の前方)と連通している。開口71Bは、ステンシル15がY軸に沿って通過できる大きさを有している。 As shown in Figure 17, a stencil passage opening (hereinafter, opening) 71B is provided on the front surface of the housing 71. That is, the opening 71B is provided at a higher position than the entrance 71A. The working space SP1 communicates with the outside (the front of the housing 71) via the opening 71B. The opening 71B is large enough to allow the stencil 15 to pass along the Y axis.

ステンシル移動機構21は、作業空間SP1に配置された収納体72に収納され、開口71Bの高さに配置されたステンシル15を開口71Bから前方へ引き出してステンシル設置位置に設置する。またステンシル移動機構21は、ステンシル設置位置に位置したステンシル15を開口71Bから収納体72に収納する。詳細には、ステンシル移動機構21は、収納体72の棚部72Sに収納されているステンシル15を開口71Bから前方へ引き出してステンシル設置位置に設置する。そして、ステンシル移動機構21は、ステンシル設置位置に位置したステンシル15を開口71Bから収納体72の棚部72Sに戻す。このように、ステンシル交換部3は、部材であるステンシル15を供給するための供給位置(例えば、作業空間SP1)へ、ステンシル15を収納した収納体72を移動する収納体移動装置として機能する。また、ステンシル移動機構21は、この収納体移動装置によって収納体72が供給位置に配置されたことを受けて、ステンシル15を収納体72から取り出す部材移動機構として機能する。これら収納体移動装置と部材移動機構は、図15に示すように、部材供給装置78を構成している。The stencil moving mechanism 21 pulls the stencil 15, which is stored in the storage body 72 arranged in the working space SP1 and is located at the height of the opening 71B, forward from the opening 71B and sets it at the stencil installation position. The stencil moving mechanism 21 also stores the stencil 15 located at the stencil installation position in the storage body 72 from the opening 71B. In detail, the stencil moving mechanism 21 pulls the stencil 15 stored in the shelf portion 72S of the storage body 72 forward from the opening 71B and sets it at the stencil installation position. Then, the stencil moving mechanism 21 returns the stencil 15 located at the stencil installation position from the opening 71B to the shelf portion 72S of the storage body 72. In this way, the stencil exchange unit 3 functions as a storage body moving device that moves the storage body 72 storing the stencil 15 to a supply position (e.g., the working space SP1) for supplying the stencil 15, which is a member. In addition, when the container 72 is placed at the supply position by the container moving device, the stencil moving mechanism 21 functions as a member moving mechanism that removes the stencil 15 from the container 72. The container moving device and member moving mechanism constitute a member supply device 78, as shown in FIG.

図18は、収納体72の斜視図である。収納体72はY軸に沿って前後に開口した方形筒状の形状を有しており、内部には上下に並んだ複数の棚部72Sが設けられている。棚部72Sにはそれぞれ、ステンシル15が水平姿勢で載置(収納)されている。収納体72には通常、基板KBの品種に応じた複数種類のステンシル15が収納されている。このように、収納体72は、ステンシル15を挿抜可能に収納している。 Figure 18 is an oblique view of the storage body 72. The storage body 72 has a rectangular cylindrical shape that opens forward and backward along the Y axis, and has multiple shelves 72S lined up vertically inside. A stencil 15 is placed (stored) in a horizontal position on each shelf 72S. The storage body 72 typically stores multiple types of stencils 15 corresponding to the type of board KB. In this way, the storage body 72 stores the stencils 15 in a removable manner.

図17に示すように、昇降機73は、昇降体81と、昇降体支持部82と、ナット部83と、ボール螺子84と、昇降体昇降モータ(以下、第3モータ)85とを有している。昇降体81は、水平面内に拡がった形状を有し、収納体72を支持する収納体支持部として機能する。昇降体支持部82は、X軸に沿って延びて昇降体81を支持する。ナット部83は、昇降体支持部82の一端に設けられている。ボール螺子84は、ナット部83に螺合して上下に延びている。第3モータ85は、ボール螺子84を回転する。第3モータ85が作動するとボール螺子84が回転する。これによりナット部83を介して昇降体支持部82が上下に移動する。その結果、昇降体支持部82に連結された昇降体81が上下に移動する。このように、昇降機73では、収納体72を支持する昇降体81が、作業空間SP1と下部空間SP2にわたって昇降する。このように、昇降機73は、筐体71の入口71Aから搬入された収納体72を、筐体71の入口71Aの近傍と、入口71Aから離れた位置である作業空間SP1との間で移動させる収納体移動機構として機能する。As shown in FIG. 17, the elevator 73 has a lifting body 81, a lifting body support part 82, a nut part 83, a ball screw 84, and a lifting body lifting motor (hereinafter, the third motor) 85. The lifting body 81 has a shape that spreads in a horizontal plane, and functions as a storage body support part that supports the storage body 72. The lifting body support part 82 extends along the X-axis to support the lifting body 81. The nut part 83 is provided at one end of the lifting body support part 82. The ball screw 84 is screwed into the nut part 83 and extends up and down. The third motor 85 rotates the ball screw 84. When the third motor 85 is operated, the ball screw 84 rotates. This causes the lifting body support part 82 to move up and down via the nut part 83. As a result, the lifting body 81 connected to the lifting body support part 82 moves up and down. In this manner, in the elevator 73, the elevator 81 supporting the storage body 72 rises and falls between the working space SP1 and the lower space SP2. In this manner, the elevator 73 functions as a storage body moving mechanism that moves the storage body 72, which has been carried in through the entrance 71A of the housing 71, between the vicinity of the entrance 71A of the housing 71 and the working space SP1, which is a position away from the entrance 71A.

昇降体81は、第3モータ85の作動方向、すなわちボール螺子84の回転方向に応じて上昇または下降する。図19の(a)部に示すように、昇降体81が筐体71内において定められた下限位置にあるとき、作業者は、入口71Aから収納体72を昇降体81の上面に載置して収納体72を筐体71内にセットすることができる。また、昇降体81が下限位置にあるとき、作業者は、昇降体81に載置された収納体72を入口71Aから取り出すことができる。このように、下限位置にある昇降体81の上面は、筐体71の内部に収納体72をセットする位置である「収納体セット位置」となっている。The lifting body 81 rises or falls depending on the operating direction of the third motor 85, i.e., the rotation direction of the ball screw 84. As shown in part (a) of FIG. 19, when the lifting body 81 is at a lower limit position determined within the housing 71, the worker can place the storage body 72 on the upper surface of the lifting body 81 from the entrance 71A and set the storage body 72 within the housing 71. Also, when the lifting body 81 is at the lower limit position, the worker can remove the storage body 72 placed on the lifting body 81 from the entrance 71A. In this way, the upper surface of the lifting body 81 at the lower limit position is the "storage body set position" where the storage body 72 is set inside the housing 71.

昇降機73では、図19の(b)部に示すように、収納体セット位置に収納体72がセットされた状態で昇降体81が上昇する。すなわち昇降機73は、ステンシル設置位置に設置させようとするステンシル15を所定の作業高さHsに位置させる。以下、ステンシル設置位置に設置させようとするステンシル15を設置対象ステンシル15Pと称する。作業高さHsとは、ステンシル移動機構21が開口71Bを通じて収納体72とステンシル設置位置との間で移動させることができる高さである。設置対象ステンシル15Pを作業高さHsに位置させることで、ステンシル移動機構21は、設置対象ステンシル15Pを収納体72とステンシル設置位置との間で移動させることができる。図19の(b)部は、設置対象ステンシル15Pを作業高さHsに位置させた状態を示している。なお、図19の(b)部は、設置対象ステンシル15Pが収納体72の下方の棚部72Sに載置されている場合に収納体72が配置される供給位置を示している。設置対象ステンシル15Pが収納体72の上方の棚部72Sに載置されている場合には、収納体72の位置は図19の(b)部に示す位置より下になり、収納体72は作業空間SP1と下部空間SP2とに跨った位置に配置される。このように、ステンシル移動機構21にステンシル15を供給するための供給位置は、収納体72における設置対象ステンシル15Pの高さ位置によって複数存在する。In the elevator 73, as shown in (b) of FIG. 19, the elevator 81 rises with the storage body 72 set at the storage body set position. That is, the elevator 73 positions the stencil 15 to be installed at the stencil installation position at a predetermined working height Hs. Hereinafter, the stencil 15 to be installed at the stencil installation position is referred to as the installation target stencil 15P. The working height Hs is the height at which the stencil moving mechanism 21 can move the installation target stencil 15P between the storage body 72 and the stencil installation position through the opening 71B. By positioning the installation target stencil 15P at the working height Hs, the stencil moving mechanism 21 can move the installation target stencil 15P between the storage body 72 and the stencil installation position. Part (b) of FIG. 19 shows the state in which the installation target stencil 15P is positioned at the working height Hs. 19(b) shows the supply position at which the storage body 72 is placed when the stencil 15P to be installed is placed on the shelf 72S below the storage body 72. When the stencil 15P to be installed is placed on the shelf 72S above the storage body 72, the position of the storage body 72 is lower than the position shown in FIG. 19(b), and the storage body 72 is placed at a position straddling the working space SP1 and the lower space SP2. In this way, there are multiple supply positions for supplying the stencil 15 to the stencil moving mechanism 21 depending on the height position of the stencil 15P to be installed in the storage body 72.

下側センサ75と上側センサ76とはそれぞれ、例えば、光学的に物体を検出するエリアセンサを含む。図17、図20に示すように、下側センサ75は、X軸に沿って互いに対向して配置された下側投光部75Aと下側受光部75Bとから構成されている。図20の(b)部に示すように、下側投光部75Aは、X軸に沿って下側光L1を発し、下側受光部75Bは下側光L1を受ける。このように、下側センサ75は、XZ面にほぼ平行なセーフティライトカーテン(以下、下側ライトカーテンM1)を形成することによって、入口71Aを通過する物体を検出する。一方、上側センサ76は、図20の(a)部に示すように、X軸に沿って互いに対向して配置された上側投光部76Aと上側受光部76Bとから構成されている。上側投光部76Aは、X軸に沿って上側光L2を発し、上側受光部76Bは上側光L2を受ける。このように、上側センサ76は、XY面にほぼ平行なセーフティライトカーテン(以下、上側ライトカーテンM2)を形成することによって、内部空間SPにおいて下部空間SP2から作業空間SP1へ移動する物体を検出する。下側センサ75、上側センサ76の検出対象である物体は、例えば、作業者の手である。Each of the lower sensor 75 and the upper sensor 76 includes, for example, an area sensor that optically detects an object. As shown in FIG. 17 and FIG. 20, the lower sensor 75 is composed of a lower light-emitting unit 75A and a lower light-receiving unit 75B arranged opposite each other along the X-axis. As shown in FIG. 20 (b), the lower light-emitting unit 75A emits lower light L1 along the X-axis, and the lower light-receiving unit 75B receives the lower light L1. In this way, the lower sensor 75 detects an object passing through the entrance 71A by forming a safety light curtain (hereinafter, lower light curtain M1) that is approximately parallel to the XZ plane. On the other hand, the upper sensor 76 is composed of an upper light-emitting unit 76A and an upper light-receiving unit 76B arranged opposite each other along the X-axis, as shown in FIG. 20 (a). The upper light-projecting unit 76A emits upper light L2 along the X-axis, and the upper light-receiving unit 76B receives the upper light L2. In this manner, the upper sensor 76 detects an object moving from the lower space SP2 to the working space SP1 in the internal space SP by forming a safety light curtain (hereinafter, upper light curtain M2) that is substantially parallel to the XY plane. The object to be detected by the lower sensor 75 and the upper sensor 76 is, for example, a worker's hand.

上側センサ76は、収納体セット位置にセットされた収納体72とステンシル移動機構21との間に、上側ライトカーテンM2を形成するように設けられている。詳細には、上側ライトカーテンM2は、作業空間SP1と下部空間SP2を分ける高さの位置に形成される。より詳細には、収納体セット位置にセットされた収納体72の上面よりも高く、ステンシル移動機構21により移動されるステンシル15の高さよりも低い位置に、上側ライトカーテンM2が形成される。一方、図20の(b)部に示すように、下側センサ75は、入口71Aを覆う位置に下側ライトカーテンM1が形成されるように設けられている。The upper sensor 76 is provided to form an upper light curtain M2 between the storage body 72 set at the storage body set position and the stencil moving mechanism 21. In detail, the upper light curtain M2 is formed at a height position that separates the working space SP1 and the lower space SP2. More specifically, the upper light curtain M2 is formed at a position higher than the top surface of the storage body 72 set at the storage body set position and lower than the height of the stencil 15 moved by the stencil moving mechanism 21. On the other hand, as shown in part (b) of FIG. 20, the lower sensor 75 is provided to form a lower light curtain M1 at a position that covers the entrance 71A.

前述のように、筐体71の内部空間SPのうち、上側ライトカーテンM2よりも上側の空間が作業空間SP1であり、上側ライトカーテンM2よりも下側の空間が下部空間SP2である。収納体セット位置は下部空間SP2内にある。上側ライトカーテンM2を形成する検査光である上側光L2の少なくとも一部が遮られた場合には、下部空間SP2から作業空間SP1に向かって物体(具体的には作業者の手)が進入したことが検知される。また、下側ライトカーテンM1を形成する検査光である下側光L1の少なくとも一部が遮られた場合には、筐体71の外部から下部空間SP2に向かって物体が進入したことが検知される。As described above, within the internal space SP of the housing 71, the space above the upper light curtain M2 is the work space SP1, and the space below the upper light curtain M2 is the lower space SP2. The storage body set position is within the lower space SP2. When at least a portion of the upper light L2, which is the inspection light forming the upper light curtain M2, is blocked, it is detected that an object (specifically, the worker's hand) has entered from the lower space SP2 toward the work space SP1. When at least a portion of the lower light L1, which is the inspection light forming the lower light curtain M1, is blocked, it is detected that an object has entered from outside the housing 71 toward the lower space SP2.

図21は、スクリーン印刷装置1の制御系統を示す機能ブロック図である。スクリーン印刷装置1が有する制御部90は、基板動作制御部91と、ステンシル動作制御部92と、印刷制御部93と、撮像制御部94と、クリーナ制御部95と、ペースト回収制御部96と、昇降機制御部97とを有している。基板動作制御部91は、基板搬送保持部12による基板KBの搬送および保持の動作と、保持した基板KBのステンシル15に対する位置合わせ動作とを制御する。 Figure 21 is a functional block diagram showing the control system of the screen printing apparatus 1. The control unit 90 of the screen printing apparatus 1 has a substrate operation control unit 91, a stencil operation control unit 92, a printing control unit 93, an imaging control unit 94, a cleaner control unit 95, a paste recovery control unit 96, and an elevator control unit 97. The substrate operation control unit 91 controls the operation of transporting and holding the substrate KB by the substrate transport and holding unit 12, and the operation of aligning the held substrate KB with respect to the stencil 15.

ステンシル動作制御部92は、ステンシル移動機構21とシリンダ14Aとによるステンシル15の搬送動作と設置動作とを制御する。詳細には、ステンシル動作制御部92は、第2モータ67による移動ベース61のY軸に沿った移動動作と、昇降アクチュエータ62による引出しプレート63の昇降動作とを制御する。またステンシル動作制御部92は、吸着開口63Kを介したステンシル15の下面の吸着と、シリンダ14Aによるステンシル設置位置に位置したステンシル15への面内張力の付与動作とを制御する。The stencil operation control unit 92 controls the transport and installation operations of the stencil 15 performed by the stencil moving mechanism 21 and the cylinder 14A. In particular, the stencil operation control unit 92 controls the movement operation of the moving base 61 along the Y axis performed by the second motor 67, and the lifting and lowering operation of the pull-out plate 63 performed by the lifting actuator 62. The stencil operation control unit 92 also controls the suction of the underside of the stencil 15 via the suction opening 63K, and the application of in-plane tension to the stencil 15 positioned at the stencil installation position by the cylinder 14A.

印刷制御部93は、印刷ヘッド16による印刷動作を制御する。詳細には、第1モータ47によるスキージベース41のY軸に沿った移動動作と、昇降駆動部43によるスキージ42の昇降動作とを制御する。The print control unit 93 controls the printing operation by the print head 16. In particular, it controls the movement operation of the squeegee base 41 along the Y axis by the first motor 47 and the lifting and lowering operation of the squeegee 42 by the lifting and lowering drive unit 43.

撮像制御部94は、カメラ22等を制御し、基板搬送保持部12によって保持された基板KBと、ステンシル設置位置に設置されたステンシル15とを撮影させる。詳細には撮像制御部94は、第2モータ67による、移動ベース61のY軸に沿った移動動作と、移動ベース61に対するカメラ22のX軸に沿った移動動作と、下方撮像カメラ22Aによる、下方撮像カメラ22Aの下方の領域の撮像動作とを制御する。また撮像制御部94は、上方撮像カメラ22Bによる、上方撮像カメラ22Bの上方の領域の撮像動作を制御する。The imaging control unit 94 controls the camera 22 and the like to capture images of the substrate KB held by the substrate transport holding unit 12 and the stencil 15 installed at the stencil installation position. In detail, the imaging control unit 94 controls the movement of the moving base 61 along the Y axis by the second motor 67, the movement of the camera 22 along the X axis relative to the moving base 61, and the imaging operation of the lower imaging camera 22A of the area below the lower imaging camera 22A. The imaging control unit 94 also controls the imaging operation of the upper imaging camera 22B of the area above the upper imaging camera 22B.

クリーナ制御部95は、吹付け部19によるステンシル15の上面のクリーニング動作と、上面クリーナ18によるステンシル15の上面のクリーニング動作と、下面クリーナ23によるステンシル15の下面のクリーニング動作とを制御する。 The cleaner control unit 95 controls the cleaning operation of the upper surface of the stencil 15 by the spray unit 19, the cleaning operation of the upper surface of the stencil 15 by the upper surface cleaner 18, and the cleaning operation of the lower surface of the stencil 15 by the lower surface cleaner 23.

詳細には、クリーナ制御部95は、吹付け部19によるステンシル15の上面のクリーニング動作では、バルブ部19Vを作動させることで、管状部19P内に高圧空気を供給し、噴出孔19Nから気体を噴出させる。 In detail, when the spray unit 19 is performing a cleaning operation on the top surface of the stencil 15, the cleaner control unit 95 operates the valve unit 19V to supply high-pressure air into the tubular unit 19P and eject the gas from the ejection hole 19N.

上面クリーナ18によるステンシル15の上面のクリーニング動作では、クリーナ制御部95は、第1モータ47によるスキージベース41のY軸に沿った移動動作と、上面クリーナ昇降部18Kによる上面クリーナ18の昇降動作とを制御する。さらにクリーナ制御部95は、上面クリーナ18における送出ローラR1と巻取ローラR2の動作と、ノズル部NZによる空気の吸引動作とを制御する。In the cleaning operation of the top surface of the stencil 15 by the top surface cleaner 18, the cleaner control unit 95 controls the movement operation of the squeegee base 41 along the Y axis by the first motor 47 and the lifting operation of the top surface cleaner 18 by the top surface cleaner lifting unit 18K. Furthermore, the cleaner control unit 95 controls the operation of the delivery roller R1 and the take-up roller R2 in the top surface cleaner 18 and the air suction operation by the nozzle unit NZ.

下面クリーナ23によるステンシル15の下面のクリーニング動作では、クリーナ制御部95は、第2モータ67による移動ベース61のY軸に沿った移動動作と、第2連結部23Rによる移動ベース61への下面クリーナ23の連結動作とを制御する。さらにクリーナ制御部95は、下面クリーナ23における送出ローラR1と巻取ローラR2の動作と、ノズル部NZによる空気の吸引動作とを制御する。In the cleaning operation of the underside cleaner 23 on the underside of the stencil 15, the cleaner control unit 95 controls the movement operation of the moving base 61 along the Y axis by the second motor 67 and the connection operation of the underside cleaner 23 to the moving base 61 by the second connection unit 23R. Furthermore, the cleaner control unit 95 controls the operation of the delivery roller R1 and the take-up roller R2 in the underside cleaner 23 and the air suction operation by the nozzle unit NZ.

図21に示すように、クリーナ制御部95は、第1クリーニング制御部95aと、第2クリーニング制御部95bと、第3クリーニング制御部95cとを有している。第1クリーニング制御部95aは、ステンシル設置位置に設置しようとするステンシル15に対して行うクリーニングを制御する。第2クリーニング制御部95bは、ステンシル設置位置に設置されたステンシル15に対し、基板KBに対するペーストPstの印刷作業の合間に行う通常クリーニングを制御する。また、第3クリーニング制御部95cは、ステンシル設置位置に設置されたステンシル15に対し、ステンシル移動機構21によってステンシル15をステンシル設置位置から収納体72へ移動させる前に行うクリーニングを制御する。すなわち、第3クリーニング制御部95cは、ステンシル15をステンシル交換部3の収納体72内に戻す直前に行うクリーニングを制御する。21, the cleaner control unit 95 has a first cleaning control unit 95a, a second cleaning control unit 95b, and a third cleaning control unit 95c. The first cleaning control unit 95a controls the cleaning performed on the stencil 15 to be installed at the stencil installation position. The second cleaning control unit 95b controls the normal cleaning performed on the stencil 15 installed at the stencil installation position between printing operations of the paste Pst on the substrate KB. The third cleaning control unit 95c controls the cleaning performed on the stencil 15 installed at the stencil installation position before the stencil 15 is moved from the stencil installation position to the storage body 72 by the stencil moving mechanism 21. In other words, the third cleaning control unit 95c controls the cleaning performed immediately before the stencil 15 is returned to the storage body 72 of the stencil exchange unit 3.

クリーナ制御部95は、下面クリーナ23を少なくとも第1の動作モードと第2の動作モードのいずれかで動作させてステンシル15の下面のクリーニングを行わせる。第2の動作モードは第1の動作モードよりもクリーニング時間が長い。具体的には、第1の動作モードよりも下面クリーナ23をステンシル15に対して相対的に往復させる回数が多い。クリーナ制御部95は、収納体72に戻される前のステンシル15を、少なくとも第2のモードで下面クリーナ23にクリーニングさせる。また、クリーナ制御部95は、下面クリーナ23にステンシル15の下面をクリーニングさせるとき、第2の動作モードでは、第1の動作モードよりも強い吸引力でクリーニングさせる。The cleaner control unit 95 operates the underside cleaner 23 in at least one of the first and second operating modes to clean the underside of the stencil 15. The second operating mode has a longer cleaning time than the first operating mode. Specifically, the underside cleaner 23 moves back and forth relative to the stencil 15 more times than in the first operating mode. The cleaner control unit 95 causes the underside cleaner 23 to clean the stencil 15 before it is returned to the storage body 72 at least in the second mode. Furthermore, when the cleaner control unit 95 causes the underside cleaner 23 to clean the underside of the stencil 15, in the second operating mode, the cleaner control unit 95 causes the cleaning with a stronger suction force than in the first operating mode.

下面クリーナ23は、クリーニングペーパーPRに洗浄用の液体を供給する図示しない液体供給部を有している。そして下面クリーナ23は、クリーニングペーパーPRに液体を浸み込ませてクリーニングを行う湿式クリーニングと、クリーニングペーパーPRに液体を浸み込ませずにクリーニングを行う乾式クリーニングとを実行可能になっている。なお、第2の動作モードによるステンシル15のクリーニングに湿式クリーニングを含めてもよい。The underside cleaner 23 has a liquid supply unit (not shown) that supplies cleaning liquid to the cleaning paper PR. The underside cleaner 23 can perform wet cleaning, in which the cleaning paper PR is soaked in liquid, and dry cleaning, in which the cleaning paper PR is not soaked in liquid. Note that the cleaning of the stencil 15 in the second operating mode may include wet cleaning.

ペースト回収制御部96は、スクレイパユニット17によるステンシル15の上面のクリーニング動作を制御する。詳細には、第1モータ47によるスキージベース41のY軸に沿った移動動作と、第1連結部41Rによるスキージベース41へのスクレイパベース51の連結動作と、昇降シリンダ52によるスクレイパ54の昇降動作とを制御する。The paste recovery control unit 96 controls the cleaning operation of the top surface of the stencil 15 by the scraper unit 17. In detail, it controls the movement operation of the squeegee base 41 along the Y axis by the first motor 47, the connection operation of the scraper base 51 to the squeegee base 41 by the first connection unit 41R, and the lifting and lowering operation of the scraper 54 by the lift cylinder 52.

昇降機制御部97は、昇降機73による収納体72の昇降動作を制御する。具体的には、昇降機制御部97は、第3モータ85の動作を制御する。図21に示すように、昇降機制御部97は安全制御部97aを有している。The elevator control unit 97 controls the lifting and lowering operation of the storage body 72 by the elevator 73. Specifically, the elevator control unit 97 controls the operation of the third motor 85. As shown in FIG. 21, the elevator control unit 97 has a safety control unit 97a.

安全制御部97aは、下側センサ75と上側センサ76との各動作および昇降機73とステンシル移動機構21への電力供給停止を制御する。その際、安全制御部97aは、次に示す第1の運用モードまたは第2の運用モードに基づく。なお、これら第1の運用モードと第2の運用モードは任意に切り替えることが可能である。The safety control unit 97a controls the operation of the lower sensor 75 and the upper sensor 76, and stops the power supply to the elevator 73 and the stencil moving mechanism 21. At that time, the safety control unit 97a is based on the first operation mode or the second operation mode shown below. Note that it is possible to arbitrarily switch between these first and second operation modes.

第1の運用モードでは、安全制御部97aは、原則として、下側センサ75を常時オンにして物体検出を有効にし、上側センサ76を常時オフにして物体検出を無効にする。すなわち安全制御部97aは、下側センサ75と上側センサ76とを図20の(b)部に示す状態にする。そして、下側センサ75が物体を検出した場合には、昇降機73への動力用電力の供給を停止させるとともに、タッチパネル77を通じて警報音を発生させて作業者に注意を喚起する。但し、入口71Aから収納体72を出し入れする場合、または収納体72からステンシル15を出し入れする場合には上側センサ76をオンにし、下側センサ75をオフにする。すなわち安全制御部97aは、下側センサ75と上側センサ76とを図20の(a)部に示す状態にする。このオンオフは、タッチパネル77や印刷部2のタッチパネル(図示せず)から作業者が要求を入力した場合に切り替えられる。これ以外に例えば、収納体72の交換作業に無人搬送システムが採用されている場合において、その無人搬送システムから収納体72の交換要求があった場合に、このオンオフが切り替えられる。In the first operation mode, the safety control unit 97a, in principle, always keeps the lower sensor 75 on to enable object detection, and always keeps the upper sensor 76 off to disable object detection. That is, the safety control unit 97a sets the lower sensor 75 and the upper sensor 76 in the state shown in part (b) of FIG. 20. Then, when the lower sensor 75 detects an object, the supply of power to the elevator 73 is stopped, and an alarm sound is generated through the touch panel 77 to alert the operator. However, when the storage body 72 is taken in or out through the entrance 71A, or when the stencil 15 is taken in or out from the storage body 72, the upper sensor 76 is turned on and the lower sensor 75 is turned off. That is, the safety control unit 97a sets the lower sensor 75 and the upper sensor 76 in the state shown in part (a) of FIG. 20. This on/off is switched when the operator inputs a request from the touch panel 77 or the touch panel (not shown) of the printing unit 2. In addition, for example, when an unmanned transport system is used for the replacement of the container 72, when a request for replacement of the container 72 is received from the unmanned transport system, this switch is switched on and off.

このように安全制御部97aは、第1の運用モードでは、入口71Aから収納体72が搬入もしくは搬出される場合には、下側センサ75による物体検出を無効にするとともに、上側センサ76が物体を検出したら昇降機73への動力用電力の供給を停止させる。また安全制御部97aは、入口71Aから収納体72が搬入もしくは搬出されるとき以外は上側センサ76による物体検出を無効にするとともに下側センサ75が物体を検出したら昇降機73への動力用電力の供給を停止させる。すなわち安全制御部97aは、収納体72が入口71Aを通過するときには、下側センサ75による検出を無効にし、上側センサ76が入口71Aから作業空間SP1へ移動する物体を検出したら昇降機73への動力用電力の供給を停止させる。また安全制御部97aは、収納体72が入口71Aを通過するとき以外には、上側センサ76による検出を無効にし、下側センサ75が入口71Aを通過する物体を検出したら昇降機73への動力用電力の供給を停止させる。In this way, in the first operation mode, the safety control unit 97a disables object detection by the lower sensor 75 when the storage body 72 is carried in or out through the entrance 71A, and stops the supply of power to the elevator 73 when the upper sensor 76 detects an object. The safety control unit 97a also disables object detection by the upper sensor 76 except when the storage body 72 is carried in or out through the entrance 71A, and stops the supply of power to the elevator 73 when the lower sensor 75 detects an object. In other words, the safety control unit 97a disables detection by the lower sensor 75 when the storage body 72 passes through the entrance 71A, and stops the supply of power to the elevator 73 when the upper sensor 76 detects an object moving from the entrance 71A to the workspace SP1. In addition, the safety control unit 97a disables detection by the upper sensor 76 except when the storage body 72 passes through the entrance 71A, and stops the supply of power to the elevator 73 when the lower sensor 75 detects an object passing through the entrance 71A.

一方、第2の運用モードでは、安全制御部97aは、現場の作業者の作業性を考慮し、収納体72が下部空間SP2に位置していて昇降機73が停止しているときは、常時、下側センサ75をオフにし、上側センサ76をオンにする。すなわち安全制御部97aは、図20の(a)部に示す状態にする。この運用モードでは、作業者がいつでも収納体72やステンシル15を出し入れすることが可能である。したがって、印刷部2が作業空間SP1においてステンシル15の出し入れを行うとき以外は、昇降機73は下部空間SP2に収納体72を位置させて停止し、待機する。昇降機73が作動するときは、安全制御部97aは、下側センサ75をオンにし、上側センサをオフにする。すなわち安全制御部97aは、下側センサ75と上側センサ76とを図20の(a)部に示す状態にする。On the other hand, in the second operation mode, the safety control unit 97a takes into consideration the workability of the workers on site, and always turns off the lower sensor 75 and turns on the upper sensor 76 when the storage body 72 is located in the lower space SP2 and the elevator 73 is stopped. That is, the safety control unit 97a sets the state shown in part (a) of FIG. 20. In this operation mode, the worker can take in and out the storage body 72 and the stencil 15 at any time. Therefore, except when the printing unit 2 takes in and out the stencil 15 in the work space SP1, the elevator 73 stops with the storage body 72 positioned in the lower space SP2 and waits. When the elevator 73 is operating, the safety control unit 97a sets the lower sensor 75 on and the upper sensor off. That is, the safety control unit 97a sets the lower sensor 75 and the upper sensor 76 to the state shown in part (a) of FIG. 20.

このように安全制御部97aは、第2の運用モードでは、収納体72が筐体71の入口71Aから搬入もしくは搬出可能な位置で停止しているときは、下側センサ75による物体検出を無効にする。また安全制御部97aは、上側センサ76が入口71Aから作業空間SP1へ移動する物体を検出したら昇降機73への動力用電力の供給を停止させる。昇降機73が作動するときには、安全制御部97aは、上側センサ76による物体検出を無効にするとともに下側センサ75が入口71Aを通過する物体を検出したら昇降機73への動力用電力の供給を停止させる。 Thus, in the second operation mode, the safety control unit 97a disables object detection by the lower sensor 75 when the storage body 72 is stopped at a position where it can be loaded or unloaded through the entrance 71A of the housing 71. The safety control unit 97a also stops the supply of power to the elevator 73 when the upper sensor 76 detects an object moving from the entrance 71A to the working space SP1. When the elevator 73 is operating, the safety control unit 97a disables object detection by the upper sensor 76 and stops the supply of power to the elevator 73 when the lower sensor 75 detects an object passing through the entrance 71A.

「物体検出を無効にする」処理では、安全制御部97aは、エリアセンサが光を投光または受光しないようにしてセンシングそのものを行わないようにする。すなわち安全制御部97aは、下側センサ75では下側光L1、上側センサ76では上側光L2を投光または受光しないようにこれらのセンサの一方を制御する。あるいは、センシングは行うが、制御部90において、センシングの結果を無視するようにしてもよい。In the "disable object detection" process, the safety control unit 97a prevents the area sensor from emitting or receiving light, so that sensing itself is not performed. In other words, the safety control unit 97a controls one of these sensors so that the lower sensor 75 does not emit or receive lower light L1, and the upper sensor 76 does not emit or receive upper light L2. Alternatively, sensing may be performed, but the control unit 90 may ignore the results of the sensing.

図21に示すように、制御部90にはタッチパネル77が電気的に接続されている。タッチパネル77は、スクリーン印刷装置1に対する入力装置および出力装置として機能する。なお、タッチパネル77に代えて、スイッチ等の入力装置と表示パネル等の出力装置を別個に設けてもよい。21, a touch panel 77 is electrically connected to the control unit 90. The touch panel 77 functions as an input device and an output device for the screen printing device 1. Note that instead of the touch panel 77, an input device such as a switch and an output device such as a display panel may be provided separately.

なお、制御部90を構成する基板動作制御部91、ステンシル動作制御部92、印刷制御部93、撮像制御部94、クリーナ制御部95、ペースト回収制御部96、昇降機制御部97は、それぞれCPU(中央演算処理装置)またはLSI(大規模集積回路)で構成されている。必要に応じて、メモリを含んでいてもよい。これらは専用回路で構成されていてもよく、汎用のハードウェアを、一過性または非一過性の記憶装置から読みだしたソフトウェアで制御して実現してもよい。またこれらの2つ以上を一体に構成してもよい。 The board operation control unit 91, stencil operation control unit 92, printing control unit 93, imaging control unit 94, cleaner control unit 95, paste recovery control unit 96, and elevator control unit 97 that make up the control unit 90 are each composed of a CPU (Central Processing Unit) or an LSI (Large Scale Integrated Circuit). They may also include memory as necessary. They may be composed of dedicated circuits, or may be realized by controlling general-purpose hardware with software read from a transient or non-transient storage device. Two or more of these may also be configured as an integrated unit.

次に、スクリーン印刷装置1の動作を説明する。まず、運用モードが第1の運用モードに設定されている場合を説明する。作業者は、収納体72を筐体71内の下部空間SP2にセットするときには、スクリーン印刷において必要となるステンシル15を予め収納体72に収納しておく。すなわち作業者は、必要なステンシル15を収納体72の棚部72Sに載置する。Next, the operation of the screen printing apparatus 1 will be described. First, a case where the operation mode is set to the first operation mode will be described. When the operator sets the storage body 72 in the lower space SP2 in the housing 71, the operator stores the stencils 15 required for screen printing in the storage body 72 in advance. That is, the operator places the required stencils 15 on the shelf portion 72S of the storage body 72.

運用モードが第1の運用モードに設定されているので、作業者が収納体72を収納体セット位置にセットする際、図20の(b)部に示すように、下側センサ75はオン、上側センサ76はオフになっている。このため作業者はまず、タッチパネル77に対し、収納体72を出し入れする動作を開始する旨を入力する。安全制御部97aは、タッチパネル77への入力を検知したら、下側センサ75と上側センサ76のオンオフ状態を切り替える。すなわち安全制御部97aは、図20の(a)部に示すように、下側センサ75をオンからオフにし、上側センサ76をオフからオンする。この際、安全制御部97aは、上側センサ76をオフからオンに切り替えた後に、下側センサ75をオンからオフに切り替える。下側センサ75と上側センサ76とのオンオフ状態が切り替えられたら、作業者は、下側センサ75により物体検出がなされることなく、入口71Aから筐体71の下部空間SP2内に収納体72をセットすることが可能となる。 Because the operation mode is set to the first operation mode, when the worker sets the storage body 72 to the storage body setting position, the lower sensor 75 is on and the upper sensor 76 is off, as shown in part (b) of FIG. 20. Therefore, the worker first inputs to the touch panel 77 that the operation of inserting and removing the storage body 72 will begin. When the safety control unit 97a detects the input to the touch panel 77, it switches the on/off state of the lower sensor 75 and the upper sensor 76. That is, as shown in part (a) of FIG. 20, the safety control unit 97a switches the lower sensor 75 from on to off and the upper sensor 76 from off to on. At this time, the safety control unit 97a switches the upper sensor 76 from off to on, and then switches the lower sensor 75 from on to off. Once the on/off states of the lower sensor 75 and the upper sensor 76 are switched, the worker can set the storage body 72 in the lower space SP2 of the housing 71 from the entrance 71A without the lower sensor 75 detecting an object.

このように、作業者は、タッチパネル77へ入力したら、図19の(a)部に示すように、収納体72を下部空間SP2にセットする。収納体72をセットする作業の間、作業者が誤って作業空間SP1内へ手を差し入れてしまった場合には、上側センサ76が、この動作を物体の進入として検出する。そして安全制御部97aは、ステンシル移動機構21への動力用電力の供給を停止する。このため、作業者の安全が確保される。 In this way, after inputting information into the touch panel 77, the worker sets the storage body 72 in the lower space SP2, as shown in part (a) of Figure 19. If the worker accidentally inserts his or her hand into the work space SP1 while setting up the storage body 72, the upper sensor 76 detects this action as the entry of an object. The safety control unit 97a then stops the supply of power to the stencil moving mechanism 21. This ensures the safety of the worker.

作業者は、収納体72を収納体セット位置にセットした後、入口71Aから手を抜き去ったら、タッチパネル77に対し、収納体72を出し入れする動作を終了する旨(セット終了の旨)を入力する。安全制御部97aは、タッチパネル77への入力を検知したら、下側センサ75と上側センサ76のオンオフ状態を切り替える。すなわち安全制御部97aは、図20の(b)部に示すように、下側センサ75をオフからオンにし、上側センサ76をオンからオフにする。この際、安全制御部97aは、下側センサ75をオフからオンに切り替えた後に、上側センサ76をオンからオフに切り替える。作業者がセット終了の旨をタッチパネル77に入力した後、作業者が誤って入口71Aに手を差し入れてしまった場合、下側センサ75がこの動作を物体の進入として検出する。そして安全制御部97aは、昇降機73への動力両電力の供給を停止する。このため、作業者の安全が確保される。After setting the storage body 72 in the storage body setting position, the worker removes his/her hand from the entrance 71A and inputs to the touch panel 77 that the operation of inserting and removing the storage body 72 is finished (setting completion). When the safety control unit 97a detects the input to the touch panel 77, it switches the on/off state of the lower sensor 75 and the upper sensor 76. That is, as shown in part (b) of FIG. 20, the safety control unit 97a switches the lower sensor 75 from off to on and the upper sensor 76 from on to off. At this time, the safety control unit 97a switches the lower sensor 75 from off to on, and then switches the upper sensor 76 from on to off. If the worker mistakenly inserts his/her hand into the entrance 71A after inputting the setting completion to the touch panel 77, the lower sensor 75 detects this operation as the entry of an object. The safety control unit 97a then stops the supply of both power and drive electricity to the elevator 73. This ensures the safety of the worker.

作業者がタッチパネル77にセット終了の旨を入力し、入口71Aにおける物体検出が有効になったら、昇降機制御部97は、昇降機73を作動させて収納体72を持ち上げる。そして昇降機制御部97は、図19の(b)部に示すように、設置対象ステンシル15Pを作業高さHsに配置する。このとき上側センサ76はオフであるので、収納体72が下部空間SP2から作業空間SP1に移動しても、上側センサ76により物体検出がされることなく、ステンシル移動機構21の動作は規制されない。When the worker inputs the completion of setting on the touch panel 77 and object detection at the entrance 71A is enabled, the elevator control unit 97 operates the elevator 73 to raise the storage body 72. The elevator control unit 97 then places the stencil 15P to be installed at the working height Hs, as shown in part (b) of Figure 19. At this time, the upper sensor 76 is off, so even if the storage body 72 moves from the lower space SP2 to the working space SP1, no object is detected by the upper sensor 76, and the operation of the stencil moving mechanism 21 is not restricted.

設置対象ステンシル15Pの高さが作業高さHsになると、制御部90は、ステンシル移動機構21を制御して、設置対象ステンシル15Pをステンシル設置位置へと搬送する。具体的には、制御部90はまず、ステンシル動作制御部92によって第2モータ67を作動させる。移動ベース61に取り付けられた引出しプレート63の上面には、X軸に沿って並んで2つのステンシル移動用係合突起63Tが設けられ、収納体72内の設置対象ステンシル15Pの前縁には、複数の係合孔15Hが設けられている。ステンシル動作制御部92は、移動ベース61をステンシル交換部3に向かって移動させて、ステンシル移動用係合突起63Tをそれぞれ、対応する係合孔15Hの下方に配置する。When the height of the stencil 15P to be installed reaches the working height Hs, the control unit 90 controls the stencil moving mechanism 21 to transport the stencil 15P to be installed to the stencil installation position. Specifically, the control unit 90 first operates the second motor 67 via the stencil operation control unit 92. Two stencil movement engagement protrusions 63T are provided side by side along the X-axis on the upper surface of the drawer plate 63 attached to the moving base 61, and multiple engagement holes 15H are provided on the front edge of the stencil 15P to be installed in the storage body 72. The stencil operation control unit 92 moves the moving base 61 toward the stencil exchange unit 3, and positions the stencil movement engagement protrusions 63T below the corresponding engagement holes 15H.

ステンシル移動用係合突起63Tが係合孔15Hの下方に配置されると、図22に示すように、制御部90は、昇降アクチュエータ62を作動させて、ステンシル移動用係合突起63Tをそれぞれ対応する係合孔15Hに下方から係合させる。そして、制御部90は、吸着開口63Kでステンシル15の下面を吸着し、第2モータ67を作動させて、移動ベース61をステンシル設置位置へ向かって移動させる。これによりステンシル15は移動ベース61とともに前方へ移動する。このときステンシル15(設置対象ステンシル15P)の左右の両辺は、図15に示すように、一対のY軸ガイド部13aのガイド13Gによって案内されるので、まっすぐに前方へ引き出される。When the stencil movement engagement protrusions 63T are positioned below the engagement holes 15H, as shown in FIG. 22, the control unit 90 operates the lift actuator 62 to engage the stencil movement engagement protrusions 63T with the corresponding engagement holes 15H from below. The control unit 90 then sucks the underside of the stencil 15 with the suction opening 63K and operates the second motor 67 to move the moving base 61 toward the stencil installation position. This causes the stencil 15 to move forward together with the moving base 61. At this time, the left and right sides of the stencil 15 (the stencil to be installed 15P) are guided by the guides 13G of the pair of Y-axis guides 13a as shown in FIG. 15, and are therefore pulled straight forward.

このようにしてステンシル15がステンシル移動機構21によって収納体72から引き出されたら、制御部90は昇降機制御部97により昇降機73を制御して、図19の(a)部に示すように、昇降体81を下限位置まで降ろす。作業者は、昇降体81が下限位置まで降りたことを確認したら、タッチパネル77に対し、収納体72の出し入れを開始する旨を入力する。安全制御部97aは、タッチパネル77への入力を検知したら、下側センサ75と上側センサ76のオンオフ状態を切り替える。すなわち安全制御部97aは、図20の(a)部に示すように、下側センサ75をオンからオフにし、上側センサ76をオフからオンする。この際、安全制御部97aは、上側センサ76をオフからオンに切り替えた後に、下側センサ75をオンからオフに切り替える。下側センサ75と上側センサ76とのオンオフ状態が切り替えられたら、作業者は、下側センサ75により物体検出がなされることなく、入口71Aから筐体71の下部空間SP2から収納体72を取り出しあるいは交換することが可能となる。 When the stencil 15 is thus pulled out of the storage body 72 by the stencil moving mechanism 21, the control unit 90 controls the elevator 73 by the elevator control unit 97 to lower the lifting body 81 to the lower limit position as shown in part (a) of FIG. 19. After the operator confirms that the lifting body 81 has been lowered to the lower limit position, the operator inputs to the touch panel 77 that the operator will start inserting and removing the storage body 72. When the safety control unit 97a detects the input to the touch panel 77, it switches the on/off state of the lower sensor 75 and the upper sensor 76. That is, the safety control unit 97a switches the lower sensor 75 from on to off and the upper sensor 76 from off to on as shown in part (a) of FIG. 20. At this time, the safety control unit 97a switches the upper sensor 76 from off to on, and then switches the lower sensor 75 from on to off. Once the on/off states of the lower sensor 75 and the upper sensor 76 are switched, the worker can remove or replace the storage body 72 from the lower space SP2 of the housing 71 through the entrance 71A without the lower sensor 75 detecting an object.

このように、作業者は、タッチパネル77へ入力したら、収納体72を下部空間SP2から取り出す。この作業の間、作業者が誤って作業空間SP1内へ手を差し入れてしまった場合には、上側センサ76が、この動作を物体の進入として検出する。そして安全制御部97aは、ステンシル移動機構21への動力用電力の供給を停止する。このため、作業者の安全が確保される。 In this way, after inputting to the touch panel 77, the worker removes the storage body 72 from the lower space SP2. If the worker accidentally inserts his/her hand into the work space SP1 during this operation, the upper sensor 76 detects this action as the entry of an object. The safety control unit 97a then stops the supply of power to the stencil moving mechanism 21. This ensures the safety of the worker.

上記のようにしてステンシル15が前方へ向けて引き出される過程において、クリーナ制御部95は、第1クリーニング制御部95aにより吹付け部19を制御させて、ステンシル15の上面をクリーニングする。具体的には、第1クリーニング制御部95aは、吹付け部19を構成するバルブ部19Vを制御して、図15に示すように、管状部19Pの噴出孔19Nから高圧気体GSを噴射させる。During the process in which the stencil 15 is pulled forward as described above, the cleaner control unit 95 controls the spray unit 19 via the first cleaning control unit 95a to clean the upper surface of the stencil 15. Specifically, the first cleaning control unit 95a controls the valve unit 19V constituting the spray unit 19 to spray high-pressure gas GS from the nozzle hole 19N of the tubular portion 19P as shown in FIG.

第1クリーニング制御部95aは、吹付け部19を制御して、高圧気体GSの噴射領域をステンシル15が通過し始めてから通過し終わるまでの間、高圧気体GSを連続して噴射させる。吹付け部19の管状部19Pは、ステンシル15の移動経路(ステンシル設置位置と収納体72との間)の上方で、ステンシル15の移動方向に対して交差するように横に延びている。吹付け部19は、管状部19Pの噴出孔19Nから、ステンシル移動機構21によって移動するステンシル15をクリーニングする。これによりステンシル15の上面に付着しているごみや埃等の異物が高圧気体GSによって吹き飛ばされて除去される。The first cleaning control unit 95a controls the spray unit 19 to continuously spray the high-pressure gas GS from the time the stencil 15 starts to pass through the spray area of the high-pressure gas GS until it finishes passing through. The tubular portion 19P of the spray unit 19 extends horizontally above the movement path of the stencil 15 (between the stencil installation position and the storage body 72) so as to intersect with the movement direction of the stencil 15. The spray unit 19 cleans the stencil 15, which is moved by the stencil movement mechanism 21, from the ejection hole 19N of the tubular portion 19P. As a result, foreign matter such as dirt and dust adhering to the upper surface of the stencil 15 is blown away and removed by the high-pressure gas GS.

このように、吹付け部19は、ステンシル移動機構21がステンシル15を収納体72から引き出してステンシル設置位置へ移動させる間にステンシル15の上面に気体(高圧気体GS)を吹き付ける。すなわち、スクリーン印刷装置1は、ペーストPstで汚れる前のステンシル15をクリーニングする使用前ステンシルクリーナとしての吹付け部19を有している。吹付け部19は、ステンシル15の上面に気体を吹き付けてクリーニングするので、収納体72から引き出されたステンシル15の上面にごみや埃等の異物が付着していてもガスが異物を吹き飛ばして除去する。このため、収納体72内のステンシル15の上面にごみや埃等の異物が付着していても印刷の品質が低下することを防止できる。In this way, the spraying unit 19 sprays gas (high-pressure gas GS) onto the top surface of the stencil 15 while the stencil moving mechanism 21 pulls out the stencil 15 from the storage body 72 and moves it to the stencil installation position. In other words, the screen printing device 1 has the spraying unit 19 as a pre-use stencil cleaner that cleans the stencil 15 before it becomes dirty with the paste Pst. The spraying unit 19 cleans the top surface of the stencil 15 by spraying gas onto it, so even if foreign matter such as dirt or dust is attached to the top surface of the stencil 15 pulled out from the storage body 72, the gas blows away and removes the foreign matter. Therefore, even if foreign matter such as dirt or dust is attached to the top surface of the stencil 15 in the storage body 72, it is possible to prevent a decrease in printing quality.

制御部90は、移動ベース61を前方へ移動させて収納体72内のステンシル15を前方へ引き出し、図23に示すように、移動ベース61が所定の停止位置に達したら、移動ベース61を停止させる。移動ベース61が停止位置に停止したときには、ステンシル15はまだ、ステンシル設置位置には到達していない。制御部90は、移動ベース61を停止位置に停止させたら、吸着開口63Kによるステンシル15の吸着を解除する。そして制御部90は、昇降アクチュエータ62を作動させて引出しプレート63を下降させ、ステンシル移動用係合突起63Tを係合孔15Hから離脱させる。The control unit 90 moves the movable base 61 forward to pull out the stencil 15 in the storage body 72 forward, and stops the movable base 61 when it reaches a predetermined stop position as shown in FIG. 23. When the movable base 61 stops at the stop position, the stencil 15 has not yet reached the stencil installation position. When the control unit 90 stops the movable base 61 at the stop position, it releases the suction of the stencil 15 by the suction opening 63K. Then, the control unit 90 operates the lifting actuator 62 to lower the pull-out plate 63, and disengages the stencil movement engagement protrusion 63T from the engagement hole 15H.

ステンシル移動用係合突起63Tが係合孔15Hから離脱したら、制御部90は、ステンシル15をその位置に維持したまま、移動ベース61を停止位置から後方へ移動させる。そして制御部90は、ステンシル移動用係合突起63Tが、ステンシル15の後縁の係合孔15Hの下方に位置する位置に、引出しプレート63を位置決めする。制御部90は、引出しプレート63を位置決めしたら、昇降アクチュエータ62を作動させて、図24に示すように、ステンシル移動用係合突起63Tを係合孔15Hに下方から係合させる。Once the stencil movement engagement protrusion 63T has disengaged from the engagement hole 15H, the control unit 90 moves the moving base 61 backward from the stop position while maintaining the stencil 15 in that position. The control unit 90 then positions the drawer plate 63 so that the stencil movement engagement protrusion 63T is located below the engagement hole 15H at the rear edge of the stencil 15. Once the control unit 90 has positioned the drawer plate 63, it activates the lift actuator 62 to engage the stencil movement engagement protrusion 63T with the engagement hole 15H from below, as shown in FIG. 24.

制御部90は、ステンシル移動用係合突起63Tが係合孔15Hに係合したら、吸着開口63Kからステンシル15の下面を吸着し、第2モータ67を作動させて、移動ベース61を前方へ移動させる。これによりステンシル15は移動ベース61とともに前方へ移動する。そして図25および図26の(a)部に示すように、ステンシル15がステンシル設置位置に達したら、制御部90は、移動ベース61を停止させる。When the stencil movement engagement protrusion 63T engages with the engagement hole 15H, the control unit 90 sucks the underside of the stencil 15 through the suction opening 63K and activates the second motor 67 to move the moving base 61 forward. This causes the stencil 15 to move forward together with the moving base 61. Then, as shown in part (a) of Figures 25 and 26, when the stencil 15 reaches the stencil installation position, the control unit 90 stops the moving base 61.

制御部90は、上記のようにしてステンシル15をステンシル設置位置に配置すると、吸着開口63Kによるステンシル15の吸着を解除し、引出しプレート63を下降させる。これによりステンシル移動用係合突起63Tが係合孔15Hから下方に離脱する。その後、制御部90は、第2モータ67を作動させて、移動ベース61を後方へ移動させる。 When the control unit 90 places the stencil 15 at the stencil installation position as described above, it releases the suction of the stencil 15 by the suction opening 63K and lowers the pull-out plate 63. This causes the stencil movement engagement protrusion 63T to disengage downward from the engagement hole 15H. The control unit 90 then operates the second motor 67 to move the movement base 61 rearward.

移動ベース61が後方へ移動すると、制御部90は、2つの昇降シリンダ31を作動させて、図26の(b)部に示すように、ステンシル保持部14を下降させる。そして制御部90は、ステンシル保持部14の下面に設けられた複数の係合突起14Tを、ステンシル15に形成された複数の係合孔15Hに上方から嵌入させる。When the moving base 61 moves rearward, the control unit 90 operates the two lifting cylinders 31 to lower the stencil holding unit 14 as shown in part (b) of Fig. 26. The control unit 90 then causes the multiple engagement protrusions 14T provided on the underside of the stencil holding unit 14 to fit from above into the multiple engagement holes 15H formed in the stencil 15.

係合突起14Tがそれぞれ、対応する係合孔15Hに上方から嵌入したら、制御部90は、4つの押さえシリンダ32のそれぞれの押さえロッド32Rを作動させて、図26の(c)部に示すように、ステンシル保持部14の四隅を下方に押圧する。これにより押さえシリンダ32は、ステンシル保持部14を介して、ステンシル15をステンシルガイド13の上面に押し付ける。When the engagement protrusions 14T are fitted into the corresponding engagement holes 15H from above, the control unit 90 activates the pressing rods 32R of the four pressing cylinders 32 to press the four corners of the stencil holding part 14 downward, as shown in part (c) of Figure 26. This causes the pressing cylinders 32 to press the stencil 15 against the upper surface of the stencil guide 13 via the stencil holding part 14.

ステンシル15がステンシルガイド13の上面に押し付けられたら、制御部90は、図10に示すシリンダ14Aを作動させる。これにより、Y軸に沿った係合突起14Tの2つの列とX軸に沿った係合突起14Tの2つの列がそれぞれ、ステンシル保持部14の中央部から遠ざかる方向に移動する。この結果、図26の(d)部および図12の矢印Tsで示すように、ステンシル15には面内張力が与えられ、ステンシル15はステンシル設置位置に設置される。When the stencil 15 is pressed against the upper surface of the stencil guide 13, the control unit 90 activates the cylinder 14A shown in Fig. 10. This causes the two rows of engagement protrusions 14T along the Y axis and the two rows of engagement protrusions 14T along the X axis to move away from the center of the stencil holding unit 14. As a result, as shown in part (d) of Fig. 26 and the arrow Ts in Fig. 12, an in-plane tension is applied to the stencil 15, and the stencil 15 is placed at the stencil placement position.

ステンシル15がステンシル設置位置に設置されると、制御部90は、図5に示す第1コンベア12Aを制御して外部から基板KBを搬入させ、基板KBを第2コンベア12Bに受け渡させる。第2コンベア12Bが基板KBを受け取ったら、制御部90は、基板保持部12Dを制御して基板KBを保持させる。When the stencil 15 is placed at the stencil placement position, the control unit 90 controls the first conveyor 12A shown in Figure 5 to carry in the board KB from outside and transfers the board KB to the second conveyor 12B. When the second conveyor 12B receives the board KB, the control unit 90 controls the board holding unit 12D to hold the board KB.

基板KBが保持されると、制御部90は、図7に示す第2モータ67を作動させて移動ベース61をY軸に沿って移動させるとともに、カメラ22を移動ベース61上でX軸に沿って移動させる。これによって制御部90は、カメラ22を基板KBとステンシル15との間に配置する。そして制御部90は、下方撮像カメラ22Aによって基板KBの上面に設けられた位置合わせマークを撮像させ、上方撮像カメラ22Bによってステンシル15の下面に設けられた位置合わせマークを撮像させる。これらのマークの位置に基づき、制御部90は、基板KBとステンシル15の間の位置ずれを把握する。 Once the substrate KB is held, the control unit 90 operates the second motor 67 shown in Figure 7 to move the moving base 61 along the Y axis, and moves the camera 22 on the moving base 61 along the X axis. This causes the control unit 90 to position the camera 22 between the substrate KB and the stencil 15. The control unit 90 then causes the lower imaging camera 22A to capture an image of an alignment mark provided on the top surface of the substrate KB, and the upper imaging camera 22B to capture an image of an alignment mark provided on the bottom surface of the stencil 15. Based on the positions of these marks, the control unit 90 determines the misalignment between the substrate KB and the stencil 15.

制御部90は、基板KBとステンシル15の間の位置ずれを把握したら、図5に示す多段テーブル12Eを作動させる。これによって制御部90は、その位置ずれがなくなるように基板保持部12Dを水平面内で移動させる。すなわち制御部90は、基板KBの位置合わせマークとステンシル15の位置合わせマークとが平面視において一致するように、基板KBをステンシル15に対して位置合わせする。基板KBがステンシル15に対して位置合わせされると、制御部90は、多段テーブル12Eを作動させて、基板保持部12Dを上昇させる。 Once the control unit 90 has determined the misalignment between the substrate KB and the stencil 15, it operates the multi-stage table 12E shown in Figure 5. This causes the control unit 90 to move the substrate holding unit 12D in the horizontal plane so that the misalignment is eliminated. In other words, the control unit 90 aligns the substrate KB with the stencil 15 so that the alignment marks of the substrate KB and the stencil 15 coincide in a plan view. Once the substrate KB is aligned with the stencil 15, the control unit 90 operates the multi-stage table 12E to raise the substrate holding unit 12D.

基板保持部12Dを上昇させることによって基板KBの上面がステンシル15の下面に接触したら、制御部90は、印刷ヘッド16によりスキージングを行う。印刷ヘッド16によるスキージングでは、まず、図示しないペースト供給部が、図27の(a)部に示すように、ステンシル15の上面にペーストPstを供給する。あるいは後述するようにスクレイパユニット17が、掬い取ったペーストPstをステンシル15の上面に下す。そして制御部90は、図27の(b)部に示すように、印刷ヘッド16が有するスキージ42のうちの一方をスキージベース41の下方に下降させる。スキージ42の一方の下端がステンシル15の上面に当接すると、制御部90は、スキージ42をY軸に沿って移動させる。When the upper surface of the substrate KB comes into contact with the lower surface of the stencil 15 by raising the substrate holding unit 12D, the control unit 90 performs squeegeeing with the print head 16. In squeegeeing with the print head 16, first, a paste supply unit (not shown) supplies paste Pst to the upper surface of the stencil 15 as shown in part (a) of FIG. 27. Alternatively, as described below, the scraper unit 17 lowers the scooped paste Pst onto the upper surface of the stencil 15. Then, the control unit 90 lowers one of the squeegees 42 of the print head 16 below the squeegee base 41 as shown in part (b) of FIG. 27. When the lower end of one of the squeegees 42 comes into contact with the upper surface of the stencil 15, the control unit 90 moves the squeegee 42 along the Y axis.

具体的には制御部90は、第1モータ47を作動させて、スキージベース41をY軸に沿って移動させることによって、図27の(c)部の矢印Fで示すように、スキージ42をY軸に沿って移動させる。スキージングによりスキージ42はステンシル15上を摺動し、ステンシル15上のペーストPstをY軸に沿って掻き寄せる。その結果、ペーストPstはステンシル15に設けられたパターン開口15Kを通じて基板KBの上面の電極パターンに塗布される。Specifically, the control unit 90 operates the first motor 47 to move the squeegee base 41 along the Y axis, thereby moving the squeegee 42 along the Y axis, as shown by the arrow F in part (c) of Figure 27. Squeegeeing causes the squeegee 42 to slide over the stencil 15, scraping the paste Pst on the stencil 15 along the Y axis. As a result, the paste Pst is applied to the electrode pattern on the upper surface of the substrate KB through the pattern opening 15K provided in the stencil 15.

上記のようにして基板KBにペーストPstが塗布されると、制御部90は、多段テーブル12Eを作動させることによって、基板KBをステンシル15から下方に分離させて基板KBを版離れさせる。基板KBが版離れしたら、制御部90は、第2コンベア12Bを作動させて基板KBを第3コンベア12Cに受け渡す。第3コンベア12Cは受け取った基板KBを外部に搬出する。これにより基板KBの1枚当たりの印刷作業が終了する。 When the paste Pst has been applied to the board KB as described above, the control unit 90 operates the multi-stage table 12E to separate the board KB downward from the stencil 15, thereby releasing the board KB from the plate. Once the board KB has been released from the plate, the control unit 90 operates the second conveyor 12B to transfer the board KB to the third conveyor 12C. The third conveyor 12C then transports the received board KB to the outside. This completes the printing work for one board KB.

次に、ステンシル15をクリーニングする動作について説明する。クリーナ制御部95は、基板KBに対するペーストPstの印刷作業の合間に、ステンシル15の表面(下面)のクリーニング(通常クリーニング)を行う。具体的には、第2クリーニング制御部95bが下面クリーナ23を制御して通常クリーニングを行わせる。ステンシル15の下面のクリーニングを開始するとき、下面クリーナ23は、図4に示すようにステンシル設置位置の前方のクリーナ待機位置に配置されている。クリーナ制御部95は、まず、図7に示す第2モータ67を作動させることによって移動ベース61をY軸に沿って移動させ、移動ベース61を下面クリーナ23に近づける。そして、クリーナ制御部95は、図14に示す第2連結部23Rを作動させることによって、下面クリーナ23を移動ベース61に連結させる。Next, the operation of cleaning the stencil 15 will be described. The cleaner control unit 95 cleans (normal cleaning) the surface (lower surface) of the stencil 15 between printing operations of the paste Pst on the substrate KB. Specifically, the second cleaning control unit 95b controls the lower surface cleaner 23 to perform normal cleaning. When starting cleaning of the lower surface of the stencil 15, the lower surface cleaner 23 is disposed in a cleaner standby position in front of the stencil installation position as shown in FIG. 4. The cleaner control unit 95 first operates the second motor 67 shown in FIG. 7 to move the moving base 61 along the Y axis, and brings the moving base 61 closer to the lower surface cleaner 23. Then, the cleaner control unit 95 operates the second connecting unit 23R shown in FIG. 14 to connect the lower surface cleaner 23 to the moving base 61.

下面クリーナ23が移動ベース61に連結すると、クリーナ制御部95は、移動ベース61をY軸に沿って移動させて、下面クリーナ23のノズル部NZをステンシル15の下方に位置させる。そしてクリーナ制御部95は、前述の図示しない下面クリーナ昇降部を作動させることによって、クリーニングペーパーPRを介して下面クリーナ23のノズル部NZをステンシル15の下面に当接させる。When the underside cleaner 23 is connected to the movable base 61, the cleaner control unit 95 moves the movable base 61 along the Y axis to position the nozzle part NZ of the underside cleaner 23 below the stencil 15. The cleaner control unit 95 then operates the underside cleaner lifting unit (not shown) described above to bring the nozzle part NZ of the underside cleaner 23 into contact with the underside of the stencil 15 via the cleaning paper PR.

クリーニングペーパーPRを介して下面クリーナ23のノズル部NZがステンシル15の下面に当接すると、クリーナ制御部95は、ノズル部NZが空気を吸引するように制御しつつ、移動ベース61をY軸に沿って往復移動させる。具体的にはクリーナ制御部95は、図28の(a)部および図29に示すように、移動ベース61をY軸に沿って後方に移動させた後、図28の(b)部に示すように、移動ベース61をY軸に沿って前方に移動させる。これにより、ステンシル15のパターン開口15Kを通ってステンシル15の裏面に付着したペーストPstがクリーニングペーパーPRによって拭き取られ、ステンシル15の裏面から除去される。通常クリーニングでは、このようなステンシル15の下面のクリーニングが、基板KBに対するペーストPstの印刷作業の合間に行われる。詳細には、ステンシル設置位置に設置したステンシル15に対し、ノズル部NZが、Y軸に沿って1回あるいは2回程度往復する。When the nozzle part NZ of the lower cleaner 23 comes into contact with the lower surface of the stencil 15 through the cleaning paper PR, the cleaner control unit 95 controls the nozzle part NZ to suck air while moving the moving base 61 back and forth along the Y axis. Specifically, the cleaner control unit 95 moves the moving base 61 backward along the Y axis as shown in (a) of FIG. 28 and FIG. 29, and then moves the moving base 61 forward along the Y axis as shown in (b) of FIG. 28. As a result, the paste Pst that has adhered to the back surface of the stencil 15 through the pattern opening 15K of the stencil 15 is wiped off by the cleaning paper PR and removed from the back surface of the stencil 15. In normal cleaning, such cleaning of the lower surface of the stencil 15 is performed between printing operations of the paste Pst on the board KB. In detail, the nozzle part NZ moves back and forth along the Y axis once or twice with respect to the stencil 15 installed at the stencil installation position.

このように下面クリーナ23は、クリーニングペーパーPRをステンシル15の表面(下面)に接触させて相対的に往復移動することでステンシル15の表面(下面)に付着したペーストPstを拭き取る。In this way, the underside cleaner 23 wipes off the paste Pst adhering to the surface (underside) of the stencil 15 by bringing the cleaning paper PR into contact with the surface (underside) of the stencil 15 and moving it back and forth relative to it.

クリーナ制御部95は、上記の要領で通常クリーニングを行う。これ以外に、クリーナ制御部95は、印刷すべき全ての基板KBに対してペーストPstのスキージングを実行した後には、ステンシル設置位置に設置しているステンシル15に対し、収納前クリーニングを実行する。具体的には、収納前クリーニングでは、第3クリーニング制御部95cが下面クリーナ23を制御して、ステンシル15を念入りにクリーニングさせるとともに、上面クリーナ18を制御して、ステンシル15の上面をクリーニングさせる。The cleaner control unit 95 performs normal cleaning in the manner described above. In addition, after the cleaner control unit 95 has performed squeegeeing of the paste Pst on all the substrates KB to be printed, it performs pre-storage cleaning on the stencil 15 installed at the stencil installation position. Specifically, in the pre-storage cleaning, the third cleaning control unit 95c controls the lower surface cleaner 23 to thoroughly clean the stencil 15, and controls the upper surface cleaner 18 to clean the upper surface of the stencil 15.

クリーナ制御部95は、収納前クリーニングを行うときは、まず、スクレイパユニット17によって、ステンシル15の上面に残っているペーストPstを掬い取る。ペーストPstを掬い取るときには、クリーナ制御部95は、図13に示す第1モータ47を作動させることによってスキージベース41をY軸に沿って移動させ、スキージベース41をスクレイパユニット17に近づける。そしてクリーナ制御部95は、スキージベース41に設けられた第1連結部41Rを作動させることによって、スクレイパユニット17をスキージベース41に連結させる。When performing pre-storage cleaning, the cleaner control unit 95 first uses the scraper unit 17 to scoop up the paste Pst remaining on the top surface of the stencil 15. When scooping up the paste Pst, the cleaner control unit 95 operates the first motor 47 shown in FIG. 13 to move the squeegee base 41 along the Y axis and bring the squeegee base 41 closer to the scraper unit 17. The cleaner control unit 95 then operates the first connection unit 41R provided on the squeegee base 41 to connect the scraper unit 17 to the squeegee base 41.

スクレイパユニット17がスキージベース41に連結すると、ペースト回収制御部96が、ステンシル15上のペーストPstを回収する。具体的にはペースト回収制御部96は、スキージベース41のY軸に沿った移動動作と、昇降シリンダ52によるスクレイパ54のZ軸に沿った移動動作とを連動させる。これによってペースト回収制御部96は、ステンシル15上のペーストPstをスクレイパ54に掬い取らせる。具体的には、ペースト回収制御部96はまず、昇降シリンダ52を作動させて、図30の(a)部の矢印D1で示すように、スクレイパ54の先端部をステンシル15の上面に当接させる。このときスクレイパ54の先端部を、ペーストPstの近傍に位置させる。なお、ペーストPstの位置は、直前のスキージングにおいてスキージ42を停止させた位置から認識することができる。When the scraper unit 17 is connected to the squeegee base 41, the paste recovery control unit 96 recovers the paste Pst on the stencil 15. Specifically, the paste recovery control unit 96 links the movement of the squeegee base 41 along the Y axis with the movement of the scraper 54 along the Z axis by the lift cylinder 52. As a result, the paste recovery control unit 96 causes the scraper 54 to scoop up the paste Pst on the stencil 15. Specifically, the paste recovery control unit 96 first operates the lift cylinder 52 to bring the tip of the scraper 54 into contact with the upper surface of the stencil 15 as shown by the arrow D1 in part (a) of FIG. 30. At this time, the tip of the scraper 54 is positioned near the paste Pst. The position of the paste Pst can be recognized from the position where the squeegee 42 was stopped in the previous squeegeeing.

スクレイパ54の先端部がステンシル15の上面に当接すると、ペースト回収制御部96は、図30の(b)部の矢印D2で示すように、スクレイパ54がステンシル15上のペーストPstの下に入り込むようにスキージベース41をY軸に沿って移動させる。スクレイパ54がペーストPstの下に入り込んだら、ペースト回収制御部96は、昇降シリンダ52を作動させて、図30の(c)部の矢印D3で示すように、スクレイパ54を上昇させる。これによりステンシル15上のペーストPstは、スクレイパ54によって掬い取られる。When the tip of the scraper 54 comes into contact with the top surface of the stencil 15, the paste recovery control unit 96 moves the squeegee base 41 along the Y axis so that the scraper 54 gets under the paste Pst on the stencil 15, as shown by the arrow D2 in part (b) of Figure 30. When the scraper 54 gets under the paste Pst, the paste recovery control unit 96 operates the lift cylinder 52 to raise the scraper 54, as shown by the arrow D3 in part (c) of Figure 30. As a result, the paste Pst on the stencil 15 is scooped up by the scraper 54.

ペースト回収制御部96がスクレイパユニット17を作動させてペーストPstを回収すると、クリーナ制御部95は、ペーストPstが回収された後のステンシル15の上面をクリーニングするとともに、ステンシル15の下面をクリーニングする。具体的には、上面クリーナ18がステンシル15の上面をクリーニングし、下面クリーナ23がステンシル15の下面をクリーニングする。クリーナ制御部95は、まず、図31の(a)部に示す上面クリーナ昇降部18Kを作動させて、クリーニングペーパーPRを介して上面クリーナ18のノズル部NZをステンシル15の上面に当接させる。When the paste recovery control unit 96 operates the scraper unit 17 to recover the paste Pst, the cleaner control unit 95 cleans the upper surface of the stencil 15 after the paste Pst has been recovered and also cleans the lower surface of the stencil 15. Specifically, the upper surface cleaner 18 cleans the upper surface of the stencil 15, and the lower surface cleaner 23 cleans the lower surface of the stencil 15. The cleaner control unit 95 first operates the upper surface cleaner lifting unit 18K shown in part (a) of Figure 31 to bring the nozzle unit NZ of the upper surface cleaner 18 into contact with the upper surface of the stencil 15 via the cleaning paper PR.

上面クリーナ18のノズル部NZがクリーニングペーパーPRを介してステンシル15の上面に当接すると、クリーナ制御部95は、ノズル部NZが空気を吸引するように制御する。またクリーナ制御部95は、図31の(a)部、(b)部に示す状態を繰り返し、スキージベース41をY軸に沿って往復移動させる。これによりステンシル15の上面に付着したペーストPstはクリーニングペーパーPRによって拭き取られ、ステンシル15の上面から除去される。一方、ステンシル15の下面のクリーニング手順は、前述の通常クリーニングの場合と同様である。When the nozzle portion NZ of the upper surface cleaner 18 comes into contact with the upper surface of the stencil 15 via the cleaning paper PR, the cleaner control unit 95 controls the nozzle portion NZ to suck in air. The cleaner control unit 95 also repeats the states shown in parts (a) and (b) of Figure 31, and moves the squeegee base 41 back and forth along the Y axis. As a result, the paste Pst adhering to the upper surface of the stencil 15 is wiped off by the cleaning paper PR and removed from the upper surface of the stencil 15. Meanwhile, the cleaning procedure for the lower surface of the stencil 15 is the same as in the normal cleaning described above.

このように、スクリーン印刷装置1は、ステンシル15上のペーストPstを回収するペースト回収部としてのスクレイパユニット17を有している。上面クリーナ18は、スクレイパユニット17によってステンシル15の上面に残っているペーストPstが掬い取られた後、ステンシル15の上面をクリーニングする。また、上面クリーナ18は、クリーニングペーパーPRをステンシル15の表面(上面)に接触させながら、ステンシル15に対して相対的に往復移動することでステンシル15の表面(上面)に付着したペーストPstを拭き取る。 Thus, the screen printing apparatus 1 has a scraper unit 17 as a paste recovery section that recovers the paste Pst on the stencil 15. The top surface cleaner 18 cleans the top surface of the stencil 15 after the scraper unit 17 scoops up the paste Pst remaining on the top surface of the stencil 15. The top surface cleaner 18 also wipes off the paste Pst adhering to the surface (top surface) of the stencil 15 by moving back and forth relative to the stencil 15 while bringing the cleaning paper PR into contact with the surface (top surface) of the stencil 15.

このようにスクリーン印刷装置1では、ペースト回収部としてのスクレイパユニット17によって、ステンシル15上のペーストPstを回収する。そして、上面クリーナ18が、スクレイパユニット17によってペーストPstが回収された後のステンシル15の上面をクリーニングする。そのため、使用済みのステンシル15を再使用可能な状態で回収することができる。In this way, in the screen printing apparatus 1, the scraper unit 17, which serves as a paste recovery section, recovers the paste Pst on the stencil 15. Then, the top surface cleaner 18 cleans the top surface of the stencil 15 after the paste Pst has been recovered by the scraper unit 17. This allows the used stencil 15 to be recovered in a reusable state.

上述の収納前クリーニングでは、クリーナ制御部95は、ステンシル15の下面のクリーニングを、通常クリーニングのときよりも念入りに行う。すなわち、クリーナ制御部95は、下面クリーナ23を、通常クリーニングでは、第1の動作モードで、収納前クリーニングでは第2の動作モードで動作させる。具体的には、下面クリーナ23のステンシル15に対する往復回数を8~10往復とするなど、通常クリーニングのときよりもステンシル15に対する往復回数を多くする。これにより往復移動の総時間、すなわちペーストPstの拭取り時間も長くなる。このようにスクリーン印刷装置1では、収納体72に戻される前のステンシル15に対しては少なくとも通常よりも長い時間をかけてクリーニングすれば、使用済みのステンシル15をより再使用しやすいな状態で回収することができる。In the above-mentioned pre-storage cleaning, the cleaner control unit 95 cleans the underside of the stencil 15 more thoroughly than in normal cleaning. That is, the cleaner control unit 95 operates the underside cleaner 23 in the first operation mode in normal cleaning and in the second operation mode in pre-storage cleaning. Specifically, the underside cleaner 23 makes more reciprocating movements over the stencil 15 than in normal cleaning, such as 8 to 10 reciprocating movements over the stencil 15. This increases the total time for reciprocating movements, i.e., the time for wiping the paste Pst. In this way, in the screen printing device 1, if the stencil 15 is cleaned for at least a longer time than normal before it is returned to the storage body 72, the used stencil 15 can be collected in a state that makes it easier to reuse it.

上面クリーナ18によるステンシル15の上面のクリーニングは、下面クリーナ23によるステンシル15の下面のクリーニングとは独立して行うことが可能である。しかしながら、上面クリーナ18によるステンシル15の上面のクリーニングを、下面クリーナ23によるステンシル15の下面のクリーニングと同期させて行うことが、クリーニングに要する時間短縮の観点から好ましい。この場合、図31に示すように、上面クリーナ18のノズル部NZと下面クリーナ23のノズル部NZとによってステンシル15を上下から挟み、ステンシル15の上下両面に付着したペーストPstを上下のクリーナによって同時に拭き取ることが好ましい。The cleaning of the upper surface of the stencil 15 by the upper surface cleaner 18 can be performed independently of the cleaning of the lower surface of the stencil 15 by the lower surface cleaner 23. However, from the viewpoint of shortening the time required for cleaning, it is preferable to perform the cleaning of the upper surface of the stencil 15 by the upper surface cleaner 18 in synchronization with the cleaning of the lower surface of the stencil 15 by the lower surface cleaner 23. In this case, as shown in FIG. 31, it is preferable to sandwich the stencil 15 from above and below with the nozzle portion NZ of the upper surface cleaner 18 and the nozzle portion NZ of the lower surface cleaner 23, and to wipe off the paste Pst adhering to both the upper and lower surfaces of the stencil 15 by the upper and lower cleaners simultaneously.

前述のように、クリーナ制御部95は、下面クリーナ23を少なくとも第1の動作モードと第2の動作モードのいずれかで動作させてステンシル15の下面のクリーニングを行わせる。収納体72に戻される前のステンシル15に対して、クリーナ制御部95は、下面クリーナ23に、少なくとも第2のモードでクリーニングを行わせる。なお、通常クリーニングにおいても念入りに(すなわち第2の動作モード)でステンシル15の下面をクリーニングしても構わない。但し、スクリーン印刷装置1におけるタクトを考慮すると、通常クリーニングのときは作業時間の短い第1の動作モードでクリーニングを実行することが好ましい。As described above, the cleaner control unit 95 operates the underside cleaner 23 in at least one of the first and second operating modes to clean the underside of the stencil 15. The cleaner control unit 95 causes the underside cleaner 23 to clean the stencil 15 in at least the second mode before it is returned to the storage body 72. Note that the underside of the stencil 15 may also be thoroughly cleaned (i.e., in the second operating mode) during normal cleaning. However, considering the takt time of the screen printing device 1, it is preferable to perform cleaning in the first operating mode, which has a shorter operating time, during normal cleaning.

制御部90は、クリーナ制御部95において、上記の要領によりステンシル15の収納前クリーニングを行うと、ステンシル15をステンシル交換部3に収納する。ステンシル15をステンシル交換部3に収納する手順は、ステンシル15をステンシル交換部3から引き出してステンシル設置位置に設置する手順と逆の手順である。ステンシル15をステンシル交換部3に収納するときには、制御部90は、昇降機73の昇降体81を下限位置から上昇させ、ステンシル15を戻そうとする収納体72の棚部72Sを作業高さHsに配置する。 After the control unit 90 performs pre-storage cleaning of the stencil 15 in the cleaner control unit 95 in the manner described above, it stores the stencil 15 in the stencil replacement unit 3. The procedure for storing the stencil 15 in the stencil replacement unit 3 is the reverse of the procedure for pulling the stencil 15 out of the stencil replacement unit 3 and setting it at the stencil installation position. When storing the stencil 15 in the stencil replacement unit 3, the control unit 90 raises the lifting body 81 of the elevator 73 from the lower limit position and positions the shelf portion 72S of the storage body 72 to which the stencil 15 is to be returned, at the working height Hs.

次に、ステンシル交換部3が第2の運用モードに設定されている場合について説明する。この場合には、作業者が収納体72を収納体セット位置にセットする際、図20の(a)部に示すように、下側センサ75はオフ、上側センサ76はオンになっている。そのため作業者は、タッチパネル77から特別な入力操作を行うことなく、入口71Aから下部空間SP2内に収納体72をセットすることができる。収納体72をセットする作業の間、作業者が誤って作業空間SP1内へ手を差し入れてしまった場合には、上側センサ76がこの動作を物体の進入として検出する。そして、安全制御部97aが、ステンシル移動機構21への動力用電力の供給を停止するので、作業者の安全が確保される。Next, a case where the stencil exchange unit 3 is set to the second operation mode will be described. In this case, when the worker sets the storage body 72 in the storage body setting position, as shown in part (a) of FIG. 20, the lower sensor 75 is off and the upper sensor 76 is on. Therefore, the worker can set the storage body 72 in the lower space SP2 from the entrance 71A without performing any special input operation on the touch panel 77. If the worker accidentally inserts his or her hand into the working space SP1 while setting the storage body 72, the upper sensor 76 detects this action as the entry of an object. Then, the safety control unit 97a stops the supply of power to the stencil moving mechanism 21, ensuring the safety of the worker.

作業者は、収納体72を下部空間SP2内にセットすえると、タッチパネル77に対し、収納体72の出し入れが終了した旨を入力する。安全制御部97aは、タッチパネル77への入力を検知すると、下側センサ75と上側センサ76のオンオフ状態を切り替える。すなわち安全制御部97aは、図20の(b)部に示すように、下側センサ75をオフからオンにし、上側センサ76をオンからオフにする。そして、昇降機制御部97は昇降機73を作動させて、図19の(b)部に示すように、収納体72を作業高さHsまで上昇させる。 When the worker sets the storage unit 72 in the lower space SP2, he or she inputs to the touch panel 77 that the insertion and removal of the storage unit 72 is complete. When the safety control unit 97a detects the input to the touch panel 77, it switches the on/off state of the lower sensor 75 and the upper sensor 76. That is, as shown in part (b) of Figure 20, the safety control unit 97a switches the lower sensor 75 from off to on, and the upper sensor 76 from on to off. The elevator control unit 97 then operates the elevator 73 to raise the storage unit 72 to the working height Hs, as shown in part (b) of Figure 19.

収納体72が作業高さHsまで上昇され、ステンシル移動機構21によってステンシル15が収納体72に収納されたら、昇降機制御部97は、図19の(a)部に示すように、昇降体81を(すなわち収納体72を)下限位置まで降ろす。昇降機73が収納体72を昇降させている間、作業者が誤って入口71Aに手を差し入れてしまった場合には、下側センサ75がこの動作を物体の進入を検出し、安全制御部97aが昇降機73への動力両電力の供給を停止するので、作業者の安全が確保される。Once the storage body 72 has been raised to the working height Hs and the stencil 15 has been stored in the storage body 72 by the stencil moving mechanism 21, the elevator control unit 97 lowers the lifting body 81 (i.e., the storage body 72) to the lowest position, as shown in part (a) of Figure 19. If an operator accidentally inserts his or her hand into the entrance 71A while the elevator 73 is raising or lowering the storage body 72, the lower sensor 75 detects this action and the entry of an object, and the safety control unit 97a stops the supply of power to the elevator 73, ensuring the safety of the operator.

安全制御部97aは、昇降体81を下限位置まで降ろしたら、下側センサ75と上側センサ76のオンオフ状態を切り替える。そなわち、安全制御部97aは、図20の(a)部に示すように、下側センサ75をオンからオフにし、上側センサ76をオフからオンにする。下側センサ75と上側センサ76のオンオフ状態が切り替えられたら、作業者は、下側センサ75により物体検出がされることなく、入口71Aから筐体71の下部空間SP2から収納体72を取り出しあるいは交換することが可能となる。When the lifting body 81 is lowered to the lowest position, the safety control unit 97a switches the on/off state of the lower sensor 75 and the upper sensor 76. That is, as shown in part (a) of Figure 20, the safety control unit 97a switches the lower sensor 75 from on to off and the upper sensor 76 from off to on. When the on/off state of the lower sensor 75 and the upper sensor 76 is switched, the worker can remove or replace the storage body 72 from the lower space SP2 of the housing 71 through the entrance 71A without the lower sensor 75 detecting an object.

このように、第1の運用モードと第2の運用モードのいずれにおいても、作業者が筐体71の入口71Aから収納体72を出し入れ(搬入もしくは搬出)する場面では、作業者が作業空間SP1内に手を差し入れた際に昇降機73への動力用電力の供給が停止される。一方、昇降機73が筐体71内で収納体72を昇降させる場面では、作業者が入口71Aから手を差し入れた際に昇降機73への動力用電力の供給が停止される。そのため作業者の安全が確保される。これら作業者の手の差し入れを検出するセンサのオンオフは、タッチパネル77から作業者自身が作業の状況を入力することにより切り替えられる。このように、筐体71の内部で収納体72を昇降させる構成において、作業者が稼動状態にある機構に手を触れてしまうことが防止され、筐体71への収納体72の出し入れをする作業者の安全を確保することができる。In this way, in both the first and second operation modes, when the worker puts (carries) the storage body 72 in and out of the entrance 71A of the housing 71, the supply of power to the elevator 73 is stopped when the worker puts his/her hand into the work space SP1. On the other hand, when the elevator 73 raises and lowers the storage body 72 in the housing 71, the supply of power to the elevator 73 is stopped when the worker puts his/her hand in from the entrance 71A. This ensures the safety of the worker. The on/off of the sensor that detects the insertion of the worker's hand is switched by the worker inputting the work situation from the touch panel 77. In this way, in the configuration in which the storage body 72 is raised and lowered inside the housing 71, the worker is prevented from touching the mechanism in operation, and the safety of the worker who puts and takes the storage body 72 in and out of the housing 71 can be ensured.

これまで本開示の実施の形態について説明してきたが、本開示は上述したものに限定されず、種々の変形等が可能である。例えば、筐体71の内部にセットされた収納体72を昇降させて収納体72内のステンシル15を所定の作業高さに位置させる昇降機73の構成は上述したものに限定されず、他の構成を有していてもよい。また、収納体72からステンシル15を引き出してステンシル設置位置へ移動させ、ステンシル設置位置に位置したステンシル15を移動させて収納体72に戻すステンシル移動機構21は、必ずしも上述した構成でなくてもよい。また、本実施の形態では、ステンシル15を部材として印刷部に供給しているが、これに限定されない。例えば、やすりを部材として研磨機に供給する構成に適用してもよい。すなわち、本開示は、部材を交換する必要が生じる装置に適用可能である。また、収納体移動装置であるステンシル交換部3は、縦型であり、入口71Aの近傍の下部空間SP1の上方に作業空間SP1が設けられている。しかしながら入口と作業空間の配置は縦に限定されない。部材に応じて横配置でもよい。 Although the embodiment of the present disclosure has been described so far, the present disclosure is not limited to the above, and various modifications and the like are possible. For example, the configuration of the elevator 73 that raises and lowers the storage body 72 set inside the housing 71 to position the stencil 15 in the storage body 72 at a predetermined working height is not limited to the above, and may have other configurations. In addition, the stencil moving mechanism 21 that pulls out the stencil 15 from the storage body 72 and moves it to the stencil installation position, and moves the stencil 15 located at the stencil installation position and returns it to the storage body 72 does not necessarily have to be configured as described above. In addition, in this embodiment, the stencil 15 is supplied to the printing unit as a member, but this is not limited. For example, it may be applied to a configuration in which a file is supplied to a grinding machine as a member. In other words, the present disclosure is applicable to an apparatus in which it is necessary to replace a member. In addition, the stencil exchange unit 3, which is a storage body moving device, is vertical, and a working space SP1 is provided above the lower space SP1 near the entrance 71A. However, the arrangement of the entrance and the working space is not limited to vertical. It may be horizontal depending on the member.

本開示によれば、収納体移動装置および部材供給装置において作業現場等における作業者の安全を確保することができる。そのため、部材を供給あるいは交換する装置において有用である。 According to the present disclosure, the storage body moving device and the component supply device can ensure the safety of workers at work sites, etc. Therefore, it is useful in devices that supply or replace components.

1 スクリーン印刷装置
2 印刷部
2K 印刷部カバー
3 ステンシル交換部
11 基台
12 基板搬送保持部
12A 第1コンベア
12B 第2コンベア
12C 第3コンベア
12D 基板保持部
12E 多段テーブル
13 ステンシルガイド
13a Y軸ガイド部
13b X軸ガイド部
13G ガイド
13H 水平部
13M 溝
13V 垂直部
14 ステンシル保持部
14A 張力付与シリンダ(シリンダ)
14K 連結部材
14T 係合突起
15 ステンシル
15H 係合孔
15K パターン開口
15P 設置対象ステンシル
16 印刷ヘッド
17 スクレイパユニット
18 上面クリーナ
18K 上面クリーナ昇降部
19 吹付け部
19N 噴出孔
19P 管状部
19V バルブ部
21 ステンシル移動機構
22 カメラ
22A 下方撮像カメラ
22B 上方撮像カメラ
23 下面クリーナ
23R 移動ベース連結部(第2連結部)
31 ステンシル保持部昇降シリンダ(昇降シリンダ)
31R 昇降ロッド
32 ステンシル保持部押さえシリンダ(押さえシリンダ)
32R 押さえロッド
41 スキージベース
41R スクレイパユニット連結部(第1連結部)
42 スキージ
43 昇降駆動部
44 スキージベースガイド
45 スキージベース移動ボール螺子(螺子)
46 スキージベースナット(ナット)
47 スキージベース駆動モータ(第1モータ)
51 スクレイパベース
52 スクレイパ昇降シリンダ(昇降シリンダ)
53 スクレイパ保持部
54 スクレイパ
61 移動ベース
62 昇降アクチュエータ
63 引出しプレート
63K 吸着開口
63T ステンシル移動用係合突起
64 移動ベースガイド
65 移動ベース移動ボール螺子(螺子)
66 移動ベースナット(ナット)
67 移動ベース駆動モータ(第2モータ)
71 筐体
71A 入口
71B ステンシル通過開口(開口)
72 収納体
72S 棚部
73 昇降機
75 下側センサ
75A 下側投光部
75B 下側受光部
76 上側センサ
76A 上側投光部
76B 上側受光部
77 タッチパネル
78 部材供給装置
81 昇降体
82 昇降体支持部
83 ナット部
84 ボール螺子
85 昇降体昇降モータ(第3モータ)
90 制御部
91 基板動作制御部
92 ステンシル動作制御部
93 印刷制御部
94 撮像制御部
95 クリーナ制御部
95a 第1クリーニング制御部
95b 第2クリーニング制御部
95c 第3クリーニング制御部
96 ペースト回収制御部
97 昇降機制御部
97a 安全制御部
GS 高圧気体
KB 基板
L1 下側光
L2 上側光
M1 下側ライトカーテン
M2 上側ライトカーテン
NZ ノズル部
PR クリーニングペーパー
Pst ペースト
R1 送出ローラ
R2 巻取ローラ
SP 内部空間
SP1 作業空間
SP2 下部空間
REFERENCE SIGNS LIST 1 Screen printing device 2 Printing section 2K Printing section cover 3 Stencil exchange section 11 Base 12 Substrate transport and holding section 12A First conveyor 12B Second conveyor 12C Third conveyor 12D Substrate holding section 12E Multi-stage table 13 Stencil guide 13a Y-axis guide section 13b X-axis guide section 13G Guide 13H Horizontal section 13M Groove 13V Vertical section 14 Stencil holding section 14A Tensioning cylinder (cylinder)
14K Connecting member 14T Engagement protrusion 15 Stencil 15H Engagement hole 15K Pattern opening 15P Installation target stencil 16 Print head 17 Scraper unit 18 Top surface cleaner 18K Top surface cleaner lifting section 19 Spray section 19N Spray hole 19P Tubular section 19V Valve section 21 Stencil moving mechanism 22 Camera 22A Lower imaging camera 22B Upper imaging camera 23 Lower surface cleaner 23R Moving base connecting section (second connecting section)
31 Stencil holder lifting cylinder (lifting cylinder)
31R Lifting rod 32 Stencil holding part pressing cylinder (pressing cylinder)
32R Presser rod 41 Squeegee base 41R Scraper unit connection part (first connection part)
42 Squeegee 43 Lifting drive unit 44 Squeegee base guide 45 Squeegee base moving ball screw (screw)
46 Squeegee base nut (nut)
47 Squeegee base drive motor (first motor)
51 Scraper base 52 Scraper lifting cylinder (lifting cylinder)
53 Scraper holding portion 54 Scraper 61 Moving base 62 Lifting actuator 63 Drawer plate 63K Suction opening 63T Stencil moving engagement protrusion 64 Moving base guide 65 Moving base moving ball screw (screw)
66 Moving base nut (nut)
67 Moving base drive motor (second motor)
71 Housing 71A Entrance 71B Stencil passage opening (opening)
72 Storage body 72S Shelf section 73 Lifting machine 75 Lower sensor 75A Lower light projecting section 75B Lower light receiving section 76 Upper sensor 76A Upper light projecting section 76B Upper light receiving section 77 Touch panel 78 Member supply device 81 Lifting body 82 Lifting body support section 83 Nut section 84 Ball screw 85 Lifting body lifting motor (third motor)
90 Control unit 91 Substrate operation control unit 92 Stencil operation control unit 93 Printing control unit 94 Imaging control unit 95 Cleaner control unit 95a First cleaning control unit 95b Second cleaning control unit 95c Third cleaning control unit 96 Paste recovery control unit 97 Elevator control unit 97a Safety control unit GS High pressure gas KB Substrate L1 Lower light L2 Upper light M1 Lower light curtain M2 Upper light curtain NZ Nozzle unit PR Cleaning paper Pst Paste R1 Delivery roller R2 Winding roller SP Internal space SP1 Working space SP2 Lower space

Claims (9)

部材を供給するための供給位置へ前記部材を収納した収納体を移動する収納体移動装置であって、
前記収納体を収納可能な内部空間と、前記内部空間に対して前記収納体を出し入れ可能な入口とが設けられた筐体と、
前記入口の近傍と、前記内部空間内の、前記入口から離れた位置の作業空間との間で搬入された前記収納体を移動させる収納体移動機構と、
前記入口を通過する物体を検出する第1の物体検出部と、
前記内部空間において前記入口の近傍から前記作業空間へ移動する物体を検出する第2の物体検出部と、
前記収納体が前記入口を通過するときには、前記第1の物体検出部による検出を無効にするとともに前記第2の物体検出部が前記入口の近傍から前記作業空間へ移動する前記物体を検出したら前記収納体移動機構への動力用電力の供給を停止させ、
前記収納体が前記入口を通過するとき以外には、前記第2の物体検出部による検出を無効にするとともに前記第1の物体検出部が前記入口を通過する前記物体を検出したら前記収納体移動機構への動力用電力の供給を停止させる安全制御部と、を備えた、
収納体移動装置。
A storage body moving device that moves a storage body storing a member to a supply position for supplying the member,
a housing having an internal space capable of housing the storage body and an entrance through which the storage body can be inserted and removed from the internal space;
a storage body moving mechanism that moves the loaded storage body between a vicinity of the entrance and a working space located away from the entrance in the internal space;
a first object detection unit that detects an object passing through the entrance;
a second object detection unit that detects an object moving from a vicinity of the entrance to the working space in the internal space;
When the storage body passes through the entrance, detection by the first object detection unit is disabled, and when the second object detection unit detects the object moving from the vicinity of the entrance to the working space, the supply of power to the storage body movement mechanism is stopped;
and a safety control unit that disables detection by the second object detection unit except when the storage body passes through the entrance and stops the supply of power to the storage body movement mechanism when the first object detection unit detects the object passing through the entrance.
Storage unit moving device.
前記第1の物体検出部および前記第2の物体検出部は、光学的に物体を検出するエリアセンサである、
請求項1に記載の収納体移動装置。
the first object detection unit and the second object detection unit are area sensors that optically detect objects;
The container moving device according to claim 1 .
前記作業空間は、前記内部空間の上部に設けられ、前記内部空間の下部空間にアクセス可能な位置に前記入口が設けられており、
前記収納体移動装置は、前記収納体を支持する収納体支持部をさらに備え、
前記収納体移動機構は、前記収納体支持部を前記作業空間と前記下部空間との間で移動させる昇降機である、
請求項1または2に記載の収納体移動装置。
The working space is provided in an upper portion of the internal space, and the entrance is provided at a position allowing access to a lower space of the internal space,
The container moving device further includes a container support unit that supports the container,
The storage body moving mechanism is an elevator that moves the storage body support part between the working space and the lower space.
The storage unit moving device according to claim 1 or 2.
前記安全制御部は、前記収納体支持部を前記下部空間に位置させたら、前記第2の物体検出部を有効にした後、前記第1の物体検出部による検出を無効にして、前記収納体が前記入口を通過可能な状態にし、前記収納体が前記入口を通過し終えたら前記第1の物体検出部を有効にした後、前記第2の物体検出部を無効にする、
請求項3に記載の収納体移動装置。
the safety control unit, when the storage body support unit is positioned in the lower space, enables the second object detection unit and then disables detection by the first object detection unit to allow the storage body to pass through the entrance, and, when the storage body has passed through the entrance, enables the first object detection unit and then disables the second object detection unit.
The container moving device according to claim 3.
部材を供給するための供給位置へ前記部材を収納した収納体を移動する収納体移動装置であって、
前記収納体を収納可能な内部空間と、前記内部空間に対して前記収納体を出し入れ可能な入口とが設けられた筐体と、
前記入口の近傍と、前記内部空間内の、前記入口から離れた位置の作業空間との間で搬入された前記収納体を移動させる収納体移動機構と、
前記入口を通過する物体を検出する第1の物体検出部と、
前記内部空間において前記入口の近傍から前記作業空間へ移動する物体を検出する第2の物体検出部と、
前記収納体が前記入口から搬入もしくは搬出可能な位置で停止しているときには、前記第1の物体検出部による検出を無効にするとともに前記第2の物体検出部が前記入口の近傍から前記作業空間へ移動する前記物体を検出したら前記収納体移動機構への動力用電力の供給を停止させ、
前記収納体移動機構が作動するときには前記第2の物体検出部による検出を無効にするとともに前記第1の物体検出部が前記入口を通過する前記物体を検出したら前記収納体移動機構への動力用電力の供給を停止させる安全制御部と、を備えた、
収納体移動装置。
A storage body moving device that moves a storage body storing a member to a supply position for supplying the member,
a housing having an internal space capable of housing the storage body and an entrance through which the storage body can be inserted and removed from the internal space;
a storage body moving mechanism that moves the loaded storage body between a vicinity of the entrance and a working space located away from the entrance in the internal space;
a first object detection unit that detects an object passing through the entrance;
a second object detection unit that detects an object moving from a vicinity of the entrance to the working space in the internal space;
when the storage body is stopped at a position where it can be carried in or out through the entrance, detection by the first object detection unit is disabled, and when the second object detection unit detects the object moving from the vicinity of the entrance to the working space, the supply of power to the storage body movement mechanism is stopped;
a safety control unit that disables detection by the second object detection unit when the storage body moving mechanism is activated and stops supply of power to the storage body moving mechanism when the first object detection unit detects the object passing through the entrance,
Storage unit moving device.
前記第1の物体検出部および前記第2の物体検出部は、光学的に物体を検出するエリアセンサである、
請求項5に記載の収納体移動装置。
the first object detection unit and the second object detection unit are area sensors that optically detect objects;
The container moving device according to claim 5.
前記作業空間は前記内部空間の上部に設けられ、前記内部空間の下部空間にアクセス可能な位置に前記入口が設けられており、
前記収納体移動装置は、前記収納体を支持する収納体支持部をさらに備え、
前記収納体移動機構は、前記収納体支持部を前記作業空間と前記下部空間との間で移動させる昇降機である、
請求項5または6に記載の収納体移動装置。
The working space is provided in an upper portion of the internal space, and the entrance is provided at a position where a lower space of the internal space can be accessed,
The container moving device further includes a container support unit that supports the container,
The storage body moving mechanism is an elevator that moves the storage body support part between the working space and the lower space.
The storage unit moving device according to claim 5 or 6.
前記安全制御部は、前記昇降機が前記収納体支持部を前記下部空間に位置させて停止したら、前記第2の物体検出部を有効にした後、前記第1の物体検出部を無効にし、前記昇降機が作動する場合は前記昇降機が作動する前に前記第1の物体検出部を有効にした後、前記第2の物体検出部を無効にする、
請求項7に記載の収納体移動装置。
the safety control unit enables the second object detection unit and then disables the first object detection unit when the elevator stops with the storage body support unit positioned in the lower space, and when the elevator operates, enables the first object detection unit before the elevator operates and then disables the second object detection unit.
The container moving device according to claim 7.
請求項1~8のいずれか一項に記載の収納体移動装置と、
前記収納体移動装置によって前記収納体が前記供給位置に配置されたことを受けて、前記部材を前記収納体から取り出す部材移動機構と、を備えた、
部材供給装置。
A container moving device according to any one of claims 1 to 8,
a member moving mechanism that removes the member from the storage body when the storage body is placed at the supply position by the storage body moving device,
Parts supply device.
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