JP7595670B2 - ガスレーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 - Google Patents

Description

本開示は、ガスレーザ装置、及び電子デバイスの製造方法に関する。

近年、半導体露光装置においては、半導体集積回路の微細化及び高集積化につれて、解像力の向上が要請されている。このため、露光用光源から放出される光の短波長化が進められている。例えば、露光用のガスレーザ装置としては、波長約２４８ｎｍのレーザ光を出力するＫｒＦエキシマレーザ装置、ならびに波長約１９３ｎｍのレーザ光を出力するＡｒＦエキシマレーザ装置が用いられる。

ＫｒＦエキシマレーザ装置及びＡｒＦエキシマレーザ装置の自然発振光のスペクトル線幅は、３５０ｐｍ～４００ｐｍと広い。そのため、ＫｒＦ及びＡｒＦレーザ光のような紫外線を透過する材料で投影レンズを構成すると、色収差が発生してしまう場合がある。その結果、解像力が低下し得る。そこで、ガスレーザ装置から出力されるレーザ光のスペクトル線幅を、色収差が無視できる程度となるまで狭帯域化する必要がある。そのため、ガスレーザ装置のレーザ共振器内には、スペクトル線幅を狭帯域化するために、狭帯域化素子（エタロンやグレーティング等）を含む狭帯域化モジュール（Ｌｉｎｅ Ｎａｒｒｏｗ Ｍｏｄｕｌｅ：ＬＮＭ）が備えられる場合がある。以下では、スペクトル線幅が狭帯域化されるガスレーザ装置を狭帯域化ガスレーザ装置という。

特開平１－２３１０１７号公報 特開平５－３３５４号公報 特開平８－１４８７３８号公報

概要

本開示の一態様によるガスレーザ装置は、レーザガスの励起によって光が発生する内部空間と、内部空間からの光が出射する孔とを含む筐体と、筐体に配置され、孔から出射する光が通過する中空部を含む筒状のウインドウホルダと、中空部を進行する光が透過し、中空部を進行する光の光軸に対して光が入射する面が傾斜した状態でウインドウホルダによって保持されるウインドウと、ウインドウとウインドウに対向して位置するウインドウホルダの端面との間においてウインドウと端面とに密着して配置されると共に、中空部に連通する端面に囲まれる開口を囲んで配置されるリング状の封止部材と、を備え、ウインドウホルダは、開口を介してウインドウに進行する光のうちウインドウによって反射される反射光の反射方向側に位置し、端面に連続してウインドウから離れる方向に延在し、ウインドウからの反射光を照射される延在面をさらに含み、延在面における反射光の照射位置を通り延在面に垂直な基準線を基準にして反射光の光軸を照射位置で対称に折り返した位置に位置する線は、延在面からウインドウに向かう方向においてウインドウにおける法線をウインドウの外周側からウインドウの中心軸側に向かって跨がる。

また、本開示の一態様による電子デバイスの製造方法は、レーザガスの励起によって光が発生する内部空間と、内部空間からの光が出射する孔とを含む筐体と、筐体に配置され、孔から出射する光が通過する中空部を含む筒状のウインドウホルダと、中空部を進行する光が透過し、中空部を進行する光の光軸に対して光が入射する面が傾斜した状態でウインドウホルダによって保持されるウインドウと、ウインドウとウインドウに対向して位置するウインドウホルダの端面との間においてウインドウと端面とに密着して配置されると共に、中空部に連通する端面に囲まれる開口を囲んで配置されるリング状の封止部材と、を備え、ウインドウホルダは、開口を介してウインドウに進行する光のうちウインドウによって反射される反射光の反射方向側に位置し、端面に連続してウインドウから離れる方向に延在し、ウインドウからの反射光を照射される延在面をさらに含み、延在面における反射光の照射位置を通り延在面に垂直な基準線を基準にして反射光の光軸を照射位置で対称に折り返した位置に位置する線は、延在面からウインドウに向かう方向においてウインドウにおける法線をウインドウの外周側からウインドウの中心軸側に向かって跨がるガスレーザ装置から出射されるレーザ光を露光装置に入射させ、電子デバイスを製造するために、露光装置内で感光基板上にレーザ光を露光することを含む。

本開示のいくつかの実施形態を、単なる例として、添付の図面を参照して以下に説明する。
図１は、電子デバイスの製造装置の全体の概略構成例を示す模式図である。 図２は、ガスレーザ装置の全体の概略構成例を示す模式図である。 図３は、比較例において出力結合ミラー側におけるウインドウ及びウインドウホルダ周辺の概略構成例を示す図である。 図４は、比較例において出力結合ミラー側におけるウインドウ及びウインドウホルダ周辺の概略構成例を示す図である。 図５は、実施形態１において出力結合ミラー側におけるウインドウ及びウインドウホルダ周辺の概略構成例を示す図である。 図６は、ウインドウホルダの端面側から見る場合におけるウインドウホルダの概略斜視図である。 図７は、実施形態２において出力結合ミラー側におけるウインドウ及びウインドウホルダ周辺の概略構成例を示す図である。 図８は、実施形態２の変形例においてウインドウ及びウインドウホルダ周辺の概略構成例を示す図である。 図９は、実施形態２の別の変形例においてウインドウ及びウインドウホルダ周辺の概略構成例を示す図である。 図１０は、実施形態３において出力結合ミラー側におけるウインドウ及びウインドウホルダ周辺の概略構成例を示す図である。 図１１は、実施形態４において出力結合ミラー側におけるウインドウ及びウインドウホルダ周辺の概略構成例を示す図である。 図１２は、実施形態５において出力結合ミラー側におけるウインドウ及びウインドウホルダ周辺の概略構成例を示す図である。 図１３は、図１２に示す窪み部において実線の円で囲まれる領域の模式図である。

実施形態

１．電子デバイスの露光工程で使用される電子デバイスの製造装置の説明
２．比較例のガスレーザ装置の説明
２．１ 構成
２．２ 動作
２．３ 課題
３．実施形態１のガスレーザ装置の説明
３．１ 構成
３．２ 機能
３．３ 作用・効果
４．実施形態２のガスレーザ装置の説明
４．１ 構成
４．２ 作用・効果
５．実施形態３のガスレーザ装置の説明
５．１ 構成
５．２ 作用・効果
６．実施形態４のガスレーザ装置の説明
６．１ 構成
６．２ 作用・効果
７．実施形態５のガスレーザ装置の説明
７．１ 構成
７．２ 作用・効果

以下、本開示の実施形態について、図面を参照しながら詳しく説明する。
以下に説明される実施形態は、本開示のいくつかの例を示すものであって、本開示の内容を限定するものではない。また、各実施形態で説明される構成及び動作の全てが本開示の構成及び動作として必須であるとは限らない。なお、同一の構成要素には同一の参照符号を付して、重複する説明を省略する。

１．電子デバイスの露光工程で使用される電子デバイスの製造装置の説明
図１は、電子デバイスの露光工程で使用される電子デバイスの製造装置の全体の概略構成例を示す模式図である。図１に示すように、露光工程で使用される製造装置は、ガスレーザ装置１００及び露光装置２００を含む。露光装置２００は、複数のミラー２１１，２１２，２１３を含む照明光学系２１０と、投影光学系２２０とを含む。照明光学系２１０は、ガスレーザ装置１００から入射したレーザ光によって、レチクルステージＲＴのレチクルパターンを照明する。投影光学系２２０は、レチクルを透過したレーザ光を、縮小投影してワークピーステーブルＷＴ上に配置された不図示のワークピースに結像させる。ワークピースは、フォトレジストが塗布された半導体ウエハ等の感光基板である。露光装置２００は、レチクルステージＲＴとワークピーステーブルＷＴとを同期して平行移動させることにより、レチクルパターンを反映したレーザ光をワークピースに露光する。以上のような露光工程によって半導体ウエハにデバイスパターンを転写することで電子デバイスである半導体デバイスを製造することができる。

２．比較例のガスレーザ装置の説明
２．１ 構成
比較例のガスレーザ装置１００について説明する。なお、本開示の比較例とは、出願人のみによって知られていると出願人が認識している形態であって、出願人が自認している公知例ではない。

図２は、本例のガスレーザ装置１００の全体の概略構成例を示す模式図である。図２に示すように、本例のガスレーザ装置１００は、筐体１０と、レーザ発振器ＬＯと、波長計測モジュール２０と、プロセッサ７０とを主な構成として含む。本例のガスレーザ装置１００は、例えば、アルゴン（Ａｒ）、フッ素（Ｆ_２）、及びネオン（Ｎｅ）を含む混合ガスを使用するＡｒＦエキシマレーザ装置である。この場合、ガスレーザ装置１００は、中心波長が約１９３ｎｍのパルスレーザ光を出射する。なお、ガスレーザ装置１００は、ＡｒＦエキシマレーザ装置以外のガスレーザ装置であってもよく、例えば、クリプトン（Ｋｒ）、フッ素（Ｆ_２）、及びネオン（Ｎｅ）を含む混合ガスを使用するＫｒＦエキシマレーザ装置であってもよい。この場合、ガスレーザ装置１００は、中心波長が約２４８ｎｍのパルスレーザ光を出射する。レーザ媒質であるＡｒ、Ｆ_２、及びＮｅを含む混合ガスやレーザ媒質であるＫｒ、Ｆ_２、及びＮｅを含む混合ガスは、レーザガスと呼ばれる場合がある。

本開示のプロセッサ７０は、制御プログラムが記憶された記憶装置と、制御プログラムを実行するＣＰＵとを含む処理装置である。プロセッサ７０は、本開示に含まれる各種処理を実行するために特別に構成又はプログラムされている。プロセッサ７０は、ガスレーザ装置１００の幾つかの構成を制御する。また、プロセッサ７０は、ガスレーザ装置１００全体を制御する。

レーザ発振器ＬＯは、チャンバ装置ＣＨと、充電器ＢＣと、狭帯域化モジュール６０と、出力結合ミラーＯＣと、を主な構成として含む。

チャンバ装置ＣＨは、筐体３０と、一対のウインドウ３１ａ，３１ｂと、後述する一対のウインドウホルダ３００ａ，３００ｂと、後述する一対の封止部材４００ａ，４００ｂと、後述する一対の固定ユニット５００ａ，５００ｂと、一対の電極３２ａ，３２ｂと、絶縁部３３と、パルスパワーモジュール３５と、電極ホルダ部３６と、クロスフローファン３８と、モータ３８Ｍとを主な構成として備える。

ウインドウ３１ａ及びウインドウ３１ｂは、筐体３０における互いに対向する位置に設けられている。ウインドウ３１ａは、筐体３０におけるレーザ光の進行方向における一端側に位置し、ウインドウ３１ｂは、筐体３０におけるレーザ光の進行方向における他端側に位置している。後述のようにガスレーザ装置１００では、筐体３０を含む光路上で光が発振してレーザ光が出射するため、筐体３０の内部空間で発生したレーザ光は、ウインドウ３１ａ及びウインドウ３１ｂを介して筐体３０の外部に出射する。それぞれのウインドウ３１ａ，３１ｂは、レーザ光のＰ偏光の反射が抑制されるように、レーザ光の進行方向に対してブリュースター角をなすように傾けられている。

筐体３０は、上記のレーザガスの励起によって光が発生する内部空間を含む。レーザガスは、筐体１０に配置される不図示のレーザガス供給源から不図示の配管を介して筐体３０の内部空間に供給される。本例では、ガスレーザ装置１００がＡｒＦエキシマレーザ装置であるため、例えば、Ａｒ、Ｆ_２、及びＮｅを含む混合ガスがレーザガス供給源から筐体３０の内部空間に供給される。なお、ガスレーザ装置１００がＫｒＦエキシマレーザである場合、例えば、Ｋｒ、Ｆ_２、及びＮｅを含む混合ガスがレーザガス供給源から筐体３０の内部空間に供給される。レーザガスの励起によって発生する上記した光は、筐体３０の後述する孔３０ａから出射され、筒状のウインドウホルダ３００ａ，３００ｂのそれぞれの中空部を通過して、ウインドウ３１ａ，３１ｂに進行する。

一対の電極３２ａ，３２ｂの長手方向はレーザ光の進行方向に沿っており、一対の電極３２ａ，３２ｂは、筐体３０の内部空間において互いに対向して配置されている。筐体３０における電極３２ａと電極３２ｂとの間の空間は、ウインドウ３１ａとウインドウ３１ｂとにより挟まれている。それぞれの電極３２ａ，３２ｂは、グロー放電によりレーザ媒質を励起するための放電電極である。本例では、電極３２ａがカソードであり、電極３２ｂがアノードである。

筐体３０には開口が形成され、この開口は絶縁体を含んで形成される絶縁部３３により塞がれている。電極３２ａは絶縁部３３に支持されている。絶縁部３３には、導電部材からなるフィードスルー３４が埋め込まれている。フィードスルー３４は、パルスパワーモジュール３５から供給される電圧を電極３２ａに印加する。電極３２ｂは電極ホルダ部３６に支持され、電極ホルダ部３６と電気的に接続されている。この電極ホルダ部３６は不図示の配線を介して筐体３０と電気的に接続されている。

パルスパワーモジュール３５には、筐体３０の外に配置される充電器ＢＣが接続されている。充電器ＢＣは、パルスパワーモジュール３５の中に設けられる不図示のコンデンサを所定の電圧で充電する直流電源装置である。パルスパワーモジュール３５は、プロセッサ７０によって制御されるスイッチを含んでいる。スイッチがオフからオンになると、パルスパワーモジュール３５は、充電器ＢＣから印加される電圧を昇圧してパルス状の高電圧を生成し、この高電圧を一対の電極３２ａ，３２ｂに印加する。

電極ホルダ部３６を基準として電極３２ｂ側と反対側における筐体３０の内部空間にはクロスフローファン３８が配置されている。筐体３０の内部空間においてクロスフローファン３８が配置される空間は、筐体３０の内部空間において一対の電極３２ａ，３２ｂ間の空間と連通している。このため、クロスフローファン３８が回転することで、筐体３０の内部空間に封入されたレーザガスは所定の方向に循環する。クロスフローファン３８には、筐体３０の外に配置されているモータ３８Ｍが接続されている。このモータ３８Ｍが回転することで、クロスフローファン３８は回転する。モータ３８Ｍは、プロセッサ７０による制御によりオン、オフや回転数の調節がなされる。従って、プロセッサ７０は、モータ３８Ｍを制御することで、筐体３０の内部空間を循環するレーザガスの循環速度を調節することができる。

なお、クロスフローファン３８の脇には不図示の熱交換器が配置されている。クロスフローファン３８により循環されるレーザガスの少なくとも一部はこの熱交換器を通過し、熱交換器によりレーザガスの温度が調節される。

筐体３０におけるウインドウ３１ａが設けられる上記一端側には、光路管５１が接続されている。出力結合ミラーＯＣは、筐体３０を基準とした上記一端側に設けられ、光路管５１の内部空間に配置されている。出力結合ミラーＯＣは、ウインドウ３１ａから出射するレーザ光が入射する光学素子であり、ウインドウ３１ａから出射される光のうちの一部を透過させ、他の一部を反射させてウインドウ３１ａを介して筐体３０の内部空間に戻す。出力結合ミラーＯＣは、例えば、フッ化カルシウムの基板に誘電体多層膜が成膜された素子で構成される。出力結合ミラーＯＣの表面には、レーザ光を部分反射する膜が成膜されてもよい。

筐体３０におけるウインドウ３１ｂが設けられる上記他端側には、光路管５２が接続されている。狭帯域化モジュール６０は、光路管５２に接続されている。従って、狭帯域化モジュール６０は、筐体３０を基準として上記他端側に設けられ、筐体３０を基準として出力結合ミラーＯＣとは反対側に設けられている。狭帯域化モジュール６０は、筐体６１と、グレーティング６２と、プリズム６３，６４とを含む。筐体６１には開口が形成されており、この開口を通じて筐体６１の内部空間と光路管５２の内部空間とが連通している。

グレーティング６２及びプリズム６３，６４は、筐体６１の内部空間に配置されている。グレーティング６２及びプリズム６３，６４は、ウインドウ３１ｂから出射するレーザ光が入射する光学素子である。グレーティング６２は、レーザ光の入射角度と回折角度とが概ね一致するようにリトロー配置されている。本例では、グレーティング６２は、約１９３ｎｍの波長に対してブレーズドされたエシェールグレーティングであってもよい。なお、グレーティング６２は、筐体６１に固定されており、筐体６１に対して動かない。

プリズム６３，６４の少なくとも一方は、筐体６１の内部空間に配置される不図示の回転ステージ上に固定されている。プリズム６３，６４のうち回転ステージ上に固定されたプリズムが僅かに回転することで、グレーティング６２へ入射する光の入射角度が調節される。グレーティング６２への光の入射角度が調節されることで、グレーティング６２で反射されてチャンバ装置ＣＨに入射する光の波長が調節される。従って、筐体３０のウインドウ３１ｂから出射される光がプリズム６３，６４を介してグレーティング６２で反射することで、筐体３０に戻る光の波長は、所望の波長に調節される。それぞれのプリズム６３，６４は、例えば、フッ化カルシウムで構成されている。なお、狭帯域化モジュール６０に配置されるプリズムの数は、本例では２つであるが、１つであっても３つ以上であってもよい。

筐体３０を挟んで設けられる出力結合ミラーＯＣとグレーティング６２とでレーザ共振器が構成され、筐体３０は、このレーザ共振器の光路上に配置される。従って、筐体３０の内部空間から後述する筐体３０の孔を介して出射する光は、ウインドウ３１ａ，３１ｂ及びプリズム６３，６４を介して狭帯域化モジュール６０のグレーティング６２と出力結合ミラーＯＣとの間で往復する。往復する光は、電極３２ａと電極３２ｂとの間のレーザゲイン空間を通過する度に増幅される。増幅された光の一部が、ウインドウ３１ａを介して出力結合ミラーＯＣを透過して、パルスレーザ光として出射される。

波長計測モジュール２０は、レーザ発振器ＬＯの出力結合ミラーＯＣから出射するパルスレーザ光の光路上に配置されている。波長計測モジュール２０は、筐体２１と、ビームスプリッタ２２と、波長モニタ２３とを含む。筐体２１は、光路管５１に接続されている。筐体２１には開口が形成されており、この開口を通じて筐体２１の内部空間と光路管５１の内部空間とが連通している。筐体２１の内部空間には、ビームスプリッタ２２及び波長モニタ２３が配置されている。ビームスプリッタ２２及び波長モニタ２３は、出力結合ミラーＯＣから出射するパルスレーザ光が入射する光学素子である。

ビームスプリッタ２２は、レーザ発振器ＬＯから出射したパルスレーザ光を高い透過率で透過させると共に、パルスレーザ光の一部を、波長モニタ２３の受光面に向けて反射する。波長モニタ２３は、受光面に入射したパルスレーザ光の波長を検出し、検出された波長に係るデータをプロセッサ７０に出力する。

波長計測モジュール２０の筐体２１における光路管５１が接続される側と反対側には、開口が形成されており、この開口を囲むように光路管５３が接続されている。このため、光路管５１の内部空間と、筐体２１の内部空間と、光路管５３の内部空間とが互いに連通している。光路管５３は筐体１０に接続されている。筐体１０における光路管５３に囲まれる位置には、レーザ光出射ウインドウＯＷが設けられている。従って、波長計測モジュール２０のビームスプリッタ２２を透過する光は、光路管５３を介して、レーザ光出射ウインドウＯＷから筐体１０の外部に出射される。

光路管５１，５２，５３や、筐体２１，６１の内部空間には、パージガスが充填されている。パージガスには、酸素等の不純物の少ない高純度窒素等の不活性ガスが含まれる。パージガスは、筐体１０の外に配置されている不図示のパージガス供給源から不図示の配管を通じて光路管５１，５２，５３や、筐体２１，６１の内部空間に供給される。

なお、筐体１０の内部空間には、チャンバ装置ＣＨの筐体３０の内部空間から排気されるレーザガスを排気するための不図示の排気装置が配置されている。排気装置は、筐体３０の内部空間から排気されるガスに対してハロゲンフィルタによってＦ_２ガスを除去する処理をして、筐体１０にガスを放出する。

次に、図３を参照して、比較例におけるウインドウ３１ａ及びウインドウホルダ３００ａの構成について説明する。図３は、比較例においてウインドウ３１ａ及びウインドウホルダ３００ａの概略構成例を示す図である。図３において、ウインドウ３１ａ及びウインドウホルダ３００ａは鉛直断面にて示されている。図３において、筐体３０の内部空間から筐体３０の孔３０ａ、中空部３０１、及び開口３０５を介してウインドウ３１ａへ進行する光を実線の矢印Ｆ１で示している。

ウインドウホルダ３００ａは、筒状であり、筐体３０における上記一端とウインドウ３１ａとの間に位置する。図３では、ウインドウホルダ３００ａの一端は筐体３０の壁面に接続されており、ウインドウホルダ３００ａの他端はウインドウ３１ａ側に位置する。

筒状のウインドウホルダ３００ａは、中空部３０１と、ウインドウホルダ３００ａの他端に位置する端面３０３とを含む。

中空部３０１は、筐体３０の孔３０ａを介して筐体３０の内部空間と連通している。また、中空部３０１は、端面３０３に位置する開口３０５と連通している。中空部３０１には、筐体３０の内部空間から筐体３０の孔３０ａ、開口３０５、及びウインドウ３１ａを介して出力結合ミラーＯＣに進行する光が通過する。また、中空部３０１には、上記とは逆に出力結合ミラーＯＣから筐体３０の内部空間に進行する光も通過する。従って、開口３０５は、出力結合ミラーＯＣへの光の出射口であると共に、中空部３０１への光の入射口でもある。

端面３０３は、ウインドウ３１ａに対向して配置されている。また、端面３０３は、対向するウインドウ３１ａの表面に平行に配置されている。以下において、当該表面をレーザガスと接するレーザガス側表面と呼ぶ場合がある。端面３０３と同様に、開口３０５もウインドウ３１ａの表面に平行に配置されている。端面３０３は、平面である。端面３０３に直交する直線に沿ってウインドウ３１ａに向かって投影された端面３０３の投影領域面内には、ウインドウ３１ａが位置する。

ウインドウ３１ａは、平行平面基板である。ウインドウ３１ａはフッ化カルシウムで構成されている。ウインドウ３１ａは、平行ウェッジ基板であってもよい。また、ウインドウ３１ａは、例えば、フッ化マグネシウム、溶融石英、または合成石英といった紫外域で高い透過率を有する部材で構成されてもよい。

ウインドウ３１ａは、中空部３０１を進行する光が所定の角度で入射するように配置されている。この角度は、ブリュースター角付近の角度、例えば、５５°～６１°である。また、ウインドウ３１ａは、中空部３０１を進行する実線の矢印Ｆ１で示す光の光軸に対して当該光が入射するウインドウ３１ａの表面が傾斜した状態で、ウインドウホルダ３００ａによって保持されている。

図３に示すように、ウインドウ３１ａ及びウインドウホルダ３００ａの周辺には、封止部材４００ａ及び固定ユニット５００ａが配置されている。以下に、リング状の封止部材４００ａ及び固定ユニット５００ａの構成について説明する。

封止部材４００ａは、端面３０３とウインドウ３１ａとの間において端面３０３とウインドウ３１ａとに挟まれて配置されている。封止部材４００ａは、ウインドウ３１ａの中心軸Ｃと端面３０３の開口３０５とを囲んで配置されている。従って、封止部材４００ａの内径は、端面３０３の開口３０５の直径よりも大きい。また、封止部材４００ａの外径はウインドウ３１ａの外径と概ね同じであり、封止部材４００ａはウインドウ３１ａのレーザガスと接する表面の外周縁に配置される。封止部材４００ａは、ニトリルゴム等の樹脂で構成されるＯリングである。なお、封止部材４００ａは端面３０３における開口３０５を囲んで配置されていればよく、封止部材４００ａの外径はウインドウ３１ａの外径よりも小さく、封止部材４００ａは開口３０５とウインドウ３１ａの外周縁との間に配置されていてもよい。

封止部材４００ａは、ウインドウ３１ａの表面とウインドウホルダ３００ａの端面３０３とに密着する。従って、ウインドウホルダ３００ａは、封止部材４００ａを介してウインドウ３１ａを端面３０３において保持すると理解できる。封止部材４００ａは、密着によってウインドウ３１ａの表面とウインドウホルダ３００ａの端面３０３との間を封止する。これにより、レーザガスは、筐体３０の内部空間と、中空部３０１と、端面３０３とウインドウ３１ａとの間の空間とにおいて、封入される。

固定ユニット５００ａは、封止部材４００ａ及びウインドウ３１ａをウインドウホルダ３００ａに固定している。固定ユニット５００ａは、リング部材５０１と、固定部材５０３とを含む。

リング部材５０１は、封止部材４００ａ側とは反対側におけるウインドウ３１ａの表面に配置されており、ウインドウ３１ａの中心軸Ｃを囲んで配置されている。以下において、当該表面をパージガスと接するパージガス側表面と呼ぶ場合がある。リング部材５０１の内径は封止部材４００ａの内径と概ね同じであり、リング部材５０１の外径は封止部材４００ａの外径と概ね同じである。また、リング部材５０１は、ウインドウ３１ａのパージガスと接する表面の外周縁に配置されている。従って、リング部材５０１はウインドウ３１ａを基準として封止部材４００ａとは反対側に配置され、ウインドウ３１ａは封止部材４００ａとリング部材５０１とに挟まれて配置されている。リング部材５０１、ウインドウ３１ａ、及び封止部材４００ａのそれぞれの中心軸は、同軸上に配置される。

固定部材５０３は、筒状である。固定部材５０３の内径は、ウインドウ３１ａ、封止部材４００ａ、及びリング部材５０１のそれぞれの外径と概ね同じである。固定部材５０３は、ウインドウ３１ａ、封止部材４００ａ、及びリング部材５０１のそれぞれの外周面を全周に渡って囲うと共に、それぞれの外周面に当接している。固定部材５０３は、それぞれの外周面に密着してもよい。固定部材５０３の中心軸は、ウインドウ３１ａの中心軸Ｃと同軸上に位置する。ウインドウ３１ａ、封止部材４００ａ、及びリング部材５０１のそれぞれの外周面を全周に渡って囲う固定部材５０３は、固定部材５０３の一端において端面３０３に取り付けられている。

固定部材５０３は、固定部材５０３の他端に配置されるリング状の内側フランジ部５０５を含む。内側フランジ部５０５は、固定部材５０３の内周面の全周に渡って配置されている。また、内側フランジ部５０５は、固定部材５０３の径方向において固定部材５０３の内周面から固定部材５０３の中心に向かって延設されている。内側フランジ部５０５の内径は、リング部材５０１の内径と概ね同じである。

固定部材５０３が端面３０３に取り付けられると、内側フランジ部５０５はリング部材５０１をウインドウ３１ａに向かって押し付ける。これにより、ウインドウ３１ａは、封止部材４００ａを介して端面３０３に向かって押し付けられ、ウインドウ３１ａの軸方向及び径方向において固定される。また、固定部材５０３は、ウインドウ３１ａの外周面との当接によって、ウインドウ３１ａの径方向においてウインドウ３１ａを固定する。

また、封止部材４００ａは押し付けによって弾性変形し、ウインドウ３１ａ及び端面３０３に対する封止部材４００ａの密着面が弾性変形によって押し付け前に比べて広がる。これにより、封止部材４００ａは、押し付け前に比べてより密着し、密着によってウインドウ３１ａのレーザガス側表面とウインドウホルダ３００ａの端面３０３との間をより封止する。

ウインドウホルダ３００ａ及びリング部材５０１は、金属で構成される。この金属は、例えば、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６、またはＳＵＳ３０３といった、ステンレスである。また、ウインドウ３１ａに対向するウインドウホルダ３００ａの端面３０３、及びリング部材５０１のうちウインドウ３１ａに当接するリング部材５０１の当接面は、鏡面研磨されている。

ウインドウ３１ｂとウインドウホルダ３００ｂと封止部材４００ｂと固定ユニット５００ｂとのそれぞれの構成は、ウインドウ３１ａとウインドウホルダ３００ａと封止部材４００ａと固定ユニット５００ａとのそれぞれの構成と同様である。また、図４に示すように、筐体３０に対するウインドウホルダ３００ｂの配置は、ウインドウホルダ３００ｂが筐体３０における上記他端側に配置されている点、及びウインドウホルダ３００ｂが矢印Ｆ１で示す光の光軸を基準にしてウインドウ３１ａとは上下に反転して配置されている点を除いて、筐体３０に対するウインドウ３１ａの配置と同様であるため、詳細な説明を省略する。

２．２ 動作
次に、比較例のガスレーザ装置１００の動作について説明する。

ガスレーザ装置１００がレーザ光を出射する前の状態で、光路管５１，５２，５３の内部空間や、筐体２１，６１の内部空間には、不図示のパージガス供給源からパージガスが充填される。また、筐体３０の内部空間には、不図示のレーザガス供給源からレーザガスが供給される。レーザガスが供給されると、プロセッサ７０は、モータ３８Ｍを制御してクロスフローファン３８を回転させ、クロスフローファン３８の回転によりレーザガスが循環される。

ガスレーザ装置１００がレーザ光を出射する際には、プロセッサ７０は、充電器ＢＣ及びパルスパワーモジュール３５内のスイッチを制御して、電極３２ａと電極３２ｂとの間に高電圧を印加する。電極３２ａ，３２ｂ間に高電圧が印加されると、電極３２ａ，３２ｂ間の絶縁が破壊され放電が起こる。この放電のエネルギーにより、電極３２ａ，３２ｂ間のレーザガスに含まれるレーザ媒質は励起状態とされて、基底状態に戻る際に自然放出光を放出する。この光の一部は、紫外光であり、筐体３０の光から出射され、ウインドウホルダ３００ｂにおける中空部３０１及び開口３０５を介してウインドウ３１ｂを透過する。透過した光は、プリズム６３，６４を透過することによって光の進行方向に拡大されてグレーティング６２に導かれる。光はそれぞれのプリズム６３，６４を透過するごとに波長分散される。また、光は所定の角度でグレーティング６２に入射して回折し、所定波長の光が入射角度と同じ反射角度でグレーティング６２で反射される。グレーティング６２で反射された光は、それぞれのプリズム６３，６４を介して、再びウインドウ３１ｂからウインドウホルダ３００ｂの開口３０５と中空部３０１と筐体３０の孔３０ａとを介して筐体３０の内部空間に伝搬する。筐体３０の内部空間に伝搬する光は、狭帯域化モジュール６０によって狭帯域化されている。この狭帯域化された光により、励起状態のレーザ媒質は誘導放出を起こし、光が増幅される。光は、筐体３０の孔３０ａから出射され、ウインドウホルダ３００ａにおける中空部３０１及び開口３０５を介してウインドウ３１ａを透過して、出力結合ミラーＯＣに進行する。光の一部は出力結合ミラーＯＣを透過して、光の残りの一部は出力結合ミラーＯＣによって反射されウインドウ３１ａからウインドウホルダ３００ａの開口３０５と中空部３０１と筐体３０の孔３０ａとを介して筐体３０の内部空間に伝搬する。筐体３０の内部空間に伝搬した光は、上記したようにウインドウ３１ｂ及びプリズム６３，６４を透過してグレーティング６２に進行する。こうして、所定の波長の光が、グレーティング６２と出力結合ミラーＯＣとの間を往復する。このため、光は増幅され、レーザ発振が起こる。そして、レーザ光の一部は、出力結合ミラーＯＣを透過して、レーザ光出射ウインドウＯＷから露光装置２００に向かって出射する。

なお、出力結合ミラーＯＣを透過したレーザ光のうちの一部は、ビームスプリッタ２２で反射される。反射されたレーザ光は波長モニタ２３で受光され、波長モニタ２３は受光したレーザ光のエネルギーの強度に基づく信号をプロセッサ７０に出力する。プロセッサ７０は、この信号に基づいて、充電器ＢＣやパルスパワーモジュール３５を制御して、出射されるレーザ光のパワーが調節される。

２．３ 課題
比較例のガスレーザ装置１００では、図３にて矢印Ｆ１で示すように、光は筐体３０の内部空間から筐体３０の孔３０ａ、中空部３０１、及び開口３０５を介してウインドウ３１ａに進行する。この光がウインドウ３１ａを透過する際、光の一部はウインドウ３１ａの表面によって反射される。図３において、反射光は、矢印Ｆ２で示すように反射によってウインドウ３１ａの表面から端面３０３に進行し、実線の矢印Ｆ３で示すように端面３０３によってウインドウ３１ａに向かって反射される。次に、反射光は、ウインドウ３１ａを透過してウインドウ３１ａの外周側に配置される部材に進行することがある。外周側とはウインドウ３１ａの外周面及びウインドウ３１ａのレーザガス側表面及びパージガス側表面における外周縁側を含む。また、当該部材は、ウインドウ３１ａを透過してレーザ共振器内を往復する光の進行を妨げないように配置されている部材であり、封止部材４００ａ、リング部材５０１、及び固定部材５０３である。ここでは、反射光は、実線の矢印Ｆ４で示すようにウインドウ３１ａを透過してリング部材５０１に進行することがある。ここで、反射光は、ウインドウ３１ａのパージガス側表面に当接するリング部材５０１の表面全体に進行するのではなく、リング部材５０１の表面のうち反射側領域に位置するリング部材５０１の表面の一部に進行する。表面の一部は、リング部材５０１を正面から見てリング部材５０１を上下でそれぞれ半円の円弧状に分けた場合、下側の半円の円弧の底部に概ね相当する。また、反射光は、リング部材５０１の表面の当該一部によって反射され、実線の矢印Ｆ５で示すようにウインドウ３１ａを透過して封止部材４００ａに進行することがある。この場合、反射光は、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面に密着する封止部材４００ａの密着面全体に進行するのではなく、封止部材４００ａの密着面のうち上記反射側領域に位置する封止部材４００ａの密着面の一部に進行する。密着面の当該一部は、反射光を照射されたリング部材５０１の表面の一部に対向する。

ここで、何らかの原因により、ウインドウ３１ａの表面の反射率が想定した状態よりも高くなる場合、または、反射光の強度が想定した状態よりも高くなる場合がある。このような場合、反射光を所定時間以上照射される封止部材４００ａは予め想定した期間よりも早く劣化してしまい、封止部材４００ａの耐用期間が予め想定した期間よりも短くなる懸念がある。封止部材４００ａの耐用期間が短くなると、ガスレーザ装置１００のメンテナンスから当該メンテナンスの次のメンテナンスまでの間隔を示すガスレーザ装置１００の使用可能期間が予め想定した期間よりも短くなり得る。

ここでは、ウインドウホルダ３００ａ側について説明したが、ウインドウホルダ３００ｂ側においても、筐体３０からウインドウホルダ３００ｂを介してウインドウ３１ｂに進行する光の一部はウインドウ３１ｂの表面によって反射される。上記のようにウインドウホルダ３００ｂはウインドウホルダ３００ａとは上下に反転して配置されるため、ウインドウ３１ｂの反射方向は、ウインドウ３１ａの反射方向とは逆側となる。反射光は、上記のようにウインドウホルダ３００ｂの端面３０３及びウインドウホルダ３００ｂ側の固定ユニット５００ｂにおけるリング部材５０１を介してウインドウホルダ３００ｂ側の封止部材４００ｂに進行することがある。従って、封止部材４００ａと同様に、封止部材４００ｂも予め想定した期間よりも早く劣化してしまい、封止部材４００ｂの耐用期間が予め想定した期間よりも短くなる懸念がある。封止部材４００ｂの耐用期間が短くなると、ガスレーザ装置１００の使用可能期間が予め想定した期間よりも短くなり得る。

そこで、以下の実施形態では、封止部材４００ａ，４００ｂの劣化を抑制することで、使用可能期間が予め想定した期間よりも短くなることが抑制され得るガスレーザ装置１００が例示される。

なお、以下の各実施形態及び実施形態の各変形例では、出力結合ミラーＯＣ側のウインドウ３１ａ及びウインドウホルダ３００ａを用いて説明するが、グレーティング６２側のウインドウ３１ｂ及びウインドウホルダ３００ｂについても、ウインドウ３１ａ及びウインドウホルダ３００ａと同様の構成・作用・効果を得ることができる。

３．実施形態１のガスレーザ装置の説明
次に、実施形態１のガスレーザ装置１００について説明する。なお、上記において説明した構成と同様の構成については同一の符号を付し、特に説明する場合を除き、重複する説明は省略する。

３．１ 構成
図５は、本実施形態におけるウインドウ３１ａ及びウインドウホルダ３００ａ周辺の概略構成例を示す図である。図５において、ウインドウ３１ａ及びウインドウホルダ３００ａは鉛直断面にて示されている。図６は、本実施形態のウインドウホルダ３００ａの端面３０３側から見る場合におけるウインドウホルダ３００ａの概略斜視図である。

本実施形態のガスレーザ装置１００では、ウインドウホルダ３００ａ，３００ｂの構成が比較例のウインドウホルダ３００ａ，３００ｂの構成と主に異なる。本実施形態では、ウインドウホルダ３００ａの構成は、ウインドウホルダ３００ｂの構成と同じである。なお、本実施形態では、比較例と同様に、筐体３０に対する本実施形態のウインドウホルダ３００ｂの配置は、ウインドウホルダ３００ｂが筐体３０における上記他端側に配置されている点、及びウインドウホルダ３００ｂが矢印Ｆ１で示す光の光軸を基準にして本実施形態のウインドウ３１ａとは上下に反転して配置されている点を除いて、筐体３０に対する本実施形態のウインドウホルダ３００ａの配置と同様である。以下では、ウインドウホルダ３００ａを用いて比較例のウインドウホルダ３００ａとの違いを説明する。

比較例におけるウインドウホルダ３００ａの端面３０３全体がウインドウ３１ａの表面に平行な平面であるのに対して、本実施形態におけるウインドウホルダ３００ａの端面３０３には窪み部３１０が連続する。

窪み部３１０は、端面３０３のうち封止部材４００ａによって囲まれる領域に連続する。窪み部３１０は、当該領域において、開口３０５からウインドウ３１ａに進行した光のうちウインドウ３１ａによって反射される反射光の反射方向側に位置している。図５において、反射光を実線の矢印Ｆ１２で示す。窪み部３１０は、端面３０３から中空部３０１に向かって窪んでおり、中空部３０１に連通している。

窪み部３１０の開口３１１は、開口３０５と連続しており、封止部材４００ａによって囲まれている。また、開口３１１は、ウインドウ３１ａに平行となっている。

窪み部３１０の一対の側面３１３は、窪み部３１０における平面状の内壁面であり、端面３０３に直交しており、互いに対向している。一対の側面３１３は、端面３０３と、中空部３０１におけるウインドウホルダ３００ａの内周面とに連続している。

窪み部３１０は、端面３０３に連続してウインドウ３１ａから離れる方向に延在する延在面３１５を含む。延在面３１５は、ウインドウ３１ａによって反射される反射光の反射方向側に位置しており、ウインドウ３１ａからの反射光が直接照射される窪み部３１０の平面状の底面である。

延在面３１５は、端面３０３に連続する一端３１５ａと、中空部３０１におけるウインドウホルダ３００ａの内周面に連続する他端３１５ｂとを含む。従って、一端３１５ａは実線の矢印Ｆ１で示す光の光軸から離れた位置に位置し、他端３１５ｂは実線の矢印Ｆ１で示す光の光軸に近い位置に位置すると理解できる。

ウインドウ３１ａに対する延在面３１５の傾斜角度は、ウインドウ３１ａに対する端面３０３の傾斜角度よりも大きくされている。ウインドウ３１ａに対する延在面３１５の傾斜角度は、延在面３１５の他端３１５ｂと、延在面３１５の他端３１５ｂ及び一端３１５ａを通る直線とウインドウ３１ａのレーザガス側表面との交点と、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面の中心との３点がなす角度である。交点は、当該直線と、レーザガス側表面をレーザガス側表面の平面方向に広げた場合の広げた領域との交点でもよい。ウインドウ３１ａに対する端面３０３の傾斜角度は、端面３０３がウインドウ３１ａに平行に配置されているため、ゼロである。従って、延在面３１５の他端３１５ｂ側は、延在面３１５の一端３１５ａを中心にして端面３０３に比べてウインドウ３１ａから離れる方向である反時計回り方向に傾斜して位置すると理解できる。また、延在面３１５とウインドウ３１ａとの間の距離は、一端３１５ａから他端３１５ｂに向かって徐々に広がると理解できる。延在面３１５の一端３１５ａとウインドウ３１ａとの間の距離は、後述する法線６００に沿う方向において、端面３０３とウインドウ３１ａとの間の距離と同じであるが、延在面３１５の他端３１５ｂとウインドウ３１ａとの間の距離よりも短くされている。また、延在面３１５は、実線の矢印Ｆ１で示す光の光軸と平行に延在するのではなく、当該光軸に対しても傾斜している。

本実施形態のウインドウホルダ３００ａは、比較例のウインドウホルダ３００ａと同様に、ステンレスといった金属で構成される。従って、延在面３１５はウインドウ３１ａから延在面３１５に進行した反射光を反射する。また、延在面３１５が上記したように傾斜して位置すると、延在面３１５はウインドウ３１ａから延在面３１５に進行した反射光を封止部材４００ａの内側を介してウインドウ３１ａに向かって反射する。本実施形態では、延在面３１５は、延在面３１５からウインドウ３１ａに向かう方向において、ウインドウ３１ａからの反射光がウインドウ３１ａにおける法線６００をウインドウ３１ａの外周側からウインドウ３１ａの中心軸Ｃ側に向かって跨がってウインドウ３１ａに入射するように、反射光をウインドウ３１ａに向かって反射する。図５において、延在面３１５によって反射されてウインドウ３１ａに入射する反射光を実線の矢印Ｆ１３で示す。上記法線６００は、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面における複数の法線のうち、延在面３１５を通る線である。当該法線６００と延在面３１５との交点は、延在面３１５における反射光の照射位置と、矢印Ｆ１で示す光の照射位置を通過するウインドウ３１ａの法線と延在面３１５との交点と、の間に位置する。ここで、延在面３１５における反射光の照射位置及びウインドウ３１ａを通る線を基準線とする。本実施形態では基準線は、延在面３１５に垂直な線である。また、基準線を基準にして、反射光の光軸を延在面３１５における反射光の照射位置で対称に折り返した位置に位置する仮想の線を線６０２とする。図５において仮想の線６０２の一部には、反射光を示す矢印Ｆ１３の実線が重なっている。当該仮想の線６０２は、実線の矢印Ｆ１３で示す反射光と同様に、延在面３１５からウインドウ３１ａに向かう方向において、ウインドウ３１ａにおける法線６００をウインドウ３１ａの外周側からウインドウ３１ａの中心軸側に向かって跨がって位置するものと理解できる。

図６に示すように、延在面３１５の幅は、角丸長方形状の開口３０５の最大幅よりも短くされており、角丸長方形状の開口３０５における直線部の長さと同じとされている。延在面３１５の幅は、開口３１１の幅でもあり、一対の側面３１３同士の間の距離でもある。延在面３１５は、例えば、長方形形状といった矩形形状である。延在面３１５は、一対の側面３１３に直交している。

３．２ 機能
次に、本実施形態における延在面３１５の機能について説明する。

本実施形態のガスレーザ装置１００では、比較例のガスレーザ装置１００と同様に、図５にて矢印Ｆ１で示すように、光は筐体３０の内部空間から筐体３０の孔３０ａ、中空部３０１、及び開口３０５を介してウインドウ３１ａに進行する。この光がウインドウ３１ａを透過する際、比較例と同様に、光の一部はウインドウ３１ａの表面によって反射される。図５において、反射光は、実線の矢印Ｆ１２で示すようにウインドウ３１ａの表面から窪み部３１０に進行する。また、反射光は、窪み部３１０の開口３１１から窪み部３１０の内部に進行し、窪み部３１０の延在面３１５に直接進行する。実線の矢印Ｆ１で示す光及び実線のＦ１２で示す反射光は、封止部材４００ａの内側を通過する。実線の矢印Ｆ１で示す光の光軸に沿う方向に対してウインドウ３１ａのレーザガス側表面は傾斜し、端面３０３はウインドウ３１ａに平行に配置され、側面３１３は端面３０３に直交している。このため、実線の矢印Ｆ１で示す光に沿って実線の矢印Ｆ１２で示す反射光を見る場合、矢印Ｆ１２で示す反射光は、一対の側面３１３の間を通過して延在面３１５に進行し、ウインドウ３１ａから側面３１３への進行を抑制される。

仮想の線６０２は、延在面３１５からウインドウ３１ａに向かう方向において、ウインドウ３１ａにおける法線６００をウインドウ３１ａの外周側からウインドウ３１ａの中心軸側に向かって跨がる。これにより、延在面３１５が反射光を反射すると、リング部材５０１の表面の一部、及び固定部材５０３の内周面の一部への反射光の進行が抑制される。また、本実施形態では、延在面３１５を含むウインドウホルダ３００ａが金属で構成されるため、反射光は延在面３１５によって反射される。また、延在面３１５が上記したように傾斜して位置するため、反射光は、延在面３１５によってウインドウ３１ａに向かって反射され、封止部材４００ａの内側を通過してウインドウ３１ａに入射する。また、延在面３１５が上記したように傾斜して位置するため、矢印Ｆ１３で示すように、反射光は、延在面３１５からウインドウ３１ａに向かう方向において、法線６００をウインドウ３１ａの外周側からウインドウ３１ａの中心軸Ｃ側に向かって跨がって進行し、ウインドウ３１ａを透過する。反射光の進行方向は、逆側領域側である。逆側領域は、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面における矢印Ｆ１で示す光の照射位置を基準としてウインドウ３１ａによって反射される反射光の反射方向側に位置する反射側領域とは逆側に位置する。このように、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面からパージガス側表面に進行する反射光は、反射側領域において、延在面３１５によってウインドウ３１ａの中心軸Ｃ側からウインドウ３１ａの外周側への進行を抑制される。従って、反射側領域に位置するリング部材５０１の表面の一部、及び固定部材５０３の内周面の一部への反射光の進行は、延在面３１５が形成されていない場合よりも抑制される。反射側領域に位置するリング部材５０１の表面の一部、及び固定部材５０３の内周面の一部は、反射光の反射方向とは反対側に位置する。また、実線の矢印Ｆ１３で示す反射光は、上記のように延在面３１５によって反射されるため、延在面３１５から側面３１３への進行を抑制される。

３．３ 作用・効果
本実施形態のガスレーザ装置１００では、封止部材４００ａは、ウインドウ３１ａとウインドウホルダ３００ａの端面３０３とに密着して配置されると共に、開口３０５を囲んで配置される。延在面３１５は、ウインドウ３１ａからの反射光の反射方向側に位置し、端面３０３に連続してウインドウ３１ａから離れる方向に延在し、反射光を照射される。仮想の線６０２は、延在面３１５からウインドウ３１ａに向かう方向において、ウインドウ３１ａにおける法線６００をウインドウ３１ａの外周側からウインドウ３１ａの中心軸側に向かって跨がる。

ウインドウ３１ａの外周側には、一般的にウインドウ３１ａを透過する光を妨げないように部材が配置されており、本実施形態ではリング部材５０１及び固定部材５０３が配置されている。仮想の線６０２は、延在面３１５からウインドウ３１ａに向かう方向においてウインドウ３１ａにおける法線６００をウインドウ３１ａの外周側からウインドウ３１ａの中心軸側に向かって跨がる。この状態で、延在面３１５が反射光を反射すると、リング部材５０１の表面の一部、及び固定部材５０３の内周面の一部への反射光の進行が抑制される。反射光の進行が抑制されると、リング部材５０１の表面の一部、及び固定部材５０３の内周面の一部による反射光の反射が抑制される。反射光の反射が抑制されると、リング部材５０１の表面の一部、及び固定部材５０３の内周面の一部からウインドウ３１ａを介してウインドウ３１ａのレーザガス側表面に密着する封止部材４００ａの密着面の一部への反射光の進行が抑制される。従って、封止部材４００ａへの所定時間以上の反射光の照射が抑制され、予め想定した期間よりも早い封止部材４００ａの劣化が抑制され得る。封止部材４００ａの劣化が抑制されると、封止部材４００ａの耐用期間が予め想定した期間よりも短くなることが抑制される。従って、ガスレーザ装置１００の使用可能期間が予め想定した期間よりも短くなることが抑制され得る。

また、封止部材４００ａの劣化が抑制されると、延在面３１５が形成されていない場合よりも、封止部材４００ａの耐用期間が延びる。封止部材４００ａの耐用期間が延びると、筐体３０の内部空間と、中空部３０１と、端面３０３及びウインドウ３１ａとの間の空間とにおいて密閉が維持された状態で、ガスレーザ装置１００の使用可能期間が延長され得る。

また、本実施形態のガスレーザ装置１００では、延在面３１５は、反射光が法線６００をウインドウ３１ａの外周側からウインドウ３１ａの中心軸Ｃ側に向かって跨がってウインドウ３１ａに入射するように、反射光を反射する。これにより、延在面３１５が上記のように反射しない場合に比べて、予め想定した期間よりも早い封止部材４００ａの劣化が抑制され得る。

なお、延在面３１５によって反射されてウインドウ３１ａの内部を進行する反射光のうち、反射光の一部はウインドウ３１ａのパージガス側表面によってウインドウ３１ａのレーザガス側表面に向かって反射されることがある。また、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面に進行する反射光の一部は、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面によってウインドウ３１ａのパージガス側表面に向かって反射されることがある。このような反射が繰り返されると、ウインドウ３１ａの内部を進行する反射光の強度が弱まる。本実施形態では、上記のようにウインドウ３１ａを透過する反射光が反射側領域において外周側に位置するリング部材５０１の表面の一部、及び固定部材５０３の内周面の一部に戻るためには、反射光は比較例よりも多く反射することになり得る。これにより、ウインドウ３１ａにおける反射回数は、上記のように傾斜して反射する延在面３１５によって、比較例における反射回数よりも多くなる。従って、封止部材４００ａに進行する本実施形態の反射光の強度は、封止部材４００ａに進行する比較例の反射光の強度よりも弱まる。反射光の強度が弱まると、延在面３１５によって反射された反射光がウインドウ３１ａの内部から封止部材４００ａに進行して封止部材４００ａを照射したとしても、予め想定した期間よりも早い封止部材４００ａの劣化が抑制され得る。

延在面３１５は、反射のために研磨されてもよい。また、延在面３１５には、銀やアルミニウムなどの金属を薄くめっきした反射膜が配置されてもよい。延在面３１５は、反射光を中空部３０１におけるウインドウホルダ３００ａの内周面に向けて反射してもよい。

以下において、他の実施形態及び当該実施形態の変形例について説明する。各実施形態及び当該実施形態の変形例において、特に説明のない構成については実施形態１と同様である。また、各実施形態及び当該実施形態の変形例において、ウインドウ３１ａ及びウインドウホルダ３００ａ側を用いて説明するが、各実施形態及び当該実施形態の変形例のウインドウ３１ｂ及びウインドウホルダ３００ｂは、各実施形態及び当該実施形態の変形例のウインドウ３１ａ及びウインドウホルダ３００ａと同様の構成であり、同様の作用・効果を得ることができる。

４．実施形態２のガスレーザ装置の説明
次に、実施形態２のガスレーザ装置１００の構成を説明する。なお、上記において説明した構成と同様の構成については同一の符号を付し、特に説明する場合を除き、重複する説明は省略する。

４．１ 構成
図７は、本実施形態におけるウインドウ３１ａ及びウインドウホルダ３００ａ周辺の概略構成例を示す図である。図７において、ウインドウ３１ａ及びウインドウホルダ３００ａは鉛直断面にて示されている。

ウインドウ３１ａにおける構成が実施形態１のウインドウ３１ａにおける構成とは異なり、他の構成は実施形態１と同様である。本実施形態のガスレーザ装置１００は、実施形態１のガスレーザ装置１００の構成に膜３２１ａ，３２１ｂをさらに含む。膜３２１ａ，３２１ｂは、ウインドウ３１ａの構成に含まれる。

膜３２１ａは、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面のうちの封止部材４００ａとの当接面に配置される第１膜である。この膜３２１ａは、当接面のうちウインドウ３１ａによって反射される反射光の反射方向側に配置されており、反射側領域に位置するウインドウ３１ａのレーザガス側表面の一部に配置されている。膜３２１ａは、反射側領域に位置する封止部材４００ａの一部に当接する。膜３２１ａは、主にアルミニウムで構成されており、矢印Ｆ１３で示す反射光と同じ波長の光の少なくとも一部をウインドウ３１ａのパージガス側表面及びウインドウ３１ａの外周面に向かって反射する反射膜である。膜３２１ａは、例えば、蒸着によって配置される。膜３２１ａの厚さは、約２００ｎｍであることが好ましい。

膜３２１ｂは、ウインドウ３１ａのパージガス側表面のうちのリング部材５０１との当接面に配置される第２膜である。膜３２１ｂは、当接面のうちウインドウ３１ａによって反射される反射光の反射方向側に配置されており、反射側領域に位置するウインドウ３１ａのパージガス側表面の一部に配置されている。膜３２１ｂは、反射側領域に位置するリング部材５０１の一部に当接する。膜３２１ｂは、主に酸化アルミニウムで構成されており、矢印Ｆ１３で示す反射光と同じ波長の光の少なくとも一部を吸収する吸収膜である。膜３２１ｂは、例えば、蒸着によって配置される。膜３２１ｂの厚さは、約２００ｎｍであることが好ましい。

４．２ 作用・効果
上記したように、延在面３１５によって反射されてウインドウ３１ａの内部を進行する反射光のうち、反射光の一部はウインドウ３１ａのレーザガス側表面によってウインドウ３１ａのパージガス側表面に向かって反射されることがある。また、ウインドウ３１ａのパージガス側表面に進行する反射光の一部は、ウインドウ３１ａのパージガス側表面によってウインドウ３１ａのレーザガス側表面に向かって反射されることがある。このような光は矢印Ｆ１３で示す反射光と同じ波長の光であり、当該光の少なくとも一部は、ウインドウ３１ａの内部において反射を繰り返す。

ウインドウ３１ａのレーザガス側表面側の膜３２１ａは、反射膜であるため、上記反射を繰り返す反射光のうち膜３２１ａに進行する光を、ウインドウ３１ａの外周面、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面側の膜３２１ｂ、及びウインドウ３１ａのパージガス側表面の一部に向かって反射する。パージガス側表面の一部とは、パージガス側表面のうちリング部材５０１が配置されていない領域である。

また、ウインドウ３１ａのパージガス側表面側の膜３２１ｂは、上記反射を繰り返す反射光のうち、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面からの光または反射膜である膜３２１ａからの光を吸収する。

従って、本実施形態のガスレーザ装置１００では、膜３２１ａによって封止部材４００ａへの反射光の照射がより抑制され、予め想定した期間よりも早い封止部材４００ａの劣化がより抑制される。封止部材４００ａの劣化が抑制されると、封止部材４００ａの耐用期間が予め想定した期間よりも短くなることがより抑制される。従って、ガスレーザ装置１００の使用可能期間が予め想定した期間よりも短くなることがより抑制され得る。また、膜３２１ｂによっても膜３２１ａと同様の作用・効果が得られる。

本実施形態の変形例１として、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面側の膜３２１ａとウインドウ３１ａのパージガス側表面側の膜３２１ｂとの一方が反射膜であり、他方が吸収膜であればよい。例えば、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面側の膜３２１ａが吸収膜である場合、当該吸収膜は、ウインドウ３１ａから封止部材４００ａに進行する光の少なくとも一部を吸収する。例えば、ウインドウ３１ａのパージガス側表面側の膜３２１ｂが反射膜である場合、当該反射膜は、光の少なくとも一部を封止部材４００ａが配置される側の面であるウインドウ３１ａのレーザガス側表面及びウインドウ３１ａの外周面に反射する。上記光は、矢印Ｆ１３で示す反射光と同じ波長の光である。

本実施形態の変形例２として、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面側の膜３２１ａとウインドウ３１ａのパージガス側表面側の膜３２１ｂとの両方は、反射膜または吸収膜であってもよい。

本実施形態の変形例３として、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面側の膜３２１ａは、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面のうちの封止部材４００ａとの当接面全体に配置されてもよい。従って、膜３２１ａは、リング状の封止部材４００ａと同様に、リング状に配置される。

本実施形態の変形例４として、ウインドウ３１ａのパージガス側表面側の膜３２１ｂは、ウインドウ３１ａのパージガス側表面のうちのリング部材５０１との当接面全体に配置されてもよい。従って、膜３２１ａは、リング部材５０１と同様に、リング状に配置される。

本実施形態の変形例５として、図８に示すように、ウインドウ３１ａのパージガス側表面に膜３２１ｂが配置されておらず、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面に膜３２１ａのみが配置されてもよい。この場合、膜３２１ａは、反射膜であってもよいし、吸収膜であってもよい。

本実施形態の変形例６として、図９に示すように、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面に膜３２１ａが配置されておらず、ウインドウ３１ａのパージガス側表面に膜３２１ｂのみが配置されてもよい。この場合、膜３２１ｂは、吸収膜である。

本実施形態の変形例７として、反射膜は、誘電体多層膜であってもよい。また、吸収膜は、黒色に着色された膜でもよい。

第２実施形態及び変形例において、膜を用いて説明したが、これに限定される必要はない。例えば、反射膜の代わりに板状の反射部材が配置されてもよいし、吸収膜の代わりに板状の吸収部材が配置されてもよい。

５．実施形態３のガスレーザ装置の説明
次に、実施形態３のガスレーザ装置１００の構成を説明する。なお、上記において説明した構成と同様の構成については同一の符号を付し、特に説明する場合を除き、重複する説明は省略する。

５．１ 構成
図１０は、本実施形態におけるウインドウ３１ａ及びウインドウホルダ３００ａ周辺の概略構成例を示す図である。図１０において、ウインドウ３１ａ及びウインドウホルダ３００ａは鉛直断面にて示されている。

本実施形態のガスレーザ装置１００では、ウインドウホルダ３００ａにおける構成が実施形態１のウインドウホルダ３００ａにおける構成とは異なり、本実施形態のウインドウホルダ３００ａは反射光を吸収する。

具体的には、本実施形態では、延在面３１５には黒色化メッキ処理が施されており、延在面３１５はウインドウ３１ａから延在面３１５に進行する反射光を吸収する吸収面である。反射光の多くは延在面３１５によって熱に変換される。熱は、ウインドウホルダ３００ａから外部に放出される。

５．２ 作用・効果
本実施形態のガスレーザ装置１００では、延在面３１５は、ウインドウ３１ａからの反射光を吸収する。従って、延在面３１５からウインドウ３１ａへの反射光の進行が抑制され、ウインドウ３１ａから封止部材４００ａへ進行する光の照射がより抑制され、予め想定した期間よりも早い封止部材４００ａの劣化がより抑制される。封止部材４００ａの劣化が抑制されると、封止部材４００ａの耐用期間が予め想定した期間よりも短くなることがより抑制される。従って、ガスレーザ装置１００の使用可能期間が予め想定した期間よりも短くなることがより抑制され得る。

また、ウインドウホルダ３００ａが吸収面である延在面３１５を備えることとなるため、延在面３１５に吸収面を有する別部材が配置される場合に比べて、部品点数が削減され得る。

６．実施形態４のガスレーザ装置の説明
次に、実施形態４のガスレーザ装置１００の構成を説明する。なお、上記において説明した構成と同様の構成については同一の符号を付し、特に説明する場合を除き、重複する説明は省略する。

６．１ 構成
図１１は、本実施形態におけるウインドウ３１ａ及びウインドウホルダ３００ａ周辺の概略構成例を示す図である。図１１において、ウインドウ３１ａ及びウインドウホルダ３００ａは鉛直断面にて示されている。

本実施形態のガスレーザ装置１００では、ウインドウホルダ３００ａにおける構成が実施形態３のウインドウホルダ３００ａにおける構成とは異なり、ウインドウホルダ３００ａは実施形態３のウインドウホルダ３００ａの構成に吸収部材３３１をさらに含む。

吸収部材３３１は、板状であり、延在面３１５に配置される。吸収部材３３１は、延在面３１５全体に積層して配置されている。吸収部材３３１は、窪み部３１０の内部に配置される。吸収部材３３１は、主に酸化アルミニウムで構成されており、ウインドウ３１ａから当該吸収部材３３１に進行する反射光を吸収する。吸収部材３３１の厚さは、約０．３ｍｍであることが好ましい。吸収部材３３１は、黒色に着色された部材で構成されてもよい。

６．２ 作用・効果
本実施形態のガスレーザ装置１００では、吸収部材３３１は、ウインドウ３１ａからの反射光を吸収する。従って、吸収部材３３１からウインドウ３１ａへの反射光の進行が抑制され、ウインドウ３１ａから封止部材４００ａへ進行する光の照射がより抑制され、予め想定した期間よりも早い封止部材４００ａの劣化がより抑制される。封止部材４００ａの劣化が抑制されると、封止部材４００ａの耐用期間が予め想定した期間よりも短くなることがより抑制される。従って、ガスレーザ装置１００の使用可能期間が予め想定した期間よりも短くなることがより抑制され得る。

また、吸収部材３３１はウインドウホルダ３００ａとは別体であるため、ウインドウホルダ３００ａに黒メッキ化処理を施すといった手間が抑制され得る。

吸収部材３３１は、延在面３１５における反射光の照射位置に配置されていてもよい。吸収部材３３１は、ウインドウ３１ａからの光が側面３１３に進行するのであれば、側面３１３にも配置されていてもよい。

本実施形態のガスレーザ装置１００では、側面３１３及び延在面３１５を含むウインドウホルダ３００ａが吸収部材３３１として構成されてもよい。

７．実施形態５のガスレーザ装置の説明
次に、実施形態５のガスレーザ装置１００の構成を説明する。なお、上記において説明した構成と同様の構成については同一の符号を付し、特に説明する場合を除き、重複する説明は省略する。

７．１ 構成
図１２は、本実施形態におけるウインドウ３１ａ及びウインドウホルダ３００ａ周辺の概略構成例を示す図である。図１２において、ウインドウ３１ａ及びウインドウホルダ３００ａは鉛直断面にて示されている。図１３では、図１２に示す窪み部３１０において実線の円６０４で囲まれる領域の模式図が拡大図として示されている。

本実施形態のガスレーザ装置１００では、窪み部３１０の構成が実施形態４の窪み部３１０の構成とは異なる。

窪み部３１０は、実施形態４の窪み部３１０とは異なり、端面３０３から中空部３０１に向かって窪んでおらず、中空部３０１に連通しておらず、端面３０３の一部において窪んでいる。

本実施形態の延在面３１５は、窪み部３１０における側面である。延在面３１５は、底面３１７の中心軸を全周に渡って囲って配置されている。延在面３１５は、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面に非平行に配置されている。

底面３１７は、延在面３１５に連続する。底面３１７は、ウインドウ３１ａに対向して配置されている。また、端面３０３は、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面に平行に配置されている。底面３１７には、吸収部材３３１が配置される。

延在面３１５と、底面３１７のうち吸収部材３３１が配置されていない領域とには、表面粗さＲａ１．６程度の加工が施されている。延在面３１５は、ウインドウ３１ａからの反射光の一部を吸収部材３３１に向けて反射し、当該反射光の別の一部を延在面３１５の他の領域に反射する。また、延在面３１５は、反射光の残りの一部を底面３１７に反射する。底面３１７は、延在面３１５からの反射光の一部を吸収部材３３１に向けて反射し、延在面３１５からの反射光の残りの一部を延在面３１５に向けて反射する。

本実施形態の吸収部材３３１は、コーン状であり、底面３１７の一部に配置される。吸収部材３３１の先端は、開口３１１よりも底面３１７側に位置し、窪み部３１０の内部に位置する。吸収部材３３１は、例えば、主に酸化アルミニウムで構成されている。吸収部材３３１は、黒色に着色された部材で構成されてもよい。吸収部材３３１は、ウインドウ３１ａから延在面３１５を介して吸収部材３３１に進行する反射光を吸収する。また、吸収部材３３１は、延在面３１５から別の延在面３１５を介して吸収部材３３１に進行する反射光を吸収する。さらに、吸収部材３３１は、延在面３１５から底面３１７を介して吸収部材３３１に進行する反射光を吸収する。

７．２ 作用・効果
ウインドウ３１ａからの反射光は、実線の矢印Ｆ１２で示すようにウインドウ３１ａのレーザガス側表面から窪み部３１０に進行する。また、反射光は、実線の矢印Ｆ１２で示すように、窪み部３１０の開口３１１から窪み部３１０の内部に進行して窪み部３１０の延在面３１５に直接進行する。反射光の一部は、実線の矢印Ｆ１４で示すように、延在面３１５によって吸収部材３３１に向かって反射される。反射光の別の一部は、実線の矢印Ｆ１５で示すように、延在面３１５によって底面３１７に向かって反射され、さらに底面３１７によって吸収部材３３１に向かって反射される。反射光のさらに別の一部は、延在面３１５によって他の延在面３１５に向かって反射され、実線の矢印Ｆ１６で示すようにさらに他の延在面３１５によって吸収部材３３１に向かって反射される。反射光の残りの一部は、底面３１７によって延在面３１５に向かって反射され、さらに延在面３１５によって吸収部材３３１に向かって反射される。このように反射光は、延在面３１５及び底面３１７の間で反射を繰り返し、窪み部３１０の内部空間からウインドウ３１ａが配置される窪み部３１０の外部空間への進行を抑制され、吸収部材３３１によって吸収される。

本実施形態のガスレーザ装置１００では、吸収部材３３１は、ウインドウ３１ａから延在面３１５を介して吸収部材３３１に進行する反射光を吸収する。また、吸収部材３３１は、延在面３１５から底面３１７を介して吸収部材３３１に進行する反射光も吸収する。従って、吸収部材３３１からウインドウ３１ａへの反射光の進行が抑制され、ウインドウ３１ａから封止部材４００ａへ進行する光の照射がより抑制され、予め想定した期間よりも早い封止部材４００ａの劣化がより抑制される。封止部材４００ａの劣化が抑制されると、封止部材４００ａの耐用期間が予め想定した期間よりも短くなることがより抑制される。従って、ガスレーザ装置１００の使用可能期間が予め想定した期間よりも短くなることがより抑制され得る。

ウインドウ３１ａからの反射光が直接進行する延在面３１５は、当該反射光を、ウインドウ３１ａからの反射光が直接進行しない他の延在面３１５と、底面３１７とに反射する必要はなく、当該反射光全てを封止部材４００ａに直接反射してもよい。また、窪み部３１０は、実施形態４の窪み部３１０と同様に、端面３０３から中空部３０１に向かって窪んでおり、中空部３０１に連通していてもよい。延在面３１５によって反射された反射光は、中空部３０１におけるウインドウホルダ３００ａの内周面に進行し、内周面によって反射されて筐体３０の内部空間に戻り得る。

延在面３１５及び底面３１７には、光の吸収率を向上させるコーティング、または光の吸収率を向上させる表面処理が施されてもよい。例えば、延在面３１５及び底面３１７には、主に酸化アルミニウムで構成される吸収膜が配置されてもよい。

上記の説明は、制限ではなく単なる例示を意図している。従って、請求の範囲を逸脱することなく本開示の実施形態に変更を加えることができることは、当業者には明らかである。また、本開示の実施形態を組み合わせて使用することも当業者には明らかである。
本明細書及び請求の範囲全体で使用される用語は、明記が無い限り「限定的でない」用語と解釈されるべきである。たとえば、「含む」又は「含まれる」という用語は、「含まれるものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。「有する」という用語は、「有するものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。また、不定冠詞「１つの」は、「少なくとも１つ」又は「１又はそれ以上」を意味すると解釈されるべきである。また、「Ａ、Ｂ及びＣの少なくとも１つ」という用語は、「Ａ」「Ｂ」「Ｃ」「Ａ＋Ｂ」「Ａ＋Ｃ」「Ｂ＋Ｃ」又は「Ａ＋Ｂ＋Ｃ」と解釈されるべきである。さらに、それらと「Ａ」「Ｂ」「Ｃ」以外のものとの組み合わせも含むと解釈されるべきである。

Claims (23)

1. レーザガスの励起によって光が発生する内部空間と、前記内部空間からの前記光が出射する孔とを含む筐体と、
   前記筐体に配置され、前記孔から出射する前記光が通過する中空部を含む筒状のウインドウホルダと、
   前記中空部を進行する前記光が透過し、前記中空部を進行する前記光の光軸に対して前記光が入射する面が傾斜した状態で前記ウインドウホルダによって保持されるウインドウと、
   前記中空部を進行した前記光が通過する開口を囲んで配置され、前記ウインドウの前記レーザガスと接する表面において前記ウインドウと前記ウインドウホルダとの間を封止するリング状の封止部材と、
   を備え、
   前記ウインドウホルダは、前記開口を介して前記ウインドウに進行する前記光のうち前記ウインドウによって反射される反射光が照射される延在面を底面とする窪み部をさらに含み、
   前記窪み部は、前記ウインドウに対向する前記ウインドウホルダの端面から窪んで前記中空部に連通し、
   前記延在面は、前記端面に連続する一端と前記中空部の内周面に連続する他端とを含んで前記端面と前記中空部の内周面との間に形成され、前記中空部を進行する前記光の光軸から前記一端が前記他端よりも離れて位置するように前記光の光軸に対して傾斜している
   ガスレーザ装置。
2. 請求項１に記載のガスレーザ装置であって、
   前記延在面は、前記反射光を反射する。
3. 請求項２に記載のガスレーザ装置であって、
   前記ウインドウは、前記ウインドウのうちの前記封止部材との当接面に配置され、前記反射光と同じ波長の光の少なくとも一部を反射する膜をさらに備える。
4. 請求項３に記載のガスレーザ装置であって、
   前記ウインドウを基準として前記封止部材とは反対側において前記ウインドウに配置されるリング部材をさらに備え、
   前記ウインドウは、前記ウインドウのうちの前記リング部材との当接面に配置され、前記反射光と同じ波長の光の少なくとも一部を吸収する膜を含む。
5. 請求項３に記載のガスレーザ装置であって、
   前記ウインドウを基準として前記封止部材とは反対側において前記ウインドウに配置されるリング部材をさらに備え、
   前記ウインドウは、前記ウインドウのうちの前記リング部材との当接面に配置され、前記反射光と同じ波長の光の少なくとも一部を反射する膜を含む。
6. 請求項２に記載のガスレーザ装置であって、
   前記ウインドウは、前記ウインドウのうちの前記封止部材との当接面に配置され、前記反射光と同じ波長の光の少なくとも一部を吸収する膜をさらに備える。
7. 請求項６に記載のガスレーザ装置であって、
   前記ウインドウを基準として前記封止部材とは反対側において前記ウインドウに配置されるリング部材をさらに備え、
   前記ウインドウは、前記ウインドウのうちの前記リング部材との当接面に配置され、前記反射光と同じ波長の光の少なくとも一部を吸収する膜を含む。
8. 請求項６に記載のガスレーザ装置であって、
   前記ウインドウを基準として前記封止部材とは反対側において前記ウインドウに配置されるリング部材と、
   前記ウインドウは、前記ウインドウのうちの前記リング部材との当接面に配置され、前記反射光と同じ波長の光の少なくとも一部を反射する膜を含む。
9. 請求項２に記載のガスレーザ装置であって、
   前記ウインドウを基準として前記封止部材とは反対側において前記ウインドウに配置されるリング部材をさらに備え、
   前記ウインドウは、前記ウインドウのうちの前記リング部材との当接面に配置され、前記反射光と同じ波長の光を吸収する膜を含む。
10. 請求項１に記載のガスレーザ装置であって、
    前記ウインドウホルダは、前記反射光を吸収する。
11. 請求項１０に記載のガスレーザ装置であって、
    前記延在面は、前記反射光を吸収する。
12. 請求項１１に記載のガスレーザ装置であって、
    前記延在面は、黒色化メッキ処理された吸収面である。
13. 請求項１に記載のガスレーザ装置であって、
    前記ウインドウホルダは、前記延在面に配置される吸収部材をさらに含み、
    前記吸収部材は、前記反射光を吸収する。
14. レーザガスの励起によって光が発生する内部空間と、前記内部空間からの前記光が出射する孔とを含む筐体と、
    前記筐体に配置され、前記孔から出射する前記光が通過する中空部を含む筒状のウインドウホルダと、
    前記中空部を進行する前記光が透過し、前記中空部を進行する前記光の光軸に対して前記光が入射する面が傾斜した状態で前記ウインドウホルダによって保持されるウインドウと、
    前記ウインドウと前記ウインドウに対向して位置する前記ウインドウホルダの端面との間において前記ウインドウと前記端面とに密着して配置されると共に、前記中空部に連通する前記端面に囲まれる開口を囲んで配置されるリング状の封止部材と、
    を備え、
    前記ウインドウホルダは、前記開口を介して前記ウインドウに進行する前記光のうち前記ウインドウによって反射される反射光の反射方向側に位置し、前記端面に連続して前記ウインドウから離れる方向に延在し、前記ウインドウからの前記反射光を照射される延在面をさらに含み、
    前記延在面における前記反射光の照射位置を通り前記延在面に垂直な基準線を基準にして前記反射光の光軸を前記照射位置で対称に折り返した位置に位置する線は、前記延在面から前記ウインドウに向かう方向において前記ウインドウにおける法線を前記ウインドウの外周側から前記ウインドウの中心軸側に向かって跨がるガスレーザ装置であって、
    前記延在面は、前記反射光を反射し、
    前記ウインドウを基準として前記封止部材とは反対側において前記ウインドウに配置されるリング部材をさらに備え、
    前記ウインドウは、前記ウインドウのうちの前記封止部材との当接面に配置され、前記反射光と同じ波長の光の少なくとも一部を反射する膜と、
    前記ウインドウは、前記ウインドウのうちの前記リング部材との当接面に配置され、前記反射光と同じ波長の光の少なくとも一部を吸収する膜と、を含む。
15. レーザガスの励起によって光が発生する内部空間と、前記内部空間からの前記光が出射する孔とを含む筐体と、
    前記筐体に配置され、前記孔から出射する前記光が通過する中空部を含む筒状のウインドウホルダと、
    前記中空部を進行する前記光が透過し、前記中空部を進行する前記光の光軸に対して前記光が入射する面が傾斜した状態で前記ウインドウホルダによって保持されるウインドウと、
    前記ウインドウと前記ウインドウに対向して位置する前記ウインドウホルダの端面との間において前記ウインドウと前記端面とに密着して配置されると共に、前記中空部に連通する前記端面に囲まれる開口を囲んで配置されるリング状の封止部材と、
    を備え、
    前記ウインドウホルダは、前記開口を介して前記ウインドウに進行する前記光のうち前記ウインドウによって反射される反射光の反射方向側に位置し、前記端面に連続して前記ウインドウから離れる方向に延在し、前記ウインドウからの前記反射光を照射される延在面をさらに含み、
    前記延在面における前記反射光の照射位置を通り前記延在面に垂直な基準線を基準にして前記反射光の光軸を前記照射位置で対称に折り返した位置に位置する線は、前記延在面から前記ウインドウに向かう方向において前記ウインドウにおける法線を前記ウインドウの外周側から前記ウインドウの中心軸側に向かって跨がり、
    前記延在面は、前記反射光を反射し、
    前記ウインドウは、前記ウインドウのうちの前記封止部材との当接面に配置され、前記反射光と同じ波長の光の少なくとも一部を吸収する膜をさらに備えるガスレーザ装置。
16. 請求項１５に記載のガスレーザ装置であって、
    前記ウインドウを基準として前記封止部材とは反対側において前記ウインドウに配置されるリング部材をさらに備え、
    前記ウインドウは、前記ウインドウのうちの前記リング部材との当接面に配置され、前記反射光と同じ波長の光の少なくとも一部を吸収する膜を含む。
17. 請求項１５に記載のガスレーザ装置であって、
    前記ウインドウを基準として前記封止部材とは反対側において前記ウインドウに配置されるリング部材と、
    前記ウインドウは、前記ウインドウのうちの前記リング部材との当接面に配置され、前記反射光と同じ波長の光の少なくとも一部を反射する膜を含む。
18. レーザガスの励起によって光が発生する内部空間と、前記内部空間からの前記光が出射する孔とを含む筐体と、
    前記筐体に配置され、前記孔から出射する前記光が通過する中空部を含む筒状のウインドウホルダと、
    前記中空部を進行する前記光が透過し、前記中空部を進行する前記光の光軸に対して前記光が入射する面が傾斜した状態で前記ウインドウホルダによって保持されるウインドウと、
    前記ウインドウと前記ウインドウに対向して位置する前記ウインドウホルダの端面との間において前記ウインドウと前記端面とに密着して配置されると共に、前記中空部に連通する前記端面に囲まれる開口を囲んで配置されるリング状の封止部材と、
    を備え、
    前記ウインドウホルダは、前記開口を介して前記ウインドウに進行する前記光のうち前記ウインドウによって反射される反射光の反射方向側に位置し、前記端面に連続して前記ウインドウから離れる方向に延在し、前記ウインドウからの前記反射光を照射される延在面をさらに含み、
    前記延在面における前記反射光の照射位置を通り前記延在面に垂直な基準線を基準にして前記反射光の光軸を前記照射位置で対称に折り返した位置に位置する線は、前記延在面から前記ウインドウに向かう方向において前記ウインドウにおける法線を前記ウインドウの外周側から前記ウインドウの中心軸側に向かって跨がり、
    前記延在面は、前記反射光を反射し、
    前記ウインドウを基準として前記封止部材とは反対側において前記ウインドウに配置されるリング部材をさらに備え、
    前記ウインドウは、前記ウインドウのうちの前記リング部材との当接面に配置され、前記反射光と同じ波長の光を吸収する膜を含む、
    ガスレーザ装置。
19. 請求項２に記載のガスレーザ装置であって、
    前記延在面には、金属をめっきした反射膜が配置される。
20. 請求項１０に記載のガスレーザ装置であって、
    前記延在面には、光の吸収率を向上させるコーティングが施される。
21. 請求項１に記載のガスレーザ装置であって、
    前記延在面は、平面である。
22. 請求項１に記載のガスレーザ装置であって、
    前記延在面は、矩形形状である。
23. 電子デバイスの製造方法であって、
    レーザガスの励起によって光が発生する内部空間と、前記内部空間からの前記光が出射する孔とを含む筐体と、
    前記筐体に配置され、前記孔から出射する前記光が通過する中空部を含む筒状のウインドウホルダと、
    前記中空部を進行する前記光が透過し、前記中空部を進行する前記光の光軸に対して前記光が入射する面が傾斜した状態で前記ウインドウホルダによって保持されるウインドウと、
    前記中空部を進行した前記光が通過する開口を囲んで配置され、前記ウインドウの前記レーザガスと接する表面において前記ウインドウと前記ウインドウホルダとの間を封止するリング状の封止部材と、
    を備え、
    前記ウインドウホルダは、前記開口を介して前記ウインドウに進行する前記光のうち前記ウインドウによって反射される反射光が照射される延在面を底面とする窪み部をさらに含み、
    前記窪み部は、前記ウインドウに対向する前記ウインドウホルダの端面から窪んで前記中空部に連通し、
    前記延在面は、前記端面に連続する一端と前記中空部の内周面に連続する他端とを含んで前記端面と前記中空部の内周面との間に形成され、前記一端が前記他端よりも前記中空部を進行する前記光の光軸から離れて位置するように前記中空部を進行する前記光の光軸に対して傾斜しているガスレーザ装置から出射されるレーザ光を露光装置に入射させ、
    電子デバイスを製造するために、前記露光装置内で感光基板上に前記レーザ光を露光すること
    を含む電子デバイスの製造方法。
    

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