JP7599345B2 - Apparatus and method for searching conditions for forming silica film - Google Patents
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Description
本発明は、シリカ膜形成条件を探索する装置と方法に関する。 The present invention relates to an apparatus and method for exploring conditions for forming silica films.
水素キャリアである有機ハイドライドの脱水素により生成した水素を分離する方法として、水素選択透過性を有するアモルファスのシリカ膜を利用する方法が知られている。 A method that uses an amorphous silica membrane with selective hydrogen permeability is known as a method for separating hydrogen generated by dehydrogenation of an organic hydride, which is a hydrogen carrier.
特許文献1は、多孔質基材にシリカ膜を形成した後、酸素と反応させて、シリカ膜を安定化させることを提案している。 Patent Document 1 proposes forming a silica film on a porous substrate and then reacting it with oxygen to stabilize the silica film.
特許文献2は、シリカ膜の欠陥を抑制するために、シリカ膜の原料ガスを加圧しながら基材に供給することを提案している。 Patent Document 2 proposes supplying the silica film source gas to the substrate while pressurizing it in order to suppress defects in the silica film.
特許文献3は、ケイ素化合物を基材に蒸着させる第1蒸着ステップと、その後、別のケイ素化合物を更に蒸着させる第2ステップとで、シリカ膜を形成することを提案している。 Patent document 3 proposes forming a silica film by a first deposition step in which a silicon compound is deposited on a substrate, and then a second step in which another silicon compound is further deposited.
シリカ膜の製造方法として、原料のシリカ源を熱分解させて気相法(CVD法)を利用して、多孔質基材にシリカ膜を成長させる方法が知られている。シリカ膜のパフォーマンスは、気相法によるシリカ膜の形成条件に大きく依存することが判明しつつある。水素選択透過性に優れたシリカ膜を形成するには、その形成条件を適切に決定することが必要である。 A known method for producing silica membranes is to thermally decompose the raw silica source and use a vapor phase method (CVD method) to grow a silica membrane on a porous substrate. It is becoming clear that the performance of the silica membrane depends heavily on the conditions under which the silica membrane is formed by the vapor phase method. In order to form a silica membrane with excellent selective hydrogen permeability, it is necessary to appropriately determine the formation conditions.
しかし、現状では、シリカ源に応じて、試行錯誤的に熱分解の条件を模索する必要がある。また、シリカ膜を試作した後、その都度、透過分離性能を評価しなければならない。そのため、シリカ膜形成条件を決定するのに多くの手間と時間を要している。 However, currently, it is necessary to find the conditions for pyrolysis by trial and error depending on the silica source. In addition, after a silica membrane is prototyped, the permeation and separation performance must be evaluated each time. As a result, it takes a lot of time and effort to determine the conditions for forming a silica membrane.
本発明の一側面は、シリカ源を含む第1ガスを生成させる第1ガス供給部と、前記第1ガスを流通させながら昇温される反応器と、前記反応器に導入される前記第1ガスの量を制御する第1制御部と、前記反応器で前記シリカ源の分解により生成する生成物の組成と、温度と、の関係を示す第1プロファイルを生成する分析装置と、を具備する、シリカ膜形成条件探索装置に関する。 One aspect of the present invention relates to an apparatus for searching conditions for forming a silica film, the apparatus comprising: a first gas supply unit that generates a first gas containing a silica source; a reactor that is heated while circulating the first gas; a first control unit that controls the amount of the first gas introduced into the reactor; and an analysis device that generates a first profile that shows the relationship between the composition of the product generated by decomposition of the silica source in the reactor and the temperature.
本発明の別の側面は、上記シリカ膜形成条件探索装置を用いるシリカ膜形成条件探索方法であって、前記第1制御部により、前記反応器に導入される前記第1ガスの量を変化させて得られる複数の前記第1プロファイルを有する第1プロファイル群を生成する工程、を具備する、シリカ膜形成条件探索方法に関する。 Another aspect of the present invention relates to a method for searching for conditions for forming a silica film using the above-mentioned silica film formation condition searching device, the method including a step of generating a first profile group having a plurality of the first profiles obtained by changing the amount of the first gas introduced into the reactor by the first control unit.
本発明によれば、効率的にシリカ膜形成条件を探索することができる。 The present invention makes it possible to efficiently explore conditions for forming a silica film.
以下、本発明の実施形態に係るシリカ膜形成条件探索装置(以下、「探索装置A」とも称する。)について説明するが、本発明に係る装置は、以下の実施形態に限定されるものではない。 The following describes an apparatus for searching conditions for forming a silica film according to an embodiment of the present invention (hereinafter also referred to as "search apparatus A"); however, the apparatus according to the present invention is not limited to the following embodiment.
[第1ガス供給部]
探索装置Aは、シリカ源を含む第1ガスを生成させる第1ガス供給部を具備する。第1ガス供給部は、シリカ源が気体であれば、シリカ源を貯留するとともに任意の流量で取り出すことができるボンベであってもよい。また、シリカ源が液体または固体であれば、シリカ源を気化させる機能を有すればよいが、更に、生成するシリカ源の蒸気量を制御する機能を有してもよい。第1ガス供給部は、不活性ガスをシリカ源と混合する機能を有してもよい。すなわち、第1ガスは、不可避的に混入する成分を除き、実質的に気体のシリカ源(シリカ源の蒸気)だけで構成されてもよく、シリカ源と不活性ガスとを含む混合ガスであってもよい。第1ガス供給部は、例えば液状のシリカ源とともに不活性ガスを噴射もしくはスプレーするキャブレタを具備してもよい。あるいは、第1ガス供給部は、液体または固体のシリカ源を加熱して気化させるヒータを具備してもよい。第1ガス供給部は、そのようなヒータの出力を制御する温度制御部を有してもよい。
[First gas supply unit]
The searching device A includes a first gas supply unit that generates a first gas containing a silica source. If the silica source is a gas, the first gas supply unit may be a cylinder that can store the silica source and extract it at an arbitrary flow rate. If the silica source is a liquid or solid, the first gas supply unit may have a function of vaporizing the silica source, and may further have a function of controlling the amount of vapor of the silica source generated. The first gas supply unit may have a function of mixing an inert gas with the silica source. That is, the first gas may be substantially composed of only a gaseous silica source (vapor of the silica source) except for components that are inevitably mixed in, or may be a mixed gas containing the silica source and an inert gas. The first gas supply unit may include, for example, a carburetor that injects or sprays an inert gas together with the liquid silica source. Alternatively, the first gas supply unit may include a heater that heats and vaporizes the liquid or solid silica source. The first gas supply unit may have a temperature control unit that controls the output of such a heater.
シリカ源は、特に限定されないが、例えば、酸素と反応してシリカを生成するケイ素化合物が用いられる。このようなケイ素化合物として、例えば、テトラアルコキシシラン(テトラメトキシシラン(TMOS)、テトラエトキシシラン(TEOS)など)、トリアルコキシシラン(エチルトリメトキシシラン(Ethyl-TMOS)、メチルトリメトキシシラン、n-オクチルトリエトキシシラン、n-デシルトリメトキシシランなど)、ジアルコキシシラン(ジメチルジメトキシシラン(DMDMS)、ジフェニルジメトキシシランなど)、モノアルコキシシラン(トリメチルメトシキシラン(TMMOS))、四塩化ケイ素、シラン(SiH4)、ジシロキサン(ヘキサメチルジシロキサン(HMDSO)など)、環状シロキサン(オクタメチルシクロテトラシロキサン、デカメチルシクロペンタシロキサンなど)を挙げることができる。 The silica source is not particularly limited, but may be, for example, a silicon compound that reacts with oxygen to produce silica. Examples of such silicon compounds include tetraalkoxysilanes (tetramethoxysilane (TMOS), tetraethoxysilane (TEOS), etc.), trialkoxysilanes (ethyltrimethoxysilane (Ethyl-TMOS), methyltrimethoxysilane, n-octyltriethoxysilane, n-decyltrimethoxysilane, etc.), dialkoxysilanes (dimethyldimethoxysilane (DMDMS), diphenyldimethoxysilane, etc.), monoalkoxysilanes (trimethylmethoxysilane (TMMOS)), silicon tetrachloride, silanes (SiH 4 ), disiloxanes (hexamethyldisiloxane (HMDSO), etc.), and cyclic siloxanes (octamethylcyclotetrasiloxane, decamethylcyclopentasiloxane, etc.).
[反応器]
探索装置Aは、第1ガスを流通させながら昇温される反応器を具備する。反応器は、例えば、第1ガスが流通する通路もしくは第1ガスが滞留するチャンバと、シリカ源が分解する温度まで通路もしくはチャンバ内の第1ガスを加熱するヒータとを具備する。反応器でシリカ源の分解により生成する生成物の一部が、分析装置に送られ、残部は、通路もしくはチャンバを通過して反応器の外部に放出される。ヒータは、反応器内のガスを、例えば200℃以下の第1温度から600℃以上の第2温度まで、温度を制御しながら昇温する機能を有してもよい。第1温度は、例えば、室温付近(15℃~40℃)の温度であってもよく、40℃~100℃の範囲の温度であってもよい。第2温度は700℃以上もしくは800℃以上であってもよい。
[Reactor]
The searching device A includes a reactor in which the temperature is raised while the first gas is circulated. The reactor includes, for example, a passage through which the first gas flows or a chamber in which the first gas resides, and a heater that heats the first gas in the passage or chamber to a temperature at which the silica source decomposes. A part of the product generated by the decomposition of the silica source in the reactor is sent to the analysis device, and the remaining part passes through the passage or chamber and is discharged to the outside of the reactor. The heater may have a function of raising the temperature of the gas in the reactor, for example, from a first temperature of 200°C or less to a second temperature of 600°C or more while controlling the temperature. The first temperature may be, for example, a temperature near room temperature (15°C to 40°C) or a temperature in the range of 40°C to 100°C. The second temperature may be 700°C or more or 800°C or more.
[第1制御部]
探索装置Aは、反応器に導入される第1ガスの量を制御する第1制御部を具備する。第1制御部には、例えば、マスフローコントローラを用いてもよい。第1ガスは、第1ガス供給部と反応器との間に介在する第1制御部を介して、反応器に導入される。第1制御部は、1つのマスフローコントローラを具備してもよく、複数のマスフローコントローラを具備してもよい。例えば、第1ガスは、少なくとも1つのマスフローコントローラを通過して所定の空間(例えば、後述の「混合部」)に導入され、その後、当該空間から、更に少なくとも1つのマスフローコントローラを通過して反応器に導入されてもよい。
[First control unit]
The searching device A includes a first control unit that controls the amount of the first gas introduced into the reactor. For example, a mass flow controller may be used for the first control unit. The first gas is introduced into the reactor via the first control unit interposed between the first gas supply unit and the reactor. The first control unit may include one mass flow controller, or may include multiple mass flow controllers. For example, the first gas may be introduced into a predetermined space (for example, the "mixing unit" described below) through at least one mass flow controller, and then from that space, it may be introduced into the reactor through at least one mass flow controller.
[分析装置]
探索装置Aは、シリカ源の分解により生成する生成物(以下、「分解生成物」とも称する。)の組成を分析する分析装置を具備する。分析装置は、第1温度から第2温度まで徐々に昇温される反応器内で順次生成する生成物の組成を分析する。そして、生成物の組成と温度との関係を示す第1プロファイルを生成する。第1プロファイルには、例えば、様々な分解生成物の生成温度に関する情報が含まれている。これらの分解生成物の中には、良質なシリカ膜の形成に寄与する成分もあれば、シリカ膜の品質を低下させる成分もある。第1プロファイルから各成分の生成温度と生成量を把握することができる。
[Analytical equipment]
The searching device A is equipped with an analysis device that analyzes the composition of products (hereinafter also referred to as "decomposition products") generated by the decomposition of the silica source. The analysis device analyzes the composition of products generated sequentially in a reactor whose temperature is gradually increased from a first temperature to a second temperature. Then, a first profile is generated that shows the relationship between the composition of the products and the temperature. The first profile includes, for example, information on the generation temperatures of various decomposition products. Among these decomposition products, some components contribute to the formation of a good quality silica film, while others degrade the quality of the silica film. The generation temperature and generation amount of each component can be grasped from the first profile.
分析装置は、少なくとも生成物のマススペクトルを第1プロファイルとして生成する装置であることが望ましい。そのような装置として、例えば、四重極形質量分析計(QMS)が挙げられる。より具体的には、QMSとガスクロマトグラフ(GC)と結合したガスクロマトグラフ質量分析計(GC-MS)などを用いてもよい。 The analytical device is preferably a device that generates at least a mass spectrum of the product as the first profile. An example of such a device is a quadrupole mass spectrometer (QMS). More specifically, a gas chromatograph mass spectrometer (GC-MS) that combines a QMS with a gas chromatograph (GC) may be used.
生成物のマススペクトルは、少なくとも、水素、水、一酸化炭素および二酸化炭素のスペクトルを含む。これらの低分子量の生成物(例えば、分子量44(CO2)以下)は、シリカ源が分解する際に生成する。低分子量の生成物は、シリカ膜の生成には、ほとんど関与しないと考えられる。一方、低分子量の生成物と同時に生成する、より分子量の大きい高分子量の生成物は、シリカ膜の形成に関与する中間体(ケイ素(Si)と酸素を含む化合物であり、例えばSi-O結合を有する有機化合物)もしくは当該中間体の生成に伴って生成する生成物(例えば、CH3OO-)であり得る。すなわち、低分子量の生成物の生成量の増加は、シリカ膜の形成に重要な中間体の生成を示唆する。例えば、低分子量の生成物の生成量が極大となる温度の近辺温度は、シリカ膜の形成温度として好適である可能性が高い。 The mass spectrum of the product includes at least the spectra of hydrogen, water, carbon monoxide and carbon dioxide. These low molecular weight products (e.g., molecular weight 44 (CO 2 ) or less) are generated when the silica source decomposes. It is considered that the low molecular weight products are hardly involved in the formation of the silica film. On the other hand, the high molecular weight products that are generated simultaneously with the low molecular weight products may be intermediates (compounds containing silicon (Si) and oxygen, e.g., organic compounds having Si-O bonds) involved in the formation of the silica film or products (e.g., CH 3 OO-) that are generated in association with the generation of the intermediates. In other words, an increase in the amount of low molecular weight products suggests the generation of intermediates that are important in the formation of the silica film. For example, a temperature near the temperature at which the amount of low molecular weight products generated is maximized is likely to be suitable as a temperature for forming the silica film.
[第2ガス供給部]
探索装置Aは、更に、シリカ源とともに反応器に導入され、かつシリカ源と反応する第2ガスを供給する第2ガス供給部を具備してもよい。第2ガスは、例えば、シリカ源を酸化させる酸化剤ガスであり得る。この場合、第1ガスとともに第2ガスが反応器の通路またはチャンバを流れ、第1温度から第2温度までの所定温度で、通路またはチャンバ内でシリカ源と反応する。
[Second gas supply unit]
The searching device A may further include a second gas supplying section for supplying a second gas that is introduced into the reactor together with the silica source and reacts with the silica source. The second gas may be, for example, an oxidizing gas that oxidizes the silica source. In this case, the second gas flows through a passage or chamber of the reactor together with the first gas and reacts with the silica source in the passage or chamber at a predetermined temperature ranging from the first temperature to the second temperature.
酸化剤ガスとしては、例えば、酸素、オゾン、乾燥空気などを用い得る。酸化剤ガスは、例えば、不可避的に混入する成分を除き、実質的に100%がオゾンもしくは酸素からなる純ガスでもよく、酸素および/またはオゾン以外の成分を含んでもよい。酸化剤ガスにおける酸素および/またはオゾンの濃度は、例えば20vol%~60vol%であればよい。酸化剤ガスに含まれる酸素およびオゾン以外のガスとして、不活性ガス、乾燥空気などを用いてもよい。 The oxidizer gas may be, for example, oxygen, ozone, dry air, or the like. The oxidizer gas may be, for example, a pure gas consisting essentially of 100% ozone or oxygen, excluding unavoidable components, or may contain components other than oxygen and/or ozone. The concentration of oxygen and/or ozone in the oxidizer gas may be, for example, 20 vol% to 60 vol%. As gases other than oxygen and ozone contained in the oxidizer gas, an inert gas, dry air, or the like may be used.
[第2制御部]
第2ガス供給部を具備する探索装置Aは、更に、反応器に導入される第2ガスの量を制御する第2制御部を具備してもよい。第2制御部には、例えば、マスフローコントローラを用いてもよい。第2ガスは、第2ガス供給部と反応器との間に介在する第2制御部を介して、反応器に導入される。第2制御部は、1つのマスフローコントローラを具備してもよく、複数のマスフローコントローラを具備してもよい。また、第2制御部の少なくとも一部が、第1制御部と共通であってもよい。例えば、第2ガスは、少なくとも1つのマスフローコントローラを通過して所定の空間(例えば、後述の「混合部」)に導入され、その後、当該空間から、更に少なくとも1つのマスフローコントローラを通過して反応器に導入されてもよい。
[Second control unit]
The searching device A having the second gas supply unit may further include a second control unit that controls the amount of the second gas introduced into the reactor. For example, a mass flow controller may be used for the second control unit. The second gas is introduced into the reactor via the second control unit interposed between the second gas supply unit and the reactor. The second control unit may include one mass flow controller, or may include multiple mass flow controllers. In addition, at least a part of the second control unit may be common to the first control unit. For example, the second gas may be introduced into a predetermined space (for example, the "mixing section" described later) through at least one mass flow controller, and then introduced into the reactor from the space through at least one mass flow controller.
[混合部]
第2ガス供給部を具備する探索装置Aは、更に、反応器に導入される前の第1ガスと第2ガスとを混合し、混合ガスを生成する混合部を具備してもよい。この場合、第1ガスと第2ガスとの混合ガスが反応器に導入される。
[Mixing section]
The searching device A having the second gas supply unit may further include a mixer that mixes the first gas and the second gas before being introduced into the reactor to generate a mixed gas. In this case, the mixed gas of the first gas and the second gas is introduced into the reactor.
次に、探索装置Aを用いるシリカ膜形成条件探索方法(以下、「探索方法B」とも称する。)について説明するが、本発明に係る方法は、以下の実施形態に限定されるものではない。 Next, we will explain a method for searching conditions for forming a silica film using searching device A (hereinafter, also referred to as "searching method B"). However, the method according to the present invention is not limited to the following embodiment.
<第1プロファイル群の生成(1)>
シリカ膜を多孔質基材の表面に形成することを想定する場合、多孔質基材の細孔と連通する空間(以下、「第1空間」とも称する。)に、第1空間においてシリカ源が所定濃度で滞留するように第1ガスが供給される。シリカ源が第1空間内もしくは多孔質基材の表面で加熱され、分解などの反応を経て、多孔質基材の表面にシリカとして堆積することによりシリカ膜が形成される。
<Generation of First Profile Group (1)>
When it is assumed that a silica film is formed on the surface of a porous substrate, a first gas is supplied to a space (hereinafter also referred to as a "first space") communicating with the pores of the porous substrate so that a silica source is retained at a predetermined concentration in the first space. The silica source is heated in the first space or on the surface of the porous substrate, and undergoes a reaction such as decomposition, and is deposited as silica on the surface of the porous substrate to form a silica film.
多孔質基材が第1表面および第2表面を有し、第1表面と第2表面とが細孔により連通し、第1空間が第1表面で細孔と連通し、第2空間が第2表面で細孔と連通する筒状である場合には、第2空間に第2ガスが供給されることもある。 When the porous substrate has a first surface and a second surface, the first surface and the second surface are connected by pores, the first space is connected to the pores at the first surface, and the second space is connected to the pores at the second surface and is cylindrical, a second gas may be supplied to the second space.
上記のようなシリカ膜の形成プロセスにおいて、重要となる条件は、シリカ源を加熱する温度と、シリカ源(もしくは第1ガス)の流量(第1空間における濃度)と、酸化剤ガス(第2ガス)の流量(第1空間または第2空間における濃度)と、の3つのパラメータであり、中でも、温度とシリカ源の流量の2つのパラメータが重要である。探索方法Bは、良質なシリカ膜を形成するのに適切な温度と第1ガスの流量とを探索するのに役立つ。 In the above-described silica film formation process, the important conditions are three parameters: the temperature at which the silica source is heated, the flow rate of the silica source (or the first gas) (concentration in the first space), and the flow rate of the oxidizer gas (the second gas) (concentration in the first space or the second space), of which the two most important parameters are the temperature and the flow rate of the silica source. Search method B is useful for searching for the appropriate temperature and flow rate of the first gas for forming a high-quality silica film.
探索方法Bは、まず、第1制御部により、反応器に導入される第1ガスの量を変化させて、複数の第1プロファイルを、第1プロファイル群として取得する工程を有する。各第1プロファイルは、例えば第1空間を想定した、反応室におけるシリカ源の濃度を一定にしたときの、温度と当該温度で生成する分解生成物のマススペクトルとの関係を示すプロファイルである。第1プロファイルは、シリカ源の分解挙動に関する様々な情報を含む。 Search method B first has a step of changing the amount of the first gas introduced into the reactor by the first control unit to obtain a plurality of first profiles as a first profile group. Each first profile is a profile that shows the relationship between temperature and the mass spectrum of the decomposition product generated at that temperature when the concentration of the silica source in the reaction chamber, for example, assuming the first space, is kept constant. The first profile includes various information regarding the decomposition behavior of the silica source.
複数の第1プロファイルを有する第1プロファイル群は、例えば、反応室におけるシリカ源の濃度がAmol/m3およびBmol/m3(A<B)となるように、第1ガスの流量を変えて測定された2つの第1プロファイルを含む。反応室におけるシリカ源の濃度を更にC(≠A、B)mol/m3、D(≠A~C)・・と変更して第1プロファイルの数を増やしてもよい。 The first profile group having a plurality of first profiles includes, for example, two first profiles measured by changing the flow rate of the first gas so that the concentration of the silica source in the reaction chamber becomes A mol/m 3 and B mol/m 3 (A<B). The concentration of the silica source in the reaction chamber may be further changed to C (≠A, B) mol/m 3 , D (≠A to C), etc. to increase the number of first profiles.
第1プロファイル群は、温度と、第1ガスの流量(例えば第1空間を想定した反応室におけるシリカ源の濃度)との2つのパラメータを変数とするマススペクトルの出力を可能にする。第1プロファイル群を利用することで、任意の分解生成物(例えば、良質なシリカ膜の形成に寄与する成分)が最も生成しやすい温度とシリカ源の流量とを容易に把握することができる。第1プロファイル群に基づいてシリカ膜形成条件を選択する場合、シリカ膜の形成条件の決定に要する手間と時間を大幅に削減することができる。 The first profile group enables the output of a mass spectrum with two parameters, temperature and the flow rate of the first gas (e.g., the concentration of the silica source in a reaction chamber assuming the first space), as variables. By using the first profile group, it is possible to easily determine the temperature and flow rate of the silica source at which any decomposition product (e.g., a component that contributes to the formation of a high-quality silica film) is most likely to be produced. When the silica film formation conditions are selected based on the first profile group, the effort and time required to determine the silica film formation conditions can be significantly reduced.
<第2プロファイルの生成>
第1プロファイル群から、反応器に導入される第1ガスの量と、分解生成物に含まれる各成分の量と、温度との関係を示す第2プロファイルを生成してもよい。第2プロファイルは、第1プロファイル群から抽出された抽出データである。第2プロファイルは、例えば、任意に選択された第1ガスの流量における第1プロファイルの集合であり得る。
<Generation of the second profile>
A second profile may be generated from the first group of profiles, the second profile indicating the relationship between the amount of the first gas introduced into the reactor, the amount of each component contained in the decomposition product, and the temperature. The second profile is extracted data extracted from the first group of profiles. The second profile may be, for example, a collection of the first profiles at a flow rate of the first gas selected arbitrarily.
<第1プロファイル群の生成(2)>
ここでは、探索方法Bは、第1制御部および第2制御部により、反応器に導入される第1ガスおよび第2ガスの量を変化させて、複数の第1プロファイルを第2プロファイル群として取得する工程を有する。各第1プロファイルは、第1空間を想定した反応室におけるシリカ源の濃度および酸化剤ガスの濃度を一定にしたときの、温度と当該温度で生成する分解生成物のマススペクトルとの関係を示すプロファイルである。
<Generation of First Profile Group (2)>
Here, the search method B includes a step of acquiring a plurality of first profiles as a second profile group by changing the amounts of the first gas and the second gas introduced into the reactor by the first control unit and the second control unit. Each of the first profiles is a profile showing the relationship between temperature and the mass spectrum of a decomposition product generated at the temperature when the concentration of the silica source and the concentration of the oxidant gas in a reaction chamber assuming the first space are constant.
第2プロファイル群は、例えば、反応室における酸化剤ガスの濃度がamol/m3で一定のときに、反応室におけるシリカ源の濃度がAmol/m3およびBmol/m3(A<B)となるように、第1ガスの流量を変えて測定された2つの第1プロファイルを含む。 The second profile group includes, for example, two first profiles measured by changing the flow rate of the first gas so that the concentration of the silica source in the reaction chamber is A mol/m 3 and B mol/m 3 (A < B) when the concentration of the oxidizer gas in the reaction chamber is constant at amol/m 3 .
また、第2プロファイル群は、例えば、反応室における酸化剤ガスの濃度がbmol/m3(a<b)で一定のときに、反応室におけるシリカ源の濃度がAmol/m3およびBmol/m3(A<B)となるように、第1ガスの流量を変えて測定された2つの第1プロファイルを含む。 The second profile group also includes two first profiles measured by changing the flow rate of the first gas, for example, so that when the concentration of the oxidizer gas in the reaction chamber is constant at b mol/m 3 (a < b), the concentration of the silica source in the reaction chamber is A mol/m 3 and B mol/m 3 (A < B).
つまり、第2プロファイル群は、例えば上記4つの第1プロファイルを含む。反応室における酸化剤ガスの濃度を更にc(≠a、b)mol/m3、d(≠a~c)・・と変更して第1プロファイルの数を増やしてもよい。また、酸化剤が上記各濃度である場合に、反応室におけるシリカ源の濃度を更にC(≠A、B)mol/m3、D(≠A~C)・・と変更して第1プロファイルの数を増やしてもよい。 That is, the second profile group includes, for example, the above-mentioned four first profiles. The concentration of the oxidant gas in the reaction chamber may be further changed to c (≠ a, b) mol/m 3 , d (≠ a to c), etc. to increase the number of first profiles. In addition, when the oxidant has each of the above concentrations, the concentration of the silica source in the reaction chamber may be further changed to C (≠ A, B) mol/m 3 , D (≠ A to C), etc. to increase the number of first profiles.
第2プロファイル群は、温度と、第1ガスの流量(第1空間を想定した反応室におけるシリカ源の濃度)と第2ガスの流量(第1空間を想定した反応室における酸化剤ガスの濃度)の3つのパラメータを変数とするマススペクトルの出力を可能にする。第2プロファイル群を利用することで、任意の分解生成物(例えば、良質なシリカ膜の形成に寄与する成分)が最も生成しやすい温度とシリカ源の流量と酸化剤ガスの流量を容易に把握することができる。第2プロファイル群に基づいてシリカ膜形成条件を選択する場合、シリカ膜の形成条件の決定に要する手間と時間を更に大幅に削減することができる。 The second profile group enables the output of a mass spectrum with three parameters as variables: temperature, the flow rate of the first gas (concentration of the silica source in the reaction chamber assuming the first space), and the flow rate of the second gas (concentration of the oxidizer gas in the reaction chamber assuming the first space). By using the second profile group, it is possible to easily grasp the temperature, flow rate of the silica source, and flow rate of the oxidizer gas at which any decomposition product (e.g., a component that contributes to the formation of a high-quality silica film) is most likely to be produced. When the silica film formation conditions are selected based on the second profile group, the effort and time required to determine the silica film formation conditions can be further significantly reduced.
<第3プロファイルの生成>
第2プロファイル群から、反応器に導入される第1ガスの量と、反応器に導入される第2ガスの量と、分解生成物に含まれる各成分の量と、温度との関係を示す第3プロファイルを生成してもよい。第3プロファイルは、第2プロファイル群から抽出された抽出データである。第3プロファイルは、例えば、任意に選択された第1ガスおよび第2ガスの流量における第1プロファイルの集合であり得る。
<Generation of the third profile>
A third profile may be generated from the second group of profiles, the third profile indicating the relationship between the amount of the first gas introduced into the reactor, the amount of the second gas introduced into the reactor, the amount of each component contained in the decomposition product, and temperature. The third profile is extracted data extracted from the second group of profiles. The third profile may be, for example, a collection of the first profiles at flow rates of the first gas and the second gas selected arbitrarily.
次に、図面を参照しながら、本発明の一実施形態に係るシリカ膜形成条件探索装置について説明する。図1Aは、シリカ膜形成条件探索装置の構成を示すブロック図である。シリカ膜形成条件探索装置100は、シリカ源を含む第1ガスを生成させる第1ガス供給部10と、第2ガスを供給する第2ガス供給部20と、第1ガスおよび第2ガスを流通させながら昇温される反応器30と、反応器30に導入される前の第1ガスと第2ガスとを混合し、混合ガスを生成する混合部40と、反応器30で生成する生成物の組成を分析して第1プロファイルを生成する分析装置50とを具備する。
Next, a silica film formation condition searching device according to one embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1A is a block diagram showing the configuration of the silica film formation condition searching device. The silica film formation
図1Bは、混合部の一例を示す概念図である。混合部は、第1ガスと第2ガスとが合流後に通過する細管部を有し、細管部を通過する際に第1ガスと第2ガスとが均一に混合される。 Figure 1B is a conceptual diagram showing an example of a mixing section. The mixing section has a narrow tube section through which the first gas and the second gas pass after joining, and the first gas and the second gas are mixed uniformly as they pass through the narrow tube section.
第1ガス供給部10は、例えば、液状のシリカ源を収容する原料容器11と、原料容器11を加熱する第1ヒータ12と、第1ヒータ12の温度を制御する第1温度制御部13と、原料容器11内に不活性ガスを送る不活性ガス供給部14とを具備する。不活性ガスは、原料容器11内で生成するシリカ源の蒸気のキャリアとして機能する。不活性ガスとしては、Ar、N2、Heなどを用い得る。原料容器11に送られる不活性ガスの量は、図示しないマスフローコントローラで制御される。
The first
第2ガス供給部20としては、例えば、酸素などの酸化剤ガスを供給するガスボンベを用い得る。ガスボンベからは任意の流量で酸化剤ガスを取り出すことができる。
The second
反応器30は、混合ガスが導入されるチャンバ31と、チャンバ31内のガスを加熱する第2ヒータ32と、第2ヒータ32の温度を制御する第2温度制御部33を具備する。反応器30は、混合部40と連通する導入路34と、反応器30の内部のガス(分解生成物、未反応物、酸化剤、キャリアなどが含まれる)を反応器30の外部に送る導出路35とを有する。導出路35は分岐路36を有しており、分解生成物を含むガスの一部が分岐路36を通って分析装置50に送られる。
The
混合部40に導入される第1ガスの量は、第1ガス供給部10と混合部40との間に介在する第1マスフローコントローラ60により制御される。混合部40に導入される第2ガスの量は、第2ガス供給部20と混合部40との間に介在する第2マスフローコントローラ70により制御される。反応器30に導入される混合ガスの量は、混合部40と反応器30との間に介在する第3マスフローコントローラ80により制御される。以上のように、第1マスフローコントローラ60および第3マスフローコントローラ80は、いずれも反応器30に導入される第1ガスの量を制御するので第1制御部を構成する。第2マスフローコントローラ70および第3マスフローコントローラ80は、いずれも反応器30に導入される第2ガスの量を制御するので第2制御部を構成する。
The amount of the first gas introduced into the mixing
分析装置50としては、GC-MSなどを利用できる。分析装置50は、マススペクトルを出力する測定部51と、GC-MSの出力を編集する演算部52と、演算結果を第1プロファイルとして出力する出力部53と、GC-MSの出力、第1プロファイル等を記憶する記憶部54とを備える。
A GC-MS or the like can be used as the
次に、第1プロファイルとして、シリカ源の分解生成物のマススペクトルを幾つか例示する。図2は、第1ガス供給部10において不活性ガスとして窒素(N2)を用い、第2ガスとして酸素(O2)を用いた場合に、探索装置Aで得られる第1プロファイルの一例を示す図である。具体的には、シリカ源/N2のモル比が0.1/45の第1ガスを生成させ、混合部を介して400cm3/秒の流量で第1ガスを反応器に供給するとともに、混合部を介して200cm3/秒の流量で酸素を反応器に供給し、結果として混合ガスを反応器に流通させた。反応器内のチャンバの内圧は、大気圧に維持した。反応器の温度を10℃/分で昇温してマススペクトルを測定した。
Next, as the first profile, some mass spectra of decomposition products of the silica source are illustrated. FIG. 2 is a diagram showing an example of the first profile obtained by the search device A when nitrogen (N 2 ) is used as the inert gas in the first
シリカ源として、ジメチルジメトキシシラン(DMDMS)、トリメチルメトシキシラン(TMMOS)、エチルトリメトキシシラン(Ethyl-TMOS)およびヘキサメチルジシロキサン(HMDSO)を用いた場合に得られる低分子量の生成物のマススペクトル(すなわち、第1プロファイル)を図2、図3、図4および図5に示す。各スペクトルにより、分子量2(H2)、15(-CH3)、16(CH4)、17(-OH)、18(H2O)、28(COまたはC2H4)、32(O2)および44(CO2)のスペクトル強度と温度との関係が与えられる。低分子量の生成物のマススペクトル強度が大きく変化する温度域(特に、強度が極大となるピークに対応する温度の前後)では、良質なシリカ膜の形成に有益な中間体が生成していることが示唆される。 The mass spectra (i.e., first profiles) of low molecular weight products obtained when dimethyldimethoxysilane (DMDMS), trimethylmethoxysilane (TMMOS), ethyltrimethoxysilane (Ethyl-TMOS) and hexamethyldisiloxane (HMDSO) are used as silica sources are shown in Figures 2, 3, 4 and 5. Each spectrum gives the relationship between the spectral intensity and temperature of molecular weights 2 (H 2 ), 15 (-CH 3 ), 16 (CH 4 ), 17 (-OH), 18 (H 2 O), 28 (CO or C 2 H 4 ), 32 (O 2 ) and 44 (CO 2 ). It is suggested that intermediates useful for forming a good quality silica film are generated in the temperature range where the mass spectrum intensity of the low molecular weight products changes significantly (especially around the temperature corresponding to the peak where the intensity is maximum).
次に、ジメチルジメトキシシラン(DMDMS)、トリメチルメトシキシラン(TMMOS)およびエチルトリメトキシシラン(Ethyl-TMOS)を用いた場合に得られる高分子量の生成物のマススペクトル(すなわち、第1プロファイル)を、低分子量の生成物と同じ温度軸に沿って、図6、図7および図8に示す。図6~8では、いずれも低分子量の生成物のスペクトル強度が大きく変化する温度域(特に、強度が極大となるピークに対応する温度の前後)で、それぞれ良質なシリカ膜の形成に重要な中間体とともに生成する生成物(CH3OO-)が生成していることが理解できる。CH3OO-で表される分子量47の生成物は、重要な中間体の生成を示唆することが経験上も明らかとなっている。 Next, mass spectra (i.e., first profile) of high molecular weight products obtained when dimethyldimethoxysilane (DMDMS), trimethylmethoxysilane (TMMOS) and ethyltrimethoxysilane (Ethyl-TMOS) are used are shown in Figures 6, 7 and 8 along the same temperature axis as that of low molecular weight products. In Figures 6 to 8, it can be seen that in the temperature range where the spectral intensity of the low molecular weight products changes significantly (especially around the temperature corresponding to the peak where the intensity is maximum), a product (CH 3 OO-) is generated along with an intermediate important for the formation of a good quality silica film. It has been empirically clarified that the product with a molecular weight of 47 represented by CH 3 OO- suggests the generation of an important intermediate.
図9は、シリカ源としてDMDMSを用いた場合の第1プロファイルを元に、シリカ膜形成条件の一つである温度の候補を3つ設定した例を示す。ここでは、分子量18(H2O)が2度目の極大を示した温度A、3度目の極大を示した直後の温度B、および温度AとBの中間の温度Cを候補として設定した。このような候補の設定は、第1プロファイルが無ければ不可能であり、仮に経験的に500℃~700℃の温度範囲が有力であると判明していたとしても、500℃~700℃の温度範囲で試行錯誤を繰り返す必要がある。 9 shows an example in which three candidates for temperature, which is one of the conditions for forming a silica film, are set based on the first profile when DMDMS is used as the silica source. Here, the candidates are temperature A where molecular weight 18 (H 2 O) shows the second maximum, temperature B immediately after the third maximum, and temperature C which is intermediate between temperatures A and B. Setting such candidates is impossible without the first profile, and even if it is empirically known that the temperature range of 500°C to 700°C is effective, it is necessary to repeat trial and error within the temperature range of 500°C to 700°C.
図10は、各温度条件を採用して形成されたシリカ膜の水素および窒素のパーミアンスを示す結果である。また、表1に550℃、600℃及び650℃における水素のパーミアンスと窒素のパーミアンスとの比(H2/N2)を、水素選択透過性の指標として示す。 10 shows the hydrogen and nitrogen permeance of the silica film formed under each temperature condition. Table 1 also shows the ratio of hydrogen permeance to nitrogen permeance ( H2 / N2 ) at 550°C, 600°C, and 650°C as an index of hydrogen selective permeability.
シリカ膜の形成において、多孔質支持体として、内径7mm、外径10mm、長さ70mmのα-アルミナ製の筒状体の表面にγ-アルミナを塗布した支持体を準備した。多孔質支持体の外周面側の平均細孔径は4nmである。多孔質基材の外周面側に、対向拡散CVD法により、製膜温度550℃、600℃及び650℃でシリカ膜を形成した。 To form the silica membrane, a porous support was prepared by coating the surface of a cylindrical body made of α-alumina with an inner diameter of 7 mm, an outer diameter of 10 mm, and a length of 70 mm. The average pore diameter on the outer peripheral surface side of the porous support was 4 nm. A silica membrane was formed on the outer peripheral surface side of the porous substrate by counter diffusion CVD at film formation temperatures of 550°C, 600°C, and 650°C.
図10および表1より、シリカ膜を形成する温度として、650℃を採用することが望ましいと知ることができる。 From Figure 10 and Table 1, it can be seen that it is desirable to use 650°C as the temperature for forming the silica film.
シリカ膜は、水素分離膜として有効であり、例えば、製鉄所などのプラントに併設されるBFGからの水素ガス分離設備として工業上有益である。本発明によれば、良質なシリカ膜形成条件を効率的に探索することができる。 Silica membranes are effective as hydrogen separation membranes and are industrially useful, for example, as hydrogen gas separation equipment from BFG installed in plants such as steelworks. According to the present invention, it is possible to efficiently search for conditions for forming high-quality silica membranes.
100:シリカ膜形成条件探索装置
10:第1ガス供給部
11:原料容器
12:第1ヒータ
13:第1温度制御部
14:不活性ガス供給部
20:第2ガス供給部
30:反応器
31:チャンバ
32:第2ヒータ
33:第2温度制御部
34:導入路
35:導出路
36:分岐路
40:混合部
50:分析装置
51:測定部
52:演算部
53:出力部
54:記憶部
60:第1マスフローコントローラ
70:第2マスフローコントローラ
80:第3マスフローコントローラ
100: Silica film formation condition searching device 10: First gas supply unit 11: Raw material container 12: First heater 13: First temperature control unit 14: Inert gas supply unit 20: Second gas supply unit 30: Reactor 31: Chamber 32: Second heater 33: Second temperature control unit 34: Inlet path 35: Outlet path 36: Branch path 40: Mixing unit 50: Analysis device 51: Measurement unit 52: Calculation unit 53: Output unit 54: Memory unit 60: First mass flow controller 70: Second mass flow controller 80: Third mass flow controller
Claims (11)
前記第1ガスを流通させながら昇温される反応器と、
前記反応器に導入される前記第1ガスの量を制御する第1制御部と、
前記反応器で前記シリカ源の分解により生成する生成物の組成と、温度と、の関係を示す第1プロファイルを生成する分析装置と、を具備し、
前記分析装置が、少なくとも前記生成物のマススペクトルを前記第1プロファイルとして生成する、シリカ膜形成条件探索装置。 a first gas supply unit that generates a first gas containing a silica source;
a reactor in which the temperature is increased while the first gas is being passed through;
A first control unit that controls an amount of the first gas introduced into the reactor;
an analysis device that generates a first profile showing the relationship between a composition of a product produced by decomposition of the silica source in the reactor and a temperature,
The apparatus for searching for conditions for forming a silica film, wherein the analysis device generates at least a mass spectrum of the product as the first profile .
前記反応器に導入される前記第2ガスの量を制御する第2制御部と、を具備する、請求項1に記載のシリカ膜形成条件探索装置。 a second gas supply unit that supplies a second gas that is introduced into the reactor together with the silica source and reacts with the silica source;
2. The apparatus for searching for conditions for forming a silica film according to claim 1, further comprising: a second control unit that controls an amount of the second gas introduced into the reactor.
前記混合ガスが、前記反応器に導入される、請求項2に記載のシリカ膜形成条件探索装置。 Further, a mixing unit is provided for mixing the first gas and the second gas before being introduced into the reactor to generate a mixed gas,
The apparatus for searching conditions for forming a silica film according to claim 2 , wherein the mixed gas is introduced into the reactor.
前記第1制御部により、前記反応器に導入される前記第1ガスの量を変化させて得られる複数の前記第1プロファイルを有する第1プロファイル群を生成する工程、を具備する、シリカ膜形成条件探索方法。 A method for searching for conditions for forming a silica film using the apparatus for searching conditions for forming a silica film according to claim 1,
A method for searching for conditions for forming a silica film, comprising a step of generating, by the first control unit, a first profile group having a plurality of the first profiles obtained by changing the amount of the first gas introduced into the reactor.
前記第1制御部および前記第2制御部により、前記反応器に導入される前記第1ガスおよび前記第2ガスの量を変化させて複数の前記第1プロファイルを有する第2プロファイル群を生成する工程、を具備する、シリカ膜形成条件探索方法。 A method for searching for conditions for forming a silica film using the apparatus for searching conditions for forming a silica film according to claim 2, comprising the steps of:
A method for searching for conditions for forming a silica film, comprising a step of generating a second profile group having a plurality of the first profiles by changing the amounts of the first gas and the second gas introduced into the reactor by the first control unit and the second control unit.
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| JP2002146544A (en) | 1995-01-31 | 2002-05-22 | Horiba Ltd | Cvd device |
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Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002146544A (en) | 1995-01-31 | 2002-05-22 | Horiba Ltd | Cvd device |
| JP2009202096A (en) | 2008-02-27 | 2009-09-10 | Noritake Co Ltd | Manufacturing method of hydrogen gas separation material |
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