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JP7612332B2 - 透明接着シートおよび剥離材付き透明接着シート - Google Patents
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JP7612332B2 - 透明接着シートおよび剥離材付き透明接着シート - Google Patents

透明接着シートおよび剥離材付き透明接着シート Download PDF

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Description

本発明は、透明接着シート、および、両面に剥離材を伴う透明接着シートに関する。
透明性を有する接着剤は、液晶表示装置など各種デバイスにおいて、部品間の接合手段として利用されている。そのような透明接着剤については、例えば下記の特許文献1~3に記載されている。
特開2015-140408号公報 特表2016-505690号公報 特開2017-66294号公報
光学式センサを搭載するデバイスでは、光学式センサは、その検知面がガラスなど透明なカバー部材に対向または当接する態様で組み込まれることが多い。そのような光学式センサ搭載デバイスにおいて、透明カバー部材と光学式センサの間の接合手段として透明な液状接着剤を使用する場合、透明カバー部材に対して光学式センサを姿勢精度よく接合できないことがある。液状の接着剤は、透明カバー部材上または光学式センサ上に塗布ないし供給された状態においてその厚さが非均一になることがあるからであり、また、接合過程において接合対象物であるカバー部材と光学式センサとの間からのはみ出しを生ずることもあるからである。光学式センサの接合ないし取り付けにおける姿勢精度が低いことは、当該光学式センサが組み込まれるデバイスの製造において、歩留まり低下の原因となり得る。
一方、従来のシート状接着剤では、透明カバー部材と光学式センサの間の接合手段として、接合信頼性を確保しつつデバイス内の光学式センサの実効的な検知感度を確保可能なほどの透明性を実現できない場合がある。
本発明は、以上のような事情のもとで考え出されたものであって、その目的は、光学式センサの検知面と透明カバー部材との間の接合材料として、光学式センサ搭載デバイスを歩留まりよく製造するのに適するとともにセンサ検知感度を確保するのに適する、透明接着シート、および剥離材付き透明接着シートを、提供することにある。
本発明の第1の側面によると、透明接着シートが提供される。この透明接着シートは、熱硬化性を有する接着材料であり、且つ、150℃で1時間の加熱により熱硬化した状態において波長域450~1200nmでの透過率(光透過率)が85%以上である。
本透明接着シートによると、厚さについて均一性高く作製されうるとともに流動化しにくいシートの形態で、接合対象物間に接着材料を供給することが可能である(流動化しにくい接着材料は、接合対象物間の接合過程において当該接合対象物間からのはみ出しを生じにくい)。したがって、本透明接着シートによると、液状接着剤による場合よりも、接合対象物である光学式センサと透明カバー部材との間を厚さの均一性の高い接着剤層でもって接合することが可能である。光学式センサと透明カバー部材との間を厚さの均一性の高い接着剤層によって接合可能であることは、透明カバー部材に対して光学式センサを姿勢精度よく接合するうえで好適であり、ひいては、当該光学式センサが組み込まれるデバイスを歩留まりよく製造するうえで好適である。
加えて、本透明接着シートは、上述のように、150℃で1時間の加熱により熱硬化した状態において波長域450~1200nmでの透過率が85%以上である。同透過率は、好ましくは87%以上、より好ましくは90%以上である。本透明接着シートが熱硬化後に可視光の波長域から近赤外線の波長域にわたってこのような光透過率を示すという構成は、光学式センサの検知面と透明カバー部材との間の接合材料として、デバイス内の光学式センサの実効的な検知感度を確保するのに適する。
以上のように、本透明接着シートは、光学式センサの検知面と透明カバー部材との間の接合材料として、光学式センサ搭載デバイスを歩留まりよく製造するのに適するとともに、センサ検知感度を確保するのに適する。
本透明接着シートは、150℃で1時間の加熱による熱硬化状態において、30℃、相対湿度70%および200時間の条件(第1の条件)での吸湿試験を経る前の波長450nmでの透過率に対する、当該吸湿試験を経た後の波長450nmでの透過率の比率(第1の比率)が、好ましくは0.9以上、より好ましくは0.92以上、より好ましくは0.94以上である。上記第1の条件での吸湿試験を経ることによる透明接着シートにおける透過率の低下がこの程度に小さいという構成は、上述のセンサ検知感度を確保するうえで好適である。また、第1の比率は例えば1以下である。
本透明接着シートは、150℃で1時間の加熱による熱硬化状態において、260℃および5分間の条件(第2の条件)での加熱試験を経る前の波長450nmでの透過率に対する、当該加熱試験を経た後の波長450nmでの透過率の比率(第2の比率)が、好ましくは0.9以上、より好ましくは0.92以上、より好ましくは0.94以上である。上記第2の条件での加熱試験を経ることによる透明接着シートにおける透過率の低下がこの程度に小さいという構成は、上述のセンサ検知感度を確保するうえで好適である。また、第2の比率は例えば1以下である。
本透明接着シートないしそれをなす接着剤組成物の120℃での粘度は、好ましくは1~30kPa・s、より好ましくは3~30kPa・s、より好ましくは4~27kPa・s、より好ましくは5~25kPa・sである。このような構成は、本透明接着シートにおいて、接合対象物に対する良好な濡れ性を確保するうえで好適である。
本透明接着シートは、150℃で1時間の加熱による熱硬化状態における250℃での貯蔵弾性率が、好ましくは0.5~50MPa、より好ましくは0.6~45MPa、より好ましくは0.7~40MPaである。このような構成は、接合対象物間の透明接着シートについてその硬化後の接合力を確保するうえで好適であり、従って、本透明接着シートによって接合される対象物間の接合信頼性を確保するうえで好適である。
本透明接着シートは、150℃で1時間の加熱による熱硬化状態において、窒素雰囲気下、昇温速度10℃/分、および昇温範囲23~300℃の条件での熱重量測定における300℃での重量減少率が、好ましくは1.5%以下、より好ましくは1.2%以下である。このような構成は、本透明接着シートにおいて耐熱性を確保するうえで好適であり、従って、本透明接着シートによって接合される対象物に関する接合信頼性を確保するうえで好適である。
本透明接着シートは、23℃、剥離角度180°および剥離速度30mm/分の条件での剥離試験においてガラス平面に対して、好ましくは1N/10mm以上の、より好ましくは1.5N/10mm以上の、剥離粘着力を示す。このような構成は、本透明接着シートにとっての、接合対象物に対する接着力を、確保するうえで好適である。
本透明接着シートは、150℃で1時間の加熱を経てガラス平面に対して接着された状態(対ガラス接着状態)における対ガラスせん断接着力に対する、前記対ガラス接着状態において40℃、相対湿度95%および120時間の条件(第3の条件)での吸湿試験を経た後の対ガラスせん断接着力の比率(第3の比率)が、好ましくは0.6以上、より好ましくは0.7以上、より好ましくは0.75以上である。上記第3の条件での吸湿試験を経ることによる透明接着シートにおける対ガラスせん断接着力の低下がこの程度に小さいという構成は、本透明接着シートによって接合される対象物に関する接合信頼性を確保するうえで好適である。また、第3の比率は例えば1.5以下である。
本透明接着シートは、150℃で1時間の加熱による熱硬化状態における波長633nmでの屈折率が、好ましくは1.4~1.5、より好ましくは1.42~1.48である。このような構成は、上述のセンサ検知感度を確保するうえで好適である。
本透明接着シートは、好ましくはアクリル樹脂を含有する。このアクリル樹脂は、好ましくはニトリル基を有し、好ましくはエポキシ基を有する。本透明接着シートに含まれる有機成分における当該アクリル樹脂の割合は、好ましくは95質量%以上、より好ましくは97質量%以上である。また、本透明接着シートは、好ましくは、エポキシ樹脂および/またはフェノール樹脂を含有しないか或いは実質的に含有しない。これら構成は、本透明接着シートにおいて高度の透明性を実現するのに適する。
本透明接着シートがニトリル基含有アクリル樹脂などアクリル樹脂を含む場合、当該アクリル樹脂の平均分子量は、好ましくは40万以下、より好ましくは35万以下である。このような構成は、本透明接着シートの粘度に関する上述の好ましい構成を実現するのに適する。
本透明接着シートは、好ましくは、平均粒子径5~100nmのフィラーを含有する。本透明接着シートにおける当該フィラーの含有割合は、好ましくは5~45質量%、より好ましくは6~40質量%、より好ましくは7~35質量%である。これら構成は、本透明接着シートにおいて耐熱性を確保するうえで好適であり、従って、本透明接着シートによって接合される対象物に関する接合信頼性を確保するうえで好適である。また、当該構成は、本透明接着シートの透明性の確保にも資する。
本透明接着シートは、好ましくは、リン系酸化防止剤を含有する。本透明接着シートにおけるリン系酸化防止剤の含有割合は、好ましくは0.1~2質量%、より好ましくは0.3~1.5質量%である。これら構成は、本透明接着シートにおいて、その含有成分の酸化を防止・抑制するうえで好適であり、従って当該酸化による透明性の低下を防止・抑制するうえで好適である。
本透明接着シートは、好ましくは、イミダゾール系硬化剤を含有する。本透明接着シートにおけるイミダゾール系硬化剤の含有割合は、好ましくは0.1~2質量%、より好ましくは0.2~1.5質量%である。このような構成は、本透明接着シートの硬化性と保存安定性とを両立するうえで好適である。
本発明の第2の側面によると、剥離材付き透明接着シートが提供される。この剥離材付き透明接着シートは、第1剥離材と、第2剥離材と、これら剥離材間の上述の第1の側面に係る透明接着シートとを含む積層構造を有する。本発明の第1の側面に係る透明接着シートは、このように剥離材を伴ってもよい。
本剥離材付き透明接着シートにおいて、好ましくは、第1剥離材は38μm以上の厚さを有し、且つ、第2剥離材は25μm以上の厚さを有する。第2剥離材の厚さに対する、第1剥離材の厚さの比率は、好ましくは0.2~1.8、より好ましくは0.22~1.6、さらに好ましくは0.3~1.55である。このような構成は、本剥離材付き透明接着シートを取り扱う際の作業性の観点から好ましい。具体的には、同構成は、本剥離材付き透明接着シートにおいて、第1剥離材を透明接着シート(第1剥離材とは反対の側に第2剥離材を伴う)から剥がすときに当該透明接着シートにシワや折れが発生するのを防止・抑制するうえで好適である。
本剥離材付き透明接着シートにおいて、第1剥離材は、透明接着シートに対し、100℃、剥離角度180°および剥離速度300mm/分の条件での剥離試験において好ましくは0.01N/100mm以上の、より好ましくは0.015N/100mm以上の、第1剥離粘着力を示し、且つ、第2剥離材は、透明接着シートに対し、100℃、剥離角度180°および剥離速度300mm/分の条件での剥離試験において好ましくは0.04N/100mm以上の第2剥離粘着力を示す。また、第2剥離粘着力に対する第1剥離粘着力の比率は、好ましくは0.01~0.75であり、より好ましくは0.02~0.7である。これら構成は、本剥離材付き透明接着シートの取扱い時における透明接着シートに対する各剥離材(透明接着シートからは、異なる段階で別々に剥離されることが多い)の充分な密着性と、透明接着シートからの両剥離材の適度な剥離性とのバランスの観点から好ましい。
本剥離材付き透明接着シートにおいて、好ましくは、第2剥離材は、基材と粘着剤層とを含む積層構造を有するダイシングテープであり、且つ、透明接着シートは、ダイシングテープにおける粘着剤層に剥離可能に密着している。このように、本発明の第1の側面に係る透明接着シートは、ダイシングテープ付き透明接着シートとして構成されてもよい。
上記のダイシングテープの粘着剤層は、好ましくは、2-エチルヘキシル基を有するアクリル樹脂を含有する。この粘着剤層の厚さは、好ましくは5~40μm、より好ましくは10~30μmである。このような構成は、ダイシングテープ粘着剤層と透明接着シートとの間において高い密着力を実現するのに適する。
本発明の第3の側面によると、接合方法が提供される。この接合方法では、本発明の第1の側面に係る上記の透明接着シートを使用して、ガラス部材と他の部材との間を接合する。このように、本発明の第1の側面に係る透明接着シート、および、本発明の第2の側面に係る剥離材付き透明接着シートの透明接着シートは、ガラス部材と他の部材との間の接合に使用してもよい。
本発明の第4の側面によると、別の接合方法が提供される。この接合方法では、本発明の第1の側面に係る上記の透明接着シートを使用して、波長500nmでの透過率が80%以上の透明樹脂部材と他の部材との間を接合する。このように、本発明の第1の側面に係る透明接着シート、および、本発明の第2の側面に係る剥離材付き透明接着シートの透明接着シートは、前記の透明樹脂部材と他の部材との間の接合に使用してもよい。
本発明の第5の側面によると、別の接合方法が提供される。この接合方法は、本発明の第1の側面に係る上記の透明接着シートを部材に貼り合わせる工程と、当該部材を透明接着シートと共に個片化して透明接着シート付き部材小片を得る工程と、透明接着シート付き部材小片をその透明接着シートを介して他の部材に接合する工程とを含む。このような接合方法によると、透明接着シートを伴う部材小片(接合対象物の一方)を効率よく得ることができる。したがって、本接合方法は、接合対象物間の接合の作業・過程の効率化を図るのに適する。
本発明の一の実施形態に係る剥離材付き透明接着シートの断面模式図である。 本発明の一の実施形態に係る透明接着シートによる部材間の接合を断面図で表すものである。 本発明の一の実施形態に係る剥離材付き透明接着シートの断面模式図である。 図3に示す剥離材付き透明接着シートが使用される接合方法における一部の工程を表す。 図3に示す剥離材付き透明接着シートが使用される接合方法における一部の工程を表す。 図3に示す剥離材付き透明接着シートが使用される接合方法における一部の工程を表す。 図3に示す剥離材付き透明接着シートが使用される接合方法における一部の工程を表す。
図1は、本発明の一の実施形態に係る剥離材付き透明接着シートX1の断面模式図である。剥離材付き透明接着シートX1は、本発明の一の実施形態に係る透明接着シート10と、剥離材である剥離ライナーR1,R2と、を含む積層構造を有する。
透明接着シート10は、熱硬化性を有する透明なシート状接着剤であり、例えば、光学式センサ搭載デバイスの製造過程において、光学式センサの検知面と透明カバー部材との間を接合するための接着剤として使用することのできるものである。透明接着シート10は、樹脂成分として熱硬化性樹脂と熱可塑性樹脂とを含む組成(第1組成)を有してもよいし、硬化剤と反応して結合を生じ得る熱硬化性官能基を伴う熱可塑性樹脂を樹脂成分として含む組成(第2組成)を有してもよい。透明接着シート10が第2組成を有する場合、当該透明接着シート10は熱硬化性樹脂を更に含む必要はない。
透明接着シート10が第1組成を有する場合の熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、アミノ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、シリコーン樹脂、および熱硬化性ポリイミド樹脂が挙げられる。透明接着シート10は、一種類の熱硬化性樹脂を含んでもよいし、二種類以上の熱硬化性樹脂を含んでもよい。
上記のエポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、臭素化ビスフェノールA型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、フルオレン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、トリスヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂、およびテトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂などの二官能エポキシ樹脂や多官能エポキシ樹脂が挙げられる。エポキシ樹脂としては、ヒダントイン型エポキシ樹脂、トリスグリシジルイソシアヌレート型エポキシ樹脂、およびグリシジルアミン型エポキシ樹脂も挙げられる。透明接着シート10は、一種類のエポキシ樹脂を含有してもよいし、二種類以上のエポキシ樹脂を含有してもよい。
透明接着シート10が第1組成を有する場合の透明接着シート10中の熱硬化性樹脂の含有割合は、透明接着シート10において熱硬化型接着剤としての機能を適切に発現させるという観点からは、好ましくは1~80質量%であり、より好ましくは1~50質量%である。
透明接着シート10中の熱硬化性樹脂としてエポキシ樹脂が用いられる場合、そのエポキシ樹脂に熱硬化性を発現させるための硬化剤としては、フェノール樹脂およびイミダゾール系硬化剤が好ましい。
エポキシ樹脂の硬化剤として作用しうるフェノール樹脂としては、例えば、ノボラック型フェノール樹脂、レゾール型フェノール樹脂、および、ポリパラオキシスチレン等のポリオキシスチレンが挙げられる。ノボラック型フェノール樹脂としては、例えば、フェノールノボラック樹脂、フェノールアラルキル樹脂、クレゾールノボラック樹脂、tert-ブチルフェノールノボラック樹脂、およびノニルフェノールノボラック樹脂が挙げられる。透明接着シート10は、一種類のフェノール樹脂を含有してもよいし、二種類以上のフェノール樹脂を含有してもよい。
上記のイミダゾール系硬化剤としては、例えば、2-メチルイミダゾール、2-ウンデシルイミダゾール、2-ヘプタデシルイミダゾール、1,2-ジメチルイミダゾール、2-メチル-4-エチルイミダゾール、2-フェニルイミダゾール、2-フェニル-4-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-フェニルイミダゾール、2,4-ジアミノ-6-[2'-メチルイミダゾリル-(1')]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2'-ウンデシルイミダゾリル-(1')]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2'-エチル-4'-メチルイミダゾリル-(1')]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2'-メチルイミダゾリル-(1')]-エチル-s-トリアジンイソシアヌル酸付加物、2-フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2-フェニル-4,5-ジヒドロキシメチルイミダゾール、および2-フェニル-4-メチル-5-ヒドロキシメチルイミダゾールが挙げられる。透明接着シート10がイミダゾール系硬化剤を含有する場合、透明接着シートにおけるイミダゾール系硬化剤の含有割合は、好ましくは0.1~2質量%、より好ましくは0.2~1.5質量%である。
透明接着シート10中の熱可塑性樹脂は例えばバインダー機能を担うものであり、透明接着シート10が第1組成を有する場合の透明接着シート10中の熱可塑性樹脂としては、例えば、アクリル樹脂、天然ゴム、ブチルゴム、イソプレンゴム、クロロプレンゴム、エチレン-酢酸ビニル共重合体、エチレン-アクリル酸共重合体、エチレン-アクリル酸エステル共重合体、ポリブタジエン樹脂、ポリカーボネート樹脂、熱可塑性ポリイミド樹脂、6-ナイロンや6,6-ナイロンなどポリアミド樹脂、フェノキシ樹脂、ポリエチレンテレフタレートやポリブチレンテレフタレートなど飽和ポリエステル樹脂、ポリアミドイミド樹脂、およびフッ素樹脂が挙げられる。透明接着シート10は、一種類の熱可塑性樹脂を含んでもよいし、二種類以上の熱可塑性樹脂を含んでもよい。アクリル樹脂は、イオン性不純物が少なく且つ耐熱性が高いことから、透明接着シート10中の熱可塑性樹脂として好ましい。
透明接着シート10が熱可塑性樹脂としてアクリル樹脂を含む場合、当該アクリル樹脂をなすためのアクリル系ポリマーは、好ましくは、(メタ)アクリル酸エステルに由来するモノマーユニットを質量割合で最も多く含む。「(メタ)アクリル」は、「アクリル」および/または「メタクリル」を意味するものとする。
上記のアクリル系ポリマーのモノマーユニットをなすための(メタ)アクリル酸エステル、即ち、アクリル系ポリマーの構成モノマーである(メタ)アクリル酸エステルとしては、例えば、(メタ)アクリル酸アルキルエステル、(メタ)アクリル酸シクロアルキルエステル、および(メタ)アクリル酸アリールエステルが挙げられる。(メタ)アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、(メタ)アクリル酸のメチルエステル、エチルエステル、プロピルエステル、イソプロピルエステル、ブチルエステル、イソブチルエステル、s-ブチルエステル、t-ブチルエステル、ペンチルエステル、イソペンチルエステル、ヘキシルエステル、ヘプチルエステル、オクチルエステル、2-エチルヘキシルエステル、イソオクチルエステル、ノニルエステル、デシルエステル、イソデシルエステル、ウンデシルエステル、ドデシルエステル、トリデシルエステル、テトラデシルエステル、ヘキサデシルエステル、オクタデシルエステル、およびエイコシルエステルが挙げられる。(メタ)アクリル酸シクロアルキルエステルとしては、例えば、(メタ)アクリル酸のシクロペンチルエステルおよびシクロヘキシルエステルが挙げられる。(メタ)アクリル酸アリールエステルとしては、例えば、(メタ)アクリル酸フェニルおよび(メタ)アクリル酸ベンジルが挙げられる。アクリル系ポリマーの構成モノマーとして、一種類の(メタ)アクリル酸エステルが用いられてもよいし、二種類以上の(メタ)アクリル酸エステルが用いられてもよい。また、アクリル樹脂なすためのアクリル系ポリマーは、それを形成するための原料モノマーを重合して得ることができる。重合手法としては、例えば、溶液重合、乳化重合、塊状重合、および懸濁重合が挙げられる。
上記アクリル系ポリマーは、例えばその凝集力や耐熱性の改質のために、(メタ)アクリル酸エステルと共重合可能な一種類の又は二種類以上の他のモノマーを構成モノマーとして含んでもよい。そのようなモノマーとしては、例えば、カルボキシ基含有モノマー、酸無水物モノマー、ヒドロキシ基含有モノマー、スルホン酸基含有モノマー、リン酸基含有モノマー、アクリルアミド、およびアクリロニトリルが挙げられる。カルボキシ基含有モノマーとしては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、(メタ)アクリル酸カルボキシエチル、(メタ)アクリル酸カルボキシペンチル、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、およびクロトン酸が挙げられる。酸無水物モノマーとしては、例えば、無水マレイン酸および無水イタコン酸が挙げられる。ヒドロキシ基含有モノマーとしては、例えば、(メタ)アクリル酸2-ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸2-ヒドロキシプロピル、(メタ)アクリル酸4-ヒドロキシブチル、(メタ)アクリル酸6-ヒドロキシヘキシル、(メタ)アクリル酸8-ヒドロキシオクチル、(メタ)アクリル酸10-ヒドロキシデシル、(メタ)アクリル酸12-ヒドロキシラウリル、および(メタ)アクリル酸(4-ヒドロキシメチルシクロヘキシル)メチルが挙げられる。スルホン酸基含有モノマーとしては、例えば、スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、2-(メタ)アクリルアミド-2-メチルプロパンスルホン酸、(メタ)アクリルアミドプロパンスルホン酸、および(メタ)アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸が挙げられる。リン酸基含有モノマーとしては、例えば、2-ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェートが挙げられる。透明接着シート10において高い凝集力を実現するという観点からは、透明接着シート10にアクリル樹脂が含まれる場合の当該アクリル樹脂をなすためのアクリル系ポリマーは、ニトリル基含有アクリル系ポリマーである。当該ニトリル基含有アクリル系ポリマーは、例えば、アクリロニトリルを構成モノマーとして含むアクリル系ポリマーであり、そのようなアクリル系ポリマーとしては、例えばアクリル酸エチルとアクリル酸ブチルとアクリロニトリルとの共重合体が挙げられる。
透明接着シート10が第1組成を有する場合の透明接着シート10中の熱可塑性樹脂の含有割合は、熱可塑性接着剤のバインダー機能を適切に発揮させるという観点からは、好ましくは30~95質量%であり、より好ましくは35~90質量%である。
透明接着シート10が上記第2組成を有する場合、透明接着シート10中の熱硬化性官能基を伴う熱可塑性樹脂としては、例えば、熱硬化性官能基を伴うアクリル樹脂を用いることができる。この熱硬化性官能基を伴うアクリル樹脂のアクリル骨格をなすためのアクリル系ポリマーは、好ましくは、(メタ)アクリル酸エステルに由来するモノマーユニットを質量割合で最も多く含む。そのような(メタ)アクリル酸エステルとしては、例えば、透明接着シート10が第1組成を有する場合について上述したアクリル系ポリマーの構成モノマーとして上記した(メタ)アクリル酸エステルを用いることができる。熱硬化性官能基含有アクリル樹脂のアクリル骨格をなすためのアクリル系ポリマーは、例えば当該アクリル樹脂の凝集力や耐熱性の改質のために、(メタ)アクリル酸エステルと共重合可能な一種類の又は二種類以上の他のモノマーを構成モノマーとして含んでもよい。そのような他の構成モノマーとしては、例えば、カルボキシ基含有モノマー、酸無水物モノマー、ヒドロキシ基含有モノマー、スルホン酸基含有モノマー、リン酸基含有モノマー、アクリルアミド、およびアクリロニトリルが挙げられ、具体的には、透明接着シート10が第1組成を有する場合について上述したアクリル系ポリマーの構成モノマーとして上記した共重合性の他の構成モノマーを用いることができる。透明接着シート10において高い凝集力を実現するという観点からは、透明接着シート10中の熱硬化性官能基を伴うアクリル樹脂のアクリル骨格をなすためのアクリル系ポリマーは、ニトリル基含有アクリル系ポリマーである。当該ニトリル基含有アクリル系ポリマーは、例えば、アクリロニトリルを構成モノマーとして含むアクリル系ポリマーであり、そのようなアクリル系ポリマーとしては、例えばアクリル酸エチルとアクリル酸ブチルとアクリロニトリルとの共重合体が挙げられる。
熱硬化性官能基を伴う熱可塑性樹脂をなすための熱硬化性官能基としては、例えば、エポキシ基、カルボキシ基、ヒドロキシ基、およびイソシアネート基が挙げられ、エポキシ基が好ましい。熱硬化性官能基を伴う熱可塑性樹脂は、好ましくは、エポキシ基を伴う熱可塑性樹脂である。透明接着シート10がエポキシ基含有熱可塑性樹脂を含有する場合、当該透明接着シート10は、硬化剤として、好ましくはイミダゾール系硬化剤を含有する。イミダゾール系硬化剤の具体例は上記のとおりである。また、透明接着シート10がイミダゾール系硬化剤を含有する場合、透明接着シートにおけるイミダゾール系硬化剤の含有割合は、好ましくは0.1~2質量%、より好ましくは0.2~1.5質量%である。
透明接着シート10が第2組成を有する場合において、透明接着シート10におけるニトリル基含有アクリル樹脂など熱硬化性官能基含有アクリル樹脂の含有割合は、好ましくは50質量%以上であり、より好ましくは60質量%以上、より好ましくは80質量%以上、より好ましくは95質量%以上、より好ましくは97質量%以上である。また、透明接着シート10が第2組成を有する場合、透明接着シート10は、熱硬化性樹脂を更に含む必要はなく、好ましくは、エポキシ樹脂および/またはフェノール樹脂を含有しないか或いは実質的に含有しない。
透明接着シート10が第1組成を有する場合に透明接着シート10に含まれるアクリル樹脂など熱可塑性樹脂の平均分子量、および、透明接着シート10が第2組成を有する場合に透明接着シート10に含まれる熱硬化性官能基を伴う熱可塑性樹脂の平均分子量は、好ましくは45万以下、より好ましくは40万以下である。このような構成は、本透明接着シートの粘度に関する上述の好ましい構成を実現するのに適する。
透明接着シート10は、フィラーを含有してもよい。透明接着シート10へのフィラーの配合は、透明接着シート10の弾性率や、粘度、破断強度、破断伸度などの物性を調整するうえで好ましい。フィラーとしては、無機フィラーおよび有機フィラーが挙げられる。無機フィラーの構成材料としては、例えば、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、ケイ酸カルシウム、ケイ酸マグネシウム、酸化カルシウム、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、ホウ酸アルミニウムウィスカ、窒化ホウ素、結晶質シリカ、および非晶質シリカが挙げられる。無機フィラーの構成材料としては、アルミニウム、金、銀、銅、ニッケル等の単体金属や、合金、アモルファスカーボン、グラファイトなども挙げられる。有機フィラーの構成材料としては、例えば、ポリメタクリル酸メチル(PMMA)、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、およびポリエステルイミドが挙げられる。透明接着シート10は、一種類のフィラーを含有してもよいし、二種類以上のフィラーを含有してもよい。また、フィラーは、球状、針状、フレーク状など各種形状を有していてもよい。
透明接着シート10がフィラーを含有する場合の当該フィラーの平均粒径は、好ましくは5~100nm、より好ましくは5~60nmである。フィラーの平均粒径は、例えば、光度式の粒度分布計(商品名「LA-910」,株式会社堀場製作所製)を使用して求めることができる。また、透明接着シート10がフィラーを含有する場合の当該フィラーの含有量は、好ましくは5~45質量%、より好ましくは6~40質量%、より好ましくは7~35質量%である。これら構成は、透明接着シート10において耐熱性を確保するうえで好適であり、従って、透明接着シート10によって接合される対象物間の接合信頼性を確保するうえで好適である。また、これら構成は、透明接着シート10の透明性の確保にも資する。
透明接着シート10は、酸化防止剤を含有してもよい。酸化防止剤としては、例えば、リン系酸化防止剤、フェノール系酸化防止剤、およびチオエーテル系酸化防止剤が挙げられる。透明接着シート10は、好ましくは、リン系酸化防止剤を含有する。リン系酸化防止剤としては、例えば、3,9-ビス(オクタデシルオキシ)-2,4,8,10-テトラオキサ-3,9-ジホスファスピロ[5.5]ウンデカン、3,9-ビス(2,6-ジ-tert-ブチル-4-メチルフェノキシ)-2,4,8,10-テトラオキサ-3,9-ジホスファスピロ[5.5]ウンデカン、および2,2'-メチレンビス(4,6-ジ-tert-ブチルフェニル)2-エチルヘキシルホスファイトが挙げられる。透明接着シート10がリン系酸化防止剤など酸化防止剤を含有する場合、透明接着シート10における酸化防止剤の含有割合は、好ましくは0.1~2質量%、より好ましくは0.3~1.5質量%である。
透明接着シート10は、必要に応じて、一種類の又は二種類以上の他の成分を含有してもよい。当該他の成分としては、例えば、難燃剤、シランカップリング剤、およびイオントラップ剤が挙げられる。
透明接着シート10の厚さは、好ましくは5μm以上、より好ましくは10μm以上、より好ましくは20μm以上である。また、透明接着シート10の厚さは、好ましくは150μm以下、より好ましくは140μm以下、より好ましくは130μm以下で、より好ましくは120μm以下ある。
透明接着シート10は、150℃で1時間の加熱により熱硬化した状態において波長域450~1200nmでの透過率が、85%以上であり、好ましくは87%以上、より好ましくは90%以上である。
透明接着シート10は、150℃で1時間の加熱による熱硬化状態において、30℃、相対湿度70%および200時間の条件(第1の条件)での吸湿試験を経る前の波長450nmでの透過率に対する、当該吸湿試験を経た後の波長450nmでの透過率の比率(第1の比率)が、好ましくは0.9以上、より好ましくは0.92以上、より好ましくは0.94以上である。また、第1の比率は例えば1以下である。
透明接着シート10は、150℃で1時間の加熱による熱硬化状態において、260℃および5分間の条件(第2の条件)での加熱試験を経る前の波長450nmでの透過率に対する、当該加熱試験を経た後の波長450nmでの透過率の比率(第2の比率)が、好ましくは0.9以上、より好ましくは0.92以上、より好ましくは0.94以上である。また、第2の比率は例えば1以下である。
透明接着シート10ないしそれをなす接着剤組成物の120℃での粘度は、好ましくは1~30kPa・s、より好ましくは3~30kPa・s、より好ましくは4~27kPa・s、より好ましくは5~25kPa・sである。
透明接着シート10は、150℃で1時間の加熱による熱硬化状態における250℃での貯蔵弾性率が、好ましくは0.5~50MPa、より好ましくは0.6~45MPa、より好ましくは0.7~40MPaである。
透明接着シート10は、150℃で1時間の加熱による熱硬化状態において、窒素雰囲気下、昇温速度10℃/分、および昇温範囲23~300℃の条件での熱重量測定における300℃での重量減少率が、好ましくは1.5%以下、より好ましくは1.2%以下である。
透明接着シート10は、23℃、剥離角度180°および剥離速度30mm/分の条件での剥離試験においてガラス平面に対して1N/10mm以上の、好ましくは1.5N/10mm以上の、剥離粘着力を示す。
透明接着シート10は、150℃で1時間の加熱を経てガラス平面に対して接着された状態(対ガラス接着状態)における対ガラスせん断接着力に対する、前記対ガラス接着状態において40℃、相対湿度95%および120時間の条件(第3の条件)での吸湿試験を経た後の対ガラスせん断接着力の比率(第3の比率)が、好ましくは0.6以上、より好ましくは0.7以上、より好ましくは0.75以上である。また、第3の比率は例えば1.5以下であり、1以下であってもよい。
透明接着シート10は、150℃で1時間の加熱による熱硬化状態における波長633nmでの屈折率が、好ましくは1.4~1.5、より好ましくは1.42~1.48である。
剥離材付き透明接着シートX1における剥離ライナーR1,R2は、透明接着シート10の表面を被覆して保護するための要素であり、透明接着シート10の使用にあたって当該シートから剥がされる。剥離ライナーR1,R2としては、透明接着シート10の密着することとなる表面に例えばコロナ処理とその後の剥離処理とが施された樹脂フィルムや紙材を用いることができる。
剥離ライナー用の樹脂フィルムをなすための樹脂材料としては、例えば、ポリオレフィンおよびポリエステルが挙げられる。ポリオレフィンとしては、例えば、低密度ポリエチレン、直鎖状低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、超低密度ポリエチレン、ランダム共重合ポリプロピレン、ブロック共重合ポリプロピレン、ホモポリプロピレン、ポリブテン、ポリメチルペンテン、エチレン-酢酸ビニル共重合体(EVA)、アイオノマー樹脂、エチレン-(メタ)アクリル酸共重合体、エチレン-(メタ)アクリル酸エステル共重合体、エチレン-ブテン共重合体、およびエチレン-ヘキセン共重合体が挙げられる。ポリエステルとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート、およびポリブチレンテレフタレート(PBT)が挙げられる。剥離ライナー用の樹脂フィルムは、無延伸フィルムであってもよいし、一軸延伸フィルムであってもよいし、二軸延伸フィルムであってもよい。剥離ライナーR1,R2は、それぞれ、一種類の材料からなってもよいし、二種類以上の材料からなってもよい。剥離ライナーR1,R2は、単層構造を有してもよいし、多層構造を有してもよい。また、上記の剥離処理のための剥離処理剤としては、例えば、シリコーン系剥離処理剤、長鎖アルキル系剥離処理剤、フッ素系剥離処理剤、および硫化モリブデン剥離処理が挙げられる。
剥離材付き透明接着シートX1において、好ましくは、剥離ライナーR1(第1剥離材)の厚さT1は38μm以上であり、且つ、剥離ライナーR2(第2剥離材)の厚さT2は25μm以上である。そして、剥離ライナーR2の厚さT2に対する、剥離ライナーR1の厚さT1の比率(T1/T2)は、好ましくは0.2~1.8、より好ましくは0.22~1.6、さらに好ましくは0.3~1.55である。このような構成は、剥離材付き透明接着シートX1を取り扱う際の作業性の観点から好ましい。具体的には、同構成は、剥離材付き透明接着シートX1において、剥離ライナーR1を透明接着シート10(剥離ライナーR1とは反対の側に剥離ライナーR2を伴う)から剥がすときに透明接着シート10にシワや折れが発生するのを防止・抑制するうえで好適である。
剥離材付き透明接着シートX1において、剥離ライナーR1(第1剥離材)は、透明接着シート10に対し、100℃、剥離角度180°および剥離速度300mm/分の条件での剥離試験において好ましくは0.01N/100mm以上の、より好ましくは0.015N/100mm以上の、第1剥離粘着力を示し、且つ、剥離ライナーR2(第2剥離材)は、透明接着シート10に対し、100℃、剥離角度180°および剥離速度300mm/分の条件での剥離試験において好ましくは0.04N/100mm以上の第2剥離粘着力を示す。また、第2剥離粘着力に対する第1剥離粘着力の比率は、好ましくは0.01~0.75であり、より好ましくは0.02~0.7である。これら構成は、剥離材付き透明接着シートX1の取扱い時における透明接着シート10に対する剥離ライナーR1,R2(透明接着シート10からは、異なる段階で別々に剥離されることが多い)の充分な密着性と、透明接着シート10からの剥離ライナーR1,R2の適度な剥離性とのバランスの観点から好ましい。前記密着性が不充分であると、取扱い時に透明接着シート10から剥離ライナーR1,R2が不意に剥離してしまうことがある。また、透明接着シート10と剥離ライナーR1,R2との間に適度な剥離性が確保されていない場合、透明接着シート10からの各剥離ライナーの剥離時に、剥離不良や いわゆる泣き別れが生じてしまうことがある。
以上のような構成の剥離材付き透明接着シートX1については、例えば次のようにして作製することができる。まず、透明接着シート10形成用の接着剤組成物を調製した後、当該組成物を長尺の剥離ライナーR1上に塗布して長尺の接着剤組成物層を形成する。接着剤組成物の塗布手法としては、例えば、ロール塗工、スクリーン塗工、およびグラビア塗工が挙げられる。次に、剥離ライナーR1上において当該接着剤組成物層を乾燥させて接着剤層を形成する。次に、当該接着剤層上にこれに沿って長尺の所定のセパレータ(第1セパレータ)を積層する。次に、第1セパレータの側から剥離ライナーR1に至るまで加工刃を突入させる打抜き加工により、剥離ライナーR1上に所定形状の各透明接着シート10を形成する。各透明接着シート10は、例えば、接合対象物上の接着剤供給予定箇所に応じた形状およびサイズを有し、長尺の剥離ライナーR1の延び方向に一列に配される。次に、形成された透明接着シート10を剥離ライナーR1上に残しつつ、第1セパレータと、透明接着シート10間の接着剤層材料部とを、剥離ライナーR1上から取り除く。次に、長尺の剥離ライナーR1上において離隔して並ぶ複数の透明接着シート10を覆うように当該複数の透明接着シート10上に別の長尺のセパレータ(第2セパレータ)を積層する。次に、当該第2セパレータに対する打抜き加工により、所定形状の剥離ライナーR2を形成し、剥離ライナーR2間の第2セパレータ材料部の除去を行う。例えば以上のようにして、剥離材付き透明接着シートX1を作製することができる。剥離材付き透明接着シートX1においては、必要に応じて小片化されることとなる一枚の長尺の透明接着シート10が、一対の長尺の剥離ライナーR1,R2の間に配されてもよい。また、剥離材付き透明接着シートX1は、巻き芯に巻き付けられてロールの形態とされてもよい。
図2は、光学式センサ1の検知面1aと透明カバー部材2との間が、熱硬化された透明接着シート10ないしそれに由来する接着剤層11によって接合された状態を表す。光学式センサは、例えば光学式指紋認証センサである。透明カバー部材2は、例えば、波長500nmでの透過率が80%以上のガラスや透明樹脂部材である。接合対象物である光学式センサ1と透明カバー部材2との間に未硬化状態にある所定サイズの透明接着シート10が介在している状態で、当該透明接着シート10の熱硬化が行われ、光学式センサ1の検知面1aと透明カバー部材2との間が接合される。
以上のような透明接着シート10によると、厚さについて均一性高く作製されうるとともに流動化しにくいシートの形態で、接合対象物間に接着材料を供給することが可能である(流動化しにくい接着材料は、接合対象物間の接合過程において当該接合対象物間からのはみ出しを生じにくい)。したがって、透明接着シート10によると、液状接着剤による場合よりも、接合対象物である光学式センサ1と透明カバー部材2との間を厚さの均一性の高い接着剤層11でもって接合することが可能である。光学式センサ1と透明カバー部材2との間を厚さの均一性の高い接着剤層11によって接合可能であることは、透明カバー部材2に対して光学式センサ1を姿勢精度よく接合するうえで好適であり、ひいては、当該光学式センサ1が組み込まれるデバイスを歩留まりよく製造するうえで好適である。
加えて、透明接着シート10は、上述のように、150℃で1時間の加熱により熱硬化した状態において波長域450~1200nmでの透過率が、85%以上であり、好ましくは87%以上、より好ましくは90%以上である。透明接着シート10が熱硬化後に可視光の波長域から近赤外線の波長域にわたってこのような光透過率を示すという構成は、光学式センサ1の検知面1aと透明カバー部材2との間の接合材料として、デバイス内の光学式センサ1の実効的な検知感度を確保するのに適する。
以上のように、透明接着シート10は、光学式センサ1の検知面1aと透明カバー部材2との間の接合材料として、光学式センサ搭載デバイスを歩留まりよく製造するのに適するとともに、センサ検知感度を確保するのに適する。
透明接着シート10は、上述のように、150℃で1時間の加熱による熱硬化状態において、30℃、相対湿度70%および200時間の条件(第1の条件)での吸湿試験を経る前の波長450nmでの透過率に対する、当該吸湿試験を経た後の波長450nmでの透過率の比率(第1の比率)が、好ましくは0.9以上、より好ましくは0.92以上、より好ましくは0.94以上である。上記第1の条件での吸湿試験を経ることによる透明接着シート10における透過率の低下がこの程度に小さいという構成は、光学式センサ1の検知面1aと透明カバー部材2との間の接合材料として、デバイス内の光学式センサ1の実効的な検知感度を確保するうえで好適である。
透明接着シート10は、上述のように、150℃で1時間の加熱による熱硬化状態において、260℃および5分間の条件(第2の条件)での加熱試験を経る前の波長450nmでの透過率に対する、当該加熱試験を経た後の波長450nmでの透過率の比率(第2の比率)が、好ましくは0.9以上、より好ましくは0.92以上、より好ましくは0.94以上である。上記第2の条件での加熱試験を経ることによる透明接着シート10における透過率の低下がこの程度に小さいという構成は、上述のセンサ検知感度を確保するうえで好適である。
透明接着シート10ないしそれをなす接着剤組成物の120℃での粘度は、上述のように、好ましくは1~30kPa・s、より好ましくは3~30kPa・s、より好ましくは4~27kPa・s、より好ましくは5~25kPa・sである。このような構成は、透明接着シート10において、光学式センサ1や透明カバー部材2など接合対象物に対する良好な濡れ性を確保するうえで好適である。
透明接着シート10は、上述のように、150℃で1時間の加熱による熱硬化状態における250℃での貯蔵弾性率が、好ましくは0.5~50MPa、より好ましくは0.6~45MPa、より好ましくは0.7~40MPaである。このような構成は、光学式センサ1と透明カバー部材2の間など接合対象物間の透明接着シート10についてその硬化後の接合力を確保するうえで好適であり、従って、透明接着シート10によって接合される対象物間の接合信頼性を確保するうえで好適である。
透明接着シート10は、上述のように、150℃で1時間の加熱による熱硬化状態において、窒素雰囲気下、昇温速度10℃/分、および昇温範囲23~300℃の条件での熱重量測定における300℃での重量減少率が、好ましくは1.5%以下、より好ましくは1.2%以下である。このような構成は、透明接着シート10において耐熱性を確保するうえで好適であり、従って、透明接着シート10によって接合される光学式センサ1および透明カバー部材2など対象物に関する接合信頼性を確保するうえで好適である。
透明接着シート10は、上述のように、23℃、剥離角度180°および剥離速度30mm/分の条件での剥離試験においてガラス平面に対して1N/10mm以上の、好ましくは1.5N/10mm以上の、剥離粘着力を示す。このような構成は、透明接着シート10にとっての、光学式センサ1および透明カバー部材2など接合対象物に対する接着力を、確保するうえで好適である。
透明接着シート10は、上述のように、150℃で1時間の加熱を経てガラス平面に対して接着された状態(対ガラス接着状態)における対ガラスせん断接着力に対する、前記対ガラス接着状態において40℃、相対湿度95%および120時間の条件(第3の条件)での吸湿試験を経た後の対ガラスせん断接着力の比率(第3の比率)が、好ましくは0.6以上、より好ましくは0.7以上、より好ましくは0.75以上である。上記第3の条件での吸湿試験を経ることによる透明接着シート10における対ガラスせん断接着力の低下がこの程度に小さいという構成は、透明接着シート10によって接合される光学式センサ1および透明カバー部材2など対象物に関する接合信頼性を確保するうえで好適である。
透明接着シート10は、上述のように、150℃で1時間の加熱による熱硬化状態における波長633nmでの屈折率が、好ましくは1.4~1.5、より好ましくは1.42~1.48である。このような構成は、上述のセンサ検知感度を確保するうえで好適である。
上述のように、透明接着シート10は好ましくはアクリル樹脂を含有し、このアクリル樹脂は、好ましくはニトリル基を有し、好ましくはエポキシ基を有する。透明接着シート10に含まれる有機成分における当該アクリル樹脂の割合は、好ましくは95質量%以上、より好ましくは97質量%以上である。また、透明接着シート10は、好ましくは、エポキシ樹脂および/またはフェノール樹脂を含有しないか或いは実質的に含有しない。これら構成は、透明接着シート10において上述のような高度の透明性を実現するのに適する。
透明接着シート10がニトリル基含有アクリル樹脂などアクリル樹脂を含む場合、当該アクリル樹脂の平均分子量は、上述のように、好ましくは45万以下、より好ましくは40万以下である。このような構成は、透明接着シート10の粘度に関する上述の好ましい構成を実現するのに適する。
透明接着シート10は、上述のように、好ましくは平均粒子径5~100nmのフィラーを含有する。透明接着シート10における当該フィラーの含有割合は、上述のように、好ましくは5~40質量%、より好ましくは7~35質量%である。これら構成は、透明接着シート10において耐熱性を確保するうえで好適であり、従って、透明接着シート10によって接合される光学式センサ1および透明カバー部材2など対象物に関する接合信頼性を確保するうえで好適である。また、当該構成は、透明接着シート10における上述のような透明性の確保にも資する。
透明接着シート10は、上述のように、好ましくはリン系酸化防止剤を含有する。透明接着シート10におけるリン系酸化防止剤の含有割合は、上述のように、好ましくは0.1~2質量%、より好ましくは0.3~1.5質量%である。これら構成は、透明接着シート10における含有成分の酸化を防止・抑制するうえで好適であり、従って、当該酸化による透明性の低下を防止・抑制するうえで好適である。
透明接着シート10は、上述のように、好ましくはイミダゾール系硬化剤を含有する。透明接着シート10におけるイミダゾール系硬化剤の含有割合は、上述のように、好ましくは0.1~2質量%、より好ましくは0.2~1.5質量%である。このような構成は、透明接着シート10の硬化性と保存安定性とを両立するうえで好適である。
図3は、本発明の一の実施形態に係る剥離材付き透明接着シートX2の断面模式図である。剥離材付き透明接着シートX2は、本発明の一の実施形態に係る透明接着シート10と、一方の剥離材(第2剥離材)である剥離ライナーR1と、他方の剥離材(第2剥離材)であるダイシングテープ20と、を含む積層構造を有する。積層構造に関し、剥離材付き透明接着シートX2は、第2剥離材として剥離ライナーR2に代えてダイシングテープ20を備える点において、上述の剥離材透明接着シートX1と異なる。
ダイシングテープ20は、基材21と粘着剤層22とを含む積層構造を有する。粘着剤層22は、透明接着シート10側に粘着面22aを有する。透明接着シート10は、ダイシングテープ20の粘着剤層22ないしその粘着面22aに剥離可能に密着している。このような剥離材付き透明接着シートX2は、例えば、光学式センサ搭載デバイスの製造過程において透明接着剤層付き光学式センサを得るのに使用することのできるものである。また、ダイシングテープ20および透明接着シート10は、複数の光学式センサが作り込まれているワークが貼り合わせられ得る程度のサイズの円盤形状を有し、本実施形態では同心円状に配されている。透明接着シート10に関する構成材料などその他の点については、剥離材付き透明接着シートX2は、剥離材付き透明接着シートX1と同様である。
剥離材付き透明接着シートX2におけるダイシングテープ20の基材21は、ダイシングテープ20ないし剥離材付き透明接着シートX2において支持体として機能する要素である。基材21は例えばプラスチック基材であり、当該プラスチック基材としてはプラスチックフィルムを好適に用いることができる。プラスチック基材の構成材料としては、例えば、ポリオレフィン、ポリエステル、ポリウレタン、ポリカーボネート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリアミド、全芳香族ポリアミド、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリフェニルスルフィド、アラミド、フッ素樹脂、セルロース系樹脂、およびシリコーン樹脂が挙げられる。ポリオレフィンとしては、例えば、低密度ポリエチレン、直鎖状低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、超低密度ポリエチレン、ランダム共重合ポリプロピレン、ブロック共重合ポリプロピレン、ホモポリプロピレン、ポリブテン、ポリメチルペンテン、エチレン-酢酸ビニル共重合体、アイオノマー樹脂、エチレン-(メタ)アクリル酸共重合体、エチレン-(メタ)アクリル酸エステル共重合体、エチレン-ブテン共重合体、およびエチレン-ヘキセン共重合体が挙げられる。ポリエステルとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、およびポリブチレンテレフタレートが挙げられる。基材21は、一種類の材料からなってもよし、二種類以上の材料からなってもよい。基材21は、単層構造を有してもよいし、多層構造を有してもよい。基材21上の粘着剤層22が紫外線硬化性を有する場合、基材21は紫外線透過性を有するのが好ましい。
基材21における粘着剤層22側の表面は、粘着剤層22との密着性を高めるための物理的処理、化学的処理、または下塗り処理が施されていてもよい。物理的処理としては、例えば、コロナ処理、プラズマ処理、サンドマット加工処理、オゾン暴露処理、火炎暴露処理、高圧電撃暴露処理、およびイオン化放射線処理が挙げられる。化学的処理としては例えばクロム酸処理が挙げられる。
基材21の厚さは、ダイシングテープ20ないし剥離材付き透明接着シートX2における支持体として基材21が機能するための強度を確保するという観点からは、好ましくは40μm以上、より好ましくは50μm以上である。また、ダイシングテープ20ないし剥離材付き透明接着シートX2において適度な可撓性を実現するという観点からは、基材21の厚さは、好ましくは200μm以下、より好ましくは180μm以下である。
ダイシングテープ20の粘着剤層22は、粘着剤を含有する。この粘着剤は、剥離材付き透明接着シートX2の使用過程において外部からの作用によって意図的に粘着力を低減させることが可能な粘着剤(粘着力低減型粘着剤)であってもよいし、剥離材付き透明接着シートX2の使用過程において外部からの作用によっては粘着力がほとんど又は全く低減しない粘着剤(粘着力非低減型粘着剤)であってもよい。粘着剤層22中の粘着剤として粘着力低減型粘着剤を用いるか或いは粘着力非低減型粘着剤を用いるかについては、剥離材付き透明接着シートX2の使用態様に応じて、適宜に選択することができる。粘着剤層22中の粘着剤として粘着力低減型粘着剤を用いる場合、剥離材付き透明接着シートX2の使用過程において、粘着剤層22が相対的に高い粘着力を示す状態と相対的に低い粘着力を示す状態とを、使い分けることが可能である。
上記の粘着力低減型粘着剤としては、例えば、剥離材付き透明接着シートX2の使用過程において放射線照射によって硬化させることが可能な粘着剤(放射線硬化性粘着剤)や加熱発泡型粘着剤などが挙げられる。本実施形態の粘着剤層22では、一種類の粘着力低減型粘着剤が用いられてもよいし、二種類以上の粘着力低減型粘着剤が用いられてもよい。また、粘着剤層22の全体が粘着力低減型粘着剤から形成されてもよいし、粘着剤層22の一部が粘着力低減型粘着剤から形成されてもよい。例えば、粘着剤層22が単層構造を有する場合、粘着剤層22の全体が粘着力低減型粘着剤から形成されてもよいし、粘着剤層22における所定の部位が粘着力低減型粘着剤から形成され、他の部位が粘着力非低減型粘着剤から形成されてもよい。また、粘着剤層22が多層構造を有する場合、多層構造をなす全ての層が粘着力低減型粘着剤から形成されてもよいし、多層構造中の一部の層が粘着力低減型粘着剤から形成されてもよい。
粘着剤層22のための放射線硬化性粘着剤としては、例えば、電子線、紫外線、α線、β線、γ線、またはX線の照射によって硬化するタイプの粘着剤が挙げられ、紫外線照射によって硬化するタイプの粘着剤(紫外線硬化性粘着剤)を特に好適に用いることができる。
粘着剤層22のための放射線硬化性粘着剤としては、例えば、アクリル系粘着剤たるアクリル系ポリマーなどのベースポリマーと、放射線重合性の炭素-炭素二重結合等の官能基を有する放射線重合性のモノマー成分やオリゴマー成分とを含有する、添加型の放射線硬化性粘着剤が挙げられる。
放射線硬化性粘着剤のベースポリマーとしてのアクリル系ポリマーは、好ましくは、(メタ)アクリル酸エステルに由来するモノマーユニットを質量割合で最も多く含む。アクリル系ポリマーのモノマーユニットをなすための(メタ)アクリル酸エステル、即ち、アクリル系ポリマーの構成モノマーである(メタ)アクリル酸エステルとしては、例えば、(メタ)アクリル酸アルキルエステル、(メタ)アクリル酸シクロアルキルエステル、および(メタ)アクリル酸アリールエステルが挙げられる。当該(メタ)アクリル酸エステルとしては、より具体的には、透明接着シート10用のアクリル樹脂をなすためのアクリル系ポリマーの構成モノマーとして上記した(メタ)アクリル酸エステルが挙げられる。アクリル系ポリマーの構成モノマーとして、一種類の(メタ)アクリル酸エステルが用いられてもよいし、二種類以上の(メタ)アクリル酸エステルが用いられてもよい。アクリル系ポリマーの構成モノマーとしては、好ましくは、アクリル酸2-エチルヘキシルが挙げられる。すなわち、粘着剤層22中のアクリル系粘着剤たるアクリル系ポリマーは、好ましくは、2-エチルヘキシル基を有する。このような構成は、ダイシングテープ20の粘着剤層22と透明接着シート10との間において高い密着力を実現するのに適する。また、(メタ)アクリル酸エステルに依る粘着性等の基本特性を粘着剤層22にて適切に発現させるうえでは、アクリル系ポリマーの構成モノマー全体における(メタ)アクリル酸エステルの割合は、好ましくは40質量%以上、より好ましくは60質量%以上である。
アクリル系ポリマーは、例えばその凝集力や耐熱性の改質のために、(メタ)アクリル酸エステルと共重合可能な一種類の又は二種類以上の他のモノマーを構成モノマーに含んでもよい。そのような他のモノマーとしては、例えば、カルボキシ基含有モノマー、酸無水物モノマー、ヒドロキシ基含有モノマー、エポキシ基含有モノマー、スルホン酸基含有モノマー、リン酸基含有モノマー、アクリルアミド、およびアクリロニトリルが挙げられる。当該他のモノマーとしては、より具体的には、透明接着シート10用のアクリル樹脂をなすためのアクリル系ポリマーの構成モノマーとして上記した共重合性の他の構成モノマーが挙げられる。
粘着剤層22をなすためのアクリル系粘着剤たるアクリル系ポリマーは、そのポリマー骨格中に架橋構造を形成するために、(メタ)アクリル酸エステルなどのモノマー成分と共重合可能な多官能性モノマーに由来するモノマーユニットを含んでいてもよい。そのような多官能性モノマーとして、例えば、ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、(ポリ)エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、(ポリ)プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ポリグリシジル(メタ)アクリレート、ポリエステル(メタ)アクリレート、およびウレタン(メタ)アクリレートが挙げられる。「(メタ)アクリレート」は、「アクリレート」および/または「メタクリレート」を意味するものとする。アクリル系ポリマーの構成モノマーとして、一種類の多官能性モノマーが用いられてもよいし、二種類以上の多官能性モノマーが用いられてもよい。(メタ)アクリル酸エステルに依る粘着性等の基本特性を粘着剤層22にて適切に発現させるうえでは、アクリル系ポリマーの構成モノマー全体における多官能性モノマーの割合は、好ましくは40質量%以下、好ましくは30質量%以下である。
アクリル系ポリマーは、それを形成するための原料モノマーを重合して得ることができる。重合手法としては、例えば、溶液重合、乳化重合、塊状重合、および懸濁重合が挙げられる。ダイシングテープ20ないし剥離材付き透明接着シートX2の使用される例えば半導体装置製造過程における高度の清浄性の観点からは、ダイシングテープ20ないし剥離材付き透明接着シートX2における粘着剤層22中の低分子量成分は少ない方が好ましく、アクリル系ポリマーの数平均分子量は、好ましくは10万以上、より好ましくは20万~300万である。
粘着剤層22ないしそれをなすための粘着剤は、アクリル系ポリマーなどベースポリマーの数平均分子量を高めるために例えば、外部架橋剤を含有してもよい。アクリル系ポリマーなどベースポリマーと反応して架橋構造を形成するための外部架橋剤としては、ポリイソシアネート化合物、エポキシ化合物、ポリオール化合物、アジリジン化合物、およびメラミン系架橋剤が挙げられる。粘着剤層22ないしそれをなすための粘着剤における外部架橋剤の含有量は、ベースポリマー100質量部に対して、好ましくは5質量部以下、より好ましくは0.1~5質量部である。
放射線硬化性粘着剤をなすための上記の放射線重合性モノマー成分としては、例えば、ウレタン(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、および1,4-ブタンジオールジ(メタ)アクリレートが挙げられる。放射線硬化性粘着剤をなすための上記の放射線重合性オリゴマー成分としては、例えば、ウレタン系、ポリエーテル系、ポリエステル系、ポリカーボネート系、ポリブタジエン系など種々のオリゴマーが挙げられ、分子量100~30000程度のものが適当である。放射線硬化性粘着剤中の放射線重合性のモノマー成分やオリゴマー成分の総含有量は、形成される粘着剤層22の粘着力を適切に低下させ得る範囲で決定され、アクリル系ポリマーなどのベースポリマー100質量部に対して、好ましくは5~500質量部であり、より好ましくは40~150質量部である。また、添加型の放射線硬化性粘着剤としては、例えば特開昭60-196956号公報に開示のものを用いてもよい。
粘着剤層22のための放射線硬化性粘着剤としては、例えば、放射線重合性の炭素-炭素二重結合等の官能基をポリマー側鎖や、ポリマー主鎖中、ポリマー主鎖末端に有するベースポリマーを含有する内在型の放射線硬化性粘着剤も挙げられる。このような内在型の放射線硬化性粘着剤は、形成される粘着剤層22内での低分子量成分の移動に起因する粘着特性の意図しない経時的変化を抑制するうえで好適である。
内在型の放射線硬化性粘着剤に含有されるベースポリマーとしては、アクリル系ポリマーを基本骨格とするものが好ましい。そのような基本骨格をなすアクリル系ポリマーとしては、添加型の放射線硬化性粘着剤に含有されるベースポリマーとして上述したアクリル系ポリマーを採用することができる。アクリル系ポリマーへの放射線重合性の炭素-炭素二重結合の導入手法としては、例えば、所定の官能基(第1の官能基)を有するモノマーを含む原料モノマーを共重合させてアクリル系ポリマーを得た後、第1の官能基との間で反応を生じて結合しうる所定の官能基(第2の官能基)と放射線重合性炭素-炭素二重結合とを有する化合物を、炭素-炭素二重結合の放射線重合性を維持したままアクリル系ポリマーに対して縮合反応または付加反応させる方法が、挙げられる。
第1の官能基と第2の官能基の組み合わせとしては、例えば、カルボキシ基とエポキシ基、エポキシ基とカルボキシ基、カルボキシ基とアジリジル基、アジリジル基とカルボキシ基、ヒドロキシ基とイソシアネート基、イソシアネート基とヒドロキシ基が挙げられる。これら組み合わせのうち、反応追跡の容易さの観点からは、ヒドロキシ基とイソシアネート基の組み合わせや、イソシアネート基とヒドロキシ基の組み合わせが、好ましい。また、反応性の高いイソシアネート基を有するポリマーを作製するのは技術的難易度が高いので、アクリル系ポリマーの作製または入手のしやすさの観点からは、アクリル系ポリマー側の上記第1の官能基がヒドロキシ基であり且つ上記第2の官能基がイソシアネート基である場合が、より好ましい。放射線重合性炭素-炭素二重結合と第2の官能基たるイソシアネート基とを併有するイソシアネート化合物、即ち、放射線重合性の不飽和官能基含有イソシアネート化合物としては、例えば、メタクリロイルイソシアネート、2-メタクリロイルオキシエチルイソシアネート(MOI)、およびm-イソプロペニル-α,α-ジメチルベンジルイソシアネートが挙げられる。
粘着剤層22のための放射線硬化性粘着剤は、好ましくは光重合開始剤を含有する。光重合開始剤としては、例えば、α-ケトール系化合物、アセトフェノン系化合物、ベンゾインエーテル系化合物、ケタール系化合物、芳香族スルホニルクロリド系化合物、光活性オキシム系化合物、ベンゾフェノン系化合物、チオキサントン系化合物、カンファーキノン、ハロゲン化ケトン、アシルホスフィノキシド、およびアシルホスフォナートが挙げられる。粘着剤層22における放射線硬化性粘着剤中の光重合開始剤の含有量は、アクリル系ポリマーなどのベースポリマー100質量部に対して例えば0.05~20質量部である。
粘着剤層22における上記の粘着力非低減型粘着剤としては、例えば感圧性粘着剤が挙げられる。この感圧性粘着剤としては、例えば、アクリル系ポリマーをベースポリマーとするアクリル系粘着剤やゴム系粘着剤を用いることができる。粘着剤層22が感圧性粘着剤としてアクリル系粘着剤を含有する場合、当該アクリル系粘着剤のベースポリマーたるアクリル系ポリマーは、好ましくは、(メタ)アクリル酸エステルに由来するモノマーユニットを質量割合で最も多いモノマーユニットとして含む。そのようなアクリル系ポリマーとしては、例えば、放射線硬化性粘着剤に関して上述したアクリル系ポリマーが挙げられる。
本実施形態の粘着剤層22においては、一種類の粘着力非低減型粘着剤が用いられてもよいし、二種類以上の粘着力非低減型粘着剤が用いられてもよい。また、粘着剤層22の全体が粘着力非低減型粘着剤から形成されてもよいし、粘着剤層22の一部が粘着力非低減型粘着剤から形成されてもよい。例えば、粘着剤層22が単層構造を有する場合、粘着剤層22の全体が粘着力非低減型粘着剤から形成されてもよいし、粘着剤層22における所定の部位が粘着力非低減型粘着剤から形成され、他の部位が粘着力低減型粘着剤から形成されてもよい。また、粘着剤層22が積層構造を有する場合、積層構造をなす全ての層が粘着力非低減型粘着剤から形成されてもよいし、積層構造中の一部の層が粘着力非低減型粘着剤から形成されてもよい。
粘着剤層22ないしそれをなすための粘着剤には、上述の各成分に加えて、架橋促進剤や、粘着付与剤、老化防止剤、着色剤などを含有してもよい。着色剤としては、顔料および染料が挙げられる。また、着色剤は、放射線照射を受けて着色する化合物であってもよい。そのような化合物としては、例えばロイコ染料が挙げられる。
粘着剤層22の厚さは、好ましくは5~40μm、より好ましくは10~30μmである。このような構成は、ダイシングテープ20の粘着剤層22と透明接着シート10との間において高い密着力を実現するのに適する。
以上のような構成を有する剥離材付き透明接着シートX2は、例えば、ダイシングテープ20の粘着剤層22側に透明接着シート10を貼り合わせた後に、その透明接着シート10とその周囲の粘着剤層22表面とを被覆するようにダイシングテープ20上に剥離ライナーR1を設けることによって、作製することができる。
剥離材付き透明接着シートX2において、好ましくは、剥離ライナーR1(第1剥離材)の厚さT1は38μm以上であり、且つ、ダイシングテープ20(第2剥離材)の厚さT2は25μm以上である。そして、ダイシングテープ20の厚さT2に対する、剥離ライナーR1の厚さT1の比率(T1/T2)は、好ましくは0.2~1.8、より好ましくは0.22~1.6、さらに好ましくは0.3~1.55である。このような構成は、剥離材付き透明接着シートX2を取り扱う際の作業性の観点から好ましい。具体的には、同構成は、剥離材付き透明接着シートX2において、剥離ライナーR1を透明接着シート10(剥離ライナーR1とは反対の側にダイシングテープ20を伴う)から剥がすときに透明接着シート10にシワや折れが発生するのを防止・抑制するうえで好適である。
剥離材付き透明接着シートX2において、剥離ライナーR1(第1剥離材)は、透明接着シート10に対し、100℃、剥離角度180°および剥離速度300mm/分の条件での剥離試験において好ましくは0.01N/100mm以上の、より好ましくは0.015N/100mm以上の、第1剥離粘着力を示し、且つ、ダイシングテープ20(第2剥離材)は、透明接着シート10に対し、100℃、剥離角度180°および剥離速度300mm/分の条件での剥離試験において好ましくは0.04N/100mm以上の第2剥離粘着力を示す。また、第2剥離粘着力に対する第1剥離粘着力の比率は、好ましくは0.01~0.75であり、より好ましくは0.02~0.7である。これら構成は、剥離材付き透明接着シートX2の取扱い時における透明接着シート10に対する剥離ライナーR1とダイシングテープ20(透明接着シート10からは、異なる段階で別々に剥離されることが多い)の充分な密着性と、透明接着シート10からの剥離ライナーR1およびダイシングテープ20の適度な剥離性とのバランスの観点から好ましい。
図4から図7は、剥離材付き透明接着シートX2を使用して行う接合方法を表す。本接合方法は、以下のような貼合せ工程、個片化工程、仮固定工程、および接合工程を含む。
貼合せ工程では、剥離材付き透明接着シートX2から剥離ライナーR1を剥がして透明接着シート10を露出させた後、図4に示すように、透明接着シート10上にワークWを貼り合わせる。ワークWは、透明接着シート10に貼り合わされる側の第1面Waと、これとは反対の第2面Wbとを有する。ワークWには、第1面Wa側に検知面を有する複数の光学式センサが作り込まれている。
個片化工程では、透明接着シート10上のワークWに対し、ダイシング装置の備えるダイシングブレードによる切削加工を行い、図5に示すようにワークWの個片化を行う(図5では、切削箇所を模式的に太線で表す)。本工程では、具体的には、ワークWが光学式センサ1へと個片化され、これとともに、透明接着シート10が切断されて小片化される。これにより、透明接着シート10ないしそれに由来する接着剤層11を検知面1a側に伴う光学式センサ1、即ち接着剤層11付き光学式センサ1が、得られる。
ダイシングテープ20の粘着剤層22が放射線硬化性粘着剤を含有する場合には、上述のダイシング工程の後に、基材21の側から粘着剤層22に対して紫外線等の放射線を照射して、粘着剤層22の粘着力を低下させてもよい。照射量は、例えば50~500mJ/cm2である。
仮固定工程では、接着剤層11付き光学式センサ1をダイシングテープ20からピックアップした後、図6に示すように、接着剤層11付き光学式センサ1をその接着剤層11側を介して透明カバー部材2に対して圧着して仮固定する。
接合工程では、図7に示すように、仮固定された光学式センサ1と透明カバー部材2との間に介在する接着剤層11を熱硬化させて、光学式センサ1の検知面1aと透明カバー部材2との間を接合する。
以上のようにして、剥離材付き透明接着シートX2を使用して光学式センサ1と透明カバー部材2とを接合することができる。
剥離材付き透明接着シートX2は、剥離材付き透明接着シートX1と同様に透明接着シート10を備える。透明接着シート10は、剥離材付き透明接着シートX1の実施形態に関して上述したように、光学式センサ1の検知面1aと透明カバー部材2との間の接合材料として、光学式センサ搭載デバイスを歩留まりよく製造するのに適するとともに、センサ検知感度を確保するのに適する。加えて、剥離材付き透明接着シートX2を使用して行う上述の接合方法においては、透明接着シート10ないしそれに由来する接着剤層11を伴う部材小片(本実施形態では接着剤層11付き光学式センサ1)を効率よく得ることができる。したがって、本接合方法は、接合対象物間の接合の作業・過程の効率化を図るのに適する。
〔実施例1〕
アクリル樹脂A1(商品名「テイサンレジン SG-80H」,重量平均分子量は35万,ガラス転移温度Tgは11℃,ナガセケムテックス株式会社製)90質量部と、無機フィラー(商品名「YA010C」,球状シリカ粒子,平均粒子径は10nm,株式会社アドマテックス製)7質量部と、硬化剤(商品名「キュアゾール 2MZ」,イミダゾール系硬化剤,四国化成工業株式会社)0.27質量部と、酸化防止剤(商品名「アデカスタブ PEP-8」,リン系酸化防止剤,株式会社ADEKA製)0.27質量部とを、メチルエチルケトンに加えて混合し、固形分濃度20質量%の接着剤組成物を調製した。次に、シリコーン離型処理の施された面を有する第1剥離材たるポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(商品名「ダイアホイル MRF」,厚さ38μm,三菱化学株式会社製)のシリコーン離型処理面上にアプリケーターを使用して接着剤組成物を塗布して接着剤組成物層を形成した。次に、この組成物層について130℃で2分間の加熱乾燥を行い、PETフィルム上に厚さ20μmの透明接着シートを作製した。そして、その透明接着シートに、シリコーン離型処理の施された面を有する第2剥離材たるPETフィルム(商品名「ダイアホイル MRA」,厚さ25μm,三菱化学株式会社製)のシリコーン離型処理面側を60℃の温度条件で貼り合わせた。以上のようにして、厚さ38μmのPETフィルム(第1剥離材)と、厚さ25μmのPETフィルム(第2剥離材)と、これらの間の厚さ20μmの透明接着シートとの積層構造を有する実施例1の剥離材付き透明接着シートを作製した。
〔実施例2〕
〈ダイシングテープの作製〉
冷却管と、窒素導入管と、温度計と、撹拌装置とを備える反応容器内で、アクリル酸2-エチルヘキシル120質量部と、アクリル酸2-ヒドロキシエチル17質量部と、重合開始剤たる過酸化ベンゾイル0.4質量部と、重合溶媒たるトルエン80質量部とを含む混合物を、60℃で10時間、窒素雰囲気下で撹拌した(重合反応)。これにより、アクリル系ポリマーP1を含有するポリマー溶液を得た。次に、このアクリル系ポリマーP1を含有するポリマー溶液と、2-メタクリロイルオキシエチルイソシアネート(MOI)と、付加反応触媒としてのジブチル錫ジラウリレートとを含む混合物を、50℃で60時間、空気雰囲気下で撹拌した(付加反応)。当該反応溶液において、MOIの配合量は、アクリル系ポリマーP1100質量部に対して1.4質量部であり、ジブチル錫ジラウリレートの配合量は、アクリル系ポリマーP1100質量部に対して0.1質量部である。この付加反応により、側鎖にメタクリロイル基を有するアクリル系ポリマーP2を含有するポリマー溶液を得た。次に、当該ポリマー溶液に、アクリル系ポリマーP2100質量部に対して1.1質量部のポリイソシアネート化合物(商品名「コロネートL」,東ソー株式会社製)と、3質量部の光重合開始剤(商品名「イルガキュア184」,BASF社製)とを加えて混合し、そして、当該混合物の室温での粘度が500mPa・sになるように当該混合物についてトルエンを加えて希釈し、粘着剤組成物を得た。次に、シリコーン離型処理の施された面を有するPETフィルム(厚さ38μm)のシリコーン離型処理面上にアプリケーターを使用して粘着剤組成物を塗布して粘着剤組成物層を形成した。次に、この組成物層について120℃で2分間の加熱乾燥を行い、PETフィルム上に厚さ30μmの粘着剤層を形成した。次に、ラミネーターを使用して、この粘着剤層の露出面にエチレン-酢酸ビニル共重合体(EVA)製の基材(商品名「ファンクレア NRB#80」,厚さ80μm,グンゼ株式会社製)を室温で貼り合わせた。以上のようにしてダイシングテープを作製した。
〈剥離材付き透明接着シートの作製〉
アクリル樹脂A1(商品名「テイサンレジン SG-80H」,重量平均分子量は35万,ガラス転移温度Tgは11℃,ナガセケムテックス株式会社製)90質量部と、無機フィラー(商品名「MEK-ST-ZL」,球状シリカ粒子,粒子径は70~100nm,日産化学株式会社製)65質量部と、硬化剤(商品名「キュアゾール 2MZ」,イミダゾール系硬化剤,四国化成工業株式会社)0.9質量部と、酸化防止剤(商品名「アデカスタブ PEP-8」,リン系酸化防止剤,株式会社ADEKA製)0.9質量部とを、メチルエチルケトンに加えて混合し、固形分濃度20質量%の接着剤組成物を調製した。次に、シリコーン離型処理の施された面を有する第1剥離材たるPETフィルム(商品名「ダイアホイル MRA」,厚さ38μm,三菱化学株式会社製)のシリコーン離型処理面上にアプリケーターを使用して接着剤組成物を塗布して接着剤組成物層を形成した。次に、この組成物層について130℃で2分間の加熱乾燥を行い、PETフィルム上に厚さ20μmの透明接着シートを作製した。そして、第2剥離材として厚さ25μmの上述のPETフィルムの代わりに上述のダイシングテープを用いたこと以外は実施例1の剥離材付き透明接着シートと同様にして、実施例2の剥離材付き透明接着シートを作製した。具体的には、上述のようにして作製されたダイシングテープからPETフィルムを剥離した後、PETフィルム(第1剥離材)上の厚さ20μmの透明接着シートに、ダイシングテープの粘着剤層側を60℃の温度条件で貼り合わせた。以上のようにして、厚さ38μmのPETフィルム(第1剥離材)と、厚さ110μmのダイシングテープ(第2剥離材)と、これらの間の厚さ20μmの透明接着シートとの積層構造を有する実施例2の剥離材付き透明接着シートを作製した。
〔実施例3〕
アクリル樹脂溶液(商品名「PARACRON EG-2201M」,固形分濃度は60質量%,重量平均分子量は10万,ガラス転移温度Tgは-40℃,根上工業株式会社製)をアクリル樹脂の質量として93質量部と、無機フィラー(商品名「YA010C」,球状シリカ粒子,平均粒子径は10nm,株式会社アドマテックス製)41質量部と、硬化剤(商品名「キュアゾール 2MZ」,イミダゾール系硬化剤,四国化成工業株式会社)0.4質量部と、酸化防止剤(商品名「アデカスタブ PEP-8」,リン系酸化防止剤,株式会社ADEKA製)0.5質量部とを、メチルエチルケトンに加えて混合し、固形分濃度20質量%の接着剤組成物を調製した。次に、シリコーン離型処理の施された面を有する第1剥離材たるPETフィルム(商品名「ダイアホイル MRA」,厚さ38μm,三菱化学株式会社製)のシリコーン離型処理面上にアプリケーターを使用して接着剤組成物を塗布して接着剤組成物層を形成した。次に、この組成物層について130℃で2分間の加熱乾燥を行い、PETフィルム上に厚さ20μmの透明接着シートを作製した。そして、その透明接着シートに、シリコーン離型処理の施された面を有する第2剥離材たるPETフィルム(商品名「ダイアホイル MRF」,厚さ25μm,三菱化学株式会社製)のシリコーン離型処理面側を60℃の温度条件で貼り合わせた。以上のようにして、厚さ38μmのPETフィルム(第1剥離材)と、厚さ25μmのPETフィルム(第2剥離材)と、これらの間の厚さ20μmの透明接着シートとの積層構造を有する実施例3の剥離材付き透明接着シートを作製した。
〔比較例1〕
アクリル樹脂A2(商品名「テイサンレジン WS-023 EK30」,重量平均分子量は50万,ガラス転移温度Tgは-10℃,ナガセケムテックス株式会社製)90質量部と、フェノール樹脂(商品名「MEH-7851H」,明和化成株式会社製)3質量部と、エポキシ樹脂(商品名「KI-3000」,東都化成株式会社製)52質量部と、無機フィラー(商品名「SO-25R」,シリカ粒子,平均粒径は500nm,株式会社アドマテックス製)60質量部と、メチルエチルケトンに加えて混合し、固形分濃度20質量%の接着剤組成物を調製した。次に、シリコーン離型処理の施された面を有する第1剥離材たるポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(商品名「セラピールWZ」,厚さ20μm,東レフィルム加工株式会社製)のシリコーン離型処理面上にアプリケーターを使用して接着剤組成物を塗布して接着剤組成物層を形成した。次に、この組成物層について130℃で2分間の加熱乾燥を行い、PETフィルム上に厚さ20μmの透明接着シートを作製した。そして、その透明接着シートに、シリコーン離型処理の施された面を有する第2剥離材たるPETフィルム(商品名「ダイアホイル MRF」,厚さ25μm,三菱化学株式会社製)のシリコーン離型処理面側を60℃の温度条件で貼り合わせた。以上のようにして、厚さ20μmのPETフィルム(第1剥離材)と、厚さ25μmのPETフィルム(第2剥離材)と、これらの間の厚さ20μmの透明接着シートとの積層構造を有する比較例1の剥離材付き透明接着シートを作製した。
〈透過率測定〉
実施例1~3および比較例1の剥離材付き透明接着シートの透明接着シートについて、熱硬化前の透過率と、熱硬化した状態での透過率と、熱硬化した状態で所定の吸湿試験を経た後の透過率と、熱硬化した状態で所定の加熱試験を経た後の透過率とを調べた。透明接着シートの各熱硬化は、150℃で1時間の加熱条件で行った。吸湿試験では、熱硬化後の透明接着シートを、30℃および相対湿度70%の環境下に200時間置いた。加熱試験では、熱硬化後の透明接着シートを260℃の加熱条件下に5分間置いた。そして、各透過率測定では、透明接着シート(厚さ20μm)から切り出された試料片について、紫外可視近赤外分光光度計(商品名「V-670DS」,日本分光株式会社製)および積分球ユニットを使用して、300~1300nmの波長域における全光線透過率スペクトルを測定した。熱硬化後の透明接着シートについての波長域450~1200nmでの最低透過率を透過率T1(%)として、熱硬化した状態の透明接着シートの450nmでの透過率を透過率T2(%)として、熱硬化した状態で上記吸湿試験を経た後の透明接着シートの450nmでの透過率を透過率T3(%)として、熱硬化した状態で上記加熱試験を経た後の透明接着シートの450nmでの透過率を透過率T4(%)として、表1に掲げる。また、表1には、T3/T2の値およびT4/T2の値も掲げる。
〈粘度測定〉
実施例1~3および比較例1の剥離材付き透明接着シートの透明接着シートについて、動的粘弾性測定装置(商品名「HAAKE MARS III」,Thermo Fisher Scientfic社製)を使用して粘度測定を行った。測定に付される試料片は、複数枚の透明接着シートを厚さ200μmに積層した積層体を形成した後、当該積層体から直径8mmの円盤形状に切り出して用意したものである。本測定では、測定温度範囲を80℃~180℃とし、昇温速度を5℃/分とし、周波数を1Hzとした。
〈貯蔵弾性率〉
実施例1~3および比較例1の剥離材付き透明接着シートの透明接着シートについて、動的粘弾性測定装置(商品名「RSA-III」,TA Instrument社製)を使用して行う動的粘弾性測定によって貯蔵弾性率を調べた。動的粘弾性測定に付される試料片は、複数枚の透明接着シートを厚さ200μmに積層した積層体を形成した後、当該積層体から幅10mm×長さ40mmのサイズで切り出し、その後に、150℃で1時間の加熱により熱硬化させて、用意したものである。また、本測定においては、試料片保持用チャックの初期チャック間距離を22.5mmとし、測定モードを引張りモードとし、測定温度範囲を-30℃~250℃とし、周波数を1Hzとし、動的ひずみ0.005%とし、昇温速度を10℃/分とした。求められた250℃での貯蔵弾性率(MPa)を表1に掲げる。
〔重量減少率〕
実施例1~3および比較例1の剥離材付き透明接着シートの透明接着シートについて、300℃での重量減少率を調べた。透明接着シートから約10mgの試料を切り出し、この試料について、示差熱-熱重量同時測定装置(商品名「Thermo plus TG8120」,株式会社リガク製)を使用して、昇温過程での重量減少を測定した。本測定は、窒素雰囲気下、基準重量温度である23℃から300℃まで昇温速度10℃/分にて昇温を行った。試料における23℃での重量(基準重量)から300℃での重量への減少率(%)を表1に掲げる。
〔対ガラス粘着力〕
実施例1~3および比較例1の剥離材付き透明接着シートの透明接着シートについて、ガラス平面に対する粘着力を調べた。まず、透明接着シートの片面に裏打ちテープ(商品名「BT-315」,日東電工株式会社製)を貼り合わせた後、当該裏打ちテープ付き透明接着シートから試料片(幅10mm×長さ150mm)を切り出した。次に、設定温度60℃のホットプレート上に載置されたガラス板についてその表面温度が60℃であることを確認した後、当該ガラス板の表面(ガラス平面)と試料片における透明接着シートの露出面とを貼り合わせた。この貼り合わせは、2kgのハンドローラーを1往復させる圧着作業によって行った。この貼り合わせの後、ホットプレート上に2分間静置し、続いて常温に20分間静置した。そして、引張試験機(商品名「オートグラフAGS-J」,株式会社島津製作所製)を使用して、23℃、剥離角度180°および剥離速度300mm/分の条件でガラス板から試料片を剥離する剥離試験を行い、ガラス平面に対する透明接着シートの23℃での180°剥離粘着力(N/10mm)を測定した。その結果を表1に掲げる。
〔対ガラスせん断接着力〕
実施例1~3および比較例1の剥離材付き透明接着シートの透明接着シートについて、ガラス平面に対するせん断接着力を調べた。実施例1,3および比較例1の透明接着シートについては、ダイシングテープに貼り合わせてダイシングテープ付き透明接着シートとし、実施例2の剥離材付き透明接着シートについては、第1剥離材を剥がしてダイシングテープ付き透明接着シートとした。そして、各ダイシングテープ付き透明接着シートを次のように使用した。まず、ダイシングテープ付き透明接着シートの透明接着シート上にシリコンウエハ(厚さ500μm)を貼り合わせた。貼合わせにおいては、ラミネーターを使用し、貼合わせ速度を10mm/秒とし、温度条件を60℃とし、圧力条件を0.15MPaとした。次に、ダイシング装置(商品名「DFD6361」,株式会社ディスコ製)を使用して行うブレードダイシングにより、ダイシングテープ付き透明接着シート上のシリコンウエハをチップ(5mm×5mm)へとの個片化した。これにより、透明接着シート由来の接着剤層を伴うチップを得た。この接着剤層付きチップをその接着剤層側を介してガラス板に対して圧着した(仮固定)。この仮固定において、圧着温度は120℃とし、圧着荷重は0.1MPaとし、圧着時間を2秒間とした。次に、ガラス板とチップとの間に介在する接着剤層について150℃および1時間の加熱により熱硬化させ、ガラス板とチップとの間を当該接着剤層によって接合した。このようにして、対ガラスせん断接着力測定用のサンプルを用意した。そして、当該サンプルについて、接合強度試験機(商品名「Dage4000」,Nordson社製)を使用してせん断粘着力F1(MPa)を測定した。また、上述のようにして用意されるサンプルについて、40℃、相対湿度95%および120時間の条件での吸湿試験を経た後に、接合強度試験機(商品名「Dage4000」,Nordson社製)を使用してせん断粘着力F2(MPa)を測定した。各測定において、測定温度は23℃であり、せん断速度は30mm/分であり、得られた最大応力値をせん断粘着力(MPa)とした。これらの結果、およびF2/F1の値を、表1に掲げる。
〈屈折率測定〉
実施例1~3および比較例1の剥離材付き透明接着シートの透明接着シートについて、熱硬化後の633nmでの屈折率を調べた。透明接着シートの熱硬化は、150℃で1時間の加熱条件で行った。屈折率測定は、屈折率測定装置(商品名「プリズム カプラ Model 2010/M」,Metricon社製)を使用して行った。測定結果を表1に掲げる。
〔剥離材の剥離粘着力〕
実施例1~3および比較例1の剥離材付き透明接着シートについて、透明接着シートに対する第1剥離材の剥離粘着力を調べた。具体的には、まず、剥離材付き透明接着シートから第2剥離材を剥離した後、露出した透明接着シートに対して裏打ちテープ(商品名「BT-315」,日東電工株式会社製)を貼り合わせ、当該裏打ちテープ付き透明接着シートから試料片(幅100mm×長さ60mm)を切り出した。そして、引張試験機(商品名「オートグラフAGS-J」,株式会社島津製作所製)を使用して、23℃、剥離角度180°および剥離速度300mm/分の条件で透明接着シートから第1剥離材を剥離する剥離試験を行い、透明接着シートに対する第1剥離材の23℃での180°剥離粘着力(N/100mm)を測定した。また、剥離材付き透明接着シートから第1剥離材を剥離した後、露出した透明接着シートに対して裏打ちテープ(商品名「BT-315」,日東電工株式会社製)を貼り合わせ、当該裏打ちテープ付き透明接着シートから試料片(幅100mm×長さ60mm)を切り出した。そして、引張試験機(商品名「オートグラフAGS-J」,株式会社島津製作所製)を使用して、23℃、剥離角度180°および剥離速度300mm/分の条件で透明接着シートから第2剥離材を剥離する剥離試験を行い、透明接着シートに対する第2剥離材の23℃での180°剥離粘着力(N/100mm)を測定した。第1剥離材の剥離粘着力P1、第2剥離材の剥離粘着力P2、および、P1/P2の値を、表1に掲げる。
〔剥離試験〕
実施例1~3および比較例1の剥離材付き透明接着シートについて、次のようにして剥離試験を行った。剥離試験に付した剥離材付き透明接着シートは、10cm×10cmのサイズを有するものである。この剥離材付き透明接着シートの第1剥離材の露出面側角部の一つに対し、幅10mmの裏打ちテープ(商品名「BT-315」,日東電工株式会社製)を、貼り付け面積12.5mm2で貼り付けた。その後、透明接着シートに対して第1剥離材が180°をなす角度で、裏打ちテープを引っ張って第1剥離材を透明接着シートから剥がした。その剥離過程において、透明接着シートと第2剥離材との間に剥離を生じずに第1剥離材を透明接着シートから剥離できた場合を“良”と評価し、透明接着シートと第2剥離材との間に剥離が生じた場合を“不良”と評価した。その評価結果を表1に掲げる。
〔吸湿後加熱試験〕
実施例1~3および比較例1の剥離材付き透明接着シートについて、次のようにして吸湿後加熱試験を行った。まず、9.5mm角のシリコン製ミラーチップの9.5mm角平面に対して透明接着シートを貼り付けて、接着剤層付きチップを用意した。貼付け時の温度は60℃である。次に、接着剤層付きチップをその接着剤層側を介してガラス板に対して圧着した(仮固定)。この仮固定において、圧着温度は120℃とし、圧着荷重は0.1MPaとし、圧着時間を2秒間とした。次に、ガラス板とチップとの間に介在する接着剤層について150℃、加圧力0.7MPaおよび1時間の加熱条件で熱硬化させ、ガラス板とチップとの間を当該接着剤層によって接合した。このようにして、透明接着シートごとに9個の接合サンプルを用意した。次に、温度30℃、湿度60%RH、時間72時間の条件で、接合サンプルについて吸湿処理を行った。次に、260℃以上の温度を10秒間保持するように温度設定したIRリフロー炉に接合サンプルを通した。その後、接合サンプルにおいて、透明接着シートとガラス板との界面に剥離が生じているかどうかを調べた。9個の接合サンプルのいずれにおいても透明接着シートとガラス板との界面に剥離が生じていない場合を“良”と評価し、9個の接合サンプルの少なくとも一つにおいて透明接着シートとガラス板との界面に剥離が生じている場合を“不良”と評価した。その評価結果を表1に掲げる。
Figure 0007612332000001
以上のまとめとして、本発明の構成およびそのバリエーションを以下に付記として列挙する。
(付記1)
熱硬化性を有し、且つ、150℃で1時間の加熱により熱硬化した状態において波長域450~1200nmでの透過率が、85%以上であり、好ましくは87%以上、より好ましくは90%以上である、透明接着シート。
(付記2)
前記熱硬化状態において、30℃、相対湿度70%および200時間の条件での吸湿試験を経る前の波長450nmでの透過率に対する、前記吸湿試験を経た後の波長450nmでの透過率の比率が、0.9以上であり、好ましくは0.92以上、より好ましくは0.94以上である、付記1に記載の透明接着シート。
(付記3)
前記熱硬化状態において、260℃および5分間の条件での加熱試験を経る前の波長450nmでの透過率に対する、前記加熱試験を経た後の波長450nmでの透過率の比率が、0.9以上であり、好ましくは0.92以上、より好ましくは0.94以上である、付記1または2に記載の透明接着シート。
(付記4)
120℃での粘度が1~30kPa・sであり、好ましくは3~30kPa・s、より好ましくは4~27kPa・s、より好ましくは5~25kPa・sである、付記1から3のいずれか一つに記載の透明接着シート。
(付記5)
前記熱硬化状態における250℃での貯蔵弾性率が、0.5~50MPaであり、好ましくは0.6~45MPa、より好ましくは0.7~40MPaである、付記1から4のいずれか一つに記載の透明接着シート。
(付記6)
前記熱硬化状態において、窒素雰囲気下、昇温速度10℃/分、および昇温範囲23~300℃の条件での熱重量測定における300℃での重量減少率が、1.5%以下であり、好ましくは1.2%以下である、付記1から5のいずれか一つに記載の透明接着シート。
(付記7)
23℃、剥離角度180°および剥離速度30mm/分の条件での剥離試験においてガラス平面に対して1N/10mm以上の、好ましくは1.5N/10mm以上の、剥離粘着力を示す、付記1から6のいずれか一つに記載の透明接着シート。
(付記8)
150℃で1時間の加熱を経てガラス平面に対して接着された状態における、40℃、相対湿度95%および120時間の条件での吸湿試験を経る前の対ガラスせん断接着力に対する、前記吸湿試験を経た後の対ガラスせん断接着力の比率が、0.6以上であり、好ましくは0.7以上、より好ましくは0.75以上である、付記1から7のいずれか一つに記載の透明接着シート。
(付記9)
前記熱硬化状態における波長633nmでの屈折率が、1.4~1.5であり、好ましくは1.42~1.48である、付記1から8のいずれか一つに記載の透明接着シート。
(付記10)
アクリル樹脂を含有する、付記1から9のいずれか一つに記載の透明接着シート。
(付記11)
前記アクリル樹脂はニトリル基を有する、付記10に記載の透明接着シート。
(付記12)
前記アクリル樹脂はエポキシ基を有する、付記10または11に記載の透明接着シート。
(付記13)
前記アクリル樹脂の平均分子量は、40万以下であり、好ましくは35万以下である、付記10から12のいずれか一つに記載の透明接着シート。
(付記14)
含有有機成分における前記アクリル樹脂の割合は、95質量%以上であり、好ましくは97質量%以上である、付記10から13のいずれか一つに記載の透明接着シート。
(付記15)
エポキシ樹脂および/またはフェノール樹脂を含有しないか或いは実質的に含有しない、付記1から14のいずれか一つに記載の透明接着シート。
(付記16)
平均粒子径5~100nmのフィラーを含有する、付記1から15のいずれか一つに記載の透明接着シート。
(付記17)
前記フィラーの含有割合は、5~45質量%であり、好ましくは6~40質量%、より好ましくは7~35質量%である、付記16に記載の透明接着シート。
(付記18)
リン系酸化防止剤を含有する、付記1から17のいずれか一つに記載の透明接着シート。
(付記19)
前記リン系酸化防止剤の含有割合は、0.1~2質量%であり、好ましくは0.3~1.5質量%である、付記18に記載の透明接着シート。
(付記20)
イミダゾール系硬化剤を含有する、付記1から19のいずれか一つに記載の透明接着シート。
(付記21)
前記イミダゾール系硬化剤の含有割合は、0.1~2質量%であり、好ましくは0.2~1.5質量%である、付記20に記載の透明接着シート。
(付記22)
第1剥離材と、第2剥離材と、これら剥離材の間の、付記1から21のいずれか一つに記載の透明接着シートと、を含む積層構造を有する、剥離材付き透明接着シート。
(付記23)
前記第1剥離材は38m以上の厚さを有し、
前記第2剥離材は25μm以上の厚さを有し、
前記第2剥離材の厚さに対する、前記第1剥離材の厚さの比率は、0.2~1.8であり、好ましくは0.22~1.55、さらに好ましくは0.3~1.6である、付記22に記載の剥離材付き透明接着シート。
(付記24)
前記第1剥離材は、前記透明接着シートに対し、100℃、剥離角度180°および剥離速度300mm/分の条件での剥離試験において0.01N/100mm以上の、好ましくは0.015N/100mm以上の、第1剥離粘着力を示し、
前記第2剥離材は、前記透明接着シートに対し、100℃、剥離角度180°および剥離速度300mm/分の条件での剥離試験において0.04N/100mm以上の第2剥離粘着力を示す、付記22または23に記載の剥離材付き透明接着シート。
(付記25)
前記第2剥離粘着力に対する前記第1剥離粘着力の比率は、0.01~0.75であり、好ましくは0.02~0.7である、付記24に記載の剥離材付き透明接着シート。
(付記26)
前記第2剥離材は、基材と粘着剤層とを含む積層構造を有するダイシングテープであり、
前記透明接着シートは、前記ダイシングテープにおける前記粘着剤層に剥離可能に密着している、付記22から25のいずれか一つに記載の剥離材付き透明接着シート。
(付記27)
前記粘着剤層は、2-エチルヘキシル基を有するアクリル樹脂を含有する、付記26に記載の剥離材付き透明接着シート。
(付記28)
前記粘着剤層の厚さは、5~40μmであり、好ましくは10~30μmである、付記26または27に記載の剥離材付き透明接着シート。
(付記29)
付記1から21のいずれか一つに記載の透明接着シートを使用してガラス部材と他の部材との間を接合する、接合方法。
(付記30)
付記1から21のいずれか一つに記載の透明接着シートを使用して、波長500nmでの透過率が80%以上の透明樹脂部材と他の部材との間を接合する、接合方法。
(付記31)
付記1から21のいずれか一つに記載の透明接着シートを部材に貼り合わせる工程と、
前記部材を前記透明接着シートと共に個片化して透明接着シート付き部材小片を得る工程と、
前記透明接着シート付き部材小片をその透明接着シートを介して他の部材に接合する工程と、を含む接合方法。
1 光学式センサ
1a 検知面
2 透明カバー部材
X1,X2 剥離材付き透明接着シート
10 透明接着シート
11 接着剤層
R1,R2 剥離ライナー
20 ダイシングテープ
21 基材
22 粘着剤層
W ワーク

Claims (13)

  1. アクリル樹脂を含有し、熱硬化性を有し、且つ、150℃で1時間の加熱により熱硬化した状態において波長域450~1200nmでの最低透過率が85%以上であり、
    前記熱硬化した状態において、30℃、相対湿度70%および200時間の条件での吸湿試験を経る前の波長450nmでの透過率に対する、前記吸湿試験を経た後の波長450nmでの透過率の比率が、0.9以上であり、エポキシ樹脂およびフェノール樹脂の少なくとも1つを含有しないか或いは実質的に含有しない、透明接着シート。
  2. アクリル樹脂を含有し、熱硬化性を有し、且つ、150℃で1時間の加熱により熱硬化した状態において波長域450~1200nmでの最低透過率が85%以上であり、
    前記熱硬化した状態において、260℃および5分間の条件での加熱試験を経る前の波長450nmでの透過率に対する、前記加熱試験を経た後の波長450nmでの透過率の比率が、0.9以上であり、エポキシ樹脂およびフェノール樹脂の少なくとも1つを含有しないか或いは実質的に含有しない、透明接着シート。
  3. アクリル樹脂を含有し、熱硬化性を有し、且つ、150℃で1時間の加熱により熱硬化した状態において波長域450~1200nmでの最低透過率が85%以上であり、
    120℃での粘度が1~30kPa・sであり、エポキシ樹脂およびフェノール樹脂の少なくとも1つを含有しないか或いは実質的に含有しない、透明接着シート。
  4. アクリル樹脂を含有し、熱硬化性を有し、且つ、150℃で1時間の加熱により熱硬化した状態において波長域450~1200nmでの最低透過率が85%以上であり、
    前記熱硬化した状態における250℃での貯蔵弾性率が0.5~50MPaであり、エポキシ樹脂およびフェノール樹脂の少なくとも1つを含有しないか或いは実質的に含有しない、透明接着シート。
  5. アクリル樹脂を含有し、熱硬化性を有し、且つ、150℃で1時間の加熱により熱硬化した状態において波長域450~1200nmでの最低透過率が85%以上であり、
    23℃、剥離角度180°および剥離速度30mm/分の条件での剥離試験においてガラス平面に対して1N/10mm以上の剥離粘着力を示し、エポキシ樹脂およびフェノール樹脂の少なくとも1つを含有しないか或いは実質的に含有しない、透明接着シート。
  6. アクリル樹脂を含有し、熱硬化性を有し、且つ、150℃で1時間の加熱により熱硬化した状態において波長域450~1200nmでの最低透過率が85%以上であり、
    150℃で1時間の加熱を経てガラス平面に対して接着された状態における、40℃、相対湿度95%および120時間の条件での吸湿試験を経る前の対ガラスせん断接着力に対する、前記吸湿試験を経た後の対ガラスせん断接着力の比率が、0.6以上である、透明接着シート。
  7. 前記熱硬化した状態において、窒素雰囲気下、昇温速度10℃/分、および昇温範囲23~300℃の条件での熱重量測定における300℃での重量減少率が1.5%以下である、請求項1から6のいずれか一つに記載の透明接着シート。
  8. 前記熱硬化した状態における波長633nmでの屈折率が1.4~1.5である、請求項1から7のいずれか一つに記載の透明接着シート。
  9. 第1剥離材と、第2剥離材と、これら剥離材の間の、請求項1から8のいずれか一つに記載の透明接着シートと、を含む積層構造を有する、剥離材付き透明接着シート。
  10. 前記第1剥離材は38μm以上の厚さを有し、
    前記第2剥離材は25μm以上の厚さを有し、
    前記第2剥離材の厚さに対する、前記第1剥離材の厚さの比率は、0.2~1.8である、請求項9に記載の剥離材付き透明接着シート。
  11. 前記第1剥離材は、前記透明接着シートに対し、100℃、剥離角度180°および剥離速度300mm/分の条件での剥離試験において0.01N/100mm以上の第1剥離粘着力を示し、
    前記第2剥離材は、前記透明接着シートに対し、100℃、剥離角度180°および剥離速度300mm/分の条件での剥離試験において0.04N/100mm以上の第2剥離粘着力を示す、請求項9または10に記載の剥離材付き透明接着シート。
  12. 前記第2剥離粘着力に対する前記第1剥離粘着力の比率は0.01~0.75である、請求項11に記載の剥離材付き透明接着シート。
  13. 前記第2剥離材は、基材と粘着剤層とを含む積層構造を有するダイシングテープであり、
    前記透明接着シートは、前記ダイシングテープにおける前記粘着剤層に剥離可能に密着している、請求項9から12のいずれか一つに記載の剥離材付き透明接着シート。
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