JP7677882B2 - Resin molding device and method for manufacturing resin molded product - Google Patents
Resin molding device and method for manufacturing resin molded product Download PDFInfo
- Publication number
- JP7677882B2 JP7677882B2 JP2021204675A JP2021204675A JP7677882B2 JP 7677882 B2 JP7677882 B2 JP 7677882B2 JP 2021204675 A JP2021204675 A JP 2021204675A JP 2021204675 A JP2021204675 A JP 2021204675A JP 7677882 B2 JP7677882 B2 JP 7677882B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin molding
- molding object
- cameras
- resin
- transport path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Description
本発明は、樹脂成形装置、及び、樹脂成形品の製造方法に関する。 The present invention relates to a resin molding device and a method for manufacturing a resin molded product.
特許文献1に示す半導体素子用の樹脂成形装置では、基板ローダに取り付けたカメラで撮像しながら、基板ローダの位置決め用穴に金型のパイロットピンを挿入して位置合わせをし、基板を金型に載置するように構成されている。そして、この位置合わせの後、樹脂で基板の封止を行っている。 The resin molding device for semiconductor elements shown in Patent Document 1 is configured so that while capturing an image with a camera attached to the substrate loader, pilot pins of a mold are inserted into positioning holes in the substrate loader to align the substrate, and the substrate is then placed on the mold. After this alignment, the substrate is sealed with resin.
上記のように半導体素子が固定された基板では、固定の前後のハンドリングや搬送の際に、基板の隅部が折れ曲がったり、割れ、脱落等の損傷が生じることがある。そして、このような損傷が生じた基板を金型に収容すると、樹脂材料の成形不良や、金型の破損が生じるおそれがある。 As described above, when a substrate having semiconductor elements fixed thereto is handled or transported before or after the elements are fixed, the corners of the substrate may be bent, cracked, or fall off. If a substrate with such damage is placed in a mold, this may result in poor molding of the resin material or damage to the mold.
本発明は、この問題を解決するためになされたものであり、樹脂材料の成形不良や金型の破損を防止することができる、樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法を提供することを目的とする。 The present invention was made to solve this problem, and aims to provide a resin molding device and a method for manufacturing resin molded products that can prevent molding defects in resin materials and damage to molds.
本発明に係る樹脂成形装置は、樹脂成形対象物が搬送される搬送路と、樹脂材料による成形に先立って、前記搬送路に少なくとも一部が配置された樹脂成形対象物を検査する検査部と、を備え、前記検査部は、前記搬送路の上方に配置され、前記樹脂成形対象物の搬送方向と直交する方向に間隔をおいて配置された、少なくとも2つのカメラを備え、前記各カメラにより、前記搬送路上にある前記樹脂成形対象物の異なる検査箇所をそれぞれ撮像するように構成されている。 The resin molding device according to the present invention comprises a transport path along which resin molding objects are transported, and an inspection unit that inspects the resin molding objects, at least a portion of which is placed on the transport path, prior to molding with a resin material. The inspection unit is disposed above the transport path and comprises at least two cameras spaced apart in a direction perpendicular to the transport direction of the resin molding objects, and is configured to capture images of different inspection points of the resin molding objects on the transport path using each of the cameras.
本発明に係る樹脂成形品の製造方法は、樹脂材料による成形に先立って、少なくとも一部が搬送路にある樹脂成形対象物を、当該樹脂成形対象物の搬送方向と直交する方向に間隔をおいて配置された、少なくとも2つのカメラによって撮像を行うステップと、前記撮像によって得られた画像に基づいて、良否判断を行うステップと、前記良否判断において、良品と判断された前記樹脂成形対象物を樹脂成形部に搬送するステップと、前記樹脂成形部において、前記樹脂成形対象物に対し樹脂成形を行うステップと、を備え、前記各カメラにより、前記搬送路上にある前記樹脂成形対象物の異なる検査箇所をそれぞれ撮像するように構成されている。 The method for manufacturing a resin molded product according to the present invention includes the steps of: capturing images of a resin molding object, at least a portion of which is on a transport path, using at least two cameras spaced apart in a direction perpendicular to the transport direction of the resin molding object prior to molding with a resin material; determining pass/fail based on the images captured; transporting the resin molding object determined to be a pass/fail product in the pass/fail determination to a resin molding section; and performing resin molding on the resin molding object in the resin molding section, with each camera configured to capture images of different inspection locations of the resin molding object on the transport path.
本発明によれば、樹脂材料の成形不良や金型の破損を防止することができる。 The present invention can prevent molding defects in resin materials and damage to the mold.
以下、本発明に係る樹脂成形装置の一実施形態について、図面を参照しつつ説明する。また、各図面は、理解の容易のために、適宜対象を省略又は誇張して模式的に描かれていることがある。 One embodiment of a resin molding device according to the present invention will be described below with reference to the drawings. In addition, each drawing may be drawn in a schematic manner with objects appropriately omitted or exaggerated for ease of understanding.
<1.樹脂成形装置の構成>
図1は、本実施形態に係る樹脂成形装置100の概略平面図である。樹脂成形装置100は、半導体チップ、抵抗素子、キャパシタ素子等の電子素子、樹脂封止済みの電子部品(以下、これらを合わせて電子部品と称することとする)が接続された基板(樹脂成形対象物)Wに圧縮成形により樹脂成形(樹脂封止)を施し、樹脂成形品を製造するように構成されている。より詳細に説明すると、基板Wの一方の面に電子部品を固定した後、この面を樹脂で封止する。その後、基板Wの他方の面に電子部品を固定した後、この面を樹脂で封止する。このように、基板Wの各面を樹脂で封止する際に、本実施形態に係る樹脂成形装置100が用いられ、電子部品の基板への固定は他の装置にて行われる。なお、以下の説明では、図1に示すX方向及びY方向にしたがって説明を行うこととする。また、検査部9については、後に詳述する。
1. Configuration of Resin Molding Device
FIG. 1 is a schematic plan view of a resin molding apparatus 100 according to the present embodiment. The resin molding apparatus 100 is configured to perform resin molding (resin sealing) by compression molding on a substrate (resin molding object) W to which electronic elements such as semiconductor chips, resistor elements, and capacitor elements and resin-sealed electronic components (hereinafter, these will be collectively referred to as electronic components) are connected, thereby manufacturing a resin molded product. In more detail, after fixing electronic components to one surface of the substrate W, this surface is sealed with resin. After that, after fixing electronic components to the other surface of the substrate W, this surface is sealed with resin. In this way, when sealing each surface of the substrate W with resin, the resin molding apparatus 100 according to the present embodiment is used, and the electronic components are fixed to the substrate by another device. In the following description, the description will be made according to the X direction and Y direction shown in FIG. 1. The inspection unit 9 will be described in detail later.
ここで用いられる基板Wの一例としては、シリコンウェーハ等の半導体基板、リードフレーム、プリント配線基板、金属製基板、樹脂製基板、ガラス製基板、セラミック製基板等を挙げることができる。基板Wは、FOWLP(Fan Out Wafer Level Packaging)、FOPLP(Fan Out Panel Level Packaging)に用いられるキャリアであってもよい。基板Wにおいては、配線が既に施されていてもよいし、配線が施されていなくてもよい。図2に示すように、基板Wは平面視矩形状に形成され、その四隅には、位置決め用の円形状の第1~第4貫通孔Wa~Wdがそれぞれ形成されている。 Examples of the substrate W used here include semiconductor substrates such as silicon wafers, lead frames, printed wiring boards, metal substrates, resin substrates, glass substrates, ceramic substrates, etc. The substrate W may be a carrier used in FOWLP (Fan Out Wafer Level Packaging) or FOPLP (Fan Out Panel Level Packaging). The substrate W may or may not already have wiring applied thereto. As shown in FIG. 2, the substrate W is formed in a rectangular shape in a plan view, and first to fourth circular through holes Wa to Wd for positioning are formed at the four corners.
図1に示すように、樹脂成形装置100は、基板供給・収納モジュールA(以下、単に「モジュールA」とも称する。)と、2つの樹脂成形モジュールB(以下、単に「モジュールB」とも称する。)と、樹脂材料供給モジュールC(以下、単に「モジュールC」とも称する。)と、第1制御部14と、を有している。第1制御部としては、例えば、PLC(Programmable Logic Controller)、PC(Personal Computer)等を用いることができる。第1制御部14は、CPU(Central Processing Unit)、RAM(Random Access Memory)及びROM(Read Only Memory)等を含み、情報処理に応じてモジュールA~Cの各々の制御を行なうように構成されている。以下、各モジュールA~Cについて詳細に説明する。なお、モジュールの各々は、他のモジュールに着脱可能かつ交換可能である。また、樹脂成形装置100において、モジュールA~Cの各々は増減可能である。 As shown in FIG. 1, the resin molding apparatus 100 has a substrate supply/storage module A (hereinafter also simply referred to as "module A"), two resin molding modules B (hereinafter also simply referred to as "module B"), a resin material supply module C (hereinafter also simply referred to as "module C"), and a first control unit 14. As the first control unit, for example, a PLC (Programmable Logic Controller), a PC (Personal Computer), etc. can be used. The first control unit 14 includes a CPU (Central Processing Unit), a RAM (Random Access Memory), a ROM (Read Only Memory), etc., and is configured to control each of the modules A to C according to information processing. Each of the modules A to C will be described in detail below. Each of the modules is detachable and replaceable with another module. In addition, in the resin molding apparatus 100, each of the modules A to C can be increased or decreased.
<1-1.モジュールA>
モジュールAは、成形前基板Wの供給、及び成形済基板Wの収納を行うモジュールであり、基板供給部1と、基板収納部2と、基板載置部3と、基板搬送機構4と、検査部7と、を有している。基板供給部1は、成形前基板Wを基板載置部3上に供給するように構成されている。基板収納部2は、成形済基板W(樹脂成形品)を収納するように構成されている。基板載置部3は、一例として2枚の基板を載置できるようになっており、基板供給部1から検査部7を経た2枚の基板Wが載置されると、Y方向に移動する。また、基板載置部3は、基板供給部1に対応する位置と基板収納部2に対応する位置との間でY方向に移動するように構成されている。基板搬送機構4は、モジュールAとモジュールBとに亘って、X方向及びY方向に移動するように構成されており、例えば、モジュールAにおいて基板載置部3上の成形前基板Wを保持し、モジュールBに搬送する。あるいは、モジュールBで製造された成形済基板Wを、モジュールAの基板載置部3上に載置する。
<1-1. Module A>
Module A is a module that supplies pre-molding substrates W and stores molded substrates W, and includes a substrate supply unit 1, a substrate storage unit 2, a substrate placement unit 3, a substrate transport mechanism 4, and an inspection unit 7. Substrate supply unit 1 is configured to supply pre-molding substrates W onto substrate placement unit 3. Substrate storage unit 2 is configured to store molded substrates W (resin molded products). Substrate placement unit 3 is configured to be able to place two substrates thereon, for example, and moves in the Y direction when two substrates W that have passed from substrate supply unit 1 through inspection unit 7 are placed thereon. Substrate placement unit 3 is also configured to move in the Y direction between a position corresponding to substrate supply unit 1 and a position corresponding to substrate storage unit 2. Substrate transport mechanism 4 is configured to move in the X direction and the Y direction across module A and module B, and for example, holds pre-molding substrates W on substrate placement unit 3 in module A and transports them to module B. Alternatively, the molded substrate W manufactured in the module B is placed on the substrate placement portion 3 of the module A.
<1-2.モジュールB>
各モジュールBは、樹脂材料の成形を行うモジュールであり、圧縮成形によって成形済基板W(樹脂成形品)を製造する圧縮成形部5を有している。この圧縮成形においては、例えば、黒色の粉粒体状(顆粒状を含む)の公知の樹脂材料Pが用いられる。圧縮成形部5は、上型52と、上型52に対向する下型51と、型締め機構53と、を有している。上型52は、下面に基板Wを保持するように構成されている。一方、下型51は、凹状のキャビティ51Cを形成するための底面部材と側面部材とを有している。すなわち、底面部材がキャビティ51Cの底面を構成し、側面部材がキャビティ51Cの側面を構成する。キャビティ51Cには、後述するように、モジュールCで準備された樹脂材料Pが配置される。そして、型締め機構53は、上型52と、樹脂材料Pが配置された下型51とを型締めするように構成されている。
<1-2. Module B>
Each module B is a module that molds a resin material, and has a compression molding section 5 that manufactures a molded substrate W (a resin molded product) by compression molding. In this compression molding, for example, a known resin material P in a black powder form (including granular form) is used. The compression molding section 5 has an upper mold 52, a lower mold 51 facing the upper mold 52, and a mold clamping mechanism 53. The upper mold 52 is configured to hold the substrate W on its lower surface. On the other hand, the lower mold 51 has a bottom member and a side member for forming a concave cavity 51C. That is, the bottom member forms the bottom surface of the cavity 51C, and the side member forms the side surface of the cavity 51C. In the cavity 51C, the resin material P prepared in the module C is placed, as described later. The mold clamping mechanism 53 is configured to clamp the upper mold 52 and the lower mold 51 in which the resin material P is placed.
<1-3.モジュールC>
モジュールCは、樹脂材料を供給するためのモジュールである。図1に示すように、モジュールCは、移動テーブル61と、樹脂材料収容部62と、樹脂材料供給部63と、を有している。移動テーブル61上には、離型フィルム(図示省略)が配置され、その上に枠状の樹脂材料収容部62が配置される。そして、この樹脂材料収容部62で囲まれる空間621に、樹脂材料供給部63から樹脂材料Pが供給される。空間621に樹脂材料Pが満遍なく敷き詰められたことを確認するためには、例えば、カメラ(図示省略)で樹脂材料Pを上方から撮影し、画像処理によりばらつきを確認することができる。ばらつきが確認された場合には、樹脂材料供給部63からの樹脂材料Pの供給方法を変更することができる。例えば、樹脂材料Pの不足が発生していなかった領域に供給する樹脂材料Pの量を減少させ、樹脂材料Pの不足が発生していた領域に供給する樹脂材料Pの量を増加させることができる。こうして、準備された樹脂材料PがモジュールBへ搬送され、基板Wに成形される。
<1-3. Module C>
The module C is a module for supplying a resin material. As shown in FIG. 1, the module C has a moving table 61, a resin material storage section 62, and a resin material supply section 63. A release film (not shown) is placed on the moving table 61, and a frame-shaped resin material storage section 62 is placed thereon. The resin material P is supplied from the resin material supply section 63 to a space 621 surrounded by the resin material storage section 62. In order to confirm that the resin material P is evenly spread in the space 621, for example, the resin material P can be photographed from above with a camera (not shown) and the variation can be confirmed by image processing. When the variation is confirmed, the method of supplying the resin material P from the resin material supply section 63 can be changed. For example, the amount of the resin material P supplied to the area where the resin material P was not insufficient can be reduced, and the amount of the resin material P supplied to the area where the resin material P was insufficient can be increased. In this way, the prepared resin material P is transported to the module B and formed into a substrate W.
<2.基板の検査部>
次に、モジュールAに設けられた基板Wの検査部7について、図3及び図4を参照しつつ説明する。図3は検査部をY方向から見た側面図、図4は検査部をX方向から見た側面図である。
<2. Board Inspection Section>
Next, the inspection unit 7 for the substrate W provided in the module A will be described with reference to Fig. 3 and Fig. 4. Fig. 3 is a side view of the inspection unit as viewed from the Y direction, and Fig. 4 is a side view of the inspection unit as viewed from the X direction.
上記のように、基板Wには電子部品が固定されるが、その前後のハンドリングや搬送の際に、基板Wの隅部の折れ曲がり、貫通孔Wa~Wd周縁の基板Wの割れ、隅部の脱落等の不良が生じることがある。このような不良が生じると、モジュールBにおける型締めの際に、樹脂材料Pの成形不良や、金型の破損が生じるおそれがある。そこで、検査部7では、型締めに先立って、このような不良の発生を検査するようにしている。具体的には、不良が生じやすい第1~第4貫通孔Wa~Wdとその周囲を検査するようにしている。以下では、図2に示す基板Wの四隅の検査箇所を第1~第4検査箇所S1~S4と称することとする。これら第1~第4検査箇所S1~S4は、第1~第4貫通孔Wa~Wdとその周囲を含むように設定されている。 As described above, electronic components are fixed to the substrate W, but during handling and transportation before and after the electronic components are fixed, defects such as bending of the corners of the substrate W, cracking of the substrate W around the through holes Wa to Wd, and falling off of the corners may occur. If such defects occur, there is a risk of molding defects of the resin material P or damage to the mold when the mold is closed in the module B. Therefore, the inspection unit 7 inspects for the occurrence of such defects prior to the mold closing. Specifically, the first to fourth through holes Wa to Wd, which are prone to defects, and their surroundings are inspected. Hereinafter, the inspection points at the four corners of the substrate W shown in FIG. 2 will be referred to as the first to fourth inspection points S1 to S4. These first to fourth inspection points S1 to S4 are set to include the first to fourth through holes Wa to Wd and their surroundings.
図1に示すように、検査部7は、基板供給部1と基板載置部3との間の搬送路に設けられており、基板供給部1から基板載置部3へ向かってX方向(搬送方向)に搬送される途中に基板Wの検査を行う。図3及び図4に示すように、搬送される基板Wの上方には、Y方向に間隔をおいて配置された第1カメラ71及び第2カメラ72が設けられている。これら第1カメラ71と第2カメラ72のY方向の間隔は、概ね基板WのY方向の幅と同じであり、第1カメラ71が基板Wの第1辺W1よりやや内側の直上に配置され、第2カメラ72が基板Wの第2辺W2よりやや内側の直上に配置されている。但し、両カメラ71,72のY方向の位置は調整可能であり、例えば、基板WのY方向の幅に合わせて、2つのカメラ71,72の間隔を調整可能となっている。 1, the inspection unit 7 is provided on the transport path between the substrate supply unit 1 and the substrate placement unit 3, and inspects the substrate W while it is being transported in the X direction (transport direction) from the substrate supply unit 1 to the substrate placement unit 3. As shown in FIG. 3 and FIG. 4, a first camera 71 and a second camera 72 are provided above the substrate W being transported, spaced apart in the Y direction. The distance between the first camera 71 and the second camera 72 in the Y direction is roughly the same as the width of the substrate W in the Y direction, with the first camera 71 being located directly above and slightly inside the first side W1 of the substrate W, and the second camera 72 being located directly above and slightly inside the second side W2 of the substrate W. However, the positions of both cameras 71 and 72 in the Y direction are adjustable, and for example, the distance between the two cameras 71 and 72 can be adjusted to match the width of the substrate W in the Y direction.
各カメラ71,72は、例えば、CCD(Charge Coupled Device)イメージセンサ又はCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)イメージセンサ等のイメージセンサを含んでいる。 Each camera 71, 72 includes an image sensor such as a CCD (Charge Coupled Device) image sensor or a CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) image sensor.
各カメラ71,72の直下には、それぞれ第1及び第2照明部73,74が配置されている。各照明部73,74は、公知のリング照明により構成されており、リング状の筐体と、筐体の内部に配置されたLED等の光源とを有している。各カメラ71,72は、リング状の筐体の内部空間を介して基板Wの隅部を撮影するようになっている。 Directly below each of the cameras 71 and 72, first and second illumination units 73 and 74 are disposed, respectively. Each of the illumination units 73 and 74 is configured with a known ring illumination and has a ring-shaped housing and a light source such as an LED disposed inside the housing. Each of the cameras 71 and 72 is configured to capture an image of a corner of the substrate W through the internal space of the ring-shaped housing.
また、搬送される基板Wの下方にはバックライトユニット8が配置されている。このバックライトユニット8について、図5及び図6を参照しつつ説明する。図5はバックライトユニットの平面図、図6は図5のA-A線断面図である。 A backlight unit 8 is disposed below the substrate W being transported. This backlight unit 8 will be described with reference to Figures 5 and 6. Figure 5 is a plan view of the backlight unit, and Figure 6 is a cross-sectional view taken along line A-A in Figure 5.
図5及び図6に示すように、バックライトユニット8は、ベースプレート81と、このベースプレート81上にY方向に間隔をおいて配置される一対の支持板82と、各支持板82によってそれぞれ支持される一対のバックライト83,84と、を有している。各バックライト83,84は、第1カメラ71及び第2カメラ72の概ね直下に配置されている。 As shown in Figs. 5 and 6, the backlight unit 8 has a base plate 81, a pair of support plates 82 spaced apart in the Y direction on the base plate 81, and a pair of backlights 83, 84 supported by each of the support plates 82. Each of the backlights 83, 84 is disposed approximately directly below the first camera 71 and the second camera 72.
ベースプレート81にはX方向及びY方向に並ぶ少なくとも4つの貫通孔811が形成されている。各貫通孔811には、ベースプレート81上の下面からネジ85が挿通されており、各ネジ85の先端は、ベースプレート81の上面から突出している。ベースプレート81上に配置される各支持板82には、Y方向に延びる2つのスリット85が平行に形成されている。各スリット85は、支持板82の下面側に形成された幅の狭い第1部位861と、第1部位861の上方に連続し、第1部位861よりも幅の広い第2部位862とを有している。そして、各ネジ85の先端は、下側から各スリット85の第1部位861に挿通され、第2部位862まで延びている。第2部位862において、各ネジ85の先端には、ナット87が取り付けられている。各ナット87の外径は第1部位861の幅よりも大きくなっており、これによってナット87が抜け止めになり、ベースプレート81から支持板82が離脱するのが防止されている。 At least four through holes 811 are formed in the base plate 81 aligned in the X and Y directions. A screw 85 is inserted into each through hole 811 from the bottom surface of the base plate 81, and the tip of each screw 85 protrudes from the top surface of the base plate 81. Two slits 85 extending in the Y direction are formed in parallel in each support plate 82 arranged on the base plate 81. Each slit 85 has a narrow first portion 861 formed on the bottom surface of the support plate 82, and a second portion 862 that is continuous above the first portion 861 and is wider than the first portion 861. The tip of each screw 85 is inserted into the first portion 861 of each slit 85 from the bottom side and extends to the second portion 862. In the second portion 862, a nut 87 is attached to the tip of each screw 85. The outer diameter of each nut 87 is larger than the width of the first portion 861, which prevents the nuts 87 from coming loose and prevents the support plate 82 from coming off the base plate 81.
以上の構成により、各支持板82は、ネジ85、スリット86、及びナット87がガイドになって、バックライト83,84とともにベースプレート81に対してY方向に往復動可能となっている。したがって、各バックライト83,84のY方向の位置は、各カメラ71,72の位置に合わせて調整可能となっている。 With the above configuration, each support plate 82 can move back and forth in the Y direction relative to the base plate 81 together with the backlights 83 and 84, guided by the screws 85, slits 86, and nuts 87. Therefore, the Y direction positions of each backlight 83 and 84 can be adjusted to match the positions of each camera 71 and 72.
また、図3及び図4に示すように、検査部7には、第2制御部75、記憶部76、及びディスプレイ(表示部)77が設けられている。第2制御部75は、CPU、RAM及びROM等を含み、情報処理に応じてカメラ71,72、照明部73,74、バックライト83,84、ディスプレイ77等の制御を行なうように構成されている。記憶部76は、HDD,SSD等の公知の記憶媒体によって構成され、カメラ71,72で撮影された画像等が記憶される。また、ディスプレイ77には検査結果が表示される。 As shown in Figs. 3 and 4, the inspection unit 7 is provided with a second control unit 75, a storage unit 76, and a display (display unit) 77. The second control unit 75 includes a CPU, RAM, ROM, etc., and is configured to control the cameras 71, 72, the illumination units 73, 74, the backlights 83, 84, the display 77, etc. in accordance with information processing. The storage unit 76 is configured with a known storage medium such as an HDD or SSD, and stores images captured by the cameras 71, 72, etc. Furthermore, the display 77 displays the inspection results.
<3.基板の検査方法>
次に、上記のように構成された検査部7による基板の検査について、図7~図9を参照しつつ説明する。図7は検査のフローチャート、図8及び図9は検査工程を示す断面図である。
<3. Circuit Board Inspection Method>
Next, the inspection of the board by the inspection unit 7 configured as above will be described with reference to Figures 7 to 9. Figure 7 is a flowchart of the inspection, and Figures 8 and 9 are cross-sectional views showing the inspection process.
まず、基板供給部1から基板Wを基板載置部3に向けて搬送する。ここで搬送される基板Wの上面には、図示を省略するが電子部品が固定されている。そして、図8に示すように、基板Wを基板載置部3に搬送する過程で、第1及び第2検査箇所S1,S2が第1及び第2カメラ71,72の下方に配置されたときに基板Wを停止する(ステップS01)。このときの基板Wの位置を第1位置と称することとする。基板Wが第1位置で停止すると、第1カメラ71により第1検査箇所S1の撮影を行う(ステップS02)。このとき、第1カメラ71の撮影に同期して、第1照明部73及びバックライト83から光を照射する。バックライト83は主として基板Wの輪郭を目立たせるために用いられ、第1照明部73は、基板Wの損傷の有無を目立たせるために用いられる。撮影された画像は、記憶部76に記憶されるとともに、第2制御部75により良否の判断が行われる。 First, the substrate W is transported from the substrate supply unit 1 toward the substrate placement unit 3. Although not shown, electronic components are fixed to the upper surface of the substrate W being transported here. Then, as shown in FIG. 8, in the process of transporting the substrate W to the substrate placement unit 3, the substrate W is stopped when the first and second inspection points S1, S2 are located below the first and second cameras 71, 72 (step S01). The position of the substrate W at this time is referred to as the first position. When the substrate W stops at the first position, the first camera 71 takes an image of the first inspection point S1 (step S02). At this time, light is emitted from the first illumination unit 73 and the backlight 83 in synchronization with the image taken by the first camera 71. The backlight 83 is mainly used to highlight the outline of the substrate W, and the first illumination unit 73 is used to highlight the presence or absence of damage to the substrate W. The captured image is stored in the memory unit 76, and the second control unit 75 judges whether the substrate W is good or bad.
良否の判断については、種々の方法があるが、ここでは主として3種類の損傷について判断する。損傷のない正常状態では、撮像された画像は図10のようになる。すなわち、基板Wの隅部の輪郭が規定のラインL上にあり、且つ貫通孔Waに割れなどがなく、規定の位置に配置されている。 There are various methods for determining pass/fail, but here we will mainly look at three types of damage. In a normal state without damage, the captured image will look like that shown in Figure 10. That is, the outline of the corner of the substrate W is on the specified line L, and the through hole Wa is free of cracks and is located in the specified position.
図11は基板の割れを示している。すなわち、基板Wの隅部に亀裂が生じており、撮像された画像から亀裂を検出した場合には、割れが生じたとみなし、不良品と判断する。 Figure 11 shows a crack in a substrate. That is, a crack has occurred in a corner of the substrate W, and if a crack is detected in the captured image, it is deemed that a crack has occurred and the substrate is judged to be defective.
図12は基板の脱落を示している。すなわち、基板Wの隅部が欠けており、撮像された画像から欠けを検出した場合には、脱落が生じたとみなし、不良品と判断する。 Figure 12 shows a fallen substrate. That is, if a corner of the substrate W is chipped and the chipping is detected from the captured image, it is assumed that the substrate has fallen off and is determined to be a defective product.
図13は基板の折れ曲がりを示している。すなわち、基板Wの隅部が折れ曲がっている場合には、撮像された画像において、基板Wの隅部の輪郭が規定のラインLから外れるため、このような状態を検出した場合には、折れ曲がりが生じたとみなし、不良品と判断する。 Figure 13 shows a bent substrate. That is, if the corner of the substrate W is bent, the outline of the corner of the substrate W in the captured image will deviate from the specified line L, and therefore, if such a condition is detected, it is deemed that a bend has occurred and the substrate is determined to be defective.
図10~図13に示す画像はディスプレイに表示し、その都度良否を示すことができる。例えば、良品であれば、その旨を示す○、GOODなどの記号や文字を表示したり、不良品であれば、その旨を示す×、BADなどの記号や文字を表示することができる。なお、不良の検出のための画像処理の方法は特には限定されず、公知の方法を適宜適用することができる。例えば、撮影した画像を二値化し,欠け、亀裂、輪郭を検出することで、不良を判断することができる。また、亀裂及び脱落が生じた場合、基板W内の銅配線が露出するため、この銅配線を検出する波長の光(例えば、赤色の光)を第1照明部73及びバックライト83から照射した場合には、銅配線が露出している部分が白くなるような画像を取得できる。そのため、亀裂及び脱落の発生を容易に検出することができる。以上の良否判断は、第2~第4検査箇所S2~S4で撮像された画像の良否判断でも同じであるため、以下ではその説明を省略する。 The images shown in Figs. 10 to 13 can be displayed on a display to indicate pass/fail in each case. For example, if the product is good, a symbol or letter such as O or GOOD can be displayed to indicate that, and if the product is defective, a symbol or letter such as × or BAD can be displayed to indicate that. The method of image processing for detecting defects is not particularly limited, and known methods can be applied as appropriate. For example, defects can be determined by binarizing the captured image and detecting chips, cracks, and contours. In addition, if cracks and detachments occur, the copper wiring in the substrate W is exposed, so when light with a wavelength that detects this copper wiring (e.g., red light) is irradiated from the first illumination unit 73 and the backlight 83, an image can be obtained in which the exposed copper wiring appears white. Therefore, the occurrence of cracks and detachments can be easily detected. The above pass/fail judgment is the same for the pass/fail judgment of images captured at the second to fourth inspection points S2 to S4, so a description thereof will be omitted below.
次に、第2カメラ72により第2検査箇所S2の撮影を行う(ステップS03)。第1検査箇所S1の撮影と同様に、第2カメラ72の撮影に同期して、第2照明部74及びバックライト84から光を照射する。撮影された画像は、記憶部76に記憶されるとともに、上記と同様に第2制御部75により良否の判断が行われる。 Next, the second camera 72 photographs the second inspection location S2 (step S03). As with the photographing of the first inspection location S1, light is emitted from the second illumination unit 74 and the backlight 84 in synchronization with the photographing by the second camera 72. The photographed image is stored in the memory unit 76, and the second control unit 75 judges whether the image is good or bad in the same manner as described above.
続いて、図9に示すように、基板Wを基板載置部3側へ移動し、第3及び第4検査箇所S3,S4が第1及び第2カメラ71,72の下方に配置されたときに基板Wを停止する(ステップS04)。このときの基板Wの位置を第2位置と称することとする。基板Wが第2位置で停止すると、第1検査箇所S1の撮像と同様に、第1カメラ71により第3検査箇所S3の撮影を行う(ステップS05)。これに続いて、第2検査箇所の撮像と同様に、第2カメラ72により第4検査箇所S4の撮影を行う(ステップS06)。 Next, as shown in FIG. 9, the substrate W is moved toward the substrate mounting portion 3, and the substrate W is stopped when the third and fourth inspection points S3, S4 are located below the first and second cameras 71, 72 (step S04). The position of the substrate W at this time is referred to as the second position. When the substrate W stops at the second position, the first camera 71 photographs the third inspection point S3 in the same way as the first inspection point S1 (step S05). Following this, the second camera 72 photographs the fourth inspection point S4 in the same way as the second inspection point (step S06).
こうして、4つの検査箇所S1~S4の撮影が終了すると、基板Wを基板載置部3に移動する。そして、第2制御部75において、4つの検査箇所S1~S4で撮影された画像に不良がないか否かを判断する(ステップS07)。一カ所でも不良があれば(ステップS07のNO)、ディスプレイ77に不良品である旨が表示されるため、作業者または装置の回収機構によって基板Wを回収する(ステップS08)。一方、4つの検査箇所S1~S4のいずれにも不良がない場合(ステップS07のYES)、基板載置部3に2個の良品の基板Wが載置されていれば(ステップS09のYES)、これらをモジュールBに搬送する(ステップS10)。基板載置部に1個しか基板Wが載置されていない場合には(ステップS09のNO)、もう1個の基板Wが搬送されるまで、上記と同様の工程を行う。そして、モジュールBにおいて、電子部品が形成されている面を、樹脂により封止する(ステップS11)。こうして、樹脂による成形が完了する。 After the four inspection points S1 to S4 have been photographed, the substrate W is moved to the substrate placement section 3. The second control section 75 then determines whether there are any defects in the images photographed at the four inspection points S1 to S4 (step S07). If there is even one defect (NO in step S07), the display 77 displays a message indicating that the substrate is defective, and the substrate W is then collected by an operator or the collection mechanism of the device (step S08). On the other hand, if there are no defects at any of the four inspection points S1 to S4 (YES in step S07) and two good substrates W are placed on the substrate placement section 3 (YES in step S09), these are transported to module B (step S10). If only one substrate W is placed on the substrate placement section (NO in step S09), the same process as above is carried out until another substrate W is transported. Then, in module B, the surface on which the electronic components are formed is sealed with resin (step S11). Thus, molding with resin is completed.
以上の説明では、基板Wの一方の面に電子部品が固定され、この面を樹脂で封止する例を説明したが、このように樹脂による封止が行われた基板Wの他方の面には、他の装置において、電子部品が固定される。そして、その基板Wは再び基板供給部1に収容され、上記と同様の工程により、4つの検査箇所S1~S4の検査が行われた後、他の面を樹脂材料で封止する。 In the above explanation, an example has been described in which electronic components are fixed to one surface of the substrate W and this surface is sealed with resin, but electronic components are fixed to the other surface of the substrate W that has been sealed with resin in this manner in another device. The substrate W is then again housed in the substrate supply section 1, and after inspection of the four inspection points S1 to S4 is carried out using the same process as described above, the other surface is sealed with a resin material.
<4.特徴>
本実施形態に係る樹脂成形装置100によれば、次の効果を得ることができる。
<4. Features>
According to the resin molding apparatus 100 of this embodiment, the following effects can be obtained.
(1)樹脂材料Pによる成形に先立って、基板Wの四隅に損傷のある不良品を検出できるため、このような不良品を取り除くことができる。そのため、モジュールBにおける型締めの際に、このような不良品の発生に基づく、樹脂材料Pの成形不良や、型の破損が生じるのを防止することができる。 (1) Prior to molding with resin material P, defective products with damage to the four corners of the substrate W can be detected, and such defective products can be removed. This makes it possible to prevent molding defects in the resin material P and damage to the mold due to the occurrence of such defective products when the mold is closed in module B.
(2)カメラを2台設け、隣接する隅部を1カ所ずつ撮影しているため、各カメラ71,72の基板Wからの位置を低くすることができる。例えば、1台のカメラで2つの隅部を撮影しようとすると、図14に示すように、カメラ101の撮影範囲に2つの隅部が入るようにしなければならないため、カメラ101を基板Wから離れた高い位置に配置しなければならない。そうすると、樹脂成形装置100の構造によっては、カメラ101を配置できないおそれがある。これに対して、本実施形態のように、2台のカメラ71,72を用い、各カメラ71,72で各隅部を撮影するように構成すると、カメラ71,72の位置を低くすることができる。 (2) Since two cameras are provided and each captures an image of one adjacent corner, the position of each camera 71, 72 from the substrate W can be lowered. For example, when attempting to capture two corners with one camera, the two corners must be within the capture range of the camera 101 as shown in FIG. 14, so the camera 101 must be placed at a high position away from the substrate W. Depending on the structure of the resin molding device 100, this may make it impossible to position the camera 101. In contrast, by using two cameras 71, 72 as in this embodiment and configuring each camera 71, 72 to capture an image of each corner, the positions of the cameras 71, 72 can be lowered.
(3)第1カメラ71で撮像を行うタイミングと第2カメラ72で撮影を行うタイミングとをずらしているため、照明部73,74やバックライト83,84による撮像画像に対する悪影響をなくすことができる。例えば、第1カメラ71と第2カメラ72で同時に撮像を行う場合、第1カメラ71の撮像に,第2照明部74の光が影響を及ぼし、適切な画像を取得できないおそれがある。これに対して、第1カメラ71及び第2カメラ72で撮影を行うタイミングをずらすと、隣の照明部73,74やバックライト83,84による影響を受けないため、適切な画像を撮像することができる。 (3) Since the timing of capturing images by the first camera 71 and the second camera 72 are staggered, adverse effects on captured images caused by the illumination units 73, 74 and backlights 83, 84 can be eliminated. For example, when capturing images simultaneously by the first camera 71 and the second camera 72, the light from the second illumination unit 74 may affect the image captured by the first camera 71, which may result in an inappropriate image not being captured. In contrast, staggering the timing of capturing images by the first camera 71 and the second camera 72 allows an appropriate image to be captured without being affected by the adjacent illumination units 73, 74 and backlights 83, 84.
(4)第1及び第2照明部73,74にはリング照明を採用しているため、検査箇所S1~S4に対して360度に亘って斜めから光を照射することができる。これにより、影が生じるのを抑制でき、検査を行いやすい画像を取得することができる。 (4) The first and second illumination units 73 and 74 use ring illumination, so light can be irradiated obliquely over 360 degrees onto the inspection points S1 to S4. This makes it possible to prevent shadows from appearing and to obtain images that are easy to inspect.
(5)基板Wの良否をディスプレイ77で示すことができるため、作業者がその都度良否を視認することができる。 (5) The quality of the substrate W can be shown on the display 77, allowing the worker to visually check the quality each time.
<5.変形例>
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて、種々の変更が可能である。例えば、以下の変更が可能である。また、以下の変形例の要旨は適宜組み合わせることができる。
5. Modifications
Although one embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications are possible without departing from the spirit of the present invention. For example, the following modifications are possible. In addition, the gist of the following modifications can be combined as appropriate.
(1)上記実施形態で示した基板は一例であり、種々の形態の基板に対して検査を行うことができる。例えば、貫通孔Wa~Wdの位置や数は特には限定されず、基板Wの周縁のいずれかに形成されていればよい。また、貫通孔が形成されていない基板Wであってもよく、このような基板Wであっても、周縁部は損傷しやすいため、検査を行うことには意義がある。 (1) The substrate shown in the above embodiment is just one example, and inspection can be performed on substrates of various shapes. For example, the positions and number of the through holes Wa to Wd are not particularly limited, and they may be formed anywhere on the periphery of the substrate W. It is also possible for the substrate W to have no through holes formed therein, and even with such a substrate W, it is meaningful to perform inspection since the periphery is easily damaged.
(2)検査箇所S1~S4は、上記実施形態に限定されるものではなく、四隅以外の他の位置を検査してもよい。例えば、四隅以外に貫通孔が形成されている場合には、その貫通孔が形成されている位置を検査してもよい。また、貫通孔が形成されていない箇所であってもよく、基板Wの周縁、例えば、第1辺W1及び第2辺W2のいずれかの位置の検査を行うこともできる。したがって、検査箇所は、上記実施形態のような4つに限定されず、3以下、または5以上であってもよい。そして、検査箇所の数に合わせて、基板をその都度停止し、撮像を行えばよい。 (2) The inspection points S1 to S4 are not limited to those in the above embodiment, and other positions besides the four corners may be inspected. For example, if a through hole is formed in a position other than the four corners, the position where the through hole is formed may be inspected. It is also possible to inspect a position where no through hole is formed, and to inspect the periphery of the substrate W, for example, a position on either the first side W1 or the second side W2. Therefore, the number of inspection points is not limited to four as in the above embodiment, and may be three or less, or five or more. Then, the substrate may be stopped each time and images may be taken according to the number of inspection points.
(3)上記実施形態では、2台のカメラ71,72をY方向に並べて配置しているが、これに限定されるものではなく、例えば、図15に示すように、2台のカメラ71,72をX方向にずらして配置することもできる。例えば、Y方向の幅が狭い基板では、第1照明部73と第2照明部74とが干渉したり、あるいは2台のカメラ71,72が干渉するおそれがあるが、図15に示すようにカメラ71,72を配置すると、このような干渉を防止することができる。すなわち、2台のカメラ71,72は搬送方向と直交する方向だけでなく、交差する方向に間隔をおいて配置されていればよい。但し、このように2台のカメラ71,72のX方向の位置をずらすと、四隅を撮像するには、基板Wを4回停止する必要がある。また、必要に応じて3台以上のカメラを用いることもできる。 (3) In the above embodiment, the two cameras 71 and 72 are arranged side by side in the Y direction, but this is not limited thereto. For example, as shown in FIG. 15, the two cameras 71 and 72 can be arranged offset in the X direction. For example, in a substrate with a narrow width in the Y direction, the first lighting unit 73 and the second lighting unit 74 may interfere with each other, or the two cameras 71 and 72 may interfere with each other. However, by arranging the cameras 71 and 72 as shown in FIG. 15, such interference can be prevented. That is, the two cameras 71 and 72 may be arranged at intervals not only in a direction perpendicular to the transport direction, but also in a direction intersecting the transport direction. However, if the positions of the two cameras 71 and 72 in the X direction are offset in this way, the substrate W needs to be stopped four times to capture the four corners. Also, three or more cameras can be used as necessary.
(4)第1及び第2照明部73,74としては、リング照明以外でも適用可能であり、例えば、同軸照明、ドーム照明、バー照明などを適用することができる。なお、バックライト83,84を設けないようにすることもできる。 (4) The first and second lighting units 73, 74 can be other than ring lighting, and can be, for example, coaxial lighting, dome lighting, bar lighting, etc. Note that it is also possible not to provide the backlights 83, 84.
(5)上記実施形態では、第1及び第2カメラの撮像のタイミングをずらしているが、同時に撮影を行うこともできる。但し、上述したような照明部による悪影響を低減するため、2つのカメラ71,72、照明部73,74等の間に仕切りなどを設けることが好ましい。 (5) In the above embodiment, the timing of the image capture by the first and second cameras is staggered, but they can also capture images simultaneously. However, in order to reduce the adverse effects of the lighting unit as described above, it is preferable to provide a partition or the like between the two cameras 71, 72 and the lighting units 73, 74, etc.
(6)上記実施形態では、圧縮成形による樹脂成形を行う樹脂成形装置について説明したが、トランスファ成形にて樹脂成形を行う樹脂成形装置にも適用することができる。 (6) In the above embodiment, a resin molding device that performs resin molding by compression molding was described, but the present invention can also be applied to a resin molding device that performs resin molding by transfer molding.
71 第1カメラ
72 第2カメラ
73 第1照明部(上部照明部)
74 第2照明部(上部照明部)
77 ディスプレイ(表示部)
83,84 バックライト(下部照明部)
100 樹脂成形装置
W 基板
71 First camera 72 Second camera 73 First lighting unit (upper lighting unit)
74 Second lighting section (upper lighting section)
77 Display (display unit)
83, 84 Backlight (lower lighting section)
100 Resin molding device W Substrate
Claims (10)
樹脂材料による成形に先立って、前記搬送路に少なくとも一部が配置された樹脂成形対象物を検査する検査部と、
を備え、
前記検査部は、前記搬送路の上方に配置され、前記樹脂成形対象物の搬送方向と直交する方向に間隔をおいて配置された、少なくとも2つのカメラを備え、
前記各カメラにより、前記搬送路上で搬送中に停止する前記樹脂成形対象物の異なる検査箇所をそれぞれ撮像した後、
前記樹脂成形対象物を前記搬送路上で移動させた後、停止させ、前記樹脂成形対象物における前記検査箇所とは異なる検査箇所を、前記各カメラによってそれぞれ撮像するように構成されている、樹脂成形装置。 a conveying path along which the resin molding object is conveyed;
an inspection unit that inspects a resin molding object, at least a part of which is disposed on the transport path, prior to molding using a resin material;
Equipped with
the inspection unit is disposed above the transport path and includes at least two cameras spaced apart in a direction perpendicular to a transport direction of the resin molding object,
After capturing images of different inspection points of the resin molding object stopped during transportation on the transportation path by the respective cameras,
A resin molding apparatus configured to move the resin molding object on the conveying path, stop the object, and capture images of inspection points on the resin molding object that are different from the inspection points using each of the cameras.
樹脂材料による成形に先立って、前記搬送路に少なくとも一部が配置された樹脂成形対象物を検査する検査部と、
を備え、
前記検査部は、前記搬送路の上方に配置され、前記樹脂成形対象物の搬送方向と直交する方向に間隔をおいて配置された、少なくとも2つのカメラを備え、
前記各カメラにより、前記搬送路上で搬送中に停止する前記樹脂成形対象物の前記搬送方向の下流側を向く2つの隅部をそれぞれ撮像した後、
前記樹脂成形対象物を前記搬送路上で移動させた後、停止させ、前記樹脂成形対象物の前記搬送方向の上流側を向く2つの隅部を、前記各カメラによってそれぞれ撮像するように構成されている、樹脂成形装置。 a conveying path along which a rectangular resin molding object is conveyed;
an inspection unit that inspects a resin molding object, at least a part of which is disposed on the transport path, prior to molding using a resin material;
Equipped with
the inspection unit is disposed above the transport path and includes at least two cameras spaced apart in a direction perpendicular to a transport direction of the resin molding object,
After capturing images of two corners of the resin molding object stopped during transport on the transport path by the cameras, the corners facing the downstream side in the transport direction of the resin molding object are captured.
A resin molding apparatus configured to move the resin molding object on the conveying path, stop the object, and capture images of two corners of the resin molding object facing upstream in the conveying direction by each of the cameras.
樹脂材料による成形に先立って、前記搬送路に少なくとも一部が配置された樹脂成形対象物を検査する検査部と、
を備え、
前記検査部は、前記搬送路の上方に配置され、前記樹脂成形対象物の搬送方向と直交する方向に間隔をおいて配置された、少なくとも2つのカメラを備え、
前記各カメラにより、前記搬送路上で搬送中に停止する前記樹脂成形対象物の異なる検査箇所を、それぞれ異なるタイミングで撮像するように構成されている、樹脂成形装置。 a conveying path along which the resin molding object is conveyed;
an inspection unit that inspects a resin molding object, at least a part of which is disposed on the transport path, prior to molding using a resin material;
Equipped with
the inspection unit is disposed above the transport path and includes at least two cameras spaced apart in a direction perpendicular to a transport direction of the resin molding object,
The resin molding apparatus is configured so that each of the cameras captures an image of a different inspection point of the resin molding object that stops during transport on the transport path at a different timing.
樹脂材料による成形に先立って、前記搬送路に少なくとも一部が配置された樹脂成形対象物を検査する検査部と、
を備え、
前記検査部は、前記搬送路の上方に配置され、前記樹脂成形対象物の搬送方向と直交する方向に間隔をおいて配置された、少なくとも2つのカメラを備え、
前記各カメラにより、前記搬送路上にある前記樹脂成形対象物の異なる検査箇所をそれぞれ撮像するように構成されており、
前記検査部は、前記樹脂成形対象物に上方から撮像用の光を照射する2つの上部照明部をさらに備え、
前記各上部照明部は、前記2つのカメラのそれぞれに対応するように配置され、
前記搬送方向と直交する方向において、前記2つの上部照明部の間隔を変更可能に構成されている、樹脂成形装置。 a conveying path along which the resin molding object is conveyed;
an inspection unit that inspects a resin molding object, at least a part of which is disposed on the transport path, prior to molding using a resin material;
Equipped with
the inspection unit is disposed above the transport path and includes at least two cameras spaced apart in a direction perpendicular to a transport direction of the resin molding object,
The cameras are configured to capture images of different inspection points of the resin molding object on the transport path,
The inspection unit further includes two upper illumination units that irradiate the resin molding object with light for imaging from above,
Each of the upper lighting units is disposed to correspond to each of the two cameras,
A resin molding apparatus configured to be able to change the distance between the two upper illumination units in a direction perpendicular to the conveying direction.
樹脂材料による成形に先立って、前記搬送路に少なくとも一部が配置された樹脂成形対象物を検査する検査部と、
を備え、
前記検査部は、前記搬送路の上方に配置され、前記樹脂成形対象物の搬送方向と直交する方向に間隔をおいて配置された、少なくとも2つのカメラを備え、
前記各カメラにより、前記搬送路上にある前記樹脂成形対象物の異なる検査箇所をそれぞれ撮像するように構成されており、
前記検査部は、前記樹脂成形対象物に下方から撮像用の光を照射する2つの下部照明部をさらに備え、
前記各下部照明部は、前記2つのカメラのそれぞれに対応するように配置され、
前記搬送方向と直交する方向において、前記2つの下部照明部の間隔を変更可能に構成されている、樹脂成形装置。 a conveying path along which the resin molding object is conveyed;
an inspection unit that inspects a resin molding object, at least a part of which is disposed on the transport path, prior to molding using a resin material;
Equipped with
the inspection unit is disposed above the transport path and includes at least two cameras spaced apart in a direction perpendicular to a transport direction of the resin molding object,
The cameras are configured to capture images of different inspection points of the resin molding object on the transport path,
The inspection unit further includes two lower illumination units that irradiate the resin molding object with light for imaging from below,
Each of the lower illumination units is disposed to correspond to each of the two cameras,
The resin molding apparatus is configured so that the distance between the two lower illumination units can be changed in a direction perpendicular to the transport direction.
樹脂材料による成形に先立って、前記搬送路に少なくとも一部が配置された樹脂成形対象物を検査する検査部と、
表示部と、
を備え、
前記検査部は、前記搬送路の上方に配置され、前記樹脂成形対象物の搬送方向と直交する方向に間隔をおいて配置された、少なくとも2つのカメラを備え、
前記各カメラにより、前記搬送路上にある前記樹脂成形対象物の異なる検査箇所をそれぞれ撮像するように構成されており、
前記表示部は、前記カメラにより撮像した画像と、前記画像に基づく前記樹脂成形対象物の良否判断結果と、を表示するように構成されている、樹脂成形装置。 a conveying path along which the resin molding object is conveyed;
an inspection unit that inspects a resin molding object, at least a part of which is disposed on the transport path, prior to molding using a resin material;
A display unit;
Equipped with
the inspection unit is disposed above the transport path and includes at least two cameras spaced apart in a direction perpendicular to a transport direction of the resin molding object,
The cameras are configured to capture images of different inspection points of the resin molding object on the transport path,
The display unit is configured to display an image captured by the camera and a pass/fail judgment result for the resin molding object based on the image.
樹脂材料による封止に先立って、少なくとも一部が搬送路にある樹脂成形対象物を、当該樹脂成形対象物の搬送方向と直交する方向に間隔をおいて配置された、少なくとも2つのカメラによって撮像を行うステップと、
前記撮像によって得られた画像に基づいて、良否判断を行うステップと、
前記良否判断において、良品と判断された前記樹脂成形対象物を樹脂成形部に搬送するステップと、
前記樹脂成形部において、前記樹脂成形対象物に対し樹脂成形を行うステップと、
を備え、
前記各カメラにより、前記搬送路上にある前記樹脂成形対象物の異なる検査箇所をそれぞれ撮像するように構成されている、樹脂成形品の製造方法。 A method for manufacturing a resin molded product using the resin molding apparatus according to any one of claims 1 to 6, comprising the steps of:
a step of capturing an image of a resin molding object, at least a portion of which is on a transport path, using at least two cameras arranged at an interval in a direction perpendicular to a transport direction of the resin molding object, prior to sealing with a resin material;
A step of determining whether the image is good or bad based on the image obtained by the imaging.
transporting the resin molding object determined to be a non-defective product in the quality determination to a resin molding section;
performing resin molding on the resin molding object in the resin molding section;
Equipped with
A method for manufacturing a resin molded product, wherein each of the cameras is configured to capture an image of a different inspection point of the resin molded object on the transport path.
前記撮像によって得られた画像に基づいて、良否判断を行うステップと、
前記良否判断において、良品と判断された前記樹脂成形対象物を樹脂成形部に搬送するステップと、
前記樹脂成形部において、前記樹脂成形対象物に対し樹脂成形を行うステップと、
を備え、
前記各カメラにより、前記搬送路上にある前記樹脂成形対象物の異なる検査箇所をそれぞれ撮像するように構成されており、
前記撮像を行うステップでは、一方の面に樹脂成形がなされた前記樹脂成形対象物の撮像を行い、
前記樹脂成形を行うステップでは、前記樹脂成形対象物の他方の面に樹脂成形を行う、樹脂成形品の製造方法。
a step of capturing an image of a resin molding object, at least a portion of which is on a transport path, using at least two cameras arranged at an interval in a direction perpendicular to a transport direction of the resin molding object, prior to sealing with a resin material;
A step of determining whether the image is good or bad based on the image obtained by the imaging.
transporting the resin molding object determined to be a non-defective product in the quality determination to a resin molding section;
performing resin molding on the resin molding object in the resin molding section;
Equipped with
The cameras are configured to capture images of different inspection points of the resin molding object on the transport path,
In the step of imaging, an image of the resin molding object having one surface on which resin molding has been performed is captured,
In the step of performing resin molding, resin molding is performed on the other surface of the resin molding object.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021204675A JP7677882B2 (en) | 2021-12-16 | 2021-12-16 | Resin molding device and method for manufacturing resin molded product |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021204675A JP7677882B2 (en) | 2021-12-16 | 2021-12-16 | Resin molding device and method for manufacturing resin molded product |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2023089883A JP2023089883A (en) | 2023-06-28 |
| JP7677882B2 true JP7677882B2 (en) | 2025-05-15 |
Family
ID=86936493
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2021204675A Active JP7677882B2 (en) | 2021-12-16 | 2021-12-16 | Resin molding device and method for manufacturing resin molded product |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP7677882B2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7837303B2 (en) * | 2023-08-24 | 2026-03-30 | Towa株式会社 | Resin molding apparatus, method for manufacturing resin molded products, and program |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006153605A (en) | 2004-11-29 | 2006-06-15 | Dainippon Printing Co Ltd | Inspection method and inspection apparatus |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06823A (en) * | 1992-04-24 | 1994-01-11 | Sony Corp | Preserving device of mold |
-
2021
- 2021-12-16 JP JP2021204675A patent/JP7677882B2/en active Active
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006153605A (en) | 2004-11-29 | 2006-06-15 | Dainippon Printing Co Ltd | Inspection method and inspection apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2023089883A (en) | 2023-06-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP7018784B2 (en) | Contact accuracy assurance method and inspection equipment | |
| CN100573236C (en) | Visual inspection device and method of inspecting display panel using visual inspection device | |
| KR102276620B1 (en) | Transport system for flipping and multi-inspecting electronic devices | |
| TWI678746B (en) | Semiconductor manufacturing device and method for manufacturing semiconductor device | |
| TWI428707B (en) | Pre - alignment device and pre - alignment method | |
| JP4007526B2 (en) | 6-side inspection system for chips | |
| TWI386641B (en) | Method and system for the inspection of integrated circuit devices having leads | |
| TWI858453B (en) | Semiconductor manufacturing device, inspection device, and semiconductor device manufacturing method | |
| KR20140090808A (en) | Vision Inspection and Sorting System for LED Package | |
| TW201432252A (en) | Substrate defect inspection method, substrate defect inspection device, program, and computer memory medium | |
| CN103376260A (en) | Semiconductor package inspecting device and semiconductor package inspecting method using the same | |
| JP7677882B2 (en) | Resin molding device and method for manufacturing resin molded product | |
| TWI579556B (en) | Substrate defect analysis device, substrate processing system, substrate defect analysis method, program, and computer storage medium | |
| JP2014109436A (en) | Substrate defect inspection method, substrate defect inspection device, program, and computer storage medium | |
| JP7826156B2 (en) | Mounting device and semiconductor device manufacturing method | |
| TWI857292B (en) | Resin molding device and method for manufacturing resin molded product | |
| CN1102239C (en) | Automatic handler and method of measuring devices using the same | |
| TW201544806A (en) | Side photographing device of electronic component package | |
| TWI774517B (en) | Inspection device, resin molding apparatus, and method of manufacturing resin molded product | |
| TW202312307A (en) | Maintenance method and method for manufacturing electronic component | |
| KR100856528B1 (en) | Automatic inspection system of electronic parts | |
| KR100417764B1 (en) | An apparatus and a method for defect inspection | |
| TWI808864B (en) | Calibration method, and manufacturing method of electronic component | |
| US20240276695A1 (en) | Flux transfer apparatus, flux transfer method, and mounting apparatus | |
| TW202217464A (en) | Inspection device and substrate conveyance method |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20231225 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20240830 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20240903 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20241028 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20241107 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20250121 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20250312 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20250408 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20250501 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7677882 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |