JP7691666B2 - Inspection device and inspection method - Google Patents
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Description
この発明はＳＵＱＵＩＤ式等の磁気センサを用いた検査装置及びその検査方法の改良に関する。 This invention relates to improvements to inspection devices and inspection methods that use magnetic sensors such as SUQUID sensors.
非破壊型の検査装置の一種として磁気センサを用いるものがある。
例えば特許文献１には、ＳＵＱＵＩＤ式の磁気センサを用いる検査装置が提案されている。かかる磁気センサを用いることにより、被検体内の微細な異物を検出できる。
特許文献１に開示される検査装置では、磁気シールド内に磁気センサを配置して、この磁気センサの磁気的視野（感度領域）へ線状の被検体を通過させることで、線状の被検体内の微細な異物の検出を行っている。
なお、本発明に関連する先行文献として特許文献２を参照されたい。
One type of non-destructive inspection device uses a magnetic sensor.
For example, Patent Document 1 proposes an inspection device that uses a SUQUID type magnetic sensor. By using such a magnetic sensor, minute foreign objects inside a test object can be detected.
In the inspection device disclosed in Patent Document 1, a magnetic sensor is placed inside a magnetic shield, and a linear specimen is passed through the magnetic field of view (sensitivity area) of this magnetic sensor to detect minute foreign objects inside the linear specimen.
Please refer to Patent Document 2 as a prior art document related to the present invention.
特許文献１ 特許第３１５２０７４号公報
特許文献２ 特許第５１４５５５２号公報
Patent Document 1 Patent No. 3152074 Patent Document 2 Patent No. 5145552
微細な異物の検出が求められる被検体は線状のものに限られない。
特許文献１の例において、線状の被検体を幅広のものに置換すると、その幅に応じて磁気センサの視野の幅を広げることとなる。
個々の磁気センサは狭い範囲の視野しか持たないので、広い視野を得るには複数の磁気センサを線状に並べる必要がある（磁気センサのアレイ）。
しかしながら、磁気センサは高額であるためアレイを構成する磁気センサの数はできるだけ少なくしたい。
The specimen for which detection of minute foreign matter is required is not limited to linear objects.
In the example of Patent Document 1, if the linear object is replaced with a wider one, the width of the field of view of the magnetic sensor is increased in accordance with the width of the linear object.
Since each individual magnetic sensor has only a narrow field of view, to obtain a wide field of view, it is necessary to arrange multiple magnetic sensors in a line (magnetic sensor array).
However, since magnetic sensors are expensive, it is desirable to minimize the number of magnetic sensors constituting the array.
また、視野を広くとるためアレイの幅を広げると、そこに配置すべき磁気センサの数が多くなる。その結果、全ての磁気センサの環境を同じにすることが困難になる。環境が異なれば、磁気センサの感度に違いが生じかねない。例えば、磁気シールド内においても壁からの距離の如何によって外部の磁場の影響が異なってくる。その結果、アレイを構成する磁気センサの数が多くなればなるほど、各磁気センサの感度にバラツキが生じやすくなる。この点からも、検査装置に用いられる磁気センサの数をできる限り少なくすることが望まれる。 In addition, if the width of the array is increased to widen the field of view, the number of magnetic sensors that need to be placed there will increase. As a result, it becomes difficult to make the environment of all the magnetic sensors the same. Different environments can lead to differences in the sensitivity of the magnetic sensors. For example, even within a magnetic shield, the effect of the external magnetic field varies depending on the distance from the wall. As a result, the more magnetic sensors that make up the array, the more likely it is that the sensitivity of each magnetic sensor will vary. For this reason, it is desirable to keep the number of magnetic sensors used in an inspection device as small as possible.
この発明はかかる課題を解決すべくなされたものである。
この発明の第１の局面は次のように規定される。即ち、
被検体の磁気的特性を検査する検査装置であって、
磁気センサと、
前記磁気センサに対向して回転し、前記被検体が載置される被検体テーブルと
前記磁気センサ及び前記被検体テーブルを囲繞する磁気シールドと、を備え、
前記磁気センサの視野は、前記被検体テーブルの回転中心から、前記被検体テーブル面に平行、かつ放射状に延びる線に対向している、検査装置。
The present invention has been made to solve such problems.
The first aspect of the present invention is defined as follows:
An inspection apparatus for inspecting magnetic properties of a test object, comprising:
A magnetic sensor;
a subject table that rotates facing the magnetic sensor and on which the subject is placed; and a magnetic shield that surrounds the magnetic sensor and the subject table,
An inspection apparatus, wherein the field of view of the magnetic sensor faces a line extending radially from the center of rotation of the test table in parallel with a surface of the test table.
このように規定される第１の局面の検査装置によれば、被検体は被検体テーブルにのせられて回転される。ここに、被検体テーブルの回転中心から、前記被検体テーブル面に平行、かつ放射状に延びる線に磁気センサの視野を対向させている。例えば被検体テーブルを円形として、その円の中心から外周へ延びる直線に磁気センサの視野を対向させる。このとき、磁気センサの長さは円形テーブルの半径の長さとなる。被検体が円形テーブルの直径と等しいときであっても、被検体テーブルを回転させることにより、被検体テーブルの半径をカバーする視野の磁気センサで被検体の全体をカバーできる。
これにより、磁気センサの数を可及的に少なくすることができる。
かかる磁気センサにより被検体の磁気的特性が検査される。ここに磁気的特性とは、被検体を特徴つける磁気的特性であって、例えば被検体に存在する異物の量、大きさ、位置等が該当する。その他、被検体の形成材料自体の組成変化（磁気的変化として顕れるもの）も該当する。
According to the inspection apparatus of the first aspect thus defined, the test object is placed on the test object table and rotated. The field of view of the magnetic sensor is made to face a line extending radially from the center of rotation of the test object table, parallel to the surface of the test object table. For example, the test object table is circular, and the field of view of the magnetic sensor is made to face a straight line extending from the center of the circle to the outer periphery. In this case, the length of the magnetic sensor is the length of the radius of the circular table. Even when the test object is equal to the diameter of the circular table, by rotating the test object table, the entire test object can be covered by a magnetic sensor with a field of view covering the radius of the test object table.
This makes it possible to reduce the number of magnetic sensors as much as possible.
Such a magnetic sensor is used to inspect the magnetic properties of a specimen. The magnetic properties here refer to magnetic properties that characterize the specimen, such as the amount, size, and position of foreign matter present in the specimen, as well as changes in the composition of the material that constitutes the specimen (which are manifested as magnetic changes).
この発明の第２の局面は次のように規定される。即ち、
第１の局面に規定の検査装置において、前記磁気センサはＳＱＵＩＤ式の磁気センサであり、
前記被検体テーブルの回転周波数は商用周波数およびその整数倍の周波数を除いた周波数とする。
このように規定される第２の局面の検査装置によれば、磁気センサとしてＳＵＱＵＩＤ式のものを採用することにより、検査対象に存在する異物を高感度で検出可能となる。
被検体テーブルを所定の回転周波数で回転させることにより、被検体に存在する異物が所定の周波数で磁気センサの視野を通過する。その結果、磁気センサが検出する信号において当該周波数で繰り返し検出されるものが被検体に存在する異物に対応することがわかる。ここに、ＳＵＱＵＩＤ式の磁気センサを採用した場合、その駆動周波数内（例えば５０ｋＨｚ以下）に被検体テーブルの回転周波数を収めることが好ましい。なお、回転周波数を１０Ｈｚ以下とすると、１／ｆノイズと呼ばれるノイズの影響で感度が低くなる。また、検査装置の使用環境には常に商用電力の周波数（５０Ｈｚ又は６０Ｈｚ等）及びその高調波に起因する整数倍の周波数の磁場が存在する。即ち、被検体テーブルを、かかる商用周波数およびその整数倍の周波数を除いた周波数で回転させることにより、外部磁場の影響を確実に排除できる。もって、ＳＵＱＵＩＤ式の磁気センサに高い感度を確保する。
The second aspect of the present invention is defined as follows:
In the inspection apparatus according to the first aspect, the magnetic sensor is a SQUID type magnetic sensor,
The rotation frequency of the subject table is a frequency excluding commercial frequencies and frequencies that are integral multiples of commercial frequencies.
According to the inspection device of the second aspect thus defined, by employing a SUQUID type magnetic sensor, it becomes possible to detect foreign matter present in the inspection object with high sensitivity.
By rotating the test table at a predetermined rotation frequency, foreign matter present in the test subject passes through the field of view of the magnetic sensor at the predetermined frequency. As a result, it is found that the signal detected by the magnetic sensor repeatedly at the frequency corresponds to the foreign matter present in the test subject. In this case, when a SUQUID type magnetic sensor is adopted, it is preferable to set the rotation frequency of the test table within the driving frequency (for example, 50 kHz or less). If the rotation frequency is set to 10 Hz or less, the sensitivity is reduced due to the influence of noise called 1/f noise. In addition, in the usage environment of the inspection device, there are always magnetic fields of the commercial power frequency (50 Hz or 60 Hz, etc.) and integer multiple frequencies caused by its harmonics. In other words, by rotating the test table at a frequency excluding the commercial frequency and its integer multiple frequencies, the influence of the external magnetic field can be reliably eliminated. Thus, high sensitivity is ensured for the SUQUID type magnetic sensor.
この発明の第３の局面は次のように規定される。即ち、第１又は第２の局面に規定される検査装置において、前記被検体テーブルに対し前記被検体を搬入し、前記被検体を搬出する被検体フィーダが更に備えられ、
前記磁気シールドの側壁には前記被検体フィーダが通過する通過窓が形成される。
このように規定される第３の局面に規定の検査装置によれば、被検体フィーダを用いて被検体を被検体テーブルまで搬入し、かつ被検体テーブルから被検体を搬出することで、検査のスループットが向上する。
A third aspect of the present invention is defined as follows: That is, in the inspection apparatus defined in the first or second aspect, a subject feeder that carries the subject onto the subject table and carries the subject out,
A passage window through which the subject feeder passes is formed in a side wall of the magnetic shield.
According to the testing apparatus defined in the third aspect thus defined, the test throughput is improved by using the test subject feeder to transport the test subject to the test subject table and transporting the test subject from the test subject table.
この発明の第４の局面は次のように規定される。即ち、第３の局面に規定の検査装置において、前記磁気シールドの一つの側壁に前記被検体フィーダが通過する一つの通過窓が形成されており、
前記一つの通過窓に前記被検体フィーダが通されている。
このように規定される第４の局面の検査装置によれば、磁気シールドの側壁に形成される窓が一つのみになるので、外部磁場の影響が可及的に小さくなる。
A fourth aspect of the present invention is defined as follows: In the inspection device defined in the third aspect, one passing window through which the subject feeder passes is formed in one side wall of the magnetic shield,
The subject feeder passes through the one passage window.
According to the inspection apparatus of the fourth aspect thus defined, only one window is formed in the side wall of the magnetic shield, so that the influence of an external magnetic field is minimized.
この発明の第５の局面は次のように規定される。即ち、第３又は第４の局面に規定の検査装置において、前記磁気シールドの前記通過窓に比べて、前記磁気センサは前記磁気シールドの上壁側若しくは底壁側に偏在しており、
前記被検体テーブルを移動させるテーブル移動装置が更に配置され、
前記テーブル移動装置は前記被検体テーブルを第１の位置と第２の位置に移動させ、ここに、前記第１の位置において前記被検体テーブルと前記被検体フィーダとの間で被検体の受け渡しが可能であり、前記第２の位置において被検体テーブルは前記磁気センサに対向する。
このように規定される第５の局面に規定の検査装置によれば、磁気センサを通過窓と同じレベルに配置した場合に比べ、磁気センサが上壁側又は底壁側に偏移しているので、通過窓から当該磁気センサまでの距離が長くなる。その結果、磁気センサへの外部磁場の影響を抑制できる。
A fifth aspect of the present invention is defined as follows: In the inspection device defined in the third or fourth aspect, the magnetic sensor is biased toward an upper wall side or a bottom wall side of the magnetic shield compared to the passage window of the magnetic shield,
a table moving device for moving the subject table is further provided;
The table moving device moves the subject table to a first position and a second position, where at the first position a subject can be transferred between the subject table and the subject feeder, and at the second position the subject table faces the magnetic sensor.
According to the inspection device defined in the fifth aspect, the magnetic sensor is offset toward the top wall or bottom wall compared to when the magnetic sensor is disposed at the same level as the passage window, so that the distance from the passage window to the magnetic sensor is longer, thereby making it possible to suppress the influence of an external magnetic field on the magnetic sensor.
この発明の第６の局面は次のように規定される。即ち、第１～５の局面に規定の検査装置において、前記磁気シールドは箱型であり、前記被検体テーブルの回転中心は前記箱型の磁気シールドの重心を通り、前記通過窓を通過した被検体フィーダと前記被検体テーブルとは仮想直線上に配置され、
前記磁気センサの視野は前記仮想直線に直交する直線に対向している。
このように規定される第６の局面の検査装置によれば、通過窓から侵入する外部磁場の影響を抑制できる。即ち、通過窓から各磁気センサまでの距離が大きくなるからである。
A sixth aspect of the present invention is defined as follows: In the inspection apparatus defined in any one of the first to fifth aspects, the magnetic shield is box-shaped, the center of rotation of the subject table passes through the center of gravity of the box-shaped magnetic shield, and the subject feeder that has passed through the passing window and the subject table are disposed on a virtual straight line;
The field of view of the magnetic sensor faces a line perpendicular to the imaginary line.
According to the inspection device of the sixth aspect thus defined, the influence of the external magnetic field entering through the passage window can be suppressed, since the distance from the passage window to each magnetic sensor is increased.
この発明の第７の局面は次のように規定される。即ち、磁気センサ、被検体テーブルおよび前記磁気センサと被検体テーブルとを囲繞する磁気シールドとを備えた検査装置を用いる検査方法であって、
前記磁気センサの視野（検査領域）を、前記被検体テーブルの回転中心から、前記被検体テーブル面に平行、かつ放射状に延びる直線に対向させ、
被検体をのせた前記被検体テーブルを前記磁気センサに対向して回転させる、検査方法。
このように規定される第７の局面に規定の検査方法によれば、第１の局面で規定した検査装置の同様の作用がえられる。
A seventh aspect of the present invention is defined as follows: An inspection method using an inspection apparatus including a magnetic sensor, a test-subject table, and a magnetic shield surrounding the magnetic sensor and the test-subject table, comprising:
a field of view (inspection area) of the magnetic sensor is opposed to a straight line extending radially from a rotation center of the subject table in parallel with a surface of the subject table;
The inspection method includes rotating the object table on which the object is placed, facing the magnetic sensor.
According to the inspection method defined in the seventh aspect thus defined, the same effects as those of the inspection apparatus defined in the first aspect can be obtained.
この発明の第８の局面は、第２の局面に規定の検査装置を用いた検査方法を規定するものであり、第２の局面に規定の検査装置と同様の作用を奏する。
第８の局面の検査方法は次のように規定される。即ち、第７の局面に規定の検査方法において、前記磁気センサはＳＱＵＩＤ式の磁気センサであり、
前記被検体テーブルの回転周波数は商用周波数およびその整数倍の周波数を除いた周波数とする。
An eighth aspect of the present invention prescribes an inspection method using the inspection apparatus defined in the second aspect, which provides the same effects as the inspection apparatus defined in the second aspect.
The inspection method according to the eighth aspect is defined as follows: That is, in the inspection method according to the seventh aspect, the magnetic sensor is a SQUID type magnetic sensor,
The rotation frequency of the subject table is a frequency excluding commercial frequencies and frequencies that are integral multiples of commercial frequencies.
この発明の第９の局面は、第３の局面に規定の検査装置を用いた検査方法を規定するものであり、第３の局面に規定の検査装置と同様の作用を奏する。
第９の局面の検査方法は次のように規定される。即ち、第７又は第８の局面に規定の検査方法において、前記被検体テーブルに対し前記被検体を搬入し、前記被検体を搬出する被検体フィーダが更に備えられ、
前記磁気シールドの側壁には前記被検体フィーダが通過する通過窓が形成される。
A ninth aspect of the present invention prescribes an inspection method using the inspection apparatus prescribed in the third aspect, which provides the same effects as the inspection apparatus prescribed in the third aspect.
A ninth aspect of the present invention provides an inspection method as follows: That is, in the inspection method according to the seventh or eighth aspect, a subject feeder that carries the subject onto the subject table and carries the subject out of the subject table is further provided,
A passage window through which the subject feeder passes is formed in a side wall of the magnetic shield.
この発明の第１０の局面は、第４の局面に規定の検査装置を用いた検査方法を規定するものであり、第４の局面に規定の検査装置と同様の作用を奏する。
第１０の局面の検査方法は次のように規定される。即ち、第９の局面に規定の検査方法において、前記磁気シールドの一つの側壁に前記被検体フィーダが通過する一つの通過窓が形成されており、
前記一つの通過窓に前記被検体フィーダが通されている。
A tenth aspect of the present invention prescribes an inspection method using the inspection apparatus defined in the fourth aspect, which provides the same effects as the inspection apparatus defined in the fourth aspect.
The inspection method of the tenth aspect is defined as follows: That is, in the inspection method defined in the ninth aspect, one passing window through which the subject feeder passes is formed in one side wall of the magnetic shield,
The subject feeder passes through the one passage window.
この発明の第１１の局面は、第５の局面に規定の検査装置を用いた検査方法を規定するものであり、第５の局面に規定の検査装置と同様の作用を奏する。
第１１の局面の検査方法は次のように規定される。即ち、第９又は第１０の局面に規定の検査方法において、前記磁気シールドの前記通過窓に比べて、前記磁気センサは前記磁気シールドの上壁側若しくは底壁側に偏在しており、
前記被検体テーブルを移動させるテーブル移動装置が更に配置され、
前記テーブル移動装置により、前記被検体テーブルを第１の位置と第２の位置に移動させ、ここに、前記第１の位置において前記被検体テーブルと前記被検体フィーダとの間で被検体の受け渡しが可能であり、前記第２の位置において被検体テーブルは前記磁気センサに対向する。
An eleventh aspect of the present invention prescribes an inspection method using the inspection apparatus defined in the fifth aspect, which provides the same effects as the inspection apparatus defined in the fifth aspect.
The inspection method of the eleventh aspect is defined as follows: That is, in the inspection method defined in the ninth or tenth aspect, the magnetic sensor is unevenly located on the top wall side or the bottom wall side of the magnetic shield compared to the passage window of the magnetic shield,
a table moving device for moving the subject table is further provided;
The table moving device moves the subject table to a first position and a second position, where at the first position a subject can be transferred between the subject table and the subject feeder, and at the second position the subject table faces the magnetic sensor.
この発明の第１２の局面は、第６の局面に規定の検査装置を用いた検査方法を規定するものであり、第６の局面に規定の検査装置と同様の作用を奏する。
第１２の局面の検査方法は次のように規定される。即ち、第７～１１のいずれかに規定の検査方法において、前記磁気シールドは箱型であり、前記被検体テーブルの回転中心は前記箱型の磁気シールドの重心を通り、前記通過窓を通過した被検体フィーダと前記被検体テーブルとは仮想直線上に配置され、
前記磁気センサの視野は前記仮想直線に直交する直線に対向している。
A twelfth aspect of the present invention prescribes an inspection method using the inspection apparatus defined in the sixth aspect, which provides the same effects as the inspection apparatus defined in the sixth aspect.
The inspection method of the twelfth aspect is specified as follows: That is, in the inspection method specified in any one of the seventh to eleventh aspects, the magnetic shield is box-shaped, the center of rotation of the subject table passes through the center of gravity of the box-shaped magnetic shield, and the subject feeder that has passed through the passing window and the subject table are arranged on a virtual straight line;
The field of view of the magnetic sensor faces a line perpendicular to the imaginary line.
以下、図面を参照しながらこの発明の実施形態の説明をする。
図１に示すように、実施形態の検査装置１は、磁気センサアレイ１０、被検体テーブル２０、磁気シールド３０及び搬入出フィーダ４１、４３を備えてなる。
磁気センサアレイ１０はＳＱＵＩＤ式の磁気センサ（素子）の複数を線状に並べたアレイである。このアレイ１０は、図示しないホルダにより固定されている。この例では、アレイ１０を構成する各磁気センサとして、本発明者が提唱する特許文献２に記載のＳＱＵＩＤ（超伝導量子干渉素子）を採用したが、その他、ホール素子や磁気抵抗効果素子などの汎用的な磁気センサを被検体の特性や検査環境等に応じて任意に選択できる。
磁気センサアレイ１０は、磁気センサを線状になべて、かつその検出面を同じ高さとして、広い視野を得ている。配列の基準となる線は、直線であっても、曲線であってもよい。更には、磁気センサを複数列に配置することもできる。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
As shown in FIG. 1, the inspection device 1 of the embodiment includes a magnetic sensor array 10, a subject table 20, a magnetic shield 30, and input/output feeders 41 and 43.
The magnetic sensor array 10 is an array in which a plurality of SQUID-type magnetic sensors (elements) are arranged in a line. The array 10 is fixed by a holder (not shown). In this example, the SQUID (superconducting quantum interference device) proposed by the present inventor and described in Patent Document 2 is used as each magnetic sensor constituting the array 10, but other general-purpose magnetic sensors such as Hall elements and magnetoresistance effect elements can be arbitrarily selected according to the characteristics of the subject and the inspection environment.
The magnetic sensor array 10 has magnetic sensors arranged in a line with the detection surfaces at the same height to obtain a wide field of view. The reference line for the arrangement may be a straight line or a curved line. Furthermore, the magnetic sensors may be arranged in multiple rows.
被検体テーブル２０は、これが回転するときに、被検体を固定して保持でき、かつ磁場に影響を与えないものであれば特に限定されない。
図１の例では、樹脂製の円盤を被検体テーブル２０とした。この被検体テーブル２０は磁気センサアレイ１０を構成する各磁気センサの並び方向と平行に配置される。換言すれば、各磁気センサは被検体テーブル２０の対向面に対して常に等しい距離に配置される。もって、被検体テーブルに載置される被検体からの磁気の影響が各磁気センサにおいて均一に検出される。
直線状に並べることで各磁気センサをできる限り近接させられる。これにより、各磁気センサに対する外部磁場からの影響など、各磁気センサの外部環境をできる限り均一化できる。
この被検体テーブル２０において回転中心からその外周まで延び、かつ搬入フィーダ４１側へ向いた直線に対向するように、各磁気センサを配置して磁気センサアレイ１０は構成されている。
The subject table 20 is not particularly limited as long as it can hold the subject stationary while rotating and does not affect the magnetic field.
1, a resin disk is used as the subject table 20. This subject table 20 is arranged parallel to the arrangement direction of each magnetic sensor constituting the magnetic sensor array 10. In other words, each magnetic sensor is always arranged at an equal distance from the opposing surface of the subject table 20. Thus, the magnetic influence from the subject placed on the subject table is uniformly detected by each magnetic sensor.
By arranging the magnetic sensors in a line, the magnetic sensors can be placed as close as possible to each other, which makes it possible to make the external environment of each magnetic sensor as uniform as possible, such as the effect of an external magnetic field on each magnetic sensor.
The magnetic sensor array 10 is configured by arranging the magnetic sensors on the subject table 20 so as to face a straight line extending from the center of rotation to the outer periphery thereof and pointing towards the input feeder 41 .
上記の例では、磁気センサアレイ１０の視野を被検体テーブル２０の半径と同じ長さとしたが、これに限定されるものではない。被検体の形状や大きさに応じて、その視野を長くしたり、短くしたりすることができる。また、磁気センサを弧状に配列させて、視野を弧状にすることもできる。 In the above example, the field of view of the magnetic sensor array 10 is the same length as the radius of the subject table 20, but this is not limited to this. The field of view can be made longer or shorter depending on the shape and size of the subject. The magnetic sensors can also be arranged in an arc to make the field of view arc-shaped.
被検体テーブル２０は回転軸２３の回転に伴い回転する。この回転の周波数は商用周波数およびその整数倍の周波数を除いた周波数とする。
被検体テーブル２０の回転周波数は一定であることが好ましいが、その回転周波数を変化させることもできる。いずれの場合も、電子制御回路５０において、磁気センサアレイ１０の検出信号から、当該回転周波数に応じた信号がピックアップされる。
電子制御回路５０は、ピックアップした信号に応じて、被検体３における異物（信号の原因物）の位置を特定することができる。
The subject table 20 rotates in accordance with the rotation of the rotation shaft 23. The frequency of this rotation is a frequency excluding commercial frequencies and frequencies that are integral multiples of commercial frequencies.
The rotation frequency of the subject table 20 is preferably constant, but may be varied. In either case, the electronic control circuit 50 picks up a signal corresponding to the rotation frequency from the detection signal of the magnetic sensor array 10.
The electronic control circuit 50 can identify the position of a foreign object (causing the signal) in the subject 3 according to the picked-up signal.
磁気シールド３０は、被検体の特性や外部環境に応じて任意に設計できる。この例では、平面矩形の箱型の高透磁率材料（パーマロイ）の板金で磁気シールド３０を形成した。
図１に示す磁気シールド３０の相対向する側壁３４、３５の中央には通過窓としての搬入窓３１と搬出窓３３が形成される。この窓３１と３３に対してベルトコンベヤ式の搬入フィーダ４１と搬出フィーダ４３が通される。
搬入フィーダ４１と搬出フィーダ４３の端縁は被検体テーブル２０に対向し、かつ同じ高さにある。
The magnetic shield 30 can be designed arbitrarily according to the characteristics of the subject and the external environment. In this example, the magnetic shield 30 is formed of a flat rectangular box-shaped sheet metal made of a material with high magnetic permeability (permalloy).
1, an inlet window 31 and an outlet window 33 are formed as passage windows at the centers of opposing side walls 34, 35 of the magnetic shield 30. A belt conveyor type inlet feeder 41 and outlet feeder 43 are passed through the windows 31 and 33.
The edges of the input feeder 41 and the output feeder 43 face the subject table 20 and are at the same height.
次に、図１の検査装置１の動作について説明する。
初めに、回転軸２３の回転周波数を定め、その回転周波数に対応した周波数の信号がピックアップされるように、電子制御回路５０内の、例えばロックインアンプ回路の周波数を同期・設定しておく。
磁気シールド３０から、十分離れた位置において被検体３を周知の方法で磁化させ、搬入フィーダ４１に乗せる。搬入フィーダ４１に乗せられた被検体３は搬入窓３１から磁気シールド３０内に入る。搬入フィーダ４１の端部において、図示しないピックアンドリリース装置が被検体３を受け取り、かつこれを被検体テーブル２０の中心に載置する。
Next, the operation of the inspection device 1 of FIG. 1 will be described.
First, the rotation frequency of the rotating shaft 23 is determined, and the frequency of, for example, a lock-in amplifier circuit in the electronic control circuit 50 is synchronized and set so that a signal having a frequency corresponding to the rotation frequency is picked up.
The specimen 3 is magnetized by a known method at a position sufficiently distant from the magnetic shield 30, and then placed on the input feeder 41. The specimen 3 placed on the input feeder 41 enters the magnetic shield 30 through the input window 31. At the end of the input feeder 41, a pick-and-release device (not shown) receives the specimen 3 and places it at the center of the specimen table 20.
この例のように、搬入フィーダ４１、被検体テーブル２０及び搬出フィーダ４３は同一の仮想直線ＬＨ上に配置される。これにより、被検体３の受け渡しが容易になる。この仮想直線ＬＨは搬入フィーダ４１及び搬出フィーダ４３の搬送方向中心軸と被検体テーブル２０の回転中心を結ぶものとする。なお、磁気センサアレイ１０はこの仮想直線ＬＨに対向するように配置されている。
また、被検体テーブル２０の回転中心軸は磁気シールド２０の重心と一致させることが好ましい。これにより、被検体テーブル２０に対応付けられた磁気センサアレイ１０も磁気シールドの重心近くに配置される。もって、磁気シールド３０の壁部を介しての外部磁場の影響が最も小さくなる。
As in this example, the carry-in feeder 41, the subject table 20, and the carry-out feeder 43 are arranged on the same imaginary straight line LH. This makes it easy to transfer the subject 3. This imaginary straight line LH connects the central axes of the carry-in feeder 41 and the carry-out feeder 43 in the transport direction and the rotation center of the subject table 20. The magnetic sensor array 10 is arranged to face this imaginary straight line LH.
In addition, it is preferable that the central axis of rotation of the subject table 20 coincides with the center of gravity of the magnetic shield 30. This allows the magnetic sensor array 10 associated with the subject table 20 to be disposed close to the center of gravity of the magnetic shield 30. This minimizes the effect of the external magnetic field through the wall of the magnetic shield 30.
この例では、円盤状の被検体３が採用されている。被検体テーブル２０の中心に載置された円盤状の被検体３は被検体テーブル２０の回転に伴い回転する。このとき、磁気センサアレイ１０の視野、即ち磁気センサの配列は、被検体テーブル２０の１つの半径をカバーしている。よって、当該被検体テーブル２０の中心の載置された被検体３を、被検体テーブル２０とともに回転させれば、被検体３のすべての領域が相対的に磁気センサアレイ１０の視野においてスキャニングされたこととなる。 In this example, a disk-shaped specimen 3 is used. The disk-shaped specimen 3 placed at the center of the specimen table 20 rotates with the rotation of the specimen table 20. At this time, the field of view of the magnetic sensor array 10, i.e., the arrangement of the magnetic sensors, covers one radius of the specimen table 20. Therefore, if the specimen 3 placed at the center of the specimen table 20 is rotated together with the specimen table 20, all areas of the specimen 3 are relatively scanned within the field of view of the magnetic sensor array 10.
被検体３を所定の回転周波数で回転させることにより外部磁場のノイズを除去できることは既述の通りである。即ち、磁気センサとしてＳＵＱＵＩＤ式の磁気センサを採用したときの回転周波数を、ＳＵＱＵＩＤ式の磁気センサの駆動周波数内とし、かつ商用周波数およびその整数倍の周波数を除いた周波数とする。
これにより、異物に起因する磁気の変化のみが検出される。換言すれば、ノイズを除去できる。
また、被検体３の回転を重ねることにより、異物に起因する信号を繰り返し検出できる。これにより、感度を上げることができる。
As described above, noise from an external magnetic field can be eliminated by rotating the subject 3 at a predetermined rotation frequency. That is, when a SUQUID-type magnetic sensor is used as the magnetic sensor, the rotation frequency is set within the driving frequency range of the SUQUID-type magnetic sensor and is set to a frequency excluding commercial frequencies and their integral multiples.
This allows only the change in magnetism caused by the foreign object to be detected, i.e., noise can be eliminated.
Furthermore, by repeatedly rotating the subject 3, signals caused by foreign matter can be repeatedly detected, thereby improving sensitivity.
なお、信号をピックアップするタイミングをずらすことにより、被検体３における異物の二次元的な広がりを特定できる。このようにして得られたデータと被検体テーブル２０上の被検体３の画像データとを組み合わせれば、被検体３における異物の絶対位置が特定可能となる。 By shifting the timing of picking up the signal, the two-dimensional spread of the foreign object in the specimen 3 can be identified. By combining the data obtained in this way with the image data of the specimen 3 on the specimen table 20, the absolute position of the foreign object in the specimen 3 can be identified.
磁気センサアレイ１０により検査が終了し、被検体テーブル２０の回転が停止したら、ピックアンドリリース装置により、被検体テーブル２０上の被検体３を搬出フィーダ４３の端部に移す。その後、搬出フィーダ４３を稼働させて、搬出窓３３を通して、磁気シールド３０から被検体３を搬出する。その後、周知の方法で抜磁する。 When the inspection is completed by the magnetic sensor array 10 and the rotation of the specimen table 20 stops, the pick-and-release device moves the specimen 3 on the specimen table 20 to the end of the output feeder 43. The output feeder 43 is then operated to output the specimen 3 from the magnetic shield 30 through the output window 33. The specimen 3 is then demagnetized by a well-known method.
図２は、他の実施の形態の検査装置１Ａの構成を示す模式図である。なお、図１と同一の要素には同一の符号を付してその説明を省略する。
図２の検査装置１Ａでは、磁気センサアレイ１０が被検体３の搬送方向の仮想直線ＬＨと平面視で直交し、かつ被検体テーブル２０の回転中心を通過する仮想直線ＬＶに対向して配置される。
このように磁気センサアレイ１０を配置することにより、磁気センサアレイを構成する各磁気センサと搬入窓３１及び搬出窓３３との距離が最大となる。もって、外部磁場の影響を抑制できる。
2 is a schematic diagram showing the configuration of an inspection device 1A according to another embodiment of the present invention, in which the same elements as those in FIG.
In the inspection apparatus 1A of FIG. 2, the magnetic sensor array 10 is disposed so as to be perpendicular to an imaginary straight line LH in the transport direction of the specimen 3 in a plan view and to face an imaginary straight line LV passing through the center of rotation of the specimen table 20.
By arranging the magnetic sensor array 10 in this manner, the distance between each magnetic sensor constituting the magnetic sensor array and the entrance window 31 and the exit window 33 is maximized, thereby making it possible to suppress the influence of an external magnetic field.
図３は、他の実施の形態の検査装置１Ｂの構成を示す模式図である。なお、図１と同一の要素には同一の符号を付してその説明を省略する。
この検査装置１Ｂでは、磁気シールド３０の１つの側壁３４のみに窓（搬入出窓３５）を設け、この搬入出窓３５へ搬入出フィーダ４５を通している。被検体３はこの搬入出フィーダ４５により、被検体テーブル２０へ搬入され、これから搬出される。
このように、磁気シールド３０に設ける窓を限定することで、外部磁場の影響を抑制できる。もって、検査感度が向上する。
3 is a schematic diagram showing the configuration of an inspection device 1B according to another embodiment of the present invention, in which the same elements as those in FIG.
In this inspection apparatus 1B, a window (loading window 35) is provided in only one side wall 34 of the magnetic shield 30, and a load/unloading feeder 45 passes through this load/unloading window 35. The subject 3 is loaded onto the subject table 20 by this load/unloading feeder 45, and is then unloaded from there.
In this way, by limiting the number of windows provided in the magnetic shield 30, the influence of the external magnetic field can be suppressed, thereby improving the inspection sensitivity.
図４は、他の実施の形態の検査装置１Ｃの構成を示す模式図である。なお、図１と同一の要素には同一の符号を付してその説明を省略する。
この例では、磁気センサアレイ１０を磁気シールド３０の上壁３７側へ偏移させている。これにより、搬入窓３１や搬出窓３３からの外部磁場の影響を抑制することができる。
なお、被検体テーブル２０はテーブル移動装置としてのリフター２５により上下される。被検体テーブル２０が下側の第１の位置にあるとき、搬入フィーダ４１と搬出フィーダ４３との間で被検体の移送を行う。被検体テーブル２０が上側の第２の位置にあるとき、被検体３を磁気センサアレイ１０に対向させる。
図４の例では、図１の例に比べて、磁気センサアレイ１０が垂直方向上方に偏在しているが、これを搬入窓３１や搬出窓３３からより離隔する見地からは、磁気センサアレイ１０を垂直方向であって底壁３８側へ偏在させてもよい。更には、図１の例の磁気センサアレイの位置から、斜め上下方向へ偏在させてもよい。
4 is a schematic diagram showing the configuration of an inspection device 1C according to another embodiment of the present invention, in which the same elements as those in FIG.
In this example, the magnetic sensor array 10 is shifted toward the upper wall 37 of the magnetic shield 30. This makes it possible to suppress the influence of the external magnetic field from the entrance window 31 and exit window 33.
The subject table 20 is moved up and down by a lifter 25 serving as a table moving device. When the subject table 20 is at a first position on the lower side, the subject is transported between an input feeder 41 and an output feeder 43. When the subject table 20 is at a second position on the upper side, the subject 3 is made to face the magnetic sensor array 10.
In the example of Fig. 4, the magnetic sensor array 10 is biased vertically upward compared to the example of Fig. 1, but from the viewpoint of being spaced further away from the carry-in window 31 and the carry-out window 33, the magnetic sensor array 10 may be biased vertically toward the bottom wall 38. Furthermore, the magnetic sensor array may be biased diagonally upward or downward from the position of the magnetic sensor array in the example of Fig. 1.
この発明は、上記発明の実施の形態及び実施例の説明に何ら限定されるものではない。特許請求の範囲の記載を逸脱せず、当業者が容易に想到できる範囲で種々の変形態様もこの発明に含まれる。 This invention is not limited in any way to the above-mentioned embodiments and examples. Various modifications that do not deviate from the scope of the claims and that can be easily conceived by a person skilled in the art are also included in this invention.
１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ 検査装置
３ 被検体
２０ 被検体テーブル
３０ 磁気シールド
３１、３３、３５ 窓
３４、３５ 側壁
３７ 上壁
３８ 底壁
Reference Signs List 1, 1A, 1B, 1C Inspection apparatus 3 Inspection object 20 Inspection object table 30 Magnetic shield 31, 33, 35 Window 34, 35 Side wall 37 Top wall 38 Bottom wall
Claims (20)
磁気センサと、
前記磁気センサに対向して回転し、前記被検体が載置される被検体テーブルと
前記磁気センサ及び前記被検体テーブルを囲繞する磁気シールドと、を備え、
前記磁気センサの視野は、前記被検体テーブルの回転中心から、前記被検体テーブル面に平行、かつ放射状に延びる線に対向している、検査装置において、
前記被検体テーブルに対し前記被検体を搬入し、前記被検体を搬出する被検体フィーダが更に備えられ、
前記磁気シールドの側壁には前記被検体フィーダが通過する通過窓が形成され、 前記磁気シールドは箱型であり、前記被検体テーブルの回転中心は前記箱型の磁気シールドの重心を通り、前記通過窓を通過した被検体フィーダと前記被検体テーブルとは仮想直線上に配置され、
前記磁気センサの視野は前記仮想直線に直交する直線に対向している、検査装置。 An inspection apparatus for inspecting magnetic properties of a test object, comprising:
A magnetic sensor;
a subject table that rotates facing the magnetic sensor and on which the subject is placed; and a magnetic shield that surrounds the magnetic sensor and the subject table,
a field of view of the magnetic sensor faces a line extending radially from a rotation center of the test table in parallel with a surface of the test table;
a subject feeder that carries the subject onto the subject table and carries the subject out,
a passage window through which the subject feeder passes is formed in a side wall of the magnetic shield, the magnetic shield is box-shaped, the center of rotation of the subject table passes through the center of gravity of the box-shaped magnetic shield, and the subject feeder that has passed through the passage window and the subject table are arranged on a virtual straight line,
An inspection device, wherein the field of view of the magnetic sensor faces a line perpendicular to the virtual line.
磁気センサと、
前記磁気センサに対向して回転し、前記被検体が固定して保持される被検体テーブルと
前記磁気センサ及び前記被検体テーブルを囲繞する磁気シールドと、を備え、
前記磁気センサの視野は、前記被検体テーブルの回転中心から、前記被検体テーブル面に平行、かつ放射状に延びる線に対向している、検査装置において、
前記磁気センサはＳＱＵＩＤ式の磁気センサであり、
前記被検体テーブルの回転周波数は１０Ｈｚを超えるものとし、
前記ＳＱＵＩＤ式の磁気センサの検出信号をピックアップする電子制御回路が更に備えられ、該電子制御回路は前記被検体テーブルの回転周波数に対応した周波数の前記検出信号がピックアップされるように同期・設定されたロックインアンプ回路を備える検査装置。 An inspection apparatus for inspecting magnetic properties of a test object, comprising:
A magnetic sensor;
a subject table which rotates facing the magnetic sensor and on which the subject is fixedly held; and a magnetic shield which surrounds the magnetic sensor and the subject table,
a field of view of the magnetic sensor faces a line extending radially from a rotation center of the test table in parallel with a surface of the test table;
the magnetic sensor is a SQUID type magnetic sensor,
The rotation frequency of the subject table is greater than 10 Hz.
The inspection apparatus further includes an electronic control circuit that picks up the detection signal of the SQUID type magnetic sensor, and the electronic control circuit includes a lock-in amplifier circuit that is synchronized and set so as to pick up the detection signal having a frequency corresponding to the rotation frequency of the specimen table.
前記磁気シールドの側壁には前記被検体フィーダが通過する通過窓が形成される、請求項２～５のいずれかに記載の検査装置。 a subject feeder that carries the subject onto the subject table and carries the subject out,
6. The inspection apparatus according to claim 2, wherein a passage window through which the subject feeder passes is formed in a side wall of the magnetic shield.
前記一つの通過窓に前記被検体フィーダが通されている、請求項６に記載の検査装置。 a passage window through which the subject feeder passes is formed in one side wall of the magnetic shield;
The inspection apparatus according to claim 6 , wherein the specimen feeder is passed through the one passage window.
前記被検体テーブルを移動させるテーブル移動装置が更に配置され、
前記テーブル移動装置は前記被検体テーブルを第１の位置と第２の位置に移動させ、ここに、前記第１の位置において前記被検体テーブルと前記被検体フィーダとの間で被検体の受け渡しが可能であり、前記第２の位置において被検体テーブルは前記磁気センサに対向する、請求項６又は７に記載の検査装置。 the magnetic sensor is located closer to an upper wall or a bottom wall of the magnetic shield than the passage window of the magnetic shield;
a table moving device for moving the subject table is further provided;
8. The inspection apparatus according to claim 6, wherein the table moving device moves the specimen table to a first position and a second position, where a specimen can be transferred between the specimen table and the specimen feeder at the first position, and where the specimen table faces the magnetic sensor at the second position.
前記磁気センサの視野は前記仮想直線に直交する直線に対向している、請求項６～８のいずれかに記載の検査装置。 the magnetic shield is box-shaped, a rotation center of the subject table passes through a center of gravity of the box-shaped magnetic shield, and the subject feeder that has passed through the passage window and the subject table are disposed on a virtual straight line,
9. The inspection device according to claim 6, wherein the field of view of said magnetic sensor faces a straight line perpendicular to said imaginary straight line.
前記磁気センサの視野（検査領域）を、前記被検体テーブルの回転中心から、前記被検体テーブル面に平行、かつ放射状に延びる直線に対向させ、
被検体をのせた前記被検体テーブルを前記磁気センサに対向して回転させる、検査方法において、
前記被検体テーブルに対し前記被検体を搬入し、前記被検体を搬出する被検体フィーダが更に備えられ、
前記磁気シールドの側壁には前記被検体フィーダが通過する通過窓が形成され、
前記磁気シールドは箱型であり、前記被検体テーブルの回転中心は前記箱型の磁気シールドの重心を通り、前記通過窓を通過した被検体フィーダと前記被検体テーブルとは仮想直線上に配置され、
前記磁気センサの視野は前記仮想直線に直交する直線に対向している、検査方法。 1. An inspection method using an inspection apparatus including a magnetic sensor, a subject table, and a magnetic shield surrounding the magnetic sensor and the subject table, comprising:
a field of view (inspection area) of the magnetic sensor is opposed to a straight line extending radially from a rotation center of the subject table in parallel with a surface of the subject table;
an inspection method, comprising: rotating the object table on which the object is placed to face the magnetic sensor;
a subject feeder that carries the subject onto the subject table and carries the subject out,
a passage window through which the subject feeder passes is formed in a side wall of the magnetic shield;
the magnetic shield is box-shaped, a rotation center of the subject table passes through a center of gravity of the box-shaped magnetic shield, and the subject feeder that has passed through the passage window and the subject table are disposed on a virtual straight line,
The field of view of the magnetic sensor faces a line perpendicular to the imaginary line.
前記磁気センサの視野（検査領域）を、前記被検体テーブルの回転中心から、前記被検体テーブル面に平行、かつ放射状に延びる直線に対向させ、
被検体を固定して保持した前記被検体テーブルを前記磁気センサに対向して回転させる、検査方法において、
前記磁気センサはＳＱＵＩＤ式の磁気センサであり、
前記被検体テーブルの回転周波数は１０Ｈｚを超えるものとし、
前記ＳＱＵＩＤ式の磁気センサの検出信号をピックアップする電子制御回路が更に備えられ、該電子制御回路はロックインアンプ回路を備え、該ロックインアンプ回路により、前記被検体テーブルの回転周波数に対応した周波数の前記検出信号がピックアップされる、検査方法。 1. An inspection method using an inspection apparatus including a magnetic sensor, a subject table, and a magnetic shield surrounding the magnetic sensor and the subject table, comprising:
a field of view (inspection area) of the magnetic sensor is opposed to a straight line extending radially from a rotation center of the subject table in parallel with a surface of the subject table;
an inspection method, comprising: rotating the object table, on which an object is fixed and held, facing the magnetic sensor;
the magnetic sensor is a SQUID type magnetic sensor,
The rotation frequency of the subject table is greater than 10 Hz.
The inspection method further includes an electronic control circuit that picks up a detection signal of the SQUID type magnetic sensor, the electronic control circuit including a lock-in amplifier circuit, and the lock-in amplifier circuit picks up the detection signal having a frequency corresponding to a rotation frequency of the specimen table.
前記磁気シールドの側壁には前記被検体フィーダが通過する通過窓が形成される、請求項１１～１４の何れかに記載の検査方法。 a subject feeder that carries the subject onto the subject table and carries the subject out,
15. The inspection method according to claim 11, wherein a passage window through which the subject feeder passes is formed in a side wall of the magnetic shield.
前記一つの通過窓に前記被検体フィーダが通されている、請求項１５に記載の検査方法。 a passage window through which the subject feeder passes is formed in one side wall of the magnetic shield;
The inspection method according to claim 15 , wherein the specimen feeder is passed through the one passage window.
前記被検体テーブルを移動させるテーブル移動装置が更に配置され、
前記テーブル移動装置により、前記被検体テーブルを第１の位置と第２の位置に移動させ、ここに、前記第１の位置において前記被検体テーブルと前記被検体フィーダとの間で被検体の受け渡しが可能であり、前記第２の位置において被検体テーブルは前記磁気センサに対向させる、請求項１５又は１６に記載の検査方法。 the magnetic sensor is located closer to an upper wall or a bottom wall of the magnetic shield than the passage window of the magnetic shield;
a table moving device for moving the subject table is further provided;
17. The inspection method according to claim 15, wherein the table moving device moves the specimen table to a first position and a second position, where a specimen can be transferred between the specimen table and the specimen feeder at the first position, and the specimen table faces the magnetic sensor at the second position.
前記磁気センサの視野は前記仮想直線に直交する直線に対向している、請求項１５に記載の検査方法。 the magnetic shield is box-shaped, a rotation center of the subject table passes through a center of gravity of the box-shaped magnetic shield, and the subject feeder that has passed through the passage window and the subject table are disposed on a virtual straight line,
The inspection method according to claim 15 , wherein the field of view of the magnetic sensor faces a line perpendicular to the imaginary line.
磁気センサと、
前記磁気センサに対向して回転し、前記被検体が固定して保持される被検体テーブルと
前記磁気センサ及び前記被検体テーブルを囲繞する磁気シールドと、を備え、
前記磁気センサの視野は、前記被検体テーブルの回転中心から、前記被検体テーブル面に平行、かつ放射状に延びる線に対向している、検査装置において、
前記磁気センサはＳＱＵＩＤ式の磁気センサであり、
前記ＳＱＵＩＤ式の磁気センサの検出信号をピックアップする電子制御回路が更に備えられ、該電子制御回路は前記被検体テーブルの回転周波数に対応した周波数の前記検出信号がピックアップされるように同期・設定されたロックインアンプ回路を備える、検査装置。 An inspection apparatus for inspecting magnetic properties of a test object, comprising:
A magnetic sensor;
a subject table which rotates facing the magnetic sensor and on which the subject is fixedly held; and a magnetic shield which surrounds the magnetic sensor and the subject table,
a field of view of the magnetic sensor faces a line extending radially from a rotation center of the test table in parallel with a surface of the test table;
the magnetic sensor is a SQUID type magnetic sensor,
An inspection apparatus further comprising an electronic control circuit that picks up a detection signal from the SQUID type magnetic sensor, the electronic control circuit comprising a lock-in amplifier circuit that is synchronized and set to pick up the detection signal having a frequency corresponding to the rotation frequency of the specimen table.
前記磁気センサの視野（検査領域）を、前記被検体テーブルの回転中心から、前記被検体テーブル面に平行、かつ放射状に延びる直線に対向させ、
被検体を固定して保持した前記被検体テーブルを前記磁気センサに対向して回転させる、検査方法において、
前記磁気センサはＳＱＵＩＤ式の磁気センサであり、
前記ＳＱＵＩＤ式の磁気センサの検出信号をピックアップする電子制御回路が更に備えられ、該電子制御回路はロックインアンプ回路を備え、該ロックインアンプ回路により、前記被検体テーブルの回転周波数に対応した周波数の前記検出信号がピックアップされる、検査方法。 1. An inspection method using an inspection apparatus including a magnetic sensor, a subject table, and a magnetic shield surrounding the magnetic sensor and the subject table, comprising:
a field of view (inspection area) of the magnetic sensor is opposed to a straight line extending radially from a rotation center of the subject table in parallel with a surface of the subject table;
an inspection method, comprising: rotating the object table, on which an object is fixed and held, facing the magnetic sensor;
the magnetic sensor is a SQUID type magnetic sensor,
The inspection method further includes an electronic control circuit that picks up a detection signal of the SQUID type magnetic sensor, the electronic control circuit including a lock-in amplifier circuit, and the lock-in amplifier circuit picks up the detection signal having a frequency corresponding to a rotation frequency of the specimen table.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020205262A JP7691666B2 (en) | 2020-12-10 | 2020-12-10 | Inspection device and inspection method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2022092441A JP2022092441A (en) | 2022-06-22 |
| JP7691666B2 true JP7691666B2 (en) | 2025-06-12 |
Family
ID=82068151
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2020205262A Active JP7691666B2 (en) | 2020-12-10 | 2020-12-10 | Inspection device and inspection method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP7691666B2 (en) |
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| JP2022092441A (en) | 2022-06-22 |
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| Date | Code | Title | Description |
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| A621 | Written request for application examination |
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| A521 | Request for written amendment filed |
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| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20240729 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
| A521 | Request for written amendment filed |
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|
| A521 | Request for written amendment filed |
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
| A521 | Request for written amendment filed |
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|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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