JP7691666B2

JP7691666B2 - 検査装置及び検査方法

Info

Publication number: JP7691666B2
Application number: JP2020205262A
Authority: JP
Inventors: 三郎田中; 剛義大谷
Original assignee: Toyohashi University of Technology NUC; Nikka Densok Ltd
Current assignee: Toyohashi University of Technology NUC; Nikka Densok Ltd
Priority date: 2020-12-10
Filing date: 2020-12-10
Publication date: 2025-06-12
Anticipated expiration: 2040-12-10
Also published as: JP2022092441A

Description

この発明はＳＵＱＵＩＤ式等の磁気センサを用いた検査装置及びその検査方法の改良に関する。

非破壊型の検査装置の一種として磁気センサを用いるものがある。
例えば特許文献１には、ＳＵＱＵＩＤ式の磁気センサを用いる検査装置が提案されている。かかる磁気センサを用いることにより、被検体内の微細な異物を検出できる。
特許文献１に開示される検査装置では、磁気シールド内に磁気センサを配置して、この磁気センサの磁気的視野（感度領域）へ線状の被検体を通過させることで、線状の被検体内の微細な異物の検出を行っている。
なお、本発明に関連する先行文献として特許文献２を参照されたい。

特許文献１特許第３１５２０７４号公報
特許文献２特許第５１４５５５２号公報

微細な異物の検出が求められる被検体は線状のものに限られない。
特許文献１の例において、線状の被検体を幅広のものに置換すると、その幅に応じて磁気センサの視野の幅を広げることとなる。
個々の磁気センサは狭い範囲の視野しか持たないので、広い視野を得るには複数の磁気センサを線状に並べる必要がある（磁気センサのアレイ）。
しかしながら、磁気センサは高額であるためアレイを構成する磁気センサの数はできるだけ少なくしたい。

また、視野を広くとるためアレイの幅を広げると、そこに配置すべき磁気センサの数が多くなる。その結果、全ての磁気センサの環境を同じにすることが困難になる。環境が異なれば、磁気センサの感度に違いが生じかねない。例えば、磁気シールド内においても壁からの距離の如何によって外部の磁場の影響が異なってくる。その結果、アレイを構成する磁気センサの数が多くなればなるほど、各磁気センサの感度にバラツキが生じやすくなる。この点からも、検査装置に用いられる磁気センサの数をできる限り少なくすることが望まれる。

この発明はかかる課題を解決すべくなされたものである。
この発明の第１の局面は次のように規定される。即ち、
被検体の磁気的特性を検査する検査装置であって、
磁気センサと、
前記磁気センサに対向して回転し、前記被検体が載置される被検体テーブルと
前記磁気センサ及び前記被検体テーブルを囲繞する磁気シールドと、を備え、
前記磁気センサの視野は、前記被検体テーブルの回転中心から、前記被検体テーブル面に平行、かつ放射状に延びる線に対向している、検査装置。

このように規定される第１の局面の検査装置によれば、被検体は被検体テーブルにのせられて回転される。ここに、被検体テーブルの回転中心から、前記被検体テーブル面に平行、かつ放射状に延びる線に磁気センサの視野を対向させている。例えば被検体テーブルを円形として、その円の中心から外周へ延びる直線に磁気センサの視野を対向させる。このとき、磁気センサの長さは円形テーブルの半径の長さとなる。被検体が円形テーブルの直径と等しいときであっても、被検体テーブルを回転させることにより、被検体テーブルの半径をカバーする視野の磁気センサで被検体の全体をカバーできる。
これにより、磁気センサの数を可及的に少なくすることができる。
かかる磁気センサにより被検体の磁気的特性が検査される。ここに磁気的特性とは、被検体を特徴つける磁気的特性であって、例えば被検体に存在する異物の量、大きさ、位置等が該当する。その他、被検体の形成材料自体の組成変化（磁気的変化として顕れるもの）も該当する。

この発明の第２の局面は次のように規定される。即ち、
第１の局面に規定の検査装置において、前記磁気センサはＳＱＵＩＤ式の磁気センサであり、
前記被検体テーブルの回転周波数は商用周波数およびその整数倍の周波数を除いた周波数とする。
このように規定される第２の局面の検査装置によれば、磁気センサとしてＳＵＱＵＩＤ式のものを採用することにより、検査対象に存在する異物を高感度で検出可能となる。
被検体テーブルを所定の回転周波数で回転させることにより、被検体に存在する異物が所定の周波数で磁気センサの視野を通過する。その結果、磁気センサが検出する信号において当該周波数で繰り返し検出されるものが被検体に存在する異物に対応することがわかる。ここに、ＳＵＱＵＩＤ式の磁気センサを採用した場合、その駆動周波数内（例えば５０ｋＨｚ以下）に被検体テーブルの回転周波数を収めることが好ましい。なお、回転周波数を１０Ｈｚ以下とすると、１／ｆノイズと呼ばれるノイズの影響で感度が低くなる。また、検査装置の使用環境には常に商用電力の周波数（５０Ｈｚ又は６０Ｈｚ等）及びその高調波に起因する整数倍の周波数の磁場が存在する。即ち、被検体テーブルを、かかる商用周波数およびその整数倍の周波数を除いた周波数で回転させることにより、外部磁場の影響を確実に排除できる。もって、ＳＵＱＵＩＤ式の磁気センサに高い感度を確保する。

この発明の第３の局面は次のように規定される。即ち、第１又は第２の局面に規定される検査装置において、前記被検体テーブルに対し前記被検体を搬入し、前記被検体を搬出する被検体フィーダが更に備えられ、
前記磁気シールドの側壁には前記被検体フィーダが通過する通過窓が形成される。
このように規定される第３の局面に規定の検査装置によれば、被検体フィーダを用いて被検体を被検体テーブルまで搬入し、かつ被検体テーブルから被検体を搬出することで、検査のスループットが向上する。

この発明の第４の局面は次のように規定される。即ち、第３の局面に規定の検査装置において、前記磁気シールドの一つの側壁に前記被検体フィーダが通過する一つの通過窓が形成されており、
前記一つの通過窓に前記被検体フィーダが通されている。
このように規定される第４の局面の検査装置によれば、磁気シールドの側壁に形成される窓が一つのみになるので、外部磁場の影響が可及的に小さくなる。

この発明の第５の局面は次のように規定される。即ち、第３又は第４の局面に規定の検査装置において、前記磁気シールドの前記通過窓に比べて、前記磁気センサは前記磁気シールドの上壁側若しくは底壁側に偏在しており、
前記被検体テーブルを移動させるテーブル移動装置が更に配置され、
前記テーブル移動装置は前記被検体テーブルを第１の位置と第２の位置に移動させ、ここに、前記第１の位置において前記被検体テーブルと前記被検体フィーダとの間で被検体の受け渡しが可能であり、前記第２の位置において被検体テーブルは前記磁気センサに対向する。
このように規定される第５の局面に規定の検査装置によれば、磁気センサを通過窓と同じレベルに配置した場合に比べ、磁気センサが上壁側又は底壁側に偏移しているので、通過窓から当該磁気センサまでの距離が長くなる。その結果、磁気センサへの外部磁場の影響を抑制できる。

この発明の第６の局面は次のように規定される。即ち、第１～５の局面に規定の検査装置において、前記磁気シールドは箱型であり、前記被検体テーブルの回転中心は前記箱型の磁気シールドの重心を通り、前記通過窓を通過した被検体フィーダと前記被検体テーブルとは仮想直線上に配置され、
前記磁気センサの視野は前記仮想直線に直交する直線に対向している。
このように規定される第６の局面の検査装置によれば、通過窓から侵入する外部磁場の影響を抑制できる。即ち、通過窓から各磁気センサまでの距離が大きくなるからである。

この発明の第７の局面は次のように規定される。即ち、磁気センサ、被検体テーブルおよび前記磁気センサと被検体テーブルとを囲繞する磁気シールドとを備えた検査装置を用いる検査方法であって、
前記磁気センサの視野（検査領域）を、前記被検体テーブルの回転中心から、前記被検体テーブル面に平行、かつ放射状に延びる直線に対向させ、
被検体をのせた前記被検体テーブルを前記磁気センサに対向して回転させる、検査方法。
このように規定される第７の局面に規定の検査方法によれば、第１の局面で規定した検査装置の同様の作用がえられる。

この発明の第８の局面は、第２の局面に規定の検査装置を用いた検査方法を規定するものであり、第２の局面に規定の検査装置と同様の作用を奏する。
第８の局面の検査方法は次のように規定される。即ち、第７の局面に規定の検査方法において、前記磁気センサはＳＱＵＩＤ式の磁気センサであり、
前記被検体テーブルの回転周波数は商用周波数およびその整数倍の周波数を除いた周波数とする。

この発明の第９の局面は、第３の局面に規定の検査装置を用いた検査方法を規定するものであり、第３の局面に規定の検査装置と同様の作用を奏する。
第９の局面の検査方法は次のように規定される。即ち、第７又は第８の局面に規定の検査方法において、前記被検体テーブルに対し前記被検体を搬入し、前記被検体を搬出する被検体フィーダが更に備えられ、
前記磁気シールドの側壁には前記被検体フィーダが通過する通過窓が形成される。

この発明の第１０の局面は、第４の局面に規定の検査装置を用いた検査方法を規定するものであり、第４の局面に規定の検査装置と同様の作用を奏する。
第１０の局面の検査方法は次のように規定される。即ち、第９の局面に規定の検査方法において、前記磁気シールドの一つの側壁に前記被検体フィーダが通過する一つの通過窓が形成されており、
前記一つの通過窓に前記被検体フィーダが通されている。

この発明の第１１の局面は、第５の局面に規定の検査装置を用いた検査方法を規定するものであり、第５の局面に規定の検査装置と同様の作用を奏する。
第１１の局面の検査方法は次のように規定される。即ち、第９又は第１０の局面に規定の検査方法において、前記磁気シールドの前記通過窓に比べて、前記磁気センサは前記磁気シールドの上壁側若しくは底壁側に偏在しており、
前記被検体テーブルを移動させるテーブル移動装置が更に配置され、
前記テーブル移動装置により、前記被検体テーブルを第１の位置と第２の位置に移動させ、ここに、前記第１の位置において前記被検体テーブルと前記被検体フィーダとの間で被検体の受け渡しが可能であり、前記第２の位置において被検体テーブルは前記磁気センサに対向する。

この発明の第１２の局面は、第６の局面に規定の検査装置を用いた検査方法を規定するものであり、第６の局面に規定の検査装置と同様の作用を奏する。
第１２の局面の検査方法は次のように規定される。即ち、第７～１１のいずれかに規定の検査方法において、前記磁気シールドは箱型であり、前記被検体テーブルの回転中心は前記箱型の磁気シールドの重心を通り、前記通過窓を通過した被検体フィーダと前記被検体テーブルとは仮想直線上に配置され、
前記磁気センサの視野は前記仮想直線に直交する直線に対向している。

図１はこの発明の実施形態の検査装置の構造を示す模式図であり、図１Ａは平面図、図１Ｂは正面図である。図２はこの発明の他の実施形態の検査装置の構造を示す模式図（平面図）である。図３はこの発明の他の実施形態の検査装置の構造を示す模式図（正面図）である。図４はこの発明の他の実施形態の検査装置の構造を示す模式図（正面図）である。

以下、図面を参照しながらこの発明の実施形態の説明をする。
図１に示すように、実施形態の検査装置１は、磁気センサアレイ１０、被検体テーブル２０、磁気シールド３０及び搬入出フィーダ４１、４３を備えてなる。
磁気センサアレイ１０はＳＱＵＩＤ式の磁気センサ（素子）の複数を線状に並べたアレイである。このアレイ１０は、図示しないホルダにより固定されている。この例では、アレイ１０を構成する各磁気センサとして、本発明者が提唱する特許文献２に記載のＳＱＵＩＤ（超伝導量子干渉素子）を採用したが、その他、ホール素子や磁気抵抗効果素子などの汎用的な磁気センサを被検体の特性や検査環境等に応じて任意に選択できる。
磁気センサアレイ１０は、磁気センサを線状になべて、かつその検出面を同じ高さとして、広い視野を得ている。配列の基準となる線は、直線であっても、曲線であってもよい。更には、磁気センサを複数列に配置することもできる。

被検体テーブル２０は、これが回転するときに、被検体を固定して保持でき、かつ磁場に影響を与えないものであれば特に限定されない。
図１の例では、樹脂製の円盤を被検体テーブル２０とした。この被検体テーブル２０は磁気センサアレイ１０を構成する各磁気センサの並び方向と平行に配置される。換言すれば、各磁気センサは被検体テーブル２０の対向面に対して常に等しい距離に配置される。もって、被検体テーブルに載置される被検体からの磁気の影響が各磁気センサにおいて均一に検出される。
直線状に並べることで各磁気センサをできる限り近接させられる。これにより、各磁気センサに対する外部磁場からの影響など、各磁気センサの外部環境をできる限り均一化できる。
この被検体テーブル２０において回転中心からその外周まで延び、かつ搬入フィーダ４１側へ向いた直線に対向するように、各磁気センサを配置して磁気センサアレイ１０は構成されている。

上記の例では、磁気センサアレイ１０の視野を被検体テーブル２０の半径と同じ長さとしたが、これに限定されるものではない。被検体の形状や大きさに応じて、その視野を長くしたり、短くしたりすることができる。また、磁気センサを弧状に配列させて、視野を弧状にすることもできる。

被検体テーブル２０は回転軸２３の回転に伴い回転する。この回転の周波数は商用周波数およびその整数倍の周波数を除いた周波数とする。
被検体テーブル２０の回転周波数は一定であることが好ましいが、その回転周波数を変化させることもできる。いずれの場合も、電子制御回路５０において、磁気センサアレイ１０の検出信号から、当該回転周波数に応じた信号がピックアップされる。
電子制御回路５０は、ピックアップした信号に応じて、被検体３における異物（信号の原因物）の位置を特定することができる。

磁気シールド３０は、被検体の特性や外部環境に応じて任意に設計できる。この例では、平面矩形の箱型の高透磁率材料（パーマロイ）の板金で磁気シールド３０を形成した。
図１に示す磁気シールド３０の相対向する側壁３４、３５の中央には通過窓としての搬入窓３１と搬出窓３３が形成される。この窓３１と３３に対してベルトコンベヤ式の搬入フィーダ４１と搬出フィーダ４３が通される。
搬入フィーダ４１と搬出フィーダ４３の端縁は被検体テーブル２０に対向し、かつ同じ高さにある。

次に、図１の検査装置１の動作について説明する。
初めに、回転軸２３の回転周波数を定め、その回転周波数に対応した周波数の信号がピックアップされるように、電子制御回路５０内の、例えばロックインアンプ回路の周波数を同期・設定しておく。
磁気シールド３０から、十分離れた位置において被検体３を周知の方法で磁化させ、搬入フィーダ４１に乗せる。搬入フィーダ４１に乗せられた被検体３は搬入窓３１から磁気シールド３０内に入る。搬入フィーダ４１の端部において、図示しないピックアンドリリース装置が被検体３を受け取り、かつこれを被検体テーブル２０の中心に載置する。

この例のように、搬入フィーダ４１、被検体テーブル２０及び搬出フィーダ４３は同一の仮想直線ＬＨ上に配置される。これにより、被検体３の受け渡しが容易になる。この仮想直線ＬＨは搬入フィーダ４１及び搬出フィーダ４３の搬送方向中心軸と被検体テーブル２０の回転中心を結ぶものとする。なお、磁気センサアレイ１０はこの仮想直線ＬＨに対向するように配置されている。
また、被検体テーブル２０の回転中心軸は磁気シールド２０の重心と一致させることが好ましい。これにより、被検体テーブル２０に対応付けられた磁気センサアレイ１０も磁気シールドの重心近くに配置される。もって、磁気シールド３０の壁部を介しての外部磁場の影響が最も小さくなる。

この例では、円盤状の被検体３が採用されている。被検体テーブル２０の中心に載置された円盤状の被検体３は被検体テーブル２０の回転に伴い回転する。このとき、磁気センサアレイ１０の視野、即ち磁気センサの配列は、被検体テーブル２０の１つの半径をカバーしている。よって、当該被検体テーブル２０の中心の載置された被検体３を、被検体テーブル２０とともに回転させれば、被検体３のすべての領域が相対的に磁気センサアレイ１０の視野においてスキャニングされたこととなる。

被検体３を所定の回転周波数で回転させることにより外部磁場のノイズを除去できることは既述の通りである。即ち、磁気センサとしてＳＵＱＵＩＤ式の磁気センサを採用したときの回転周波数を、ＳＵＱＵＩＤ式の磁気センサの駆動周波数内とし、かつ商用周波数およびその整数倍の周波数を除いた周波数とする。
これにより、異物に起因する磁気の変化のみが検出される。換言すれば、ノイズを除去できる。
また、被検体３の回転を重ねることにより、異物に起因する信号を繰り返し検出できる。これにより、感度を上げることができる。

なお、信号をピックアップするタイミングをずらすことにより、被検体３における異物の二次元的な広がりを特定できる。このようにして得られたデータと被検体テーブル２０上の被検体３の画像データとを組み合わせれば、被検体３における異物の絶対位置が特定可能となる。

磁気センサアレイ１０により検査が終了し、被検体テーブル２０の回転が停止したら、ピックアンドリリース装置により、被検体テーブル２０上の被検体３を搬出フィーダ４３の端部に移す。その後、搬出フィーダ４３を稼働させて、搬出窓３３を通して、磁気シールド３０から被検体３を搬出する。その後、周知の方法で抜磁する。

図２は、他の実施の形態の検査装置１Ａの構成を示す模式図である。なお、図１と同一の要素には同一の符号を付してその説明を省略する。
図２の検査装置１Ａでは、磁気センサアレイ１０が被検体３の搬送方向の仮想直線ＬＨと平面視で直交し、かつ被検体テーブル２０の回転中心を通過する仮想直線ＬＶに対向して配置される。
このように磁気センサアレイ１０を配置することにより、磁気センサアレイを構成する各磁気センサと搬入窓３１及び搬出窓３３との距離が最大となる。もって、外部磁場の影響を抑制できる。

図３は、他の実施の形態の検査装置１Ｂの構成を示す模式図である。なお、図１と同一の要素には同一の符号を付してその説明を省略する。
この検査装置１Ｂでは、磁気シールド３０の１つの側壁３４のみに窓（搬入出窓３５）を設け、この搬入出窓３５へ搬入出フィーダ４５を通している。被検体３はこの搬入出フィーダ４５により、被検体テーブル２０へ搬入され、これから搬出される。
このように、磁気シールド３０に設ける窓を限定することで、外部磁場の影響を抑制できる。もって、検査感度が向上する。

図４は、他の実施の形態の検査装置１Ｃの構成を示す模式図である。なお、図１と同一の要素には同一の符号を付してその説明を省略する。
この例では、磁気センサアレイ１０を磁気シールド３０の上壁３７側へ偏移させている。これにより、搬入窓３１や搬出窓３３からの外部磁場の影響を抑制することができる。
なお、被検体テーブル２０はテーブル移動装置としてのリフター２５により上下される。被検体テーブル２０が下側の第１の位置にあるとき、搬入フィーダ４１と搬出フィーダ４３との間で被検体の移送を行う。被検体テーブル２０が上側の第２の位置にあるとき、被検体３を磁気センサアレイ１０に対向させる。
図４の例では、図１の例に比べて、磁気センサアレイ１０が垂直方向上方に偏在しているが、これを搬入窓３１や搬出窓３３からより離隔する見地からは、磁気センサアレイ１０を垂直方向であって底壁３８側へ偏在させてもよい。更には、図１の例の磁気センサアレイの位置から、斜め上下方向へ偏在させてもよい。

この発明は、上記発明の実施の形態及び実施例の説明に何ら限定されるものではない。特許請求の範囲の記載を逸脱せず、当業者が容易に想到できる範囲で種々の変形態様もこの発明に含まれる。

１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ検査装置
３被検体
２０被検体テーブル
３０磁気シールド
３１、３３、３５窓
３４、３５側壁
３７上壁
３８底壁

Claims

被検体の磁気的特性を検査する検査装置であって、
磁気センサと、
前記磁気センサに対向して回転し、前記被検体が載置される被検体テーブルと
前記磁気センサ及び前記被検体テーブルを囲繞する磁気シールドと、を備え、
前記磁気センサの視野は、前記被検体テーブルの回転中心から、前記被検体テーブル面に平行、かつ放射状に延びる線に対向している、検査装置において、
前記被検体テーブルに対し前記被検体を搬入し、前記被検体を搬出する被検体フィーダが更に備えられ、
前記磁気シールドの側壁には前記被検体フィーダが通過する通過窓が形成され、前記磁気シールドは箱型であり、前記被検体テーブルの回転中心は前記箱型の磁気シールドの重心を通り、前記通過窓を通過した被検体フィーダと前記被検体テーブルとは仮想直線上に配置され、
前記磁気センサの視野は前記仮想直線に直交する直線に対向している、検査装置。
被検体の磁気的特性を検査する検査装置であって、
磁気センサと、
前記磁気センサに対向して回転し、前記被検体が固定して保持される被検体テーブルと
前記磁気センサ及び前記被検体テーブルを囲繞する磁気シールドと、を備え、
前記磁気センサの視野は、前記被検体テーブルの回転中心から、前記被検体テーブル面に平行、かつ放射状に延びる線に対向している、検査装置において、
前記磁気センサはＳＱＵＩＤ式の磁気センサであり、
前記被検体テーブルの回転周波数は１０Ｈｚを超えるものとし、
前記ＳＱＵＩＤ式の磁気センサの検出信号をピックアップする電子制御回路が更に備えられ、該電子制御回路は前記被検体テーブルの回転周波数に対応した周波数の前記検出信号がピックアップされるように同期・設定されたロックインアンプ回路を備える検査装置。
前記被検体テーブルの回転周波数は５０ｋＨｚ以下である、請求項２に記載の検査装置。
前記被検体テーブルの回転周波数を変化させる請求項２又は３に記載の検査装置。
前記被検体テーブルの回転周波数は商用周波数およびその整数倍の周波数を除いた周波数とする請求項２～４の何れかに記載の検査装置。
前記被検体テーブルに対し前記被検体を搬入し、前記被検体を搬出する被検体フィーダが更に備えられ、
前記磁気シールドの側壁には前記被検体フィーダが通過する通過窓が形成される、請求項２～５のいずれかに記載の検査装置。
前記磁気シールドの一つの側壁に前記被検体フィーダが通過する一つの通過窓が形成されており、
前記一つの通過窓に前記被検体フィーダが通されている、請求項６に記載の検査装置。
前記磁気シールドの前記通過窓に比べて、前記磁気センサは前記磁気シールドの上壁側若しくは底壁側に偏在しており、
前記被検体テーブルを移動させるテーブル移動装置が更に配置され、
前記テーブル移動装置は前記被検体テーブルを第１の位置と第２の位置に移動させ、ここに、前記第１の位置において前記被検体テーブルと前記被検体フィーダとの間で被検体の受け渡しが可能であり、前記第２の位置において被検体テーブルは前記磁気センサに対向する、請求項６又は７に記載の検査装置。
前記磁気シールドは箱型であり、前記被検体テーブルの回転中心は前記箱型の磁気シールドの重心を通り、前記通過窓を通過した被検体フィーダと前記被検体テーブルとは仮想直線上に配置され、
前記磁気センサの視野は前記仮想直線に直交する直線に対向している、請求項６～８のいずれかに記載の検査装置。
磁気センサ、被検体テーブルおよび前記磁気センサと被検体テーブルとを囲繞する磁気シールドとを備えた検査装置を用いる検査方法であって、
前記磁気センサの視野（検査領域）を、前記被検体テーブルの回転中心から、前記被検体テーブル面に平行、かつ放射状に延びる直線に対向させ、
被検体をのせた前記被検体テーブルを前記磁気センサに対向して回転させる、検査方法において、
前記被検体テーブルに対し前記被検体を搬入し、前記被検体を搬出する被検体フィーダが更に備えられ、
前記磁気シールドの側壁には前記被検体フィーダが通過する通過窓が形成され、
前記磁気シールドは箱型であり、前記被検体テーブルの回転中心は前記箱型の磁気シールドの重心を通り、前記通過窓を通過した被検体フィーダと前記被検体テーブルとは仮想直線上に配置され、
前記磁気センサの視野は前記仮想直線に直交する直線に対向している、検査方法。
磁気センサ、被検体テーブルおよび前記磁気センサと被検体テーブルとを囲繞する磁気シールドとを備えた検査装置を用いる検査方法であって、
前記磁気センサの視野（検査領域）を、前記被検体テーブルの回転中心から、前記被検体テーブル面に平行、かつ放射状に延びる直線に対向させ、
被検体を固定して保持した前記被検体テーブルを前記磁気センサに対向して回転させる、検査方法において、
前記磁気センサはＳＱＵＩＤ式の磁気センサであり、
前記被検体テーブルの回転周波数は１０Ｈｚを超えるものとし、
前記ＳＱＵＩＤ式の磁気センサの検出信号をピックアップする電子制御回路が更に備えられ、該電子制御回路はロックインアンプ回路を備え、該ロックインアンプ回路により、前記被検体テーブルの回転周波数に対応した周波数の前記検出信号がピックアップされる、検査方法。
前記被検体テーブルの回転周波数は５０ｋＨｚ以下である、請求項１１に記載の検査方法。
前記被検体テーブルの回転周波数を変化させる請求項１１又は１２に記載の検査方法。
前記被検体テーブルの回転周波数は商用周波数およびその整数倍の周波数を除いた周波数とする請求項１１～１３の何れかに記載の検査方法。
前記被検体テーブルに対し前記被検体を搬入し、前記被検体を搬出する被検体フィーダが更に備えられ、
前記磁気シールドの側壁には前記被検体フィーダが通過する通過窓が形成される、請求項１１～１４の何れかに記載の検査方法。
前記磁気シールドの一つの側壁に前記被検体フィーダが通過する一つの通過窓が形成されており、
前記一つの通過窓に前記被検体フィーダが通されている、請求項１５に記載の検査方法。
前記磁気シールドの前記通過窓に比べて、前記磁気センサは前記磁気シールドの上壁側若しくは底壁側に偏在しており、
前記被検体テーブルを移動させるテーブル移動装置が更に配置され、
前記テーブル移動装置により、前記被検体テーブルを第１の位置と第２の位置に移動させ、ここに、前記第１の位置において前記被検体テーブルと前記被検体フィーダとの間で被検体の受け渡しが可能であり、前記第２の位置において被検体テーブルは前記磁気センサに対向させる、請求項１５又は１６に記載の検査方法。
前記磁気シールドは箱型であり、前記被検体テーブルの回転中心は前記箱型の磁気シールドの重心を通り、前記通過窓を通過した被検体フィーダと前記被検体テーブルとは仮想直線上に配置され、
前記磁気センサの視野は前記仮想直線に直交する直線に対向している、請求項１５に記載の検査方法。
被検体の磁気的特性を検査する検査装置であって、
磁気センサと、
前記磁気センサに対向して回転し、前記被検体が固定して保持される被検体テーブルと
前記磁気センサ及び前記被検体テーブルを囲繞する磁気シールドと、を備え、
前記磁気センサの視野は、前記被検体テーブルの回転中心から、前記被検体テーブル面に平行、かつ放射状に延びる線に対向している、検査装置において、
前記磁気センサはＳＱＵＩＤ式の磁気センサであり、
前記ＳＱＵＩＤ式の磁気センサの検出信号をピックアップする電子制御回路が更に備えられ、該電子制御回路は前記被検体テーブルの回転周波数に対応した周波数の前記検出信号がピックアップされるように同期・設定されたロックインアンプ回路を備える、検査装置。
磁気センサ、被検体テーブルおよび前記磁気センサと被検体テーブルとを囲繞する磁気シールドとを備えた検査装置を用いる検査方法であって、
前記磁気センサの視野（検査領域）を、前記被検体テーブルの回転中心から、前記被検体テーブル面に平行、かつ放射状に延びる直線に対向させ、
被検体を固定して保持した前記被検体テーブルを前記磁気センサに対向して回転させる、検査方法において、
前記磁気センサはＳＱＵＩＤ式の磁気センサであり、
前記ＳＱＵＩＤ式の磁気センサの検出信号をピックアップする電子制御回路が更に備えられ、該電子制御回路はロックインアンプ回路を備え、該ロックインアンプ回路により、前記被検体テーブルの回転周波数に対応した周波数の前記検出信号がピックアップされる、検査方法。