JP7702900B2

JP7702900B2 - スクリーン印刷機

Info

Publication number: JP7702900B2
Application number: JP2022020167A
Authority: JP
Inventors: 好輝岡本
Original assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Current assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Priority date: 2022-02-14
Filing date: 2022-02-14
Publication date: 2025-07-04
Anticipated expiration: 2042-02-14
Also published as: JP2023117548A

Description

本明細書で開示する技術はスクリーン印刷機に関する。

マスクを用いて基板にクリーム半田を印刷するスクリーン印刷機は、マスクの下面に基板が密着している状態でマスク上のクリーム半田を均すことによって基板にクリーム半田を印刷する。マスクは基板上に形成する回路パターンに応じた開口が形成されている板状の部材である。クリーム半田を均すとマスクの下面にクリーム半田が付着することがある。このため、一般にスクリーン印刷機はマスクの下面をクリーニングするクリーニングヘッドを備えており、所定の条件が成立するとクリーニングヘッドを移動させてマスクの下面をクリーニングしている。

マスクの下面に付着しているクリーム半田はゲル化（高粘度化）していることがある。クリーム半田がゲル化しているとクリーニングを行ってもクリーム半田を十分に除去できないことがある。マスクを振動させるとクリーム半田がゾル化（低粘度化）するので、クリーム半田を除去し易くなる。このため、従来、マスクに振動を加えながらクリーニングするスクリーン印刷機が知られている（例えば、特許文献１参照）。
具体的には、特許文献１に記載の半田ペースト印刷機のメタルマスククリーニング装置は、半田マスクの下方に配されているクリーニングペーパーシャフトと、クリーニングペーパーシャフトを振動させる超音波振動発生装置とを備えており、クリーニングシャフトを振動させながら移動させることによって半田マスクをクリーニングしている。

特開平１０－３０９７９９号公報

しかしながら、上述した特許文献１に記載のメタルマスククリーニング装置は半田マスクを効率よく振動させる上で改善の余地があった。
本明細書では、マスクの下面をクリーニングするときにマスクを効率よく振動させることのできる技術を開始する。

マスクを用いて基板にクリーム半田を印刷するスクリーン印刷機であって、クリーニング媒体を用いて前記マスクの下面をクリーニングするクリーニングヘッドと、前記マスクの上面に当接して前記マスクを振動させる振動発生部と、前記クリーニングヘッドと前記振動発生部とを同期して移動させる移動部と、を備える、スクリーン印刷機。

上記の構成によれば、マスクの下面をクリーニングするときにマスクを効率よく振動させることができる。

実施形態１に係るスクリーン印刷機の斜視図スクリーン印刷機を左側から見た模式図（印刷テーブルが作業位置の下方にある状態）マスク部材の斜視図図２に示すクリーニング部及びマスク振動部の拡大図マスク及び側壁部の上面図マスク部材及びマスク振動部を上側から見た模式図スクリーン印刷機の電気的構成を示すブロック図スクリーン印刷機を左側から見た模式図（印刷テーブルが作業位置の下方から移動した状態）

（本実施形態の概要）
（１）本開示に係るスクリーン印刷機は、マスクを用いて基板にクリーム半田を印刷するスクリーン印刷機であって、クリーニング媒体を用いて前記マスクの下面をクリーニングするクリーニングヘッドと、前記マスクの上面に当接して前記マスクを振動させる振動発生部と、前記クリーニングヘッドと前記振動発生部とを同期して移動させる移動部と、を備える。

前述した特許文献１に記載のメタルマスククリーニング装置は、クリーニングペーパーシャフトを振動させることによって半田マスクを振動させている。しかしながら、クリーニングペーパーシャフトにはある程度の重さがあるので、振動させるために大きな力が必要である。更に、クリーニングペーパーシャフトにある程度の重さがあると高周波で振動し難いため、クリーム半田がゾル化し難くなる。
特許文献１には半田マスクフレームに上から当接して半田マスクフレームを振動させる構成も記載されている。しかしながら、一般に半田マスクは樹脂やゴムなどの弾性部材を介して半田マスクフレームに支持されているため、半田マスクフレームを振動させてもその振動が弾性部材に吸収されて半田マスクに伝わり難い。
このため、特許文献１に記載のメタルマスククリーニング装置は、半田マスクを効率よく振動させる上で改善の余地があった。

上記のスクリーン印刷機は、マスクの上面に当接してマスクを振動させる振動発生部を備えている。振動発生部はクリーニングペーパーシャフトを振動させる必要がないので小さな力でマスクを振動させることができる。更に、クリーニングペーパーシャフトを振動させる必要がないのでマスクを高周波で振動させることができる。更に、上記のスクリーン印刷機ではマスクを直接振動させるので、マスクフレームを振動させる場合に比べてマスクに振動が伝わり易い。
よって上記のスクリーン印刷機によると、マスクの下面をクリーニングするときにマスクを効率よく振動させることができる。

（２）前記クリーニングヘッドは、底壁部と、前記底壁部から立ち上がっている側壁部とを有し、前記側壁部は、互いに前記クリーニングヘッドの移動方向に離間している２つの側壁であって、壁面が前記移動方向と交差している２つの側壁を有し、前記振動発生部は、上面視で前記マスクにおいて２つの前記側壁の間に当接してもよい。

前述した特許文献１に記載のメタルマスククリーニング装置では半田マスク全体が振動するので、半田マスクにおいて上面視でメタルマスククリーニング装置と重ならない領域のクリーム半田もゾル化し、ゾル化したクリーム半田が機内に落下する可能性がある。
上記のスクリーン印刷機では、側壁部の２つの側壁がクリーニングヘッドの移動方向に離間しており、振動発生部は、上面視でマスクにおいて２つの側壁の間に当接する。このようにすると、マスクにおいて２つの側壁の外側の領域に振動が伝わり難くなる。このため、マスクにおいて２つの側壁の外側に付着しているクリーム半田がゾル化し難くなる。このため上記のスクリーン印刷機によると、マスクの振動によってクリーム半田（より具体的にはマスクの下面において２つの側壁の外側の領域に付着しているクリーム半田）がスクリーン印刷機の機内に落下することを抑制できる。

（３）前記側壁部の上面に複数の吸引穴が形成されており、前記吸引穴内の空気を吸引する吸引部を備えてもよい。

上記のスクリーン印刷機によると、側壁部の上面がクリーニング媒体を介してマスクの下面に密着している状態で吸引穴内の空気を吸引することにより、側壁部の上面がクリーニング媒体を介してマスクの下面に吸着する。このため、マスクにおいて振動する範囲を２つの側壁の内側の範囲により確実に制限できる。

（４）前記側壁部は環状に形成されており、前記吸引部は環状の前記側壁部の内側の空間の空気も吸引してもよい。

上記のスクリーン印刷機によると、環状の側壁部の内側の空間の空気を吸引するので、マスクの下面において側壁部の内側の領域に付着しているクリーム半田が落下し易くなる。このためマスクの下面をより確実にクリーニングできる。

（５）前記側壁部は環状に形成されており、環状の前記側壁部の内側の空間の空気を吸引する吸引部を備えてもよい。

上記のスクリーン印刷機によると、環状の側壁部の内側の空間の空気を吸引することにより、マスクの下面において側壁部の内側の領域に付着しているクリーム半田が落下し易くなる。このためマスクの下面をより確実にクリーニングできる。

（６）前記クリーニングヘッドは２つの前記側壁の間に設けられている支点部材を有し、前記クリーニング媒体が２つの前記側壁の間で前記支点部材の下を通過していてもよい。

上記のスクリーン印刷機によると、マスクの下面とクリーニング媒体との間に空間ができるので、マスクの下面に付着しているクリーム半田が落下し易くなる。

［本開示の実施形態の詳細］
以下に、本開示の実施形態について説明する。本開示はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
本開示の実施形態は、装置、方法、これらの装置または方法の機能を実現するためのコンピュータプログラム、そのコンピュータプログラムを記録した記録媒体等の種々の態様で実現できる。

＜実施形態１＞
実施形態１を図１ないし図８に基づいて説明する。以降の説明において前後方向、上下方向及び左右方向とは図１に示す前後方向、上下方向及び左右方向を基準とする。以降の説明では図１に示す右側を上流側、左側を下流側という。以降の説明では同一の構成要素には一部を除いて図面の符号を省略している場合がある。

（１）スクリーン印刷機の構成
図１を参照して、実施形態１に係るスクリーン印刷機１の外観について説明する。スクリーン印刷機１はマスクを用いて基板にクリーム半田を印刷する装置である。スクリーン印刷機１は箱状の筐体１０を備えている。筐体１０の右壁には基板が搬入される開口が形成されている。筐体１０の左壁には基板が搬出される開口が形成されている。基板は右壁の開口から筐体１０の内部に搬入され、筐体１０の内部でクリーム半田が印刷された後に左側の開口から搬出される。

図２を参照して、スクリーン印刷機１の概略構成について説明する。スクリーン印刷機１はマスク部材１１、印刷テーブル１２、印刷部１３、クリーニング部１４及びマスク振動部１５を備えている。図２では示されていないが、スクリーン印刷機１は上流側から搬入された基板Ｐをマスク１１Ｃの下方の作業位置に搬送し、作業位置でクリーム半田６０が印刷された基板Ｐを下流側に搬出するコンベア５２（図７参照）も備えている。

（１－１）マスク部材
図３に示すように、マスク部材１１は枠状のマスクフレーム１１Ａと、マスクフレーム１１Ａの内側に弾性部材１１Ｂを介して支持されている板状のマスク１１Ｃとを備えている。マスク１１Ｃはアルミニウムや鉄などで形成されており、基板に形成する回路パターンに応じた開口（図示せず）が形成されている。弾性部材１１Ｂは板状の樹脂やゴムなどである。

（１－２）印刷テーブル
図２に示すように、印刷テーブル１２は作業位置の下方に配されている。印刷テーブル１２は作業位置に搬送された基板Ｐを持ち上げてマスク１１Ｃの下面に密着させる機構である。印刷テーブル１２は基台１２Ａ、複数のバックアップピン１２Ｂ、それらのバックアップピン１２Ｂが立設されているプッシュアッププレート１２Ｃ、プッシュアッププレート１２Ｃを昇降させるプレート昇降部１２Ｄ、及び、基台１２Ａを前後方向に移動させるテーブル移動部１２Ｅを備えている。

プレート昇降部１２Ｄはボールねじによってプッシュアッププレート１２Ｃを昇降させる機構である。プレート昇降部１２Ｄはプッシュアッププレート１２Ｃの下面から下に延びているボールねじ、ボールねじに螺合しているボールナット、ボールナットを回転させるモータを有している。
テーブル移動部１２Ｅはクリーニング部１４によってマスク１１Ｃの下面をクリーニングするときに印刷テーブル１２が邪魔にならないように印刷テーブル１２を後側に移動させる機構である。テーブル移動部１２Ｅはボールねじによって印刷テーブル１２を前後方向に移動させる機構であり、基台１２Ａの右端部を前後方向にスライド可能に支持しているガイドレール、基台の左端部に固定されているボールナット、ボールナットに螺合して前後方向に延びているボールねじ、及び、ボールねじを軸周りに回転させるモータを有している。

（１－３）印刷部
印刷部１３はスキージヘッド１３Ａ、２つのスキージ支持部１３Ｂ、２つのスキージ１３Ｃ、及び、スキージ移動部１３Ｄを備えている。スキージヘッド１３Ａは左右方向に長い部材である。スキージヘッド１３Ａにはスキージ支持部１３Ｂを昇降させるモータが配されている。スキージ支持部１３Ｂは棒状の部材であり、昇降可能にスキージヘッド１３Ａに支持されている。スキージ１３Ｃは左右方向に長い板状の部材であり、スキージ支持部１３Ｂの下端部に固定されている。後側のスキージ１３Ｃは後側に向かって下に傾斜している。前側のスキージ１３Ｃは前側に向かって下に傾斜している。

スキージ移動部１３Ｄはボールねじによってスキージヘッド１３Ａを前後方向に移動させる機構である。スキージ移動部１３Ｄはスキージヘッド１３Ａの右端部を前後方向にスライド可能に支持しているガイドレール、スキージヘッド１３Ａの左端部に固定されているボールナット、ボールナットに螺合して前後方向に延びているボールねじ、及び、ボールねじを回転させるモータを有している。

（１－４）クリーニング部
図４を参照して、クリーニング部１４について説明する。クリーニング部１４はマスク１１Ｃの下面をクリーニングする機構である。クリーニング部１４はクリーニングヘッド１４Ａ、クリーニングヘッド１４Ａを前後方向に移動させる第１の移動部１４Ｂ（移動部の一例）、及び、吸引部１４Ｃ（図７参照）を備えている。図２に示すように、クリーニングヘッド１４Ａは、クリーニングを行わないときは前側の待機位置で待機する。

図４に示すように、クリーニングヘッド１４Ａは平板状の基台２０、基台２０の上面に固定されている吸引体２１、クリーニングペーパー２２（クリーニング媒体の一例）が巻き回されているペーパーローラー２３、ペーパーローラー２３の両端部を回転可能に軸支する左右一対の軸受け部２４、使用済みのクリーニングペーパー２２を巻き取る巻き取りローラー２５、巻き取りローラー２５の両端部を回転可能に軸支する左右一対の軸受け部２６、及び、巻き取りローラー２５を回転させる巻き取りモータ（図示せず）を備えている。

吸引体２１は基台２０の上面に固定されている。吸引体２１の前後方向の幅は基台２０の前後方向の幅より狭い。吸引体２１は底壁部２１Ａと、底壁部２１Ａの外周縁部から環状に立ち上がっている側壁部２１Ｂとを有している。側壁部２１Ｂの外周形状は上面視で左右方向に長い長方形状であり、内側に空間２１Ｃが形成されている。
図５に示すように、側壁部２１Ｂは、互いに前後方向（クリーニングヘッドの移動方向の一例）に離間している２つの側壁７１であって、壁面が前後方向と直交（交差の一例）している２つの側壁７１と、互いに左右方向に離間している２つの側壁７２であって、壁面が左右方向と直交している２つの側壁７２とを有している。

側壁部２１Ｂの前後の側壁７１には上下方向に貫通する複数の貫通穴３１（吸引穴の一例）が互いに離間して形成されている。吸引体２１の底壁部２１Ａにも上下方向に貫通する複数の貫通穴３２が形成されている。
図４に示すように、基台２０の上面（あるいは吸引体２１の下面、又は、基台２０の上面及び吸引体２１の下面の両方）には複数の貫通穴３１内の空気を一括して吸引するための空気流路３６を形成する溝３５と、複数の貫通穴３２内の空気を一括して吸引するための空気流路３４を形成する溝３３とが形成されている。空気流路３４と空気流路３６とは独立した空気流路として構成されており、それぞれ別々のエアホース（図示せず）を介して吸引部１４Ｃ（図７参照）に接続されている。吸引部１４Ｃは空気流路３４，３６に正圧及び負圧を供給する装置である。吸引部１４Ｃは負圧だけを供給する装置であってもよい。空気流路３４内の空気を吸引する負圧の大きさ（吸引圧）と空気流路３６内の空気を吸引する負圧の大きさとは異なっていてもよい。

吸引体２１の内側の空間２１Ｃには左右方向（図２において紙面垂直方向）に延びる姿勢で円柱状の支点部材２１Ｄが配されている。前側から吸引体２１の内側の空間２１Ｃに入ったクリーニングペーパー２２は支点部材２１Ｄの下を通過し、支点部材２１Ｄ周りに曲げられて後側から引き出されている。クリーニングペーパー２２は不織布などの空気を通す素材で形成されている。

第１の移動部１４Ｂはボールねじによってクリーニングヘッド１４Ａを前後方向に移動させる機構である。第１の移動部１４Ｂは基台２０の左端部を前後方向にスライド可能に支持しているガイドレール、基台２０の右端部に固定されているボールナット、ボールナットに螺合して前後方向に延びているボールねじ、及び、ボールねじを回転させるモータを備えている。

（１－５）マスク振動部
マスク振動部１５はクリーニング部１４によってマスク１１Ｃの下面をクリーニングするときにマスク１１Ｃを振動させる機構である。マスク振動部１５はマスク１１Ｃの上面に当接してマスク１１Ｃを振動させる振動発生部４０、及び、振動発生部４０を前後方向に移動させる第２の移動部４１（移動部の一例）を有している。

振動発生部４０は振動ヘッド４２、スキージ支持部材４３、クリーニング用メタルスキージ４４、超音波発生装置４５、及び、振動子４６を有している。振動発生部４０もクリーニングを行わないときは前側の待機位置で待機する。
図６に示すように、振動ヘッド４２は左右方向に長い部材である。図４に示すように、スキージ支持部材４３は棒状の部材であり、振動ヘッド４２に昇降可能に支持されている。振動ヘッド４２にはスキージ支持部材４３を昇降させるモータ４７が配されている。

クリーニング用メタルスキージ４４は左右方向に長い板状の部材である。クリーニング用メタルスキージ４４は後側から前側に向かって下に傾斜する姿勢でスキージ支持部材４３の下端に固定されている。図６に示すように、クリーニング用メタルスキージ４４は上面視でマスク１１Ｃにおいて側壁部２１Ｂの内側の空間２１Ｃと重なる範囲内（言い換えると２つの側壁７１の間）に当接する。

図４に示すように、超音波発生装置４５は振動ヘッド４２に固定されている。振動子４６は上下方向に延びる棒状の部材である。振動子４６は超音波発生装置４５に固定されており、下端がクリーニング用メタルスキージ４４に当接している。超音波発生装置４５は超音波を発生させるとその反動によって高周波で振動する。超音波発生装置４５が振動するとその振動が振動子４６を介してクリーニング用メタルスキージ４４に伝達される。これによりクリーニング用メタルスキージ４４が高周波で振動する。

第２の移動部４１はボールねじによって振動ヘッド４２を前後方向に移動させる機構である。第２の移動部４１は振動ヘッド４２の左端部を前後方向にスライド可能に支持しているガイドレール、振動ヘッド４２の右端部に固定されているボールナット、ボールナットが螺合しているボールねじ、及び、ボールねじを回転させるモータを有している。

（２）スクリーン印刷機の電気的構成
図７を参照して、スクリーン印刷機１の電気的構成について説明する。スクリーン印刷機１は制御部５０及び操作パネル５１を備えている。
制御部５０はＣＰＵ５０Ａ、ＲＡＭ５０Ｂ及び記憶部５０Ｃを備えている。記憶部５０ＣにはＣＰＵ５０Ａによって実行される各種のプログラムやデータが記憶されている。制御部５０には操作パネル５１、コンベア５２、印刷テーブル１２、印刷部１３、クリーニング部１４、マスク振動部１５などが接続されている。操作パネル５１は液晶ディスプレイなどの表示装置、及び、タッチパネル、マウス、キーボードなどの入力装置を備えている。オペレータは操作パネル５１を操作することによってスクリーン印刷機１に対する各種の設定や動作の指示などを行うことができる。

（３）マスクのクリーニング
図８を参照して、マスク１１Ｃのクリーニングについて説明する。制御部５０は所定の条件が成立するとマスク１１Ｃの下面をクリーニングする。所定の条件は、所定枚数の基板Ｐに回路パーンを印刷する毎、所定の時間間隔、予め設定されている時刻に達したとき、オペレータがクリーニングを指示したときなどである。所定の条件は適宜に決定できる。

制御部５０は上述した所定の条件が成立すると、印刷テーブル１２がクリーニングの邪魔にならないように印刷テーブル１２を後側に移動させる。次に、制御部５０はクリーニングヘッド１４Ａをマスク１１Ｃの前端部の下方まで移動させ、吸引部１４Ｃによって吸引体２１の貫通穴３１，３２内の空気を吸引する。これらの貫通穴３１，３２内の空気が吸引されると側壁部２１Ｂの上面がクリーニングペーパー２２を介してマスク１１Ｃの下面に吸着するとともに、側壁部２１Ｂの内側の空間２１Ｃの空気が吸引される。

次に、制御部５０は、マスク１１Ｃにおいて側壁部２１Ｂの内側の空間２１Ｃと重なる範囲の上方にクリーニング用メタルスキージ４４を移動させ、スキージ支持部材４３を下降させてクリーニング用メタルスキージ４４をマスク１１Ｃに当接させる。そして、制御部５０はクリーニング用メタルスキージ４４によってマスク１１Ｃを振動させながら、第１の移動部１４Ｂ及び第２の移動部４１によってクリーニング用メタルスキージ４４とクリーニングヘッド１４Ａとを後側に同期して移動させる。同期して移動させるとは、クリーニング用メタルスキージ４４がマスク１１Ｃにおいて側壁部２１Ｂの内側の空間２１Ｃと重なる範囲内に当接している状態を維持しつつクリーニング用メタルスキージ４４とクリーニングヘッド１４Ａとを同じ方向に同じ速度で移動させることをいう。

（４）実施形態の効果
実施形態１に係るスクリーン印刷機１によると、マスク１１Ｃの上面に当接してマスク１１Ｃを振動させる振動発生部４０を備えている。振動発生部４０はペーパーローラー２３（特許文献１のクリーニングペーパーシャフトに相当）を振動させる必要がないので小さな力でマスク１１Ｃを振動させることができる。更に、ペーパーローラー２３を振動させる必要がないので、ペーパーローラー２３を振動させる場合に比べてマスク１１Ｃを高周波で振動させることができる。更に、スクリーン印刷機１では振動発生部４０によってマスク１１Ｃを直接振動させるので、マスクフレーム１１Ａを振動させる場合に比べてマスク１１Ｃに振動が伝わり易い。よってスクリーン印刷機１によると、マスク１１Ｃの下面をクリーニングするときにマスク１１Ｃを効率よく振動させることができる。

スクリーン印刷機１によると、側壁部２１Ｂの２つの側壁７１が前後方向に離間しており、振動発生部４０は、上面視でマスク１１Ｃにおいて２つの側壁７１の間に当接する。このようにすると、マスク１１Ｃにおいて２つの側壁７１の外側の領域に振動が伝わり難くなる。このため、マスク１１Ｃにおいて２つの側壁７１の外側に付着しているクリーム半田６０がゾル化し難くなり、マスク１１Ｃの振動によってクリーム半田６０（より具体的にはマスク１１Ｃの下面において２つの側壁７１の外側の領域に付着しているクリーム半田６０）がスクリーン印刷機１の機内に落下することを抑制できる。

スクリーン印刷機１によると、側壁部２１Ｂの上面がクリーニングペーパー２２を介してマスク１１Ｃの下面に密着している状態で貫通穴３１の空気を吸引することにより、側壁部２１Ｂの上面がクリーニングペーパー２２を介してマスク１１Ｃの下面に吸着する。このため、マスク１１Ｃにおいて振動する範囲を側壁部２１Ｂの内側の範囲により確実に制限できる。

スクリーン印刷機１によると、環状の側壁部２１Ｂの内側の空間２１Ｃの空気を吸引するので、マスク１１Ｃの下面において側壁部２１Ｂの内側の領域に付着しているゾル化したクリーム半田６０が落下し易くなる。このためマスク１１Ｃの下面をより確実にクリーニングできる。

スクリーン印刷機１によると、クリーニングヘッド１４Ａは側壁部２１Ｂの内側の空間２１Ｃ内（言い換えると２つの側壁７１の間）に設けられている支点部材２１Ｄを有し、クリーニングペーパー２２が側壁部２１Ｂの内側の空間２１Ｃ内で支点部材２１Ｄの下を通過しているので、マスク１１Ｃの下面とクリーニングペーパー２２との間に空間ができる。このためマスク１１Ｃの下面に付着しているクリーム半田６０が落下し易くなる。

＜他の実施形態＞
本明細書によって開示される技術は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本明細書によって開示される技術的範囲に含まれる。

（１）上記実施形態では吸引部１４Ｃによって貫通穴３１内の空気と側壁部２１Ｂの内側の空間２１Ｃの空気とを吸引する場合を例に説明した。これに対し、側壁部２１Ｂに貫通穴３１を形成せず、側壁部２１Ｂの内側の空間２１Ｃの空気だけを吸引してもよい。

（２）上記実施形態では側壁部２１Ｂの内側の空間２１Ｃの空気を吸引する場合を例に説明したが、空間２１Ｃの空気は吸引しない構成であってもよい。

（３）上記実施形態では側壁部２１Ｂが環状に形成されている場合を例に説明したが、側壁部２１Ｂは２つの側壁７１だけを備える構成であってもよい。その場合は側壁部２１Ｂの内側の空間２１Ｃが解放された状態になるので、側壁部２１Ｂの内側の空間２１Ｃの空気は吸引されない。

（４）上記実施形態では吸引穴として貫通穴３１を例に説明したが、吸引穴は必ずしも側壁部２１Ｂを貫通していなくてもよい。

（５）上記実施形態では振動発生部４０が振動の発生源として超音波発生装置４５を備えている場合を例に説明したが、振動の発生源は超音波発生装置４５に限られない。例えば、振動の発生源は超音波よりも低周波の音波を発生させる音波発生装置であってもよいし、モータであってもよい。

（６）上記実施形態ではクリーニングヘッド１４Ａと振動発生部４０とを同期して移動させる移動部が第１の移動部１４Ｂと第２の移動部４０との２つで構成されている場合を例に説明したが、クリーニングヘッド１４Ａと振動発生部４０とは一つの移動部によって移動されてもよい。例えば、クリーニングヘッド１４Ａが振動発生部４０を支持している構成とし、第１の移動部１４Ｂによってクリーニングヘッド１４Ａと振動発生部４０とを移動させてもよい。

（７）クリーニングヘッド１４Ａと振動発生部４０とを同期して移動させる速度は、マスク１１Ｃに形成されている回路パターンに応じて変更されてもよい。

１：スクリーン印刷機
１１Ｃ：マスク
１４Ａ：クリーニングヘッド
１４Ｂ：第１の移動部（移動部の一例）
１４Ｃ：吸引部
２１Ａ：底壁部
２１Ｂ：側壁部
２１Ｄ：支点部材
２２：クリーニングペーパー（クリーニング媒体の一例）
３１：貫通穴（吸引穴の一例）
４０：振動発生部
４１：第２の移動部（移動部の一例）
６０：クリーム半田
７１：側壁
Ｐ：基板

Claims

マスクを用いて基板にクリーム半田を印刷するスクリーン印刷機であって、
クリーニング媒体を用いて前記マスクの下面をクリーニングするクリーニングヘッドと、
前記マスクの上面に当接して前記マスクを振動させる振動発生部と、
前記クリーニングヘッドと前記振動発生部とを同期して移動させる移動部と、
を備え、
前記クリーニングヘッドは、底壁部と、前記底壁部から立ち上がっている側壁部とを有し、
前記側壁部は、互いに前記クリーニングヘッドの移動方向に離間している２つの側壁であって、壁面が前記移動方向と交差している２つの側壁を有し、
前記振動発生部は、上面視で前記マスクにおいて２つの前記側壁の間に当接し、
前記側壁部の上面に複数の吸引穴が形成されており、
前記吸引穴内の空気を吸引する吸引部を備える、スクリーン印刷機。
マスクを用いて基板にクリーム半田を印刷するスクリーン印刷機であって、
クリーニング媒体を用いて前記マスクの下面をクリーニングするクリーニングヘッドと、
前記マスクの上面に当接して前記マスクを振動させる振動発生部と、
前記クリーニングヘッドと前記振動発生部とを同期して移動させる移動部と、
を備え、
前記クリーニングヘッドは、底壁部と、前記底壁部から立ち上がっている側壁部とを有し、
前記側壁部は、互いに前記クリーニングヘッドの移動方向に離間している２つの側壁であって、壁面が前記移動方向と交差している２つの側壁を有し、
前記振動発生部は、上面視で前記マスクにおいて２つの前記側壁の間に当接し、
２つの前記側壁の上面が前記クリーニング媒体を介して前記マスクの下面に当接する、スクリーン印刷機。
請求項２に記載のスクリーン印刷機であって、
前記側壁部の上面に複数の吸引穴が形成されており、
前記吸引穴内の空気を吸引する吸引部を備える、スクリーン印刷機。
請求項１又は請求項３に記載のスクリーン印刷機であって、
前記側壁部は環状に形成されており、
前記吸引部は環状の前記側壁部の内側の空間の空気も吸引する、スクリーン印刷機。
マスクを用いて基板にクリーム半田を印刷するスクリーン印刷機であって、
クリーニング媒体を用いて前記マスクの下面をクリーニングするクリーニングヘッドと、
前記マスクの上面に当接して前記マスクを振動させる振動発生部と、
前記クリーニングヘッドと前記振動発生部とを同期して移動させる移動部と、
を備え、
前記クリーニングヘッドは、底壁部と、前記底壁部から立ち上がっている側壁部とを有し、
前記側壁部は、互いに前記クリーニングヘッドの移動方向に離間している２つの側壁であって、壁面が前記移動方向と交差している２つの側壁を有し、
前記振動発生部は、上面視で前記マスクにおいて２つの前記側壁の間に当接し、
前記側壁部は環状に形成されており、
環状の前記側壁部の内側の空間の空気を吸引する吸引部を備える、スクリーン印刷機。
マスクを用いて基板にクリーム半田を印刷するスクリーン印刷機であって、
クリーニング媒体を用いて前記マスクの下面をクリーニングするクリーニングヘッドと、
前記マスクの上面に当接して前記マスクを振動させる振動発生部と、
前記クリーニングヘッドと前記振動発生部とを同期して移動させる移動部と、
を備え、
前記クリーニングヘッドは、底壁部と、前記底壁部から立ち上がっている側壁部とを有し、
前記側壁部は、互いに前記クリーニングヘッドの移動方向に離間している２つの側壁であって、壁面が前記移動方向と交差している２つの側壁を有し、
前記振動発生部は、上面視で前記マスクにおいて２つの前記側壁の間に当接し、
前記クリーニングヘッドは２つの前記側壁の間に設けられている支点部材を有し、
前記クリーニング媒体が２つの前記側壁の間で前記支点部材の下を通過している、スクリーン印刷機。