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JP7712059B2 - Metal-clad laminates and circuit boards - Google Patents
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JP7712059B2 - Metal-clad laminates and circuit boards - Google Patents

Metal-clad laminates and circuit boards

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Description

本発明は、電子部品として有用な金属張積層板及び回路基板に関する。 The present invention relates to metal-clad laminates and circuit boards that are useful as electronic components.

近年、電子機器の小型化、軽量化、省スペース化の進展に伴い、薄く軽量で、可撓性を有し、屈曲を繰り返しても優れた耐久性を持つフレキシブルプリント配線板(FPC;Flexible Printed Circuits)の需要が増大している。FPCは、限られたスペースでも立体的かつ高密度の実装が可能であるため、例えば、HDD、DVD、スマートフォン等の電子機器の可動部分の配線や、ケーブル、コネクター等の部品にその用途が拡大しつつある。 In recent years, with the progress of miniaturization, weight saving, and space saving of electronic devices, there is an increasing demand for flexible printed circuits (FPCs) that are thin, lightweight, flexible, and have excellent durability even when repeatedly bent. Because FPCs allow three-dimensional and high-density mounting even in a limited space, their applications are expanding to include wiring for moving parts of electronic devices such as HDDs, DVDs, and smartphones, as well as components such as cables and connectors.

上述した高密度化に加えて、機器の高性能化が進んだことから、伝送信号の高周波化への対応も必要とされている。高周波信号を伝送する際に、伝送経路における伝送損失が大きい場合、電気信号のロスや信号の遅延時間が長くなるなどの不都合が生じる。そのため、今後はFPCにおいても、伝送損失の低減が重要となる。 In addition to the increased density mentioned above, the increasing performance of devices has also necessitated the need to accommodate higher frequencies for transmitted signals. When transmitting high-frequency signals, if there is a large transmission loss in the transmission path, problems such as loss of electrical signals and longer signal delay times will occur. For this reason, reducing transmission loss will also be important in the future for FPCs.

高周波伝送特性を改善するために、ポリイミドフィルムの両面にフッ素樹脂からなるフィルムを積層した積層体を絶縁樹脂層として用いることが提案されている(特許文献1)。特許文献1の絶縁樹脂層は、フッ素系樹脂を使用しているため、誘電特性の点では優れているが、寸法安定性に課題があり、特に、FPCに適用した場合、エッチングによる回路加工の前後の寸法変化と、加熱処理の前後の寸法変化が大きくなることが懸念される。 In order to improve high-frequency transmission characteristics, it has been proposed to use a laminate in which a film made of fluororesin is laminated on both sides of a polyimide film as an insulating resin layer (Patent Document 1). The insulating resin layer in Patent Document 1 uses a fluororesin, and therefore has excellent dielectric properties, but there are issues with dimensional stability. In particular, when applied to FPCs, there are concerns that dimensional changes before and after circuit processing by etching and before and after heat treatment will be significant.

高周波伝送特性を改善するために、特定のジアミン残基を導入した接着層によって2つの片面金属張積層板を貼り合わせて積層するとともに、樹脂層全体及び接着層の厚みを制御することが提案されている(特許文献2)。しかしながら、特許文献2では、片面金属張積層板の絶縁層によって、低誘電正接の接着層と金属層(配線)との距離が離れていることから、伝送損失の低減効果にさらなる改善の余地があった。 In order to improve the high-frequency transmission characteristics, it has been proposed to laminate two single-sided metal-clad laminates together using an adhesive layer containing a specific diamine residue, while controlling the thickness of the entire resin layer and the adhesive layer (Patent Document 2). However, in Patent Document 2, the insulating layer of the single-sided metal-clad laminate separates the low dielectric tangent adhesive layer from the metal layer (wiring), leaving room for further improvement in the effect of reducing transmission loss.

特開2004-216830号公報JP 2004-216830 A 特開2018-170417号公報JP 2018-170417 A

本発明の目的は、高周波伝送においても伝送損失の低減が可能で、かつ、寸法安定性に優れた金属張積層板及び回路基板を提供することである。 The object of the present invention is to provide a metal-clad laminate and a circuit board that can reduce transmission loss even in high-frequency transmission and have excellent dimensional stability.

本発明者らは、鋭意研究の結果、一対の金属層(配線)に接するように、それぞれ、低誘電正接の伝送損失抑制層を設けるとともに、伝送損失抑制層の間に、複数の寸法精度維持層が中間伝送損失抑制層によって積層された構造を設け、樹脂層全体の厚みに対する寸法精度維持層の合計厚み比率を一定以上とすることによって、樹脂層全体の厚みを大きくしても配線の位置ずれを抑制することができ、伝送損失の低減と寸法精度の維持を両立できることを見出した。 As a result of intensive research, the inventors have found that by providing a transmission loss suppression layer with a low dielectric tangent in contact with each of a pair of metal layers (wiring), providing a structure in which multiple dimensional accuracy maintaining layers are stacked with intermediate transmission loss suppression layers between the transmission loss suppression layers, and setting the ratio of the total thickness of the dimensional accuracy maintaining layers to the overall thickness of the resin layer to a certain value or more, it is possible to suppress misalignment of the wiring even if the overall thickness of the resin layer is increased, thereby making it possible to achieve both reduced transmission loss and maintained dimensional accuracy.

本発明の金属張積層板は、第1の金属層と、前記第1の金属層の片側に接して設けられている第1の伝送損失抑制層と、第2の金属層と、前記第2の金属層の片側に接して設けられている第2の伝送損失抑制層と、前記第1の伝送損失抑制層と前記第2の伝送損失抑制層との間に介在する複数の樹脂層と、を備えている。
本発明の金属張積層板において、前記第1の伝送損失抑制層と前記第2の伝送損失抑制層と前記複数の樹脂層とによって樹脂積層体が形成されており、前記樹脂積層体は、少なくとも2層以上の寸法精度維持層と、前記寸法精度維持層の間に積層されている中間伝送損失抑制層と、を有している。
そして、本発明の金属張積層板は、下記の条件i及びii;
i)23℃、50%RHの恒温恒湿条件(常態)のもと24時間調湿後にスプリットポスト誘電体共振器(SPDR)により測定される10GHzにおける誘電正接であって、前記第1の伝送損失抑制層及び前記第2の伝送損失抑制層の誘電正接をDf、前記寸法精度維持層の誘電正接をDfとしたとき、Df<Dfの関係にあること;
ii)前記寸法精度維持層の合計厚みが、前記樹脂積層体の合計厚みの25~60%の範囲内にあること;
を満たしている。
The metal-clad laminate of the present invention comprises a first metal layer, a first transmission loss suppression layer provided in contact with one side of the first metal layer, a second metal layer, a second transmission loss suppression layer provided in contact with one side of the second metal layer, and a plurality of resin layers interposed between the first transmission loss suppression layer and the second transmission loss suppression layer.
In the metal-clad laminate of the present invention, a resin laminate is formed by the first transmission loss suppression layer, the second transmission loss suppression layer, and the multiple resin layers, and the resin laminate has at least two or more dimensional accuracy maintaining layers and an intermediate transmission loss suppression layer laminated between the dimensional accuracy maintaining layers.
The metal-clad laminate of the present invention satisfies the following conditions i and ii:
i) The dielectric loss tangent at 10 GHz measured by a split post dielectric resonator (SPDR) after 24 hours of conditioning under constant temperature and humidity conditions (normal state) of 23° C. and 50% RH, where Df 1 is the dielectric loss tangent of the first transmission loss suppression layer and the second transmission loss suppression layer, and Df 2 is the dielectric loss tangent of the dimensional accuracy maintaining layer, satisfies the relationship Df 1 < Df 2 ;
ii) the total thickness of the dimensional accuracy maintaining layer is within the range of 25 to 60% of the total thickness of the resin laminate;
It meets the following criteria.

本発明の回路基板は、第1の配線層と、前記第1の配線層の片側に接して設けられている第1の伝送損失抑制層と、第2の配線層と、前記第2の配線層の片側に接して設けられている第2の伝送損失抑制層と、前記第1の伝送損失抑制層と前記第2の伝送損失抑制層との間に介在する複数の樹脂層と、を備えている。
本発明の回路基板は、前記第1の伝送損失抑制層と前記第2の伝送損失抑制層と前記複数の樹脂層とによって樹脂積層体が形成されており、前記樹脂積層体は、少なくとも2層以上の寸法精度維持層と、前記寸法精度維持層の間に積層されている中間伝送損失抑制層と、
を有している。
そして、 本発明の回路基板は、下記の条件i及びii;
i)23℃、50%RHの恒温恒湿条件(常態)のもと24時間調湿後にスプリットポスト誘電体共振器(SPDR)により測定される10GHzにおける誘電正接であって、前記第1の伝送損失抑制層及び前記第2の伝送損失抑制層の誘電正接をDf、前記寸法精度維持層の誘電正接をDfとしたとき、Df<Dfの関係にあること;
ii)前記寸法精度維持層の合計厚みが、前記樹脂積層体の合計厚みの25~60%の範囲内にあること;
を満たしている。
The circuit board of the present invention comprises a first wiring layer, a first transmission loss suppression layer provided in contact with one side of the first wiring layer, a second wiring layer, a second transmission loss suppression layer provided in contact with one side of the second wiring layer, and a plurality of resin layers interposed between the first transmission loss suppression layer and the second transmission loss suppression layer.
The circuit board of the present invention includes a resin laminate formed by the first transmission loss suppression layer, the second transmission loss suppression layer, and the plurality of resin layers, and the resin laminate includes at least two or more dimensional accuracy maintaining layers, an intermediate transmission loss suppression layer laminated between the dimensional accuracy maintaining layers,
It has.
The circuit board of the present invention satisfies the following conditions i and ii:
i) The dielectric loss tangent at 10 GHz measured by a split post dielectric resonator (SPDR) after 24 hours of conditioning under constant temperature and humidity conditions (normal state) of 23° C. and 50% RH, where Df 1 is the dielectric loss tangent of the first transmission loss suppression layer and the second transmission loss suppression layer, and Df 2 is the dielectric loss tangent of the dimensional accuracy maintaining layer, satisfies the relationship Df 1 < Df 2 ;
ii) the total thickness of the dimensional accuracy maintaining layer is within the range of 25 to 60% of the total thickness of the resin laminate;
It meets the following criteria.

本発明の金属張積層板又は回路基板において、前記寸法精度維持層は、100℃から250℃の温度領域での貯蔵弾性率の最小値が1.0~8.0GPaの範囲内であってもよく、熱膨張係数が15~25ppm/Kの範囲内の低熱膨張性ポリイミド層であってもよい。 In the metal-clad laminate or circuit board of the present invention, the dimensional accuracy maintaining layer may be a low-thermal expansion polyimide layer whose minimum storage modulus in the temperature range of 100°C to 250°C is within the range of 1.0 to 8.0 GPa and whose thermal expansion coefficient is within the range of 15 to 25 ppm/K.

本発明の金属張積層板又は回路基板において、前記第1の伝送損失抑制層及び第2の伝送損失抑制層を構成する樹脂が、酸無水物成分と、ジアミン成分と、を反応させてなるポリイミドであって、前記ジアミン成分の全量100モル部に対し、ダイマー酸の二つの末端カルボン酸基が1級アミノメチル基又はアミノ基に置換されてなるダイマージアミンを50モル部以上含有するものであってもよい。 In the metal-clad laminate or circuit board of the present invention, the resin constituting the first transmission loss suppression layer and the second transmission loss suppression layer may be a polyimide obtained by reacting an acid anhydride component with a diamine component, and may contain 50 molar parts or more of a dimer diamine in which the two terminal carboxylic acid groups of a dimer acid are substituted with primary aminomethyl groups or amino groups per 100 molar parts of the total amount of the diamine component.

本発明の金属張積層板は、一対の金属層(配線)に接するように、それぞれ、低誘電正接の伝送損失抑制層を設けているため、高周波信号伝送における伝送損失を効果的に抑えることができる。また、伝送損失抑制層の間に、複数の寸法精度維持層と中間伝送損失抑制層が積層された構造を設けるとともに、樹脂層全体の厚みに対する寸法精度維持層の合計厚み比率を一定以上としているので、高い寸法安定性を確保しながら、低誘電化が実現されている。従って、本発明の金属張積層板は、例えば周波数が10GHz以上の高周波信号を伝送する回路基板等へ適用した場合に、伝送損失を効果的に低減することが可能となる。 The metal-clad laminate of the present invention has a transmission loss suppression layer with a low dielectric tangent provided in contact with each of a pair of metal layers (wiring), so that the transmission loss in high-frequency signal transmission can be effectively suppressed. In addition, a structure in which multiple dimensional accuracy maintaining layers and intermediate transmission loss suppression layers are laminated between the transmission loss suppression layers is provided, and the total thickness ratio of the dimensional accuracy maintaining layers to the thickness of the entire resin layer is set to a certain value or more, so that low dielectric constant is achieved while maintaining high dimensional stability. Therefore, when the metal-clad laminate of the present invention is applied to a circuit board or the like that transmits high-frequency signals with a frequency of 10 GHz or more, for example, it becomes possible to effectively reduce transmission loss.

本発明の一実施の形態の金属張積層板の構成を示す模式図である。1 is a schematic diagram showing a configuration of a metal-clad laminate according to one embodiment of the present invention. FIG. 本発明の別の実施の形態の金属張積層板の構成を示す模式的断面図である。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of a metal-clad laminate according to another embodiment of the present invention. 本発明のさらに別の実施の形態の金属張積層板の構成を示す模式的断面図である。FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of a metal-clad laminate according to still another embodiment of the present invention. 寸法精度維持層の一構成例を示す模式的断面図である。4 is a schematic cross-sectional view showing one configuration example of a dimensional precision maintaining layer. FIG.

本発明の実施の形態について、適宜図面を参照して説明する。 The embodiment of the present invention will be explained with reference to the drawings as appropriate.

[金属張積層板]
図1は、本発明の一実施の形態の金属張積層板の構成を示す模式図である。本実施の形態の金属張積層板10は、
第1の金属層M1と、
第1の金属層M1の片側に接して設けられている第1の伝送損失抑制層BS1と、
第2の金属層M2と、
第2の金属層M2の片側に接して設けられている第2の伝送損失抑制層BS2と、
第1の伝送損失抑制層BS1と第2の伝送損失抑制層BS2との間に介在する複数の樹脂層と、
を備えている。金属張積層板10は、一対の金属層(配線となる第1の金属層M1及び第2の金属層M2)に最も近接する位置に、それぞれ、低誘電正接である第1の伝送損失抑制層BS1及び第2の伝送損失抑制層BS2を設けているため、高周波信号伝送における伝送損失を効果的に抑えることができる。
ここで、第1の伝送損失抑制層BS1と第2の伝送損失抑制層BS2と複数の樹脂層とによって樹脂積層体20が形成されている。この樹脂積層体20は、第1の伝送損失抑制層BS1及び第2の伝送損失抑制層BS2に加え、少なくとも2層以上の寸法精度維持層PLと、寸法精度維持層PLの間に積層されている中間伝送損失抑制層BS3を有している。
このように、第1の伝送損失抑制層BS1と第2の伝送損失抑制層BS2との間に、寸法精度維持層PLと中間伝送損失抑制層BS3との積層構造を設けることによって、高い寸法安定性を確保しながら、低誘電化が実現されている。
なお、樹脂積層体20は、上記以外の任意の樹脂層を有していてもよいが、上記各機能を有する樹脂層のみによって形成されていることが好ましい。
[Metal-clad laminate]
FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of a metal-clad laminate according to an embodiment of the present invention. The metal-clad laminate 10 according to the present embodiment includes:
a first metal layer M1;
a first transmission loss suppression layer BS1 provided in contact with one side of the first metal layer M1;
A second metal layer M2; and
a second transmission loss suppression layer BS2 provided in contact with one side of the second metal layer M2;
a plurality of resin layers interposed between the first transmission loss suppression layer BS1 and the second transmission loss suppression layer BS2;
Metal-clad laminate 10 has first transmission loss suppression layer BS1 and second transmission loss suppression layer BS2, which have low dielectric tangents, provided at positions closest to a pair of metal layers (first metal layer M1 and second metal layer M2 that form wiring), respectively, and therefore can effectively suppress transmission loss in high-frequency signal transmission.
Here, the first transmission loss suppression layer BS1, the second transmission loss suppression layer BS2, and a plurality of resin layers form a resin laminate 20. In addition to the first transmission loss suppression layer BS1 and the second transmission loss suppression layer BS2, the resin laminate 20 has at least two or more dimensional accuracy maintaining layers PL and an intermediate transmission loss suppression layer BS3 laminated between the dimensional accuracy maintaining layers PL.
In this way, by providing a laminated structure of a dimensional accuracy maintaining layer PL and an intermediate transmission loss suppression layer BS3 between the first transmission loss suppression layer BS1 and the second transmission loss suppression layer BS2, low dielectric constant is achieved while maintaining high dimensional stability.
The resin laminate 20 may have any resin layers other than those described above, but is preferably formed only from resin layers having the above functions.

図1に示すように、第1の金属層M1と第2の金属層M2は、それぞれ最も外側に位置し、それらの内側に接して第1の伝送損失抑制層BS1及び第2の伝送損失抑制層BS2が配置され、さらに第1の伝送損失抑制層BS1と第2の伝送損失抑制層BS2との間に、複数の寸法精度維持層PLと中間伝送損失抑制層BS3を含む複数の樹脂層が介在配置されている。ここで、第1の伝送損失抑制層BS1は、一つの寸法精度維持層PLに隣接しており、第2の伝送損失抑制層BS2は別の寸法精度維持層PLに接している。 As shown in FIG. 1, the first metal layer M1 and the second metal layer M2 are located on the outermost side, and the first transmission loss suppression layer BS1 and the second transmission loss suppression layer BS2 are arranged adjacent to the inner side of them, and further, between the first transmission loss suppression layer BS1 and the second transmission loss suppression layer BS2, a plurality of resin layers including a plurality of dimensional accuracy maintaining layers PL and an intermediate transmission loss suppression layer BS3 are interposed. Here, the first transmission loss suppression layer BS1 is adjacent to one dimensional accuracy maintaining layer PL, and the second transmission loss suppression layer BS2 is adjacent to another dimensional accuracy maintaining layer PL.

図1に示す金属張積層板10は、2層の寸法精度維持層PLと1層の中間伝送損失抑制層BS3とを有しているが、寸法精度維持層PLが2層以上であればよく、中間伝送損失抑制層BS3の層数に特に制限はない。例えば、図2に示すように、3層の寸法精度維持層PLと2層の中間伝送損失抑制層BS3を有する構成でもよいし、図3に示すように、5層の寸法精度維持層PLと4層の中間伝送損失抑制層BS3を有する構成でもよい。 The metal-clad laminate 10 shown in FIG. 1 has two dimensional accuracy maintaining layers PL and one intermediate transmission loss suppression layer BS3, but there is no particular limit to the number of intermediate transmission loss suppression layers BS3 as long as there are two or more dimensional accuracy maintaining layers PL. For example, as shown in FIG. 2, it may have a configuration having three dimensional accuracy maintaining layers PL and two intermediate transmission loss suppression layers BS3, or as shown in FIG. 3, it may have a configuration having five dimensional accuracy maintaining layers PL and four intermediate transmission loss suppression layers BS3.

金属張積層板10において、第1の金属層M1及び第2の金属層M2の構成は、同じであってもよいし、異なっていてもよいが、同じ材質、同じ物性、同じ厚み、であることが好ましい。 In the metal-clad laminate 10, the first metal layer M1 and the second metal layer M2 may have the same or different configurations, but it is preferable that they be made of the same material, have the same physical properties, and have the same thickness.

また、第1の伝送損失抑制層BS1と第2の伝送損失抑制層BS2の構成は、同じであってもよいし、異なっていてもよいが、同じ材質、同じ物性、同じ厚みであることが好ましい。例えば、第1の伝送損失抑制層BS1と第2の伝送損失抑制層BS2の誘電正接や厚みを同じにすることによって、高周波伝送用回路基板を作製したときの伝送損失低減設計が容易になる。 The first transmission loss suppression layer BS1 and the second transmission loss suppression layer BS2 may have the same or different configurations, but preferably have the same material, physical properties, and thickness. For example, by making the dielectric tangent and thickness of the first transmission loss suppression layer BS1 and the second transmission loss suppression layer BS2 the same, it becomes easier to design a high-frequency transmission circuit board to reduce transmission loss.

さらに、第1の伝送損失抑制層BS1と第2の伝送損失抑制層BS2と中間伝送損失抑制層BS3の構成は、同じであってもよいし、異なっていてもよいが、樹脂積層体20全体の誘電特性を改善し、高周波信号の伝送損失を効果的に抑制するため、同じ材質、同じ物性、であることが好ましい。 Furthermore, the configurations of the first transmission loss suppression layer BS1, the second transmission loss suppression layer BS2, and the intermediate transmission loss suppression layer BS3 may be the same or different, but are preferably made of the same material and have the same physical properties in order to improve the dielectric properties of the entire resin laminate 20 and effectively suppress the transmission loss of high-frequency signals.

複数の寸法精度維持層PLの構成は、同じであってもよいし、異なっていてもよいが、回路基板を作製したときの機械的強度や寸法精度の設計が容易になることから、同じ材質、同じ物性、同じ厚み、同じ層構造であることが好ましい。 The configuration of the multiple dimensional accuracy maintaining layers PL may be the same or different, but it is preferable that they be made of the same material, have the same physical properties, are the same thickness, and have the same layer structure, as this makes it easier to design the mechanical strength and dimensional accuracy when manufacturing the circuit board.

金属張積層板10は、下記の条件i及びiiを満たしている。 The metal-clad laminate 10 satisfies the following conditions i and ii.

条件i:
第1の伝送損失抑制層BS1及び第2の伝送損失抑制層BS2の誘電正接をDf、寸法精度維持層PLの誘電正接をDfとしたとき、Df<Dfの関係にあること。
高周波信号の伝送路である回路配線となるべき第1及び第2の金属層M1,M2にそれぞれ接する第1及び第2の伝送損失抑制層BS1,BS2の誘電正接Dfを、寸法精度維持層PLの誘電正接Dfに比較して低く設計することによって、高周波信号の伝送損失を効果的に抑制できる。なお、第1の伝送損失抑制層BS1と第2の伝送損失抑制層BS2の誘電正接が異なる場合でも、どちらもDf<Dfの関係を満たすことが必要である。本発明において特に明記しない場合には、誘電率及び誘電正接は、23℃、50%RHの恒温恒湿条件(常態)のもと24時間調湿後にスプリットポスト誘電体共振器(SPDR)により測定される10GHzにおける誘電率及び誘電正接を意味する。
Condition i:
When the dielectric tangent of the first transmission loss suppression layer BS1 and the second transmission loss suppression layer BS2 is Df 1 and the dielectric tangent of the dimensional accuracy maintaining layer PL is Df 2 , there is a relationship of Df 1 <Df 2 .
The dielectric loss tangent Df1 of the first and second transmission loss suppression layers BS1 and BS2, which are in contact with the first and second metal layers M1 and M2, respectively, that are to become the circuit wiring that is the transmission path of the high-frequency signal, is designed to be lower than the dielectric loss tangent Df2 of the dimensional accuracy maintaining layer PL, thereby effectively suppressing the transmission loss of the high-frequency signal. Even if the dielectric loss tangents of the first transmission loss suppression layer BS1 and the second transmission loss suppression layer BS2 are different, it is necessary that both satisfy the relationship Df1 < Df2 . Unless otherwise specified in the present invention, the dielectric constant and dielectric loss tangent refer to the dielectric constant and dielectric loss tangent at 10 GHz measured by a split post dielectric resonator (SPDR) after 24 hours of humidity control under constant temperature and humidity conditions (normal state) of 23°C and 50% RH.

高周波信号の伝送損失の抑制を図る観点から、第1及び第2の伝送損失抑制層BS1,BS2の10GHzにおける誘電正接Dfは、0.005以下であることが好ましく、0.003以下がより好ましい。 From the viewpoint of suppressing transmission loss of high-frequency signals, the dielectric loss tangent Df1 at 10 GHz of the first and second transmission loss suppression layers BS1, BS2 is preferably 0.005 or less, and more preferably 0.003 or less.

なお、条件iと同様に測定される10GHzにおける中間伝送損失抑制層BS3の誘電正接Dfは、高周波信号の伝送損失の抑制を図る観点から、0.005以下であることが好ましく、0.003以下がより好ましく、第1及び第2の伝送損失抑制層BS1,BS2の誘電正接Dfと同じであることが最も好ましい。 From the viewpoint of suppressing transmission loss of high-frequency signals, the dielectric loss tangent Df3 of the intermediate transmission loss suppression layer BS3 at 10 GHz measured in the same manner as under condition i is preferably 0.005 or less, more preferably 0.003 or less, and most preferably the same as the dielectric loss tangent Df1 of the first and second transmission loss suppression layers BS1, BS2.

また、寸法精度維持層PLの誘電正接Dfは、出来るだけ低いことが望ましいが、寸法精度と機械的強度の維持を主目的とする層であることから、条件iを満たすことを前提にして、好ましくは0.012以下であればよく、より好ましくは0.010以下がよい。寸法精度維持層PLの誘電正接Dfが多少高くなっても、より低誘電正接である第1及び第2の伝送損失抑制層BS1,BS2及び中間伝送損失抑制層BS3と積層し、これらとの厚み比率を考慮することによって、樹脂積層体20全体の低誘電化を担保できるためである。 In addition, it is desirable that the dielectric loss tangent Df2 of the dimensional accuracy maintaining layer PL is as low as possible, but since the dimensional accuracy maintaining layer PL is a layer whose main purpose is to maintain dimensional accuracy and mechanical strength, it is preferably 0.012 or less, and more preferably 0.010 or less, provided that condition i is satisfied. Even if the dielectric loss tangent Df2 of the dimensional accuracy maintaining layer PL is somewhat high, the low dielectric constant of the entire resin laminate 20 can be ensured by laminating it with the first and second transmission loss suppression layers BS1, BS2 and the intermediate transmission loss suppression layer BS3, which have lower dielectric loss tangents, and by taking into consideration the thickness ratios thereof.

条件ii:
寸法精度維持層PLの合計厚みTPLが、樹脂積層体20(つまり、第1及び第2の伝送損失抑制層BS1,BS2と、一ないし複数の中間伝送損失抑制層BS3と、複数の寸法精度維持層PL)の総厚みTの25~60%の範囲内にあること。
複数の寸法精度維持層PLの合計厚みTPLと樹脂積層体20の総厚みTとの比率を上記範囲内とすることによって、金属張積層板10を回路加工したときの寸法精度と機械的強度を維持しながら、高周波信号の伝送損失の低減を図ることができる。かかる観点から、総厚みTに対する厚みTPLの比率は、25~50%の範囲内が好ましい。
Condition ii:
The total thickness T PL of the dimensional accuracy maintaining layers PL is within the range of 25 to 60% of the total thickness T of the resin laminate 20 (i.e., the first and second transmission loss suppression layers BS1, BS2, one or more intermediate transmission loss suppression layers BS3, and the multiple dimensional accuracy maintaining layers PL).
By setting the ratio of the total thickness T PL of the plurality of dimensional accuracy maintaining layers PL to the total thickness T of the resin laminate 20 within the above range, it is possible to reduce the transmission loss of high frequency signals while maintaining the dimensional accuracy and mechanical strength when the metal-clad laminate 10 is circuit-processed. From this viewpoint, the ratio of the thickness T PL to the total thickness T is preferably within the range of 25 to 50%.

ここで、樹脂積層体20における各層の厚みは、使用目的に応じて適宜設定できるので特に限定されるものではないが、以下のとおり例示できる。
第1及び第2の伝送損失抑制層BS1,BS2の一層の厚みは、2~100μmの範囲内が好ましく、5~75μmの範囲内がより好ましい。
寸法精度維持層PLの一層の厚みは、10~100μmの範囲内が好ましく、12~50μmの範囲内がより好ましい。
中間伝送損失抑制層BS3の一層の厚みは、12~150μmの範囲内が好ましく、25~100μmの範囲内がより好ましい。
樹脂積層体20の総厚みTは、50~300μmの範囲内が好ましく、75~200μmの範囲内がより好ましい。
Here, the thickness of each layer in the resin laminate 20 is not particularly limited as it can be appropriately set depending on the intended use, but examples thereof include the following.
The thickness of each of the first and second transmission loss suppression layers BS1 and BS2 is preferably in the range of 2 to 100 μm, and more preferably in the range of 5 to 75 μm.
The thickness of each of the dimensional accuracy maintaining layers PL is preferably within a range of 10 to 100 μm, and more preferably within a range of 12 to 50 μm.
The thickness of each of the intermediate transmission loss suppression layers BS3 is preferably in the range of 12 to 150 μm, and more preferably in the range of 25 to 100 μm.
The total thickness T of the resin laminate 20 is preferably within a range of 50 to 300 μm, and more preferably within a range of 75 to 200 μm.

また、樹脂積層体20全体の低誘電化を図るため、第1及び第2の伝送損失抑制層BS1,BS2と中間伝送損失抑制層BS3との合計厚みTは、樹脂積層体20の総厚みTに対して、40~75%の範囲内にあることが好ましく、50~75%の範囲内がより好ましい。 In addition, in order to reduce the dielectric constant of the entire resin laminate 20, the total thickness T B of the first and second transmission loss suppression layers BS1, BS2 and the intermediate transmission loss suppression layer BS3 is preferably in the range of 40 to 75% of the total thickness T of the resin laminate 20, and more preferably in the range of 50 to 75%.

以下、金属張積層板10を構成する各層について説明する。 Below, we will explain each layer that makes up the metal-clad laminate 10.

[金属層]
第1の金属層M1及び第2の金属層M2の材質としては、特に制限はないが、例えば、銅、ステンレス、鉄、ニッケル、ベリリウム、アルミニウム、亜鉛、インジウム、銀、金、スズ、ジルコニウム、タンタル、チタン、鉛、マグネシウム、マンガン及びこれらの合金等が挙げられる。この中でも、特に銅又は銅合金が好ましい。なお、後述する本実施の形態の回路基板における配線層の材質も第1の金属層M1及び第2の金属層M2と同様である。
[Metal layer]
The material of the first metal layer M1 and the second metal layer M2 is not particularly limited, but examples thereof include copper, stainless steel, iron, nickel, beryllium, aluminum, zinc, indium, silver, gold, tin, zirconium, tantalum, titanium, lead, magnesium, manganese, and alloys thereof. Among these, copper or a copper alloy is particularly preferable. The material of the wiring layer in the circuit board of this embodiment, which will be described later, is the same as that of the first metal layer M1 and the second metal layer M2.

第1の金属層M1及び第2の金属層M2の厚みは特に限定されるものではないが、例えば銅箔等の金属箔を用いる場合、好ましくは35μm以下であり、より好ましくは5~25μmの範囲内がよい。生産安定性及びハンドリング性の観点から金属箔の厚みの下限値は5μmとすることが好ましい。なお、銅箔を用いる場合は、圧延銅箔でも電解銅箔でもよい。また、銅箔としては、市販されている銅箔を用いることができる。 The thickness of the first metal layer M1 and the second metal layer M2 is not particularly limited, but when a metal foil such as copper foil is used, it is preferably 35 μm or less, and more preferably in the range of 5 to 25 μm. From the viewpoint of production stability and handling, it is preferable that the lower limit of the thickness of the metal foil is 5 μm. When copper foil is used, it may be rolled copper foil or electrolytic copper foil. In addition, commercially available copper foil may be used as the copper foil.

また、金属箔は、例えば、防錆処理や、接着力の向上を目的として、例えばサイディング、アルミニウムアルコラート、アルミニウムキレート、シランカップリング剤等による表面処理を施してもよい。 The metal foil may also be surface-treated with, for example, siding, aluminum alcoholate, aluminum chelate, silane coupling agent, etc., for the purpose of, for example, rust prevention or improving adhesion.

[伝送損失抑制層]
第1及び第2の伝送損失抑制層BS1,BS2及び中間伝送損失抑制層BS3(以下、これらを総称して「伝送損失抑制層BS1~BS3」と記すことがある)を構成する樹脂は、ガラス転移温度(Tg)が180℃以下であることが好ましく、160℃以下であることがより好ましい。伝送損失抑制層BS1~BS3のガラス転移温度を180℃以下とすることによって、低温での熱圧着が可能になるため、積層時に発生する内部応力を緩和し、回路加工後の寸法変化を抑制できる。伝送損失抑制層BS1~BS3のTgが180℃を超えると、寸法精度維持層PLの間に介在させて接着する際の温度が高くなり、回路加工後の寸法安定性を損なう恐れがある。
[Transmission loss suppression layer]
The resins constituting the first and second transmission loss suppression layers BS1, BS2 and the intermediate transmission loss suppression layer BS3 (hereinafter sometimes collectively referred to as "transmission loss suppression layers BS1 to BS3") preferably have a glass transition temperature (Tg) of 180°C or less, more preferably 160°C or less. By setting the glass transition temperature of the transmission loss suppression layers BS1 to BS3 to 180°C or less, thermocompression bonding at low temperatures is possible, thereby alleviating internal stress generated during lamination and suppressing dimensional changes after circuit processing. If the Tg of the transmission loss suppression layers BS1 to BS3 exceeds 180°C, the temperature becomes high when they are interposed between the dimensional accuracy maintaining layers PL and bonded, which may impair dimensional stability after circuit processing.

伝送損失抑制層BS1~BS3は、100℃から250℃の温度領域での貯蔵弾性率の最大値が1.0GPa以下であることが好ましい。このような貯蔵弾性率であれば、熱圧着時の内部応力を緩和し、回路加工後の寸法安定性を保持することができる。また、回路加工後の半田リフロー工程を経た後においても、反りが生じにくい。
The transmission loss suppression layers BS1 to BS3 preferably have a maximum storage modulus of 1.0 GPa or less in a temperature range of 100° C. to 250° C. Such a storage modulus can reduce internal stress during thermocompression bonding and maintain dimensional stability after circuit processing. In addition, warping is unlikely to occur even after a solder reflow process after circuit processing.

第1及び第2の伝送損失抑制層BS1,BS2及び中間伝送損失抑制層BS3を構成する樹脂は、ポリイミドであることが好ましく、酸無水物成分と、ジアミン成分の全量100モル部に対し、ダイマー酸の二つの末端カルボン酸基が1級アミノメチル基又はアミノ基に置換されてなるダイマージアミンを50モル部以上含有するジアミン成分と、を反応させて得られる前駆体のポリアミド酸をイミド化した熱可塑性ポリイミド(以下、「DDA系ポリイミド」と記すことがある)又はその架橋硬化物であることがより好ましい。なお、本発明でポリイミドという場合、ポリイミドの他、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリエステルイミド、ポリシロキサンイミド、ポリベンズイミダゾールイミドなど、分子構造中にイミド基を有するポリマーからなる樹脂を意味する。 The resin constituting the first and second transmission loss suppression layers BS1, BS2 and the intermediate transmission loss suppression layer BS3 is preferably a polyimide, more preferably a thermoplastic polyimide (hereinafter sometimes referred to as "DDA-type polyimide") obtained by imidizing a precursor polyamic acid obtained by reacting an acid anhydride component with a diamine component containing 50 mol parts or more of a dimer diamine in which two terminal carboxylic acid groups of a dimer acid are substituted with primary aminomethyl groups or amino groups, relative to a total of 100 mol parts of the diamine component, or a crosslinked cured product thereof. In addition, when the term "polyimide" is used in the present invention, it means a resin made of a polymer having an imide group in the molecular structure, such as polyamideimide, polyetherimide, polyesterimide, polysiloxaneimide, polybenzimidazoleimide, etc., in addition to polyimide.

<DDA系ポリイミド>
DDA系ポリイミドは、脂肪族系の熱可塑性ポリイミドであり、可撓性に富み、液晶性高分子フィラーを大量に添加した場合でも十分な靭性を有し、樹脂フィルムを形成した場合にその形状を保持する能力が高い。
<DDA-based polyimide>
DDA-based polyimides are aliphatic thermoplastic polyimides that are highly flexible and have sufficient toughness even when a large amount of liquid crystalline polymer filler is added, and when a resin film is formed, it has a high ability to retain its shape.

DDA系ポリイミドは、原料のテトラカルボン酸無水物から誘導されるテトラカルボン酸残基及び原料のジアミン化合物から誘導されるジアミン残基を含んでいる。なお、本発明において、テトラカルボン酸残基とは、テトラカルボン酸二無水物から誘導された4価の基のことを表し、ジアミン残基とは、ジアミン化合物から誘導された2価の基のことを表す。原料であるテトラカルボン酸無水物及びジアミン化合物をほぼ等モルで反応させることによって、原料の種類と量に対して、DDA系ポリイミド中に含まれるテトラカルボン酸残基及びジアミン残基の種類と量をほぼ対応させることができる。 DDA-based polyimides contain tetracarboxylic acid residues derived from the raw material tetracarboxylic acid anhydride and diamine residues derived from the raw material diamine compound. In the present invention, the tetracarboxylic acid residue refers to a tetravalent group derived from the tetracarboxylic acid dianhydride, and the diamine residue refers to a divalent group derived from the diamine compound. By reacting the raw materials tetracarboxylic acid anhydride and diamine compound in approximately equimolar amounts, the types and amounts of the tetracarboxylic acid residues and diamine residues contained in the DDA-based polyimide can be made to roughly correspond to the types and amounts of the raw materials.

(酸無水物成分)
DDA系ポリイミドは、原料として一般に熱可塑性ポリイミドに使用されるテトラカルボン酸無水物を特に制限なく使用できるが、全酸無水物成分に対して、下記の一般式(1)及び/又は(2)で表されるテトラカルボン酸無水物を合計で90モル%以上含有することが好ましい。換言すれば、DDA系ポリイミドは、全テトラカルボン酸残基100モル部に対して、下記の一般式(1)及び/又は(2)で表されるテトラカルボン酸無水物から誘導されるテトラカルボン酸残基を、合計で90モル部以上含有することが好ましい。下記の一般式(1)及び/又は(2)で表されるテトラカルボン酸無水物から誘導されるテトラカルボン酸残基を、テトラカルボン酸残基100モル部に対して合計で90モル部以上含有させることによって、DDA系ポリイミドの柔軟性と耐熱性の両立が図りやすく好ましい。下記の一般式(1)及び/又は(2)で表されるテトラカルボン酸無水物から誘導されるテトラカルボン酸残基の合計が90モル部未満では、DDA系ポリイミドの溶剤溶解性が低下する傾向になる。
(Acid anhydride component)
The DDA polyimide may use, as a raw material, any tetracarboxylic anhydride generally used in thermoplastic polyimides without any particular limitations, but it is preferable that the DDA polyimide contains tetracarboxylic anhydrides represented by the following general formula (1) and/or (2) in total at 90 mol% or more relative to the total acid anhydride components. In other words, the DDA polyimide preferably contains tetracarboxylic acid residues derived from tetracarboxylic anhydrides represented by the following general formula (1) and/or (2) in total at 90 mol% or more relative to 100 mol% of all tetracarboxylic acid residues. By containing tetracarboxylic acid residues derived from tetracarboxylic anhydrides represented by the following general formula (1) and/or (2) in total at 90 mol% or more relative to 100 mol% of tetracarboxylic acid residues, it is preferable that the DDA polyimide easily achieves both flexibility and heat resistance. If the total amount of tetracarboxylic acid residues derived from tetracarboxylic anhydrides represented by the following general formula (1) and/or (2) is less than 90 mol%, the solvent solubility of the DDA polyimide tends to decrease.

一般式(1)中、Xは、単結合、または、下式から選ばれる2価の基を示し、一般式(2)中、Yで表される環状部分は、4員環、5員環、6員環、7員環又は8員環から選ばれる環状飽和炭化水素基を形成していることを示す。 In general formula (1), X represents a single bond or a divalent group selected from the following formulas, and in general formula (2), the cyclic portion represented by Y represents a cyclic saturated hydrocarbon group selected from a 4-membered ring, a 5-membered ring, a 6-membered ring, a 7-membered ring, or an 8-membered ring.

上記式において、Zは-C-、-(CH)n-又は-CH-CH(-O-C(=O)-CH)-CH-を示すが、nは1~20の整数を示す。 In the above formula, Z represents —C 6 H 4 —, —(CH 2 )n— or —CH 2 —CH(—O—C(═O)—CH 3 )—CH 2 —, where n represents an integer of 1 to 20.

上記一般式(1)で表されるテトラカルボン酸無水物としては、例えば、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)、3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(BTDA)、3,3’,4,4’-ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物(DSDA)、4,4’-オキシジフタル酸無水物(ODPA)、4,4’-(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸無水物(6FDA)、2,2-ビス〔4-(3,4-ジカルボキシフェノキシ)フェニル〕プロパン二無水物(BPADA)、p-フェニレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)(TAHQ)、エチレングリコール ビスアンヒドロトリメリテート(TMEG)などを挙げることができる。これらの中でも特に3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(BTDA)が好ましい。BTDAを使用する場合は、カルボニル基(ケトン基)が接着性に寄与するため、DDA系ポリイミドの接着性を向上させることができる。また、BTDAは分子骨格に存在するケトン基と、後述する架橋形成のためのアミノ化合物のアミノ基が反応してC=N結合を形成する場合があり、耐熱性を向上させる効果を発現しやすい。このような観点から、テトラカルボン酸残基100モル部に対して、BTDAから誘導されるテトラカルボン酸残基を好ましくは50モル部以上、より好ましくは60モル部以上含有することがよい。 Examples of tetracarboxylic acid anhydrides represented by the above general formula (1) include 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA), 3,3',4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride (BTDA), 3,3',4,4'-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride (DSDA), 4,4'-oxydiphthalic anhydride (ODPA), 4,4'-(hexafluoroisopropylidene)diphthalic anhydride (6FDA), 2,2-bis[4-(3,4-dicarboxyphenoxy)phenyl]propane dianhydride (BPADA), p-phenylenebis(trimellitic acid monoester anhydride) (TAHQ), and ethylene glycol bisanhydrotrimellitate (TMEG). Among these, 3,3',4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride (BTDA) is particularly preferred. When BTDA is used, the carbonyl group (ketone group) contributes to adhesion, so the adhesion of the DDA-based polyimide can be improved. In addition, the ketone group present in the molecular skeleton of BTDA may react with the amino group of an amino compound for crosslinking (described later) to form a C=N bond, which is likely to produce an effect of improving heat resistance. From this perspective, it is preferable to contain 50 molar parts or more, more preferably 60 molar parts or more of tetracarboxylic acid residues derived from BTDA per 100 molar parts of tetracarboxylic acid residues.

また、一般式(2)で表されるテトラカルボン酸無水物としては、例えば、1,2,3,4-シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4-シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5-シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5-シクロヘプタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,5,6-シクロオクタンテトラカルボン酸二無水物などを挙げることができる。 Examples of tetracarboxylic acid anhydrides represented by general formula (2) include 1,2,3,4-cyclobutane tetracarboxylic acid dianhydride, 1,2,3,4-cyclopentane tetracarboxylic acid dianhydride, 1,2,4,5-cyclohexane tetracarboxylic acid dianhydride, 1,2,4,5-cycloheptane tetracarboxylic acid dianhydride, and 1,2,5,6-cyclooctane tetracarboxylic acid dianhydride.

DDA系ポリイミドは、発明の効果を損なわない範囲で、上記一般式(1)及び一般式(2)で表されるテトラカルボン酸無水物以外の酸無水物から誘導されるテトラカルボン酸残基を含有することができる。そのようなテトラカルボン酸残基としては、特に制限はないが、例えば、ピロメリット酸二無水物、2,3',3,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2',3,3'-又は2,3,3',4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,3',3,4'-ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)エーテル二無水物、3,3'',4,4''-、2,3,3'',4''-又は2,2'',3,3''-p-テルフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2-ビス(2,3-又は3,4-ジカルボキシフェニル)-プロパン二無水物、ビス(2,3-又は3,4-ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(2,3-又は3,4-ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、1,1-ビス(2,3-又は3,4-ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、1,2,7,8-、1,2,6,7-又は1,2,9,10-フェナンスレン-テトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-アントラセンテトラカルボン酸二無水物、2,2-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)テトラフルオロプロパン二無水物、1,2,5,6-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、4,8-ジメチル-1,2,3,5,6,7-ヘキサヒドロナフタレン-1,2,5,6-テトラカルボン酸二無水物、2,6-又は2,7-ジクロロナフタレン-1,4,5,8-テトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-(又は1,4,5,8-)テトラクロロナフタレン-1,4,5,8-(又は2,3,6,7-)テトラカルボン酸二無水物、2,3,8,9-、3,4,9,10-、4,5,10,11-又は5,6,11,12-ペリレン-テトラカルボン酸二無水物、ピラジン-2,3,5,6-テトラカルボン酸二無水物、ピロリジン-2,3,4,5-テトラカルボン酸二無水物、チオフェン-2,3,4,5-テトラカルボン酸二無水物、4,4’-ビス(2,3-ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルメタン二無水物等の芳香族テトラカルボン酸二無水物から誘導されるテトラカルボン酸残基が挙げられる。 DDA-based polyimides may contain tetracarboxylic acid residues derived from acid anhydrides other than the tetracarboxylic acid anhydrides represented by the above general formula (1) and general formula (2) within the scope of the invention. There are no particular limitations on such tetracarboxylic acid residues, and examples thereof include pyromellitic dianhydride, 2,3',3,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2',3,3'- or 2,3,3',4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,3',3,4'-diphenylethertetracarboxylic dianhydride, bis(2,3-dicarboxyphenyl)ether dianhydride, 3,3'',4,4''-, 2,3,3'',4''- or 2,2'',3,3''-p-terphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3',3,4''- ... ,2-Bis(2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl)-propane dianhydride, bis(2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl)methane dianhydride, bis(2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl)sulfone dianhydride, 1,1-bis(2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl)ethane dianhydride, 1,2,7,8-, 1,2,6,7- or 1,2,9,10-phenanthrene tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-anthracene tetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis(3,4-dicarboxyphenyl) ) tetrafluoropropane dianhydride, 1,2,5,6-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 4,8-dimethyl-1,2,3,5,6,7-hexahydronaphthalene-1,2,5,6-tetracarboxylic dianhydride, 2,6- or 2,7-dichloronaphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7- (or 1,4,5,8-) tetrachloronaphthalene-1,4,5,8- (or 2, 3,6,7-) tetracarboxylic acid dianhydride, 2,3,8,9-, 3,4,9,10-, 4,5,10,11- or 5,6,11,12-perylene-tetracarboxylic acid dianhydride, pyrazine-2,3,5,6-tetracarboxylic acid dianhydride, pyrrolidine-2,3,4,5-tetracarboxylic acid dianhydride, thiophene-2,3,4,5-tetracarboxylic acid dianhydride, 4,4'-bis(2,3-dicarboxyphenoxy)diphenylmethane dianhydride, and other aromatic tetracarboxylic acid dianhydrides are included.

(ジアミン成分)
DDA系ポリイミドは、原料として、ジアミン成分の全量100モル部に対し、ダイマー酸の二つの末端カルボン酸基が1級アミノメチル基又はアミノ基に置換されてなるダイマージアミンを50モル部以上、より好ましくは70モル部以上含有するジアミン成分を用いる。ダイマージアミンを上記の量で含有することによって、ポリイミドの誘電特性を改善させるとともに、ポリイミドのガラス転移温度の低温化(低Tg化)による熱圧着特性の改善及び低弾性率化による内部応力を緩和することができる。
(Diamine component)
DDA-based polyimides use, as a raw material, a diamine component containing 50 molar parts or more, more preferably 70 molar parts or more, of dimer diamine, which is formed by substituting two terminal carboxylic acid groups of a dimer acid with primary aminomethyl groups or amino groups, per 100 molar parts of the total amount of the diamine component. By containing the dimer diamine in the above amount, the dielectric properties of the polyimide can be improved, and the thermocompression bonding properties can be improved by lowering the glass transition temperature (lowering Tg) of the polyimide, and the internal stress can be alleviated by lowering the elastic modulus.

ダイマージアミンとは、ダイマー酸の二つの末端カルボン酸基(-COOH)が、1級のアミノメチル基(-CH-NH)又はアミノ基(-NH)に置換されてなるジアミンを意味する。ダイマー酸は、不飽和脂肪酸の分子間重合反応によって得られる既知の二塩基酸であり、その工業的製造プロセスは業界でほぼ標準化されており、炭素数が11~22の不飽和脂肪酸を粘土触媒等にて二量化して得られる。工業的に得られるダイマー酸は、オレイン酸やリノール酸、リノレン酸などの炭素数18の不飽和脂肪酸を二量化することによって得られる炭素数36の二塩基酸が主成分であるが、精製の度合いに応じ、任意量のモノマー酸(炭素数18)、トリマー酸(炭素数54)、炭素数20~54の他の重合脂肪酸を含有する。また、ダイマー化反応後には二重結合が残存するが、本発明では、更に水素添加反応して不飽和度を低下させたものもダイマー酸に含めるものとする。ダイマージアミンは、炭素数18~54の範囲内、好ましくは22~44の範囲内にある二塩基酸化合物の末端カルボン酸基を1級アミノメチル基又はアミノ基に置換して得られるジアミン化合物、と定義することができる。 Dimer diamine means a diamine in which two terminal carboxylic acid groups (-COOH) of a dimer acid are replaced by primary aminomethyl groups (-CH 2 -NH 2 ) or amino groups (-NH 2 ). Dimer acid is a known dibasic acid obtained by intermolecular polymerization reaction of unsaturated fatty acids, and its industrial production process is almost standardized in the industry, and is obtained by dimerizing unsaturated fatty acids having 11 to 22 carbon atoms using a clay catalyst or the like. Industrially obtained dimer acid is mainly composed of a dibasic acid having 36 carbon atoms obtained by dimerizing unsaturated fatty acids having 18 carbon atoms such as oleic acid, linoleic acid, and linolenic acid, but contains any amount of monomer acid (having 18 carbon atoms), trimer acid (having 54 carbon atoms), and other polymerized fatty acids having 20 to 54 carbon atoms depending on the degree of purification. In addition, although double bonds remain after the dimerization reaction, in the present invention, those which have been further subjected to a hydrogenation reaction to reduce the degree of unsaturation are also included in the dimer acid. A dimer diamine can be defined as a diamine compound obtained by substituting a terminal carboxylic acid group of a dibasic acid compound having a carbon number of 18 to 54, preferably 22 to 44, with a primary aminomethyl group or an amino group.

ダイマージアミンの特徴として、ダイマー酸の骨格に由来する特性を付与することができる。すなわち、ダイマージアミンは、分子量約560~620の巨大分子の脂肪族であるので、分子のモル体積を大きくし、DDA系ポリイミドの極性基を相対的に減らすことができる。このようなダイマー酸型ジアミンの特徴は、DDA系ポリイミドの耐熱性の低下を抑制しつつ、誘電率と誘電正接を小さくして誘電特性を向上させることに寄与すると考えられる。また、2つの自由に動く炭素数7~9の疎水鎖と、炭素数18に近い長さを持つ2つの鎖状の脂肪族アミノ基とを有するので、DDA系ポリイミドに柔軟性を与えるのみならず、DDA系ポリイミドを非対象的な化学構造や非平面的な化学構造とすることができるので、低誘電率化を図ることができると考えられる。 Dimer diamine has the characteristic of being able to impart properties derived from the dimer acid skeleton. In other words, since dimer diamine is an aliphatic macromolecule with a molecular weight of about 560 to 620, it can increase the molecular molar volume and relatively reduce the polar groups of DDA-based polyimide. It is believed that such characteristics of dimer acid type diamine contribute to improving the dielectric properties by reducing the dielectric constant and dielectric tangent while suppressing the deterioration of the heat resistance of DDA-based polyimide. In addition, since it has two freely moving hydrophobic chains with 7 to 9 carbon atoms and two chain-like aliphatic amino groups with a length close to 18 carbon atoms, it is not only able to impart flexibility to DDA-based polyimide, but also to give DDA-based polyimide an asymmetric chemical structure or a non-planar chemical structure, which is believed to be able to reduce the dielectric constant.

本発明で用いるダイマージアミンは、ダイマージアミン以外の成分を低減する目的で精製することが好ましい。精製方法としては、特に制限されないが、蒸留法や沈殿精製等の公知の方法が好適である。精製前のダイマージアミンは、市販品での入手が可能であり、例えばクローダジャパン社製のPRIAMINE1073(商品名)、同PRIAMINE1074(商品名)、同PRIAMINE1075(商品名)等が挙げられる。 The dimer diamine used in the present invention is preferably purified in order to reduce components other than the dimer diamine. The purification method is not particularly limited, but known methods such as distillation and precipitation purification are suitable. Dimer diamine before purification is available as a commercially available product, such as PRIAMINE 1073 (trade name), PRIAMINE 1074 (trade name), and PRIAMINE 1075 (trade name) manufactured by Croda Japan.

DDA系ポリイミドに使用されるダイマージアミン以外のジアミン化合物としては、芳香族ジアミン化合物、脂肪族ジアミン化合物を挙げることができる。それらの具体例としては、1,4-ジアミノベンゼン(p-PDA;パラフェニレンジアミン)、2,2’-ジメチル-4,4’-ジアミノビフェニル(m-TB)、2,2’-n-プロピル-4,4’-ジアミノビフェニル(m-NPB)、4-アミノフェニル-4’-アミノベンゾエート(APAB)、2,2-ビス-[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス[1-(3-アミノフェノキシ)]ビフェニル、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]メタン、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)]ベンゾフェノン、9,9-ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]フルオレン、2,2-ビス-[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、2,2-ビス-[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、3,3’-ジメチル-4,4’-ジアミノビフェニル、4,4’-メチレンジ-o-トルイジン、4,4’-メチレンジ-2,6-キシリジン、4,4’-メチレン-2,6-ジエチルアニリン、3,3’-ジアミノジフェニルエタン、3,3’-ジアミノビフェニル、3,3’-ジメトキシベンジジン、3,3''-ジアミノ-p-テルフェニル、4,4'-[1,4-フェニレンビス(1-メチルエチリデン)]ビスアニリン、4,4'-[1,3-フェニレンビス(1-メチルエチリデン)]ビスアニリン、ビス(p-アミノシクロヘキシル)メタン、ビス(p-β-アミノ-t-ブチルフェニル)エーテル、ビス(p-β-メチル-δ-アミノペンチル)ベンゼン、p-ビス(2-メチル-4-アミノペンチル)ベンゼン、p-ビス(1,1-ジメチル-5-アミノペンチル)ベンゼン、1,5-ジアミノナフタレン、2,6-ジアミノナフタレン、2,4-ビス(β-アミノ-t-ブチル)トルエン、2,4-ジアミノトルエン、m-キシレン-2,5-ジアミン、p-キシレン-2,5-ジアミン、m-キシリレンジアミン、p-キシリレンジアミン、2,6-ジアミノピリジン、2,5-ジアミノピリジン、2,5-ジアミノ-1,3,4-オキサジアゾール、ピペラジン、2'-メトキシ-4,4'-ジアミノベンズアニリド、4,4'-ジアミノベンズアニリド、1,3-ビス[2-(4-アミノフェニル)-2-プロピル]ベンゼン、6-アミノ-2-(4-アミノフェノキシ)ベンゾオキサゾール、1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン等のジアミン化合物が挙げられる。 Diamine compounds other than dimer diamine used in DDA-based polyimides include aromatic diamine compounds and aliphatic diamine compounds. Specific examples of these include 1,4-diaminobenzene (p-PDA; paraphenylenediamine), 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl (m-TB), 2,2'-n-propyl-4,4'-diaminobiphenyl (m-NPB), 4-aminophenyl-4'-aminobenzoate (APAB), 2,2-bis-[4-(3-aminophenoxy)phenyl]propane, bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]sulfone, bis[4-(3-aminophenoxy)biphenyl, bis[1-(3-aminophenoxy)]biphenyl, bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]methane, bis[4-(3 -aminophenoxy)phenyl]ether, bis[4-(3-aminophenoxy)]benzophenone, 9,9-bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]fluorene, 2,2-bis-[4-(4-aminophenoxy)phenyl]hexafluoropropane, 2,2-bis-[4-(3-aminophenoxy)phenyl]hexafluoropropane, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 4,4'-methylenedi-o-toluidine, 4,4'-methylenedi-2,6-xylidine, 4,4'-methylene-2,6-diethylaniline, 3,3'-diaminodiphenylethane, 3,3'-diaminobiphenyl, 3 ,3'-Dimethoxybenzidine, 3,3''-Diamino-p-terphenyl, 4,4'-[1,4-phenylenebis(1-methylethylidene)]bisaniline, 4,4'-[1,3-phenylenebis(1-methylethylidene)]bisaniline, bis(p-aminocyclohexyl)methane, bis(p-β-amino-t-butylphenyl)ether, bis(p-β-methyl-δ-aminopentyl)benzene, p-bis(2-methyl-4-aminopentyl)benzene, p-bis(1,1-dimethyl-5-aminopentyl)benzene, 1,5-diaminonaphthalene, 2,6-diaminonaphthalene, 2,4-bis(β-amino-t -butyl)toluene, 2,4-diaminotoluene, m-xylene-2,5-diamine, p-xylene-2,5-diamine, m-xylylenediamine, p-xylylenediamine, 2,6-diaminopyridine, 2,5-diaminopyridine, 2,5-diamino-1,3,4-oxadiazole, piperazine, 2'-methoxy-4,4'-diaminobenzanilide, 4,4'-diaminobenzanilide, 1,3-bis[2-(4-aminophenyl)-2-propyl]benzene, 6-amino-2-(4-aminophenoxy)benzoxazole, 1,3-bis(3-aminophenoxy)benzene and other diamine compounds.

DDA系ポリイミドは、上記の酸無水物成分とジアミン成分を溶媒中で反応させ、ポリアミド酸を生成したのち加熱閉環させることにより製造できる。例えば、酸無水物成分とジアミン成分をほぼ等モルで有機溶媒中に溶解させて、0~100℃の範囲内の温度で30分~24時間撹拌し重合反応させることでポリイミドの前駆体であるポリアミド酸が得られる。反応にあたっては、生成する前駆体が有機溶媒中に5~50重量%の範囲内、好ましくは10~40重量%の範囲内となるように反応成分を溶解する。重合反応に用いる有機溶媒としては、例えば、N,N-ジメチルホルムアミド(DMF)、N,N-ジメチルアセトアミド(DMAc)、N,N-ジエチルアセトアミド、N-メチル-2-ピロリドン(NMP)、2-ブタノン、ジメチルスルホキシド(DMSO)、ヘキサメチルホスホルアミド、N-メチルカプロラクタム、硫酸ジメチル、シクロヘキサノン、メチルシクロヘキサン、ジオキサン、テトラヒドロフラン、ジグライム、トリグライム、メタノール、エタノール、ベンジルアルコール、クレゾール等が挙げられる。これらの溶媒を2種以上併用して使用することもでき、更にはキシレン、トルエンのような芳香族炭化水素の併用も可能である。また、このような有機溶媒の使用量としては特に制限されるものではないが、重合反応によって得られるポリアミド酸溶液の濃度が5~50重量%程度になるような使用量に調整して用いることが好ましい。 DDA-based polyimides can be produced by reacting the above-mentioned acid anhydride and diamine components in a solvent to produce polyamic acid, which is then heated to close the ring. For example, the acid anhydride and diamine components are dissolved in approximately equimolar amounts in an organic solvent, and the mixture is stirred at a temperature in the range of 0 to 100°C for 30 minutes to 24 hours to cause a polymerization reaction, thereby obtaining polyamic acid, which is a precursor of polyimide. In the reaction, the reaction components are dissolved so that the resulting precursor is in the range of 5 to 50% by weight, preferably 10 to 40% by weight, in the organic solvent. Examples of organic solvents used in the polymerization reaction include N,N-dimethylformamide (DMF), N,N-dimethylacetamide (DMAc), N,N-diethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone (NMP), 2-butanone, dimethylsulfoxide (DMSO), hexamethylphosphoramide, N-methylcaprolactam, dimethyl sulfate, cyclohexanone, methylcyclohexane, dioxane, tetrahydrofuran, diglyme, triglyme, methanol, ethanol, benzyl alcohol, and cresol. Two or more of these solvents can be used in combination, and aromatic hydrocarbons such as xylene and toluene can also be used in combination. The amount of such organic solvents used is not particularly limited, but it is preferable to adjust the amount so that the concentration of the polyamic acid solution obtained by the polymerization reaction is about 5 to 50% by weight.

合成されたポリアミド酸は、通常、反応溶媒溶液として使用することが有利であるが、必要により濃縮、希釈又は他の有機溶媒に置換することができる。また、ポリアミド酸は一般に溶媒可溶性に優れるので、有利に使用される。ポリアミド酸の溶液の粘度は、500mPa・s~100000mPa・sの範囲内であることが好ましい。この範囲を外れると、コーター等による塗工作業の際にフィルムに厚みムラ、スジ等の不良が発生し易くなる。 The synthesized polyamic acid is usually advantageously used as a reaction solvent solution, but it can be concentrated, diluted, or replaced with another organic solvent if necessary. Polyamic acid is also advantageously used because it generally has excellent solvent solubility. The viscosity of the polyamic acid solution is preferably within the range of 500 mPa·s to 100,000 mPa·s. If it is outside this range, defects such as uneven thickness and streaks are likely to occur in the film during coating operations using a coater, etc.

ポリアミド酸をイミド化させてポリイミドを形成させる方法は、特に制限されず、例えば前記溶媒中で、80~400℃の範囲内の温度条件で1~24時間かけて加熱するといった熱処理が好適に採用される。また、温度は一定の温度条件で加熱しても良いし、工程の途中で温度を変えることもできる。 There are no particular limitations on the method for imidizing polyamic acid to form polyimide, and a suitable method is, for example, heat treatment in the solvent at a temperature in the range of 80 to 400°C for 1 to 24 hours. The temperature may be constant, or it may be changed during the process.

DDA系ポリイミドにおいて、上記酸無水物成分及びジアミン成分の種類や、2種以上の酸無水物成分又はジアミン成分を適用する場合のそれぞれのモル比を選定することにより、誘電特性、熱膨張係数、引張弾性率、ガラス転移温度等を制御することができる。また、DDA系ポリイミドにおいて、ポリイミドの構造単位を複数有する場合は、ブロックとして存在しても、ランダムに存在していてもよいが、ランダムに存在することが好ましい。 In DDA-based polyimides, the dielectric properties, thermal expansion coefficient, tensile modulus, glass transition temperature, etc. can be controlled by selecting the types of the acid anhydride components and diamine components, and the molar ratios of each when two or more types of acid anhydride components or diamine components are used. In addition, in DDA-based polyimides, when multiple polyimide structural units are present, they may be present as blocks or randomly, but it is preferable that they are present randomly.

DDA系ポリイミドの重量平均分子量は、例えば10,000~200,000の範囲内が好ましく、このような範囲内であれば、ポリイミドの重量平均分子量の制御が容易となる。また、例えばFPC用の接着剤として適用する場合、DDA系ポリイミドの重量平均分子量は、20,000~150,000の範囲内がより好ましく、40,000~150,000の範囲内が更に好ましい。FPC用の接着剤として適用する場合、DDA系ポリイミドの重量平均分子量が20,000未満である場合、フロー耐性が悪化する傾向となる。一方、DDA系ポリイミドの重量平均分子量が150,000を超えると、過度に粘度が増加して溶剤に不溶になり、塗工作業の際に接着剤層の厚みムラ、スジ等の不良が発生しやすい傾向になる。 The weight average molecular weight of the DDA polyimide is preferably in the range of 10,000 to 200,000, for example. If the weight average molecular weight is within this range, it is easy to control the weight average molecular weight of the polyimide. For example, when applied as an adhesive for FPCs, the weight average molecular weight of the DDA polyimide is more preferably in the range of 20,000 to 150,000, and even more preferably in the range of 40,000 to 150,000. When applied as an adhesive for FPCs, if the weight average molecular weight of the DDA polyimide is less than 20,000, the flow resistance tends to deteriorate. On the other hand, if the weight average molecular weight of the DDA polyimide exceeds 150,000, the viscosity increases excessively and the polyimide becomes insoluble in a solvent, and defects such as uneven thickness of the adhesive layer and streaks tend to occur during coating operations.

DDA系ポリイミドのイミド基濃度は、好ましくは22重量%以下、より好ましくは20重量%以下がよい。ここで、「イミド基濃度」は、ポリイミド中のイミド基部(-(CO)-N-)の分子量を、ポリイミドの構造全体の分子量で除した値を意味する。イミド基濃度が22重量%を超えると、樹脂自体の分子量が小さくなるとともに、極性基の増加によって低吸湿性も悪化し、Tg及び弾性率が上昇する。 The imide group concentration of the DDA polyimide is preferably 22% by weight or less, more preferably 20% by weight or less. Here, "imide group concentration" means the value obtained by dividing the molecular weight of the imide group (-(CO) 2 -N-) in the polyimide by the molecular weight of the entire polyimide structure. If the imide group concentration exceeds 22% by weight, the molecular weight of the resin itself decreases, and the low moisture absorption property deteriorates due to an increase in polar groups, and Tg and elastic modulus increase.

DDA系ポリイミドは、完全にイミド化された構造が最も好ましい。但し、ポリイミドの一部がアミド酸となっていてもよい。そのイミド化率は、フーリエ変換赤外分光光度計(市販品:日本分光製FT/IR620)を用い、1回反射ATR法にてポリイミド薄膜の赤外線吸収スペクトルを測定することによって、1015cm-1付近のベンゼン環吸収体を基準とし、1780cm-1のイミド基に由来するC=O伸縮の吸光度から算出することができる。 The DDA polyimide is most preferably a completely imidized structure. However, a part of the polyimide may be an amic acid. The imidization rate can be calculated from the absorbance of the C=O stretching derived from the imide group at 1780 cm - 1, based on the benzene ring absorber at about 1015 cm- 1 , by measuring the infrared absorption spectrum of the polyimide thin film by the single reflection ATR method using a Fourier transform infrared spectrophotometer (commercial product: FT/IR620 manufactured by JASCO Corporation).

DDA系ポリイミドには、任意成分として、例えば可塑剤、エポキシ樹脂などの他の硬化樹脂成分、硬化剤、硬化促進剤、無機フィラー、カップリング剤、充填剤、溶剤、難燃剤などを適宜配合することができる。 DDA-based polyimides can contain optional components such as plasticizers, other curable resin components such as epoxy resins, curing agents, curing accelerators, inorganic fillers, coupling agents, bulking agents, solvents, and flame retardants.

[DDA系ポリイミドの架橋形成]
DDA系ポリイミドがケトン基を有する場合に、該ケトン基と、少なくとも2つの第1級のアミノ基を官能基として有するアミノ化合物(以下、「架橋形成用アミノ化合物」と記すことがある)のアミノ基を反応させてC=N結合を形成させることによって、架橋構造を形成することができる。架橋構造の形成によって、DDA系ポリイミドの耐熱性を向上させることができる。ケトン基を有するDDA系ポリイミドを形成するために好ましいテトラカルボン酸無水物としては、例えば3,3’,4,4’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(BTDA)を、ジアミン化合物としては、例えば、4,4’―ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゾフェノン(BABP)、1,3-ビス[4-(3-アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン(BABB)等の芳香族ジアミンを挙げることができる。
[Crosslinking of DDA-based polyimide]
When the DDA polyimide has a ketone group, the ketone group can be reacted with an amino group of an amino compound having at least two primary amino groups as functional groups (hereinafter, sometimes referred to as "amino compound for crosslinking") to form a C=N bond, thereby forming a crosslinked structure. The formation of the crosslinked structure can improve the heat resistance of the DDA polyimide. A preferred tetracarboxylic anhydride for forming a DDA polyimide having a ketone group is, for example, 3,3',4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride (BTDA), and a preferred diamine compound is, for example, an aromatic diamine such as 4,4'-bis(3-aminophenoxy)benzophenone (BABP) or 1,3-bis[4-(3-aminophenoxy)benzoyl]benzene (BABB).

架橋構造を形成させる目的において、特に、全テトラカルボン酸残基に対して、BTDAから誘導されるBTDA残基を、好ましくは50モル%以上、より好ましくは60モル%以上含有する上記のDDA系ポリイミド、及び架橋形成用アミノ化合物、を含むことが好ましい。なお、本発明において、「BTDA残基」とは、BTDAから誘導された4価の基のことを意味する。 For the purpose of forming a crosslinked structure, it is particularly preferable to include the above-mentioned DDA-based polyimide, which contains BTDA residues derived from BTDA in an amount of preferably 50 mol % or more, more preferably 60 mol % or more, relative to the total tetracarboxylic acid residues, and an amino compound for crosslinking. In the present invention, the "BTDA residue" means a tetravalent group derived from BTDA.

架橋形成用アミノ化合物としては、(I)ジヒドラジド化合物、(II)芳香族ジアミン、(III)脂肪族アミン等を例示することができる。これらの中でも、ジヒドラジド化合物が好ましい。ジヒドラジド化合物以外の脂肪族アミンは、室温でも架橋構造を形成しやすく、ワニスの保存安定性の懸念があり、一方、芳香族ジアミンは、架橋構造の形成のために高温にする必要がある。このように、ジヒドラジド化合物を使用した場合は、ワニスの保存安定性と硬化時間の短縮化を両立させることができる。ジヒドラジド化合物としては、例えば、シュウ酸ジヒドラジド、マロン酸ジヒドラジド、コハク酸ジヒドラジド、グルタル酸ジヒドラジド、アジピン酸ジヒドラジド、ピメリン酸ジヒドラジド、スベリン酸ジヒドラジド、アゼライン酸ジヒドラジド、セバシン酸ジヒドラジド、ドデカン二酸ジヒドラジド、マレイン酸ジヒドラジド、フマル酸ジヒドラジド、ジグリコール酸ジヒドラジド、酒石酸ジヒドラジド、リンゴ酸ジヒドラジド、フタル酸ジヒドラジド、イソフタル酸ジヒドラジド、テレフタル酸ジヒドラジド、2,6-ナフトエ二酸ジヒドラジド、4,4-ビスベンゼンジヒドラジド、1,4-ナフトエ酸ジヒドラジド、2,6-ピリジン二酸ジヒドラジド、イタコン酸ジヒドラジド等のジヒドラジド化合物が好ましい。以上のジヒドラジド化合物は、単独でもよいし、2種類以上混合して用いることもできる。 Examples of amino compounds for forming crosslinks include (I) dihydrazide compounds, (II) aromatic diamines, and (III) aliphatic amines. Among these, dihydrazide compounds are preferred. Aliphatic amines other than dihydrazide compounds are prone to form crosslinked structures even at room temperature, which raises concerns about the storage stability of the varnish, while aromatic diamines require high temperatures to form crosslinked structures. In this way, when a dihydrazide compound is used, it is possible to achieve both the storage stability of the varnish and a shortened curing time. Examples of dihydrazide compounds include oxalic acid dihydrazide, malonic acid dihydrazide, succinic acid dihydrazide, glutaric acid dihydrazide, adipic acid dihydrazide, pimelic acid dihydrazide, suberic acid dihydrazide, azelaic acid dihydrazide, sebacic acid dihydrazide, dodecanedioic acid dihydrazide, maleic acid dihydrazide, fumaric acid dihydrazide, diglyceryl ester dihydrazide, ... Dihydrazide compounds such as cholic acid dihydrazide, tartaric acid dihydrazide, malic acid dihydrazide, phthalic acid dihydrazide, isophthalic acid dihydrazide, terephthalic acid dihydrazide, 2,6-naphthoedioic acid dihydrazide, 4,4-bisbenzene dihydrazide, 1,4-naphthoic acid dihydrazide, 2,6-pyridine diacid dihydrazide, and itaconic acid dihydrazide are preferred. The above dihydrazide compounds may be used alone or in combination of two or more.

また、上記(I)ジヒドラジド化合物、(II)芳香族ジアミン、(III)脂肪族アミン等のアミノ化合物は、例えば(I)と(II)の組み合わせ、(I)と(III)との組み合わせ、(I)と(II)と(III)との組み合わせのように、カテゴリーを超えて2種以上組み合わせて使用することもできる。 The above amino compounds, such as (I) dihydrazide compounds, (II) aromatic diamines, and (III) aliphatic amines, can also be used in combination of two or more types beyond the scope of the category, such as a combination of (I) and (II), a combination of (I) and (III), or a combination of (I), (II), and (III).

また、架橋形成用アミノ化合物による架橋で形成される網目状の構造をより密にするという観点から、本発明で使用する架橋形成用アミノ化合物は、その分子量(架橋形成用アミノ化合物がオリゴマーの場合は重量平均分子量)が5,000以下であることが好ましく、より好ましくは90~2,000、更に好ましくは100~1,500がよい。この中でも、100~1,000の分子量をもつ架橋形成用アミノ化合物が特に好ましい。架橋形成用アミノ化合物の分子量が90未満になると、架橋形成用アミノ化合物の1つのアミノ基がDDA系ポリイミドのケトン基とC=N結合を形成するにとどまり、残りのアミノ基の周辺が立体的に嵩高くなるために残りのアミノ基はC=N結合を形成しにくい傾向となる。 In order to make the mesh-like structure formed by the crosslinking with the crosslinking amino compound denser, the crosslinking amino compound used in the present invention preferably has a molecular weight (weight average molecular weight when the crosslinking amino compound is an oligomer) of 5,000 or less, more preferably 90 to 2,000, and even more preferably 100 to 1,500. Among these, crosslinking amino compounds having a molecular weight of 100 to 1,000 are particularly preferred. If the molecular weight of the crosslinking amino compound is less than 90, only one amino group of the crosslinking amino compound will form a C=N bond with a ketone group of the DDA polyimide, and the surroundings of the remaining amino groups will be three-dimensionally bulky, making it difficult for the remaining amino groups to form C=N bonds.

DDA系ポリイミド中のケトン基と架橋形成用アミノ化合物とを架橋形成させる場合は、DDA系ポリイミドを含む樹脂溶液に、上記架橋形成用アミノ化合物を加えて、DDA系ポリイミド中のケトン基と架橋形成用アミノ化合物の第1級アミノ基とを縮合反応させる。この縮合反応により、樹脂溶液は硬化して硬化物となる。この場合、架橋形成用アミノ化合物の添加量は、ケトン基1モルに対し、第1級アミノ基が合計で0.004モル~1.5モル、好ましくは0.005モル~1.2モル、より好ましくは0.03モル~0.9モル、最も好ましくは0.04モル~0.6モルとすることができる。ケトン基1モルに対して第1級アミノ基が合計で0.004モル未満となるような架橋形成用アミノ化合物の添加量では、架橋形成用アミノ化合物による架橋が十分ではないため、硬化後の耐熱性が発現しにくい傾向となり、架橋形成用アミノ化合物の添加量が1.5モルを超えると未反応の架橋形成用アミノ化合物が熱可塑剤として作用し、接着剤層としての耐熱性を低下させる傾向がある。 When crosslinking the ketone group in the DDA polyimide with the crosslinking amino compound, the crosslinking amino compound is added to a resin solution containing the DDA polyimide to cause a condensation reaction between the ketone group in the DDA polyimide and the primary amino group of the crosslinking amino compound. This condensation reaction hardens the resin solution to become a hardened product. In this case, the amount of the crosslinking amino compound added can be 0.004 to 1.5 moles, preferably 0.005 to 1.2 moles, more preferably 0.03 to 0.9 moles, and most preferably 0.04 to 0.6 moles of primary amino groups per mole of ketone group. If the amount of crosslinking amino compound added is such that the total number of primary amino groups per mole of ketone groups is less than 0.004 moles, crosslinking by the crosslinking amino compound is insufficient, and heat resistance after curing tends to be difficult to achieve. If the amount of crosslinking amino compound added exceeds 1.5 moles, the unreacted crosslinking amino compound acts as a thermoplasticizer, tending to reduce the heat resistance of the adhesive layer.

架橋形成のための縮合反応の条件は、DDA系ポリイミドにおけるケトン基と上記架橋形成用アミノ化合物の第1級アミノ基が反応してイミン結合(C=N結合)を形成する条件であれば、特に制限されない。加熱縮合の温度は、縮合によって生成する水を系外へ放出させるため、又はDDA系ポリイミドの合成後に引き続いて加熱縮合反応を行なう場合に当該縮合工程を簡略化するため等の理由で、例えば120~220℃の範囲内が好ましく、140~200℃の範囲内がより好ましい。反応時間は、30分~24時間程度が好ましい。反応の終点は、例えばフーリエ変換赤外分光光度計(市販品:日本分光製FT/IR620)を用い、赤外線吸収スペクトルを測定することによって、1670cm-1付近のポリイミド樹脂におけるケトン基に由来する吸収ピークの減少又は消失、及び1635cm-1付近のイミン基に由来する吸収ピークの出現により確認することができる。 The conditions of the condensation reaction for forming crosslinks are not particularly limited as long as the ketone group in the DDA polyimide reacts with the primary amino group of the amino compound for forming crosslinks to form an imine bond (C=N bond). The temperature of the heat condensation is preferably in the range of, for example, 120 to 220°C, more preferably in the range of 140 to 200°C, for the purpose of releasing water produced by condensation out of the system, or for the purpose of simplifying the condensation step when the heat condensation reaction is carried out subsequently to the synthesis of the DDA polyimide. The reaction time is preferably about 30 minutes to 24 hours. The end point of the reaction can be confirmed by, for example, a Fourier transform infrared spectrophotometer (commercial product: FT/IR620 manufactured by JASCO) by measuring the infrared absorption spectrum, based on the decrease or disappearance of the absorption peak derived from the ketone group in the polyimide resin at around 1670 cm -1 , and the appearance of the absorption peak derived from the imine group at around 1635 cm -1 .

DDA系ポリイミドのケトン基と上記架橋形成用アミノ化合物の第1級のアミノ基との加熱縮合は、例えば、
(1)DDA系ポリイミドの合成(イミド化)に引き続き、架橋形成用アミノ化合物を添加して加熱する方法、
(2)ジアミン成分として予め過剰量のアミノ化合物を仕込んでおき、DDA系ポリイミドの合成(イミド化)に引き続き、イミド化若しくはアミド化に関与しない残りのアミノ化合物を架橋形成用アミノ化合物として利用してDDA系ポリイミドとともに加熱する方法、
又は、
(3)上記の架橋形成用アミノ化合物を添加したDDA系ポリイミドの組成物を所定の形状に加工した後(例えば任意の基材に塗布した後やフィルム状に形成した後)に加熱する方法、
等によって行うことができる。
The thermal condensation of the ketone group of the DDA polyimide with the primary amino group of the crosslinking amino compound can be carried out, for example, by the following method:
(1) A method in which, following the synthesis (imidization) of a DDA-based polyimide, an amino compound for crosslinking is added and heated;
(2) A method in which an excess amount of an amino compound is charged in advance as a diamine component, and following the synthesis (imidization) of a DDA-based polyimide, the remaining amino compound that is not involved in imidization or amidation is used as an amino compound for crosslinking and heated together with the DDA-based polyimide;
Or,
(3) A method in which the DDA-based polyimide composition containing the above-mentioned amino compound for crosslinking is processed into a predetermined shape (for example, after being applied to a substrate or formed into a film), and then heated;
This can be done by, etc.

DDA系ポリイミドの耐熱性付与のため、架橋構造の形成でイミン結合の形成を説明したが、これに限定されるものではなく、ポリイミドの硬化方法として、例えばエポキシ樹脂、エポキシ樹脂硬化剤、マレイミドや活性化エステル樹脂やスチレン骨格を有する樹脂等の不飽和結合を有する化合物等を配合し硬化することも可能である。 To impart heat resistance to DDA-based polyimides, the formation of imine bonds has been described as a method for forming crosslinked structures, but this is not limiting. For example, polyimides can be cured by blending and curing compounds with unsaturated bonds, such as epoxy resins, epoxy resin curing agents, maleimides, activated ester resins, and resins with styrene skeletons.

[寸法精度維持層]
寸法精度維持層PLは、金属張積層板10の機械的強度を維持するため、100℃から250℃の温度領域での貯蔵弾性率の最小値が1.0~8.0GPaの範囲内であることが好ましく、2.0~6.0GPaの範囲内がより好ましい。寸法精度維持層PLの貯蔵弾性率の最小値が1.0GPa未満では十分な機械的強度と回路加工後の寸法精度が得られない。貯蔵弾性率の最小値が8.0GPaを超える場合は、積層プレスする際に反りが発生し易くなる。
[Dimensional accuracy maintaining layer]
In order to maintain the mechanical strength of the metal-clad laminate 10, the dimensional accuracy maintaining layer PL preferably has a minimum storage modulus in the range of 1.0 to 8.0 GPa, more preferably 2.0 to 6.0 GPa , in the temperature range of 100° C. to 250° C. If the minimum storage modulus of the dimensional accuracy maintaining layer PL is less than 1.0 GPa, sufficient mechanical strength and dimensional accuracy after circuit processing cannot be obtained. If the minimum storage modulus exceeds 8.0 GPa, warping is likely to occur during lamination pressing.

また、寸法精度維持層PLは、金属張積層板10を回路加工したときの寸法精度を維持するため、熱膨張係数(CTE)が15~25ppm/Kの範囲内であることが好ましく、16~23ppm/Kの範囲内がより好ましい。寸法精度維持層PLのCTEが15ppm/K未満では、金属張積層板10に反りが発生し易くなり、25ppm/Kを超えると回路加工後の寸法精度が得られない。 In addition, in order to maintain the dimensional accuracy when the metal-clad laminate 10 is circuit-processed, the dimensional accuracy maintaining layer PL preferably has a coefficient of thermal expansion (CTE) in the range of 15 to 25 ppm/K, and more preferably in the range of 16 to 23 ppm/K. If the CTE of the dimensional accuracy maintaining layer PL is less than 15 ppm/K, the metal-clad laminate 10 is more likely to warp, and if it exceeds 25 ppm/K, dimensional accuracy after circuit processing cannot be obtained.

寸法精度維持層PLは、電気的絶縁性を有する樹脂により構成されるものであれば特に限定はなく、例えばポリイミド、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリテトラフルオロエチレン、シリコーン、ETFEなどを挙げることができるが、ポリイミドによって構成されることが好ましい。つまり、寸法精度維持層PLは、単層又は複数層からなる低熱膨張性ポリイミド層であることが好ましい。 The dimensional accuracy maintaining layer PL is not particularly limited as long as it is made of a resin having electrical insulation properties, and examples thereof include polyimide, epoxy resin, phenolic resin, polyethylene, polypropylene, polytetrafluoroethylene, silicone, ETFE, etc., but it is preferable that it is made of polyimide. In other words, it is preferable that the dimensional accuracy maintaining layer PL is a low thermal expansion polyimide layer consisting of a single layer or multiple layers.

寸法精度維持層PLが単層のポリイミド層である場合、後述する非熱可塑性ポリイミド層31と同様の構成とすることができる。単層のポリイミド層としては、例えば、カプトンEN(商品名;東レ・デュポン社製)、アピカルNPI(商品名;カネカ社製)などの市販品を用いることができる。 When the dimensional accuracy maintaining layer PL is a single polyimide layer, it can have the same configuration as the non-thermoplastic polyimide layer 31 described below. As the single polyimide layer, for example, commercially available products such as Kapton EN (product name; manufactured by DuPont Toray Co., Ltd.) and Apical NPI (product name; manufactured by Kaneka Corporation) can be used.

寸法精度維持層PLが複数のポリイミド層からなる場合、寸法精度維持層PLは、例えば、図4に示すように、樹脂成分として非熱可塑性ポリイミドを含む非熱可塑性ポリイミド層31の両側に樹脂成分として熱可塑性ポリイミドを含む熱可塑性ポリイミド層33が積層された構造であってもよい。なお、「非熱可塑性ポリイミド」とは、一般に加熱しても軟化、接着性を示さないポリイミドのことであるが、本発明では、動的粘弾性測定装置(DMA)を用いて測定した、30℃における貯蔵弾性率が1.0×10Pa以上であり、350℃における貯蔵弾性率が1.0×10Pa以上であるポリイミドをいう。また、「熱可塑性ポリイミド」とは、一般にガラス転移温度(Tg)が明確に確認できるポリイミドのことであるが、本発明では、DMAを用いて測定した、30℃における貯蔵弾性率が1.0×10Pa以上であり、350℃における貯蔵弾性率が1.0×10Pa未満であるポリイミドをいう。 When the dimensional accuracy maintaining layer PL is composed of a plurality of polyimide layers, the dimensional accuracy maintaining layer PL may have a structure in which a thermoplastic polyimide layer 33 containing a thermoplastic polyimide as a resin component is laminated on both sides of a non-thermoplastic polyimide layer 31 containing a non-thermoplastic polyimide as a resin component, as shown in FIG. 4. In addition, the term "non-thermoplastic polyimide" generally refers to a polyimide that does not soften or exhibit adhesiveness even when heated, but in the present invention, it refers to a polyimide whose storage modulus at 30°C is 1.0×10 9 Pa or more and whose storage modulus at 350°C is 1.0×10 8 Pa or more, as measured using a dynamic viscoelasticity measuring device (DMA). In addition, the term "thermoplastic polyimide" generally refers to a polyimide whose glass transition temperature (Tg) can be clearly confirmed, but in the present invention, it refers to a polyimide whose storage modulus at 30°C is 1.0×10 9 Pa or more and whose storage modulus at 350°C is less than 1.0×10 8 Pa, as measured using a DMA.

次に、寸法精度維持層PLを構成するための非熱可塑性ポリイミド層31及び熱可塑性ポリイミド層33の好ましい構成例について説明する。 Next, we will explain preferred configuration examples of the non-thermoplastic polyimide layer 31 and the thermoplastic polyimide layer 33 for forming the dimensional accuracy maintaining layer PL.

非熱可塑性ポリイミド層:
非熱可塑性ポリイミド層31を構成する非熱可塑性ポリイミドは、テトラカルボン酸残基及びジアミン残基を含むものである。ポリイミドは、芳香族テトラカルボン酸二無水物から誘導される芳香族テトラカルボン酸残基及び芳香族ジアミンから誘導される芳香族ジアミン残基を含むことが好ましい。
Non-thermoplastic polyimide layer:
The non-thermoplastic polyimide constituting the non-thermoplastic polyimide layer 31 contains a tetracarboxylic acid residue and a diamine residue. The polyimide preferably contains an aromatic tetracarboxylic acid residue derived from an aromatic tetracarboxylic dianhydride and an aromatic diamine residue derived from an aromatic diamine.

(テトラカルボン酸残基)
非熱可塑性ポリイミド層31を構成する非熱可塑性ポリイミドは、テトラカルボン酸残基として、3,3’、4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)及び1,4-フェニレンビス(トリメリット酸モノエステル)二無水物(TAHQ)の少なくとも1種から誘導されるテトラカルボン酸残基並びにピロメリット酸二無水物(PMDA)及び2,3,6,7-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物(NTCDA)の少なくとも1種から誘導されるテトラカルボン酸残基を含有することが好ましい。
(Tetracarboxylic acid residue)
The non-thermoplastic polyimide constituting the non-thermoplastic polyimide layer 31 preferably contains, as the tetracarboxylic acid residue, a tetracarboxylic acid residue derived from at least one of 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA) and 1,4-phenylenebis(trimellitic acid monoester) dianhydride (TAHQ), and a tetracarboxylic acid residue derived from at least one of pyromellitic dianhydride (PMDA) and 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride (NTCDA).

BPDAから誘導されるテトラカルボン酸残基(以下、「BPDA残基」ともいう。)及びTAHQから誘導されるテトラカルボン酸残基(以下、「TAHQ残基」ともいう。)は、ポリマーの秩序構造を形成しやすく、分子の運動抑制により誘電正接や吸湿性を低下させることができる。BPDA残基は、ポリイミド前駆体のポリアミド酸としてのゲル膜の自己支持性を付与できるが、その一方で、イミド化後のCTEを増大させるとともに、ガラス転移温度を低くして耐熱性を低下させる傾向になる。 Tetracarboxylic acid residues derived from BPDA (hereinafter also referred to as "BPDA residues") and tetracarboxylic acid residues derived from TAHQ (hereinafter also referred to as "TAHQ residues") tend to form ordered polymer structures and can reduce dielectric tangent and hygroscopicity by suppressing molecular motion. BPDA residues can impart self-supporting properties to the gel film of the polyamic acid of the polyimide precursor, but at the same time, they tend to increase the CTE after imidization and lower the glass transition temperature, thereby reducing heat resistance.

このような観点から、非熱可塑性ポリイミド層31を構成する非熱可塑性ポリイミドが、全テトラカルボン酸残基の100モル部に対して、BPDA残基及びTAHQ残基の合計を好ましくは30モル部以上60モル部以下の範囲内、より好ましくは40モル部以上50モル部以下の範囲内で含有するように制御する。BPDA残基及びTAHQ残基の合計が30モル部未満では、ポリマーの秩序構造の形成が不十分となって、耐吸湿性が低下したり、誘電正接の低減が不十分となり、60モル部を超えると、CTEの増加や面内リタデーション(RO)の変化量の増大のほか、耐熱性が低下したりするおそれがある。 From this viewpoint, the non-thermoplastic polyimide constituting the non-thermoplastic polyimide layer 31 is controlled so that the total of BPDA residues and TAHQ residues is preferably within the range of 30 to 60 molar parts, more preferably 40 to 50 molar parts, per 100 molar parts of all tetracarboxylic acid residues. If the total of BPDA residues and TAHQ residues is less than 30 molar parts, the formation of an ordered structure of the polymer will be insufficient, resulting in reduced moisture absorption resistance and insufficient reduction in dielectric tangent. If it exceeds 60 molar parts, there is a risk of an increase in CTE, an increase in the amount of change in in-plane retardation (RO), and reduced heat resistance.

また、ピロメリット酸二無水物から誘導されるテトラカルボン酸残基(以下、「PMDA残基」ともいう。)及び2,3,6,7-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物から誘導されるテトラカルボン酸残基(以下、「NTCDA残基」ともいう。)は、剛直性を有するため、面内配向性を高め、CTEを低く抑えるとともに、面内リタデーション(RO)の制御や、ガラス転移温度の制御の役割を担う残基である。一方で、PMDA残基は、分子量が小さいため、その量が多くなり過ぎると、ポリマーのイミド基濃度が高くなり、極性基が増加して吸湿性が大きくなってしまい、分子鎖内部の水分の影響により誘電正接が増加する。また、NTCDA残基は、剛直性が高いナフタレン骨格によりフィルムが脆くなりやすく、弾性率を増大させる傾向になる。
そのため、非熱可塑性ポリイミド層を構成する非熱可塑性ポリイミドは、全テトラカルボン酸残基の100モル部に対して、PMDA残基及びNTCDA残基の合計を好ましくは40モル部以上70モル部以下の範囲内、より好ましくは50モル部以上60モル部以下の範囲内、さらに好ましくは50~55モル部の範囲内で含有する。PMDA残基及びNTCDA残基の合計が40モル部未満では、CTEが増加したり、耐熱性が低下したりするおそれがあり、70モル部を超えると、ポリマーのイミド基濃度が高くなり、極性基が増加して低吸湿性が損なわれ、誘電正接が増加するおそれやフィルムが脆くなりフィルムの自己支持性が低下するおそれがある。
In addition, the tetracarboxylic acid residue derived from pyromellitic dianhydride (hereinafter also referred to as "PMDA residue") and the tetracarboxylic acid residue derived from 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride (hereinafter also referred to as "NTCDA residue") are residues that have rigidity, and therefore increase the in-plane orientation, suppress the CTE low, and also play a role in controlling the in-plane retardation (RO) and the glass transition temperature. On the other hand, since the PMDA residue has a small molecular weight, if the amount of the PMDA residue becomes too large, the imide group concentration of the polymer increases, the polar groups increase, and the hygroscopicity increases, and the dielectric tangent increases due to the influence of moisture inside the molecular chain. In addition, the NTCDA residue tends to make the film brittle due to the highly rigid naphthalene skeleton, and tends to increase the elastic modulus.
Therefore, the non-thermoplastic polyimide constituting the non-thermoplastic polyimide layer preferably contains the total of PMDA residues and NTCDA residues in the range of 40 to 70 molar parts, more preferably in the range of 50 to 60 molar parts, and even more preferably in the range of 50 to 55 molar parts, relative to 100 molar parts of all tetracarboxylic acid residues. If the total of PMDA residues and NTCDA residues is less than 40 molar parts, the CTE may increase or the heat resistance may decrease, while if it exceeds 70 molar parts, the imide group concentration of the polymer increases, the polar groups increase, and the low moisture absorption property is impaired, the dielectric loss tangent may increase, or the film may become brittle and the self-supporting property of the film may decrease.

また、BPDA残基及びTAHQ残基の少なくとも1種並びにPMDA残基及びNTCDA残基の少なくとも1種の合計が、全テトラカルボン酸残基の100モル部に対して80モル部以上、好ましくは90モル部以上であることがよい。 The total amount of at least one of BPDA residues and TAHQ residues and at least one of PMDA residues and NTCDA residues is preferably 80 molar parts or more, and more preferably 90 molar parts or more, per 100 molar parts of all tetracarboxylic acid residues.

また、BPDA残基及びTAHQ残基の少なくとも1種と、PMDA残基及びNTCDA残基少なくとも1種のモル比{(BPDA残基+TAHQ残基)/(PMDA残基+NTCDA残基)}を0.4以上1.5以下の範囲内、好ましくは0.6以上1.3以下の範囲内、より好ましくは0.8以上1.2以下の範囲内とし、CTEとポリマーの秩序構造の形成を制御することがよい。 In addition, the molar ratio of at least one of BPDA residues and TAHQ residues to at least one of PMDA residues and NTCDA residues {(BPDA residues + TAHQ residues)/(PMDA residues + NTCDA residues)} is set within the range of 0.4 to 1.5, preferably within the range of 0.6 to 1.3, and more preferably within the range of 0.8 to 1.2, to control the CTE and the formation of an ordered structure of the polymer.

PMDA及びNTCDAは、剛直骨格を有するため、他の一般的な酸無水物成分に比べて、ポリイミド中の分子の面内配向性の制御が可能であり、熱膨張係数(CTE)の抑制とガラス転移温度(Tg)の向上効果がある。また、BPDA及びTAHQは、PMDAと比較し分子量が大きいため、仕込み比率の増加によりイミド基濃度が低下することで、誘電正接の低下や吸湿率の低下に効果がある。一方でBPDA及びTAHQの仕込み比率が増加すると、ポリイミド中の分子の面内配向性が低下し、CTEの増加に繋がる。さらに分子内の秩序構造の形成が進み、ヘイズ値が増加する。このような観点から、PMDA及びNTCDAの合計の仕込み量は、原料の全酸無水物成分の100モル部に対し、40~70モル部の範囲内、好ましくは50~60モル部の範囲内、より好ましくは50~55モル部の範囲内がよい。原料の全酸無水物成分の100モル部に対し、PMDA及びNTCDAの合計の仕込み量が40モル部未満であると、分子の面内配向性が低下し、低CTE化が困難となり、またTgの低下による加熱時におけるフィルムの耐熱性や寸法安定性が低下する。一方、PMDA及びNTCDAの合計の仕込み量が70モル部を超えると、イミド基濃度の増加により吸湿率が悪化したり、弾性率を増大させる傾向になる。 PMDA and NTCDA have a rigid skeleton, so compared to other common acid anhydride components, it is possible to control the in-plane orientation of the molecules in the polyimide, suppressing the coefficient of thermal expansion (CTE) and improving the glass transition temperature (Tg). In addition, BPDA and TAHQ have a larger molecular weight than PMDA, so an increase in the charge ratio reduces the imide group concentration, which is effective in reducing the dielectric tangent and moisture absorption rate. On the other hand, if the charge ratio of BPDA and TAHQ is increased, the in-plane orientation of the molecules in the polyimide decreases, leading to an increase in CTE. Furthermore, the formation of an ordered structure in the molecule progresses, and the haze value increases. From this perspective, the total charge amount of PMDA and NTCDA is within the range of 40 to 70 mol parts, preferably within the range of 50 to 60 mol parts, and more preferably within the range of 50 to 55 mol parts, relative to 100 mol parts of the total acid anhydride components of the raw material. If the total amount of PMDA and NTCDA charged is less than 40 molar parts per 100 molar parts of the total acid anhydride components of the raw material, the in-plane orientation of the molecules decreases, making it difficult to achieve a low CTE, and the heat resistance and dimensional stability of the film when heated due to a decrease in Tg. On the other hand, if the total amount of PMDA and NTCDA charged exceeds 70 molar parts, the moisture absorption rate tends to deteriorate and the elastic modulus tends to increase due to an increase in the imide group concentration.

また、BPDA及びTAHQは、分子運動の抑制やイミド基濃度の低下による低誘電正接化、吸湿率低下に効果があるが、イミド化後のポリイミドフィルムとしてのCTEを増大させる。このような観点から、BPDA及びTAHQの合計の仕込み量は、原料の全酸無水物成分の100モル部に対し、30~60モル部の範囲内、好ましくは40~50モル部の範囲内がよい。 BPDA and TAHQ are also effective in suppressing molecular motion and lowering the dielectric tangent and moisture absorption rate by reducing the imide group concentration, but they also increase the CTE of the polyimide film after imidization. From this perspective, the combined amount of BPDA and TAHQ to be charged should be within the range of 30 to 60 molar parts, preferably 40 to 50 molar parts, per 100 molar parts of the total acid anhydride components of the raw material.

非熱可塑性ポリイミド層31を構成する非熱可塑性ポリイミドに含まれる、上記BPDA残基、TAHQ残基、PMDA残基、NTCDA残基以外のテトラカルボン酸残基としては、例えば、3,3’,4,4’-ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、4,4’-オキシジフタル酸無水物、2,3',3,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2',3,3'-、2,3,3',4'-又は3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,3',3,4'-ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)エーテル二無水物、3,3'',4,4''-、2,3,3'',4''-又は2,2'',3,3''-p-テルフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2-ビス(2,3-又は3,4-ジカルボキシフェニル)-プロパン二無水物、ビス(2,3-又は3.4-ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(2,3-又は3,4-ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、1,1-ビス(2,3-又は3,4-ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、1,2,7,8-、1,2,6,7-又は1,2,9,10-フェナンスレン-テトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-アントラセンテトラカルボン酸二無水物、2,2-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)テトラフルオロプロパン二無水物、2,3,5,6-シクロヘキサン二無水物、1,2,5,6-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、4,8-ジメチル-1,2,3,5,6,7-ヘキサヒドロナフタレン-1,2,5,6-テトラカルボン酸二無水物、2,6-又は2,7-ジクロロナフタレン-1,4,5,8-テトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-(又は1,4,5,8-)テトラクロロナフタレン-1,4,5,8-(又は2,3,6,7-)テトラカルボン酸二無水物、2,3,8,9-、3,4,9,10-、4,5,10,11-又は5,6,11,12-ペリレン-テトラカルボン酸二無水物、シクロペンタン-1,2,3,4-テトラカルボン酸二無水物、ピラジン-2,3,5,6-テトラカルボン酸二無水物、ピロリジン-2,3,4,5-テトラカルボン酸二無水物、チオフェン-2,3,4,5-テトラカルボン酸二無水物、4,4’-ビス(2,3-ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルメタン二無水物、エチレングリコール ビスアンヒドロトリメリテート等の芳香族テトラカルボン酸二無水物から誘導されるテトラカルボン酸残基が挙げられる。 Examples of tetracarboxylic acid residues other than the BPDA residue, TAHQ residue, PMDA residue, and NTCDA residue contained in the non-thermoplastic polyimide constituting the non-thermoplastic polyimide layer 31 include 3,3',4,4'-diphenylsulfonetetracarboxylic acid dianhydride, 4,4'-oxydiphthalic anhydride, 2,3',3,4'-biphenyltetracarboxylic acid dianhydride, 2,2',3,3'-, 2,3,3',4'-, or 3,3',4,4'-benzophenonetetracarboxylic acid dianhydride, 2,3',3,4'-diphenylethertetracarboxylic acid dianhydride, bis(2,3-dicarboxylic acid), bis(2,3-dicarboxylic ... 2,2-bis(2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl)-propane dianhydride, bis(2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl)methane dianhydride, bis(2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl)sulfone dianhydride, 1,1-bis(2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl)ethane dianhydride, 1,2,7,8-, 1,2,6,7- or 1,2,9,10-phenanthrene-tetracarboxylic acid dianhydride Acid dianhydrides, 2,3,6,7-anthracenetetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis(3,4-dicarboxyphenyl)tetrafluoropropane dianhydride, 2,3,5,6-cyclohexane dianhydride, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 4,8-dimethyl-1,2,3,5,6,7-hexahydronaphthalene-1,2,5,6-tetracarboxylic dianhydride, 2,6- or 2,7-dichloronaphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-(or 1,4,5,8-) Examples of the tetracarboxylic acid residues include those derived from aromatic tetracarboxylic acid dianhydrides such as tetrachloronaphthalene-1,4,5,8-(or 2,3,6,7-)tetracarboxylic acid dianhydride, 2,3,8,9-, 3,4,9,10-, 4,5,10,11- or 5,6,11,12-perylene-tetracarboxylic acid dianhydride, cyclopentane-1,2,3,4-tetracarboxylic acid dianhydride, pyrazine-2,3,5,6-tetracarboxylic acid dianhydride, pyrrolidine-2,3,4,5-tetracarboxylic acid dianhydride, thiophene-2,3,4,5-tetracarboxylic acid dianhydride, 4,4'-bis(2,3-dicarboxyphenoxy)diphenylmethane dianhydride, and ethylene glycol bisanhydrotrimellitate.

(ジアミン残基)
非熱可塑性ポリイミド層31を構成する非熱可塑性ポリイミドに含まれるジアミン残基としては、一般式(A1)で表されるジアミン化合物から誘導されるジアミン残基が好ましい。
(Diamine residue)
The diamine residue contained in the non-thermoplastic polyimide constituting the non-thermoplastic polyimide layer 31 is preferably a diamine residue derived from a diamine compound represented by the general formula (A1).

式(A1)において、連結基Zは単結合又は-COO-を示し、Yは独立に、ハロゲン原子若しくはフェニル基で置換されてもよい炭素数1~3の1価の炭化水素、又は炭素数1~3のアルコキシ基、又は炭素数1~3のパーフルオロアルキル基、又はアルケニル基を示し、nは0~2の整数を示し、p及びqは独立に0~4の整数を示す。ここで、「独立に」とは、上記式(A1)において、複数の置換基Y、さらに整数p、qが、同一でもよいし、異なっていてもよいことを意味する。なお、上記式(A1)において、末端の二つのアミノ基における水素原子は置換されていてもよく、例えば-NR(ここで、R,Rは、独立してアルキル基などの任意の置換基を意味する)であってもよい。 In formula (A1), the linking group Z represents a single bond or -COO-, Y independently represents a monovalent hydrocarbon having 1 to 3 carbon atoms, which may be substituted with a halogen atom or a phenyl group, or an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms, or a perfluoroalkyl group having 1 to 3 carbon atoms, or an alkenyl group, n represents an integer of 0 to 2, and p and q independently represent integers of 0 to 4. Here, "independently" means that in formula (A1), the multiple substituents Y, and further the integers p and q, may be the same or different. In formula (A1), the hydrogen atoms in the two amino groups at the ends may be substituted, for example, -NR 2 R 3 (wherein R 2 and R 3 independently represent any substituent such as an alkyl group).

一般式(A1)で表されるジアミン化合物(以下、「ジアミン(A1)」と記すことがある)は、1ないし3つのベンゼン環を有する芳香族ジアミンである。ジアミン(A1)は、剛直構造を有しているため、ポリマー全体に秩序構造を付与する作用を有している。そのため、ガス透過性が低く、低吸湿性のポリイミドが得られ、分子鎖内部の水分を低減できるため、誘電正接を下げることができる。ここで、連結基Zとしては、単結合が好ましい。 The diamine compound represented by the general formula (A1) (hereinafter sometimes referred to as "diamine (A1)") is an aromatic diamine having one to three benzene rings. Diamine (A1) has a rigid structure, and therefore has the effect of imparting an orderly structure to the entire polymer. As a result, a polyimide with low gas permeability and low moisture absorption can be obtained, and the moisture inside the molecular chain can be reduced, thereby lowering the dielectric tangent. Here, a single bond is preferable as the linking group Z.

ジアミン(A1)としては、例えば、1,4-ジアミノベンゼン(p-PDA;パラフェニレンジアミン)、2,2’-ジメチル-4,4’-ジアミノビフェニル(m-TB)、2,2’-n-プロピル-4,4’-ジアミノビフェニル(m-NPB)、4-アミノフェニル-4’-アミノベンゾエート(APAB)等を挙げることができる。 Examples of diamines (A1) include 1,4-diaminobenzene (p-PDA; paraphenylenediamine), 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl (m-TB), 2,2'-n-propyl-4,4'-diaminobiphenyl (m-NPB), and 4-aminophenyl-4'-aminobenzoate (APAB).

非熱可塑性ポリイミド層31を構成する非熱可塑性ポリイミドは、ジアミン(A1)から誘導されるジアミン残基を、全ジアミン残基の100モル部に対して、好ましくは80モル部以上、より好ましくは85モル部以上含有することがよい。ジアミン(A1)を上記範囲内の量で使用することによって、モノマー由来の剛直構造により、ポリマー全体に秩序構造が形成されやすくなり、ガス透過性が低く、低吸湿性、かつ低誘電正接である非熱可塑性ポリイミドが得られやすい。 The non-thermoplastic polyimide constituting the non-thermoplastic polyimide layer 31 preferably contains 80 molar parts or more, more preferably 85 molar parts or more, of diamine residues derived from diamine (A1) relative to 100 molar parts of all diamine residues. By using diamine (A1) in an amount within the above range, an ordered structure is easily formed throughout the polymer due to the rigid structure derived from the monomer, and a non-thermoplastic polyimide with low gas permeability, low moisture absorption, and low dielectric tangent is easily obtained.

また、非熱可塑性ポリイミドにおける全ジアミン残基の100モル部に対して、ジアミン(A1)から誘導されるジアミン残基が80モル部以上85モル部以下の範囲内である場合は、より剛直であり、面内配向性に優れる構造であるという観点から、ジアミン(A1)として、1,4-ジアミノベンゼンを用いることが好ましい。 When the diamine residues derived from diamine (A1) are within the range of 80 to 85 molar parts per 100 molar parts of all diamine residues in the non-thermoplastic polyimide, it is preferable to use 1,4-diaminobenzene as diamine (A1) from the viewpoint of a structure that is more rigid and has excellent in-plane orientation.

非熱可塑性ポリイミド層31を構成する非熱可塑性ポリイミドに含まれるその他のジアミン残基としては、例えば、2,2-ビス-[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス[1-(3-アミノフェノキシ)]ビフェニル、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]メタン、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)]ベンゾフェノン、9,9-ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]フルオレン、2,2-ビス-[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、2,2-ビス-[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、3,3’-ジメチル-4,4’-ジアミノビフェニル、4,4’-メチレンジ-o-トルイジン、4,4’-メチレンジ-2,6-キシリジン、4,4’-メチレン-2,6-ジエチルアニリン、3,3’-ジアミノジフェニルエタン、3,3’-ジアミノビフェニル、3,3’-ジメトキシベンジジン、3,3''-ジアミノ-p-テルフェニル、4,4'-[1,4-フェニレンビス(1-メチルエチリデン)]ビスアニリン、4,4'-[1,3-フェニレンビス(1-メチルエチリデン)]ビスアニリン、ビス(p-アミノシクロヘキシル)メタン、ビス(p-β-アミノ-t-ブチルフェニル)エーテル、ビス(p-β-メチル-δ-アミノペンチル)ベンゼン、p-ビス(2-メチル-4-アミノペンチル)ベンゼン、p-ビス(1,1-ジメチル-5-アミノペンチル)ベンゼン、1,5-ジアミノナフタレン、2,6-ジアミノナフタレン、2,4-ビス(β-アミノ-t-ブチル)トルエン、2,4-ジアミノトルエン、m-キシレン-2,5-ジアミン、p-キシレン-2,5-ジアミン、m-キシリレンジアミン、p-キシリレンジアミン、2,6-ジアミノピリジン、2,5-ジアミノピリジン、2,5-ジアミノ-1,3,4-オキサジアゾール、ピペラジン、2'-メトキシ-4,4'-ジアミノベンズアニリド、4,4'-ジアミノベンズアニリド、1,3-ビス[2-(4-アミノフェニル)-2-プロピル]ベンゼン、6-アミノ-2-(4-アミノフェノキシ)ベンゾオキサゾール等の芳香族ジアミン化合物から誘導されるジアミン残基、ダイマー酸の二つの末端カルボン酸基が1級のアミノメチル基又はアミノ基に置換されてなるダイマー酸型ジアミン等の脂肪族ジアミン化合物から誘導されるジアミン残基が挙げられる。 Other diamine residues contained in the non-thermoplastic polyimide constituting the non-thermoplastic polyimide layer 31 include, for example, 2,2-bis-[4-(3-aminophenoxy)phenyl]propane, bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]sulfone, bis[4-(3-aminophenoxy)biphenyl, bis[1-(3-aminophenoxy)]biphenyl, bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]methane, bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]ether, bis[4-(3-aminophenoxy)]benzophenone, 9,9-bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]fluorene, 2,2-bis bis-[4-(4-aminophenoxy)phenyl]hexafluoropropane, 2,2-bis-[4-(3-aminophenoxy)phenyl]hexafluoropropane, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 4,4'-methylenedi-o-toluidine, 4,4'-methylenedi-2,6-xylidine, 4,4'-methylene-2,6-diethylaniline, 3,3'-diaminodiphenylethane, 3,3'-diaminobiphenyl, 3,3'-dimethoxybenzidine, 3,3''-diamino-p-terphenyl, 4,4'-[1,4-phenylenebis(1-methylethylidene)]bisaniline, 4,4'-[1 ,3-phenylenebis(1-methylethylidene)]bisaniline, bis(p-aminocyclohexyl)methane, bis(p-β-amino-t-butylphenyl)ether, bis(p-β-methyl-δ-aminopentyl)benzene, p-bis(2-methyl-4-aminopentyl)benzene, p-bis(1,1-dimethyl-5-aminopentyl)benzene, 1,5-diaminonaphthalene, 2,6-diaminonaphthalene, 2,4-bis(β-amino-t-butyl)toluene, 2,4-diaminotoluene, m-xylene-2,5-diamine, p-xylene-2,5-diamine, m-xylylenediamine, p-xylylenediamine Examples of such diamine residues include diamine residues derived from aromatic diamine compounds such as amines, 2,6-diaminopyridine, 2,5-diaminopyridine, 2,5-diamino-1,3,4-oxadiazole, piperazine, 2'-methoxy-4,4'-diaminobenzanilide, 4,4'-diaminobenzanilide, 1,3-bis[2-(4-aminophenyl)-2-propyl]benzene, and 6-amino-2-(4-aminophenoxy)benzoxazole, and diamine residues derived from aliphatic diamine compounds such as dimer acid type diamines in which the two terminal carboxylic acid groups of a dimer acid are replaced with primary aminomethyl groups or amino groups.

非熱可塑性ポリイミドにおいて、上記テトラカルボン酸残基及びジアミン残基の種類や、2種以上のテトラカルボン酸残基又はジアミン残基を適用する場合のそれぞれのモル比を選定することにより、熱膨張係数、貯蔵弾性率、引張弾性率等を制御することができる。また、非熱可塑性ポリイミドにおいて、ポリイミドの構造単位を複数有する場合は、ブロックとして存在しても、ランダムに存在していてもよいが、面内リタデーション(RO)のばらつきを抑制する観点から、ランダムに存在することが好ましい。 In non-thermoplastic polyimides, the thermal expansion coefficient, storage modulus, tensile modulus, etc. can be controlled by selecting the types of the tetracarboxylic acid residues and diamine residues, or the molar ratios of two or more types of tetracarboxylic acid residues or diamine residues. In addition, in non-thermoplastic polyimides, when multiple polyimide structural units are used, they may be present as blocks or randomly, but from the viewpoint of suppressing the variation in the in-plane retardation (RO), it is preferable that they are present randomly.

なお、非熱可塑性ポリイミドに含まれるテトラカルボン酸残基及びジアミン残基を、いずれも芳香族基とすることで、ポリイミドフィルムの高温環境下での寸法精度を向上させ、面内リタデーション(RO)の変化量を小さくすることができるため好ましい。 It is preferable that the tetracarboxylic acid residues and diamine residues contained in the non-thermoplastic polyimide are both aromatic groups, since this improves the dimensional accuracy of the polyimide film in a high-temperature environment and reduces the amount of change in the in-plane retardation (RO).

非熱可塑性ポリイミドのイミド基濃度は、33%以下であることが好ましく、32%以下であることがより好ましい。ここで、「イミド基濃度」は、ポリイミド中のイミド基部(-(CO)-N-)の分子量を、ポリイミドの構造全体の分子量で除した値を意味する。イミド基濃度が33%を超えると、樹脂自体の分子量が小さくなるとともに、極性基の増加によって低吸湿性も悪化する。上記酸無水物とジアミン化合物の組み合わせを選択することによって、非熱可塑性ポリイミド中の分子の配向性を制御することで、イミド基濃度低下に伴うCTEの増加を抑制し、低吸湿性を担保している。 The imide group concentration of the non-thermoplastic polyimide is preferably 33% or less, more preferably 32% or less. Here, "imide group concentration" means the value obtained by dividing the molecular weight of the imide group (-(CO) 2 -N-) in the polyimide by the molecular weight of the entire polyimide structure. When the imide group concentration exceeds 33%, the molecular weight of the resin itself decreases, and the low moisture absorption property also deteriorates due to the increase in polar groups. By selecting the combination of the acid anhydride and the diamine compound, the molecular orientation in the non-thermoplastic polyimide is controlled, thereby suppressing the increase in CTE associated with the decrease in the imide group concentration and ensuring low moisture absorption.

非熱可塑性ポリイミドの重量平均分子量は、例えば10,000~400,000の範囲内が好ましく、50,000~350,000の範囲内がより好ましい。重量平均分子量が10,000未満であると、フィルムの強度が低下して脆化しやすい傾向となる。一方、重量平均分子量が400,000を超えると、過度に粘度が増加して塗工作業の際にフィルム厚みムラ、スジ等の不良が発生しやすい傾向になる。 The weight-average molecular weight of the non-thermoplastic polyimide is preferably, for example, in the range of 10,000 to 400,000, and more preferably in the range of 50,000 to 350,000. If the weight-average molecular weight is less than 10,000, the strength of the film tends to decrease and it tends to become brittle. On the other hand, if the weight-average molecular weight exceeds 400,000, the viscosity increases excessively, and defects such as uneven film thickness and streaks tend to occur during the coating process.

非熱可塑性ポリイミド層31の厚みは、ベース層としての機能を確保し、且つ製造時および熱可塑性ポリイミド塗工時の搬送性の観点から、6μm以上100μm以下の範囲内であることが好ましく、9μm以上50μm以下の範囲内がより好ましい。非熱可塑性ポリイミド層31の厚みが上記の下限値未満である場合、電気絶縁性やハンドリング性が不十分となり、上限値を超えると、生産性が低下する。 The thickness of the non-thermoplastic polyimide layer 31 is preferably in the range of 6 μm to 100 μm, more preferably in the range of 9 μm to 50 μm, in order to ensure the function as a base layer and to facilitate transport during production and during thermoplastic polyimide coating. If the thickness of the non-thermoplastic polyimide layer 31 is less than the lower limit, electrical insulation and handling properties will be insufficient, and if the thickness exceeds the upper limit, productivity will decrease.

非熱可塑性ポリイミド層31は、耐熱性の観点から、ガラス転移温度(Tg)が280℃以上であることが好ましい。 From the viewpoint of heat resistance, it is preferable that the non-thermoplastic polyimide layer 31 has a glass transition temperature (Tg) of 280°C or higher.

また、反りを抑制する観点から、非熱可塑性ポリイミド層31の熱膨張係数は、1pm/K以上30ppm/K以下の範囲内、好ましくは1ppm/K以上25ppm/K以下の範囲内、より好ましくは15ppm/K以上25ppm/K以下の範囲内にあることがよい。 In addition, from the viewpoint of suppressing warping, the thermal expansion coefficient of the non-thermoplastic polyimide layer 31 is preferably in the range of 1 ppm/K to 30 ppm/K, more preferably in the range of 1 ppm/K to 25 ppm/K, and even more preferably in the range of 15 ppm/K to 25 ppm/K.

また、非熱可塑性ポリイミド層31を構成する非熱可塑性ポリイミドには、任意成分として、例えば可塑剤、エポキシ樹脂などの他の硬化樹脂成分、硬化剤、硬化促進剤、カップリング剤、充填剤、溶剤、難燃剤などを適宜配合することができる。ただし、可塑剤には、極性基を多く含有するものがあり、それが銅配線からの銅の拡散を助長する懸念があるため、可塑剤は極力使用しないことが好ましい。 The non-thermoplastic polyimide constituting the non-thermoplastic polyimide layer 31 may contain optional components such as plasticizers, other curable resin components such as epoxy resins, curing agents, curing accelerators, coupling agents, fillers, solvents, and flame retardants. However, some plasticizers contain many polar groups, which may promote the diffusion of copper from the copper wiring, so it is preferable to avoid using plasticizers as much as possible.

熱可塑性ポリイミド層:
熱可塑性ポリイミド層33を構成する熱可塑性ポリイミドは、テトラカルボン酸残基及びジアミン残基を含むものであり、芳香族テトラカルボン酸二無水物から誘導される芳香族テトラカルボン酸残基及び芳香族ジアミンから誘導される芳香族ジアミン残基を含むことが好ましい。
Thermoplastic polyimide layer:
The thermoplastic polyimide constituting the thermoplastic polyimide layer 33 contains a tetracarboxylic acid residue and a diamine residue, and preferably contains an aromatic tetracarboxylic acid residue derived from an aromatic tetracarboxylic dianhydride and an aromatic diamine residue derived from an aromatic diamine.

(テトラカルボン酸残基)
熱可塑性ポリイミド層33を構成する熱可塑性ポリイミドに用いるテトラカルボン酸残基としては、上記非熱可塑性ポリイミド層を構成する非熱可塑性ポリイミドにおけるテトラカルボン酸残基として例示したものと同様のものを用いることができる。
(Tetracarboxylic acid residue)
As the tetracarboxylic acid residue used in the thermoplastic polyimide constituting the thermoplastic polyimide layer 33, the same ones as those exemplified as the tetracarboxylic acid residue in the non-thermoplastic polyimide constituting the non-thermoplastic polyimide layer can be used.

(ジアミン残基)
熱可塑性ポリイミド層33を構成する熱可塑性ポリイミドに含まれるジアミン残基としては、一般式(B1)~(B7)で表されるジアミン化合物から誘導されるジアミン残基が好ましい。
(Diamine residue)
The diamine residue contained in the thermoplastic polyimide constituting the thermoplastic polyimide layer 33 is preferably a diamine residue derived from a diamine compound represented by any one of the general formulae (B1) to (B7).

式(B1)~(B7)において、Rは独立に炭素数1~6の1価の炭化水素基又はアルコキシ基を示し、連結基Aは独立に-O-、-S-、-CO-、-SO-、-SO-、-COO-、-CH-、-C(CH-、-NH-若しくは-CONH-から選ばれる2価の基を示し、nは独立に0~4の整数を示す。ただし、式(B3)中から式(B2)と重複するものは除き、式(B5)中から式(B4)と重複するものは除くものとする。ここで、「独立に」とは、上記式(B1)~(B7)の内の一つにおいて、または二つ以上において、複数の連結基A、複数のR若しくは複数のnが、同一でもよいし、異なっていてもよいことを意味する。なお、上記式(B1)~(B7)において、末端の二つのアミノ基における水素原子は置換されていてもよく、例えば-NR(ここで、R,Rは、独立してアルキル基などの任意の置換基を意味する)であってもよい。 In formulae (B1) to (B7), R 1 independently represents a monovalent hydrocarbon group or alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, linking group A independently represents a divalent group selected from -O-, -S-, -CO-, -SO-, -SO 2 -, -COO-, -CH 2 -, -C(CH 3 ) 2 -, -NH- or -CONH-, and n 1 independently represents an integer of 0 to 4. However, formula (B3) excluding those which overlap with formula (B2), and formula (B5) excluding those which overlap with formula (B4). Here, "independently" means that in one or two or more of formulae (B1) to (B7), multiple linking groups A, multiple R 1s or multiple n 1s may be the same or different. In the above formulas (B1) to (B7), the hydrogen atoms in the two terminal amino groups may be substituted, for example, -NR 2 R 3 (wherein R 2 and R 3 independently represent any substituent such as an alkyl group).

式(B1)で表されるジアミン(以下、「ジアミン(B1)」と記すことがある)は、2つのベンゼン環を有する芳香族ジアミンである。このジアミン(B1)は、少なくとも1つのベンゼン環に直結したアミノ基と2価の連結基Aとがメタ位にあることで、ポリイミド分子鎖が有する自由度が増加して高い屈曲性を有しており、ポリイミド分子鎖の柔軟性の向上に寄与すると考えられる。従って、ジアミン(B1)を用いることで、ポリイミドの熱可塑性が高まる。ここで、連結基Aとしては、-O-、-CH-、-C(CH-、-CO-、-SO-、-S-が好ましい。 The diamine represented by formula (B1) (hereinafter sometimes referred to as "diamine (B1)") is an aromatic diamine having two benzene rings. In this diamine (B1), since an amino group directly bonded to at least one benzene ring and a divalent linking group A are at meta positions, the degree of freedom of the polyimide molecular chain is increased and the polyimide has high flexibility, which is considered to contribute to improving the flexibility of the polyimide molecular chain. Therefore, by using diamine (B1), the thermoplasticity of the polyimide is increased. Here, as the linking group A, -O-, -CH 2 -, -C(CH 3 ) 2 -, -CO-, -SO 2 -, and -S- are preferable.

ジアミン(B1)としては、例えば、3,3’-ジアミノジフェニルメタン、3,3’-ジアミノジフェニルプロパン、3,3’-ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’-ジアミノジフェニルスルホン、3,3’-ジアミノジフェニルエーテル、3,4'-ジアミノジフェニルエーテル、3,4’-ジアミノジフェニルメタン、3,4’-ジアミノジフェニルプロパン、3,4’-ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’-ジアミノベンゾフェノン、(3,3’-ビスアミノ)ジフェニルアミン等を挙げることができる。 Examples of diamines (B1) include 3,3'-diaminodiphenylmethane, 3,3'-diaminodiphenylpropane, 3,3'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminodiphenyl sulfone, 3,3'-diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenylmethane, 3,4'-diaminodiphenylpropane, 3,4'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminobenzophenone, and (3,3'-bisamino)diphenylamine.

式(B2)で表されるジアミン(以下、「ジアミン(B2)」と記すことがある)は、3つのベンゼン環を有する芳香族ジアミンである。このジアミン(B2)は、少なくとも1つのベンゼン環に直結したアミノ基と2価の連結基Aとがメタ位にあることで、ポリイミド分子鎖が有する自由度が増加して高い屈曲性を有しており、ポリイミド分子鎖の柔軟性の向上に寄与すると考えられる。従って、ジアミン(B2)を用いることで、ポリイミドの熱可塑性が高まる。ここで、連結基Aとしては、-O-が好ましい。 The diamine represented by formula (B2) (hereinafter sometimes referred to as "diamine (B2)") is an aromatic diamine having three benzene rings. In this diamine (B2), the amino group directly bonded to at least one benzene ring and the divalent linking group A are in the meta position, which increases the degree of freedom of the polyimide molecular chain and gives it high flexibility, which is thought to contribute to improving the flexibility of the polyimide molecular chain. Therefore, the use of diamine (B2) increases the thermoplasticity of the polyimide. Here, -O- is preferable as the linking group A.

ジアミン(B2)としては、例えば1,4-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン、3-[4-(4-アミノフェノキシ)フェノキシ]ベンゼンアミン、3-[3-(4-アミノフェノキシ)フェノキシ]ベンゼンアミン等を挙げることができる。 Examples of diamines (B2) include 1,4-bis(3-aminophenoxy)benzene, 3-[4-(4-aminophenoxy)phenoxy]benzeneamine, and 3-[3-(4-aminophenoxy)phenoxy]benzeneamine.

式(B3)で表されるジアミン(以下、「ジアミン(B3)」と記すことがある)は、3つのベンゼン環を有する芳香族ジアミンである。このジアミン(B3)は、1つのベンゼン環に直結した、2つの2価の連結基Aが互いにメタ位にあることで、ポリイミド分子鎖が有する自由度が増加して高い屈曲性を有しており、ポリイミド分子鎖の柔軟性の向上に寄与すると考えられる。従って、ジアミン(B3)を用いることで、ポリイミドの熱可塑性が高まる。ここで、連結基Aとしては、-O-が好ましい。 The diamine represented by formula (B3) (hereinafter sometimes referred to as "diamine (B3)") is an aromatic diamine having three benzene rings. In this diamine (B3), two divalent linking groups A directly bonded to one benzene ring are in the meta position relative to each other, which increases the degree of freedom of the polyimide molecular chain and gives it high flexibility, which is thought to contribute to improving the flexibility of the polyimide molecular chain. Therefore, the use of diamine (B3) increases the thermoplasticity of the polyimide. Here, -O- is preferred as the linking group A.

ジアミン(B3)としては、例えば1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン(TPE-R)、1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン(APB)、4,4'-[2-メチル-(1,3-フェニレン)ビスオキシ]ビスアニリン、4,4'-[4-メチル-(1,3-フェニレン)ビスオキシ]ビスアニリン、4,4'-[5-メチル-(1,3-フェニレン)ビスオキシ]ビスアニリン等を挙げることができる。 Examples of diamines (B3) include 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene (TPE-R), 1,3-bis(3-aminophenoxy)benzene (APB), 4,4'-[2-methyl-(1,3-phenylene)bisoxy]bisaniline, 4,4'-[4-methyl-(1,3-phenylene)bisoxy]bisaniline, and 4,4'-[5-methyl-(1,3-phenylene)bisoxy]bisaniline.

式(B4)で表されるジアミン(以下、「ジアミン(B4)」と記すことがある)は、4つのベンゼン環を有する芳香族ジアミンである。このジアミン(B4)は、少なくとも1つのベンゼン環に直結したアミノ基と2価の連結基Aとがメタ位にあることで高い屈曲性を有しており、ポリイミド分子鎖の柔軟性の向上に寄与すると考えられる。従って、ジアミン(B4)を用いることで、ポリイミドの熱可塑性が高まる。ここで、連結基Aとしては、-O-、-CH-、-C(CH-、-SO-、-CO-、-CONH-が好ましい。 The diamine represented by formula (B4) (hereinafter sometimes referred to as "diamine (B4)") is an aromatic diamine having four benzene rings. This diamine (B4) has high flexibility due to the fact that the amino group directly bonded to at least one benzene ring and the divalent linking group A are at the meta position, and is considered to contribute to improving the flexibility of the polyimide molecular chain. Therefore, the use of diamine (B4) enhances the thermoplasticity of the polyimide. Here, the linking group A is preferably -O-, -CH 2 -, -C(CH 3 ) 2 -, -SO 2 -, -CO-, or -CONH-.

ジアミン(B4)としては、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]メタン、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)]ベンゾフェノン、ビス[4,4'-(3-アミノフェノキシ)]ベンズアニリド等を挙げることができる。 Examples of diamines (B4) include bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]methane, bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]propane, bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]ether, bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]sulfone, bis[4-(3-aminophenoxy)]benzophenone, and bis[4,4'-(3-aminophenoxy)]benzanilide.

式(B5)で表されるジアミン(以下、「ジアミン(B5)」と記すことがある)は、4つのベンゼン環を有する芳香族ジアミンである。このジアミン(B5)は、少なくとも1つのベンゼン環に直結した、2つの2価の連結基Aが互いにメタ位にあることで、ポリイミド分子鎖が有する自由度が増加して高い屈曲性を有しており、ポリイミド分子鎖の柔軟性の向上に寄与すると考えられる。従って、ジアミン(B5)を用いることで、ポリイミドの熱可塑性が高まる。ここで、連結基Aとしては、-O-が好ましい。 The diamine represented by formula (B5) (hereinafter sometimes referred to as "diamine (B5)") is an aromatic diamine having four benzene rings. In this diamine (B5), two divalent linking groups A directly bonded to at least one benzene ring are mutually in meta positions, which increases the degree of freedom of the polyimide molecular chain and gives it high flexibility, which is thought to contribute to improving the flexibility of the polyimide molecular chain. Therefore, the use of diamine (B5) enhances the thermoplasticity of the polyimide. Here, -O- is preferred as the linking group A.

ジアミン(B5)としては、4-[3-[4-(4-アミノフェノキシ)フェノキシ]フェノキシ]アニリン、4,4’-[オキシビス(3,1-フェニレンオキシ)]ビスアニリン等を挙げることができる。 Examples of diamines (B5) include 4-[3-[4-(4-aminophenoxy)phenoxy]phenoxy]aniline, 4,4'-[oxybis(3,1-phenyleneoxy)]bisaniline, etc.

式(B6)で表されるジアミン(以下、「ジアミン(B6)」と記すことがある)は、4つのベンゼン環を有する芳香族ジアミンである。このジアミン(B6)は、少なくとも2つのエーテル結合を有することで高い屈曲性を有しており、ポリイミド分子鎖の柔軟性の向上に寄与すると考えられる。従って、ジアミン(B6)を用いることで、ポリイミドの熱可塑性が高まる。ここで、連結基Aとしては、-C(CH-、-O-、-SO-、-CO-が好ましい。 The diamine represented by formula (B6) (hereinafter sometimes referred to as "diamine (B6)") is an aromatic diamine having four benzene rings. This diamine (B6) has high flexibility due to having at least two ether bonds, and is considered to contribute to improving the flexibility of the polyimide molecular chain. Therefore, the use of diamine (B6) enhances the thermoplasticity of the polyimide. Here, the linking group A is preferably -C( CH3 ) 2- , -O-, -SO2- , or -CO-.

ジアミン(B6)としては、例えば、2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン(BAPP)、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]エーテル(BAPE)、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]スルホン(BAPS)、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]ケトン(BAPK)等を挙げることができる。 Examples of diamines (B6) include 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane (BAPP), bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]ether (BAPE), bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]sulfone (BAPS), and bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]ketone (BAPK).

式(B7)で表されるジアミン(以下、「ジアミン(B7)」と記すことがある)は、4つのベンゼン環を有する芳香族ジアミンである。このジアミン(B7)は、ジフェニル骨格の両側に、それぞれ屈曲性の高い2価の連結基Aを有するため、ポリイミド分子鎖の柔軟性の向上に寄与すると考えられる。従って、ジアミン(B7)を用いることで、ポリイミドの熱可塑性が高まる。ここで、連結基Aとしては、-O-が好ましい。 The diamine represented by formula (B7) (hereinafter sometimes referred to as "diamine (B7)") is an aromatic diamine having four benzene rings. This diamine (B7) has a highly flexible divalent linking group A on both sides of the diphenyl skeleton, and is therefore thought to contribute to improving the flexibility of the polyimide molecular chain. Therefore, the use of diamine (B7) enhances the thermoplasticity of the polyimide. Here, -O- is preferred as the linking group A.

ジアミン(B7)としては、例えば、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)]ビフェニル、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)]ビフェニル等を挙げることができる。 Examples of diamines (B7) include bis[4-(3-aminophenoxy)]biphenyl, bis[4-(4-aminophenoxy)]biphenyl, etc.

熱可塑性ポリイミド層33を構成する熱可塑性ポリイミドは、全ジアミン残基の100モル部に対して、ジアミン(B1)~ジアミン(B7)から選ばれる少なくとも一種のジアミン化合物から誘導されるジアミン残基を60モル部以上、好ましくは60モル部以上99モル部以下の範囲内、より好ましくは70モル部以上95モル部以下の範囲内で含有することがよい。ジアミン(B1)~ジアミン(B7)は、屈曲性を有する分子構造を持つため、これらから選ばれる少なくとも一種のジアミン化合物を上記範囲内の量で使用することによって、ポリイミド分子鎖の柔軟性を向上させ、熱可塑性を付与することができる。原料中のジアミン(B1)~ジアミン(B7)の合計量が全ジアミン成分の100モル部に対して60モル部未満であるとポリイミド樹脂の柔軟性不足で十分な熱可塑性が得られない。 The thermoplastic polyimide constituting the thermoplastic polyimide layer 33 contains 60 or more mol parts, preferably 60 or more 99 or less mol parts, more preferably 70 or more 95 or less mol parts of diamine residues derived from at least one diamine compound selected from diamine (B1) to diamine (B7) per 100 mol parts of all diamine residues. Since diamine (B1) to diamine (B7) have a molecular structure with flexibility, by using at least one diamine compound selected from these in an amount within the above range, the flexibility of the polyimide molecular chain can be improved and thermoplasticity can be imparted. If the total amount of diamine (B1) to diamine (B7) in the raw material is less than 60 mol parts per 100 mol parts of all diamine components, the flexibility of the polyimide resin is insufficient and sufficient thermoplasticity cannot be obtained.

また、熱可塑性ポリイミド層33を構成する熱可塑性ポリイミドに含まれるジアミン残基としては、一般式(A1)で表されるジアミン化合物から誘導されるジアミン残基も好ましい。式(A1)で表されるジアミン化合物[ジアミン(A1)]については、非熱可塑性ポリイミドの説明で述べたとおりである。ジアミン(A1)は、剛直構造を有し、ポリマー全体に秩序構造を付与する作用を有しているため、分子の運動抑制により誘電正接や吸湿性を低下させることができる。更に、熱可塑性ポリイミドの原料として使用することで、ガス透過性が低く、長期耐熱接着性に優れたポリイミドが得られる。 As the diamine residue contained in the thermoplastic polyimide constituting the thermoplastic polyimide layer 33, a diamine residue derived from a diamine compound represented by general formula (A1) is also preferred. The diamine compound represented by formula (A1) [diamine (A1)] is as described in the explanation of non-thermoplastic polyimides. Diamine (A1) has a rigid structure and has the effect of imparting an ordered structure to the entire polymer, so that it is possible to reduce the dielectric tangent and moisture absorption by suppressing the movement of molecules. Furthermore, by using it as a raw material for thermoplastic polyimide, polyimide with low gas permeability and excellent long-term heat-resistant adhesion can be obtained.

熱可塑性ポリイミド層33を構成する熱可塑性ポリイミドは、ジアミン(A1)から誘導されるジアミン残基を、好ましくは1モル部以上40モル部以下の範囲内、より好ましくは5モル部以上30モル部以下の範囲内で含有してもよい。ジアミン(A1)を上記範囲内の量で使用することによって、モノマー由来の剛直構造により、ポリマー全体に秩序構造が形成されるので、熱可塑性でありながら、ガス透過性及び吸湿性が低く、長期耐熱接着性に優れたポリイミドが得られる。 The thermoplastic polyimide constituting the thermoplastic polyimide layer 33 may contain diamine residues derived from diamine (A1) in a range of preferably 1 to 40 molar parts, more preferably 5 to 30 molar parts. By using diamine (A1) in an amount within the above range, an ordered structure is formed throughout the polymer due to the rigid structure derived from the monomer, resulting in a polyimide that is thermoplastic, yet has low gas permeability and moisture absorption, and has excellent long-term heat-resistant adhesion.

熱可塑性ポリイミド層33を構成する熱可塑性ポリイミドは、発明の効果を損なわない範囲で、ジアミン(A1)、(B1)~(B7)以外のジアミン化合物から誘導されるジアミン残基を含むことができる。 The thermoplastic polyimide constituting the thermoplastic polyimide layer 33 may contain diamine residues derived from diamine compounds other than the diamines (A1) and (B1) to (B7) to the extent that the effect of the invention is not impaired.

熱可塑性ポリイミドにおいて、上記テトラカルボン酸残基及びジアミン残基の種類や、2種以上のテトラカルボン酸残基又はジアミン残基を適用する場合のそれぞれのモル比を選定することにより、熱膨張係数、引張弾性率、ガラス転移温度等を制御することができる。また、熱可塑性ポリイミドにおいて、ポリイミドの構造単位を複数有する場合は、ブロックとして存在しても、ランダムに存在していてもよいが、ランダムに存在することが好ましい。 In thermoplastic polyimides, the thermal expansion coefficient, tensile modulus, glass transition temperature, etc. can be controlled by selecting the types of the tetracarboxylic acid residues and diamine residues, or the molar ratios of two or more types of tetracarboxylic acid residues or diamine residues. In addition, in thermoplastic polyimides, when multiple polyimide structural units are present, they may be present as blocks or randomly, but it is preferable that they are present randomly.

なお、熱可塑性ポリイミドに含まれるテトラカルボン酸残基及びジアミン残基を、いずれも芳香族基とすることで、ポリイミドフィルムの高温環境下での寸法精度を向上させ、面内リタデーション(RO)の変化量を抑制することができる。 In addition, by making the tetracarboxylic acid residues and diamine residues contained in the thermoplastic polyimide both aromatic groups, the dimensional accuracy of the polyimide film in a high-temperature environment can be improved and the amount of change in the in-plane retardation (RO) can be suppressed.

熱可塑性ポリイミドのイミド基濃度は、33%以下であることが好ましく、32%以下であることがより好ましい。ここで、「イミド基濃度」は、ポリイミド中のイミド基部(-(CO)-N-)の分子量を、ポリイミドの構造全体の分子量で除した値を意味する。イミド基濃度が33%を超えると、樹脂自体の分子量が小さくなるとともに、極性基の増加によって低吸湿性も悪化する。上記ジアミン化合物の組み合わせを選択することによって、熱可塑性ポリイミド中の分子の配向性を制御することで、イミド基濃度低下に伴うCTEの増加を抑制し、低吸湿性を担保している。 The imide group concentration of the thermoplastic polyimide is preferably 33% or less, more preferably 32% or less. Here, "imide group concentration" means the value obtained by dividing the molecular weight of the imide group (-(CO) 2 -N-) in the polyimide by the molecular weight of the entire polyimide structure. If the imide group concentration exceeds 33%, the molecular weight of the resin itself decreases, and the low moisture absorption property also deteriorates due to an increase in polar groups. By selecting a combination of the above diamine compounds, the molecular orientation in the thermoplastic polyimide is controlled, thereby suppressing the increase in CTE associated with a decrease in the imide group concentration, and ensuring low moisture absorption.

熱可塑性ポリイミドの重量平均分子量は、例えば10,000~400,000の範囲内が好ましく、50,000~350,000の範囲内がより好ましい。重量平均分子量が10,000未満であると、フィルムの強度が低下して脆化しやすい傾向となる。一方、重量平均分子量が400,000を超えると、過度に粘度が増加して塗工作業の際にフィルム厚みムラ、スジ等の不良が発生しやすい傾向になる。 The weight-average molecular weight of the thermoplastic polyimide is preferably, for example, in the range of 10,000 to 400,000, and more preferably in the range of 50,000 to 350,000. If the weight-average molecular weight is less than 10,000, the strength of the film tends to decrease and it tends to become brittle. On the other hand, if the weight-average molecular weight exceeds 400,000, the viscosity increases excessively, and defects such as uneven film thickness and streaks tend to occur during the coating process.

熱可塑性ポリイミド層33を構成する熱可塑性ポリイミドは、例えば回路基板の絶縁樹脂における接着層となるため、銅の拡散を抑制するために完全にイミド化された構造が最も好ましい。但し、ポリイミドの一部がアミド酸となっていてもよい。そのイミド化率は、フーリエ変換赤外分光光度計(市販品:日本分光製FT/IR620)を用い、1回反射ATR法にてポリイミド薄膜の赤外線吸収スペクトルを測定することによって、1015cm-1付近のベンゼン環吸収体を基準とし、1780cm-1のイミド基に由来するC=O伸縮の吸光度から算出される。 The thermoplastic polyimide constituting the thermoplastic polyimide layer 33 is most preferably a completely imidized structure in order to suppress the diffusion of copper, since it becomes, for example, an adhesive layer in the insulating resin of a circuit board. However, a part of the polyimide may be an amic acid. The imidization rate is calculated from the absorbance of the C=O stretching derived from the imide group at 1780 cm -1 , based on the benzene ring absorber at around 1015 cm- 1 , by measuring the infrared absorption spectrum of the polyimide thin film by the single reflection ATR method using a Fourier transform infrared spectrophotometer (commercial product: FT/IR620 manufactured by JASCO).

熱可塑性ポリイミド層33の厚みは、接着機能を確保する観点から、1μm以上10μm以下の範囲内であることが好ましく、1μm以上5μm以下の範囲内がより好ましい。熱可塑性ポリイミド層33の厚みが上記の下限値未満である場合、接着性が不十分となり、上限値を超えると、寸法安定性が悪化する傾向となる。 From the viewpoint of ensuring adhesive function, the thickness of the thermoplastic polyimide layer 33 is preferably in the range of 1 μm to 10 μm, and more preferably in the range of 1 μm to 5 μm. If the thickness of the thermoplastic polyimide layer 33 is less than the lower limit value, the adhesiveness will be insufficient, and if it exceeds the upper limit value, the dimensional stability will tend to deteriorate.

熱可塑性ポリイミド層33は、反りを抑制する観点から、熱膨張係数が、30ppm/K以上、好ましくは30ppm/K以上100ppm/K以下の範囲内、より好ましくは30ppm/K以上80ppm/K以下の範囲内にあることがよい。 From the viewpoint of suppressing warping, the thermoplastic polyimide layer 33 should have a thermal expansion coefficient of 30 ppm/K or more, preferably in the range of 30 ppm/K to 100 ppm/K, and more preferably in the range of 30 ppm/K to 80 ppm/K.

また、熱可塑性ポリイミド層33に用いる樹脂には、ポリイミドの他に、任意成分として、例えば可塑剤、エポキシ樹脂などの他の硬化樹脂成分、硬化剤、硬化促進剤、無機フィラー、カップリング剤、充填剤、溶剤、難燃剤などを適宜配合することができる。 In addition to polyimide, the resin used for the thermoplastic polyimide layer 33 may contain optional components such as plasticizers, other curable resin components such as epoxy resins, curing agents, curing accelerators, inorganic fillers, coupling agents, bulking agents, solvents, and flame retardants.

非熱可塑性ポリイミド層31及び熱可塑性ポリイミド層33を形成するための非熱可塑性ポリイミド及び熱可塑性ポリイミドは、上記DDA系ポリイミドと同様に、酸無水物成分とジアミン成分を溶媒中で反応させ、ポリアミド酸を生成したのち加熱閉環させることにより製造できる。非熱可塑性ポリイミド及び熱可塑性ポリイミドの合成において、上記酸無水物及びジアミンは、それぞれ、その1種のみを使用してもよく2種以上を併用して使用することもできる。酸無水物及びジアミンの種類や、2種以上の酸無水物又はジアミンを使用する場合のそれぞれのモル比を選定することにより、熱膨張性、接着性、ガラス転移温度等を制御することができる。 The non-thermoplastic polyimide and thermoplastic polyimide for forming the non-thermoplastic polyimide layer 31 and thermoplastic polyimide layer 33 can be produced by reacting an acid anhydride component and a diamine component in a solvent to generate a polyamic acid, followed by heating to close the ring, as in the case of the DDA-based polyimide. In the synthesis of the non-thermoplastic polyimide and thermoplastic polyimide, the above-mentioned acid anhydrides and diamines can each be used alone or in combination of two or more kinds. By selecting the types of acid anhydrides and diamines, or the respective molar ratios when two or more types of acid anhydrides or diamines are used, the thermal expansion, adhesion, glass transition temperature, etc. can be controlled.

<熱膨張係数>
金属張積層板10において、樹脂積層体20全体の熱膨張係数(CTE)は、10ppm/K以上がよく、好ましくは10ppm/K以上30ppm/K以下の範囲内、より好ましくは15ppm/K以上25ppm/K以下の範囲内である。CTEが10ppm/K未満であるか、又は30ppm/Kを超えると、反りが発生したり、寸法安定性が低下したりする。使用する原料の組合せ、厚み、乾燥・硬化条件を適宜変更することで所望のCTEを有するポリイミド層とすることができる。
<Thermal expansion coefficient>
In the metal-clad laminate 10, the coefficient of thermal expansion (CTE) of the entire resin laminate 20 is preferably 10 ppm/K or more, preferably in the range of 10 ppm/K to 30 ppm/K, more preferably in the range of 15 ppm/K to 25 ppm/K. If the CTE is less than 10 ppm/K or more than 30 ppm/K, warping occurs or dimensional stability decreases. By appropriately changing the combination of raw materials used, the thickness, and the drying and curing conditions, a polyimide layer having a desired CTE can be obtained.

<誘電正接>
金属張積層板10において、樹脂積層体20全体の10GHzにおける誘電正接(Tanδ)は、好ましくは0.02以下、より好ましくは0.0005以上0.01以下の範囲内、更に好ましくは0.001以上0.008以下の範囲内がよい。樹脂積層体20全体の10GHzにおける誘電正接が0.02を超えると、回路基板に適用した際に、高周波信号の伝送経路上で電気信号のロスなどの不都合が生じやすくなる。一方、樹脂積層体20全体の10GHzにおける誘電正接の下限値は特に制限されないが、回路基板の絶縁樹脂層としての物性制御を考慮している。
<Dielectric tangent>
In the metal-clad laminate 10, the dielectric loss tangent (Tan δ) at 10 GHz of the entire resin laminate 20 is preferably 0.02 or less, more preferably in the range of 0.0005 to 0.01, and even more preferably in the range of 0.001 to 0.008. If the dielectric loss tangent at 10 GHz of the entire resin laminate 20 exceeds 0.02, when applied to a circuit board, problems such as loss of electrical signals on the transmission path of high-frequency signals are likely to occur. On the other hand, the lower limit of the dielectric loss tangent at 10 GHz of the entire resin laminate 20 is not particularly limited, but the physical property control as an insulating resin layer of a circuit board is taken into consideration.

<誘電率>
金属張積層板10において、樹脂積層体20は、例えば回路基板の絶縁樹脂層として適用する場合において、インピーダンス整合性を確保するために、樹脂積層体20全体として、10GHzにおける誘電率が4.0以下であることが好ましい。樹脂積層体20全体の10GHzにおける誘電率が4.0を超えると、回路基板に適用した際に、誘電損失の増大に繋がり、高周波信号の伝送経路上で電気信号のロスなどの不都合が生じやすくなる。
<Dielectric constant>
In the metal-clad laminate 10, when the resin laminate 20 is applied as, for example, an insulating resin layer of a circuit board, in order to ensure impedance matching, it is preferable that the dielectric constant at 10 GHz is 4.0 or less for the entire resin laminate 20. If the dielectric constant at 10 GHz for the entire resin laminate 20 exceeds 4.0, this leads to an increase in dielectric loss when applied to a circuit board, and is likely to cause inconveniences such as loss of electrical signals on the transmission path of high-frequency signals.

[金属張積層板の製造]
金属張積層板10は、例えば、第1の伝送損失抑制層BS1、第2の伝送損失抑制層BS2、複数の寸法精度維持層PL及び一ないし複数の中間伝送損失抑制層BS3に相当する樹脂シートを準備し、これらの樹脂シートを第1の金属層M1と第2の金属層M2の間に配置して貼り合わせ、熱圧着させることによって製造することができる。
[Production of metal-clad laminate]
The metal-clad laminate 10 can be manufactured, for example, by preparing resin sheets corresponding to a first transmission loss suppression layer BS1, a second transmission loss suppression layer BS2, multiple dimensional accuracy maintaining layers PL, and one or more intermediate transmission loss suppression layers BS3, and placing these resin sheets between the first metal layer M1 and the second metal layer M2, bonding them together, and thermocompression bonding them.

以上のようにして得られる本実施の形態の金属張積層板10は、第1の金属層M1及び/又は第2の金属層M2をエッチングするなどして配線回路加工することによって、片面FPC又は両面FPCなどの回路基板を製造することができる。 The metal-clad laminate 10 of this embodiment obtained as described above can be used to manufacture circuit boards such as single-sided FPCs or double-sided FPCs by processing the wiring circuitry, for example by etching the first metal layer M1 and/or the second metal layer M2.

[回路基板]
上記金属張積層板10は、主にFPC、リジッド・フレックス回路基板などの回路基板材料として有用である。金属張積層板10の第1の金属層M1及び第2の金属層M2の片方又は両方を、常法によってパターン状に加工して配線層を形成することによって、本発明の一実施の形態であるFPCなどの回路基板を製造できる。この回路基板は、図示は省略するが、樹脂積層体20と、この樹脂積層体20の片側又は両側の面に設けられた配線層と、を備えており、高周波伝送においても伝送損失の低減が可能で、かつ、寸法安定性に優れている。
[Circuit board]
The metal-clad laminate 10 is useful mainly as a circuit board material for FPC, rigid-flex circuit boards, etc. One or both of the first metal layer M1 and the second metal layer M2 of the metal-clad laminate 10 are processed into a pattern by a conventional method to form a wiring layer, thereby manufacturing a circuit board such as an FPC, which is one embodiment of the present invention. Although not shown, this circuit board includes a resin laminate 20 and a wiring layer provided on one or both sides of the resin laminate 20, and is capable of reducing transmission loss even in high-frequency transmission and has excellent dimensional stability.

以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例によって何ら限定されるものではない。なお、以下の実施例において、特にことわりのない限り各種測定、評価は下記によるものである。 The present invention will be described in detail below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. In the following examples, various measurements and evaluations are as follows, unless otherwise specified.

[粘度の測定]
粘度の測定は、E型粘度計(ブルックフィールド社製、商品名;DV-II+Pro)を用いて、25℃における粘度を測定した。トルクが10%~90%になるよう回転数を設定し、測定を開始してから2分経過後、粘度が安定した時の値を読み取った。
[Viscosity measurement]
The viscosity was measured at 25° C. using an E-type viscometer (manufactured by Brookfield, product name: DV-II+Pro). The rotation speed was set so that the torque was 10% to 90%, and the value was read when the viscosity stabilized 2 minutes after the start of the measurement.

[貯蔵弾性率の測定]
5mm×20mmのサイズの樹脂シートを、動的粘弾性測定装置(DMA:ユー・ビー・エム社製、商品名;E4000F)を用いて、30℃から400℃まで昇温速度4℃/分、周波数11Hzで測定を行った。
[Measurement of storage modulus]
A resin sheet measuring 5 mm x 20 mm was measured using a dynamic viscoelasticity measuring device (DMA: manufactured by UBM, product name: E4000F) at a heating rate of 4°C/min from 30°C to 400°C and a frequency of 11 Hz.

[熱膨張係数(CTE)の測定]
3mm×20mmのサイズのポリイミドフィルムを、サーモメカニカルアナライザー(Bruker社製、商品名;4000SA)を用い、5.0gの荷重を加えながら一定の昇温速度で30℃から265℃まで昇温させ、更にその温度で10分保持した後、5℃/分の速度で冷却し、250℃から100℃までの平均熱膨張係数(熱膨張係数)を求めた。
[Measurement of coefficient of thermal expansion (CTE)]
A polyimide film having a size of 3 mm x 20 mm was heated from 30°C to 265°C at a constant heating rate while applying a load of 5.0 g using a thermomechanical analyzer (manufactured by Bruker, product name: 4000SA), and then held at that temperature for 10 minutes. The film was then cooled at a rate of 5°C/min to determine the average thermal expansion coefficient (thermal expansion coefficient) from 250°C to 100°C.

[誘電率及び誘電正接の測定]
ベクトルネットワークアナライザ(Agilent社製、商品名;E8363C)ならびにSPDR共振器を用いて、10GHzにおける樹脂シートの誘電率(Dk)及び誘電正接(Df)を測定した。なお、測定に使用した材料は、温度;24~26℃、湿度;45℃~55%RHの条件下で、24時間放置したものである。
[Measurement of dielectric constant and dielectric tangent]
The dielectric constant (Dk) and dielectric loss tangent (Df) of the resin sheet at 10 GHz were measured using a vector network analyzer (manufactured by Agilent, product name: E8363C) and an SPDR resonator. The material used for the measurement was left for 24 hours under the conditions of temperature: 24 to 26°C and humidity: 45°C to 55% RH.

[寸法変化率の測定]
寸法変化率の測定は、以下の手順で行った。まず、150mm角の試料を用い、100mm間隔にてドライフィルムレジストを露光、現像することによって、位置測定用ターゲットを形成する。温度23±2℃、相対湿度50±5%の雰囲気中にてエッチング前(常態)の寸法を測定した後に、試験片のターゲット以外の銅をエッチング(液温40℃以下、時間10分以内)により除去する。温度23±2℃、相対湿度50±5%の雰囲気中に24±4時間静置後、エッチング後の寸法を測定する。縦方向及び横方向の各3箇所の常態に対する寸法変化率を算出し、各々の平均値をもってエッチング後の寸法変化率とする。エッチング後寸法変化率は下記数式により算出した。
[Measurement of dimensional change rate]
The measurement of the dimensional change rate was carried out by the following procedure. First, a 150 mm square sample was used, and a dry film resist was exposed and developed at 100 mm intervals to form a position measurement target. After measuring the dimensions before etching (normal state) in an atmosphere of 23±2°C and 50±5% relative humidity, copper other than the target of the test piece was removed by etching (liquid temperature 40°C or less, time 10 minutes or less). After leaving the test piece in an atmosphere of 23±2°C and 50±5% relative humidity for 24±4 hours, the dimensions after etching were measured. The dimensional change rate was calculated for three locations in each of the vertical and horizontal directions with respect to the normal state, and the average value of each was used as the dimensional change rate after etching. The dimensional change rate after etching was calculated by the following formula.

エッチング後寸法変化率(%)=(B-A)/A×100
A;エッチング前のターゲット間距離
B;エッチング後のターゲット間距離
Dimensional change rate after etching (%) = (B-A)/A x 100
A: Distance between targets before etching B: Distance between targets after etching

次に、本試験片を250℃のオーブンで1時間加熱処理し、その後の位置ターゲット間の距離を測定する。縦方向及び横方向の各3箇所のエッチング後に対する寸法変化率を算出し、各々の平均値をもって加熱処理後の寸法変化率とする。加熱寸法変化率は下記数式により算出した。 Next, the test piece is heat-treated in an oven at 250°C for one hour, and the distance between the position targets is then measured. The dimensional change rate after etching is calculated for three locations in each of the vertical and horizontal directions, and the average value of each is taken as the dimensional change rate after heat treatment. The dimensional change rate due to heating was calculated using the following formula.

加熱寸法変化率(%)=(C―B)/B×100
B;エッチング後のターゲット間距離
C;加熱後のターゲット間距離
Heat dimensional change rate (%) = (C-B)/B x 100
B: Target distance after etching C: Target distance after heating

[銅箔の表面粗さ(Rz;十点平均粗さ)の測定]
触針式表面粗さ計(株式会社小坂研究所製、商品名;サーフコーダET-3000)を用い、Force;100μN、Speed;20μm、Range;800μmの測定条件によって求めた。なお、表面粗さの算出は、JIS-B0601:1994に準拠した方法により算出した。
[Measurement of copper foil surface roughness (Rz; ten-point average roughness)]
The surface roughness was measured using a stylus surface roughness meter (manufactured by Kosaka Laboratory Co., Ltd., product name: Surfcorder ET-3000) under the measurement conditions of Force: 100 μN, Speed: 20 μm, Range: 800 μm. The surface roughness was calculated according to the method in accordance with JIS-B0601:1994.

合成例に用いた略号は、以下の化合物を示す。
BTDA:3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物
PMDA:ピロメリット酸二無水物
BPDA:3,3',4,4'‐ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
BPADA:2,2-ビス[4-(3,4-ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン二無水物
DAPE:4,4’-ジアミノジフェニルエーテル
p-PDA:p-フェニレンジアミン
BAPP:2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン
m‐TB:2,2'‐ジメチル‐4,4'‐ジアミノビフェニル
TPE-R:1,3-ビス(4‐アミノフェノキシ)ベンゼン
DDA:炭素数36の脂肪族ジアミン(クローダジャパン株式会社製、商品名;PRIAMINE1074、アミン価;205mgKOH/g、環状構造及び鎖状構造のダイマージアミンの混合物、ダイマー成分の含有量;95重量%以上)
OP935:有機ホスフィン酸アルミニウム塩(クラリアントジャパン社製、商品名;Exolit OP935)
N-12:ドデカン二酸ジヒドラジド
DMAc:N,N‐ジメチルアセトアミド
NMP:N-メチル-2-ピロリドン
The abbreviations used in the synthesis examples represent the following compounds.
BTDA: 3,3',4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride PMDA: pyromellitic dianhydride BPDA: 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride BPADA: 2,2-bis[4-(3,4-dicarboxyphenoxy)phenyl]propane dianhydride DAPE: 4,4'-diaminodiphenyl ether p-PDA: p-phenylenediamine BAPP: 2,2-bis[4-(4 m-TB: 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl TPE-R: 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene DDA: aliphatic diamine having 36 carbon atoms (manufactured by Croda Japan Ltd., trade name: PRIAMINE 1074, amine value: 205 mg KOH/g, mixture of dimer diamines having cyclic and chain structures, dimer component content: 95% by weight or more)
OP935: organic phosphinic acid aluminum salt (manufactured by Clariant Japan, trade name: Exolit OP935)
N-12: Dodecanedioic acid dihydrazide DMAc: N,N-dimethylacetamide NMP: N-methyl-2-pyrrolidone

(合成例1)
熱電対および攪拌機を備えると共に窒素導入が可能な反応容器に、312gのDMAcを入れた。この反応容器に14.67gのDAPE(0.073モル)を容器中で撹拌しながら溶解させた。次に、23.13gのBTDA(0.072モル)を加えた。その後、3時間撹拌を続け、溶液粘度2,960mPa・sのポリアミド酸の樹脂溶液aを調製した。
(Synthesis Example 1)
312g of DMAc was placed in a reaction vessel equipped with a thermocouple and a stirrer and capable of introducing nitrogen. 14.67g of DAPE (0.073 mol) was dissolved in the reaction vessel while stirring. Next, 23.13g of BTDA (0.072 mol) was added. Stirring was continued for 3 hours to prepare a polyamic acid resin solution a with a solution viscosity of 2,960 mPa·s.

(合成例2)
熱電対および攪拌機を備えると共に窒素導入が可能な反応容器に、200gのDMAcを入れた。この反応容器に1.335gのm-TB(0.0063モル)及び10.414gのTPE-R(0.0356モル)を容器中で撹拌しながら溶解させた。次に、0.932gのPMDA(0.0043モル)及び11.319gのBPDA(0.0385モル)を加えた。その後、2時間撹拌を続け、溶液粘度1,420mPa・sのポリアミド酸の樹脂溶液bを調製した。
(Synthesis Example 2)
200 g of DMAc was placed in a reaction vessel equipped with a thermocouple and a stirrer and capable of introducing nitrogen. 1.335 g of m-TB (0.0063 mol) and 10.414 g of TPE-R (0.0356 mol) were dissolved in the reaction vessel while stirring. Next, 0.932 g of PMDA (0.0043 mol) and 11.319 g of BPDA (0.0385 mol) were added. Stirring was then continued for 2 hours to prepare a polyamic acid resin solution b with a solution viscosity of 1,420 mPa·s.

(合成例3)
熱電対および攪拌機を備えると共に窒素導入が可能な反応容器に、250gのDMAcを入れた。この反応容器に2.561gのp-PDA(0.0237モル)及び16.813gのDAPE(0.0840モル)を容器中で撹拌しながら溶解させた。次に、18.501gのPMDA(0.0848モル)及び6.239gのBPDA(0.0212モル)を加えた。その後、3時間撹拌を続け、溶液粘度29,500mPa・sのポリアミド酸の樹脂溶液cを調製した。
(Synthesis Example 3)
250 g of DMAc was placed in a reaction vessel equipped with a thermocouple and a stirrer and capable of introducing nitrogen. 2.561 g of p-PDA (0.0237 mol) and 16.813 g of DAPE (0.0840 mol) were dissolved in the reaction vessel while stirring. Next, 18.501 g of PMDA (0.0848 mol) and 6.239 g of BPDA (0.0212 mol) were added. Stirring was continued for 3 hours to prepare a polyamic acid resin solution c with a solution viscosity of 29,500 mPa·s.

(合成例4)
熱電対および攪拌機を備えると共に窒素導入が可能な反応容器に、250gのDMAcを入れた。この反応容器に12.323gのm-TB(0.0580モル)及び1.886gのTPE-R(0.0064モル)を容器中で撹拌しながら溶解させた。次に、8.314gのPMDA(0.0381モル)及び7.477gのBPDA(0.0254モル)を加えた。その後、3時間撹拌を続け、溶液粘度31,500mPa・sのポリアミド酸の樹脂溶液dを調製した。
(Synthesis Example 4)
250 g of DMAc was placed in a reaction vessel equipped with a thermocouple and a stirrer and capable of introducing nitrogen. 12.323 g of m-TB (0.0580 mol) and 1.886 g of TPE-R (0.0064 mol) were dissolved in the reaction vessel while stirring. Next, 8.314 g of PMDA (0.0381 mol) and 7.477 g of BPDA (0.0254 mol) were added. Stirring was then continued for 3 hours to prepare a polyamic acid resin solution d with a solution viscosity of 31,500 mPa·s.

(合成例5)
<接着層用の樹脂溶液eの調製>
窒素導入管、攪拌機、熱電対、ディーンスタークトラップ、冷却管を付した500mLの4ッ口フラスコに、44.92gのBTDA(0.139モル)、75.08gのDDA(0.141モル)、168gのNMP及び112gのキシレンを装入し、40℃で30分間混合して、ポリアミド酸溶液を調製した。このポリアミド酸溶液を190℃に昇温し、4時間加熱、攪拌し、留出する水及びキシレンを系外に除去した。その後、100℃まで冷却し、112gのキシレンを加え撹拌し、更に30℃まで冷却することでイミド化を完結し、接着層用の樹脂溶液e(固形分;29.5重量%)を得た。
(Synthesis Example 5)
<Preparation of resin solution e for adhesive layer>
A 500mL four-neck flask equipped with a nitrogen inlet tube, a stirrer, a thermocouple, a Dean-Stark trap, and a cooling tube was charged with 44.92g of BTDA (0.139 mol), 75.08g of DDA (0.141 mol), 168g of NMP, and 112g of xylene, and mixed at 40°C for 30 minutes to prepare a polyamic acid solution. The polyamic acid solution was heated to 190°C, heated and stirred for 4 hours, and the distilled water and xylene were removed from the system. Thereafter, the solution was cooled to 100°C, 112g of xylene was added and stirred, and the solution was further cooled to 30°C to complete the imidization, and a resin solution e (solid content: 29.5% by weight) for the adhesive layer was obtained.

(合成例6)
<接着層用の樹脂溶液fの調製>
42.51gのBPADA(0.082モル)、34.30gのDDA(0.066モル)、6.56gのBAPP(0.016モル)、208gのNMP及び112gのキシレンを原料組成とした以外は、合成例5と同様にしてポリアミド酸溶液を調製した。このポリアミド酸溶液を合成例5と同様にして処理し、接着層用の樹脂溶液f(固形分;30.0重量%)を得た。
(Synthesis Example 6)
<Preparation of resin solution f for adhesive layer>
A polyamic acid solution was prepared in the same manner as in Synthesis Example 5, except that the raw material composition was 42.51 g of BPADA (0.082 mol), 34.30 g of DDA (0.066 mol), 6.56 g of BAPP (0.016 mol), 208 g of NMP, and 112 g of xylene. This polyamic acid solution was treated in the same manner as in Synthesis Example 5 to obtain a resin solution f (solid content: 30.0 wt%) for an adhesive layer.

(作製例1)
<ポリイミドフィルムの調製>
電解銅箔1(厚さ12μm、Rz;2.1μm)の片面の表面に、ポリアミド酸の樹脂溶液cを硬化後の厚みが約25μmとなるように均一に塗布した後、120℃で加熱乾燥し溶媒を除去した。更に、120℃から360℃まで段階的な熱処理を30分以内で行い、イミド化を完結した。塩化第二鉄水溶液を用いて銅箔をエッチング除去して、ポリイミドフィルム1(厚み;25μm、Dk;3.4、Df;0.0085、CTE;16ppm/K、貯蔵弾性率最小値(100~250℃)2.9GPa)を調製した。
(Preparation Example 1)
<Preparation of Polyimide Film>
A polyamic acid resin solution c was uniformly applied to one surface of an electrolytic copper foil 1 (thickness: 12 μm, Rz: 2.1 μm) so that the thickness after curing was about 25 μm, and then the solution was heated and dried at 120° C. to remove the solvent. Further, a stepwise heat treatment from 120° C. to 360° C. was performed within 30 minutes to complete the imidization. The copper foil was etched away using an aqueous ferric chloride solution to prepare a polyimide film 1 (thickness: 25 μm, Dk: 3.4, Df: 0.0085, CTE: 16 ppm/K, minimum storage modulus (100-250° C.): 2.9 GPa ).

(作製例2)
<ポリイミドフィルムの調製>
樹脂溶液dを用いたこと以外、作製例1と同様にして、ポリイミドフィルム2(厚み;25μm、Dk;3.3、Df;0.0034、CTE;17ppm/K、貯蔵弾性率最小値(100~250℃)3.0GPa)を調製した。
(Preparation Example 2)
<Preparation of Polyimide Film>
A polyimide film 2 (thickness: 25 μm, Dk: 3.3, Df: 0.0034, CTE: 17 ppm/K, minimum storage modulus (100 to 250° C.): 3.0 GPa ) was prepared in the same manner as in Preparation Example 1, except that resin solution d was used.

(作製例3)
<ポリイミドフィルムの調製>
電解銅箔1(厚さ12μm、Rz;2.1μm)の片面の表面に、樹脂溶液aを硬化後の厚みが約2~3μmとなるように均一に塗布した後、120℃で加熱乾燥し、溶媒を除去した。次に、その上に樹脂溶液dを硬化後の厚みが約21μmとなるように均一に塗布した後、120℃で加熱乾燥し、溶媒を除去した。更に、その上に樹脂溶液aを硬化後の厚みが約2~3μmとなるように均一に塗布した後、120℃で加熱乾燥し溶媒を除去した。このようにして、3層のポリアミド酸層を形成した後、120℃から360℃まで段階的な熱処理を行い、イミド化を完結した。塩化第二鉄水溶液を用いて銅箔層をエッチング除去して、ポリイミドフィルム3(厚み;25μm、Dk;3.4、Df;0.0052、CTE;21ppm/K、貯蔵弾性率最小値(100~250℃)2.8GPa)を調製した。
(Preparation Example 3)
<Preparation of Polyimide Film>
Resin solution a was uniformly applied to one surface of electrolytic copper foil 1 (thickness 12 μm, Rz; 2.1 μm) so that the thickness after curing would be about 2 to 3 μm, and then heated and dried at 120 ° C to remove the solvent. Next, resin solution d was uniformly applied thereon so that the thickness after curing would be about 21 μm, and then heated and dried at 120 ° C to remove the solvent. Furthermore, resin solution a was uniformly applied thereon so that the thickness after curing would be about 2 to 3 μm, and then heated and dried at 120 ° C to remove the solvent. In this way, three polyamic acid layers were formed, and then stepwise heat treatment was performed from 120 ° C to 360 ° C to complete the imidization. The copper foil layer was etched away using an aqueous solution of ferric chloride to prepare a polyimide film 3 (thickness: 25 μm, Dk: 3.4, Df: 0.0052, CTE: 21 ppm/K, minimum storage modulus (100-250° C.): 2.8 GPa ).

(作製例4)
<ポリイミドフィルムの調製>
電解銅箔1(厚さ12μm、Rz;2.1μm)の片面の表面に、樹脂溶液bを硬化後の厚みが約2~3μmとなるように均一に塗布した後、120℃で加熱乾燥し、溶媒を除去した。次に、その上に樹脂溶液dを硬化後の厚みが約21μmとなるように均一に塗布した後、120℃で加熱乾燥し、溶媒を除去した。更に、その上に樹脂溶液bを硬化後の厚みが約2~3μmとなるように均一に塗布した後、120℃で加熱乾燥し溶媒を除去した。このようにして、3層のポリアミド酸層を形成した後、120℃から360℃まで段階的な熱処理を行い、イミド化を完結した。塩化第二鉄水溶液を用いて銅箔層をエッチング除去して、ポリイミドフィルム4(厚み;25μm、Dk;3.3、Df;0.0032、CTE;23ppm/K、貯蔵弾性率最小値(100~250℃)2.7GPa)を調製した。
(Preparation Example 4)
<Preparation of Polyimide Film>
Resin solution b was uniformly applied to one surface of electrolytic copper foil 1 (thickness 12 μm, Rz; 2.1 μm) so that the thickness after curing would be about 2 to 3 μm, and then heated and dried at 120 ° C to remove the solvent. Next, resin solution d was uniformly applied thereon so that the thickness after curing would be about 21 μm, and then heated and dried at 120 ° C to remove the solvent. Furthermore, resin solution b was uniformly applied thereon so that the thickness after curing would be about 2 to 3 μm, and then heated and dried at 120 ° C to remove the solvent. In this way, three polyamic acid layers were formed, and then stepwise heat treatment was performed from 120 ° C to 360 ° C to complete the imidization. The copper foil layer was etched away using an aqueous solution of ferric chloride to prepare a polyimide film 4 (thickness: 25 μm, Dk: 3.3, Df: 0.0032, CTE: 23 ppm/K, minimum storage modulus (100-250° C.): 2.7 GPa ).

(作製例5)
<樹脂シートの調製>
樹脂溶液eの169.49g(固形分として50g)に1.8gのN-12(0.0036モル)及び12.5gのOP935を配合し、6.485gのNMPと19.345gのキシレンを加えて希釈して、ポリイミドワニス1を調製した。
(Preparation Example 5)
<Preparation of Resin Sheet>
Polyimide varnish 1 was prepared by mixing 1.8 g of N-12 (0.0036 mol) and 12.5 g of OP935 with 169.49 g of resin solution e (50 g as solid content), and diluting the mixture with 6.485 g of NMP and 19.345 g of xylene.

ポリイミドワニス1を乾燥後の厚みが25μmとなるように離型基材のシリコーン処理面に塗工した後、80℃で加熱乾燥し、離型基材上から剥離することで樹脂シート1を調製した。樹脂シート1の誘電率(Dk)及び誘電正接(Df)はそれぞれ、2.7、0.0023であった。 Polyimide varnish 1 was applied to the silicone-treated surface of a release substrate so that the thickness after drying was 25 μm, and then the coating was dried by heating at 80° C. and peeled off from the release substrate to prepare resin sheet 1. The dielectric constant (Dk) and dielectric loss tangent (Df) of resin sheet 1 were 2.7 and 0.0023, respectively.

(作製例6)
<樹脂シートの調製>
乾燥後の厚みが50μmとなるようにすること以外、作製例6と同様にして、樹脂シート2を調整した。樹脂シート2の誘電率(Dk)及び誘電正接(Df)はそれぞれ、2.7、0.0023であった。
(Preparation Example 6)
<Preparation of Resin Sheet>
Except for the fact that the thickness after drying was 50 μm, a resin sheet 2 was prepared in the same manner as in Preparation Example 6. The dielectric constant (Dk) and dielectric loss tangent (Df) of the resin sheet 2 were 2.7 and 0.0023, respectively.

(作製例7)
<樹脂シートの調製>
乾燥後の厚みが75μmとなるようにすること以外、作製例6と同様にして、樹脂シート3を調整した。樹脂シート3の誘電率(Dk)及び誘電正接(Df)はそれぞれ、2.7、0.0023であった。
(Preparation Example 7)
<Preparation of Resin Sheet>
Except for the fact that the thickness after drying was 75 μm, a resin sheet 3 was prepared in the same manner as in Preparation Example 6. The dielectric constant (Dk) and dielectric loss tangent (Df) of the resin sheet 3 were 2.7 and 0.0023, respectively.

(作製例8)
<樹脂シートの調製>
乾燥後の厚みが5μmとなるようにすること以外、作製例6と同様にして、樹脂シート4を調整した。樹脂シート4の誘電率(Dk)及び誘電正接(Df)はそれぞれ、2.7、0.0023であった。
(Preparation Example 8)
<Preparation of Resin Sheet>
Resin sheet 4 was prepared in the same manner as in Preparation Example 6, except that the thickness after drying was adjusted to 5 μm. The dielectric constant (Dk) and dielectric loss tangent (Df) of resin sheet 4 were 2.7 and 0.0023, respectively.

(作製例9)
<樹脂シートの調製>
接着層用の樹脂溶液fを乾燥後の厚みが25μmとなるように離型基材のシリコーン処理面に塗工した後、80℃で加熱乾燥し、離型基材上から剥離することで樹脂シート5を調製した。樹脂シート5の誘電率(Dk)及び誘電正接(Df)はそれぞれ、2.8、0.0028であった。
(Preparation Example 9)
<Preparation of Resin Sheet>
The resin solution f for the adhesive layer was applied to the silicone-treated surface of the release substrate so that the thickness after drying was 25 μm, and then the coating was dried by heating at 80° C. and peeled off from the release substrate to prepare a resin sheet 5. The dielectric constant (Dk) and dielectric loss tangent (Df) of the resin sheet 5 were 2.8 and 0.0028, respectively.

(作製例10)
<樹脂シートの調製>
乾燥後の厚みが50μmとなるようにすること以外、作製例10と同様にして、樹脂シート6を調整した。樹脂シート6の誘電率(Dk)及び誘電正接(Df)はそれぞれ、2.8、0.0028であった。
(Preparation Example 10)
<Preparation of Resin Sheet>
A resin sheet 6 was prepared in the same manner as in Preparation Example 10, except that the thickness after drying was adjusted to 50 μm. The dielectric constant (Dk) and dielectric loss tangent (Df) of the resin sheet 6 were 2.8 and 0.0028, respectively.

[実施例1]
2枚の電解銅箔1と、2枚の樹脂シート1、1枚の樹脂シート2、2枚のポリイミドフィルム4を準備し、電解銅箔1/樹脂シート1/ポリイミドフィルム4/樹脂シート2/ポリイミドフィルム4/樹脂シート1/電解銅箔1の順に積層した後、160℃、4MPaの条件で、60分間熱圧着することで、両面金属張積層板1を調整した。両面金属張積層板1について、評価した結果は、次のとおりである。
MD方向のエッチング後寸法変化率;-0.05%
TD方向のエッチング後寸法変化率;-0.04%
MD方向の加熱後寸法変化率;-0.03%
TD方向の加熱後寸法変化率;0.03%
また、両面金属張積層板1における電解銅箔1をエッチング除去して調製した樹脂積層体1(厚み;150μm)における誘電率(Dk)及び誘電正接(Df)はそれぞれ、2.9、0.0026であった。寸法精度維持層の合計厚みは、樹脂積層体1全体の厚みの33%であった。
[Example 1]
Two electrolytic copper foils 1, two resin sheets 1, one resin sheet 2, and two polyimide films 4 were prepared, and laminated in the order of electrolytic copper foil 1/resin sheet 1/polyimide film 4/resin sheet 2/polyimide film 4/resin sheet 1/electrolytic copper foil 1, and then subjected to thermocompression bonding at 160° C. and 4 MPa for 60 minutes to prepare a double-sided metal-clad laminate 1. The evaluation results of the double-sided metal-clad laminate 1 are as follows.
Dimensional change rate after etching in MD direction: -0.05%
Dimensional change rate after etching in the TD direction: -0.04%
Dimensional change rate after heating in MD direction: -0.03%
Dimensional change rate after heating in TD direction: 0.03%
The dielectric constant (Dk) and the dielectric loss tangent (Df) of the resin laminate 1 (thickness: 150 μm) prepared by etching and removing the electrolytic copper foil 1 in the double-sided metal-clad laminate 1 were 2.9 and 0.0026, respectively. The total thickness of the dimensional accuracy maintaining layer was 33% of the total thickness of the resin laminate 1.

[実施例2]
2枚の電解銅箔1と、2枚の樹脂シート1、1枚の樹脂シート3、2枚のポリイミドフィルム4を準備し、電解銅箔1/樹脂シート1/ポリイミドフィルム4/樹脂シート3/ポリイミドフィルム4/樹脂シート1/電解銅箔1の順に積層した後、160℃、4MPaの条件で、60分間熱圧着することで、両面金属張積層板2を調整した。両面金属張積層板2について、評価した結果は、次のとおりである。
MD方向のエッチング後寸法変化率;-0.06%
TD方向のエッチング後寸法変化率;-0.04%
MD方向の加熱後寸法変化率;-0.04%
TD方向の加熱後寸法変化率;0.04%
また、両面金属張積層板2における電解銅箔1をエッチング除去して調製した樹脂積層体2(厚み;175μm)における誘電率(Dk)及び誘電正接(Df)はそれぞれ、2.92、0.0026であった。寸法精度維持層の合計厚みは、樹脂積層体2全体の厚みの29%であった。
[Example 2]
Two electrolytic copper foils 1, two resin sheets 1, one resin sheet 3, and two polyimide films 4 were prepared, and laminated in the order of electrolytic copper foil 1/resin sheet 1/polyimide film 4/resin sheet 3/polyimide film 4/resin sheet 1/electrolytic copper foil 1, and then subjected to thermocompression bonding at 160° C. and 4 MPa for 60 minutes to prepare a double-sided metal-clad laminate 2. The evaluation results of the double-sided metal-clad laminate 2 are as follows.
Dimensional change rate after etching in MD direction: -0.06%
Dimensional change rate after etching in the TD direction: -0.04%
Dimensional change rate after heating in MD direction: -0.04%
Dimensional change rate after heating in TD direction: 0.04%
The dielectric constant (Dk) and the dielectric loss tangent (Df) of the resin laminate 2 (thickness: 175 μm) prepared by etching and removing the electrolytic copper foil 1 in the double-sided metal-clad laminate 2 were 2.92 and 0.0026, respectively. The total thickness of the dimensional accuracy maintaining layer was 29% of the total thickness of the resin laminate 2.

[実施例3]
2枚の電解銅箔1と、1枚の樹脂シート1、2枚の樹脂シート2、2枚のポリイミドフィルム4を準備し、電解銅箔1/樹脂シート2/ポリイミドフィルム4/樹脂シート1/ポリイミドフィルム4/樹脂シート2/電解銅箔1の順に積層した後、160℃、4MPaの条件で、60分間熱圧着することで、両面金属張積層板3を調整した。両面金属張積層板3について、評価した結果は、次のとおりである。
MD方向のエッチング後寸法変化率;-0.02%
TD方向のエッチング後寸法変化率;0.03%
MD方向の加熱後寸法変化率;-0.06%
TD方向の加熱後寸法変化率;-0.02%
また、両面金属張積層板3における電解銅箔1をエッチング除去して調製した樹脂積層体3(厚み;175μm)における誘電率(Dk)及び誘電正接(Df)はそれぞれ、2.9、0.0026であった。寸法精度維持層の合計厚みは、樹脂積層体3全体の厚みの29%であった。
[Example 3]
Two electrolytic copper foils 1, one resin sheet 1, two resin sheets 2, and two polyimide films 4 were prepared, and the laminated layers were stacked in the order of electrolytic copper foil 1/resin sheet 2/polyimide film 4/resin sheet 1/polyimide film 4/resin sheet 2/electrolytic copper foil 1, and then subjected to thermocompression bonding at 160° C. and 4 MPa for 60 minutes to prepare a double-sided metal-clad laminate 3. The evaluation results of the double-sided metal-clad laminate 3 are as follows.
Dimensional change rate after etching in MD direction: -0.02%
Dimensional change rate after etching in the TD direction: 0.03%
Dimensional change rate after heating in MD direction: -0.06%
Dimensional change rate after heating in TD direction: -0.02%
The dielectric constant (Dk) and the dielectric loss tangent (Df) of the resin laminate 3 (thickness: 175 μm) prepared by etching and removing the electrolytic copper foil 1 in the double-sided metal-clad laminate 3 were 2.9 and 0.0026, respectively. The total thickness of the dimensional accuracy maintaining layers was 29% of the total thickness of the resin laminate 3.

[実施例4]
ポリイミドフィルム4の替わりに、ポリイミドフィルム1を使用したこと以外、実施例1と同様にして、両面金属張積層板4を調整した。両面金属張積層板4について、評価したところ、寸法変化は問題がなかった。また、両面金属張積層板4における電解銅箔1をエッチング除去して調製した樹脂積層体4(厚み;150μm)における誘電率(Dk)及び誘電正接(Df)はそれぞれ、2.9、0.0044であった。寸法精度維持層の合計厚みは、樹脂積層体4全体の厚みの33%であった。
[Example 4]
A double-sided metal-clad laminate 4 was prepared in the same manner as in Example 1, except that the polyimide film 1 was used instead of the polyimide film 4. The double-sided metal-clad laminate 4 was evaluated, and no problem was found with respect to dimensional change. The dielectric constant (Dk) and dielectric loss tangent (Df) of the resin laminate 4 (thickness: 150 μm) prepared by removing the electrolytic copper foil 1 in the double-sided metal-clad laminate 4 by etching were 2.9 and 0.0044, respectively. The total thickness of the dimensional accuracy maintaining layer was 33% of the total thickness of the resin laminate 4.

[実施例5]
ポリイミドフィルム4の替わりに、ポリイミドフィルム2を使用したこと以外、実施例1と同様にして、両面金属張積層板5を調整した。両面金属張積層板5について、評価したところ、寸法変化は問題がなかった。また、両面金属張積層板5における電解銅箔1をエッチング除去して調製した樹脂積層体5(厚み;150μm)における誘電率(Dk)及び誘電正接(Df)はそれぞれ、2.9、0.0027であった。寸法精度維持層の合計厚みは、樹脂積層体5全体の厚みの33%であった。
[Example 5]
A double-sided metal-clad laminate 5 was prepared in the same manner as in Example 1, except that the polyimide film 2 was used instead of the polyimide film 4. The double-sided metal-clad laminate 5 was evaluated, and no problem was found with respect to dimensional change. The dielectric constant (Dk) and dielectric loss tangent (Df) of the resin laminate 5 (thickness: 150 μm) prepared by removing the electrolytic copper foil 1 in the double-sided metal-clad laminate 5 by etching were 2.9 and 0.0027, respectively. The total thickness of the dimensional accuracy maintaining layer was 33% of the total thickness of the resin laminate 5.

[実施例6]
ポリイミドフィルム4の替わりに、ポリイミドフィルム3を使用したこと以外、実施例1と同様にして、両面金属張積層板6を調整した。両面金属張積層板6について、評価したところ、寸法変化は問題がなかった。また、両面金属張積層板6における電解銅箔1をエッチング除去して調製した樹脂積層体6(厚み;150μm)における誘電率(Dk)及び誘電正接(Df)はそれぞれ、2.9、0.0033であった。寸法精度維持層の合計厚みは、樹脂積層体6全体の厚みの33%であった。
[Example 6]
A double-sided metal-clad laminate 6 was prepared in the same manner as in Example 1, except that a polyimide film 3 was used instead of the polyimide film 4. The double-sided metal-clad laminate 6 was evaluated, and no problem was found with respect to dimensional change. The dielectric constant (Dk) and dielectric loss tangent (Df) of the resin laminate 6 (thickness: 150 μm) prepared by removing the electrolytic copper foil 1 in the double-sided metal-clad laminate 6 by etching were 2.9 and 0.0033, respectively. The total thickness of the dimensional accuracy maintaining layer was 33% of the total thickness of the resin laminate 6.

[実施例7]
樹脂シート1の替わりに樹脂シート5を、樹脂シート2の替わりに樹脂シート6を使用したこと以外、実施例1と同様にして、両面金属張積層板7を調整した。両面金属張積層板7について、評価したところ、寸法変化は問題がなかった。また、両面金属張積層板7における電解銅箔1をエッチング除去して調製した樹脂積層体7(厚み;150μm)における誘電率(Dk)及び誘電正接(Df)はそれぞれ、3.0、0.0029であった。寸法精度維持層の合計厚みは、樹脂積層体7全体の厚みの33%であった。
[Example 7]
A double-sided metal-clad laminate 7 was prepared in the same manner as in Example 1, except that resin sheet 5 was used instead of resin sheet 1 and resin sheet 6 was used instead of resin sheet 2. The double-sided metal-clad laminate 7 was evaluated and found to have no problem with dimensional change. The dielectric constant (Dk) and dielectric loss tangent (Df) of the resin laminate 7 (thickness: 150 μm) prepared by etching and removing the electrolytic copper foil 1 in the double-sided metal-clad laminate 7 were 3.0 and 0.0029, respectively. The total thickness of the dimensional accuracy maintaining layer was 33% of the total thickness of the resin laminate 7.

[実施例8]
樹脂シート1の替わりに、樹脂シート4を使用したこと以外、実施例1と同様にして、両面金属張積層板8を調整した。両面金属張積層板8について、評価したところ、寸法変化は問題がなかった。また、両面金属張積層板8における電解銅箔1をエッチング除去して調製した樹脂積層体8(厚み;110μm)における誘電率(Dk)及び誘電正接(Df)はそれぞれ、3.0、0.0027であった。寸法精度維持層の合計厚みは、樹脂積層体8全体の厚みの45%であった。
[Example 8]
A double-sided metal-clad laminate 8 was prepared in the same manner as in Example 1, except that a resin sheet 4 was used instead of the resin sheet 1. The double-sided metal-clad laminate 8 was evaluated, and no problem was found with respect to dimensional change. The dielectric constant (Dk) and dielectric loss tangent (Df) of the resin laminate 8 (thickness: 110 μm) prepared by removing the electrolytic copper foil 1 in the double-sided metal-clad laminate 8 by etching were 3.0 and 0.0027, respectively. The total thickness of the dimensional accuracy maintaining layer was 45% of the total thickness of the resin laminate 8.

[比較例1]
2枚の電解銅箔1と、2枚の樹脂シート2、1枚のポリイミドフィルム1を準備し、電解銅箔1/樹脂シート2/ポリイミドフィルム1/樹脂シート2/電解銅箔1の順に積層した後、160℃、4MPaの条件で、60分間熱圧着することで、両面金属張積層板9を調整した。両面金属張積層板9について、評価した結果は、次のとおりである。
MD方向のエッチング後寸法変化率;0.02%
TD方向のエッチング後寸法変化率;0.08%
MD方向の加熱後寸法変化率;-0.10%
TD方向の加熱後寸法変化率;-0.05%
また、両面金属張積層板9における電解銅箔1をエッチング除去して調製した樹脂積層体9(厚み;125μm)における誘電率(Dk)及び誘電正接(Df)はそれぞれ、2.8、0.0035であった。寸法精度維持層の合計厚みは、樹脂積層体9全体の厚みの20%であった。
[Comparative Example 1]
Two sheets of electrolytic copper foil 1, two sheets of resin sheet 2, and one sheet of polyimide film 1 were prepared, and the layers were laminated in the order of electrolytic copper foil 1/resin sheet 2/polyimide film 1/resin sheet 2/electrolytic copper foil 1, and then thermocompression bonded for 60 minutes under conditions of 160° C. and 4 MPa to prepare a double-sided metal-clad laminate 9. The evaluation results of the double-sided metal-clad laminate 9 are as follows.
Dimensional change rate after etching in MD direction: 0.02%
Dimensional change rate after etching in the TD direction: 0.08%
Dimensional change rate after heating in MD direction: -0.10%
Dimensional change rate after heating in TD direction: -0.05%
The dielectric constant (Dk) and the dielectric loss tangent (Df) of the resin laminate 9 (thickness: 125 μm) prepared by etching and removing the electrolytic copper foil 1 from the double-sided metal-clad laminate 9 were 2.8 and 0.0035, respectively. The total thickness of the dimensional accuracy maintaining layer was 20% of the total thickness of the resin laminate 9.

以上、本発明の実施の形態を例示の目的で詳細に説明したが、本発明は上記実施の形態に制約されることはなく、種々の変形が可能である。 The above describes in detail the embodiment of the present invention for illustrative purposes, but the present invention is not limited to the above embodiment and various modifications are possible.

10…金属張積層板、20…樹脂積層体、M1…第1の金属層、M2…第2の金属層、BS1…第1の伝送損失抑制層、BS2…第2の伝送損失抑制層、BS3…中間伝送損失抑制層、PL…寸法精度維持層、31…非熱可塑性ポリイミド層、33…熱可塑性ポリイミド層

Reference Signs List 10...metal-clad laminate, 20...resin laminate, M1...first metal layer, M2...second metal layer, BS1...first transmission loss suppression layer, BS2...second transmission loss suppression layer, BS3...intermediate transmission loss suppression layer, PL...dimensional accuracy maintaining layer, 31...non-thermoplastic polyimide layer, 33...thermoplastic polyimide layer

Claims (4)

第1の金属層と、
前記第1の金属層の片側に接して設けられている第1の伝送損失抑制層と、
第2の金属層と、
前記第2の金属層の片側に接して設けられている第2の伝送損失抑制層と、
前記第1の伝送損失抑制層と前記第2の伝送損失抑制層との間に介在する複数の樹脂層と、
を備え、
前記第1の伝送損失抑制層と前記第2の伝送損失抑制層と前記複数の樹脂層とによって樹脂積層体が形成されており、
前記樹脂積層体は、
少なくとも2層以上の寸法精度維持層と、
前記寸法精度維持層の間に積層されている中間伝送損失抑制層と、
を有しており、
下記の条件i及びii;
i)23℃、50%RHの恒温恒湿条件(常態)のもと24時間調湿後にスプリットポスト誘電体共振器(SPDR)により測定される10GHzにおける誘電正接であって、前記第1の伝送損失抑制層及び前記第2の伝送損失抑制層の誘電正接をDf、前記寸法精度維持層の誘電正接をDfとしたとき、Df<Dfの関係にあること;
ii)前記寸法精度維持層の合計厚みが、前記樹脂積層体の合計厚みの29~45%の範囲内にあること;
を満たすとともに、
前記樹脂積層体全体の10GHzにおける誘電正接(Tanδ)が0.0005以上0.0033以下の範囲内である金属張積層板。
a first metal layer;
a first transmission loss suppression layer provided in contact with one side of the first metal layer;
a second metal layer; and
a second transmission loss suppression layer provided in contact with one side of the second metal layer;
a plurality of resin layers interposed between the first transmission loss suppression layer and the second transmission loss suppression layer;
Equipped with
the first transmission loss suppression layer, the second transmission loss suppression layer, and the plurality of resin layers form a resin laminate,
The resin laminate is
At least two or more dimensional accuracy maintaining layers;
an intermediate transmission loss suppression layer laminated between the dimensional accuracy maintaining layers;
It has
Conditions i and ii below:
i) The dielectric loss tangent at 10 GHz measured by a split post dielectric resonator (SPDR) after 24 hours of conditioning under constant temperature and humidity conditions (normal state) of 23° C. and 50% RH, where Df 1 is the dielectric loss tangent of the first transmission loss suppression layer and the second transmission loss suppression layer, and Df 2 is the dielectric loss tangent of the dimensional accuracy maintaining layer, satisfies the relationship Df 1 < Df 2 ;
ii) the total thickness of the dimensional accuracy maintaining layer is within the range of 29 to 45% of the total thickness of the resin laminate;
While satisfying the above,
The metal-clad laminate has a dielectric loss tangent (Tan δ) at 10 GHz of the entire resin laminate in the range of 0.0005 or more and 0.0033 or less.
前記寸法精度維持層が、100℃から250℃の温度領域での貯蔵弾性率の最小値が1.0~8.0GPaの範囲内であり、熱膨張係数が15~25ppm/Kの範囲内の低熱膨張性ポリイミド層である請求項1に記載の金属張積層板。 The metal-clad laminate according to claim 1, wherein the dimensional accuracy maintaining layer is a low-thermal expansion polyimide layer having a minimum storage modulus in the temperature range of 100°C to 250°C of 1.0 to 8.0 GPa and a thermal expansion coefficient in the range of 15 to 25 ppm/K. 前記第1の伝送損失抑制層及び第2の伝送損失抑制層を構成する樹脂が、酸無水物成分と、ジアミン成分と、を反応させてなるポリイミドであって、前記ジアミン成分の全量100モル部に対し、ダイマー酸の二つの末端カルボン酸基が1級アミノメチル基又はアミノ基に置換されてなるダイマージアミンを50モル部以上含有する請求項1又は2に記載の金属張積層板。 The metal-clad laminate according to claim 1 or 2, wherein the resin constituting the first transmission loss suppression layer and the second transmission loss suppression layer is a polyimide obtained by reacting an acid anhydride component with a diamine component, and contains 50 molar parts or more of a dimer diamine in which two terminal carboxylic acid groups of a dimer acid are substituted with primary aminomethyl groups or amino groups per 100 molar parts of the total amount of the diamine component. 第1の配線層と、
前記第1の配線層の片側に接して設けられている第1の伝送損失抑制層と、
第2の配線層と、
前記第2の配線層の片側に接して設けられている第2の伝送損失抑制層と、
前記第1の伝送損失抑制層と前記第2の伝送損失抑制層との間に介在する複数の樹脂層と、
を備え、
前記第1の伝送損失抑制層と前記第2の伝送損失抑制層と前記複数の樹脂層とによって樹脂積層体が形成されており、
前記樹脂積層体は、
少なくとも2層以上の寸法精度維持層と、
前記寸法精度維持層の間に積層されている中間伝送損失抑制層と、
を有しており、
下記の条件i及びii;
i)23℃、50%RHの恒温恒湿条件(常態)のもと24時間調湿後にスプリットポスト誘電体共振器(SPDR)により測定される10GHzにおける誘電正接であって、前記第1の伝送損失抑制層及び前記第2の伝送損失抑制層の誘電正接をDf、前記寸法精度維持層の誘電正接をDfとしたとき、Df<Dfの関係にあること;
ii)前記寸法精度維持層の合計厚みが、前記樹脂積層体の合計厚みの29~45%の範囲内にあること;
を満たすとともに、
前記樹脂積層体全体の10GHzにおける誘電正接(Tanδ)が0.0005以上0.0033以下の範囲内である回路基板。
A first wiring layer;
a first transmission loss suppression layer provided in contact with one side of the first wiring layer;
A second wiring layer;
a second transmission loss suppression layer provided in contact with one side of the second wiring layer;
a plurality of resin layers interposed between the first transmission loss suppression layer and the second transmission loss suppression layer;
Equipped with
the first transmission loss suppression layer, the second transmission loss suppression layer, and the plurality of resin layers form a resin laminate,
The resin laminate is
At least two or more dimensional accuracy maintaining layers;
an intermediate transmission loss suppression layer laminated between the dimensional accuracy maintaining layers;
It has
Conditions i and ii below:
i) The dielectric loss tangent at 10 GHz measured by a split post dielectric resonator (SPDR) after 24 hours of conditioning under constant temperature and humidity conditions (normal state) of 23° C. and 50% RH, where Df 1 is the dielectric loss tangent of the first transmission loss suppression layer and the second transmission loss suppression layer, and Df 2 is the dielectric loss tangent of the dimensional accuracy maintaining layer, satisfies the relationship Df 1 < Df 2 ;
ii) the total thickness of the dimensional accuracy maintaining layer is within the range of 29 to 45% of the total thickness of the resin laminate;
While satisfying the above,
The circuit board has a dielectric loss tangent (Tan δ) at 10 GHz of the entire resin laminate in the range of 0.0005 or more and 0.0033 or less.
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