JP7719236B2 - Light-emitting device, display device, exposure system, and display/imaging device - Google Patents
Light-emitting device, display device, exposure system, and display/imaging deviceInfo
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Description
本発明は、発光装置、表示装置、露光システム、及び表示撮像装置、光電変換装置、電子機器、照明装置、及び移動体に関する。 The present invention relates to light-emitting devices, display devices, exposure systems, display and imaging devices, photoelectric conversion devices, electronic devices, lighting devices, and mobile objects.
有機EL素子は、一対の電極とその間に配置されている発光層を含む有機化合物層とを有する発光素子である。有機EL素子を用いた発光装置は、面発光特性、軽量性といった優れた特徴を有する。この特徴を活かしヘッドマウントディスプレイなどの表示撮像装置や電子写真方式プリンタ用の露光システムの露光装置等に用いられる発光装置として注目されている。 An organic EL element is a light-emitting element that has a pair of electrodes and an organic compound layer, including a light-emitting layer, disposed between them. Light-emitting devices that use organic EL elements have excellent features such as surface emission characteristics and light weight. Taking advantage of these features, they have attracted attention as light-emitting devices for use in display and imaging devices such as head-mounted displays and exposure devices in exposure systems for electrophotographic printers.
発光装置を表示装置や露光装置として用いる場合、発光装置からの発光は種々の光学系を通して利用される。光学系は発光装置からの発光の一部の光のみを利用する。このため、光学系での光利用効率を高めることで、発光装置の消費電力を低減することができると考えられる。 When a light-emitting device is used as a display device or exposure device, the light emitted from the light-emitting device is used through various optical systems. The optical systems only use a portion of the light emitted from the light-emitting device. For this reason, it is thought that the power consumption of the light-emitting device can be reduced by improving the light utilization efficiency of the optical systems.
特許文献1では、正面方向の発光強度を高める目的で有機EL素子上にマイクロレンズを設ける構成が開示されている。 Patent document 1 discloses a configuration in which microlenses are provided on organic EL elements in order to increase the light emission intensity in the front direction.
特許文献1に記載されている発光装置では、光学系と組み合わせた際の光利用効率が十分でない場合がある。 The light-emitting device described in Patent Document 1 may not have sufficient light utilization efficiency when combined with an optical system.
本発明の一態様は、基板の主面の上に第1チップと第2チップとを有し、前記第1チップは第1発光素子と、前記基板に垂直な断面における前記第1発光素子の第1発光領域の中点と平面視において重なる第1レンズと、の組のみを発光部として有し、前記第2チップは、第2発光素子と前記基板に垂直な断面における前記第2発光素子の第2発光領域の中点と平面視において重なる第2レンズとの組のみを発光部として有する発光装置であって、平面視において、前記第1レンズにおいて前記基板から最も遠い点である、頂点は、前記第1発光領域の中点から第1の方向における正の方向に離れており、平面視において、前記第2レンズにおいて前記基板から最も遠い点である、頂点は、前記第2発光領域の中点から前記第1の方向における負の方向に離れていることを特徴とする発光装置である。 One aspect of the present invention is a light emitting device having a first chip and a second chip on a main surface of a substrate, wherein the first chip has, as a light emitting portion , only a set of a first light emitting element and a first lens that overlaps in a planar view with the midpoint of a first light emitting region of the first light emitting element in a cross section perpendicular to the substrate , and the second chip has, as a light emitting portion, only a set of a second light emitting element and a second lens that overlaps in a planar view with the midpoint of a second light emitting region of the second light emitting element in a cross section perpendicular to the substrate, wherein, in a planar view , an apex of the first lens that is the farthest point from the substrate on the first lens is away from the midpoint of the first light emitting region in a positive direction in a first direction, and the apex of the second lens that is the farthest point from the substrate on the second lens is away from the midpoint of the second light emitting region in a negative direction in the first direction.
光利用効率が向上した発光装置を提供できる。 It is possible to provide a light-emitting device with improved light utilization efficiency.
図1(a)及び(b)に、発光素子として有機EL素子を用いた発光装置からの発光が結像用レンズアレイを通して感光体上へ結像される露光システムの構成例を示す。図1(b)は平面模式図であり、図1(a)は図1(b)中のA-A’断面の断面図である。 Figures 1(a) and (b) show an example of the configuration of an exposure system in which light emitted from a light-emitting device using organic EL elements as light-emitting elements is imaged onto a photosensitive member through an imaging lens array. Figure 1(b) is a schematic plan view, and Figure 1(a) is a cross-sectional view of the A-A' cross section in Figure 1(b).
図1(b)に示すように、複数の発光素子100を有するチップが千鳥状配された発光装置2の場合、発光素子を有する画素は結像用レンズアレイ3の直下に配置されない。また、感光体上の同一の点を複数回露光する目的で、図1(a)及び(b)に示すように、画素が副走査方向に複数配置される場合には、外側の画素からの光ほど結像用レンズアレイに向かう角度が大きくなる。このような場合は画素から結像用レンズアレイに向かう方向の発光強度を高めることで光利用効率を向上させることができると考えられる。 As shown in Figure 1(b), in the case of a light-emitting device 2 in which chips each having multiple light-emitting elements 100 are arranged in a staggered pattern, the pixels each having a light-emitting element are not located directly below the imaging lens array 3. Furthermore, when multiple pixels are arranged in the sub-scanning direction as shown in Figures 1(a) and 1(b) in order to expose the same point on the photosensitive member multiple times, the angle at which light from the outer pixels is directed toward the imaging lens array increases. In such cases, it is believed that light utilization efficiency can be improved by increasing the light emission intensity in the direction from the pixel toward the imaging lens array.
図2に有機EL素子を有する発光装置を拡大光学系を用いた表示装置において使用する場合の光線についての概略を示す。図で示すように発光装置2に対し拡大光学系6を用いる場合、機能領域(表示領域)の中心部では、表示面に対して正面方向に向かう光線を利用する。一方で、機能領域の外周部では表示面に対して斜め方向に向かう光を利用する。よって、機能表示領域の外周部では斜め方向への発光強度を高めることで光利用効率を向上させることができると考えられる。 Figure 2 shows an overview of the light rays when a light-emitting device having an organic EL element is used in a display device that uses a magnifying optical system. As shown in the figure, when a magnifying optical system 6 is used with the light-emitting device 2, the center of the functional area (display area) uses light rays that are directed in a direction directly toward the display surface. On the other hand, the periphery of the functional area uses light that is directed in an oblique direction toward the display surface. Therefore, it is thought that light utilization efficiency can be improved by increasing the light emission intensity in an oblique direction in the periphery of the functional display area.
本発明者らは本着想に至り、発光素子の発光領域から、発光強度を高めたい方向に中心をずらしてマイクロレンズを設けるという解決手段に至った。以下、図面を参照して、本発明を実施するための形態を説明する。尚、本明細書で特に図示又は記載されない部分に関しては、当該技術分野の周知又は公知技術を適用する。また、本発明は以下に説明する実施形態に限定されるものではない。 The inventors came up with this idea and arrived at a solution by displacing the center of a microlens from the light-emitting region of the light-emitting element in the direction in which the light-emitting intensity is desired to be increased. Below, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. Note that well-known or publicly known techniques in the relevant technical field apply to parts not specifically shown or described in this specification. Furthermore, the present invention is not limited to the embodiments described below.
また、以下の説明及び図面において、複数の図面に渡って共通の構成については共通の符号を付している。そのため、複数の図面を相互に参照して共通する構成を説明し、共通の符号を付した構成、材料、方法、効果等については適宜説明を省略する。 Furthermore, in the following description and drawings, common reference numerals are used to designate components that are common across multiple drawings. Therefore, the common components will be described by mutually referencing multiple drawings, and descriptions of the components, materials, methods, effects, etc. that are designated by common reference numerals will be omitted as appropriate.
(実施形態1)
以下で、本実施形態の発光装置の構成例について説明する。本実施形態では発光装置からの発光を、結像用レンズアレイを通して感光体上に照射して結像する露光システムの例について説明する。
(Embodiment 1)
An example of the configuration of the light emitting device of this embodiment will be described below. In this embodiment, an example of an exposure system will be described in which light emitted from the light emitting device is irradiated onto a photosensitive member through an imaging lens array to form an image.
本実施形態の発光装置は、基板の主面の上に配された発光素子と、該基板に固定され、該発光素子の発光領域からの光が入射するマイクロレンズと、を有する。該基板の主面に垂直な方向からの平面視において、該発光領域の中心と該マイクロレンズの中心は、該主面と平行な方向において距離をおいて離れている。 The light-emitting device of this embodiment has a light-emitting element arranged on the main surface of a substrate, and a microlens fixed to the substrate and onto which light from the light-emitting region of the light-emitting element is incident. In a plan view from a direction perpendicular to the main surface of the substrate, the center of the light-emitting region and the center of the microlens are separated by a distance in a direction parallel to the main surface.
発光領域及びマイクロレンズは複数配され、該主面に垂直な方向からの平面視において、例えば、第2発光領域の中心と第2マイクロレンズの中心は、該平行な方向において第1の発光領域の中心と第1マイクロレンズの中心との距離よりも小さくてもよい。 A plurality of light-emitting regions and microlenses may be arranged, and in a planar view from a direction perpendicular to the main surface, for example, the distance between the center of the second light-emitting region and the center of the second microlens may be smaller than the distance between the center of the first light-emitting region and the center of the first microlens in the parallel direction.
また、該平行な方向において、該第1マイクロレンズの中心から該第2マイクロレンズの中心までの距離と、該第1発光領域の中心から該第2発光領域の中心までの距離が異なっていてもよい。 Furthermore, in the parallel direction, the distance from the center of the first microlens to the center of the second microlens may be different from the distance from the center of the first light-emitting region to the center of the second light-emitting region.
更に、例えば、本実施形態の発光装置は、該基板の主面の上に配された第1乃至第3発光素子と、第1乃至第3発光素子の発光領域からの光がそれぞれ入射する第1乃至第3マイクロレンズと、を有する。また、第1乃至第3発光素子をそれぞれ有する第1乃至第3画素は、同じ色に属する光を出射し、第1乃至第3画素のみでみると、第2発光素子は、該主面に垂直な方向からの平面視において、第1発光素子と第3発光素子の間に隣り合って配されている。 Furthermore, for example, the light emitting device of this embodiment has first to third light emitting elements arranged on the main surface of the substrate, and first to third microlenses onto which light from the light emitting regions of the first to third light emitting elements is incident, respectively. Furthermore, the first to third pixels, each having the first to third light emitting elements, emit light of the same color, and when viewed from the first to third pixels alone, the second light emitting element is arranged adjacent to and between the first and third light emitting elements in a plan view perpendicular to the main surface.
このような構成において、該主面に垂直な方向からの平面視において、第1マイクロレンズの頂点と第2マイクロレンズの頂点との距離と、前記第2マイクロレンズの頂点と前記第3マイクロレンズの頂点との距離と、の差分をピッチ差Dとする。 In this configuration, when viewed in a plan view perpendicular to the main surface, the difference between the distance between the vertex of the first microlens and the vertex of the second microlens and the distance between the vertex of the second microlens and the vertex of the third microlens is defined as the pitch difference D.
この時、本実施形態の発光装置では、該平面視における、第2発光領域の中心と第2マイクロレンズの頂点との距離は、ピッチ差Dより大きい。 In this case, in the light-emitting device of this embodiment, the distance between the center of the second light-emitting region and the vertex of the second microlens in plan view is greater than the pitch difference D.
該主面に垂直な方向からの平面視において、第2発光領域の中心と第2マイクロレンズの頂点との距離は、第1発光領域の中心と第1マイクロレンズの頂点との距離よりも小さくてもよい。この時の距離とは、第1マイクロレンズの頂点と第2マイクロレンズの頂点を通る方向における距離(最短距離)を指す。 In a plan view perpendicular to the main surface, the distance between the center of the second light-emitting region and the vertex of the second microlens may be smaller than the distance between the center of the first light-emitting region and the vertex of the first microlens. In this case, the distance refers to the distance (shortest distance) in a direction passing through the vertex of the first microlens and the vertex of the second microlens.
また、該平行な方向において、マイクロレンズのピッチと発光領域のピッチは異なっていてもよい。例えば、第1マイクロレンズの頂点から第2マイクロレンズの頂点までの距離と、第1発光領域の中心から前記第2発光領域の中心までの距離が異なっていてもよい。 Furthermore, in the parallel direction, the pitch of the microlenses and the pitch of the light-emitting regions may be different. For example, the distance from the apex of the first microlens to the apex of the second microlens may be different from the distance from the center of the first light-emitting region to the center of the second light-emitting region.
より具体的な構成例について、図面を用いて説明する。図3(a)は本実施形態の発光装置を用いた露光システムの一部の一例を表す断面図であり、図3(b)は平面視した際の模式図である。平面視とは、基板の主面に対して垂直な方向(主面の法線方向)から発光装置を視た際の配置である。ここでは、基板の主面に対して垂直な方向からの平面視を示す。 A more specific configuration example will be described using the drawings. Figure 3(a) is a cross-sectional view showing an example of a portion of an exposure system using the light-emitting device of this embodiment, and Figure 3(b) is a schematic diagram when viewed from a plan view. A plan view refers to the arrangement of the light-emitting device when viewed from a direction perpendicular to the main surface of the substrate (the normal direction to the main surface). Here, a plan view from a direction perpendicular to the main surface of the substrate is shown.
発光装置は、発光素子100を有し、基板8上の発光素子100は、基板8の主面の上に配される第1電極11、発光層を含む有機層12、有機層12を挟んで第1電極11の上に配される第2電極13を有する。また、発光装置は、第1電極11の端部を覆い第1電極11上に開口を有し、バンクとして機能する絶縁層16、第2電極13の上に配される保護層14、及びマイクロレンズ15を有する。マイクロレンズ15には、発光素子から出射された光が入射する。 The light-emitting device has a light-emitting element 100, and the light-emitting element 100 on the substrate 8 has a first electrode 11 arranged on the main surface of the substrate 8, an organic layer 12 including a light-emitting layer, and a second electrode 13 arranged on the first electrode 11 with the organic layer 12 sandwiched between them. The light-emitting device also has an insulating layer 16 that covers the end of the first electrode 11, has an opening on the first electrode 11, and functions as a bank, a protective layer 14 arranged on the second electrode 13, and a microlens 15. Light emitted from the light-emitting element is incident on the microlens 15.
本実施形態では、マイクロレンズ15は発光素子100の発光領域17に対して、平面視した際に結像用レンズアレイ3に向かう方向Bにずれて配されている。本構成とすることで、マイクロレンズを形成しない場合やマイクロレンズと発光領域を平面視で重なるように形成した場合に比べて結像用レンズアレイ3に向かう方向の発光強度が高まり、発光層で発光した光の利用効率が向上する。効果の詳細については後述する。なお、発光素子の発光領域とは、該平面視において、絶縁層16の開口で第1電極11、発光層、及び第2電極13が積層されている部分を指す。 In this embodiment, the microlenses 15 are arranged offset in direction B toward the imaging lens array 3 relative to the light-emitting region 17 of the light-emitting element 100 in plan view. This configuration increases the light emission intensity in the direction toward the imaging lens array 3 compared to when no microlenses are formed or when the microlenses and light-emitting region are formed to overlap in plan view, improving the efficiency of use of light emitted by the light-emitting layer. Details of this effect will be described later. Note that the light-emitting region of the light-emitting element refers to the portion where the first electrode 11, light-emitting layer, and second electrode 13 are stacked in the opening of the insulating layer 16 in plan view.
各発光素子においてマイクロレンズと発光領域がずれているとは、平面視においてマイクロレンズの中心と発光領域の中心が重ならず、ある距離をおいて離れていることを指す。なお、マイクロレンズの中心とは、平面視において端部を結ぶ線で構成された形状(外形)の重心である。マイクロレンズの端部とは、マイクロレンズの断面図においてZ方向の高さが最も低い位置である。図3(a)では、マイクロレンズ15の断面が球面形状(一部欠けている球面、半球も球面形状に含む)であり、この場合、マイクロレンズ15の中心はマイクロレンズ15の頂点と一致する。 In each light-emitting element, the microlens and the light-emitting area are misaligned, meaning that the center of the microlens and the center of the light-emitting area do not overlap in a planar view, but are separated by a certain distance. The center of the microlens is the center of gravity of the shape (external shape) formed by the lines connecting the ends in a planar view. The end of the microlens is the position where the height in the Z direction is lowest in the cross-sectional view of the microlens. In Figure 3(a), the cross-section of microlens 15 is spherical (spherical shapes also include partially missing spheres and hemispheres), and in this case, the center of microlens 15 coincides with the vertex of microlens 15.
本実施形態では、マイクロレンズ15は発光領域に対してずれるように配されている。すなわち、基板8の発光素子100が配される面に対する平面視において、マイクロレンズ15の中心と発光領域の中心はある距離で離れている(一致しない)。また、ここではマイクロレンズ15の断面形状が球面であるため、マイクロレンズ15の頂点と発光領域の中心もある距離で離れている。 In this embodiment, the microlens 15 is positioned so as to be offset from the light-emitting area. That is, in a plan view of the surface of the substrate 8 on which the light-emitting elements 100 are arranged, the center of the microlens 15 and the center of the light-emitting area are separated by a certain distance (they do not coincide). In addition, because the cross-sectional shape of the microlens 15 here is spherical, the apex of the microlens 15 and the center of the light-emitting area are also separated by a certain distance.
本実施形態において、マイクロレンズ15のピッチ(基板8の発光素子100が配される面に対する平面視における、隣り合うマイクロレンズの中心間の距離)は一定である。また、発光素子のピッチ(該平面視において隣り合う発光素子10の発光領域の中心間の距離)も一定である。よって、マイクロレンズ15と発光領域10は、一定の距離(ズレ量)でずれて配される。 In this embodiment, the pitch of the microlenses 15 (the distance between the centers of adjacent microlenses in a planar view relative to the surface of the substrate 8 on which the light-emitting elements 100 are arranged) is constant. The pitch of the light-emitting elements (the distance between the centers of the light-emitting regions of adjacent light-emitting elements 10 in the planar view) is also constant. Therefore, the microlenses 15 and the light-emitting regions 10 are arranged with a constant offset (amount of offset).
また、発光素子のピッチとマイクロレンズ15のピッチが実質的に等しい。すなわち、本実施形態では平面視におけるマイクロレンズの中心と発光領域の中心との距離(マイクロレンズずらし量)が各発光素子において一定である例を示している。 Furthermore, the pitch of the light-emitting elements and the pitch of the microlenses 15 are substantially equal. In other words, this embodiment shows an example in which the distance between the center of the microlens and the center of the light-emitting area in a planar view (microlens shift amount) is constant for each light-emitting element.
マイクロレンズ15のピッチは、発光素子のピッチの0.1倍以上、20倍以下とすることができる。具体的には、発光素子のピッチは、例えば、0.1μm以上40μm以下、マイクロレンズ15のピッチは、0.01μm以上800μm以下とすることができる。また、本実施形態において、発光素子の第2電極13からマイクロレンズ15までの距離は、0.1μm以上1mm以下とすることができる。 The pitch of the microlenses 15 can be 0.1 to 20 times the pitch of the light-emitting elements. Specifically, the pitch of the light-emitting elements can be, for example, 0.1 μm to 40 μm, and the pitch of the microlenses 15 can be 0.01 μm to 800 μm. Furthermore, in this embodiment, the distance from the second electrode 13 of the light-emitting element to the microlenses 15 can be 0.1 μm to 1 mm.
基板8は第1電極11、有機層12、第2電極13を支持できる材料であればよい。例えば、ガラス、プラスチック、シリコン等を用いることができる。基板8にはトランジスタ等のスイッチング素子や配線や層間絶縁膜(不図示)などが配されていてもよい。 The substrate 8 may be made of any material that can support the first electrode 11, organic layer 12, and second electrode 13. For example, glass, plastic, silicon, etc. may be used. The substrate 8 may also be provided with switching elements such as transistors, wiring, an interlayer insulating film (not shown), etc.
第1電極11は、透明であっても、不透明であってもよい。不透明である場合には、発光波長での反射率が70%以上の金属材料が望ましい。AlやAgなどの金属やそれらにSi、Cu、Ni、Ndなどを添加した合金、また、ITO、IZO、AZO、IGZOを使用できる。なお、ここでの発光波長とは、有機層12から発光されるスペクトル範囲のことを指す。第1電極11は、所望の反射率よりも高ければ、Ti、W、Mo、Au、の金属やその合金などのバリア電極との積層電極としてもよく、ITO、IZOなどの透明酸化膜電極との積層電極としてもよい。 The first electrode 11 may be transparent or opaque. If it is opaque, a metal material with a reflectance of 70% or more at the emission wavelength is desirable. Metals such as Al and Ag, alloys of these with Si, Cu, Ni, Nd, etc., as well as ITO, IZO, AZO, and IGZO can be used. Note that the emission wavelength here refers to the spectral range emitted from the organic layer 12. As long as the first electrode 11 has a reflectance higher than the desired one, it may be a laminated electrode with a barrier electrode made of a metal such as Ti, W, Mo, or Au or an alloy thereof, or a laminated electrode with a transparent oxide film electrode such as ITO or IZO.
一方、第1電極11が透明電極である場合には、第1電極11の下部に更に反射層を設ける構成としてもよい。透明電極としては、例えば、ITO、IZO、AZO、IGZOなどを使用できる。後述する光学距離を最適化する目的で、反射層と透明導電膜の間に更に絶縁膜を設ける構成としてもよい。 On the other hand, if the first electrode 11 is a transparent electrode, a reflective layer may be further provided below the first electrode 11. Examples of transparent electrodes that can be used include ITO, IZO, AZO, and IGZO. To optimize the optical path (described later), an insulating film may be further provided between the reflective layer and the transparent conductive film.
第2電極13は、有機層12上に配置されていて、透光性を有している。第2電極13はその表面に到達した光の一部を透過するとともに他の一部を反射する性質(すなわち半透過反射性)を持った半透過材料であってもよい。 The second electrode 13 is disposed on the organic layer 12 and is light-transmitting. The second electrode 13 may be made of a semi-transparent material that transmits part of the light that reaches its surface and reflects the other part (i.e., semi-transparent and semi-reflective).
第2電極13の材料としては、例えば、透明導電酸化物のような透明材料を用いることができる。また、アルミニウムや銀や金などの単体金属、リチウムやセシウムなどのアルカリ金属、マグネシウムやカルシウムやバリウムなどのアルカリ土類金属、これらの金属材料を含んだ合金材料からなる半透過材料を用いることができる。半透過材料としては、特にマグネシウムや銀を主成分とする合金が好ましい。また第2電極13は、好ましい透過率を有するならば、上記材料を有する層の積層構成であってもよい。また、第2電極13は、複数の発光素子100によって共有されていてもよい。 The second electrode 13 may be made of a transparent material such as a transparent conductive oxide. Alternatively, a semi-transparent material made of an elemental metal such as aluminum, silver, or gold, an alkali metal such as lithium or cesium, or an alkaline earth metal such as magnesium, calcium, or barium, or an alloy containing these metal materials may be used. As a semi-transparent material, an alloy primarily composed of magnesium or silver is particularly preferable. The second electrode 13 may also have a stacked structure of layers containing the above materials, as long as it has a desired transmittance. The second electrode 13 may also be shared by multiple light-emitting elements 100.
第1電極11または第2電極13のいずれかが陽極であり、他方が陰極として機能する。すなわち、第1電極11が陽極であり、第2電極13が陰極であってもよく、その逆であってもよい。 Either the first electrode 11 or the second electrode 13 functions as an anode, and the other functions as a cathode. That is, the first electrode 11 may be an anode and the second electrode 13 may be a cathode, or vice versa.
有機層12は、第1電極11上に配置されていて、蒸着法やスピンコート法など公知の技術により形成することができる。 The organic layer 12 is disposed on the first electrode 11 and can be formed using known techniques such as vapor deposition or spin coating.
有機層12は、複数の層から構成されていてもよい。有機層が有機化合物層である場合には、複数の層としては、正孔注入層、正孔輸送層、電子ブロック層、発光層、正孔ブロック層、電子輸送層、電子注入層のいずれか1又はその組み合わせが挙げられる。 The organic layer 12 may be composed of multiple layers. When the organic layer is an organic compound layer, the multiple layers may include one or a combination of a hole injection layer, a hole transport layer, an electron blocking layer, a light-emitting layer, a hole blocking layer, an electron transport layer, and an electron injection layer.
発光層は、陽極から注入された正孔と陰極から注入された電子が有機化合物層において再結合することで、光を出射する。発光層の構成は単層でも複数層でもよい。各発光層のいずれかに赤色発光材料、緑色発光材料、赤色発光材料を有することができ、各発光色を混合することで、白色光を得ることも可能である。また、各発光層のいずれかに、青色発光材料と黄色発光材料などの補色同士の関係の発光材料を有していてもよい。 The light-emitting layer emits light when holes injected from the anode and electrons injected from the cathode recombine in the organic compound layer. The light-emitting layer may be a single layer or multiple layers. Any of the light-emitting layers may contain a red light-emitting material, a green light-emitting material, and a red light-emitting material, and white light can be obtained by mixing the emitted colors. Any of the light-emitting layers may also contain light-emitting materials of complementary colors, such as a blue light-emitting material and a yellow light-emitting material.
また、発光画素ごとに発光層に含まれる材料や構成を変更することで異なる色を発光してもよい。また、発光素子の1つ1つに発光層を設けてもよい。その場合、発光素子100ごとに、発光層をパターニングしてもよい。 Also, different colors may be emitted by changing the material or composition of the light-emitting layer for each light-emitting pixel. Alternatively, a light-emitting layer may be provided for each light-emitting element. In this case, the light-emitting layer may be patterned for each light-emitting element 100.
本実施形態に係る発光装置は、第一反射面と第二反射面と前記第一反射面と前記第二反射面との間に配置されている発光層とを有する素子を有してよい。上述の発光素子はこの構成を有してよい。第一反射面は、第1電極11であっても、第1電極11と絶縁層との間に配置されている反射層であってもよい。 The light-emitting device according to this embodiment may include an element having a first reflective surface, a second reflective surface, and a light-emitting layer disposed between the first reflective surface and the second reflective surface. The light-emitting element described above may have this configuration. The first reflective surface may be the first electrode 11, or a reflective layer disposed between the first electrode 11 and the insulating layer.
第一反射面と、発光層を含む有機層12の発光位置の光学距離を最適化するために、第一反射面の上面から有機層12の発光位置までの光路長Lr、反射層での位相シフトをΦrとすると、
Lr=(2m-(Φr/π))×(λ/4)・・・(1)
mは0以上の整数である。上記式(1)をおおよそ満たすように、第1電極11または第一反射面、有機層12の膜厚を最適にしてもよい。
In order to optimize the optical distance between the first reflecting surface and the light-emitting position of the organic layer 12 including the light-emitting layer, let Lr be the optical path length from the upper surface of the first reflecting surface to the light-emitting position of the organic layer 12, and Φr be the phase shift in the reflecting layer.
Lr=(2m-(Φr/π))×(λ/4)...(1)
m is an integer equal to or greater than 0. The film thickness of the first electrode 11 or the first reflecting surface and the organic layer 12 may be optimized so as to approximately satisfy the above formula (1).
また、発光位置から第二反射面までの間の光学距離Lsは、反射面での波長λの光が反射する際の位相シフトをΦsとすると、以下の式(2)をおおよそ満たす。本実施形態においてはm’=0である。
Ls=(2m’-(Φs/π))×(λ/4)=-(Φs/π)x(λ/4)・・・(2)
Furthermore, the optical distance Ls from the light-emitting position to the second reflecting surface approximately satisfies the following formula (2), where Φs is the phase shift that occurs when light of wavelength λ is reflected by the reflecting surface. In this embodiment, m′=0.
Ls=(2m'-(Φs/π))×(λ/4)=-(Φs/π)x(λ/4)...(2)
よって、全層干渉Lは下記条件をおおよそ満たす。
L=Lr+L=(2m-Φ/π)×(λ/4)・・・(3)
Therefore, the total layer interference L approximately satisfies the following condition:
L=Lr+L=(2m-Φ/π)×(λ/4)...(3)
ここでΦは波長λの光が第1電極11もしくは反射層と第2電極13で反射する際の位相シフトの和Φr+Φsである。 Here, Φ is the sum of the phase shifts Φr + Φs when light of wavelength λ is reflected by the first electrode 11 or the reflective layer and the second electrode 13.
ここで上述のおおよそ満たすとは、式(1)乃至式(3)において、許容範囲が、λ/8程度、または20nm程度であることを指す。 In this context, "approximately satisfying" means that the tolerance range in equations (1) to (3) is approximately λ/8 or approximately 20 nm.
なお、発光層の発光位置は、特定が困難な場合があるので、上記の構成では、発光位置を機能層の第一反射面側の界面または第二反射面側の界面で代用した。上述の許容範囲を考慮すれば、このように代用した場合であっても、光を強める効果を奏することができる。 Note that since it can be difficult to identify the light-emitting position of the light-emitting layer, in the above configuration, the interface on the first reflecting surface side or the interface on the second reflecting surface side of the functional layer is used as the light-emitting position. Taking into account the tolerance ranges mentioned above, even when using this substitution, the effect of intensifying light can be achieved.
保護層14は、絶縁層であり、透光性を有し、外部からの酸素や水分の透過性が低い無機材料を含むことが好ましい。例えば、保護層14は、シリコン窒化物(SiN)、シリコン酸窒化物(SiON)、シリコン酸化物(SiOx)、アルミニウム酸化物(Al2O3)、チタン酸化物(TiO2)などの無機材料を用いて作成することができる。特に保護性能の面において、SiN、SiON,Al2O3の無機材料が好ましい。保護層14の形成には化学気相堆積法(CVD法)、原子層堆積法(ALD法)、スパッタリング法を用いることが好ましい。 The protective layer 14 is an insulating layer, and preferably contains an inorganic material that is translucent and has low permeability to oxygen and moisture from the outside. For example, the protective layer 14 can be made using inorganic materials such as silicon nitride (SiN), silicon oxynitride (SiON), silicon oxide (SiO x ), aluminum oxide (Al 2 O 3 ), and titanium oxide (TiO 2 ). In particular, inorganic materials such as SiN, SiON, and Al 2 O 3 are preferred in terms of protective performance. The protective layer 14 is preferably formed by chemical vapor deposition (CVD), atomic layer deposition (ALD), or sputtering.
保護層14は十分な水分遮断性能があれば、単層構造であっても、上記材料や形成手法を組み合わせた積層構造であってもよい。例えば、窒化シリコンの層、原子堆積法による密度が高い層との積層であってよい。さらに、保護層14は、水分の遮断性能を保持していれば、有機層を有してもよい。有機層は例えば、ポリアクリレート、ポリイミド、ポリエステル、エポキシ等があげられる。 Protective layer 14 may have a single layer structure or a laminated structure that combines the above materials and formation methods, as long as it has sufficient moisture-blocking properties. For example, it may be a laminate of a silicon nitride layer and a high-density layer formed by atomic deposition. Furthermore, protective layer 14 may have an organic layer, as long as it maintains moisture-blocking properties. Examples of organic layers include polyacrylate, polyimide, polyester, and epoxy.
さらに、複数の発光素子100にまたがって保護層14が配置されていてもよい。 Furthermore, the protective layer 14 may be disposed across multiple light-emitting elements 100.
マイクロレンズ15は露光及び現像プロセスで形成することができる。具体的には、マイクロレンズを形成するための材料による膜(フォトレジスト膜)を形成し、連続的な階調変化を有するマスクを用いて、フォトレジスト膜を露光および現像を行う。このようなマスクとしては、グレーマスク、或いは、露光装置の解像度以下の遮光膜からなるドットの密度分布を変化させることで結像面に連続した階調を有する光照射を可能とする面積階調マスクを用いることが可能である。 The microlenses 15 can be formed using an exposure and development process. Specifically, a film (photoresist film) is formed from the material used to form the microlenses, and the photoresist film is exposed and developed using a mask with continuous gradation changes. Such a mask can be a gray mask, or an area gradation mask, which changes the density distribution of dots made of a light-shielding film below the resolution of the exposure device, allowing light to be irradiated with continuous gradations on the imaging surface.
また、露光および現像プロセスで形成したマイクロレンズに対して、エッチバックを行うことにより、レンズ形状を調整することが可能である。マイクロレンズの形状は、放射光を屈折させることができる形状であればよく、球面であっても、断面形状が非対称であってもよい。 In addition, the lens shape can be adjusted by etching back the microlenses formed by the exposure and development process. The shape of the microlenses can be any shape that can refract the emitted light, and they can be spherical or have an asymmetric cross-sectional shape.
本実施形態の効果について説明する。図4(a)に示すように、マイクロレンズと発光領域を平面視において重なるように配置した場合、発光領域から放出された光はマイクロレンズによって正面方向に集光される。よって、マイクロレンズを設けない場合と比較して正面方向の発光強度が向上する。一方、マイクロレンズを図4(b)に示すように発光領域からずらして配置すると、マイクロレンズを透過する際に光が屈折することで特定方向への発光強度が向上する。 The effects of this embodiment will be explained. As shown in Figure 4(a), when the microlens and light-emitting area are arranged so that they overlap in a planar view, the light emitted from the light-emitting area is focused in the front direction by the microlens. Therefore, the light emission intensity in the front direction is improved compared to when no microlens is provided. On the other hand, when the microlens is arranged offset from the light-emitting area as shown in Figure 4(b), the light is refracted as it passes through the microlens, improving the light emission intensity in a specific direction.
露光システムでは、上述のように、発光素子を有するチップが千鳥状配された場合、発光素子を有する画素は結像用レンズアレイの直下に配置されない。また、画素が副走査方向に複数配置される場合には、外側の画素からの光ほど結像用レンズアレイに向かう角度が大きくなる。よって、本実施形態のように特定方向への発光強度が向上した発光装置を用いることで、画素から結像用レンズアレイに向かう方向の発光強度を高めることができる。よって、光利用効率を向上した露光システムを提供することができる。 In an exposure system, as described above, when chips having light-emitting elements are arranged in a staggered pattern, pixels having light-emitting elements are not located directly below the imaging lens array. Furthermore, when multiple pixels are arranged in the sub-scanning direction, the angle at which light from the outer pixels is directed toward the imaging lens array increases. Therefore, by using a light-emitting device with improved light emission intensity in a specific direction, as in this embodiment, it is possible to increase the light emission intensity in the direction from the pixel toward the imaging lens array. This makes it possible to provide an exposure system with improved light utilization efficiency.
例えば、露光システムに用いられる発光装置は、発光領域と該発光領域からの光が入射するマイクロレンズのセットを複数有する。このとき、該複数のセットにおいて、基板8の発光素子100が配される面に対して平行な方向での発光領域の中心からマイクロレンズの中心に向かう方向が一方向であり、具体的には結像用レンズアレイ3に向かう方向である。これにより、該複数のセットが配される機能領域(発光領域)に配されるマイクロレンズを透過する光の、結像用レンズアレイに向かう方向の発光強度を高めることができる。よって、光利用効率が向上する。 For example, a light-emitting device used in an exposure system has multiple sets of light-emitting regions and microlenses onto which light from the light-emitting regions is incident. In this case, in the multiple sets, the direction from the center of the light-emitting region toward the center of the microlens in a direction parallel to the surface of the substrate 8 on which the light-emitting elements 100 are arranged is one direction, specifically the direction toward the imaging lens array 3. This makes it possible to increase the emission intensity of light passing through the microlenses arranged in the functional region (light-emitting region) where the multiple sets are arranged, in the direction toward the imaging lens array. This improves light utilization efficiency.
図5は、発光領域とマイクロレンズの関係を表した断面図である。図5には高さh、半径r、屈折率nのマイクロレンズが配されている。 Figure 5 is a cross-sectional view showing the relationship between the light-emitting area and the microlenses. Figure 5 shows microlenses with height h, radius r, and refractive index n.
発光領域から角度θ1で光が出射され、マイクロレンズのA点によってθ2の角度に光が曲げられている。このときの点Aにおけるマイクロレンズ表面の接線に対する法線の傾きを角度αとする。α+θ1をβとおくと、スネルの法則により、以下の式(1)が成り立つ。
1×sin(θ2+α)==n×sin(θ1+α)・・・(1)
Light is emitted from the light-emitting region at an angle θ1 and is bent at an angle θ2 by point A of the microlens. The angle at which the normal to the tangent to the microlens surface at point A is inclined is defined as angle α. If α + θ1 is defined as β, then the following equation (1) holds according to Snell's law:
1×sin(θ2+α)==n×sin(θ1+α)...(1)
式(1)をθ1について解くと、θ1は式(2)となる。
θ1=sin-1{sin(θ2+α)/n}―α・・・(2)
When equation (1) is solved for θ1, θ1 becomes equation (2).
θ1=sin -1 {sin(θ2+α)/n}-α...(2)
図5に示したように、発光領域からの光を広角側へ出射したい場合(θ2>θ1としたい場合)、αが正の領域、すなわち図5におけるマイクロレンズ頂点より右側の領域に入射する光が主に利用されることとなる。 As shown in Figure 5, when it is desired to emit light from the light-emitting area toward the wide-angle side (when θ2 > θ1 is desired), the light that enters the area where α is positive, i.e., the area to the right of the apex of the microlens in Figure 5, will be mainly used.
マイクロレンズの端部まで有効に利用するため、出射強度を強めたい所望の出射角θ2に対してマイクロレンズの全領域においてα<θ2であることが望ましい。 In order to effectively utilize the microlens right up to its edges, it is desirable that α<θ2 be satisfied across the entire area of the microlens, where θ2 is the desired emission angle at which the emission intensity is to be increased.
ここで、マイクロレンズの頂点と発光領域の中心からのずれ量をXshiftとする。所望の出射角θ2の出射強度を強めるためには、マイクロレンズ上の各点におけるαに対して上記式(2)を満たすθ1およびβが計算され、いずれかのβの方向に発光領域Xが存在するようXshiftが設定されればよい。 Here, Xshift is the amount of deviation between the vertex of the microlens and the center of the light-emitting area. To increase the emission intensity at the desired emission angle θ2, θ1 and β that satisfy equation (2) above are calculated for α at each point on the microlens, and Xshift is set so that the light-emitting area X exists in the direction of one of the βs.
実際にはマイクロレンズと発光領域の間にも保護層等があり、上記の式により決まるわけではない。しかし、上記の効果に基づいて、マイクロレンズを発光領域からずらして設ける構成とすることで、特定方向への発光強度が向上すると考えられ、光学系での光利用効率を向上させることができると考えられる。 In reality, there are protective layers and other layers between the microlenses and the light-emitting area, so the above formula does not determine this. However, based on the above effect, it is believed that by configuring the microlenses to be offset from the light-emitting area, the light intensity in a specific direction can be improved, and the light utilization efficiency of the optical system can be improved.
図3(a)では、マイクロレンズ15は保護層14の直上に一体で(連続して)形成されている例を示している。また、保護層14の凹凸を平坦化する目的で、保護層14とマイクロレンズ15の間に平坦化層を形成してもよい。また、マイクロレンズ15と保護層14の間、またはマイクロレンズ15と平坦化層の間にカラーフィルタが配されていてもよい。更に、マイクロレンズ15の上にカラーフィルタが配されていてもよい。 Figure 3(a) shows an example in which the microlenses 15 are formed integrally (continuously) directly on the protective layer 14. A planarizing layer may be formed between the protective layer 14 and the microlenses 15 in order to smooth out any irregularities in the protective layer 14. A color filter may also be disposed between the microlenses 15 and the protective layer 14, or between the microlenses 15 and the planarizing layer. Furthermore, a color filter may also be disposed on top of the microlenses 15.
図3(a)に示した発光装置において、カラーフィルタ18が配される例を図6(a)に示す。ここでは、マイクロレンズ15と保護層14の間にカラーフィルタが配される例を示す。また、ここでは、赤色、緑色、青色のカラーフィルタをそれぞれ有する画素が隣り合って配されている発光装置において、同じ色(例えば緑色)を発光する画素のみについて切り出しだした例を示す。 Figure 6(a) shows an example in which a color filter 18 is arranged in the light-emitting device shown in Figure 3(a). Here, an example is shown in which a color filter is arranged between the microlens 15 and the protective layer 14. Also, here, an example is shown in which only pixels that emit light of the same color (e.g., green) are cut out from a light-emitting device in which pixels having red, green, and blue color filters are arranged adjacent to each other.
同じ色の光を出射する画素について、基板8の発光素子100が配されている面に対する平面視において隣り合って配される3つの画素について、本実施形態の発光装置は以下の関係を満たす。該平面視において、発光領域の中心とマイクロレンズの頂点との距離Xは、マイクロレンズ15aの頂点と第2マイクロレンズの頂点15bとの距離と、マイクロレンズ15bの頂点とマイクロレンズの頂点15cとの距離との差分より大きい。ここで、図6(a)ではマイクロレンズ15のピッチは一定のため、発光領域の中心とマイクロレンズの頂点(ここでは頂点)がずれて配されることとなる。 For pixels that emit light of the same color, the light-emitting device of this embodiment satisfies the following relationship for three pixels that are arranged adjacently in a planar view relative to the surface of the substrate 8 on which the light-emitting elements 100 are arranged. In this planar view, the distance X between the center of the light-emitting region and the vertex of the microlens is greater than the difference between the distance between the vertex of microlens 15a and the vertex 15b of the second microlens, and the distance between the vertex of microlens 15b and the vertex 15c of the microlens. In Figure 6(a), the pitch of the microlenses 15 is constant, so the center of the light-emitting region and the vertex of the microlens (the vertex in this case) are arranged with a misalignment.
よって、特定方向への発光強度を向上させることができ、光学系(結像用レンズアレイ3や買う第光学系6)での光利用効率を向上させることができる。 This makes it possible to improve the light emission intensity in a specific direction and improve the light utilization efficiency in the optical system (imaging lens array 3 and third optical system 6).
また、図6(b)に示すように、マイクロレンズ15を別の基板に形成し、発光素子100に対向するように張り合わせてもよい。例えば、マイクロレンズ15は、接着剤により基板8に固定される。この時、接着剤は、保護層14とマイクロレンズ15の間でも、平坦化層とマイクロレンズ15の間でもよい。また、マイクロレンズ15と保護層14(または平坦化層、カラーフィルタ)との間に空間が配され、マイクロレンズ15が発光装置の端部において、基板8に接着剤により固定されていてもよい。 Alternatively, as shown in FIG. 6(b), the microlens 15 may be formed on a separate substrate and attached to it so as to face the light-emitting element 100. For example, the microlens 15 may be fixed to the substrate 8 with an adhesive. In this case, the adhesive may be between the protective layer 14 and the microlens 15, or between the planarization layer and the microlens 15. Alternatively, a space may be provided between the microlens 15 and the protective layer 14 (or the planarization layer, or the color filter), and the microlens 15 may be fixed to the substrate 8 with an adhesive at the edge of the light-emitting device.
この場合でも、図6(c)に示すように、発光領域からずらして配置することで、マイクロレンズを透過する際に光が屈折し、特定方向への発光強度が向上する。よって、光学系での光利用効率を向上させることができる。 Even in this case, as shown in Figure 6(c), by positioning the microlens offset from the light-emitting area, the light is refracted as it passes through the microlens, increasing the light emission intensity in a specific direction. This improves the light utilization efficiency of the optical system.
マイクロレンズ15と保護層14とを一体で形成する場合、別の基板に形成して張り合わせる場合よりもマイクロレンズ15と発光素子100との距離を短くできる。よって、発光層からマイクロレンズへ入射する光の立体角が広がるため、光取り出し効率が向上する。 When the microlens 15 and protective layer 14 are formed integrally, the distance between the microlens 15 and the light-emitting element 100 can be made shorter than when they are formed on separate substrates and then bonded together. This widens the solid angle of light incident on the microlens from the light-emitting layer, improving light extraction efficiency.
一方、マイクロレンズ15と発光素子100が配される基板8を別で作成して張り合わせることで、マイクロレンズ15の製造方法の選択肢が増やせるため、マイクロレンズ15の設計の自由度が向上する。 On the other hand, by separately creating the substrate 8 on which the microlens 15 and light-emitting element 100 are arranged and then bonding them together, the options for manufacturing the microlens 15 can be increased, thereby improving the design freedom of the microlens 15.
次に、マイクロレンズ15と発光領域の配置例を示す。図3(a)及び(b)では、発光素子1つに対してマイクロレンズ1つを設ける例を示しているが、図7(a)に示すように発光素子1つに対して複数のマイクロレンズを設けてもよい。また、図7(b)に示すように複数の発光素子に対して1つのマイクロレンズを共有するように設けてもよい。1つの発光素子100に対して複数のマイクロレンズ15を設ける場合、図7(a)に示すように各マイクロレンズ15の中心C1およびC2の中点C3と発光領域の中心がある距離を置いて離れていれば(ずれていれば)よい。 Next, an example of the arrangement of microlenses 15 and light-emitting areas is shown. Figures 3(a) and (b) show an example in which one microlens is provided for one light-emitting element, but multiple microlenses may be provided for one light-emitting element, as shown in Figure 7(a). Also, one microlens may be shared by multiple light-emitting elements, as shown in Figure 7(b). When multiple microlenses 15 are provided for one light-emitting element 100, it is sufficient that the midpoint C3 of the centers C1 and C2 of each microlens 15 and the center of the light-emitting area are separated (shifted) by a certain distance, as shown in Figure 7(a).
1つの発光素子に対して3つ以上のマイクロレンズ15を設ける場合で、各マイクロレンズ15の中心が直線上に無い場合は、各マイクロレンズの中心を結んでできる図形の重心と発光領域の中心がずれていればよい。 When three or more microlenses 15 are provided for one light-emitting element and the centers of the microlenses 15 are not on a straight line, it is sufficient that the center of gravity of the figure formed by connecting the centers of the microlenses is offset from the center of the light-emitting area.
複数の発光素子に対して1つのマイクロレンズを共有するように設ける場合、図7(b)に示すように各発光領域の中心C4およびC5の中点C6の中心とマイクロレンズの中心がずれていればよい。1つのマイクロレンズ15を3つ以上の発光素子が共有するように設ける場合で、各発光領域の中心が直線上に無い場合は、各発光領域の中心を結んでできる図形の重心とマイクロレンズ15の中心がずれていればよい。この時、マイクロレンズは、シリンドリカル形状であってもよい。 When one microlens is shared by multiple light-emitting elements, the center of the microlens needs to be offset from the center of the midpoint C6 between the centers C4 and C5 of each light-emitting area, as shown in Figure 7(b). When one microlens 15 is shared by three or more light-emitting elements, and the centers of the light-emitting areas are not on a straight line, the center of gravity of the figure formed by connecting the centers of the light-emitting areas needs to be offset from the center of the microlens 15. In this case, the microlens may be cylindrical.
また、本実施形態では、マイクロレンズ15が、基板8の主面に垂直な方向での断面において球面である場合を示したが、マイクロレンズ15の形状は、これに限定されない。例えば、図8に示すように、該断面において、マイクロレンズ15の頂点がマイクロレンズ15の中心からずれている、非球面レンズであってもよい。この場合でも、本実施形態の構成とし、発光領域とマイクロレンズ15をずらして配することで、光学系の光利用効率を向上することができる。 In addition, in this embodiment, the microlens 15 is shown to have a spherical surface in a cross section perpendicular to the main surface of the substrate 8, but the shape of the microlens 15 is not limited to this. For example, as shown in FIG. 8, the microlens 15 may be an aspherical lens in which the apex of the microlens 15 is offset from the center of the microlens 15 in the cross section. Even in this case, by using the configuration of this embodiment and arranging the light-emitting region and the microlens 15 so that they are offset, the light utilization efficiency of the optical system can be improved.
本実施形態では、発光装置を露光システムに適用した場合について説明したが、発光装置はこれに限定されない。例えば、発光装置は表示装置であってもよい。 In this embodiment, the light-emitting device is described as being applied to an exposure system, but the light-emitting device is not limited to this. For example, the light-emitting device may also be a display device.
例えば、図2のように発光装置を拡大光学系において使用する、表示装置や表示撮像装置等の場合、機能領域(表示領域)の中心部では、表示面に対して正面方向に向かう光線を利用する。一方で、機能領域の周辺部では表示面に対して斜め方向に向かう光を利用する。 For example, in the case of a display device or display imaging device that uses a light-emitting device in a magnifying optical system as shown in Figure 2, the center of the functional area (display area) uses light rays that are directed in a frontal direction relative to the display surface. On the other hand, the periphery of the functional area uses light that is directed in an oblique direction relative to the display surface.
本実施形態の構成のように、マイクロレンズを図4(b)に示すように発光領域からずらして配置すると、マイクロレンズを透過する際に光が屈折することで特定方向への発光強度が向上する。よって、機能領域の周辺部において、本実施形態の構成を用いることで、表示面に対して斜め方向に向かう光の発光強度を高めることができる。したがって、光利用効率を向上した表示装置、及び表示撮像装置を提供することができる。 When the microlenses are positioned offset from the light-emitting area as shown in Figure 4(b), as in the configuration of this embodiment, the light is refracted as it passes through the microlenses, thereby improving the light emission intensity in a specific direction. Therefore, by using the configuration of this embodiment in the periphery of the functional area, it is possible to increase the light emission intensity of light directed in an oblique direction relative to the display surface. This makes it possible to provide a display device and a display/imaging device with improved light utilization efficiency.
(実施形態2)
本実施形態の発光装置について、図面を用いて説明する。本実施形態では、発光装置を表示装置として適用した場合の例について説明する。具体的には、発光装置からの発光を、拡大光学系を通して視認する表示装置の例について説明する。なお、本実施形態の発光装置の構成については、マイクロレンズずらし量が異なること以外は第1実施形態と同様の構成を用いることができる。よって、重複部分についての説明は省略する。
(Embodiment 2)
The light emitting device of this embodiment will be described with reference to the drawings. In this embodiment, an example in which the light emitting device is applied as a display device will be described. Specifically, an example of a display device in which light emitted from the light emitting device is visually recognized through a magnifying optical system will be described. Note that the configuration of the light emitting device of this embodiment can be the same as that of the first embodiment, except that the amount of shifting of the microlenses is different. Therefore, a description of the overlapping parts will be omitted.
図9(a)は本実施形態の発光装置を用いた表示装置の一部の一実施形態を表す断面図であり、図9(b)は発光素子100とマイクロレンズ15の配置を説明するための図である。また、図9(c)は、本実施形態の発光装置を用いた表示装置の一部の平面模式図である。 Figure 9(a) is a cross-sectional view showing one embodiment of a portion of a display device using the light-emitting device of this embodiment, and Figure 9(b) is a diagram illustrating the arrangement of the light-emitting element 100 and the microlens 15. Also, Figure 9(c) is a schematic plan view of a portion of a display device using the light-emitting device of this embodiment.
本実施形態では、表示領域(機能領域)の中心部では、マイクロレンズ15は発光領域17に対してずれが無く配されている。すなわち、表示領域の中心部では、基板8の発光素子10が配される面に対する平面視において、マイクロレンズ15の中心と発光領域の中心の距離は実質的に0である(製造上の誤差を含む)。また、ここではマイクロレンズ15の断面形状が球面であるため、マイクロレンズ15の頂点と発光領域の中心の距離も実質的0である(一致する)。 In this embodiment, in the center of the display area (functional area), the microlens 15 is positioned without any misalignment with the light-emitting area 17. That is, in the center of the display area, in a plan view of the surface of the substrate 8 on which the light-emitting elements 10 are arranged, the distance between the center of the microlens 15 and the center of the light-emitting area is essentially zero (including manufacturing errors). Also, because the cross-sectional shape of the microlens 15 here is spherical, the distance between the vertex of the microlens 15 and the center of the light-emitting area is also essentially zero (they coincide).
一方、表示領域の周辺部では、マイクロレンズ15は発光領域17に対して外側にずれるように配されている。すなわち、表示領域の周辺部では、基板8の発光素子100が配される面に対する平面視において、マイクロレンズ15の中心と発光領域の中心はある距離で離れている(一致しない)。また、ここではマイクロレンズ15の断面形状が球面であるため、マイクロレンズ15の頂点と発光領域の中心もある距離で離れている。 On the other hand, in the peripheral part of the display area, the microlenses 15 are arranged so as to be shifted outward relative to the light-emitting area 17. In other words, in the peripheral part of the display area, in a plan view of the surface of the substrate 8 on which the light-emitting elements 100 are arranged, the center of the microlenses 15 and the center of the light-emitting area are separated by a certain distance (they do not coincide). In addition, because the cross-sectional shape of the microlenses 15 here is spherical, the vertex of the microlenses 15 and the center of the light-emitting area are also separated by a certain distance.
本実施形態において、マイクロレンズ15のピッチ(基板8の発光素子100が配される面に対する平面視における、隣り合うマイクロレンズの中心間の距離)は一定である。また、発光素子のピッチ(該平面視において隣り合う発光素子100の発光領域の中心間の距離)も一定である。一方、マイクロレンズ15のピッチと発光素子100のピッチは異なる。よって、中心部でマイクロレンズ15と発光素子100がずれが無く配されていても、周辺部では、マイクロレンズ15と発光素子100がずれて配されることとなる。 In this embodiment, the pitch of the microlenses 15 (the distance between the centers of adjacent microlenses in a planar view relative to the surface of the substrate 8 on which the light-emitting elements 100 are arranged) is constant. The pitch of the light-emitting elements (the distance between the centers of the light-emitting regions of adjacent light-emitting elements 100 in the planar view) is also constant. However, the pitch of the microlenses 15 and the pitch of the light-emitting elements 100 are different. Therefore, even if the microlenses 15 and light-emitting elements 100 are arranged without any misalignment in the center, the microlenses 15 and light-emitting elements 100 will be arranged with a misalignment in the periphery.
ここで、表示領域(機能領域)とは、基板8において発光素子100が配された領域を指し、機能領域の周辺に駆動回路やパッド等が配されていてもよい。 Here, the display area (functional area) refers to the area on the substrate 8 where the light-emitting elements 100 are arranged, and drive circuits, pads, etc. may be arranged around the functional area.
本実施形態に係る発光装置のより具体的な構成について、説明する。表示領域の左側の周辺部では、マイクロレンズ15が発光領域に対して図9(a)の左方向(C方向)にずれて配され、表示領域の右側の周辺部の発光素子では右方向(D方向)にずれて配される。図9(b)に示すように、表示領域の中心部E’の位置ではマイクロレンズ15と発光領域17の中心はずれていない。 A more specific configuration of the light-emitting device according to this embodiment will now be described. In the left peripheral portion of the display area, the microlenses 15 are arranged offset to the left (direction C) in Figure 9(a) relative to the light-emitting area, while in the light-emitting elements in the right peripheral portion of the display area, they are arranged offset to the right (direction D). As shown in Figure 9(b), at the center E' of the display area, the microlenses 15 and the center of the light-emitting area 17 are not offset.
一方、表示領域の周辺部Eに向かう方向の隣の画素では、マイクロレンズ15は発光領域17の中心と距離300aだけずれて配置されている。また、表示領域の周辺部Aに向かう方向の隣の画素では、マイクロレンズ15の中心は発光領域17の中心と距離300bだけずれて配置されている。すなわち、機能領域において、発光領域の中心とマイクロレンズの中心の距離(ずれ)が小さい発光素子が、より中心側に配されている。 On the other hand, in the adjacent pixel in the direction toward the peripheral part E of the display area, the microlens 15 is positioned at a distance 300a offset from the center of the light-emitting area 17. Furthermore, in the adjacent pixel in the direction toward the peripheral part A of the display area, the center of the microlens 15 is positioned at a distance 300b offset from the center of the light-emitting area 17. In other words, in the functional area, light-emitting elements with a smaller distance (offset) between the center of the light-emitting area and the center of the microlens are positioned closer to the center.
発光装置を拡大光学系において使用する、表示装置や表示撮像装置等の場合、機能領域(表示領域)の中心部では、表示面に対して正面方向に向かう光線を利用する。一方で、機能領域の周辺部では表示面に対して斜め方向に向かう光を利用する。 In the case of display devices, display imaging devices, etc., where light-emitting devices are used in magnifying optical systems, light rays directed in a frontal direction toward the display surface are used in the center of the functional area (display area). On the other hand, light directed in an oblique direction toward the display surface is used in the peripheral area of the functional area.
したがって、本実施形態の構成とすることで、機能領域の周辺部において、マイクロレンズ15を透過する光の特定方向への発光強度が向上する。よって、機能領域の周辺部において、表示面に対して斜め方向に向かう光の発光強度を高めることができる。したがって、光利用効率を向上した表示装置、及び表示撮像装置を提供することができる。 Therefore, with the configuration of this embodiment, the emission intensity of light passing through the microlenses 15 in a specific direction is improved in the peripheral area of the functional area. This makes it possible to increase the emission intensity of light directed obliquely toward the display surface in the peripheral area of the functional area. This makes it possible to provide a display device and a display/imaging device with improved light utilization efficiency.
例えば、本実施形態の表示装置は、発光領域と該発光領域からの光が入射するマイクロレンズのセットを複数有する。この場合、該複数のセットにおいて、基板8の発光素子100が配される面に対して平行な方向での、発光領域の中心からマイクロレンズの頂点に向かう方向が、該複数のセットが配される機能領域の中心部から周辺部に向かう方向である。これにより、機能領域の周辺部において、マイクロレンズ15を透過する光の周辺方向、すなわち、表示面に対して斜め方向に向かう光の発光強度を高めることができる。したがって、光利用効率を向上した表示装置、及び表示撮像装置を提供することができる。 For example, the display device of this embodiment has multiple sets of light-emitting regions and microlenses onto which light from the light-emitting regions is incident. In this case, the direction from the center of the light-emitting region to the vertex of the microlens in the multiple sets, parallel to the surface of the substrate 8 on which the light-emitting elements 100 are arranged, is the direction from the center to the periphery of the functional region in which the multiple sets are arranged. This makes it possible to increase the emission intensity of light passing through the microlenses 15 in the peripheral direction, i.e., light directed obliquely to the display surface, in the periphery of the functional region. Therefore, it is possible to provide a display device and a display/imaging device with improved light utilization efficiency.
本実施形態では発光素子ごとに異なる色が射出される構成とすることで、フルカラー表示を可能としてもよい。フルカラー表示を実現する方法として、上記のように白色有機EL素子とカラーフィルタを使った方式を用いてもよいし、各発光素子で発光層をパターニングして異なる色を発する構成としてもよい。 In this embodiment, a full-color display can be achieved by configuring each light-emitting element to emit a different color. To achieve a full-color display, a method using white organic EL elements and color filters, as described above, can be used, or the light-emitting layer of each light-emitting element can be patterned to emit a different color.
また、先に述べた第一反射面と第二反射面との距離を発光素子ごとに異ならせることでフルカラー表示を可能としてもよい。第一反射面と第二反射面との距離を異ならせる構成とすることで、各発光素子で発光層を共有しながら異なる色の発光が射出され、発光層をパターニングする方法よりも発光層の製造プロセスが容易となる。 Furthermore, full-color display can be achieved by varying the distance between the first and second reflecting surfaces for each light-emitting element. By varying the distance between the first and second reflecting surfaces, each light-emitting element can emit light of a different color while sharing the same light-emitting layer, making the manufacturing process for the light-emitting layer easier than with methods that pattern the light-emitting layer.
発光素子100を複数配置する場合の平面配列は、ストライプ配列、スクエア配列、デルタ配列、ペンタイル配列、ベイヤー配列のいずれの方式でもよい。図9(a)~(c)ではデルタ配列の場合の配列例を示している。マイクロレンズ15のサイズや形状は配列方式に応じて適宜設定されてよい。例えばストライプ配列とする場合は、図7(a)に示したように長尺状のマイクロレンズを複数画素にまたがって配置してもよいし、図7(b)に示したように半球状のマイクロレンズを1画素内に複数配置してもよい。 When arranging multiple light-emitting elements 100, the planar arrangement may be any of the following: stripe arrangement, square arrangement, delta arrangement, pentile arrangement, and Bayer arrangement. Figures 9(a) to 9(c) show an example of an arrangement in the case of a delta arrangement. The size and shape of the microlenses 15 may be set appropriately depending on the arrangement method. For example, in the case of a stripe arrangement, elongated microlenses may be arranged across multiple pixels as shown in Figure 7(a), or multiple hemispherical microlenses may be arranged within one pixel as shown in Figure 7(b).
本実施形態において、カラーフィルタ18は、保護層14の上に配置されていてもよい。カラーフィルタ18a、18b、18cはそれぞれ異なる色を透過するカラーフィルタであってよく、例えば、それぞれ赤色、緑色、青色の光を透過するカラーフィルタであってもよい。図9(a)において、カラーフィルタ18は、保護層14とマイクロレンズ15の間に配されている。 In this embodiment, the color filter 18 may be disposed on the protective layer 14. The color filters 18a, 18b, and 18c may be color filters that transmit different colors, for example, color filters that transmit red, green, and blue light, respectively. In Figure 9(a), the color filter 18 is disposed between the protective layer 14 and the microlens 15.
ここで、実施形態1同様、同じ色(例えば緑色)の光を出射する画素について、基板8の発光素子100が配されている面に対する平面視において隣り合って配される3つの画素について、本実施形態の発光装置は以下の関係を満たす。該平面視において、発光領域の中心とマイクロレンズの頂点との距離Xは、マイクロレンズ15aの頂点と第2マイクロレンズの頂点15bとの距離と、マイクロレンズ15bの頂点とマイクロレンズの頂点15cとの距離との差分より大きい。ここで、図9(a)ではマイクロレンズ15のピッチは一定のため、発光領域の中心とマイクロレンズの頂点(ここでは頂点)がずれて配されることとなる。 As in embodiment 1, for pixels that emit light of the same color (e.g., green), the light-emitting device of this embodiment satisfies the following relationship for three pixels that are arranged adjacently in a planar view relative to the surface of the substrate 8 on which the light-emitting elements 100 are arranged: In this planar view, the distance X between the center of the light-emitting region and the vertex of the microlens is greater than the difference between the distance between the vertex of microlens 15a and the vertex 15b of the second microlens, and the distance between the vertex of microlens 15b and the vertex 15c of the microlens. In Figure 9(a), the pitch of the microlenses 15 is constant, so the center of the light-emitting region and the vertex of the microlens (the vertex in this case) are arranged with a misalignment.
よって、特定方向への発光強度を向上させることができ、光学系での光利用効率を向上させることができる。 This allows for increased light emission intensity in a specific direction, improving the light utilization efficiency in the optical system.
なお、1つの画素に対応するマイクロレンズ15が、平面視において該画素の発光領域の中心と重なる画素のみ示しているが、発光装置はこれに限定されない。機能領域(表示領域)全域で図9(a)に示すような上記画素が配されていてもよい。また、機能領域の周辺部では、1つの画素に対応するマイクロレンズ15が、平面視において該画素の発光領域の中心と重ならない画素が配されていてもよい。このような構成を有することで、機能領域の中心側から周辺部に向かう角度の大きな光(斜め光)を周辺部で利用したい場合に、該斜め光の利用効率を向上することができる。 Note that while only pixels in which the microlens 15 corresponding to one pixel overlaps the center of the light-emitting area of that pixel in a planar view are shown, the light-emitting device is not limited to this. Pixels such as those shown in Figure 9(a) may be arranged throughout the entire functional area (display area). Furthermore, in the peripheral area of the functional area, pixels in which the microlens 15 corresponding to one pixel does not overlap the center of the light-emitting area of that pixel in a planar view may be arranged. This configuration improves the utilization efficiency of oblique light when it is desired to utilize light at a large angle (oblique light) from the center of the functional area toward the periphery in the peripheral area.
本実施形態では3色の光を透過するカラーフィルタを用いてフルカラー表示可能な例を示したが、これに限らず、カラーフィルタ18は一部または全部を省略してもよい。図10(a)に、カラーフィルタを省略した場合を示す。この場合、発光装置は、発光素子100を白色発光として、白色発光の発光装置であってもよい。また、発光素子100における発光層を作り分け、発光素子からの出射光の色を異ならせることで、カラー表示を行ってもよい。 In this embodiment, an example has been shown in which full color display is possible using color filters that transmit three colors of light, but this is not limiting, and the color filters 18 may be omitted in part or in whole. Figure 10(a) shows a case in which the color filters are omitted. In this case, the light emitting device may be a white light emitting device, with the light emitting element 100 emitting white light. Furthermore, color display may be achieved by creating different light emitting layers in the light emitting element 100 and varying the color of light emitted from the light emitting element.
カラーフィルタとマイクロレンズの積層順は適宜選択されてよい。図9では、カラーフィルタよりも光取り出し側にマイクロレンズを設ける例を示している。この順で積層されることでマイクロレンズに入射する光はカラーフィルタを通過した光のみとなるため、隣接する画素の意図しない発光色の素子外への出射が抑制され、表示品位が向上するため好ましい。 The stacking order of the color filters and microlenses may be selected as appropriate. Figure 9 shows an example in which the microlenses are located closer to the light extraction side than the color filters. By stacking them in this order, the only light that enters the microlenses is light that has passed through the color filters, which is preferable because it prevents unintended emission of colors emitted from adjacent pixels from leaving the element, improving display quality.
平面視における各画素のカラーフィルタ18の中心と発光領域の中心との距離(カラーフィルタずらし量)は適宜設定できる。発光領域からの光がカラーフィルタ18を通過してマイクロレンズへと至る光路を考えると、図9(a)に示すように、カラーフィルタずらし量を0以上、マイクロレンズずらし量以下の範囲で設定することが、光の透過を妨げにくいと考えられ好ましい。 The distance between the center of the color filter 18 of each pixel and the center of the light-emitting region in a planar view (color filter offset amount) can be set as appropriate. Considering the optical path of light from the light-emitting region passing through the color filter 18 and reaching the microlens, it is preferable to set the color filter offset amount in the range of 0 or more and the microlens offset amount or less, as shown in Figure 9(a), as this is thought to be less likely to impede light transmission.
カラーフィルタは図9(a)に示したように、保護層14上に一体で形成し、更にマイクロレンズも一体で形成してもよいし、別基板に形成して対向するように張り合わせてもよい。カラーフィルタ18と保護層14を一体として形成することで、フォトリソグラフィプロセスを用いて、カラーフィルタを発光領域に対して位置精度良く形成できる。また、カラーフィルタ18、マイクロレンズ15、及びと保護層14を一体で形成することで、発光領域、カラーフィルタ18、及びとマイクロレンズ15の位置関係を精度よく形成できる。 As shown in Figure 9(a), the color filters are formed integrally on the protective layer 14, and the microlenses may also be formed integrally, or may be formed on separate substrates and attached facing each other. By forming the color filters 18 and protective layer 14 integrally, the color filters can be formed with high positional accuracy relative to the light-emitting area using a photolithography process. Furthermore, by forming the color filters 18, microlenses 15, and protective layer 14 integrally, the positional relationship between the light-emitting area, color filters 18, and microlenses 15 can be formed with high precision.
本実施の形態では、マイクロレンズ15が球面マイクロレンズである例について説明したが、本実施形態の発光装置はこれに限定されない。例えば、図11に示すように、レンズの中心と頂点がずれている非球面レンズを用いてもよい。図11では、表示装置の機能領域において、中心部の画素のマイクロレンズ15が球面レンズであり、その周囲(周辺部)の画素のマイクロレンズ15が非球面レンズである例を示す。この場合にも、本実施形態の発光装置を用いることで、周辺部において、画素から斜めに出射さえる光の発光強度を向上することができる。よって、光学系における光利用効率を向上することができる。 In this embodiment, an example has been described in which the microlenses 15 are spherical microlenses, but the light-emitting device of this embodiment is not limited to this. For example, as shown in FIG. 11, aspherical lenses in which the center and vertex of the lens are offset may also be used. FIG. 11 shows an example in which, in the functional area of the display device, the microlenses 15 of the central pixel are spherical lenses, and the microlenses 15 of the surrounding (peripheral) pixels are aspherical lenses. In this case, too, by using the light-emitting device of this embodiment, it is possible to improve the emission intensity of light obliquely emitted from the pixels in the peripheral area. This makes it possible to improve the light utilization efficiency in the optical system.
また、図10(b)に示すように、マイクロレンズ15を別基板に形成し、貼り合わせる構成としてもよい。マイクロレンズ15を、発光素子100を有する基板8とは別の基板を用いて作成することで、マイクロレンズ15の作製時の加工方法(温度等)の自由度が高くなり、マイクロレンズ15の設計の自由度が上がる。また、図10(c)に示すように、マイクロレンズ15とカラーフィルタ18を別基板に作成し、発光素子100を有する基板8に貼り合わせて発光装置を作製してもよい。このように構成することで、カラーフィルタ18及びマイクロレンズ15の作成時、設計の自由度を上げることができる。 Alternatively, as shown in FIG. 10(b), the microlens 15 may be formed on a separate substrate and then bonded to it. Creating the microlens 15 using a substrate separate from the substrate 8 carrying the light-emitting element 100 increases the degree of freedom in the processing method (temperature, etc.) used when creating the microlens 15, and therefore increases the degree of freedom in designing the microlens 15. Alternatively, as shown in FIG. 10(c), the microlens 15 and color filter 18 may be created on separate substrates and then bonded to the substrate 8 carrying the light-emitting element 100 to create a light-emitting device. This configuration increases the degree of freedom in designing the color filter 18 and microlens 15 when creating them.
この場合、実施形態1と同様に、マイクロレンズ15やカラーフィルタ15は、基板8に接着剤により固定される。詳細については、実施形態1と同様のため説明は省略する。 In this case, as in embodiment 1, the microlenses 15 and color filters 15 are fixed to the substrate 8 with adhesive. Details are the same as in embodiment 1, so a detailed explanation will be omitted.
以上、表示装置の例について説明したが、本実施形態の発光装置の適用例は、これに限定されない。例えば、発光装置を露光システムに適用してもよい。本実施形態の露光システムの発光装置の一部の断面図は図10(a)のB-B‘と同様である。これに、図3(a)に示すように、結像用レンズアレイ3が配される。また、図10(a)発光装置の機能領域の一部を平面視した場合の模式図は、図10(c)と同様となる。 The above describes an example of a display device, but application examples of the light-emitting device of this embodiment are not limited to this. For example, the light-emitting device may be applied to an exposure system. A cross-sectional view of part of the light-emitting device of this embodiment's exposure system is similar to B-B' in Figure 10(a). An imaging lens array 3 is arranged on this, as shown in Figure 3(a). Furthermore, a schematic plan view of part of the functional area of the light-emitting device of Figure 10(a) is similar to Figure 10(c).
本実施形態では結像用レンズアレイの直下から離れて配置される発光素子ほどマイクロレンズずらし量が大きくなる構成としている。各発光素子におけるマイクロレンズずらし量は各発光素子から結像用レンズアレイに向かう角度に応じて設定することができる。よって、本実施形態の本構成とすることで、実施形態1と同様に、光利用効率を向上させることができる。 In this embodiment, the amount of microlens shift increases the further the light-emitting element is positioned from directly below the imaging lens array. The amount of microlens shift for each light-emitting element can be set according to the angle from each light-emitting element toward the imaging lens array. Therefore, by using this configuration in this embodiment, it is possible to improve light utilization efficiency, just like in embodiment 1.
(実施形態3)
[有機発光素子の構成]
有機発光素子は、基板の上に、陽極、有機化合物層、陰極を形成して設けられる。陰極の上には、保護層、カラーフィルタ等を設けてよい。カラーフィルタを設ける場合は、保護層との間に平坦化層を設けてよい。平坦化層はアクリル樹脂等で構成することができる。
(Embodiment 3)
[Configuration of organic light-emitting element]
The organic light-emitting element is provided by forming an anode, an organic compound layer, and a cathode on a substrate. A protective layer, a color filter, etc. may be provided on the cathode. When a color filter is provided, a planarizing layer may be provided between the protective layer and the color filter. The planarizing layer may be made of acrylic resin or the like.
[基板]
基板は、石英、ガラス、シリコンウエハ、樹脂、金属等が挙げられる。また、基板上には、トランジスタなどのスイッチング素子や配線を備え、その上に絶縁層を備えてもよい。絶縁層としては、陽極2と配線の導通を確保するために、コンタクトホールを形成可能で、かつ接続しない配線との絶縁を確保できれば、材料は問わない。例えば、ポリイミド等の樹脂、酸化シリコン、窒化シリコンなどを用いることができる。
[substrate]
Examples of the substrate include quartz, glass, a silicon wafer, a resin, and a metal. Furthermore, the substrate may be provided with a switching element such as a transistor and wiring, and an insulating layer thereon. Any material can be used for the insulating layer, as long as it allows for the formation of a contact hole to ensure electrical continuity between the anode 2 and the wiring, and ensures insulation from unconnected wiring. For example, resins such as polyimide, silicon oxide, silicon nitride, etc. can be used.
[電極]
電極は、一対の電極を用いることができる。一対の電極は、陽極と陰極であってよい。有機発光素子が発光する方向に電界を印加する場合に、電位が高い電極が陽極であり、他方が陰極である。また、発光層にホールを供給する電極が陽極であり、電子を供給する電極が陰極であるということもできる。
[electrode]
A pair of electrodes can be used. The pair of electrodes may be an anode and a cathode. When an electric field is applied in the direction in which the organic light-emitting element emits light, the electrode with a higher potential is the anode, and the other is the cathode. It can also be said that the electrode that supplies holes to the light-emitting layer is the anode, and the electrode that supplies electrons is the cathode.
陽極の構成材料としては仕事関数がなるべく大きいものが良い。例えば、金、白金、銀、銅、ニッケル、パラジウム、コバルト、セレン、バナジウム、タングステン、等の金属単体やこれらを含む混合物、あるいはこれらを組み合わせた合金が使用できる。また、例えば、酸化錫、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化錫インジウム(ITO)、酸化亜鉛インジウム等の金属酸化物が使用できる。更に、ポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェン等の導電性ポリマーも使用できる。 The material that makes up the anode should preferably have as high a work function as possible. For example, simple metals such as gold, platinum, silver, copper, nickel, palladium, cobalt, selenium, vanadium, and tungsten, mixtures containing these metals, or alloys combining these metals, can be used. Metal oxides such as tin oxide, zinc oxide, indium oxide, indium tin oxide (ITO), and zinc indium oxide can also be used. Furthermore, conductive polymers such as polyaniline, polypyrrole, and polythiophene can also be used.
これらの電極物質は一種類を単独で使用してもよいし、二種類以上を併用して使用してもよい。また、陽極は一層で構成されていてもよく、複数の層で構成されていてもよい。 One of these electrode materials may be used alone, or two or more may be used in combination. The anode may consist of a single layer or multiple layers.
反射電極として用いる場合には、例えばクロム、アルミニウム、銀、チタン、タングステン、モリブデン、又はこれらの合金、積層したものなどを用いることができる。また、透明電極として用いる場合には、酸化インジウム錫(ITO)、酸化インジウム亜鉛などの酸化物透明導電層などを用いることができるが、これらに限定されるものではない。電極の形成には、フォトリソグラフィ技術を用いることができる。 When used as a reflective electrode, for example, chromium, aluminum, silver, titanium, tungsten, molybdenum, or alloys or laminates of these can be used. Furthermore, when used as a transparent electrode, transparent conductive oxide layers such as indium tin oxide (ITO) and indium zinc oxide can be used, but are not limited to these. Electrodes can be formed using photolithography techniques.
一方、陰極の構成材料としては仕事関数の小さなものがよい。例えばリチウム等のアルカリ金属、カルシウム等のアルカリ土類金属、アルミニウム、チタニウム、マンガン、銀、鉛、クロム等の金属単体またはこれらを含む混合物が挙げられる。あるいはこれら金属単体を組み合わせた合金も使用することができる。例えばマグネシウム-銀、アルミニウム-リチウム、アルミニウム-マグネシウム、銀-銅、亜鉛-銀等が使用できる。酸化錫インジウム(ITO)等の金属酸化物の利用も可能である。これらの電極物質は一種類を単独で使用してもよいし、二種類以上を併用して使用してもよい。また陰極は一層構成でもよく、多層構成でもよい。中でも銀を用いることが好ましく、銀の凝集を抑制するため、銀合金とすることがさらに好ましい。銀の凝集が抑制できれば、合金の比率は問わない。例えば、1:1であってよい。 On the other hand, materials with a low work function are preferred for the cathode. Examples include alkali metals such as lithium, alkaline earth metals such as calcium, and metals such as aluminum, titanium, manganese, silver, lead, and chromium, as well as mixtures containing these. Alloys combining these metals can also be used. For example, magnesium-silver, aluminum-lithium, aluminum-magnesium, silver-copper, and zinc-silver can be used. Metal oxides such as indium tin oxide (ITO) can also be used. These electrode materials can be used alone or in combination. The cathode can have either a single-layer or multi-layer structure. Among these, silver is preferred, and a silver alloy is even more preferred to prevent silver aggregation. The alloy ratio is not important as long as silver aggregation can be prevented. For example, a 1:1 ratio is acceptable.
陰極は、ITOなどの酸化物導電層を使用してトップエミッション素子としてもよいし、アルミニウム(Al)などの反射電極を使用してボトムエミッション素子としてもよいし、特に限定されない。陰極の形成方法としては、特に限定されないが、直流及び交流スパッタリング法などを用いると、膜のカバレッジがよく、抵抗を下げやすいためより好ましい。 The cathode may be a top-emission element using an oxide conductive layer such as ITO, or a bottom-emission element using a reflective electrode such as aluminum (Al), and is not particularly limited. The method for forming the cathode is not particularly limited, but DC and AC sputtering methods are preferred, as they provide good film coverage and are easy to use to reduce resistance.
[保護層]
陰極の上に、保護層を設けてもよい。例えば、陰極上に吸湿剤を設けたガラスを接着することで、有機化合物層に対する水等の浸入を抑え、表示不良の発生を抑えることができる。また、別の実施形態としては、陰極上に窒化ケイ素等のパッシベーション膜を設け、有機EL層に対する水等の浸入を抑えてもよい。例えば、陰極形成後に真空を破らずに別のチャンバーに搬送し、CVD法で厚さ2μmの窒化ケイ素膜を形成することで、保護層としてもよい。CVD法の成膜の後で原子堆積法(ALD法)を用いた保護層を設けてもよい。
[Protective layer]
A protective layer may be provided on the cathode. For example, by adhering glass provided with a moisture absorbent on the cathode, it is possible to prevent water and the like from penetrating into the organic compound layer and suppress the occurrence of display defects. In another embodiment, a passivation film such as silicon nitride may be provided on the cathode to prevent water and the like from penetrating into the organic EL layer. For example, after forming the cathode, the device may be transported to another chamber without breaking the vacuum, and a silicon nitride film having a thickness of 2 μm may be formed by a CVD method to serve as a protective layer. A protective layer may be provided using atomic layer deposition (ALD) after the CVD film formation.
[カラーフィルタ]
保護層の上にカラーフィルタを設けてもよい。例えば、有機発光素子のサイズを考慮したカラーフィルタを別の基板上に設け、それと有機発光素子を設けた基板と貼り合わせてもよいし、上記で示した保護層上にフォトリソグラフィ技術を用いて、カラーフィルタをパターニングしてもよい。カラーフィルタは、高分子で構成されてよい。
[Color filter]
A color filter may be provided on the protective layer. For example, a color filter taking into consideration the size of the organic light-emitting element may be provided on a separate substrate and then bonded to the substrate on which the organic light-emitting element is provided, or a color filter may be patterned on the protective layer described above using photolithography technology. The color filter may be made of a polymer.
[平坦化層]
カラーフィルタと保護層との間に平坦化層を有してもよい。平坦化層は有機化合物で構成されてよく、低分子であっても、高分子であってもよいが、高分子であることが好ましい。
[Planarization layer]
A planarizing layer may be provided between the color filter and the protective layer. The planarizing layer may be made of an organic compound, and may be either a low molecular weight or a high molecular weight, but is preferably a high molecular weight.
平坦化層は、カラーフィルタの上下に設けられてもよく、その構成材料は同じであっても異なってもよい。具体的には、ポリビニルカルバゾール樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエステル樹脂、ABS樹脂、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、シリコン樹脂、尿素樹脂等があげられる。 The planarization layer may be provided above or below the color filter, and may be made of the same or different materials. Specific examples include polyvinyl carbazole resin, polycarbonate resin, polyester resin, ABS resin, acrylic resin, polyimide resin, phenolic resin, epoxy resin, silicone resin, and urea resin.
[対向基板]
平坦化層の上には、対向基板を有してよい。対向基板は、前述の基板と対応する位置に設けられるため、対向基板と呼ばれる。対向基板の構成材料は、前述の基板と同じであってよい。
[Counter substrate]
A counter substrate may be provided on the planarization layer. The counter substrate is called a counter substrate because it is provided at a position corresponding to the aforementioned substrate. The counter substrate may be made of the same material as the aforementioned substrate.
[有機層]
一実施の形態に係る有機発光素子を構成する有機化合物層(正孔注入層、正孔輸送層、電子阻止層、発光層、正孔阻止層、電子輸送層、電子注入層等)は、以下に示す方法により形成される。
[Organic layer]
The organic compound layers (hole injection layer, hole transport layer, electron blocking layer, light emitting layer, hole blocking layer, electron transport layer, electron injection layer, etc.) constituting the organic light emitting element according to one embodiment are formed by the method shown below.
一実施の形態に係る有機発光素子を構成する有機化合物層は、真空蒸着法、イオン化蒸着法、スパッタリング、プラズマ等のドライプロセスを用いることができる。またドライプロセスに代えて、適当な溶媒に溶解させて公知の塗布法(例えば、スピンコーティング、ディッピング、キャスト法、LB法、インクジェット法等)により層を形成するウェットプロセスを用いることもできる。 The organic compound layer constituting the organic light-emitting device according to one embodiment can be formed using dry processes such as vacuum deposition, ionization deposition, sputtering, and plasma. Instead of a dry process, a wet process can also be used in which the compound is dissolved in an appropriate solvent and a layer is formed using a known coating method (e.g., spin coating, dipping, casting, LB method, inkjet method, etc.).
ここで真空蒸着法や溶液塗布法等によって層を形成すると、結晶化等が起こりにくく経時安定性に優れる。また塗布法で成膜する場合は、適当なバインダー樹脂と組み合わせて膜を形成することもできる。 Here, if a layer is formed using a vacuum deposition method or solution coating method, crystallization is unlikely to occur and the layer has excellent stability over time. Furthermore, when forming a film using a coating method, it is also possible to form a film by combining it with an appropriate binder resin.
上記バインダー樹脂としては、ポリビニルカルバゾール樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエステル樹脂、ABS樹脂、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、シリコン樹脂、尿素樹脂等が挙げられる。上記は例であり、バインダー樹脂は、これらに限定されるものではない。 Examples of the binder resin include polyvinyl carbazole resin, polycarbonate resin, polyester resin, ABS resin, acrylic resin, polyimide resin, phenol resin, epoxy resin, silicone resin, and urea resin. These are just examples, and the binder resin is not limited to these.
また、これらバインダー樹脂は、ホモポリマー又は共重合体として一種類を単独で使用してもよいし、二種類以上を混合して使用してもよい。さらに必要に応じて、公知の可塑剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤等の添加剤を併用してもよい。 These binder resins may be used singly as homopolymers or copolymers, or as a mixture of two or more types. If necessary, known additives such as plasticizers, antioxidants, and ultraviolet absorbers may also be used in combination.
[発光装置の用途]
第1実施形態または第2実施の形態に係る発光装置は各種電子機器の表示部として用いることができる。たとえば、デジタルカメラ、ビデオカメラ、ヘッドマウントディスプレイ(ゴーグル型ディスプレイ)、ゲーム機、カーナビゲーション、パーソナルコンピュータ、携帯情報端末、電子書籍、テレビ受像機等が挙げられる。以下に図面を用いて具体例を説明する。
[Use of light-emitting device]
The light-emitting device according to the first or second embodiment can be used as a display unit for various electronic devices, such as digital cameras, video cameras, head-mounted displays (goggle-type displays), game consoles, car navigation systems, personal computers, personal digital assistants, electronic books, and television sets. Specific examples are described below with reference to the drawings.
図12は、半導体装置の表示装置としての適用例の一例である。第1実施形態または第2実施の形態に係る発光装置を用いた表示装置は、カメラのビューファインダ、ヘッドマウントディスプレイ、スマートグラスのような情報表示装置に適用できる。 Figure 12 shows an example of an application of a semiconductor device as a display device. A display device using the light-emitting device according to the first or second embodiment can be applied to information display devices such as camera viewfinders, head-mounted displays, and smart glasses.
図12(a)は、カメラ等の撮像装置のビューファインダとして用いた一例の概略構成図である。表示装置212からは表示光217と赤外光218が出射され、表示光と赤外光とが同一の光学部材222を通って、ユーザーの眼球216に達する。ユーザーの眼球216で反射した赤外光は撮像素子を有する撮像装置223で電気情報に変換され、その情報に基づいて視線の検出がなされる。撮像装置を設ける代わりに、表示装置1の絶縁層上に撮像素子を設けて、表示撮像装置として用いてもよい。 Figure 12(a) is a schematic diagram of an example used as a viewfinder for an imaging device such as a camera. Display light 217 and infrared light 218 are emitted from the display device 212, and the display light and infrared light pass through the same optical member 222 to reach the user's eyeball 216. The infrared light reflected by the user's eyeball 216 is converted into electrical information by an imaging device 223 having an imaging element, and the line of sight is detected based on this information. Instead of providing an imaging device, an imaging element may be provided on the insulating layer of the display device 1, and it may be used as a display imaging device.
図12(b)は、カメラ等の撮像装置の一例である。撮像装置224は、ビューファインダ225、ディスプレイ226、操作部227、筐体228を有する。図12(a)の表示装置は、ビューファインダ225に設けられている。 Figure 12(b) shows an example of an imaging device such as a camera. The imaging device 224 has a viewfinder 225, a display 226, an operation unit 227, and a housing 228. The display device in Figure 12(a) is provided in the viewfinder 225.
図12(a)では、表示光217と赤外光218が同一の光学部材222を通る例を示したが、表示光と赤外光で別の光学部材を設けてもよい。また、撮像装置を設ける代わりに、表示装置212の基板上に撮像素子を設けて、表示撮像装置として用いてもよい。検出した視線情報は、カメラのピント制御、表示画像の解像度制御、ボタン操作の代替など、表示装置や表示装置と接続される種々の機器の制御に用いることができる。 In Figure 12(a), an example is shown in which the display light 217 and infrared light 218 pass through the same optical member 222, but separate optical members may be provided for the display light and infrared light. Furthermore, instead of providing an imaging device, an imaging element may be provided on the substrate of the display device 212 and used as a display imaging device. Detected line-of-sight information can be used to control the display device and various devices connected to the display device, such as for camera focus control, display image resolution control, and as a substitute for button operation.
本実施の形態に係る、発光装置を有する表示装置は、受光素子を有する撮像装置を有し、撮像装置からのユーザーの視線情報に基づいて表示装置の表示画像を制御してよい。 In this embodiment, the display device having a light-emitting device may have an imaging device having a light-receiving element, and may control the image displayed on the display device based on user line-of-sight information from the imaging device.
具体的には、表示装置は、視線情報に基づいて、ユーザーが注視する第一の視界領域と、第一の視界領域以外の第二の視界領域とを決定される。第一の視界領域、第二の視界領域は、表示装置の制御装置が決定してもよいし、外部の制御装置が決定したものを受信してもよい。表示装置の表示領域において、第一の視界領域の表示解像度を第二の視界領域の表示解像度よりも高く制御してよい。つまり、第二の視界領域の解像度を第一の視界領域よりも低くしてよい。 Specifically, the display device determines a first field of view area where the user gazes and a second field of view area other than the first field of view area based on the line-of-sight information. The first field of view area and second field of view area may be determined by a control device of the display device, or may be received from an external control device. In the display area of the display device, the display resolution of the first field of view area may be controlled to be higher than the display resolution of the second field of view area. In other words, the resolution of the second field of view area may be lower than that of the first field of view area.
また、表示領域は、第一の表示領域、第一の表示領域とは異なる第二の表示領域とを有し、視線情報に基づいて、第一の表示領域および第二の表示領域から優先度が高い領域を決定される。第一の視界領域、第二の視界領域は、表示装置の制御装置が決定してもよいし、外部の制御装置が決定したものを受信してもよい。優先度の高い領域の解像度を、優先度が高い領域以外の領域の解像度よりも高く制御してよい。つまり優先度が相対的に低い領域の解像度を低くしてよい。 The display area also includes a first display area and a second display area different from the first display area, and a high priority area is determined from the first display area and the second display area based on line-of-sight information. The first field of view area and the second field of view area may be determined by a control device of the display device, or may be received from an external control device. The resolution of the high priority area may be controlled to be higher than the resolution of areas other than the high priority area. In other words, the resolution of areas with relatively low priority may be lowered.
なお、第一の視界領域や優先度が高い領域の決定には、AIを用いてもよい。AIは、眼球の画像と当該画像の眼球が実際に視ていた方向とを教師データとして、眼球の画像から視線の角度、視線の先の目的物までの距離を推定するよう構成されたモデルであってよい。AIプログラムは、表示装置が有しても、撮像装置が有しても、外部装置が有してもよい。外部装置が有する場合は、通信を介して、表示装置に伝えられる。 Note that AI may be used to determine the first field of view area and high-priority areas. The AI may be a model configured to estimate the angle of gaze and the distance to an object in the line of sight from the image of the eyeball, using as training data an image of the eyeball and the direction in which the eyeball in the image was actually looking. The AI program may be included in the display device, the imaging device, or an external device. If included in an external device, it is transmitted to the display device via communication.
視認検知に基づいて表示制御する場合、外部を撮像する撮像装置を更に有するスマートグラスに好ましく適用できる。スマートグラスは、撮像した外部情報をリアルタイムで表示することができる。 When display control is based on visual recognition detection, it is preferably applied to smart glasses that also have an imaging device that captures images of the outside world. The smart glasses can display captured external information in real time.
他にも、赤外光を受光する受光素子を有する第一の撮像装置と、第一の撮像装置と異なる受光素子を備え、外部を撮像するための第二の撮像装置とを有し、第一の撮像装置のユーザーの視線情報に基づいて、第二の撮像装置の撮像解像度を制御してよい。撮像の解像度を優先された領域に比べて、他の領域を低下させることで、情報量を低減できる。このため、消費電力の低減、表示遅延の低減が図れる。優先される領域を第一の撮像領域、第一の撮像領域よりも優先度が低い領域を第二の撮像領域としてよい。 Alternatively, a system may include a first imaging device having a light-receiving element that receives infrared light, and a second imaging device having a light-receiving element different from that of the first imaging device for capturing images of the outside world, and control the imaging resolution of the second imaging device based on the user's line of sight information of the first imaging device. By lowering the imaging resolution of other areas compared to a prioritized area, the amount of information can be reduced, thereby reducing power consumption and display delays. The prioritized area may be the first imaging area, and an area with a lower priority than the first imaging area may be the second imaging area.
図12(c)は、スマートグラスの一例を示す模式図である。スマートグラスに代表される撮像表示装置229は、制御部230と透明表示部231と不図示の外部撮像部とを有している。スマートグラスに適用した場合、検出された視線情報に基づいて、表示装置と外部撮像装置の両方を制御することができ、消費電力や表示遅延の低減が図れる。例えば、表示領域の内、ユーザーが注視している領域以外の領域の表示と撮像の解像度を低下させることで、撮像と表示の双方の情報量を削減でき、消費電力や表示遅延が低減できる。 Figure 12(c) is a schematic diagram showing an example of smart glasses. An imaging and display device 229, typified by smart glasses, has a control unit 230, a transparent display unit 231, and an external imaging unit (not shown). When applied to smart glasses, both the display device and the external imaging device can be controlled based on detected gaze information, reducing power consumption and display delays. For example, by lowering the display and imaging resolution of areas of the display area other than the area the user is gazing at, the amount of information in both imaging and display can be reduced, reducing power consumption and display delays.
また、第1実施形態または第2実施の形態に係る発光装置を有する表示装置は、下記表示装置や照明装置の構成部材として用いることができる。他にも、電子写真方式の画像形成装置の露光光源や液晶表示装置のバックライト、白色光源にカラーフィルタを有する発光装置等の用途がある。 In addition, a display device having a light-emitting device according to the first or second embodiment can be used as a component of the display device or lighting device described below. Other applications include an exposure light source for an electrophotographic image forming device, a backlight for a liquid crystal display device, and a light-emitting device with a white light source and a color filter.
表示装置は、エリアCCD、リニアCCD、メモリーカード等からの画像情報を入力する画像入力部を有し、入力された情報を処理する情報処理部を有し、入力された画像を表示部に表示する画像情報処理装置でもよい。 The display device may be an image information processing device that has an image input unit that inputs image information from an area CCD, linear CCD, memory card, etc., has an information processing unit that processes the input information, and displays the input image on the display unit.
また、撮像装置やインクジェットプリンタが有する表示部は、タッチパネル機能を有していてもよい。このタッチパネル機能の駆動方式は、赤外線方式でも、静電容量方式でも、抵抗膜方式であっても、電磁誘導方式であってもよく、特に限定されない。また表示装置はマルチファンクションプリンタの表示部に用いられてもよい。 The display unit of the imaging device or inkjet printer may also have a touch panel function. The driving method for this touch panel function is not particularly limited and may be an infrared method, a capacitance method, a resistive film method, or an electromagnetic induction method. The display device may also be used in the display unit of a multifunction printer.
次に、図面を参照しながら本実施の形態に係る表示装置につい説明する。図13は、有機発光素子とこの有機発光素子に接続されるTFT素子とを有する表示装置の例を示す断面模式図である。TFT素子は、能動素子の一例である。 Next, a display device according to this embodiment will be described with reference to the drawings. Figure 13 is a cross-sectional view showing an example of a display device having an organic light-emitting element and a TFT element connected to the organic light-emitting element. The TFT element is an example of an active element.
図13の表示装置300は、ガラス等の基板301とその上部にTFT素子又は有機化合物層を保護するための防湿膜302が設けられている。また符号303は金属のゲート電極303である。符号304はゲート絶縁膜304であり、305は半導体層である。 The display device 300 in Figure 13 has a substrate 301 made of glass or the like, and a moisture-proof film 302 on top of it to protect the TFT elements or organic compound layers. Also, reference numeral 303 denotes a metal gate electrode 303. Reference numeral 304 denotes a gate insulating film 304, and 305 denotes a semiconductor layer.
TFT素子308は、半導体層305とドレイン電極306とソース電極307とを有している。TFT素子308の上部には絶縁膜309が設けられている。コンタクトホール310を介して有機発光素子を構成する陽極311とソース電極307とが接続されている。 The TFT element 308 has a semiconductor layer 305, a drain electrode 306, and a source electrode 307. An insulating film 309 is provided on top of the TFT element 308. An anode 311 constituting the organic light-emitting element is connected to the source electrode 307 via a contact hole 310.
尚、有機発光素子に含まれる電極(陽極、陰極)とTFTに含まれる電極(ソース電極、ドレイン電極)との電気接続の方式は、図13に示される態様に限られるものではない。つまり陽極又は陰極のうちいずれか一方とTFT素子ソース電極またはドレイン電極のいずれか一方とが電気接続されていればよい。 The electrical connection method between the electrodes (anode, cathode) included in the organic light-emitting element and the electrodes (source electrode, drain electrode) included in the TFT is not limited to the form shown in Figure 13. In other words, it is sufficient that either the anode or cathode is electrically connected to either the source electrode or drain electrode of the TFT element.
図13の表示装置300では有機化合物層を1つの層の如く図示をしているが、有機化合物層312は、複数層であってもよい。陰極313の上には有機発光素子の劣化を抑制するための第一の保護層314や第二の保護層315が設けられている。 In the display device 300 of Figure 13, the organic compound layer is illustrated as a single layer, but the organic compound layer 312 may be multiple layers. A first protective layer 314 and a second protective layer 315 are provided on the cathode 313 to prevent deterioration of the organic light-emitting element.
図13の表示装置300ではスイッチング素子としてトランジスタを使用しているが、これに代えてMIM素子をスイッチング素子として用いてもよい。 The display device 300 in Figure 13 uses transistors as switching elements, but MIM elements may alternatively be used as switching elements.
また図13の表示装置300に使用されるトランジスタは、単結晶シリコンウエハを用いたトランジスタに限らず、基板の絶縁性表面上に活性層を有する薄膜トランジスタでもよい。活性層として、単結晶シリコン、アモルファスシリコン、微結晶シリコンなどの非単結晶シリコン、インジウム亜鉛酸化物、インジウムガリウム亜鉛酸化物等の非単結晶酸化物半導体が挙げられる。尚、薄膜トランジスタはTFT素子とも呼ばれる。 Furthermore, the transistors used in the display device 300 of Figure 13 are not limited to transistors using single-crystal silicon wafers, but may also be thin-film transistors having an active layer on the insulating surface of a substrate. Examples of active layers include single-crystal silicon, amorphous silicon, microcrystalline silicon, and other non-single-crystal silicon, as well as non-single-crystal oxide semiconductors such as indium zinc oxide and indium gallium zinc oxide. Thin-film transistors are also called TFT elements.
図13の表示装置300に含まれるトランジスタは、Si基板等の基板内に形成されていてもよい。ここで基板内に形成されるとは、Si基板等の基板自体を加工してトランジスタを作製することを意味する。つまり、基板内にトランジスタを有することは、基板とトランジスタとが一体に形成されていると見ることもできる。 The transistors included in the display device 300 of Figure 13 may be formed within a substrate such as a Si substrate. Here, "formed within a substrate" means that the substrate itself, such as a Si substrate, is processed to create the transistors. In other words, having a transistor within a substrate can also be seen as the substrate and transistor being formed integrally.
本実施形態に係る有機発光素子はスイッチング素子の一例であるTFTにより発光輝度が制御され、有機発光素子を複数面内に設けることでそれぞれの発光輝度により画像を表示することができる。尚、本実施形態に係るスイッチング素子は、TFTに限られず、低温ポリシリコンで形成されているトランジスタ、Si基板等の基板上に形成されたアクティブマトリクスドライバーであってもよい。基板上とは、その基板内ということもできる。基板内にトランジスタを設けるか、TFTを用いるかは、表示部の大きさによって選択され、例えば0.5インチ程度の大きさであれば、Si基板上に有機発光素子を設けることが好ましい。 The light emission brightness of the organic light-emitting element according to this embodiment is controlled by a TFT, which is an example of a switching element. By arranging multiple organic light-emitting elements on a surface, an image can be displayed based on the respective light emission brightnesses. Note that the switching element according to this embodiment is not limited to a TFT, and may also be a transistor formed from low-temperature polysilicon, or an active matrix driver formed on a substrate such as a Si substrate. "On the substrate" can also be referred to as "within the substrate." Whether to provide a transistor within the substrate or to use a TFT is selected depending on the size of the display unit; for example, for a size of about 0.5 inches, it is preferable to arrange the organic light-emitting element on a Si substrate.
図14は、本実施の形態に係る表示装置の一例を表す模式図である。表示装置1000は、上部カバー1001と、下部カバー1009と、の間に、タッチパネル1003、表示パネル1005、フレーム1006、回路基板1007、バッテリー1008、を有してよい。タッチパネル1003および表示パネル1005は、フレキシブルプリント回路FPC1002、1004が接続されている。回路基板1007には、トランジスタがプリントされている。バッテリー1008は、表示装置が携帯機器でなければ、設けなくてもよいし、携帯機器であっても、別の位置に設けてもよい。 Figure 14 is a schematic diagram showing an example of a display device according to this embodiment. The display device 1000 may have a touch panel 1003, a display panel 1005, a frame 1006, a circuit board 1007, and a battery 1008 between an upper cover 1001 and a lower cover 1009. The touch panel 1003 and the display panel 1005 are connected by flexible printed circuits FPCs 1002 and 1004. Transistors are printed on the circuit board 1007. The battery 1008 may not be provided if the display device is not a portable device, and may be provided in a different location even if the display device is a portable device.
本実施の形態に係る表示装置1000は、複数のレンズを有する光学部と、当該光学部を通過した光を受光する撮像素子とを有する光電変換装置の表示部に用いられてよい。光電変換装置は、撮像素子が取得した情報を表示する表示部を有してよい。また、撮像素子が取得した情報を用いて情報を取得し、表示部は、それとは別の情報を表示するものであってもよい。表示部は、光電変換装置の外部に露出した表示部であっても、ファインダ内に配置された表示部であってもよい。光電変換装置は、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラであってよい。 The display device 1000 according to this embodiment may be used as a display unit of a photoelectric conversion device having an optical unit with multiple lenses and an image sensor that receives light that has passed through the optical unit. The photoelectric conversion device may have a display unit that displays information acquired by the image sensor. Alternatively, the display unit may acquire information using information acquired by the image sensor, and display information different from that information. The display unit may be a display unit exposed to the outside of the photoelectric conversion device, or a display unit located within the viewfinder. The photoelectric conversion device may be a digital camera or a digital video camera.
図15(a)は、本実施の形態に係る光電変換装置の一例を表す模式図である。光電変換装置1100は、ビューファインダ1101、背面ディスプレイ1102、操作部1103、筐体1104を有してよい。ビューファインダ1101は、第1実施形態または第2実施の形態に係る発光装置を表示装置として有してよい。その場合、表示装置は、撮像する画像のみならず、環境情報、撮像指示等を表示してよい。環境情報には、外光の強度、外光の向き、被写体の動く速度、被写体が遮蔽物に遮蔽される可能性等であってよい。 Figure 15(a) is a schematic diagram showing an example of a photoelectric conversion device according to this embodiment. The photoelectric conversion device 1100 may have a viewfinder 1101, a rear display 1102, an operation unit 1103, and a housing 1104. The viewfinder 1101 may have the light-emitting device according to the first or second embodiment as a display device. In this case, the display device may display not only the image to be captured, but also environmental information, imaging instructions, etc. Environmental information may include the intensity of external light, the direction of external light, the speed at which the subject is moving, the possibility that the subject will be blocked by an obstruction, etc.
撮像に好適なタイミングはわずかな時間なので、少しでも早く情報を表示した方がよい。したがって、本発明の有機発光素子を用いた表示装置を用いるのが好ましい。有機発光素子は応答速度が速いからである。有機発光素子を用いた表示装置は、表示速度が求められる、これらの装置、液晶表示装置よりも好適に用いることができる。 Since the optimum timing for capturing an image is very short, it is better to display information as quickly as possible. Therefore, it is preferable to use a display device using the organic light-emitting element of the present invention. This is because organic light-emitting elements have a fast response speed. Display devices using organic light-emitting elements can be used more preferably than liquid crystal display devices, which require high display speed.
光電変換装置1100は、不図示の光学部を有する。光学部は複数のレンズを有し、筐体1104内に収容されている撮像素子に結像する。複数のレンズは、その相対位置を調整することで、焦点を調整することができる。この操作を自動で行うこともできる。 The photoelectric conversion device 1100 has an optical section (not shown). The optical section has multiple lenses that form an image on an image sensor housed in the housing 1104. The focus of the multiple lenses can be adjusted by adjusting their relative positions. This operation can also be performed automatically.
本実施の形態に係る表示装置は、赤色、緑色、青色を有するカラーフィルタを有してよい。カラーフィルタは、当該赤色、緑色、青色がデルタ配列で配置されてよい。 The display device according to this embodiment may have color filters having red, green, and blue colors. The red, green, and blue colors may be arranged in a delta array in the color filters.
本実施の形態に係る表示装置は、携帯端末の表示部に用いられてもよい。その際には、表示機能と操作機能との双方を有してもよい。携帯端末としては、スマートフォン等の携帯電話、タブレットの他、先に説明したヘッドマウントディスプレイ等が挙げられる。 The display device according to this embodiment may be used as a display unit for a mobile device. In this case, it may have both display and operation functions. Examples of mobile devices include mobile phones such as smartphones, tablets, and the head-mounted displays described above.
図15(b)は、本実施の形態に係る電子機器の一例を表す模式図である。電子機器1200は、表示部1201と、操作部1202と、筐体1203を有する。筐体1203には、回路、当該回路を有するプリント基板、バッテリー、通信部、を有してよい。操作部1202は、ボタンであってもよいし、タッチパネル方式の反応部であってもよい。操作部は、指紋を認識してロックの解除等を行う、生体認識部であってもよい。通信部を有する電子機器は通信機器ということもできる。表示部は、第1実施形態または第2実施の形態に係る発光装置を有することができる。 Figure 15(b) is a schematic diagram showing an example of an electronic device according to this embodiment. The electronic device 1200 has a display unit 1201, an operation unit 1202, and a housing 1203. The housing 1203 may have a circuit, a printed circuit board having the circuit, a battery, and a communication unit. The operation unit 1202 may be a button or a touch panel type reaction unit. The operation unit may be a biometric recognition unit that recognizes a fingerprint to perform operations such as unlocking. An electronic device having a communication unit can also be called a communication device. The display unit may have a light-emitting device according to the first or second embodiment.
図16は、本実施形態に係る、発光装置を有する表示装置の一例を表す模式図である。図16(a)は、テレビモニタやPCモニタ等の表示装置である。表示装置1300は、額縁1301を有し表示部1302を有する。表示部1302には、第1実施形態または第2実施の形態に係る発光装置が用いられてよい。 Figure 16 is a schematic diagram showing an example of a display device having a light-emitting device according to this embodiment. Figure 16(a) shows a display device such as a television monitor or PC monitor. The display device 1300 has a frame 1301 and a display unit 1302. The light-emitting device according to the first or second embodiment may be used for the display unit 1302.
額縁1301と、表示部1302を支える土台1303を有している。土台1303は、図16(a)の形態に限られない。額縁1301の下辺が土台を兼ねてもよい。 It has a frame 1301 and a base 1303 that supports the display unit 1302. The base 1303 is not limited to the form shown in Figure 16(a). The bottom edge of the frame 1301 may also serve as the base.
また、額縁1301および表示部1302は、曲がっていてもよい。その曲率半径は、5000mm以上6000mm以下であってよい。 Furthermore, the frame 1301 and the display unit 1302 may be curved. The radius of curvature may be 5000 mm or more and 6000 mm or less.
図16(b)は本実施の形態に係る、発光装置を有する表示装置の他の例を表す模式図である。図16(b)の表示装置1310は、折り曲げ可能に構成されており、いわゆるフォルダブルな表示装置である。表示装置1310は、第一表示部1311、第二表示部1312、筐体1313、屈曲点1314を有する。第一表示部1311と第二表示部1312とは、実施の形態に係る半導体装置を有してよい。第一表示部1311と第二表示部1312とは、つなぎ目のない1枚の表示装置であってよい。第一表示部1311と第二表示部1312とは、屈曲点1314で分けることができる。第一表示部1311、第二表示部1312は、それぞれ異なる画像を表示してもよいし、第一および第二表示部とで一つの画像を表示してもよい。 Figure 16(b) is a schematic diagram showing another example of a display device having a light-emitting device according to the present embodiment. Display device 1310 in Figure 16(b) is configured to be bendable, and is a so-called foldable display device. Display device 1310 has first display unit 1311, second display unit 1312, housing 1313, and bending point 1314. First display unit 1311 and second display unit 1312 may have a semiconductor device according to the embodiment. First display unit 1311 and second display unit 1312 may be a single display device without any joints. First display unit 1311 and second display unit 1312 can be separated by bending point 1314. First display unit 1311 and second display unit 1312 may each display different images, or the first and second display units may display a single image.
図17(a)は、本実施の形態に係る照明装置の一例を表す模式図である。照明装置1400は、筐体1401と、光源1402と、回路基板1403と、光学フィルム1404と、光拡散部1405と、を有してよい。光源は、第1実施形態または第2実施の形態に係る発光装置を有してよい。この場合、各画素に入力される画像データは、表示された際に像を形成するものではなく、同一の輝度に対応した信号であってもよい。 Figure 17(a) is a schematic diagram showing an example of an illumination device according to this embodiment. The illumination device 1400 may have a housing 1401, a light source 1402, a circuit board 1403, an optical film 1404, and a light diffusion section 1405. The light source may have a light-emitting device according to the first or second embodiment. In this case, the image data input to each pixel may not form an image when displayed, but may be a signal corresponding to the same brightness.
光学フィルム1404は光源の演色性を向上させるフィルタであってよい。光拡散部1405は、ライトアップ等、光源の光を効果的に拡散し、広い範囲に光を届けることができる。光学フィルタ、光拡散部は、透過性を有し、照明の光出射側に設けられてよい。必要に応じて、最外部にカバーを設けてもよい。 The optical film 1404 may be a filter that improves the color rendering of the light source. The light diffusion section 1405 effectively diffuses the light from the light source, such as for lighting, and can deliver the light over a wide area. The optical filter and light diffusion section are transparent and may be provided on the light output side of the lighting. If necessary, a cover may be provided on the outermost surface.
照明装置1400は例えば室内を照明する装置である。照明装置は白色、昼白色、その他青から赤のいずれの色を発光するものであってよい。それらを調光する調光回路を有してよい。照明装置1400は第1実施形態または第2実施の形態に係る発光装置を有していてよく、例えば、有機発光素子とそれに接続される電源回路を有してよい。電源回路は、交流電圧を直流電圧に変換する回路である。また、白とは色温度が4200Kで昼白色とは色温度が5000Kである。照明装置はカラーフィルタを有してもよい。 The lighting device 1400 is, for example, a device that illuminates a room. The lighting device may emit white, daylight white, or any other color from blue to red. It may have a dimming circuit to adjust the light intensity. The lighting device 1400 may have a light-emitting device according to the first or second embodiment, and may have, for example, an organic light-emitting element and a power supply circuit connected to it. The power supply circuit is a circuit that converts AC voltage to DC voltage. Furthermore, white has a color temperature of 4200K, and daylight white has a color temperature of 5000K. The lighting device may have a color filter.
また、本実施形態に係る照明装置1400は、放熱部を有していてもよい。放熱部は装置内の熱を装置外へ放出するものであり、比熱の高い金属、液体シリコン等が挙げられる。 The lighting device 1400 according to this embodiment may also have a heat dissipation unit. The heat dissipation unit dissipates heat from within the device to the outside, and examples of such a unit include metals with high specific heat, liquid silicon, etc.
図17(b)は、本実施の形態に係る移動体の一例である自動車の模式図である。当該自動車は灯具の一例であるテールランプを有する。自動車1500は、テールランプ1501を有し、ブレーキ操作等を行った際に、テールランプを点灯する形態であってよい。 Figure 17(b) is a schematic diagram of an automobile, which is an example of a moving body according to this embodiment. The automobile has tail lamps, which are an example of lighting fixtures. The automobile 1500 has tail lamps 1501, and may be configured to turn on the tail lamps when braking, etc.
テールランプ1501は、第1実施形態または第2実施の形態に係る発光装置を照明装置として有してよい。テールランプは、有機EL素子を保護する保護部材を有してよい。保護部材はある程度高い強度を有し、透明であれば材料は問わないが、ポリカーボネート等で構成されることが好ましい。ポリカーボネートにフランジカルボン酸誘導体、アクリロニトリル誘導体等を混ぜてよい。 The tail lamp 1501 may have the light-emitting device according to the first or second embodiment as a lighting device. The tail lamp may have a protective member that protects the organic EL element. The protective member may be made of any material as long as it has a certain degree of strength and is transparent, but it is preferably made of polycarbonate or the like. Polycarbonate may be mixed with a furandicarboxylic acid derivative, an acrylonitrile derivative, or the like.
自動車1500は、車体1503、それに取り付けられている窓1502を有してよい。窓は、自動車の前後を確認するための窓でなければ、透明なディスプレイであってもよい。当該透明なディスプレイは、第1実施形態または第2実施の形態に係る発光装置を有してよい。この場合、有機発光素子が有する電極等の構成材料は透明な部材で構成される。 The automobile 1500 may have a body 1503 and a window 1502 attached to it. The window may be a transparent display, as long as it is not a window for checking the front and rear of the automobile. The transparent display may have a light-emitting device according to the first or second embodiment. In this case, the constituent materials of the electrodes and the like of the organic light-emitting element are made of transparent materials.
本実施の形態に係る移動体は、船舶、航空機、ドローン等であってよい。移動体は、機体と当該機体に設けられた灯具を有してよい。灯具は、機体の位置を知らせるための発光をしてよい。灯具は第1実施形態または第2実施の形態に係る発光装置を照明装置として有する。 The moving body according to this embodiment may be a ship, an aircraft, a drone, or the like. The moving body may have a body and a lighting fixture attached to the body. The lighting fixture may emit light to indicate the position of the body. The lighting fixture has the light-emitting device according to the first or second embodiment as an illumination device.
以上説明した通り、第1実施形態または第2実施の形態に係る発光装置を用いることにより、広視野角を有し、また、光利用効率が向上した装置を提供することができる。 As explained above, by using the light-emitting device according to the first or second embodiment, it is possible to provide a device with a wide viewing angle and improved light utilization efficiency.
2 発光装置
8 基板
15 レンズ
17 発光領域
100 発光素子
2 Light-emitting device 8 Substrate 15 Lens 17 Light-emitting region 100 Light-emitting element
Claims (17)
平面視において、前記第1レンズにおいて前記基板から最も遠い点である、頂点は、前記第1発光領域の中点から第1の方向における正の方向に離れており、
平面視において、前記第2レンズにおいて前記基板から最も遠い点である、頂点は、前記第2発光領域の中点から前記第1の方向における負の方向に離れていることを特徴とする発光装置。 a light emitting device having a first chip and a second chip on a main surface of a substrate, the first chip having only a set of a first light emitting element and a first lens overlapping in a plan view with a midpoint of a first light emitting region of the first light emitting element in a cross section perpendicular to the substrate, as a light emitting portion, and the second chip having only a set of a second light emitting element and a second lens overlapping in a plan view with a midpoint of a second light emitting region of the second light emitting element in a cross section perpendicular to the substrate ,
a vertex, which is a point of the first lens farthest from the substrate in a plan view, is spaced from a midpoint of the first light-emitting region in a positive direction in a first direction;
A light-emitting device characterized in that, in a planar view, the vertex, which is the point on the second lens that is farthest from the substrate , is away from the midpoint of the second light-emitting region in the negative direction in the first direction.
平面視において、前記第2レンズの頂点は、前記第2発光領域の中点から、0より大きい前記第1の距離で離れていることを特徴とする請求項1に記載の発光装置。 In a plan view, a vertex of the first lens is spaced a first distance greater than 0 from a midpoint of the first light-emitting region,
2 . The light emitting device according to claim 1 , wherein, in a plan view, the vertex of the second lens is spaced from the midpoint of the second light emitting region by the first distance , which is greater than 0.
平面視において、前記第3レンズにおいて前記基板から最も遠い点である、頂点は、前記基板に垂直な断面における前記第3発光領域の中点から前記第1の方向において離れていることを特徴とする請求項1または2に記載の発光装置。 the first chip further includes a third light-emitting element adjacent to the first light-emitting element in a second direction intersecting the first direction, and a third lens overlapping in plan view with a midpoint of a third light-emitting region of the third light-emitting element in a cross section perpendicular to the substrate ;
3. The light-emitting device according to claim 1, wherein, in a planar view, the vertex of the third lens , which is the point farthest from the substrate , is spaced apart in the first direction from the midpoint of the third light-emitting region in a cross section perpendicular to the substrate.
平面視において、前記第3レンズの頂点は、前記第3発光領域の中点から前記第2の方向において離れていることを特徴とする請求項1または2に記載の発光装置。 the first chip further includes a third light-emitting element adjacent to the first light-emitting element in a second direction intersecting the first direction, and a third lens overlapping in plan view with a midpoint of a third light-emitting region of the third light-emitting element in a cross section perpendicular to the substrate ;
3 . The light emitting device according to claim 1 , wherein, in a plan view, the vertex of the third lens is spaced apart from a midpoint of the third light emitting region in the second direction.
平面視において、前記第3レンズの頂点は、前記第3発光領域の中点から前記第1の距離で離れていることを特徴とする請求項7に記載の発光装置。 In a plan view, a vertex of the first lens is spaced a first distance from a midpoint of the first light-emitting region,
8. The light emitting device according to claim 7, wherein, in a plan view, the vertex of the third lens is spaced the first distance from the midpoint of the third light emitting region.
平面視において、前記第3レンズの頂点は、前記第3発光領域の中点から前記第1の距離よりも小さい距離で離れていることを特徴とする請求項7に記載の発光装置。 In a plan view, a vertex of the first lens is spaced a first distance from a midpoint of the first light-emitting region,
8. The light emitting device according to claim 7, wherein, in a plan view, the vertex of the third lens is spaced from the midpoint of the third light emitting region by a distance smaller than the first distance.
前記第1レンズは、前記絶縁層に接して配されていることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の発光装置。 an insulating layer is disposed on the first light emitting element;
10. The light emitting device according to claim 1, wherein the first lens is disposed in contact with the insulating layer.
前記レンズアレイは、前記第1チップよりも、前記正の方向に配され、かつ、
前記レンズアレイは、前記第2チップよりも、前記負の方向に配されていることを特徴とする請求項1乃至14のいずれか1項に記載の発光装置。 a lens array disposed above the first chip;
the lens array is disposed in the positive direction relative to the first chip, and
15. The light emitting device according to claim 1, wherein the lens array is disposed in the negative direction relative to the second chip.
前記発光装置からの発光が前記感光体に照射されるように構成されていることを特徴とする露光システム。 A light-emitting device comprising: the light-emitting device according to any one of claims 1 to 15; and a photoreceptor;
an exposure system configured so that light emitted from the light-emitting device is irradiated onto the photosensitive member;
前記複数の発光素子は、前記感光体の回転方向に並んで配されていることを特徴とする請求項16に記載の露光システム。 the light emitting device has a plurality of light emitting elements including the first light emitting element,
17. The exposure system according to claim 16, wherein the plurality of light emitting elements are arranged side by side in the rotation direction of the photosensitive member.
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