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JP7723726B2 - Antifouling film manufacturing method - Google Patents
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JP7723726B2 - Antifouling film manufacturing method - Google Patents

Antifouling film manufacturing method

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Description

本発明は、防汚フィルムの製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing an anti-fouling film.

近年、タブレット端末、スマートフォン等の携帯端末機器の普及に伴い、汚れ等からこれらの機器を保護する要求が増加している。例えば、タッチパネルを備えたディスプレイの表面には、外部環境からの汚染(指紋、手垢、埃等)の影響を低減しつつ視認性を確保するため、通常、防汚層を備えた防汚フィルムが貼付されている。 In recent years, with the widespread use of mobile devices such as tablets and smartphones, there has been an increasing demand for protecting these devices from dirt and other contaminants. For example, an anti-fouling film with an anti-fouling layer is typically attached to the surface of a display equipped with a touch panel to ensure visibility while reducing the effects of contamination from the external environment (fingerprints, fingerprints, dust, etc.).

特許文献1には、防汚フィルムの一例として、反射防止層上に防汚層が設けられた反射防止フィルムが開示されている。特許文献1には、防汚層の形成方法として、フッ素含有珪素化合物(防汚剤)をパーフルオロヘキサンで希釈した防汚剤組成物を使用し、反射防止層上に真空蒸着法により防汚層を成膜する方法が記載されている。また、このような防汚フィルムは、例えば、ロールトゥロール方式でワークフィルムを搬送しながら製造される(例えば、特許文献2参照)。 Patent Document 1 discloses, as an example of an anti-fouling film, an anti-reflection film in which an anti-fouling layer is provided on an anti-reflection layer. Patent Document 1 also describes a method for forming the anti-fouling layer, in which an anti-fouling agent composition prepared by diluting a fluorine-containing silicon compound (anti-fouling agent) with perfluorohexane is used, and the anti-fouling layer is formed on the anti-reflection layer by vacuum deposition. Furthermore, such anti-fouling films are manufactured, for example, by a roll-to-roll method while transporting a work film (see, for example, Patent Document 2).

特開2011-69995号公報JP 2011-69995 A 特開2022-63374号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2022-63374

パーフルオロヘキサンのようなフッ素系溶媒を含む防汚剤組成物を使用する場合、通常、防汚剤組成物中のフッ素系溶媒の少なくとも一部を脱気により除去した後、脱気後の防汚剤組成物を蒸着材料として真空蒸着法により防汚層を成膜する。また、ロールトゥロール方式の真空蒸着法により防汚層を形成する場合、搬送開始(蒸着開始)から搬送終了(蒸着終了)に至るまでに真空蒸着装置内の蒸着材料が徐々に減少するが、蒸着温度を徐々に上げることによって、蒸着材料の減少に伴う蒸着量の低減を抑制し、防汚層の膜厚を一定に保っている。 When using an antifouling composition containing a fluorine-based solvent such as perfluorohexane, typically, at least a portion of the fluorine-based solvent in the antifouling composition is removed by degassing, and the degassed antifouling composition is then used as the deposition material to form an antifouling layer by vacuum deposition. Furthermore, when forming an antifouling layer by roll-to-roll vacuum deposition, the deposition material in the vacuum deposition device gradually decreases from the start of transport (deposition start) to the end of transport (deposition end). However, by gradually increasing the deposition temperature, the decrease in the deposition amount due to the decrease in deposition material is suppressed, and the film thickness of the antifouling layer is maintained constant.

しかし、ロールトゥロール方式の真空蒸着法により防汚層を形成すると、蒸着温度が比較的低い段階(搬送開始から初期段階)で成膜された防汚層の防汚特性が低下する傾向がある。ロールトゥロール方式の製法で得られた防汚フィルム巻回体において、防汚特性が低下した箇所は、品質管理基準に適合しない場合、廃棄される。このため、ロールトゥロール方式の真空蒸着法により防汚層を形成する場合、歩留まりの低下を抑制することが困難である。 However, when an anti-fouling layer is formed using roll-to-roll vacuum deposition, the anti-fouling properties of the layer formed at a relatively low deposition temperature (the initial stage after the start of transport) tend to deteriorate. In anti-fouling film rolls obtained using roll-to-roll manufacturing methods, areas with reduced anti-fouling properties are discarded if they do not meet quality control standards. For this reason, it is difficult to prevent a decrease in yield when forming an anti-fouling layer using roll-to-roll vacuum deposition.

上記に鑑み、本発明は、ロールトゥロール方式の真空蒸着法により防汚層を形成する際の歩留まりの低下を抑制できる防汚フィルムの製造方法の提供を目的とする。 In light of the above, the present invention aims to provide a method for manufacturing an anti-fouling film that can suppress a decrease in yield when forming an anti-fouling layer using a roll-to-roll vacuum deposition method.

<本発明の態様>
本発明には、以下の態様が含まれる。
<Aspects of the present invention>
The present invention includes the following aspects.

[1]ワークフィルムをロールトゥロール方式で搬送しながら、前記ワークフィルムの一方の主面に真空蒸着法により防汚層を形成する、防汚フィルムの製造方法であって、
前記防汚層を形成する前に、フッ素系溶媒を含む防汚剤組成物を、温度150℃以上250℃以下の減圧雰囲気下において脱気する工程Saを備え、
前記工程Saで脱気された前記防汚剤組成物を蒸着材料として、前記防汚層を形成する、防汚フィルムの製造方法。
[1] A method for manufacturing an antifouling film, in which an antifouling layer is formed on one main surface of a workpiece film by a vacuum deposition method while the workpiece film is transported by a roll-to-roll method,
a step Sa of degassing an antifouling composition containing a fluorine-based solvent under a reduced pressure atmosphere at a temperature of 150° C. or higher and 250° C. or lower before forming the antifouling layer;
The antifouling layer is formed using the antifouling agent composition degassed in the step Sa as a deposition material.

[2]前記防汚剤組成物は、防汚剤としてフッ素含有化合物を含む、前記[1]に記載の防汚フィルムの製造方法。 [2] The method for producing an antifouling film described in [1] above, wherein the antifouling agent composition contains a fluorine-containing compound as an antifouling agent.

[3]前記フッ素含有化合物は、パーフルオロポリエーテル骨格を含有するアルコキシシラン化合物である、前記[2]に記載の防汚フィルムの製造方法。 [3] The method for producing an antifouling film described in [2] above, wherein the fluorine-containing compound is an alkoxysilane compound containing a perfluoropolyether skeleton.

[4]前記ワークフィルムは、無機酸化物層を含み、
前記無機酸化物層の一方の主面に前記防汚層を形成する、前記[1]~[3]のいずれか一つに記載の防汚フィルムの製造方法。
[4] The work film includes an inorganic oxide layer,
The method for producing an antifouling film according to any one of [1] to [3], wherein the antifouling layer is formed on one main surface of the inorganic oxide layer.

[5]前記無機酸化物層は、酸化シリコン層を含み、
前記酸化シリコン層の一方の主面に前記防汚層を形成する、前記[4]に記載の防汚フィルムの製造方法。
[5] The inorganic oxide layer includes a silicon oxide layer,
The method for producing an antifouling film according to [4], wherein the antifouling layer is formed on one main surface of the silicon oxide layer.

[6]前記防汚層を形成する際の真空度が、9.0×10-3Pa以下である、前記[1]~[5]のいずれか一つに記載の防汚フィルムの製造方法。 [6] The method for producing an antifouling film according to any one of [1] to [5] above, wherein the degree of vacuum when forming the antifouling layer is 9.0×10 −3 Pa or less.

[7]前記工程Saにおいて、圧力40Pa以下の前記減圧雰囲気下で脱気する、前記[1]~[6]のいずれか一つに記載の防汚フィルムの製造方法。 [7] The method for producing an antifouling film described in any one of [1] to [6], wherein in step Sa, degassing is performed under a reduced pressure atmosphere of 40 Pa or less.

[8]前記工程Saの前に、前記防汚剤組成物の周囲の雰囲気を、温度30℃以下で減圧する工程を更に備える、前記[1]~[7]のいずれか一つに記載の防汚フィルムの製造方法。 [8] The method for producing an antifouling film described in any one of [1] to [7] above, further comprising, before step Sa, a step of reducing the pressure of the atmosphere surrounding the antifouling agent composition to a temperature of 30°C or less.

本発明によれば、ロールトゥロール方式の真空蒸着法により防汚層を形成する際の歩留まりの低下を抑制できる防汚フィルムの製造方法を提供できる。 The present invention provides a method for manufacturing an antifouling film that can suppress a decrease in yield when forming an antifouling layer using a roll-to-roll vacuum deposition method.

本発明に係る防汚フィルムの製造方法において使用可能な真空蒸着装置の一例を示す構成図である。1 is a structural diagram showing an example of a vacuum deposition apparatus that can be used in the method for producing an antifouling film according to the present invention. 本発明に係る防汚フィルムの製造方法において使用可能なワークフィルムの一例を示す断面図である。1 is a cross-sectional view showing an example of a work film that can be used in the antifouling film manufacturing method of the present invention. 本発明の製造方法で得られる防汚フィルムの一例を示す断面図である。1 is a cross-sectional view showing an example of an antifouling film obtained by the production method of the present invention.

以下、本発明の好適な実施形態について詳しく説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。また、本明細書中に記載された学術文献及び特許文献の全てが、本明細書中において参考として援用される。 Preferred embodiments of the present invention are described in detail below, but the present invention is not limited to these. Furthermore, all academic and patent literature cited in this specification is incorporated herein by reference.

まず、本明細書中で使用される用語について説明する。「屈折率」は、温度23℃の雰囲気下における波長550nmの光に対する屈折率である。「ワークフィルム」とは、防汚層が形成される直前の層構成を有するフィルムをさす。層状物(より具体的には、ワークフィルム、透明フィルム基材、ハードコート層、プライマー層、反射防止層、防汚層等)の「主面」とは、層状物の厚み方向に直交する面をさす。防汚フィルムを構成する各層の「厚み(膜厚)」の数値は、何ら規定していなければ、層を厚み方向に切断した断面の画像から無作為に測定箇所を10箇所選択し、選択した10箇所の測定箇所の厚みを測定して得られた10個の測定値の算術平均値である。「真空度」とは、理想的な真空(圧力:0Pa)にどの程度接近しているかを示す目安であり、残留気体の圧力で表される。 First, let us explain the terms used in this specification. "Refractive index" refers to the refractive index for light with a wavelength of 550 nm in an atmosphere at 23°C. "Workpiece film" refers to a film having a layered structure immediately before the anti-fouling layer is formed. The "main surface" of a layered material (more specifically, workpiece film, transparent film substrate, hard coat layer, primer layer, anti-reflection layer, anti-fouling layer, etc.) refers to the surface perpendicular to the thickness direction of the layered material. Unless otherwise specified, the "thickness (film thickness)" value of each layer constituting the anti-fouling film is the arithmetic mean value of 10 measurements obtained by randomly selecting 10 measurement points from an image of a cross section cut through the layer in the thickness direction and measuring the thickness at the selected 10 measurement points. "Vacuum degree" is a measure of how close the material is to an ideal vacuum (pressure: 0 Pa) and is expressed as the pressure of residual gas.

粒子の個数平均一次粒子径は、何ら規定していなければ、走査型電子顕微鏡及び画像処理ソフトウェア(例えば、アメリカ国立衛生研究所製「ImageJ」)を用いて測定した、100個の一次粒子の円相当径(ヘイウッド径:一次粒子の投影面積と同じ面積を有する円の直径)の個数平均値である。 Unless otherwise specified, the number-average primary particle diameter of particles is the number-average value of the equivalent circle diameter (Heywood diameter: the diameter of a circle having the same area as the projected area of a primary particle) of 100 primary particles measured using a scanning electron microscope and image processing software (e.g., "ImageJ" manufactured by the National Institutes of Health).

「固形分」とは、組成物中の不揮発成分であり、例えば、溶媒以外の成分である。 "Solids" refers to non-volatile components in the composition, such as components other than the solvent.

以下、化合物名の後に「系」を付けて、化合物及びその誘導体を包括的に総称する場合がある。また、化合物名の後に「系」を付けて重合体名を表す場合には、何ら規定していなければ、重合体の繰り返し単位が化合物又はその誘導体に由来することを意味する。また、アクリレート及びメタクリレートを包括的に「(メタ)アクリレート」と総称する場合がある。 Hereinafter, the compound name may be followed by "system" to refer to the compound and its derivatives in a comprehensive manner. Furthermore, when the compound name is followed by "system" to refer to the name of a polymer, unless otherwise specified, it means that the repeating unit of the polymer is derived from the compound or its derivative. Furthermore, acrylates and methacrylates may be referred to in a comprehensive manner as "(meth)acrylates."

本明細書に例示の成分や官能基等は、特記しない限り、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。 Unless otherwise specified, the components, functional groups, etc. exemplified in this specification may be used alone or in combination of two or more types.

以下の説明において参照する図面は、理解しやすくするために、それぞれの構成要素を主体に模式的に示しており、図示された各構成要素の大きさ、個数、形状等は、図面作成の都合上から実際とは異なる場合がある。また、説明の都合上、後に説明する図面において、先に説明した図面と同一構成部分については、同一符号を付して、その説明を省略する場合がある。 The drawings referenced in the following description primarily show each component in a schematic manner for ease of understanding, and the size, number, shape, etc. of each component shown may differ from the actual size due to the convenience of creating the drawings. Furthermore, for the sake of convenience, in drawings described later, components that are the same as those in previously described drawings may be assigned the same reference numerals, and their description may be omitted.

<防汚フィルムの製造方法>
本実施形態に係る防汚フィルムの製造方法は、ワークフィルムをロールトゥロール方式で搬送しながら、ワークフィルムの一方の主面に真空蒸着法により防汚層を形成する工程(以下、「蒸着工程」と記載することがある)を備える。また、本実施形態に係る防汚フィルムの製造方法は、蒸着工程の前に、フッ素系溶媒を含む防汚剤組成物を、温度150℃以上250℃以下の減圧雰囲気下において脱気する工程Saを更に備える。以下、工程Saを、「脱気工程」と記載することがある。また、本実施形態では、蒸着工程において、脱気工程で脱気された防汚剤組成物を蒸着材料として、防汚層を形成する。
<Method of manufacturing antifouling film>
The method for producing an antifouling film according to this embodiment includes a step of forming an antifouling layer on one main surface of a workpiece film by vacuum deposition while the workpiece film is transported in a roll-to-roll manner (hereinafter, this step may be referred to as the "deposition step"). The method for producing an antifouling film according to this embodiment also includes a step Sa, prior to the deposition step, of degassing an antifouling composition containing a fluorinated solvent in a reduced pressure atmosphere at a temperature of 150°C to 250°C. Hereinafter, this step Sa may be referred to as the "degassing step." In this embodiment, the deposition step forms an antifouling layer using the antifouling composition degassed in the degassing step as a deposition material.

本実施形態に係る製造方法で得られる防汚フィルムとしては、例えば、防汚層を備える反射防止フィルム、防汚層を備えるガスバリアフィルム、防汚層を備える透明導電性フィルム等が挙げられる。 Examples of anti-fouling films obtained using the manufacturing method according to this embodiment include anti-reflection films with an anti-fouling layer, gas barrier films with an anti-fouling layer, and transparent conductive films with an anti-fouling layer.

本実施形態に係る防汚フィルムの製造方法によれば、ロールトゥロール方式の真空蒸着法により防汚層を形成する際の歩留まりの低下を抑制できる。その理由は、以下のように推測される。 The antifouling film manufacturing method according to this embodiment can suppress a decrease in yield when forming an antifouling layer using a roll-to-roll vacuum deposition method. The reason for this is presumed to be as follows.

一般的なロールトゥロール方式の真空蒸着法により防汚層を形成すると、上述したように、蒸着温度が比較的低い段階(搬送開始から初期段階)で成膜された防汚層の防汚特性(より具体的には、防汚性、耐摺動性、耐擦傷性等)が低下する傾向がある。防汚特性の低下は、蒸着材料中に残留するフッ素系溶媒及びフッ素系溶媒由来の不純物(以下、これらをまとめて「残留成分」と記載することがある)が、成膜される防汚層中に取り込まれることに起因するものと考えられる。つまり、蒸着温度が比較的低い段階では、蒸着材料中に残留成分が比較的多く残存しているため、蒸着温度が比較的低い段階で成膜された防汚層中の残留成分の量は、比較的多くなる傾向がある。このため、蒸着温度が比較的低い段階で成膜された防汚層は、残留成分の影響により、防汚特性が低下する傾向がある。 As mentioned above, when an anti-fouling layer is formed using a typical roll-to-roll vacuum deposition method, the anti-fouling properties (more specifically, anti-fouling ability, slide resistance, scratch resistance, etc.) of the anti-fouling layer formed at a relatively low deposition temperature (the initial stage from the start of transport) tend to be reduced. This reduction in anti-fouling properties is thought to be due to the incorporation of fluorinated solvents and impurities derived from fluorinated solvents (hereinafter collectively referred to as "residual components") remaining in the deposition material into the formed anti-fouling layer. In other words, because a relatively large amount of residual components remains in the deposition material at a relatively low deposition temperature, the amount of residual components in an anti-fouling layer formed at a relatively low deposition temperature tends to be relatively large. Therefore, anti-fouling layers formed at a relatively low deposition temperature tend to have reduced anti-fouling properties due to the influence of the residual components.

これに対し、本実施形態では、蒸着工程の前に、フッ素系溶媒を含む防汚剤組成物を温度150℃以上の減圧雰囲気下において脱気する、脱気工程を実施するため、残留成分を十分に除去できる。また、脱気工程の加熱温度の上限を250℃に設定しているため、脱気工程において、防汚剤組成物中の有効成分(防汚剤)が除去されることを抑制できる。これらのことから、本実施形態では、蒸着温度が比較的低い段階で形成される防汚層についても、防汚特性を確保できる。よって、本実施形態に係る防汚フィルムの製造方法によれば、ロールトゥロール方式の真空蒸着法により防汚層を形成する際の歩留まりの低下を抑制できる。 In contrast, in this embodiment, a degassing step is performed prior to the vapor deposition step, in which the antifouling composition containing a fluorinated solvent is degassed in a reduced pressure atmosphere at a temperature of 150°C or higher, allowing residual components to be sufficiently removed. Furthermore, the upper limit of the heating temperature in the degassing step is set to 250°C, preventing the active ingredient (antifouling agent) in the antifouling composition from being removed during the degassing step. For these reasons, in this embodiment, antifouling properties can be ensured even for an antifouling layer formed at a relatively low vapor deposition temperature. Therefore, the method for producing an antifouling film according to this embodiment can prevent a decrease in yield when forming an antifouling layer by roll-to-roll vacuum vapor deposition.

本実施形態の脱気工程において、防汚剤組成物中の有効成分の除去量をより低減するためには、脱気工程の加熱温度(脱気温度)が、240℃以下であることが好ましく、230℃以下であることがより好ましく、220℃以下であることが更に好ましく、210℃以下、200℃以下、190℃以下、180℃以下、170℃以下又は160℃以下であってもよい。 In the degassing step of this embodiment, in order to further reduce the amount of active ingredient removed from the antifouling composition, the heating temperature (degassing temperature) in the degassing step is preferably 240°C or less, more preferably 230°C or less, even more preferably 220°C or less, and may be 210°C or less, 200°C or less, 190°C or less, 180°C or less, 170°C or less, or 160°C or less.

本実施形態に係る防汚フィルムの製造方法は、脱気工程及び蒸着工程以外の工程(他の工程)を備えていてもよい。他の工程としては、例えば、後述する「排気工程」及び「防汚剤の余剰分の除去工程」が挙げられる。以下、本実施形態に係る防汚フィルムの製造方法の一例について、適宜図面を参照しつつ説明する。参照する図1は、本実施形態に係る防汚フィルムの製造方法において使用可能な真空蒸着装置の一例を示す構成図である。 The method for manufacturing an antifouling film according to this embodiment may include other steps (other steps) in addition to the degassing step and the vapor deposition step. Examples of other steps include the "exhaust step" and "excess antifouling agent removal step" described below. An example of a method for manufacturing an antifouling film according to this embodiment will be described below, with reference to the accompanying drawings. Figure 1, which will be referred to, is a structural diagram showing an example of a vacuum vapor deposition apparatus that can be used in the method for manufacturing an antifouling film according to this embodiment.

[真空蒸着装置]
図1に示す真空蒸着装置は、ロールトゥロール方式の真空蒸着装置であり、チャンバー10と、チャンバー10内に配置された、ガイドロール11、成膜ロール12、ガイドロール13及びルツボ14とを備える。ルツボ14は、成膜ロール12の鉛直方向の下方に設けられている。ルツボ14内には、防汚剤組成物15が配置される。
[Vacuum deposition device]
The vacuum deposition apparatus shown in Fig. 1 is a roll-to-roll type vacuum deposition apparatus, and includes a chamber 10, and a guide roll 11, a film-forming roll 12, a guide roll 13, and a crucible 14 arranged in the chamber 10. The crucible 14 is provided vertically below the film-forming roll 12. An antifouling agent composition 15 is placed in the crucible 14.

ワークフィルム20に防汚層を形成する際は、成膜ロール12が駆動部(不図示)により反時計回りに回転することによって、ワークフィルム20がガイドロール11に案内されて成膜ロール12まで搬送される。そして、ワークフィルム20の成膜ロール12側とは反対側の主面20aに防汚層が形成された後、防汚層形成後のワークフィルム20がガイドロール13に案内されてチャンバー10の外部へ搬送される。ワークフィルム20の例については後述する。 When forming an anti-fouling layer on the workpiece film 20, the film-forming roll 12 is rotated counterclockwise by a drive unit (not shown), and the workpiece film 20 is guided by the guide roll 11 and transported to the film-forming roll 12. After the anti-fouling layer is formed on the main surface 20a of the workpiece film 20 opposite the film-forming roll 12, the workpiece film 20 with the anti-fouling layer formed is guided by the guide roll 13 and transported outside the chamber 10. An example of the workpiece film 20 will be described later.

防汚剤組成物15は、有効成分(防汚剤)と、フッ素系溶媒とを含む。防汚性を高めるためには、防汚剤としてはフッ素含有化合物が好ましい。防汚剤がフッ素含有化合物である場合、防汚剤組成物15において、フッ素系溶媒が防汚剤の分解を抑制する役割を果たす。フッ素含有化合物の中でも、撥水性に優れ、高い防汚性を発揮できることから、パーフルオロポリエーテル骨格を含有するアルコキシシラン化合物が好ましい。パーフルオロポリエーテル骨格を含有するアルコキシシラン化合物としては、例えば、炭素原子数1以上4以下の直鎖状又は分枝鎖状のパーフルオロアルキレンオキシド単位を複数有するアルコキシシラン化合物が挙げられる。炭素原子数1以上4以下の直鎖状又は分枝鎖状のパーフルオロアルキレンオキシド単位としては、例えば、パーフルオロメチレンオキシド単位(-CFO-)、パーフルオロエチレンオキシド単位(-CFCFO-)、パーフルオロプロピレンオキシド単位(-CFCFCFO-)、パーフルオロイソプロピレンオキシド単位(-CF(CF)CFO-)等が挙げられる。 The antifouling composition 15 contains an active ingredient (antifouling agent) and a fluorine-based solvent. In order to enhance antifouling properties, a fluorine-containing compound is preferred as the antifouling agent. When the antifouling agent is a fluorine-containing compound, the fluorine-based solvent in the antifouling composition 15 plays a role in suppressing decomposition of the antifouling agent. Among fluorine-containing compounds, alkoxysilane compounds containing a perfluoropolyether skeleton are preferred because they have excellent water repellency and can exhibit high antifouling properties. Examples of alkoxysilane compounds containing a perfluoropolyether skeleton include alkoxysilane compounds having a plurality of linear or branched perfluoroalkylene oxide units having from 1 to 4 carbon atoms. Examples of the linear or branched perfluoroalkylene oxide unit having from 1 to 4 carbon atoms include a perfluoromethylene oxide unit (-CF 2 O-), a perfluoroethylene oxide unit (-CF 2 CF 2 O-), a perfluoropropylene oxide unit (-CF 2 CF 2 CF 2 O-), a perfluoroisopropylene oxide unit (-CF(CF 3 )CF 2 O-), and the like.

防汚剤組成物15に含まれるフッ素系溶媒としては、例えば、パーフルオロアルカン(より具体的には、パーフルオロヘキサン等)、ハイドロフルオロエーテル等が挙げられる。ハイドロフルオロエーテルとしては、例えば、COCH、COC、C13OCH、CHF-CH(CH)O-CHF等が挙げられる。 Examples of the fluorine-based solvent contained in the antifouling agent composition 15 include perfluoroalkanes (more specifically, perfluorohexane, etc.) and hydrofluoroethers. Examples of hydrofluoroethers include C 4 F 9 OCH 3 , C 4 F 9 OC 2 H 5 , C 6 F 13 OCH 3 , C 3 HF 6 —CH(CH 3 )O—C 3 HF 6 , etc.

後述する排気工程を実施する前の防汚剤組成物15における有効成分(防汚剤)の含有率は、防汚剤組成物15の全量に対して、例えば、5重量%以上80重量%以下であり、好ましくは10重量%以上50重量%以下である。 The content of the active ingredient (antifouling agent) in the antifouling composition 15 before carrying out the evacuation step described below is, for example, 5% by weight or more and 80% by weight or less, and preferably 10% by weight or more and 50% by weight or less, based on the total amount of the antifouling composition 15.

以上、本実施形態に係る防汚フィルムの製造方法において使用可能な真空蒸着装置の一例について説明したが、本発明で使用可能な真空蒸着装置は、図1に示す真空蒸着装置に限定されない。本発明では、例えば特開2022-63374号公報に記載の真空蒸着装置を使用してもよい。 The above describes an example of a vacuum deposition device that can be used in the method for manufacturing an antifouling film according to this embodiment, but the vacuum deposition device that can be used in the present invention is not limited to the vacuum deposition device shown in Figure 1. In the present invention, for example, the vacuum deposition device described in JP 2022-63374 A may also be used.

次に、本実施形態に係る防汚フィルムの製造方法の一例が備える各工程について説明する。なお、以下の例において、排気工程及び脱気工程は、ワークフィルム20を搬送せずに実施される。 Next, we will explain each process included in an example of a method for manufacturing an antifouling film according to this embodiment. Note that in the following example, the exhaust process and degassing process are performed without transporting the workpiece film 20.

[排気工程]
排気工程は、防汚剤組成物15の周囲の雰囲気(チャンバー10内の雰囲気)を温度30℃以下で減圧する工程であり、この工程により、チャンバー10内の気体がチャンバー10外へ排気される。排気工程は、脱気工程の前に実施される。排気工程により、チャンバー10内の雰囲気から水蒸気等を除去できるため、有効成分(例えば、フッ素含有化合物)の水分による分解を抑制することができる。
[Exhaust process]
The exhaust step is a step of reducing the pressure of the atmosphere surrounding the antifouling composition 15 (the atmosphere inside the chamber 10) to a temperature of 30° C. or less, and this step exhausts the gas inside the chamber 10 to the outside of the chamber 10. The exhaust step is carried out before the degassing step. The exhaust step can remove water vapor and the like from the atmosphere inside the chamber 10, thereby suppressing decomposition of the active ingredient (e.g., fluorine-containing compound) due to moisture.

有効成分の分解をより抑制するためには、排気工程におけるチャンバー10内の雰囲気温度としては、25℃以下が好ましい。排気工程におけるチャンバー10内の雰囲気温度の下限は、特に限定されないが、例えば10℃以上である。 To further suppress decomposition of the active ingredient, the ambient temperature within chamber 10 during the exhaust process is preferably 25°C or lower. There is no particular limitation on the lower limit of the ambient temperature within chamber 10 during the exhaust process, but it is, for example, 10°C or higher.

排気工程の減圧条件は、チャンバー10内の雰囲気から水蒸気等を除去できる条件である限り、特に限定されないが、水蒸気等を効果的に除去するためには、チャンバー10内の雰囲気を、圧力40Pa以下の条件で減圧することが好ましく、圧力35Pa以下の条件で減圧することがより好ましい。また、排気工程において、減圧時間(常圧から所定の減圧条件まで減圧する時間)を短縮することにより生産性を高めるためには、チャンバー10内の雰囲気を、圧力20Pa以上の条件で減圧することが好ましく、圧力25Pa以上の条件で減圧することがより好ましい。なお、排気工程は、例えば、チャンバー10内の圧力を連続的又は段階的に下げながら実施される。 The decompression conditions for the evacuation step are not particularly limited, as long as they are conditions that allow water vapor and the like to be removed from the atmosphere within chamber 10. However, in order to effectively remove water vapor and the like, it is preferable to decompress the atmosphere within chamber 10 at a pressure of 40 Pa or less, and more preferably at a pressure of 35 Pa or less. Furthermore, in order to increase productivity by shortening the decompression time (the time it takes to decompress from normal pressure to a predetermined decompression condition) during the evacuation step, it is preferable to decompress the atmosphere within chamber 10 at a pressure of 20 Pa or more, and more preferably at a pressure of 25 Pa or more. The evacuation step is carried out, for example, by lowering the pressure within chamber 10 continuously or in stages.

[脱気工程]
脱気工程は、ルツボ14内の防汚剤組成物15を、温度150℃以上250℃以下の減圧雰囲気下において脱気する工程である。脱気工程の減圧条件は、防汚剤組成物15中の残留成分を除去できる条件である限り、特に限定されないが、残留成分を効果的に除去するためには、チャンバー10内の雰囲気を、圧力40Pa以下の条件で減圧することが好ましく、圧力30Pa以下の条件で減圧することがより好ましい。また、脱気工程において、減圧時間(所定の減圧条件まで減圧する時間)を短縮することにより生産性を高めるためには、チャンバー10内の雰囲気を、圧力5Pa以上の条件で減圧することが好ましい。なお、脱気工程は、チャンバー10内の圧力を連続的又は段階的に下げながら実施してもよく、チャンバー10内の圧力を一定の減圧条件に維持した状態で実施してもよい。
[Degassing process]
The degassing step is a step of degassing the antifouling composition 15 in the crucible 14 under a reduced pressure atmosphere at a temperature of 150°C or higher and 250°C or lower. The reduced pressure conditions in the degassing step are not particularly limited as long as they are conditions that allow the removal of residual components in the antifouling composition 15. However, in order to effectively remove the residual components, it is preferable to reduce the pressure of the atmosphere in the chamber 10 under conditions of 40 Pa or lower, and more preferably under conditions of 30 Pa or lower. Furthermore, in order to increase productivity by shortening the decompression time (the time required to reduce the pressure to a predetermined reduced pressure condition) in the degassing step, it is preferable to reduce the pressure of the atmosphere in the chamber 10 under conditions of 5 Pa or higher. Note that the degassing step may be performed while continuously or stepwise reducing the pressure in the chamber 10, or may be performed while maintaining the pressure in the chamber 10 at a constant reduced pressure.

防汚剤組成物15中の残留成分を効果的に除去しつつ生産性を高めるためには、脱気工程における脱気時間は、100分以上500分以下であることが好ましい。なお、チャンバー10内の圧力を連続的又は段階的に下げながら脱気工程を実施する場合、脱気時間は、ルツボ14内の温度が所定温度(150℃以上250℃以下)に到達した後からチャンバー10内の圧力が所定の目標圧力に到達するまでの時間である。 In order to effectively remove residual components from the antifouling composition 15 while increasing productivity, the degassing time in the degassing step is preferably 100 minutes or more and 500 minutes or less. When the degassing step is performed while continuously or stepwise lowering the pressure in the chamber 10, the degassing time is the time from when the temperature in the crucible 14 reaches a predetermined temperature (150°C or more and 250°C or less) until the pressure in the chamber 10 reaches a predetermined target pressure.

[蒸着工程]
蒸着工程では、ワークフィルム20をロールトゥロール方式で搬送しながら、ワークフィルム20の成膜ロール12側とは反対側の主面20aに、真空蒸着法により防汚層を形成する。詳しくは、脱気工程において脱気された防汚剤組成物15の固化物を蒸着材料として使用し、ワークフィルム20の主面20a上に、蒸気化された蒸着材料(防汚剤)を蒸着させて、主面20a上に防汚層を蒸着膜として形成する。
[Vapor deposition process]
In the vapor deposition process, while the workpiece film 20 is transported by a roll-to-roll method, an antifouling layer is formed by vacuum vapor deposition on the main surface 20a of the workpiece film 20 opposite the film-forming roll 12. Specifically, the solidified antifouling agent composition 15 degassed in the degassing process is used as the vapor deposition material, and the vaporized vapor deposition material (antifouling agent) is vapor-deposited on the main surface 20a of the workpiece film 20 to form an antifouling layer as a vapor-deposited film on the main surface 20a.

防汚特性に優れる防汚層を形成するためには、蒸着工程におけるチャンバー10内の真空度は、9.0×10-3Pa以下であることが好ましく、8.0×10-3Pa以下であることがより好ましい。蒸着工程におけるチャンバー10内の真空度の下限は、特に限定されないが、製造コスト低減の観点から、1.0×10-3Pa以上であることが好ましい。また、防汚特性に優れる防汚層を形成するためには、蒸着工程におけるチャンバー10内の水分圧が、1Pa以下であることが好ましい。 In order to form an antifouling layer with excellent antifouling properties, the degree of vacuum in the chamber 10 in the vapor deposition step is preferably 9.0×10 −3 Pa or less, and more preferably 8.0×10 −3 Pa or less. There are no particular restrictions on the lower limit of the degree of vacuum in the chamber 10 in the vapor deposition step, but from the viewpoint of reducing production costs, it is preferably 1.0×10 −3 Pa or more. Furthermore, in order to form an antifouling layer with excellent antifouling properties, the water pressure in the chamber 10 in the vapor deposition step is preferably 1 Pa or less.

蒸着工程におけるルツボ14内の加熱温度(蒸着温度)は、蒸着材料の種類に応じて適宜設定することができる。なお、ロールトゥロール方式の真空蒸着法で防汚層を連続的に形成する場合、搬送開始(蒸着開始)から搬送終了(蒸着終了)に至るまでにルツボ14内の蒸着材料が徐々に減少するため、蒸着材料が昇華しにくくなる。よって、連続的に形成される防汚層の厚みを一定に保つためには、蒸着工程において、搬送開始から搬送終了に至るまで蒸着温度を徐々に上げて、蒸着材料の昇華を促進させることが好ましい。 The heating temperature (deposition temperature) inside the crucible 14 during the deposition process can be set appropriately depending on the type of deposition material. When continuously forming an anti-fouling layer using a roll-to-roll vacuum deposition method, the amount of deposition material inside the crucible 14 gradually decreases from the start of transport (start of deposition) to the end of transport (end of deposition), making it difficult for the deposition material to sublimate. Therefore, in order to maintain a consistent thickness for the continuously formed anti-fouling layer, it is preferable to gradually increase the deposition temperature during the deposition process from the start of transport to the end of transport to promote sublimation of the deposition material.

[防汚剤の余剰分の除去工程]
防汚剤の余剰分の除去工程は、ワークフィルム20に防汚層を形成した後、防汚層の表層に存在する防汚剤の余剰分(例えば、未定着の防汚剤)を除去する工程である。防汚剤の余剰分を除去することにより、防汚剤の余剰分に起因するフィルムの外観不良(例えば、白濁等)を抑制できる。防汚剤の余剰分の除去方法としては、例えば、形成された防汚層上に、保護フィルムの粘着面を貼り合わせた後、防汚層から保護フィルムをはく離することにより粘着面に上記余剰分を付着させて、防汚層から上記余剰分を除去する方法を採用できる。
[Step of removing excess antifouling agent]
The process of removing excess antifouling agent is a process of removing excess antifouling agent (e.g., unfixed antifouling agent) present on the surface of the antifouling layer after the antifouling layer is formed on the workpiece film 20. By removing the excess antifouling agent, it is possible to prevent poor appearance of the film (e.g., cloudiness) caused by the excess antifouling agent. One method of removing excess antifouling agent is to, for example, adhere the adhesive surface of a protective film to the formed antifouling layer, and then peel the protective film from the antifouling layer to adhere the excess to the adhesive surface, thereby removing the excess from the antifouling layer.

[ワークフィルム]
次に、ワークフィルム20の一例について説明する。本実施形態において、防汚層を備える反射防止フィルムを製造する場合、ワークフィルム20としては、反射防止層を備えるフィルムが使用される。また、本実施形態において防汚層を備えるガスバリアフィルムを製造する場合、ワークフィルム20としては、ガスバリア層を備えるフィルムが使用される。また、本実施形態において防汚層を備える透明導電性フィルムを製造する場合、ワークフィルム20としては、透明導電層を備えるフィルムが使用される。反射防止層、ガスバリア層及び透明導電層としては、いずれも無機酸化物層が好ましい。つまり、ワークフィルム20としては、無機酸化物層を備えるワークフィルムが好ましい。ワークフィルム20として無機酸化物層を備えるワークフィルムを使用する場合、防汚層は、例えば、上記無機酸化物層の一方の主面に形成される。この場合、得られる防汚フィルムにおいて、防汚層と無機酸化物層とは接している。
[Work film]
Next, an example of the workpiece film 20 will be described. In this embodiment, when an anti-reflection film having an anti-fouling layer is manufactured, a film having an anti-reflection layer is used as the workpiece film 20. Furthermore, when a gas barrier film having an anti-fouling layer is manufactured in this embodiment, a film having a gas barrier layer is used as the workpiece film 20. Furthermore, when a transparent conductive film having an anti-fouling layer is manufactured in this embodiment, a film having a transparent conductive layer is used as the workpiece film 20. The anti-reflection layer, the gas barrier layer, and the transparent conductive layer are all preferably inorganic oxide layers. In other words, a workpiece film having an inorganic oxide layer is preferred as the workpiece film 20. When a workpiece film having an inorganic oxide layer is used as the workpiece film 20, the anti-fouling layer is formed, for example, on one main surface of the inorganic oxide layer. In this case, the anti-fouling layer and the inorganic oxide layer are in contact with each other in the resulting anti-fouling film.

以下、ワークフィルム20の一例として、反射防止層を備えるフィルムについて説明する。図2は、反射防止層を備えるワークフィルム20の断面図である。図2に示すワークフィルム20は、透明フィルム基材101、ハードコート層102、プライマー層103及び反射防止層104をこの順に有する積層体である。図2に示すワークフィルム20を用いて、上述した蒸着工程においてワークフィルム20の主面20a(反射防止層104の主面)に防汚層105(図3参照)を形成することにより、図3に示す防汚フィルム100(防汚層105を備える反射防止フィルム)が得られる。 Below, we will explain a film equipped with an anti-reflection layer as an example of a workpiece film 20. Figure 2 is a cross-sectional view of a workpiece film 20 equipped with an anti-reflection layer. The workpiece film 20 shown in Figure 2 is a laminate having a transparent film substrate 101, a hard coat layer 102, a primer layer 103, and an anti-reflection layer 104, in this order. Using the workpiece film 20 shown in Figure 2, an anti-fouling layer 105 (see Figure 3) is formed on the main surface 20a of the workpiece film 20 (the main surface of the anti-reflection layer 104) in the vapor deposition process described above, thereby obtaining the anti-fouling film 100 shown in Figure 3 (an anti-reflection film equipped with the anti-fouling layer 105).

図3に示す防汚フィルム100では、防汚層105は、防汚フィルム100の最表層である。最表層として防汚層105が設けられることにより、例えば、外部環境からの汚染(指紋、手垢、埃等)の影響を低減できるとともに、防汚フィルム100の表面に付着した汚染物質の除去が容易となる。 In the antifouling film 100 shown in Figure 3, the antifouling layer 105 is the outermost layer of the antifouling film 100. By providing the antifouling layer 105 as the outermost layer, for example, the effects of contamination from the external environment (fingerprints, hand marks, dust, etc.) can be reduced and contaminants adhering to the surface of the antifouling film 100 can be easily removed.

反射防止層104は、プライマー層103側から、高屈折率層106、低屈折率層107、高屈折率層108及び低屈折率層109の4層をこの順に有する。高屈折率層及び低屈折率層の詳細については、後述する。なお、反射防止層は、反射防止層104のような4層構成に限定されず、2層構成、3層構成、5層構成、又は6層以上の積層構成であってもよい。また、反射防止層は、単層構成であってもよい。反射防止層は、好ましくは、2層以上の高屈折率層と2層以上の低屈折率層との交互積層体である。 The anti-reflection layer 104 has four layers, in this order from the primer layer 103 side: high refractive index layer 106, low refractive index layer 107, high refractive index layer 108, and low refractive index layer 109. Details of the high refractive index layer and low refractive index layer will be described later. Note that the anti-reflection layer is not limited to a four-layer structure like anti-reflection layer 104, and may have a two-layer structure, a three-layer structure, a five-layer structure, or a stacked structure of six or more layers. The anti-reflection layer may also have a single-layer structure. The anti-reflection layer is preferably an alternating stack of two or more high refractive index layers and two or more low refractive index layers.

反射防止層104の主面20a側の表層である低屈折率層109としては、酸化シリコン層が好ましい。酸化シリコン層は、防汚層105との屈折率差が比較的小さいため、酸化シリコン層上に防汚層105を設けても、反射防止層104の反射防止性能の低下を抑制できる。なお、低屈折率層109が酸化シリコン層である場合、上述した蒸着工程において、上記酸化シリコン層の一方の主面(主面20a)に防汚層105が形成される。 A silicon oxide layer is preferred as the low refractive index layer 109, which is the surface layer on the principal surface 20a side of the anti-reflection layer 104. Because the difference in refractive index between the silicon oxide layer and the anti-fouling layer 105 is relatively small, even if the anti-fouling layer 105 is provided on the silicon oxide layer, a decrease in the anti-reflection performance of the anti-reflection layer 104 can be suppressed. Note that when the low refractive index layer 109 is a silicon oxide layer, the anti-fouling layer 105 is formed on one principal surface (principal surface 20a) of the silicon oxide layer in the vapor deposition process described above.

[防汚フィルムの要素]
次に、防汚フィルム(詳しくは、防汚層を備える反射防止フィルム)の要素について説明する。
[Elements of anti-fouling film]
Next, the elements of the antifouling film (specifically, the antireflection film having an antifouling layer) will be described.

(透明フィルム基材)
透明フィルム基材は、例えば可撓性を有する透明な樹脂フィルムである。透明フィルム基材を構成する材料としては、例えば、ポリエステル樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリスチレン樹脂、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、セルロース樹脂、ノルボルネン樹脂、ポリアリレート樹脂、及びポリビニルアルコール樹脂が挙げられる。ポリエステル樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリブチレンテレフタレート、及びポリエチレンナフタレートが挙げられる。ポリオレフィン樹脂としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、及びシクロオレフィンポリマー(COP)が挙げられる。セルロース樹脂としては、例えば、トリアセチルセルロース(TAC)が挙げられる。これらの材料は、単独で用いられてもよいし、二種類以上が併用されてもよい。透明フィルム基材の材料としては、透明性及び強度の観点から、ポリエステル樹脂、ポリオレフィン樹脂、及びセルロース樹脂からなる群より選択される一種が好ましく、PET、COP、及びTACからなる群より選択される一種がより好ましく、PETが更に好ましい。つまり、透明フィルム基材としては、ポリエステル樹脂フィルム、ポリオレフィン樹脂フィルム、及びセルロース樹脂フィルムからなる群より選択される一種のフィルムが好ましく、PETフィルム、COPフィルム、及びTACフィルムからなる群より選択される一種のフィルムがより好ましく、PETフィルムが更に好ましい。
(Transparent film substrate)
The transparent film substrate is, for example, a flexible, transparent resin film. Examples of materials constituting the transparent film substrate include polyester resins, polyolefin resins, polystyrene resins, acrylic resins, polycarbonate resins, polyethersulfone resins, polysulfone resins, polyamide resins, polyimide resins, cellulose resins, norbornene resins, polyarylate resins, and polyvinyl alcohol resins. Examples of polyester resins include polyethylene terephthalate (PET), polybutylene terephthalate, and polyethylene naphthalate. Examples of polyolefin resins include polyethylene, polypropylene, and cycloolefin polymer (COP). Examples of cellulose resins include triacetyl cellulose (TAC). These materials may be used alone or in combination of two or more. From the viewpoints of transparency and strength, the material for the transparent film substrate is preferably one selected from the group consisting of polyester resins, polyolefin resins, and cellulose resins, more preferably one selected from the group consisting of PET, COP, and TAC, and even more preferably PET. In other words, as the transparent film substrate, a type of film selected from the group consisting of polyester resin film, polyolefin resin film, and cellulose resin film is preferred, a type of film selected from the group consisting of PET film, COP film, and TAC film is more preferred, and a PET film is even more preferred.

透明フィルム基材の厚みは、強度の観点から、好ましくは5μm以上、より好ましくは10μm以上、更に好ましくは20μm以上である。透明フィルム基材の厚みは、取扱い性の観点から、好ましくは300μm以下、より好ましくは200μm以下である。 From the viewpoint of strength, the thickness of the transparent film substrate is preferably 5 μm or more, more preferably 10 μm or more, and even more preferably 20 μm or more. From the viewpoint of handleability, the thickness of the transparent film substrate is preferably 300 μm or less, and more preferably 200 μm or less.

透明フィルム基材の一方の主面又は両主面は、表面改質処理されていてもよい。表面改質処理としては、例えば、コロナ処理、プラズマ処理、オゾン処理、プライマー処理、グロー処理、及びカップリング剤処理が挙げられる。 One or both main surfaces of the transparent film substrate may be subjected to a surface modification treatment. Examples of surface modification treatments include corona treatment, plasma treatment, ozone treatment, primer treatment, glow treatment, and coupling agent treatment.

透明フィルム基材の全光線透過率(JIS K 7375-2008)は、防汚フィルムの透明性を向上させる観点から、好ましくは80%以上、より好ましくは90%以上、更に好ましくは95%以上100%以下である。 To improve the transparency of the anti-fouling film, the total light transmittance (JIS K 7375-2008) of the transparent film substrate is preferably 80% or more, more preferably 90% or more, and even more preferably 95% or more and 100% or less.

(ハードコート層)
ハードコート層は、ワークフィルムの硬度や弾性率等の機械的特性を高める層である。ハードコート層は、例えば、硬化性樹脂組成物(ハードコート層形成用組成物)の硬化物からなる。ハードコート層の形成方法としては、例えば、透明フィルム基材上に硬化性樹脂組成物(ハードコート層形成用組成物)を塗布し、必要に応じて溶媒の除去及び樹脂の硬化を行う方法を採用できる。硬化性樹脂組成物に含まれる硬化性樹脂としては、例えば、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、ウレタンアクリレート系樹脂、アミド樹脂、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、及びメラミン樹脂が挙げられる。これらの硬化性樹脂は、単独で用いられてもよいし、二種類以上が併用されてもよい。ハードコート層の硬度を高める観点から、硬化性樹脂としては、アクリル樹脂及びウレタンアクリレート系樹脂からなる群より選択される一種以上が好ましく、ウレタンアクリレート系樹脂がより好ましい。
(Hard Coat Layer)
The hard coat layer is a layer that enhances the mechanical properties of the work film, such as hardness and elastic modulus. The hard coat layer is, for example, composed of a cured product of a curable resin composition (hard coat layer-forming composition). A method for forming the hard coat layer can be employed, for example, by applying the curable resin composition (hard coat layer-forming composition) to a transparent film substrate, and then removing the solvent and curing the resin as necessary. Examples of curable resins contained in the curable resin composition include polyester resins, acrylic resins, urethane resins, urethane acrylate resins, amide resins, silicone resins, epoxy resins, and melamine resins. These curable resins may be used alone or in combination. From the viewpoint of increasing the hardness of the hard coat layer, the curable resin is preferably one or more selected from the group consisting of acrylic resins and urethane acrylate resins, with urethane acrylate resins being more preferred.

また、硬化性樹脂組成物としては、例えば、紫外線硬化型の樹脂組成物、及び熱硬化型の樹脂組成物が挙げられる。ワークフィルムの生産性向上の観点から、硬化性樹脂組成物としては、紫外線硬化型の樹脂組成物が好ましい。紫外線硬化型の樹脂組成物には、紫外線硬化型モノマー、紫外線硬化型オリゴマー及び紫外線硬化型ポリマーからなる群より選択される一種以上が含まれる。紫外線硬化型の樹脂組成物の具体例としては、特開2016-179686号公報に記載のハードコート層形成用組成物が挙げられる。 Curable resin compositions include, for example, ultraviolet-curable resin compositions and thermosetting resin compositions. From the perspective of improving the productivity of workpiece films, ultraviolet-curable resin compositions are preferred as curable resin compositions. UV-curable resin compositions include one or more components selected from the group consisting of ultraviolet-curable monomers, ultraviolet-curable oligomers, and ultraviolet-curable polymers. Specific examples of ultraviolet-curable resin compositions include the hard coat layer-forming composition described in JP 2016-179686 A.

また、硬化性樹脂組成物は、個数平均一次粒子径が0.5μm以上の粒子(以下、「マイクロ粒子」と記載することがある)を含有してもよい。つまり、ハードコート層は、マイクロ粒子を含有してもよい。硬化性樹脂組成物にマイクロ粒子を配合することにより、ハードコート層における、硬さの調整、表面粗さの調整、屈折率の調整及び防眩性の調整が可能となる。マイクロ粒子としては、例えば、金属(又は半金属)の酸化物粒子、ガラス粒子、及び有機粒子が挙げられる。金属(又は半金属)の酸化物粒子の材料としては、例えば、シリカ、アルミナ、チタニア、ジルコニア、酸化カルシウム、酸化スズ、酸化インジウム、酸化カドミウム、及び酸化アンチモンが挙げられる。有機粒子の材料としては、例えば、ポリメチルメタクリレート、ポリスチレン、ポリウレタン、(メタ)アクリレート系化合物-スチレン共重合体、ベンゾグアナミン、メラミン、ポリメチルシルセスキオキサン及びポリカーボネートが挙げられる。 The curable resin composition may also contain particles having a number-average primary particle diameter of 0.5 μm or more (hereinafter, sometimes referred to as "microparticles"). In other words, the hard coat layer may contain microparticles. By incorporating microparticles into the curable resin composition, it is possible to adjust the hardness, surface roughness, refractive index, and anti-glare properties of the hard coat layer. Examples of microparticles include metal (or semi-metal) oxide particles, glass particles, and organic particles. Examples of materials for metal (or semi-metal) oxide particles include silica, alumina, titania, zirconia, calcium oxide, tin oxide, indium oxide, cadmium oxide, and antimony oxide. Examples of materials for organic particles include polymethyl methacrylate, polystyrene, polyurethane, (meth)acrylate compound-styrene copolymer, benzoguanamine, melamine, polymethylsilsesquioxane, and polycarbonate.

ハードコート層の防眩性を容易に調整するためには、マイクロ粒子の個数平均一次粒子径が、1.0μm以上5.0μm以下であることが好ましく、2.0μm以上4.0μm以下であることがより好ましい。 To easily adjust the anti-glare properties of the hard coat layer, the number-average primary particle diameter of the microparticles is preferably 1.0 μm or more and 5.0 μm or less, and more preferably 2.0 μm or more and 4.0 μm or less.

ハードコート層の防眩性を容易に調整するためには、ハードコート層におけるマイクロ粒子の量は、硬化性樹脂100重量部に対して、5重量部以上であることが好ましく、10重量部以上、20重量部以上又は30重量部以上であってもよい。ハードコート層におけるマイクロ粒子の量の上限は、硬化性樹脂100重量部に対して、例えば90重量部であり、80重量部であることが好ましく、70重量部であってもよい。 To easily adjust the antiglare properties of the hard coat layer, the amount of microparticles in the hard coat layer is preferably 5 parts by weight or more, and may be 10 parts by weight or more, 20 parts by weight or more, or 30 parts by weight or more, per 100 parts by weight of curable resin. The upper limit of the amount of microparticles in the hard coat layer is, for example, 90 parts by weight, preferably 80 parts by weight, and may be 70 parts by weight, per 100 parts by weight of curable resin.

また、硬化性樹脂組成物は、個数平均一次粒子径が0.5μm未満の粒子(以下、「ナノ粒子」と記載することがある)を含んでいてもよい。ハードコート層がナノ粒子を含む硬化性樹脂組成物の硬化物からなる場合、ハードコート層の表面に、微細な凹凸が形成され、ハードコート層と、その上に形成される層との密着性が向上する傾向がある。 The curable resin composition may also contain particles having a number-average primary particle diameter of less than 0.5 μm (hereinafter, sometimes referred to as "nanoparticles"). When the hard coat layer is made from a cured product of a curable resin composition containing nanoparticles, fine irregularities are formed on the surface of the hard coat layer, which tends to improve adhesion between the hard coat layer and layers formed thereon.

密着性向上に寄与する微細な凹凸形状を形成する観点から、ナノ粒子の個数平均一次粒子径は、20nm以上80nm以下であることが好ましく、25nm以上70nm以下であることがより好ましく、30nm以上60nm以下であることが更に好ましい。 From the perspective of forming a fine uneven shape that contributes to improved adhesion, the number average primary particle diameter of the nanoparticles is preferably 20 nm or more and 80 nm or less, more preferably 25 nm or more and 70 nm or less, and even more preferably 30 nm or more and 60 nm or less.

ナノ粒子の材料としては、無機酸化物が好ましい。無機酸化物としては、酸化シリコン(シリカ)、酸化チタン、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、酸化ニオブ、酸化亜鉛、酸化スズ、酸化セリウム、酸化マグネシウム等の金属(又は半金属)の酸化物が挙げられる。無機酸化物は、複数種の(半)金属の複合酸化物でもよい。例示の無機酸化物の中でも、密着性向上効果が高いことから、酸化シリコンが好ましい。つまり、ナノ粒子としては、酸化シリコンの粒子(シリカ粒子)が好ましい。ナノ粒子としての無機酸化物粒子の表面には、樹脂との密着性や親和性を高める目的で、アクリル基、エポキシ基等の官能基が導入されていてもよい。 Inorganic oxides are preferred as nanoparticle materials. Examples of inorganic oxides include metal (or semi-metal) oxides such as silicon oxide (silica), titanium oxide, aluminum oxide, zirconium oxide, niobium oxide, zinc oxide, tin oxide, cerium oxide, and magnesium oxide. The inorganic oxide may also be a composite oxide of multiple (semi-)metals. Among the inorganic oxides listed above, silicon oxide is preferred due to its high adhesion-enhancing effect. In other words, silicon oxide particles (silica particles) are preferred as nanoparticles. Functional groups such as acrylic groups and epoxy groups may be introduced onto the surfaces of inorganic oxide nanoparticles to enhance adhesion and affinity with resins.

ハードコート層におけるナノ粒子の量は、硬化性樹脂100重量部に対して、5重量部以上であることが好ましく、10重量部以上、20重量部以上又は30重量部以上であってもよい。ナノ粒子の量が5重量部以上であれば、ハードコート層上に形成される層との密着性をより向上させることができる。ハードコート層におけるナノ粒子の量の上限は、硬化性樹脂100重量部に対して、例えば90重量部であり、80重量部であることが好ましく、70重量部であってもよい。 The amount of nanoparticles in the hard coat layer is preferably 5 parts by weight or more, and may be 10 parts by weight or more, 20 parts by weight or more, or 30 parts by weight or more, per 100 parts by weight of curable resin. If the amount of nanoparticles is 5 parts by weight or more, adhesion to the layer formed on the hard coat layer can be further improved. The upper limit of the amount of nanoparticles in the hard coat layer is, for example, 90 parts by weight, preferably 80 parts by weight, and may be 70 parts by weight, per 100 parts by weight of curable resin.

硬化性樹脂組成物(ハードコート層形成用組成物)は、例えば、上述した硬化性樹脂、及び重合開始剤(例えば光重合開始剤)を含み、必要に応じてこれらの成分を溶解又は分散可能な溶媒を含む。また、硬化性樹脂組成物(ハードコート層形成用組成物)は、上記成分の他に、マイクロ粒子、ナノ粒子、レベリング剤、粘度調整剤(チクソトロピー剤、増粘剤等)、帯電防止剤、ブロッキング防止剤、分散剤、分散安定剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、消泡剤、界面活性剤、滑剤等の添加剤を含んでいてもよい。 The curable resin composition (hard coat layer-forming composition) contains, for example, the curable resin described above and a polymerization initiator (e.g., a photopolymerization initiator), and optionally a solvent capable of dissolving or dispersing these components. In addition to the above components, the curable resin composition (hard coat layer-forming composition) may also contain additives such as microparticles, nanoparticles, leveling agents, viscosity modifiers (thixotropic agents, thickeners, etc.), antistatic agents, antiblocking agents, dispersants, dispersion stabilizers, antioxidants, UV absorbers, antifoaming agents, surfactants, and lubricants.

ハードコート層の厚みは、ハードコート層の硬度を高める観点から、好ましくは1μm以上、より好ましくは2μm以上である。ハードコート層の厚みは、防汚フィルムの柔軟性確保の観点から、好ましくは50μm以下、より好ましくは40μm以下、更に好ましくは35μm以下、更により好ましくは30μm以下である。 From the viewpoint of increasing the hardness of the hard coat layer, the thickness of the hard coat layer is preferably 1 μm or more, more preferably 2 μm or more. From the viewpoint of ensuring the flexibility of the antifouling film, the thickness of the hard coat layer is preferably 50 μm or less, more preferably 40 μm or less, even more preferably 35 μm or less, and even more preferably 30 μm or less.

ハードコート層の透明フィルム基材側とは反対側の主面は、表面改質処理されていてもよい。表面改質処理としては、例えば、プラズマ処理、コロナ処理、オゾン処理、プライマー処理、グロー処理、及びカップリング剤処理が挙げられる。 The main surface of the hard coat layer opposite the transparent film substrate may be subjected to a surface modification treatment. Examples of surface modification treatments include plasma treatment, corona treatment, ozone treatment, primer treatment, glow treatment, and coupling agent treatment.

(プライマー層)
ハードコート層と反射防止層との密着性を高めるためには、ハードコート層と反射防止層との間にプライマー層が設けられることが好ましい。プライマー層の材料としては、シリコン、ニッケル、クロム、スズ、金、銀、白金、亜鉛、チタン、インジウム、タングステン、アルミニウム、ジルコニウム、パラジウム等の金属(又は半金属);これらの金属(又は半金属)の合金;これらの金属(又は半金属)の酸化物、フッ化物、硫化物又は窒化物等が挙げられる。プライマー層を構成する酸化物は、酸化インジウムスズ(ITO)等の複合酸化物でもよい。中でも、プライマー層の材料としては、無機酸化物が好ましく、酸化シリコン、酸化インジウム又はITOがより好ましく、ITOが更に好ましい。
(Primer layer)
In order to improve the adhesion between the hard coat layer and the anti-reflection layer, it is preferable to provide a primer layer between the hard coat layer and the anti-reflection layer.The material of the primer layer includes metals (or semi-metals) such as silicon, nickel, chromium, tin, gold, silver, platinum, zinc, titanium, indium, tungsten, aluminum, zirconium, palladium, etc.; alloys of these metals (or semi-metals); oxides, fluorides, sulfides, or nitrides of these metals (or semi-metals).The oxide constituting the primer layer may be a composite oxide such as indium tin oxide (ITO).Among these, inorganic oxides are preferred as the material of the primer layer, with silicon oxide, indium oxide, or ITO being more preferred, and ITO being even more preferred.

ハードコート層と反射防止層との密着性を高めつつ、プライマー層の光透過性を確保するためには、プライマー層の厚みは、0.5nm以上20nm以下であることが好ましく、0.5nm以上10nm以下であることがより好ましく、1.0nm以上10nm以下であることが更に好ましい。 To ensure the light transmittance of the primer layer while improving the adhesion between the hard coat layer and the anti-reflection layer, the thickness of the primer layer is preferably 0.5 nm or more and 20 nm or less, more preferably 0.5 nm or more and 10 nm or less, and even more preferably 1.0 nm or more and 10 nm or less.

プライマー層の形成方法は、特に限定されず、ウェットコーティング法及びドライコーティング法のいずれでもよい。膜厚が均一な薄膜を形成できることから、真空蒸着法、CVD法、スパッタ法等のドライコーティング法が好ましい。また、生産性を高める観点から、プライマー層の成膜方法としては、ロールトゥロール方式のスパッタ成膜装置を用いて成膜する方法(ロールトゥロール方式のスパッタ法)が好ましい。 The method for forming the primer layer is not particularly limited, and may be either a wet coating method or a dry coating method. Dry coating methods such as vacuum deposition, CVD, and sputtering are preferred, as they allow for the formation of a thin film with a uniform thickness. Furthermore, from the perspective of improving productivity, a method in which the primer layer is formed using a roll-to-roll sputtering deposition device (roll-to-roll sputtering method) is preferred.

ロールトゥロール方式のスパッタ法では、長尺のフィルム(例えば、ハードコート層が形成された透明フィルム基材)を長手方向(MD方向)に搬送しながら、例えば、プライマー層及び反射防止層を連続成膜できる。スパッタ法では、アルゴン等の不活性ガス、及び必要に応じて酸素等の反応性ガスを成膜室内に導入しながら成膜が行われる。プライマー層として酸化物層を成膜する場合、スパッタ法による酸化物層の成膜は、酸化物ターゲットを用いる方法、及び金属(又は半金属)ターゲットを用いる反応性スパッタのいずれでも実施できる。スパッタ法を実施するための電源としては、例えば、DC電源、AC電源、RF電源、及び、MFAC電源(周波数帯が数kHz~数MHzのAC電源)が挙げられる。 In roll-to-roll sputtering, a long film (e.g., a transparent film substrate with a hard coat layer formed thereon) is transported in the longitudinal direction (MD) while continuously depositing, for example, a primer layer and an anti-reflection layer. In sputtering, an inert gas such as argon, and optionally a reactive gas such as oxygen, are introduced into the deposition chamber during deposition. When depositing an oxide layer as a primer layer, sputtering can be performed using either an oxide target or reactive sputtering using a metal (or semi-metal) target. Examples of power sources for performing sputtering include DC power sources, AC power sources, RF power sources, and MFAC power sources (AC power sources with a frequency range of several kHz to several MHz).

(反射防止層)
反射防止層は、屈折率の異なる2層以上の薄膜からなることが好ましい。一般に、反射防止層は、入射光と反射光の逆転した位相が互いに打ち消し合うように、薄膜の光学膜厚(屈折率と厚みの積)が調整される。反射防止層を、屈折率の異なる2層以上の薄膜の多層積層体とすることにより、可視光の広帯域の波長範囲において、反射率を小さくできる。
(Anti-reflection layer)
The antireflection layer preferably comprises two or more thin films with different refractive indices. Generally, the optical film thickness (product of refractive index and thickness) of the thin films of the antireflection layer is adjusted so that the reversed phases of incident light and reflected light cancel each other out. By forming the antireflection layer as a multilayer laminate of two or more thin films with different refractive indices, the reflectance can be reduced over a wide wavelength range of visible light.

反射防止層を構成する薄膜の材料としては、金属(又は半金属)の酸化物、窒化物、フッ化物等が挙げられる。反射防止層は、好ましくは、高屈折率層と低屈折率層の交互積層体である。 Examples of thin film materials that make up the anti-reflection layer include metal (or semi-metal) oxides, nitrides, and fluorides. The anti-reflection layer is preferably an alternating laminate of high-refractive index layers and low-refractive index layers.

高屈折率層は、屈折率が、例えば1.9以上であり、好ましくは2.0以上である。高屈折率層の材料としては、酸化チタン、酸化ニオブ(Nb等)、酸化ジルコニウム、酸化タンタル、酸化亜鉛、酸化インジウム、ITO、アンチモンドープ酸化スズ(ATO)等が挙げられる。中でも、酸化チタン及び酸化ニオブからなる群より選択される一種以上が好ましい。低屈折率層は、屈折率が、例えば1.6以下であり、好ましくは1.5以下である。低屈折率層の材料としては、酸化シリコン(SiO等)、窒化チタン、フッ化マグネシウム、フッ化バリウム、フッ化カルシウム、フッ化ハフニウム、フッ化ランタン等が挙げられる。中でも酸化シリコンが好ましい。特に、高屈折率層としての酸化ニオブ薄膜と、低屈折率層としての酸化シリコン薄膜とを交互に積層することが好ましい。低屈折率層と高屈折率層に加えて、屈折率1.6超1.9未満の中屈折率層が設けられてもよい。 The high-refractive index layer has a refractive index of, for example, 1.9 or more, preferably 2.0 or more. Examples of materials for the high-refractive index layer include titanium oxide, niobium oxide (e.g., Nb 2 O 5 ), zirconium oxide, tantalum oxide, zinc oxide, indium oxide, ITO, and antimony-doped tin oxide (ATO). Among these, at least one material selected from the group consisting of titanium oxide and niobium oxide is preferred. The low-refractive index layer has a refractive index of, for example, 1.6 or less, preferably 1.5 or less. Examples of materials for the low-refractive index layer include silicon oxide (e.g., SiO 2 ), titanium nitride, magnesium fluoride, barium fluoride, calcium fluoride, hafnium fluoride, and lanthanum fluoride. Among these, silicon oxide is preferred. It is particularly preferred to alternately stack niobium oxide thin films as the high-refractive index layer and silicon oxide thin films as the low-refractive index layer. In addition to the low-refractive index layer and the high-refractive index layer, a medium-refractive index layer having a refractive index greater than 1.6 and less than 1.9 may be provided.

高屈折率層及び低屈折率層の膜厚は、それぞれ、5nm以上200nm以下であることが好ましく、10nm以上150nm以下であることがより好ましい。屈折率や積層構成等に応じて、可視光の反射率が小さくなるように、各層の膜厚を設計すればよい。 The film thickness of each of the high refractive index layer and the low refractive index layer is preferably 5 nm or more and 200 nm or less, and more preferably 10 nm or more and 150 nm or less. The film thickness of each layer can be designed to reduce the reflectance of visible light depending on the refractive index, layer structure, etc.

反射防止層が、高屈折率層としての酸化ニオブ薄膜と、低屈折率層としての酸化シリコン薄膜とを交互に積層させた、4層の交互積層体である場合、反射防止層の構成としては、ハードコート層側から、厚み5nm以上20nm以下の酸化ニオブ薄膜、厚み10nm以上40nm以下の酸化シリコン薄膜、厚み65nm以上120nm以下の酸化ニオブ薄膜、及び厚み60nm以上100nm以下の酸化シリコン薄膜をこの順に備える構成が挙げられる。 When the anti-reflection layer is a four-layer alternating laminate consisting of niobium oxide thin films as high-refractive index layers and silicon oxide thin films as low-refractive index layers, the anti-reflection layer may be configured to have, from the hard coat layer side, a niobium oxide thin film with a thickness of 5 nm to 20 nm, a silicon oxide thin film with a thickness of 10 nm to 40 nm, a niobium oxide thin film with a thickness of 65 nm to 120 nm, and a silicon oxide thin film with a thickness of 60 nm to 100 nm, in that order.

耐屈曲性に優れる防汚フィルムを得るためには、反射防止層の厚みは、140nm以上280nm以下であることが好ましく、170nm以上280nm以下であることがより好ましく、180nm以上260nm以下であることが更に好ましく、190nm以上250nm以下であることが更により好ましい。なお、本明細書において、「反射防止層の厚み」は、反射防止層を構成する各層の厚みの合計(合計厚み)である。 To obtain an antifouling film with excellent flex resistance, the thickness of the antireflection layer is preferably 140 nm or more and 280 nm or less, more preferably 170 nm or more and 280 nm or less, even more preferably 180 nm or more and 260 nm or less, and even more preferably 190 nm or more and 250 nm or less. In this specification, the "thickness of the antireflection layer" refers to the sum (total thickness) of the thicknesses of the individual layers that make up the antireflection layer.

反射防止層の形成方法は、特に限定されず、ウェットコーティング法及びドライコーティング法のいずれでもよい。膜厚が均一な薄膜を形成できることから、真空蒸着法、CVD法、スパッタ法等のドライコーティング法が好ましい。また、生産性を高める観点から、反射防止層の成膜方法としては、ロールトゥロール方式のスパッタ成膜装置を用いて成膜する方法(ロールトゥロール方式のスパッタ法)が好ましい。 The method for forming the anti-reflection layer is not particularly limited, and may be either a wet coating method or a dry coating method. Dry coating methods such as vacuum deposition, CVD, and sputtering are preferred, as they allow for the formation of a thin film with a uniform thickness. Furthermore, from the perspective of improving productivity, a method in which the anti-reflection layer is formed using a roll-to-roll sputtering film-forming device (roll-to-roll sputtering method) is preferred.

反射防止層として酸化物層を成膜する場合、スパッタ法による酸化物層の成膜は、酸化物ターゲットを用いる方法、及び金属(又は半金属)ターゲットを用いる反応性スパッタのいずれでも実施できる。スパッタ法を実施するための電源としては、例えば、DC電源、AC電源、RF電源、及び、MFAC電源(周波数帯が数kHz~数MHzのAC電源)が挙げられる。 When depositing an oxide layer as an anti-reflection layer, the oxide layer can be deposited by sputtering using either an oxide target or reactive sputtering using a metal (or semi-metal) target. Examples of power sources for sputtering include DC power sources, AC power sources, RF power sources, and MFAC power sources (AC power sources with a frequency range of several kHz to several MHz).

(防汚層)
防汚層の厚みは、例えば、2nm以上50nm以下である。防汚層の厚みが大きいほど、防汚性が向上する傾向がある。防汚層の厚みは、5nm以上であることが好ましく、6nm以上であることがより好ましく、7nm以上であることが更に好ましい。一方、外光の映り込みを抑制するためには、防汚層の厚みは、30nm以下であることが好ましく、20nm以下であることがより好ましく、15nm以下であることが更に好ましい。なお、本明細書において、「防汚層の厚み」は、真空蒸着装置内に設置した水晶振動子型膜厚モニタで測定される厚み、又は配管内気圧センサによる膜厚モニタで測定される厚みである。
(Anti-fouling layer)
The thickness of the antifouling layer is, for example, 2 nm or more and 50 nm or less. The thicker the antifouling layer, the more improved the antifouling properties tend to be. The thickness of the antifouling layer is preferably 5 nm or more, more preferably 6 nm or more, and even more preferably 7 nm or more. On the other hand, in order to suppress reflection of external light, the thickness of the antifouling layer is preferably 30 nm or less, more preferably 20 nm or less, and even more preferably 15 nm or less. In this specification, the "thickness of the antifouling layer" refers to the thickness measured with a quartz crystal resonator film thickness monitor installed in a vacuum deposition apparatus, or the thickness measured with a film thickness monitor using a pipe internal pressure sensor.

外光の映り込みを抑制するためには、防汚層の反射防止層側とは反対側の主面(以下、単に「防汚層表面」と記載することがある)の最大高さRzは、0.40μm以上であることが好ましく、0.45μm以上であることがより好ましく、0.50μm以上であることが更に好ましい。放電痕の発生を抑制するためには、防汚層表面の最大高さRzは、1.50μm以下であることが好ましく、1.40μm以下であることがより好ましく、1.30μm以下であることが更に好ましく、1.20μm以下であることが更により好ましい。なお、「放電痕」とは、防汚層表面と、帯電した使用者の手指等との間で発生する静電気放電に起因する欠陥をさす。 To suppress reflection of external light, the maximum height Rz of the main surface of the antifouling layer opposite the antireflection layer side (hereinafter sometimes simply referred to as the "antifouling layer surface") is preferably 0.40 μm or more, more preferably 0.45 μm or more, and even more preferably 0.50 μm or more. To suppress the occurrence of discharge marks, the maximum height Rz of the antifouling layer surface is preferably 1.50 μm or less, more preferably 1.40 μm or less, even more preferably 1.30 μm or less, and even more preferably 1.20 μm or less. Note that "discharge marks" refer to defects caused by electrostatic discharge that occurs between the antifouling layer surface and the charged fingers of the user, etc.

以上、本実施形態の製造方法で得られる防汚フィルムの一例について説明したが、本実施形態の製造方法で得られる防汚フィルムは、上記例には限定されない。例えば、本実施形態の製造方法で得られる防汚フィルムは、無機酸化物層を含まない防汚フィルムであってもよい。 The above describes one example of an antifouling film obtained by the manufacturing method of this embodiment, but the antifouling film obtained by the manufacturing method of this embodiment is not limited to the above example. For example, the antifouling film obtained by the manufacturing method of this embodiment may be an antifouling film that does not include an inorganic oxide layer.

[防汚フィルムの製造方法の好ましい態様]
生産性を高めつつ、防汚層を形成する際の歩留まりの低下を更に抑制するためには、本実施形態に係る防汚フィルムの製造方法は、下記条件1を満たすことが好ましく、下記条件2を満たすことがより好ましく、下記条件3を満たすことが更に好ましい。
条件1:脱気工程において、防汚剤組成物の周囲の雰囲気を、圧力5Pa以上40Pa以下の条件で減圧する。
条件2:上記条件1を満たし、かつ脱気工程の前に排気工程を更に備える。
条件3:上記条件2を満たし、かつ排気工程において、防汚剤組成物の周囲の雰囲気を、圧力20Pa以上40Pa以下の条件で減圧する。
[Preferred embodiment of the method for producing an antifouling film]
In order to increase productivity while further suppressing a decrease in yield when forming the antifouling layer, the method for producing an antifouling film according to this embodiment preferably satisfies the following condition 1, more preferably satisfies the following condition 2, and even more preferably satisfies the following condition 3.
Condition 1: In the degassing step, the atmosphere surrounding the antifouling composition is reduced in pressure to a pressure of 5 Pa or more and 40 Pa or less.
Condition 2: The above condition 1 is satisfied, and an evacuation step is further provided before the degassing step.
Condition 3: The above condition 2 is satisfied, and in the evacuation step, the atmosphere surrounding the antifouling agent composition is reduced in pressure to a pressure of 20 Pa or more and 40 Pa or less.

以下、本発明の実施例について説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。 The following describes examples of the present invention, but the present invention is not limited to the following examples.

<実施例1の防汚フィルムの作製>
[ハードコート層形成工程]
ウレタンアクリレートを主成分とする紫外線硬化性樹脂の溶液(DIC社製「ユニディック17-806」、固形分濃度:80重量%)100重量部(固形分換算)と、光重合開始剤(BASF社製「IRGACURE906」)5重量部と、レベリング剤(DIC社製「GRANDIC PC4100」)0.01重量部とを混合した。得られた混合物を、シクロペンタノン(CPN)及びプロピレングリコールモノメチルエーテル(PGM)の混合溶媒(重量比:CPN/PGM=45/55)で希釈して、固形分濃度36重量%のハードコート層形成用組成物を調製した。次いで、透明フィルム基材としてのPETフィルム(厚み:50μm)の一方の主面に、上記ハードコート層形成用組成物を塗布し、塗膜を形成した。次に、この塗膜を、温度90℃で60秒間加熱することにより乾燥させた後、紫外線照射により硬化させた。紫外線照射する際は、光源として高圧水銀ランプを使用し、波長365nmの紫外線を用い、積算光量を300mJ/cmとした。これにより、PETフィルム上に厚み5μmのハードコート層を形成した。
<Preparation of antifouling film of Example 1>
[Hard Coat Layer Forming Step]
100 parts by weight (solids equivalent) of a solution of ultraviolet-curable resin mainly composed of urethane acrylate (DIC Corporation "UNIDIC 17-806", solids concentration: 80 wt%), 5 parts by weight of a photopolymerization initiator (BASF Corporation "IRGACURE 906"), and 0.01 parts by weight of a leveling agent (DIC Corporation "GRANDIC PC4100") were mixed. The resulting mixture was diluted with a mixed solvent of cyclopentanone (CPN) and propylene glycol monomethyl ether (PGM) (weight ratio: CPN / PGM = 45 / 55) to prepare a hard coat layer-forming composition with a solids concentration of 36 wt%. Next, the hard coat layer-forming composition was applied to one main surface of a PET film (thickness: 50 μm) as a transparent film substrate, and a coating film was formed. Next, the coating film was dried by heating at a temperature of 90°C for 60 seconds, and then cured by ultraviolet irradiation. When irradiating ultraviolet light, a high-pressure mercury lamp was used as the light source, ultraviolet light with a wavelength of 365 nm was used, and the integrated light amount was set to 300 mJ/ cm2 . In this way, a hard coat layer with a thickness of 5 µm was formed on the PET film.

[ハードコート層の表面処理工程]
次いで、ロールトゥロール方式のプラズマ処理装置により、圧力1.0Paの真空雰囲気下、ハードコート層が形成されたPETフィルムを搬送しながら、ハードコート層の表面をプラズマ処理した。プラズマ処理する際は、不活性ガスとしてアルゴンガスを用い、放電電力を780Wとした。これにより、PETフィルムと、プラズマ処理されたハードコート層とを備える積層体(以下、「光学フィルムF1」と記載することがある)を得た。
[Surface treatment step of hard coat layer]
Next, the surface of the hard coat layer was plasma-treated using a roll-to-roll plasma treatment device while transporting the PET film on which the hard coat layer was formed in a vacuum atmosphere at a pressure of 1.0 Pa. During the plasma treatment, argon gas was used as the inert gas, and the discharge power was set to 780 W. This resulted in a laminate (hereinafter, sometimes referred to as "optical film F1") comprising the PET film and the plasma-treated hard coat layer.

[プライマー層形成工程]
上記手順で得られた光学フィルムF1を、ロールトゥロール方式のスパッタ成膜装置に導入し、成膜室内を1×10-4Paまで減圧した。次いで、光学フィルムF1を搬送しながら、反応性スパッタ法により、ハードコート層の一方の主面に、プライマー層として厚み1.5nmのITO層を形成(成膜)した。プライマー層の形成には、ターゲット材料として、酸化インジウムと酸化スズとを90:10の重量比で含有するITOターゲットを用いた。また、反応性スパッタ法により成膜する際は、電源をMFAC電源(周波数:40kHz)とし、不活性ガスとしてのアルゴンガス100体積部と、酸素ガス10体積部とを用い、放電電圧を400Vとし、成膜室内の圧力を0.2Paとした。
[Primer layer formation process]
The optical film F1 obtained by the above procedure was introduced into a roll-to-roll sputtering deposition apparatus, and the pressure inside the deposition chamber was reduced to 1×10 −4 Pa. Next, while the optical film F1 was being transported, a 1.5 nm thick ITO layer was formed (deposited) as a primer layer on one main surface of the hard coat layer by a reactive sputtering method. To form the primer layer, an ITO target containing indium oxide and tin oxide in a weight ratio of 90:10 was used as the target material. In addition, when depositing by the reactive sputtering method, the power source was an MFAC power source (frequency: 40 kHz), and 100 parts by volume of argon gas and 10 parts by volume of oxygen gas were used as inert gases, the discharge voltage was 400 V, and the pressure inside the deposition chamber was 0.2 Pa.

[反射防止層形成工程]
プライマー層の形成に続いて、ロールトゥロール方式のスパッタ成膜装置を用いてプライマー層形成後の光学フィルムF1を搬送しながら、反応性スパッタ法により、プライマー層の一方の主面に、第1層:厚み12nmの酸化ニオブ層(屈折率:2.33)、第2層:厚み28nmの酸化シリコン層(屈折率:1.46)、第3層:厚み100nmの酸化ニオブ層、及び第4層:厚み85nmの酸化シリコン層をこの順に成膜した。これにより、プライマー層の一方の主面に、4層構成(第1層、第2層、第3層及び第4層からなる4層構成)の反射防止層を形成し、PETフィルム、ハードコート層、プライマー層及び反射防止層をこの順に有するワークフィルムを得た。なお、第1層~第4層の各層の成膜では、いずれも、電源をMFAC電源(周波数:40kHz)とした。また、第1層の成膜では、Nbターゲットを用い、100体積部のアルゴンガス及び5体積部の酸素ガスを用い、放電電圧を415Vとし、成膜室内の圧力を0.42Paとした。第2層の成膜では、Siターゲットを用い、100体積部のアルゴンガス及び30体積部の酸素ガスを用い、放電電圧を350Vとし、成膜室内の圧力を0.3Paとした。第3層の成膜では、Nbターゲットを用い、100体積部のアルゴンガス及び13体積部の酸素ガスを用い、放電電圧を460Vとし、成膜室内の圧力を0.5Paとした。第4層の成膜では、Siターゲットを用い、100体積部のアルゴンガス及び30体積部の酸素ガスを用い、放電電圧を340Vとし、成膜室内の圧力を0.25Paとした。
[Anti-reflection layer forming process]
Following the formation of the primer layer, a roll-to-roll sputtering deposition apparatus was used to transport the optical film F1 after the primer layer formation. The following layers were then deposited on one major surface of the primer layer by reactive sputtering: a first layer: a 12 nm thick niobium oxide layer (refractive index: 2.33), a second layer: a 28 nm thick silicon oxide layer (refractive index: 1.46), a third layer: a 100 nm thick niobium oxide layer, and a fourth layer: an 85 nm thick silicon oxide layer, in this order. This resulted in a four-layer anti-reflection layer (composed of first, second, third, and fourth layers) on one major surface of the primer layer, resulting in a workpiece film having a PET film, a hard coat layer, a primer layer, and an anti-reflection layer, in this order. Note that the power source for each of the first through fourth layers was an MFAC power supply (frequency: 40 kHz). In addition, in the formation of the first layer, a Nb target was used, 100 parts by volume of argon gas and 5 parts by volume of oxygen gas were used, the discharge voltage was 415 V, and the pressure in the film formation chamber was 0.42 Pa. In the formation of the second layer, a Si target was used, 100 parts by volume of argon gas and 30 parts by volume of oxygen gas were used, the discharge voltage was 350 V, and the pressure in the film formation chamber was 0.3 Pa. In the formation of the third layer, a Nb target was used, 100 parts by volume of argon gas and 13 parts by volume of oxygen gas were used, the discharge voltage was 460 V, and the pressure in the film formation chamber was 0.5 Pa. In the formation of the fourth layer, a Si target was used, 100 parts by volume of argon gas and 30 parts by volume of oxygen gas were used, the discharge voltage was 340 V, and the pressure in the film formation chamber was 0.25 Pa.

次いで、以下に示す、排気工程、脱気工程及び蒸着工程をこの順に行い、反射防止層の表面に防汚層を形成した。 Next, the following evacuation process, degassing process, and vapor deposition process were carried out in this order to form an anti-fouling layer on the surface of the anti-reflection layer.

[排気工程]
まず、防汚剤組成物として、コーティング剤(信越化学工業社製「SHIN-ETSU SUBELYN KY1903-1」、有効成分濃度:20重量%)を準備した。使用したコーティング剤(信越化学工業社製「SHIN-ETSU SUBELYN KY1903-1」)の有効成分(防汚剤)は、パーフルオロポリエーテル骨格を含有するアルコキシシラン化合物(フッ素含有化合物)であった。また、使用したコーティング剤(信越化学工業社製「SHIN-ETSU SUBELYN KY1903-1」)に含まれる溶媒は、ハイドロフルオロエーテルであった。このコーティング剤500gを、ロールトゥロール方式の真空蒸着装置のチャンバー内に配置されたルツボに投入した。次いで、チャンバー内の雰囲気を、温度23℃に維持しつつ、真空ポンプにより常圧から圧力30Paに到達するまで減圧し、チャンバー内を排気した。
[Exhaust process]
First, a coating agent ("SHIN-ETSU SUBELYN KY1903-1" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., active ingredient concentration: 20 wt%) was prepared as an antifouling composition. The active ingredient (antifouling agent) of the coating agent ("SHIN-ETSU SUBELYN KY1903-1" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) used was an alkoxysilane compound (fluorine-containing compound) containing a perfluoropolyether skeleton. The solvent contained in the coating agent ("SHIN-ETSU SUBELYN KY1903-1" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) used was hydrofluoroether. 500 g of this coating agent was placed in a crucible placed in the chamber of a roll-to-roll vacuum deposition apparatus. Next, while maintaining the atmosphere in the chamber at a temperature of 23°C, the pressure was reduced from normal pressure to a pressure of 30 Pa using a vacuum pump, and the chamber was evacuated.

[脱気工程]
次いで、上記ルツボに備えられた加熱機構を作動させ、ルツボ内の温度を150℃まで上げるとともに、真空ポンプによりチャンバー内の雰囲気を減圧した。そして、チャンバー内の圧力が30Paに到達した段階で脱気工程を完了した。なお、脱気時間(ルツボ内の温度が150℃に到達した後からチャンバー内の圧力が30Paに到達するまでの時間)は、480分であった。
[Degassing process]
Next, the heating mechanism provided in the crucible was activated to raise the temperature inside the crucible to 150°C, and the atmosphere inside the chamber was decompressed using a vacuum pump. The degassing process was completed when the pressure inside the chamber reached 30 Pa. The degassing time (the time from when the temperature inside the crucible reached 150°C until the pressure inside the chamber reached 30 Pa) was 480 minutes.

[蒸着工程]
次いで、上記ロールトゥロール方式の真空蒸着装置を用いて、上記ワークフィルムを搬送しながら、上記ワークフィルムの反射防止層の表面(詳しくは、反射防止層のプライマー層側とは反対側の主面)に、真空蒸着法により厚み12nmの防汚層を形成した。詳しくは、チャンバー内の真空度を8.0×10-3Paとし、ルツボ内の温度を195℃まで上昇させた後、ワークフィルムの搬送を開始し、ルツボ内において脱気されたコーティング剤の固化物を蒸着材料として使用し、ワークフィルムの反射防止層の表面に防汚層を連続的に形成した。上記防汚層を連続的に形成する際、防汚層の厚みが目標厚み(12nm)を維持できるように、ルツボ内の加熱温度(蒸着温度)をPID制御(Proportional-Integral-Differential Controller)した。蒸着温度は、ワークフィルムの搬送開始から終了に至るまで徐々に上昇し、搬送終了時(蒸着工程の終了時)における蒸着温度は300℃であった。
[Vapor deposition process]
Next, using the roll-to-roll vacuum deposition apparatus, a 12 nm thick antifouling layer was formed by vacuum deposition on the surface of the antireflection layer of the workpiece film (specifically, on the main surface opposite the primer layer of the antireflection layer) while the workpiece film was being transported. Specifically, the vacuum level in the chamber was set to 8.0 × 10 -3 Pa, and the temperature in the crucible was raised to 195°C. Then, the workpiece film was transported. The degassed solidified coating agent in the crucible was used as the deposition material to continuously form an antifouling layer on the surface of the antireflection layer of the workpiece film. During the continuous formation of the antifouling layer, the heating temperature (deposition temperature) in the crucible was controlled using a proportional-integral-differential controller (PID) to maintain the target antifouling layer thickness (12 nm). The deposition temperature gradually increased from the start to the end of the workpiece film transport, and the deposition temperature at the end of the transport (end of the deposition process) was 300°C.

[防汚剤の余剰分の除去工程]
次いで、形成された防汚層上に、保護フィルム(日東電工社製「RP300C」)を貼り合わせた後、24時間放置した。そして、防汚層から保護フィルムをはく離することにより、防汚層の表層に存在するフッ素含有化合物の余剰分を除去した。以上の手順により、実施例1の防汚フィルム(長さ1000mかつ幅1330mmの反射防止フィルムの巻回体)を得た。
[Step of removing excess antifouling agent]
Next, a protective film ("RP300C" manufactured by Nitto Denko Corporation) was laminated onto the formed antifouling layer, and the film was left for 24 hours. The protective film was then peeled off from the antifouling layer to remove excess fluorine-containing compound present on the surface of the antifouling layer. Through the above procedure, the antifouling film of Example 1 (a roll of antireflection film having a length of 1000 m and a width of 1330 mm) was obtained.

<比較例1の防汚フィルムの作製>
脱気工程において、ルツボ内の加熱温度を100℃に変更したこと以外は、実施例1と同じ作製方法により、比較例1の防汚フィルムを得た。
<Preparation of antifouling film of Comparative Example 1>
An antifouling film of Comparative Example 1 was obtained by the same production method as in Example 1, except that the heating temperature inside the crucible was changed to 100°C in the degassing step.

<評価方法>
以下、実施例1及び比較例1の防汚フィルムの評価方法について説明する。なお、いずれの評価項目についても、各防汚フィルムにおいて、蒸着温度が195℃、200℃、205℃、210℃、250℃及び300℃の際に防汚層が形成された箇所(各防汚フィルムにつき合計6箇所)をサンプリングし、評価用試料として用いた。
<Evaluation method>
The following describes the methods for evaluating the antifouling films of Example 1 and Comparative Example 1. For each evaluation item, samples were taken from the locations on each antifouling film where the antifouling layer was formed when the deposition temperatures were 195°C, 200°C, 205°C, 210°C, 250°C, and 300°C (six locations in total for each antifouling film), and these samples were used as evaluation samples.

[水接触角]
接触角測定装置(協和界面科学社製「DMo-501」)を用いて、評価用試料の防汚層表面(防汚層の反射防止層側とは反対側の主面)に1μLの水を滴下し、滴下から2秒後に防汚層表面と液滴端部の接線との角度を測定した。水接触角が110°以上であった場合、「防汚性に優れている」と評価した。一方、水接触角が110°未満であった場合、「防汚性に優れていない」と評価した。
[Water contact angle]
Using a contact angle measuring device ("DMo-501" manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.), 1 μL of water was dropped onto the antifouling layer surface of the evaluation sample (the main surface of the antifouling layer opposite the antireflection layer side), and 2 seconds after the drop, the angle between the antifouling layer surface and the tangent line of the droplet edge was measured. When the water contact angle was 110° or more, the sample was evaluated as having "excellent antifouling properties." On the other hand, when the water contact angle was less than 110°, the sample was evaluated as having "poor antifouling properties."

[耐摺動性]
評価用試料の防汚層表面に対して、以下の条件で消しゴム摺動試験を実施し、その後に、防汚層表面の水接触角を、上記[水接触角]の項で説明した方法で測定した。消しゴム摺動試験では、Minoan社製の消しゴム(6mmφ)を使用し、防汚層表面に対する消しゴムの荷重を1kg/6mmφとし、防汚層表面上の消しゴムの摺動距離(往復動における片道)を20mmとし、消しゴムの摺動速度を40往復/分とし、防汚層表面に対して消しゴムを往復動させる回数を3000往復とした。消しゴム摺動試験後の水接触角が100°以上であった場合、A(耐摺動性に優れている)と評価した。一方、消しゴム摺動試験後の水接触角が100°未満であった場合、B(耐摺動性に優れていない)と評価した。
[Sliding resistance]
An eraser sliding test was carried out on the antifouling layer surface of the evaluation sample under the following conditions, and then the water contact angle of the antifouling layer surface was measured using the method described in the above section [Water Contact Angle]. In the eraser sliding test, a Minoan eraser (6 mmφ) was used, the eraser load on the antifouling layer surface was 1 kg/6 mmφ, the sliding distance of the eraser on the antifouling layer surface (one way in reciprocating motion) was 20 mm, the sliding speed of the eraser was 40 reciprocating motions/min, and the number of reciprocating motions of the eraser on the antifouling layer surface was 3,000. If the water contact angle after the eraser sliding test was 100° or more, it was evaluated as A (excellent sliding resistance). On the other hand, if the water contact angle after the eraser sliding test was less than 100°, it was evaluated as B (not excellent sliding resistance).

[動摩擦係数]
自動摩擦摩耗解析装置(協和界面科学社製「TSf-503」)を用いて、滑り片として10mmφのフェルトを使用し、荷重500g、摺動距離50mm、速度1.67mm/分の条件で、評価用試料の防汚層表面を一方向に擦過し、得られた摩擦係数(摩擦力/荷重)の平均値を防汚層の動摩擦係数とした。動摩擦係数が0.160以下であった場合、「耐擦傷性に優れている」と評価した。一方、動摩擦係数が0.160を超えていた場合、「耐擦傷性に優れていない」と評価した。
[Dynamic friction coefficient]
Using an automatic friction and wear analyzer ("TSf-503" manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.), the surface of the antifouling layer of the evaluation sample was rubbed in one direction using a 10 mmφ felt as a sliding piece under conditions of a load of 500 g, a sliding distance of 50 mm, and a speed of 1.67 mm/min, and the average value of the obtained friction coefficients (friction force/load) was taken as the dynamic friction coefficient of the antifouling layer. If the dynamic friction coefficient was 0.160 or less, it was evaluated as having "excellent abrasion resistance." On the other hand, if the dynamic friction coefficient exceeded 0.160, it was evaluated as having "poor abrasion resistance."

<評価結果>
実施例1及び比較例1について、水接触角、耐摺動性及び動摩擦係数の評価結果を表1に示す。
<Evaluation results>
Table 1 shows the evaluation results of the water contact angle, sliding resistance, and dynamic friction coefficient for Example 1 and Comparative Example 1.

実施例1では、脱気工程における加熱温度が150℃であった。表1に示すように、実施例1では、蒸着温度195℃~300℃のいずれについても、水接触角が110°以上であった。よって、実施例1の防汚フィルムは、長手方向の全域にわたって防汚性に優れていた。実施例1では、蒸着温度195℃~300℃のいずれについても、耐摺動性がAであった。よって、実施例1の防汚フィルムは、長手方向の全域にわたって耐摺動性に優れていた。実施例1では、蒸着温度195℃~300℃のいずれについても、動摩擦係数が0.160以下であった。よって、実施例1の防汚フィルムは、長手方向の全域にわたって耐擦傷性に優れていた。 In Example 1, the heating temperature in the degassing process was 150°C. As shown in Table 1, in Example 1, the water contact angle was 110° or greater at all deposition temperatures from 195°C to 300°C. Therefore, the antifouling film of Example 1 had excellent antifouling properties throughout the entire longitudinal direction. In Example 1, the sliding resistance was A at all deposition temperatures from 195°C to 300°C. Therefore, the antifouling film of Example 1 had excellent sliding resistance throughout the entire longitudinal direction. In Example 1, the dynamic friction coefficient was 0.160 or less at all deposition temperatures from 195°C to 300°C. Therefore, the antifouling film of Example 1 had excellent abrasion resistance throughout the entire longitudinal direction.

比較例1では、脱気工程における加熱温度が100℃であった。表1に示すように、比較例1では、蒸着温度が195℃及び200℃の際に防汚層が形成された箇所の水接触角が110°未満であった。よって、比較例1の防汚フィルムの一部は、防汚性に優れていなかった。比較例1では、蒸着温度が195℃及び200℃の際に防汚層が形成された箇所の耐摺動性がBであった。よって、比較例1の防汚フィルムの一部は、耐摺動性に優れていなかった。比較例1では、蒸着温度が195℃及び200℃の際に防汚層が形成された箇所の動摩擦係数が0.160を超えていた。よって、比較例1の防汚フィルムの一部は、耐擦傷性に優れていなかった。 In Comparative Example 1, the heating temperature in the degassing process was 100°C. As shown in Table 1, in Comparative Example 1, the water contact angle at the locations where the antifouling layer was formed at deposition temperatures of 195°C and 200°C was less than 110°. Therefore, some of the antifouling film in Comparative Example 1 did not have excellent antifouling properties. In Comparative Example 1, the sliding resistance at the locations where the antifouling layer was formed at deposition temperatures of 195°C and 200°C was rated B. Therefore, some of the antifouling film in Comparative Example 1 did not have excellent sliding resistance. In Comparative Example 1, the dynamic friction coefficient at the locations where the antifouling layer was formed at deposition temperatures of 195°C and 200°C exceeded 0.160. Therefore, some of the antifouling film in Comparative Example 1 did not have excellent abrasion resistance.

また、実施例1及び比較例1について、下記式にて歩留まり率(単位:%)を計算した結果、実施例1の歩留まり率は、比較例1の歩留まり率よりも10%高かった。なお、以下の式において、「防汚特性が確保された箇所の長さ」とは、水接触角が110°以上であり、耐摺動性がAであり、動摩擦係数が0.160以下である箇所の長さ(単位:m)を意味する。また、以下の式において、「全体の長さ」は、1000mである。
歩留まり率=100×防汚特性が確保された箇所の長さ/全体の長さ
Furthermore, the yield rates (unit: %) for Example 1 and Comparative Example 1 were calculated using the following formula, and the result was that the yield rate for Example 1 was 10% higher than the yield rate for Comparative Example 1. In the following formula, the "length of the portion where antifouling properties are ensured" means the length (unit: m) of the portion where the water contact angle is 110° or more, the sliding resistance is A, and the dynamic friction coefficient is 0.160 or less. In the following formula, the "total length" is 1000 m.
Yield rate = 100 x length of area where antifouling properties are ensured / total length

以上の結果から、本発明によれば、ロールトゥロール方式の真空蒸着法により防汚層を形成する際の歩留まりの低下を抑制できることが示された。 These results demonstrate that the present invention can suppress a decrease in yield when forming an anti-fouling layer using a roll-to-roll vacuum deposition method.

15 :防汚剤組成物
20 :ワークフィルム
100 :防汚フィルム
105 :防汚層

15: Antifouling agent composition 20: Work film 100: Antifouling film 105: Antifouling layer

Claims (7)

樹脂フィルムを基材とするワークフィルムをロールトゥロール方式で搬送しながら、前記ワークフィルムの一方の主面に真空蒸着法により防汚層を形成する、防汚フィルムの製造方法であって、
前記防汚層を形成する前に、フッ素系溶媒を含む防汚剤組成物を、温度150℃以上250℃以下の減圧雰囲気下において脱気する工程Saを備え、
前記防汚剤組成物は、防汚剤としてフッ素含有化合物を含み、
前記工程Saで脱気された前記防汚剤組成物を蒸着材料として、前記防汚層を形成する、防汚フィルムの製造方法。
A method for manufacturing an antifouling film, comprising: conveying a workpiece film having a base material of a resin film by a roll-to-roll method; and forming an antifouling layer on one main surface of the workpiece film by a vacuum deposition method;
a step Sa of degassing an antifouling composition containing a fluorine-based solvent under a reduced pressure atmosphere at a temperature of 150° C. or higher and 250° C. or lower before forming the antifouling layer;
the antifouling composition contains a fluorine-containing compound as an antifouling agent,
The antifouling layer is formed using the antifouling agent composition degassed in the step Sa as a deposition material.
前記フッ素含有化合物は、パーフルオロポリエーテル骨格を含有するアルコキシシラン化合物である、請求項に記載の防汚フィルムの製造方法。 The method for producing an antifouling film according to claim 1 , wherein the fluorine-containing compound is an alkoxysilane compound containing a perfluoropolyether skeleton. 前記ワークフィルムは、無機酸化物層を含み、
前記無機酸化物層の一方の主面に前記防汚層を形成する、請求項1に記載の防汚フィルムの製造方法。
The workpiece film includes an inorganic oxide layer,
The method for producing an antifouling film according to claim 1 , wherein the antifouling layer is formed on one main surface of the inorganic oxide layer.
前記無機酸化物層は、酸化シリコン層を含み、
前記酸化シリコン層の一方の主面に前記防汚層を形成する、請求項に記載の防汚フィルムの製造方法。
the inorganic oxide layer includes a silicon oxide layer,
The method for producing an antifouling film according to claim 3 , wherein the antifouling layer is formed on one main surface of the silicon oxide layer.
前記防汚層を形成する際の真空度が、9.0×10-3Pa以下である、請求項1に記載の防汚フィルムの製造方法。 The method for producing an antifouling film according to claim 1, wherein the degree of vacuum when the antifouling layer is formed is 9.0×10 −3 Pa or less. 前記工程Saにおいて、圧力40Pa以下の前記減圧雰囲気下で脱気する、請求項1に記載の防汚フィルムの製造方法。 The method for producing an antifouling film according to claim 1, wherein in step Sa, degassing is performed under a reduced pressure atmosphere of 40 Pa or less. 前記工程Saの前に、前記防汚剤組成物の周囲の雰囲気を、温度30℃以下で減圧する工程を更に備える、請求項1に記載の防汚フィルムの製造方法。 The method for producing an antifouling film according to claim 1, further comprising, prior to step Sa, a step of reducing the pressure of the atmosphere surrounding the antifouling composition at a temperature of 30°C or less.
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