JP7733495B2 - 加工装置、被加工物の撮像方法、及び、加工方法 - Google Patents

Description

本発明は、保持テーブルで保持された被加工物に加工を施す加工装置、及び、加工方法に関する。

従来、例えば特許文献１、２に開示されるように、被加工物を保持する保持テーブルをガラス板等の透明部材で構成し、保持テーブルを介して被加工物の下面側、即ち被保持面側を撮像する技術が知られている。

そして、撮像画像に基づいてオペレーターがターゲットパターンを登録することや、撮像画像内からコントローラがパターンマンチングによりターゲットパターンを自動検出することなどが行われ、これらに基づいて被加工物と加工ユニットの相対位置を調整するアライメントが行われる。

特開２０１０－０８７１４１号公報 特開２０１０－０８２６４４号公報

以上のように、被加工物の下面側の撮像画像は、アライメントのもととなるターゲットパターンの登録や自動検出に利用されるため、可能な限り鮮明であることが好ましい。

しかし、被加工物の下面側に凹凸が形成されている場合には、凹凸がテープの下面であるテープ裏面（テープの粘着面と反対側の面）に現れ、テープの裏面と保持面の間に微小な間隙が形成され、撮像カメラで撮像する際にモアレが生じ、鮮明な撮像画像が得られ難いことになる。

特に、被加工物の下面がテープに貼着された状態で被加工物が保持される場合では、一般に、テープにおいて粘着面と反対側の面には微細な凹凸が梨地状に配置される梨地加工が施されているため、この微細な凹凸が影響し被加工物の下面の鮮明な撮像画像を得ることが難しいことになる。

撮像画像が不鮮明な場合には、アライメントが正確に行われず、誤った位置を加工してしまう恐れがある。この他にも、撮像画像は、例えば、カーフチェックなどのように加工後の加工状態の確認のためにも用いられるが、撮像画像が不鮮明な場合には、加工状態の不良に気づかずにそのまま加工を続けてしまう恐れがある。

以上に述べた不具合の恐れの他にも、撮像画像が不鮮明であることによって予期せぬ不具合が生じる可能性があるため、鮮明な撮像画像を確実に取得するための技術が求められている。

本発明は以上の問題に鑑み、保持テーブルを介して被加工物の被撮像面を撮像した際に、被撮像面の鮮明な撮像画像を取得することを可能とするための新規な技術を提案するものである。

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。

本発明の一態様によれば、少なくとも撮像領域が透明部にて構成される保持テーブルと、該保持テーブルでテープを介して保持された被加工物を該透明部を介して撮像する撮像ユニットと、該保持テーブルで保持された該被加工物に加工を施す加工ユニットと、を備えた加工装置であって、該保持テーブルの保持面に液体を供給するための液体供給ユニットと、該液体を介して該保持テーブルで保持された被加工物の上面を押圧し、該液体にて該保持面と該テープの間に液膜を形成する押圧ユニットと、を備えた加工装置とする。

また、本発明の一態様によれば、該押圧ユニットは、該被加工物の該上面を転動する転動ローラーを有する、こととする。

また、本発明の一態様によれば、テープに貼着された被加工物の加工方法であって、少なくとも撮像領域が透明部にて構成される保持テーブルの該保持面に、液体を供給する液体供給ステップと、該液体供給ステップを実施した後、該液体と該テープを介して該保持面上に被加工物を載置する載置ステップと、該載置ステップを実施した後、該被加工物の上面を該保持面に向かって押圧し、該液体にて該保持面と該テープの間に液膜を形成するとともに、該保持テーブルで該被加工物を保持する保持ステップと、該保持ステップを実施した後、該保持テーブル、該液膜、該テープを介して該被加工物の下面を撮像する撮像ステップと、を備えた被加工物の撮像方法とする。

また、本発明の一態様によれば、撮像画像に基づいてアライメントを行うアライメントステップと、該アライメントステップを実施した後、該保持テーブルで保持された該被加工物に加工を施す加工ステップと、を備えた被加工物の加工方法とする。

また、本発明の一態様によれば、被加工物の上方から撮像した撮像画像に基づいてアライメントを行うアライメントステップと、該アライメントステップを実施した後、該保持テーブルで保持された該被加工物に加工を施す加工ステップと、撮像画像に基づいて被加工物の下面を確認する確認ステップと、を備えた被加工物の加工方法とする。

本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。
即ち、本発明の一態様によれば、テープの裏面の梨地加工の微細な凹凸や、被加工物の下面（表面）の凹凸がある場合においても、凹凸により形成される間隙が液膜によって埋められることで、撮像画像にモアレが生じることを防ぐことができる。また、保持ステップにおいて、転動ローラーを被加工物に押し当てることで、テープの裏面側（テープ下面）の凹凸のばらつきが解消され、このばらつきに伴う被加工物の被加工面のばらつきが解消され、加工ステップにおける加工のばらつきを抑えて加工品質を向上させることができる。

本発明の実施に使用される切削装置の一実施形態の斜視図である。 保持テーブルをＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構等について示す図。 保持テーブルの構成等について示す図。 ウェーハユニットの構成例について示す図。 本発明に係る撮像方法や加工方法を構成する各ステップを示すフローチャート。 液体供給ステップについて説明する図。 載置ステップについて説明する図。 保持ステップについて説明する図。 撮像ステップについて説明する図。 （Ａ）は撮像ステップにおいて取得される撮像画像の例について示す図。（Ｂ）は本発明によらずに撮像した場合の撮像画像の参考例について示す図。 加工ステップについて説明する図。

以下、本発明の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る加工装置２について示す斜視図である。なお、本発明は以下に説明される切削装置として構成される加工装置の他、レーザービームを発生させる発振器とレーザービームを被加工物に集光する集光器とを備えた加工ユニットを有するレーザー加工装置においても適用できる。

図１に示すように、加工装置２の基台４には、保持テーブル２０が移動機構２２（図２）によりＸ軸方向に往復動可能に配設されている。保持テーブル２０の周囲にはウォーターカバー１４が配設されており、このウォーターカバー１４に基台４の開口を塞ぐ蛇腹１６が連結されている。

基台４の前側角部には、被加工物であるウェーハＷを固定したウェーハユニットＵを収容するカセット７を載置するためのカセット載置台８が設けられる。

基台４上には門型形状のコラム９が立設されており、コラム９にはＹ軸方向に伸長する一対のガイドレール３１が固定されている。ガイドレール３１には、Ｙ軸移動ブロック３３が移動可能に設けられており、ボールねじ３２とパルスモータ３４とからなるＹ軸移動機構３０によって、Ｙ軸移動ブロック３３がガイドレール３１に案内されてＹ軸方向に移動する。

Ｙ軸移動ブロック３３にはＺ軸方向に伸長する一対のガイドレール３６が固定されている。ガイドレール３６に対しＺ軸移動ブロック３８が移動可能に設けられており、ボールねじ４２とパルスモータ４４とからなるＺ軸移動機構４０によって、Ｚ軸移動ブロック３８がガイドレール３６に案内されてＺ軸方向に移動する。

Ｚ軸移動ブロック３８には加工ユニット５及び上側撮像ユニット６が取付けられている。加工ユニット５は、図示せぬモータにより回転駆動されるスピンドルの先端部に切削ブレードを着脱可能に装着して構成されている。

保持テーブル２０のＸ軸方向の移動経路において、保持テーブル２０の上方には、保持テーブル２０の保持面２１に液体を供給するための液体供給ユニット５０が配設される。

保持テーブル２０のＸ軸方向の移動経路において、保持テーブル２０の上方には、保持テーブル２０の保持面２１に保持された被加工物であるウェーハＷの上面を押圧するための押圧ユニット６０が配設される。

基台４上には、スピンナーテーブル４６を有するスピンナー洗浄ユニット４８が設けられており、切削加工後の被加工物をスピンナーテーブル４６で吸引保持してスピンナー洗浄するとともに、スピン乾燥できるようになっている。

図２は、保持テーブル２０をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構２２と、下側撮像ユニット７０について示す図である。

Ｘ軸移動機構２２は、保持テーブル２０を保持するＸ軸方向移動台２３と、保持テーブル２０をＺ軸周りに回転させる回転機構２５と、を有している。

Ｘ軸方向移動台２３は、上フレーム２３ａ、縦フレーム２３ｂ、下フレーム２３ｃとから側面視略コ字状に構成される。下フレーム２３ｃは、ベース２２ａの上にＸ軸方向に平行に設けられる一対のガイドレール２２ｂに移動可能に載置され、一対のガイドレール２２ｂの間にＸ軸方向に設けられる図示せぬボールねじと螺合される。パルスモータ２２ｃにて図示せぬボールネジを回転させることで、Ｘ軸方向移動台２３がＸ軸方向に移動する。

図３に示すように、Ｘ軸方向移動台２３の上フレーム２３ａには、保持テーブル２０を保持する筒状フレーム部２３ｆがＺ軸周りに回転可能に設けられる。筒状フレーム部２３ｆは、ベルト２５ｂを介して回転機構２５のモータ２５ｃに接続され、モータ２５ｃの駆動によって、筒状フレーム部２３ｆとともに保持テーブル２０が一体となって回転する。

図３に示すように、筒状フレーム部２３ｆには、ガラス等の透明部材からなる保持テーブル２０の周縁部分を支持するための筒状の支持部２３ｍが設けられる。支持部２３ｍの周囲には、ウェーハユニットＵの環状フレームＦを吸着保持する吸着保持部２０ａが間隔を開けて複数個所に設けられる。

図１に示すように、保持テーブル２０の保持面２１には、吸引兼エアブロー溝２１ａが十字状に形成されており、図示せぬ吸引源と接続されることによって、テープＴを吸引保持することができる。また、吸引兼エアブロー溝２１ａは、図示せぬエアー供給源と接続されており、エアーを吸引兼エアブロー溝２１ａから放出することで、ウェーハユニットＵのテープＴを保持面２１から剥離させる。

図３に示すように、保持テーブル２０の保持面２１には、ウェーハＷよりも外周側の位置に吸引溝２１ｂが円環状に形成されており、吸引溝２１ｂが図示せぬ吸引源と接続されることによって、ウェーハユニットＵのウェーハＷよりも外側の部分において、テープＴが吸引保持される。

図３に示すように、保持テーブル２０は、例えば、全てのガラス素材にて構成されて全領域が透明部を構成することとするほか、ウェーハＷに対応する一部の領域のみが透明部として構成されることとしてもよい。

図２に示すように、Ｘ軸方向移動台２３の上フレーム２３ａと下フレーム２３ｃの間の空間には、下側撮像ユニット７０が移動可能に配置される。下側撮像ユニット７０は、下側から保持テーブル２０に向けて配置される撮像カメラ７１と、撮像カメラ７１をＹＸ方向に移動させる移動機構７２と、を有する。

移動機構７２は、撮像カメラ７１を先端に支持するアーム部７２ａと、アーム部７２ａをＺ軸方向に昇降させる昇降部７２ｂと、昇降部７２ｂをＹ軸方向に水平移動させる水平移動部７２ｃと、を有して構成される。

撮像カメラ７１は、いわゆる可視光カメラであり、透明部材からなる保持テーブル２０、及び、透光性のあるテープＴを介してウェーハＷの被撮像面を撮像する。撮像された画像は、図示せぬコントローラに記憶される。なお、撮像カメラ７１を赤外線カメラで構成するとともに、透光性の無いテープＴが利用されることとしてもよい。また、この場合、ウェーハの表面Ｗａ（図４）を上側に露出し、赤外線カメラにてデバイスＤ（図４）のターゲットパターンを含む画像を撮像することとしてもよい。

図４は、ウェーハユニットＵの構成例である。
被加工物であるウェーハＷは、デバイスＤが規則的に配置される表面ＷａがテープＴに貼着され、テープＴを介して環状フレームＦに固定される。デバイスＤの間には、互いに直交するストリートＳ（分割予定ライン）が設定され、詳しくは後述するように、ストリートＳに沿って切削溝が形成される。

ウェーハＷの裏面Ｗｂには金属膜Ｋが形成され、金属膜Ｋは上方に露出した状態とされる。なお、金属膜Ｋが形成されないものであってもよい。また、ウェーＷの裏面ＷｂがテープＴに貼着されるものであってもよい。

テープＴは、基材と、基材の表面に形成される粘着面と、を有してなり、下側撮像ユニット７０によるウェーハＷの表面Ｗａに形成されたデバイスＤを撮像可能とするために、基材や粘着面は透光性を有することとしている。粘着面が形成される面の反対側であるテープＴの裏面（下面）には、微細な凹凸を梨地状（すりガラス状）に配置してなる梨地加工がされる。なお、テープＴは、粘着面（糊層）が無いものも利用され得る。

次に、以上の装置構成を用いた被加工物の撮像方法、及び、加工方法の例について説明する。図５は、本発明に係る撮像方法や加工方法を構成する各ステップを示すフローチャートである。

＜液体供給ステップ＞
図６に示すように、少なくとも撮像領域が透明部にて構成される保持テーブル２０の保持面２１に、液体供給ユニット５０により液体５５を供給するステップである。

具体的には、液体供給ユニット５０の液体供給部５１の下方に保持テーブル２０を位置づけるとともに、液体供給部５１から液体５５を保持テーブル２０の保持面２１に滴下するものである。

液体供給ユニット５０は、図１に示すように、門型のフレーム形状を有することとし、図６に示すように、その水平部分に複数の液体噴射口を形成した液体供給部５１を有して構成される。なお、液体供給ユニット５０は、加工後のウェーハの表面を洗浄するために用いられてもよい。液体は、例えば純水である。

また、図６に示すように、保持テーブル２０の保持面２１の全体に液体５５を供給する他、例えば、保持面２１の中央箇所にのみ供給し、後の保持ステップにおいて、ウェーハの下方の領域に液体が押し広げられるものとしてもよい。

＜載置ステップ＞
図７に示すように、液体供給ステップを実施した後、液体５５とテープＴを介して保持面２１上にウェーハＷを載置するステップである。

具体的には、保持テーブル２０を液体供給ユニット５０（図１）の位置から所定の位置に移動させ、ウェーハユニットＵを保持テーブル２０に載置する。

図７の例では、液体５５は表面張力により保持テーブル２０の保持面２１にとどまっており、保持面２１の全面が液体５５によって覆われている。なお、このように全面でなく、保持面２１の中央部にのみ十分な液体５５が残留されるものであってもよい。

＜保持ステップ＞
図８に示すように、載置ステップを実施した後、ウェーハＷの上面（裏面Ｗｂ）を保持面２１に向かって押圧し、液体５５にて保持面２１とテープＴの間に液膜５７を形成するとともに、保持テーブル２０でウェーハを保持するステップである。

具体的には、ウェーハユニットＵを載置した保持テーブル２０を押圧ユニット６０の下方に移動させる。押圧ユニット６０は、ウェーハＷの上面（裏面Ｗｂ）を転動する転動ローラー６２と、転動ローラー６２を回転自在に保持し、上下方向に昇降するフレーム部６４と、を有して構成される。

転動ローラー６２をウェーハＷの上面（裏面Ｗｂ）の一端側に押し当てるとともに、保持テーブル２０をＸ軸方向に移動させてウェーハＷの他端側まで転動ローラー６２による押圧を行うことで、保持面２１とテープＴの間に存在する液体５５が延ばされて厚みが均一な液膜５７を構成する。これにより、テープＴの裏面Ｔｂ（下面）と、保持面２１との間が液膜５７によって埋められる。

なお、保持テーブル２０をＸ軸方向の一方向に移動させることで、転動ローラー６２にてウェーハＷの一端側から他端側まで押圧した後、転動ローラー６２の位置をより低くするとともに、保持テーブル２０をＸ軸方向の他方向に移動させ、転動ローラー６２にてウェーハＷの他端側から一端側まで押圧することとしてもよい。つまり、ウェーハＷを往復移動させるものであり、これにより、液膜５７の厚みをより均一にすることができる。

或いは、転動ローラー６２をウェーハＷの中央部に押し当て、ウェーハＷをその位置からウェーハＷの一端側に移動させ、次いで、ウェーハＷを元の位置に戻してその位置からウェーハＷの他端側に移動させることとし、ウェーハＷの中央部から余分な液体を排出することで、液膜の厚みばらつきを防止することとしてもよい。

また、転動ローラー６２がウェーハＷの上面（裏面Ｗｂ）に押し当てられることにより、液膜５７がテープＴの裏面Ｔｂ（下面）と保持面２１との間で隙間なく行き渡ることで、テープＴの裏面Ｔｂ側の凹凸に伴うウェーハＷの上面（裏面Ｗｂ）のばらつきが解消される。このウェーハＷの上面（裏面Ｗｂ）のばらつきの解消により、詳しくは、後述するように、加工品質の向上が図られる。

なお、テープＴの裏面Ｔｂ側（下面側）の凹凸は、梨地加工によるテープＴそのものの凹凸や、ウェーハＷの下面（表面Ｗａ）にデバイスＤなどの凹凸があり、この凹凸がテープＴの裏面Ｔｂに現れることによる凹凸であり、これらの凹凸によりテープＴの裏面Ｔｂと保持面２１との間に形成される微小な間隙が液膜５７により埋められる。

また、保持面２１の外周部分に形成される吸引溝２１ｂにてテープＴが下側から吸引されることで、テープＴが保持面２１側に引き寄せられ、テープＴが液膜５７を介して保持面２１に密着される。

以上に説明した押圧ユニット６０の形態の他、例えば、転動ローラー６２がＸ軸方向に移動する構成とすることや、転動ローラー６２に代えて押圧パッドを利用することや、エアーでウェーハを押圧する形態なども採用することができる。

＜撮像ステップ＞
図９に示すように、保持ステップを実施した後、保持テーブル２０、液膜５７、テープＴを介してウェーハＷの下面（表面Ｗａ）を撮像するステップである。

具体的には、撮像カメラ７１により、透光性を有する保持テーブル２０、液膜５７、テープＴを介して、ウェーハＷの下面（表面Ｗａ）が撮像される。撮像は、適宜保持テーブル２０や撮像カメラ７１を移動させ、ウェーハＷの複数個所において行われ、複数の撮像画像を利用して後述するアライメントステップが行われる。

図１０（Ａ）は撮像画像の例について示すものであり、液膜５７（図９）が存在することにより、テープの裏面（下面）の梨地加工の微細な凹凸や、ウェーハの下面（表面）の凹凸の影響によるテープの裏面（下面）の凹凸の影響をなくすことができ、モアレの発生が抑制され、アライメントに利用するターゲットパターンＰが鮮明に写される。この撮像画像は、図示せぬ表示モニターに表示され、オペレーターによって確認することができる。

図１０（Ｂ）は、液膜５７（図９）が存在しない場合の撮像画像を比較例として示すものであり、テープの裏面（下面）の梨地加工の微細な凹凸や、ウェーハの下面（表面）の凹凸の影響によりモアレｍが発生し、画像の一部が不鮮明になってしまう様子を示すものである。

＜アライメントステップ＞
保持ステップにて撮像した撮像画像に基づいてアライメントを行うステップである。具体的には、図示せぬコントローラが複数の撮像画像のターゲットパターンＰ（図１０（Ａ））をもとに、ストリートＳの中央位置（分割予定ライン）を認識するとともに、ストリートＳをＸ軸方向と平行とするように回転機構２５（図３）により保持テーブル２０（図３）の角度調整を行うものである。

この際、鮮明な撮像画像を利用してアライメントが行なわれるため、ターゲットパターンＰ（図１０（Ａ））の誤認識などの不具合を防止でき、後の加工ステップにおいて誤った位置を加工することによる加工不良を防止することができる。

＜加工ステップ＞
図１１に示すように、アライメントステップを実施した後、保持テーブル２０で保持されたウェーハＷに加工を施すステップである。

具体的には、加工ユニット５に設けられる切削ブレード５ａにより、ストリート（分割予定ライン）に沿って切削溝を形成するものである。

上述したように保持ステップでは、転動ローラー６２がウェーハＷの上面（裏面Ｗｂ）に押し当てられ、液膜５７がテープＴの裏面Ｔｂ（下面）と保持面２１との間で均一に伸ばされ、テープＴの裏面Ｔｂの凹凸のばらつきが解消される。

この加工ステップにおいて、適宜、撮像カメラ７１にて切削溝を撮像し、撮像画像に基づいて、加工状態を確認するカーフチェックが行われる。この際、撮像画像が鮮明であるため、加工不良を正確かつ早期に認識することができ、加工を中断して対策を図ることが可能となる。なお、カーフチェックは、図示せぬ表示モニターに表示される撮像画像をオペレーターが確認することで行う他、コントローラによる自動認識により行うことができる。

加工後は、図１の吸引兼エアブロー溝２１ａや、図３の吸引溝２１ｂからエアブローをすることで、保持面２１からウェーハユニット∪のテープＴを剥離させる。

以上のように、本発明によれば、テープの裏面の梨地加工の微細な凹凸や、被加工物の下面（表面）の凹凸がある場合においても、凹凸により形成される間隙が液膜によって埋められることで、撮像画像にモアレが生じることを防ぐことができる。また、保持ステップにおいて、転動ローラーを被加工物に押し当てることで、テープの裏面側（下面側）の凹凸のばらつきが解消され、このばらつきに伴う被加工物の被加工面（ウェーハＷの上面（裏面Ｗｂ））のばらつきが解消され、加工ステップにおける加工のばらつきを抑えて加工品質を向上させることができる。

また、以上の実施例では、図２に示すようにウェーハＷの下方の撮像カメラ７１にて撮像される撮像画像を利用してアライメントを行うこととしたが、図１に示す上側撮像ユニット６によりウェーハＷを撮像して得られた撮像画像を元にアライメントを行うとともに、下側の撮像カメラ７１（図２）にて撮像される撮像画像に基づいて、ウェーハＷの下面側（テープＴ側）のチッピング等の加工品質の確認する確認ステップを実施することとしてもよい。この場合、チッピング等の加工品質を確認しながら加工を行うこととしてもよい。

２ 加工装置
５ 加工ユニット
５ａ 切削ブレード
２０ 保持テーブル
２１ 保持面
２１ａ エアブロー溝
２１ｂ 吸引溝
２２ Ｘ軸移動機構
２２ａ ベース
２２ｂ ガイドレール
２２ｃ パルスモータ
２３ Ｘ軸方向移動台
２３ａ 上フレーム
２３ｆ 筒状フレーム部
２３ｍ 保持部
５０ 液体供給ユニット
５１ 液体供給部
５５ 液体
５７ 液膜
６０ 押圧ユニット
６２ 転動ローラー
７０ 下側撮像ユニット
７１ 撮像カメラ
７２ 移動機構
７２ｃ 水平移動部
Ｄ デバイス
Ｆ 環状フレーム
Ｋ 金属膜
ｍ モアレ
Ｐ ターゲットパターン
Ｓ ストリート
Ｔ テープ
Ｔａ 表面
Ｔｂ 裏面
Ｕ ウェーハユニット
Ｗ ウェーハ
Ｗａ 表面
Ｗｂ 裏面

Claims (5)

1. 少なくとも撮像領域が透明部にて構成される保持テーブルと、
   該保持テーブルでテープを介して保持された被加工物を該透明部を介して撮像する撮像ユニットと、
   該保持テーブルで保持された該被加工物に加工を施す加工ユニットと、を備えた加工装置であって、
   該保持テーブルの保持面に液体を供給するための液体供給ユニットと、
   該液体を介して該保持テーブルで保持された被加工物の上面であって、該テープと反対側に露出する上面を押圧し、該液体にて該保持面と該テープの間に液膜を形成する押圧ユニットと、を備えた加工装置。
2. 該押圧ユニットは、
   該被加工物の該上面を転動する転動ローラーを有する、
   ことを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
3. テープに貼着された被加工物の加工方法であって、
   少なくとも撮像領域が透明部にて構成される保持テーブルの該保持面に、液体を供給する液体供給ステップと、
   該液体供給ステップを実施した後、該液体と該テープを介して該保持面上に被加工物を載置する載置ステップと、
   該載置ステップを実施した後、該被加工物の上面であって、該テープと反対側に露出する上面を該保持面に向かって押圧し、該液体にて該保持面と該テープの間に液膜を形成するとともに、該保持テーブルで該被加工物を保持する保持ステップと、
   該保持ステップを実施した後、該保持テーブル、該液膜、該テープを介して該被加工物の下面を撮像する撮像ステップと、
   を備えた被加工物の撮像方法。
4. 請求項３に記載の被加工物の撮像方法により得られた撮像画像に基づいてアライメントを行うアライメントステップと、
   該アライメントステップを実施した後、該保持テーブルで保持された該被加工物に加工を施す加工ステップと、
   を備えた被加工物の加工方法。
5. 被加工物の上方から撮像した撮像画像に基づいてアライメントを行うアライメントステップと、
   該アライメントステップを実施した後、該保持テーブルで保持された該被加工物に加工を施す加工ステップと、
   請求項３に記載の被加工物の撮像方法により得られる撮像画像に基づいて被加工物の下面を確認する確認ステップと、
   を備えた被加工物の加工方法。