JP7750130B2 - 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 - Google Patents

Description

本開示は、液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置に関する。

特許文献１には、ノズルの両側に４つの圧力室を設け、４つの圧力室のそれぞれからノズルに至る流路をノズル付近で合流させる液体噴射ヘッドが開示されている。

特開２０１９－１５５７６８号公報

しかしながら、上記従来技術では、４つの圧力室のそれぞれからノズルに至る４つの流路を形成するために流路形成部材にかなり多くの空間を設けており、流路形成部材の強度や剛性が過度に低下してしまう虞があった。

本開示の一形態による液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズルと、第１乃至第４圧力室と、前記ノズルに接続され、前記ノズルと前記第１乃至第４圧力室とを連通させる連通流路と、前記連通流路と前記第１圧力室とを接続する第１流路と、前記連通流路と前記第２圧力室とを接続する第２流路と、前記連通流路と前記第３圧力室とを接続する第３流路と、前記連通流路と前記第４圧力室とを接続する第４流路と、前記第１圧力室の圧力を変化させる第１駆動素子と、前記第２圧力室の圧力を変化させる第２駆動素子と、前記第３圧力室の圧力を変化させる第３駆動素子と、前記第４圧力室の圧力を変化させる第４駆動素子と、前記第１圧力室および前記第２圧力室と連通する第１共通液室と、前記第３圧力室および前記第４圧力室と連通する第２共通液室と、を備える。前記第１流路と前記第２流路とは、第１方向に並べて配置され、前記第３流路と前記第４流路とは、前記第１方向に並べて配置され、前記第１流路および前記第２流路と、前記第３流路および前記第４流路とは、前記第１方向に直交する第２方向にずれて配置される。前記第１流路は、前記第３流路および前記第４流路のそれぞれと前記第１方向に関してずれており、前記第２流路は、前記第３流路および前記第４流路のそれぞれと前記第１方向に関してずれている。

実施形態における液体噴射装置の構成を示す説明図。 液体噴射ヘッドの底面図。 図２のIII-III断面を示す断面図。 図３の底面から見た３ノズル分の流路および第１及び第２共通液室の一部を示す図。 図３の底面から見た１ノズル分の流路の一部を示す図。 図５の流路を拡大して示す図。 図６のVII-VII断面を示す断面図。 連通流路と連通孔を更に拡大して示す図。 連通流路と連通孔を更に拡大して示す図。 図９のX-X断面を示す断面図。 図９のXI-XI断面を示す断面図。 第２実施形態における連通流路を示す図。 第３実施形態における連通流路を示す図。 第４実施形態における連通流路を示す図。

Ａ．第１実施形態
図１は、実施形態における液体噴射装置４００の構成を示す説明図である。液体噴射装置４００は、液体の一例であるインクを媒体ＰＭに噴射するインクジェット方式の印刷装置である。インクの組成は、特に限定されず、例えば、染料又は顔料等の色材を水系溶媒に溶解させた水系インクでもよいし、色材を有機溶剤に溶解させた溶剤系インクでもよいし、紫外線硬化型インクでもよい。また、液体噴射装置４００は、インクの代わりに液体として塗料を噴射してもよい。液体噴射装置４００には、インクを貯留する液体貯留部４２０を取りつけることができる。液体噴射装置４００は、液体貯留部４２０内のインクを、媒体ＰＭに向けて噴射することによって印刷を実行する。液体噴射装置４００は、液体噴射ヘッド１００と、移動機構４３０と、搬送機構４４０と、制御ユニット４５０と、循環機構６０とを備える。

液体噴射ヘッド１００は、複数のノズル２００を備え、液体貯留部４２０から供給される液体のインクを、複数のノズル２００から噴射する。液体貯留部４２０の具体的な態様としては、例えば、液体噴射装置４００に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、及び、インクを補充可能なインクタンク等の容器が挙げられる。ノズル２００から噴射されたインクは、媒体ＰＭに着弾する。媒体ＰＭは、典型的には印刷用紙である。なお、媒体Ｍは、印刷用紙に限定されず、例えば、樹脂フィルム又は布帛等の任意の材質の印刷対象でもよい。

移動機構４３０は、輪状のベルト４３２と、ベルト４３２に固定されたキャリッジ４３４と、を備える。キャリッジ４３４は、液体噴射ヘッド１００を保持している。移動機構４３０は、輪状のベルト４３２を双方向に回転させることにより、液体噴射ヘッド１００をＸ方向に沿って往復させることができる。

搬送機構４４０は、移動機構４３０による液体噴射ヘッド１００の移動の合間に、媒体ＰＭをＹ方向に沿って搬送する。Ｙ方向は、Ｘ方向と直交する方向である。本実施形態では、Ｘ方向とＹ方向は水平方向である。Ｚ方向は、Ｘ方向およびＹ方向に交差する方向である。本実施形態において、Ｚ方向は鉛直下向きである。液体噴射ヘッド１００は、Ｘ方向に沿って搬送されている間に、Ｚ方向に沿ってインクを噴射する。Ｚ方向を「噴射方向Ｚ」とも呼ぶ。また、以下の説明では、図中のＸ方向を示す矢印の先端側を＋Ｘ側と呼び、基端側を－Ｘ側と呼び、図中のＹ方向を示す矢印の先端側を＋Ｙ側と呼び、基端側を－Ｙ側と呼び、図中のＺ方向を示す矢印の先端側を＋Ｚ側と呼び、基端側を－Ｚ側と呼ぶ。

制御ユニット４５０は、液体噴射ヘッド１００からのインクの噴射動作を制御する。制御ユニット４５０は、搬送機構４４０と、移動機構４３０と、液体噴射ヘッド１００と、を制御して、媒体ＰＭ上に画像を形成させる。

図２は、液体噴射ヘッド１００の底面図である。液体噴射ヘッド１００は、複数のノズル２００を有する。複数のノズル２００は、ＸＹ平面に平行に配置されたノズルプレート２４０を貫通するように形成されている。複数のノズル２００は、Ｙ方向に沿って直線状に配置されることによってノズル列ＮＬを構成している。ノズルプレート２４０は、例えば、半導体加工技術を用いてシリコン単結晶基板を加工することにより製造される。当該シリコン単結晶基板としては、例えば、（１００）シリコン単結晶基板が好適に用いられる。なお、ノズルプレート２４０は、例えばステンレス鋼（ＳＵＳ）、チタンなどの材料で形成されていてもよい。

図３は、図２のIII-III断面における断面図である。図４は、図３の底面から見た３ノズル分の流路および第１共通液室１１０、第２共通液室１２０の一部を示す図である。図５は、図３の底面から見た１ノズル分の流路および共通液室１１０，１２０の一部を示す図である。図６は、図５の流路を拡大して示す図である。図７は、図６のVII-VII断面を示す断面図である。なお、図４では、３つのノズル別流路１３０、第１共通液室１１０及び第２共通液室１２０のみを図示している。なお、図示の便宜上、図５及び図６では、連通流路３５０が実線で描かれており、圧力室３３０が点線で、駆動素子３００が破線で、共通液室１１０，１２０が一点鎖線で描かれている。また、図７では、圧力室３３１，３３２の位置における断面での各部の符号の後ろに、他の圧力室３３３，３３４の位置における図６のVII-VII断面での各部の符号が括弧付きで示されている。

図４に示すように、隣り合うノズル２００の配置される間隔Ｐｔ１、即ちノズル２００のＹ方向の中心同士の距離は、一定である。また、列Ｌ１を構成する複数の圧力室３３０_Ｌ１のうち隣り合う圧力室３３０_Ｌ１の間隔Ｐｔ２、即ち圧力室３３０_Ｌ１のＹ方向の中心同士の距離は、一定である。列Ｌ２も同様の関係である。更に、列Ｌ１における間隔Ｐｔ２と、列Ｌ２における間隔Ｐｔ２とは同じであり、間隔Ｐｔ２は間隔Ｐｔ１の半分である。また、圧力室３３０の間隔Ｐｔ２は、連通孔３４０の間隔と同じであり、ノズル２００のＹ方向の中心同士の間隔とも同じである。

図３に示すように、液体噴射ヘッド１００は、インクが供給される第１共通液室１１０と、インクが排出される第２共通液室１２０と、第１共通液室１１０と第２共通液室１２０の間を接続するノズル別流路１３０とを有する。第１共通液室１１０と第２共通液室１２０は複数のノズル２００に共通に設けられており、ノズル別流路１３０は個々のノズル２００に対して個別に設けられている。共通液室１１０，１２０のそれぞれは、ノズル列ＮＬに沿う方向であるＹ方向に延在する。即ち、共通液室１１０，１２０の長手方向は、複数のノズル２００が並ぶ方向に平行である。

液体噴射ヘッド１００は、第１共通液室１１０に連通する複数の圧力室３３０の列Ｌ１と、第２共通液室１２０に連通する複数の圧力室３３０の列Ｌ２とを有する。列Ｌ１は、複数の圧力室３３０がＹ方向に並ぶことで構成され、列Ｌ２は、複数の圧力室３３０がＹ方向に並ぶことで構成される。列Ｌ１は、ノズル列ＮＬに対して－Ｘ側に配置され、列Ｌ２は、ノズル列ＮＬに対して＋Ｘ側に配置されている。以降、列Ｌ１を構成する複数の圧力室３３０を、圧力室３３０_Ｌ１と称し、列Ｌ２を構成する複数の圧力室３３０を、圧力室３３０_Ｌ２と称す。詳しくは後述する駆動素子３００、接続流路３２０および連通孔３４０についても、列Ｌ１に対応する駆動素子３００を駆動素子３００_Ｌ１と称し、列Ｌ２に対応する駆動素子３００を駆動素子３００_Ｌ２と称し、列Ｌ１に対応する接続流路３２０を接続流路３２０_Ｌ１と称し、列Ｌ２に対応する接続流路３２０を接続流路３２０_Ｌ２と称し、列Ｌ１に対応する連通孔３４０を連通孔３４０_Ｌ１と称し、列Ｌ２に対応する連通孔３４０を連通孔３４０_Ｌ２と称する。

本実施形態における１つのノズル２００に対応するノズル別流路１３０は、列Ｌ１の２つの圧力室３３０_Ｌ１と、列Ｌ２の２つの圧力室３３０_Ｌ２と、この２つの圧力室３３０_Ｌ１のそれぞれに対応する２つの接続流路３２０_Ｌ１と、この２つの圧力室３３０_Ｌ２のそれぞれに対応する２つの接続流路３２０_Ｌ２と、この２つの圧力室３３０_Ｌ１のそれぞれに対応する２つの連通孔３４０_Ｌ１と、この２つの圧力室３３０_Ｌ２のそれぞれに対応する２つの連通孔３４０_Ｌ２と、連通流路３５０とを含む。ここで、この列Ｌ１の２つの圧力室３３０_Ｌ１を、圧力室３３１，３３２と称し、この列Ｌ２の２つの圧力室３３０_Ｌ２を、圧力室３３３，３３４と称し、この２つの接続流路３２０_Ｌ１を接続流路３２１，３２２と称し、この２つの接続流路３２０_Ｌ２を接続流路３２３，３２４と称し、この２つの連通孔３４０_Ｌ１を連通孔３４１，３４２と称し、この２つの連通孔３４０_Ｌ２を連通孔３４３，３４４と称する。また、圧力室３３１～３３４のそれぞれに対応する４つの駆動素子３００を、駆動素子３０１～３０４と称する。

共通液室１１０，１２０のそれぞれは、Ｙ方向や、隣り合う圧力室３３１，３３２が並ぶ方向、換言すれば圧力室３３０の列Ｌ１の延在方向に延在すると考えることができる。なお、本実施形態において、隣り合う圧力室３３１，３３２が並ぶ方向は、「第１方向」の一例である。また、複数のノズル別流路１３０は、ノズル列ＮＬに沿ってＹ方向に並ぶ。

共通液室１１０，１２０の下部と複数のノズル別流路１３０は、主に連通板１４０によって形成される。連通板１４０は、複数の板状の部材を積層することで構成されていてもよい。連通板１４０の上面、即ち連通板１４０の－Ｚ側を向く面には、筐体部１６０および圧力室基板２５０が設置されている。圧力室基板２５０は、Ｚ方向に見た平面視で、筐体部１６０の内側に位置する。圧力室基板２５０の上面、即ち圧力室基板２５０の－Ｚ側を向く面には、振動板３１０が位置している。圧力室基板２５０には、複数の圧力室３３０が設けられる。各圧力室３３０は、連通板１４０と振動板３１０と圧力室基板２５０とによって画定された空間である。圧力室基板２５０は、例えば、半導体加工技術を用いてシリコン単結晶基板を加工することにより製造される。当該シリコン単結晶基板としては、例えば、（１１０）基板、即ち、主面を（１１０）面とするシリコン単結晶基板が好適に用いられる。

振動板３１０は、弾性的に振動可能な板状部材である。振動板３１０は、例えば、酸化シリコン（ＳｉＯ２）で構成される第１層と、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）で構成される第２層と、を含む積層体である。ここで、第１層と第２層との間には、金属酸化物等の他の層が介在してもよい。なお、振動板５４の一部または全部は、圧力室基板２５０と同一材料で一体に構成されてもよい。例えば、所定厚の板状部材における圧力室３３０に対応する領域について厚さ方向の一部を選択的にエッチング等で除去することで、振動板３１０および圧力室基板２５０を一体に形成することができる。また、振動板３１０は、単一材料の層で構成されてもよい。

連通板１４０の下面、即ち連通板１４０の＋Ｚ側を向く面には、ノズルプレート２４０が設置されており、また、第１共通液室１１０と第２共通液室１２０の下端部、即ち第１共通液室１１０と第２共通液室１２０の＋Ｚ側の端部は、樹脂フィルムや薄膜状の金属などから成る可撓性を有する封止膜１５０で封止されている。

振動板３１０の－Ｚ側を向く面には、配線基板５９が接合される。配線基板５９は、制御ユニット４５０と液体噴射ヘッド１００とを電気的に接続するための複数の配線が形成される実装部品である。配線基板５９は、例えば、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）またはＦＦＣ（Flexible Flat Cable）等の可撓性の配線基板である。配線基板５９には、駆動素子３００を駆動するための駆動回路７０が実装される。駆動回路７０は、駆動信号を各駆動素子３００に供給する。

振動板３１０の上面、即ち振動板３１０の－Ｚ側を向く面には、各圧力室３３０に対応して複数の駆動素子３００がそれぞれ設けられている。これらの駆動素子３００は、例えば圧電素子で構成されている。圧電素子は、例えば、圧電体層と圧電体層を挟むように設けられた２つの電極によって構成されている。例えば、圧電素子である駆動素子３０１～３０４が振動すると、それらの振動が圧力室３３１～３３４にそれぞれ伝わり、圧力室３３１～３３４に圧力波が発生する。インクは、駆動素子３０１～３０４によって発生した圧力によってノズル２００から噴射される。インクをノズル２００から噴射する際には、ノズル２００に対応する４つの駆動素子３０１～３０４が同時に同位相で駆動することが好ましい。なお、駆動素子として、圧電素子に代えて、圧力室３３０内のインクを加熱する発熱素子を用いてもよい。

共通液室１１０，１２０には、循環機構６０が接続される。循環機構６０は、第１共通液室１１０にインクを供給するとともに、第２共通液室１２０から排出されるインクを第１共通液室１１０への再供給のために回収する。循環機構６０は、第１供給ポンプ６１と第２供給ポンプ６２と貯留容器６３と回収流路６４と供給流路６５とを有する。

第１供給ポンプ６１は、液体貯留部４２０に貯留されるインクを貯留容器６３に供給するポンプである。貯留容器６３は、液体貯留部４２０から供給されるインクを一時的に貯留するサブタンクである。回収流路６４は、第２共通液室１２０と貯留容器６３との間に介在しており、第２共通液室１２０からのインクを貯留容器６３に回収するための流路である。貯留容器６３には、液体貯留部４２０に貯留されるインクが第１供給ポンプ６１から供給される。更に、貯留容器６３には、第１共通液室１１０から各ノズル別流路１３０に供給されたがノズル２００から噴射されずに各ノズル別流路１３０から第２共通液室１２０に排出されるインクが、回収流路６４を介して供給される。第２供給ポンプ６２は、貯留容器６３に貯留されるインクを送出するポンプである。供給流路６５は、第１共通液室１１０と貯留容器６３との間に介在しており、貯留容器６３のインクを第１共通液室１１０に供給するための流路である。

第１共通液室１１０の上端、即ち第１共通液室１１０の－Ｚ側の端部にある開口部１６１は、液体噴射ヘッド１００の外部である供給流路６５に接続されている。つまり、本実施形態の開口部１６１は、循環機構６０から液体を導入するための導入口としての機能を有する。第２共通液室１２０の上端、即ち第２共通液室１２０の－Ｚ側の端部にある開口部１６２は、液体噴射ヘッド１００の外部である循環機構６０の回収流路６４に接続されている。つまり、本実施形態の開口部１６２は、循環機構６０から液体を排出するための導出口としての機能を有する。

ノズル別流路１３０は、以下の流路や空間を有する。以下の説明において、「接続」という語句は、直接的に接続する意味で使用する。また、「連通」という語句は、直接的な接続だけでなく、間接的に接続されることも含む広い意味で使用する。
＜接続流路３２１～３２４＞
第１接続流路３２１は、第１共通液室１１０と第１圧力室３３１とを接続する。
第２接続流路３２２は、第１共通液室１１０と第２圧力室３３２とを接続する。
第３接続流路３２３は、第２共通液室１２０と第３圧力室３３３とを接続する。
第４接続流路３２４は、第２共通液室１２０と第４圧力室３３４とを接続する。
接続流路３２１～３２４は、いずれもＺ方向に延在する流路であり、連通板１４０を貫通している。図５と図６では、図示の便宜上、接続流路３２１～３２４にハッチングが付されている。なお、接続流路３２０と圧力室３３０とが交わる部分は、圧力室３３０の一部であると見なすことができる。

＜圧力室３３１～３３４＞
第１圧力室３３１～第４圧力室３３４は、第１駆動素子３０１～第４駆動素子３０４によってそれぞれ圧力の変化を受ける空間である。第１圧力室３３１と第２圧力室３３２は、第１方向Ｄｒ１に並べて配置され、第３圧力室３３３と第４圧力室３３４も第１方向Ｄｒ１に並べて配置されている。本実施形態では、第１方向Ｄｒ１はＹ方向に平行である。第１圧力室３３１および第２圧力室３３２と、第３圧力室３３３および第４圧力室３３４とは、第１方向Ｄｒ１に直交する第２方向Ｄｒ２にずれて配置されている。本実施形態では、第２方向Ｄｒ２はＸ方向に平行である。第１圧力室３３１～第４圧力室３３４で発生した圧力波は、ノズル２００に到達してノズル２００からインクを噴射させる。圧力室３３１～３３４は、同じ形状を有することが好ましい。本実施形態では、複数の圧力室３３１～３３４が千鳥状に配置されている。各圧力室３３０は、第２方向Ｄｒ２に延在している。

＜連通孔３４１～３４４＞
第１連通孔３４１～第４連通孔３４４は、それぞれＺ方向に延在し、連通流路３５０と第１圧力室３３１～第４圧力室３３４とをそれぞれ接続する流路である。つまり、各圧力室３３０は、一端で接続流路３２０に接続され、他端で連通孔３４０に接続されている。第１連通孔３４１～第４連通孔３４４のそれぞれは、「第１流路」～「第４流路」の一例である。なお、図５と図６では、図示の便宜上、連通孔３４１～３４４にハッチングが付されている。第１連通孔３４１と第２連通孔３４２は、第１方向Ｄｒ１に並べて配置され、第３連通孔３４３と第４連通孔３４４も、第１方向Ｄｒ１に並べて配置されている。図７では、第１連通孔３４１と第２連通孔３４２は、連通孔隔壁１４５によって仕切られている。連通孔３４１～３４４は、接続流路３２１～３２４と同じ方向に延在する流路であり、連通板１４０を貫通している。連通孔３４１～３４４は、同じ形状を有することが好ましい。なお、連通孔３４０と圧力室３３０とが交わる部分は、圧力室３３０の一部であると見なすことができる。

＜連通流路３５０＞
図３に示すように、連通流路３５０は、ノズル２００に接続され、ノズル２００と第１圧力室３３１～第４圧力室３３４とを連通させる流路である。また、連通流路３５０は、ノズルプレート２４０の複数のノズル２００が形成されたノズル面に沿って延在する流路であり、連通流路３５０の途中にノズル２００が設けられている。具体的には、連通流路３５０は、Ｘ方向に沿って延在しており、連通板１４０とノズルプレート２４０の－Z側を向く面とによって画定されている。図６に示すように、連通流路３５０は、第１部分３５１と第２部分３５２と第３部分３５３とを含む。連通流路３５０の第１部分３５１は、連通流路３５０の一端に配置され、第１連通孔３４１および第２連通孔３４２と接続される。連通流路３５０の第２部分３５２は、連通流路３５０の他端に配置され、第３連通孔３４３および第４連通孔３４４と接続される。連通流路３５０の第３部分３５３は、第１部分３５１および第２部分３５２の間に接続されている。なお、第３部分３５３は、第１部分３５１や第２部分３５２よりも第１方向Ｄｒ１の幅が狭い部分である。また、本実施形態では、第３部分３５３の第１方向Ｄｒ１の幅Ｗ３５３は一定である。第１～第４連通孔３４１～３４４と連通流路３５０とが交わる部分は、連通流路３５０の一部であると見なすことができる。

第１圧力室３３１と第２圧力室３３２で発生した圧力波は、第１連通孔３４１と第２連通孔３４２の下端部、即ち第１連通孔３４１と第２連通孔３４２の＋Ｚ側の端部付近にある第１合流位置Ｐｊ１で合流する。第３圧力室３３３と第４圧力室３３４で発生した圧力波は、第３連通孔３４３と第４連通孔３４４の下端部、即ち第３連通孔３４３と第４連通孔３４４の＋Ｚ側の端部付近にある第２合流位置Ｐｊ２で合流する。これらの圧力波は、ノズル２００からインクを噴射する駆動力として作用する。

インクとしては、例えば、擬塑性を有する液体を使用することができる。より具体的には、インクは、２５℃において、せん断速度が１０００ｓ^－１のときの粘度が０．０１Ｐａ・ｓ以上０．２Ｐａ・ｓ以下であり、せん断速度が０．０１ｓ^－１のときの粘度が０．５Ｐａ・ｓ以上５０Ｐａ・ｓ以下であることが好ましい。本実施形態では、４つの圧力室３３１～３３４を用いることによって個々の流路の断面積を小さくし、流速を上げてインクの粘度を低下させることにより、擬塑性を有する液体状のインクを使用することが可能となっている。但し、圧力室３３１～３３４からノズル２００までは、駆動素子３０１～３０４のエネルギーを効率的に利用したいため、流路抵抗を過度に大きくするのは好ましくない。そこで、本実施形態では、図５に示したように、隣り合う圧力室３３０からノズル２００へ向かう個々の流路を、ノズル２００よりも圧力室の方に近い合流位置Ｐｊ１，Ｐｊ２で早めに合流させることによって、流路抵抗が過度に大きくなることを防止している。

本実施形態では、１つのノズル２００に対して４つの圧力室３３１～３３４が設けられていたが、圧力室は５つ以上設けても良い。いずれの場合にも、駆動素子は、個々の圧力室に対応するように設けられる。

本実施形態のノズル別流路１３０は、４つの駆動素子３０１～３０４に対応した４つの個別流路を含むものと考えることができる。「個別流路」とは、少なくとも圧力室３３０を含む流路であり、１つの駆動素子３００に対して１つの個別流路が対応する。本実施形態では、第１個別流路は、第１接続流路３２１と第１圧力室３３１と第１連通孔３４１とを含むものと考えることができる。第２～第４個別流路も同様に把握することが可能である。

図８及び図９は、連通流路３５０と連通孔３４１～３４４を更に拡大して示す図である。図８及び図９では、連通孔３４１～３４４のハッチングは省略している。図８と図９とは、図中に記載されている一部の符号が異なる点以外は同じである。図１０は、連通板１４０の一部をX-Z平面に沿って切断した図９のX-X断面を示す断面図である。図１１は、連通板１４０の一部をX-Z平面に沿って切断した図９のXI-XI断面を示す断面図である。図８乃至図１１で以下に説明するように、第１実施形態の液体噴射ヘッド１００は、流路形成部材としての連通板１４０の強度や剛性等に関連する種々の特徴を有する。
＜特徴Ｅ１＞
第１連通孔３４１および第２連通孔３４２と、第３連通孔３４３および第４連通孔３４４とは、第１方向Ｄｒ１に直交する第２方向Ｄｒ２にずれて配置されている。また、第１連通孔３４１は、第３連通孔３４３および第４連通孔３４４のそれぞれと第１方向Ｄｒ１に関してずれており、第２連通孔３４２は、第３連通孔３４３および第４連通孔３４４のそれぞれと第１方向Ｄｒ１に関してずれている。すなわち、第１連通孔３４１の第２方向Ｄｒ２における位置は、第３連通孔３４３の位置及び第４連通孔３４４の位置のいずれからもずれている。ここで、２つの連通孔３４０の「位置がずれている」という意味は、２つの連通孔３４０のそれぞれの中心位置同士が異なることを意味する。

上記特徴Ｅ１は、４つの連通孔３４１～３４４が千鳥状に配置されていることを意味している。一般的に、連通板１４０に連通孔３４１～３４４や連通流路３５０などの多数の空間を設けると、連通板１４０の強度や剛性が低下する。特に、連通板１４０をX-Z平面に沿って切断した断面において、図１０に示されるような連通板１４０に連通孔３４１および連通孔３４４の双方が形成されている、換言すれば連通孔３４０＿Ｌ１と連通孔３４０＿Ｌ２とが１つずつ形成されている第１方向Ｄｒ１での位置（以下、脆弱位置と呼称する。）では、連通板１４０の強度は低い。一方、連通板１４０をX-Z平面に沿って切断した断面において、図１１に示されるような連通板１４０に連通孔３４１および連通孔３４４の一方のみが形成されている、換言すれば連通孔３４０＿Ｌ１および連通孔３４０＿Ｌ２のうち一方のみが形成されている第１方向Ｄｒ１での位置（以下、非脆弱位置と呼称する。）では、当該脆弱位置に比べて、連通板１４０の強度は高い。

ここで、連通孔３４１～３４４が千鳥状に配置されていない従来例について検討する。従来例では、連通孔３４１と連通孔３４３の第１方向Ｄｒ１での各位置が同じであり、連通孔３４２と連通孔３４４の第１方向Ｄｒ１での各位置が同じである。換言すれば、複数の連通孔３４０＿Ｌ１のそれぞれの第１方向Ｄｒ１での位置と、複数の連通孔３４０＿Ｌ２のそれぞれの第１方向Ｄｒ１での位置とが同じである。そのため、第２方向Ｄｒ２に見て、連通孔３４１と連通孔３４３とが全てで重なり、連通孔３４２と連通孔３４４とが全てで重なる。つまり、従来例では、前述の脆弱位置が連通孔３４０の第１方向Ｄｒ１の幅の分だけ連続して連通板１４０に形成されるため、連通板１４０全体での強度が低下しやすい。その結果、従来例では連通板１４０の曲げ強度が低下し、組み立て時に連通板１４０が破損する可能性がある。また、連通板１４０全体の剛性が低下することで、構造クロストークの増加が懸念される。さらに、線膨張等の影響による変形量が増加してしまう虞がある。

これに対して、４つの連通孔３４１～３４４を千鳥状に配置する場合には、図８及び９に示すように、連通孔３４１に対応する脆弱位置は、第２方向Ｄｒ２に見て連通孔３４１と連通孔３４３とが重なる範囲を第１方向Ｄｒ１に連続して設けられ、且つ、第２方向Ｄｒ２に見て連通孔３４１と連通孔３４４とが重なる範囲を第１方向Ｄｒ１に連続して設けられる。また、連通孔３４１に対応する非脆弱位置は、連通孔３４３と連通孔３４４との間を第１方向Ｄｒ１に連続して設けられる。つまり、連通孔３４１に対応する２つの脆弱位置は、連通孔３４１に対応する非脆弱位置によって分割されている。連通孔３４２～３４４のそれぞれに対応する脆弱位置および非脆弱位置についても同様である。したがって、脆弱位置が第１方向Ｄｒ１に連続して設けられる範囲は、連通孔３４０の第１方向Ｄｒ１の幅よりも小さくなる。
以上述べた通り、４つの連通孔３４１～３４４を千鳥状に配置することによって、脆弱位置を第１方向Ｄｒ１に分散することができるので、脆弱位置が第１方向Ｄｒ１に連続して設けられる範囲を従来例に比べて小さくすることができ、連通板１４０の強度や剛性が過度に低下することを防止できる。

上記特徴Ｅ１の「連通孔」を「圧力室」に置き換えると、特徴Ｅ１とほぼ同様の特徴Ｅ１ａが得られる。
＜特徴Ｅ１ａ＞
第１圧力室３３１および第２圧力室３３２と、第３圧力室３３３および第４圧力室３３４とは、第１方向Ｄｒ１に直交する第２方向Ｄｒ２にずれて配置される。また、第１圧力室３３１は、第３圧力室３３３および第４圧力室３３４のそれぞれと第１方向Ｄｒ１に関してずれており、第２圧力室３３２は、第３圧力室３３３および第４圧力室３３４のそれぞれと第１方向Ｄｒ１に関してずれている。この特徴Ｅ１ａによっても、上記特徴Ｅ１と同様に、圧力室基板２５０の強度や剛性の低下を抑制できる。

＜特徴Ｅ２＞
第１連通孔３４１は、第１方向Ｄｒ１に関して、第３連通孔３４３と第４連通孔３４４との間に配置され、第４連通孔３４４は、第１方向Ｄｒ１に関して、第１連通孔３４１と第２連通孔３４２との間に配置される。すなわち、第１方向Ｄｒ１において、第１連通孔３４１は第３連通孔３４３と第４連通孔３４４の両方に亘る範囲の中に含まれており、第４連通孔３４４は第１連通孔３４１と第２連通孔３４２の両方に亘る範囲の中に含まれている。本実施形態では、図８に示すように、第１連通孔３４１は、第２方向Ｄｒ２に見て、具体的には＋Ｘ側に見て第３連通孔３４３及び第４連通孔３４４とそれぞれ一部が重なり、第４連通孔３４４は、第２方向Ｄｒ２に見て、具体的には－Ｘ側に見て第１連通孔３４１及び第２連通孔３４２とそれぞれ一部が重なっている。但し、第１連通孔３４１は、第２方向Ｄｒ２に見て、第３連通孔３４３及び第４連通孔３４４とまったく重なっていなくてもよいし、第４連通孔３４４は、第１連通孔３４１及び第２連通孔３４２とまったく重なっていなくてもよい。この特徴Ｅ２によれば、連通板１４０の強度や剛性の低下を更に抑制できる。また、連通孔３４１～３４４を接続する連通流路３５０を短くすることができる。

以降では、１つのノズル２００に対応する連通孔３４１～３４４を連通孔群と呼称する場合がある。上記特徴Ｅ２は、１つのノズル２００に対応する１つの連通孔群に対してだけではなく、隣り合う２つのノズル２００に対応する２つの連通孔群に対しても適用するのが好ましい。この点について、図４に示された３つのノズル２００のうち＋Ｙ側の端部に位置するノズル２００ａとし、当該３つのノズル２００のうちノズル２００ａに隣り合い、ノズル２００ａに対して－Ｙ側に位置するノズル２００をノズル２００ｂとし、ノズル２００ａ、２００ｂに対応する２つの連通孔群に着目して、具体的に説明する。図４に示す通り、ノズル２００ａに対応する第２連通孔３４２は、第１方向Ｄｒ１に関して、ノズル２００ｂに対応する第３連通孔３４３とノズル２００ａに対応する第４連通孔３４４との間に配置され、ノズル２００ｂに対応する第３連通孔３４３は、第１方向Ｄｒ１に関して、ノズル２００ｂに対応する第１連通孔３４１とノズル２００ａに対応する第２連通孔３４２との間に配置されることが好ましい。

上記特徴Ｅ２の「連通孔」を「圧力室」に置き換えると、特徴Ｅ２とほぼ同様の特徴Ｅ２ａが得られる。
＜特徴Ｅ２ａ＞
第１圧力室３３１は、第１方向Ｄｒ１に関して、第３圧力室３３３と第４圧力室３３４との間に配置され、第４圧力室３３４は、第１方向Ｄｒ１に関して、第１圧力室３３１と第２圧力室３３２との間に配置される。すなわち、第１方向Ｄｒ１において、第１圧力室３３１は第３圧力室３３３と第４圧力室３３４の両方に亘る範囲の中に含まれており、第４圧力室３３４は第１圧力室３３１と第２圧力室３３２の両方に亘る範囲の中に含まれている。本実施形態では、第１圧力室３３１は、第２方向Ｄｒ２に見て、第３圧力室３３３及び第４圧力室３３４とそれぞれ一部が重なり、第４圧力室３３４は、第２方向Ｄｒ２に見て、第１圧力室３３１及び第２圧力室３３２とそれぞれ一部が重なっている。但し、第１圧力室３３１は、第２方向Ｄｒ２に見て、第３圧力室３３３及び第４圧力室３３４とまったく重なっていなくてもよく、第４圧力室３３４は、第２方向Ｄｒ２に見て、第１圧力室３３１及び第２圧力室３３２とまったく重なっていなくてもよい。この特徴Ｅ２ａによっても、上記特徴Ｅ２と同様に、圧力室基板２５０の強度や剛性の低下を更に抑制できる。

＜特徴Ｅ３＞
図８に示すように、第１連通孔３４１の第１中心Ｃ１は、第１方向Ｄｒ１に関して、第３連通孔３４３の第３中心Ｃ３と第４連通孔３４４の第４中心Ｃ４との中心に配置され、第４連通孔３４４の第４中心Ｃ４は、第１方向Ｄｒ１に関して、第１連通孔３４１の第１中心Ｃ１と第２連通孔３４２の第２中心Ｃ２との中心に配置される。すなわち、第１方向Ｄｒ１に関して、第１連通孔３４１は、第３連通孔３４３と第４連通孔３４４の中央にあり、第４連通孔３４４は第１連通孔３４１と第２連通孔３４２の中央にある。この特徴Ｅ３によれば、連通板１４０の強度や剛性の低下を更に抑制できる。なお、特徴Ｅ３に関する上記の中心Ｃ１～Ｃ４のそれぞれは、Ｚ方向に見た平面視での連通孔３４１～３４４の各中心と解釈してもいいし、連通孔３４１～３４４の第１方向Ｄｒ１に関する各中心と解釈してもよい。

上記特徴Ｅ３は、１つのノズル２００に対応する１つの連通孔群に対してだけではなく、隣り合う２つのノズル２００に対応する２つの連通孔群に対しても適用するのが好ましい。具体的に例えると、図４に示すように、ノズル２００ａに対応する第２連通孔３４２の第２中心Ｃ２は、第１方向Ｄｒ１に関して、ノズル２００ｂに対応する第３連通孔３４３の第３中心Ｃ３とノズル２００ａに対応する第４連通孔３４４の第４中心Ｃ４との中心に配置され、ノズル２００ｂに対応する第３連通孔３４３の第３中心Ｃ３は、第１方向Ｄｒ１に関して、ノズル２００ｂに対応する第１連通孔３４１の第１中心Ｃ１とノズル２００ａに対応する第２連通孔３４２の第２中心Ｃ２との中心に配置されることが好ましい。

上記特徴Ｅ３の「連通孔」を「圧力室」に置き換えると、特徴Ｅ３とほぼ同様の特徴Ｅ３ａが得られる。
＜特徴Ｅ３ａ＞
第１圧力室３３１の第１中心は、第１方向Ｄｒ１に関して、第３圧力室３３３の第３中心と第４圧力室３３４の第４中心との中心に配置され、第４圧力室３３４の第４中心は、第１方向Ｄｒ１に関して、第１圧力室３３１の第１中心と第２圧力室３３２の第２中心との中心に配置される。すなわち、第１方向Ｄｒ１に関して、第１圧力室３３１は、第３圧力室３３３と第４圧力室３３４の中央にあり、第４圧力室３３４は第１圧力室３３１と第２圧力室３３２の中央にある。この特徴Ｅ３ａによっても、上記特徴Ｅ３と同様に、圧力室基板２５０の強度や剛性の低下を更に抑制できる。

＜特徴Ｅ４＞
第１連通孔３４１は、第２方向Ｄｒ２に見て、具体的には＋Ｘ側に見て第３連通孔３４３および第４連通孔３４４の双方に重なり、第４連通孔３４４は、第２方向Ｄｒ２に見て、具体的には－Ｘ側に見て第１連通孔３４１および第２連通孔３４２の双方に重なる。ここで、「重なる」とは、一部が重なっていることを意味する。この特徴Ｅ４によれば、連通板１４０の強度や剛性の低下を更に抑制できる。

なお、本実施形態では第１方向Ｄｒ１を＋Ｙ方向としているが、第１方向Ｄｒ１を－Ｙ方向としてもよい。また、第２方向Ｄｒ２を＋Ｘ方向としているが、第２方向Ｄｒ２を－Ｘ方向としてもよい。更に、第１方向Ｄｒ１と第２方向Ｄｒ２をこれらと異なる方向に設定してもよい。

上記特徴Ｅ４は、１つのノズル２００に対応する１つの連通孔群に対してだけではなく、隣り合う２つのノズル２００に対応する２つの連通孔群に対しても適用するのが好ましい。具体的に例えると、図４に示すように、ノズル２００ａに対応する第２連通孔３４２は、第２方向Ｄｒ２に見て、ノズル２００ｂに対応する第３連通孔３４３およびノズル２００ａに対応する第４連通孔３４４の双方に重なり、ノズル２００ｂに対応する第３連通孔３４３は、第２方向Ｄｒ２に見て、ノズル２００ｂに対応する第１連通孔３４１およびノズル２００ａに対応する第２連通孔３４２の双方に重なるのが好ましい。

上記特徴Ｅ４の「連通孔」を「圧力室」に置き換えると、特徴Ｅ４とほぼ同様の特徴Ｅ４ａが得られる。
＜特徴Ｅ４ａ＞
第１圧力室３３１は、第２方向Ｄｒ２に見て、第３圧力室３３３および第４圧力室３３４の双方に重なる。この特徴Ｅ４ａによれば、上記特徴Ｅ４と同様に、圧力室基板２５０の強度や剛性の低下を更に抑制できる。

＜特徴Ｅ５＞
連通孔３４１～３４４のそれぞれは、連通流路３５０の延在方向に交差する方向に延在する。本実施形態において、「連通流路３５０の延在方向」はＸ方向であり、連通孔３４１～３４４のそれぞれの延在方向はＺ方向である。なお、連通孔３４１～３４４のそれぞれは、圧力室３３１～３３４の延在方向、本実施形態では第２方向Ｄｒ２と交差する方向に延在するものと考えることも可能である。また、連通孔３４１～３４４のそれぞれは、ノズルプレート２４０の表面に垂直な方向に沿って延在するものと考えることも可能である。更に、連通孔３４１～３４４のそれぞれは、噴射方向Ｚに沿って延在するものと考えることも可能である。

＜特徴Ｅ６＞
連通流路３５０の第３部分３５３の延在方向は、第２方向Ｄｒ２に平行である。この特徴Ｅ６によれば、第３部分３５３が第２方向Ｄｒ２に対して傾いた方向に延在せず、第３部分３５３が最短となる第２方向Ｄｒ２に延在するため、連通流路３５０の流路長を短くできる。この結果、流路抵抗を小さくでき、吐出効率が向上する。なお、第３部分３５３は、第１部分３５１や第２部分３５２よりも第１方向Ｄｒ１の幅が狭い部分である。また、図６に示すように、本実施形態では、第３部分３５３の第１方向Ｄｒ１の幅Ｗ３５３は一定である。

＜特徴Ｅ７＞
図８に示すように、連通流路３５０の第３部分３５３を画定する側壁面として、第１方向Ｄｒ１において互いに対向する側壁面ＷＬ５，ＷＬ６が存在する。Ｚ方向に見た平面視において、これらの側壁面ＷＬ５，ＷＬ６のそれぞれは、第１方向Ｄｒ１の位置に関して、連通孔３４１～３４４のそれぞれの第２方向Ｄｒ２に延在する辺とずれている。ここで、「連通孔３４１～３４４のそれぞれの第２方向Ｄｒ２に延在する辺」とは、Ｚ方向に見た連通孔３４１～３４４の外縁のうち第２方向Ｄｒ２に平行な辺を意味し、連通孔３４１～３４４においてそれぞれ２本存在する。本実施形態では、Ｚ方向に見た連通孔３４０の外縁は平行四辺形であり、連通孔３４０の第２方向Ｄｒ２に延在する辺は平行四辺形の長辺である。なお、平面視での連通孔３４０の形状は、第２方向Ｄｒ２に延在する辺を有する矩形や多角形であればよく、平行四辺形に限られない。なお、平面視での連通孔３４０の形状は、第２方向Ｄｒ２に延在する辺を有さなくてもよく、例えば円形などでも構わない。

具体的には、「連通孔３４１～３４４のそれぞれの第２方向Ｄｒ２に延在する辺」として、第１連通孔３４１は、＋Ｙ側の辺３４１_１と－Ｙ側の辺３４１＿２を有し、第２連通孔３４２は、＋Ｙ側の辺３４２_１と－Ｙ側の辺３４２＿２を有し、第３連通孔３４３は、＋Ｙ側の辺３４３_１と－Ｙ側の辺３４３＿２を有し、第４連通孔３４４は、＋Ｙ側の辺３４４_１と－Ｙ側の辺３４４＿２を有する。なお、これらの辺は、実際には壁面であるが、平面視では線分で構成されるので「辺」として認識できる。図８では、連通孔３４１～３４４の第２方向Ｄｒ２に平行な辺３４１_１、３４１＿２、３４２_１、３４２＿２、３４３_１、３４３＿２、３４４_１、３４４＿２の第１方向Ｄｒ１に関する各位置を分かりやすく示すため、それらの辺をそれぞれ第２方向Ｄｒ２に延在した仮想直線ＶＬ１＿１、ＶＬ１＿２、ＶＬ２＿１、ＶＬ２＿２、ＶＬ３＿１、ＶＬ３＿２、ＶＬ４＿１、ＶＬ４＿２を二点鎖線で示している。第３部分３５３の側壁面ＷＬ５，ＷＬ６は、平面視において、第２方向Ｄｒ２に平行である。

この仮想直線からも分かるように、Ｚ方向に見た平面視において、側壁面ＷＬ５，ＷＬ６のそれぞれは、第１方向Ｄｒ１の位置に関して、連通孔３４１～３４４のそれぞれの第２方向Ｄｒ２に延在する辺とずれている。この特徴Ｅ７によれば、第３部分３５３の第２方向Ｄｒ２に平行な側壁面ＷＬ５，ＷＬ６が、連通孔３４１～３４４の第２方向Ｄｒ２に平行な辺３４１_１、３４１＿２、３４３_１、３４３＿２、３４３_１、３４３＿２、３４４_１、３４４＿２と同じ位置にある場合に比べて、連通板１４０の強度や剛性を高めることができる。

＜特徴Ｅ８＞
連通流路３５０の第１部分３５１は、第１部分３５１を画定するとともに第１方向Ｄｒ１において互いに対向する側壁面として、最も離れて配置された第１側壁面ＷＰ１と第２側壁面ＷＰ２を有する。同様に、第２部分３５２は、第２部分３５２を画定するとともに第１方向Ｄｒ１において互いに対向する側壁面として、最も離れて配置された第３側壁面ＷＬ３と第４側壁面ＷＬ４を有する。更に、第３部分３５３は、第３部分３５３を画定するとともに第１方向Ｄｒ１において互いに対向する側壁面ＷＬ５，ＷＬ６を有する。第３部分３５３の側壁面ＷＬ５，ＷＬ６は、第１側壁面ＷＬ１と第２側壁面ＷＬ２との間、且つ、第３側壁面ＷＬ３と第４側壁面ＷＬ４との間に配置される。この特徴Ｅ８によれば、連通板１４０の強度や剛性の低下を更に抑制できる。また、第１部分３５１と第２部分３５２とから均等にインクがノズル２００へ流れるので、流路抵抗を低下させることができる。

＜特徴Ｅ９＞
第１連通孔３４１からノズル２００までの距離は、第２連通孔３４２からノズル２００までの距離よりも短く、第４連通孔３４４からノズル２００までの距離は、第３連通孔３４３からノズル２００までの距離よりも短い。また、連通流路３５０の第１部分３５１を画定するとともに第１方向Ｄｒ１において互いに対向する側壁面のうち、第２連通孔３４２よりも第１連通孔３４１の方に近い一方の側壁面は第１テーパー面ＴＰ１を有し、第１連通孔３４１よりも第２連通孔３４２の方に近い他方の側壁面は第２テーパー面ＴＰ２を有する。つまり、第１テーパー面ＴＰ１を有する一方の側壁面と第１連通孔３４１との距離は、第１テーパー面ＴＰ１を有する一方の側壁面と第２連通孔３４２との距離よりも短く、第２テーパー面ＴＰ２を有する他方の側壁面と第２連通孔３４２との距離は、第２テーパー面ＴＰ２を有する他方の側壁面と第１連通孔３４１との距離よりも短い。

同様に、連通流路３５０の第２部分３５２を画定するとともに第１方向Ｄｒ１において互いに対向する側壁面のうち、第４連通孔３４４よりも第３連通孔３４３の方に近い一方の側壁面は第３テーパー面ＴＰ３を有し、第３連通孔３４３よりも第４連通孔３４４の方に近い他方の側壁面は第４テーパー面ＴＰ４を有する。つまり、第３テーパー面ＴＰ３を有する一方の側壁面と第３連通孔３４３との距離は、第３テーパー面ＴＰ３を有する一方の側壁面と第４連通孔３４４との距離よりも短く、第４テーパー面ＴＰ４を有する他方の側壁面と第４連通孔３４４との距離は、第４テーパー面ＴＰ４を有する他方の側壁面と第３連通孔３４３との距離よりも短い。

このとき、第２テーパー面ＴＰ２は、第１テーパー面ＴＰ１よりもノズル２００から遠く、第３テーパー面ＴＰ３は、第４テーパー面ＴＰ４よりもノズル２００から遠い。
この特徴Ｅ９によれば、第１連通孔３４１と第２連通孔３４２の空間を早めに合流させることができるので、連通板１４０の抜き量を低減することができ、連通板１４０の強度や剛性の低下を更に抑制できる。

＜特徴Ｅ１０＞
Ｚ方向に見た平面視において、第１テーパー面ＴＰ１の長さは、第２テーパー面ＴＰ２の長さよりも小さい。また、第４テーパー面ＴＰ４の長さは、第３テーパー面ＴＰ３の長さよりも短い。この特徴Ｅ１０によれば、４つの連通孔３４１～３４４が第１方向Ｄｒ１において互いにずれた構成を容易に得ることができる。

＜特徴Ｅ１１＞
Ｚ方向に見た平面視において、第１連通孔３４１の第２方向Ｄｒ２に延在する辺３４１_１、３４１＿２は、第１方向Ｄｒ１の位置に関して、第３連通孔３４３の第２方向Ｄｒ２に延在する辺３４３_１、３４３＿２および第４連通孔３４４の第２方向Ｄｒ２に延在する辺３４４_１、３４４＿２とずれている。同様に、第２連通孔３４２の第２方向Ｄｒ２に延在する辺３４２_１、３４２＿２は、第１方向Ｄｒ１の位置に関して、第３連通孔３４３の第２方向Ｄｒ２に延在する辺３４３_１、３４３＿２および第４連通孔３４４の第２方向Ｄｒ２に延在する辺３４４_１、３４４＿２とずれている。

これは、図８に示す通り、前述の仮想直線ＶＬ１＿１、ＶＬ１＿２、ＶＬ２＿１、ＶＬ２＿２、ＶＬ３＿１、ＶＬ３＿２、ＶＬ４＿１、ＶＬ４＿２の全てが、互いに第１方向Ｄｒ１に関して異なる位置にあることから分かる。この特徴Ｅ１１によれば、連通板１４０の強度や剛性の低下を更に抑制できる。特に、本実施形態の連通板１４０はシリコン単結晶で形成されているため、平面視での連通孔３４０の辺、特に第２方向Ｄｒ２に延在する長辺は、連通板１４０が割れる際の起点となりやすい。そのため、連通板１４０の破損を防止するためには、第２方向Ｄｒ２に関して互いにずれて配置された、辺３４１＿１，３４１＿２，３４２＿１，３４２＿２のそれぞれと、辺３４３＿１，３４３＿２，３４４＿１，３４４＿２のそれぞれとが、第１方向Ｄｒ１に関してずれていることが好ましい。なお、「延在する辺」は、「平行な辺」又は「平行な壁面」と読み替えてもよい。

上記特徴Ｅ１１は、１つのノズル２００に対応する１つの連通孔群に対してだけではなく、隣り合う２つのノズル２００に対応する２つの連通孔群に対しても適用するのが好ましい。具体的に例えると、図４に示すように、ノズル２００ａおよびノズル２００ｂのそれぞれに対応する第１連通孔３４１および第２連通孔３４２の第２方向Ｄｒ２に延在する辺のそれぞれは、ノズル２００ａおよびノズル２００ｂのそれぞれに対応する第３連通孔３４３および第４連通孔３４４の第２方向Ｄｒ２に延在する辺のそれぞれに対して、第１方向Ｄｒ１に関してずれていることが好ましい。

上記特徴Ｅ１１の「連通孔」を「圧力室」に置き換えると、特徴Ｅ１１とほぼ同様の特徴Ｅ１１ａが得られる。
＜特徴Ｅ１１ａ＞
平面視において、第１圧力室３３１の第２方向Ｄｒ２に延在する辺は、第１方向Ｄｒ１の位置に関して、第３圧力室３３３の第２方向Ｄｒ２に延在する辺および第４圧力室３３４の第２方向Ｄｒ２に延在する辺とずれている。この特徴Ｅ１１ａによれば、上記特徴Ｅ１１と同様に、圧力室基板２５０の強度や剛性の低下を更に抑制できる。

＜特徴Ｅ１２＞
図８に示すように、Ｚ方向に見た平面視において、ノズル２００は、第１連通孔３４１と第４連通孔３４４とを結ぶ第１線分Ｌ１と、第２連通孔３４２と第３連通孔３４３とを結ぶ第２線分Ｌ２との交点に重なる。第１線分Ｌ１は、第１連通孔３４１の中心Ｃ１と第４連通孔３４４の中心Ｃ４とを結ぶ線分である。また、第２線分Ｌ２は、第２連通孔３４２の中心Ｃ２と第３連通孔３４３の中心Ｃ３とを結ぶ線分である。この特徴Ｅ１２によれば、４つの圧力室３３１～３３４から圧力波をほぼ均一にノズル２００に到達させることができる。なお、特徴Ｅ１２における連通孔３４０の中心は、連通孔３４０の第１方向Ｄｒ１の中心かつ第２方向Ｄｒ２の中心となる位置と解釈してもよいし、連通孔３４０の幾何中心と解釈してもよい。

＜特徴Ｅ１３＞
平面視において、第１線分Ｌ１の全ては連通流路３５０に重なり、第２線分Ｌ２の一部は連通流路３５０に重ならない。この特徴Ｅ１３によれば、４つの圧力室３３１～３３４から圧力波を更に均一にノズル２００に到達させることができる。

＜特徴Ｅ１４＞
第２方向Ｄｒ２に対する第１テーパー面ＴＰ１の角度θ１、第２方向Ｄｒ２に対する第２テーパー面ＴＰ２の角度θ２は、第２方向Ｄｒ２に対する第３テーパー面ＴＰ３の角度θ３、第２方向Ｄｒ２に対する第４テーパー面ＴＰ４の角度θ４は、それぞれ等しい。本実施形態では、角度θ１，θ２，θ３，θ４は約３５°である。連通板１４０を単結晶シリコン基板から作製する場合には、例えば異方性ウェットエッチングを用いて連通板１４０内の流路が形成される。単結晶シリコン基板の異方性ウェットエッチングで形成される空間の壁面は、図８の第１方向Ｄｒ１や第２方向Ｄｒ２に平行な壁面の他に、これらの方向Ｄｒ１，Ｄｒ２から傾いた特定の角度を有する壁面となる。本実施形態では、単結晶シリコン基板の表面及び裏面を（１１０）面に設定し、角度θ１，θ２，θ３，θ４が３５°±２°となるように、異方性エッチングを行っている。こうすれば、異方性ウェットエッチングによってきれいなテーパー面を形成することができる。但し、連通板１４０は、単結晶シリコン以外の材料を用いて形成してもよい。

＜特徴Ｅ１５＞
第１部分３５１を画定するとともに第２方向Ｄｒ２に沿って延在する側壁面である第１側壁面ＷＰ１および第２側壁面ＷＰ２のそれぞれは、第１方向Ｄｒ１に関して、第２部分３５２を画定するとともに第２方向Ｄｒ２に沿って延在する側壁面である第３側壁面ＷＰ３および第４側壁面ＷＰ４に対してずれていることが好ましい。この特徴Ｅ１５によれば、連通板１４０の強度や剛性の低下を更に抑制できる。

上記特徴Ｅ１５は、１つのノズル２００に対応する１つの連通孔群に対してだけではなく、隣り合う２つのノズル２００に対応する２つの連通孔群に対しても適用するのが好ましい。具体的に例えると、図４に示すように、ノズル２００ａに対応する第１部分３５１を画定するとともに第２方向Ｄｒ２に沿って延在する側壁面である第１側壁面ＷＰ１および第２側壁面ＷＰ２のそれぞれは、第１方向Ｄｒ１に関して、ノズル２００ｂに対応する第２部分３５２を画定するとともに第２方向Ｄｒ２に沿って延在する側壁面である第３側壁面ＷＰ３および第４側壁面ＷＰ４に対してずれていることが好ましい。

第１実施形態では、液体噴射ヘッド１００が上述の特徴Ｅ１～Ｅ１５の少なくとも一部を有するので、連通板１４０の強度や剛性の低下を抑制できる。なお、上述した特徴の一部は省略可能である。

第１実施形態の液体噴射ヘッド１００は、更に、圧力波の減衰に関連する下記の特徴を有する。
＜特徴Ｆ１＞
図６に示すように、第１合流位置Ｐｊ１は、Ｚ方向に見た平面視において、ノズル２００よりも圧力室３３１，３３２のノズル２００側の端部の方に近い。即ち、第１合流位置Ｐｊ１からノズル２００までの距離よりも、第１合流位置Ｐｊ１から圧力室３３１，３３２のノズル２００側の各端部までの距離の方が短い。ここで、「圧力室３３１のノズル２００側の第１端部」は、Ｘ方向に沿った圧力室３３１の両端部のうち、第１共通液室１１０とは反対側の端部、換言すれば＋Ｘ側の端部を意味する。「圧力室３３２のノズル２００側の第２端部」は、Ｘ方向に沿った圧力室３３２の両端部のうち、第１共通液室１１０とは反対側の端部、換言すれば＋Ｘ側の端部を意味する。同様に、第２合流位置Ｐｊ２は、Ｚ方向に見た平面視において、ノズル２００よりも圧力室３３３，３３４の端部の方に近い。「圧力室３３３のノズル２００側の第３端部」は、Ｘ方向に沿った圧力室３３３の両端部のうち、第２共通液室１２０とは反対側の端部、換言すれば－Ｘ側の端部を意味する。「圧力室３３４のノズル２００側の第４端部」は、Ｘ方向に沿った圧力室３３４の両端部のうち、第２共通液室１２０とは反対側の端部、換言すれば－Ｘ側の端部を意味する。

この特徴Ｆ１によれば、第１圧力室３３１からの圧力波と第２圧力室３３２からの圧力波がノズル２００の近傍ではなく圧力室３３１，３３２の近傍で合体するので、第１圧力室３３１からの圧力波と第２圧力室３３２からの圧力波がノズル２００の近傍で合体する従来例に比べて、個々の圧力室３３０からノズル２００へ向かう圧力波が過度に減衰してしまうことを防止できる。第３圧力室３３３および第４圧力室３３４についても同様である。

また、特徴Ｆ１によれば、従来例に比べて、圧力室３３１，３３２の各端部からノズル２００までの流路のうち圧力室３３１，３３２に共通する部分の割合を大きくすることができる。そのため、従来例に比べて、圧力室３３１，３３２からノズル２００までの流路抵抗を小さくできる。第３圧力室３３３および第４圧力室３３４についても同様である。この結果、圧力損失を低減し、噴射効率を向上させることができる。特に、擬塑性インクのような高粘度インクを使用する場合に、噴射効率向上の効果が顕著である。一方、従来例のように、ノズル２００近傍で圧力波が合流する構成では、圧力波が大幅に減衰してしまい、噴射効率が低下する。また、インクがノズル２００に再充填しにくかったり、気泡がノズルに巻き込まれたりする虞がある。

なお、第１合流位置Ｐｊ１は、第１圧力室３３１からノズル２００に至る流路と、第２圧力室３３２からノズル２００に至る流路との合流位置と考えることも可能である。同様に、第２合流位置Ｐｊ２は、第３圧力室３３３からノズル２００に至る流路と、第４圧力室３３４からノズル２００に至る流路との合流位置と考えることも可能である。上述したように、実際には、液体は、外部から第１共通液室１１０に供給され、第１共通液室１１０から第１圧力室３３１及び第２圧力室３３２に導かれ、その後、連通流路３５０においてノズル２００から液体の一部が噴射され、第３圧力室３３３及び第４圧力室３３４を経由して第２共通液室１２０に導かれ、第２共通液室１２０から外部に排出される。従って、「第３圧力室３３３からノズル２００に至る流路」と「第４圧力室３３４からノズル２００に至る流路」は、いずれも実際の液体の流れとは逆向きの流れを想定していることになるが、液体の向きに拘わらずにこれらの流路を想定できることが理解できる。

＜特徴Ｆ２＞
図６に示すように、Ｚ方向に見た平面視において、第１合流位置Ｐｊ１は、第１圧力室３３１と第２圧力室３３２の間にあり、第２合流位置Ｐｊ２は、第３圧力室３３３と第４圧力室３３４の間にある。

＜特徴Ｆ３＞
図６に示すように、連通流路３５０の一端部に第１合流位置Ｐｊ１があり、他端部に第２合流位置Ｐｊ２がある。この特徴Ｆ３によれば、圧力室３３１，３３２からの圧力波がその発生源の近くで合流し、且つ、圧力室３３３，３３４からの圧力波がその発生源の近くで合流するので、圧力波の減衰をより効率的に抑制できる。

＜特徴Ｆ４＞
図６及び図７に示すように、第１合流位置Ｐｊ１は、連通流路３５０の第１部分３５１に位置し、第２合流位置Ｐｊ２は、連通流路３５０の第２部分３５２に位置する。この特徴Ｆ４によれば、図７に示すように、隣り合う連通孔３４１，３４２の間および連通孔３４３，３４４の間のそれぞれに連通孔隔壁１４５が存在することになるため、圧力室３３１，３３２間のクロストークおよび圧力室３３３，３３４間のクロストークを低減できる。

＜特徴Ｆ５＞
図６に示すように、第２方向Ｄｒ２に沿って測った連通流路３５０の第３部分３５３の寸法Ｌ３５３は、第１部分３５１の寸法Ｌ３５１よりも長い。また、第３部分３５３の寸法Ｌ３５３は、第２部分３５２の寸法Ｌ３５２よりも長い。

＜特徴Ｆ６＞
図６に示すように、連通流路３５０の第３部分３５３は、ノズル２００に接続されている。この特徴Ｆ６によれば、圧力室３３１～３３４からの圧力波がその発生源の近くで合流するので、圧力波の減衰をより効率的に抑制できる。

＜特徴Ｆ７＞
図６に示すように、第１方向Ｄｒ１に沿って測った連通流路３５０の第３部分３５３の幅Ｗ３５３は、第１部分３５１の幅Ｗ３５１よりも小さい。また、第３部分３５３の幅Ｗ３５３は、第２部分３５２の幅Ｗ３５２よりも小さい。この特徴Ｆ７によれば、擬塑性を有する液体を使用する場合、第３部分３５３の幅Ｗ３５３を小さくすることによって、ノズル２００近傍での流速を向上させ、ノズル２００近傍でインクの粘度を低下させることができる。

＜特徴Ｆ８＞
図３に示すように、第１連通孔３４１～第４連通孔３４４のそれぞれは、連通流路３５０の延在方向に交差する方向に延在する。即ち、第１連通孔３４１～第４連通孔３４４のそれぞれの長手方向は、連通流路３５０の長手方向に交差する方向である。本実施形態では、Ｘ方向が「連通流路３５０の延在方向」の一例であり、Ｚ方向が「連通流路３５０の延在方向に交差する方向」の一例である。

なお、第１連通孔３４１～第４連通孔３４４は、隣り合う圧力室３３０が並ぶ方向と交差する方向に延在するものと考えることも可能である。また、図３からわかるように、第１連通孔３４１～第４連通孔３４４は、ノズルプレート２４０の表面に垂直な方向に沿って延在するものと考えることもできる。更に、第１連通孔３４１～第４連通孔３４４は、噴射方向Ｚに沿って延在するものと考えることも可能である。

＜特徴Ｆ９＞
図３に示すように、連通孔３４１～３４４のそれぞれは、Ｚ方向に見た平面視で、接続流路３２１～３２４よりもノズル２００の方に近い。換言すれば、連通孔３４１～３４４のそれぞれから接続流路３２１～３２４までの各距離よりも、連通孔３４１～３４４のそれぞれからノズル２００までの各距離の方が短い。この特徴Ｆ９によれば、連通流路３５０を短くすることができ、流路抵抗を低減できる。

以上のように、第１実施形態によれば、液体噴射ヘッド１００が上述の特徴Ｆ１～Ｆ９の少なくとも一部を有するので、ノズル２００側ではなく圧力室３３１～３３４側で圧力波を合体させることができ、個々の圧力室３３０からノズル２００へ向かう圧力波が過度に減衰してしまうことを防止できる。なお、上述した特徴の一部は省略可能である。

Ｂ．他の実施形態
図１２は、第２実施形態における連通流路３５０の形状を示す図である。図６に示した第１実施形態との主な違いは、連通流路３５０の中央にある第３部分３５３の形状だけであり、他の構成は第１実施形態とほぼ同じである。即ち、第２実施形態では、第３部分３５３が第１実施形態と異なり、途中で屈曲している。より具体的には、第３部分３５３の両側部は第２方向Ｄｒ２に平行であり、第３部分３５３の中央部は第２方向Ｄｒ２に対して傾いている。但し、第２実施形態においても、連通流路３５０の全体が第２方向Ｄｒ２に延在している点、即ち、連通流路３５０の全体の長手方向が第２方向Ｄｒ２に平行な点は第１実施形態と同じである。また、複数の連通孔３４１～３４４と複数の圧力室がそれぞれ千鳥状に配置されている点も第１実施形態と同じである。なお、第３部分３５３は、第１部分３５１と第２部分３５２を包含する最小の外接凸多角形ＣＦの内側にあることが好ましい。こうすれば、隣り合うノズルの連通流路３５０同士が干渉しないので、ノズル同士を引き離す必要が無いという利点がある。

図１３は、第３実施形態における連通流路３５０の形状を示す図である。この第３実施形態も、図６に示した第１実施形態との主な違いは、連通流路３５０の中央にある第３部分３５３の形状だけであり、他の構成は第１実施形態とほぼ同じである。即ち、第３実施形態では、第３部分３５３が第１実施形態と同様に直線的であるが、第２方向Ｄｒ２から傾いた方向に延びている。但し、第３実施形態においても、連通流路３５０の全体が第２方向Ｄｒ２に延在している点は第１実施形態と同じである。また、第３実施形態においても、第３部分３５３は、第１部分３５１と第２部分３５２を包含する最小の外接凸多角形ＣＦの内側にある。

図１４は、第４実施形態における連通流路３５０の形状を示す図である。この第４実施形態も、図６に示した第１実施形態との主な違いは、連通流路３５０の中央にある第３部分３５３の形状だけであり、他の構成は第１実施形態とほぼ同じである。即ち、第４実施形態では、第３部分３５３が、第２方向Ｄｒ２に平行な３つの部分を順次斜めに接続した形状となっている。但し、第４実施形態においても、連通流路３５０の全体が第２方向Ｄｒ２に延在している点は第１実施形態と同じである。また、第４実施形態においても、第３部分３５３は、第１部分３５１と第２部分３５２を包含する最小の外接凸多角形ＣＦの内側にある。上述した第２～第４実施形態も、第１実施形態とほぼ同様の効果を奏する。

以上のように、本開示の液体噴射ヘッド１００は、上述の特徴Ｅ１～Ｅ１４の少なくとも一部を備えることにより、連通板の強度や剛性の低下を抑制できる。また、上述した特徴Ｆ１～Ｆ９の少なくとも一部を備えることにより、個々の圧力室からノズルへ向かう圧力波が過度に減衰してしまうことを防止することが可能である。

・変形例１
上述の各形態では、液体噴射ヘッド１００を保持するキャリッジ４３４を往復させるシリアル方式の液体噴射装置４００が例示されるが、複数のノズル２００が媒体ＰＭの全幅にわたり分布するライン方式の液体噴射装置にも本開示を適用することが可能である。即ち、液体噴射ヘッド１００を保持するキャリッジは、シリアル方式のキャリッジに限定されず、ライン方式において液体噴射ヘッド１００を支持する構造体でもよい。この場合、例えば、複数の液体噴射ヘッド１００が媒体ＰＭの幅方向に並んで配置され、当該複数の液体噴射ヘッド１００が１つのキャリッジに一括して保持される。

・変形例２
上述の各形態では、循環機構６０を備える液体噴射装置４００が例示されるが、液体噴射装置４００は循環機構６０を備えていなくてもよい。即ち、筐体部１６０の開口部１６１，１６２の双方が液体貯留部４２０から液体を導入するための導入口であり、第１共通液室１１０および第２共通液室１２０の双方を、液体貯留部４２０から供給された液体をノズル２００へ供給するための流路として使用してもよい。

・変形例３
上述の各形態では、１つのノズルに対応して４つの圧力室３３０が設けられている構成であったが、４つ以上の圧力室３３０が１つのノズルに対応して設けられていてもよい。例えば、１つのノズルに対応して６つの圧力室３３０が設けられている場合には、６つの圧力室３３０のうち３つの圧力室３３０からの圧力波の第１合流位置Ｐｊ１がノズル２００よりも当該３つの圧力室３３０の端部の方に近く、６つの圧力室３３０のうち他の３つの圧力室３３０からの圧力波の第２合流位置Ｐｊ２がノズル２００よりも当該他の３つの圧力室３３０の端部の方に近い構成であれば、上記の各形態と同様の効果が得られる。

・変形例４
上述の各形態では、圧力室３３１～３３４のそれぞれに対して１つの接続流路３２０が接続されていたが、同じ第１共通液室１１０に接続された圧力室３３１，３３２に対して共通の接続流路３２０を設けるようにしても良い。つまり、複数の圧力室３３０に対応して１つの接続流路３２０を設ける構成であってもよい。同じ第２共通液室１２０に接続された圧力室３３３，３３４についても同様である。変形例４において個々の圧力室３３１～３３４に対応した４つの個別流路を考える場合、例えば、第１個別流路は、接続流路３２０を含まないことになる。第２～第４個別流路も同様に把握することが可能である。

・変形例５
上述の各形態では、接続流路３２０は、Ｚ方向に延在する流路であったが、接続流路３２０はＺ方向に交差する方向に延在する流路であってもよいし、Ｚ方向に延在する部分とＺ方向に交差する方向に延在する部分の双方を含む流路であってもよい。

・変形例６
上述の形態で例示した液体噴射装置は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、液体噴射装置の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を噴射する液体噴射装置は、液晶表示パネル等の表示装置のカラーフィルターを形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を噴射する液体噴射装置は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。また、生体に関する有機物の溶液を噴射する液体噴射装置は、例えばバイオチップを製造する製造装置として利用される。

・他の形態：
本開示は、上述した実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の形態で実現することができる。例えば、本開示は、以下の形態（aspect）によっても実現可能である。以下に記載した各形態中の技術的特徴に対応する上記実施形態中の技術的特徴は、本開示の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、本開示の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。

（１）本開示の第１の形態による液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズルと、第１乃至第４圧力室と、前記ノズルに接続され、前記ノズルと前記第１乃至第４圧力室とを連通させる連通流路と、前記連通流路と前記第１圧力室とを接続する第１流路と、前記連通流路と前記第２圧力室とを接続する第２流路と、前記連通流路と前記第３圧力室とを接続する第３流路と、前記連通流路と前記第４圧力室とを接続する第４流路と、前記第１圧力室の圧力を変化させる第１駆動素子と、前記第２圧力室の圧力を変化させる第２駆動素子と、前記第３圧力室の圧力を変化させる第３駆動素子と、前記第４圧力室の圧力を変化させる第４駆動素子と、前記第１圧力室および前記第２圧力室と連通する第１共通液室と、前記第３圧力室および前記第４圧力室と連通する第２共通液室と、を備える。前記第１流路と前記第２流路とは、第１方向に並べて配置され、前記第３流路と前記第４流路とは、前記第１方向に並べて配置され、前記第１流路および前記第２流路と、前記第３流路および前記第４流路とは、前記第１方向に直交する第２方向にずれて配置される。前記第１流路は、前記第３流路および前記第４流路のそれぞれと前記第１方向に関してずれており、前記第２流路は、前記第３流路および前記第４流路のそれぞれと前記第１方向に関してずれている。
この液体噴射ヘッドによれば、第１流路と第３流路とが第１方向の同じ位置にあり、第２流路と第４流路とが第１方向の同じ位置にある場合に比べて、流路形成部材の強度や剛性の低下を抑制できる。

（２）上記液体噴射ヘッドにおいて、前記第１流路は、前記第１方向に関して、前記第３流路と前記第４流路との間に配置され、前記第４流路は、前記第１方向に関して、前記第１流路と前記第２流路との間に配置されるものとしてもよい。

（３）上記液体噴射ヘッドにおいて、前記第１流路の第１中心は、前記第１方向に関して、前記第３流路の第３中心と前記第４流路の第４中心との中心に配置され、前記第４中心は、前記第１方向に関して、前記第１中心と前記第２流路の第２中心との中心に配置されるものとしてもよい。

（４）上記液体噴射ヘッドにおいて、前記第１流路は、前記第２方向に見て、前記第３流路および前記第４流路の双方に重なり、前記第４流路は、前記第２方向に見て、前記第１流路および前記第２流路の双方に重なるものとしてもよい。

（５）上記液体噴射ヘッドにおいて、前記第１乃至第４流路のそれぞれは、前記連通流路の延在方向に交差する方向に延在するものとしてもよい。

（６）上記液体噴射ヘッドにおいて、前記連通流路は、前記第１流路および前記第２流路と接続される第１部分と、前記第３流路および前記第４流路と接続される第２部分と、前記第１部分と前記第２部分とに接続され、前記ノズルに接続される第３部分と、を含み、前記第３部分の延在方向は、前記第２方向に平行であるものとしてもよい。

（７）上記液体噴射ヘッドにおいて、前記第３部分を画定するとともに前記第１方向において互いに対向する側壁面のそれぞれは、平面視において、前記第１方向に関して、前記第１乃至第４流路のそれぞれの前記第２方向に延在する辺とずれているものとしてもよい。

（８）上記液体噴射ヘッドにおいて、前記第１部分を画定するとともに前記第１方向において互いに対向する側壁面のうち、最も離れて配置された第１側壁面と第２側壁面とを含み、前記第２部分を画定するとともに前記第１方向において互いに対向する側壁面のうち、最も離れて配置された第３側壁面と第４側壁面とを含み、前記第３部分を画定するとともに前記第１方向において互いに対向する側壁面は、前記第１側壁面と前記第２側壁面との間、且つ、前記第３側壁面と前記第４側壁面との間に配置されるものとしてもよい。

（９）上記液体噴射ヘッドにおいて、前記第１流路から前記ノズルまでの距離は、前記第２流路から前記ノズルまでの距離よりも短く、前記第１部分を画定するとともに前記第１方向において互いに対向する側壁面のうち、前記第２流路よりも前記第１流路の方に近い一方は第１テーパー面を有し、前記第１流路よりも前記第２流路の方に近い他方は第２テーパー面を有し、前記第２テーパー面は、前記第１テーパー面よりも前記ノズルから遠いものとしてもよい。

（１０）上記液体噴射ヘッドにおいて、平面視において、前記第１テーパー面の長さは、前記第２テーパー面の長さよりも短いものとしてもよい。

（１１）上記液体噴射ヘッドにおいて、平面視において、前記第１流路の前記第２方向に延在する辺は、前記第１方向に関して、前記第３流路の前記第２方向に延在する辺および前記第４流路の前記第２方向に延在する辺とずれているものとしてもよい。

（１２）上記液体噴射ヘッドにおいて、平面視において、前記ノズルは、前記第１流路と前記第４流路とを結ぶ第１線分と前記第２流路と前記第３流路とを結ぶ第２線分との交点に重なるものとしてもよい。

（１３）上記液体噴射ヘッドにおいて、平面視において、前記第１線分の全ては、前記連通流路に重なり、平面視において、前記第２線分の一部は、前記連通流路に重ならないものとしてもよい。

（１４）上記液体噴射ヘッドにおいて、前記第１共通液室は、前記第１圧力室および前記第２圧力室へ液体を供給するための流路であり、前記第２共通液室は、前記第３圧力室および前記第４圧力室から液体を回収するための流路であるものとしてもよい。

（１５）上記液体噴射ヘッドにおいて、前記液体は、擬塑性を有するインクであるものとしてもよい。

（１６）上記液体噴射ヘッドにおいて、前記擬塑性インクは、２５℃において、せん断速度が１０００ｓ^－１のときの粘度が０．０１Ｐａ・ｓ以上０．２Ｐａ・ｓ以下であり、せん断速度が０．０１ｓ^－１のときの粘度が０．５Ｐａ・ｓ以上５０Ｐａ・ｓ以下であるものとしてもよい。

（１７）本開示の第２の形態は、上記液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドへ供給する液体を貯留する液体貯留部と、を備える液体噴射装置である。

本開示は、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置以外の種々の形態で実現することも可能である。例えば、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置の製造方法や、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置の制御方法、その制御方法を実現するコンピュータープログラム、そのコンピュータープログラムを記録した一時的でない記録媒体等の形態で実現することができる。

６０…循環機構、１００…液体噴射ヘッド、１１０…第１共通液室、１２０…第２共通液室、１３０…ノズル別流路、１４０…連通板、１４５…連通孔隔壁、１５０…封止膜、１６０…筐体部、２００，２００ａ…ノズル、２４０…ノズルプレート、２５０…圧力室基板、３０１～３０４…駆動素子、３１０…振動板、３２１～３２４…接続流路、３３１～３３４…圧力室、３４１～３４４…連通孔、３５０…連通流路、３５１～３５３…連通流路の第１部分～第３部分、３６１～３６４…接続部、４００…液体噴射装置、４２０…液体貯留部、４３０…移動機構、４３２…ベルト、４３４…キャリッジ、４４０…搬送機構、４５０…制御ユニット

Claims (17)

1. 液体を噴射するノズルと、
   第１乃至第４圧力室と、
   前記ノズルに接続され、前記ノズルと前記第１乃至第４圧力室とを連通させる連通流路と、
   前記連通流路と前記第１圧力室とを接続する第１流路と、
   前記連通流路と前記第２圧力室とを接続する第２流路と、
   前記連通流路と前記第３圧力室とを接続する第３流路と、
   前記連通流路と前記第４圧力室とを接続する第４流路と、
   前記第１圧力室の圧力を変化させる第１駆動素子と、
   前記第２圧力室の圧力を変化させる第２駆動素子と、
   前記第３圧力室の圧力を変化させる第３駆動素子と、
   前記第４圧力室の圧力を変化させる第４駆動素子と、
   前記第１圧力室および前記第２圧力室と連通する第１共通液室と、
   前記第３圧力室および前記第４圧力室と連通する第２共通液室と、
   を備え、
   前記第１流路と前記第２流路とは、第１方向に並べて配置され、
   前記第３流路と前記第４流路とは、前記第１方向に並べて配置され、
   前記第１流路および前記第２流路と、前記第３流路および前記第４流路とは、前記第１方向に直交する第２方向にずれて配置され、
   前記第１流路は、前記第３流路および前記第４流路のそれぞれと前記第１方向に関してずれており、
   前記第２流路は、前記第３流路および前記第４流路のそれぞれと前記第１方向に関してずれている、
   ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 前記第１流路は、前記第１方向に関して、前記第３流路と前記第４流路との間に配置され、
   前記第４流路は、前記第１方向に関して、前記第１流路と前記第２流路との間に配置される、
   請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記第１流路の第１中心は、前記第１方向に関して、前記第３流路の第３中心と前記第４流路の第４中心との中心に配置され、
   前記第４中心は、前記第１方向に関して、前記第１中心と前記第２流路の第２中心との中心に配置される、
   請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
4. 前記第１流路は、前記第２方向に見て、前記第３流路および前記第４流路の双方に重なり、
   前記第４流路は、前記第２方向に見て、前記第１流路および前記第２流路の双方に重なる、
   請求項２又は３に記載の液体噴射ヘッド。
5. 前記第１乃至第４流路のそれぞれは、前記連通流路の延在方向に交差する方向に延在する、
   請求項１乃至３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
6. 前記連通流路は、
   前記第１流路および前記第２流路と接続される第１部分と、
   前記第３流路および前記第４流路と接続される第２部分と、
   前記第１部分と前記第２部分とに接続され、前記ノズルに接続される第３部分と、を含み、
   前記第３部分の延在方向は、前記第２方向に平行である、
   請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
7. 前記第３部分を画定するとともに前記第１方向において互いに対向する側壁面のそれぞれは、平面視において、前記第１方向に関して、前記第１乃至第４流路のそれぞれの前記第２方向に延在する辺とずれている、
   請求項６に記載の液体噴射ヘッド。
8. 前記第１部分を画定するとともに前記第１方向において互いに対向する側壁面のうち、最も離れて配置された第１側壁面と第２側壁面とを含み、
   前記第２部分を画定するとともに前記第１方向において互いに対向する側壁面のうち、最も離れて配置された第３側壁面と第４側壁面とを含み、
   前記第３部分を画定するとともに前記第１方向において互いに対向する側壁面は、前記第１側壁面と前記第２側壁面との間、且つ、前記第３側壁面と前記第４側壁面との間に配置される、
   請求項６又は７に記載の液体噴射ヘッド。
9. 前記第１流路から前記ノズルまでの距離は、前記第２流路から前記ノズルまでの距離よりも短く、
   前記第１部分を画定するとともに前記第１方向において互いに対向する側壁面のうち、前記第２流路よりも前記第１流路の方に近い一方は第１テーパー面を有し、前記第１流路よりも前記第２流路の方に近い他方は第２テーパー面を有し、
   前記第２テーパー面は、前記第１テーパー面よりも前記ノズルから遠い、
   請求項６乃至８の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
10. 平面視において、前記第１テーパー面の長さは、前記第２テーパー面の長さよりも短い、
    請求項９に記載の液体噴射ヘッド。
11. 平面視において、前記第１流路の前記第２方向に延在する辺は、前記第１方向に関して、前記第３流路の前記第２方向に延在する辺および前記第４流路の前記第２方向に延在する辺とずれている、
    請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
12. 平面視において、前記ノズルは、前記第１流路と前記第４流路とを結ぶ第１線分と前記第２流路と前記第３流路とを結ぶ第２線分との交点に重なる、
    請求項１乃至１１のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
13. 平面視において、前記第１線分の全ては、前記連通流路に重なり、
    平面視において、前記第２線分の一部は、前記連通流路に重ならない、
    請求項１２に記載の液体噴射ヘッド。
14. 前記第１共通液室は、前記第１圧力室および前記第２圧力室へ液体を供給するための流路であり、
    前記第２共通液室は、前記第３圧力室および前記第４圧力室から液体を回収するための流路である、
    請求項１乃至１３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
15. 前記液体は、擬塑性を有するインクである、
    請求項１乃至１４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
16. 前記擬塑性インクは、２５℃において、せん断速度が１０００ｓ^－１のときの粘度が０．０１Ｐａ・ｓ以上０．２Ｐａ・ｓ以下であり、せん断速度が０．０１ｓ^－１のときの粘度が０．５Ｐａ・ｓ以上５０Ｐａ・ｓ以下である、
    請求項１５に記載の液体噴射ヘッド。
17. 請求項１乃至１６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドと、
    前記液体噴射ヘッドへ供給する液体を貯留する液体貯留部と、
    を備えることを特徴とする液体噴射装置。