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JP7760893B2 - 冷却装置の製造方法及び冷却装置 - Google Patents
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JP7760893B2 - 冷却装置の製造方法及び冷却装置 - Google Patents

冷却装置の製造方法及び冷却装置

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Description

本発明は、冷却装置の製造方法及び冷却装置に関する。
例えば、特許文献1には、冷却対象である電子部品を両面から冷却する積層型冷却器が開示されている。この積層型冷却器では、冷却媒体を流通させる流通流路を設けた複数の冷却管と、冷却管の外郭を構成する外郭プレートの一部により構成され、複数の冷却管を連通する連通部とを有する。具体的には、この積層型冷却器では、外郭プレートが、長手方向の両端部付近に設けた開口部と、開口部の外周部分を積層方向へ突出させた開口突出部とを有する。そして、この積層型冷却器では、外郭プレートの開口突出部を積層方向に隣り合う冷却管の間で嵌合させることにより、連通部を構成している。
特開2010-10418号公報
被冷却部材を冷却する複数の冷却器を有する冷却装置を製造する場合に、例えば、被冷却部材が配置される空間部を有するように複数の冷却器を接合した後、空間部に被冷却部材を挿入すると、製造工程が複雑になりやすい。
本発明は、複数の冷却器を備える冷却装置の製造を容易にすることを目的とする。
かかる目的のもと完成させた本発明は、内部に冷媒を流通させることが可能な冷却器本体と、当該冷却器本体に接合された連結部材とをそれぞれが有する複数の冷却器の内の第1の冷却器の上に、当該第1の冷却器にて冷却される被冷却部材を載せる第1積載工程と、前記第1の冷却器の前記連結部材である第1の連結部材と、複数の冷却器の内の第2の冷却器の当該連結部材である第2の連結部材とが対向するように当該第1の冷却器の上に当該第2の冷却器を載せる第2積載工程と、前記第1の連結部材と記第2の連結部材との対向部位に対し、積層方向に交差する方向にレーザ光を照射することによって、当該第1の連結部材と当該第2の連結部材とを接合する溶接工程と、を備え、前記第1積載工程及び前記第2積載工程は、前記被冷却部材が前記第1の連結部材及び前記第2の連結部材に対して第1の方向に隣接して配置されるように、各部材を積載し、前記溶接工程は、前記第1の連結部材と前記第2の連結部材との対向部位における前記被冷却部材に最も近い部位に対し、前記第1の方向に交差する第2の方向にレーザ光を照射する冷却装置の製造方法である。
ここで、前記第1の冷却器は前記第1の方向に長い長尺状であり、前記第1の連結部材は前記第1の冷却器における長手方向である前記第1の方向の両端部にそれぞれ設けられ、前記第2の冷却器は前記第1の方向に長い長尺状であり、前記第2の連結部材は前記第2の冷却器における長手方向である前記第1の方向の両端部にそれぞれ設けられ、前記第1積載工程及び前記第2積載工程は、それぞれ、前記第1の方向の両端部に設けられた前記第1の連結部材間及び前記第2の連結部材間に前記被冷却部材が当該第1の連結部材及び当該第2の連結部材に対して前記第1の方向に隣接して配置されるように、各部材を積載し、前記溶接工程は、前記第1の連結部材と前記第2の連結部材との前記対向部位における前記被冷却部材に最も近い部位に、レーザ光を、前記第1の冷却器及び前記第2の冷却器における短手方向である前記第2の方向に照射しても良い。
また、前記第1の冷却器は、それぞれの前記第1の連結部材が、前記被冷却部材に最も近い部位に、当該被冷却部材に向けて突出する第1の角部を有し、前記第2の冷却器は、それぞれの前記第2の連結部材が、前記被冷却部材に最も近い部位に、当該被冷却部材に向けて突出する第2の角部を有し、前記第2積載工程は、前記第1の角部と前記第2の角部とが対向するように、前記第2の冷却器を前記第1の冷却器の上に載せ、前記溶接工程は、前記第1の角部と前記第2の角部とが対向する部位に、レーザ光を前記第2の方向に照射しても良い。
また、前記第2積載工程は、30°以上120°以下の前記第1の角部と30°以上120°以下の前記第2の角部とが対向するように、前記第2の冷却器を前記第1の冷却器の上に載せても良い。
また、前記第1の冷却器は、それぞれの前記第1の連結部材が、前記被冷却部材から離れる方向に、前記第1の角部から直線状に延びる第1の直線部を有し、前記第2の冷却器は、それぞれの前記第2の連結部材が、前記被冷却部材から離れる方向に、前記第2の角部から直線状に延びる第2の直線部を有し、前記第2積載工程では、前記第1の直線部と前記第2の直線部とが対向するように、前記第2の冷却器を前記第1の冷却器の上に載せても良い。
また、前記第1の冷却器の前記第1の連結部材および前記第2の冷却器の前記第2の連結部材が、外周に前記第2の方向に沿って延びる面を有しておらず、前記溶接工程は、前記第1の連結部材と、前記第2の連結部材とを、前記外周に沿って前記第2の方向にレーザ光を照射することで接合しても良い。
また、他の観点から捉えると、本発明は、内部に冷媒を流通させることが可能な冷却器本体と、当該冷却器本体に接合された連結部材とを有する冷却器を複数積層し、複数の冷却器の内の第1の冷却器の前記連結部材である第1の連結部材と第2の冷却器の当該連結部材である第2の連結部材とが接合されるとともに当該第1の冷却器と当該第2の冷却器との間に配置された被冷却部材を冷却する冷却装置であって、前記被冷却部材が前記第1の連結部材及び前記第2の連結部材に対して第1の方向に隣接して配置され、前記第1の連結部材と、前記第2の連結部材とは、当該第1の連結部材と当該第2の連結部材との対向部位に対し積層方向に交差する方向にレーザ光が照射されることによって接合され
前記第1の連結部材と前記第2の連結部材との対向部位における前記被冷却部材に最も近い部位に対し、前記第1の方向に交差する第2の方向にレーザ光が照射されている、冷却装置である。
ここで、前記第1の冷却器は前記第1の方向に長い長尺状であり、前記第1の連結部材は前記第1の冷却器における長手方向である前記第1の方向の両端部にそれぞれ設けられ、前記第2の冷却器は前記第1の方向に長い長尺状であり、前記第2の連結部材は前記第2の冷却器における長手方向である前記第1の方向の両端部にそれぞれ設けられ、前記第1の方向の両端部にそれぞれ設けられた前記第1の連結部材及び前記第2の連結部材間に前記被冷却部材が当該第1の連結部材及び当該第2の連結部材に対して前記第1の方向に隣接して配置され、前記第1の連結部材と前記第2の連結部材との前記対向部位における前記被冷却部材に最も近い部位には、前記第1の冷却器及び前記第2の冷却器における短手方向である前記第2の方向にレーザ光が照射されることによって形成された溶融部が設けられていてもよい。
本発明によれば、冷却装置の製造を容易にすることができる。
本実施形態に係る冷却装置の外観の一例を示す図である。 本実施形態に係る冷却装置を構成する部品を分解した図の一例である。 本実施形態に係る冷却装置の断面の一例を示す図である。 本実施形態に係る冷却装置の断面の一例を示す図である。 第1冷却器の冷却器本体おける第1部材と接続部材との接合部位の拡大図である。 第1冷却器の冷却器本体における第2部材と連結部材との接合部位の拡大図である。 第1冷却器の冷却器本体における第1部材と第2部材との接合を説明するための図である。 (a)~(b)は、冷却装置を製造する手順の一例を示した図である。 連結部材と連結部材との接合を説明するための図である。 (a)~(b)は、連結部材と連結部材との接合を説明するための図である。 (a)~(f)は、連結部材及び連結部材の形状を説明するための図である。
以下、添付図面を参照して、実施の形態について詳細に説明する。
図1は、本実施形態に係る冷却装置1の外観の一例を示す図である。
図2は、本実施形態に係る冷却装置1を構成する部品を分解した図の一例である。
図3は、本実施形態に係る冷却装置1の断面の一例を示す図である。図3は、図1のIII-III部の断面図である。
図4は、本実施形態に係る冷却装置1の断面の一例を示す図である。図4は、図3のIV-IV部の断面図である。なお、図4では、後述する支持部材60を省略している。
本実施形態に係る冷却装置1は、内部に冷媒を流通させることが可能な冷却器である第1冷却器10と、第2冷却器20と、を備えている。また、冷却装置1は、第1冷却器10と第2冷却器20とを支持する支持部材60を備えている。また、冷却装置1は、第1冷却器10と支持部材60との間に配置された接続部材80を備えている。
なお、冷却装置1は、第2冷却器20の上に、第1冷却器10及び第2冷却器20を支持部材60側へ押さえ付ける押付部材を有していても良い。
図1、図2に示すように、冷却装置1は、第1冷却器10及び第2冷却器20が積層された積層型の冷却装置である。以下では、第1冷却器10及び第2冷却器20が積層される方向を、「上下方向」と称する場合がある。
第1冷却器10、第2冷却器20、支持部材60、及び接続部材80の材質は、アルミニウム又はアルミニウム合金等のアルミニウム材であることを例示することができる。
発熱体100は、カード型パワーモジュールであることを例示することができる。
(第1冷却器10)
第1冷却器10は、概形が長尺状、より具体的には概形が長尺の直方体状の部材であり内部に冷媒を流通させることが可能な空間S1が形成された冷却器本体11を備えている。以下の説明において、冷却器本体11の長手方向を単に「長手方向」、冷却器本体11の短手方向を単に「短手方向」と称する場合がある。
また、第1冷却器10は、冷却器本体11に収容されるヒートシンク12を備えている。
さらに、第1冷却器10は、冷却器本体11の長手方向の両端部にそれぞれ設けられる連結部材30を備えている。
冷却器本体11は、有底凹状の第1部材13と、第1部材13の開口部を覆う平板状の第2部材14とを備えている。
第1部材13は、長尺状の底面13aと、底面13aの外周部から底面13aと直交する方向に伸びた側壁13bと、側壁13bの先端部から底面13aと平行な方向に外側に突出したフランジ13cとを有している。なお、側壁13bは、底面13aの外周部から底面13aと直交する方向に伸びていなくてもよく、直交する方向に対して傾斜した方向に伸びていてもよい。
また、第1部材13には、底面13aの長手方向の一方の端部に、空間S1と冷却器本体11の外部とを連通させる第1連通孔13dが形成され、底面13aにおける長手方向の他方の端部に、空間S1と冷却器本体11の外部とを連通させる第2連通孔13eが形成されている。第1連通孔13d及び第2連通孔13eは、円形状であることを例示することができる。
第2部材14は、空間S1に対面する内面14aと、内面14aとは反対側の面である外面14bとを有し、外周部の形状が第1部材13のフランジ13cと同一の平板状の部材である。
第2部材14には、第1部材13の第1連通孔13dに対向する位置に、空間S1と冷却器本体11の外部とを連通させる第1連通孔14dが形成され、第1部材13の第2連通孔13eに対向する位置に、空間S1と冷却器本体11の外部とを連通させる第2連通孔14eが形成されている。
第2部材14には、外面14bに、連結部材30が接合されている。付言すると、第2部材14には、外面14bにおける第1連通孔14d及び第2連通孔14eが形成されている位置に、それぞれ、連結部材30が接合されている。
また、第2部材14には、外面14bにおける連結部材30の間の領域に、発熱体100が積載される。
冷却器本体11の第1部材13と第2部材14とは、第1部材13のフランジ13cと第2部材14の内面14aとが接触し、第1部材13に形成された第1連通孔13d及び第2連通孔13eと第2部材14に形成された第1連通孔14d及び第2連通孔14eとが対向するように配置された状態で、レーザ溶接によって接合されている。レーザ溶接は、第1部材13又は第2部材14の一方の部材の外側からレーザ光が照射されることにより行われる。レーザ光が照射される部位は、第1部材13のフランジ13cと第2部材14との重ね合わせ部位であり、第1部材13のフランジ13cの全周に対してレーザ光が照射される。
なお、第1部材13と第2部材14とは、レーザ溶接ではなく、例えばろう付けによって接合されていてもよい。
そして、冷却器本体11は、第1部材13に形成された第1連通孔13dが、空間S1内に冷媒を流入させる流入口として機能し、第1部材13に形成された第2連通孔13eが、空間S1内から冷媒を流出させる流出口として機能する。
ヒートシンク12は、平板状の平板状部12aと、平板状部12aから平板状部12aの板面に直交する方向に突出した複数(この例では、10個)のフィン12bとを有している。
それぞれのフィン12bは、平板状部12aの板面に直交し且つ長手方向に沿って延びる板状の形状を有している。付言すると、それぞれのフィン12bは、空間S1を流通する冷媒の流通方向に平行な板状の形状を有している。複数のフィン12bは、短手方向に所定の間隙を介して等間隔に並んで配置されている。また、それぞれのフィン12bの上下方向に沿った高さは、第1部材13における側壁13bの上下方向に沿った高さと略等しくなっている。
なお、フィン12bは、空間S1を流通する冷媒の流通方向に対して傾斜する部位を有する波型の板状であってもよい。また、フィン12bの形状は、板状に限られず、例えば、平板状部12aの板面に直交する方向を柱方向とする複数の柱状であってもよい。フィン12bが柱状である場合、フィン12bを突出方向に見た場合の断面形状は、円、楕円、四角形であることを例示することができる。
ヒートシンク12は、第2部材14の内面14aに対して平板状部12aが接合されることで、第2部材14に取り付けられている。ヒートシンク12の平板状部12aと第2部材14の内面14aとを接合する手法としては、レーザ溶接、ろう付け等を例示することができる。
連結部材30は、上下方向を柱方向とする円柱状の貫通孔31を内部に有する、全体として筒状の部材である。貫通孔31は、上下方向に沿って見た形状が、第2部材14の第1連通孔14d及び第2連通孔14eと同じ形状である。
連結部材30は、外形が上下方向を柱方向とする六角柱状である。連結部材30は、上下方向に沿って見た形状が六角形である外周面32を有している。連結部材30の外周面32は、上下方向に沿って見た場合に連結部材30の外側に突出する6個の角部32aと、隣接する角部32a同士を接続し上下方向に沿って見た形状が直線状である6個の直線部32bとを有する。
また、連結部材30は、6個の角部32aのうちの1つの角部32aが、第2部材14の外面14bに積載される発熱体100に向けて突出するように、配置されている。詳細については後述するが、発熱体100に向けて突出する角部32aを上下方向からみた角度は、30°以上120°以下の範囲であることが好ましく、60°以上100°以下の範囲であることがより好ましい。
また、連結部材30は、全ての直線部32bが、短手方向に対して傾斜するように、配置されている。付言すると、連結部材30は、外周面32が、短手方向に沿って延びる面を有していない。
そして、第1冷却器10は、冷却器本体11が支持部材60側(下側)、連結部材30が上側となるように配置されている。
(第2冷却器20)
第2冷却器20は、概形が長尺状、より具体的には概形が長尺の直方体状の部材であり、内部に冷媒を流通させることが可能な空間S2が形成された冷却器本体21を備えている。
また、第2冷却器20は、冷却器本体21に収容されるヒートシンク22を備えている。
さらに、第2冷却器20は、冷却器本体21の長手方向の両端部にそれぞれ設けられる連結部材40を備えている。
冷却器本体21は、有底凹状の第1部材23と、第1部材23の開口部を覆う平板状の第2部材24とを備えている。
第1部材23は、長尺状の底面23aと、底面23aの外周部から底面23aと直交する方向に伸びた側壁23bと、側壁23bの先端部から底面23aと平行な方向に外側に突出したフランジ23cとを有している。なお、側壁23bは、底面23aの外周部から底面23aと直交する方向に伸びていなくてもよく、直交する方向に対して傾斜した方向に伸びていてもよい。なお、第1部材23の底面23aには、冷却器本体11の第1部材13とは異なり、空間S2と冷却器本体21の外部とを連通させる連通孔は形成されていない。
第2部材24は、空間S2に対面する内面24aと、内面24aとは反対側の面である外面24bとを有し、外周部の形状が第1部材23のフランジ23cと同一の平板状の部材である。
第2部材24には、第1冷却器10の連結部材30に対向する位置に、空間S2と冷却器本体21の外部とを連通させる第1連通孔24d及び第2連通孔24eが形成されている。
第2部材24には、外面24bに、連結部材40が接合されている。付言すると、第2部材24には、外面24bにおける第1連通孔24d及び第2連通孔24eが形成されている位置に、それぞれ、連結部材40が接合されている。
冷却器本体21の第1部材23と第2部材24とは、第1部材23のフランジ23cと第2部材24の内面24aとが接触するように配置された状態で、レーザ溶接によって接合されている。レーザ溶接は、第1部材23又は第2部材24の一方の部材の外側からレーザ光が照射されることにより行われる。レーザ光が照射される部位は、第1部材23のフランジ23cと第2部材24との重ね合わせ部位であり、第1部材23のフランジ23cの全周に対してレーザ光が照射される。
なお、第1部材23と第2部材24とは、レーザ溶接ではなく、例えばろう付けによって接合されていてもよい。
そして、冷却器本体21は、第2部材24に形成された第1連通孔24dが、空間S2内に冷媒を流入させる流入口として機能し、第2部材24に形成された第2連通孔24eが、空間S2内から冷媒を流出させる流出口として機能する。
ヒートシンク22は、第1冷却器10のヒートシンク12と同一の部材であり、平板状部22aと複数のフィン22bとを有している。
ヒートシンク22は、第2部材24の内面24aに対して平板状部22aが接合されることで、第2部材24に取り付けられている。ヒートシンク22の平板状部22aと第2部材24の内面24aとを接合する手法としては、レーザ溶接、ろう付け等を例示することができる。
連結部材40は、第1冷却器10の連結部材30と同じ部材である。連結部材40は、上下方向を柱方向とする円柱状の貫通孔41を内部に有する、全体として筒状の部材である。貫通孔41は、上下方向に沿って見た形状が、第2部材24の第1連通孔24d及び第2連通孔24eと同じ形状である。
連結部材40は、外形が上下方向を柱方向とする六角柱状である。連結部材40は、上下方向に沿って見た形状が六角形である外周面42を有している。連結部材40の外周面42は、上下方向に沿って見た場合に連結部材40の外側に突出する6個の角部42aと、隣接する角部42a同士を接続し上下方向に沿って見た形状が直線状である6個の直線部42bとを有する。
また、連結部材40は、6個の角部42aのうち1つの角部42aが、第2部材24と第1冷却器10の第2部材14との間に配置される発熱体100に向けて突出するように、配置されている。詳細については後述するが、発熱体100に向けて突出する角部42aを上下方向からみた角度は、30°以上120°以下の範囲であることが好ましく、60°以上100°以下の範囲であることがより好ましい。
また、連結部材40は、全ての直線部42bが、短手方向に対して傾斜するように、配置されている。付言すると、連結部材40は、外周面42が、短手方向に沿って延びる面を有していない。
連結部材40は、第1冷却器10の連結部材30と対向するように配置されている。具体的には、連結部材40は、貫通孔41が、連結部材30の貫通孔31と上下方向に連続するように配置されている。また、連結部材40は、外周面42におけるそれぞれの角部42a及びそれぞれの直線部42bが、連結部材30の外周面32におけるそれぞれの角部32a及びそれぞれの直線部32bと上下方向に対向するように配置されている。
この例では、連結部材40のそれぞれの角部42aは、対向する連結部材30のそれぞれの角部32aと、上下方向から見た角度が等しくなっている。
そして、連結部材40は、第1冷却器10の連結部材30と、レーザ溶接によって接合されている。第1冷却器10の連結部材30と第2冷却器20の連結部材40との対向部位には、レーザ光が照射されることによって連結部材30を構成する材料及び連結部材40を構成する材料が溶融された溶融部50が形成されている。溶融部50は、連結部材30と連結部材40との対向部位において、連結部材30の外周面32及び連結部材40の外周面42に沿って全周に形成されている。
そして、第2冷却器20は、連結部材40が支持部材60側(下側)、冷却器本体21の第1部材23が上側となるように配置されている。
(支持部材60)
支持部材60には、長手方向の一方の端部に上面から凹んだ第1空間61と、長手方向の他方の端部に上面から凹んだ第2空間62とが形成されている。第1空間61における上面側の開口部61aは、第1部材13の第1連通孔13dと同じ形状である。第2空間62における上面側の開口部62aは、第1部材13の第2連通孔13eと同じ形状である。支持部材60における開口部61aの周囲には、Oリング65が嵌め込まれる溝(不図示)が形成されている。支持部材60における開口部62aの周囲には、Oリング66が嵌め込まれる溝(不図示)が形成されている。また、支持部材60には、開口部61aに対して短手方向の両側に隣接する位置に雌ネジ61cが形成されている。また、支持部材60には、開口部62aに対して短手方向の両側に隣接する位置に雌ネジ62cが形成されている。
支持部材60には、第1空間61と外部とを、上下方向に直交する方向(図1及び図2においては短手方向)に連通する連通孔が形成されており、当該連通孔に第1ジョイント63が嵌め込まれている。また、支持部材60には、第2空間62と外部とを上下方向に直交する方向(短手方向)に連通する連通孔が形成されており、当該連通孔に第2ジョイント64が嵌め込まれている。
支持部材60には、上面における開口部61aと開口部61bとの間の領域に、上側に突出する凸部67が形成されている。凸部67の上下方向に沿った高さは、接続部材80の上下方向に沿った高さと同じである。凸部67の短手方向に沿った大きさは、第1冷却器10の第1部材13における底面13aより小さい。
(接続部材80)
接続部材80は、第1冷却器10の冷却器本体11の長手方向が短軸方向、冷却器本体11の短手方向が長軸方向となる楕円形状の部材である。接続部材80の長軸方向の中央部には、第1冷却器10の第1部材13に形成された第1連通孔13d及び第2連通孔13eと同じ形状の貫通孔81が形成されている。また、接続部材80の長軸方向の両側それぞれに、ボルト90が通される円柱状の貫通孔82が形成されている。
以上のように構成された冷却装置1は、支持部材60の上に2つの接続部材80、2つの接続部材80の上に第1冷却器10、第1冷却器10の上に第2冷却器20がそれぞれ配置されている。また、第1冷却器10と第2冷却器20との間に、3つの発熱体100が配置されている。そして、冷却装置1では、長手方向の両端部のそれぞれにおいて、上側から接続部材80の貫通孔82を通されたボルト90の雄ネジが、支持部材60に形成された雌ネジ61c、雌ネジ62cに締め付けられることで、第1冷却器10、第2冷却器20、及び発熱体100が、支持部材60に支持される。
(冷却装置1の製造方法)
以上のように構成された冷却装置1は、以下のようにして製造される。
図5は、第1冷却器10の冷却器本体11における第1部材13と接続部材80との接合部位の拡大図である。
第1冷却器10の冷却器本体11における第1部材13と接続部材80とを、レーザ溶接にて接合する。レーザ溶接する際には、接続部材80の貫通孔81と第1部材13の第1連通孔13dとが一致するように、接続部材80と第1部材13とを重ね合わせる。そして、重ね合わせ部位における第1部材13に向けて、レーザ装置150のレーザヘッド151からレーザ光Lを照射し、レーザヘッド151を第1連通孔13dの形状に沿って移動させることで、第1連通孔13dの周囲にレーザ光Lを連続的に照射する。なお、レーザ装置150のレーザ源は特に限定されない。YAGレーザ、CO2レーザ、ファイバレーザ、ディスクレーザ、半導体レーザであることを例示することができる。また、レーザ光Lの照射方向は、重ね合わせ部位の第1部材13の底面13aに対して直交する方向でも良いし、直交方向に対して傾斜した方向であっても良い。
なお、図5には、長手方向の一方の端部を示しているが、長手方向の他方の端部においても、同様に、第1部材13と接続部材80とをレーザ溶接により接合する。
また、この例では、第1部材13と接続部材80とをレーザ溶接により接合しているが、接合方法はレーザ溶接に限定されず、例えば、第1部材13と接続部材80とをろう付により接合してもよい。
図6は、第1冷却器10の冷却器本体11における第2部材14と連結部材30との接合部位の拡大図である。
予めヒートシンク12が接合された第2部材14と連結部材30とを、レーザ溶接にて接合する。レーザ溶接する際には、第2部材14の第1連通孔14dと連結部材30の貫通孔31とが一致するように、第2部材14と連結部材30とを重ね合わせる。そして、重ね合わせ部位における第2部材14に向けて、レーザ装置150のレーザヘッド151からレーザ光Lを照射し、レーザヘッド151を第1連通孔14dの周囲に連続的に照射する。なお、レーザ光Lの照射方向は、重ね合わせ部位の第2部材14の板面に対して直交する方向でも良いし、直交方向に対して傾斜した方向であっても良い。
なお、図6には、長手方向の一方の端部を示しているが、長手方向の他方の端部においても、同様に、第2部材14と連結部材30とをレーザ溶接により接合する。
また、この例では、第2部材14と連結部材30とをレーザ溶接により接合しているが、接合方法はレーザ溶接に限定されず、例えば、第2部材14と連結部材30とをろう付により接合してもよい。
図7は、第1冷却器10の冷却器本体11における第1部材13と第2部材14との接合を説明するための図である。
次に、第1部材13と連結部材30が接合された第2部材14とを、レーザ溶接により接合する。まず、第1部材13と第2部材14とを、第1部材13のフランジ13cの上に第2部材14の外周が載るように、フランジ13cと第2部材14とを重ね合わせる。次いで、第2部材14の外側から、第2部材14と第1部材13のフランジ13cとの重ね合わせ部位に向けて、レーザ装置150のレーザヘッド151からレーザ光Lを照射しながらレーザヘッド151を第2部材14の外周形状に沿って移動させることで、レーザ光Lを連続的に照射する。
このようにして、第1部材13と第2部材14とをレーザ溶接にて接合する。以上により、内部に冷媒を流通させることが可能な空間S1が形成された冷却器本体11と、冷却器本体11に接合された連結部材30とを有する第1冷却器10が得られる。
また、この例では、第1部材13と第2部材14とをレーザ溶接により接合しているが、接合方法はレーザ溶接に限定されず、例えば、第1部材13と第2部材14とをろう付により接合してもよい。
図6に示したのと同様な方法で、予めヒートシンク22が接合された第2部材24と連結部材40とを、レーザ溶接にて接合する。
その後、図7に示したのと同様な方法で第1部材23と連結部材40が接合された第2部材24とを、レーザ溶接にて接合する。
以上により、内部に冷媒を流通させることが可能な空間S2が形成された冷却器本体21と、冷却器本体21に接合された連結部材40とを有する第2冷却器20が得られる。
また、この例では、第2部材24と連結部材40とをレーザ溶接により接合し、第1部材23と第2部材24とをレーザ溶接により接合しているが、接合方法はレーザ溶接に限定されず、例えば、これらをろう付により接合してもよい。
図8(a)~(b)は、冷却装置1を製造する手順の一例を示した図である。
その後、図8(a)に示すように、第1冷却器10の上に、この第1冷却器10にて冷却される被冷却部材の一例である発熱体100を載せる。具体的には、第1冷却器10の長手方向の両端部に設けられた連結部材30の間に発熱体100が配置されるように、第1冷却器10の上に発熱体100を載せる。付言すると、第1冷却器10の冷却器本体11の第2部材14における外面14bの上であって、外面14bに接合される連結部材30の間に、3つの発熱体100を載せる。この際、第1冷却器10の第2部材14の外面14b、または発熱体100の表面に、熱伝導性グリス160を塗布した後に、第2部材14の外面14bに熱伝導性グリス160を介して3つの発熱体100を載せる。
その後、図8(b)に示すように、第1冷却器10の連結部材30と、第2冷却器20の連結部材40とが対向するように、第1冷却器10の上に第2冷却器20を載せる。具体的には、第2冷却器20の長手方向の両端部に設けられた連結部材40の間に発熱体100が配置されるように、第1冷却器10の上に第2冷却器20を載せる。付言すると、連結部材30のそれぞれの角部32aと連結部材40のそれぞれの角部42aとが対向し、連結部材30のそれぞれの直線部32bと連結部材40のそれぞれの直線部42bとが対向するように、第1冷却器10の上に第2冷却器20を載せる。さらに付言すると、連結部材30の貫通孔31と連結部材40の貫通孔41とが一致するように、第1冷却器10の上に第2冷却器20を載せる。
この際、第1冷却器10に載せられた発熱体100の表面に、熱伝導性グリス160を塗布した後に、第1冷却器10の上に第2冷却器20を載せる。これにより、発熱体100の上に熱伝導性グリス160を介して第2冷却器20の第2部材24が積載される。
図9及び図10(a)~(b)は、連結部材30と連結部材40との接合を説明するための図である。図9は、連結部材30と連結部材40とが対向する部位の拡大図であり、図10(a)は、図9をXA方向から見た図であり、図10(b)は、図10(a)におけるXB部の拡大図である。
次に、第1冷却器10の連結部材30と第2冷却器20の連結部材40とをレーザ溶接により接合する。具体的には、連結部材30と連結部材40とを、積層方向(上下方向)に交差する方向にレーザ光を照射することによって接合する。付言すると、連結部材30と連結部材40とが対向する部位(以下、連結部材30と連結部材40との対向部位と表記する。)に向けて、レーザ装置150のレーザヘッド151からレーザ光Lを照射しながらレーザヘッド151を連結部材30の外周面32及び連結部材40の外周面42に沿って移動させることで、レーザ光Lを連続的に照射する。
この際、連結部材30と連結部材40との対向部位のうち、少なくとも発熱体100に最も近い部位に対しては、レーザ光Lを短手方向に照射する。付言すると、連結部材30と連結部材40との対向部位のうち、少なくとも、連結部材30の外周面32において発熱体100の最も近くに位置する角部32aと、連結部材40の外周面42において発熱体100の最も近くに位置する角部42aとが対向する部位に対しては、短手方向にレーザ光Lを照射する。ここで、連結部材30の外周面32における発熱体100の最も近くに位置する角部32aが、第1の連結部材の第1の角部の一例である。また、連結部材40の外周面42における発熱体100の最も近くに位置する角部42aが、第2の連結部材の第2の角部の一例である。
連結部材30と連結部材40との対向部位のうち、発熱体100に近い部位に対しては、発熱体100によってレーザ光Lの進行が妨げられて、短手方向に交差する方向からレーザ光Lを照射することが難しい場合がある。連結部材30と連結部材40との対向部位のうち、少なくとも発熱体100に最も近い部位に対して、レーザ光Lを短手方向に照射することで、発熱体100に最も近い部位においても、レーザ光Lの進行が妨げられることが抑制される。この結果、連結部材30と連結部材40とを確度高く接合することができる。
この例では、まず、連結部材30と連結部材40との対向部位のうち、短手方向の一方の端部側(図10(a)の上側)に位置する部位に対して、レーザヘッド151から短手方向にレーザ光Lを照射しながら、図10(a)にて矢印A1で示すように、レーザヘッド151を外周面32及び外周面42に沿って移動させる。
次いで、連結部材30及び連結部材40に対するレーザヘッド151の向きを変えて、連結部材30と連結部材40との対向部位のうち、短手方向の他方の端部側(図10(a)の下側)に位置する部位に対して、レーザヘッド151から短手方向にレーザ光Lを照射しながら、図10(a)にて矢印A2で示すように、レーザヘッド151を外周面32及び外周面42に沿って移動させる。
このようにして、連結部材30と連結部材40との対向部位に対し、外周面32及び外周面42の全周に亘ってレーザ光Lを照射して、連結部材30と連結部材40とをレーザ溶接により接合する。連結部材30及び連結部材40には、レーザ光Lが照射された部位において連結部材30及び連結部材40を構成する材料が溶融し、溶融部50が形成される。
図10(a)~(b)に示すように、連結部材30のうち発熱体100の最も近くに位置する角部32aと、連結部材40のうち発熱体100の最も近くに位置する角部42aとの対向部位に対しては、短手方向の一方の端部側と他方の端部側との双方からレーザ光Lを照射する。これにより、連結部材30のうち発熱体100の最も近くに位置する角部32aと、連結部材40のうち発熱体100の最も近くに位置する角部42aとの対向部位では、短手方向の一方の端部側と他方の端部側との双方から、連結部材30及び連結部材40を構成する材料が溶融した溶融部50(溶融部51、溶融部52)が形成される。
この際、短手方向の一方の端部側から形成される溶融部51の先端と、短手方向の他方の端部側から形成される溶融部52の先端とが重なるように、連結部材30と連結部材40との対向部位にレーザ光Lを照射することが好ましい。付言すると、連結部材30及び連結部材40の大きさや材質等によっても異なるが、溶融部51の先端と溶融部52の先端との重なりが、例えば0.5mm以上1.5mm以下の範囲となるようにレーザ光Lを照射することが好ましい。
連結部材30と連結部材40との対向部位にレーザ光Lを照射することで形成される溶融部50(溶融部51、溶融部52)の大きさは、照射するレーザ光Lの出力が大きいほど、またはレーザヘッド151の移動速度が小さいほど、大きくなる。連結部材30と連結部材40との対向部位にレーザ光Lを照射する場合には、連結部材30と連結部材40との対向部位に形成される溶融部50(溶融部51、溶融部52)が所望の大きさとなるように、レーザ装置150によるレーザ光Lの出力及びレーザヘッド151の移動速度を調整する。
また、連結部材30と連結部材40との対向部位にレーザ光Lを照射する際には、図10(b)に示すように、発熱体100の最も近くに位置する角部32a及び角部42aの先端部(図10(b)にて符号55で示す)には、レーザ光Lを照射しないことが好ましい。角部32a及び角部42aの先端部55にレーザ光Lを照射しないことで、レーザ光Lの照射によって角部32a及び角部42aにおいて連結部材30及び連結部材40を構成する材料が溶融して落下することが抑制される。
なお、図9、図10(a)~(b)に示した例では、連結部材30と連結部材40との対向部位の全周に対して、レーザ光Lを短手方向に照射したが、これに限られない。連結部材30と連結部材40との対向部位のうち、発熱体100の最も近くに位置する角部32aと角部42aとの対向部位を除く他の部位に対しては、短手方向に交差する方向にレーザ光Lを照射してもよい。連結部材30と連結部材40との対向部位のうち、発熱体100の最も近くに位置する角部32aと角部42aとの対向部位を除く他の部位では、発熱体100によってレーザ光Lの進行が妨げられにくい。
ここで、上述したように、連結部材30における発熱体100の最も近くに位置する角部32a、及び連結部材40における発熱体100の最も近くに位置する角部42aを上下方向からみた角度(以下、単に、角部32a及び角部42aの角度と表記する場合がある。)は、30°以上120°以下の範囲であることが好ましく、60°以上100°以下の範囲であることがより好ましい。
図11(a)~(f)は、連結部材30及び連結部材40の形状を説明するための図であって、連結部材30における発熱体100の最も近くに位置する角部32a、及び連結部材40における発熱体100の最も近くに位置する角部42aを上下方向に沿って見た形状を示した図である。図11(a)~(f)は、それぞれ、発熱体100の最も近くに位置する角部32a及び角部42aの角度が、150°、120°、100°、90°、60°、30°となっている。
図11(a)に示すように、発熱体100の最も近くに位置する角部32a及び角部42aの角度が大きすぎると、短手方向の一方の端部側から形成される溶融部51の先端と、短手方向の他方の端部側から形成される溶融部52の先端とが重なるようにレーザ光Lを照射しにくい。また、発熱体100の最も近くに位置する角部32a及び角部42aの角度が大きすぎると、レーザ光Lの照射によって、角部32a及び角部42aの先端が溶融しやすくなる。これらの場合、発熱体100の最も近くに位置する角部32a及び角部42aにおいて、連結部材30と連結部材40との接合が不十分となる場合がある。
一方、図11(f)に示すように、発熱体100の最も近くに位置する角部32a及び角部42aの角度が小さすぎると、連結部材30及び連結部材40の長手方向に沿った長さが長くなり、冷却装置1(図1参照)が大型化しやすい。
発熱体100の最も近くに位置する角部32a及び角部42aの角度を30°以上120°以下の範囲、より好ましくは60°以上100°以下の範囲とすることで、冷却装置1の大型化を抑制しながら、連結部材30と連結部材40とをより確度高く接合することができる。
ここで、上述した連結部材30及び連結部材40は、それぞれ、上下方向から見た外形が六角形である外周面32及び外周面42を有しているが、連結部材30及び連結部材40の形状は、これに限定されるものではない。
上述したように、連結部材30と連結部材40との対向部位のうち、発熱体100に最も近い部位に対して、レーザ光Lを短手方向に照射する観点からは、連結部材30の外周面32及び連結部材40の外周面42が、それぞれ、発熱体100に最も近い部位に角部32a及び角部42aを有していることが好ましい。
また、連結部材30と連結部材40との対向部位のうち、発熱体100に近い部位にレーザ光Lを照射しやすくする観点からは、連結部材30及び連結部材40が、それぞれ、発熱体100から離れる方向に、角部32a及び角部42aから直線状に延びる第1の直線部の一例としての直線部32b及び第2の直線部の一例としての直線部42bを有することが好ましい。
さらに、連結部材30の外周面32及び連結部材40の外周面42は、発熱体100に最も近い部位以外の部位に曲面を有していても良いが、曲面を有していないことが好ましい。連結部材30の外周面32及び連結部材40の外周面42が曲面を有していないことで、レーザ光Lを照射する際のレーザヘッド151の移動軌跡を直線状とすることができ、連結部材30と連結部材40との接合確度を高めることができる。
さらにまた、連結部材30の外周面32及び連結部材40の外周面42は、短手方向に沿って延びる面を有していないことが好ましい。連結部材30の外周面32及び連結部材40の外周面42が短手方向に沿って延びる面を有していないことで、短手方向の一方の端部側と他方の端部側とから短手方向にレーザ光Lを照射して連結部材30と連結部材40とを接合することができる。付言すると、連結部材30と連結部材40とを接合するために、短手方向に交差する方向にレーザ光Lを照射する必要がなくなり、連結部材30と連結部材40との対向部位に対するレーザヘッド151の向きを変える頻度が少なくなる。
なお、図9及び図10(a)~(b)には、長手方向の一方の端部を示しているが、長手方向の他方の端部においても、同様に、第1冷却器10の連結部材30と第2冷却器20の連結部材40とをレーザ溶接により接合する。
連結部材30と連結部材40との接合に用いるレーザ装置150のレーザ源は特に限定されない。YAGレーザ、CO2レーザ、ファイバレーザ、ディスクレーザ、半導体レーザであることを例示することができる。
その後、支持部材60の上に、連結部材30と連結部材40とが接合された第1冷却器10及び第2冷却器20を、第1冷却器10が支持部材60側となるように載せる。この際、支持部材60の開口部61a及び開口部62aと、第1冷却器10に接続された接続部材80における貫通孔81とが一致するようにする。
その後、長手方向の一方の端部において、上側から接続部材80の貫通孔82にボルト90を通し、ボルト90の雄ネジを、支持部材60に形成された雌ネジ61cに締め付ける。また、長手方向の他方の端部において、上側から接続部材80の貫通孔82にボルト90を通し、ボルト90の雄ネジを、支持部材60に形成された雌ネジ62cに締め付ける。
以上の製造方法により、図1に示した冷却装置1が得られる。
ここで、上記した冷却装置1の製造方法において、図8(a)に示した、第1冷却器10の上に、この第1冷却器10にて冷却される被冷却部材の一例である発熱体100を載せる工程が、第1積載工程の一例である。また、図8(b)に示した、第1冷却器10の連結部材30と、第2冷却器20の連結部材40とが対向するように、第1冷却器10の上に第2冷却器20を載せる工程が、第2積載工程の一例である。また、図9及び図10(a)~(b)に示した、第1冷却器10の連結部材30と第2冷却器20の連結部材40とをレーザ溶接により接合する工程が、溶接工程の一例である。
以上のように構成された冷却装置1においては、支持部材60の第1ジョイント63から第1空間61内に流入した冷媒が、開口部61a、接続部材80の貫通孔81及び第1冷却器10の冷却器本体11の第1部材13における長手方向の一方の端部に形成された第1連通孔13dを通って、第1冷却器10の冷却器本体11における第1部材13と第2部材14との間の空間S1内に流入する。そして、空間S1内に流入した冷媒の一部は、空間S1内を長手方向に進み、第1部材13における長手方向の他方の端部に形成された第2連通孔13eを通って、第1冷却器10外に流出する。
また、空間S1内に流入した冷媒の一部は、第1冷却器10の冷却器本体11の第2部材14における長手方向の一方の端部に形成された第1連通孔14dを通って、第1冷却器10外に流出し、連結部材30の貫通孔31、連結部材40の貫通孔41、及び第2冷却器20の冷却器本体21の第2部材24における長手方向の一方の端部に形成された第1連通孔24dを通って、第2冷却器20の冷却器本体21における第1部材23と第2部材24との間の空間S2内に流入する。そして、空間S2内に流入した冷媒は、空間S2内を長手方向に進み、第2部材24における長手方向の他方の端部に形成された第2連通孔24eを通って、第2冷却器20外に流出する。
第2冷却器20外に流出した冷媒は、第1冷却器10の冷却器本体11における長手方向の他方の端部に形成された第2部材14の第2連通孔14e及び第1部材13の第2連通孔13eを通って、第1冷却器10外に流出する。また、第1冷却器10外に流出した冷媒は、接続部材80の貫通孔81を通って、支持部材60に形成された開口部62aを介して、第2空間62内に入り、第2ジョイント64から流出する。
このようにして、冷却装置1は、冷媒が、第1冷却器10の空間S1、第2冷却器20の空間S2を流通する間に、第1冷却器10と第2冷却器20との間に配置された発熱体100を冷却する。
以上説明したように、冷却装置1の製造方法は、内部に冷媒を流通させることが可能な冷却器本体と、冷却器本体に接合された連結部材とをそれぞれが有する複数の冷却器の内の第1の冷却器(例えば第1冷却器10)の上に、第1の冷却器にて冷却される被冷却部材(例えば発熱体100)を載せる第1積載工程と、第1の冷却器の連結部材である第1の連結部材(例えば連結部材30)と、複数の冷却器の内の第2の冷却器(例えば第2冷却器20)の連結部材である第2の連結部材(例えば連結部材40)とが対向するように第1の冷却器の上に第2の冷却器を載せる第2積載工程と、第1の連結部材と第2の連結部材とを積載方向に交差する方向にレーザ光を照射することによって接合する溶接工程とを備える。
また、冷却装置1は、内部に冷媒を流通させることが可能な冷却器本体と、当該冷却器本体に接合された連結部材とを有する冷却器を複数積層し、複数の冷却器の内の第1の冷却器(例えば第1冷却器10)の連結部材である第1の連結部材(例えば連結部材30)と第2の冷却器(例えば第2冷却器20)の連結部材である第2の連結部材(例えば連結部材40)とが接合されるとともに第1の冷却器と第2の冷却器との間に配置された被冷却部材(例えば発熱体100)を冷却する冷却装置であって、第1の連結部材と、第2の連結部材とは、積層方向に交差する方向にレーザ光が照射されることによって接合されている。
これにより、被冷却部材を第1の冷却器と第2の冷却器との間に配置した後に第1の連結部材と第2の連結部材とを接合できるので、例えば、第1の連結部材と第2の連結部材とを接合した後に、第1の冷却器と第2の冷却器との間に形成された空間に被冷却部材を挿入する場合と比較して、冷却装置の製造を容易にすることができる。
また、第1の冷却器の第1の連結部材と第2の冷却器の第2の連結部材とをレーザ光を照射することによって接合しているので、例えば第1の冷却器と第2の冷却器との間にOリングを設けなくても、第1の冷却器と第2の冷却器との間から外部に冷媒が漏れることを抑制できる。これにより、冷却装置の低コスト化及び信頼性向上を図ることができる。
なお、上述した冷却装置1においては、第1冷却器10と第2冷却器20との間に、3つの発熱体100が配置されているが、特に3つに限定されない。例えば、1つでも良いし、2や4以上の複数であってもよい。冷却器間に配置される発熱体100の数に応じて、冷却器(例えば第1冷却器10)を構成する冷却器本体(例えば冷却器本体11)の第1部材(例えば第1部材13)及び第2部材(例えば第2部材14)の長手方向の長さを変更すると良い。
また、上述した冷却装置1においては、第1冷却器10と接続部材80とがレーザ溶接にて接合されているが、特に接合されていなくても良い。例えば、第1冷却器10と接続部材80とをレーザ溶接にて接合しない場合には、第1冷却器10と接続部材80との間をOリングにてシールすると良い。
1…冷却装置、10…第1冷却器、20…第2冷却器、11、21…冷却器本体、12、22…ヒートシンク、13、23…第1部材、14、24…第2部材、30、40…連結部材、50…溶融部、60…支持部材、80…接続部材

Claims (8)

  1. 内部に冷媒を流通させることが可能な冷却器本体と、当該冷却器本体に接合された連結部材とをそれぞれが有する複数の冷却器の内の第1の冷却器の上に、当該第1の冷却器にて冷却される被冷却部材を載せる第1積載工程と、
    前記第1の冷却器の前記連結部材である第1の連結部材と、複数の冷却器の内の第2の冷却器の当該連結部材である第2の連結部材とが対向するように当該第1の冷却器の上に当該第2の冷却器を載せる第2積載工程と、
    前記第1の連結部材と記第2の連結部材との対向部位に対し、積層方向に交差する方向にレーザ光を照射することによって、当該第1の連結部材と当該第2の連結部材とを接合する溶接工程と、
    を備え
    前記第1積載工程及び前記第2積載工程は、前記被冷却部材が前記第1の連結部材及び前記第2の連結部材に対して第1の方向に隣接して配置されるように、各部材を積載し、
    前記溶接工程は、前記第1の連結部材と前記第2の連結部材との対向部位における前記被冷却部材に最も近い部位に対し、前記第1の方向に交差する第2の方向にレーザ光を照射する
    冷却装置の製造方法。
  2. 前記第1の冷却器は前記第1の方向に長い長尺状であり、
    前記第1の連結部材は前記第1の冷却器における長手方向である前記第1の方向の両端部にそれぞれ設けられ、
    前記第2の冷却器は前記第1の方向に長い長尺状であり、
    前記第2の連結部材は前記第2の冷却器における長手方向である前記第1の方向の両端部にそれぞれ設けられ、
    前記第1積載工程及び前記第2積載工程は、それぞれ、前記第1の方向の両端部に設けられた前記第1の連結部材間及び前記第2の連結部材間に前記被冷却部材が当該第1の連結部材及び当該第2の連結部材に対して前記第1の方向に隣接して配置されるように、各部材を積載し、
    前記溶接工程は、前記第1の連結部材と前記第2の連結部材との前記対向部位における前記被冷却部材に最も近い部位に、レーザ光を、前記第1の冷却器及び前記第2の冷却器における短手方向である前記第2の方向に照射する、
    請求項1に記載の冷却装置の製造方法。
  3. 前記第1の冷却器は、それぞれの前記第1の連結部材が、前記被冷却部材に最も近い部位に、当該被冷却部材に向けて突出する第1の角部を有し、
    前記第2の冷却器は、それぞれの前記第2の連結部材が、前記被冷却部材に最も近い部位に、当該被冷却部材に向けて突出する第2の角部を有し、
    前記第2積載工程は、前記第1の角部と前記第2の角部とが対向するように、前記第2の冷却器を前記第1の冷却器の上に載せ、
    前記溶接工程は、前記第1の角部と前記第2の角部とが対向する部位に、レーザ光を前記第2の方向に照射する、
    請求項2に記載の冷却装置の製造方法。
  4. 前記第2積載工程は、30°以上120°以下の前記第1の角部と30°以上120°以下の前記第2の角部とが対向するように、前記第2の冷却器を前記第1の冷却器の上に載せる、
    請求項3に記載の冷却装置の製造方法。
  5. 前記第1の冷却器は、それぞれの前記第1の連結部材が、前記被冷却部材から離れる方向に、前記第1の角部から直線状に延びる第1の直線部を有し、
    前記第2の冷却器は、それぞれの前記第2の連結部材が、前記被冷却部材から離れる方向に、前記第2の角部から直線状に延びる第2の直線部を有し、
    前記第2積載工程では、前記第1の直線部と前記第2の直線部とが対向するように、前記第2の冷却器を前記第1の冷却器の上に載せる、
    請求項3または4に記載の冷却装置の製造方法。
  6. 前記第1の冷却器の前記第1の連結部材および前記第2の冷却器の前記第2の連結部材が、外周に前記第2の方向に沿って延びる面を有しておらず、
    前記溶接工程は、前記第1の連結部材と、前記第2の連結部材とを、前記外周に沿って前記第2の方向にレーザ光を照射することで接合する、
    請求項1乃至5のいずれか1項に記載の冷却装置の製造方法。
  7. 内部に冷媒を流通させることが可能な冷却器本体と、当該冷却器本体に接合された連結部材とを有する冷却器を複数積層し、複数の冷却器の内の第1の冷却器の前記連結部材である第1の連結部材と第2の冷却器の当該連結部材である第2の連結部材とが接合されるとともに当該第1の冷却器と当該第2の冷却器との間に配置された被冷却部材を冷却する冷却装置であって、
    前記被冷却部材が前記第1の連結部材及び前記第2の連結部材に対して第1の方向に隣接して配置され、
    前記第1の連結部材と、前記第2の連結部材とは、当該第1の連結部材と当該第2の連結部材との対向部位に対し積層方向に交差する方向にレーザ光が照射されることによって接合され
    前記第1の連結部材と前記第2の連結部材との対向部位における前記被冷却部材に最も近い部位に対し、前記第1の方向に交差する第2の方向にレーザ光が照射されている、
    冷却装置。
  8. 前記第1の冷却器は前記第1の方向に長い長尺状であり、
    前記第1の連結部材は前記第1の冷却器における長手方向である前記第1の方向の両端部にそれぞれ設けられ、
    前記第2の冷却器は前記第1の方向に長い長尺状であり、
    前記第2の連結部材は前記第2の冷却器における長手方向である前記第1の方向の両端部にそれぞれ設けられ、
    前記第1の方向の両端部にそれぞれ設けられた前記第1の連結部材及び前記第2の連結部材間に前記被冷却部材が当該第1の連結部材及び当該第2の連結部材に対して前記第1の方向に隣接して配置され
    前記第1の連結部材と前記第2の連結部材との前記対向部位における前記被冷却部材に最も近い部位には、前記第1の冷却器及び前記第2の冷却器における短手方向である前記第2の方向にレーザ光が照射されることによって形成された溶融部が設けられている、請求項7に記載の冷却装置。
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