JP7789310B2 - 表面欠陥検査装置及び表面欠陥検査方法 - Google Patents
表面欠陥検査装置及び表面欠陥検査方法Info
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Description
図2は、図1に示した欠陥候補抽出手段40及び欠陥検出手段50の構成を表すものである。欠陥候補抽出手段40は、例えば、撮影手段20と被検査面Mとを相対的に移動させながら撮影手段20により撮影した撮影時刻の異なる複数の画像を記憶するメモリ等の画像記憶手段41と、撮影手段20により撮影された画像を前処理する前処理手段42と、撮影手段20により得られた画像に基づく抽出対象画像について、光源10の反射鏡像を含む領域を長さ方向において複数に分割し、複数の分割画像とする画像分割手段43と、撮影手段20により得られた画像に基づく抽出対象画像について2値化処理を行い、欠陥候補を抽出するための1次欠陥候補を抽出する1次抽出手段44と、1次欠陥候補を記憶する1次欠陥候補記憶手段45と、1次欠陥候補から欠陥候補を抽出する2次抽出手段46と、欠陥候補を記憶する欠陥候補記憶手段47とを有していることが好ましい。
欠陥検出手段50は、例えば、被検査面Mを複数の区画に区切り、撮影手段20により撮影された撮影時刻の異なる基準判定数以上の複数の画像について、被検査面Mの同一の区画に対応する各区画画像領域に、欠陥候補抽出手段40により抽出された欠陥候補がそれぞれ存在する場合に、欠陥であると判定するように構成されている。欠陥であると判定する基準判定数、すなわち被検査面Mの同一の区画に対応する区画画像領域に欠陥候補が存在する画像数は、2以上において任意に設定することができ、例えば、3以上であればより好ましい。
d<(1/8)A (式1)
すなわち、欠陥候補と境界線との距離dが、その境界線の長さAの1/8よりも短い場合に、所定の範囲内に存在すると判断することが好ましい。
Claims (3)
- 被検査面に光を照射する光源と、
前記光源により照射された前記被検査面を撮影して画像を得る撮影手段と、
前記撮影手段に対する前記被検査面の位置を相対的に移動させる移動手段と、
前記移動手段により前記撮影手段と前記被検査面とを相対的に移動させながら任意の時間ごとに前記撮影手段により撮影した複数の画像から欠陥候補を抽出する欠陥候補抽出手段と、
前記欠陥候補抽出手段により抽出した欠陥候補に基づき欠陥を検出する欠陥検出手段とを備え、
前記欠陥検出手段は、前記被検査面を複数の区画に区切り、前記撮影手段により撮影された撮影時刻の異なる基準判定数以上の画像について、前記被検査面の同一の区画に対応する各区画画像領域に、前記欠陥候補抽出手段により抽出された欠陥候補がそれぞれ存在する場合に、前記同一の区画に欠陥が存在すると判定すると共に、
前記欠陥検出手段は、
前記被検査面を予め複数の区画に区切り、この区画した前記被検査面を移動させた撮影動画から区画線のみの移動軌跡を抽出し、この区画線のみの動画に前記撮影手段により撮影された画像を同期させることにより、前記被検査面の区画に対応する区画画像領域を特定し、欠陥候補が存在する区画画像領域から欠陥候補が存在する前記被検査面の区画を判別する区画判別手段と、
前記区画判別手段による判別結果に基づき、前記撮影手段により撮影された撮影時刻の異なる各画像について、前記被検査面の区画毎に欠陥候補の検出回数を集計する回数集計手段と、
前記回数集計手段により集計された欠陥候補の検出回数が基準判定数以上の区画があった場合に、その区画に欠陥が存在すると判定する判定手段とを備える
ことを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 前記欠陥検出手段は、前記撮影手段により撮影された画像において、前記欠陥候補抽出手段により抽出された欠陥候補が、前記被検査面の区画に対応する区画画像領域の境界線から所定の範囲内に存在する場合に、所定の範囲内に存在する境界線が1つであるときには、欠陥候補が存在する欠陥区画画像領域と、欠陥候補が所定の範囲内に位置する境界線を介して隣接する1つの隣接区画画像領域とを、被検査面の1つの区画に対応する1つの区画画像領域とみなして判定し、所定の範囲内に存在する境界線が2つであるときには、欠陥候補が存在する欠陥区画画像領域と、欠陥候補が所定の範囲内に位置する境界線を介して隣接する2つの隣接区画画像領域と、欠陥候補が所定の範囲内に位置する2つの境界線の角部において隣接する1つの隣接区画画像領域とを、被検査面の1つの区画に対応する1つの区画画像領域とみなして判定し、
前記区画画像領域は、辺が直線または曲線である多角形であり、かつ、1つの辺が1つの境界線である
ことを特徴とする請求項1記載の表面欠陥検査装置。 - 光源から光を照射した被検査面を撮影手段により撮影すると共に、前記撮影手段に対する前記被検査面の位置を移動手段により相対的に移動させて、撮影時間の異なる複数の画像を取得する撮影手順と、
前記撮影手順により撮影した画像から欠陥候補を抽出する欠陥候補抽出手順と、
前記欠陥候補抽出手順により抽出した欠陥候補に基づき欠陥を検出する欠陥検出手順とを含み、
前記欠陥検出手順では、前記被検査面を複数の区画に区切り、前記撮影手順により撮影された撮影時刻の異なる基準判定数以上の画像について、前記被検査面の同一の区画に対応する各区画画像領域に、前記欠陥候補抽出手順により抽出された欠陥候補がそれぞれ存在する場合に、前記同一の区画に欠陥が存在すると判定すると共に、
前記欠陥検出手順は、
前記被検査面を予め複数の区画に区切り、この区画した前記被検査面を移動させた撮影動画から区画線のみの移動軌跡を抽出し、この区画線のみの動画に前記撮影手順により撮影された画像を同期させることにより、前記被検査面の区画に対応する区画画像領域を特定し、欠陥候補が存在する区画画像領域から欠陥候補が存在する前記被検査面の区画を判別する区画判別手順と、
前記区画判別手順による判別結果に基づき、前記撮影手順により撮影された撮影時刻の異なる各画像について、前記被検査面の区画毎に欠陥候補の検出回数を集計する回数集計手順と、
前記回数集計手順により集計された欠陥候補の検出回数が基準判定数以上の区画があった場合に、その区画に欠陥が存在すると判定する判定手順とを含む
ことを特徴とする表面欠陥検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP2021196063A JP7789310B2 (ja) | 2021-12-02 | 2021-12-02 | 表面欠陥検査装置及び表面欠陥検査方法 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP2021196063A JP7789310B2 (ja) | 2021-12-02 | 2021-12-02 | 表面欠陥検査装置及び表面欠陥検査方法 |
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| JP2023082350A JP2023082350A (ja) | 2023-06-14 |
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Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008107311A (ja) | 2006-09-29 | 2008-05-08 | Hitachi Chem Co Ltd | 欠陥検査方法及び欠陥検査装置 |
| CN109991233A (zh) | 2019-04-30 | 2019-07-09 | 博众精工科技股份有限公司 | 一种光学检测装置及方法 |
| US20200150052A1 (en) | 2018-11-12 | 2020-05-14 | Samsung Display Co., Ltd. | Apparatus and method for inspecting glass substrate |
| JP2021056182A (ja) | 2019-10-02 | 2021-04-08 | コニカミノルタ株式会社 | ワークの表面欠陥検出装置及び検出方法、ワークの表面検査システム並びにプログラム |
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- 2021-12-02 JP JP2021196063A patent/JP7789310B2/ja active Active
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