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JP7803129B2 - Resin sealing mold - Google Patents
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JP7803129B2 - Resin sealing mold - Google Patents

Resin sealing mold

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JP7803129B2 JP2021214287A JP2021214287A JP7803129B2 JP 7803129 B2 JP7803129 B2 JP 7803129B2 JP 2021214287 A JP2021214287 A JP 2021214287A JP 2021214287 A JP2021214287 A JP 2021214287A JP 7803129 B2 JP7803129 B2 JP 7803129B2
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  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)

Description

開示の実施形態は、樹脂封止金型に関する。 The disclosed embodiment relates to a resin-sealed mold.

従来、被成形品を樹脂封止して得られる樹脂封止成形品を削って電極または放熱板などを露出対象として露出させる技術が知られている。例えば、特許文献1には、被成形品である半導体ウエハを樹脂封止金型で樹脂封止した後に、半導体ウエハの表面に形成された樹脂を削ることで、電極を露出させる技術が開示されている。 Conventionally, there is known a technique for exposing electrodes, heat sinks, or the like by scraping a resin-sealed molded product obtained by resin-sealing a molded product. For example, Patent Document 1 discloses a technique for exposing electrodes by scraping the resin formed on the surface of a semiconductor wafer, which is a molded product, after the semiconductor wafer is resin-sealed in a resin-sealing mold.

特開2003-045906号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-045906

しかしながら、特許文献1に記載の樹脂封止金型で製造される樹脂封止成形品は、電極を露出させる際に削られる樹脂が厚い。そのため、特許文献1に記載の樹脂封止金型を露出対象が放熱板である樹脂封止成形品の製造に適用した場合、樹脂封止成形品の加工費が高くなるといった課題がある。 However, in resin-sealed molded products manufactured using the resin-sealed mold described in Patent Document 1, a thick layer of resin is removed when exposing the electrodes. Therefore, when the resin-sealed mold described in Patent Document 1 is used to manufacture resin-sealed molded products in which the exposed target is a heat sink, there is an issue of high processing costs for the resin-sealed molded products.

実施形態の一態様は、上記に鑑みてなされたものであって、樹脂封止成形品の製造コストを抑制することができる樹脂封止金型を提供することを目的とする。 One aspect of this embodiment has been made in light of the above, and aims to provide a resin-sealed mold that can reduce the manufacturing costs of resin-sealed molded products.

実施形態の一態様に係る樹脂封止金型は、第1の金型と第2の金型との間に形成されるキャビティに配置された放熱板を含む被成形品を樹脂封止する樹脂封止金型であって、第1の金型は、キャビティを形成するキャビティ面を有する第1のキャビティブロックを有する。被成形品の樹脂封止中に放熱板とキャビティ面との間の間隔が狭くなる。 A resin-sealing mold according to one embodiment is a resin-sealing mold for resin-sealing a molded product that includes a heat sink placed in a cavity formed between a first mold and a second mold. The first mold has a first cavity block with a cavity surface that forms the cavity. The gap between the heat sink and the cavity surface narrows during resin-sealing of the molded product.

実施形態の一態様によれば、樹脂封止成形品の製造コストを抑制することができる樹脂封止金型を提供することができる。 According to one aspect of the embodiment, a resin sealing mold can be provided that can reduce the manufacturing costs of resin-sealed molded products.

図1は、第1の実施形態に係る樹脂封止金型の一例を示す一部断面図である。FIG. 1 is a partial cross-sectional view showing an example of a resin-sealed mold according to the first embodiment. 図2は、第1の実施形態に係る樹脂封止金型の機能を説明するための図である。FIG. 2 is a diagram for explaining the function of the resin sealing mold according to the first embodiment. 図3は、第1の実施形態に係る樹脂封止金型によって成形された樹脂封止成形品の樹脂が削られる工程の一例を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing an example of a process for scraping off the resin from the resin-sealed molded product molded by the resin-sealing mold according to the first embodiment. 図4は、キャビティブロックが設けられていない樹脂封止金型による樹脂封止成形品の製造工程および樹脂封止成形品の一例を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing an example of a manufacturing process of a resin-sealed molded product using a resin-sealed mold without a cavity block, and an example of the resin-sealed molded product. 図5は、第1の実施形態に係る樹脂封止装置の一例を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing an example of a resin sealing apparatus according to the first embodiment. 図6は、第1の実施形態に係る樹脂封止装置による樹脂封止工程を説明するための図(その1)である。FIG. 6 is a diagram (part 1) for explaining the resin sealing process performed by the resin sealing apparatus according to the first embodiment. 図7は、第1の実施形態に係る樹脂封止装置による樹脂封止工程を説明するための図(その2)である。FIG. 7 is a diagram (part 2) for explaining the resin sealing process by the resin sealing apparatus according to the first embodiment. 図8は、第1の実施形態に係る樹脂封止装置による樹脂封止工程を説明するための図(その3)である。FIG. 8 is a diagram (part 3) for explaining the resin sealing process by the resin sealing apparatus according to the first embodiment. 図9は、第1の実施形態に係る樹脂封止装置による樹脂封止工程を説明するための図(その4)である。FIG. 9 is a diagram (part 4) for explaining the resin sealing process by the resin sealing apparatus according to the first embodiment. 図10は、第1の実施形態に係る樹脂封止装置による樹脂封止工程を説明するための図(その5)である。FIG. 10 is a diagram (part 5) for explaining the resin sealing process by the resin sealing apparatus according to the first embodiment. 図11は、第1の実施形態に係る樹脂封止装置による樹脂封止工程を説明するための図(その6)である。FIG. 11 is a diagram (part 6) for explaining the resin sealing process by the resin sealing apparatus according to the first embodiment. 図12は、第1の実施形態に係る樹脂封止金型の一例を示す一部拡大図である。FIG. 12 is a partially enlarged view showing an example of the resin-sealing mold according to the first embodiment. 図13は、第1の実施形態に係る樹脂封止金型の他の例を示す一部拡大図である。FIG. 13 is a partially enlarged view showing another example of the resin-sealing mold according to the first embodiment. 図14は、第2の実施形態に係る樹脂封止金型の一例を示す一部断面図である。FIG. 14 is a partial cross-sectional view showing an example of a resin-sealing mold according to the second embodiment. 図15は、第2の実施形態に係る樹脂封止金型の機能を説明するための図である。FIG. 15 is a diagram for explaining the function of the resin sealing mold according to the second embodiment. 図16は、第2の実施形態に係る樹脂封止装置の一例を示す斜視図である。FIG. 16 is a perspective view showing an example of a resin sealing apparatus according to the second embodiment. 図17は、第2の実施形態に係る樹脂封止装置による樹脂封止工程を説明するための図(その1)である。FIG. 17 is a diagram (part 1) for explaining the resin sealing process by the resin sealing apparatus according to the second embodiment. 図18は、第2の実施形態に係る樹脂封止装置による樹脂封止工程を説明するための図(その2)である。FIG. 18 is a diagram (part 2) for explaining the resin sealing process by the resin sealing apparatus according to the second embodiment. 図19は、第2の実施形態に係る樹脂封止装置による樹脂封止工程を説明するための図(その3)である。FIG. 19 is a diagram (part 3) for explaining the resin sealing process by the resin sealing apparatus according to the second embodiment. 図20は、第2の実施形態に係る樹脂封止装置による樹脂封止工程を説明するための図(その4)である。FIG. 20 is a diagram (part 4) for explaining the resin sealing process by the resin sealing apparatus according to the second embodiment. 図21は、第2の実施形態に係る樹脂封止装置による樹脂封止工程を説明するための図(その5)である。FIG. 21 is a diagram (part 5) for explaining the resin sealing process by the resin sealing apparatus according to the second embodiment. 図22は、第2の実施形態に係る樹脂封止装置による樹脂封止工程を説明するための図(その6)である。FIG. 22 is a diagram (part 6) for explaining the resin sealing process by the resin sealing apparatus according to the second embodiment.

以下、添付図面を参照して、本願の開示する樹脂封止金型の実施形態を詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。 Embodiments of the resin-sealed mold disclosed in this application will be described in detail below with reference to the accompanying drawings. Note that the present invention is not limited to the embodiments described below.

<1.第1の実施形態>
<1.1.樹脂封止金型の構成>
図1に示すように、第1の実施形態に係る樹脂封止金型1は、上金型2と、下金型3とを備える。上金型2は、第1の金型の一例であり、下金型3は、第2の金型の一例である。
1. First embodiment
<1.1. Configuration of resin-sealed mold>
1, the resin-sealing mold 1 according to the first embodiment includes an upper mold 2 and a lower mold 3. The upper mold 2 is an example of a first mold, and the lower mold 3 is an example of a second mold.

上金型2および下金型3は、キャビティ70を形成するキャビティ面を有しており、図1に示すように、上金型2と下金型3とが互いに当接する型締状態である場合に、上金型2と下金型3とによってキャビティ70が形成される。キャビティ70内には、被成形品80が配置され、かかる被成形品80がキャビティ70内で樹脂封止される。 The upper mold 2 and lower mold 3 have cavity surfaces that form the cavity 70. As shown in Figure 1, when the upper mold 2 and lower mold 3 are in a clamped state in which they abut against each other, the cavity 70 is formed by the upper mold 2 and lower mold 3. A molded product 80 is placed within the cavity 70, and the molded product 80 is sealed within the cavity 70 with resin.

図1に示す被成形品80は、リード81と、ボンディングワイヤ82と、IC(Integrated Circuit)チップ83と、放熱板84,85と、スペーサ86とを備える。リード81および放熱板84,85は、例えば、銅などの金属部材である。スペーサ86は、金属部材またはセラミックなどである。被成形品80は、例えば、パワーIC用の被成形品であるが、放熱板を有する被成形品であればよく、図1等に示す構成に限定されない。 The workpiece 80 shown in FIG. 1 includes leads 81, bonding wires 82, an IC (Integrated Circuit) chip 83, heat sinks 84 and 85, and a spacer 86. The leads 81 and heat sinks 84 and 85 are, for example, metal members such as copper. The spacer 86 is, for example, a metal member or ceramic. The workpiece 80 is, for example, a power IC workpiece, but it may be any workpiece having a heat sink and is not limited to the configuration shown in FIG. 1, etc.

上金型2は、上金型本体11と、上キャビティブロック12とを備える。上キャビティブロック12は、第1のキャビティブロックの一例である。上金型本体11には、貫通孔11aが形成されており、かかる貫通孔11a内を上キャビティブロック12が移動可能に配置される。 The upper mold 2 comprises an upper mold body 11 and an upper cavity block 12. The upper cavity block 12 is an example of a first cavity block. A through hole 11a is formed in the upper mold body 11, and the upper cavity block 12 is movably positioned within this through hole 11a.

上金型本体11によって、キャビティ70の天面であるキャビティ天面71の一部とキャビティ70の側面であるキャビティ側面73,74の一部が形成され、上キャビティブロック12によって、キャビティ天面71の残りの一部が形成される。また、下金型3によってキャビティ70の底面であるキャビティ底面72とキャビティ側面73,74の残りの一部が形成される。 The upper mold body 11 forms a portion of the cavity top surface 71, which is the top surface of the cavity 70, and portions of the cavity side surfaces 73 and 74, which are the side surfaces of the cavity 70, while the upper cavity block 12 forms the remaining portion of the cavity top surface 71. Furthermore, the lower mold 3 forms the cavity bottom surface 72, which is the bottom surface of the cavity 70, and portions of the remaining cavity side surfaces 73 and 74.

樹脂封止金型1では、図2(a)に示すように、上金型2と下金型3とが型締状態にある場合において、樹脂60がキャビティ70内に送られる。そして、樹脂封止金型1では、図2(b)に示すように、上金型2の上キャビティブロック12のキャビティ面12aと被成形品80の放熱板85との間に樹脂60が充填される。 In the resin sealing mold 1, as shown in FIG. 2(a), when the upper mold 2 and lower mold 3 are clamped, resin 60 is sent into the cavity 70. Then, in the resin sealing mold 1, as shown in FIG. 2(b), resin 60 is filled between the cavity surface 12a of the upper cavity block 12 of the upper mold 2 and the heat sink 85 of the molded product 80.

その後、樹脂封止金型1では、上金型2における上キャビティブロック12の位置が固定された状態で、下金型3と上金型本体11とが図2(b)の上方向に移動することによって、図2(c)に示すように、上キャビティブロック12のキャビティ面12aと被成形品80の放熱板85との間の間隔が狭くなる。そのため、図3(a)に示すように、樹脂封止金型1によって被成形品80が樹脂封止されて形成された樹脂封止成形品90において、放熱板85上の樹脂60の厚みを薄くすることができる。 Then, in the resin sealing mold 1, while the position of the upper cavity block 12 in the upper mold 2 is fixed, the lower mold 3 and upper mold body 11 are moved upward in Figure 2(b), thereby narrowing the gap between the cavity surface 12a of the upper cavity block 12 and the heat sink 85 of the molded product 80, as shown in Figure 2(c). Therefore, as shown in Figure 3(a), the thickness of the resin 60 on the heat sink 85 can be reduced in the resin-sealed molded product 90 formed by resin-sealing the molded product 80 using the resin sealing mold 1.

ここで、図1に示す上キャビティブロック12が上金型に設けられていない場合について説明する。図4(a)に示す上金型2Aのように、図2に示す上キャビティブロック12が設けられていない場合、上金型2Aによって形成されるキャビティ天面71と被成形品80の放熱板85との間が狭いと、キャビティ天面71と放熱板85との間に樹脂60を充填できない場合がある。 Here, we will explain the case where the upper cavity block 12 shown in Figure 1 is not provided in the upper mold. If the upper cavity block 12 shown in Figure 2 is not provided, as in the upper mold 2A shown in Figure 4(a), if the gap between the cavity top surface 71 formed by the upper mold 2A and the heat sink 85 of the molded product 80 is narrow, it may not be possible to fill the gap between the cavity top surface 71 and the heat sink 85.

そのため、図4(a)に示すように、図2(c)に示す状態に比べて、キャビティ天面71と放熱板85との間の間隔を大きくする必要があり、樹脂封止成形品90は、図4(b)に示すように、図3(a)に比べて、放熱板85上の樹脂60の厚みが厚くなる。 For this reason, as shown in Figure 4(a), the gap between the cavity top surface 71 and the heat sink 85 needs to be larger than in the state shown in Figure 2(c), and as shown in Figure 4(b), the thickness of the resin 60 on the heat sink 85 of the resin-sealed molded product 90 is thicker than in Figure 3(a).

一方、図1における樹脂封止金型1では、キャビティ天面71と放熱板85との間に樹脂60を精度よく充填できる状態でキャビティ天面71と放熱板85との間に樹脂60を充填する。そして、その後、樹脂封止金型1では、下金型3と上金型本体11との移動によって、キャビティ天面71を構成する上キャビティブロック12のキャビティ面12aと放熱板85との間の間隔を狭くすることで、放熱板85上の樹脂60の厚みを薄くする。 On the other hand, in the resin sealing mold 1 shown in Figure 1, resin 60 is filled between the cavity top surface 71 and the heat sink 85 in a manner that allows the resin 60 to be filled accurately between the cavity top surface 71 and the heat sink 85. Then, in the resin sealing mold 1, the lower mold 3 and upper mold body 11 are moved to narrow the gap between the cavity surface 12a of the upper cavity block 12 that constitutes the cavity top surface 71 and the heat sink 85, thereby reducing the thickness of the resin 60 on the heat sink 85.

これにより、樹脂封止金型1では、樹脂封止成形品90の樹脂60のうち削られる樹脂60の厚みを薄くすることができる。したがって、図3(b)に示すように樹脂封止成形品90の放熱板85を露出する作業、すなわち、樹脂封止成形品90の樹脂60を削る作業において、樹脂60を削る時間を短くすることができ、また樹脂60を削る部材の劣化スピードも遅くすることができる。なお、樹脂封止成形品90において、放熱板84全体が露出されていない場合、樹脂60を削って放熱板84全体を露出させる工程も行われる。 This allows the resin encapsulation mold 1 to reduce the thickness of the resin 60 that is removed from the resin 60 of the resin encapsulation molded product 90. Therefore, as shown in Figure 3(b), in the process of exposing the heat sink 85 of the resin encapsulation molded product 90, i.e., in the process of removing the resin 60 of the resin encapsulation molded product 90, the time required to remove the resin 60 can be shortened, and the deterioration rate of the material from which the resin 60 is removed can also be slowed. Note that if the entire heat sink 84 is not exposed in the resin encapsulation molded product 90, a process of removing the resin 60 to expose the entire heat sink 84 is also performed.

なお、キャビティ面12aと放熱板85との間の間隔を狭くする方法は、上述した例に限定されない。例えば、樹脂封止金型1は、下金型3と上金型本体11とを図2(b)における上方向に移動させることに代えて上キャビティブロック12を図2(b)における下方向に移動させることによって、キャビティ面12aと放熱板85との間の間隔が狭くする構成であってもよい。 Note that the method for narrowing the gap between the cavity surface 12a and the heat sink 85 is not limited to the above example. For example, the resin sealing mold 1 may be configured to narrow the gap between the cavity surface 12a and the heat sink 85 by moving the upper cavity block 12 downward in FIG. 2(b) instead of moving the lower mold 3 and the upper mold body 11 upward in FIG. 2(b).

<1.2.樹脂封止装置の構成>
図5に示すように、第1の実施形態に係る樹脂封止装置100は、樹脂封止金型1と、複数のダイバー4と、固定プラテン5と、可動プラテン6と、トランスファーユニット7とを備える。
<1.2. Configuration of Resin Sealing Device>
As shown in FIG. 5, the resin sealing apparatus 100 according to the first embodiment includes a resin sealing mold 1, a plurality of dies 4, a fixed platen 5, a movable platen 6, and a transfer unit 7.

複数のダイバー4は、互いに平行かつ上下方向に延在しており、不図示の基台に支持されている。固定プラテン5は、各ダイバー4の上端に固定され、可動プラテン6は、各ダイバー4の下端に上下方向に移動可能に取り付けられている。 The multiple divers 4 are parallel to one another and extend vertically, and are supported on a base (not shown). A fixed platen 5 is fixed to the upper end of each diver 4, and a movable platen 6 is attached to the lower end of each diver 4 so that it can move vertically.

樹脂封止金型1は、上金型2と、下金型3とを備える。上金型2は、固定プラテン5に対して上金型本体11が移動可能に取り付けられ、下金型3は、可動プラテン6に取り付けられている。可動プラテン6は、不図示の駆動機構によって駆動されて上下方向に移動する。上金型2は、キャビティ面を有する上型チェス10と、上型チェス10を支持する上型ダイセット20とを備える。また、下金型3は、キャビティ面を有する下型チェス30と、下型チェス30を支持する下型ダイセット40とを備える。 The resin sealing mold 1 comprises an upper mold 2 and a lower mold 3. The upper mold 2 has an upper mold body 11 movably attached to a fixed platen 5, and the lower mold 3 is attached to a movable platen 6. The movable platen 6 is driven by a drive mechanism (not shown) to move up and down. The upper mold 2 comprises an upper chess piece 10 having a cavity surface and an upper die set 20 that supports the upper chess piece 10. The lower mold 3 comprises a lower chess piece 30 having a cavity surface and a lower die set 40 that supports the lower chess piece 30.

樹脂封止装置100では、可動プラテン6が上方向に移動することによって、下金型3が上金型2に当接して上金型2と下金型3との型締が行われる。なお、樹脂封止装置100は、図5に示す例では、下金型3が上方向に移動する構成であるが、上金型2が下方向に移動する構成であってもよい。 In the resin sealing apparatus 100, the movable platen 6 moves upward, causing the lower mold 3 to come into contact with the upper mold 2, thereby clamping the upper mold 2 and lower mold 3 together. In the example shown in Figure 5, the resin sealing apparatus 100 is configured so that the lower mold 3 moves upward, but it may also be configured so that the upper mold 2 moves downward.

また、図5に示す樹脂封止装置100では、6つの被成形品80を同時に樹脂封止することができるが、かかる例に限定されず、同時に樹脂封止することができる被成形品80の数は、5つ以下であってもよく、7つ以上であってもよい。また、図5に示す樹脂封止装置100では、6つの被成形品80を樹脂封止するために、6つの樹脂タブレット61が用いられるが、かかる例に限定されず、樹脂タブレット61の数は、5つ以下であってもよく、7つ以上であってもよい。 Furthermore, the resin sealing apparatus 100 shown in FIG. 5 is capable of simultaneously resin-sealing six molded articles 80, but this is not limited to this example, and the number of molded articles 80 that can be simultaneously resin-sealed may be five or less, or seven or more. Further, the resin sealing apparatus 100 shown in FIG. 5 uses six resin tablets 61 to resin-seal six molded articles 80, but this is not limited to this example, and the number of resin tablets 61 may be five or less, or seven or more.

次に、図5に示す樹脂封止装置100の樹脂封止工程について、図6~図11を用いて具体的に説明する。図6~図11においては、6つの被成形品80のうち2つの被成形品80が示され、複数の樹脂タブレット61のうち1つの樹脂タブレット61が示されている。なお、図5~図11では、図1等に示す被成形品80が簡易的な形状で示されている。 Next, the resin sealing process of the resin sealing device 100 shown in Figure 5 will be described in detail using Figures 6 to 11. Figures 6 to 11 show two of the six molded products 80, and one of the multiple resin tablets 61. Note that Figures 5 to 11 show the molded product 80 shown in Figure 1 etc. in simplified form.

図6に示すように、被成形品80と樹脂タブレット61とが不図示の搬送装置によって樹脂封止装置100の樹脂封止金型1に搬送される。そして、図7に示すように、被成形品80が下金型3の下型チェス30に載置され、樹脂タブレット61が下金型3に形成されたポット77に配置される。 As shown in Figure 6, the molded product 80 and resin tablet 61 are transported by a transport device (not shown) to the resin sealing mold 1 of the resin sealing device 100. Then, as shown in Figure 7, the molded product 80 is placed on the lower die chest 30 of the lower die 3, and the resin tablet 61 is placed in the pot 77 formed in the lower die 3.

次に、図8に示すように、樹脂封止装置100において、不図示の駆動機構によって可動プラテン6(図5参照)が上方向に移動することによって、下金型3が上金型2に当接して上金型2と下金型3との型締が行われる。 Next, as shown in Figure 8, in the resin sealing device 100, the movable platen 6 (see Figure 5) is moved upward by a drive mechanism (not shown), causing the lower mold 3 to abut against the upper mold 2, thereby clamping the upper mold 2 and lower mold 3 together.

上金型2と下金型3との型締によって、図8に示すように、カル部75、ランナー部76、およびキャビティ70が形成される。また、樹脂タブレット61は、不図示のヒータによって溶融される。キャビティ70は、上金型2と下金型3との間に被成形品80単位で複数形成される。また、上金型2は、被成形品80毎に上キャビティブロック12を備える。 By clamping the upper mold 2 and lower mold 3 together, a cull portion 75, a runner portion 76, and a cavity 70 are formed, as shown in Figure 8. The resin tablet 61 is melted by a heater (not shown). Multiple cavities 70 are formed between the upper mold 2 and the lower mold 3 for each molded product 80. The upper mold 2 is provided with an upper cavity block 12 for each molded product 80.

次に、図9に示すように、樹脂封止装置100において、トランスファーユニット7(図5参照)に設けられたプランジャー8が上方向に移動し、溶融した樹脂タブレット61が樹脂60としてカル部75(図8参照)およびランナー部76(図8参照)を経由してキャビティ70に押し出される。これにより、キャビティ70内においてキャビティ天面71と被成形品80の放熱板85との間に樹脂60が充填される。 Next, as shown in Figure 9, in the resin sealing device 100, the plunger 8 provided on the transfer unit 7 (see Figure 5) moves upward, and the molten resin tablet 61 is extruded as resin 60 into the cavity 70 via the cull portion 75 (see Figure 8) and the runner portion 76 (see Figure 8). This causes the resin 60 to fill the space between the cavity top surface 71 and the heat sink 85 of the molded product 80 inside the cavity 70.

次に、樹脂封止装置100において、不図示の駆動機構によって可動プラテン6(図5参照)が上方向に移動することで、可動プラテン6によって下金型3が図9における上方向に押圧されて、下金型3が図9における上方向に移動する。そのため、樹脂封止装置100において、図10に示すように、上金型2における上キャビティブロック12の位置が固定された状態で、下金型3と上金型本体11とが図10における上方向に移動する。これにより、上キャビティブロック12のキャビティ面12aと被成形品80(図8参照)の放熱板85(図8参照)との間の間隔が狭くなる。そのため、図10に示すように、放熱板85上の樹脂60の厚みが薄くなる。 Next, in the resin sealing apparatus 100, the movable platen 6 (see FIG. 5) is moved upward by a drive mechanism (not shown), causing the movable platen 6 to press the lower mold 3 upward in FIG. 9, and the lower mold 3 to move upward in FIG. 9. Therefore, in the resin sealing apparatus 100, as shown in FIG. 10, the lower mold 3 and the upper mold body 11 move upward in FIG. 10 while the position of the upper cavity block 12 in the upper mold 2 is fixed. This narrows the gap between the cavity surface 12a of the upper cavity block 12 and the heat sink 85 (see FIG. 8) of the molded product 80 (see FIG. 8). Therefore, as shown in FIG. 10, the thickness of the resin 60 on the heat sink 85 becomes thinner.

このように、樹脂封止装置100は、可動プラテン6を上方向に移動させることで、放熱板85をキャビティ面12aに近づけてキャビティ面12aと放熱板85との間の間隔を狭くする。そのため、樹脂封止装置100では、上キャビティブロック12を図9における下方向に移動させる機構部および駆動部を設けることなく、キャビティ面12aと放熱板85との間の間隔を狭くすることができる。 In this way, the resin sealing apparatus 100 moves the movable platen 6 upward to bring the heat sink 85 closer to the cavity surface 12a, thereby narrowing the gap between the cavity surface 12a and the heat sink 85. Therefore, the resin sealing apparatus 100 can narrow the gap between the cavity surface 12a and the heat sink 85 without providing a mechanism or drive unit that moves the upper cavity block 12 downward in FIG. 9.

なお、樹脂封止装置100は、図9に示す状態から、可動プラテン6が上方向に移動することに代えて、上キャビティブロック12を図9における下方向に移動させることによって、キャビティ面12aと放熱板85との間の間隔が狭くする構成であってもよい。 In addition, the resin sealing apparatus 100 may be configured such that, instead of moving the movable platen 6 upward from the state shown in FIG. 9, the upper cavity block 12 moves downward in FIG. 9 to narrow the gap between the cavity surface 12a and the heat sink 85.

その後、図11に示すように、樹脂封止装置100において、可動プラテン6(図5参照)が下方向に移動することによって、下金型3が上金型2から離れ、樹脂封止成形品90が不図示の搬送装置によって樹脂封止金型1から取り出される。 Then, as shown in Figure 11, in the resin sealing device 100, the movable platen 6 (see Figure 5) moves downward, separating the lower mold 3 from the upper mold 2, and the resin-sealed molded product 90 is removed from the resin-sealing mold 1 by a conveying device (not shown).

このように、第1の実施形態に係る樹脂封止装置100では、樹脂封止成形品90の樹脂60のうち削られる樹脂60の厚みを薄くすることができる。したがって、樹脂封止成形品90の放熱板85を露出する作業において、樹脂60を削る時間を短くすることができ、また樹脂60を削る部材の劣化スピードも遅くすることができる。 In this way, the resin sealing apparatus 100 according to the first embodiment can reduce the thickness of the resin 60 that is removed from the resin 60 of the resin-sealed molded product 90. Therefore, when exposing the heat sink 85 of the resin-sealed molded product 90, the time required to remove the resin 60 can be shortened, and the deterioration rate of the material from which the resin 60 is removed can also be slowed.

また、樹脂封止装置100において、貫通孔11aは、放熱板85の全体を覆うことができる大きさの径を有しており、放熱板85と対向する位置に形成される。そして、貫通孔11a内に配置された上キャビティブロック12のキャビティ面12aと放熱板85の上面との間に樹脂60が充填された後、下金型3および上金型本体11または上キャビティブロック12が移動することで、上キャビティブロック12が貫通孔11a内を移動する。そのため、樹脂封止装置100は、樹脂封止成形品90における放熱板85上の樹脂60の厚みを適切に薄くすることができる。 In addition, in the resin sealing device 100, the through hole 11a has a diameter large enough to cover the entire heat sink 85, and is formed in a position facing the heat sink 85. Then, after resin 60 is filled between the cavity surface 12a of the upper cavity block 12 placed in the through hole 11a and the upper surface of the heat sink 85, the lower mold 3 and upper mold body 11 or the upper cavity block 12 move, causing the upper cavity block 12 to move within the through hole 11a. Therefore, the resin sealing device 100 can appropriately thin the thickness of the resin 60 on the heat sink 85 in the resin-sealed molded product 90.

上キャビティブロック12は、不図示の駆動源により駆動される不図示の移動機構に取り付けられており、不図示の移動機構の駆動によって、貫通孔11aを移動する。不図示の駆動源は、例えば、不図示の制御部によって制御されるサーボモータなどであるが、かかる例に限定されない。 The upper cavity block 12 is attached to a movement mechanism (not shown) driven by a drive source (not shown), and moves through the through-hole 11a when driven by the movement mechanism (not shown). The drive source (not shown) is, for example, a servo motor controlled by a control unit (not shown), but is not limited to such an example.

また、図12に示すように、貫通孔11aは、放熱板85の上面の大きさよりも大きく且つキャビティ天面よりも小さい径の貫通孔である。キャビティ天面は、上金型本体11の上面と上キャビティブロック12のキャビティ面12aによって形成される。これにより、図3(a)に示すように、樹脂封止成形品90の上面のうち貫通孔11aに対応する領域以外の領域の樹脂60の厚みを薄くすることができる。 As shown in FIG. 12, the through hole 11a has a diameter larger than the size of the upper surface of the heat sink 85 and smaller than the cavity top surface. The cavity top surface is formed by the upper surface of the upper mold body 11 and the cavity surface 12a of the upper cavity block 12. This allows the thickness of the resin 60 on the upper surface of the resin-sealed molded product 90 to be reduced in areas other than the area corresponding to the through hole 11a, as shown in FIG. 3(a).

これにより、樹脂封止成形品90の樹脂60のうち削られる樹脂60の量を低減することができることから、樹脂60を削る時間を短くすることができ、また樹脂60を削る部材の劣化スピードも遅くすることができる。 This reduces the amount of resin 60 that is removed from the resin 60 of the resin-sealed molded product 90, shortening the time it takes to remove the resin 60 and slowing down the deterioration rate of the components that remove the resin 60.

また、上述した例では、キャビティ70の天面の一部を形成する上キャビティブロック12のキャビティ面12aは、平坦面であるが、上キャビティブロック12のキャビティ面12aは、平坦面に限定されない。例えば、キャビティ面12aは、図13に示すように、放熱板85を覆う大きさの窪みで構成された凹部12bを有する構成であってもよい。 In addition, in the above example, the cavity surface 12a of the upper cavity block 12, which forms part of the top surface of the cavity 70, is a flat surface, but the cavity surface 12a of the upper cavity block 12 is not limited to a flat surface. For example, the cavity surface 12a may be configured to have a recess 12b formed by a depression large enough to cover the heat sink 85, as shown in Figure 13.

図13に示すように、上キャビティブロック12の凹部12bは、放熱板85と対向するキャビティ面12aに形成され、放熱板85の全体を覆うことができる大きさを有している。そして、上キャビティブロック12の凹部12bと放熱板85の上面との間に樹脂60が充填された後、下金型3と上金型本体11とが図13における上方向に移動する。これにより、上キャビティブロック12が貫通孔11a内を移動し、上キャビティブロック12のキャビティ面12aが放熱板85に近づく。 As shown in Figure 13, the recess 12b of the upper cavity block 12 is formed in the cavity surface 12a facing the heat sink 85 and is large enough to cover the entire heat sink 85. After resin 60 is filled between the recess 12b of the upper cavity block 12 and the upper surface of the heat sink 85, the lower mold 3 and upper mold body 11 move upward in Figure 13. As a result, the upper cavity block 12 moves within the through hole 11a, and the cavity surface 12a of the upper cavity block 12 approaches the heat sink 85.

凹部12bの開口は、貫通孔11aの開口よりも面積が小さいことから、図13に示す樹脂封止金型1では、図12に示す樹脂封止金型1に比べて、樹脂封止成形品90の上面のうち突出する領域を小さくすることができる。そのため、図13に示す樹脂封止金型1では、樹脂封止成形品90の放熱板85を露出する作業において、削られる樹脂60の量をより低減することができる。 Because the opening of the recess 12b has a smaller area than the opening of the through hole 11a, the resin sealing mold 1 shown in FIG. 13 can reduce the protruding area on the top surface of the resin-sealed molded product 90 compared to the resin sealing mold 1 shown in FIG. 12. Therefore, with the resin sealing mold 1 shown in FIG. 13, the amount of resin 60 that is removed during the process of exposing the heat sink 85 of the resin-sealed molded product 90 can be further reduced.

図13に示す樹脂封止金型1では、放熱板85の上面の面積が異なる被成形品80であっても、上金型2全体を取り替えることなく、放熱板85の上面の面積に応じた開口を有する凹部12bが形成された上キャビティブロック12に交換することで、容易に樹脂60の量をより低減することができる。 In the resin sealing mold 1 shown in Figure 13, even if the molded product 80 has a different upper surface area of the heat sink 85, the amount of resin 60 can be easily reduced by replacing it with an upper cavity block 12 that has a recess 12b with an opening that corresponds to the area of the upper surface of the heat sink 85, without having to replace the entire upper mold 2.

上述した例では、上金型2に上キャビティブロック12を設けたが、樹脂封止金型1は、上金型2に代えて下金型3に、貫通孔11aに対応する貫通孔と、被成形品80の放熱板85と対向し貫通孔11aを移動する上キャビティブロック12に対応するキャビティブロックとが設けられた構成であってもよい。この場合、上キャビティブロック12のキャビティ面12aに対応するキャビティブロックのキャビティ面は、キャビティ底面72の少なくとも一部を形成し、被成形品80は、図1に示す状態と上下が反転された状態でキャビティ70内に配置される。 In the example described above, the upper mold 2 is provided with the upper cavity block 12, but the resin sealing mold 1 may be configured such that the lower mold 3, instead of the upper mold 2, is provided with a through hole corresponding to the through hole 11a and a cavity block corresponding to the upper cavity block 12 that faces the heat sink 85 of the molded product 80 and moves through the through hole 11a. In this case, the cavity surface of the cavity block corresponding to the cavity surface 12a of the upper cavity block 12 forms at least a portion of the cavity bottom surface 72, and the molded product 80 is placed in the cavity 70 in a state that is upside down from the state shown in FIG. 1.

なお、上述した例では、上キャビティブロック12のキャビティ面12aは、キャビティ天面71の一部またはキャビティ底面72の一部を形成するが、かかる例に限定されない。例えば、上キャビティブロック12のキャビティ面12aは、キャビティ天面71の全体またはキャビティ底面72の全体を形成するキャビティ面であってもよい。 In the above example, the cavity surface 12a of the upper cavity block 12 forms part of the cavity top surface 71 or part of the cavity bottom surface 72, but this is not limited to such an example. For example, the cavity surface 12a of the upper cavity block 12 may be a cavity surface that forms the entire cavity top surface 71 or the entire cavity bottom surface 72.

また、上述した樹脂封止金型1では、上キャビティブロック12のキャビティ面12aと放熱板85との間隔が狭くなることで、放熱板85上の樹脂60の厚みを薄くするが、かかる例に限定されない。例えば、樹脂封止金型1は、被成形品80の樹脂封止中である図9に示す状態から、上キャビティブロック12のキャビティ面12aを放熱板85に接触させることができる。これにより、樹脂封止金型1は、放熱板85上に樹脂60が形成されることを抑制することができる。 Furthermore, in the resin sealing mold 1 described above, the thickness of the resin 60 on the heat sink 85 is reduced by narrowing the gap between the cavity surface 12a of the upper cavity block 12 and the heat sink 85, but this is not a limited example. For example, the resin sealing mold 1 can bring the cavity surface 12a of the upper cavity block 12 into contact with the heat sink 85 from the state shown in Figure 9, in which the molded product 80 is being resin-sealed. This allows the resin sealing mold 1 to prevent the resin 60 from forming on the heat sink 85.

以上のように、第1の実施形態に係る樹脂封止金型1は、上金型2と下金型3との間に形成されるキャビティ70に配置された放熱板85を含む被成形品80を樹脂封止する樹脂封止金型であって、上金型2は、キャビティ70を形成するキャビティ面12aを有する上キャビティブロック12を有する。上金型2は、第1の金型の一例であり、上キャビティブロック12は、第1のキャビティブロックの一例である。そして、樹脂封止金型1では、被成形品80の樹脂封止中に放熱板85とキャビティ面12aとの間の間隔が狭くなる。これにより、樹脂封止金型1は、放熱板85上の樹脂60の厚みを薄くした樹脂封止成形品90を製造したり、放熱板85上に樹脂60が形成されていない樹脂封止成形品90を製造したりすることができる。そのため、樹脂封止金型1は、樹脂封止成形品90の製造コストを抑制することができる。 As described above, the resin sealing mold 1 according to the first embodiment is a resin sealing mold that resin-seals a molded product 80, including a heat sink 85 disposed in a cavity 70 formed between an upper mold 2 and a lower mold 3. The upper mold 2 has an upper cavity block 12 with a cavity surface 12a that forms the cavity 70. The upper mold 2 is an example of a first mold, and the upper cavity block 12 is an example of a first cavity block. Furthermore, with the resin sealing mold 1, the gap between the heat sink 85 and the cavity surface 12a is narrowed during resin sealing of the molded product 80. This allows the resin sealing mold 1 to manufacture a resin-sealed molded product 90 with a thin layer of resin 60 on the heat sink 85, or a resin-sealed molded product 90 without resin 60 formed on the heat sink 85. Therefore, the resin sealing mold 1 can reduce the manufacturing costs of the resin-sealed molded product 90.

また、キャビティ70は、上金型2と下金型3との間に被成形品80単位で複数形成され、上金型2は、被成形品80毎に上キャビティブロック12を備える。これにより、樹脂封止金型1は、例えば、放熱板85上の樹脂60の厚みを薄くした樹脂封止成形品90を精度よく製造することができる。 In addition, multiple cavities 70 are formed between the upper mold 2 and the lower mold 3 for each molded product 80, and the upper mold 2 is provided with an upper cavity block 12 for each molded product 80. This allows the resin sealing mold 1 to accurately manufacture, for example, a resin sealing molded product 90 in which the thickness of the resin 60 on the heat sink 85 is thin.

また、上金型2のキャビティ面は、キャビティ天面71またはキャビティ底面72の少なくとも一部を形成し、上キャビティブロック12は、キャビティ面に放熱板85を覆う大きさの窪みで構成された凹部12bを有する。これにより、樹脂封止金型1は、樹脂封止成形品90の樹脂60のうち削られる樹脂60の量をより低減することができる。 The cavity surface of the upper mold 2 forms at least a portion of the cavity top surface 71 or cavity bottom surface 72, and the upper cavity block 12 has a recess 12b on the cavity surface that is large enough to cover the heat sink 85. This allows the resin-sealing mold 1 to further reduce the amount of resin 60 that is removed from the resin 60 of the resin-sealed molded product 90.

<2.第2の実施形態>
<2.1.樹脂封止金型の構成>
第2の実施形態に係る樹脂封止金型は、下金型が下金型本体とキャビティブロックとを備える点で、第1の実施形態に係る樹脂封止金型1と異なる。以下においては、第1の実施形態と同様の機能を有する構成要素については同一符号を付して説明を省略し、第1の実施形態の樹脂封止金型1と異なる点を中心に説明する。
2. Second embodiment
2.1. Structure of resin-sealed mold
The resin-sealed mold according to the second embodiment differs from the resin-sealed mold 1 according to the first embodiment in that the lower mold includes a lower mold body and a cavity block. In the following, components having the same functions as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals and their description is omitted, and the description will focus on the differences from the resin-sealed mold 1 of the first embodiment.

図14に示すように、第2の実施形態に係る樹脂封止金型1Aは、上金型2と、下金型3Aとを備える。下金型3Aは、第2の金型の他方の一例である。上金型2および下金型3Aは、キャビティ70を形成するキャビティ面を有しており、図14に示すように、上金型2と下金型3Aとが互いに当接する型締状態である場合に、上金型2と下金型3Aとによってキャビティ70が形成される。 As shown in FIG. 14, the resin sealing mold 1A according to the second embodiment includes an upper mold 2 and a lower mold 3A. The lower mold 3A is the other example of a second mold. The upper mold 2 and the lower mold 3A have cavity surfaces that form a cavity 70, and as shown in FIG. 14, when the upper mold 2 and the lower mold 3A are in a clamped state in which they abut against each other, the cavity 70 is formed by the upper mold 2 and the lower mold 3A.

下金型3Aは、下金型本体31と、下キャビティブロック32とを備える。下キャビティブロック32は、第2のキャビティブロックの一例である。下金型本体31には、貫通孔31aが形成されており、下キャビティブロック32は、油圧によって、かかる貫通孔31a内を移動可能に配置される。なお、下キャビティブロック32が移動可能な方向は、上金型2の上キャビティブロック12が樹脂60を介して放熱板85を押圧する方向、または、上キャビティブロック12が直接放熱板85を押圧する方向である。 The lower mold 3A comprises a lower mold body 31 and a lower cavity block 32. The lower cavity block 32 is an example of a second cavity block. A through hole 31a is formed in the lower mold body 31, and the lower cavity block 32 is hydraulically movable within this through hole 31a. The lower cavity block 32 can move in either the direction in which the upper cavity block 12 of the upper mold 2 presses the heat sink 85 via the resin 60, or the direction in which the upper cavity block 12 presses the heat sink 85 directly.

貫通孔31aは、放熱板84の全体を覆うことができる大きさの径を有しており、放熱板84と対向する位置に形成される。そして、上金型2と下金型3Aとが互いに当接する型締状態である場合、貫通孔31a内に配置された下キャビティブロック32のキャビティ面32aと放熱板84の下面とが当接する状態である。なお、型締状態において、下キャビティブロック32のキャビティ面32aと放熱板84の下面との間に隙間があってもよい。 The through hole 31a has a diameter large enough to cover the entire heat sink 84, and is formed in a position facing the heat sink 84. When the upper mold 2 and lower mold 3A are in a clamped state where they abut against each other, the cavity surface 32a of the lower cavity block 32 arranged within the through hole 31a abuts against the underside of the heat sink 84. Note that in the clamped state, there may be a gap between the cavity surface 32a of the lower cavity block 32 and the underside of the heat sink 84.

下金型本体31によって、キャビティ底面72の一部とキャビティ側面73,74の一部とが形成され、下キャビティブロック32のキャビティ面32aによって、キャビティ底面72の残りの一部が形成される。 The lower mold body 31 forms part of the cavity bottom surface 72 and part of the cavity side surfaces 73 and 74, and the cavity surface 32a of the lower cavity block 32 forms the remaining part of the cavity bottom surface 72.

樹脂封止金型1Aでは、図15(a)に示すように、樹脂60がキャビティ70内に送られ、キャビティ70内において、上キャビティブロック12のキャビティ面12aと被成形品80の放熱板85との間に樹脂60が充填される。 In the resin sealing mold 1A, as shown in Figure 15(a), resin 60 is sent into the cavity 70, and within the cavity 70, the resin 60 fills the space between the cavity surface 12a of the upper cavity block 12 and the heat sink 85 of the molded product 80.

その後、樹脂封止金型1Aでは、下金型3Aと上金型本体11とが図15(a)における上方向に移動し、放熱板85が上金型2の上キャビティブロック12に近づく。放熱板85が上キャビティブロック12に近づく際に、図15(b)に示すように上キャビティブロック12が被成形品80に接触すると、被成形品80が損傷したり変形したりして被成形品80がダメージを受ける可能性がある。 Then, in the resin sealing mold 1A, the lower mold 3A and upper mold body 11 move upward in Figure 15(a), and the heat sink 85 approaches the upper cavity block 12 of the upper mold 2. If the upper cavity block 12 comes into contact with the molded product 80 as the heat sink 85 approaches the upper cavity block 12, as shown in Figure 15(b), the molded product 80 may be damaged, such as being broken or deformed.

そこで、樹脂封止金型1Aでは、上述したように、油圧によって貫通孔31a内を移動する下キャビティブロック32が設けられている。被成形品80が上キャビティブロック12によって押圧されると、下キャビティブロック32を付勢する油圧が上キャビティブロック12の押圧力に負けて、下キャビティブロック32が下方向へ移動する。 As described above, the resin sealing mold 1A is provided with a lower cavity block 32 that moves within the through hole 31a using hydraulic pressure. When the workpiece 80 is pressed by the upper cavity block 12, the hydraulic pressure biasing the lower cavity block 32 overcomes the pressing force of the upper cavity block 12, causing the lower cavity block 32 to move downward.

下キャビティブロック32の下方向への移動量は、上キャビティブロック12による被成形品80の押圧力が大きいほど大きくなる。そのため、樹脂封止金型1Aでは樹脂封止金型1に比べて、上キャビティブロック12による被成形品80の押圧によって被成形品80がダメージを受けることを抑制することができる。 The amount of downward movement of the lower cavity block 32 increases as the pressing force of the upper cavity block 12 on the molded product 80 increases. Therefore, compared to the resin sealing mold 1, the resin sealing mold 1A can reduce damage to the molded product 80 caused by the pressing force of the upper cavity block 12 on the molded product 80.

なお、上キャビティブロック12による被成形品80の押圧は、例えば、被成形品80において放熱板85が傾いている場合または被成形品80の上下方向の寸法が設計値よりも大きい場合などに生じる。放熱板85の傾きは、例えば、樹脂封止金型1Aへの被成形品80の搬送時またはキャビティ70内における樹脂60の充填時などに生じるが、かかる例に限定されない。 Note that the upper cavity block 12 presses the workpiece 80 when, for example, the heat sink 85 of the workpiece 80 is tilted or when the vertical dimension of the workpiece 80 is larger than the design value. The heat sink 85 may tilt, for example, when the workpiece 80 is being transported to the resin sealing mold 1A or when the resin 60 is being filled into the cavity 70, but this is not a limiting example.

このように、樹脂封止金型1Aでは、樹脂封止成形品90の樹脂60のうち削られる樹脂60の厚みを薄くすることができ、また、上キャビティブロック12が被成形品80に接触した場合であっても、下キャビティブロック32が移動することから被成形品80がダメージを受けることを抑制することができる。 In this way, with the resin sealing mold 1A, the thickness of the resin 60 that is removed from the resin 60 of the resin-sealed molded product 90 can be reduced. Furthermore, even if the upper cavity block 12 comes into contact with the molded product 80, the movement of the lower cavity block 32 can prevent damage to the molded product 80.

<2.2.樹脂封止装置の構成>
図16に示すように、第2の実施形態に係る樹脂封止装置100Aは、樹脂封止金型1に代えて、樹脂封止金型1Aおよび油圧ポンプ9を備える点で、第1の実施形態に係る樹脂封止装置100と異なる。以下においては、第1の実施形態と同様の機能を有する構成要素については同一符号を付して説明を省略し、第1の実施形態の樹脂封止装置100と異なる点を中心に説明する。
<2.2. Configuration of Resin Sealing Device>
16, the resin sealing apparatus 100A according to the second embodiment differs from the resin sealing apparatus 100 according to the first embodiment in that it includes a resin sealing mold 1A and a hydraulic pump 9 instead of the resin sealing mold 1. In the following, components having the same functions as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals and their description will be omitted, and the description will focus on the differences from the resin sealing apparatus 100 according to the first embodiment.

樹脂封止装置100Aにおいて、下金型3Aは、キャビティ面を有する下型チェス30Aと、下型チェス30Aを支持する下型ダイセット40とを備える。下型チェス30Aは、上述した下金型本体31および下キャビティブロック32を備える。図16に示す樹脂封止装置100Aは、下金型3Aが上方向に移動する構成であるが、上金型2が下方向に移動する構成であってもよい。 In the resin sealing apparatus 100A, the lower mold 3A includes a lower chess piece 30A having a cavity surface and a lower die set 40 that supports the lower chess piece 30A. The lower chess piece 30A includes the lower mold body 31 and lower cavity block 32 described above. The resin sealing apparatus 100A shown in Figure 16 is configured so that the lower mold 3A moves upward, but it may also be configured so that the upper mold 2 moves downward.

次に、図16に示す樹脂封止装置100Aによる被成形品80の樹脂封止動作について図17~図22を用いて具体的に説明する。図17に示すように、被成形品80と樹脂タブレット61とが不図示の搬送装置によって樹脂封止装置100Aの樹脂封止金型1Aに搬送される。なお、図16~図22に示す例では、図14等に示す被成形品80が簡易的な形状で示されている。 Next, the resin sealing operation of the molded product 80 using the resin sealing apparatus 100A shown in Figure 16 will be described in detail using Figures 17 to 22. As shown in Figure 17, the molded product 80 and resin tablet 61 are transported to the resin sealing mold 1A of the resin sealing apparatus 100A by a transport device (not shown). Note that in the example shown in Figures 16 to 22, the molded product 80 shown in Figure 14 etc. is shown in a simplified form.

図17に示す状態では、下金型3Aの下キャビティブロック32は、油圧ポンプ9による油圧によって上方向に移動されており、図17の位置に維持されている。また、図18に示すように、被成形品80が下金型3Aの下型チェス30Aに載置され、樹脂タブレット61が下金型3Aに形成されたポット77に置かれる。 In the state shown in Figure 17, the lower cavity block 32 of the lower mold 3A is moved upward by hydraulic pressure from the hydraulic pump 9 and is maintained in the position shown in Figure 17. Also, as shown in Figure 18, a molded product 80 is placed on the lower mold chest 30A of the lower mold 3A, and a resin tablet 61 is placed in the pot 77 formed in the lower mold 3A.

次に、図19に示すように、樹脂封止装置100Aにおいて、可動プラテン6(図16参照)が上方向に移動することによって、下金型3Aが上金型2に当接して上金型2と下金型3Aとの型締が行われる。キャビティ70は、上金型2と下金型3Aとの間に被成形品80単位で複数形成される。上金型2は、被成形品80毎に上キャビティブロック12を備え、下金型3Aは、被成形品80毎に下キャビティブロック32を備える。 Next, as shown in Figure 19, in the resin sealing apparatus 100A, the movable platen 6 (see Figure 16) moves upward, causing the lower mold 3A to abut against the upper mold 2, clamping the upper mold 2 and lower mold 3A together. Multiple cavities 70 are formed between the upper mold 2 and the lower mold 3A for each molded article 80. The upper mold 2 has an upper cavity block 12 for each molded article 80, and the lower mold 3A has a lower cavity block 32 for each molded article 80.

次に、図20に示すように、樹脂封止装置100Aにおいて、プランジャー8が上方向に移動し、トランスファーユニット7(図16参照)によって溶融された樹脂タブレット61が樹脂60としてカル部75(図19参照)およびランナー部76(図19参照)を経由してキャビティ70に押し出される。これにより、キャビティ70内において、上キャビティブロック12のキャビティ面12aと被成形品80の放熱板85との間に樹脂60が充填される。 Next, as shown in Figure 20, in the resin sealing device 100A, the plunger 8 moves upward, and the resin tablet 61 melted by the transfer unit 7 (see Figure 16) is extruded as resin 60 into the cavity 70 via the cull portion 75 (see Figure 19) and the runner portion 76 (see Figure 19). As a result, the resin 60 fills the space between the cavity surface 12a of the upper cavity block 12 and the heat sink 85 of the molded product 80 within the cavity 70.

次に、樹脂封止装置100Aにおいて、不図示の駆動機構によって可動プラテン6(図16参照)が上方向に移動することで、可動プラテン6によって下金型3Aが図20における上方向に押圧されて、下金型3Aが図20における上方向に移動する。そのため、樹脂封止装置100Aにおいて、図21に示すように、上金型2における上キャビティブロック12の位置が固定された状態で、下金型3Aと上金型本体11とが図21における上方向に移動する。これにより、上キャビティブロック12のキャビティ面12aと被成形品80の放熱板85との間の間隔が狭くなる。そのため、樹脂封止装置100Aにおいて、放熱板85上の樹脂60の厚みが薄い樹脂封止成形品90が形成される。 Next, in the resin sealing apparatus 100A, the movable platen 6 (see FIG. 16) is moved upward by a drive mechanism (not shown), causing the movable platen 6 to press the lower mold 3A upward in FIG. 20, moving the lower mold 3A upward in FIG. 20. Therefore, in the resin sealing apparatus 100A, as shown in FIG. 21, the lower mold 3A and the upper mold body 11 move upward in FIG. 21 while the position of the upper cavity block 12 in the upper mold 2 is fixed. This narrows the gap between the cavity surface 12a of the upper cavity block 12 and the heat sink 85 of the molded product 80. Therefore, in the resin sealing apparatus 100A, a resin-sealed molded product 90 is formed in which the thickness of the resin 60 on the heat sink 85 is thin.

なお、樹脂封止装置100Aは、図20に示す状態から、可動プラテン6を上方向に移動させることに代えて、上キャビティブロック12を図20における下方向に移動させることによって、キャビティ面12aと放熱板85との間の間隔が狭くする構成であってもよい。 In addition, the resin sealing apparatus 100A may be configured to narrow the gap between the cavity surface 12a and the heat sink 85 by moving the upper cavity block 12 downward in FIG. 20 instead of moving the movable platen 6 upward from the state shown in FIG. 20.

その後、図22に示すように、樹脂封止装置100Aにおいて、可動プラテン6(図16参照)が下方向に移動することによって、下金型3Aが上金型2から離れ、樹脂封止成形品90が不図示の搬送装置によって樹脂封止金型1Aから取り出される。 Then, as shown in FIG. 22, in the resin sealing apparatus 100A, the movable platen 6 (see FIG. 16) moves downward, separating the lower mold 3A from the upper mold 2, and the resin-sealed molded product 90 is removed from the resin-sealing mold 1A by a conveying device (not shown).

被成形品80の樹脂封止中において、上金型2の上キャビティブロック12が被成形品80に接触しない場合、下金型3Aの下キャビティブロック32は、被成形品80に加わる下方向へ向けた力に抗して被成形品80に近づく方向に向けて付勢されており、図21に示す状態が維持される。これにより、樹脂封止装置100Aは、樹脂封止成形品90の製造を精度よく行うことができる。 When the upper cavity block 12 of the upper mold 2 does not come into contact with the molded product 80 during resin sealing of the molded product 80, the lower cavity block 32 of the lower mold 3A is biased in a direction toward the molded product 80 against the downward force applied to the molded product 80, maintaining the state shown in Figure 21. This allows the resin sealing apparatus 100A to accurately manufacture the resin-sealed molded product 90.

また、被成形品80の樹脂封止中に、油圧ポンプ9による油圧よりも大きな下方向への力が下金型3Aの下キャビティブロック32に加わると、油圧ポンプ9による油圧が下方向への力に負け、下キャビティブロック32は下方向に移動する。 Furthermore, if a downward force greater than the hydraulic pressure from the hydraulic pump 9 is applied to the lower cavity block 32 of the lower mold 3A during resin sealing of the molded product 80, the hydraulic pressure from the hydraulic pump 9 will be overcome by the downward force, causing the lower cavity block 32 to move downward.

そのため、被成形品80の樹脂封止中に、上キャビティブロック12によって被成形品80が下方向に押されて下キャビティブロック32に油圧ポンプ9による油圧よりも大きな下方向への力が加わると、下キャビティブロック32は下方向に移動する。これにより、樹脂封止装置100Aでは、上キャビティブロック12による被成形品80の押圧によって被成形品80がダメージを受けることを抑制することができる。 As a result, during resin sealing of the molded product 80, if the upper cavity block 12 presses the molded product 80 downward, applying a downward force to the lower cavity block 32 greater than the hydraulic pressure from the hydraulic pump 9, the lower cavity block 32 will move downward. This allows the resin sealing device 100A to prevent damage to the molded product 80 caused by the upper cavity block 12 pressing against it.

また、樹脂封止装置100Aにおいて、貫通孔31aは、放熱板84の全体を覆うことができる大きさの径を有しており、放熱板84と対向する位置に形成される。そして、上金型2と下金型3Aとが型締状態である場合、貫通孔31a内に配置された下キャビティブロック32のキャビティ面32aと放熱板84の下面とが当接する状態である。 In addition, in the resin sealing device 100A, the through hole 31a has a diameter large enough to cover the entire heat sink 84, and is formed in a position facing the heat sink 84. When the upper mold 2 and lower mold 3A are clamped, the cavity surface 32a of the lower cavity block 32 arranged within the through hole 31a abuts against the lower surface of the heat sink 84.

そのため、樹脂封止装置100Aでは、下キャビティブロック32が下方向に移動した場合であっても、下キャビティブロック32のキャビティ面32aをキャビティ底面72の全体とする場合に較べて、貫通孔31a内に侵入する樹脂60の量を低減することができる。 As a result, with the resin sealing device 100A, even when the lower cavity block 32 moves downward, the amount of resin 60 that penetrates into the through-hole 31a can be reduced compared to when the cavity surface 32a of the lower cavity block 32 is the entire cavity bottom surface 72.

なお、下キャビティブロック32は、油圧によって付勢されているが、かかる例に限定されない。例えば、下キャビティブロック32は、サーボモータなどの駆動源によって貫通孔31a内を移動可能に構成されてもよい。 Note that the lower cavity block 32 is hydraulically biased, but this is not a limitation. For example, the lower cavity block 32 may be configured to be movable within the through-hole 31a by a drive source such as a servo motor.

この場合、樹脂封止金型1Aには、例えば、下キャビティブロック32に加わる圧力を検出する圧力センサが取り付けられ、圧力センサによって検出された圧力が閾値以上の圧力である場合に、不図示の制御部による駆動源の制御によって下キャビティブロック32を下方に移動させてもよい。 In this case, for example, a pressure sensor that detects the pressure applied to the lower cavity block 32 may be attached to the resin sealing mold 1A, and if the pressure detected by the pressure sensor is equal to or greater than a threshold value, the lower cavity block 32 may be moved downward by controlling the drive source via a control unit (not shown).

また、圧力センサによって検出された圧力が閾値以上である場合、圧力センサによって検出された圧力が高いほど、下キャビティブロック32の下方への移動量を大きくすることもできる。 Furthermore, if the pressure detected by the pressure sensor is equal to or greater than a threshold value, the higher the pressure detected by the pressure sensor, the greater the downward movement of the lower cavity block 32 can be.

上述した例では、樹脂封止金型1Aにおいて、上キャビティブロック12が上金型2に設けられ、下キャビティブロック32が下金型3Aに設けられているが、かかる例に限定されない。例えば、樹脂封止金型1Aは、上金型2に代えて下金型3Aに、貫通孔11aと上キャビティブロック12とに対応する貫通孔とに対応するキャビティブロックとが設けられ、下金型3Aに代えて上金型2に、貫通孔31aと下キャビティブロック32とに対応する貫通孔とに対応するキャビティブロックとが設けられた構成であってもよい。この場合、上キャビティブロック12のキャビティ面12aに対応するキャビティブロックのキャビティ面は、キャビティ底面72の少なくとも一部を形成し、下キャビティブロック32のキャビティ面32aに対応するキャビティブロックのキャビティ面は、キャビティ天面71の少なくとも一部を形成する。そして、被成形品80は、図14に示す状態と上下が反転された状態でキャビティ70内に配置される。 In the above example, the upper cavity block 12 is provided in the upper mold 2, and the lower cavity block 32 is provided in the lower mold 3A in the resin-sealing mold 1A. However, this is not limited to this example. For example, the resin-sealing mold 1A may be configured such that the lower mold 3A, instead of the upper mold 2, is provided with a cavity block corresponding to the through hole 11a and the through hole corresponding to the upper cavity block 12, and the upper mold 2, instead of the lower mold 3A, is provided with a cavity block corresponding to the through hole 31a and the through hole corresponding to the lower cavity block 32. In this case, the cavity surface of the cavity block corresponding to the cavity surface 12a of the upper cavity block 12 forms at least a portion of the cavity bottom surface 72, and the cavity surface of the cavity block corresponding to the cavity surface 32a of the lower cavity block 32 forms at least a portion of the cavity top surface 71. The molded product 80 is then placed in the cavity 70 in a state that is upside down from the state shown in FIG. 14.

また、上述した樹脂封止金型1Aでは、上キャビティブロック12のキャビティ面12aと放熱板85との間隔が狭くなることで、放熱板85上の樹脂60の厚みを薄くするが、かかる例に限定されない。例えば、樹脂封止金型1Aは、被成形品80の樹脂封止中である図20に示す状態から、上キャビティブロック12のキャビティ面12aを放熱板85に接触させることができる。これにより、樹脂封止金型1Aは、放熱板85上に樹脂60が形成されることを抑制することができる。 Furthermore, in the resin sealing mold 1A described above, the thickness of the resin 60 on the heat sink 85 is reduced by narrowing the gap between the cavity surface 12a of the upper cavity block 12 and the heat sink 85, but this is not a limited example. For example, the resin sealing mold 1A can bring the cavity surface 12a of the upper cavity block 12 into contact with the heat sink 85 from the state shown in Figure 20, where the molded product 80 is being resin-sealed. This allows the resin sealing mold 1A to prevent resin 60 from being formed on the heat sink 85.

以上のように、第2の実施形態に係る樹脂封止金型1Aは、上金型2と下金型3Aとの間に形成されるキャビティ70に配置された放熱板85を含む被成形品80を樹脂封止する樹脂封止金型であって、上金型2は、キャビティ70を形成するキャビティ面12aを有する上キャビティブロック12を有する。上金型2は、第1の金型の一例であり、上キャビティブロック12は、第1のキャビティブロックの一例である。被成形品80の樹脂封止中に放熱板85とキャビティ面12aとの間の間隔が狭くなる。これにより、樹脂封止金型1Aは、例えば、放熱板85上の樹脂60の厚みを薄くした樹脂封止成形品90を製造したり、放熱板85上に樹脂60が形成されていない樹脂封止成形品90を製造したりすることができる。そのため、樹脂封止金型1Aは、樹脂封止成形品90の製造コストを抑制することができる。 As described above, the resin sealing mold 1A according to the second embodiment is a resin sealing mold that resin-seals a molded product 80, including a heat sink 85 disposed in a cavity 70 formed between an upper mold 2 and a lower mold 3A. The upper mold 2 has an upper cavity block 12 with a cavity surface 12a that forms the cavity 70. The upper mold 2 is an example of a first mold, and the upper cavity block 12 is an example of a first cavity block. During resin sealing of the molded product 80, the gap between the heat sink 85 and the cavity surface 12a narrows. This allows the resin sealing mold 1A to produce, for example, a resin-sealed molded product 90 in which the thickness of the resin 60 on the heat sink 85 is thin, or a resin-sealed molded product 90 in which no resin 60 is formed on the heat sink 85. Therefore, the resin sealing mold 1A can reduce the manufacturing costs of the resin-sealed molded product 90.

また、下金型3Aは、被成形品80の樹脂封止中に、放熱板85が上キャビティブロック12のキャビティ面12aによって押圧される方向に移動可能な下キャビティブロック32を備える。下金型3Aは、第2の金型の一例であり、下キャビティブロック32は、第2のキャビティブロックの一例である。これにより、樹脂封止金型1Aは、上キャビティブロック12によって被成形品80が押圧された場合において被成形品80がダメージを受けることを抑制することができる。 The lower mold 3A also includes a lower cavity block 32 that can move in a direction in which the heat sink 85 is pressed by the cavity surface 12a of the upper cavity block 12 during resin sealing of the molded product 80. The lower mold 3A is an example of a second mold, and the lower cavity block 32 is an example of a second cavity block. This allows the resin sealing mold 1A to prevent damage to the molded product 80 when the molded product 80 is pressed by the upper cavity block 12.

また、下金型3Aの下キャビティブロック32は、被成形品80の樹脂封止中に、油圧によって被成形品80に近づく方向に向けて付勢される。これにより、樹脂封止金型1Aは、油圧ポンプ9による油圧よりも大きな下方向への力が下金型3Aの下キャビティブロック32に加わると、油圧ポンプ9による油圧が下方向への力に負け、下キャビティブロック32は下方向に移動する。そのため、樹脂封止金型1Aでは、下キャビティブロック32をサーボモータなどによって移動させる制御を行うことなく、下キャビティブロック32を下方向に移動させることができ、構成が複雑になることを回避することができる。 In addition, the lower cavity block 32 of the lower mold 3A is hydraulically biased toward the molded product 80 during resin sealing of the molded product 80. As a result, when a downward force greater than the hydraulic pressure from the hydraulic pump 9 is applied to the lower cavity block 32 of the lower mold 3A in the resin sealing mold 1A, the hydraulic pressure from the hydraulic pump 9 overcomes the downward force, and the lower cavity block 32 moves downward. Therefore, in the resin sealing mold 1A, the lower cavity block 32 can be moved downward without controlling the movement of the lower cavity block 32 with a servo motor or the like, avoiding a complex configuration.

さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細および代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の特許請求の範囲およびその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。 Further advantages and modifications may readily occur to those skilled in the art. Therefore, the invention in its broader aspects is not limited to the specific details and representative embodiments shown and described above. Accordingly, various modifications may be made without departing from the spirit or scope of the general inventive concept as defined by the appended claims and their equivalents.

1,1A 樹脂封止金型
2 上金型(第1の金型の一例)
2A 上金型
3,3A 下金型(第2の金型の一例)
9 油圧ポンプ
11 上金型本体
11a 貫通孔
12 上キャビティブロック(第1のキャビティブロックの一例)
12a キャビティ面
12b 凹部
31 下金型本体
31a 貫通孔
32 下キャビティブロック(第2のキャビティブロックの一例)
60 樹脂
70 キャビティ
71 キャビティ天面
72 キャビティ底面
80 被成形品
84,85 放熱板
90 樹脂封止成形品
100,100A 樹脂封止装置
1, 1A Resin sealing mold 2 Upper mold (an example of a first mold)
2A Upper mold 3, 3A Lower mold (an example of a second mold)
9 Hydraulic pump 11 Upper mold body 11a Through hole 12 Upper cavity block (an example of a first cavity block)
12a Cavity surface 12b Recess 31 Lower mold body 31a Through hole 32 Lower cavity block (an example of a second cavity block)
60 Resin 70 Cavity 71 Cavity top surface 72 Cavity bottom surface 80 Molded product 84, 85 Heat sink 90 Resin-sealed molded product 100, 100A Resin-sealing device

Claims (5)

第1の金型と第2の金型との間に形成されるキャビティに配置された放熱板を含む被成形品を樹脂封止する樹脂封止金型であって、
前記被成形品は、
前記樹脂封止後に前記放熱板上の樹脂が削られて前記放熱板が露出する被成形品であり、
前記第1の金型は、
前記キャビティを形成するキャビティ面を有する第1のキャビティブロックを有し、
前記樹脂封止後における前記放熱板上の樹脂の厚みが薄くなるように、前記被成形品の前記樹脂封止中であって前記放熱板と前記キャビティ面との間に樹脂がある状態で前記放熱板と前記キャビティ面との間隔が狭くなる
ことを特徴とする樹脂封止金型。
A resin sealing mold for resin-sealing a molded product including a heat sink disposed in a cavity formed between a first mold and a second mold,
The molded article is
the resin on the heat sink is scraped off after the resin sealing to expose the heat sink,
The first mold comprises:
a first cavity block having a cavity surface that forms the cavity;
a resin sealing mold, characterized in that a gap between the heat sink and the cavity surface is narrowed while resin is present between the heat sink and the cavity surface during the resin sealing of the molded product, so that the thickness of the resin on the heat sink after the resin sealing is thin.
前記キャビティは、
前記第1の金型と前記第2の金型との間に前記被成形品単位で複数形成され、
前記第1の金型は、
前記被成形品毎に前記第1のキャビティブロックを備える
ことを特徴とする請求項1に記載の樹脂封止金型。
The cavity is
A plurality of the molded articles are formed between the first mold and the second mold,
The first mold comprises:
The resin sealing mold according to claim 1 , wherein the first cavity block is provided for each of the molding workpieces.
前記キャビティ面は、
前記キャビティの天面または底面の少なくとも一部を形成し、
前記第1のキャビティブロックは、
前記キャビティ面に前記放熱板を覆う大きさの窪みで構成された凹部を有する
ことを特徴とする請求項1または2に記載の樹脂封止金型。
The cavity surface is
forming at least a part of the top or bottom surface of the cavity;
The first cavity block comprises:
3. The resin sealing mold according to claim 1, wherein the cavity surface has a recess formed by a depression large enough to cover the heat sink.
前記第2の金型は、
前記被成形品の前記樹脂封止中に、前記放熱板が前記キャビティ面によって押圧される方向に移動可能な第2のキャビティブロックを備える
ことを特徴とする請求項1~3のいずれか1つに記載の樹脂封止金型。
The second mold comprises:
The resin sealing mold according to any one of claims 1 to 3, characterized in that it comprises a second cavity block that is movable in a direction in which the heat sink is pressed by the cavity surface during the resin sealing of the molded product.
前記第2のキャビティブロックは、
前記被成形品の前記樹脂封止中に、油圧によって前記被成形品に近づく方向に向けて付勢される
ことを特徴とする請求項4に記載の樹脂封止金型。
The second cavity block comprises:
The resin sealing mold according to claim 4, wherein the resin sealing member is hydraulically biased in a direction approaching the molded product during the resin sealing of the molded product.
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007320102A (en) 2006-05-31 2007-12-13 Toyota Motor Corp Mold apparatus and method for manufacturing molded product
JP2009302281A (en) 2008-06-13 2009-12-24 Denso Corp Manufacturing method of semiconductor device
JP2010173083A (en) 2009-01-27 2010-08-12 Towa Corp Method and apparatus for resin seal-molding electronic component
JP2013028087A (en) 2011-07-29 2013-02-07 Apic Yamada Corp Molding die set, and resin molding apparatus having the same
JP2014218038A (en) 2013-05-09 2014-11-20 アピックヤマダ株式会社 Resin mold method and device

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3746357B2 (en) * 1997-08-21 2006-02-15 アピックヤマダ株式会社 Resin molding equipment
JP2000190351A (en) * 1998-12-28 2000-07-11 Toshiba Corp Semiconductor resin molding machine
JP5560479B2 (en) * 2009-07-01 2014-07-30 アピックヤマダ株式会社 Resin mold, resin mold apparatus, and resin mold method

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007320102A (en) 2006-05-31 2007-12-13 Toyota Motor Corp Mold apparatus and method for manufacturing molded product
JP2009302281A (en) 2008-06-13 2009-12-24 Denso Corp Manufacturing method of semiconductor device
JP2010173083A (en) 2009-01-27 2010-08-12 Towa Corp Method and apparatus for resin seal-molding electronic component
JP2013028087A (en) 2011-07-29 2013-02-07 Apic Yamada Corp Molding die set, and resin molding apparatus having the same
JP2014218038A (en) 2013-05-09 2014-11-20 アピックヤマダ株式会社 Resin mold method and device

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