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JP7812973B2 - Glass cloth, prepreg, and printed wiring board - Google Patents
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JP7812973B2 - Glass cloth, prepreg, and printed wiring board - Google Patents

Glass cloth, prepreg, and printed wiring board

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JP7812973B2 JP2025500279A JP2025500279A JP7812973B2 JP 7812973 B2 JP7812973 B2 JP 7812973B2 JP 2025500279 A JP2025500279 A JP 2025500279A JP 2025500279 A JP2025500279 A JP 2025500279A JP 7812973 B2 JP7812973 B2 JP 7812973B2
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Description

本開示は、ガラスクロス、プリプレグ、及びプリント配線板等に関する。 This disclosure relates to glass cloth, prepregs, printed wiring boards, etc.

現在、スマートフォン等の情報端末の高性能化、及び5G通信に代表される高速通信化が進んでいる。それに伴い、高速通信用のプリント配線板では、伝送損失の低減のために使用される絶縁材料の低誘電率化、及び低誘電正接化が著しく進行しており、また、従来よりも高いレベルでの絶縁信頼性も求められている。 Currently, information terminals such as smartphones are becoming more powerful, and high-speed communications, as exemplified by 5G communications, are becoming more common. Accordingly, in printed wiring boards for high-speed communications, the dielectric constant and dissipation factor of insulating materials used to reduce transmission loss are becoming significantly lower, and higher levels of insulation reliability than ever before are also being demanded.

高速通信用プリント配線板の絶縁材料の例は、特許文献1、及び2に報告されている。具体的に、特許文献1、及び2では、ビニル基又はメタクリロキシ基で末端を変性させたポリフェニレンエーテル等のラジカル反応によって架橋し、これにより硬化する低誘電熱硬化性樹脂(以下、総称して「マトリックス樹脂」という。)をガラスクロスに含浸させ、そして乾燥させることでプリプレグを得ている。このように得られたプリプレグを積層し、そして加熱、及び加圧により硬化させた積層板が知られている。特許文献1、及び2は、低誘電率、及び低誘電正接を有するガラスクロスと組み合わせることで、積層板としての低誘電率、低誘電正接の実現を狙っている。Examples of insulating materials for printed wiring boards for high-speed communication are reported in Patent Documents 1 and 2. Specifically, Patent Documents 1 and 2 describe a method for impregnating glass cloth with a low-dielectric thermosetting resin (hereinafter collectively referred to as "matrix resin") that is crosslinked and cured by a radical reaction, such as polyphenylene ether modified at the terminals with vinyl or methacryloxy groups, and then drying the resin to obtain a prepreg. A laminate is known that is made by stacking the prepregs obtained in this manner and curing them by heating and pressurizing them. Patent Documents 1 and 2 aim to achieve a low dielectric constant and low dielectric dissipation factor for the laminate by combining the prepreg with glass cloth, which has a low dielectric constant and low dielectric dissipation factor.

ここで、ガラスクロスの誘電正接を低下させるべく、特許文献3、及び4は、シリカガラスクロスを高温で加熱することで、ガラス表面のシラノール基量を低下させることを報告している。また、ガラスクロスのドリル加工工程におけるドリル寿命を延ばすべく、特許文献5は、軟化点が1000~1600℃のガラス繊維を紡糸することでガラスヤーンを得ること、また、かかるガラスヤーンを用いてガラスクロスを作製することを報告している。 Here, Patent Documents 3 and 4 report that in order to reduce the dielectric loss tangent of glass cloth, the amount of silanol groups on the glass surface is reduced by heating silica glass cloth at high temperatures. Furthermore, in order to extend the life of drills in the glass cloth drilling process, Patent Document 5 reports obtaining glass yarn by spinning glass fibers with a softening point of 1000 to 1600°C, and producing glass cloth using such glass yarn.

国際公開第2019/065940号International Publication No. 2019/065940 国際公開第2019/065941号International Publication No. 2019/065941 特開2021-63320号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2021-63320 特開2021-195689号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2021-195689 特開2023-131220号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2023-131220

しかしながら、特許文献1~5に記載の従来技術に対して、優れた誘電特性、及び優れた絶縁信頼性を有するガラスクロスを実現できることは前提として、その上、白化距離の小さい樹脂基板を得ることができる技術については、その創出が強く求められている状況があった。
ここで、本件発明者らが着目した「白化距離」とは、ガラスクロスとマトリックス樹脂との間の界面剥離の程度を表した指標の一つである。絶縁信頼性に優れたガラスクロスほど、白化距離が小さい樹脂基板を与え易い。
However, compared to the conventional technologies described in Patent Documents 1 to 5, there has been a strong demand for the creation of a technology that can obtain a resin substrate with a small whitening distance, on the premise that a glass cloth having excellent dielectric properties and excellent insulation reliability can be realized.
Here, the "whitening distance" that the present inventors focused on is one of the indicators that represents the degree of interfacial peeling between the glass cloth and the matrix resin. The more excellent the insulation reliability of a glass cloth, the more likely it is to provide a resin substrate with a small whitening distance.

本開示は、優れた誘電特性、及び優れた絶縁信頼性を実現できること、その上、白化距離の小さい樹脂基板を得ることができること、を実現可能なガラスクロスを提供することを目的とする。
また、本開示は、上記ガラスクロスを用いて実現される、プリプレグ、及びプリント配線板を提供すること、また、上記ガラスクロスの製造方法を提供すること、等を目的とする。
An object of the present disclosure is to provide a glass cloth that can realize excellent dielectric properties and excellent insulation reliability, and that can also provide a resin substrate with a small whitening distance.
Another object of the present disclosure is to provide a prepreg and a printed wiring board that are realized using the glass cloth, and to provide a method for producing the glass cloth.

本開示の態様の一例によれば、ガラスクロスの誘電特性を確保しつつ、樹脂基板における白化距離を低減可能である。
すなわち、本件発明者らは、本開示の態様の一例により、誘電特性に優れたガラスクロスでありながら、しかも得られる樹脂基板の白化距離が小さいという、絶縁信頼性にも優れたガラスクロスを提供できることを初めて見出した。
本開示の態様の一例は、以下のとおりである。
According to one example of the aspects of the present disclosure, it is possible to reduce the whitening distance in a resin substrate while maintaining the dielectric properties of the glass cloth.
That is, the present inventors have discovered for the first time that an example of an embodiment of the present disclosure can provide a glass cloth that has excellent dielectric properties and also has excellent insulation reliability, in that the whitening distance of the resulting resin substrate is small.
An example of an aspect of the present disclosure is as follows.

[1]
ガラス糸を製織して成るガラスクロスであって、
前記ガラスクロスは、表面処理剤で表面処理されており、
前記ガラスクロスの総炭素量と、フーリエ変換赤外分光法によって測定される、カルボニル基由来のピーク高さと、から求められる下記式A:
式A=カルボニル基由来のピーク高さ/ガラスクロスの総炭素量
の値が10以上であり、
白色スポットが10個/m以下である、ガラスクロス。
[2]
ガラス糸を製織して成るガラスクロスであって、
前記ガラスクロスは、表面処理剤で表面処理をされており、
前記ガラスクロスの強熱減量値と、フーリエ変換赤外分光法によって測定される、カルボニル基由来のピーク高さと、から求められる下記式B:
式B=カルボニル基由来のピーク高さ/ガラスクロスの強熱減量値
の値が11以上であり、
白色スポットが10個/m以下である、ガラスクロス。
[3]
前記ガラス糸におけるケイ素(Si)含有量が、二酸化ケイ素(SiO2)換算で95.0~100質量%である、項目1又は2に記載のガラスクロス。
[4]
10GHzにおける誘電正接が0.002以下である、項目1~3のいずれか1項に記載のガラスクロス。
[5]
前記ガラス糸を構成するガラスの、10GHzにおけるバルク誘電正接が0.002以下である、項目1~4のいずれか1項に記載のガラスクロス。
[6]
前記表面処理剤がシランカップリング剤を含む、項目1~5のいずれか1項に記載のガラスクロス。
[7]
前記表面処理剤が、下記式(1):
3-nSiYn ・・・(1)
(式中、Xは、各々独立しており、異なる有機官能基を含んでよく、X中にカルボニル基及び不飽和炭素二重結合をそれぞれ合計で2つ以上ずつを有する官能基で構成されており、Yは、各々独立して、アルコキシ基であり、nは、1以上3以下の整数である。)
で示されるシランカップリング剤を含む、項目1~6のいずれか1項に記載のガラスクロス。
[8]
前記不飽和炭素二重結合が、アクリロイル基、及びメタクリロイル基の少なくとも一方に由来される結合である、項目7に記載のガラスクロス。
[9]
前記ガラスクロスの強熱減量値が、0.01~0.5質量%の範囲である、項目1~8のいずれか1項に記載のガラスクロス。
[10]
前記ガラスクロスの経糸、及び緯糸のそれぞれ糸幅から算出される平均開繊度が40%超である、項目1~9のいずれか1項に記載のガラスクロス。
[11]
前記ガラスクロスの総炭素量が、0.01~0.8質量%の範囲である、項目1~10のいずれか1項に記載のガラスクロス。
[12]
項目1~11のいずれか1項に記載のガラスクロスと、マトリックス樹脂と、を含有する、プリプレグ。
[13]
項目12に記載のプリプレグを含む、プリント配線板。
[14]
項目13に記載のプリント配線板を含む、集積回路。
[15]
項目13に記載のプリント配線板を含む、電子機器。
[16]
ガラス糸を製織して成るガラスクロスの製造方法であって、
分子量が200以上である表面処理剤を含む表面処理液を用いて前記ガラス糸を処理する、表面処理工程を有し、
前記表面処理工程は、
前記表面処理剤に溶媒を添加して前記表面処理液を調合する工程;
前記表面処理液の温度を制御する工程;
前記表面処理液のpHを制御する工程;及び
前記表面処理液を濾過する工程;
の少なくとも一つの工程を含む、ガラスクロスの製造方法。
[17]
前記表面処理工程は、
脱油処理したガラス糸を、表面処理剤で表面処理する工程を含み、
前記表面処理剤は、下記式(1):
3-nSiYn ・・・(1)
(式中、Xは、各々独立しており、異なる有機官能基を含んでよく、X中にカルボニル基及び不飽和炭素二重結合をそれぞれ合計で2つ以上ずつを有する官能基で構成されており、Yは、各々独立して、アルコキシ基であり、nは、1以上3以下の整数である。)
で示されるシランカップリング剤を含む、項目15に記載のガラスクロスの製造方法。
[18]
前記表面処理工程は、
前記表面処理液の温度、及びpHを制御する工程と、
前記表面処理液を濾過する工程と、を含む、項目16又は17に記載のガラスクロスの製造方法。
[19]
前記表面処理工程の後、ガラス糸を開繊処理する工程を更に含む、項目16~18のいずれか1項に記載のガラスクロスの製造方法。
[20]
前記ガラスクロスの白色スポットを検査する工程を更に含む、項目16~19のいずれか1項に記載のガラスクロスの製造方法。
[21]
前記ガラスクロスにおけるカルボニル基由来のピーク高さを、フーリエ変換赤外分光法を用いて測定する工程を含む、項目16~20のいずれか1項に記載のガラスクロスの製造方法。
[22]
ガラス糸を製織して成るガラスクロスを対象とした、試験方法であって、
前記ガラスクロスは、表面処理剤で表面処理されたものであり、
前記試験方法は、
前記ガラスクロスにおけるカルボニル基由来のピーク高さと、前記ガラスクロスの総炭素量又は前記ガラスクロスの強熱減量値と、に基づき、前記ガラスクロスの白色スポットを検査する工程を含む、試験方法。
[1]
A glass cloth made by weaving glass yarn,
the glass cloth is surface-treated with a surface treatment agent,
The following formula A is calculated from the total carbon amount of the glass cloth and the peak height derived from the carbonyl group measured by Fourier transform infrared spectroscopy:
Formula A=peak height derived from carbonyl groups/total carbon content of the glass cloth is 10 or more,
A glass cloth having 10 or less white spots per square meter.
[2]
A glass cloth made by weaving glass yarn,
The glass cloth is surface-treated with a surface treatment agent,
The following formula B is calculated from the ignition loss value of the glass cloth and the peak height derived from the carbonyl group measured by Fourier transform infrared spectroscopy:
Formula B = peak height derived from carbonyl groups / ignition loss value of glass cloth is 11 or more,
A glass cloth having 10 or less white spots per square meter.
[3]
3. The glass cloth according to item 1 or 2, wherein the silicon (Si) content in the glass yarn is 95.0 to 100% by mass in terms of silicon dioxide (SiO 2 ).
[4]
4. The glass cloth according to any one of items 1 to 3, having a dielectric loss tangent at 10 GHz of 0.002 or less.
[5]
5. The glass cloth according to any one of items 1 to 4, wherein the glass constituting the glass yarns has a bulk dielectric loss tangent of 0.002 or less at 10 GHz.
[6]
6. The glass cloth according to any one of items 1 to 5, wherein the surface treatment agent comprises a silane coupling agent.
[7]
The surface treatment agent is represented by the following formula (1):
X 3-n SiY n ...(1)
(In the formula, each X is independent and may contain a different organic functional group, and is composed of a functional group having a total of two or more carbonyl groups and two or more unsaturated carbon-carbon double bonds in X; each Y is independently an alkoxy group; and n is an integer of 1 or more and 3 or less.)
7. The glass cloth according to any one of items 1 to 6, comprising a silane coupling agent represented by the formula:
[8]
8. The glass cloth according to item 7, wherein the unsaturated carbon-carbon double bond is a bond derived from at least one of an acryloyl group and a methacryloyl group.
[9]
Item 9. The glass cloth according to any one of items 1 to 8, wherein the ignition loss value of the glass cloth is in the range of 0.01 to 0.5 mass%.
[10]
10. The glass cloth according to any one of items 1 to 9, wherein an average degree of opening calculated from the yarn width of each of the warp yarns and the weft yarns of the glass cloth is more than 40%.
[11]
Item 11. The glass cloth according to any one of items 1 to 10, wherein the total carbon content of the glass cloth is in the range of 0.01 to 0.8 mass%.
[12]
Item 12. A prepreg comprising the glass cloth according to any one of items 1 to 11 and a matrix resin.
[13]
Item 13. A printed wiring board comprising the prepreg according to item 12.
[14]
Item 14. An integrated circuit comprising the printed wiring board according to item 13.
[15]
Item 14. An electronic device comprising the printed wiring board according to item 13.
[16]
A method for manufacturing a glass cloth by weaving glass yarns,
a surface treatment step of treating the glass fiber with a surface treatment liquid containing a surface treatment agent having a molecular weight of 200 or more;
The surface treatment step includes:
a step of adding a solvent to the surface treatment agent to prepare the surface treatment liquid;
controlling the temperature of the surface treatment solution;
controlling the pH of the surface treatment solution; and filtering the surface treatment solution;
A method for producing glass cloth, comprising at least one of the steps:
[17]
The surface treatment step includes:
The method includes a step of surface-treating the deoiled glass fiber with a surface treatment agent,
The surface treatment agent has the following formula (1):
X 3-n SiY n ...(1)
(In the formula, each X is independent and may contain a different organic functional group, and is composed of a functional group having a total of two or more carbonyl groups and two or more unsaturated carbon-carbon double bonds in X; each Y is independently an alkoxy group; and n is an integer of 1 or more and 3 or less.)
Item 16. The method for producing glass cloth according to item 15, comprising the step of:
[18]
The surface treatment step includes:
controlling the temperature and pH of the surface treatment solution;
Item 18. The method for producing glass cloth according to Item 16 or 17, further comprising the step of filtering the surface treatment liquid.
[19]
Item 19. The method for producing a glass cloth according to any one of Items 16 to 18, further comprising a step of subjecting the glass yarns to an opening treatment after the surface treatment step.
[20]
20. The method for producing a glass cloth according to any one of items 16 to 19, further comprising inspecting the glass cloth for white spots.
[21]
21. A method for producing a glass cloth according to any one of items 16 to 20, comprising a step of measuring a peak height derived from a carbonyl group in the glass cloth by Fourier transform infrared spectroscopy.
[22]
A test method for glass cloth made by weaving glass yarn,
the glass cloth is surface-treated with a surface treatment agent,
The test method comprises:
a step of inspecting the glass cloth for white spots based on the height of a peak derived from a carbonyl group in the glass cloth and the total carbon content of the glass cloth or the ignition loss value of the glass cloth.

本開示によれば、優れた誘電特性、及び優れた絶縁信頼性を実現できること、その上、白化距離の小さい樹脂基板を得ることができること、を実現可能なガラスクロスを提供することができる。
また、本開示によれば、上記ガラスクロスを用いて実現される、プリプレグ、プリント配線板、集積回路、及び電子機器を提供すること、また、上記ガラスクロスの製造方法を提供すること、等ができる。
According to the present disclosure, it is possible to provide a glass cloth that can realize excellent dielectric properties and excellent insulation reliability, and further, can obtain a resin substrate with a small whitening distance.
Furthermore, according to the present disclosure, it is possible to provide a prepreg, a printed wiring board, an integrated circuit, and an electronic device that are realized using the glass cloth, and to provide a method for manufacturing the glass cloth, etc.

本実施例における、検量線について説明するための図。FIG. 4 is a diagram for explaining a calibration curve in this embodiment. 本実施例における、白色スポットについて説明するための図。5A and 5B are diagrams for explaining white spots in the present embodiment.

以下、本開示の実施形態(以下、「本実施形態」という。)について説明する。ただし、本発明は、本実施形態のみに限定されず、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。 The following describes an embodiment of the present disclosure (hereinafter referred to as the "present embodiment"). However, the present invention is not limited to this embodiment, and various modifications are possible without departing from the spirit of the present invention.

本明細書中、同一符号で表される構造が同一式中に複数存在する場合、別途規定しない限り、該構造は、それぞれ独立して選択されてよく、また、互いに同一でも異なってもよい。同一符号で表される構造が互いに異なる式中に複数存在する場合も、別途規定しない限り、該構造は、それぞれ独立して選択されてよく、また、互いに同一でも異なってもよい。本明細書中、各種の測定は、特に断りがない限り、実施例に記載の手法に基づいて行われる。本明細書中、段階的な記載の数値範囲における上限値又は下限値は、対応する他の段階的な記載の数値範囲における上限値又は下限値に置き換わってよく、更に、実施例に記載の、対応する値に置き換わってよい。 In this specification, when multiple structures represented by the same symbol exist in the same formula, unless otherwise specified, the structures may be independently selected and may be the same or different from each other. When multiple structures represented by the same symbol exist in different formulas, the structures may be independently selected and may be the same or different from each other, unless otherwise specified. In this specification, various measurements are performed based on the methods described in the Examples unless otherwise specified. In this specification, the upper or lower limit of a numerical range described in stages may be replaced by the upper or lower limit of a corresponding numerical range described in another stage, and may also be replaced by the corresponding value described in the Examples.

本明細書中、「工程」について、独立した工程である場合のみならず、他の工程と明確に区別できない場合でも、その工程の機能が達成されれば本用語に含まれる。図面に示される内容において、縮尺、形状及び長さは、明確性を更に図るために、誇張して示されている場合がある。In this specification, the term "process" includes not only independent processes but also processes that cannot be clearly distinguished from other processes, as long as the function of the process is achieved. In the drawings, the scale, shape, and length may be exaggerated for clarity.

[ガラスクロス]
本実施形態のガラスクロスは、ガラス糸を製織して成るガラスクロスであり、例えば、複数本のガラスフィラメントから成るガラス糸を、経糸、及び緯糸として製織して成るガラスクロスである。
[Glass cloth]
The glass cloth of this embodiment is a glass cloth made by weaving glass yarns, for example, a glass cloth made by weaving glass yarns made of a plurality of glass filaments as warp and weft yarns.

本実施形態の一態様において、
ガラスクロスは、表面処理剤で表面処理されており、
ガラスクロスの総炭素量と、フーリエ変換赤外分光法によって測定される、カルボニル基由来のピーク高さと、から求められる下記式A:
式A=カルボニル基由来のピーク高さ/ガラスクロスの総炭素量
の値が10以上であり、
白色スポットが10個/m以下(例えば、10.0個/m以下)である。
In one aspect of this embodiment,
The glass cloth is surface treated with a surface treatment agent.
The carbon content of the glass cloth is calculated from the total carbon content and the peak height derived from the carbonyl group measured by Fourier transform infrared spectroscopy using the following formula A:
Formula A=peak height derived from carbonyl groups/total carbon content of the glass cloth is 10 or more,
The number of white spots is 10 or less per square meter (for example, 10.0 or less per square meter).

また、本実施形態の更なる一態様において、
ガラスクロスは、表面処理剤で表面処理が成されており、
ガラスクロスの強熱減量値と、フーリエ変換赤外分光法によって測定される、カルボニル基由来のピーク高さと、から求められる下記式B:
式B=カルボニル基由来のピーク高さ/ガラスクロスの強熱減量値
の値が11以上であり、
白色スポットが10個/m(例えば、10.0個/m以下)以下である。
In addition, in a further aspect of this embodiment,
The glass cloth is surface treated with a surface treatment agent.
The following formula B is calculated from the ignition loss value of the glass cloth and the peak height derived from the carbonyl group measured by Fourier transform infrared spectroscopy:
Formula B=peak height derived from carbonyl groups/ignition loss value of glass cloth is 11 or more,
The number of white spots is 10 or less per square meter (for example, 10.0 or less per square meter ).

本実施形態によれば、白化距離が小さい樹脂基板(代表的には、プリント配線板が挙げられる。)を与えることができることと、優れた誘電特性、及び絶縁信頼性を示すことと、を実現可能なガラスクロスを提供することができる。本実施形態のガラスクロスは、プリプレグ、プリント配線板、集積回路、及び電子機器、等を作製するための材料として好適である。 According to this embodiment, it is possible to provide a glass cloth that can produce a resin substrate (typically a printed wiring board) with a small whitening distance and that exhibits excellent dielectric properties and insulation reliability. The glass cloth of this embodiment is suitable as a material for producing prepregs, printed wiring boards, integrated circuits, electronic devices, etc.

〔表面処理〕
本実施形態のガラスクロスは、表面処理剤で表面処理されている。
表面処理されたガラスクロスは、その表面に表面処理剤が付着している。逆に言えば、ガラスクロスの表面に表面処理剤が付着している場合、本開示の「表面処理剤で表面処理されている」に該当する。ここで、「ガラスクロスの表面」には、「ガラスクロスを構成するガラス糸の表面」が含まれる。
表面処理剤の検出方法、表面処理剤の種類、及び表面処理の手法等、表面処理についての具体的態様の一例については、後述する。
[Surface treatment]
The glass cloth of this embodiment is surface-treated with a surface treatment agent.
A surface-treated glass cloth has a surface treatment agent attached to its surface. Conversely, when a surface treatment agent is attached to the surface of a glass cloth, this corresponds to "surface-treated with a surface treatment agent" in the present disclosure. Here, "the surface of the glass cloth" includes "the surface of the glass yarn that constitutes the glass cloth."
Specific examples of the surface treatment, such as a method for detecting a surface treatment agent, types of surface treatment agents, and surface treatment techniques, will be described later.

〔カルボニル基由来のピーク高さ〕
ラジカル反応性に優れた表面処理剤は、アクリロイル基、及びメタクリロイル基等に代表される、カルボニル基を有する成分を含んでいる。フーリエ変換赤外分光法では、カルボニル基に由来して、特有の位置に明確なピークが検出されることから、フーリエ変換赤外分光法は、ガラスクロスにどの程度、アクリロイル基、及びメタクリロイル基等が導入されているか、の評価として用いることができる。
[Peak height derived from carbonyl group]
Surface treatment agents with excellent radical reactivity contain components having carbonyl groups, such as acryloyl groups and methacryloyl groups. Fourier transform infrared spectroscopy detects clear peaks at specific positions due to carbonyl groups, and therefore, can be used to evaluate the extent to which acryloyl groups, methacryloyl groups, etc. have been introduced into the glass cloth.

フーリエ変換赤外分光法を用いる場合、受光部の感度、及び測定誤差等の影響で、得られる結果が変化する可能性がある。この点、既知の表面処理剤で表面処理され、かつ、表面処理剤の付着量が既知であるガラスクロスに基づき、検量線を作成することが好ましい。かかる検量線を用いることで、カルボニル基由来のピーク高さが、再現性良く得られ易い。When using Fourier transform infrared spectroscopy, the results may vary due to factors such as the sensitivity of the light-receiving element and measurement error. In this regard, it is preferable to create a calibration curve based on glass cloth that has been surface-treated with a known surface treatment agent and has a known amount of the agent attached. Using such a calibration curve makes it easier to obtain reproducible peak heights derived from carbonyl groups.

〔ガラスクロスの総炭素量〕
ガラスクロスの総炭素量は、ガラスクロスを熱分解させたときに発生する二酸化炭素量を測定する手法、具体的には、実施例に記載の手法により測定される。ガラスクロスへの表面処理剤の付着量が多いほど、総炭素量も多くなる傾向があることから、本開示の測定手法によれば、ガラスクロスへの表面処理剤の付着量を簡便に評価し易い。
[Total carbon content of glass cloth]
The total carbon content of the glass cloth is measured by a method for measuring the amount of carbon dioxide generated when the glass cloth is pyrolyzed, specifically, by the method described in the Examples. Since the total carbon content tends to increase as the amount of surface treatment agent attached to the glass cloth increases, the measurement method of the present disclosure makes it easy to simply evaluate the amount of surface treatment agent attached to the glass cloth.

ガラスクロスの総炭素量は、0.01~0.8質量%が好ましく、0.01~0.6質量%が好ましく、0.01~0.5質量%が更に好ましく、0.01~0.4質量%がより更に好ましく、0.01~0.3質量%又は0.02~0.20又は0.03~0.15又は0.03~0.10が特に好ましい。総炭素量が0.01質量%未満であると、ガラスクロスに付着している表面処理剤の量が不十分である場合が多く、この場合、絶縁不良が生じ易い。ガラスクロスの総炭素量が0.8質量%超であると、ガラスクロスの誘電正接が高い場合が多く、この場合、ガラスクロスの低誘電正接化を図ることが難しい。 The total carbon content of the glass cloth is preferably 0.01 to 0.8% by mass, more preferably 0.01 to 0.6% by mass, more preferably 0.01 to 0.5% by mass, even more preferably 0.01 to 0.4% by mass, and particularly preferably 0.01 to 0.3% by mass, 0.02 to 0.20%, 0.03 to 0.15, or 0.03 to 0.10% by mass. If the total carbon content is less than 0.01% by mass, the amount of surface treatment agent adhered to the glass cloth is often insufficient, which is likely to result in poor insulation. If the total carbon content of the glass cloth exceeds 0.8% by mass, the dielectric loss tangent of the glass cloth is often high, making it difficult to achieve a low dielectric loss tangent of the glass cloth.

(カルボニル基由来のピーク高さと、ガラスクロスの総炭素量と、の関係)
本実施形態のガラスクロスは、
ガラスクロスの総炭素量と、フーリエ変換赤外分光法によって測定される、カルボニル基由来のピーク高さと、から求められる下記式A:
式A=カルボニル基由来のピーク高さ/ガラスクロスの総炭素量
の値が10以上である。
(Relationship between peak height derived from carbonyl group and total carbon content of glass cloth)
The glass cloth of this embodiment is
The carbon content of the glass cloth is calculated from the total carbon content and the peak height derived from the carbonyl group measured by Fourier transform infrared spectroscopy using the following formula A:
The value of formula A=peak height derived from carbonyl groups/total carbon amount of the glass cloth is 10 or more.

式Aの値が10以上であることは、ガラスクロスに付着する表面処理剤のうち、反応性に優れた成分(カルボニル基を有する成分)の割合が多いことを意味する。
ここで、本件発明者らによる着想の一つは、上記「カルボニル基由来のピーク高さ」と、上記「ガラスクロスの総炭素量」と、に着目し、そして両者を比(カルボニル基由来のピーク高さ/ガラスクロスの総炭素量)として構成することである。そして、本件発明者らによる着想の一つに基づくことで、式Aの値が10以上という高い値を有しているガラスクロスが特定される。
本実施形態によれば、式Aの値が高い値を有するため、白化距離が小さい樹脂基板を与えることができるガラスクロスを提供すること、かつ、優れた誘電特性、及び絶縁信頼性を示すガラスクロスを提供すること、ができる。
A value of 10 or more in formula A means that the proportion of highly reactive components (components having carbonyl groups) in the surface treatment agent adhered to the glass cloth is high.
Here, one of the ideas of the present inventors is to focus on the "peak height derived from carbonyl groups" and the "total carbon content of the glass cloth" and to define the ratio between them (peak height derived from carbonyl groups/total carbon content of the glass cloth). Based on one of the ideas of the present inventors, a glass cloth having a high value of 10 or more in the formula A can be specified.
According to this embodiment, since the value of formula A is high, it is possible to provide a glass cloth that can give a resin substrate with a small whitening distance, and also to provide a glass cloth that exhibits excellent dielectric properties and insulation reliability.

式Aの値は、10以上(例えば、10.0以上)であり、10超(例えば、10.0超)が好ましく、11以上(例えば、11.0以上)が好ましく、12以上(例えば、12.0以上)がより好ましく、13以上(例えば、13.0以上)が更に好ましく、15(例えば、15.0以上)以上がより更に好ましく、19(例えば、19.0以上)以上が特に好ましい。式Aの値が10以上であることで、ガラスクロスとマトリックス樹脂との密着性を確保でき、これにより、得られる樹脂基板における白化距離を小さくすることができる。式Aの値は、60以下(例えば、60.0以下)でよい。The value of Formula A is 10 or more (e.g., 10.0 or more), preferably greater than 10 (e.g., greater than 10.0), preferably 11 or more (e.g., 11.0 or more), more preferably 12 or more (e.g., 12.0 or more), even more preferably 13 or more (e.g., 13.0 or more), even more preferably 15 (e.g., 15.0 or more), and particularly preferably 19 or more (e.g., 19.0 or more). Having a value of Formula A of 10 or more ensures adhesion between the glass cloth and the matrix resin, thereby reducing the whitening distance in the resulting resin substrate. The value of Formula A may be 60 or less (e.g., 60.0 or less).

〔ガラスクロスの強熱減量値〕
ガラスクロスの強熱減量値は、該ガラスクロス(表面処理後のガラスクロス)について加熱脱油する手法、具体的には、実施例に記載の手法により測定される。ガラスクロスへの表面処理剤の付着量が多いほど、強熱減量値も多くなる傾向があることから、本開示の測定手法によれば、ガラスクロスへの表面処理剤の付着量を簡便に評価し易い。
[Ignition loss value of glass cloth]
The ignition loss value of the glass cloth is measured by a method of thermally deoiling the glass cloth (surface-treated glass cloth), specifically, by the method described in the Examples. Since the ignition loss value tends to increase as the amount of surface treatment agent attached to the glass cloth increases, the measurement method of the present disclosure makes it easy to simply evaluate the amount of surface treatment agent attached to the glass cloth.

ガラスクロスの強熱減量値は、0.01~0.5質量%又は0.01~0.4質量%又は0.01~0.3質量%が好ましく、0.02~0.25質量%がより好ましく、0.03~0.22質量%が更に好ましく、0.03~0.17質量%がより更に好ましく、0.04~0.15質量%が特に好ましい。強熱減量値が0.01質量%以上であれば、得られるプリプレグにおいて樹脂とガラスクロスとの接着が良好になり易い。この場合、プリント配線板を作製にしたとき、耐熱性、及び絶縁信頼性を確保し易い。ガラスクロスの強熱減量値が0.5質量%以下であれば、ガラスクロス表面と化学結合を形成せずに物理付着している表面処理剤(又はその残留物)、水洗浄でガラスクロス表面から低減できない表面処理剤(又はその残留物)、及び/又はそれらの変性物が、ガラスクロス表面上に多く存在する事態を回避し易い。この場合、ガラスクロスの低誘電正接化を図り易い。The ignition loss value of the glass cloth is preferably 0.01 to 0.5% by mass, 0.01 to 0.4% by mass, or 0.01 to 0.3% by mass, more preferably 0.02 to 0.25% by mass, even more preferably 0.03 to 0.22% by mass, even more preferably 0.03 to 0.17% by mass, and particularly preferably 0.04 to 0.15% by mass. An ignition loss value of 0.01% by mass or greater tends to ensure good adhesion between the resin and glass cloth in the resulting prepreg. In this case, heat resistance and insulation reliability are easily ensured when a printed wiring board is produced. An ignition loss value of 0.5% by mass or less tends to avoid the presence of large amounts of surface treatment agents (or their residues) physically adhered to the glass cloth surface without forming chemical bonds with it, surface treatment agents (or their residues) that cannot be removed from the glass cloth surface by water washing, and/or modified products thereof, on the glass cloth surface. In this case, it is easy to reduce the dielectric loss tangent of the glass cloth.

(カルボニル基由来のピーク高さと、ガラスクロスの強熱減量値と、の関係)
本実施形態のガラスクロスは、
ガラスクロスの強熱減量値と、フーリエ変換赤外分光法によって測定される、カルボニル基由来のピーク高さと、から求められる下記式B:
式B=カルボニル基由来のピーク高さ/ガラスクロスの強熱減量値
の値が11以上である。
(Relationship between the peak height derived from carbonyl groups and the ignition loss value of glass cloth)
The glass cloth of this embodiment is
The following formula B is calculated from the ignition loss value of the glass cloth and the peak height derived from the carbonyl group measured by Fourier transform infrared spectroscopy:
Formula B=peak height derived from carbonyl group/ignition loss value of glass cloth is 11 or more.

式Bの値が11以上であることは、ガラスクロスに付着する表面処理剤のうち、反応性に優れた成分(カルボニル基を有する成分)の割合が多いことを意味する。
ここで、本件発明者らによる着想の一つは、上記「カルボニル基由来のピーク高さ」と、上記「ガラスクロスの強熱減量値」と、に着目し、そして両者を比(カルボニル基由来のピーク高さ/ガラスクロスの強熱減量値)として構成することである。そして、本件発明者らによる着想の一つに基づくことで、式Bの値が11以上という高い値を有しているガラスクロスが特定される。
本実施形態によれば、式Bの値が高い値を有するため、白化距離が小さい樹脂基板を与えることができるガラスクロスを提供すること、かつ、優れた誘電特性、及び絶縁信頼性を示すガラスクロスを提供すること、ができる。
A value of 11 or more in formula B means that the proportion of highly reactive components (components having carbonyl groups) in the surface treatment agent adhered to the glass cloth is high.
Here, one of the ideas of the present inventors is to focus on the "peak height derived from carbonyl groups" and the "ignition loss value of glass cloth" and to define the ratio between them (peak height derived from carbonyl groups/ignition loss value of glass cloth). Based on one of the ideas of the present inventors, a glass cloth having a high value of 11 or more in the formula B is specified.
According to this embodiment, since the value of formula B is high, it is possible to provide a glass cloth that can give a resin substrate with a small whitening distance, and also to provide a glass cloth that exhibits excellent dielectric properties and insulation reliability.

式Bの値は、11以上(例えば、11.0以上)であり、11超(例えば、11.0超)が好ましく、12以上(例えば、12.0以上)が好ましく、13以上(例えば、13.0以上)がより好ましく、14以上(例えば、14.0以上)が更に好ましく、15以上(例えば、15.0以上)が特に好ましい。式Bの値が11以上であることで、ガラスクロスとマトリックス樹脂との密着性を確保でき、これにより、得られる樹脂基板の白化距離を小さくすることができる。式Bの値は、60以下(例えば、60.0以下)でよい。 The value of Formula B is 11 or more (e.g., 11.0 or more), preferably greater than 11 (e.g., greater than 11.0), preferably 12 or more (e.g., 12.0 or more), more preferably 13 or more (e.g., 13.0 or more), even more preferably 14 or more (e.g., 14.0 or more), and particularly preferably 15 or more (e.g., 15.0 or more). Having a value of Formula B of 11 or more ensures adhesion between the glass cloth and the matrix resin, thereby reducing the whitening distance of the resulting resin substrate. The value of Formula B may be 60 or less (e.g., 60.0 or less).

〔誘電正接〕
(ガラスクロスの誘電正接)
本実施形態のガラスクロスは、10GHzにおける誘電正接が0.002以下であることが好ましい。このようなガラスクロスであれば、誘電特性の向上を図ることができる、プリプレグ、及びプリント配線板を提供することができる。誘電特性の向上を図る観点から、10GHzにおけるガラスクロスの誘電正接は、0.0015以下、0.0010以下、0.0007以下、0.0006以下、0.0005以下、0.0004以下、0.0003以下又は0.0002以下であることが好ましい。ガラスクロスの誘電正接は、0超えでよい。
[Dielectric loss tangent]
(Dielectric loss tangent of glass cloth)
The glass cloth of this embodiment preferably has a dielectric loss tangent of 0.002 or less at 10 GHz. Such a glass cloth can provide a prepreg and a printed wiring board that can improve the dielectric properties. From the viewpoint of improving the dielectric properties, the dielectric loss tangent of the glass cloth at 10 GHz is preferably 0.0015 or less, 0.0010 or less, 0.0007 or less, 0.0006 or less, 0.0005 or less, 0.0004 or less, 0.0003 or less, or 0.0002 or less. The dielectric loss tangent of the glass cloth may be greater than 0.

(誘電正接の測定方法)
本実施形態のガラスクロスについて、10GHzにおける誘電正接は、スプリットシリンダー共振器を用いる手法(共振法を用いる手法)、具体的には、実施例に記載の手法により測定される。
かかる手法によれば、測定サンプルとしての基板を作製して誘電特性を評価する、という従来の測定方法に比べて、簡便かつ精度よく測定し易い。この理由としては、理論に限定されないが、共振法が、高周波数領域で評価すること、特に、低損失材料を評価すること、に適しているためである。
共振法以外の、誘電特性を評価する手法としては、例えば、集中定数法、及び反射伝送法が知られている。しかしながら、集中定数法では、測定サンプルを2枚の電極で挟んでコンデンサを形成する必要があるため、オペレーションが煩雑になり易いという問題点があった。また、反射伝送法では、低損失材料を評価する場合、ポートのマッチング特性の影響が強く表れるため、測定サンプルの誘電正接を高精度に評価することが難しい、という問題点があった。
以上のことから、共振法を用いる手法、具体的には、実施例に記載の手法に基づくことで、ガラスクロスの誘電正接を簡便かつ精度よく測定し易い。
(Method for measuring dielectric loss tangent)
The dielectric loss tangent at 10 GHz of the glass cloth of this embodiment is measured by a method using a split cylinder resonator (a method using a resonance method), specifically, by the method described in the Examples.
This method allows for simpler and more accurate measurement than conventional methods in which a substrate is fabricated as a measurement sample and the dielectric properties are evaluated. The reason for this, without being limited by theory, is that the resonance method is suitable for evaluation in the high frequency range, particularly for evaluation of low-loss materials.
Other than the resonance method, other methods for evaluating dielectric properties include the lumped parameter method and the reflection transmission method. However, the lumped parameter method requires the measurement sample to be sandwiched between two electrodes to form a capacitor, which can be a problem in that the operation can be complicated. Furthermore, when evaluating low-loss materials, the reflection transmission method is subject to the strong influence of the port matching characteristics, making it difficult to accurately evaluate the dielectric loss tangent of the measurement sample.
From the above, it is possible to easily and accurately measure the dielectric loss tangent of a glass cloth by using a technique that uses a resonance method, specifically, by using the technique described in the examples.

プリント配線板に用いられるガラスクロス、特に、高速通信用プリント配線板に用いられるガラスクロスについて、その誘電特性を測定するための測定機器は、所定の測定可能範囲を有することが好ましい。例えば、誘電率(Dk)、及び誘電正接(Df)について、測定機器は、それぞれ、Dk=1.1Fm-1~50Fm-1、及びDf=1.0×10-6~1.0×10-1の測定可能範囲を有することが好ましく、Dk=1.5Fm-1~10Fm-1、及びDf=1.0×10-5~5.0×10-1の測定可能範囲を有することがより好ましく、Dk=2.0Fm-1~5Fm-1、及びDf=5.0×10-5~1.0×10-2の測定可能範囲を有することが更に好ましい。 For glass cloth used in printed wiring boards, particularly for high-speed communication printed wiring boards, it is preferable that a measuring instrument for measuring the dielectric properties thereof has a predetermined measurable range. For example, for the dielectric constant (Dk) and dielectric loss tangent (Df), the measuring instrument preferably has measurable ranges of Dk = 1.1 Fm -1 to 50 Fm -1 and Df = 1.0 × 10 -6 to 1.0 × 10 -1 , respectively, more preferably Dk = 1.5 Fm -1 to 10 Fm -1 and Df = 1.0 × 10 -5 to 5.0 × 10 -1 , and even more preferably Dk = 2.0 Fm -1 to 5 Fm -1 and Df = 5.0 × 10 -5 to 1.0 × 10 -2 .

また、誘電特性を測定するための測定機器が測定可能な周波数は、10GHz以上であることが好ましい。測定可能な周波数が10GHz以上であれば、周波数帯領域での特性、特に、高速通信用プリント配線板用のガラスクロスとして実際に使用される場合に想定される周波数帯領域での特性、等を評価し易い。 Furthermore, it is preferable that the measuring equipment for measuring dielectric properties be capable of measuring frequencies of 10 GHz or higher. Measurable frequencies of 10 GHz or higher make it easier to evaluate characteristics in frequency band regions, particularly characteristics in frequency band regions expected when the material is actually used as glass cloth for printed wiring boards for high-speed communications.

誘電特性の測定面積は、10mm以上であることが好ましく、15mm以上であることがより好ましく、20mm以上であることが更に好ましい。これによれば、得られる測定結果の信頼性を高め易く、従って、得られる測定結果が、予め設定された基準値の範囲内であるか否か、を好適に判定し易い。 The area for measuring the dielectric properties is preferably 10 mm2 or more, more preferably 15 mm2 or more, and even more preferably 20 mm2 or more. This makes it easier to improve the reliability of the measurement results obtained, and therefore makes it easier to determine whether the measurement results obtained are within a predetermined reference value range.

測定サンプルの厚みは、3μm~300μmであることが好ましく、5μm~200μmがより好ましく、7μm~150μmが更に好ましい。 The thickness of the measurement sample is preferably 3 μm to 300 μm, more preferably 5 μm to 200 μm, and even more preferably 7 μm to 150 μm.

(バルク誘電正接)
本実施形態のガラスクロスにおいて、そのガラスクロスを構成するガラス原料についての、10GHzにおけるバルク誘電正接は、スプリットシリンダー共振器を用いる手法(共振法を用いる手法)、具体的には、実施例に記載の手法により測定される。ここで、ガラス原料としては、例えば、ガラス糸、ガラスフィラメント、及びガラス種、等でよい。
(Bulk dielectric loss tangent)
In the glass cloth of this embodiment, the bulk dielectric loss tangent at 10 GHz of the glass raw materials constituting the glass cloth is measured by a method using a split cylinder resonator (a method using a resonance method), specifically, by the method described in Examples. Here, the glass raw materials may be, for example, glass threads, glass filaments, glass seeds, etc.

10GHzにおけるバルク誘電正接は、0.002以下であることが好ましく、0.0015以下であることがより好ましく、0.001以下であることが更に好ましく、0.0005以下であることがより更に好ましく、0.0004以下であることが特に好ましい。これによれば、本開示の効果を更に奏し易い。 The bulk dielectric loss tangent at 10 GHz is preferably 0.002 or less, more preferably 0.0015 or less, even more preferably 0.001 or less, even more preferably 0.0005 or less, and particularly preferably 0.0004 or less. This makes it easier to achieve the effects of the present disclosure.

(誘電正接、及びバルク誘電正接の制御方法)
ガラスクロスの誘電正接、及びバルク誘電正接は、例えば、
ガラス表面に存在する劣化物、及び残留物等を除去する工程、
に基づいて制御することができる。
ここで、該劣化物、及び該残留物等の一態様は、例えば、下記(i)~(ii):
(i)ガラス表面に物理付着したサイジング剤が熱酸化した劣化物
(ii)ガラス表面と化学結合を形成せずに該表面に物理付着し、そして水洗浄を経ても該表面に残留している表面処理剤の残留物、又はその変性物
である。
(Method for controlling dielectric loss tangent and bulk dielectric loss tangent)
The dielectric loss tangent and bulk dielectric loss tangent of the glass cloth are, for example,
A process of removing deteriorated materials and residues present on the glass surface;
can be controlled based on
Here, one embodiment of the deteriorated product and the residue, etc., is, for example, the following (i) to (ii):
(i) Degraded products of sizing agents that have physically adhered to the glass surface and are thermally oxidized. (ii) Residues of surface treatment agents that have physically adhered to the glass surface without forming a chemical bond with the surface and remain on the surface even after washing with water, or modified products thereof.

〔ガラス糸〕
ガラス糸は、複数本のガラスフィラメントから成ることができる。ガラス糸を、経糸、及び緯糸として製織することで、ガラスクロスが作製されることができる。
[Glass thread]
The glass yarn may be composed of a plurality of glass filaments. The glass yarn may be woven as a warp yarn and a weft yarn to produce a glass cloth.

〔平均フィラメント径〕
ガラスフィラメントの平均フィラメント径は、好ましくは2.5~9.0μm、より好ましくは2.5~7.5μm、更に好ましくは3.5~7.0μm、より更に好ましくは3.5~6.0μm、特に好ましくは3.5~5.0μmである。
[Average filament diameter]
The average filament diameter of the glass filaments is preferably 2.5 to 9.0 μm, more preferably 2.5 to 7.5 μm, even more preferably 3.5 to 7.0 μm, still more preferably 3.5 to 6.0 μm, and particularly preferably 3.5 to 5.0 μm.

〔打ち込み密度〕
ガラスクロスを構成するガラス糸(経糸、及び緯糸)の打ち込み密度は、好ましくは10~120本/inch(=10~120本/25.4mm)であり、より好ましくは40~100本/inchであり、更に好ましくは40~100本/inchである。
[Placement density]
The packing density of the glass yarns (warp and weft) constituting the glass cloth is preferably 10 to 120 yarns/inch (= 10 to 120 yarns/25.4 mm), more preferably 40 to 100 yarns/inch, and even more preferably 40 to 100 yarns/inch.

〔目付〕
ガラスクロスの目付は、好ましくは8~250g/m2であり、より好ましくは8~100g/m2であり、更に好ましくは8~80g/m2であり、特に好ましくは8~50g/m2である。
[Metsuke]
The weight of the glass cloth is preferably 8 to 250 g/m 2 , more preferably 8 to 100 g/m 2 , still more preferably 8 to 80 g/m 2 , and particularly preferably 8 to 50 g/m 2 .

〔ガラス種〕
従来、プリプレグ(積層板)に使用されるガラスクロスには、通常Eガラス(無アルカリガラス)と呼ばれるガラス原料が使用される。他方、本実施形態のガラスクロスには、例えば、Lガラス、NEガラス、Dガラス、L2ガラス、Tガラス、シリカガラス、及び石英ガラス、等のガラス原料が使用されてよい。誘電特性に優れる観点から、Lガラス、L2ガラス、シリカガラス、及び石英ガラス等のガラス原料が好ましく使用され、なかでも、シリカガラス、及び石英ガラスが特に好ましい。また、ガラスクロスを含む積層板の寸法安定性を高める観点からで、Sガラス、Tガラス、シリカガラス、及び石英ガラス等のガラス原料が好ましく使用され、なかでも、シリカガラス、及び石英ガラスが特に好ましい。
[Glass type]
Conventionally, glass cloth used in prepregs (laminates) is usually a glass raw material called E-glass (alkali-free glass). On the other hand, for the glass cloth of this embodiment, glass raw materials such as L-glass, NE-glass, D-glass, L2-glass, T-glass, silica glass, and quartz glass may be used. From the viewpoint of excellent dielectric properties, glass raw materials such as L-glass, L2-glass, silica glass, and quartz glass are preferably used, and among them, silica glass and quartz glass are particularly preferred. Furthermore, from the viewpoint of improving the dimensional stability of laminates containing glass cloth, glass raw materials such as S-glass, T-glass, silica glass, and quartz glass are preferably used, and among them, silica glass and quartz glass are particularly preferred.

ガラスクロスを構成するガラス糸において、そのケイ素(Si)含量が、二酸化ケイ素(SiO2)換算で、95.0~100質量%又は99.0~100質量%であることが好ましく、99.5~100質量%であることがより好ましく、99.9~100質量%であることが更に好ましい。ガラスクロスを構成するガラス糸の、SiO2組成量の特に好ましい一態様は、99.9質量%超えである。Si含有量が95.0質量%以上であると、ガラスクロスの誘電特性、及び積層板の寸法安定性を確保し易い。また、ケイ素含量は、原子吸光光度法、誘導結合プラズマ(ICP)、及び発光分光分析法等による既知の測定技術を用いることで求めることができる。具体的には、ICP-AES、ICP-MS等の装置を利用し、かつ、含有量が既知の標準試料から検量線を作成し、そして、作成した検量線から、測定対象のサンプルに含有するケイ素含量を求めることが可能である。 The silicon (Si) content of the glass yarns constituting the glass cloth, calculated as silicon dioxide (SiO 2 ), is preferably 95.0 to 100% by mass or 99.0 to 100% by mass, more preferably 99.5 to 100% by mass, and even more preferably 99.9 to 100% by mass. A particularly preferred embodiment of the SiO 2 content of the glass yarns constituting the glass cloth is greater than 99.9% by mass. A Si content of 95.0% by mass or greater facilitates ensuring the dielectric properties of the glass cloth and the dimensional stability of the laminate. The silicon content can be determined using known measurement techniques such as atomic absorption spectrometry, inductively coupled plasma (ICP), and optical emission spectroscopy. Specifically, using an apparatus such as ICP-AES or ICP-MS, a calibration curve can be prepared from a standard sample with a known content, and the silicon content of the sample to be measured can then be determined from the prepared calibration curve.

Si含有量が上記の範囲内であると、ガラスの硬度が非常に高いために、そのガラス糸を用いて作製されるガラスクロスは、ドリル加工性が不利になる、という従来認識があった。そして、ドリル加工性が不利であるガラスクロスを用いた樹脂基板は、ドリル加工時の衝撃が強いことから、その樹脂基板の白化距離が長くなる、という従来認識もあった。
これに対して、本実施形態によれば、Si含有量が上記の範囲内であるガラスクロスを用いるにも関わらず、白化距離が小さい樹脂基板を与えることができる。
It has been conventionally recognized that when the Si content is within the above range, the hardness of the glass is so high that a glass cloth made using the glass yarn has poor drilling processability, and that a resin substrate using a glass cloth with poor drilling processability is subjected to a strong impact during drilling, resulting in a long whitening distance of the resin substrate.
In contrast to this, according to this embodiment, a resin substrate with a small whitening distance can be obtained even though a glass cloth having a Si content within the above range is used.

〔織り構造〕
ガラスクロスの織り構造としては、例えば、平織り、ななこ織り、朱子織り、綾織り、等の織り構造が挙げられ、なかでも、平織り構造がより好ましい。
[Weave structure]
Examples of weave structures for the glass cloth include plain weave, sieve weave, satin weave, and twill weave, with plain weave structures being more preferred.

〔表面処理剤(表面処理液)〕
表面処理液は、表面処理剤を含むことができる。本実施形態において、表面処理は、例えば、表面処理液を用いる手法により行われる。
[Surface treatment agent (surface treatment liquid)]
The surface treatment liquid may contain a surface treatment agent. In this embodiment, the surface treatment is performed, for example, by a method using a surface treatment liquid.

(表面処理剤の濃度)
表面処理液は、表面処理剤と、母液(例えば、酢酸水溶液)と、を含むことができる。表面処理液における表面処理剤(例えば、シランカップリング剤)の濃度は、0.1~2.0質量%が好ましく、0.2~1.0質量%がより好ましい。表面処理剤の濃度が上記範囲内であることで、ガラス表面を好適に表面処理することができる。
(Concentration of surface treatment agent)
The surface treatment liquid may contain a surface treatment agent and a mother liquid (e.g., an aqueous acetic acid solution). The concentration of the surface treatment agent (e.g., a silane coupling agent) in the surface treatment liquid is preferably 0.1 to 2.0 mass%, more preferably 0.2 to 1.0 mass%. By keeping the concentration of the surface treatment agent within the above range, the glass surface can be suitably surface-treated.

(シランカップリング剤)
本実施形態において、表面処理剤がシランカップリング剤を含むことが好ましい。
すなわち、ガラスクロスを構成するガラス糸(ガラスフィラメントを含む)は、好ましくは、シランカップリング剤により表面処理される。
(Silane coupling agent)
In the present embodiment, the surface treatment agent preferably contains a silane coupling agent.
That is, the glass threads (including glass filaments) constituting the glass cloth are preferably surface-treated with a silane coupling agent.

表面処理剤は、例えば、下記式(1):
3-nSiYn ・・・(1)
(式中、Xは、各々独立しており、異なる有機官能基を含んでよく、X中にカルボニル基及び不飽和炭素二重結合をそれぞれ合計で2つ以上ずつを有する官能基で構成されており、Yは、各々独立して、アルコキシ基であり、nは、1以上3以下の整数である。)
で示されるシランカップリング剤を含むことが好ましい。
The surface treatment agent is, for example, a compound represented by the following formula (1):
X 3-n SiY n ...(1)
(In the formula, each X is independent and may contain a different organic functional group, and is composed of a functional group having a total of two or more carbonyl groups and two or more unsaturated carbon-carbon double bonds in X; each Y is independently an alkoxy group; and n is an integer of 1 or more and 3 or less.)
It is preferable that the compound contains a silane coupling agent represented by the formula:

上記Xについて、不飽和炭素二重結合としては、ガラスクロスとマトリックス樹脂との密着性を向上させ易い観点、また、樹脂基板の白化距離を小さくし易い観点から、アクリロイル基、及びメタクリロイル基の少なくとも一方に由来される結合であることが好ましい。不飽和炭素二重結合の、特に好ましい一態様は、メタクリロイル基に由来される結合である。 With regard to the above X, the unsaturated carbon-carbon double bond is preferably a bond derived from at least one of an acryloyl group and a methacryloyl group, from the viewpoint of easily improving the adhesion between the glass cloth and the matrix resin and easily reducing the whitening distance of the resin substrate. A particularly preferred embodiment of the unsaturated carbon-carbon double bond is a bond derived from a methacryloyl group.

上記Yについて、アルコキシ基としては、ガラスクロスへの表面処理の安定性の観点から、炭素数1~5(炭素数が、1、2、3、4又は5)のアルコキシ基が好ましい。 Regarding the above Y, the alkoxy group is preferably an alkoxy group having 1 to 5 carbon atoms (1, 2, 3, 4 or 5 carbon atoms) from the viewpoint of the stability of the surface treatment on the glass cloth.

表面処理剤に含まれるシランカップリング剤として、上記式(1)に示されるシランカップリング剤が、1種単独で又は複数種で用いられてよい。例えば、上記Xが異なる2種以上のシランカップリング剤が混合して用いられてよい。 The silane coupling agent contained in the surface treatment agent may be one or more of the silane coupling agents represented by formula (1) above. For example, two or more silane coupling agents having different X values may be mixed and used.

一般式(1)に示されるシランカップリング剤としては、例えば、
2-Propenoic acid, 2-methyl-, (dimethoxysilylene)bis(oxy-2,1-ethanediyl) ester、
2-Propenoic acid, 2-methyl-, 1-[(trimethoxysilyl)methyl]-1,2-ethanediyl ester、
2-Propenoic acid, 2-methyl-, 2-[(trimethoxysilyl)methyl]-1,3-propanediyl ester、
1,1′-[2-[3-(Trimethoxysilyl)propoxy]-1,3-propanediyl] bis(2-methyl-2-propenoate)、
1,1′-[2-[[(2-Methyl-1-oxo-2-propen-1-yl)oxy]methyl]-2-[[3-(triethoxysilyl)propoxy]methyl]-1,3-propanediyl] bis(2-methyl-2-propenoate)、
1-[2-[(2-Methyl-1-oxo-2-propen-1-yl)oxy]-1-[[(2-methyl-1-oxo-2-propen-1-yl)oxy]methyl]ethyl] 2-[3-(triethoxysilyl)propyl]butanedioate、
9,9-Diethoxy-2-[[2-[(2-methyl-1-oxo-2-propen-1-yl)oxy]ethoxy]methyl]-4-oxo-3,10-dioxa-5-aza-9-siladodec-1-yl 2-methyl-2-propenoate、
1,1′-[2-[[(2-Methyl-1-oxo-2-propen-1-yl)oxy]methyl]-2-[6-(trimethoxysilyl)hexyl]-1,3-propanediyl] bis(2-methyl-2-propenoate)、
Acrylic acid, [[2-[(trimethoxysilyl)methoxy]ethyl]imino]diethylene ester、
2-Propenoic acid, 1,1′-[2-(8,8-dimethoxy-3-oxo-2,9-dioxa-6-thia-8-siladec-1-yl)-2-[[(1-oxo-2-propen-1-yl)oxy]methyl]-1,3-propanediyl] ester、
1,1′-[2-Methyl-2-[[[[3-(trimethoxysilyl)propyl]amino]carbonyl]amino]-1,3-propanediyl] di-2-propenoate、
1,1′-[2-[[2-(9,9-Dimethoxy-4-oxo-3,10-dioxa-5-aza-9-silaundec-1-yl)-11,11-dimethoxy-1,6-dioxo-5,12-dioxa-2,7-diaza-11-silatridec-1-yl]amino]-2-methyl-1,3-propanediyl] di-2-propenoate、
等が挙げられる。
Examples of the silane coupling agent represented by the general formula (1) include:
2-Propenoic acid, 2-methyl-, (dimethoxysilylene)bis(oxy-2,1-ethanediyl) ester,
2-Propenoic acid, 2-methyl-, 1-[(trimethoxysilyl)methyl]-1,2-ethanediyl ester,
2-Propenoic acid, 2-methyl-, 2-[(trimethoxysilyl)methyl]-1,3-propanediyl ester,
1,1′-[2-[3-(Trimethoxysilyl)propoxy]-1,3-propanediyl] bis(2-methyl-2-propenoate),
1,1'-[2-[[(2-Methyl-1-oxo-2-propen-1-yl)oxy]methyl]-2-[[3-(triethoxysilyl)propoxy]methyl]-1,3-propanediyl] bis(2-methyl-2-propenoate),
1-[2-[(2-Methyl-1-oxo-2-propen-1-yl)oxy]-1-[[(2-methyl-1-oxo-2-propen-1-yl)oxy]methyl]ethyl] 2-[3-(triethoxysilyl)propyl]butanedioate,
9,9-Diethoxy-2-[[2-[(2-methyl-1-oxo-2-propen-1-yl)oxy]ethoxy]methyl]-4-oxo-3,10-dioxa-5-aza-9-siladodec-1-yl 2-methyl-2-propenoate,
1,1'-[2-[[(2-Methyl-1-oxo-2-propen-1-yl)oxy]methyl]-2-[6-(trimethoxysilyl)hexyl]-1,3-propanediyl] bis(2-methyl-2-propenoate),
Acrylic acid, [[2-[(trimethoxysilyl)methoxy]ethyl]imino]diethylene ester,
2-Propenoic acid, 1,1'-[2-(8,8-dimethoxy-3-oxo-2,9-dioxa-6-thia-8-siladec-1-yl)-2-[[(1-oxo-2-propen-1-yl)oxy]methyl]-1,3-propanediyl] ester,
1,1′-[2-Methyl-2-[[[[3-(trimethoxysilyl)propyl]amino]carbonyl]amino]-1,3-propanediyl] di-2-propenoate,
1,1'-[2-[[2-(9,9-Dimethoxy-4-oxo-3,10-dioxa-5-aza-9-silaundec-1-yl)-11,11-dimethoxy -1,6-dioxo-5,12-dioxa-2,7-diaza-11-silatridec-1-yl]amino]-2-methyl-1,3-propanediyl] di-2-propenoate,
etc.

使用可能なシランカップリング剤は、表面処理前のガラスクロスの誘電正接、及び樹脂基板に使用されるマトリックス樹脂、等に応じて適宜調整することが可能である。もちろん、上記式(1)に示されるシランカップリング剤が、上記式(1)に示される以外のシランカップリング剤と併用されてもよい。
他方、上記式(1)に示されるシランカップリング剤であって、分子量が異なる2種類以上のシランカップリング剤を用いることが好ましい。分子量が異なる2種類以上のシランカップリング剤を用いることで、ガラス表面での処理剤密度が高くなり易く、その結果、マトリックス樹脂との反応性が更に向上する傾向にある。
The silane coupling agent that can be used can be appropriately adjusted depending on the dielectric loss tangent of the glass cloth before surface treatment, the matrix resin used in the resin substrate, etc. Of course, the silane coupling agent represented by the above formula (1) may be used in combination with a silane coupling agent other than that represented by the above formula (1).
On the other hand, it is preferable to use two or more silane coupling agents represented by the above formula (1) that have different molecular weights. By using two or more silane coupling agents that have different molecular weights, the density of the treatment agent on the glass surface tends to be increased, and as a result, the reactivity with the matrix resin tends to be further improved.

(分子量)
表面処理剤の分子量、例えば、シランカップリング剤の分子量は、好ましくは200~900であり、より好ましくは230~800であり、更に好ましくは260~700であり、特に好ましくは300~600である。分子量が900以下であれば、水への分散性が良好になり易く、そのため、ガラスクロスにおける白色スポットの発生を抑制し易い。
なお、2種以上の表面処理剤(例えば、シランカップリング剤)が用いられる場合、各表面処理剤の質量を重みとした分子量の加重平均値が上記範囲内であることが好ましく、複数用いられる表面処理剤の全ての分子量が上記範囲内であることがより好ましい。
例えば、分子量が300と500のシランカップリング剤を0.5質量%、及び1.0質量%となるように表面処理剤を調合するとき、その加重平均値は下記式:
加重平均値={(300×0.5)/(0.5+1.0)}+{(500×1.0)/(0.5+1.0)}=433
のとおりに算出される(説明の便宜上、小数点以下を省略して表記している)。
(molecular weight)
The molecular weight of the surface treatment agent, for example, the molecular weight of the silane coupling agent, is preferably 200 to 900, more preferably 230 to 800, still more preferably 260 to 700, and particularly preferably 300 to 600. If the molecular weight is 900 or less, dispersibility in water tends to be good, and therefore, the occurrence of white spots on the glass cloth is easily suppressed.
When two or more surface treatment agents (for example, silane coupling agents) are used, it is preferable that the weighted average value of the molecular weights of the surface treatment agents, where the weight is the mass of each surface treatment agent, is within the above range, and it is more preferable that the molecular weights of all of the multiple surface treatment agents used are within the above range.
For example, when a surface treatment agent is prepared so that silane coupling agents having molecular weights of 300 and 500 are present in amounts of 0.5 mass % and 1.0 mass %, the weighted average value is calculated by the following formula:
Weighted average value = {(300 x 0.5) / (0.5 + 1.0)} + {(500 x 1.0) / (0.5 + 1.0)} = 433
It is calculated as follows (for ease of explanation, decimal points are omitted):

〔ガラスクロスの平均開繊度〕
ガラスクロスの平均開繊度は、例えば35%以上が挙げられ、なかでも、40%超が好ましく、43%超がより好ましく、46%超、50%超、53%超、56%超又は60%超が更に好ましく、65%超が特に好ましい。ガラスクロスの平均開繊度が35%又は40%超であると、樹脂基板を作製したとき、ガラス糸の束中にボイドと呼ばれる気泡が残存することを抑制し易く、これにより、はんだ耐熱性、及び絶縁信頼性等に悪影響が生じ難い。
なお、上記式(1)に示されるシランカップリング剤は、分子間力が比較的強く働き易いことから、ガラスクロスにおけるマトリックス樹脂の含浸性が、上記式(1)に示される以外のシランカップリング剤よりも不利になり易い。そのため、上記式(1)に示されるシランカップリング剤で表面処理されたガラスクロスについて、その絶縁信頼性を向上させる効果を十分に得る観点から、平均開繊度が35%以上であること又は40%を超えることが好ましい。
[Average opening degree of glass cloth]
The average degree of opening of the glass cloth is, for example, 35% or more, and is preferably more than 40%, more preferably more than 43%, even more preferably more than 46%, more than 50%, more than 53%, more than 56%, or more than 60%, and particularly preferably more than 65%. When the average degree of opening of the glass cloth is more than 35% or 40%, it is easy to prevent air bubbles called voids from remaining in the bundle of glass yarns when a resin substrate is produced, and as a result, it is less likely to have an adverse effect on solder heat resistance, insulation reliability, etc.
The silane coupling agent represented by the formula (1) tends to have a relatively strong intermolecular force, and therefore tends to be less effective in impregnating the glass cloth with the matrix resin than silane coupling agents other than those represented by the formula (1). Therefore, in order to fully obtain the effect of improving the insulation reliability of the glass cloth surface-treated with the silane coupling agent represented by the formula (1), it is preferable that the average degree of opening is 35% or more, or exceeds 40%.

〔ガラスクロスの白色スポット〕
表面処理したガラスクロスには、その外観に、白色の汚れ(白色スポット)が観察される場合がある。この白色スポットは、プリプレグ作製時に用いられるマトリックス樹脂をはじき易く、このため、得られるプリプレグの外観不良、ひいては、得られる樹脂基板における、はんだ耐熱性、及び絶縁信頼性の不良を引き起こす可能性がある。
このような白色スポットについて、その発生原因は不明である、という従来認識があった。
[White spots on glass cloth]
White stains (white spots) may be observed on the surface of the surface-treated glass cloth. These white spots tend to repel the matrix resin used in the preparation of the prepreg, which may result in poor appearance of the resulting prepreg and, in turn, poor solder heat resistance and insulation reliability in the resulting resin substrate.
It has been previously believed that the cause of these white spots is unknown.

この点、本件発明者らは、上記白色スポットの一つが、表面処理剤(例えば、シランカップリング剤)の凝集物又はその変性物等にあることを明らかにした。
特に、本件発明者らは、上記式(1)に示されるシランカップリング剤はその分子量が比較的大きいことから、疎水性が比較的強く、そのため、凝集物が発生しやすい傾向にあること、また、表面処理液における溶媒が水を含む場合、表面処理後のガラスクロスに白色スポットの発生頻度が大きくなり易い(例えば、10.0個/m以上)こと、を明らかにした。
In this regard, the present inventors have clarified that one of the white spots is an aggregate of a surface treatment agent (for example, a silane coupling agent) or a modified product thereof.
In particular, the present inventors have clarified that the silane coupling agent represented by the above formula (1) has a relatively large molecular weight, and therefore is relatively highly hydrophobic, and therefore tends to easily generate aggregates, and that when the solvent in the surface treatment solution contains water, the frequency of white spots occurring on the glass cloth after surface treatment tends to increase (for example, 10.0 spots/ m2 or more).

白色スポットを抑制するためには、後述するように、
表面処理液を所定の手法により調合すること、
表面処理液の温度管理、及びpH管理を行うこと、及び
表面処理液を濾過することで、該表面処理液中の凝集物を除去すること、
等による手法が好適である。
To suppress white spots, as described below,
Mixing the surface treatment solution by a predetermined method;
Controlling the temperature and pH of the surface treatment solution; and filtering the surface treatment solution to remove aggregates in the surface treatment solution.
Techniques such as those described above are suitable.

ガラスクロスにおける白色スポットの発生頻度は、7.0個/m以下が好ましく、4.0個/m以下がより好ましく、2.0個/m以下又は0.1個/m以下がより更に好ましく、0.05個/m以下が特に好ましい。これによれば、外観に優れたプリプレグを実現し易い。なお、白色スポットの発生頻度は、理論上、0超えである。 The frequency of white spots in the glass cloth is preferably 7.0 spots/ m2 or less, more preferably 4.0 spots/ m2 or less, even more preferably 2.0 spots/ m2 or less or 0.1 spots/ m2 or less, and particularly preferably 0.05 spots/ m2 or less. This makes it easy to realize a prepreg with excellent appearance. Theoretically, the frequency of white spots is greater than 0.

[ガラスクロスの製造方法]
本実施形態の一態様は、本実施形態の上記ガラスクロスを製造するための製造方法である。
本実施形態の製造方法は、
分子量が200以上である表面処理剤を含む表面処理液を用いて該ガラス糸を処理する、表面処理工程を有し、
表面処理工程は、
表面処理剤に溶媒を添加して表面処理液を調合する工程;
表面処理液の温度を調整する工程;
表面処理液のpHを調整する工程;及び
表面処理液を濾過する工程;
の少なくとも一つの工程を含む。
[Method of manufacturing glass cloth]
One aspect of this embodiment is a manufacturing method for manufacturing the glass cloth of this embodiment.
The manufacturing method of this embodiment is as follows:
a surface treatment step of treating the glass fiber with a surface treatment liquid containing a surface treatment agent having a molecular weight of 200 or more;
The surface treatment process is
a step of adding a solvent to a surface treatment agent to prepare a surface treatment liquid;
adjusting the temperature of the surface treatment solution;
adjusting the pH of the surface treatment solution; and filtering the surface treatment solution;
The method includes at least one of the steps.

ここで、本実施形態の製造方法は、任意に、以下の工程を含んでよい:
ガラス糸を加熱することで、該ガラス糸に付着している繊維集束剤を低減する工程(加熱脱油工程)、
ガラス糸を水洗する工程(洗浄工程)、及び/又は
ガラス糸を開繊する工程(開繊工程)。
Here, the manufacturing method of this embodiment may optionally include the following steps:
a step of heating the glass yarn to reduce the amount of fiber sizing agent adhering to the glass yarn (thermal deoiling step);
A step of washing the glass yarn with water (cleaning step), and/or a step of opening the glass yarn (opening step).

表面処理工程、開繊工程、及び洗浄工程の少なくとの一つは、ガラス糸を製織してガラスクロスを得る工程(製織工程)前にガラス糸に対して行っても、また、製織工程後にガラスクロスに対して行ってもよい。また、加熱脱油工程、表面処理工程、開繊工程、及び洗浄工程の順番は入れ替わってよい。製織工程後に洗浄工程を行う場合には、洗浄工程に高圧水スプレー等を用いることで、開繊工程を兼ねることができる。なお、開繊前後ではガラスクロスの組成は通常変化しない。 At least one of the surface treatment process, opening process, and cleaning process may be performed on the glass yarn before the process of weaving the glass yarn to obtain glass cloth (weaving process), or on the glass cloth after the weaving process. The order of the thermal deoiling process, surface treatment process, opening process, and cleaning process may be reversed. If the cleaning process is performed after the weaving process, the cleaning process can also serve as the opening process by using a high-pressure water spray, etc. The composition of the glass cloth usually does not change before and after opening.

〔加熱脱油工程〕
本工程では、ガラス糸を加熱することで、該ガラス糸に任意に付着している繊維集束剤(サイジング剤)、及びその残留物、並びにそれらの変性物等を低減することができ、好ましくは、それらを除去することができる。加熱脱油工程を行うことで、誘電正接を上昇させ得る有機物を低減した上でガラス糸(ガラスフィラメント)の表面に表面処理層を形成することが可能になるため、誘電特性に優れたガラスクロスを作製し易い。
加熱脱油する手段としては、既知の手段(加熱手段、加熱媒体、加熱機構、加熱装置、及び加熱部品等)を用いることができる。
[Heat deoiling process]
In this step, by heating the glass yarn, it is possible to reduce, and preferably remove, the fiber sizing agent (sizing agent), its residues, and modified products thereof that are arbitrarily attached to the glass yarn. By performing the thermal deoiling step, it is possible to form a surface treatment layer on the surface of the glass yarn (glass filament) after reducing organic substances that can increase the dielectric tangent, and therefore it is easy to produce a glass cloth with excellent dielectric properties.
As the means for thermal deoiling, known means (heating means, heating medium, heating mechanism, heating device, heating component, etc.) can be used.

加熱脱油工程の一態様としては、例えば、
ガラスクロスを600~1600℃の温度で加熱する方法、
等が知られている。
One embodiment of the thermal deoiling step is, for example,
A method of heating the glass cloth at a temperature of 600 to 1600°C.
etc. are known.

加熱処理工程において、ガラス糸の軟化点が900℃以上であるガラスクロス生機を600~1600℃の温度範囲で加熱することで、ガラスクロスへのダメージを抑え易く、かつ、ガラスクロスの誘電正接を低下させ易い。本開示の効果を好適に得る観点から、加熱脱油の温度は700~1500℃が好ましく、800~1400℃がより好ましく、900~1300℃が更に好ましく、1000~1200℃が特に好ましい。加熱脱油温度が600℃以上であると、ガラスクロス生機に付着するサイジング剤等を効果的に除去し易いため、誘電特性に優れたガラスクロスを作製し易い。加熱脱油温度が1600℃以下であると、ガラスの失透現象を抑制し易く、その結果、ガラスクロスの強度低下を防ぎ易い。In the heat treatment process, heating a glass cloth greige with a glass yarn softening point of 900°C or higher at a temperature range of 600 to 1600°C facilitates minimizing damage to the glass cloth and reducing the dielectric tangent of the glass cloth. From the perspective of optimally achieving the effects of the present disclosure, the thermal deoiling temperature is preferably 700 to 1500°C, more preferably 800 to 1400°C, even more preferably 900 to 1300°C, and particularly preferably 1000 to 1200°C. A thermal deoiling temperature of 600°C or higher facilitates effective removal of sizing agents and other substances adhering to the glass cloth greige, making it easier to produce glass cloth with excellent dielectric properties. A thermal deoiling temperature of 1600°C or lower facilitates suppressing devitrification of the glass, thereby preventing a decrease in the strength of the glass cloth.

加熱時間は、30分以下が好ましく、15分以下がより好ましく、5分以下が更に好ましく、90秒以下が特に好ましい。高温で加熱処理をすることから、加熱時間が30分以下であると、ガラスクロスに与えるダメージが小さくなり易く、この場合、例えば、加工中にガラスクロスに部分的に穴が開く、また、ガラスクロスが切断する、といった問題を回避し易い。加熱時間は、サイジング剤等を効果的に除去する観点で、例えば、1秒以上、5秒以上、10秒以上又は15秒以上であってよい。The heating time is preferably 30 minutes or less, more preferably 15 minutes or less, even more preferably 5 minutes or less, and particularly preferably 90 seconds or less. Because the heat treatment is performed at a high temperature, a heating time of 30 minutes or less tends to minimize damage to the glass cloth, making it easier to avoid problems such as partial holes being formed in the glass cloth or the glass cloth being cut during processing. The heating time may be, for example, 1 second or more, 5 seconds or more, 10 seconds or more, or 15 seconds or more, from the perspective of effectively removing sizing agents, etc.

ガラスクロスの加熱脱油を閉鎖系で行う場合、加熱手段による好適な加熱の観点から、ガラスクロスを加熱炉内に配置することが好ましい。また、貯蔵スペース、及び加熱範囲の効率化の観点から、ガラスクロスを巻物の状態で貯蔵しながら加熱することが好ましい。更に、有機物の除去効率を上げる観点、また、有機物の除去時間を短縮する観点から、加熱炉内でガラスクロスを搬送しながら加熱することが好ましい。ガラスクロスの搬送は、例えば、巻出機構、及び巻取機構の組み合わせにより行われることができる。When thermal deoiling of glass cloth is carried out in a closed system, it is preferable to place the glass cloth in a heating furnace from the viewpoint of optimal heating by the heating means. Furthermore, from the viewpoint of efficient storage space and heating range, it is preferable to heat the glass cloth while storing it in a rolled state. Furthermore, from the viewpoint of increasing the efficiency of organic matter removal and shortening the organic matter removal time, it is preferable to heat the glass cloth while transporting it in the heating furnace. The glass cloth can be transported, for example, by a combination of an unwinding mechanism and a winding mechanism.

ガラスクロスの加熱脱油を開放系で行う場合、被加熱面積を確保する観点から、ガラスクロスを搬送させながら加熱することが好ましい。ガラスクロスの搬送は、例えば、巻出機構、及び巻取機構の組み合わせにより行われることができる。When thermal deoiling of glass cloth is carried out in an open system, it is preferable to heat the glass cloth while transporting it in order to ensure a sufficient heated area. The glass cloth can be transported, for example, by a combination of an unwinding mechanism and a winding mechanism.

加熱脱油工程の態様は、上記に限定されない。
加熱脱油工程の更なる一態様として、例えば、
真空又は露点15℃以下の気体中、100℃以上の加熱温度(℃)×加熱時間(h)で表される加熱量が450(℃・h)以上となる条件(ただし、最高加熱温度が100~600℃)で加熱する方法、
等も知られている。
The mode of the thermal deoiling step is not limited to the above.
As another embodiment of the thermal deoiling step, for example,
A method of heating in a vacuum or in a gas with a dew point of 15°C or less under conditions where the heating amount, expressed as a heating temperature (°C) of 100°C or more x heating time (h), is 450 (°C·h) or more (provided that the maximum heating temperature is 100 to 600°C);
etc. are also known.

(加熱手段)
加熱手段としては、例えば、加熱炉、電気式ヒーター、バーナー等が考えられ、なかでも、ガス式シングルラジアントチューブバーナー又は電気式ヒーターが好ましい。異なる加熱手段が複数組み合わされてよい。
(Heating means)
The heating means may be, for example, a heating furnace, an electric heater, a burner, etc., and among these, a gas single radiant tube burner or an electric heater is preferred. A plurality of different heating means may be combined.

ガラスクロス表面に付着している有機物を効率よく除去する観点から、巻芯に巻いたガラスクロスを所定の雰囲気温度で加熱するバッチ方式よりも、ガラスクロスを連続的に加熱炉に通しながら加熱する連続方式が好ましい。逆浸透(RO)水又はイオン交換水といった、金属イオンの含有量が少ない洗浄水を用い、ガラスクロスの洗浄も連続で行える方式がより好ましい。From the perspective of efficiently removing organic matter adhering to the surface of the glass cloth, a continuous method in which the glass cloth is continuously passed through a heating furnace and heated is preferred over a batch method in which the glass cloth wound around a core is heated at a predetermined ambient temperature. A method in which the glass cloth can also be continuously washed using wash water with a low metal ion content, such as reverse osmosis (RO) water or ion-exchanged water, is even more preferable.

また、加熱手段として、低ランニングコストの観点から、所定の温度に加熱した部材(接触部材)と、ガラスクロスと、を接触させることで、ガラスクロスを加熱してもよい。 Furthermore, as a heating means, from the viewpoint of low running costs, the glass cloth may be heated by bringing a member (contact member) heated to a predetermined temperature into contact with the glass cloth.

接触部材は、ガラスクロスを高温で加熱できるものがよい。接触部材の形状は、ガラスクロスの搬送のし易さから、ロール形状が好ましい。具体的には、接触部材としては、例えば、高温領域での使用が可能であって、かつ、幅方向の温度のばらつきが比較的少ない、誘導発熱方式で加温するロールが好ましい。接触部材でガラスクロスを加熱するとき、接触部材の温度と、ガラスクロスの表面温度と、は概ね等しいと考えられる。 The contact member is preferably capable of heating the glass cloth at high temperatures. The contact member is preferably in the form of a roll, as this allows for easier transport of the glass cloth. Specifically, the contact member is preferably a roll that uses induction heating, which can be used in high-temperature regions and has relatively little temperature variation across the width. When the glass cloth is heated by the contact member, the temperature of the contact member and the surface temperature of the glass cloth are considered to be roughly equal.

ガラスクロスを連続加熱する場合、ロールに付着する炭化物を除去するため、上記ロールを用いる方式は、付着した異物を除去する機構、例えば、ブレード等の機構を備える方式であることが好ましい。 When continuously heating glass cloth, in order to remove carbonized material adhering to the roll, it is preferable that the method using the above roll be a method equipped with a mechanism for removing adhering foreign matter, such as a blade.

(蒸気適用手段)
ガラスクロスに上記を適用するための手段(蒸気適用手段)は、噴霧、シャワー拡散、ジェットノズル等でよい。代替的には、加熱炉から排出したガスを高温蒸気として再利用することができる。
(Steam Application Means)
The means for applying the above to the glass cloth (steam application means) may be spraying, shower diffusion, jet nozzle, etc. Alternatively, the gas exhausted from the heating furnace can be reused as high-temperature steam.

ガラスクロスに適用される蒸気は、例えば、揮発性溶媒、水蒸気、水蒸気以外のガスを含んでよいが、人体への毒性を抑える観点、また、ガラス繊維に用いられる集束剤の分解が促進し易い観点から、水蒸気が好ましい。高温蒸気の温度は、ガラスクロスの表面温度が650℃よりも高い温度でよく、この場合、必要であれば、高温蒸気と加熱空気を任意の割合で供給できる方法が採用されてよい。高温蒸気の温度は、400℃以上、450℃以上、550℃以上、600℃以上又は650℃以上であってよい。The steam applied to the glass cloth may contain, for example, volatile solvents, water vapor, or gases other than water vapor. However, water vapor is preferred from the viewpoint of reducing toxicity to the human body and facilitating the decomposition of the sizing agent used in the glass fibers. The temperature of the high-temperature steam may be such that the surface temperature of the glass cloth is higher than 650°C. In this case, if necessary, a method may be employed that allows the supply of high-temperature steam and heated air in any ratio. The temperature of the high-temperature steam may be 400°C or higher, 450°C or higher, 550°C or higher, 600°C or higher, or 650°C or higher.

〔表面処理工程〕
表面処理工程では、分子量が200以上である表面処理剤を含む表面処理液を用いて、ガラス糸を処理する。
ガラス糸を表面処理液で処理する方法(例えば、ガラス糸に表面処理液を塗布する方法)としては、
(ア)バスに溜めた表面処理液を、ガラスクロスを浸漬させながら該ガラスクロスを搬送する方法(以下、「浸漬法」という。)、
(イ)ロールコーター、ダイコーター又はグラビアコーター等で表面処理液をガラスクロスに直接塗布する方法、
等が挙げられる。浸漬法を採用する場合、ガラスクロスの表面処理液への浸漬時間は、0.5秒以上1分以下に選定されることが好ましい。
[Surface treatment process]
In the surface treatment step, the glass filaments are treated with a surface treatment solution containing a surface treatment agent having a molecular weight of 200 or more.
As a method for treating the glass filament with a surface treatment liquid (for example, a method for applying a surface treatment liquid to the glass filament),
(A) A method in which a glass cloth is transported while being immersed in a surface treatment solution stored in a bath (hereinafter referred to as the "immersion method");
(A) A method of directly applying the surface treatment liquid to the glass cloth using a roll coater, a die coater, a gravure coater, or the like;
When the immersion method is employed, the immersion time of the glass cloth in the surface treatment solution is preferably selected to be 0.5 seconds or more and 1 minute or less.

本実施形態の方法において、表面処理工程では、分子量が200以上である表面処理剤を用いて、特に、上記式(1)に示されるシランカップリング剤を用いて、ガラス糸を表面処理する。本実施形態の方法において採用されるシランカップリング剤は、一般的なシランカップリング剤と比較して分子量が大きく、従って、比較的疎水性が強い。
ここで、表面処理液における溶媒が水を含む場合、表面処理剤の凝集物が発生しやすい傾向にあること、また、表面処理液における溶媒が水を含む場合、表面処理後のガラスクロスに白色スポットの発生頻度が大きくなり易いこと、を本件発明者らが明らかにしたことは、上記のとおりである。
In the method of this embodiment, in the surface treatment step, the glass filaments are surface treated using a surface treatment agent having a molecular weight of 200 or more, particularly using a silane coupling agent represented by the above formula (1). The silane coupling agent used in the method of this embodiment has a larger molecular weight than general silane coupling agents, and therefore is relatively hydrophobic.
As described above, the present inventors have revealed that when the solvent in the surface treatment liquid contains water, aggregates of the surface treatment agent tend to be easily generated, and that when the solvent in the surface treatment liquid contains water, the frequency of occurrence of white spots on the glass cloth after surface treatment tends to increase.

本件発明者らは、分子量が200以上である表面処理剤、特に、上記式(1)に示されるシランカップリング剤を用いた表面処理液において、例えば、下記(A)~(C)の対応をすることによって、ガラスクロスの白色スポットをすることが可能であることを見出した。
(A)表面処理剤に対して、溶媒(例えば、母液である弱酸性水溶液)を微量ずつ添加すること、
(B)表面処理の間、表面処理液の温度、及び/又はpHを制御すること、
(C)表面処理の間、表面処理液を濾過すること。
The present inventors have found that in a surface treatment solution using a surface treatment agent having a molecular weight of 200 or more, particularly a silane coupling agent represented by the above formula (1), it is possible to form white spots on a glass cloth by taking the following measures (A) to (C):
(A) gradually adding a solvent (for example, a weakly acidic aqueous solution as a mother liquor) to the surface treatment agent;
(B) controlling the temperature and/or pH of the surface treatment solution during the surface treatment;
(C) Filtering the surface treatment solution during the surface treatment.

(A)表面処理液の調合
一般的なシランカップリング剤は、水との相溶性、及び水への分散性に優れていることから、pH=3~5程度の弱酸性の水を攪拌しながら、シランカップリング剤を少量ずつ添加することで調合される。
他方、本実施形態の方法では、少量のメタノールで表面処理剤を希釈することで得られる希釈溶液に、界面活性剤、及び溶媒(例えば、濃度60%の酢酸水溶液である)を少量添加することで、表面処理剤のプレ溶液を得ることができる。なお、プレ溶液に添加する溶媒は、シランカップリング剤のアルコキシド基を加水分解するために加え、その溶媒の添加量は、加水分解量に応じて調整することが好ましい。そして、pH=3~4に調整した水溶液(本開示において、「母液」とも称される。)を、攪拌させながら少量ずつプレ溶液に添加することで、水溶液中に表面処理剤を均一に分散させることができる。この場合、表面処理液における凝集物を抑制し易い。
(A) Preparation of surface treatment liquid Since general silane coupling agents have excellent compatibility with and dispersibility in water, they are prepared by adding the silane coupling agent little by little to weakly acidic water with a pH of about 3 to 5 while stirring.
On the other hand, in the method of this embodiment, a pre-solution of the surface treatment agent can be obtained by adding a small amount of surfactant and solvent (e.g., a 60% aqueous acetic acid solution) to a diluted solution obtained by diluting the surface treatment agent with a small amount of methanol. The solvent added to the pre-solution is added to hydrolyze the alkoxide groups of the silane coupling agent, and the amount of solvent added is preferably adjusted according to the amount of hydrolysis. Then, an aqueous solution adjusted to a pH of 3 to 4 (also referred to as the "mother liquor" in this disclosure) is added little by little to the pre-solution while stirring, thereby uniformly dispersing the surface treatment agent in the aqueous solution. In this case, it is easy to suppress agglomerations in the surface treatment solution.

界面活性剤としては、表面処理剤の種類、及び量等に応じて適宜、その組成、及びその量等を変更することができ、ノニオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、及び両性界面活性剤のいずれが用いられてもよい。異なる種類の界面活性剤が併用されてもよい。 The surfactant composition and amount can be varied as appropriate depending on the type and amount of the surface treatment agent, and any of nonionic surfactants, anionic surfactants, cationic surfactants, and amphoteric surfactants may be used. Different types of surfactants may also be used in combination.

界面活性剤の量は、表面処理剤(例えば、シランカップリング剤)に対して0.2~10質量%が好ましく、0.4~9質量%がより好ましく、0.6~8質量%が更に好ましく、1~6質量%が特に好ましい。界面活性剤の量が上記範囲を満たすことで、均一にシランカップリング剤を分散させ易くなる。The amount of surfactant is preferably 0.2 to 10% by mass, more preferably 0.4 to 9% by mass, even more preferably 0.6 to 8% by mass, and particularly preferably 1 to 6% by mass, relative to the surface treatment agent (e.g., silane coupling agent). By using a surfactant amount that satisfies the above range, it becomes easier to uniformly disperse the silane coupling agent.

ノニオン系界面活性剤としては、グリセリン脂肪酸エステル、ソルビタン脂肪酸エステル、ショ糖脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコール、脂肪酸ポリエチレングリコール、脂肪酸ポリオキシエチレンソルビタン、脂肪酸アルカノールアミド等が挙げられる。 Nonionic surfactants include glycerin fatty acid esters, sorbitan fatty acid esters, sucrose fatty acid esters, polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene alkylphenyl ethers, polyoxyethylene polyoxypropylene glycols, fatty acid polyethylene glycols, fatty acid polyoxyethylene sorbitan, fatty acid alkanolamides, etc.

アニオン系界面活性剤としては、脂肪酸モノカルボン酸塩、ポリオキシエチレンアルキルエーテルカルボン酸塩、N-アシルサルコシン塩、N-アシルグルタミン酸塩、ジアルキルスルホコハク酸塩、アルカンスルホン酸塩、アルファオレフィンスルホン酸塩、直鎖アルキルベンゼンスルホン酸塩、アルキルベンゼンスルホン酸塩、ナフタレンスルホン酸塩-ホルムアルデヒド縮合物、アルキルナフタレンスルホン酸塩、N-メチル-N-アシルタウリン塩、アルキル硫酸塩、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩、油脂硫酸エステル塩、アルキルリン酸塩、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸塩、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテルリン酸塩等が挙げられる。 Anionic surfactants include fatty acid monocarboxylates, polyoxyethylene alkyl ether carboxylates, N-acylsarcosinates, N-acylglutamates, dialkyl sulfosuccinates, alkane sulfonates, alpha-olefin sulfonates, linear alkylbenzene sulfonates, alkylbenzene sulfonates, naphthalene sulfonate-formaldehyde condensates, alkylnaphthalene sulfonates, N-methyl-N-acyltaurate salts, alkyl sulfates, polyoxyethylene alkyl ether sulfates, fat and oil sulfate esters, alkyl phosphates, polyoxyethylene alkyl ether phosphates, polyoxyethylene alkyl phenyl ether phosphates, etc.

カチオン系界面活性剤としては、モノアルキルアミン塩、ジアルキルアミン塩、トリアルキルアミン塩、塩化アルキルトリメチルアンモニウム、塩化アルキルベンザルコニウム等が挙げられる。 Cationic surfactants include monoalkylamine salts, dialkylamine salts, trialkylamine salts, alkyltrimethylammonium chloride, alkylbenzalkonium chloride, etc.

両性界面活性剤としては、2-アルキル-N-カルボキシメチル-N-ヒドロキシエチルイミダゾリニウムベタイン、アルキルベタイン、脂肪酸アミドプロピルベタイン、アルキルジエチレントリアミノ酢酸、アルキルアミンオキシド等が挙げられる。 Examples of amphoteric surfactants include 2-alkyl-N-carboxymethyl-N-hydroxyethylimidazolinium betaine, alkyl betaine, fatty acid amidopropyl betaine, alkyldiethylenetriaminoacetic acid, and alkylamine oxide.

(B)表面処理液の温度制御、及び/又はpH制御
表面処理液における凝集物を抑制する観点から、表面処理加工を実施している間、その表面処理液の温度を、10~30℃で制御することが好ましく、13~27℃で制御することがより好ましく、15~25℃で制御することが更に好ましく、17~23℃で制御することが特に好ましい。
(B) Temperature Control and/or pH Control of Surface Treatment Liquid From the viewpoint of suppressing agglomeration in the surface treatment liquid, the temperature of the surface treatment liquid is preferably controlled at 10 to 30°C, more preferably at 13 to 27°C, even more preferably at 15 to 25°C, and particularly preferably at 17 to 23°C, during the surface treatment process.

また、表面処理加工を実施している間、ガラスクロスに微量に含まれているアルカリ金属等の不純物により、表面処理液のpHが変動してしまう場合がある。表面処理液における凝集物を抑制する観点から、表面処理液のpHの変動幅を小さくすることが好ましい。表面処理加工を実施している間、その表面処理液のpHを、2.5~5.5で制御することが好ましく、2.8~5.2で制御することがより好ましく、3.0~5.0で制御することが更に好ましい。pHを所定範囲内に制御する方法としては、例えば、二酸化炭素を表面処理液にバブリングする方法、等が挙げられる。 Furthermore, during the surface treatment process, impurities such as alkali metals contained in trace amounts in the glass cloth may cause the pH of the surface treatment solution to fluctuate. From the perspective of suppressing agglomerations in the surface treatment solution, it is preferable to minimize the pH fluctuation range of the surface treatment solution. During the surface treatment process, the pH of the surface treatment solution is preferably controlled to between 2.5 and 5.5, more preferably between 2.8 and 5.2, and even more preferably between 3.0 and 5.0. Examples of methods for controlling the pH within a predetermined range include bubbling carbon dioxide through the surface treatment solution.

表面処理液の温度制御と、表面処理液のpH制御と、は、片方の制御のみ行われてもよく、両方の制御が行われてもよい。表面処理液における凝集物を好適に抑制する観点から、表面処理液の温度制御と、表面処理液のpH制御と、の両方の制御が行われることが好ましい。 Either the temperature control of the surface treatment liquid or the pH control of the surface treatment liquid may be performed, or both may be performed. From the perspective of effectively suppressing agglomerations in the surface treatment liquid, it is preferable to perform both the temperature control of the surface treatment liquid and the pH control of the surface treatment liquid.

ここで、「表面処理液の温度制御」は、表面処理液の温度を上昇、及び/又は低下させる操作のみならず、表面処理液の温度を所定値で保持する操作、また、表面処理液の温度が所定範囲内にあるか否かを確かめるべく該温度を検出する操作、のいずれも含む概念である。
また、「表面処理液のpH制御」は、表面処理液のpHを上昇、及び/又は低下させる操作のみならず、表面処理液のpHを所定値で保持する操作、また、表面処理液のpHが所定範囲内にあるか否かを確かめるべく該pHを検出する操作、のいずれも含む概念である。
Here, "temperature control of the surface treatment liquid" is a concept that includes not only an operation of increasing and/or decreasing the temperature of the surface treatment liquid, but also an operation of maintaining the temperature of the surface treatment liquid at a predetermined value, and an operation of detecting the temperature of the surface treatment liquid to confirm whether the temperature is within a predetermined range.
Furthermore, the concept of "pH control of the surface treatment solution" includes not only an operation for increasing and/or decreasing the pH of the surface treatment solution, but also an operation for maintaining the pH of the surface treatment solution at a predetermined value, and an operation for detecting the pH of the surface treatment solution to determine whether the pH is within a predetermined range.

(C)表面処理液の濾過
表面処理液における凝集物を確実に捕集する観点から、表面処理工を実施している間、表面処理液を濾過することが好ましい。このとき、表面処理液を循環しながら、表面処理液に発生し得る凝集物を濾過により捕集することが好ましい。
(C) Filtration of the surface treatment liquid From the viewpoint of reliably collecting aggregates in the surface treatment liquid, it is preferable to filter the surface treatment liquid while the surface treatment process is being carried out. In this case, it is preferable to collect aggregates that may occur in the surface treatment liquid by filtration while circulating the surface treatment liquid.

凝集物の捕集効率を高める観点から、複数段階に亘って濾過することが好ましい。例えば、目が比較的粗いフィルターで凝集物を1次除去した後、1次フィルターよりも目の細かいフィルターで再度、表面処理液を濾過するという、2段階濾過が好ましい。このような複数段濾過によれば、フィルターの目詰まりを防止し易く、その結果、ガラスクロスの作製プロセスにおける中断を回避し易い。 To increase the efficiency of collecting agglomerates, it is preferable to use multiple stages of filtration. For example, two-stage filtration is preferable, in which agglomerates are first removed using a filter with relatively coarse mesh, and then the surface treatment liquid is filtered again using a filter with finer mesh than the primary filter. Such multiple-stage filtration makes it easier to prevent filter clogging, and as a result, makes it easier to avoid interruptions to the glass cloth production process.

(乾燥工程)
表面処理工程は、
ガラス糸に表面処理液を塗布した後、表面処理液に含まれる溶媒を乾燥させる工程(乾燥工程)、
を更に含んでよい。
乾燥工程によれば、表面処理剤をガラス糸の表面(ガラスフィラメントの表面)に固着させ易く、特に、表面処理剤をガラス糸1本1本の表面(ガラスフィラメント1本1本の表面)に固着させ易い。溶媒を乾燥させる方法としては、例えば加熱により乾燥させる方法、具体的には、熱風、及び電磁波等により加熱して乾燥させる方法といった、既知の方法が挙げられる。
(drying process)
The surface treatment process is
a step of applying a surface treatment liquid to the glass fiber and then drying the solvent contained in the surface treatment liquid (drying step);
It may further include:
The drying step makes it easy to fix the surface treatment agent to the surface of the glass yarn (surface of the glass filaments), and in particular makes it easy to fix the surface treatment agent to the surface of each individual glass yarn (surface of each individual glass filament). Examples of methods for drying the solvent include known methods such as drying by heating, specifically, methods of heating and drying by hot air, electromagnetic waves, etc.

乾燥温度は、表面処理剤とガラスとの反応が十分に行われる観点から、80℃以上が好ましく、90℃以上がより好ましい。また、乾燥温度は、表面処理剤が有する有機官能基の劣化を防ぐ観点から、300℃以下が好ましく、180℃以下がより好ましい。The drying temperature is preferably 80°C or higher, more preferably 90°C or higher, from the viewpoint of ensuring sufficient reaction between the surface treatment agent and the glass. Furthermore, the drying temperature is preferably 300°C or lower, more preferably 180°C or lower, from the viewpoint of preventing deterioration of the organic functional groups contained in the surface treatment agent.

〔開繊工程〕
本実施形態の製造方法は、表面処理工程の後、開繊工程を有することが好ましい。
開繊工程における開繊方法としては、例えば、ガラスクロスを、スプレー水(高圧水開繊)、バイブロウォッシャー、超音波水、及びマングル等で開繊加工する方法が挙げられる。この開繊加工時に、ガラスクロスに掛ける張力を下げることにより、ガラス糸の糸幅を広げ易く、また、ガラス表面と化学的に結合しなかった表面処理剤をある程度除去し易い。開繊加工によるガラスクロスの引張強度の低下を抑えるため、ガラス糸を製織するときの接触部材の低摩擦化、集束剤の最適化と高付着量化、等の対策を施すことが好ましい。
[Opening process]
The manufacturing method of this embodiment preferably includes a fiber-opening step after the surface treatment step.
Examples of the opening method in the opening step include opening the glass cloth with spray water (high-pressure water opening), a vibro washer, ultrasonic water, a mangle, or the like. By reducing the tension applied to the glass cloth during this opening process, the width of the glass yarns can be easily increased and the surface treatment agent that has not chemically bonded to the glass surface can be easily removed to some extent. In order to prevent a decrease in the tensile strength of the glass cloth due to the opening process, it is preferable to take measures such as reducing the friction of contacting members when weaving the glass yarns, optimizing the sizing agent and increasing the amount of adhesion.

開繊工程では、複数の開繊方法を用いて、ガラス糸束を開繊することが好ましい。これによれば、マトリックス樹脂の含浸性が悪い傾向を示すガラスクロスであったとしても、ガラスクロスの平均開繊度を所定範囲に制御し易い。 In the fiber-spreading process, it is preferable to use multiple fiber-spreading methods to spread the glass fiber bundles. This makes it easier to control the average fiber-spreading degree of the glass cloth within a specified range, even if the glass cloth tends to have poor matrix resin impregnation properties.

〔洗浄工程〕
洗浄工程(仕上げ洗浄工程)としては、ガラスフィラメントの表面と化学結合を形成していない表面処理剤の残留物、及び変性物等を低減できる方法がよく、例えば、有機溶媒でガラス糸を洗浄する方法、等が挙げられる。洗浄工程を行なうことで、例えば、石英ガラス等のケイ素(Si)含有量が高いガラス原料を使用するとしても、得られるガラスクロスについて、その誘電正接とバルク誘電正接との差を所定範囲内に調整し易くなる。
[Cleaning process]
The washing step (finish washing step) is preferably a method capable of reducing the residue of the surface treatment agent that has not formed a chemical bond with the surface of the glass filaments, modified substances, etc., such as a method of washing the glass filaments with an organic solvent. By carrying out the washing step, even if a glass raw material with a high silicon (Si) content, such as quartz glass, is used, it becomes easy to adjust the difference between the dielectric loss tangent and the bulk dielectric loss tangent of the obtained glass cloth to fall within a predetermined range.

洗浄工程としては、水で低減し難い上記残留物等の低減を図るため、疎水性の高い有機溶媒での洗浄が好ましく、また、水酸基を有するシランカップリング剤残留物等との親和性が高い有機溶媒での洗浄が好ましい。
洗浄方法としては、例えば、浸漬法、シャワー噴霧等の既知の方法が挙げられ、必要に応じて、加温又は冷却しながら洗浄してよい。溶解したガラスクロス付着物が再付着しないよう、洗浄後のガラスクロスについて、絞りローラー等により、仕上げ乾燥前に余剰な溶媒を低減することが好ましい。適した有機溶媒、例えば、疎水性の高い有機溶媒としては、
n-ペンタン、i-ペンタン、n-ヘキサン、i-ヘキサン、n-ヘプタン、i-ヘプタン、n-オクタン、i-オクタン、2,2,4-トリメチルペンタン(イソオクタン)、n-ノナン、i-ノナン、n-デカン、i-デカン、2,2,4,6,6-ペンタメチルヘプタン(イソドデカン)等の飽和鎖状脂肪族炭化水素;
シクロペンタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、ジメチルシクロヘキサン、エチルシクロヘキサン等の飽和環状脂肪族炭化水素;
ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、ジエチルベンゼン、トリメチルベンゼン、トリエチルベンゼン等の芳香族炭化水素;
クロロホルム、ジクロロメタン、ジクロロエタン等の含ハロゲン溶媒;
等が挙げられる。
In the washing step, washing with a highly hydrophobic organic solvent is preferred in order to reduce the above-mentioned residues that are difficult to reduce with water, and washing with an organic solvent that has a high affinity for silane coupling agent residues having hydroxyl groups is also preferred.
Examples of the washing method include known methods such as immersion and shower spraying, and washing may be performed while heating or cooling as necessary. In order to prevent the dissolved deposits from re-adhering to the glass cloth, it is preferable to reduce the excess solvent from the washed glass cloth using a squeeze roller or the like before finish drying. Suitable organic solvents, for example, highly hydrophobic organic solvents, include:
saturated chain aliphatic hydrocarbons such as n-pentane, i-pentane, n-hexane, i-hexane, n-heptane, i-heptane, n-octane, i-octane, 2,2,4-trimethylpentane (isooctane), n-nonane, i-nonane, n-decane, i-decane, and 2,2,4,6,6-pentamethylheptane (isododecane);
saturated cycloaliphatic hydrocarbons such as cyclopentane, cyclohexane, methylcyclohexane, dimethylcyclohexane, and ethylcyclohexane;
Aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, xylene, ethylbenzene, diethylbenzene, trimethylbenzene, and triethylbenzene;
Halogen-containing solvents such as chloroform, dichloromethane, and dichloroethane;
etc.

表面処理剤(例えば、シランカップリング剤)の変性物との親和性が高い有機溶媒としては、
メタノール、エタノール、ブタノール等のアルコール類;
アセトン、メチルエチルケトン等のケトン類;
メチルエチルエーテル、ジエチルエーテル等のエーテル類;
N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド等のアミド類;
ジメチルスルホキシド;
等が挙げられる。
Examples of organic solvents that have a high affinity with modified surface treatment agents (e.g., silane coupling agents) include:
Alcohols such as methanol, ethanol, and butanol;
ketones such as acetone and methyl ethyl ketone;
ethers such as methyl ethyl ether and diethyl ether;
Amides such as N,N-dimethylformamide and N,N-dimethylacetamide;
Dimethyl sulfoxide;
etc.

上記のなかでも、得られるガラスクロスの誘電正接とバルク誘電正接の差を所定範囲内に調整し易い観点から、芳香族炭化水素、アルコール類又はケトン類が好ましく、メタノール又はトルエンがより好ましい。 Among the above, aromatic hydrocarbons, alcohols or ketones are preferred, and methanol or toluene is more preferred, from the viewpoint of easily adjusting the difference between the dielectric tangent and bulk dielectric tangent of the resulting glass cloth within a specified range.

本実施形態の製造方法は、洗浄後の有機溶媒を低減するため、洗浄後のガラスクロスを乾燥する工程(洗浄後乾燥工程)を有することが好ましく、乾燥による有機溶媒の低減が容易である観点から、洗浄に用いる有機溶媒は、沸点が120℃以下であることが好ましい。有機溶媒の乾燥には、加熱乾燥、送風乾燥等の既知の方法が利用できる。 The manufacturing method of this embodiment preferably includes a step of drying the washed glass cloth (post-washing drying step) to reduce the amount of organic solvent used after washing. From the viewpoint of facilitating the reduction of the organic solvent by drying, it is preferable that the organic solvent used for washing has a boiling point of 120°C or less. Known methods such as heat drying and air drying can be used to dry the organic solvent.

洗浄後乾燥工程において、有機溶媒の低減のために加熱乾燥を実行する場合、安全上の観点から、低圧蒸気又は熱媒オイル等を熱源とした熱風乾燥が好ましい。乾燥温度は、洗浄溶媒の沸点以上であることが好ましく、シランカップリング剤の劣化を抑制する観点から180℃以下であることが好ましい。 If heat drying is performed to reduce the amount of organic solvent in the post-wash drying process, hot air drying using low-pressure steam or heat transfer oil as a heat source is preferred from a safety perspective. The drying temperature is preferably above the boiling point of the washing solvent, and is preferably 180°C or lower to prevent deterioration of the silane coupling agent.

〔任意の工程〕
本実施形態の製造方法は、上記工程以外に、その他の工程を任意に有してよい。
その他の工程としては、例えば、ガラスクロスをスリット上に加工する工程(スリット加工工程)が挙げられる。
[Optional step]
The manufacturing method of this embodiment may optionally include other steps in addition to the steps described above.
Other steps include, for example, a step of processing the glass cloth into slits (slit processing step).

(検査工程又は測定工程)
また、その他の工程としては、
ガラスクロスの白色スポットを検査する工程;及び
ガラスクロスにおけるカルボニル基由来のピーク高さを、フーリエ変換赤外分光法を用いて測定する工程;
の少なくともいずれか一方の工程が挙げられる。
本実施形態の製造方法は、かかる工程を含むことで、本実施形態のガラスクロスを実現し易い。
(Inspection process or measurement process)
In addition, other processes include:
Inspecting the glass cloth for white spots; and Measuring the peak height derived from carbonyl groups in the glass cloth using Fourier transform infrared spectroscopy;
At least one of the steps above can be mentioned.
The manufacturing method of this embodiment includes such a step, which makes it easy to realize the glass cloth of this embodiment.

[試験方法]
本実施形態の更なる一態様は、ガラス糸を製織して成るガラスクロスを対象とした、試験方法である。
試験対象とされるガラスクロスは、表面処理剤で表面処理されたものであり、
上記試験方法は、
ガラスクロスにおけるカルボニル基由来のピーク高さと、ガラスクロスの総炭素量又はガラスクロスの強熱減量値と、に基づき、ガラスクロスの白色スポットを検査する工程を含む。
[Test method]
Another aspect of this embodiment is a test method for a glass cloth made by weaving glass yarns.
The glass cloth to be tested is surface-treated with a surface treatment agent,
The above test method is
The method includes a step of inspecting the glass cloth for white spots based on the peak height derived from the carbonyl group in the glass cloth and the total carbon content of the glass cloth or the ignition loss value of the glass cloth.

本実施形態の試験方法において、試験対象とされるガラスクロス、カルボニル基由来のピーク高さ、総炭素量、強熱減量値、及び白色スポットは、上記[ガラスクロス]の項目における記載を参照してよい。本実施形態の試験方法によれば、本発明者らが着目した白色スポットに基づいて、そのガラスクロスの特性を評価することが可能になる。 In the test method of this embodiment, the glass cloth to be tested, the peak height derived from carbonyl groups, the total carbon content, the ignition loss value, and the white spots may be determined by referring to the descriptions in the "Glass Cloth" section above. The test method of this embodiment makes it possible to evaluate the properties of the glass cloth based on the white spots that the inventors focused on.

[プリプレグ]
本実施形態のプリプレグは、ガラスクロスと、マトリックス樹脂と、無機充填剤と、を含有する。本実施形態のプリプレグは、ガラスクロスとして、本実施形態の上記ガラスクロスが用いられて成ることができる。これにより、各種特性に優れたプリプレグ(例えば、ボイドが少ないプリプレグ)が提供される。
[Prepreg]
The prepreg of this embodiment contains glass cloth, a matrix resin, and an inorganic filler. The prepreg of this embodiment can be made by using the glass cloth of this embodiment as the glass cloth. This provides a prepreg with excellent properties (for example, a prepreg with few voids).

マトリックス樹脂としては、熱硬化性樹脂、及び熱可塑性樹脂のいずれも使用可能である。熱硬化性樹脂と、熱可塑性樹脂と、は併用されてよい。 Either thermosetting resins or thermoplastic resins can be used as the matrix resin. Thermosetting resins and thermoplastic resins may be used in combination.

熱硬化性樹脂としては、例えば、
a)エポキシ基を有する化合物と、該エポキシ基と反応するアミノ基、フェノール基、酸無水物基、ヒドラジド基、イソシアネート基、シアネート基、及び水酸基等の少なくとも1つを有する化合物と、を、無触媒で反応させ、又は、イミダゾール化合物、3級アミン化合物、尿素化合物、リン化合物等の反応触媒能を持つ触媒を添加して反応させ、そして硬化させて成るエポキシ樹脂;
b)アリル基、メタクリル基、及びアクリル基の少なくとも一つを有する化合物を、熱分解型触媒又は光分解型触媒を反応開始剤として用い、そして硬化させて成るラジカル重合型硬化樹脂;
c)シアネート基を有する化合物と、マレイミド基を有する化合物と、を反応させて硬化させて成るマレイミドトリアジン樹脂;
d)マレイミド化合物と、アミン化合物と、を反応させて硬化させて成る熱硬化性ポリイミド樹脂;
e)ベンゾオキサジン環を有する化合物を加熱重合により架橋硬化させて成るベンゾオキサジン樹脂;
等が例示される。
Examples of thermosetting resins include:
a) an epoxy resin obtained by reacting a compound having an epoxy group with a compound having at least one group reactive with the epoxy group, such as an amino group, a phenol group, an acid anhydride group, a hydrazide group, an isocyanate group, a cyanate group, or a hydroxyl group, without a catalyst or by reacting with the addition of a catalyst having a reaction catalytic ability, such as an imidazole compound, a tertiary amine compound, a urea compound, or a phosphorus compound, and then curing the resulting compound;
b) a radical polymerization type curable resin obtained by curing a compound having at least one of an allyl group, a methacryl group, and an acrylic group using a thermal decomposition type catalyst or a photodecomposition type catalyst as a reaction initiator;
c) a maleimide triazine resin obtained by reacting a compound having a cyanate group with a compound having a maleimide group and curing the reacted compound;
d) a thermosetting polyimide resin obtained by reacting and curing a maleimide compound with an amine compound;
e) a benzoxazine resin obtained by crosslinking and curing a compound having a benzoxazine ring through thermal polymerization;
Examples include:

熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリフェニレンエーテル、変性ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンサルファイド、ポリスルホン、ポリエーテルスルフォン、ポリアリレート、芳香族ポリアミド、ポリエーテルエーテルケトン、熱可塑性ポリイミド、不溶性ポリイミド、ポリアミドイミド、LCP、ポリエステル、フッ素樹脂等が例示される。 Examples of thermoplastic resins include polyphenylene ether, modified polyphenylene ether, polyphenylene sulfide, polysulfone, polyether sulfone, polyarylate, aromatic polyamide, polyether ether ketone, thermoplastic polyimide, insoluble polyimide, polyamide imide, LCP, polyester, and fluororesin.

アクリロイル基又はメタクリロイル基は反応性が良好なことから、ポリフェニレンエーテル、及び変性ポリフェニレンエーテルの少なくとも一方をマトリックス樹脂として用いることが好ましい。 Since acryloyl groups or methacryloyl groups have good reactivity, it is preferable to use at least one of polyphenylene ether and modified polyphenylene ether as the matrix resin.

プリプレグは、無機充填剤を含んでよい。無機充填剤としては、例えば、水酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、炭酸カルシウム、アルミナ、マイカ、炭酸アルミニウム、ケイ酸マグネシウム、ケイ酸アルミニウム、シリカ、タルク、ガラス短繊維、ホウ酸アルミニウム、及び炭化ケイ素等が挙げられる。無機充填剤は、熱硬化性樹脂と併用されてよい。 The prepreg may contain an inorganic filler. Examples of inorganic fillers include aluminum hydroxide, zirconium oxide, calcium carbonate, alumina, mica, aluminum carbonate, magnesium silicate, aluminum silicate, silica, talc, short glass fiber, aluminum borate, and silicon carbide. The inorganic filler may be used in combination with the thermosetting resin.

[プリント配線板]
本実施形態のプリント配線板は、プリプレグを含む。特に、本実施形態のプリント配線板は、プリプレグとして、本実施形態の上記プリプレグを含む。が用いられて成ることができる。これにより、各種特性に優れたプリント配線板(例えば、絶縁信頼性に優れたプリント配線板)が提供される。
[Printed wiring board]
The printed wiring board of this embodiment includes a prepreg. In particular, the printed wiring board of this embodiment includes the prepreg of this embodiment as the prepreg. This provides a printed wiring board with excellent properties (for example, a printed wiring board with excellent insulation reliability).

[集積回路、及び電子機器]
本実施形態の集積回路は、本実施形態の上記プリント配線板を含む。また、本実施形態の電子機器は、本実施形態の上記プリント配線板を含む。これらにより、各種特性に優れた集積回路、及び電子機器が提供される。
[Integrated circuits and electronic devices]
The integrated circuit of this embodiment includes the printed wiring board of this embodiment. Also, the electronic device of this embodiment includes the printed wiring board of this embodiment. These provide an integrated circuit and electronic device with various excellent characteristics.

以下、実施例、及び比較例を挙げて本実施形態を説明する。ただし、本実施形態は、以下の実施例のみに限定されない。実施例、及び比較例に関して、各種の製造、測定、及び評価等は、以下の方法により行った。 The present embodiment will be described below with reference to examples and comparative examples. However, the present embodiment is not limited to the following examples. Regarding the examples and comparative examples, various manufacturing, measurements, evaluations, etc. were performed using the following methods.

〔厚み〕
JIS R 3420の7.10に準じて、マイクロメータを用いて、スピンドルを静かに回転させて測定面に平行に軽く接触させ、ラチェットが3回音をたてた後の目盛を読み取った。なお、JIS R 3420には、ガラス長繊維、及びガラス長繊維を用いたガラスクロスなどの製品の一般試験方法が規定されている。
[Thickness]
In accordance with 7.10 of JIS R 3420, a micrometer was used to gently rotate the spindle, bringing it into light contact parallel to the measurement surface, and the scale was read after the ratchet made three clicks. JIS R 3420 also specifies general test methods for long glass fibers and products such as glass cloth made from long glass fibers.

〔目付〕
ガラスクロスを所定の大きさでカットしてサンプルを得た。サンプルの質量を該サンプル面積で除することで、目付を求めた。ここでは、ガラスクロスを10cm×10cmのサイズにカットしてサンプルを得て、その質量を測定することで目付(g/m2)を求めた。
[Metsuke]
The glass cloth was cut to a predetermined size to obtain a sample. The mass of the sample was divided by the area of the sample to determine the basis weight. Here, the glass cloth was cut to a size of 10 cm x 10 cm to obtain a sample, and the mass was measured to determine the basis weight (g/ m2 ).

〔換算厚み〕
ガラスクロスは空気とガラスから成る不連続の面状体であるため、各ガラスクロスの目付をガラスの密度で除することで、共振法で測定するときに必要な換算厚みを算出した。算出式は、下記式:
換算厚み(μm)=目付(g/m2)/ガラスの密度(g/cm3
のとおりである。
[Converted thickness]
Since the glass cloth is a discontinuous planar body made of air and glass, the converted thickness required for measurement by the resonance method was calculated by dividing the basis weight of each glass cloth by the density of the glass. The calculation formula was as follows:
Converted thickness (μm) = basis weight (g/m 2 ) / glass density (g/cm 3 )
As follows.

〔誘電正接〕
IEC 62562に準拠して、各ガラスクロスの誘電正接を測定した。具体的には、各スプリットシリンダー共振器での測定に必要なサイズにサンプリングしたガラスクロスサンプルを、23℃,50%RHの恒温恒湿オーブンに8時間保管して調湿した。その後、スプリットシリンダー共振器(EMラボ社製)、及びインピーダンスアナライザー(Agilent Technologies社製)を用いて、10GHzにおける誘電特性を測定した。測定は、各サンプルで5回実施し、その平均値を求めた。また、各サンプルの厚みとしては、上記換算厚みを用いた。なお、IEC 62562には、主にマイクロ波回路に用いる誘電体基板用ファインセラミックス材料の、マイクロ波帯における誘電特性の測定方法が規定されている。
[Dielectric loss tangent]
The dielectric loss tangent of each glass cloth was measured in accordance with IEC 62562. Specifically, glass cloth samples were sampled to the size required for measurement with each split cylinder resonator and stored in a constant temperature and humidity oven at 23°C and 50% RH for 8 hours to condition the humidity. The dielectric properties at 10 GHz were then measured using a split cylinder resonator (manufactured by EM Lab) and an impedance analyzer (manufactured by Agilent Technologies). The measurement was performed five times for each sample, and the average value was calculated. The thickness of each sample was the equivalent thickness. IEC 62562 specifies a method for measuring the dielectric properties in the microwave band of fine ceramic materials for dielectric substrates, primarily used in microwave circuits.

誘電正接を測定した各ガラスクロスと同じ種類、及び同じ組成を有する厚さ300μmのガラス板を用意した。そして、該ガラス板の厚み測定から得られた厚みを用いて、上記誘電正接の測定と同様の手法により、10GHzにおけるバルク誘電正接を測定した。 A 300 μm thick glass plate was prepared, having the same type and composition as each glass cloth for which the dielectric loss tangent was measured. Using the thickness obtained from the glass plate thickness measurement, the bulk dielectric loss tangent at 10 GHz was measured using the same method as for measuring the dielectric loss tangent above.

〔強熱減量値〕
JIS R3420に準拠して、ガラスロスの強熱減量値を求めた。具体的にはガラスクロスを温度110℃±5℃、時間60分間の条件で乾燥した。次いで、デシケーターに移し、室温で20分間放冷した後、試験片の質量を0.1mgの単位まで測った(A mg)。乾燥した試験片を温度625℃±20℃、時間20分間の条件で加熱処理した。次いで、デシケーターに移し、20分間放冷した後、試験片の質量を0.1mgの単位まで測った(B mg)。下式により、強熱減量値を求め、小数第四位を四捨五入し、小数第三位で表した。
強熱減量値(%)=[{A(mg)-B(mg)}/A(mg)]×100
[Ignition loss value]
The ignition loss value of the glass loss was determined in accordance with JIS R3420. Specifically, the glass cloth was dried at a temperature of 110°C ± 5°C for 60 minutes. The test piece was then transferred to a desiccator and allowed to cool at room temperature for 20 minutes, after which the mass of the test piece was measured to the nearest 0.1 mg (A mg). The dried test piece was then heat-treated at a temperature of 625°C ± 20°C for 20 minutes. The test piece was then transferred to a desiccator and allowed to cool for 20 minutes, after which the mass of the test piece was measured to the nearest 0.1 mg (B mg). The ignition loss value was determined using the following formula, rounded to the fourth decimal place, and expressed to two decimal places.
Ignition loss (%) = [{A (mg) - B (mg)} / A (mg)] x 100

〔平均開繊度〕
ガラスクロスの経糸の開繊度を、下記式:
経糸の開繊度(%)=[経糸幅(μm)/{経糸のフィラメント本数×経糸のフィラメント径(μm)}]×100
により算出した。
また、ガラスクロスの緯糸の開繊度を、下記式:
緯糸の開繊度(%)=[緯糸幅(μm)/{緯糸のフィラメント本数×緯糸のフィラメント径(μm)}]×100
により算出した。
[Average opening degree]
The opening degree of the warp yarns of the glass cloth was calculated using the following formula:
Warp opening rate (%) = [warp width (μm) / {number of warp filaments × warp filament diameter (μm)}] × 100
It was calculated by:
The opening degree of the weft yarn of the glass cloth was calculated using the following formula:
Weft opening rate (%) = [weft width (μm) / {number of weft filaments × weft filament diameter (μm)}] × 100
It was calculated by:

算出した経糸の開繊度(%)、及び緯糸の開繊度(%)を用いて、下記式:
平均開繊度(%)={経糸の開繊度(%)+緯糸の開繊度(%)}/2
により、平均開繊度を算出した。
Using the calculated warp opening rate (%) and weft opening rate (%), the following formula:
Average opening rate (%) = {opening rate of warp yarn (%) + open rate of weft yarn (%)} / 2
The average degree of opening was calculated by the above.

(経糸、及び緯糸の各フィラメント数、及びフィラメント径)
平均開繊度の算出に当たり、経糸、及び緯糸の各フィラメント数は、ガラス糸の断面画像の観察により求めた。具体的には、経糸(又は緯糸)としてのガラス糸の断面画像を取得し、その断面画像において該経糸(又は該緯糸)フィラメント数、及びフィラメント径を測定した。
同様に、ガラス糸の画像取得、及びフィラメント数の測定を繰り返し、得られた5回の測定値の平均値を、経糸(又は緯糸)のフィラメント数、及びフィラメント径として扱った。
(Number of warp and weft filaments and filament diameter)
In calculating the average degree of opening, the number of filaments in the warp and weft yarns was determined by observing a cross-sectional image of the glass yarn. Specifically, a cross-sectional image of the glass yarn as the warp yarn (or the weft yarn) was obtained, and the number of filaments and the filament diameter of the warp yarn (or the weft yarn) were measured in the cross-sectional image.
Similarly, image acquisition of the glass yarn and measurement of the number of filaments were repeated, and the average values of the five measurements obtained were used as the number of filaments and filament diameter of the warp (or weft).

(経糸幅、及び緯糸幅)
平均開繊度の算出に当たり、経糸幅、及び緯糸幅を、下記手法により求めた。
まず、ガラスクロスから、経糸方向70mm、及び緯糸方向70mmのサイズのガラスクロス試験片を5枚切り出した。
切り出した試験片を、それぞれ、マクロスコープを用いて100倍の倍率で垂直方向から観察した。試験片1枚につき、250本の経糸(又は緯糸)の糸幅を無作為に測定し、得られた250本の経糸(又は緯糸)の糸幅の平均値を求めた。求めた該平均値を、経糸幅(又は緯糸幅)として扱った。
(Warp width and weft width)
In calculating the average degree of opening, the warp width and the weft width were determined by the following method.
First, five glass cloth test pieces each measuring 70 mm in the warp direction and 70 mm in the weft direction were cut out from the glass cloth.
Each cut specimen was observed vertically using a macroscope at 100x magnification. For each specimen, the widths of 250 warp yarns (or weft yarns) were randomly measured, and the average value of the widths of the 250 warp yarns (or weft yarns) was calculated. The average value was used as the warp width (or weft width).

〔総炭素量〕
ガラスクロスを、80mg程度の質量となる大きさで方形状に切り出した。切り出したガラスクロスを約800℃で1分間加熱し、そして発生した気体中の二酸化炭素量をガスクロマトグラフィーで測定することで、発生した気体中の二酸化炭素量を求めた。また、所定の質量W(mg)を有するアセトアニリド(CNO)についても、約800℃で1分間加熱したときに発生した二酸化炭素量を求めた。
二酸化炭素量の測定には、SUMIGRAPH NC-TR22(住化分析センター社製)を用いた。また、アセトアニリドの分子量、及び炭素割合として、下記値:
アセトアニリドの分子量=135.17
アセトアニリドの炭素割合=71.09%
を用いた。
[Total carbon content]
The glass cloth was cut into a square shape with a mass of about 80 mg. The cut glass cloth was heated at about 800°C for 1 minute, and the amount of carbon dioxide in the generated gas was measured by gas chromatography to determine the amount of carbon dioxide in the generated gas. In addition, the amount of carbon dioxide generated when acetanilide ( C8H9NO ) having a predetermined mass W ( mg ) was heated at about 800°C for 1 minute was also determined.
The amount of carbon dioxide was measured using SUMIGRAPH NC-TR22 (manufactured by Sumika Chemical Analysis Center Co., Ltd.). The molecular weight and carbon ratio of acetanilide were determined as follows:
Molecular weight of acetanilide = 135.17
Carbon percentage of acetanilide = 71.09%
was used.

ガラスクロスの質量当たりの総炭素量を、下記式:
総炭素量(質量%)=
[{アセトアニリドの質量W(mg)×(アセトアニリドの炭素割合/100)}/アセトアニリドから発生した二酸化炭素由来のピーク面積]×[{ガラスクロスから発生した二酸化炭素のピーク面積/ガラスクロスの質量(mg)}×100]
に基づいて算出した。
The total carbon amount per mass of the glass cloth is calculated using the following formula:
Total carbon content (mass%) =
[{mass W (mg) of acetanilide × (carbon ratio of acetanilide/100)} / peak area derived from carbon dioxide generated from acetanilide] × [{peak area of carbon dioxide generated from the glass cloth / mass (mg) of the glass cloth} × 100]
It was calculated based on the following.

ガラスクロスを切り出す位置を変え、そして得られた計10つの異なるサンプルについて、それぞれ総炭素量を測定し、その平均値を、総炭素量として扱った。 The glass cloth was cut from different positions, and the total carbon content was measured for each of the resulting 10 different samples, and the average value was used as the total carbon content.

〔ヒートクロスの作製〕
下記操作1~3:
操作1:ガラスクロスを、615℃で1時間、加熱脱油した。
操作2:操作1後のガラスクロスの強熱減量値を測定した。
操作3:操作2で得られた強熱減量値が0.01質量%を超える場合、操作1を再度行った(操作2で得られた強熱減量値が0.01質量%以下となるまで、操作1、及び2を繰り返した)。
を行うことで、表面処理剤が除去されたヒートクロスを得た。
[Making heat cloth]
Follow steps 1 to 3 below:
Operation 1: A glass cloth was heated at 615° C. for 1 hour to remove oil.
Operation 2: After Operation 1, the ignition loss of the glass cloth was measured.
Procedure 3: If the ignition loss value obtained in Procedure 2 exceeded 0.01% by mass, Procedure 1 was repeated (Procedures 1 and 2 were repeated until the ignition loss value obtained in Procedure 2 became 0.01% by mass or less).
By carrying out the above steps, a heat cloth from which the surface treatment agent had been removed was obtained.

〔カルボニル基のピーク高さ〕
ガラスクロスと、上記の方法で得られたヒートクロスと、を用いて、ガラスクロスに付着している表面処理剤に含まれるカルボニル基由来のピーク高さを、フーリエ変換赤外分光法により求めた。測定装置、及び測定方法は、以下のとおりである。
[Carbonyl group peak height]
Using a glass cloth and the heat cloth obtained by the above method, the peak height derived from the carbonyl group contained in the surface treatment agent attached to the glass cloth was measured by Fourier transform infrared spectroscopy. The measuring device and measuring method are as follows.

(測定装置;フーリエ変換赤外分光光度計(FT-IR))
型式:アジレント・テクノロジー株式会社製 variant 670-IR
測定方法:透過法
積算回数:64回
波数分解能:4cm―1
測定波数:400cm-1~4000cm-1
(Measurement device: Fourier transform infrared spectrophotometer (FT-IR))
Model: Agilent Technologies Variant 670-IR
Measurement method: Transmission method Number of integration: 64 times Wavenumber resolution: 4cm -1
Measurement wave number: 400cm -1 ~ 4000cm -1

(測定方法)
(1) variant 670-IRの校正操作を行い、透過法での測定を行うための準備を行った。
(2) ヒートクロスを4枚重ねてこれをサンプルとし、該サンプルをホルダーに固定した。そして、装置内の試料台にセッティングし、ヒートクロスについて透過法による赤外スペクトルを測定した。
(3) ガラスクロスを4枚重ねてこれをサンプルとし、上記(2)と同様の操作により、ガラスクロスについて透過法による赤外スペクトルを測定した。
(4) 上記(2)、及び(3)の結果から、赤外スペクトルの差スペクトルを求めた。
(Measurement method)
(1) The Variant 670-IR was calibrated and preparations were made for measurements using the transmission method.
(2) Four heat cloths were stacked to form a sample, which was then fixed in a holder and set on the sample stage in the apparatus, and the infrared spectrum of the heat cloths was measured by the transmission method.
(3) Four sheets of glass cloth were stacked to form a sample, and the infrared spectrum of the glass cloth was measured by the transmission method in the same manner as in (2) above.
(4) From the results of (2) and (3) above, the difference spectrum of the infrared spectrum was calculated.

(5) 上記(4)で得られた差スペクトルから、1600cm―1~1900cm―1の範囲に存在するカルボニル基由来のピークについて、その高さを求めた。そして、カルボニル基由来のピーク高さを、重ねたガラスクロスの枚数(本実施例では4枚)の数値で割ることで、ガラスクロス1枚当たりのピーク高さを求めた。 (5) From the difference spectrum obtained in (4) above, the height of the peak derived from carbonyl groups present in the range of 1600 cm −1 to 1900 cm −1 was determined, and the peak height derived from carbonyl groups was then divided by the number of stacked glass cloths (four in this example) to determine the peak height per glass cloth.

ここで、ベースラインは、JIS K 0117:2017に記載される、ベースラインの引き方に準拠して得た。具体的には、JIS K 0117:2017に記載される図18 d)のように、2点のベースポイント(本実施例では、上記(5)における、カルボニル基由来のピークの右側に位置するベース部分と、左側に位置するベース部分と、の2点)に接するように接線を引き、これをベースラインとして扱った。そして、ベースラインと、ピークトップと、の差を、カルボニル基由来のピーク高さとして得た。 The baseline was obtained in accordance with the baseline drawing method described in JIS K 0117:2017. Specifically, as shown in Figure 18 d) described in JIS K 0117:2017, a tangent line was drawn to two base points (in this example, the base point located to the right and left of the peak derived from the carbonyl group in (5) above), and this was treated as the baseline. The difference between the baseline and the peak top was then obtained as the height of the peak derived from the carbonyl group.

(6) 上記(2)~(5)の操作を、ヒートクロスと、下記方法で得られた標本サンプルと、を用いて同様に行った。これにより、標本サンプルにおける、総炭素量(質量%)又は強熱減量値(質量%)と(x軸)、ガラスクロス1枚当たりのカルボニル基由来のピーク高さと(y軸)、の検量線を得た。なお、検量線として、原点を通り、かつ、直線近似したものを得た。 (6) The above procedures (2) to (5) were repeated using a heat cloth and a sample obtained by the method described below. This resulted in a calibration curve of the total carbon content (mass%) or ignition loss (mass%) (x-axis) of the sample and the peak height due to carbonyl groups per glass cloth (y-axis). The calibration curve passed through the origin and was approximated as a straight line.

図1は、本実施例で作製される検量線Lを示している。このうち、図1(a)は、ピーク高さと総炭素量との関係を示しており、また、図1(b)は、ピーク高さと強熱減量値との関係を示している。 Figure 1 shows the calibration curve L prepared in this example. Figure 1(a) shows the relationship between peak height and total carbon content, and Figure 1(b) shows the relationship between peak height and ignition loss.

(7) 上記(6)で得られた検量線において、標本サンプルの総炭素量又は強熱減量値が0.1質量%のときのy軸値(カルボニル基由来のピーク高さ)を、1.00として定めた。そして、上記(5)で得られた「ガラスクロスの1枚当たりのピーク高さ」を下記式:
相対値化後の「ガラスクロスの1枚当たりのピーク高さ」=(相対値化前の「ガラスクロスの1枚当たりのピーク高さ」×1.00)/標本サンプルのピーク高さ(総炭素量又は強熱減量値が0.1質量%である場合)
に従って、相対値化を行った。これにより、相対値化後の「ガラスクロスの1枚当たりのピーク高さ」を求めた。
なお、式中、相対値化前の「ガラスクロスの1枚当たりのピーク高さ」は、上記(5)で得られた「ガラスクロスの1枚当たりのピーク高さ」である。
(7) In the calibration curve obtained in (6) above, the y-axis value (peak height derived from carbonyl groups) when the total carbon content or ignition loss value of the sample was 0.1 mass% was defined as 1.00. The "peak height per glass cloth" obtained in (5) above was calculated using the following formula:
"Peak height per glass cloth" after relative value conversion = ("Peak height per glass cloth" before relative value conversion × 1.00) / Peak height of specimen sample (when the total carbon content or ignition loss value is 0.1 mass%)
The relative values were calculated according to the following formula: Thus, the "peak height per glass cloth" after the relative value calculation was determined.
In the formula, the "peak height per glass cloth" before conversion into a relative value is the "peak height per glass cloth" obtained in (5) above.

(8) 上記(3)でサンプルとして扱ったガラスクロスの総炭素量又は強熱減量値と、上記(7)で得られた相対値化後の「ガラスクロス1枚当たりのピーク高さ」と、を用いて、下記値を下記式:
値A=ガラスクロス1枚当たりのピーク高さ/ガラスクロスの総炭素量(質量%)
値B=ガラスクロス1枚当たりのピーク高さ/ガラスクロスの強熱減量値(質量%)
によりそれぞれ算出した。
(8) Using the total carbon content or ignition loss value of the glass cloth treated as a sample in (3) above and the relative value-converted "peak height per glass cloth" obtained in (7) above, the following value is calculated using the following formula:
Value A = Peak height per glass cloth / Total carbon content of glass cloth (mass%)
Value B = Peak height per glass cloth / Ignition loss value of glass cloth (mass%)
were calculated respectively.

(9) ガラスクロスを重ねる枚数を5枚に変えて、上記(1)~(8)の操作を同様に行った。このとき、上記(2)におけるヒートクロスを重ねる枚数は5枚、また、上記(6)における標本サンプルを重ねる枚数は5枚として、上記操作を行った。これにより、ガラスクロス枚数が5枚であるときの、値A、及び値Bを得た。 (9) The number of overlapping glass cloths was changed to five, and the operations (1) to (8) above were repeated. In this case, the number of overlapping heat cloths in (2) above was changed to five, and the number of overlapping specimen samples in (6) above was changed to five. This resulted in values A and B when the number of glass cloths was five.

(10) また、ガラスクロスを重ねる枚数を6枚に変えて、上記(1)~(8)の操作を同様に行った。このとき、上記(2)におけるヒートクロスを重ねる枚数は6枚、また、上記(6)における標本サンプルを重ねる枚数は6枚として、上記操作を行った。これにより、ガラスクロス枚数が6枚であるときの、値A、及び値Bを得た。 (10) Furthermore, the number of overlapping glass cloths was changed to six, and the operations (1) to (8) above were repeated. In this case, the number of overlapping heat cloths in (2) above was six, and the number of overlapping specimen samples in (6) above was six. This resulted in values A and B when the number of glass cloths was six.

(11) ガラスクロス枚数が4枚であるときに得られた差スペクトルと、ガラスクロス枚数が5枚であるときに得られた差スペクトルと、ガラスクロス枚数が6枚であるときに得られた差スペクトルと、を比較した。
そして、差スペクトルの形状に最も乱れがない該差スペクトルを与えたガラスクロス枚数を特定し、かかるガラスクロス枚数において得られた値A、及び値Bを、評価値として採用した。
(11) The difference spectrum obtained when the number of glass cloths was four, the difference spectrum obtained when the number of glass cloths was five, and the difference spectrum obtained when the number of glass cloths was six were compared.
Then, the number of glass cloths that gave the difference spectrum with the least distortion in the shape of the difference spectrum was specified, and the values A and B obtained for that number of glass cloths were used as the evaluation values.

本実施例では、(1)~(11)を行ったが、測定結果に影響を及ぼさない限り、割愛可能な工程があれば割愛してよく、また、順番が入れ替わってよい。 In this example, steps (1) to (11) were performed, but as long as it does not affect the measurement results, any steps that can be omitted may be omitted, and the order of steps may be reversed.

〔標本サンプル〕
経糸、及び緯糸として、SiO組成量が99.9質量%超のガラス糸(平均フィラメント径5.0μm、フィラメント数100本、撚り数1.0Z)を用いた。そして、エアジェットルームを用い、経糸66本/25mm、及び緯糸68本/25mmの織密度を有するガラスクロスを得た。得られたガラスクロスを、1000℃で20秒間、加熱脱油した。続いて、酢酸によりpH=3に調整した純水と、シランカップリング剤{5-ヘキセニルトリメトキシシラン;Z6161(ダウ・東レ社製)、及び3-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン;Z6030(ダウ・東レ社製)}と、を混合した表面処理液に、ガラスクロスを浸漬させた。浸漬後、ガラスクロスを取り出し、110℃で1分加熱乾燥することで、シランカップリング剤による表面処理を行った。
これにより、標本ガラスクロスサンプルを作成した。
[Specimen sample]
Glass yarns (average filament diameter 5.0 μm, filament count 100, twist count 1.0Z) with a SiO2 content of more than 99.9% by mass were used for the warp and weft. Then, using an air jet loom, a glass cloth with a weave density of 66 warp yarns/25 mm and 68 weft yarns/25 mm was obtained. The obtained glass cloth was heated at 1000°C for 20 seconds to deoil. Subsequently, the glass cloth was immersed in a surface treatment solution containing a mixture of pure water adjusted to pH 3 with acetic acid and a silane coupling agent (5-hexenyltrimethoxysilane; Z6161 (manufactured by Dow-Toray Industries, Inc.) and 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane; Z6030 (manufactured by Dow-Toray Industries, Inc.)). After immersion, the glass cloth was removed and heated and dried at 110°C for 1 minute, thereby performing a surface treatment with the silane coupling agent.
In this way, a sample glass cloth was prepared.

標本サンプルの総炭素量が0.05質量%、0.07質量%、0.1質量%、0.12質量%、及び0.15質量%となるように、5-ヘキセニルトリメトキシシラン:3-メタクリロキシプロピルトリメトキシシランの質量比を1.00:2.83で固定しながら表面処理液におけるシランカップリング剤の合計質量%を調整した。そして、シランカップリング剤の付着量がおおよそ上記検量線の5点に近いガラスクロスをそれぞれ作製した。 The total mass percent of the silane coupling agent in the surface treatment solution was adjusted while the mass ratio of 5-hexenyltrimethoxysilane:3-methacryloxypropyltrimethoxysilane was fixed at 1.00:2.83 so that the total carbon content of the sample samples was 0.05 mass%, 0.07 mass%, 0.1 mass%, 0.12 mass%, and 0.15 mass%. Glass cloth samples were then prepared with amounts of silane coupling agent attached that were roughly close to the five points on the calibration curve.

〔ガラスクロスP〕
SiO2組成量が99.9質量%超えのガラス糸から構成される、経糸、及び緯糸を用いた。具体的に、経糸、及び緯糸として、平均フィラメント径5.0μm、フィラメント数100本、及び撚り数1.0Zのガラス糸をそれぞれ用いた。そして、エアジェットルームを用い、経糸66本/25mm、及び緯糸68本/25mmの織密度、並びにクロス幅が1300mmである、平織構造を有するガラスクロスを2000m製織した。なお、用いたガラス糸を構成するガラスの、10GHzにおけるバルク誘電正接は0.00020であった。
[Glass Cloth P]
The warp and weft yarns were composed of glass yarns with a SiO2 composition of more than 99.9% by mass. Specifically, the warp and weft yarns were glass yarns with an average filament diameter of 5.0 μm, 100 filaments, and a twist of 1.0Z. Then, using an air jet loom, 2000 m of glass cloth was woven with a plain weave structure, a warp density of 66/25 mm and a weft density of 68/25 mm, and a cloth width of 1300 mm. The bulk dielectric loss tangent at 10 GHz of the glass constituting the glass yarns was 0.00020.

〔ガラスクロスQ〕
SiO2組成量が99.9質量%超えのガラス糸から構成される、経糸、及び緯糸を用いた。具体的に、経糸、及び緯糸として、平均フィラメント径5.0μm、フィラメント数200本、及び撚り数1.0Zのガラス糸をそれぞれ用いた。そして、エアジェットルームを用い、経糸54本/25mm、及び緯糸54本/25mmの織密度、並びにクロス幅が1300mmである、平織構造を有するガラスクロスを2000m製織した。なお、用いたガラス糸を構成するガラスの、10GHzにおけるバルク誘電正接は0.00020であった。
[Glass Cloth Q]
The warp and weft yarns were composed of glass yarns with a SiO2 composition of more than 99.9% by mass. Specifically, the warp and weft yarns were glass yarns with an average filament diameter of 5.0 μm, 200 filaments, and a twist of 1.0Z. Then, using an air jet loom, 2000 m of glass cloth was woven with a plain weave structure, a warp density of 54/25 mm, a weft density of 54/25 mm, and a cloth width of 1300 mm. The bulk dielectric loss tangent at 10 GHz of the glass constituting the glass yarns was 0.00020.

〔ガラスクロスR〕
SiO2組成量が99.9質量%超えのガラス糸から構成される、経糸、及び緯糸を用いた。具体的に、経糸、及び緯糸として、平均フィラメント径4.0μm、フィラメント数50本、及び撚り数1.0Zのガラス糸をそれぞれ用いた。そして、エアジェットルームを用い、経糸95本/25mm、及び緯糸95本/25mmの織密度、並びにクロス幅が1300mmである、平織構造を有するガラスクロスを2000m製織した。なお、用いたガラス糸を構成するガラスの、10GHzにおけるバルク誘電正接は0.00020であった。
[Glass Cloth R]
The warp and weft yarns were composed of glass yarns with a SiO2 composition of more than 99.9% by mass. Specifically, the warp and weft yarns were glass yarns with an average filament diameter of 4.0 μm, 50 filaments, and a twist of 1.0Z. Then, using an air jet loom, 2000 m of glass cloth was woven with a plain weave structure, a warp density of 95/25 mm and a weft density of 95/25 mm, and a cloth width of 1300 mm. The bulk dielectric loss tangent at 10 GHz of the glass constituting the glass yarns was 0.00020.

〔表面処理液の調合〕
表面処理液を、下記方法1)~5)調合した。
1) シランカップリング剤を秤量した。
2) 上記1)で秤量した量と同量のメタノールを、上記1)で秤量したシランカップリング剤と混合することで、シランカップリング剤溶液を作製した。
3) シランカップリング剤溶液と、該シランカップリング剤に対して0.8質量%のポリオキシエチレンアルキルエーテルと、を混合し、そして攪拌した。1分攪拌した後、シランカップリング剤に対して20質量%の酢酸水溶液(濃度60質量%)を、シランカップリング剤溶液に加えた。これにより、シランカップリング剤を加水分解した。
4) 酢酸水溶液の母液(pH=3~4)を用意した。また、上記3)で得られたシランカップリング剤溶液(プレ溶液)を、20~25℃の室温下、15分攪拌した。その後、攪拌しているシランカップリング剤溶液に対して上記母液を滴下させ、これにより、シランカップリング剤を分散させた。母液の滴下量(滴下速度)は、10分で母液全量の滴下が完了する条件に設定した。
5) 上記4)後、20~25℃の室温下、シランカップリング剤溶液を2時間攪拌することで、表面処理液を得た。
[Preparation of surface treatment solution]
The surface treatment solutions were prepared according to the following methods 1) to 5).
1) The silane coupling agent was weighed.
2) Methanol in an amount equal to the amount weighed out in 1) above was mixed with the silane coupling agent weighed out in 1) above to prepare a silane coupling agent solution.
3) The silane coupling agent solution was mixed with 0.8% by mass of polyoxyethylene alkyl ether relative to the silane coupling agent and stirred. After stirring for 1 minute, 20% by mass of acetic acid aqueous solution (concentration: 60% by mass) relative to the silane coupling agent was added to the silane coupling agent solution. This hydrolyzed the silane coupling agent.
4) A mother liquor of an aqueous acetic acid solution (pH = 3 to 4) was prepared. The silane coupling agent solution (pre-solution) obtained in 3) above was stirred for 15 minutes at room temperature of 20 to 25°C. The mother liquor was then added dropwise to the stirred silane coupling agent solution, thereby dispersing the silane coupling agent. The amount of mother liquor added (dropping rate) was set so that the entire amount of mother liquor would be added in 10 minutes.
5) After step 4), the silane coupling agent solution was stirred at room temperature of 20 to 25° C. for 2 hours to obtain a surface treatment liquid.

本開示の「表面処理剤に溶媒を添加して表面処理液を調合する工程」における「溶媒」は、一態様において、上記母液である。ここで、母液の一例は、加水分解後のシランカップリング剤を分散させる目的で添加される、pH=3~4の弱酸性水溶液である。
と定義される。
In one embodiment, the "solvent" in the "step of preparing a surface treatment liquid by adding a solvent to a surface treatment agent" of the present disclosure is the mother liquid. Here, an example of the mother liquid is a weakly acidic aqueous solution with a pH of 3 to 4, which is added for the purpose of dispersing the silane coupling agent after hydrolysis.
It is defined as follows.

〔実施例、及び比較例〕
(実施例1)
ガラスクロスPをイオン交換水で洗浄し、その後、乾燥させた。これにより、ガラスクロス表面に付着しているアルカリ金属イオン等を除去した。その後、1000℃で15秒間、ガラスクロスPを加熱することで、加熱脱油した(加熱脱油工程)。
[Examples and Comparative Examples]
Example 1
The glass cloth P was washed with ion-exchanged water and then dried. This removed alkali metal ions and the like adhering to the surface of the glass cloth. Thereafter, the glass cloth P was heated at 1000°C for 15 seconds to perform thermal deoiling (thermal deoiling step).

シランカップリング剤として、1,1′-[2-[[(2-Methyl-1-oxo-2-propen-1-yl)oxy]methyl]-2-[6-(trimethoxysilyl)hexyl]-1,3-propanediyl] bis(2-methyl-2-propenoate)(CAS NO:1248412-07-8、シランカップリング剤A)を用いて、表面処理液におけるシランカップリング剤濃度が0.5質量%となるように、上記手法により、表面処理液を調合した。 The silane coupling agent used was 1,1'-[2-[[(2-Methyl-1-oxo-2-propen-1-yl)oxy]methyl]-2-[6-(trimethoxysilyl)hexyl]-1,3-propanediyl] bis(2-methyl-2-propenoate) (CAS No. 1248412-07-8, Silane Coupling Agent A), and the surface treatment liquid was prepared using the above method so that the concentration of the silane coupling agent in the surface treatment liquid was 0.5% by mass.

得られた表面処理液に、加熱脱油後のガラスクロスを浸漬させた。そして、NBR製のゴムロールで0.22MPaの圧力にて、余分な表面処理液を絞液した。その後、135℃で1分間、ガラスクロスを加熱乾燥させ、これにより、ガラスクロスの表面にシランカップリング剤を固着させた。The glass cloth, which had been heated and deoiled, was immersed in the resulting surface treatment solution. Then, excess surface treatment solution was squeezed out using an NBR rubber roll at a pressure of 0.22 MPa. The glass cloth was then heated and dried at 135°C for 1 minute, thereby adhering the silane coupling agent to the surface of the glass cloth.

ここで本実施例では、ガラスクロスを表面処理する間、表面処理液の温度が17~23℃の範囲となるように、温度管理(例えば、冷却)を行った。また、ガラスクロスを表面処理する間、表面処理液のpHが3.0~4.0の範囲となるように、表面処理液に二酸化炭素をバブリングした。 In this example, temperature control (e.g., cooling) was performed to keep the temperature of the surface treatment liquid in the range of 17 to 23°C while the glass cloth was being surface treated. Furthermore, carbon dioxide was bubbled into the surface treatment liquid to keep the pH of the surface treatment liquid in the range of 3.0 to 4.0 while the glass cloth was being surface treated.

また本実施例では、ガラスクロスの表面処理に用いる表面処理液を、HDCIIフィルター(日本ポール株式会社製)を用いて濾過した。すなわち、最初に、目開きが10μmのフィルターに表面処理液を通し後、目開きが4.5μmのフィルターに表面処理液を更に通した。これにより、表面処理液に存在し得る凝集物を捕集した。濾過した表面処理液を、ガラスクロスの表面処理に用いた。In this example, the surface treatment solution used for the surface treatment of the glass cloth was filtered using an HDCII filter (manufactured by Nippon Pall Corporation). That is, the surface treatment solution was first passed through a filter with a mesh size of 10 μm, and then passed through a filter with a mesh size of 4.5 μm. This allowed for the capture of any aggregates that may be present in the surface treatment solution. The filtered surface treatment solution was used for the surface treatment of the glass cloth.

表面処理後のガラスクロスに対して、スプレーノズルで5.0kg/cm2の圧力を加え、これにより、高圧開繊した。次いで、水中で、周波数25kHz、出力0.60W/cmの超音波を照射することで、ガラスクロスに物理付着した余分なシランカップリング剤を低減しながら、更に開繊処理した。その後、130℃で1分間加熱することで乾燥させた。更に、トルエンに浸漬させてガラスクロスの仕上げ洗浄を行い、これにより、ガラスフィラメントの表面と化学結合を形成していないシランカップリング剤の変性物を低減した。以上により、表面処理したガラスクロスを2000m得た。 The surface-treated glass cloth was subjected to a pressure of 5.0 kg/ cm² using a spray nozzle, resulting in high-pressure opening. Next, ultrasonic waves at a frequency of 25 kHz and an output of 0.60 W/ cm² were applied in water to further open the glass cloth while reducing excess silane coupling agent physically attached to the glass cloth. The glass cloth was then dried by heating at 130°C for 1 minute. The glass cloth was then immersed in toluene for finish washing, thereby reducing modified silane coupling agent that had not formed chemical bonds with the surface of the glass filaments. As a result of the above, 2000 m of surface-treated glass cloth was obtained.

(実施例2)
シランカップリング剤として、Acrylic acid, [[2-[(trimethoxysilyl)methoxy]ethyl]imino]diethylene ester(CAS NO:3390-52-1、シランカップリング剤B)を用いた点と、シランカップリング剤Bの濃度を0.8質量%とした点と、以外は、実施例1と同様の方法で、表面処理したガラスクロスを2000m得た。
Example 2
A surface-treated glass cloth of 2000 m was obtained in the same manner as in Example 1, except that acrylic acid, [[2-[(trimethoxysilyl)methoxy]ethyl]imino]diethylene ester (CAS NO: 3390-52-1, silane coupling agent B) was used as the silane coupling agent and the concentration of silane coupling agent B was 0.8 mass%.

(実施例3)
シランカップリング剤として、2-Propenoic acid, 1,1′-[2-(8,8-dimethoxy-3-oxo-2,9-dioxa-6-thia-8-siladec-1-yl)-2-[[(1-oxo-2-propen-1-yl)oxy]methyl]-1,3-propanediyl] ester(CAS NO:1801441-80-4、シランカップリング剤C)を用いた点以外は、実施例2と同様の方法で、表面処理したガラスクロスを2000m得た。
Example 3
As the silane coupling agent, 2-propenoic acid, 1,1'-[2-(8,8-dimethoxy-3-oxo-2,9-dioxa-6-thia-8-siladec-1-yl)-2-[[(1-oxo-2-propen-1-yl)oxy]methyl]-1,3-propanediyl] ester (CAS NO: 1801441-80-4, silane coupling agent C) was used. Except for this, a surface-treated glass cloth of 2000 m was obtained in the same manner as in Example 2.

(実施例4)
シランカップリング剤として、1,1′-[2-Methyl-2-[[[[3-(trimethoxysilyl)propyl]amino]carbonyl]amino]-1,3-propanediyl] di-2-propenoate(CAS NO:1239892-42-2、シランカップリング剤D)を用いた点以外は、実施例2と同様の方法で、表面処理したガラスクロスを2000m得た。
Example 4
As the silane coupling agent, 1,1'-[2-Methyl-2-[[[[3-(trimethoxysilyl)propyl]amino]carbonyl]amino]-1,3-propanediyl]di-2-propenoate (CAS NO: 1239892-42-2, silane coupling agent D) was used. Except for this, a surface-treated glass cloth of 2000 m was obtained in the same manner as in Example 2.

(実施例5)
シランカップリング剤として、2-Propenoic acid, 2-methyl-, 1-[(trimethoxysilyl)methyl]-1,2-ethanediyl ester(CAS NO:143414-45-3、シランカップリング剤E)を用いた点以外は、実施例2と同様の方法で、表面処理したガラスクロスを2000m得た。
Example 5
A surface-treated glass cloth (2000 m) was obtained in the same manner as in Example 2, except that 2-propenoic acid, 2-methyl-, 1-[(trimethoxysilyl)methyl]-1,2-ethanediyl ester (CAS NO: 143414-45-3, silane coupling agent E) was used as the silane coupling agent.

(実施例6)
シランカップリング剤として、1,1′-[2-[[2-(9,9-Dimethoxy-4-oxo-3,10-dioxa-5-aza-9-silaundec-1-yl)-11,11-dimethoxy-1,6-dioxo-5,12-dioxa-2,7-diaza-11-silatridec-1-yl]amino]-2-methyl-1,3-propanediyl] di-2-propenoate(CAS NO:1558048-41-1、シランカップリング剤F)を用いた点以外は、実施例2と同様の方法で、表面処理したガラスクロスを2000m得た。
Example 6
As a silane coupling agent, 1,1'-[2-[[2-(9,9-Dimethoxy-4-oxo-3,10-dioxa-5-aza-9-silaundec-1-yl)-11,11-dimethoxy-1,6-dioxo-5,12-dioxa-2,7-diaza-11-silatridec-1-yl]amino]-2-methyl-1,3-propanediyl] di-2-propenoate (CAS NO: 1558048-41-1, silane coupling agent F) was used, except that in the same manner as in Example 2, a surface-treated glass cloth of 2000 m was obtained.

(実施例7)
ガラスクロスQを用いた点と、シランカップリング剤A、及びBの濃度が0.4質量%ずつの合計0.8質量%のシランカップリング剤を用いた点以外は、実施例1と同様の方法で、表面処理したガラスクロスを2000m得た。
Example 7
A surface-treated glass cloth of 2000 m was obtained in the same manner as in Example 1, except that glass cloth Q was used and the silane coupling agents A and B were used in a concentration of 0.4% by mass each, totaling 0.8% by mass.

(実施例8)
ガラスクロスRを用いた点と、シランカップリング剤Aの濃度を0.8質量%とした点以外は、実施例1と同様の方法で、表面処理したガラスクロスを2000m得た。
(Example 8)
A surface-treated glass cloth of 2000 m was obtained in the same manner as in Example 1, except that Glass Cloth R was used and the concentration of Silane Coupling Agent A was set to 0.8 mass %.

(実施例9)
表面処理を行った後、スプレーノズルによる高圧開繊を行わなかった点以外は、実施例1と同様の方法で、表面処理したガラスクロスを2000m得た。
Example 9
After the surface treatment, 2000 m of surface-treated glass cloth was obtained in the same manner as in Example 1, except that high-pressure spreading using a spray nozzle was not carried out.

(実施例10)
表面処理を行った後に、スプレーノズルで2.5kg/cmの圧力で高圧開繊した点以外は、実施例1と同様の方法で、表面処理したガラスクロスを2000m得た。
Example 10
After the surface treatment, 2000 m of surface-treated glass cloth was obtained in the same manner as in Example 1, except that the glass cloth was spread at a high pressure of 2.5 kg/cm 2 using a spray nozzle.

(実施例11)
シランカップリング剤A、及び3-(メタクリロイルオキシ)プロピルトリメトキシシラン(CAS NO:2530-85-0、シランカップリング剤G)の濃度が0.4質量%ずつの合計0.8質量%のシランカップリング剤を用いた点以外は、実施例1と同様の方法で、表面処理したガラスクロスを2000m得た。
Example 11
A surface-treated glass cloth of 2000 m was obtained in the same manner as in Example 1, except that a silane coupling agent of 0.8 mass% in total, consisting of silane coupling agent A and 3-(methacryloyloxy)propyltrimethoxysilane (CAS NO: 2530-85-0, silane coupling agent G) with a concentration of 0.4 mass% each, was used.

(比較例1)
シランカップリング剤Gを用いた点以外は、実施例2と同様の方法で、表面処理したガラスクロスを2000m得た。
(Comparative Example 1)
A surface-treated glass cloth of 2000 m was obtained in the same manner as in Example 2, except that silane coupling agent G was used.

(比較例2)
攪拌している酢酸水溶液の母液に、シランカップリング剤溶液を滴下して、表面処理液を調合した点と、表面処理液の濾過を行わずに、ガラスクロスの表面処理を行った点と、表面処理液の温度が23℃を超えても、表面処理液の冷却を行わなかった点と、pHが4.0を超えても二酸化炭素のバブリングを行わなかった点と、以外は、実施例1と同様の方法で、表面処理したガラスクロスを2000m得た。
(Comparative Example 2)
A surface-treated glass cloth of 2000 m was obtained in the same manner as in Example 1, except that a surface treatment liquid was prepared by dropping a silane coupling agent solution into a mother liquid of an aqueous acetic acid solution under stirring, that the surface treatment liquid was not filtered, that the surface treatment liquid was not cooled even when the temperature of the surface treatment liquid exceeded 23°C, and that carbon dioxide bubbling was not performed even when the pH exceeded 4.0.

(比較例3)
シランカップリング剤として、3-アクリロキシプロピルトリメトキシシラン(CAS NO:4369-14-6、シランカップリング剤H)を用いた点以外は、実施例2と同様の方法で、表面処理したガラスクロスを2000m得た。
(Comparative Example 3)
A surface-treated glass cloth of 2000 m was obtained in the same manner as in Example 2, except that 3-acryloxypropyltrimethoxysilane (CAS No. 4369-14-6, silane coupling agent H) was used as the silane coupling agent.

〔白色スポットの発生頻度〕
ガラスクロス表面の白色スポットの発生頻度はA4サイズ(210mm×297mm)以上のガラスクロスに関してハロゲンランプを照射することで、評価を行った。シート状のガラスクロスの観察の場合、ガラスクロス直上にハロゲンランプを設置し、ガラスクロスを観察する方向を変えながら、白色スポットの個数と下記式:
白色スポットの発生頻度(個/m)=白色スポットの個数/{ガラスクロスの面積(m)}
に従って、白色スポットの発生頻度を求めた。
また、ガラスクロスロールの観察の場合、Roll-to-Rollの検査台において、ガラスクロスに対して張力100N/1300mmをかけるとともにハロゲンランプを照射しながら、ガラスクロスにおける白色スポットの発生個数を、長手2000mにわたってカウントした。そして、検査面積と、検査で見つかった白色スポットの個数と、から、下記式:
白色スポットの発生頻度(個/m)=白色スポットの個数/{ガラスクロスの幅(m)×ガラスクロスを検査した長さ(m)}
に従って、白色スポットの発生頻度を求めた。
[Frequency of white spots]
The frequency of occurrence of white spots on the surface of the glass cloth was evaluated by irradiating glass cloth of A4 size (210 mm x 297 mm) or more with a halogen lamp. When observing a sheet-like glass cloth, the halogen lamp was placed directly above the glass cloth, and the number of white spots was calculated by the following formula while changing the direction of observation of the glass cloth:
Frequency of occurrence of white spots (number/m 2 )=number of white spots/{area of glass cloth (m 2 )}
The frequency of occurrence of white spots was calculated according to the following formula.
In the case of observing a glass cloth roll, a tension of 100 N/1300 mm was applied to the glass cloth on a roll-to-roll inspection table, and the number of white spots on the glass cloth was counted over a length of 2000 m while irradiating it with a halogen lamp. Then, the inspection area and the number of white spots found in the inspection were calculated using the following formula:
Frequency of occurrence of white spots (number/m 2 )=number of white spots/{width of glass cloth (m)×inspected length of glass cloth (m)}
The frequency of occurrence of white spots was calculated according to the following formula.

図2は、本実施例における「白色スポット」を説明するための写真である。このうち、図2(a)は、白色スポットを有しない箇所における写真を示しており、また、図2(b)は、白色スポットPを有する箇所における写真を示している。
本実施例における、UVライトの照射によって白色の輪郭線が観察され、かつ、その輪郭線で閉じられている面積(輪郭線を含む面積である)が0.8cm以上の欠点が、「白色スポット」として定義される。ここで、輪郭は、例えば、円形状である。
なお、輪郭線で閉じられている面積は、既知の画像解析ソフトによって算出した。
2A and 2B are photographs for explaining the "white spots" in this example. Fig. 2A shows a photograph of a portion without a white spot, and Fig. 2B shows a photograph of a portion with a white spot P.
In this example, a defect in which a white outline is observed upon irradiation with UV light and the area enclosed by the outline (the area including the outline) is 0.8 cm2 or more is defined as a "white spot." Here, the outline is, for example, circular.
The area enclosed by the contour line was calculated using known image analysis software.

〔プリプレグの製造方法〕
ポリフェニレンエーテル(SABIC社製、Noryl SA9000)45質量部、トリアリルイソシアヌレート10質量部、トルエン45質量部、1,3-ジ(tert-ブチルイソプロピルベンゼン)0.6質量部を、ステンレス製の容器に加えて、1時間室温で撹拌させた。これにより、ワニスを作製した。
作製したワニスに、実施例、及び比較例で得たガラスクロスを含浸させてから、115℃で1分間乾燥後、プリプレグを得た。
[Prepreg manufacturing method]
45 parts by mass of polyphenylene ether (Noryl SA9000, manufactured by SABIC Corporation), 10 parts by mass of triallyl isocyanurate, 45 parts by mass of toluene, and 0.6 parts by mass of 1,3-di(tert-butylisopropylbenzene) were added to a stainless steel container and stirred at room temperature for 1 hour to prepare a varnish.
The glass cloths obtained in the Examples and Comparative Examples were impregnated with the prepared varnish and then dried at 115° C. for 1 minute to obtain prepregs.

〔樹脂基板の製造方法〕
得られたプリプレグを20cm×20cmのサイズにサンプリングした。得られたサンプルを8枚重ね、更にその最上段、及び最下段に、厚さ12μmの銅箔を重ねた。そして、200℃、40kg/cmで120分間加熱、及び加圧することで、樹脂基板を作製した。
[Method for manufacturing resin substrate]
The resulting prepreg was sampled to a size of 20 cm x 20 cm. Eight of the resulting samples were stacked, and 12 μm thick copper foil was placed on the top and bottom layers. The sample was then heated and pressed at 200°C and 40 kg/ cm² for 120 minutes to produce a resin substrate.

〔はんだ耐熱性〕
樹脂基板から最上段、及び最下段の銅箔を除去することで、積層板を得た。得られた積層板を5cm×5cmのサイズに合計10枚切り出した。その後、プレッシャークッカー容器で133℃72時間加熱、及び吸水させた。更に、吸水後の積層板を、288℃のハンダ浴に20秒浸漬し、これにより、10枚の積層板サンプルについてそれぞれ、ガラスクロス/樹脂界面での剥離に起因する膨れの有無を目視確認した。
[Solder heat resistance]
The top and bottom copper foils were removed from the resin substrate to obtain a laminate. The resulting laminate was cut into a total of 10 pieces measuring 5 cm x 5 cm. The laminate was then heated at 133°C for 72 hours in a pressure cooker and allowed to absorb water. The absorbed laminate was then immersed in a solder bath at 288°C for 20 seconds, and each of the 10 laminate samples was visually inspected for blistering at the glass cloth/resin interface due to peeling.

ガラスクロス/樹脂界面の剥離による膨れがあった積層板サンプルを「不合格」とし、該「不合格」とした積層板サンプルの枚数を評価した。表に記載の枚数が少ないガラスクロスほど、耐熱性に優れることを意味する。 Laminate samples that showed blistering due to delamination at the glass cloth/resin interface were rated as "failed," and the number of "failed" laminate samples was evaluated. The fewer the number listed in the table, the better the heat resistance of the glass cloth.

〔白化距離〕
積層板を7cm×4cmサイズで切り出し、そして、ダイヤモンドカッターを用いて縦、及び横にそれぞれ長さ2cmのスリットを2本ずつ入れ、これにより、テストピースを作製した。なお、テストピースの作製は、特開2020-158364号に記載の方法に準じた。
[Whitening distance]
The laminate was cut into a size of 7 cm x 4 cm, and two slits each having a length of 2 cm were made vertically and horizontally using a diamond cutter to prepare test pieces. The test pieces were prepared in accordance with the method described in JP 2020-158364 A.

得られたテストピースを、1モル/LのNaOH水溶液に浸漬させて、60℃で30時間加熱した。その後、デジタルマイクロスコープ(キーエンス社製)を用いて、100倍の倍率で、経糸方向と緯糸方向への樹脂とガラス界面との剥離による白化距離を測定する白化距離試験を行った。白化距離試験では、経糸方向、緯糸方向をそれぞれ24点における白化距離を測定し、その平均値を求めた。各水準の白化距離は、比較例1の値を1.0とした相対値で、白化距離の改善具合を評価した。白化距離を小さくすることは、プリント配線板において絶縁信頼性を向上させることを意味している。結果を下表に示す。The resulting test pieces were immersed in a 1 mol/L NaOH aqueous solution and heated at 60°C for 30 hours. A whitening distance test was then conducted using a digital microscope (Keyence Corporation) at 100x magnification to measure the whitening distance due to peeling between the resin and glass interface in the warp and weft directions. In the whitening distance test, the whitening distance was measured at 24 points in each of the warp and weft directions, and the average value was calculated. The whitening distance for each level was evaluated as a relative value, with the value for Comparative Example 1 set at 1.0. Reducing the whitening distance indicates improved insulation reliability in printed wiring boards. The results are shown in the table below.

実施例、及び比較例について、製造条件、及び評価結果を下表に示す。なお、実施例のガラスクロスを用いて、常法により、プリプレグ、プリント配線板(樹脂基板)、集積回路、及び電子機器を作製することができた。The manufacturing conditions and evaluation results for the Examples and Comparative Examples are shown in the table below. Using the glass cloth of the Examples, prepregs, printed wiring boards (resin substrates), integrated circuits, and electronic devices could be manufactured using standard methods.

実施例によれば、優れた誘電特性、及び優れた絶縁信頼性を実現できること、その上、ガラスクロスを用いて作製される樹脂基板について更なる特性向上(例えば、樹脂基板の白化距離の低減)を図ることができること、を実現可能なガラスクロスを提供することができた。他方、比較例はすべて、得られる樹脂基板において白化距離を低減することができず、特に比較例2においては、はんだ耐熱性についても優れた特性を得ることができなかった。 The examples provided glass cloth that can achieve excellent dielectric properties and excellent insulation reliability, and can also further improve the properties of resin substrates produced using the glass cloth (for example, by reducing the whitening distance of the resin substrate). On the other hand, none of the comparative examples were able to reduce the whitening distance of the resulting resin substrate, and comparative example 2 in particular was unable to achieve excellent solder heat resistance.

本発明は、ガラスクロス、プリント配線板(特に、高速通信用プリント配線板)等に関する分野に利用することができる。 The present invention can be used in fields such as glass cloth, printed wiring boards (especially printed wiring boards for high-speed communication), etc.

P :白色スポット P: White spot

Claims (20)

ガラス糸を製織して成るガラスクロスであって、
前記ガラスクロスは、表面処理剤で表面処理されており、
前記ガラスクロスの総炭素量と、フーリエ変換赤外分光法によって測定される、カルボニル基由来のピーク高さと、から求められる下記式A:
式A=カルボニル基由来のピーク高さ/ガラスクロスの総炭素量
の値が10以上であり
前記表面処理剤が、下記式(1):
3-nSiYn ・・・(1)
(式中、Xは、各々独立しており、異なる有機官能基を含んでよく、X中にカルボニル基及び不飽和炭素二重結合をそれぞれ合計で2つ以上ずつを有する官能基で構成されており、Yは、各々独立して、アルコキシ基であり、nは、1以上3以下の整数である。)
で示されるシランカップリング剤を含む、ガラスクロス
A glass cloth made by weaving glass yarn,
the glass cloth is surface-treated with a surface treatment agent,
The following formula A is calculated from the total carbon amount of the glass cloth and the peak height derived from the carbonyl group measured by Fourier transform infrared spectroscopy:
Formula A=peak height derived from carbonyl groups/total carbon content of the glass cloth is 10 or more ,
The surface treatment agent is represented by the following formula (1):
X 3-n SiY n ...(1)
(In the formula, each X is independent and may contain a different organic functional group, and is composed of a functional group having a total of two or more carbonyl groups and two or more unsaturated carbon-carbon double bonds in X; each Y is independently an alkoxy group; and n is an integer of 1 or more and 3 or less.)
A glass cloth containing a silane coupling agent represented by the formula :
ガラス糸を製織して成るガラスクロスであって、
前記ガラスクロスは、表面処理剤で表面処理をされており、
前記ガラスクロスの強熱減量値と、フーリエ変換赤外分光法によって測定される、カルボニル基由来のピーク高さと、から求められる下記式B:
式B=カルボニル基由来のピーク高さ/ガラスクロスの強熱減量値
の値が11以上であり
前記表面処理剤が、下記式(1):
3-nSiYn ・・・(1)
(式中、Xは、各々独立しており、異なる有機官能基を含んでよく、X中にカルボニル基及び不飽和炭素二重結合をそれぞれ合計で2つ以上ずつを有する官能基で構成されており、Yは、各々独立して、アルコキシ基であり、nは、1以上3以下の整数である。)
で示されるシランカップリング剤を含む、ガラスクロス
A glass cloth made by weaving glass yarn,
The glass cloth is surface-treated with a surface treatment agent,
The following formula B is calculated from the ignition loss value of the glass cloth and the peak height derived from the carbonyl group measured by Fourier transform infrared spectroscopy:
Formula B=peak height derived from carbonyl groups/ignition loss value of glass cloth is 11 or more ,
The surface treatment agent is represented by the following formula (1):
X 3-n SiY n ...(1)
(In the formula, each X is independent and may contain a different organic functional group, and is composed of a functional group having a total of two or more carbonyl groups and two or more unsaturated carbon-carbon double bonds in X; each Y is independently an alkoxy group; and n is an integer of 1 or more and 3 or less.)
A glass cloth containing a silane coupling agent represented by the formula :
前記ガラス糸におけるケイ素(Si)含有量が、二酸化ケイ素(SiO2)換算で95.0~100質量%である、請求項1又は2に記載のガラスクロス。 3. The glass cloth according to claim 1, wherein the silicon (Si) content in the glass yarn is 95.0 to 100 mass % calculated as silicon dioxide (SiO 2 ). 10GHzにおける誘電正接が0.002以下である、請求項1又は2に記載のガラスクロス。 The glass cloth according to claim 1 or 2, having a dielectric loss tangent at 10 GHz of 0.002 or less. 前記ガラス糸を構成するガラスの、10GHzにおけるバルク誘電正接が0.002以下である、請求項1又は2に記載のガラスクロス。 The glass cloth according to claim 1 or 2, wherein the bulk dielectric loss tangent of the glass constituting the glass yarns is 0.002 or less at 10 GHz. 前記表面処理剤がシランカップリング剤を含む、請求項1又は2に記載のガラスクロス。 The glass cloth according to claim 1 or 2, wherein the surface treatment agent includes a silane coupling agent. 前記不飽和炭素二重結合が、アクリロイル基、及びメタクリロイル基の少なくとも一方に由来される結合である、請求項1又は2に記載のガラスクロス。 The glass cloth according to claim 1 or 2, wherein the unsaturated carbon-carbon double bond is a bond derived from at least one of an acryloyl group and a methacryloyl group. 前記ガラスクロスの強熱減量値が、0.01~0.5質量%の範囲である、請求項1又は2に記載のガラスクロス。 The glass cloth according to claim 1 or 2, wherein the ignition loss value of the glass cloth is in the range of 0.01 to 0.5% by mass. 前記ガラスクロスの経糸、及び緯糸のそれぞれ糸幅から算出される平均開繊度が40%超である、請求項1又は2に記載のガラスクロス。 The glass cloth according to claim 1 or 2, wherein the average degree of opening calculated from the yarn width of each of the warp and weft yarns of the glass cloth is greater than 40%. 前記ガラスクロスの総炭素量が、0.01~0.8質量%の範囲である、請求項1又は2に記載のガラスクロス。 The glass cloth according to claim 1 or 2, wherein the total carbon content of the glass cloth is in the range of 0.01 to 0.8 mass%. 請求項1又は2に記載のガラスクロスと、マトリックス樹脂と、を含有する、プリプレグ。 A prepreg containing the glass cloth according to claim 1 or 2 and a matrix resin. 請求項11に記載のプリプレグを含む、プリント配線板。 A printed wiring board comprising the prepreg of claim 11. 請求項12に記載のプリント配線板を含む、集積回路。 An integrated circuit comprising the printed wiring board of claim 12. 請求項12に記載のプリント配線板を含む、電子機器。 An electronic device comprising the printed wiring board according to claim 12. ガラス糸を製織して成るガラスクロスの製造方法であって、
分子量が200以上である表面処理剤を含む表面処理液を用いて前記ガラス糸を処理する、表面処理工程を有し、
前記表面処理工程は、
前記表面処理剤に溶媒を添加して前記表面処理液を調合する工程;
前記表面処理液の温度を制御する工程;
前記表面処理液のpHを制御する工程;及び
前記表面処理液を濾過する工程;
の少なくとも一つの工程を含み、
前記表面処理工程は、
脱油処理したガラス糸を、表面処理剤で表面処理する工程を含み、
前記表面処理剤は、下記式(1):
3-nSiYn ・・・(1)
(式中、Xは、各々独立しており、異なる有機官能基を含んでよく、X中にカルボニル基及び不飽和炭素二重結合をそれぞれ合計で2つ以上ずつを有する官能基で構成されており、Yは、各々独立して、アルコキシ基であり、nは、1以上3以下の整数である。)
で示されるシランカップリング剤を含む、ガラスクロスの製造方法。
A method for manufacturing a glass cloth by weaving glass yarns,
a surface treatment step of treating the glass fiber with a surface treatment liquid containing a surface treatment agent having a molecular weight of 200 or more;
The surface treatment step includes:
a step of adding a solvent to the surface treatment agent to prepare the surface treatment liquid;
controlling the temperature of the surface treatment solution;
controlling the pH of the surface treatment solution; and filtering the surface treatment solution;
and
The surface treatment step includes:
The method includes a step of surface-treating the deoiled glass fiber with a surface treatment agent,
The surface treatment agent has the following formula (1):
X 3-n SiY n ...(1)
(In the formula, each X is independent and may contain a different organic functional group, and is composed of a functional group having a total of two or more carbonyl groups and two or more unsaturated carbon-carbon double bonds in X; each Y is independently an alkoxy group; and n is an integer of 1 or more and 3 or less.)
A method for producing glass cloth, comprising the silane coupling agent represented by the formula:
前記表面処理工程は、
前記表面処理液の温度、及びpHを制御する工程と、
前記表面処理液を濾過する工程と、を含む、請求項15に記載のガラスクロスの製造方法。
The surface treatment step includes:
controlling the temperature and pH of the surface treatment solution;
The method for producing glass cloth according to claim 15, further comprising the step of filtering the surface treatment liquid.
前記表面処理工程の後、ガラス糸を開繊処理する工程を更に含む、請求項15又は16に記載のガラスクロスの製造方法。 The method for manufacturing glass cloth according to claim 15 or 16, further comprising a step of opening the glass yarns after the surface treatment step. 前記ガラスクロスの白色スポットの発生頻度を検査する工程を更に含む、請求項15又は16に記載のガラスクロスの製造方法。
前記白色スポットの発生頻度は、A4サイズ(210mm×297mm)以上のガラスクロスに関してハロゲンランプを照射することで、評価を行う。
シート状のガラスクロスの観察の場合、前記ガラスクロス直上にハロゲンランプを設置し、前記ガラスクロスを観察する方向を変えながら、白色スポットの個数と下記式:
白色スポットの発生頻度(個/m)=白色スポットの個数/{ガラスクロスの面積(m)}
に従って、前記白色スポットの発生頻度を求める。
ガラスクロスロールの観察の場合、Roll-to-Rollの検査台において、前記ガラスクロスに対して張力100N/1300mmをかけるとともにハロゲンランプを照射しながら、前記ガラスクロスにおける白色スポットの発生個数を、長手2000mにわたってカウントする。そして、検査面積と、検査で見つかった白色スポットの個数と、から、下記式:
白色スポットの発生頻度(個/m)=白色スポットの個数/{ガラスクロスの幅(m)×ガラスクロスを検査した長さ(m)}
に従って、前記白色スポットの発生頻度を求める。
ただし、前記白色スポットは、UVライトの照射によって白色の輪郭線が観察され、かつ、その輪郭線で閉じられている面積(輪郭線を含む面積である)が0.8cm以上の欠点として定義されるものを前記白色スポットとしてカウントする
The method for producing a glass cloth according to claim 15 or 16, further comprising the step of inspecting the frequency of occurrence of white spots in the glass cloth.
The frequency of occurrence of the white spots is evaluated by irradiating a glass cloth of A4 size (210 mm x 297 mm) or larger with a halogen lamp.
In the case of observing a sheet-like glass cloth, a halogen lamp was placed directly above the glass cloth, and the number of white spots was calculated by the following formula while changing the direction of observation of the glass cloth:
Frequency of occurrence of white spots (number/m 2 )=number of white spots/{area of glass cloth (m 2 )}
The frequency of occurrence of the white spots is calculated according to the following formula.
In the case of observing a glass cloth roll, a tension of 100 N/1300 mm is applied to the glass cloth on a roll-to-roll inspection table, and the number of white spots occurring on the glass cloth is counted over a length of 2000 m while irradiating the glass cloth with a halogen lamp. Then, the inspection area and the number of white spots found in the inspection are calculated using the following formula:
Frequency of occurrence of white spots (number/m 2 )=number of white spots/{width of glass cloth (m)×inspected length of glass cloth (m)}
The frequency of occurrence of the white spots is calculated according to the following formula.
However, the white spot is counted as a defect in which a white outline is observed when irradiated with UV light , and the area enclosed by the outline (the area including the outline) is 0.8 cm2 or more.
前記ガラスクロスにおけるカルボニル基由来のピーク高さを、フーリエ変換赤外分光法を用いて測定する工程を含む、請求項15又は16に記載のガラスクロスの製造方法。 The method for producing glass cloth according to claim 15 or 16, further comprising a step of measuring the peak height derived from carbonyl groups in the glass cloth using Fourier transform infrared spectroscopy. ガラス糸を製織して成るガラスクロスを対象とした、試験方法であって、
前記ガラスクロスは、表面処理剤で表面処理されたものであり、
前記試験方法は、
記ガラスクロスの白色スポットの発生頻度を検査する工程を含む、試験方法。
前記白色スポットの発生頻度は、A4サイズ(210mm×297mm)以上のガラスクロスに関してハロゲンランプを照射することで、評価を行う。
シート状のガラスクロスの観察の場合、前記ガラスクロス直上にハロゲンランプを設置し、前記ガラスクロスを観察する方向を変えながら、白色スポットの個数と下記式:
白色スポットの発生頻度(個/m)=白色スポットの個数/{ガラスクロスの面積(m)}
に従って、前記白色スポットの発生頻度を求める。
ガラスクロスロールの観察の場合、Roll-to-Rollの検査台において、前記ガラスクロスに対して張力100N/1300mmをかけるとともにハロゲンランプを照射しながら、前記ガラスクロスにおける白色スポットの発生個数を、長手2000mにわたってカウントする。そして、検査面積と、検査で見つかった白色スポットの個数と、から、下記式:
白色スポットの発生頻度(個/m)=白色スポットの個数/{ガラスクロスの幅(m)×ガラスクロスを検査した長さ(m)}
に従って、前記白色スポットの発生頻度を求める。
ただし、前記白色スポットは、UVライトの照射によって白色の輪郭線が観察され、かつ、その輪郭線で閉じられている面積(輪郭線を含む面積である)が0.8cm以上の欠点として定義されるものを前記白色スポットとしてカウントする
A test method for glass cloth made by weaving glass yarn,
the glass cloth is surface-treated with a surface treatment agent,
The test method comprises:
The test method includes a step of inspecting the frequency of occurrence of white spots on the glass cloth.
The frequency of occurrence of the white spots is evaluated by irradiating a glass cloth of A4 size (210 mm x 297 mm) or larger with a halogen lamp.
In the case of observing a sheet-like glass cloth, a halogen lamp was placed directly above the glass cloth, and the number of white spots was calculated by the following formula while changing the direction of observation of the glass cloth:
Frequency of occurrence of white spots (number/m 2 )=number of white spots/{area of glass cloth (m 2 )}
The frequency of occurrence of the white spots is calculated according to the following formula.
In the case of observing a glass cloth roll, a tension of 100 N/1300 mm is applied to the glass cloth on a roll-to-roll inspection table, and the number of white spots occurring on the glass cloth is counted over a length of 2000 m while irradiating the glass cloth with a halogen lamp. Then, the inspection area and the number of white spots found in the inspection are calculated using the following formula:
Frequency of occurrence of white spots (number/m 2 )=number of white spots/{width of glass cloth (m)×inspected length of glass cloth (m)}
The frequency of occurrence of the white spots is calculated according to the following formula.
However, the white spot is counted as a defect in which a white outline is observed when irradiated with UV light , and the area enclosed by the outline (the area including the outline) is 0.8 cm2 or more.
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