JP7835577B2 - スリットノズルおよび基板処理装置 - Google Patents

Description

この発明は、スリット状の吐出口を有するスリットノズルおよび当該スリットノズルを用いて基板に液体を塗布する基板処理装置に関するものである。なお、上記基板には、半導体基板、フォトマスク用基板、液晶表示用基板、有機ＥＬ表示用基板、プラズマ表示用基板、ＦＥＤ（Field Emission Display）用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板などが含まれる。

半導体装置や液晶表示装置などの電子デバイス等の製造工程では、基板の表面に液体を供給し、当該液体を基板に塗布する基板処理装置が用いられている。基板処理装置は、基板を浮上させた状態で当該基板を搬送しながら液体をスリットノズルに送給してスリットノズルの吐出口から基板の表面に吐出して基板のほぼ全体に液体を塗布する。また、別の基板処理装置は、ステージ上で基板を吸着保持しながら、スリットノズルの吐出口から基板の表面に向けて吐出した状態でスリットノズルを基板に対して相対移動させて基板のほぼ全体に液体を塗布する。

近年、製品の高品質化への要求に伴って、基板処理装置により塗布される処理液の膜厚の均一性を高めることが重要となっている。この目的のために、スリット状の吐出口における開口寸法を、スリットの長手方向に沿った位置ごとに個別に調整することを可能とするための構成が提案されている。

例えば特許文献１、２に記載の技術では、２つのノズル本体が互いに対向するように組み合わされることで、両者の隙間に流体の流路および吐出口が形成される。２つのノズル本体は、吐出口の長手方向に沿って配置された複数のねじ（ボルト）によって相互に結合される。これらのねじは、長手方向に直交する方向に互いに位置が異なる複数の直線上に並ぶように複数の列状に配置されており、これらのねじの締め付け量を増減することにより、長手方向の各位置で個別に吐出口の開口寸法を調整することが可能である。

特開２００８－１９４５８８号公報 特許第４５２２７２６号公報

電子デバイスの微細化や材料の効率的利用等の見地から、塗布の均一性に関してこれまで以上に高い水準が求められるようになってきている。このため、吐出口の長手方向にわたる全域において、吐出量をきめ細かく調整することが必要となっている。そこで、上記従来技術にはさらなる改善が望まれる。特に、長手方向における吐出口の中央部付近と端部付近とでは、吐出口の開口寸法を同じように変化させたとしても吐出量の変化は必ずしも同じにならないという問題がある。このことから、吐出量が不安定となりやすい端部付近において、中央部よりもきめ細かく開口寸法の微調整を行うことが可能となる技術が求められる。しかしながら、上記従来技術はこのような要望に応えるものとはなっていない。

この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、スリット状の吐出口を有するスリットノズルおよびこれを備え基板に液体を塗布する基板処理装置において、吐出口の全体にわたり吐出量を均一化するための作業を効率的に行うことのできる技術を提供することを目的とする。

本発明に係るスリットノズルの一の態様は、スリット状に開口する吐出口およびこれに連通する流体の流路を有するスリットノズルであって、ギャップを介して互いに対向する平坦面をそれぞれが有し、前記ギャップに前記流路および前記吐出口を形成する第１本体部および第２本体部と、前記第１本体部と前記第２本体部とを結合する複数のねじ部材とを備えている。ここで、前記複数のねじ部材は、前記吐出口の長手方向における一方端部に対応する位置から他方端部に対応する位置までの間に、前記長手方向に沿って配列された複数の前記ねじ部材からなるねじ列が前記長手方向に直交する方向に複数形成されるように配置される。そして、前記ねじ列の各々には、前記ねじ列の両端部からそれぞれ所定本数の前記ねじ部材が小さな配置ピッチで配置された狭ピッチ部と、前記ねじ列において前記狭ピッチ部よりも内側で前記狭ピッチ部における配置ピッチよりも大きな配置ピッチで前記ねじ部材が配置される広ピッチ部とが設けられる。さらに、一の前記ねじ列と、前記長手方向に直交する方向において当該ねじ列と隣り合う他の前記ねじ列との間で、前記長手方向における前記ねじ部材の配置位置が、前記狭ピッチ部においては互いに同じであり、前記広ピッチ部においては互いに異なる。

このように構成された発明では、複数のねじ列を形成するように配置されたねじ部材各々の締め付け量を増減することで、当該ねじ部材の近傍における吐出口の開口寸法を変化させることが可能である。ここで、各ねじ列におけるねじ部材の配置ピッチは、吐出口の長手方向における両端部の近傍で比較的狭く設定される一方、より内側の吐出口の中央部ではより広く設定される。

１つのねじ部材（ここでは「調整対象ねじ部材」と称する）の締め付け量を変化させたとき、これに伴って調整対象ねじ部材の近傍における吐出口の開口寸法が変化する。このとき調整対象ねじ部材の周囲にある他のねじ部材は、調整対象ねじ部材の締め付け量が開口寸法に影響を及ぼす範囲を規制する作用を有する。つまり、ねじ部材の配置ピッチが大きければ、締め付け量の変化は比較的広い範囲で開口寸法の変化をもたらす一方で、配置ピッチが小さくなるほど開口寸法が変化する範囲は狭くなる。

本発明におけるねじ部材の配置は、長手方向における吐出口の両端部に対応する位置で狭ピッチとなる一方、これより内側ではより広ピッチとなるように設定されている。言い換えれば、吐出口の両端部に対応する位置では、中央部に比べてねじ部材がより密に配置されている。したがって、吐出口の端部近傍では、中央部に比べて、１つのねじ部材の締め付け量の変化に対して開口寸法が変化する吐出口の範囲がより限定されている。したがって、長手方向の各位置における開口寸法を、中央部よりもきめ細かく調整することが可能となる。これにより、両端部および中央部を含めた吐出口の全体にわたって吐出量を均一化するための調整作業を、より効率的に行うことが可能である。

また、本発明に係る基板処理装置の一の態様は、上記構成を有するスリットノズルと、前記スリットノズルの前記吐出口と対向させて基板を配置するとともに、前記スリットノズルと前記基板とを前記長手方向と交わる方向に相対移動させる相対移動機構と、前記スリットノズルに液体を供給する液体供給部とを備え、前記吐出口から吐出した前記液体を前記基板の表面に塗布する。

このように構成された発明では、上記のような構成を用いて開口寸法を調整することのできるスリットノズルから基板に液体が供給されることで、長手方向において膜厚が均一な膜を安定して形成することができると期待される。

以上のように、本発明では、吐出口の長手方向における両端部の近傍において、中央部よりもねじ部材の配置ピッチが狭く設定されているため、吐出口の端部における開口寸法を位置ごとに細かく調整することが可能である。これにより、吐出口の全体にわたり吐出量を均一化するための調整作業を効率よく行うことが可能となる。

本発明に係る基板処理装置の一実施形態である塗布装置を示す図である。 スリットノズルの第１実施形態を示す図である。 スリットノズルにおけるねじ部材の配置を示す図である。 ねじ部材の配置パターンと開口幅の調整範囲との関係を示す図である。 スリットノズルの第２実施形態の主要構成を模式的に示す図である。 スリットノズルの第３実施形態を示す図である。

＜塗布装置の全体構成＞
図１は本発明に係る基板処理装置の一実施形態である塗布装置の全体構成を模式的に示す図である。この塗布装置１は、図１の左手側から右手側に向けて水平姿勢で搬送される基板Ｓの表面Ｓｆに液体である塗布液（処理液）を塗布するスリットコータである。例えば、ガラス基板や半導体基板等各種の基板Ｓの表面Ｓｆに、レジスト膜の材料を含む塗布液、電極材料を含む塗布液等、各種の処理液を塗布し均一な塗布膜を形成する目的に、この塗布装置１を好適に利用することができる。

なお、以下の各図において装置各部の配置関係を明確にするために、図１に示すように右手系ＸＹＺ直交座標を設定する。基板Ｓの搬送方向を「Ｘ方向」とし、図１の左手側から右手側に向かう水平方向を「＋Ｘ方向」と称し、逆方向を「－Ｘ方向」と称する。また、Ｘ方向と直交する水平方向Ｙのうち、装置の正面側（図において手前側）を「－Ｙ方向」と称するとともに、装置の背面側を「＋Ｙ方向」と称する。さらに、鉛直方向Ｚにおける上方向および下方向をそれぞれ「＋Ｚ方向」および「－Ｚ方向」と称する。

まず図１を用いてこの塗布装置１の構成および動作の概要を説明し、その後で本発明の技術的特徴を備えるスリットノズルの詳細な構造および開口寸法の調整作業について説明する。塗布装置１では、基板Ｓの搬送方向Ｄｔ、つまり（＋Ｘ）方向に沿って、入力コンベア１００、入力移載部２、浮上ステージ部３、出力移載部４、出力コンベア１１０がこの順に近接して配置されており、以下に詳述するように、これらにより略水平方向に延びる基板Ｓの搬送経路が形成されている。

処理対象である基板Ｓは図１の左手側から入力コンベア１００に搬入される。入力コンベア１００は、コロコンベア１０１と、これを回転駆動する回転駆動機構１０２とを備えており、コロコンベア１０１の回転により基板Ｓは水平姿勢で下流側、つまり（＋Ｘ）方向に搬送される。入力移載部２は、コロコンベア２１と、これを回転駆動する機能および昇降させる機能を有する回転・昇降駆動機構２２とを備えている。コロコンベア２１が回転することで、基板Ｓはさらに（＋Ｘ）方向に搬送される。また、コロコンベア２１が昇降することで基板Ｓの鉛直方向位置が変更される。このように構成された入力移載部２により、基板Ｓは入力コンベア１００から浮上ステージ部３に移載される。

浮上ステージ部３は、基板の搬送方向Ｄｔに沿って３分割された平板状のステージを備える。すなわち、浮上ステージ部３は入口浮上ステージ３１、塗布ステージ３２および出口浮上ステージ３３を備えており、これらの各ステージの表面は互いに同一平面の一部をなしている。入口浮上ステージ３１および出口浮上ステージ３３のそれぞれの表面には浮上制御機構３５から供給される圧縮空気を噴出する噴出孔がマトリクス状に多数設けられており、噴出される気流から付与される浮力により基板Ｓが浮上する。こうして基板Ｓの裏面Ｓｂがステージ表面から離間した状態で水平姿勢に支持される。基板Ｓの裏面Ｓｂとステージ表面との距離、つまり浮上量は、例えば１０マイクロメートルないし５００マイクロメートルとすることができる。

一方、塗布ステージ３２の表面では、圧縮空気を噴出する噴出孔と、基板Ｓの裏面Ｓｂとステージ表面との間の空気を吸引する吸引孔とが交互に配置されている。浮上制御機構３５が噴出孔からの圧縮空気の噴出量と吸引孔からの吸引量とを制御することにより、基板Ｓの裏面Ｓｂと塗布ステージ３２の表面との距離が精密に制御される。これにより、塗布ステージ３２の上方を通過する基板Ｓの表面Ｓｆの鉛直方向位置が規定値に制御される。浮上ステージ部３の具体的構成としては、例えば特許第５３４６６４３号に記載のものを適用可能である。なお、塗布ステージ３２での浮上量については、センサ６１、６２による検出結果に基づいて制御ユニット９により算出され、その結果に基づく気流制御によって高精度に調整可能となっている。

なお、入口浮上ステージ３１には、図には現れていないリフトピンが配設されており、浮上ステージ部３にはこのリフトピンを昇降させるリフトピン駆動機構３４が設けられている。

入力移載部２を介して浮上ステージ部３に搬入される基板Ｓは、コロコンベア２１の回転により（＋Ｘ）方向への推進力を付与されて、入口浮上ステージ３１上に搬送される。入口浮上ステージ３１、塗布ステージ３２および出口浮上ステージ３３は基板Ｓを浮上状態に支持するが、基板Ｓを水平方向に移動させる機能を有していない。浮上ステージ部３における基板Ｓの搬送は、入口浮上ステージ３１、塗布ステージ３２および出口浮上ステージ３３の下方に配置された基板搬送部５により行われる。

基板搬送部５は、基板Ｓの下面周縁部に部分的に当接することで基板Ｓを下方から支持するチャック機構５１と、チャック機構５１上端の吸着部材に設けられた吸着パッド（図示省略）に負圧を与えて基板Ｓを吸着保持させる機能およびチャック機構５１をＸ方向に往復走行させる機能を有する吸着・走行制御機構５２とを備えている。チャック機構５１が基板Ｓを保持した状態では、基板Ｓの裏面Ｓｂは浮上ステージ部３の各ステージの表面よりも高い位置に位置している。したがって、基板Ｓは、チャック機構５１により周縁部を吸着保持されつつ、浮上ステージ部３から付与される浮力により全体として水平姿勢を維持する。なお、チャック機構５１により基板Ｓの裏面Ｓｂを部分的に保持した段階で基板Ｓの表面の鉛直方向位置を検出するために、板厚測定用のセンサ６１がコロコンベア２１の近傍に配置されている。このセンサ６１の直下位置に基板Ｓを保持していない状態のチャック（図示省略）が位置することで、センサ６１は吸着部材の表面、つまり吸着面の鉛直方向位置を検出可能となっている。

入力移載部２から浮上ステージ部３に搬入された基板Ｓをチャック機構５１が吸着保持し、この状態でチャック機構５１が（＋Ｘ）方向に移動することで、基板Ｓが入口浮上ステージ３１の上方から塗布ステージ３２の上方を経由して出口浮上ステージ３３の上方へ搬送される。搬送された基板Ｓは、出口浮上ステージ３３の（＋Ｘ）側に配置された出力移載部４に受け渡される。

浮上ステージ部３の各ステージのうち出口浮上ステージ３３については、その上面位置がチャック機構５１の上面位置よりも低くなる下部位置と、上面位置がチャック機構５１の上面位置よりも高くなる上部位置との間で昇降可能となっている。この目的のために、出口浮上ステージ３３は昇降駆動機構３６によって支持されている。昇降駆動機構３６は、制御ユニット９からの制御指令に応じて出口浮上ステージ３３を昇降させ、処理の進行に応じた所定の高さに位置決めする。

出力移載部４は、コロコンベア４１と、これを回転駆動する機能および昇降させる機能を有する回転・昇降駆動機構４２とを備えている。コロコンベア４１が回転することで、基板Ｓに（＋Ｘ）方向への推進力が付与され、基板Ｓは搬送方向Ｄｔに沿ってさらに搬送される。また、コロコンベア４１が昇降することで基板Ｓの鉛直方向位置が変更される。出力移載部４により、基板Ｓは出口浮上ステージ３３の上方から出力コンベア１１０に移載される。

出力コンベア１１０は、コロコンベア１１１と、これを回転駆動する回転駆動機構１１２とを備えており、コロコンベア１１１の回転により基板Ｓはさらに（＋Ｘ）方向に搬送され、最終的に塗布装置１外へと払い出される。なお、入力コンベア１００および出力コンベア１１０は塗布装置１の構成の一部として設けられてもよいが、塗布装置１とは別体のものであってもよい。また例えば、塗布装置１の上流側に設けられる別ユニットの基板払い出し機構が入力コンベア１００として用いられてもよい。また、塗布装置１の下流側に設けられる別ユニットの基板受け入れ機構が出力コンベア１１０として用いられてもよい。

このようにして搬送される基板Ｓの搬送経路上に、基板Ｓの表面Ｓｆに塗布液を塗布するための塗布機構７が配置される。塗布機構７はスリットノズル７１を有している。また、図示を省略するが、スリットノズル７１には位置決め機構が接続されており、位置決め機構によりスリットノズル７１は塗布ステージ３２の上方の塗布位置（図１中におけるノズル７１の位置）およびメンテナンス位置を含む複数位置に位置決めされる。さらに、スリットノズル７１には、塗布液供給機構８が接続されており、塗布液供給機構８から塗布液が供給され、ノズル下部に下向きに開口する吐出口から塗布液が吐出される。なお、スリットノズル７１については後で詳述する。

スリットノズル７１には、基板Ｓの浮上高さを非接触で検知するための浮上高さ検出センサ６２が設置されている。この浮上高さ検出センサ６２によって、浮上した基板Ｓと、塗布ステージ３２のステージ面の表面との離間距離を測定することが可能であり、その検出値に基づいて、制御ユニット９を介して、スリットノズル７１が下降する位置を調整することができる。なお、浮上高さ検出センサ６２としては、光学式センサや、超音波式センサなどを用いることができる。

スリットノズル７１に対して所定のメンテナンスを行うために、塗布機構７にはノズル洗浄待機ユニット７９が設けられている。ノズル洗浄待機ユニット７９は、主にローラ７９１、洗浄部７９２、ローラバット７９３などを有している。そして、スリットノズル７１がメンテナンス位置に位置決めされた状態で、これらによってノズル洗浄および液だまり形成を行い、スリットノズル７１の吐出口を次の塗布処理に適した状態に整える。

この他、塗布装置１には、装置各部の動作を制御するための制御ユニット９が設けられている。制御ユニット９は、所定のプログラムや各種レシピなどを記憶する記憶部、当該プログラムを実行することで装置各部に所定の動作を実行させるＣＰＵなどの演算処理部、液晶パネルなどの表示部およびキーボードなどの入力部を有している。

以下、スリットノズル７１の具体的な構成例および吐出口の開口寸法の調整方法などについて詳述する。なお、ここでいう開口寸法の調整とは、開口寸法が一定あるいは予め定められた規定値となることを目指す調整ではなく、吐出の結果として基板Ｓの表面に形成される塗布膜の厚さを均一にすることを目指す調整である。

＜第１実施形態＞
図２は図１の塗布装置で使用されるスリットノズルの第１実施形態を示す図である。より具体的には、図２はスリットノズル７１の主要構成を模式的に示す分解組立図である。スリットノズル７１は、第１本体部７１１、第２本体部７１２、第１側板７１３および第２側板７１４を有している。これらの各部材は、例えばステンレス鋼やアルミニウム等の金属ブロックから削り出されたものである。一点鎖線矢印で示すように、第１本体部７１１と第２本体部７１２とがＸ方向に対向する状態で結合され、その結合体の（－Ｙ）側端面に第１側板７１３が、また（＋Ｙ）側端面に第２側板７１４がそれぞれ結合されてノズル本体７１０が構成される。

第１本体部７１１の第２本体部７１２と対向する側の主面、つまり（＋Ｘ）側の主面のうち下半分は、ＹＺ平面と平行な平坦面７１１ａとなるように仕上げられている。以下では、この平坦面７１１ａを「第１平坦面」と称する。第１本体部７１１の第２本体部７１２と対向する側の主面のうち上半分も、ＹＺ平面と平行な平坦面７１１ｂとなるように仕上げられている。また、第１本体部７１１の下部は下向きの先細り形状に突出して第１リップ部７１１ｃを形成している。平坦面７１１ａ，７１１ｂは、Ｙ方向を長手方向としＸ方向を深さ方向とする溝７１１ｄによって隔てられている。この溝７１１ｄは、塗布液の流路におけるマニホールドとして機能するものであり、その下端が略水平方向に延びる一方、上端は両端部から中央部に近づくにつれて（＋Ｚ）方向にせり上がる山型形状となっている。つまり、溝７１１ｄは、これにより形成されるマニホールドが端部から中央部に向かうにつれて垂直断面積が大きくなるように構成されている。

一方、第２本体部７１２の第１本体部７１１と対向する側の主面、つまり（－Ｘ）側の主面は、ＹＺ平面と平行な単一の平坦面７１２ａとなっている。以下では、この平坦面７１２ａを「第２平坦面」と称する。また、第２本体部７１２の下部は下向きの先細り形状に突出して第２リップ部７１２ｃを形成している。平坦面７１１ｂと、第２平坦面７１２ａのうち上半分とが密着するように、第１本体部７１１と第２本体部７１２とが複数のねじ部材７１６により結合される。

より具体的には、平坦面７１１ｂのうち図２に示す点線で囲まれる領域Ｒ１に、複数のねじ穴７１１ｅが設けられている。また、第２本体部７１２には、その（＋Ｘ）側表面から（－Ｘ）側表面（すなわち第２平坦面７１２ａ）へ貫通する複数の貫通孔７１１ｅが設けられている。図面が煩雑となるのを回避するため、図２ではねじ穴７１１ｅ、貫通孔７１２ｅおよびねじ部材７１６が１つずつ図示されているが、これらはそれぞれ複数設けられる。その配置については後で詳しく説明する。

貫通孔７１１ｅの配設位置は、第１本体部７１１の各ねじ穴７１１ｅと対応する位置となっている。つまり、第１本体部７１１と第２本体部７１２とが組み合わされたとき、第１本体部７１１のねじ穴７１１ｅの各々と同軸配置となる位置に、第２本体部７１２の貫通孔７１２ｅが設けられている。第２本体部７１２の（＋Ｘ）側表面のうち、複数の貫通孔７１２ｅが配置された領域を包括的に符号Ｒ２により表すこととする。

貫通孔７１２ｅの各々にはねじ部材７１６が挿通され、ねじ部材７１６が第１本体部７１１のねじ穴７１１と螺合することにより、第１本体部７１１と第２本体部７１２とが結合される。複数のねじ部材７１６は、このように第１本体部７１１と第２本体部７１２とを固結する固定ねじとしての機能を有する他に、後述するように、組み立て後のスリットノズル７１における吐出口の開口寸法を調整する調整ねじとしての機能も有する。

第１平坦面７１１ａは、平坦面７１１ｂより僅かに（－Ｘ）側に後退している。このため、第１本体部７１１と第２本体部７１２とが結合された状態では、第１平坦面７１１ａと第２平坦面７１２ａとは、微小なギャップを隔てて平行に対向することとなる。このように互いに対向する対向面（第１平坦面７１１ａ、第２平坦面７１２ａ）の間のギャップ部分がマニホールドからの塗布液の流路となり、その下端が基板Ｓの表面Ｓｆに向けて下向きに開口する吐出口７１５（図３）として機能する。吐出口７１５は、Ｙ方向を長手方向とし、Ｘ方向における開口寸法が微小なスリット状の開口である。

図３はスリットノズルにおけるねじ部材の配置を示す図である。より詳しくは、図３（ａ）はスリットノズル７１の（＋Ｘ）側側面に配置される貫通孔７１２ｅの配置を示す図であり、図３（ｂ）はそのうち領域Ｒ２の部分拡大図である。

スリットノズル７１を構成する第２本体部７１２のうち（＋Ｘ）側の表面の一部であって、第１本体部７１１においてねじ穴７１１ｅが配設される領域Ｒ１と対応する領域Ｒ２には、複数の貫通孔７１２ｅが分散配置される。なお、貫通孔７１２ｅとねじ穴７１１ｅとは同軸に配置され、これらにねじ部材７１６が挿通されるため、以下に示す貫通孔７１２ｅの配置は、ねじ穴７１１ｅの配置と技術的には等価である。そして、これらにねじ部材７１６が挿通されるので、ねじ部材７１６の配置は当然にねじ穴７１１ｅまたは貫通孔７１２ｅの配置に準じたものとなる。

具体的には、図３（ｂ）に破線で示すように、各貫通孔７１２ｅは、概ねＹ方向に延び、かつＺ方向に互いに位置の異なる複数の直線Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３のいずれかに乗るように配置される。したがって、複数の貫通孔７１２ｅは、Ｙ方向に沿って列状に並ぶ複数の貫通孔７１２ｅからなる列を形成するとともに、このような貫通孔７１２ｅの列が、Ｚ方向に位置を異ならせて複数配置された状態となる。なお、貫通孔７１２ｅが配列される直線Ｌ１．Ｌ２，Ｌ３は厳密にはＹ方向に平行ではなく、マニホールドとなる溝７１１ｄの上端の傾きに対応して、端部から中央部に向かって僅かな上り勾配を有している。また、この配置はノズル中央を通るＸＺ平面に対して対称である。このような配置については特許文献２に詳しく記載されており、ここでは説明を省略する。

１つの直線上に配置された貫通孔７１２ｅのＹ方向における配置ピッチは、一様ではない。すなわち、領域Ｒ２のうち、吐出口７１５の両端部に対応する位置およびこれに近い端部領域Ｒ２ａ，Ｒ２ｂでは比較的小さなピッチで貫通孔７１２ｅが配置される一方、端部領域Ｒ２ａ，Ｒ２ｂよりも内側の中央領域Ｒ２ｃではより大きなピッチで貫通孔７１２ｅが配置される。例えば直線Ｌ１上では、（－Ｙ）側の端部領域Ｒ２ａに所定個数（この例では５個）の貫通孔７１２ｅが比較的小さなピッチＰａで等間隔に配置される。また、（＋Ｙ）側の端部領域Ｒ２ｂについても同様である。両端部領域において貫通孔７１２ｅの配設個数および配置ピッチがそれぞれ異なっていてもよいが、開口寸法の調整における実効性という観点では、これらを同値とするのが現実的である。

一方、領域Ｒ２のうち、端部領域Ｒ２ａ，Ｒ２ｂよりも内側でこれらに挟まれた中央領域Ｒ２ｃでは、端部領域における配置ピッチＰａよりも大きいピッチＰｃで貫通孔７１２ｅが等間隔に配置される。

同様に、直線Ｌ２上および直線Ｌ３上のそれぞれにおいても、端部領域Ｒ２ａ，Ｒ２ｂにおいて狭ピッチ、中央領域Ｒ２ｃにおいて広ピッチとなるように、貫通孔７１２ｅが配置される。このような貫通孔７１２ｅの配置に伴って、ねじ部材７１６も、端部領域Ｒ２ａ，Ｒ２ｂにおいて狭ピッチとなる一方、中央領域Ｒ２ｃにおいて広ピッチとなるように配置される。第１本体部７１１において領域Ｒ２と対応する領域Ｒ１においても、各貫通孔７１２ｅに対応する位置にねじ穴７１１ｅが設けられる。

ねじ部材７１６の締め付け量を増減することで、吐出口７１５の開口幅、すなわちＸ方向における開口寸法を調整することが可能である。すなわち、ねじ部材７１６を強く締め付けることで、第１本体部７１１および第２本体部７１２の少なくとも一方が僅かに弾性変形し、締め付け量を変えると弾性変形量も変化する。そのため、第１本体部７１１と第２本体部７１２とが形成する吐出口７１５の開口幅が変化する。このことを利用して、吐出量を一定とするための開口寸法の調整を行うことができる。

調整対象となる１つのねじ部材７１６の締め付け量が変更される場合、その周囲にある他のねじ部材７１６は、締め付け量の変更に伴う開口幅の変化範囲（より詳しくは、吐出口の長手方向における範囲）を規制するように作用する。すなわち、調整対象のねじ部材７１６における締め付け量の変更による第１本体部７１１および第２本体部７１２の弾性変形が及ぶ範囲は、締め付け量が変更されない周囲のねじ部材７１６により制限される。

このため、ねじ部材７１６の配置ピッチが広い部分では、１つのねじ部材７１６の締め付け量を変化させると、吐出口７１５の開口幅は、長手方向において比較的広い範囲で変化する。一方、ねじ部材７１６の配置ピッチが狭い部分では、吐出口７１５の開口幅が変化する範囲はより限定的である。

スリットノズル７１を用いた塗布処理においては、ノズル内の流路のうちＹ方向の両端部付近を流れる塗布液は、流路側面の壁面等の影響により、流路の中央部を流れる塗布液よりも流量が変動しやすい。このことから、吐出量を一定にするための吐出口７１５の吐出幅の調整は、中央部よりも両端部近傍においてきめ細かく行えることが望ましい。

そこで、本実施形態のスリットノズル７１においては、吐出口７１５の長手方向における位置が吐出口７１５の両端部それぞれの位置に対応する端部領域Ｒ２ａ，Ｒ２ｂに設けられる所定個数の貫通孔７１２ｅについては、比較的狭ピッチで等間隔に配置される。これにより、両端部近傍における吐出口７１５の開口幅を、長手方向の位置ごとに細かく調整することが可能となる。また、１箇所での開口幅の調整作業の結果がその周囲に及ぶ範囲も限定されるため、例えば調整済みの箇所においては、他の箇所での調整により開口幅が変動してしまうことが回避される。このため、各位置での調整作業を効率よく行うことが可能になる。

一方、両端部領域Ｒ２ａ，Ｒ２ｂより内側の中央領域Ｒ２ｃでは、貫通孔７１２ｅはより広いピッチで配置される。これにより、流路における塗布液の塗布量が比較的安定している中央部の開口幅については、個々のねじ部材７１６の締め付け量の増減による調整がより広範囲に及ぶこととなり、この部分での開口寸法の調整を効率よく行うことが可能になる。

ねじ部材７１６が複数の列を形成するように配置される場合、吐出口７１５の開口幅は各列間でのねじ部材７１６の相対的な締め付け量の差に影響される。したがって、開口寸法の調整に関しては、各列に属するねじ部材７１６は、他の列に属するねじ部材７１６と相補的に作用する。

例えばねじ部材７１６が２列に配置されている場合を考える。仮に一方の列に属する一のねじ部材７１６の締め付け量を増加させると開口幅が増大するようなケースでは、当該ねじ部材７１６の締め付け量を減少させることで、当然に開口幅を縮小させることができる。また、他方の列に属する他のねじ部材７１６の締め付け量を増加させることによっても、締め付け量が前出の一のねじ部材７１６に対して相対的に増加することで、結果として開口幅を縮小させることができる。

すなわち、ねじ部材７１６が２列に並ぶように配置されている場合、一方の列に属するねじ部材のみを調整対象として、他方の列に属するねじ部材との相対的な締め付け量を変化させることで開口幅を調整することができる。また、両方の列に属するねじ部材をそれぞれ調整対象とすることもできる。現実問題としては、第１本体部７１１と第２本体部７１２とが一定以上の固結力で機械的に結合されていることを保証するために、一方の列に属するねじ部材については締め付け量を変えないことが望ましい。

本実施形態のように、ねじ部材７１６が３列に配列されている場合には、例えば次のようにして開口寸法の調整を行うことができる。まず中央の列、つまり直線Ｌ２上に配置されたねじ部材７１６については、例えば規定の締め付けトルクで締め付けた後は変更しないようにすることで締め付け量を一定値に維持しておく。そして、他の２列、つまり直線Ｌ１上および直線Ｌ３上に配置されたねじ部材７１６の一方または両方を調整対象として、開口寸法の調整を行うことができる。

このようにすると、直線Ｌ２上に配置されたねじ部材７１６によって概略値が規定された開口寸法を、直線Ｌ１上および／または直線Ｌ３上に配置されたねじ部材７１６の締め付け量の増減により微調整するという形で調整作業を行うことができる。このため、調整作業における開口寸法の変動が必要以上に大きくなることが防止され、作業を効率的に行うことが可能となる。

前記したように、直線Ｌ１上のねじ部材７１６と直線Ｌ３上のねじ部材７１６とは、開口寸法の調整に関して相補的に働くが、吐出口７１５により近い直線Ｌ３上のねじ部材７１６の方が、締め付け量の変更が開口幅の変化に及ぼす影響がより顕著である。このことから、直線Ｌ３上のねじ部材７１６を粗調整に用い、直線Ｌ１上のねじ部材７１６を微調整に用いることも可能である。

そして、各列におけるねじ部材７１６の配置については、吐出口７１５の端部に対応する位置で狭ピッチ、中央部に対応する位置で広ピッチに設定されている。したがって、吐出口７１５の中央部に対して、両端部における開口寸法の調整をよりきめ細かく行うことが可能となっている。

さらに、この実施形態では、隣り合う列に属するねじ部材７１６同士の間で、Ｙ方向における配設位置のパターンが長手方向位置により異なっている。すなわち、端部領域Ｒ２ａ，Ｒ２ｂでは、直線Ｌ１上、直線Ｌ２上および直線Ｌ３上にある貫通孔７１２ｅのＹ方向における位置は互いに同一である。したがって、各貫通孔７１２ｅは、Ｙ軸およびＺ軸を２つの軸とする格子上に配置される。このような配置をここでは「格子配置」と称することとする。

一方、中央領域Ｒ２ｃでは、直線Ｌ２を挟む位置にある直線Ｌ１上の貫通孔７１２ｅと直線Ｌ３上の貫通孔ねじ部材７１６とはＹ方向において同一位置にある。一方、これらに挟まれるようにこれらと隣り合う直線Ｌ２上の貫通孔１１２ｅのＹ方向位置は、配置ピッチの（１／２）だけ、他の列のねじ部材７１６とは異なっている。したがって、各貫通孔１１２ｅは、いわゆる「千鳥配置」となっている。次に説明するように、このような配置パターンの差異も、吐出口７１５の中央部よりも端部においてきめ細かな開口寸法の調整を行うことができるようにするために設けられたものである。

図４はねじ部材の配置パターンと、吐出口の開口幅の調整範囲との関係を模式的に示す図である。図４（ａ）はねじ部材７１６が千鳥配置されたケース、図４（ｂ）はねじ部材７１６が格子配置されたケースを表している。前記したように、１つのねじ部材７１６の締め付け量を変化させたとき、それに伴ってノズル本体７１０が弾性変形し吐出口７１５の開口幅が変化する一方、周囲のねじ部材７１６はその変形を拘束するように作用する。

このような変形の態様は、例えばねじ部材７１６が図４（ａ）に示すように千鳥配置されているケースと、図４（ｂ）に示すように格子配置されているケースとで互いに異なったものとなる。これらの図において点線は、１つのねじ部材７１６ａの締め付け量を変化させたときの変形の広がり範囲を模式的に示したものである。

図４（ａ）に示す千鳥配置のケースでは、１つのねじ部材７１６ａの締め付け量が変更されたとき、周囲のねじ部材７１６により変形が拘束される結果、吐出口７１５の開口幅に対しては比較的広範囲に影響が及ぶ。一方、図４（ｂ）に示す格子配置のケースでは、１つのねじ部材７１６ａの締め付け量の変化が吐出口７１５の開口幅に対して及ぼす影響の範囲はより狭くなる。

なお、ここでは３列のうち最も下の列に属するねじ部材７１６ａの作用を説明したが、これと相補的に作用する上の列に属するねじ部材７１６ｂについても、同様に考えることが可能である。

このように、ねじ部材７１６の配置パターンを異ならせることによっても、１つのねじ部材７１６の締め付け量を変化させたときの吐出口７１５の開口幅の変化範囲を異ならせることができる。この実施形態のスリットノズル７１では、図３（ａ）に示すように、端部領域Ｒ２ａ，Ｒ２ｂにおいて貫通孔１１２ｅを格子配置とする一方、中央領域Ｒ２ｃにおいて貫通孔１１２ｅを千鳥配置としている。これにより、吐出口７１５の端部近傍で開口幅を、中央部よりもきめ細かく調整することができるという効果をさらに向上させている。

以上のように、この実施形態のスリットノズル７１では、
（ａ）複数のねじ部材７１６を、ねじ部材が配列されてなる列がＺ方向に複数列形成されるように配置する、
（ｂ）ねじ部材７１６の配置ピッチを、吐出口７１５の両端部に対応する端部領域Ｒ２ａ，Ｒ２ｂで狭ピッチとする一方、これらより内側の中央領域Ｒ２ｃでより広ピッチとする、
（ｃ）ねじ部材７１６の配置パターンを、端部領域Ｒ２ａ，Ｒ２ｂで格子配置とする一方、中央領域Ｒ２ｃで千鳥配置とする、
という構成を有することにより、吐出口７１５の開口寸法の調整を、その中央部よりも端部近傍でよりきめ細かく行えるようにしている。これにより、吐出口７１５からの塗布液の吐出量を一定にするための調整作業を効率よく行うことが可能となっている。上記のうち構成（ｂ）および（ｃ）はそれぞれ単独でも効果を有するものであるが、これらを組み合わせることで、効果をより高めることができる。

＜第２実施形態＞
次に、塗布装置１に適用可能なスリットノズルの第２実施形態について説明する。上記実施形態のスリットノズル７１は、第１本体部７１１の第１平坦面７１１ａが他の平坦面７１１ｂより（－Ｘ）側に後退し、これと第２本体部７１２の第２平坦面とが対向することで、塗布液の流路および吐出口７１５が形成される。一方、この種のスリットノズルには、高剛性の材料で形成された２つの本体部材の間に薄板状のシムを挟み込んだ構造となっているものがある。図５に示す第２実施形態のスリットノズル７１Ａは、このような構造を有するものである。

図５は図１の塗布装置で使用されるスリットノズルの第２実施形態の主要構成を模式的に示す分解組立図である。この実施形態のスリットノズル７１Ａでは、互いに対向する平坦面を有する第１本体部７１１Ａと第２本体部７１２Ａとが、シム７３Ａを挟んで結合されることにより、ノズル本体７１０Ａが構成される。第１本体部７１１Ａでは、第２本体部７１２Ａと対向する側の平坦な主面７１１ｆに塗布液のマニホールドとして機能する溝７１１ｇが設けられている。シム７３Ａは、塗布液の流路となる部分が切り欠かれた例えば金属製の薄板であり、第１本体部７１１Ａと第２本体部７１２Ａとの間に挟み込まれることで、両者の間のギャップを規定するとともに塗布液の流路を形成する。

これらの点を除き、第１本体部７１１Ａおよび第２本体部７１２Ａの形状は、第１実施形態の対応する構成７１１，７１２と同じである。また、スリットノズル以外の装置構成も共通である。このため、第１実施形態と同一または実質的に同一の構成については同一符号を付し、詳しい説明を省略することとする。

この実施形態においても、第１本体部７１１Ａと第２本体部７１２Ａとはねじ部材７１６を用いて固定される。すなわち、第１本体部７１１のうち領域Ｒ１にねじ穴７１１ｅが分散配置され、第２本体部７１２の領域Ｒ２には、ねじ穴７１１ｅの各々と対応する位置に貫通孔７１２ｅが設けられる。また、シム７３Ａのうち領域Ｒ１，Ｒ２と対応する領域Ｒ３にも、ねじ穴７１１ｅおよび貫通孔７１２ｅと対応する位置に貫通孔７３ｅが設けられている。これらにねじ部材７１６が挿通されて、第１本体部７１１Ａと第２本体部７１２Ａとがシム７３Ａを介して結合される。

この他に、第１本体部７１１Ａ、第２本体部７１２Ａおよびシム７３Ａのそれぞれには、ねじ部材を挿通させるための孔７１１ｈ，７１２ｈ，７３ｈがそれぞれ設けられる。これらにもねじ部材７１６が挿通されて、ノズル側方からの塗布液の漏れが防止される。ここでのねじ部材７１６の締め付け量は一定値に維持され、開口寸法の調整には用いられない。

このような構造を有するスリットノズル７１Ａは、第１実施形態のスリットノズル７１と同等の機能を有する。このように、本発明の技術思想に基づく吐出口の開口寸法の調整機構は、シムを用いてギャップを規定するノズル、シムを用いないノズルのいずれにも適用可能である。

＜第３実施形態＞
次に、塗布装置１に適用可能なスリットノズルの第３実施形態について説明する。上記各実施形態では、スリットノズルの長手方向（Ｙ方向）において単一の吐出口が設けられている。しかしながら、この種の塗布装置では、吐出口を長手方向において複数に分割し、複数の塗布膜を同時に形成するような利用形態も存在する。次に示す第３実施形態のスリットノズル７１Ｂは、このようなニーズに対応するものである。なおここでも、第１、第２実施形態と同一または実質的に同一の構成については同一符号を付し、詳しい説明を省略することとする。

図６は図１の塗布装置で使用されるスリットノズルの第３実施形態を示す図である。より具体的には、図６（ａ）はこの実施形態のスリットノズル７１Ｂの主要構成を模式的に示す分解組立図である。また、図６（ｂ）はスリットノズル７１Ｂの下面図および側面図である。

この実施形態では、第２実施形態のスリットノズル７１Ａと同様に、第１本体部７１１Ｂと第２本体部７１２Ｂとの間にシム７３Ｂが挟み込まれることにより本体部７１０Ｂが構成される。シム７３Ｂの中央部には流路の隔壁として作用する突出部位７３１Ｂが設けられており、これにより塗布液の流路は２つに区画される。突出部位７３１Ｂは第１および第２リップ部７１１ｃ，７１２ｃの下端まで延びており、これらの下端には、それぞれがＹ方向を長手方向とし、かつＹ方向に並ぶ２つの吐出口７１５ａ，７１５ｂが形成されることになる。このように流路は２つの吐出口７１５ａ，７１５ｂに分割されるが、溝７１１ｇの形状は第２実施形態と同様、上端が中央部においてノズル両端部よりもせり上がった単一の山型形状となっている。

この実施形態でも、第２実施形態と同様に、ねじ部材７１６がシム７３Ａを挟んで第１本体部７１１Ｂと第２本体部７１２Ｂとを結合することで、スリットノズル７１Ｂが構成される。すなわち、第１本体部７１１Ｂ、第２本体部７１２Ｂおよびシム７３Ｂのそれぞれには、ねじ部材を挿通させるための孔７１１ｈ，７１２ｈ，７３ｈがそれぞれ設けられる。これらにねじ部材７１６が挿通されて、各部材が一体化されるとともに、ノズル側方からの塗布液の漏れが防止される。ここでも、ねじ部材７１６の締め付け量は一定値に維持され、開口寸法の調整には用いられない。

この実施形態において、開口寸法の調整に用いられる調整ねじとしてのねじ部材７１６の配置は以下の通りである。第２本体部７１２Ｂには、第１の吐出口７１５ａに対応する領域Ｒ２１および第２の吐出口７１５ｂに対応する領域Ｒ２２のそれぞれに、貫通孔７１２ｅが分散配置される。より具体的には、図６（ｂ）に示すように、Ｙ方向における第１の吐出口７１５ａの広がりに対応して設定された領域Ｒ２１は、吐出口７１５ａの両端部にそれぞれ対応する端部領域Ｒ２１ａ，Ｒ２１ｂと、これらに挟まれて吐出口７１５ａの中央部に対応する中央領域Ｒ２１ｃとに区分される。そして、中央領域Ｒ２１ｃでは比較的広いピッチで貫通孔７１２ｅが配置される一方、端部領域Ｒ２１ａ，Ｒ２１ｂではより狭いピッチで貫通孔７１２ｅが配置される。配置パターンとしては、例えば図３に示されるパターンと同様とすることができるが、配設個数については適宜変更してよい。

第２の吐出口７１５ｂに対応する領域Ｒ２２についても同様である。すなわち、領域Ｒ２２は、吐出口７１５ｂの両端部にそれぞれ対応し狭ピッチで貫通孔７１２ｅが配置される端部領域Ｒ２２ａ，Ｒ２２ｂと、吐出口７１５ｂの中央部に対応しより広ピッチで貫通孔７１２ｅが配置される中央領域Ｒ２１ｃとに区分することができる。

第２本体部７１２Ｂの領域Ｒ２１にそれぞれ対応する第１本体部７１１Ｂの領域Ｒ１１およびシム７３Ｂの領域Ｒ３１と、第２本体部７１２Ｂの領域Ｒ２２にそれぞれ対応する第１本体部７１１Ｂの領域Ｒ１２およびシム７３Ｂの領域Ｒ３２とには、貫通孔１１２ｅに対応する位置に、それぞれねじ穴７１１ｅ、貫通孔７３ｅが設けられる。これらにねじ部材７１６が挿通されることで、当該ねじ部材７１６は固定ねじおよび調整ねじとしての機能を発揮する。ねじ部材７１６の配置は、ねじ穴７１１ｅおよび貫通孔７１２ｅの配置に準じたものとなる。

この実施形態では、Ｙ方向に並べて形成された２つの吐出口７１５ａ，７１５ｂのそれぞれについて、その両端部に対応する領域で調整ねじが狭ピッチで配置される一方、中央部に対応する領域では調整ねじがより広いピッチで配置される。このため、吐出口７１５ａ，７１５ｂのそれぞれについて、上記した効果、すなわち、吐出口の端部近傍で中央部よりもきめ細かい開口寸法の調整を可能とする、という効果を個別に得ることが可能となっている。このように、スリットノズルに複数の吐出口が設けられる場合、そのそれぞれについて上記技術思想に基づくねじ配置を設定することにより、それぞれの吐出口について開口寸法の調整作業の効率化を図ることが可能である。シムを用いない場合も同様である。

＜その他＞
以上のように、上記各実施形態のスリットノズル７１，７１Ａ，７１Ｂでは、ノズル本体を構成する各部材を結合する固定ねじとしてのねじ部材７１６が、吐出口７１５（７１５ａ，７１５ｂ）の開口寸法を調整する調整ねじとしての機能を兼ねている。そして、調整ねじとしてのねじ部材７１６の配置は、吐出口の両端部に対応する領域で狭ピッチ、中央部に対応する領域で広ピッチに設定されている。

このため、吐出口の両端部近傍では中央部に比べて調整ねじが高密度に配置されることとなり、これにより端部近傍における開口寸法の調整をきめ細かく行うことが可能となっている。一方、調整が比較的容易な中央部では調整ねじの密度を低くすることで、調整作業の効率向上が図られている。その結果、これらの実施形態では、両端部およびそれらの間の中央部を含む吐出口の全体において、開口寸法の調整を効率よく行うことが可能となっている。

以上説明したように、上記各実施形態においては、塗布装置１が本発明の「基板処理装置」に相当している。また、第１本体部７１１の第１平坦面７１１ａ、第２本体部７１２の第２平坦面７１２ａが、本発明の「平坦面」に相当している。また、シム板７３が本発明の「スペーサ部材」として機能している。

また、図３（ｂ）の直線Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３上にそれぞれ一列に並ぶ複数の貫通孔７１２ｅに挿通されるねじ部材７１６が、本発明の「ねじ列」を形成している。そのうち、端部領域Ｒ２ａ，Ｒ２ｂに設けられた貫通孔７１２ｅに挿通されるねじ部材７１６が、本発明の「狭ピッチ部」を構成する。一方、中央領域Ｒ２ｃに設けられた貫通孔７１２ｅに挿通されるねじ部材７１６は、本発明の「広ピッチ部」を構成する。

また、上記実施形態の塗布装置１は本発明の「基板処理装置」に相当するものであり、入力コンベア１００、入力移載部２、浮上ステージ部３、出力移載部４、出力コンベア１１０、基板搬送部５等が一体として本発明の「相対移動機構」を構成している。また、塗布液供給機構８が、本発明の「液体供給部」として機能している。

なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、上記実施形態のスリットノズル７１では、吐出口７１５の端部における開口寸法の調整に用いられるねじ部材と、中央における開口寸法の調整に用いられるねじ部材との間で、配置ピッチと配置パターンとの両方を異ならせている。しかしながら、端部において中央部より高密度にねじ部材を配置するとの目的が達成される限りにおいて、いずれか一方の手法のみが適用されてもよい。また、上記実施形態において採用されるねじ部材の配置パターンは、「千鳥配置」と「格子配置」との２種類であるが、配置パターンはこれらに限定されるものではない。

また、上記実施形態のスリットノズル７１では、端部領域Ｒ２ａ，Ｒ２ｂと中央領域Ｒ２ｃとでねじ部材７１６の配置が異なるものの、各々の領域内では一定のピッチでねじ部材７１６が配置されている。このうち中央領域Ｒ２ｃについては、吐出口７１５の長手方向（Ｙ方向）において構造が概ね一様であるため、ねじ部材７１６を一定ピッチで配置することに必然性がある。一方、端部領域Ｒ２ａ，Ｒ２ｂについては、ねじ部材７１６の配置ピッチを不均等にして、位置に応じた調整をより細かく行えるようにしてもよい。このような構成であっても、中央領域より狭いピッチでねじ部材７１６が配置される限りにおいて、本発明の技術思想の範疇に含まれるものと言える。

また、上記実施形態のスリットノズル７１では、第２本体部７１２に設けられた貫通孔７１２ｅにねじ部材７１６が挿通され、これが第１本体部７１１のねじ穴７１１ｅに螺合することで第１、第２本体部が結合される。これに代えて、両本体部に設けられた貫通孔にねじ部材としてのボルトが挿通され、これにナットが螺合することで両本体部を結合する構造であってもよい。

また、上記実施形態ではスリットノズル７１の下方で基板Ｓを搬送することでスリットノズル７１と基板Ｓとの相対移動が実現されている。しかしながら、これらの相対移動の実現方法は上記に限定されない。例えばステージ上に保持された基板に対しスリットノズルが走査移動する構成においても、本発明は有効に機能する。また、基板の搬送形式は上記のような浮上式のものに限定されず、例えばローラ搬送、ベルト搬送、移動ステージによる搬送など各種のものを適用可能である。

さらに、上記実施形態では、基板Ｓの表面Ｓｆに塗布液を供給する塗布装置１に対して本発明を適用しているが、本発明の適用対象はこれに限定されるものではなく、スリットノズルに処理液を送給することで当該スリットノズルから基板の表面に処理液を供給しながらスリットノズルに対して相対的に移動させて所定の処理を施す基板処理技術全般に適用可能である。

以上、具体的な実施形態を例示して説明してきたように、本発明に係るスリットノズルでは、一のねじ列と、長手方向に直交する方向において当該ねじ列と隣り合う他のねじ列との間で、長手方向におけるねじ部材の配置位置が、狭ピッチ部においては互いに同じであり、広ピッチ部においては互いに異なるように構成されてもよい。

１つのねじ部材の締め付け量が変更される場合、締め付け量が変わらない周囲のねじ部材は、吐出口の開口寸法の変化を規制するように作用する。隣り合うねじ列間においては、長手方向におけるねじ部材の配置によってこの規制作用が及ぶ範囲が変化する。すなわち、隣り合うねじ列間で長手方向におけるねじ部材の配置が同じである場合、これが異なる場合よりも、開口寸法の変化を抑制する作用が大きい。したがって、きめ細かい調整を必要とする狭ピッチ部において、長手方向におけるねじ部材の配置を列間で異ならせることが有効である。一方、細かい調整を必ずしも必要としない広ピッチ部では、１つのねじ部材の調整結果が広範囲に及ぶ方が、作業効率の上で好ましい。このため、隣り合うねじ列間で、ねじ部材の配置位置を異ならせることが好ましい。

また、同様の理由により、広ピッチ部ではねじ部材が一定の配置ピッチで配置されるようにすることで、長手方向において吐出量を一様とするための調整作業を効率よく行うことが可能となる。

また、本発明において、複数のねじ列は、２列または３列とすることができる。ねじ列を２列とした場合、一方のねじ列に属するねじ部材と他方のねじ列に属するねじ部材との相対的な締め付け量の差を増減させることで、吐出口の開口寸法を変化させることが可能である。また、ねじ列を３列としても同様であるが、この場合には、例えば中央のねじ列に属するねじ部材については締め付け量を固定しておき、他の２列に属するねじ部材を調整対象とすることも可能となる。このようにすることで、開口寸法の微調整を効率的に行うことが可能である。

また例えば、本発明に係るスリットノズルは、第１本体部および第２本体部のうち一方に、ねじ部材の各々を挿通させるための貫通孔が設けられ、他方の貫通孔と対応する位置に、貫通孔に挿通されたねじ部材と螺合するねじ穴が設けられた構造であってもよい。このように構成された発明では、一方向からねじ部材を取り付ける作業で第１本体部および第２本体部を結合することができ、開口寸法の調整も同方向からの作業により行うことが可能である。

また例えば、第１本体部および第２本体部の間に挟み込まれることで、吐出口以外の流路の周囲のギャップを閉塞するとともにギャップの大きさを規定する薄板状のスペーサ部材がさらに設けられてもよい。このような構造においても、スペーサ部材を挟んで第１本体部と第２本体部とを結合するねじ部材の締め付け量を増減して開口寸法の調整を行うことが可能である。

また例えば、長手方向に互いに位置を異ならせて複数の吐出口が設けられる場合には、吐出口の各々に対して狭ピッチ部と広ピッチ部とがそれぞれ設けられることが望ましい。こうすることにより、各吐出口について、吐出量を一様とするための開口寸法の調整作業を効率よく行うことが可能となる。

また、本発明に係る基板処理装置は、基板の表面に、処理液による一様な塗布膜を形成するものであってもよい。スリットノズルを用いて一様な塗布膜を形成する場合においては、ノズルの吐出口の中央部と端部とで吐出量が異なり、これによって塗布膜の厚さにばらつきが生じることがある。このような装置に本発明を適用することにより、吐出口の全域にわたって一様な塗布膜を形成するための調整作業を効率的に行うことが可能となる。

この発明は、スリット状の吐出口を有するスリットノズルおよび当該スリットノズルを用いて基板に液体を塗布する基板処理装置全般に適用可能である。

１ 塗布装置（基板処理装置）
２ 入力移載部（相対移動機構）
３ 浮上ステージ部（相対移動機構）
４ 出力移載部（相対移動機構）
５ 基板搬送部（相対移動機構）
８ 塗布液供給機構（処理液供給部）
７１ スリットノズル
７３Ａ シム板（スペーサ部材）
１００ 入力コンベア（相対移動機構）
１１０ 出力コンベア（相対移動機構）
７１１ 第１本体部
７１１ａ 第１平坦面（平坦面）
７１１ｅ ねじ穴
７１２ 第２本体部
７１２ａ 第２平坦面（平坦面）
７１２ｅ 貫通孔
７１５ 吐出口
７１６ ねじ部材
Ｓ 基板

Claims (8)

1. スリット状に開口する吐出口およびこれに連通する流体の流路を有するスリットノズルであって、
   ギャップを介して互いに対向する平坦面をそれぞれが有し、前記ギャップに前記流路および前記吐出口を形成する第１本体部および第２本体部と、
   前記第１本体部と前記第２本体部とを結合する複数のねじ部材と
   を備え、
   前記複数のねじ部材は、前記吐出口の長手方向における一方端部に対応する位置から他方端部に対応する位置までの間に、前記長手方向に沿って配列された複数の前記ねじ部材からなるねじ列が前記長手方向に直交する方向に複数形成されるように配置され、
   前記ねじ列の各々には、
   前記ねじ列の両端部からそれぞれ所定本数の前記ねじ部材が小さな配置ピッチで配置された狭ピッチ部と、
   前記ねじ列において前記狭ピッチ部よりも内側で前記狭ピッチ部における配置ピッチよりも大きな配置ピッチで前記ねじ部材が配置される広ピッチ部と
   が設けられ、
   一の前記ねじ列と、前記長手方向に直交する方向において当該ねじ列と隣り合う他の前記ねじ列との間で、前記長手方向における前記ねじ部材の配置位置が、前記狭ピッチ部においては互いに同じであり、前記広ピッチ部においては互いに異なる、スリットノズル。
2. 前記広ピッチ部では、前記ねじ部材が一定の配置ピッチで配置される、請求項１に記載のスリットノズル。
3. 複数の前記ねじ列は２列または３列設けられる請求項１または２に記載のスリットノズル。
4. 前記第１本体部および前記第２本体部のうち一方に、前記ねじ部材の各々を挿通させるための貫通孔が設けられ、他方の前記貫通孔と対応する位置に、前記貫通孔に挿通された前記ねじ部材と螺合するねじ穴が設けられている、請求項１ないし３のいずれかに記載のスリットノズル。
5. 前記第１本体部および前記第２本体部の間に挟み込まれることで、前記吐出口以外の前記流路の周囲の前記ギャップを閉塞するとともに前記ギャップの大きさを規定する薄板状のスペーサ部材を備える、請求項１ないし４のいずれかに記載のスリットノズル。
6. スリット状に開口する吐出口およびこれに連通する流体の流路を有するスリットノズルであって、
   ギャップを介して互いに対向する平坦面をそれぞれが有し、前記ギャップに前記流路および前記吐出口を形成する第１本体部および第２本体部と、
   前記第１本体部と前記第２本体部とを結合する複数のねじ部材と
   を備え、
   前記複数のねじ部材は、前記吐出口の長手方向における一方端部に対応する位置から他方端部に対応する位置までの間に、前記長手方向に沿って配列された複数の前記ねじ部材からなるねじ列が前記長手方向に直交する方向に複数形成されるように配置され、
   前記ねじ列の各々には、
   前記ねじ列の両端部からそれぞれ所定本数の前記ねじ部材が小さな配置ピッチで配置された狭ピッチ部と、
   前記ねじ列において前記狭ピッチ部よりも内側で前記狭ピッチ部における配置ピッチよりも大きな配置ピッチで前記ねじ部材が配置される広ピッチ部と
   が設けられ、
   前記長手方向に互いに位置を異ならせて複数の前記吐出口が設けられ、前記吐出口の各々に対して、前記狭ピッチ部と前記広ピッチ部とがそれぞれ設けられる、スリットノズル。
7. 請求項１ないし６のいずれかに記載のスリットノズルと、
   前記スリットノズルの前記吐出口と対向させて基板を配置するとともに、前記スリットノズルと前記基板とを前記長手方向と交わる方向に相対移動させる相対移動機構と、
   前記スリットノズルに液体を供給する液体供給部と
   を備え、前記吐出口から吐出した前記液体を前記基板の表面に塗布する基板処理装置。
8. 前記基板の表面に、前記液体による一様な塗布膜を形成する請求項７に記載の基板処理装置。