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JP7845321B2 - Laser processing machine - Google Patents
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JP7845321B2 - Laser processing machine - Google Patents

Laser processing machine

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JP7845321B2
JP7845321B2 JP2023148907A JP2023148907A JP7845321B2 JP 7845321 B2 JP7845321 B2 JP 7845321B2 JP 2023148907 A JP2023148907 A JP 2023148907A JP 2023148907 A JP2023148907 A JP 2023148907A JP 7845321 B2 JP7845321 B2 JP 7845321B2
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Description

本開示は、レーザ加工機に関する。 This disclosure relates to a laser processing machine.

レーザを照射してワークを加工するレーザ加工機において、レーザ照射によって生じた溶融物が飛散し、レンズ等の光学系に付着することがある。
例えば、特許文献1には、ノズル内にガスを供給するとともに、負圧を発生させることによって溶融物の飛散から光学系を保護する技術が開示されている。
In laser processing machines that process workpieces by irradiating them with a laser, molten material generated by the laser irradiation may scatter and adhere to optical components such as lenses.
For example, Patent Document 1 discloses a technique for protecting optical systems from molten material splatter by supplying gas into a nozzle and generating negative pressure.

特開2018-114542号公報Japanese Patent Publication No. 2018-114542

発明者らは、レーザ加工機に関し、以下の課題を見出した。
溶融物が回収されきれずに残存している場合、光学系及びワークが汚染されることによってレーザ加工効率の悪化を引き起こす虞がある。また、ノズル内部及び周辺設備等が汚染されることによって設備寿命の低下を引き起こす虞がある。そのため、溶融物の飛散をさらに抑制することが求められている。
The inventors identified the following problems with respect to laser processing machines.
If molten material is not completely recovered and remains, it may contaminate the optical system and workpiece, potentially leading to a decrease in laser processing efficiency. Furthermore, contamination of the nozzle interior and surrounding equipment may reduce the equipment's lifespan. Therefore, further suppression of molten material scattering is required.

本開示は、このような課題に鑑みなされたものであり、溶融物の飛散をさらに抑制可能なレーザ加工機を提供することを目的とする。 This disclosure addresses these challenges and aims to provide a laser processing machine capable of further suppressing the scattering of molten material.

上記目的を達成するための一態様は、
レーザ加工機であって、
レーザをワークに照射するレーザ照射部と、
前記レーザ照射部から前記ワークの加工点までを連通する中空部分を有するチャンバと、を備え、
前記チャンバには、
前記チャンバの中空部分を形成する内壁の途中に設けられたエア流入口に連通し、前記エア流入口を介してエアを前記チャンバ内に流入するエア流入路と、
前記エア流入口が設けられた前記内壁の面と対向する前記内壁の面に設けられたエア吸入口に連通し、前記エア吸入口を介してエアを前記チャンバ内から吸入するエア吸入路と、
が設けられており、
前記チャンバの中空部分は、前記レーザの進行方向に直交する方向に切断した際における断面が長方形状であり、
前記エア流入口は、前記チャンバの内壁のうち長辺部分に少なくとも2つ設けられ、
前記エア流入口が設けられた内壁に対向する前記チャンバの内壁において、前記エア流入口に相当する箇所が壁になっており、
前記エア吸入口に対向する前記チャンバの内壁において、前記エア吸入口に相当する箇所が壁になっており、
前記エア吸入路は、前記エア吸入口から外部側の端に向かって上昇する傾きを有する。
One embodiment for achieving the above objective is:
It is a laser processing machine,
A laser irradiation unit that irradiates the workpiece with a laser,
The system comprises a chamber having a hollow portion that connects the laser irradiation section to the processing point of the workpiece,
The aforementioned chamber contains,
An air inlet passage is provided in the middle of the inner wall forming the hollow portion of the chamber, and air flows into the chamber through the air inlet.
An air intake passage that communicates with an air intake port provided on the inner wall surface facing the inner wall surface on which the air inlet is provided, and draws air from inside the chamber through the air intake port,
A system is in place,
The hollow portion of the chamber has a rectangular cross-section when cut in a direction perpendicular to the direction of laser propagation.
At least two of the air inlets are provided on the longer side portion of the inner wall of the chamber.
In the inner wall of the chamber opposite to the inner wall where the air inlet is provided, the portion corresponding to the air inlet is a wall,
In the inner wall of the chamber facing the air intake, the portion corresponding to the air intake is a wall.
The air intake passage has an inclination that rises from the air intake port toward the outer end.

本開示によれば、溶融物の飛散をさらに抑制可能なレーザ加工機を提供することができる。 According to this disclosure, it is possible to provide a laser processing machine that can further suppress the scattering of molten material.

実施形態に係るレーザ加工機が備えるチャンバの平面図である。This is a plan view of the chamber provided in the laser processing machine according to the embodiment. 実施形態に係るレーザ加工機の構成を示す図である。This diagram shows the configuration of a laser processing machine according to an embodiment. チャンバの形状を示す図である。This is a diagram showing the shape of the chamber. チャンバの形状と残留粒子数との関係を示すグラフである。This graph shows the relationship between the shape of the chamber and the number of residual particles.

以下では、本開示の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。各図面において、同一又は対応する要素には同一の符号が付されており、説明の明確化のため、必要に応じて重複説明は省略される。また、本明細書において、「略同一」とは、人が見て同じ形状、同じ寸法を有するとみなされる状態を示す。 The embodiments of this disclosure will be described in detail below with reference to the drawings. In each drawing, identical or corresponding elements are denoted by the same reference numerals, and redundant explanations are omitted where necessary for clarity. Furthermore, in this specification, "substantially identical" refers to a state in which elements are perceived by a human eye as having the same shape and dimensions.

まず、図1及び図2を参照し、本実施形態に係るレーザ加工機10の構成を説明する。図1に示すように、レーザ加工機10は、少なくとも、チャンバ100及びレーザ照射部200を備える。レーザ加工機10は、周辺部材600,700等の部材をさらに備えてもよい。尚、図1には、レーザ加工機10に加えて、ワーク300,400を図示している。 First, the configuration of the laser processing machine 10 according to this embodiment will be described with reference to Figures 1 and 2. As shown in Figure 1, the laser processing machine 10 comprises at least a chamber 100 and a laser irradiation unit 200. The laser processing machine 10 may further include peripheral members such as 600 and 700. Note that in addition to the laser processing machine 10, workpieces 300 and 400 are also shown in Figure 1.

レーザ加工機10は、レーザを照射することによってワークを加工する装置である。図1に示す例では、レーザ加工機10は、レーザ照射によって2つのワーク300,400を接合する。図1に示す加工点500は、レーザの照射位置である。レーザ照射部200は、加工点500に向かってレーザを照射する。ワーク300,400は、加工点500近傍においてレーザによって溶融接合される。ワーク300,400は、レーザを受光すると、急激に熱せられて融点や沸点を瞬間的に超え、溶融材料や溶融蒸気が周辺に拡散することがある。以下、溶融材料及び溶融蒸気を「溶融物」と称する。尚。レーザ加工機10は、ワーク同士の接合以外の加工を行ってもよい。レーザ加工機10は、例えば、穴あけ加工等を行ってもよい。 The laser processing machine 10 is a device that processes workpieces by irradiating them with a laser. In the example shown in Figure 1, the laser processing machine 10 joins two workpieces 300 and 400 by laser irradiation. The processing point 500 shown in Figure 1 is the laser irradiation position. The laser irradiation unit 200 irradiates the laser toward the processing point 500. The workpieces 300 and 400 are melted and joined by the laser near the processing point 500. When the workpieces 300 and 400 receive the laser, they are rapidly heated, momentarily exceeding their melting or boiling points, and the molten material and molten vapor may diffuse into the surrounding area. Hereinafter, the molten material and molten vapor will be referred to as "molten material." Note that the laser processing machine 10 may perform processing other than joining workpieces. For example, the laser processing machine 10 may perform drilling, etc.

周辺部材600,700は、チャンバ100及びワーク300,400等の周囲に配置される部材であり、種々の機能を有する。図1に示す例では、周辺部材600,700は、チャンバ100及びワーク300,400の位置決めをする部材である。 The peripheral members 600 and 700 are components positioned around the chamber 100 and the workpieces 300 and 400, and have various functions. In the example shown in Figure 1, the peripheral members 600 and 700 are components that position the chamber 100 and the workpieces 300 and 400.

チャンバ100は、レーザ照射部200から加工点500を連通する。図1に示すように、チャンバ100は、中空状の部材であり、チャンバ100に設けられた中空部分をレーザが通過する。図2は、チャンバ100をレーザ照射部200側から見た図である。図2に示すように、チャンバ100は、長方形状の中空を有する。具体的には、チャンバ100は、レーザの進行方向に直交する方向に切断された際における断面が長方形状である中空を有する。すなわち、チャンバ100の内壁150は、対向する2つの長辺部分150a,150bと、当該長辺部分の端を結ぶ2つの短辺部分(図示省略)と、を有する。 The chamber 100 connects the laser irradiation unit 200 to the processing point 500. As shown in Figure 1, the chamber 100 is a hollow member, and the laser passes through the hollow portion provided in the chamber 100. Figure 2 is a view of the chamber 100 from the laser irradiation unit 200 side. As shown in Figure 2, the chamber 100 has a rectangular hollow. Specifically, the chamber 100 has a hollow whose cross-section is rectangular when cut in a direction perpendicular to the laser's direction of travel. That is, the inner wall 150 of the chamber 100 has two opposing long side portions 150a and 150b, and two short side portions (not shown) connecting the ends of these long side portions.

チャンバ100には、少なくとも2つのエア流入路130が設けられる。図2に示す例では、チャンバ100には、2つのエア流入路130a,130bが設けられる。エア流入路130は、エア流入口110に連通しており、エア流入口110を介してエアをチャンバ100内に流入する。エア流入口110は、図1に示すように、チャンバ100の内壁150の途中部に設けられる。具体的には、内壁150の長辺部分に、少なくとも2つのエア流入口110が設けられる。図2に示す例では、内壁150の長辺部分150aには、2つのエア流入口110a,110bが設けられる。 The chamber 100 is provided with at least two air inlet passages 130. In the example shown in Figure 2, the chamber 100 is provided with two air inlet passages 130a and 130b. The air inlet passages 130 communicate with the air inlet 110, and air flows into the chamber 100 through the air inlet 110. The air inlet 110 is provided in the middle of the inner wall 150 of the chamber 100, as shown in Figure 1. Specifically, at least two air inlets 110 are provided on the long side portion of the inner wall 150. In the example shown in Figure 2, two air inlets 110a and 110b are provided on the long side portion 150a of the inner wall 150.

チャンバ100には、少なくとも1つのエア吸入路140が設けられる。図2に示す例では、チャンバ100には、1つのエア吸入路140が設けられる。エア吸入路140は、エア吸入口120に連通しており、エア吸入口120を介してチャンバ100内のエアを吸入する。エア吸入口120は、図1に示すように、チャンバ100の内壁150の途中部に設けられる。具体的には、内壁150のエア流入口110が設けられた長辺部分と対向する長辺部分にエア吸入口120が設けられる。図2に示す例では、内壁150の長辺部分150bには、1つのエア吸入口120が設けられる。エア吸入路140は、図1に示すように、エア吸入口120からチャンバ100の外部側の端に向かって上昇する傾きを有する。換言すると、エア吸入路140は、エア吸入口120が加工点500に向くような角度が付けられている。また、エア吸入口120は、図1に示すように、エア流入口110a,110bと略同一の高さに設けられることが好ましい。エア吸入口120をエア流入口110a,110bと略同一の高さに設けることによって、チャンバ100内におけるエア流れの短絡を抑制し、チャンバ100内に縦方向の旋回流を精度良く発生させることができる。 The chamber 100 is provided with at least one air intake passage 140. In the example shown in Figure 2, the chamber 100 is provided with one air intake passage 140. The air intake passage 140 communicates with an air intake port 120 and draws in air from inside the chamber 100 through the air intake port 120. As shown in Figure 1, the air intake port 120 is provided in the middle of the inner wall 150 of the chamber 100. Specifically, the air intake port 120 is provided on the long side portion of the inner wall 150 opposite to the long side portion where the air inlet 110 is provided. In the example shown in Figure 2, one air intake port 120 is provided on the long side portion 150b of the inner wall 150. As shown in Figure 1, the air intake passage 140 has an incline that rises from the air intake port 120 toward the outer end of the chamber 100. In other words, the air intake passage 140 is angled such that the air intake port 120 faces the machining point 500. Furthermore, it is preferable that the air intake port 120 is provided at approximately the same height as the air inlets 110a and 110b, as shown in Figure 1. By providing the air intake port 120 at approximately the same height as the air inlets 110a and 110b, short-circuiting of the airflow within the chamber 100 can be suppressed, and a vertical swirling flow can be accurately generated within the chamber 100.

エア流入口110a,110bが設けられた長辺部分150aに対向する長辺部分150bにおいて、エア流入口110a,110bに相当する箇所は、壁になっている。換言すると、長辺部分150bにおいてエア流入口110a,110bに相当する箇所には、エア吸入口120が設けられていない。また、エア吸入口120が設けた長辺部分150bに対向する長辺部分150aにおいて、エア吸入口120に相当する箇所は、壁になっている。換言すると、長辺部分150aにおいてエア吸入口120に相当する箇所には、エア流入口110a,110bが設けられていない。図2に示す例では、エア吸入口120は、長辺部分150bにおいて、2つのエア流入口110a,110b同士の間に相当する箇所に設けられる。 In the long side portion 150b opposite to the long side portion 150a where the air inlets 110a and 110b are provided, the area corresponding to the air inlets 110a and 110b is a wall. In other words, the area corresponding to the air inlets 110a and 110b in the long side portion 150b does not have an air intake port 120. Furthermore, in the long side portion 150a opposite to the long side portion 150b where the air intake port 120 is provided, the area corresponding to the air intake port 120 is a wall. In other words, the area corresponding to the air intake port 120 in the long side portion 150a does not have air inlets 110a and 110b. In the example shown in Figure 2, the air intake port 120 is provided in the long side portion 150b at the location corresponding to the two air inlets 110a and 110b.

図1及び図2に示す矢印は、チャンバ100内におけるエアの流れを示す。図1及び図2に示すように、エア流入路130a,130bからエア流入口110a,110bを介して流入されたエアは、チャンバ100内において縦方向及び横方向に回転する旋回流を生じる。チャンバ100内で旋回しているエアは、エア吸入口120を介してエア吸入路140から吸入される。縦方向すなわちレーザの進行方向に旋回流が延びているため、加工点500にエア流れが届く。横方向すなわちレーザの進行方向に直交する方向に旋回流が延びているため、加工点500が線形状である場合においても溶融物をチャンバ100内から排出することができる。 The arrows in Figures 1 and 2 indicate the airflow within the chamber 100. As shown in Figures 1 and 2, the air flowing in from the air inlet passages 130a and 130b through the air inlets 110a and 110b generates a swirling flow that rotates in both the longitudinal and transverse directions within the chamber 100. The swirling air within the chamber 100 is drawn in through the air intake passage 140 via the air intake port 120. Because the swirling flow extends in the longitudinal direction, i.e., the direction of laser propagation, the airflow reaches the processing point 500. Because the swirling flow extends in the transverse direction, i.e., perpendicular to the direction of laser propagation, the molten material can be discharged from the chamber 100 even if the processing point 500 is linear in shape.

レーザを加工点500に照射した際に生じる溶融物は、チャンバ100内に発生した旋回流に乗ってエアと共にエア吸入路140から排出される。そのため、ワーク300,400及びレーザ加工機10を構成する各部材等への溶融物の付着を抑制できる。レーザ加工機10は、エアの流れによって溶融物を排出しているため、不活性ガス等を用いて溶融物を排出する装置に比較して、ランニングコストが抑えられる。また、レーザ加工機10は、不活性ガスを供給する機構が不要であるため、構造が簡素であり、制御が容易である。エアに含まれる溶融物は、質量がエアよりも大きいため、エア吸入路140内等において慣性力によってエア流れから逸脱する虞がある。そのため、エア吸入路140内への溶融物の付着を抑制する観点から、エア吸入路140を直線状に設けることが好ましい。 The molten material generated when the laser is irradiated onto the processing point 500 is carried by the swirling flow generated in the chamber 100 and discharged through the air intake passage 140 along with the air. Therefore, adhesion of the molten material to the workpieces 300, 400, and the various components constituting the laser processing machine 10 can be suppressed. Because the laser processing machine 10 discharges the molten material using airflow, its running costs are lower compared to devices that use inert gas to discharge the molten material. Furthermore, since the laser processing machine 10 does not require a mechanism to supply inert gas, its structure is simple and controllable. Because the molten material contained in the air has a greater mass than the air itself, there is a risk that it may deviate from the airflow due to inertial force within the air intake passage 140. Therefore, from the viewpoint of suppressing the adhesion of molten material within the air intake passage 140, it is preferable to provide the air intake passage 140 in a straight line.

次に、本発明の実施例について説明する。
実施例1及び比較例1~3に係るチャンバのモデルを図3に示す。図3は、エア流入路130a,130bが延びる方向に沿って切断されたチャンバのモデルを示す模式図である。実施例1及び比較例1~3に係るチャンバのモデルは、いずれも2つのエア流入路130a,130b及び1つのエア吸入路140が設けられる。
Next, embodiments of the present invention will be described.
Figure 3 shows models of the chambers according to Example 1 and Comparative Examples 1 to 3. Figure 3 is a schematic diagram showing a model of the chamber cut along the direction in which the air inlet passages 130a and 130b extend. The chamber models according to Example 1 and Comparative Examples 1 to 3 are all provided with two air inlet passages 130a and 130b and one air intake passage 140.

実施例1は、チャンバ内壁の長辺部分にエア流入路130a,130b及びエア吸入路140が設けられ、エア吸入路140がエア吸入口120から外部側の端に向かって傾斜を有するモデルである。すなわち、上述の実施形態において説明を行ったチャンバ100に相当するモデルである。比較例1は、チャンバ内壁の長辺部分にエア流入路130a,130b及びエア吸入路140が設けられ、エア吸入路140がエア吸入口120から外部側の端に向かって略水平に延びるモデルである。比較例2は、チャンバ内壁の短辺部分にエア流入路130a,130b及びエア吸入路140が設けられ、エア吸入路140がエア吸入口120から外部側の端に向かって略水平に延びるモデルである。比較例3は、チャンバ内壁の短辺部分にエア流入路130a,130b及びエア吸入路140が設けられ、エア吸入路140がエア吸入口120から外部側の端に向かって傾斜を有するモデルである。 Example 1 is a model in which air inlet passages 130a, 130b and an air intake passage 140 are provided on the long side portion of the inner wall of the chamber, and the air intake passage 140 has an inclination from the air intake port 120 toward the outer end. That is, it is a model corresponding to the chamber 100 described in the above embodiment. Comparative Example 1 is a model in which air inlet passages 130a, 130b and an air intake passage 140 are provided on the long side portion of the inner wall of the chamber, and the air intake passage 140 extends substantially horizontally from the air intake port 120 toward the outer end. Comparative Example 2 is a model in which air inlet passages 130a, 130b and an air intake passage 140 are provided on the short side portion of the inner wall of the chamber, and the air intake passage 140 extends substantially horizontally from the air intake port 120 toward the outer end. Comparative Example 3 is a model in which air inlet passages 130a, 130b and an air intake passage 140 are provided on the short side portion of the inner wall of the chamber, and the air intake passage 140 has a slope from the air intake port 120 toward the outer end.

図3に示したモデルを使用して排出性の評価を行った。評価を行う際には、チャンバ内のレーザ加工点付近に溶融材料を模した仮想粒子を配置した後にエアを吸入し、チャンバ内に残留している仮想粒子の数を測定した。尚、初期配置では仮想粒子は浮いており、内壁面等に衝突すると付着するものとした。評価結果を図4に示す。実施例1及び比較例1と、比較例2及び比較例3と、を比較すると、チャンバ内壁の長辺部分にエア流入口110及びエア吸入口120を設けることによって、多くの仮想粒子をエアの流れによって排出できることが分かった。また、実施例1と比較例1とを比較すると、エア吸入路140に傾斜を設けることによって仮想粒子をさらに排出できることが分かった。このように、実施例1は、比較例1~3に比較して、短時間で多くの仮想粒子を排出できており、排出性に優れることが分かった。 The discharge performance was evaluated using the model shown in Figure 3. During the evaluation, virtual particles simulating molten material were placed near the laser processing point in the chamber, air was drawn in, and the number of virtual particles remaining in the chamber was measured. Initially, the virtual particles were assumed to be floating and to adhere upon impact with the inner wall surface. The evaluation results are shown in Figure 4. Comparing Example 1 and Comparative Example 1 with Comparative Examples 2 and 3, it was found that by providing air inlets 110 and air intake ports 120 on the long side of the chamber's inner wall, a large number of virtual particles could be discharged by the airflow. Furthermore, comparing Example 1 with Comparative Example 1, it was found that providing a slope in the air intake passage 140 allowed for even greater discharge of virtual particles. Thus, Example 1 demonstrated superior discharge performance compared to Comparative Examples 1-3, as it could discharge a large number of virtual particles in a shorter time.

なお、本開示は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。 Furthermore, this disclosure is not limited to the embodiments described above, and may be modified as appropriate without departing from its intent.

10 レーザ加工機
100 チャンバ
110(110a,110b) エア流入口
120 エア吸入口
130(130a,130b) エア流入路
140 エア吸入路
150 内壁
150a,150b 長辺部分
200 レーザ照射部
300,400 ワーク
500 加工点
600,700 周辺部材
10 Laser processing machine 100 Chamber 110 (110a, 110b) Air inlet 120 Air intake port 130 (130a, 130b) Air inlet passage 140 Air intake passage 150 Inner wall 150a, 150b Long side portion 200 Laser irradiation section 300, 400 Workpiece 500 Processing point 600, 700 Peripheral components

Claims (2)

レーザをワークに照射するレーザ照射部と、
前記レーザ照射部から前記ワークの加工点までを連通する中空部分を有するチャンバと、を備え、
前記チャンバには、
前記チャンバの中空部分を形成する内壁の途中に設けられたエア流入口に連通し、前記エア流入口を介してエアを前記チャンバ内に流入するエア流入路と、
前記エア流入口が設けられた前記内壁の面と対向する前記内壁の面に設けられたエア吸入口に連通し、前記エア吸入口を介してエアを前記チャンバ内から吸入するエア吸入路と、
が設けられており、
前記チャンバの中空部分は、前記レーザの進行方向に直交する方向に切断した際における断面が長方形状であり、
前記エア流入口は、前記チャンバの内壁のうち長辺部分に少なくとも2つ設けられ、
前記エア流入口が設けられた内壁に対向する前記チャンバの内壁において、前記エア流入口に相当する箇所が壁になっており、
前記エア吸入口に対向する前記チャンバの内壁において、前記エア吸入口に相当する箇所が壁になっており、
前記エア吸入路は、前記エア吸入口から外部側の端に向かって上昇する傾きを有する、
レーザ加工機。
A laser irradiation unit that irradiates the workpiece with a laser,
The system comprises a chamber having a hollow portion that connects the laser irradiation section to the processing point of the workpiece,
The aforementioned chamber contains,
An air inlet passage is provided in the middle of the inner wall forming the hollow portion of the chamber, and air flows into the chamber through the air inlet.
An air intake passage that communicates with an air intake port provided on the inner wall surface facing the inner wall surface on which the air inlet is provided, and draws air from inside the chamber through the air intake port,
A system is in place,
The hollow portion of the chamber has a rectangular cross-section when cut in a direction perpendicular to the direction of laser propagation.
At least two of the air inlets are provided on the longer side portion of the inner wall of the chamber.
In the inner wall of the chamber opposite to the inner wall where the air inlet is provided, the portion corresponding to the air inlet is a wall,
In the inner wall of the chamber facing the air intake, the portion corresponding to the air intake is a wall.
The air intake passage has an inclination that rises from the air intake port toward the outer end.
Laser processing machine.
前記エア流入口は、前記エア吸入口と略同一の高さに設けられる、請求項1に記載のレーザ加工機。 The laser processing machine according to claim 1, wherein the air inlet is provided at approximately the same height as the air intake port.
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