JP7847572B2 - Ｇｕｉ装置および基板処理システム - Google Patents

Description

この発明は、基板を一時的に受け入れる受容部を複数含み基板を処理する基板処理システムに関し、特にそのユーザーインターフェース機能に関するものである。

半導体基板や液晶表示装置用ガラス基板等の各種基板（以下、単に「基板」と称する）を処理する基板処理システムでは、各々が基板に対して所定の処理を実行する処理ユニットを複数配置し、処理対象の基板をこれらの処理ユニット間で搬送しながら順に処理を行うことがある。こうすることで、複数基板を効率よく処理することが可能となる。ただし、各処理ユニットでの処理に要する時間は必ずしも同じではないことから、複数の基板を順次処理するときの処理効率を高めるためには、基板処理システムに基板を投入する時間間隔（タクトタイム）の設定を適切に行う必要がある。

この点に鑑み、例えば特許文献１に記載された、処理ユニット群および基板搬送機構を含む基板処理システムでは、各処理ユニットに対する基板の搬入・搬出時刻等が計測され、その結果から各処理ユニットでの処理時間が算出されるとともに、算出結果が操作者に報知される。したがって、操作者は、各処理ユニットでの処理時間を把握し、それに応じてタクトタイムを調整することが可能である。

特許第４５６６６３２号公報

このように複数の処理ユニット間で複数の基板を順次受け渡しながら各処理ユニットがそれぞれ基板に対する処理を並行して実行する構成においては、基板の受け渡しタイミングの小さな変動がシステム全体の動作に影響を及ぼすことがあり得る。例えば、各処理ユニットでの処理時間のばらつきや、搬送系における可動部の動作速度のばらつき等が不可避的な変動要因となり得る。特に処理効率向上のためにタクトタイムが最適化された状態では、このような変動を吸収する余地は少ないから、小さな変動の影響が結果としてシステム全体に波及し、処理効率を低下させてしまうことになる。

このことから、基板処理システムにおける一連の処理が、設定されたタクトタイムに適合するように行われているか、あるいは何らかの乱れが生じているか、また乱れがあるとすればそれがどこで生じているか等、基板の流れの状態をユーザー（操作者）に知らせる手段が実用化されることが望まれる。しかしながら、これまでそのような技術が具体的に提案されるには至っていない。

そのため、これまでは、各処理ユニットから取得される数値情報を分析したり、必要な場合には技術者が立ち会って処理ユニットにおける処理時間を実測したりするなど、乱れの原因を特定するのに多大な手間と時間を要していた。

この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、複数の基板を搬送しながら並行して処理を行う基板処理システムにおいて、基板の動きをわかりやすくユーザーに提示し、基板の流れにおける乱れの発見を容易にすることのできる技術を提供することを目的とする。

この発明の一の態様は、各々が基板を受け入れる複数の受容部間で前記基板を搬送しながら複数の前記基板を処理する基板処理システムのためのＧＵＩ（グラフィカル・ユーザーインターフェース）装置であって、前記受容部に前記基板が受け入れられた時刻および払い出された時刻に関する情報を、複数の前記受容部の各々および複数の前記基板の各々について取得する情報取得部と、前記情報に基づく表示画像を出力する画像処理部と、前記表示画像を表示する表示部と、ユーザーからの操作入力を受け付ける入力部とを備えている。ここで、前記表示画像は、前記受容部の各々を識別するための記号を前記基板の搬送順に沿って配置した第１の軸と、前記第１の軸に交わり処理中の経過時間を示す第２の軸とを有する座標平面に、前記受容部の各々に前記基板が受け入れられてから払い出されるまでの滞在期間を、複数の前記基板について個々の前記基板を区別してグラフ化したチャートを含む。また、前記受容部は、複数の前記基板に所定の処理を実行する処理ユニット、前記基板を搬送する搬送ロボット、一時的な保管のために前記基板を受け入れるもの、のいずれかを含む。そして、前記画像処理部は、前記情報のうち一部に基づき作成した前記チャートである主チャートを含む前記表示画像と、前記主チャートに表されていない前記情報に基づき作成した前記チャートである副チャートを含む前記表示画像とを、前記操作入力に応じ切り替えて前記表示部に表示させる。

この発明の第１の態様では、前記副チャートは、前記主チャートのうち前記操作入力により指定された一部の領域の時間軸を拡大し、前記主チャートに表されていない前記情報を加えてグラフ化したものである。また、この発明の第２の態様では、前記副チャートは、前記受容部のうち前記基板の搬送に関わる前記搬送ロボットの旋回、前進、後退、上昇および下降の動きに関する前記情報に基づくグラフである。また、この発明の第３の態様では、前記副チャートは、複数の前記処理ユニットを前記基板の搬送順に沿って割り当てた前記第１の軸を横軸とし、前記第２の軸である時間軸を縦軸として、処理の開始から前記処理ユニットの各々が前記基板を受け入れるまたは払い出すまでの時間を、複数の前記基板ごとに示す複数の折れ線を含むグラフである。また、この発明の第４の態様では、前記副チャートは、前記処理ユニットごとの前記基板の滞在時間の長さを、複数の前記基板を対比させて表すグラフである。また、この発明の第５の態様では、前記副チャートは、一の前記受容部に一の前記基板が到達した到達時刻と、当該受容部に前記一の基板に続く次の前記基板が到達した到達時刻との差で表される、当該受容部におけるインターバル時間の長さを表すグラフである。

ここで、「受容部」とは、基板処理システムを構成する各種の構成のうち、基板を受け入れて一時的に留置する可能性のあるものを表す概念である。例えば、受け入れた基板に対し所定の処理を実行する処理ユニット、基板を搬送する搬送機構等、基板に対する能動的な作用を有するもののほか、単に一時的な保管のために基板を受け入れるものも、ここでいう受容部に含まれ得る。

このように構成された発明では、基板処理システムに投入される複数の基板の流れが一つのチャートとして表される。具体的には、チャートの座標平面における一つの軸は時間軸とされ、これと交わるもう一つの軸は、複数の受容部の各々を表す記号を基板の搬送順に沿って並べたものとされる。そして、複数の基板それぞれが各受容部に受け入れられてから払い出されるまでの期間がチャート内にグラフ表示される。

ここで、各基板に対する（搬送を含む）処理が予め設定されたタクトタイムに沿って進行していれば、チャート上には、各基板が一定の時間間隔で受容部間を受け渡されていることを示す規則的なパターンが現れるはずである。一方、搬送経路上のどこかで基板の流れに乱れが生じていれば、それがパターンの規則性の崩れとして現れる。

人間の視覚は、そのような規則性の乱れを感知するのに適している。したがって、このように基板処理システム内での複数の基板の流れがチャートとして表示されることで、ユーザーは処理が適切に進行しているか否かや、乱れがある場合にはそれがどこで生じているか等を把握することが可能になる。

また、この発明の他の一の態様は、基板を一時的に受け入れる複数の受容部と、上記した構成のＧＵＩ装置とを備える、基板処理システムである。このように構成された発明では、多数枚の基板が並行して搬送される大規模かつ複雑なシステムであっても、各基板の流れが包括的に表示部に表示されるため、基板の流れをわかりやすく示すことができる。

以上のように、本発明によれば、基板処理システム内で受け渡される複数の基板の動きを一つのチャート内に包括的に示すことができるので、システム内での基板の流れに乱れを生じた場合においてはその発見を容易にすることができる。

本発明を適用可能な基板処理システムの構成例を示すレイアウト図である。 本実施形態の基板処理システムを示すブロック図である。 表示画像の一例を示す図である。 副チャートの一例を示す図である。 副チャートの他の一例を示す図である。 副チャートの他の一例を示す図である。 副チャートの他の一例を示す図である。 この実施形態のＧＵＩ装置の動作を示すフローチャートである。 この実施形態における表示画像の例を示す図である。 この実施形態における表示画像の例を示す図である。 この実施形態における表示画像の例を示す図である。

以下、本発明に係る基板処理システムの一実施形態について説明する。この基板処理システムは、例えば半導体基板やガラス基板、プリント配線基板等の平板状の各種基板を受け入れて、予め定められた所定の処理を当該基板に施した後で払い出す処理システムである。ここでは一例として、液晶表示装置用、有機ＥＬ表示装置等のガラス基板に対して、レジスト液を塗布して露光し、現像、洗浄および乾燥処理を施すという一連の処理を行う処理システムを挙げて説明する。ただし、本実施形態の特徴はシステム全体の状態をユーザー（オペレーター）に示すＧＵＩ（グラフィカル・ユーザーインターフェース；Graphical User Interface）装置に特徴を有するものであり、基板に対する処理内容およびそれを実行するための装置構成については、例示のものに限定されず任意である。

図１は本発明を適用可能な基板処理システムの構成例を示す平面レイアウト図である。この基板処理システム１は、複数の処理ユニット２（２Ａ～２Ｋ）が概略Ｕ字型の基板搬送経路に沿って配置されたレイアウトを有している。具体的には、図１の左方下部から右方に向かって、洗浄ユニット２Ａ、脱水ベークユニット２Ｂ、塗布ユニット２Ｃ、乾燥ユニット２Ｄ、プリベークユニット２Ｅおよびインターフェースユニット２Ｆが、この順番に並べられている。

未処理の基板は、図１の左方下部からまず洗浄ユニット２Ａに投入され、脱水ベークユニット２Ｂ、塗布ユニット２Ｃ、乾燥ユニット２Ｄ、プリベークユニット２Ｅおよびインターフェースユニット２Ｆの順に各処理ユニット２間を受け渡されながら、各処理ユニット２でそれぞれ所定の処理を受ける。

そして、インターフェースユニット２Ｆに隣接して露光ユニット２Ｇが配置されている。図１では露光ユニット２Ｇがインターフェースユニット２Ｆの上方に描かれているが、実際にはこれらは水平方向に隣接して配置される。したがって、インターフェースユニット２Ｆから露光ユニット２Ｇへの受け渡しにおいて、基板の搬送方向が９０度変えられる。

図１の上部側では、露光ユニット２Ｇの左側にタイトラーユニット２Ｈが配置される。また、タイトラーユニット２Ｈのさらに左側には、現像ユニット２Ｉ、ポストベークユニット２Ｊおよび出力バッファーユニット２Ｋがこの順番で配置されている。したがって、露光ユニット２Ｇからタイトラーユニット２Ｈへの受け渡しにおいて、基板の搬送方向がさらに９０度変えられ、その後、基板はタイトラーユニット２Ｈから現像ユニット２Ｉおよびポストベークユニット２Ｊおよび出力バッファーユニット２Ｋの順番で受け渡される。

したがって、基板は、略Ｕ字型の搬送経路に沿って図１における反時計回りに搬送されつつ、経路上に設けられた各処理ユニットで所定の処理を受ける。処理済みの基板は、出力バッファーユニット２Ｋから外部へ搬出される。

基板処理システム１を構成する各処理ユニット２（２Ａ～２Ｋ）は、このようにガラス基板にレジスト液を塗布し露光・現像する公知の基板処理システムにおける処理ユニットと同様の構成のものを用いることが可能である。そこで、ここでは各処理ユニット２Ａ～２Ｋの機能の概要について説明するが、それぞれの詳しい構造についての説明は省略する。

洗浄ユニット２Ａは、搬入された基板に対しウェット洗浄処理を施して、基板を清浄化する。脱水ベークユニット２Ｂは、洗浄後の基板を比較的低温で加熱することにより乾燥させる。塗布ユニット２Ｃは、基板の表面にレジスト液を均一に塗布する。乾燥ユニット２Ｄが塗布後の基板を減圧下に置くことでレジスト液の溶剤成分を揮発させることでレジスト膜を形成し、プリベークユニット２Ｅが基板を加熱することでレジスト膜を固化させる。インターフェースユニット２Ｆは、レジスト膜が形成された基板を一時的に貯留する。

露光ユニット２Ｇは、レジスト膜が形成された基板に光を照射して、レジスト膜を所定のパターンに露光する。タイトラーユニット２Ｈは、個々の基板を識別するためのシリアル番号や処理条件に関する情報等を基板に書き込む。現像ユニット２Ｉは、露光後の基板を現像液によって現像し、さらにリンス液によりリンス処理する。ポストベークユニット２Ｊは、リンス処理後の基板を加熱することで、残留する液体成分を除去するとともに現像により形成されたパターンを固化させる。出力バッファーユニット２Ｋは、全ての処理が完了した基板を一時的に貯留し、必要に応じ外部へ払い出す。

図２は本実施形態の基板処理システムを示すブロック図である。基板処理システム１は、基板処理の主体となる少なくとも１組の処理ユニット２（２Ａ～２Ｋ）、各処理ユニット２を統括的に制御して一連の処理を実行させる集中制御装置３、および、各処理ユニット２の動作状態を表示してオペレーターに報知するＧＵＩ装置４を備えている。

上記したように、各処理ユニット２の構成は、当該処理ユニットの設置目的に応じて様々である。典型的な構成要素は、基板に対し何らかの処理を行う主体となる処理部２１、基板を一時的に保管するバッファー２３、それらの間で基板を搬送する搬送ロボットやコンベアー等の搬送部２５、および、それらの動作を制御するコントローラー２７などである。ただし、処理ユニットによっては、これらの構成の一部が複数備えられるケースや、逆に省かれるケースがあり得る。

処理部２１は基板に対して何らかの改質を行う主体であり、例えば、洗浄ユニット２Ａでは基板に対し洗浄処理を施す洗浄装置であり、また塗布ユニット２Ｃでは基板に処理液を塗布する塗布装置である。また、脱水ベークユニット２Ｂ、乾燥ユニット２Ｄ、プリベークユニット２Ｅ、ポストベークユニット２Ｊでは、加熱や減圧により基板を乾燥させる乾燥装置などである。処理部２１は、基板を収容するチャンバーを有する場合がある。

一つの処理ユニット２に、同一構成、同一機能を有する処理部２１が複数設けられることがある。例えば、同一構成を有する複数の処理部２１が多段積みされて一つの集合体を形成した状態で処理ユニット２に設けられることがある。このような処理ユニット２内の同一の処理部２１の集合体を、本明細書では「モジュール」と称することがある。広義には、単一の処理部２１についても一つのモジュールとみなすことができる。一つの処理ユニット２は、このようなモジュールを複数含み得る。モジュール間で処理部２１の構成が同一である場合、異なる場合のいずれもがあり得る。

バッファー部２３についても、同一構成のものが複数でモジュールを形成していることがあり、また単一の処理ユニット２に複数のモジュールが設けられる場合がある。例えば、処理前の基板を保管する入力バッファーと、処理後の基板を保管する出力バッファーとが個別に設けられる場合がある。また、処理ユニット２にバッファー部２３が設けられないケースもあり得る。

これらの間における基板搬送を担う搬送部２５は、処理ユニット２内に１基または複数設けられる場合もあり、また設けられない場合もある。また処理ユニット２の動作を司るコントローラー２７は通常１組設けられるが、処理ユニット２の構成が複雑である場合には複数設けられたり、また集中制御装置３により直接制御が可能であるために省かれたりすることがあり得る。

またコントローラー２７は、処理ユニット２内に設けられた各種センサーの出力などから把握される各処理部２１、バッファー部２３、搬送部２５およびこれらに保持される基板の状態を、ステータス情報として集中制御装置３に送信する。

このような処理ユニット２が、少なくとも１組設けられる。一つの処理ユニット２は、処理前の基板を外部から受け入れ、基板に対して所定の処理を施した上で、当該基板を払い出す。処理内容の異なる処理ユニット２を複数組み合わせることで、基板に対する様々な処理を実行することができる。また、処理ユニット２内で処理内容が同じである複数の処理部２１を並列動作させることで、スループット向上を図ることができる。

集中制御装置３は、これらの処理ユニット２を統括的に制御する。すなわち、集中制御装置３は、ＣＰＵ３１、メモリー３２、ストレージ３３およびインターフェース部３４などを備えている。ＣＰＵ３１は、例えばＨＤＤ（ハードディスクドライブ）、ＳＳＤ（半導体ディスク装置）などのストレージ３３に予め記憶されている制御プログラムを実行して、各処理ユニット２に制御指令を与えてそれらの動作を司る。メモリー３２はＣＰＵ３１での演算に用いられるデータを一時的に記憶する。

インターフェース部３４は、各処理ユニット２およびＧＵＩ装置４との間のデータ通信を担う。各処理ユニット２の動作に伴って刻々と変わる各処理部２１や基板のステータス情報については、各処理ユニット２からインターフェース部３４を介して集中制御装置３に送信される。オペレーターからの操作指示を受け付けるための入力部がさらに設けられてもよい。

ＧＵＩ装置４は、このように各処理ユニット２から出力されるステータス情報を反映させたＧＵＩ画面を表示し、オペレーターに処理の進行状況を報知する。この目的のために、ＧＵＩ装置４は、画像処理部４１、メモリー４２、ストレージ４３、インターフェース部４４、入力部４５および表示部４６などを備えている。

画像処理部４１は、後述する表示画像を作成するための各種の画像処理を実行する。メモリー４２は画像処理部４１での演算に用いられるデータを一時的に記憶する。ストレージ４３は、画像処理部４１が実行すべき制御プログラムや、表示画像を作成するためのレイアウトデータなど各種の画像データを記憶する。インターフェース部４４は、集中制御装置３との間のデータ通信を担う。

さらに、画像処理部４は、オペレーターからの操作入力を受け付ける入力部４５と、オペレーターに各種情報を報知するための画像表示を行う表示部４６とを備えている。入力部４５は例えばキーボードまたはマウス等の入力デバイスを備え、表示部４６は例えば液晶ディスプレイパネル等の出力デバイスを備える。入力部４５と表示部４６とが一体化されたタッチパネルとして構成されてもよい。

ＧＵＩ装置４は基板処理システム１に少なくとも１基設けられるが、２基以上設けられてもよい。例えば、処理ユニット２の数が多くフットプリントの大きい基板処理システム１では、複数の場所でシステムの状態を確認できるようにしておくことが好ましい。また、基板処理システム１内で、ＧＵＩ装置４の配設位置を変更できるように、予め複数の接続ポイントが設けられていてもよい。

集中制御装置３およびＧＵＩ装置４としては、パーソナルコンピューターやワークステーションとして一般的なハードウェア構成を有するコンピューター装置を用いることが可能である。特にＧＵＩ装置４については、タブレット型のコンピューター装置を好適に利用可能である。

次に、以下の説明で用いられる「ポジション」の概念について説明する。上記のように構成された基板処理システム１では、複数の基板が所定のタクトタイムで順次投入されて処理が行われるため、システム内には複数の基板が存在し得る。システム内で各基板がどこにあるかを管理するために、「ポジション」の概念が導入される。また、各ポジションには、それを識別するためのポジション名が与えられる。

「ポジション」は、処理部２１、バッファー部２３、搬送部２５等を統一的に扱うための概念であり、システム内で一つの基板によって占用される最小単位の区画を指す。すなわち、システムに投入された一つの基板のある時刻における位置は、いずれか一つのポジションにより特定することができる。また原則として各ポジションは基板を一つずつ保持し得るが、１ポジションに２以上の基板が同時に存在するケースもある。例えば、大型の基板に対応できるよう構成された処理部２１に対し、段取り替えにより複数の小型基板を投入するようなケースである。その他、基板に対し能動的に処理を施すか否かに関わらず、基板に対する一連の処理において一定の期間、基板を受け入れてこれを保持する主体はいずれも一つの「ポジション」となり得る。この意味において、「ポジション」は本発明における「受容部」の最小単位に対応する概念である。

例えば、それぞれが一つの基板を扱う処理部２１の各々は、それぞれが一つの「ポジション」に該当する。したがって、同一構成の複数の処理部２１を有するモジュールには、処理部２１の数と同じだけのポジションがある。言い換えれば、同一構成の複数の処理部２１が提供する複数のポジションを一つにまとめて一つのモジュールとすることができる。互いに同一機能であるから、一つのモジュール内の各ポジションには共通のポジション名が使用される。つまり、「モジュール化されたポジション」と考えればよい。

また、バッファー部２３についても、それ自体は基板に対して特定の作用をしないものの、一連の処理のうちの一部の期間、基板によって占用され得ることから管理対象とされる。つまり、一つの基板を収容するバッファー部２３は、単独で一つのポジションに該当する。また、複数のバッファー部２３がモジュールを構成する場合、それらのバッファー部２３の一つ一つが、それぞれ一つの「ポジション」として扱われる。

搬送部２５のうち搬送ロボットについては、同時に一つの基板のみを扱うものは一つのポジションに該当する。ただし、多ハンド搬送ロボット（ＭＨＵ）では、各ハンドが一つずつ基板を扱うことができるから、それぞれのハンドが一つのポジションに該当する。したがって、当該多ハンド搬送ロボットは、複数のポジションを含む一つのモジュールとみなされる。

また、搬送部２５のうちコンベアーについても、同時に一つの基板のみを扱うものは一つのポジションに該当する。ただし、搬送路が長く、基板を載置することができる区画を複数有するものについては、載置可能な基板の数だけポジションが存在することになる。

本実施形態の定義では、一つのポジション、一つのモジュールおよび一つの処理ユニットのいずれもが、広義には本発明にいう一つの「受容部」たり得る。以下では、このような広義の受容部という意味でポジション、モジュールおよび処理ユニットを区別せず包括的に表現するとき、「ポジション等」ということがある。前記した通り、一つの処理ユニットは一つ以上のモジュールまたはポジションを含み得、また一つのモジュールは一つ以上のポジションを含み得る。したがって、一般的な概念としてはこれらの中で処理ユニットが最も規模が大きく、モジュール、ポジションの順で規模が小さくなる。

後述する各部の動作情報に基づくチャート化においては、システム全体の状態を概括的に表現するためには比較的規模の大きい構成（例えば各処理ユニット）を単位として図示されることが好ましい一方、システムの一部をより詳細に表現するためにはより規模の小さい構成（例えば各ポジション）を単位として図示されることが好ましいといえる。このため、チャートに示される構成（ポジション等）の単位については、目的に応じてその規模が適宜スケーリングされることが好ましい。

すなわち、チャート化における「ポジション等」が表す構成の規模については、必要に応じ、処理ユニット単位、モジュール単位、ポジション単位等で使い分け（またはそれらを適宜組み合わせ）ることができるが、チャート表示の基本思想としてはそれらを同等に扱うことができる。したがって、以下の説明において、典型例として例えばチャートの座標軸に「ポジション」単位での割り当てがなされている場合であっても、表示範囲の広さに応じてこれを「モジュール」単位または「処理ユニット」単位での割り当てに変更することも、技術思想としては等価である。

上記のように構成された基板処理システム１では、予め設定された一定の時間間隔（タクトタイム）で複数の基板が投入され、基板は各処理ユニット２間で受け渡されながら順次処理を受ける。タクトタイムが短いほど基板処理システム１の稼働効率が高いということができるが、基板の流れがいったん滞るとその影響はシステム全体に波及することになる。

このような乱れを早期に発見可能とし、またその原因の究明を容易にするために、この実施形態では、複数の基板のシステム内での動きを二次元チャートとして可視化し、ＧＵＩ装置４の表示部４６に表示させるようにしている。具体的には、集中制御装置３が、各処理ユニット２から出力される、当該処理ユニット２の動作状態を示す情報を取得し、これをＧＵＩ装置４に送信する。集中制御装置３が各処理ユニット２から取得する情報は、各ポジションに基板が受け入れられた時刻および当該ポジションから基板が払い出された時刻を表す情報を含む。

ＧＵＩ装置４では、与えられる情報に基づき、画像処理部４１が画像処理を実行して、必要な表示画像を作成する。作成された表示画像は表示部４６に表示され、ユーザー（オペレーター）に報知される。

図３は表示画像の一例を示す図である。より詳しくは、図３（ａ）は表示部４６に表示される画像の一例である主チャートＣｍの全体を示す図であり、図３（ｂ）は主チャートＣｍが表す内容を説明する図であり、主チャートＣｍの一部を部分的に拡大し模式的に表した図に相当する。なお、モノクロ画像である図３（ａ）では必ずしも明りょうに現れていないが、実際の画像においては複数の基板各々に対応するデータが異なる色で図示されており、画面上での各基板の識別が可能である。

主チャートＣｍでは、横軸が時間軸であり、具体的には基板処理システム１の動作開始からの経過時刻を表す。また、縦軸には、上記のように基板処理システム１内に定義されるポジション名に対応する文字列が、基板の搬送順に沿って並べて記載されている。なお、各ポジション名が表す意味については、本発明とは直接関係しないため説明を省略する。以下では、説明用の仮想的なポジション名としてＰ１，Ｐ２，…等を用いることがある。

実際の基板処理システム１では多数のポジションが設けられており、単一の画面内に全てのポジションを表示することが適切でない場合もあり得る。このことから、縦軸においてはいくつかのポジションを一つにまとめて表示するようにしてもよい。例えば、複数のポジションを含むモジュールについては、モジュール単位で縦軸に記載してもよい。また、処理ユニット単位での記載でもよい。

このように主チャートＣｍではいくつかのポジションをまとめた表示としていても、後述する副チャートにおいてはポジションごとに展開して表示させることが可能である。したがって、主チャートＣｍには基板処理システム１において定義可能なポジションを全て示す必要はなく、管理上または画面の視認性向上のために省いてよいと考えられるポジションについては表示しないようにすることができる。

図３（ｂ）に模式的に示すように、主チャートＣｍでは、複数の基板Ｓ１，Ｓ２，…が各ポジションＰ１，Ｐ２，…のそれぞれに滞在していた期間がバーグラフ表示される。具体的には、例えば基板Ｓ１は、時刻ｔ11から時刻ｔ12までの期間、ポジションＰ１に滞在していたことが、時間軸（横軸）に平行なバーによって示されている。時刻ｔ11はポジションＰ１に基板Ｓ１が受け入れられた時刻、時刻ｔ12は当該ポジションＰ１から基板Ｓ１が払い出された時刻として、集中制御装置３が各処理ユニット２から収集した情報（タイムスタンプ情報）に基づき特定可能である。

その後、基板Ｓ１は、時刻ｔ13においてポジションＰ２に受け入れられ、時刻ｔ14において当該ポジションＰ２から払い出されたこと、また時刻ｔ15においてポジションＰ３に受け入れられ、時刻ｔ16において当該ポジションＰ３から払い出されたことが、主チャートＣｍに表されている。

同様に、別の基板Ｓ２は、時刻ｔ21から時刻ｔ22までの期間はポジションＰ１に、時刻ｔ23から時刻ｔ24までの期間はポジションＰ２に、時刻ｔ25から時刻ｔ26までの期間はポジションＰ３に、それぞれ滞在したことが示される。さらに別の基板Ｓ３についても、各ポジションに受け入れられた時刻および払い出された時刻と、それらで特定される当該ポジションでの滞在期間とが、主チャートＣｍに示されている。

このように、主チャートＣｍでは、各基板Ｓ１，Ｓ２，…が各ポジションＰ１，Ｐ２，…に受け入れられた時刻と払い出された時刻とを示す情報に基づき、各基板が各ポジションに滞在した期間が、個々の基板を識別可能な態様で表されている。ここで、図３（ｂ）に点線矢印で示すように、一つの基板に着目してバーの変遷を追うと、当該基板が各ポジションをどのタイミングで通過して行ったかを知ることができる。一方、縦軸に割り当てられた一つのポジションに着目すると、複数の基板の各々が当該ポジションをどのタイミングで通過して行ったかを知ることができる。

また、図３（ａ）にウィンドウＷとして示すように、一部の基板についてより詳細なステータス情報やタイムスタンプ情報等を付加的に表示することができるようにしてもよい。具体的には、ユーザーが入力部４５、例えばマウスを用いて画面内のいずれかのバーを指定したときに、当該バーに対応する基板に関する情報をツールチップ表示させることにより、この機能を実現可能である。

このようなチャート表示を行うことで、複数のポジションを含む基板処理システム１に投入された複数の基板の各々が、システム内でどのような動きをしたかを包括的にユーザー（オペレーター）に提示することができる。ここで、全ての基板が予め定められたタイミングで各ポジションを通過していれば、各基板のポジション間移動を示すバーの位置変化パターンはどの基板でも概ね同じ、つまり時間軸方向に平行移動すれば互いにほぼ重なり合うはずである。

一方、もし基板の流れに乱れがあれば、バーの位置変化はばらつきを持つことになる。このような乱れは、チャートにグラフ表示される位置変化パターンの規則性の崩れとして現れるため目に付きやすい。したがって、ユーザーは表示されるチャートの規則性から、基板の流れが適切であるか乱れているかを知得することが可能である。より詳しくは、不規則性の現れ方によって、特定の基板において乱れが生じているのか、あるいは特定のポジションにおいて乱れが生じているのかを見分けることも可能である。

次に、乱れの原因の特定を支援するための表示モードについて説明する。上記した主チャートＣｍが表示されることで、ユーザーは、乱れが生じたことおよび大まかなその発生箇所を知得することが可能である。一方、乱れのより詳細な発生箇所やその原因を特定するためには、乱れの発生箇所の周辺に関してより詳しい情報が示されることが望ましい。この目的のために、この実施形態では、主チャートＣｍ以外に、ユーザー操作に応じて数種の副チャートを表示することを可能としている。

すなわち、表示部４６に主チャートＣｍが表示された状態で、そのうち詳細情報を表示させたい範囲およびその際の表示モードをユーザーが入力部４５を介して指定すると、指定された内容に応じて、主チャートＣｍに示される範囲のうち一部により詳細な情報を付加した副チャートが表示される。ユーザー指定の入力形式については任意である。また、副チャートは主チャートＣｍに代えて表示されてもよく、主チャートＣｍをバックグラウンドに残して重畳表示されてもよい。

図４は副チャートの一例を示す図である。この副チャートＣｓ１では、特定の処理ユニット２の搬送部２５に着目した表示を行う。基板処理システム１内で基板の流れが乱れる主たる原因の一つとして、搬送部２５での取り合い（競合）の問題がある。すなわち、搬送部２５を含む処理ユニットまたはその前後の処理ユニットのいずれかにおいて僅かな動作タイミングのずれがあったとき、搬送部２５で複数基板の競合が生じることで、そのずれが拡大されてしまうことがある。例えば搬送ロボットのハンドが基板を新たに受け取るべきタイミングで当該ハンドが既に他の基板を保持していたような場合には、基板の動きが大きく停滞してしまうことになる。また、搬送部２５は機械的な可動部位を必須的に含むため、動作不良を生じやすいという側面もある。したがって、乱れの原因を早期に特定するために、まず搬送部２５の動きを検証することは合理的である。

図４の副チャートＣｓ１の上部には、主チャートＣｍに示されるポジションのうちユーザーが指定した一部のポジションにおける基板の流れが、時間軸を拡大した状態で表示される。このとき、主チャートＣｍではまとめて表示されることで明確に現れていない複数のポジションが個別に表示されてもよい。

また、副チャートＣｓ１の下部には、主チャートＣｍには表されない一つの搬送ロボットの動きが詳細に、かつ上図と時間軸を揃えて示されている。ここでは、搬送ロボットのハンドの動きが「ＭＯＶＥ（旋回）」、「ＦＯＲＷＡＲＤ（前進）」、「ＢＡＣＫＷＯＲＤ（後退）」、「ＵＰ（上昇）」、「ＤＯＷＮ（下降）」に分解されて示されている。これにより、当該搬送ロボットが複数の基板を順次取り扱う過程においてどのような動きをしているかが、他のポジションにおける状態変化と併せて示される。

ユーザーは、乱れの発生箇所と搬送ロボットの動きとを対比させて、乱れが搬送ロボットの動きに起因するものであるか否かを判断することができる。具体的には例えば、搬送ロボット自体の可動部の動きの不調によって乱れが生じている状況と、前後の処理部２１等での異常によって当該搬送ロボットに余分な待ち時間が生じている状況とを区別することが可能となる。

図５は副チャートの他の一例を示す図である。この副チャートＣｓ２では、主チャートＣｍとは異なり、横軸に各処理ユニット２（２Ａ～２Ｋ）が基板の搬送順に沿って割り当てられ、縦軸が時間軸となっている。そして、複数の基板の各々が各処理ユニット２Ａ～２Ｋを通過した時刻（あるいは、基準時刻からの経過時間）が、折れ線グラフとして表示される。ここで、「通過」については、基板が当該処理ユニットに到達した時を指すケースと、当該処理ユニットから払い出された時を指すケースとが考えられるが、全ての処理ユニット間で統一されている限りいずれであってもよい。なお、以下の説明では前者とする。

このような表示態様では、システム内の処理ユニット２Ａ～２Ｋを順次移動してゆく基板間の時間間隔が表される。本来的には一定間隔で基板が移動してゆくが、前後の基板の間隔が短くなったり長くなったりしていれば乱れが生じていることがわかる。このように主チャートＣｍとは視点を変えた表示を行うことで、乱れの発生の発見容易性を向上させることができる。なお、ここでは横軸を処理ユニット単位としているが、必要に応じ、これをモジュール単位またはポジション単位等とすることもできる。

図６は副チャートの他の一例を示す図である。この副チャートＣｓ３では、横軸に各ポジション（またはモジュール、処理ユニット）を、縦軸に当該ポジション等における基板の滞在期間の長さを取り、複数の基板を対比させて各ポジション等にどれだけの期間滞在したかが、縦軸に平行な方向の棒グラフによって示される。各ポジション等では複数の基板が対等に扱われるはずであるから、本来的には滞在期間の長さが基板ごとに大きく異なることはないと考えられる。

このことから、もし特定のポジション（またはモジュール、処理ユニット）において基板ごとの滞在期間に有意なばらつきが見出されれば、当該ポジション等において何らかの乱れが生じている可能性が高いと判断することができる。例えば、相前後して連続的にシステムに投入されるいくつかの基板について滞在期間を比較するようにすれば、特定の基板において生じた乱れを検出することができる。また例えば、ユーザーへのさらなる有用な情報提供を行うために、基板ごとの滞在期間の長さを統計的に処理した結果が併せて表示されてもよい。

図７は副チャートの他の一例を示す図である。この副チャートＣｓ４では、横軸に各ポジション（またはモジュール、処理ユニット）を割り当て、縦軸の時間軸では各ポジション等を通過する基板のインターバル時間が示される。このインターバル時間は、連続する二つの基板の間における同一のポジション等への到達時刻の差を表すものであり、図５の副チャートＣｓ２において隣接する二つの折れ線間の縦軸方向の距離に相当するものである。その意味するところは、あるポジション等に一の基板が受け入れられた後、それに続く次の基板が受け入れられるまでの経過時間である。

複数の基板が所定のタクトタイムで適切に流れているとき、各ポジション等におけるインターバル時間も概ね一定と考えられる。したがって、インターバル時間のばらつきの有無も、基板の流れが乱れていることを示す情報となり得る。例えば特定のポジション等でインターバル時間のばらつきが大きければ、当該ポジション等へ基板が搬入されてくる前の段階で乱れが生じていると推定することができる。また、特定の基板の間についてのみ複数のポジション等でばらつきがある場合には、基板側に問題があると推定することができる。

このようなインターバル時間のばらつきについても、統計的に処理することが有効な場合がある。そこで、この場合の画面表示では、副チャートＣｓ４の下方に、複数の基板について算出された各ポジション等でのインターバル時間の値を統計的に処理して得られる数値、すなわち最大値、最小値およびそれらの差、中央値、平均値等が、テーブルＴ４として表示される。

図８はこの実施形態のＧＵＩ装置の動作を示すフローチャートである。より具体的には、図８は、ＧＵＩ装置４による画像表示を含む、この基板処理システム１の動作を示すフローチャートである。この動作は、集中制御装置３に設けられたＣＰＵ３１が予め用意された制御プログラムを実行し、システム内の各部に所定の動作を行わせることにより実現される。

基板処理システム１では、各処理ユニット２（２Ａ～２Ｋ）が所定の処理動作を実行することで、一定のタクトタイムで外部から搬入されてくる複数の基板に対し順次処理を実行する（ステップＳ１０１）。この間、ＣＰＵ３１は、各処理ユニット２Ａ～２Ｋの稼働に伴って生じる各種の情報を各処理ユニットのコントローラー２７から取得し、それらを収集してストレージ３３に蓄積する（ステップＳ１０２）。

稼働情報としては、ＣＰＵ３１が各処理ユニット２Ａ～２Ｋに対して出力した制御指令を含む制御信号、それに応じて処理ユニット２から返される応答信号、各処理ユニット２のコントローラー２７から処理部２１等に与えられる制御信号、処理ユニット２の各部に設けられたセンサー等から出力される信号等に関する情報、および、それらの信号が発生または取得された時刻に関する情報等が含まれ得る。各処理ユニット２から集中制御装置３に送信される信号は、処理ユニット２内で制御部２１、搬送部２５等から出力された信号をコントローラー２７が処理した結果を含むものであってもよい。

ＧＵＩ装置４は、ユーザーから入力部４５を介してチャート表示の指示入力を受け付けると（ステップＳ１０３）、最初の表示画像としての主チャートＣｍを作成する。具体的には、ＧＵＩ装置４は、集中制御装置３に蓄積されている稼働情報を、インターフェース部４４を介して取得しストレージ４３に記憶させる（ステップＳ１０４）。そして、画像処理部４１が、取得された情報に基づき、主チャートＣｍを含む表示画像の画像データを作成する（ステップＳ１０５）。数値データに基づくグラフ作成は既知の各種ソフトウェアで実行可能であるため説明を省略する。

作成された表示画像は、表示部４６に表示される（ステップＳ１０６）。ユーザーから表示終了の指示入力を受け付けると（ステップＳ１０７）、処理は終了する。また、ユーザーから表示変更の指示入力を受け付けると（ステップＳ１０８）、それに応じて、主チャートＣｍにツールチップ表示を加えた表示画像、または上記した副チャートＣｓ１～Ｃｓ４のうち指示の内容に応じたものを含む表示画像に対応する画像データが作成される（ステップＳ１０９）。そして、ステップＳ１０６に戻り、新たに作成された表示画像が表示部４６に表示される。

このように、この実施形態では、複数の処理ユニットを有し、それにより基板を一時的に受け入れる複数のポジション等を設けられた基板処理システム１において、システム内で順次受け渡されてゆく複数の基板各々がどのタイミングで各ポジション等に受け入れられ払い出されたかが二次元チャート（主チャートＣｍ）として表示される。このようにシステム内での各基板の動きを包括的に表示することで、ユーザーは、それらの基板が規則的に流れているか、あるいはその規則性に乱れが生じているかを判断することができる。

一方で、このようにシステム全体を概括的に見るだけでは、乱れのより詳しい発生箇所やその原因まではわからないことがある。この問題に対応するため、この実施形態では、主チャートＣｍで示される座標平面のうちユーザーに指定される一部の領域について、当該領域を拡大するとともに、横軸と縦軸との関係を主チャートＣｍとは異なるものとした副チャートを複数種類、ユーザー操作に応じて切り替えて表示することが可能となっている。

これにより、基板の流れが生じている箇所についてのより詳しい状況を、種々の表示態様で多面的にユーザーに提示することができる。ユーザーは、システム全体における基板の流れを概括的に表す画像と、その一部の状態をより詳しく表す情報とを併用してシステムの状態を確認することができる。このように、この実施形態は、基板処理システム１において生じ得る基板の流れの乱れの発生箇所およびその原因を特定するユーザーの作業を効果的に支援することができるものである。

この効果を高めるためには、各処理ユニット２からできるだけ多くの稼働情報が得られることが理想的である。しかしながら、装置サイズやコスト上の制約等から、情報取得に必要十分なセンサー等を処理ユニット２内に配置することができない場合もあり得る。そのような場合であっても、少なくとも集中制御装置３から当該処理ユニット２に送出された制御信号、それに対する当該処理ユニット２からの応答信号およびそれらが発せられた時刻については、集中制御装置３において確実に取得可能な情報となる。

本実施形態では、主としてこのような時刻に関する情報を用いて表示画像が作成されており、センサーの検出値等は使用されていない。言い換えれば、そのような検出値を用いなくても、時刻に関する情報を適切な表示態様でユーザーに提示することで、システム内での基板の流れの乱れを検知し原因をある程度まで特定することは可能である。もちろん、他の情報を併用すれば、より精度よく乱れの原因を特定し得ると考えられる。

次に、上記のように構成された基板処理システム１において、基板の流れの乱れが検知され、その原因が特定されるに至るまでの具体的な流れについて、実際の画面表示の事例を参照しながら説明する。前提として、予め主チャートＣｍの表示が行われ、基板の流れに乱れが生じていることが発見されているものとする。

図９ないし図１１はこの実施形態における表示画像の例を示す図である。図９は、横軸に各処理ユニット２Ａ～２Ｋを配し、縦軸を時間軸として、基板ごとの各処理ユニットの通過時刻を折れ線グラフで表したものであり、図５に示す副チャートＣｓ２に相当するものである。

図９に矢印Ａで示すように、露光ユニット２Ｇにおいて基板間のプロットに一時的に差が生じているが、この差はすぐに解消されていることから、システム全体の動きに大きな影響を及ぼすものではないといえる。一方、矢印Ｂで示すように、最初に搬送された基板Ｓａとその直後に搬送された基板Ｓｂとの間で、主にタイトラーユニット２Ｈ以降においてプロットに開きが生じている。このことから、タイトラーユニット２Ｈ、またはその手前のいずれかの処理ユニット（例えば露光ユニット２Ｇ、インターフェースユニット２Ｆ）で遅延が生じていると考えられる。

なお、ここで露光ユニット２Ｇのみならず、さらにその手前のインターフェースユニット２Ｆまで考察の対象に含めているのは、以下の理由による。実際の基板処理システム１では、露光ユニット２Ｇから払い出された基板は、直接タイトラーユニット２Ｈに搬入されるのではない。すなわち、露光後の基板はいったんインターフェースユニット２Ｆに戻され、インターフェースユニット２Ｆからタイトラーユニット２Ｈへ受け渡される。このため、タイトラーユニット２Ｈでの遅延が、インターフェースユニット２Ｆに起因するものである可能性がある。

そこで、次にインターフェースユニット２Ｆからタイトラーユニット２Ｈまでの間における基板の動きをより詳細に示す画像を表示部４６に表示させる。図１０はこのときの表示画像の例であり、主チャートＣｍ（図３（ａ））のうち、注目すべき箇所を含む一部を拡大した部分拡大図に相当する。ただし縦軸については、各部の動作を詳細に検証するために、図３（ａ）に示すものより細かく区分されたポジション名で区分されている。

これらのポジション名のうち、以下の検証に関わるものにつきその意味を説明する。ここでは、現在注目すべきタイトラーユニット２Ｈとその周辺、特に基板の搬送に関わるポジションが採り上げられており、「Titler_Interface」は、タイトラーユニット２Ｈに設けられた処理部２１としてのタイトラー装置を表す。また、「TT_CV_Interface」は、インターフェースユニット２Ｆに設けられた搬送部２５としてのターンテーブルコンベアーを表す。また、「MHU_U_HAND_Interface」「MHU_L_HAND_Interface」は、インターフェースユニット２Ｆに設けられた搬送部２５としての多ハンド搬送ロボットのうち、それぞれ上側および下側のハンドを表す。また、「EXP_a_Interface」「EXP_b_Interface」は、露光ユニット２Ｇに設けられた処理部２１としての２基の露光機、すなわち露光機Ａ、露光機Ｂをそれぞれ表す。

実際のグラフでは基板ごとに色分けがなされているが、図１０ではそのうち基板Ｓｂの動きを示すバー群のみを点線で囲んで他と区別している。バーの長さは各ポジションにおける基板の滞在期間を示している。これによれば、基板Ｓｂは露光機Ｂから払い出された後、インターフェースユニット２Ｆの多ハンド搬送ロボットの下側ハンドを用いてターンテーブルコンベアーに搬送され、さらにタイトラー装置に搬入されている。ここで、当該基板Ｓｂは他の基板と比べて明らかに長い時間、ターンテーブルコンベアーに保持されていることがわかる。したがって、ターンテーブルコンベアーからタイトラー装置への受け渡しにおいて問題が生じていると推定される。

図１１は、図１０のチャートにターンテーブルコンベアーの稼働期間をバー表示で表すチャートを付加したものであり、図４に示す副チャートＣｓ１に相当するものである。なお、図中の破線は説明のために付加したものであり実際のチャートには含まれない。これによると、上記した基板Ｓｂがターンテーブルコンベアーに留置されている期間では、ターンテーブルコンベアーは最初に所定量だけ稼働した後、停止していることが示されている。このことは、ターンテーブルコンベアーが搬送を完了しているにも関わらず、基板Ｓｂはタイトラー装置に払い出されずターンテーブルコンベアーに残留していることを示している。そうすると、ターンテーブルコンベアーの動作上の問題ではなく、タイトラー装置が基板を受け取ることができない状態であることが遅延の原因であると推定される。

この事例では、各部の動作状況は時刻または時間を表す情報のみで示されており、またタイトラー装置自体の詳細な動作状況を示す信号は用いられていない。それにもかかわらず、乱れの原因がタイトラー装置にある蓋然性が高いと特定することが可能である。このように、上記した本実施形態の各種チャートを組み合わせることで、システム全体の動作の乱れからその原因を特定するユーザーの作業を効果的に支援することが可能である。

以上説明したように、本実施形態においては、「ポジション等」に含まれるポジション、モジュール、処理ユニットのそれぞれが本発明の「受容部」に相当する。また、本実施形態の基板処理システム１においては、システム内の各部から稼働情報を収集する集中制御装置３、特にＣＰＵ３１が本発明の「情報取得部」として機能しているが、ＧＵＩ装置４を単独で本発明の「ＧＵＩ装置」と考える場合には、集中制御装置３から稼働情報を取得するインターフェース部３４が本発明の「情報取得部」として機能していることになる。

また、上記実施形態においては、集中制御装置３のＣＰＵ３１と各処理ユニット２のコントローラー２７とが協働して本発明の「制御部」として機能している。ただし、内蔵のコントローラー２７が処理ユニット２内の各部に制御指令を送出し実質的にそれらの動作を制御している場合には、コントローラー２７が本発明の「制御部」に相当することになる。一方、例えばコントローラー２７が省かれる等、処理ユニット２内の各部が直接ＣＰＵ３１からの制御指令により制御されている場合には、ＣＰＵ３１が本発明の「制御部」に相当することになる。

また、上記実施形態では、主チャートＣｍおよび副チャートＣｓ１～Ｃｓ４がいずれも本発明の「表示画像」を構成している。また、主チャートＣｍにおいては、縦軸が本発明の「第１の軸」に、横軸が本発明の「第２の軸」に、それぞれ対応している。

なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば上記実施形態では、複数種の副チャートを並列的に扱っているが、システム全体から細部へ向けて進める解析作業を支援するために、主チャートおよび副チャートが解析の手順に沿った階層的な構成を有していてもよい。

また例えば、主チャートと副チャートとの画面切り替え、および副チャート間での画面切り替えについては、先のチャートを画面から消去して新しいチャートを表示する態様であってもよく、また先のチャートと部分的に重なるように新しいチャートが表示される態様であってもよい。また、複数の副チャートが同一画面に表示されることがあってもよい。

また、上記実施形態におけるチャートの表示態様（バー表示、折れ線表示等）は一例であって、本発明の表示態様はこれに限定されるものではない。数値データをグラフ化する方法としては種々のものが考案されており、本発明の実施においても、乱れの発生箇所やその原因を特定するという目的に合致する視認性を有する各種の表示方法を適用することが可能である。

また例えば、上記実施形態の基板処理システム１は複数の処理ユニット２を有しており、処理ユニット２間で基板を受け渡す搬送部２５は各処理ユニット２に包含されている。しかしながら、少なくとも一部の基板搬送が、処理ユニット２とは独立した搬送機構により実行されてもよい。すなわち、本発明の「処理部」と「搬送部」とは一つの処理ユニットを構成していてもよく、また構造上互いに独立したものであってもよい。

また、上記実施形態では、システム全体の動作を統括制御する集中制御装置３とＧＵＩ装置４とが個別の装置として構成されているが、例えば一つのコンピューター装置が両者の機能を兼備する構成であってもよい。また、一つのシステム内に複数のメインパネルＭＰを配置する構成とする場合には、それぞれに独立したＧＵＩ装置４が設けられる必要は必ずしもなく、画像処理部４１等を共用する複数の表示部４６が各所に配置されるようにしてもよい。

また、上記実施形態の基板処理システム１は、本発明に係るＧＵＩ装置を装備した基板処理システムの一例として示したものであり、システム構成は上記に限定されず任意である。また、既存の基板処理システムに付加される外付けのＧＵＩ装置として、本発明が実施されてもよい。

さらに、基板は上記した液晶表示装置用ガラス基板に限定されるものではなく、有機ＥＬ表示装置用ガラス基板およびＰＤＰ用ガラス基板などのＦＰＤ用基板、半導体ウェハ、フォトマスク用ガラス基板、カラーフィルター用基板、記録ディスク用基板、太陽電池用基板、電子ペーパー用基板等の精密電子装置用基板などが本発明の「基板」に含まれる。

以上、具体的な実施形態を例示して説明してきたように、この発明に係るＧＵＩ装置においては、滞在期間を第２の軸に平行なバーによって表すチャートが表示されてもよい。このような構成によれば、複数の基板それぞれが各受容部間をどのように移動し、各受容部にどの程度滞在したかが明りょうに表示されることとなる。

また例えば、ユーザーからの操作入力を受け付ける入力部をさらに備え、画像処理部は、情報のうち一部に基づき作成したチャートである主チャートを含む表示画像と、主チャートに表されていない情報に基づき作成したチャートである副チャートを含む表示画像とを、操作入力に応じ切り替えて表示部に表示させるように構成されてもよい。

このように構成された発明では、取得された情報の一部を表す主チャートと、より詳細な情報を含む副チャートとが、ユーザーの指示によって切り替わる。したがって、主チャートに全ての情報を含ませる必要はないので、例えばシステム全体を概括的に検証するのに適した情報だけを用いて表示することができる。そして、副チャートでは、主チャートに表されない情報を詳細に示すことができる。こうすることで、乱れの発生箇所や原因を特定しようとするユーザーの作業を効果的に支援することができる。

この場合、副チャートは例えば、主チャートのうち操作入力により指定された一部の領域を拡大し、主チャートに表されていない情報を加えてグラフ化したものであってもよい。このような構成によれば、システム全体のうち特定の部分についてその状態を詳しく示すことが可能となる。したがって、ユーザーは、システム全体の状況を主チャートから把握することができ、しかも必要な場合にはその一部をより詳細に観察することができる。

また例えば、副チャートは、受容部のうち基板の搬送に関わるものに関する情報に基づくグラフであってもよい。基板の搬送を担う構成は機械的に可動な構成要素を必然的に含んでおり、そのような機械要素は非可動の構成要素に比べると不調を生じやすくなることが避けられない。つまり、他の構成要素に比して基板の流れを乱す原因となりやすい。このことから、基板搬送に関わる受容部の情報を重点的に示すことは極めて合理的である。

また例えば、副チャートは、処理の開始から受容部の各々が基板を受け入れるまたは払い出すまでの時間を表すグラフであってもよい。このようなグラフは、基板が正しい規則性を持って受容部間を受け渡されている状態と、その規則性が崩れた状態とを目視で判断するのに好適なものとなる。

また例えば、副チャートは、受容部ごとの基板の滞在時間の長さを表すグラフであってもよい。このようなグラフは、各受容部が受け入れた基板を所定のタイミングで払い出しているか否かを明確に示すものとなる。特に、複数の基板それぞれの滞在時間を比較可能に表示するようにすれば、例えば一部の基板において滞在時間が他と異なる場合にそのことを容易に発見することが可能になる。

また例えば、副チャートは、一の受容部が一の基板を払い出してから次の基板を払い出すまでのインターバル時間の長さを表すグラフであってもよい。このようなグラフは、本来は一定のインターバルで受容部間を受け渡される基板に不規則な動きがあった場合にこれを容易に発見することが可能になる。

この発明は、各種の基板処理システムに適用することが可能でありその処理内容は限定されないが、特に複数の処理ユニットを備え比較的規模の大きなシステムにおいて好適である。

１ 基板処理システム
２（２Ａ～２Ｋ） 処理ユニット
３ 集中制御装置（制御部）
４ ＧＵＩ装置
２１ 処理部（受容部）
２５ 搬送部（受容部）
４１ 画像処理部
４４ インターフェース部（情報取得部）
４５ 入力部
４６ 表示部
Ｃｍ 主チャート
Ｃｓ１～Ｃｓ４ 副チャート

Claims (9)

1. 各々が基板を受け入れる複数の受容部間で前記基板を搬送しながら複数の前記基板を処理する基板処理システムのためのＧＵＩ装置であって、
   前記受容部に前記基板が受け入れられた時刻および払い出された時刻に関する情報を、複数の前記受容部の各々および複数の前記基板の各々について取得する情報取得部と、
   前記情報に基づく表示画像を出力する画像処理部と、
   前記表示画像を表示する表示部と、
   ユーザーからの操作入力を受け付ける入力部と
   を備え、
   前記受容部は、複数の前記基板に所定の処理を実行する処理ユニット、前記基板を搬送する搬送ロボット、一時的な保管のために前記基板を受け入れるもの、のいずれかを含み、
   前記表示画像は、
   前記受容部の各々を識別するための記号を前記基板の搬送順に沿って配置した第１の軸と、前記第１の軸に交わり処理中の経過時間を示す第２の軸とを有する座標平面に、前記受容部の各々に前記基板が受け入れられてから払い出されるまでの滞在期間を、複数の前記基板について個々の前記基板を区別してグラフ化したチャートを含み、
   前記画像処理部は、前記情報のうち一部に基づき作成した前記チャートである主チャートを含む前記表示画像と、前記主チャートに表されていない前記情報に基づき作成した前記チャートである副チャートを含む前記表示画像とを、前記操作入力に応じ切り替えて前記表示部に表示させ、
   前記副チャートは、前記主チャートのうち前記操作入力により指定された一部の領域の時間軸を拡大表示し、前記主チャートに表されていない前記情報を加えてグラフ化したものである、ＧＵＩ装置。
2. 各々が基板を受け入れる複数の受容部間で前記基板を搬送しながら複数の前記基板を処理する基板処理システムのためのＧＵＩ装置であって、
   前記受容部に前記基板が受け入れられた時刻および払い出された時刻に関する情報を、複数の前記受容部の各々および複数の前記基板の各々について取得する情報取得部と、
   前記情報に基づく表示画像を出力する画像処理部と、
   前記表示画像を表示する表示部と、
   ユーザーからの操作入力を受け付ける入力部と
   を備え、
   前記受容部は、複数の前記基板に所定の処理を実行する処理ユニット、前記基板を搬送する搬送ロボット、一時的な保管のために前記基板を受け入れるもの、のうち少なくとも前記搬送ロボットを含み、
   前記表示画像は、
   前記受容部の各々を識別するための記号を前記基板の搬送順に沿って配置した第１の軸と、前記第１の軸に交わり処理中の経過時間を示す第２の軸とを有する座標平面に、前記受容部の各々に前記基板が受け入れられてから払い出されるまでの滞在期間を、複数の前記基板について個々の前記基板を区別してグラフ化したチャートを含み、
   前記画像処理部は、前記情報のうち一部に基づき作成した前記チャートである主チャートを含む前記表示画像と、前記主チャートに表されていない前記情報に基づき作成した前記チャートである副チャートを含む前記表示画像とを、前記操作入力に応じ切り替えて前記表示部に表示させ、
   前記副チャートは、前記受容部のうち前記基板の搬送に関わる前記搬送ロボットの旋回、前進、後退、上昇および下降のうち少なくとも１つの動きに関する前記情報に基づくグラフである、ＧＵＩ装置。
3. 各々が基板を受け入れる複数の受容部間で前記基板を搬送しながら複数の前記基板を処理する基板処理システムのためのＧＵＩ装置であって、
   前記受容部に前記基板が受け入れられた時刻および払い出された時刻に関する情報を、複数の前記受容部の各々および複数の前記基板の各々について取得する情報取得部と、
   前記情報に基づく表示画像を出力する画像処理部と、
   前記表示画像を表示する表示部と、
   ユーザーからの操作入力を受け付ける入力部と
   を備え、
   前記受容部は、複数の前記基板に所定の処理を実行する処理ユニット、前記基板を搬送する搬送ロボット、一時的な保管のために前記基板を受け入れるもの、のうち少なくとも前記処理ユニットを含み、
   前記表示画像は、
   前記受容部の各々を識別するための記号を前記基板の搬送順に沿って配置した第１の軸と、前記第１の軸に交わり処理中の経過時間を示す第２の軸とを有する座標平面に、前記受容部の各々に前記基板が受け入れられてから払い出されるまでの滞在期間を、複数の前記基板について個々の前記基板を区別してグラフ化したチャートを含み、
   前記画像処理部は、前記情報のうち一部に基づき作成した前記チャートである主チャートを含む前記表示画像と、前記主チャートに表されていない前記情報に基づき作成した前記チャートである副チャートを含む前記表示画像とを、前記操作入力に応じ切り替えて前記表示部に表示させ、
   前記副チャートは、複数の前記処理ユニットを前記基板の搬送順に沿って割り当てた前記第１の軸を横軸とし、前記第２の軸である時間軸を縦軸として、処理の開始から前記処理ユニットの各々が前記基板を受け入れるまたは払い出すまでの時間を、複数の前記基板ごとに示す複数の折れ線を含むグラフである、ＧＵＩ装置。
4. 各々が基板を受け入れる複数の受容部間で前記基板を搬送しながら複数の前記基板を処理する基板処理システムのためのＧＵＩ装置であって、
   前記受容部に前記基板が受け入れられた時刻および払い出された時刻に関する情報を、複数の前記受容部の各々および複数の前記基板の各々について取得する情報取得部と、
   前記情報に基づく表示画像を出力する画像処理部と、
   前記表示画像を表示する表示部と、
   ユーザーからの操作入力を受け付ける入力部と
   を備え、
   前記受容部は、複数の前記基板に所定の処理を実行する処理ユニット、前記基板を搬送する搬送ロボット、一時的な保管のために前記基板を受け入れるもの、のうち少なくとも前記処理ユニットを含み、
   前記表示画像は、
   前記受容部の各々を識別するための記号を前記基板の搬送順に沿って配置した第１の軸と、前記第１の軸に交わり処理中の経過時間を示す第２の軸とを有する座標平面に、前記受容部の各々に前記基板が受け入れられてから払い出されるまでの滞在期間を、複数の前記基板について個々の前記基板を区別してグラフ化したチャートを含み、
   前記画像処理部は、前記情報のうち一部に基づき作成した前記チャートである主チャートを含む前記表示画像と、前記主チャートに表されていない前記情報に基づき作成した前記チャートである副チャートを含む前記表示画像とを、前記操作入力に応じ切り替えて前記表示部に表示させ、
   前記副チャートは、前記処理ユニットごとの前記基板の滞在時間の長さを、複数の前記基板を対比させて表すグラフである、ＧＵＩ装置。
5. 各々が基板を受け入れる複数の受容部間で前記基板を搬送しながら複数の前記基板を処理する基板処理システムのためのＧＵＩ装置であって、
   前記受容部に前記基板が受け入れられた時刻および払い出された時刻に関する情報を、複数の前記受容部の各々および複数の前記基板の各々について取得する情報取得部と、
   前記情報に基づく表示画像を出力する画像処理部と、
   前記表示画像を表示する表示部と、
   ユーザーからの操作入力を受け付ける入力部と
   を備え、
   前記受容部は、複数の前記基板に所定の処理を実行する処理ユニット、前記基板を搬送する搬送ロボット、一時的な保管のために前記基板を受け入れるもの、のいずれかを含み、
   前記表示画像は、
   前記受容部の各々を識別するための記号を前記基板の搬送順に沿って配置した第１の軸と、前記第１の軸に交わり処理中の経過時間を示す第２の軸とを有する座標平面に、前記受容部の各々に前記基板が受け入れられてから払い出されるまでの滞在期間を、複数の前記基板について個々の前記基板を区別してグラフ化したチャートを含み、
   前記画像処理部は、前記情報のうち一部に基づき作成した前記チャートである主チャートを含む前記表示画像と、前記主チャートに表されていない前記情報に基づき作成した前記チャートである副チャートを含む前記表示画像とを、前記操作入力に応じ切り替えて前記表示部に表示させ、
   前記副チャートは、一の前記受容部に一の前記基板が到達した到達時刻と、当該受容部に前記一の基板に続く次の前記基板が到達した到達時刻との差で表される、当該受容部におけるインターバル時間の長さを表すグラフである、ＧＵＩ装置。
6. 前記チャートでは、前記滞在期間を前記第２の軸に平行なバーによって表す、請求項１ないし５のいずれかに記載のＧＵＩ装置。
7. 基板を一時的に受け入れる複数の受容部と、
   請求項１ないし５のいずれかに記載のＧＵＩ装置と
   を備える、基板処理システム。
8. 前記受容部に制御指令を与えて動作制御する制御部を備え、
   前記情報取得部は、前記制御部から前記受容部の各々に与えられる前記制御指令に基づき前記情報を取得する、請求項７に記載の基板処理システム。
9. 前記基板に対し所定の処理を施す複数の処理部と、
   前記処理部間で前記基板を搬送する搬送部と
   を備え、前記処理部および前記搬送部は、それぞれ少なくとも一つの前記受容部を含む、請求項７に記載の基板処理システム。