JPS5831522B2 - ヒマクノアツミソクテイソウチ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 鋼板に施した鍍金層のような被膜の厚みを測定する場合
にＸ線その他の放射線が用いられる。

すなわち上記鋼板にＸ線を照射して、被膜の鍍金層また
は基板の鋼板から発生する螢光Ｘ線強度を観測するので
あるが、このような方式によって鋼板等の表裏両面に鍍
金された被膜の厚みをそれぞれ別個に測定する場合に、
従来は２台の装置を用いてその各々を鋼板等の表側と裏
側とに対設しなければならなかった。

従ってＸ線管のような放射線源を２つ必要とし、装置が
極めて大型で高価になると共に放射線に対する放課対策
も容易でない等の欠点があった。

本発明はこのような欠点を除去し、１つの放射線源のみ
を用いて基板の表裏両面における被膜の厚みを同時に測
定し得る装置を提供するものである。

第１図は本発明実施例の構成を示す図で、鋼板等の基板
１の表裏両面に亜鉛、錫等の鍍金層よりなる被膜２およ
び３を設けである。

この被膜２゜３の厚みを測定しようとするもので、上記
基板１の表側にＸ線管あるいはラジオアイソトープのよ
うな放射線源４を対設して該基板に一定強度の放射線ｒ
をほぼ直角に照射し、基板１の裏側に該基板を透過した
放射線の強度を検出する放射線検出器５を設けである。

また上記放射線で励起されて被膜２から発生する螢光Ｘ
線ｘ１を検出する検出器６を該基板の表側に対設すると
共に被膜３が励起されて発生する螢光Ｘ線Ｘ２の検出器
７を基板の裏側に対設しである。

上記検出器６の出力を被膜の厚みを表示する表示器８に
加え、また検出器５および７の出力を補正回路９に加え
て、補正された出力を表示器１０に加えである。

なお上記螢光Ｘ線Ｘ、 、 Ｘ２の波長は放射線ｒの１
０倍以上であって、放射線ｒは基板および被膜を比較的
容易に透過するが、螢光Ｘ線は基板中でほぼ完全に吸収
されるように放射線ｒのエネルギを螢光Ｘ線より充分大
きく選定しである。

上述の装置において、基板１の表面側に放射される螢光
Ｘ線Ｘ、は第２図ａのように放射線ｒが被膜２を通過す
る間に該被膜が励起されて発生するもので、被膜に入射
する放射線ｒの強度をＩｓ、被膜２の厚みをｔｌとする
と検出器６で検出され３螢光Ｘ線Ｘ、の強度■１は、 Ｉ １＝ ｆ ｔ （ｔｌ） Ｉｓ ・
”・・・（１）で与えられるが、放射線強度Ｉｓは前述
のように一定であるから、この関係は第３図ａのように
１本の曲線Ｐで表わされる。

また放射線ｒは基板１をも励起して螢光Ｘ線Ｘ１を発生
させるから、その螢光Ｘ線を検出して被膜２の厚みｔｌ
を測定することも可能で、この場合は厚みｔｌと検出器
６による検出強度■１との間に曲線Ｐ′のような関係が
ある。

従って検出器６の出力を適宜の表示器８に加えて被膜２
の厚みｔを表示することができるもので、この測定原理
は従来の装置と同一である。

かつ放射線ｒは前述のように充分大きいエネルギを有す
るから、基板１を比較的容易に透過して裏面の被膜３を
励起する。

従って第２図すのようにこの被膜３から螢光Ｘ線ｘ２が
発生して、検出器７でその強度が検出される。

しかしこの場合は基板１および表面の被膜２の厚みが倒
れも不定であるから、被膜３に入射する放射線の強度が
変動する。

その放射線が上記被膜３で更に吸収を受けて該被膜を透
過した強度■、が検出器５で検出される。

被膜３の厚みをｔ２、検出器７で検出される螢光Ｘ線の
強度を■２とすると、 □２＝ｒ２（ｉ２） ＩＩ ・・・・・・・・
（２）の関係がある。

第３図すの曲線Ｑ１．Ｑ２・・・・・・は透過放射線の
強度■１をバラメークとしてこの関係を表わしたもので
ある。

また基板１を透過する放射線で該基板の裏面附近が励起
されて発生する基板の螢光Ｘ線ｘ ／２を前記検出器７
によって検出することもできる。

その螢光Ｘ線強度■２と被膜３の厚みｔ２との間にも上
記第（２）式の関係が成立して、この場合は透過放射線
強度■、をパラメータとすると曲線Ｑ’＋ ＋ Ｑ’２
・・・・・・で表わされる。

従って補正回路９により検出器７の出力強度■２と検出
器５の出力強度■、との比を算出して表示器１０に加え
ることにより、被膜３の厚みｔ２を知ることができる。

上述のように本発明は、検出される被膜または基板の螢
光Ｘ線より充分大きいエネルギの放射線を該基板に照射
することにより基板の表面における被膜の厚みを測定す
ると同時に該基板を透過する放射線を利用して裏側の被
膜の厚みを測定するものである。

すなわち１つの放射線源によっテ基板の表裏両側の被膜
の厚みをそれぞれ別個に測定し得るから装置を小型で安
価に構成し得ると共に特に放射線に対する防護対策が容
易である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明実施例の構成を示す図、第２図は本発明
の詳細な説明するための第１図の一部を拡大した図、第
３図は本発明の測定原理を説明する曲線である。 なお図において、１は基板、２，３は被膜、４は放射線
源、５は放射線検出器、６，７は螢光Ｘ線検出器、８，
１０は表示器、９は補正回路である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 表裏両面にそれぞれ厚みを測定しようとする被膜を
   形成された基板にその表面側から上記被膜または基板の
   螢光Ｘ線より充分大きいエネルギを有する一定強度の放
   射線を照射する放射線源と、基板の表面側に放出される
   被膜または基板の螢光Ｘ線を検出してその強度により基
   板の表面側における被膜の厚みを求めるためのＸ線検出
   器と、基板を透過した放射線の強度を検出する放射線検
   出器と、基板の裏面側に放出される被膜または基板の螢
   光Ｘ線を検出してその強度と上記放射線検出器で検出さ
   れる透過放射線の強度との比により基板の裏面側におけ
   る被膜の厚みを求めるためのＸ線検出器とよりなること
   を特徴とする被膜の厚み測定装置。