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JPS5838004B2 - Piezoelectric element parts - Google Patents
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JPS5838004B2 - Piezoelectric element parts - Google Patents

Piezoelectric element parts

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Publication number
JPS5838004B2
JPS5838004B2 JP9850876A JP9850876A JPS5838004B2 JP S5838004 B2 JPS5838004 B2 JP S5838004B2 JP 9850876 A JP9850876 A JP 9850876A JP 9850876 A JP9850876 A JP 9850876A JP S5838004 B2 JPS5838004 B2 JP S5838004B2
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JP
Japan
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piezoelectric element
spacer
lid
predetermined
lid body
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JP9850876A
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薫 志水
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders or supports
    • H03H9/10Mounting in enclosures
    • H03H9/1007Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
    • H03H9/1042Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a housing formed by a cavity in a resin

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  • Physics & Mathematics (AREA)
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明はエネルギー閉じ込め型セラミックフィルターな
どのような圧電素子部品に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to piezoelectric components such as energy trapping ceramic filters.

従来、上述のようなセラミックフィルターなどを構成す
る電極付き圧電素子を外装してなる圧電素子部品を得る
には、所定温度に加熱した圧電素子をエポキシ樹脂等の
粉体中に浸漬して行なう方法が用いられているが、この
方法では作動電極部分に被覆樹脂が直接接触しないよう
に作動電極部分を保護したり空隙を形成する必要がある
Conventionally, in order to obtain a piezoelectric element component that is an exterior of a piezoelectric element with electrodes that constitutes a ceramic filter as described above, the piezoelectric element is heated to a predetermined temperature and immersed in powder such as epoxy resin. However, in this method, it is necessary to protect the working electrode part or to form a gap so that the coating resin does not come into direct contact with the working electrode part.

空隙を形戒する手段として、特公昭50−23780号
公報に提案されているが、この方法においては粘着層を
部分的に除去することは煩雑で時間を要するうえ、除去
輪郭が不明確であり、一定厚みの粘着属を塗布して得る
ことが困難である。
Japanese Patent Publication No. Sho 50-23780 proposes a method for controlling voids, but in this method, partially removing the adhesive layer is complicated and time-consuming, and the removal contour is unclear. However, it is difficult to obtain a certain thickness by applying an adhesive layer.

また、粘着層厚みを数100ミクロン以上といった厚さ
に得ることは困難で、数十ミクロンの空隙では粘着層を
有する基板が外力や温度変化によって容易に電極面へ接
触するといった問題を有している。
In addition, it is difficult to obtain an adhesive layer with a thickness of several hundred microns or more, and a gap of several tens of microns causes the problem that the substrate with the adhesive layer easily comes into contact with the electrode surface due to external force or temperature changes. There is.

本発明は、そのような問題を解決するもので、以下、実
施例として示した図面により説明する。
The present invention solves such problems and will be explained below with reference to the drawings shown as examples.

実施例 1 第1図において、1はエネルギー閉じ込め型セラミック
フィルターを構成する圧電素子であり、これは四角形状
の圧電基板1aの一方の主平面に、それぞれ入力用およ
び出力用の電極2および3を、そして他方の主平面にア
ース用の電極(共通電極)4を図示のようなパターンで
対向配設することによって構成してある。
Example 1 In FIG. 1, 1 is a piezoelectric element constituting an energy trapping ceramic filter, which has input and output electrodes 2 and 3 on one main plane of a square piezoelectric substrate 1a, respectively. , and a grounding electrode (common electrode) 4 is arranged facing each other in a pattern as shown in the figure on the other main plane.

さらに上記圧電素子1は、一方の主平面に所定のパター
ンの導電体2′,3′,4′が設けられた絶縁物基板5
上に導電性接着剤(例えば銀ペースト)8で所定の位置
に接着されており、かつ絶縁物基板5の各導電体2/,
3/, 4/と圧電素子1の各電極2,3.4とは、
それぞれ電気的導通状態に接続されている。
Further, the piezoelectric element 1 has an insulating substrate 5 on which conductors 2', 3', and 4' in a predetermined pattern are provided on one main plane.
Each conductor 2/,
3/, 4/ and each electrode 2, 3.4 of the piezoelectric element 1 are:
Each is connected in electrical continuity.

さらに上記絶縁物基板5上の各導電体2/, 3/,
4/の端部には外部接続用端子6a,6b,6cが半田
7などで取付けられている。
Furthermore, each conductor 2/, 3/, on the insulator substrate 5
External connection terminals 6a, 6b, and 6c are attached to the ends of 4/ with solder 7 or the like.

上記絶縁物基板5としては、フェノール、エポキシ、ポ
リイミド等の樹脂を基材とし、その表面に銅箔を接着し
たプリント板を、所定のパターンにエッチング処理して
導電体2’, 3’, 4’を形成したもの、あるいは
ステアタイト、アルミナ等のセラミックやガラス基板上
に所定の導電膜パターンをメッキ、蒸着、焼付等の手段
で形成したものを用い得る。
The insulating substrate 5 is a printed board made of a resin such as phenol, epoxy, or polyimide, with copper foil adhered to its surface, and is etched into a predetermined pattern to form the conductors 2', 3', 4. It is possible to use one in which a predetermined conductive film pattern is formed on a ceramic or glass substrate such as steatite or alumina by means of plating, vapor deposition, baking, or the like.

第2図は第1図に示す圧電素子1を取付けた絶縁物基板
5上に後述のスペーサ9および蓋体12を装着した場合
の一部切欠正面図を示し、また第3図は、更にその上よ
り絶縁部材すなわちゴム部材よりなる第1の被覆層14
および熱硬化性樹脂よりなる第2の被覆層15を密封状
態に被覆して外装した場合の断面図を示している。
FIG. 2 shows a partially cutaway front view when a spacer 9 and a lid 12, which will be described later, are mounted on the insulator substrate 5 on which the piezoelectric element 1 shown in FIG. 1 is mounted, and FIG. A first covering layer 14 made of an insulating member, that is, a rubber member from above.
and a cross-sectional view when the second coating layer 15 made of thermosetting resin is sealed and packaged.

第4図は前記スペーサ9の一例を示す斜視図で、これは
ポリエステルフイルムなどの矩形状基材の両面に絶縁部
材からなる熱硬化性あるいは感圧性の粘着剤層10を付
してなるもので、その中央部には前述の圧電素子1を収
容して、少なくとも、その作動(共振)電極部分に、第
3図に示すごとき所定の空隙11を形成するための穴1
6が穿設されている。
FIG. 4 is a perspective view showing an example of the spacer 9, which is made by attaching a thermosetting or pressure-sensitive adhesive layer 10 made of an insulating material to both sides of a rectangular base material such as a polyester film. , a hole 1 for accommodating the piezoelectric element 1 described above and forming a predetermined gap 11 as shown in FIG.
6 is drilled.

また、このスペーサ11は圧電素子1の厚みよりも所定
量だけ大きい厚みを有している。
Further, the spacer 11 has a thickness larger than the thickness of the piezoelectric element 1 by a predetermined amount.

第5図は前記蓋体12の一例を示す斜視図で、これは極
めて柔軟で、厚みが例えば4μ扉〜6μmといったアル
ミニウム箔や銅箔の導電性部材でtつで形成され、その
片面には感圧性の導電性接着剤13が付着せられ;所定
の凸形形状に加工してある。
FIG. 5 is a perspective view showing an example of the lid body 12, which is extremely flexible and made of a conductive member such as aluminum foil or copper foil with a thickness of 4 μm to 6 μm, for example, and one side of the lid body 12 is A pressure-sensitive conductive adhesive 13 is applied; it is processed into a predetermined convex shape.

本発明における外装構造は上記に述べたスペーサ9及び
蓋体12を用いるもので、その組立過程について第2図
、第3図を参照して説明する。
The exterior structure of the present invention uses the spacer 9 and the lid 12 described above, and the assembly process will be explained with reference to FIGS. 2 and 3.

圧電素子1を取付けた絶縁物基板5に、まずスペーサ9
を貼り合せる。
First, a spacer 9 is placed on the insulator substrate 5 on which the piezoelectric element 1 is attached.
Attach.

この場合、第2図から明らかなようにスペーサ9の穴1
6の周縁が圧電素子1の外周をとり囲むような所定位置
に載置する。
In this case, as is clear from FIG.
The piezoelectric element 1 is placed at a predetermined position such that the peripheral edge of the piezoelectric element 6 surrounds the outer periphery of the piezoelectric element 1.

なお、スペーサ9の外形寸法は幅が絶縁物基板5と同程
度で、長さは外部接続用端子6at6b,6cにおおい
かぶさらない程度とすることが望ましい。
As for the external dimensions of the spacer 9, it is desirable that the width is approximately the same as that of the insulating substrate 5, and the length is such that it does not overlap the external connection terminals 6at6b, 6c.

スペーサ9を貼付したのち、次に蓋体12を、スペーサ
9の穴16を覆うように感圧性の粘着剤層10が付され
た側を上面にしてスペーサ9に積み重ねて貼り合せる。
After pasting the spacer 9, the lid 12 is stacked and pasted onto the spacer 9 with the pressure-sensitive adhesive layer 10 facing upward so as to cover the hole 16 of the spacer 9.

そして、蓋体12をスペーサ9に貼付したのち、蓋体1
2の端部12aをスペーサ9の側面に沿って折り曲げ、
絶縁物基板5のアース側の導電体4′の部分にも貼り付
ける。
After attaching the lid 12 to the spacer 9, the lid 12 is attached to the spacer 9.
2 along the side surface of the spacer 9,
It is also attached to the conductor 4' portion on the ground side of the insulating substrate 5.

このようにすると、蓋体12とアース側導電体4′とは
電気的導通状態となり、蓋体12は圧電素子1に対して
シールド効果を有するようになる。
In this way, the lid 12 and the ground conductor 4' are electrically connected, and the lid 12 has a shielding effect on the piezoelectric element 1.

上述のごとくして圧電素子1の作動電極部分に所定の空
隙11を形成したのち、スペーサ9の粘着剤層を加熱硬
化させ、その後、第3図に示すごとく、液状シリコンゴ
ム槽(図示せず)などに圧電素子1、スペーサ9、蓋体
12を含む絶縁物基板5全体を浸漬し、その後、塗布し
たシリコンゴムを加熱硬化させてまず、ゴム部材よりな
る第1の被覆層14を形成する。
After forming a predetermined gap 11 in the working electrode portion of the piezoelectric element 1 as described above, the adhesive layer of the spacer 9 is heated and hardened, and then, as shown in FIG. ) etc., the entire insulating substrate 5 including the piezoelectric element 1, spacer 9, and lid 12 is immersed, and then the applied silicone rubber is heated and cured to form a first coating layer 14 made of a rubber member. .

その後、さらにエポキシ樹脂などの熱硬化性の粉末ある
いは常温硬化の液状樹脂層に浸漬して第2の樹脂層15
を形成し、所定の温度で加熱硬化させることによって、
圧電素子1を外気から完全に遮断した密封状態に保つこ
とができる。
After that, the second resin layer 15 is further immersed in a thermosetting powder such as epoxy resin or a liquid resin layer that hardens at room temperature.
By forming and heating and curing at a predetermined temperature,
The piezoelectric element 1 can be kept in a sealed state completely isolated from the outside air.

なお、前記第1の被覆層14は圧電素子に対する機械的
な衝撃及び熱衝撃を緩和するために形成したもので、そ
のゴム部材層の材質は任意である。
Note that the first covering layer 14 is formed to alleviate mechanical shock and thermal shock to the piezoelectric element, and the material of the rubber member layer is arbitrary.

もちろん、必要に応じて、上記の第1の被覆層14を省
略し、直接、熱硬化性樹脂層すなわち第2の被覆層15
のみで密封状態に被覆しても良いことはいうまでもない
Of course, if necessary, the first coating layer 14 described above may be omitted and the thermosetting resin layer, that is, the second coating layer 15 may be directly applied.
Needless to say, it may be covered in a sealed state only by using a coating.

実施例 2 実施例1と同様に、まず圧電素子1を取付けた第1図の
絶縁物基板5に第7図に示すスペーサ9′を貼り合せる
Example 2 As in Example 1, first, a spacer 9' shown in FIG. 7 is bonded to the insulator substrate 5 shown in FIG. 1 on which the piezoelectric element 1 is attached.

この場合にもスペーサ9′の穴16内に圧電素子1を位
置させるようにする。
In this case as well, the piezoelectric element 1 is positioned within the hole 16 of the spacer 9'.

第7図に示すスペーサ9lは第4図に示すスペーサ9と
同形状であるが、゛ポリエステルフイルムを構成基板と
し、その両面に絶縁材料からなる熱硬化性の粘着剤層1
0′が付されており、常温状態でも十分粘着性を有して
いる。
The spacer 9l shown in FIG. 7 has the same shape as the spacer 9 shown in FIG.
0' is attached, and it has sufficient adhesiveness even at room temperature.

このようなスペーサ9′を貼付したのち、次にスペーサ
9′とほぼ同一外形寸法に構成した第8図に示すごとき
蓋体12′をスペーサ9′の穴16を覆うようにスペー
サ9′の粘着剤層へ重ねて貼付する。
After pasting such a spacer 9', a cover 12' as shown in FIG. Paste over the agent layer.

なお、蓋体12′は実施例lとは異なり片面に感圧性の
導電性接着剤層を形成しておらず、柔軟性を有する薄膜
部材、例えばアルミエウム箔やポリイミドフイルムある
いはポリエステルフイルム等が望ましい。
Note that, unlike in Example 1, the lid body 12' does not have a pressure-sensitive conductive adhesive layer formed on one side, and is preferably made of a flexible thin film material such as aluminum foil, polyimide film, or polyester film.

その場合の薄膜部材の厚みは実験的には4μ扉〜25μ
mの範囲が最も作業性が良く、塗装工程でのピンボール
不良の発生が少なかった。
In that case, the thickness of the thin film member is experimentally determined to be 4μ to 25μ.
The range of m had the best workability, and fewer pinball defects occurred during the painting process.

以上のごとく絶縁物基板5上の圧電素子1を包含するよ
うにスペーサ9′を介して蓋体12′を貼付したのち、
所定の凹部を形成した押圧治具(図示せず)で圧電素子
1を破損せぬように蓋体12′に所定の押圧荷重をかけ
、所定の温度で所定時間加熱してスペーサ9′の粘着剤
層10′を硬化させる。
After attaching the lid 12' via the spacer 9' so as to cover the piezoelectric element 1 on the insulating substrate 5 as described above,
A predetermined pressing load is applied to the lid 12' using a pressing jig (not shown) that has a predetermined recess formed therein so as not to damage the piezoelectric element 1, and the spacer 9' is heated at a predetermined temperature for a predetermined time to make the spacer 9' stick. The agent layer 10' is cured.

粘着剤層10′の硬化により、絶縁物基板5と蓋体12
′とは強固に接着されると共に、圧電素子1の作動電極
部分に所定の空隙11が形成される。
By curing the adhesive layer 10', the insulating substrate 5 and the lid 12 are bonded together.
', and a predetermined gap 11 is formed in the working electrode portion of the piezoelectric element 1.

その後、圧電素子1を、さらに外気から密封状態に保つ
ために、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂で樹脂被覆層1
5′を形成して圧電素子の外装が終了する。
After that, in order to further keep the piezoelectric element 1 sealed from the outside air, a resin coating layer 1 is coated with a thermosetting resin such as an epoxy resin.
5' is formed to complete the sheathing of the piezoelectric element.

この実施例2においても蓋体12′としてアルミニウム
箔などの導電性材料を用い、蓋体12′と絶縁物基板5
上のアース側導電体4′とを導電性接着剤等で電気的に
接続して蓋体12′にシールド効果を持たせることは圧
電素子の特性上望ましい。
In this second embodiment as well, a conductive material such as aluminum foil is used as the lid 12', and the lid 12' and the insulating substrate 5 are
Considering the characteristics of the piezoelectric element, it is desirable to electrically connect the upper ground-side conductor 4' with a conductive adhesive or the like so that the lid 12' has a shielding effect.

上述のごとく本発明の圧電素子部品は、スペーサと蓋体
を用いることによって作動電極部分に、安価で簡単に能
率よく任意の寸法の空隙部分を形戒することができ、電
気的特性の安定した圧電素子部品を得ることができるも
のである。
As mentioned above, in the piezoelectric element component of the present invention, by using the spacer and the lid, a void of any size can be formed in the actuating electrode portion easily and efficiently at low cost, and the piezoelectric element component of the present invention can have stable electrical characteristics. Piezoelectric element parts can be obtained.

なお、上記実施例において用いたスペーサの材質は、両
面粘着テープである必要は全く無く、片面にのみ粘着性
を有する絶縁物部材テープや所定形状に形成した紙、プ
ラスチックフイルムなどに接着剤を塗布したもの、ある
いはBステージのプリプレグ樹脂などからなるホットメ
ルト型の接着剤シートや溶剤活性型の接着剤シートを所
定形状に打抜加工したものを用いてもよい。
Note that the material of the spacer used in the above examples does not have to be double-sided adhesive tape; instead, it can be an insulating material tape that has adhesiveness on only one side, paper formed into a predetermined shape, plastic film, etc., coated with adhesive. Alternatively, a hot-melt adhesive sheet or a solvent-activated adhesive sheet made of B-stage prepreg resin or the like may be punched into a predetermined shape.

さらにスペーサの穴の形状についても長円、矩形等任意
である。
Furthermore, the shape of the hole in the spacer may be arbitrary, such as an ellipse or a rectangle.

また、蓋体の形状や材質についても任意であって、導電
性接着剤を有する金属箔に限らず、金属箔単体あるいは
樹脂フイルム等の薄膜部材のみで形成してもよい。
Further, the shape and material of the lid body are also arbitrary, and the lid body is not limited to metal foil having a conductive adhesive, but may be formed only from a metal foil alone or a thin film member such as a resin film.

特に樹脂フイルム厚みが4μm〜25μ扉程度のポリイ
ミドフイルムやポリエステルフイルムなどは蓋体材料と
して最適で、前述のごとく熱硬化性樹脂を用いて圧電素
子を被覆した場合、ピンホール防止に顕著な効果を示し
た。
In particular, polyimide films and polyester films with a resin film thickness of about 4 μm to 25 μm are ideal as cover materials, and as mentioned above, when the piezoelectric element is covered with thermosetting resin, it has a remarkable effect in preventing pinholes. Indicated.

その理由は次のごとくである。The reason is as follows.

すなわち、熱硬化性樹脂被膜の際、圧電素子を所定の温
度に加熱して実施する必要があるが、圧電素子の加熱に
よって空隙部分11に存在する空気が膨脹する。
That is, when applying the thermosetting resin coating, it is necessary to heat the piezoelectric element to a predetermined temperature, and the heating of the piezoelectric element causes the air present in the gap 11 to expand.

ここで、もしスペーサの接着力が弱いと空隙部分の膨脹
空気が空隙形成部分外へ洩出し、熱硬化性樹脂皮膜を突
き破ってピンホールを生じる。
Here, if the adhesive strength of the spacer is weak, the expanded air in the gap portion leaks out of the gap forming portion, pierces the thermosetting resin film, and creates pinholes.

しかし前述の薄膜樹脂フイルムの場合、加熱によって樹
脂フイルム自身も膨脹し、また柔軟な薄膜でもあるため
、任意に変形、伸張し、蓋体がダイヤフラム的な役割を
果して空隙部分の空気が熱硬化性樹脂中に混入するのを
防止するからで゛ある。
However, in the case of the thin resin film mentioned above, the resin film itself expands when heated, and since it is a flexible thin film, it deforms and stretches arbitrarily, and the lid acts like a diaphragm, causing the air in the gap to thermoset. This is because it prevents it from being mixed into the resin.

また、この場合、上記蓋体の構成部分を透明なものにす
ると、蓋体を通して、空隙形成後の圧電素子を観察する
ことができるので、圧電素子の割れやクラツクあるいは
導電性接着剤接続部での不良等をチェックするうえで有
効となる。
In addition, in this case, if the constituent parts of the lid are made transparent, the piezoelectric element after the gap is formed can be observed through the lid, so there is no possibility of cracks or cracks in the piezoelectric element or the conductive adhesive connections. This is effective in checking for defects, etc.

また、本発明は前記5で示したような絶縁物基板に圧電
素子を取付けるようにした構造のものに限られるもので
はなく、第9図に例図するように、圧電基板1a′の主
面に装着する電極2,3,4の一部2A,3A,4Aを
延長し、その部分に外部接続用端子(3a ,6b ,
6Cの直接的に接続して構成した圧電素子1′を使用す
る場合も含む。
Further, the present invention is not limited to a structure in which a piezoelectric element is attached to an insulating substrate as shown in 5 above, but as shown in FIG. 9, the main surface of a piezoelectric substrate 1a' Extend parts 2A, 3A, 4A of the electrodes 2, 3, 4 to be attached to the terminals, and attach external connection terminals (3a, 6b,
This also includes the case where a piezoelectric element 1' configured by directly connecting 6C is used.

この場合には例えば第4図または第7図に例示するよう
なスペーサ9または9lを、その穴16の部分に作動電
極部分が位置するように片面、または両面に配設し、そ
の後、同様に第5図または第8図に示すような蓋体12
または12′を接着し、全体を第3図または第6図に示
すように絶縁部材で密封状態に被覆するようにすれば良
い。
In this case, for example, a spacer 9 or 9l as illustrated in FIG. 4 or FIG. Lid body 12 as shown in FIG. 5 or FIG. 8
Alternatively, the parts 12' may be bonded together and the whole may be hermetically covered with an insulating material as shown in FIG. 3 or FIG. 6.

このようにした場合にも先の実施例と同様に、蓋体を導
電性部材をもって形成し、これを圧電素子のアース側と
なる電極と電気的導通をもって接続してシールドを施す
ようにしたり、さらには外装のための絶縁部材として第
3図に例示したようなゴム部材からなる第lの被覆層と
、熱硬化性樹脂からなる第2の被覆層を実施すれば効果
的である。
In this case, as in the previous embodiment, the lid body is formed of a conductive member, and this is electrically connected to the electrode on the ground side of the piezoelectric element to provide a shield. Furthermore, it is effective to use a first covering layer made of a rubber member as illustrated in FIG. 3 and a second covering layer made of a thermosetting resin as an insulating member for the exterior.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の一実施例の未外装状態における要部正
面図、第2図は同実施例の一部切欠正面図、第3図は同
実施例の断面図、第4図は本発明で使用するスペーサの
一例の斜視図、第5図は本発明で使用する蓋体の一例の
斜視図、第6図は本発明の他の実施例の断面図、第7図
は本発明で使用するスペーサの他の例の斜視図、第8図
は本発明で使用する蓋本の他の例の斜視図、第9図は本
発明で使用し得る圧電素子の他の例の正面図である。 1,1′・・・・・・圧電素子、2,3,4・・・・・
・電極、2′3’,4/−・・・・・導電体、5・・・
・・・絶縁物基板、6a,6b6c・・・・・・外部接
続用端子、7・・・・・・はんだ、8・・・・・・導電
性接着剤、9,9′・・・・・・スペーサ、1 0 ,
1 0’・・・・・・粘着剤層、11・・・・・・空
隙、1 2 , 1 2’・・・・・・蓋体、13・・
・・・・導電性接着剤、14・・・・・・第1の被覆層
、15・・・・・・第2の被覆層、16・・・・・・穴
Fig. 1 is a front view of essential parts of an embodiment of the present invention in an unexposed state, Fig. 2 is a partially cutaway front view of the embodiment, Fig. 3 is a sectional view of the embodiment, and Fig. 4 is a main part of the present invention. FIG. 5 is a perspective view of an example of a lid body used in the present invention, FIG. 6 is a sectional view of another embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a perspective view of an example of a spacer used in the present invention. FIG. 8 is a perspective view of another example of the spacer used in the present invention, FIG. 9 is a front view of another example of the piezoelectric element that can be used in the present invention. be. 1, 1'... Piezoelectric element, 2, 3, 4...
・Electrode, 2'3', 4/-... Conductor, 5...
... Insulator board, 6a, 6b6c ... External connection terminal, 7 ... Solder, 8 ... Conductive adhesive, 9, 9' ... ...Spacer, 1 0,
1 0'... adhesive layer, 11... void, 1 2 , 1 2'... lid body, 13...
... Conductive adhesive, 14... First coating layer, 15... Second coating layer, 16... Hole.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 所定のパターンの導電体が複数個設けられ、かつ、
それらの導電体の所望のものに外部接続用端子が接続さ
れた絶縁物基板と、複数個の電極を有する圧電素子と、
前記圧電素子を収容可能にした穴を有するスペーサおよ
び蓋体を具備し、前記圧電素子を前記絶縁物基板上に配
設するとともに、その圧電素子の各電極を前記絶縁物基
板の所定の導電体と電気的導通をもって接続し、かつ前
記スベーサは、その穴内に前記正電素子を位置させるご
とく前記絶縁物基板上に接着され、そのスペーサには前
記穴を閉蓋するごとく前記蓋体が接着され、全体が絶縁
部材で密封状態に被覆されていることを特徴とする圧電
素子部品。 2 特許請求の範囲第1項において、スペーサとして、
圧電素子の厚みよりも大きな厚みを有する絶縁性部材の
少なくとも一方の面に粘着性のある接着材が装着されて
いるものを使用するようにしたことを特徴とする圧電素
子部品。 3 特許請求の範囲第1項において、蓋体は導電性の部
材をもって形成され、かつ圧電素子のアース側となる電
極と電気的導通をもって接続されていることを特徴とす
る圧電素子部品。 4 特許請求の範囲第1項において、全体を密封状態に
被覆するための絶縁部材は、ゴム部材からなる第1の被
覆層と、熱硬化性樹脂からなる第2の被覆層をもって形
成されていることを特徴とする圧電素子部品。 5 所定の形状の圧電基板上に外部接続用端子と直接的
に接続される所定のパターンの複数個の電極が設けられ
た圧電素子と、その圧電素子の少なくとも一方の面に装
着され、かつ上記圧電素子の少なくとも作動電極部分と
対応する箇所には穴が穿設された所要の厚みを有するス
ペーサと、そのスペーサの上面に上記穴を閉蓋するごと
く装着される蓋体を具備し、前記スペーサおよび蓋体を
含む圧電素子全体が絶縁部材にて密封状態に被覆されて
いることを特徴とする圧電素子部品。 6 特許請求の範囲第S項において、蓋体は導電性の部
材をもって形成され、かつ圧電素子のアース側となる電
極と電気的導通をもって接続されていることを特徴とす
る圧電素子部品。 7 特許請求の範囲第5項において、全体を密封状態に
被覆するための絶縁部材は、ゴム部材からなる第1の被
覆層と、熱硬化性樹脂からなる第2の被覆層をもって形
成されていることを特徴とする圧電素子部品。
[Claims] 1. A plurality of conductors having a predetermined pattern are provided, and
an insulating substrate with external connection terminals connected to desired conductors; a piezoelectric element having a plurality of electrodes;
The piezoelectric element is provided with a spacer and a lid having a hole capable of accommodating the piezoelectric element, and the piezoelectric element is disposed on the insulating substrate, and each electrode of the piezoelectric element is connected to a predetermined conductor of the insulating substrate. and the spacer is bonded to the insulating substrate so as to position the positive electric element in the spacer, and the lid body is bonded to the spacer to close the hole. A piezoelectric element component characterized in that the entirety is hermetically covered with an insulating member. 2 In claim 1, as a spacer,
A piezoelectric element component characterized in that it uses an insulating member having a thickness greater than the thickness of the piezoelectric element and having a sticky adhesive attached to at least one surface of the insulating member. 3. The piezoelectric element component according to claim 1, wherein the lid body is formed of a conductive member and is electrically connected to an electrode on the ground side of the piezoelectric element. 4 In claim 1, the insulating member for covering the whole in a sealed state is formed of a first covering layer made of a rubber member and a second covering layer made of a thermosetting resin. A piezoelectric element component characterized by: 5 A piezoelectric element in which a plurality of electrodes in a predetermined pattern are provided on a piezoelectric substrate in a predetermined shape and are directly connected to external connection terminals, and the piezoelectric element is attached to at least one surface of the piezoelectric element, and The piezoelectric element is provided with a spacer having a predetermined thickness and a hole bored in at least a portion corresponding to the working electrode portion, and a lid body attached to the top surface of the spacer so as to close the hole, and the spacer and a piezoelectric element component, characterized in that the entire piezoelectric element including the lid is hermetically covered with an insulating member. 6. The piezoelectric element component according to claim S, wherein the lid body is formed of a conductive member and is electrically connected to an electrode on the ground side of the piezoelectric element. 7 In claim 5, the insulating member for covering the whole in a sealed state is formed of a first covering layer made of a rubber member and a second covering layer made of a thermosetting resin. A piezoelectric element component characterized by:
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