JPS584441B2 - アルミニウムの陽極酸化皮膜を使用した含湿量検出素子 - Google Patents
アルミニウムの陽極酸化皮膜を使用した含湿量検出素子Info
- Publication number
- JPS584441B2 JPS584441B2 JP51083507A JP8350776A JPS584441B2 JP S584441 B2 JPS584441 B2 JP S584441B2 JP 51083507 A JP51083507 A JP 51083507A JP 8350776 A JP8350776 A JP 8350776A JP S584441 B2 JPS584441 B2 JP S584441B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aluminum
- moisture content
- detection element
- content detection
- oxide film
- Prior art date
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- Expired
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、活性層を持たないアルミニウムの陽極酸化皮
膜を使用した含湿量検出素子に関する本のである。
膜を使用した含湿量検出素子に関する本のである。
従来、アルミニウムの陽極酸化皮膜は含湿量検出素子と
して使用されているが、高湿度中において感度が低下す
る欠点を持っている。
して使用されているが、高湿度中において感度が低下す
る欠点を持っている。
高湿度において感度が低下するのは陽極酸化の際に生成
されるアルミニウムの酸化皮膜中の活性層の存在に原因
がある。
されるアルミニウムの酸化皮膜中の活性層の存在に原因
がある。
対策として、現在、活性層およびアルミニウム基体を化
学的に溶解し、除去する方法が考えられている。
学的に溶解し、除去する方法が考えられている。
しかし、この方法で作製される膜は機械的強度が弱く、
取扱いが困難である。
取扱いが困難である。
本発明は、活性層を有しないアルミニウムの陽極酸化皮
膜を利用することにより、高湿度での感度低下を避ける
と同時に機械的強度もきわめて強い含湿量検出素子を得
ることを目的とする。
膜を利用することにより、高湿度での感度低下を避ける
と同時に機械的強度もきわめて強い含湿量検出素子を得
ることを目的とする。
本発明を実施例に基づいて説明すれば次のとおりである
。
。
実施例 １
セラミック基板上にチタンを蒸着法又はスパツタ法によ
って、約１．０μｍの厚さに付着させる。
って、約１．０μｍの厚さに付着させる。
蒸着法を使用する場合は、蒸着時にくし形透過マスクを
基板に密着させてチタン膜のくし形電極を形成する。
基板に密着させてチタン膜のくし形電極を形成する。
スパツタ法を用いる場合は、チタンをセラミック基板上
に全面にわたり付着させた後、フォトエッチングによっ
てくし形電極を形成する。
に全面にわたり付着させた後、フォトエッチングによっ
てくし形電極を形成する。
エッチング液はフツ化水素の希釈液を用いる。
上記いずれかの方法でくし形電極を形成した基板上にア
ルミニウムを約０．５μｍの厚さに蒸着する。
ルミニウムを約０．５μｍの厚さに蒸着する。
その際、電極両端部はアルミニウムが付着しないように
おおっておく。
おおっておく。
次に、くし形電極両端部を短絡し、これを陽極として酸
化を行う。
化を行う。
電解液には１５％硫酸水溶液を使用し、４Ａ／ｄｍ２の
電流を定電流源から供給する。
電流を定電流源から供給する。
通電開始によりアルミニウム膜の酸化が始まり、活性層
がチタンに到達するとチタン電極の酸化が始まる。
がチタンに到達するとチタン電極の酸化が始まる。
チタンの酸化中にアルミニウムの酸化は全面にわたって
行なわれる。
行なわれる。
電圧を約６０Ｖまで印加した後に電解液中より取り出す
と、くし形電極の相互間は完全に酸化層で分離されてい
る。
と、くし形電極の相互間は完全に酸化層で分離されてい
る。
チタンの代りに金等のバルブ作用を有しない材料を電極
として用いると、アルミニウムの酸化は部分的にしか完
了しない。
として用いると、アルミニウムの酸化は部分的にしか完
了しない。
その理由は、アルミニウムの酸化が部分的に金に到達す
ると、その部分の電気抵抗がバルブ金属の酸化物のよう
に十分、大きくないため、電流集中が生じ、電流は他の
まだ酸化されていないアルミニウム部分を通らなくなる
ためである。
ると、その部分の電気抵抗がバルブ金属の酸化物のよう
に十分、大きくないため、電流集中が生じ、電流は他の
まだ酸化されていないアルミニウム部分を通らなくなる
ためである。
この場合、金属アルミニウムが残るためにくし形電極相
互間は短絡状態であり、含湿量検出素子とはならない。
互間は短絡状態であり、含湿量検出素子とはならない。
陽極酸化後は、特性の経時変化を小さくするために沸騰
水中で約３０分の封孔処理を行う。
水中で約３０分の封孔処理を行う。
最後に、電極部に導電性接着剤を塗布してリード線を付
け素子とする。
け素子とする。
完成した含湿量検出素子の断面図を第１図に、その特性
を第３図、第４図に示す。
を第３図、第４図に示す。
実施例 ２
チタン基板上に厚さ約０．５μｍのアルミニウムを蒸着
する。
する。
チタン基板を陽極としてアルミニウムの陽極酸化を行な
い、封孔処理をする。
い、封孔処理をする。
その条件は実施例１と同様である。
次に、金の透水性電極を酸化アルミニウム上に付着する
。
。
この電極とチタン基板から導電性接着剤によって、それ
ぞれリード線を取り出して含湿量検出素子とする。
ぞれリード線を取り出して含湿量検出素子とする。
素子の断面図を第２図に、その特性を第３図、第４図に
示す。
示す。
実施例１および実施例２によって作製された素子は、形
状は異なるが、その動作はどちらも同様である。
状は異なるが、その動作はどちらも同様である。
酸化アルミニウム、酸化チタン両者共に含湿量によって
電気抵抗値および静電容量値が変化する。
電気抵抗値および静電容量値が変化する。
素子全体の電気的インピーダンスは両者を直列接続した
ものとなる。
ものとなる。
本発明による含湿量検出素子は、第３図、第４図からわ
かるように、高湿度においても感度は低下しない。
かるように、高湿度においても感度は低下しない。
また、基板上に作製したことによって機械的強度も十分
に強く、取扱いも簡易である。
に強く、取扱いも簡易である。
第１図は実施例１によって作製した素子の断面図、第２
図は実施例２による素子の断面図、第３図と第４図は本
発明の実施例で得られた検出素子の相対湿度に対する抵
抗値と静電容量値の特性を示すグラフである。 第１図、第２図の図中の符号、１；セラミック基板、２
；チタン電極、３；酸化チタン層、４；酸化アルミニウ
ム層、５；チタン基板、６；透水性電極（金）。 第３図、第４図の図中の符号、Ｉ；実施例１の特性曲線
、Ｉｊ実施例２の特性曲線、■；従来のアルミニウム活
性層をもつ素子の特性曲線。
図は実施例２による素子の断面図、第３図と第４図は本
発明の実施例で得られた検出素子の相対湿度に対する抵
抗値と静電容量値の特性を示すグラフである。 第１図、第２図の図中の符号、１；セラミック基板、２
；チタン電極、３；酸化チタン層、４；酸化アルミニウ
ム層、５；チタン基板、６；透水性電極（金）。 第３図、第４図の図中の符号、Ｉ；実施例１の特性曲線
、Ｉｊ実施例２の特性曲線、■；従来のアルミニウム活
性層をもつ素子の特性曲線。
Claims (1)
- １ チタン又はタンタル等のバルブ金属にアルミニウム
膜を付着し、バルブ金属を陽極として、シュウ酸、硫酸
あるいはクロム酸等の電解液中で陽極酸化を行って作製
した、活性層を持たないことを特徴とするアルミニウム
の陽極酸化皮膜を使用した含湿量検出素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51083507A JPS584441B2 (ja) | 1976-07-15 | 1976-07-15 | アルミニウムの陽極酸化皮膜を使用した含湿量検出素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51083507A JPS584441B2 (ja) | 1976-07-15 | 1976-07-15 | アルミニウムの陽極酸化皮膜を使用した含湿量検出素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS539595A JPS539595A (en) | 1978-01-28 |
| JPS584441B2 true JPS584441B2 (ja) | 1983-01-26 |
Family
ID=13804385
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP51083507A Expired JPS584441B2 (ja) | 1976-07-15 | 1976-07-15 | アルミニウムの陽極酸化皮膜を使用した含湿量検出素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS584441B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0675470B2 (ja) * | 1986-05-19 | 1994-09-28 | 長谷川香料株式会社 | コ−ヒ−抽出液の品質劣化防止方法 |
| US20260009774A1 (en) * | 2024-07-04 | 2026-01-08 | Microchip Technology Incorporated | Sensor including an anodized porous layer and method of forming a sensor |
-
1976
- 1976-07-15 JP JP51083507A patent/JPS584441B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS539595A (en) | 1978-01-28 |
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