JPS5850403B2 - トリミング方法及びその装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は薄膜あるいは厚膜抵抗を回路の電気的な機能特
性に応じて自動的にトリミングする方法及びその装置に
関するものである。

従来、薄膜、厚膜抵抗を電気特性に応じてトリミングす
る場合、対象とする特性は抵抗値などのＤＣ特性が主体
であり、ＡＣ特性でも交流の実効電圧あるいは周波数な
どの静特性であった。

このため複雑な波形上の点のレベルや時間関係を測定し
て行なう動的な機能トリミングについては対象物に応じ
てその都度専用の測定および制御系を開発する必要があ
り、多大な開発工数が問題となっている。

本発明の目的は上記した従来の欠点をなくし、トリミン
グ精度を向上させ、品種変更に対するフレキシビリティ
に富んだトリミング方法及びその装置を提供するにある
。

即ち本発明はこのため供給試験信号群、薄膜あるいは厚
膜回路のテスト端子からの入力信号群を互いに独立させ
各群内の選択が他とは無関係に自由に設定可能とした。

さらにテスト信号の波形上での特性値を測定してトリミ
ングするため、波形をサンプリングして記憶する方式な
どの波形記憶器を共通化して設け、この記憶内容を小形
コンピュータで分析判定し、所定量だけトリミングを行
ない、基準特性値になる迄トリミングをくり返す方式に
した。

これにより、対象とする特性項目の変更に対し、制御デ
ータや特性規格値の変更あるいは必要に応じてトリミン
グ手順のプログラム変更で容易に対処できるようにした
。

以下本発明を一実施例に従ってさらに詳細に説明する。

第１図は本発明の一実施例であるレーザによるトリミン
グ装置の全体回路図、第２図は第１図の波形記憶器の内
部をさらに詳細に示す回路例、第３図は波形測定例、第
４図はソフトの処理例を示す。

まず、第１図で全体の構成と動作を説明する。

第１図で１はトリミング対象の厚膜モジュール、２は１
を固定するための試料台、３は１におけるテスト端子と
信号の送受を行なうプローブ、４は３のプローブを支え
るプローブ台である。

１３は試験信号群でその中には同期信号発生部１５を有
する試験信号発生器１４が必要な個数ある。

さらに１６は試験信号群１３の中から各トリミング項目
毎に必要な試験信号２８のみを選択する試験信号選択器
、１７は試験信号２８を複数の供給信号線２９の中の一
つに選択して供給する試験信号分配器、１８は複数の同
期信号２７の中から各トリミング項目毎に該当する一つ
の同期信号３３を選択する同期信号選択器、１９は複数
のテスト端子からの入力信号３０の中から着目する入力
信号３１を選択する入力信号選択器、２０は入力信号３
１に所定の帯域でフィルタをかける帯域でフィルタをか
ける帯域可変型の可変フィルタ、２１は入力波形３２を
同期信号３３に基づいてサンプリングし、各サンプリン
グ値を記憶する波形記憶器、６，８はレーザ発振器５か
らのレーザビームを１０のミラーを通して厚膜モジュー
ル１上のＸ、Ｙ方向に位置決めするそれぞれＸ軸ガルバ
ノメータ、Ｙ軸ガルバノメータで、これらの制御は１１
．１２のそれぞれＸガルバノメータコントローラ、Ｙガ
ルバノメータコントローラに指令を与えて７，９の各モ
ータを駆動して行なう。

２２は以上の各機器とマイクロコンピュータ２３とをイ
ンターフェースさせるインターフェース回路、２４はマ
イクロコンピュータ２３に制御データや操作指令を入力
させるコンソールである。

第１図の動作はまず厚膜モジュール１に指定の試験信号
２８を供給するため、試験信号群１３の試験信号発生器
１４の中から試験信号選択器１６で所定の試験信号２８
を選択する。

この選択を指示する試験信号選択指令３７はマイクロコ
ンピュータ２３からインターフェース回路２２を通して
試験信号選択器１６に与えられる。

各制御指令はこのようにマイクロコンピュータ２３、イ
ンターフェース回路２２を通して各機器に与えるので各
制御指令の与え方の説明は以下省略する。

次に選択された試験信号２８は供給信号線２９の所定の
ところへ試験信号分配器１７で分配指令３９により分配
され、所定の試験信号がプローブ３を通して厚膜モジュ
ール１の所定端子に供給されることになる。

一方、厚膜モジュール１からのテスト信号はプローブ３
および入力信号線３０を通して取込まれる。

入力信号線３０は測定ポイントの数だけあるが、これら
の中から所定の入力信号３１が入力信号選択器１９で４
０の選択指令により選択される。

この選択された入力信号３１は雑音成分を除くためある
いは所定の帯域外を抽出する場合などのために４１の指
令により可変フィルタ２０でろ波される。

可変フィルタ２０を通った入力信号３２は波形記憶器２
１に所定の同期信号３３を基に指令４２で取込まれ、記
憶される。

この同期信号３３は試験信号群１３の各同期発生部１５
からの同期信号出力２７の中より選択指令２８により同
期信号選択器１８で選択される。

さて、記憶された波形の所定部分の内容は指令４２によ
り記憶出力３４を通してマイクロコンピュータ２３に取
込まれ、分析、判定される。

判定結果はレーザビームの移動量としてＸ、Ｙ軸の指令
データ３６．３５に出力され、Ｘガルバノメークコント
ローラ１１、Ｙガルバノメータコントローラ１２を通し
てモータ７．９を駆動しＸ軸ガルバノメータ、Ｙ軸ガル
バノメークを制御して、レーザビーム２５の位置決めを
行ないながらミラー１０を通して厚膜モジュール１上の
所定の抵抗をトリミングする。

以上が一連の動作で、所要の基準値内に特性値が収まる
までこの動作をくり返すことになる。

なお、コンソール２４は前述の各種指令データや、操作
指令をマイクロコンピュータ２３に入力させる時などに
使用するものである。

ここで、第１図の中から波形記憶器２１についてその内
部回路例を第２図でさらに詳しく説明する。

第２図で４３は減衰量が可変できる可変減衰器、４４は
サンプルホールド回路で出力はＡ／Ｄ変換器４５でデジ
タル化される。

４７．４８はそれぞれ同期信号３３、スタート指令５５
を貯えるラッチ回路で４９はラッチ回路４７．４８の出
力とサンプルクロック発生器５２を分周回路５３で分周
したサンプルクロック６５とを論理積するアンドゲート
回路、５１はサンプル期間をカウントするカウンタ、４
６はサンプルタイミング回路５０からのタイミング６９
でＡ／Ｄ変換器４５の出力６１を順次シフトしながら記
憶していくシフト型のメモリで、メモリ内容の読出しは
５８の指令で任意の番地の内容を３４の出力に取出すこ
とができる。

第２図の動作を説明すると入力信号３２は５４の減衰量
の指定だけ可変減衰器４３で減衰されレベル合わせされ
る。

その後はサンプルクロック６６からサンプルタイミング
回路５０で作成されたそれぞれのサンプリングタイミン
グ指令６７゜６８．６９により４４でサンプルホールド
、４５でＡ／Ｄ変換され、４６に結果６１を順次記憶し
ていく。

一方このサンプルクロック６６はサンプルクロック発生
器５２の出力を指令５７により分周回路５３で所定のク
ロックレートのクロック６５にして、スタート指令５５
及び同期信号３３がそれぞれ来たことを示すラッチ回路
４８，４７の出力６３，６２と共にアンドゲート回路４
９を通すことで作成され、スタート指令５５と同期信号
３３が来てからサンプルクロック６６が発生されるよう
にしである。

また、５６の指令であらかじめプリセットされたカウン
タ５１をサスプルクロック６６で減進させ、零はなった
時の出カフ０でラッチ回路、４７．４８をリセットする
ことでサンプルクロック６６のサンプル数も外部より指
定できる。

以上の動作でこの波形記憶器２１においは同期信号３３
より指定のクロックレートで指定のサンプル数だけ入力
信号３２をサンプリングしそのサンプリング値を記憶す
ることができ、その内容を３４から取出すことで融通性
のある分析ができる。

以上、本発明を具体化回路例で説明したが、さらに有効
性を説明するために、ソフトウェアによる処理例につい
て述べる。

第３図は測定対象の波形例を示し、第４図は処理フロー
例を示す。

第３図は入力波形３２のクリップレベル比を求める時の
波形例で、（ｖｔ ｖｏ）間の゛レベルＶＴに対する
ピークレベルυ２と０１間のレベルＶＣの比で求められ
る。

この比を求める処理フローが第４図Ａである。

第４図Ａではまず波形３２の０〜ｔｏ間のサンプリング
した各レベルを平均してＶｏを求めると共に同様にして
ｔ３〜ｔ４間のレベルからｖｌを求める。

次に（ｖｌ−ｖｏ）からＶＴを求めさらにｔ】〜ｔ２間
の最大レベルｖ２より（Ｖ２−ｖｌ）を算出しＶＣを求
めＶＣ／ＶＴを算出する。

一方、この測定値算出法でトリミングを行なう処理フロ
ー例が第４図Ｂである。

第４図Ｂで７１は各種の制御データを示し、例えばマイ
クロコンピュータ２３内の一定のメモリ領域に貯えがお
く。

以下このデータと処理フローとを対応させて第４図Ｂを
説明する。

まず、前述したように厚膜モジュール１に所定の試験信
号を与えるため、信号源データと信号分配データから供
給信号を選択する。

次に入力信号３２を入力信号データにより、また同期信
号を同期信号データによりそれぞれ選択する。

このように信号系を選択した後、波形取込データを基に
波形を記憶させる。

その後は第４図Ａのような測定値の算出を行ない、トリ
ミング基準値のデータと比較し基準値内かを判定する。

結果が基準値内であればトリミング作業は終了するが、
基準値外の場合にはその結果よりトリミング量を求め、
トリミング位置データに該当する抵抗を指定量だけトリ
ミングする。

トリミングした後は入力信号が変化するので又波形取込
、測定を行ない、以下この動作をくり返すことで自動的
にトリミング作業ができる。

なお、引用した実施例では波形記憶が１チヤンネルにつ
いて行なわれているが、これを２チヤンネル以上にする
ことで複数の波形間での相関値でのトリミングも可能で
、さらに融通性のあるトリミング装置にすることもでき
る。

以上述べたように本発明によれば波形全体を一度記憶さ
せた後に小形コンピュータで分析、判定しトリミング量
を算出すると共に試験信号、入力信号などを互いに独立
して制御させることが可能なため、機種変更に対して制
御データ、トリミング基準値など全てデータで対処でき
フレキシブル性に富みかつ波形処理可能なトリミング装
置が得られることになる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるトリミング装置の一実施例を示す
全体構成図、第２図は第１図に示す波形記憶器の内部回
路を示す図、第３図は測定波形を示す図、第４図は第１
図に示す小形コンピュータ内での処理フローを示す図で
ある。 符号の説明、１・・・・・・厚膜モジュール、２・・・
・・・試斜台、３・・・・・・プローグ、５・・・・・
・レーザ発振器、６・・・・・・Ｘ軸ガルバノメータ、
８・・・・・・Ｙ軸ガルバノメータ、１１・・・・・・
Ｘガルバノメータコントローラ、１２・・・・・・Ｙガ
ルバノメークコントローラ、１４・・・・・・試験信号
発生器、１６・・・・・・試験信号選択器、１７・・・
・・・試験信号分配器、１８・・・・・・同期信号撰択
器、２１・・・・・・波形記憶器、２２・・・・・・イ
ンターフェース回路、２３・・・・・・マイクロコンピ
ュータ、２４・・・・・・コンソール。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 被トリミング物に所定の試験信号を選択して与え、
   被トリミング物から得られる特性波形を測定して記憶手
   段に記憶し、この記憶された内容を計算手段によって分
   析して測定値を算出してこの算出された測定値からトリ
   ミング量を算出し、この算出されたトリミング量にもと
   づいてトリミング手段を制御して被トリミング物の特性
   が所定の基準値内になるまでトリミングを繰返すことを
   特徴とするトリミング方法。 ２ 被トリミング物に複数の試験信号を供給する試験信
   号発生器と、上記試験信号発生器から供給される試験信
   号の中から各々任意に所定の信号を選択する手段と、被
   トリミング物からの複数の被測定信号を選択して取込み
   、その信号を指定の同期信号と指定のクロックレートで
   波形記憶する手段と、該波形記憶手段の内容を分析し、
   夫々測定値を算出すると共に夫々の測定値からトリミン
   グ量を算出し外部へ出力する手段と、出力されたトリミ
   ング量により指定量だけトリミングを行なう手段とを備
   え、被トリミング物の電気特性が所定の基準値内になる
   ようにトリミングを行なうことを特徴とするトリミング
   装置。