JPS5917364B2 - 光学式あらさ測定方法 - Google Patents
光学式あらさ測定方法Info
- Publication number
- JPS5917364B2 JPS5917364B2 JP50022645A JP2264575A JPS5917364B2 JP S5917364 B2 JPS5917364 B2 JP S5917364B2 JP 50022645 A JP50022645 A JP 50022645A JP 2264575 A JP2264575 A JP 2264575A JP S5917364 B2 JPS5917364 B2 JP S5917364B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measured
- roughness
- group
- light
- optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、オプチカル・ファイバを用いた面のあらさの
光学式測定方法に関するものであり、さらに詳しくは面
の反射率による影響を除去したあらさの光学式測定方法
に関するものである。
光学式測定方法に関するものであり、さらに詳しくは面
の反射率による影響を除去したあらさの光学式測定方法
に関するものである。
オプチカル・ファイバを通して被測定面に光をあてると
、被測定面のあらさに応じて反射光の光量が変化するた
め、その光量の測定により面のあらさを求めることがで
きるが、被測定面を形成する材料によつて反射率が相違
するため、この反射率の影響を除去しなければならない
。本発明は、簡単な手段によりその反射率の影響を補正
して面のあらさを測定できるようにした方法を提供しよ
うとするものであつて、入射用ファイバ群と受光用ファ
イバ群とからなるオプチカル・ファイバの端面を被測定
面に対向させ、このオプチカル・ファイバを被測定面に
垂直に配置した場合と傾斜させて配置した場合について
、入射用ファイバ群を通して被測定面に投射した光の反
射光を受光用ファイバ群を通して光電素子より受光し、
それぞれの場合の光電出力の特性の差異に基づいて被測
定面を形成する材料の反射率の影響を除去してあらさを
求めることを特徴とするものである。
、被測定面のあらさに応じて反射光の光量が変化するた
め、その光量の測定により面のあらさを求めることがで
きるが、被測定面を形成する材料によつて反射率が相違
するため、この反射率の影響を除去しなければならない
。本発明は、簡単な手段によりその反射率の影響を補正
して面のあらさを測定できるようにした方法を提供しよ
うとするものであつて、入射用ファイバ群と受光用ファ
イバ群とからなるオプチカル・ファイバの端面を被測定
面に対向させ、このオプチカル・ファイバを被測定面に
垂直に配置した場合と傾斜させて配置した場合について
、入射用ファイバ群を通して被測定面に投射した光の反
射光を受光用ファイバ群を通して光電素子より受光し、
それぞれの場合の光電出力の特性の差異に基づいて被測
定面を形成する材料の反射率の影響を除去してあらさを
求めることを特徴とするものである。
図面を参照して本発明の方法について詳述すると、第１
図に示すように、まず、被測定面１に対して、入射用フ
ァイバ群２ａと受光用ファイバ群２ｂとを結束してなる
オプチカル・ファイバ２を垂直（θ＝０）に配置してそ
の端面を対向させ、入射用ファイバ群２ａの他端に対向
させた光源３からの光をその入射用ファイバ群２ａを通
して被測定面１に投射し、被測定面における反射光を受
光用ファイバ群２ｂを通して光電素子４で受光すると、
第２図ａの実験例に示すように、被測定面のあらさに応
じて変化する光電出力を得ることができる。さらに、第
１図に鎖線で示すように、被測定面１に対してオプチカ
ル・ファイバ２を適当な角度θだけ傾斜させて、同様に
被測定面からの反射光を光電素子４において受光すると
、第２図をに示すように被測定面のあらさに応じて変化
する光電出力を得ることができる。
図に示すように、まず、被測定面１に対して、入射用フ
ァイバ群２ａと受光用ファイバ群２ｂとを結束してなる
オプチカル・ファイバ２を垂直（θ＝０）に配置してそ
の端面を対向させ、入射用ファイバ群２ａの他端に対向
させた光源３からの光をその入射用ファイバ群２ａを通
して被測定面１に投射し、被測定面における反射光を受
光用ファイバ群２ｂを通して光電素子４で受光すると、
第２図ａの実験例に示すように、被測定面のあらさに応
じて変化する光電出力を得ることができる。さらに、第
１図に鎖線で示すように、被測定面１に対してオプチカ
ル・ファイバ２を適当な角度θだけ傾斜させて、同様に
被測定面からの反射光を光電素子４において受光すると
、第２図をに示すように被測定面のあらさに応じて変化
する光電出力を得ることができる。
なお、第２図ａ、ｂにおける横軸はオプチカル・ファイ
バの端面と被測定面との間のクリアランスを示している
。このような測定結果かられかるように、オプチカル・
フアイバ２を被測定面１に垂直に配置した場合の光電出
力は、被測定面のあらさがすぐれている程大きい出力を
示し、またオプチカル・フアイバ２を被測定面１に傾斜
させて配置した場合には、逆に被測定面のあらさがすぐ
れている程小さい出力を示しており、両光電出力は被測
定面のあらさをあられすものとすることができるが、被
測定面を形成する材料特有の反射率の影響を含み、その
出力特性を異にしているため、両光電出力の比をとるこ
とにより材料の反射率による影響を消去した被測定面の
あらさを求めることができる。
バの端面と被測定面との間のクリアランスを示している
。このような測定結果かられかるように、オプチカル・
フアイバ２を被測定面１に垂直に配置した場合の光電出
力は、被測定面のあらさがすぐれている程大きい出力を
示し、またオプチカル・フアイバ２を被測定面１に傾斜
させて配置した場合には、逆に被測定面のあらさがすぐ
れている程小さい出力を示しており、両光電出力は被測
定面のあらさをあられすものとすることができるが、被
測定面を形成する材料特有の反射率の影響を含み、その
出力特性を異にしているため、両光電出力の比をとるこ
とにより材料の反射率による影響を消去した被測定面の
あらさを求めることができる。
すなわち、第３図はあらさを横軸にして上記両光電出力
の比をとつたものであるが、その比（Ｖθ＝０７Ｖθ＝
１５つ）の値は反射率が相違する材料（ＳＵＳ、および
Ｓ５５Ｃ）についても、反射率の影響が消去されて同一
直線上に位置している。従つて、測定系の特性を予め調
べておくことにより、被測定面だけから直接的に反射率
補正したあらさを測定することができる。このように、
本発明の方法によれば、被測定面に非接触の光学式あら
さ測定法において、オプチカル・フアイバを被測定面に
対して垂直に配置した場合と傾斜させて配置した場合の
反射光入光量を測定するという極めて簡単な手段により
材料の反射率の影響を補正した被測定面のあらさを求め
ることができる。
の比をとつたものであるが、その比（Ｖθ＝０７Ｖθ＝
１５つ）の値は反射率が相違する材料（ＳＵＳ、および
Ｓ５５Ｃ）についても、反射率の影響が消去されて同一
直線上に位置している。従つて、測定系の特性を予め調
べておくことにより、被測定面だけから直接的に反射率
補正したあらさを測定することができる。このように、
本発明の方法によれば、被測定面に非接触の光学式あら
さ測定法において、オプチカル・フアイバを被測定面に
対して垂直に配置した場合と傾斜させて配置した場合の
反射光入光量を測定するという極めて簡単な手段により
材料の反射率の影響を補正した被測定面のあらさを求め
ることができる。
第１図は本発明の実施の態様についての説明図、第２図
Ａ，ｂおよび第３図は実験結果を示す線図である。 １・・・・・・被測定面、２・・・・・・オプチカル・
フアイバ、２ａ・・・・・・入射用フアイバ群、２ｂ・
・・・・・受光用フアイバ群、３・・・・・・光源、４
・・・・・・光電素子。
Ａ，ｂおよび第３図は実験結果を示す線図である。 １・・・・・・被測定面、２・・・・・・オプチカル・
フアイバ、２ａ・・・・・・入射用フアイバ群、２ｂ・
・・・・・受光用フアイバ群、３・・・・・・光源、４
・・・・・・光電素子。
Claims (1)
- １ 入射用ファイバ群と受光用ファイバ群とを結束して
なるオプチカル・ファイバの端面を被測定面に対向させ
、このオプチカル・ファイバを被測定面に垂直に配置し
た場合と傾斜させて配置した場合について、入射用ファ
イバ群を通して被測定面に投射した光の投射側への反射
光を受光用ファイバ群を通して光電素子により受光し、
それぞれの場合の光電出力の比をとることにより被測定
面を形成する材料の反射率の影響を除去したあらさを求
めることを特徴とする光学式あらさ測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50022645A JPS5917364B2 (ja) | 1975-02-24 | 1975-02-24 | 光学式あらさ測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50022645A JPS5917364B2 (ja) | 1975-02-24 | 1975-02-24 | 光学式あらさ測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5197459A JPS5197459A (ja) | 1976-08-27 |
| JPS5917364B2 true JPS5917364B2 (ja) | 1984-04-20 |
Family
ID=12088573
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP50022645A Expired JPS5917364B2 (ja) | 1975-02-24 | 1975-02-24 | 光学式あらさ測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5917364B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2648024B2 (ja) * | 1990-12-14 | 1997-08-27 | 三洋電機株式会社 | ドラム式洗濯機 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS451060Y1 (ja) * | 1969-03-06 | 1970-01-19 | ||
| JPS4926671U (ja) * | 1972-06-09 | 1974-03-07 |
-
1975
- 1975-02-24 JP JP50022645A patent/JPS5917364B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5197459A (ja) | 1976-08-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4079252A (en) | Photoelectric grating displacement measuring apparatus | |
| JPH0363001B2 (ja) | ||
| CN111780691B (zh) | 自定心激光角度测量系统 | |
| JPS5917364B2 (ja) | 光学式あらさ測定方法 | |
| JPS6312242B2 (ja) | ||
| US5383025A (en) | Optical surface flatness measurement apparatus | |
| JP2003254708A (ja) | 補正値測定方法 | |
| JPH061175B2 (ja) | リード曲り検出装置 | |
| JPH0635147Y2 (ja) | 光検出器 | |
| JPS5819528A (ja) | 光圧力センサ | |
| JPS59206802A (ja) | 光フアイバセンサ | |
| JP2990309B2 (ja) | 差動型干渉測長計の補正係数測定用光学部材 | |
| JPH0314648Y2 (ja) | ||
| JP3650974B2 (ja) | 光学式センサ装置 | |
| JPS54133180A (en) | Reflectance measuring apparatus | |
| SU932226A1 (ru) | Устройство дл измерени малых угловых смещений источника когерентного излучени | |
| JPH071208B2 (ja) | 光ファイバ圧力センサ | |
| JPH0559217U (ja) | シート状物質オンライン測定装置 | |
| JPS63113301A (ja) | 非接触変位測定方法 | |
| JPH0399222A (ja) | エンコーダ | |
| JPS6280539A (ja) | 光学的測定装置 | |
| JPH0436629A (ja) | 走査光学系におけるビーム形状測定装置 | |
| JPH05164989A (ja) | 形状計測における光量分布均一化方法 | |
| JPH08166322A (ja) | リターンロス測定方法及びその装置 | |
| JPS6222530U (ja) |