JPS6037638B2 - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
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- JPS6037638B2 JPS6037638B2 JP11007880A JP11007880A JPS6037638B2 JP S6037638 B2 JPS6037638 B2 JP S6037638B2 JP 11007880 A JP11007880 A JP 11007880A JP 11007880 A JP11007880 A JP 11007880A JP S6037638 B2 JPS6037638 B2 JP S6037638B2
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Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/09705—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser with particular means for stabilising the discharge
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明はガスレーザ装置に関し、特にレーザ出力を安定
化させるためにガスレーザ管の放電電流を定電流制御す
る定電流制御回路を具備するガスレーザ装置に関する。
化させるためにガスレーザ管の放電電流を定電流制御す
る定電流制御回路を具備するガスレーザ装置に関する。
レーザはその多くの用途のうえで出力の安定化が要求さ
れる場合が多い、レーザ出力の変動は、放電電流の変化
によって起る場合が多く、特にアルゴンレーザ、クリプ
トンレーザ等のィオンレ−ザにあっては、レーザ出力は
放電電流の２〜４乗に比例して変動するため、放電電流
の安定化は不可欠である。ガスレーザ管の放電電流を定
電流制御するには、基準電圧発生器の基準電圧Ｖｓ，と
放電電流によって生ずる電流検出抵抗両端電圧Ｖ，Ｎの
差電圧信号を制御素子に加えて放電電流が一定になるよ
う制御する。すなわち、前記の定電流制御状態では、入
力電源電圧の上昇やガスレーザ管の放電電圧の下降によ
って、電流制御素子の負担電圧や増加し、電流制御素子
の負担電圧が増加し電流制御素子の耐圧や出力容量超過
による破壊が起こる。０ 従来この種のガスレーザ装置
では、第１図に示すように入力電源電流が過大となった
時、プレイカー２８によって主直流電源１の入力を遮断
する方式を用いていたため、電流制御素子２の耐圧力出
力容量超過による破壊は防ぐことはできなかった。
れる場合が多い、レーザ出力の変動は、放電電流の変化
によって起る場合が多く、特にアルゴンレーザ、クリプ
トンレーザ等のィオンレ−ザにあっては、レーザ出力は
放電電流の２〜４乗に比例して変動するため、放電電流
の安定化は不可欠である。ガスレーザ管の放電電流を定
電流制御するには、基準電圧発生器の基準電圧Ｖｓ，と
放電電流によって生ずる電流検出抵抗両端電圧Ｖ，Ｎの
差電圧信号を制御素子に加えて放電電流が一定になるよ
う制御する。すなわち、前記の定電流制御状態では、入
力電源電圧の上昇やガスレーザ管の放電電圧の下降によ
って、電流制御素子の負担電圧や増加し、電流制御素子
の負担電圧が増加し電流制御素子の耐圧や出力容量超過
による破壊が起こる。０ 従来この種のガスレーザ装置
では、第１図に示すように入力電源電流が過大となった
時、プレイカー２８によって主直流電源１の入力を遮断
する方式を用いていたため、電流制御素子２の耐圧力出
力容量超過による破壊は防ぐことはできなかった。
本発明の目的は、定電流制御回路の電流制御素子の耐圧
や出力容量による破壊を防ぐための保護回路を具備する
ガスレーザ装置を提供することにある。
や出力容量による破壊を防ぐための保護回路を具備する
ガスレーザ装置を提供することにある。
本発明は、ガスレーザ管と、このレーザ管を放電させる
電力を供給するための２組の直列に接続された整流回路
と、レーザ管の放電電流回路に挿入された第１の電流検
出低抗の出力電圧と基準電圧発生器からの基準電圧を入
力とする第１の比較増幅器と、放電電流回路に挿入され
第１の比較増幅器の出力により制御される定電流素子と
を具備するガスレーザ装置において、２組の直列に接続
された整流回路の中点と定電流素子出力端との間に逆流
防止用のダイオードを介して接続された第２の電流検出
抵抗と、第２の電流検出抵抗の出力電圧と基準電圧発生
器からの基準電圧を入力とする第２の比較増幅器と、第
２の比較増幅器の出力により整流回路の入力を切断する
手段とを具備したことを特徴とする。
電力を供給するための２組の直列に接続された整流回路
と、レーザ管の放電電流回路に挿入された第１の電流検
出低抗の出力電圧と基準電圧発生器からの基準電圧を入
力とする第１の比較増幅器と、放電電流回路に挿入され
第１の比較増幅器の出力により制御される定電流素子と
を具備するガスレーザ装置において、２組の直列に接続
された整流回路の中点と定電流素子出力端との間に逆流
防止用のダイオードを介して接続された第２の電流検出
抵抗と、第２の電流検出抵抗の出力電圧と基準電圧発生
器からの基準電圧を入力とする第２の比較増幅器と、第
２の比較増幅器の出力により整流回路の入力を切断する
手段とを具備したことを特徴とする。
以下第２図の実施例について本発明を具体的に説明する
。
。
図の整流回路１９の（十）側を電流制御用トランジスタ
２、電流検出抵抗３を通してガスレーザ管のアノード９
に接続し、整流回路１９の（一）側を整流回路２０、ト
リガ回路１４、トランス１５のヒータ差線１６を通して
レーザ管４のカソード８に接続する。
２、電流検出抵抗３を通してガスレーザ管のアノード９
に接続し、整流回路１９の（一）側を整流回路２０、ト
リガ回路１４、トランス１５のヒータ差線１６を通して
レーザ管４のカソード８に接続する。
また整流回路１９の（一）側と整流回路２０の（十）側
との接続点にダイオード２５のアノード側を電流検出抵
抗２６を通して電流制御用トランジスタ２のェミッタに
接続する。定電流制御状態では、基準電圧発生器７の基
準電圧Ｖｓｌと電流検出抵抗３の出力電圧ＶＩＮとの差
電圧を第１の比較増幅器６の増幅し、電流制御用トラン
ジスタ２のベースに供給し、差電圧が川こなるように制
御している。ここでレーザ管４のアノード９、カソード
８間の放電電圧が下降や入力電源電圧の上昇等で、電流
制御用トランジスタ２の負担電圧ＶＴＲが整流回路１９
の出力電圧Ｖｏｌより大きくなると、ダイオード２５は
ＯＮとなり、電流検出抵抗２６，３を通して放電電流は
流れ電流制御用トランジスタ２には電流は流れなくなり
電流検出抵抗２６の出力電圧Ｖ。は第２の比較増幅器１
０で増幅され、切断回路１２に加えられ、開閉器１３を
開き整流回路１９，２０の出力電源を断つ。よって、整
流回路１９の出力電圧Ｖ。
との接続点にダイオード２５のアノード側を電流検出抵
抗２６を通して電流制御用トランジスタ２のェミッタに
接続する。定電流制御状態では、基準電圧発生器７の基
準電圧Ｖｓｌと電流検出抵抗３の出力電圧ＶＩＮとの差
電圧を第１の比較増幅器６の増幅し、電流制御用トラン
ジスタ２のベースに供給し、差電圧が川こなるように制
御している。ここでレーザ管４のアノード９、カソード
８間の放電電圧が下降や入力電源電圧の上昇等で、電流
制御用トランジスタ２の負担電圧ＶＴＲが整流回路１９
の出力電圧Ｖｏｌより大きくなると、ダイオード２５は
ＯＮとなり、電流検出抵抗２６，３を通して放電電流は
流れ電流制御用トランジスタ２には電流は流れなくなり
電流検出抵抗２６の出力電圧Ｖ。は第２の比較増幅器１
０で増幅され、切断回路１２に加えられ、開閉器１３を
開き整流回路１９，２０の出力電源を断つ。よって、整
流回路１９の出力電圧Ｖ。
，を電流制御用トランジスタ２の負担許容電圧以下に設
定しておくことにより、電流制御用トランジスタ２の負
担電圧上昇と放電電流による耐圧、出力容量超過による
破壊を防止し、整流回路１９，２０の破壊をも防止する
。またトランス１５を使用せず、整流回路１９の出力電
圧Ｖｏ，が電流制御用トランジスタ２の負担電圧以下に
なるような設計でも、抵抗２３を分圧抵抗として使用し
、抵抗２３の中間点をダイオード２５のアノードに接続
する方法も本発明に含まれる。
定しておくことにより、電流制御用トランジスタ２の負
担電圧上昇と放電電流による耐圧、出力容量超過による
破壊を防止し、整流回路１９，２０の破壊をも防止する
。またトランス１５を使用せず、整流回路１９の出力電
圧Ｖｏ，が電流制御用トランジスタ２の負担電圧以下に
なるような設計でも、抵抗２３を分圧抵抗として使用し
、抵抗２３の中間点をダイオード２５のアノードに接続
する方法も本発明に含まれる。
第１図は従来のガスレーザ装置を示すブロック図、第２
図は本発明の一実施例を示すブロック図である。 １・・…・主直流電源、２・・・・・・電流制御素子（
電流制御用トランジスタ）、３，２６・・・…電流検出
抵抗、４・・・・・・し−ザ管、５，５′・・・・・・
光共振器、６・・・・・・第１の比較増幅器、７・・・
・・・基準電圧発生器、８・・・・・・カソード、９・
・・・・・アノード、１１…・・・基準電圧発生器、１
０・・・・・・第２の比較増幅器、１２・・・・・・切
断回路、１３・・・・・・開閉器、１４・・・・・・ト
リガ回路、１５・・・・・・電源トランス、１６……ヒ
ータ巻線、１７，１８・・・・・・２次巻線、１９，２
０・・・・・・整流回路、２１，２２・・・・・・平滑
コンデンサ、２３，２４……抵抗、２５…・・・ダイオ
ード、２７，２７′，２７″・・・・・・一次巻線、２
８・・・・・・プレイカー。 球ノ図茅２図
図は本発明の一実施例を示すブロック図である。 １・・…・主直流電源、２・・・・・・電流制御素子（
電流制御用トランジスタ）、３，２６・・・…電流検出
抵抗、４・・・・・・し−ザ管、５，５′・・・・・・
光共振器、６・・・・・・第１の比較増幅器、７・・・
・・・基準電圧発生器、８・・・・・・カソード、９・
・・・・・アノード、１１…・・・基準電圧発生器、１
０・・・・・・第２の比較増幅器、１２・・・・・・切
断回路、１３・・・・・・開閉器、１４・・・・・・ト
リガ回路、１５・・・・・・電源トランス、１６……ヒ
ータ巻線、１７，１８・・・・・・２次巻線、１９，２
０・・・・・・整流回路、２１，２２・・・・・・平滑
コンデンサ、２３，２４……抵抗、２５…・・・ダイオ
ード、２７，２７′，２７″・・・・・・一次巻線、２
８・・・・・・プレイカー。 球ノ図茅２図
Claims (1)
- １ ガスレーザ管と、このレーザ管を放電させる電力を
供給するための２組の直列に接続された整流回路と、前
記レーザ管の放電電流回路に挿入された第１の電流検出
低抗の出力電圧と基準電圧発生器からの基準電圧を出力
とする第１の比較増幅器と、前記放電電流回路に挿入さ
れ前記第１の比較増幅器の出力により制御される定電流
素子とを具備するガスレーザ装置において、前記２組の
直列に接続された整流回路の中点と前記定電流素子出力
端との間に逆流防止用のダイオードを介して接続された
第２の電流検出抵抗と、第２の電流検出抵抗の出力電圧
と基準電圧発生器からの基準電圧を入力とする第２の比
較増幅器と、前記第２の比較増幅器の出力により前記整
流回路の入力を切断する手段とを具備したことを特徴と
するガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11007880A JPS6037638B2 (ja) | 1980-08-11 | 1980-08-11 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11007880A JPS6037638B2 (ja) | 1980-08-11 | 1980-08-11 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5735390A JPS5735390A (en) | 1982-02-25 |
| JPS6037638B2 true JPS6037638B2 (ja) | 1985-08-27 |
Family
ID=14526468
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11007880A Expired JPS6037638B2 (ja) | 1980-08-11 | 1980-08-11 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6037638B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02145340U (ja) * | 1989-05-11 | 1990-12-10 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0682875B2 (ja) * | 1986-10-15 | 1994-10-19 | フアナツク株式会社 | 高周波放電励起レ−ザ装置 |
-
1980
- 1980-08-11 JP JP11007880A patent/JPS6037638B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02145340U (ja) * | 1989-05-11 | 1990-12-10 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5735390A (en) | 1982-02-25 |
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