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JPS6038798B2 - Non-volatile semiconductor memory circuit - Google Patents
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JPS6038798B2 - Non-volatile semiconductor memory circuit - Google Patents

Non-volatile semiconductor memory circuit

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Publication number
JPS6038798B2
JPS6038798B2 JP56211398A JP21139881A JPS6038798B2 JP S6038798 B2 JPS6038798 B2 JP S6038798B2 JP 56211398 A JP56211398 A JP 56211398A JP 21139881 A JP21139881 A JP 21139881A JP S6038798 B2 JPS6038798 B2 JP S6038798B2
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JP
Japan
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control gate
semiconductor memory
voltage
memory circuit
transistor
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秀貴 荒川
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Fujitsu Ltd
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C16/00Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/06Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
    • G11C16/26Sensing or reading circuits; Data output circuits
    • G11C16/28Sensing or reading circuits; Data output circuits using differential sensing or reference cells, e.g. dummy cells

Landscapes

  • Read Only Memory (AREA)
  • Semiconductor Memories (AREA)
  • Non-Volatile Memory (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 ‘1〕 発明の技術分野 本発明は不揮発性半導体メモリ回路、特にEEPROM
(Electric Erasable Progra
mmableRead−OnlyMemory)回路に
関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION '1] Technical field of the invention The present invention relates to a non-volatile semiconductor memory circuit, particularly an EEPROM.
(Electric Erasable Progra
The present invention relates to a mmableRead-OnlyMemory) circuit.

■ 技術の背景近年、電気的に書込み・消去可能な不揮
発性半導体メモリ回路が多用され出している。
■Technical Background In recent years, electrically programmable and erasable nonvolatile semiconductor memory circuits have come into widespread use.

これは紫外線を用いる等の不便が無いからである。その
構造断面図を第3図に示す。SUBは基板、S,Dはソ
ース、ドレィン領域,1は絶縁膜、FG,CGはフロー
テイングゲート,コントロールゲートである。その書込
み、消去の原理は、いわゆるトンネル効果であり、メモ
リセルを構成するMOSトランジスタのフローテイング
ゲートFGとドレインD間に形成される薄膜1′よって
いる。このフローテイングゲートFG上にはさらにコン
デンサ結合するコントロールゲートCGが設けられ、こ
れらコントロールゲートCG,ドレィンD等に印加すべ
き電圧レベルを変えることにより、書込みモード,読出
しモード,消去モードを設定する。この場合、コントロ
ールゲートCGに印加する電圧、すなわち消去用電圧、
書込み用電圧および議出し用電圧は、後述する電圧発生
手段から発生する電圧がコントロールゲート選択用コラ
ム線を通して指定のMOSトランジスタセルのコントロ
ールゲートに印加される。不揮発性半導体メモリ回路に
おいて、該MOSトランジスタセルにコントロールゲー
ト電圧が如何に効率良く与えられるかは1つの重要な課
題である。‘3} 従来技術と問題真 第1図は一般的な不揮発性半導体メモリ回路の全体を示
す回路図である。
This is because there is no inconvenience such as using ultraviolet light. A sectional view of its structure is shown in FIG. SUB is a substrate, S and D are source and drain regions, 1 is an insulating film, and FG and CG are floating gates and control gates. The principle of writing and erasing is the so-called tunnel effect, which relies on a thin film 1' formed between the floating gate FG and drain D of the MOS transistor constituting the memory cell. A control gate CG coupled with a capacitor is further provided on the floating gate FG, and by changing the voltage level to be applied to the control gate CG, drain D, etc., write mode, read mode, and erase mode are set. In this case, the voltage applied to the control gate CG, that is, the erasing voltage,
As the write voltage and the read voltage, voltages generated from a voltage generating means to be described later are applied to the control gate of a designated MOS transistor cell through a control gate selection column line. In a nonvolatile semiconductor memory circuit, one important issue is how efficiently a control gate voltage can be applied to the MOS transistor cell. '3} Prior Art and Problems Figure 1 is a circuit diagram showing the entirety of a general nonvolatile semiconductor memory circuit.

不簾発性半導体メモリ回路10はバイアス回路部分11
を含む電圧発生手段20と、複数のコラム選択線12i
,12jとく2本のみ示す)、複数のロウ線13k,1
31(2本のみ示す)と、複数のビット線B,.,B2
,・・・88,単,,・・・B囚を具備する。このロウ
線13k,131とビット線B,…との交差部に第3図
に示すMOSトランジスター 4とそれを選択する選択
トランジスタ22のベアよりなるメモリセルが設けられ
ている。選択トランジスタ22はロウ線13k,131
とビット線B.・・・に接続され、記憶用のMOSトラ
ンジスター4は選択トランジスタ22と直列に接続され
、そのソースはソ−ス電位決定回路21に接続されてい
る。このメモリセルは8個を1つの単位(l byに)とし、各単位のコントロールゲートは、コラム
ゲートトランジスター5i,15j、コントロールゲー
ト選択用コラム線CGS及びロウコントロールゲート選
択トランジスター6kl,16k2,1611,161
2を介して電圧発生手段201こ接続される。
The non-blind semiconductor memory circuit 10 has a bias circuit portion 11
and a plurality of column selection lines 12i.
, 12j (only two are shown), a plurality of row wires 13k, 1
31 (only two shown) and a plurality of bit lines B, . ,B2
,...88, Single,...Equipped with B prisoners. At the intersections of the row lines 13k, 131 and the bit lines B, . . . , a memory cell consisting of a bare MOS transistor 4 and a selection transistor 22 for selecting the MOS transistor 4 shown in FIG. 3 is provided. The selection transistor 22 is connected to the row lines 13k, 131
and bit line B. . . , the storage MOS transistor 4 is connected in series with the selection transistor 22, and its source is connected to the source potential determining circuit 21. Eight memory cells constitute one unit (l by), and the control gates of each unit are column gate transistors 5i, 15j, column line CGS for control gate selection, and row control gate selection transistors 6kl, 16k2, 1611, 161
A voltage generating means 201 is connected through the terminal 2.

CL○,.・・・CL○,8,CLC2.・・・CLG
28はコラム選択トランジスタで、ビット線B,.…B
28を出力バス17(8ビットのバスを示す)に接続す
るトランジスタである。
CL○,. ...CL○, 8, CLC2. ...CLG
28 is a column selection transistor which connects bit lines B, . ...B
28 to the output bus 17 (an 8-bit bus is shown).

そして出力バス17にビット対応でセンスアンプ回路(
18inは入力部,1靴utは出力部)18(8ビット
のうち1ビットのみ示す)が設けられ、出力バッファ回
路19よりデータDoutが謙出される。書込み時には
所望のメモリセル群の選択トランジスタ22をオンにし
、電圧発生部20にて書込み信号Wが与えられ、トラン
ジスタQwをオンにして、接地電位GNDを発生する。
Then, output bus 17 has a bit-compatible sense amplifier circuit (
18 inches is an input section, and 1 inch is an output section) 18 (only 1 bit out of 8 bits is shown) is provided, and data Dout is output from an output buffer circuit 19. At the time of writing, the selection transistor 22 of a desired memory cell group is turned on, a write signal W is applied by the voltage generating section 20, the transistor Qw is turned on, and the ground potential GND is generated.

この電位はコラムゲートトランジスター5,コントロー
ルゲ−ト選択用コラム線COS,ロウコントロールゲー
ト選択トランジスター6を介して、指定のセル群(8ビ
ット毎)のコントロールゲートCGに印加される。消去
時には電圧発生部20‘こて消去信号Eが与えられ、ト
ランジスタQEをオンにして例えば20Vの電圧VPP
が発生し、それを同様に指定のセル群のコントロールゲ
ートCGに印加する。議出し時には電圧発生部2川こて
、読出し信号Rが与えられトランジスタQRをオンにし
、所定のバイアス電圧が発生し、それを該コントロール
ゲ−トCGに印加し、指定のセル群の8ビットの内容を
並列的に読み出す。ところで、上述した不揮発生半導体
メモリ回路には2つの問題点があった。
This potential is applied to the control gate CG of a designated cell group (every 8 bits) via the column gate transistor 5, the column line COS for control gate selection, and the row control gate selection transistor 6. At the time of erasing, the voltage generating section 20' is given the iron erasing signal E, turns on the transistor QE, and generates a voltage VPP of, for example, 20V.
is generated and similarly applied to the control gate CG of the designated cell group. At the time of data entry, the readout signal R is applied to the voltage generator unit 2, which turns on the transistor QR, generates a predetermined bias voltage, and applies it to the control gate CG to read out the 8 bits of the specified cell group. Read the contents of in parallel. By the way, the above-mentioned non-volatile semiconductor memory circuit has two problems.

‘1} 消去時における前記電圧VPP(例えば20V
)がMOSトランジスター 4のコントロールゲ−トC
Oにそっくりそのまま印加されず、例えば約18Vに低
下したレベルで印加される。
'1} The voltage VPP at the time of erasing (for example, 20V
) is the control gate C of MOS transistor 4
It is not applied exactly as O, but is applied at a reduced level, for example to about 18V.

このために、消去エラーを生ずることがあった。‘2)
議出し時の速度が遅い。
For this reason, erasure errors may occur. '2)
The speed of discussion is slow.

上記問題点の【1}および‘2)の要因は主としてェン
ハンスメント形のMOSトランジスタからなるコラムゲ
ートトランジスタ15,ロウコントロールゲート選択ト
ランジスタ16が用いられているからである。
The reason for the above problems (1) and '2) is that the column gate transistor 15 and the row control gate selection transistor 16, which are mainly enhancement type MOS transistors, are used.

エンハンスメント形であることから、ここを通過する消
去電圧(20V)は、同じ電圧が印加されるゲートの電
位よりそのスレッショルドレベル電圧Vtn(約IV)
分だけ減衰を受けることになる。これが上記問題点mを
引起す。又、これらの電圧発生手段20とコントロール
ゲートとの間のトランジスター5,16がェンハンスメ
ント形のMOSトランジスタからなることから、これら
を選択するための信号が各ゲートに与えられてからそれ
ぞれが完全にターンオンするまでの遅れ時間およびコン
トロールゲート容量等の充電時間が不可避であり、上記
問題点■を引起す。触 発明の目的 本発明は上記問題点に鑑み、消去電圧VPPの減衰が無
く且つ読出し速度を向上できる不揮発性半導体メモリ回
路を提案することを目的とするものである。
Since it is an enhancement type, the erase voltage (20V) that passes through this gate is lower than its threshold level voltage Vtn (approximately IV) than the potential of the gate to which the same voltage is applied.
It will be attenuated by that amount. This causes problem m mentioned above. Furthermore, since the transistors 5 and 16 between the voltage generating means 20 and the control gate are enhancement type MOS transistors, each of them is completely turned on after a signal for selecting them is applied to each gate. The delay time until the battery is fully charged and the charging time for the control gate capacity, etc., are unavoidable, giving rise to the above-mentioned problem (2). OBJECTS OF THE INVENTION In view of the above-mentioned problems, an object of the present invention is to propose a nonvolatile semiconductor memory circuit in which the erase voltage VPP is not attenuated and the read speed can be improved.

■ 発明の構成 上記目的を達成するために本発明は電圧発生手段20と
コントロールゲートCGとの間のコラムゲートトランジ
スタおよびoウコントロールゲ−ト選択トランジスタを
共にデプレッション(depletion)形MOSト
ランジスタで構成したことを特徴とするものである。
■Structure of the Invention In order to achieve the above object, the present invention comprises a column gate transistor and an o control gate selection transistor between the voltage generating means 20 and the control gate CG, both of which are depletion type MOS transistors. It is characterized by this.

‘6} 発明の実施例 本発明を図面に用いて説明する。'6} Examples of the invention The present invention will be explained using the drawings.

第2図は第1図において本発明を適用した部分のみを取
り出して示す回路図である。本図において第1図と同一
の構成要素には同一の参照番号(記号)を付して示す。
本図に示すとおり、第1図のェンハンスメント形MOS
トランジスタからなるコラムゲートトランジスター5i
,15jおよびロウコントロールゲート選択トランジス
ター6kl,16k2,1611,1612等はそれぞ
れデプレッション形MOSトランジスタ25i,25j
,26kl,26k2,2611,2612等に置き換
えられている。これらデプレッション形MOSトランジ
スタは通常約−2Vのスレッショルドレベル電圧Vth
を有しており、ノーマリオンの形になるから上記問題点
mは解消される。又、非選択のMOSトランジスター
4についてみると、例え非選択であってもそのコントロ
ールゲート電圧は既にトランジスタ45,26等のゲー
ト電位OVよりIVthl高い約2V程度上昇したレベ
ルに置かれる。そうすると実際に選択されるとき‘こは
、かなり充電が進んでいることから、完全に読出し状態
に至るまでに殆んど時間を要しない。これにより上記問
題点{2)‘ま解消される。(7} 発明の効果 以上説明したように本発明によれば消去電圧の減衰を伴
なわず且つ高速読出しに通した不揮発性半導体メモリ回
路が実現される。
FIG. 2 is a circuit diagram showing only the portion of FIG. 1 to which the present invention is applied. In this figure, the same components as in FIG. 1 are designated with the same reference numbers (symbols).
As shown in this diagram, the enhancement type MOS shown in Figure 1
Column gate transistor 5i consisting of transistors
, 15j and the row control gate selection transistors 6kl, 16k2, 1611, 1612, etc. are depletion type MOS transistors 25i, 25j, respectively.
, 26kl, 26k2, 2611, 2612, etc. These depletion type MOS transistors usually have a threshold level voltage Vth of about -2V.
Since it has a normally-on shape, the above-mentioned problem m is solved. Also, unselected MOS transistor
4, even if it is not selected, its control gate voltage is already set at a level that is approximately 2V higher than the gate potential OV of transistors 45, 26, etc. by IVthl. Then, when the battery is actually selected, since charging has progressed considerably, it takes almost no time to reach the read state completely. This solves the above problem {2). (7) Effects of the Invention As explained above, according to the present invention, a nonvolatile semiconductor memory circuit that does not involve attenuation of the erase voltage and is capable of high-speed reading is realized.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は一般的な不揮発性半導体メモリ回路の全体を示
す回路図、第2図は第1図において本発明を適用した部
分のみを取り出して示す回路図、第3図は従来のメモリ
セルのMOSトランジスタの断面図である。 10・・・不揮発性半導体メモリ回路、20・・・電圧
発生手段、12i,12i・・・コラム選択線、13k
,1 3 1・・・oウ線、1 4・・・MOSトラン
ジスタ、25i,25i…コラムゲートトランジスタ、
26kl,26k2,2611,2612…ロウコント
ロールゲート選択トランジスタ、FG…フローテイング
ゲート、CG・・・コントロールゲート。 第2図 第1図 第3図
Figure 1 is a circuit diagram showing the entirety of a general non-volatile semiconductor memory circuit, Figure 2 is a circuit diagram showing only the portion of Figure 1 to which the present invention is applied, and Figure 3 is a circuit diagram of a conventional memory cell. FIG. 2 is a cross-sectional view of a MOS transistor. DESCRIPTION OF SYMBOLS 10... Nonvolatile semiconductor memory circuit, 20... Voltage generating means, 12i, 12i... Column selection line, 13k
, 1 3 1... o line, 1 4... MOS transistor, 25i, 25i... column gate transistor,
26kl, 26k2, 2611, 2612...Row control gate selection transistor, FG...Floating gate, CG...Control gate. Figure 2 Figure 1 Figure 3

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 複数ビツト線および複数のロウ線と、該ビツト線と
ロウ線の交差部に設けられそれぞれがフローテイングゲ
ートを内蔵すると共にコントロールゲートを備えたMO
Sトランジスタを具備する不揮発性メモリセル群と、該
コントロールゲートに印加する所定の電圧を発生する電
圧発生手段とを具備してなり、前記コントロールゲート
と前記電圧発生手段との間に設けたMOSトランジスタ
をデプレツシヨン形MOSトランジスタで構成するよう
にしたことを特徴とする不揮発性半導体メモリ回路。
1 A MO comprising a plurality of bit lines, a plurality of row lines, and an MO provided at the intersection of the bit lines and the row lines, each of which has a built-in floating gate and a control gate.
A MOS transistor comprising a nonvolatile memory cell group including S transistors, and voltage generation means for generating a predetermined voltage to be applied to the control gate, and provided between the control gate and the voltage generation means. 1. A nonvolatile semiconductor memory circuit comprising a depletion type MOS transistor.
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