JPS6059161B2 - オゾン発生装置 - Google Patents
オゾン発生装置Info
- Publication number
- JPS6059161B2 JPS6059161B2 JP56120215A JP12021581A JPS6059161B2 JP S6059161 B2 JPS6059161 B2 JP S6059161B2 JP 56120215 A JP56120215 A JP 56120215A JP 12021581 A JP12021581 A JP 12021581A JP S6059161 B2 JPS6059161 B2 JP S6059161B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ozone generator
- air
- adsorbent
- dew point
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Drying Of Gases (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は原料空気の露点悪化（上昇）を検出して、
オゾン生成の低下を警報または装置を停止するオゾン発
生装置に関するものである。
オゾン生成の低下を警報または装置を停止するオゾン発
生装置に関するものである。
従来、この種の装置として第１図に示すものがあつた
。
。
図において１は原料空気供給用送風機、２は一次冷却器
３、二次冷却器４、冷凍機５より構成される空気冷却装
置、６は吸着剤再生用加熱器を内蔵した空気乾燥装置、
７はオゾン発生器、８はオゾン発生器へ高電圧を印加す
るための電源装置、９は原料空気の露点を計測するため
の露点計、１０はオゾン発生器７、空気冷却装置２へ冷
却水を供給する冷却水ポンプである。 次に、この従来
例のものの動作について説明する。
３、二次冷却器４、冷凍機５より構成される空気冷却装
置、６は吸着剤再生用加熱器を内蔵した空気乾燥装置、
７はオゾン発生器、８はオゾン発生器へ高電圧を印加す
るための電源装置、９は原料空気の露点を計測するため
の露点計、１０はオゾン発生器７、空気冷却装置２へ冷
却水を供給する冷却水ポンプである。 次に、この従来
例のものの動作について説明する。
原料空気はたとえばルーツ式ブロワのような 送風機１
により外気より取り入れられ、圧縮昇圧されて空気冷却
装置２へ送気される。空気冷却装置では、一次冷却器３
による水冷却、二次冷却器４による冷凍器５により作ら
れた冷媒ガスあるいは冷水冷却により約５℃前後の冷空
気を製造する。この冷空気を空気乾燥装置６へ導き、固
体吸着剤により大気圧露点−５０℃程度の高乾燥空気と
してオゾン発生器７ヘ供給する。オゾン発生器７では高
圧電極（ガラス電極）と接地電極（金属電”極）との間
に無声放電を生じさせ、この放電空隙で空気中の酸素か
らオゾンを生成する。無声放電に必要な高電圧は、電圧
調整器あるいは高周波インバータ等の制御機器、昇圧用
高電圧変圧器から構成される電源装置８により供給され
る。またオゾン発生器７での放電による発熱を押えるた
めの冷却水、および空気冷却装置２の一次冷却器３、冷
凍器５への冷却水は冷却水ポンプ１０により供給される
。 ここで、オゾン発生器７ヘ供給される空気の乾燥度
とオゾン生成効率は密接な関係があることが知られてい
る。第２図にその原料空気露点とオゾン生成効率の関係
を示す。 一般にオゾン発生器７ヘ供給される原料空気
の大気圧露点は−５０℃程度であり、露点が−５０℃か
ら−３０℃まで上昇するとオゾン生成効率が約１５％程
度低下する。
により外気より取り入れられ、圧縮昇圧されて空気冷却
装置２へ送気される。空気冷却装置では、一次冷却器３
による水冷却、二次冷却器４による冷凍器５により作ら
れた冷媒ガスあるいは冷水冷却により約５℃前後の冷空
気を製造する。この冷空気を空気乾燥装置６へ導き、固
体吸着剤により大気圧露点−５０℃程度の高乾燥空気と
してオゾン発生器７ヘ供給する。オゾン発生器７では高
圧電極（ガラス電極）と接地電極（金属電”極）との間
に無声放電を生じさせ、この放電空隙で空気中の酸素か
らオゾンを生成する。無声放電に必要な高電圧は、電圧
調整器あるいは高周波インバータ等の制御機器、昇圧用
高電圧変圧器から構成される電源装置８により供給され
る。またオゾン発生器７での放電による発熱を押えるた
めの冷却水、および空気冷却装置２の一次冷却器３、冷
凍器５への冷却水は冷却水ポンプ１０により供給される
。 ここで、オゾン発生器７ヘ供給される空気の乾燥度
とオゾン生成効率は密接な関係があることが知られてい
る。第２図にその原料空気露点とオゾン生成効率の関係
を示す。 一般にオゾン発生器７ヘ供給される原料空気
の大気圧露点は−５０℃程度であり、露点が−５０℃か
ら−３０℃まで上昇するとオゾン生成効率が約１５％程
度低下する。
また露点が上昇（悪化）すると、窒素酸化物の生成が顕
著となり、オゾン発生器内部に硝酸が生成する原因とな
る。この硝酸と他物質とが反応して電極に汚れが付着し
、このためにオゾン生成効率が低下すると同時に、機器
を構成する材料に腐食等の悪影響を与え、オゾン発生装
置運転の障害となる。従来、これらの原料空気露点低下
にともなう不具合を防止するため空気乾燥装置６とオゾ
ン発生器７との間に露点計９を装備したものがある。
著となり、オゾン発生器内部に硝酸が生成する原因とな
る。この硝酸と他物質とが反応して電極に汚れが付着し
、このためにオゾン生成効率が低下すると同時に、機器
を構成する材料に腐食等の悪影響を与え、オゾン発生装
置運転の障害となる。従来、これらの原料空気露点低下
にともなう不具合を防止するため空気乾燥装置６とオゾ
ン発生器７との間に露点計９を装備したものがある。
−５０′Ｃ以上の露点を計測する露点計には静電容量の
変化を検出するもの等が知られているが、一般には露点
温度と計器の指示、出力が線形となるように構成されて
いるために高価であつた。またセンサーの劣化があり、
６ケ月〜１年に１回程度の校正が必要であつた。このた
め実際に露点計を装置したオゾン発生装置は少なく、原
料空気の露点に対応した装置の管理についてはほとんど
実施されていないのが実情である。従来のオゾン発生装
置は以上のように構成されているので、露点計測に必要
以上に経費を要すること、保守が面倒なこと等の理由に
より露点計を装備したものは実際にはほとんど使用され
なく、原料空気の露点管理が実施されない欠点があつた
。
変化を検出するもの等が知られているが、一般には露点
温度と計器の指示、出力が線形となるように構成されて
いるために高価であつた。またセンサーの劣化があり、
６ケ月〜１年に１回程度の校正が必要であつた。このた
め実際に露点計を装置したオゾン発生装置は少なく、原
料空気の露点に対応した装置の管理についてはほとんど
実施されていないのが実情である。従来のオゾン発生装
置は以上のように構成されているので、露点計測に必要
以上に経費を要すること、保守が面倒なこと等の理由に
より露点計を装備したものは実際にはほとんど使用され
なく、原料空気の露点管理が実施されない欠点があつた
。
この発明は上記のような従来のものの欠点を除去するた
めになされたもので、空気乾燥装置の吸着塔内吸着剤再
生温度と空気冷却装置出口空気の露点とに相間関係があ
ることに着目し、吸着剤再生温度を検出し、これに警報
機能を持たせるような露点警報器を関連させ、オゾン発
生装置運転のインクロック要素を設けることにより、露
点が所定以上上昇した状態を警報し、運転を停止でき、
−露点計が不要でしかも簡略で安価なオゾン発生装置を
提供するものである。
めになされたもので、空気乾燥装置の吸着塔内吸着剤再
生温度と空気冷却装置出口空気の露点とに相間関係があ
ることに着目し、吸着剤再生温度を検出し、これに警報
機能を持たせるような露点警報器を関連させ、オゾン発
生装置運転のインクロック要素を設けることにより、露
点が所定以上上昇した状態を警報し、運転を停止でき、
−露点計が不要でしかも簡略で安価なオゾン発生装置を
提供するものである。
以下この発明の一実施例を図について説明する。
第３図はこの発明の一実施例の加熱再生式空気乾燥部を
示すものである。他の部分は従来例と．同一であるから
説明はしない。すなわち第３図において６ａ，６ｂは吸
着剤が充填された吸着塔、６ｃは吸着塔切換四方弁、６
ｄは空気入口、６ｅは乾燥空気出口、６ｆ，６ｇは吸着
塔内に設置された加熱器、６ｈ，６１は吸着剤温度を検
出し、−設定温度にて警報信号を外部へ供給する機能を
有する温度スイッチ（温度検出器）である。６ｊは吸着
塔からの乾燥空気の一部を再生空気として利用するため
、所定量の乾燥空気を再生側吸着塔に供給する流量調整
弁、６ｋは再生用空気出口である。
示すものである。他の部分は従来例と．同一であるから
説明はしない。すなわち第３図において６ａ，６ｂは吸
着剤が充填された吸着塔、６ｃは吸着塔切換四方弁、６
ｄは空気入口、６ｅは乾燥空気出口、６ｆ，６ｇは吸着
塔内に設置された加熱器、６ｈ，６１は吸着剤温度を検
出し、−設定温度にて警報信号を外部へ供給する機能を
有する温度スイッチ（温度検出器）である。６ｊは吸着
塔からの乾燥空気の一部を再生空気として利用するため
、所定量の乾燥空気を再生側吸着塔に供給する流量調整
弁、６ｋは再生用空気出口である。
以上の構成において、空気冷却装置から送気された５℃
前後の冷空気は空気入口６ｄより吸着塔に導かれる。
前後の冷空気は空気入口６ｄより吸着塔に導かれる。
吸着塔は二塔あり、一方の及着塔で水分吸着が行われる
間、他方の吸着塔ではすでに水分吸着済みの吸着剤の再
生が行われ、再生が完了すると四方弁が切換わり各々の
塔は逆の行程を行う。これを適宜設定した時間で交互に
くり返すノ機構となつている。例えば吸着塔６ａに導か
れた空気は、例えば活性アルミナ等の固体吸着剤６ｅに
より水分を吸着され所定の大気圧露点（−５０℃以下）
をもつ乾燥空気となり四方弁６ｃを経由して乾燥空気出
口６・ｅから排出されオゾン発生器７へ導かれる。
間、他方の吸着塔ではすでに水分吸着済みの吸着剤の再
生が行われ、再生が完了すると四方弁が切換わり各々の
塔は逆の行程を行う。これを適宜設定した時間で交互に
くり返すノ機構となつている。例えば吸着塔６ａに導か
れた空気は、例えば活性アルミナ等の固体吸着剤６ｅに
より水分を吸着され所定の大気圧露点（−５０℃以下）
をもつ乾燥空気となり四方弁６ｃを経由して乾燥空気出
口６・ｅから排出されオゾン発生器７へ導かれる。
四方弁６ｃを通過した乾燥空気は流量調整弁６ｊにて所
定量に調整された再生用空気として一部分岐され吸着塔
６ｂに導かれる。吸着塔６ｂでは塔内に設置された加熱
器６ｇにより吸着剤６ｅを加熱し“吸着剤６ｅに吸着さ
れた水分を水蒸気状にして、再生ガスとともに四方弁６
ｃを通過し再生空気出口６ｋより系外へ排出する。吸着
塔６ｂ内の吸着剤の温度が所定値まで達すると加熱行程
が完了し加熱器６ｇが切られ、その後再生空気のみによ
り常温近くまて吸着剤が冷却され、再生行程が全て完了
する。完了後四方弁を切換え吸着塔６ａは再生行程に、
吸着塔６ｂは吸着行程に入る。再生が行われる吸着塔で
は上述したように加熱行程と冷却行程があり、特にこの
発明では加熱行程末期における吸着剤温度（又は塔内温
度）が吸着剤中の水分が完全に除去されたか否かの指標
となることに着目し、吸着塔に温度スイッチ６ｈ，６１
を設置し、加熱行程末期における吸着剤温度（又は塔内
温度）が、温度スイッチにて設定した最適温度値を下回
つた時に警報信号を外部へ供給することにより、オゾン
発生装置運転のインタロックをとり、装置、特にオゾン
発生器の保護を計ろうとするものである。
定量に調整された再生用空気として一部分岐され吸着塔
６ｂに導かれる。吸着塔６ｂでは塔内に設置された加熱
器６ｇにより吸着剤６ｅを加熱し“吸着剤６ｅに吸着さ
れた水分を水蒸気状にして、再生ガスとともに四方弁６
ｃを通過し再生空気出口６ｋより系外へ排出する。吸着
塔６ｂ内の吸着剤の温度が所定値まで達すると加熱行程
が完了し加熱器６ｇが切られ、その後再生空気のみによ
り常温近くまて吸着剤が冷却され、再生行程が全て完了
する。完了後四方弁を切換え吸着塔６ａは再生行程に、
吸着塔６ｂは吸着行程に入る。再生が行われる吸着塔で
は上述したように加熱行程と冷却行程があり、特にこの
発明では加熱行程末期における吸着剤温度（又は塔内温
度）が吸着剤中の水分が完全に除去されたか否かの指標
となることに着目し、吸着塔に温度スイッチ６ｈ，６１
を設置し、加熱行程末期における吸着剤温度（又は塔内
温度）が、温度スイッチにて設定した最適温度値を下回
つた時に警報信号を外部へ供給することにより、オゾン
発生装置運転のインタロックをとり、装置、特にオゾン
発生器の保護を計ろうとするものである。
乾燥空気露点と加熱行程末期における吸着剤温度（又は
塔内温度）との関係は非線形であるため吸着剤温度値を
そのまま乾燥空気露点に読み替えるのは困難であるが、
あらかじめ加熱行程末期における吸着剤温度とその塔の
吸着行程時の乾燥空気露点との関係を求めることにより
、所定の露点（−５０℃以下）が確保出来、しかも時間
経過にともなう露点の上昇が認められない最適な加熱行
程末期における吸着剤温度が決定でき、これを警報設定
値にすることで、精度の高い露点管理が可能である。
塔内温度）との関係は非線形であるため吸着剤温度値を
そのまま乾燥空気露点に読み替えるのは困難であるが、
あらかじめ加熱行程末期における吸着剤温度とその塔の
吸着行程時の乾燥空気露点との関係を求めることにより
、所定の露点（−５０℃以下）が確保出来、しかも時間
経過にともなう露点の上昇が認められない最適な加熱行
程末期における吸着剤温度が決定でき、これを警報設定
値にすることで、精度の高い露点管理が可能である。
この実施例では吸着、再生の切換サイクルが８時間、再
出行程における加熱行程と冷却行程がそれぞれ４時間で
行なわれ、加熱行程中に吸着剤温度が設定温度値まで上
昇するとサーモスタットにより加熱器の電源が切れる（
実際には４時間以内に加熱が完了するように設計されて
いる）機構となつている。
出行程における加熱行程と冷却行程がそれぞれ４時間で
行なわれ、加熱行程中に吸着剤温度が設定温度値まで上
昇するとサーモスタットにより加熱器の電源が切れる（
実際には４時間以内に加熱が完了するように設計されて
いる）機構となつている。
従つて加熱行程完了時までに吸着剤温度が所定の設定値
に達しない時に警報信号を外部へ供給するような、タイ
マと吸着剤温度検出用温度スイッチ６ｈ，６１を組合わ
せた警報機能を構成することにより、異常を警報すると
同時にオゾン発生を停止し、オゾン発生器７を保護する
ような制御回路を形成するものである。温度スイッチは
その構造が非常に単純なため常に安定した状態で使用が
出来、さらに露点を指示しないために警報機構自体が単
純な構成となるため保守の必要がまつたくなくなるよう
な利点がある。
に達しない時に警報信号を外部へ供給するような、タイ
マと吸着剤温度検出用温度スイッチ６ｈ，６１を組合わ
せた警報機能を構成することにより、異常を警報すると
同時にオゾン発生を停止し、オゾン発生器７を保護する
ような制御回路を形成するものである。温度スイッチは
その構造が非常に単純なため常に安定した状態で使用が
出来、さらに露点を指示しないために警報機構自体が単
純な構成となるため保守の必要がまつたくなくなるよう
な利点がある。
なお、上記実施例では吸着塔６ａ，６ｂ内部に加熱器６
ｆ，６ｇを設置したものであるが、加熱器を吸着塔外部
に配して、独立した再生回路を有したものでも、上記実
施例と同様な効果が得られる。
ｆ，６ｇを設置したものであるが、加熱器を吸着塔外部
に配して、独立した再生回路を有したものでも、上記実
施例と同様な効果が得られる。
また、上記実施例では温度検出器の信号により警報器を
駆動し、装置のインターロック手段を駆動するようにし
ているが、片方だけを駆動するようにしてもよく、さら
に警報器は音によるものだけでなく視覚にうつたえるも
の等でもよいものである。
駆動し、装置のインターロック手段を駆動するようにし
ているが、片方だけを駆動するようにしてもよく、さら
に警報器は音によるものだけでなく視覚にうつたえるも
の等でもよいものである。
以上のように、この発明によれば、空気を乾燥する吸着
塔内の吸着剤温度を検出して空気の露点上昇を検出する
ように構成したので、装置が安価で保守の必要がない原
料空気露点検出手段をオゾン発生装置へ装備することが
可能となつた。
塔内の吸着剤温度を検出して空気の露点上昇を検出する
ように構成したので、装置が安価で保守の必要がない原
料空気露点検出手段をオゾン発生装置へ装備することが
可能となつた。
このためオゾン生成量の不足、および硝酸生成によるオ
ゾン発生装置の事故を未然に防ぐことができ、その効果
は大きい。
ゾン発生装置の事故を未然に防ぐことができ、その効果
は大きい。
第１図は従来のオゾン発生装置の構成を示すフロー図、
第２図は原料空気の露点温度とオゾン生”成効率の関係
を示す図、第３図はこの発明の一実施例による空気乾燥
装置のフロー図である。
第２図は原料空気の露点温度とオゾン生”成効率の関係
を示す図、第３図はこの発明の一実施例による空気乾燥
装置のフロー図である。
Claims (1)
- １ 原料空気を供給して無声放電によりオゾンを生成す
るオゾン発生器と、このオゾン発生器に供給される前の
原料空気が通される吸着塔と、この吸着塔内に設けられ
原料空気中の水分を吸着する吸着剤と、この吸着剤を加
熱して吸着剤を再生させる加熱器と、上記吸着剤の加熱
再生温度を検出する温度検出器とを備え、この温度検出
器からの信号により駆動される警報器および／またはオ
ゾン発生装置の停止要素を設けて、原料空気の露点上昇
によつてオゾン生成器の低下を警報しおよび／またはオ
ゾン発生装置を停止させるようにしたことを特徴とする
オゾン発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56120215A JPS6059161B2 (ja) | 1981-07-31 | 1981-07-31 | オゾン発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56120215A JPS6059161B2 (ja) | 1981-07-31 | 1981-07-31 | オゾン発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5826005A JPS5826005A (ja) | 1983-02-16 |
| JPS6059161B2 true JPS6059161B2 (ja) | 1985-12-24 |
Family
ID=14780736
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56120215A Expired JPS6059161B2 (ja) | 1981-07-31 | 1981-07-31 | オゾン発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6059161B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5811749B2 (ja) * | 2011-09-30 | 2015-11-11 | 株式会社Ihi | オゾン発生装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5626703A (en) * | 1979-08-09 | 1981-03-14 | Mitsubishi Electric Corp | Ozonizer controlling apparatus |
-
1981
- 1981-07-31 JP JP56120215A patent/JPS6059161B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5826005A (ja) | 1983-02-16 |
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