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JPS607780B2 - Device with halftone image forming optical system - Google Patents
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JPS607780B2 - Device with halftone image forming optical system - Google Patents

Device with halftone image forming optical system

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Publication number
JPS607780B2
JPS607780B2 JP51034797A JP3479776A JPS607780B2 JP S607780 B2 JPS607780 B2 JP S607780B2 JP 51034797 A JP51034797 A JP 51034797A JP 3479776 A JP3479776 A JP 3479776A JP S607780 B2 JPS607780 B2 JP S607780B2
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JP
Japan
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optical system
aperture
light
image forming
halftone image
Prior art date
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JP51034797A
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Japanese (ja)
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尚登 河村
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Canon Inc
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は像走査装置に於いて、中間調画像を記録又は表
示媒体上に記録表示する中間調画像形成光学系を有する
装置に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to an image scanning device having a halftone image forming optical system for recording or displaying a halftone image on a display medium.

一般に回転多面鏡や振動ミラーを用いた走査光学系は走
査角度を大きく取れる事、色分散の少ない事等によりレ
ーザを用いたファクシミリ装置、各種ディスプレイ装置
、印刷装置等に多く用いられている。
In general, scanning optical systems using rotating polygon mirrors or vibrating mirrors are widely used in laser-based facsimile machines, various display devices, printing devices, etc. because they can provide a large scanning angle and have little chromatic dispersion.

特に回転多面鏡を用いる場合には高速の走査装置として
広く使用されている。斯る走査光学系に於いて中間調画
像を記録又は表示する方法としては従来光変調器により
走査用のビームに強度変調を与え、この強度変調された
ビームにより記録又は表示する方法があり、その一実施
例が第1図に示されている。第1図に於いてレーザー1
からの走査用ビームは入射レンズ2により収畝し音響光
学的光変調素子3(以下AO素子と言う)へ入射する。
AO素子は駆動系5により強度変調されたAM信号によ
り超音波を発生し、この超音波の波面により走査用ビー
ムはブラック回折を起す。この回折光の強度はAQ素子
に印加する駆動系5からの信号の強度に比例する為、こ
の信号強度を画像の濃淡に応じて動作させる事により回
折光の強度を変化させる。この様にして強度変調された
走査用ビームは出射しンズ4で再び平行化されスIJッ
ト6により前記回折光のみ通過せしめビームェクスパン
ダー7によりビーム径が広げられた後回転多面鏡8で走
査され結像レンズ9を介して記録面10上に結像される
。斯様な強度変調を受けた記録面10上のスポットは、
第2図Aに示す様に強度の強いスポット及び第2図Bに
示す如く強度の弱いスポットとの間を前記駆動系5の制
御により連続的又は不連続的に変化を受ける。上記の如
く強度変調された走査スポットを記録面又は表示面に照
射した場合その記録面又は表示面の露光量と濃度の関係
を示す特性曲線の形状により記録あるいは表示された時
の濃度分布が異なる。
In particular, when a rotating polygon mirror is used, it is widely used as a high-speed scanning device. A conventional method for recording or displaying a halftone image in such a scanning optical system is to apply intensity modulation to a scanning beam using an optical modulator and record or display using this intensity-modulated beam. One embodiment is shown in FIG. In Figure 1, laser 1
The scanning beam is converged by an input lens 2 and enters an acousto-optic light modulation element 3 (hereinafter referred to as an AO element).
The AO element generates an ultrasonic wave based on an AM signal whose intensity is modulated by the drive system 5, and the scanning beam causes black diffraction due to the wavefront of this ultrasonic wave. Since the intensity of this diffracted light is proportional to the intensity of the signal from the drive system 5 applied to the AQ element, the intensity of the diffracted light is changed by operating this signal intensity according to the density of the image. The scanning beam whose intensity has been modulated in this way is collimated again by the output lens 4, and only the diffracted light passes by the IJ cut 6. The beam diameter is expanded by the beam expander 7, and then the rotating polygon mirror 8 The image is scanned by the image forming lens 9 and formed onto the recording surface 10 via the imaging lens 9. The spot on the recording surface 10 that has undergone such intensity modulation is
The driving system 5 is controlled to continuously or discontinuously change between a spot with a strong intensity as shown in FIG. 2A and a spot with a weak intensity as shown in FIG. 2B. When a recording surface or display surface is irradiated with an intensity-modulated scanning spot as described above, the density distribution when recorded or displayed differs depending on the shape of the characteristic curve showing the relationship between the exposure amount and density of the recording surface or display surface. .

第3図及び第4図は異なる2つの理想化された露光量と
濃度の関係を示す特性曲線を示している。第3図は特性
曲線(実線)が完全にステップ関数となっている場合、
第2図に示す光スポット(C,,C2)が記録又は表示
された場合は輪郭の明瞭な面積の異なるいわゆる絹点が
得られる。第4図に示す特性曲線(実線)は直線的形状
をした場合で、第2図に示す光スポットで照射した場合
得られる濃度分布は、第3図に示す如く明瞭な輪郭を有
するものでなく光スポットの光量の分布に応じて濃淡の
異なるものが得られる。第3図及び第4図に示した特性
曲線は理想的なモデルを示したもので、実際の特性曲線
は諸々の要因によりこの形状からずれている。例えば第
3図に於て実際の特性曲線は点線で示される様にだれた
ものであり従って縁のボケた網点となる。しかも光強度
の強さがそのま)絹点の大きさと比例せず、光強度が大
きくなると網点の径の変化が緩くなるため補正系が必要
でり網点の大きさにも限度がある。又第4図に示す方法
に於ても現実の特性曲線は点線で示す如く直線からずれ
たものである。従って特性曲線の線型部分以外の所を用
いた場合には濃度の飽和環境が生じるため、直線部分の
みを用いる事が必要である。又この直線部分が狭い場合
には多くの階調度をとる事ができない。この様に中間調
画像を感光部の感光特性を利用し形成する方法は、感光
部の特性に応じてその都度走査ビームの強度の変調方法
を変化させなければならない。又感光部の特性は周囲の
環境の変化例えば気温、湿等の変化により影響を受けや
すく、特に感光部に電子写真法を用いる場合には静電気
をとり扱うためこの影響が顕著に現われる。加うるにこ
の方法ではしーザー等の光源部の出力が隆時的に変動す
るドリフト現象の影響を除去する事ができなく長期間安
定した中間調画像を得る事は大変困難な事であった。本
発明は上述した欠点の改良を目的とするもので、記録表
示面での感光特性の変動の影響を受けることなく、安定
した中間調画像を得ることが可能な光学系を提供するも
のである。
FIGS. 3 and 4 show two different idealized characteristic curves of the relationship between exposure and density. Figure 3 shows that when the characteristic curve (solid line) is completely a step function,
When the light spots (C, , C2) shown in FIG. 2 are recorded or displayed, so-called silk dots with clear outlines and different areas are obtained. The characteristic curve (solid line) shown in Figure 4 is a linear shape, and the density distribution obtained when irradiated with the light spot shown in Figure 2 does not have a clear outline as shown in Figure 3. Different shading can be obtained depending on the distribution of the light amount of the light spot. The characteristic curves shown in FIGS. 3 and 4 represent ideal models, and actual characteristic curves deviate from this shape due to various factors. For example, in FIG. 3, the actual characteristic curve is sloping as shown by the dotted line, resulting in halftone dots with blurred edges. Moreover, the strength of the light intensity is not directly proportional to the size of the dots, and as the light intensity increases, the change in the diameter of the halftone dots becomes slower, so a correction system is required and there is a limit to the size of the halftone dots. . Furthermore, even in the method shown in FIG. 4, the actual characteristic curve deviates from a straight line as shown by the dotted line. Therefore, if a portion other than the linear portion of the characteristic curve is used, a concentration saturated environment will occur, so it is necessary to use only the linear portion. Moreover, if this straight line portion is narrow, many gradations cannot be achieved. In this method of forming a halftone image by utilizing the photosensitive characteristics of the photosensitive section, the method of modulating the intensity of the scanning beam must be changed each time depending on the characteristics of the photosensitive section. Furthermore, the characteristics of the photosensitive area are easily affected by changes in the surrounding environment, such as changes in temperature and humidity, and this effect is particularly noticeable when electrophotography is used for the photosensitive area because static electricity is involved. In addition, with this method, it was impossible to eliminate the influence of the drift phenomenon in which the output of a light source such as a laser changes over time, making it extremely difficult to obtain a stable halftone image over a long period of time. . The present invention aims to improve the above-mentioned drawbacks, and provides an optical system capable of obtaining stable halftone images without being affected by fluctuations in photosensitive characteristics on the recording display surface. .

本発明に於いては中間調画像を得る為に従来の走査ビー
ムの強度変化と感光部材の感光特性を利用する方法に代
えて走査ビームの断面の面積を変化させる光学系を用い
たものである。
In the present invention, an optical system that changes the cross-sectional area of the scanning beam is used in place of the conventional method of utilizing changes in the intensity of the scanning beam and the photosensitive characteristics of the photosensitive member to obtain a halftone image. .

即ちレーザー等の光源部、該光源部からのビームを受け
てその光ビームの断面の面積を変化させる中間調画像形
成光学系、この中間調画像形成光学系からの光ビームを
受光面上に結像させる為の結像光学系より成る。この中
間調画像形成光学系は、光源側より第1のアパーチャ−
、第1結像光学系、結晶より成る光偏向器、第2結像光
学系、第2のァパーチャーが順次配されており、第1結
像光学系の一方の焦点位置に第1のアパーチャー、同じ
くもう一方の焦点位置に光偏向器を配し、又、第2結像
光学系の一方の焦点位置に光偏向器、同じくもう一方の
焦点位置に第2のアパーチャーを配している。光源部か
らの光ビームは、第1のアパーチャーを通過した後、第
1結像光学系により平行ビームとなり結晶より成る光偏
向器に入射し、該偏向器で偏向作用を受けた後、第2結
像光学系により、第2のアパーチャー上に結像される。
そして、結晶より成る光偏向器の作用により、第2のア
パーチャ−上に結像される第1のァパーチャーの像の位
置は変位する。第2のアパーチャーを通過する光東は、
第1のアパーチャーの像と第2のアパーチヤーが重なっ
た部分で、この重なる部分の面積は上記偏向器により調
節され、この面積の変化により所望の中間調画像を得る
。第2のアパーチャーからの光東は結像光学系により、
記録、表示等の受光面上に結像される。上記結晶より成
る偏向器とは音響光学的結晶、電気光学的結晶を利用し
たプリズム又は電気光学的結晶とウオラストプリズム、
ロツシェンブリズムの如き自然光東を直交する偏光面を
有する二本の直線偏光の光束に分離し、該二光東が交角
を有する則ち二光東が平行でない様な光学素子の組み合
わせである。更に上記第1のアバーチャーを平行ビーム
で照明すると、第1のアパーチャ−が上記結像光学系に
より結像される位置と第1のアパーチャーによる回折光
の上記結像光学系によるスペクトル面位置を異ならせる
ことができるので、このスペクトル位置に偏向器を配す
る。
That is, a light source such as a laser, a halftone image forming optical system that receives a beam from the light source and changes the cross-sectional area of the light beam, and focuses the light beam from the halftone image forming optical system onto a light receiving surface. It consists of an imaging optical system for imaging. This halftone image forming optical system has a first aperture formed from the light source side.
, a first imaging optical system, an optical deflector made of crystal, a second imaging optical system, and a second aperture are arranged in this order, and the first aperture is located at one focal position of the first imaging optical system. Similarly, an optical deflector is disposed at the other focal position, and an optical deflector is disposed at one focal position of the second imaging optical system, and a second aperture is similarly disposed at the other focal position. The light beam from the light source passes through the first aperture, becomes a parallel beam by the first imaging optical system, enters the optical deflector made of crystal, receives a deflection action in the deflector, and then becomes a parallel beam. An image is formed on the second aperture by the imaging optical system.
The position of the image of the first aperture formed on the second aperture is displaced by the action of the optical deflector made of crystal. The light east passing through the second aperture is
The area of the overlapping portion where the image of the first aperture and the second aperture overlap is adjusted by the deflector, and a desired halftone image is obtained by changing this area. The light from the second aperture is transmitted by the imaging optical system.
An image is formed on a light-receiving surface for recording, display, etc. The deflector made of the crystal mentioned above is a prism using an acousto-optic crystal, an electro-optic crystal, or an electro-optic crystal and a wollast prism.
It is a combination of optical elements that separates natural light such as Lotschenbrism into two linearly polarized light beams with orthogonal polarization planes, and the two light beams have an intersecting angle, that is, the two light beams are not parallel. . Further, when the first aperture is illuminated with a parallel beam, the position where the first aperture is imaged by the imaging optical system and the spectral plane position of the diffracted light by the first aperture by the imaging optical system are different. Therefore, a deflector is placed at this spectral position.

更に本発明に於いては上記感光部材の感光特性が飽和し
た部分を用いるものである。
Further, in the present invention, a portion of the photosensitive member whose photosensitive characteristics are saturated is used.

従って本発明に於いては走査ビームの断面積を変化させ
る方式で中間調画像を形成しているのでほぼ感光部材の
特性曲線の飽和した部分のみを用いることができ、温度
及び湿度等の環境変化による画像への影響を除去し得る
ものである。
Therefore, in the present invention, since a halftone image is formed by changing the cross-sectional area of the scanning beam, it is possible to use almost only the saturated portion of the characteristic curve of the photosensitive member, and it is possible to use only the saturated portion of the characteristic curve of the photosensitive member. This makes it possible to eliminate the influence on images caused by

更に偏向器として音響光学的結晶或いは電気光学的結晶
を用いているので偏向の高速化及び信頼性を向上させて
いる。更には第1のアパーチャーの結像光学系によるス
ペクトル像面に前記偏向器を設けることにより偏向器を
小型化でき、更に音響光学的結晶の場合は該結晶の変調
周波数を変化させた場合の応答が速い。以下本発明を詳
述する。第5図A,Bは本発明に係る中間調画像形成光
学系の一実施例を示す図で、第5図Aは斜視図、第5図
Bは正面図である。
Furthermore, since an acousto-optic crystal or an electro-optic crystal is used as a deflector, the deflection speed and reliability are improved. Furthermore, by providing the deflector on the spectral image plane formed by the imaging optical system of the first aperture, the deflector can be miniaturized, and in the case of an acousto-optic crystal, the response when the modulation frequency of the crystal is changed. is fast. The present invention will be explained in detail below. 5A and 5B are diagrams showing an embodiment of the halftone image forming optical system according to the present invention, in which FIG. 5A is a perspective view and FIG. 5B is a front view.

第5図A,Bは上記偏向器として音響光学的光変調素子
(AO素子)を用い、一個の結像レンズで両アパーチャ
ーを光学的に共役な関係にせしめる場合が示されている
。以下の本発明に係る実施例の説明で同一の番号を付し
た部材は同一の部材を示すものとする。光源部であるレ
ーザー11からの光東はビームェクスパンダ−12でそ
の光東径を拡大された後、平行光東のままで入射スリッ
ト板13に設けられた入射アパーチャー13aを照明す
る。この入射アパーチャーは同じく出射スリット板14
上に設けられた出射アパーチャー14aと結像レンズ1
7を介して光学的に共役な位置に設けられている。結像
レンズ17と出射アパーチャ−14aの間の光路上には
AO素子15が設けられている。制御回路16からの信
号はAO素子に固設されたピェゾ素子(不図示)を振動
させ超音波を発生させると、該超音波はAq素子内を伝
播する。この状態のAO素子に光ビームが入射するとブ
ラッグ回折を起こし入射ビームはその方向を変えられる
。前記ブラッグ回折角AO素子内を伝播する超音波の周
波数変調いわゆるFM変調により自由に変えることがで
きるので、このブラツグ回折角は制御回路16からの信
号で任意に変化させることができる。従ってプラツグ回
折角を変化させることにより出射アパーチヤー14aを
通過する走査用ビームの断面積を変化させることができ
る。第5図に示す点線d,は入射アパーチャー13aを
通過する0次の回折光を示すものであり、結像レンズ1
7の焦点面P,にそのスペクトル像を結ぶ。又実線d2
は入射アパーチャー13a内の点13cを二次光源とし
結像レンズ17を介して伝播して行く光東を示すもので
ある。前記ビームヱクスパンダー12からの平行光東は
入射アパーチヤー13aで回折され、該回折光は結像レ
ンズ17の焦点面Pにそのスペクトル像を結ぶ。この位
置Pの近傍に偏向器であるAO素子を設けるとAO素子
は小さくすることができ、且つ素子内の不均質性の影響
を緩和することができる。このことは入射アパーチャー
13aを照明する光東が入射アパーチヤー13a上に集
光していない為に結像レンズ17による入射アパーチャ
−13aのスペクトル面Pと入射アパーチャー13aの
後面14aが空間的に分離できるからである。第6図A
及び第6図Bは上記第5図Aの中間調画像形成光学系の
他の実施例で第6図AはAO素子の代りに電気光学的光
変調素子(以下EO素子と略す)を使用したプリズムの
場合、第6図Bは偏向器としてEO素子とウオラストン
プリズム及びロッシェンプリズム等の如く自然光が入射
した時、互いに直交した偏光面を有する二本の光線に分
離し、かっこの二本の光線が互いに偏角を有する、即ち
二本の光線が平行でない状態で取り出せる光学素子(以
後本明細書に於いては偏光光学素子と呼ぶ)との組合わ
せである。
5A and 5B show a case where an acousto-optic light modulation element (AO element) is used as the deflector, and both apertures are brought into an optically conjugate relationship with one imaging lens. In the following description of the embodiments of the present invention, members given the same numbers refer to the same members. After the light emitted from the laser 11, which is a light source, has its diameter expanded by a beam expander 12, it illuminates an incident aperture 13a provided in an incident slit plate 13 while maintaining parallel light. This entrance aperture is also the exit slit plate 14.
The exit aperture 14a and the imaging lens 1 provided above
7 at an optically conjugate position. An AO element 15 is provided on the optical path between the imaging lens 17 and the exit aperture 14a. When the signal from the control circuit 16 vibrates a piezo element (not shown) fixed to the AO element to generate an ultrasonic wave, the ultrasonic wave propagates within the Aq element. When a light beam is incident on the AO element in this state, Bragg diffraction occurs and the direction of the incident beam is changed. Since the Bragg diffraction angle can be freely changed by frequency modulation, so-called FM modulation, of the ultrasonic waves propagating within the AO element, this Bragg diffraction angle can be changed arbitrarily by a signal from the control circuit 16. Therefore, by changing the plug diffraction angle, the cross-sectional area of the scanning beam passing through the exit aperture 14a can be changed. The dotted line d shown in FIG. 5 indicates the 0th order diffracted light passing through the incident aperture 13a,
The spectral image is focused on the focal plane P of 7. Also solid line d2
1 shows light beams propagating through the imaging lens 17 using a point 13c within the entrance aperture 13a as a secondary light source. The parallel light from the beam expander 12 is diffracted by the incident aperture 13a, and the diffracted light focuses its spectral image on the focal plane P of the imaging lens 17. If an AO element, which is a deflector, is provided near this position P, the AO element can be made smaller, and the influence of non-uniformity within the element can be alleviated. This means that the spectral plane P of the input aperture 13a formed by the imaging lens 17 and the rear surface 14a of the input aperture 13a can be spatially separated because the light beam illuminating the input aperture 13a is not focused on the input aperture 13a. It is from. Figure 6A
6B is another embodiment of the halftone image forming optical system shown in FIG. 5A, and FIG. 6A uses an electro-optic light modulation element (hereinafter abbreviated as EO element) in place of the AO element. In the case of a prism, Fig. 6B shows an EO element as a deflector, a Wollaston prism, a Roschen prism, etc. When natural light enters, it separates into two light rays with mutually orthogonal polarization planes. This is a combination with an optical element (hereinafter referred to as a polarizing optical element) that can extract the light beams from the book at an angle of polarization, that is, the two light beams are not parallel to each other.

第6図Aに示す偏向器18は結晶等に電界を加えると該
結晶の屈折率が変化する事を用いたもので、このEO素
子によりプリズム18を作り電界を変化させることによ
り該EO素子から出射する光東の角度を変化させるもの
である。該素子を第5図に示すAO素子と互換しても同
様の効謀が得られる。第6図Bに示す偏向器はEO素子
19と前記偏光光学素子20の組み合わせで、EO素子
19に電界印加の時と無印加の時とで光線の出射方向を
2つの異なる方向に分ける事ができる。この時レーザー
11からの光ビームは偏光しているものが望ましく、非
偏光の場合には偏光フィルターを入れる事が必要である
。即ちレーザー11から出射する出射偏向ビームは、ビ
ームェクスパンダ−12、入射アパーチャ−13a、結
像レンズ17を介してEO素子19及びウオラストンプ
リズムの如き偏光光学素子20に入射する。この時EO
素子19に電界をかけない時偏光光学素子20からのビ
ームは上方へ出る様にレーザーからの偏光ビームの偏向
方向を定めておく。次にEO素子19に電界を印加した
場合EO素子19を出たビームは偏光方向が90o回転
している為、偏光光学素子を出射するビームは下方へ曲
げられる。従ってこの一組のEO素子と偏光光学素子と
で2つの不連続的な出射角度を選ぶことができ、この絹
をN組続ける事により2Nの不連続的な出射角度変化を
得る事ができる。この偏向器19,20を上記第5図の
AO素子15と互換しても同様な効果が得られるもので
ある。第7図A,B,Cは中間調画像光学系の他の実施
例を示したもので、各実施例共に両アパーチャー13,
14間に設けられた結像光学系21,22によりビーム
がアフオーカルになる位置に偏向器が配されたものであ
る。
The deflector 18 shown in FIG. 6A uses the fact that when an electric field is applied to a crystal, the refractive index of the crystal changes, and by creating a prism 18 using this EO element and changing the electric field, This changes the angle of the light emitting light. Similar effects can be obtained by using this element interchangeably with the AO element shown in FIG. The deflector shown in FIG. 6B is a combination of an EO element 19 and the polarizing optical element 20, and can divide the emitting direction of the light beam into two different directions depending on when an electric field is applied to the EO element 19 and when no electric field is applied. can. At this time, it is desirable that the light beam from the laser 11 be polarized; if it is non-polarized, it is necessary to insert a polarizing filter. That is, the output deflected beam emitted from the laser 11 enters an EO element 19 and a polarizing optical element 20 such as a Wollaston prism via a beam expander 12, an entrance aperture 13a, and an imaging lens 17. At this time EO
The deflection direction of the polarized beam from the laser is determined so that the beam from the polarizing optical element 20 exits upward when no electric field is applied to the element 19. Next, when an electric field is applied to the EO element 19, the polarization direction of the beam exiting the EO element 19 has been rotated by 90 degrees, so that the beam exiting the polarizing optical element is bent downward. Therefore, two discontinuous output angles can be selected using this pair of EO elements and polarizing optical elements, and by continuing N sets of this silk, 2N discontinuous output angle changes can be obtained. Even if these deflectors 19 and 20 are used interchangeably with the AO element 15 shown in FIG. 5, similar effects can be obtained. 7A, B, and C show other embodiments of the halftone image optical system, and each embodiment has both apertures 13,
A deflector is disposed at a position where the beam becomes a focal point due to the imaging optical systems 21 and 22 provided between the two.

第7図AはAO素子15を用いた場合を示すもので、入
射アパーチャー13a内の点13cを二次光源として伝
播して行くビーム4は該アパーチャー13aにその一方
の焦点面を有する入射レンズ21により平行ビームとな
る。該平行ビームはAO素子1 5を通過した後、出射
アパーチャ−14aにその一方の焦点面を有する出射し
ンズ22により出射アパーチャー1 4a上に集光する
。尚AO素子1 5は入射アパーチャー13aの前記入
射レンズ21によるスペクトル像面Pに設ければ、AO
素子を小型化できる。第7図Bは偏向器としてEO素子
を用いたプリズム18による中間調画像形成光学系、第
7図Cは偏向器としてEO素子19と偏光光学素子20
を使用した中間調画像形成光学系を示すもので各偏向器
18,19,20は入射レンズ21と出射しンズ22の
間の平行ビーム間でかつ前記スべクトル像面Pの近傍に
設けられている。第5図、第6図及び第7図に示した中
間調画像形成光学系に於いては偏向器が単体で用いられ
ているが第8図A,B,〇こ示す如く上記各偏向器15
,18,19,20を複数個直列的に設けることにより
大きな偏向角を得る事ができる。
FIG. 7A shows a case where the AO element 15 is used, and the beam 4 propagating from a point 13c in the input aperture 13a as a secondary light source is transmitted through the input lens 22, which has one focal plane at the aperture 13a. This results in a parallel beam. After passing through the AO element 15, the parallel beam is focused onto the exit aperture 14a by an exit lens 22 having one focal plane at the exit aperture 14a. If the AO element 15 is provided on the spectral image plane P formed by the incident lens 21 of the incident aperture 13a, the AO
The element can be made smaller. FIG. 7B shows a halftone image forming optical system using a prism 18 using an EO element as a deflector, and FIG. 7C shows an EO element 19 as a deflector and a polarizing optical element 20.
In this figure, each deflector 18, 19, 20 is provided between the parallel beams between the input lens 21 and the output lens 22 and in the vicinity of the spectral image plane P. ing. In the halftone image forming optical system shown in FIGS. 5, 6, and 7, a single deflector is used, but as shown in FIGS.
, 18, 19, 20 in series, a large deflection angle can be obtained.

この様に複数個の偏向素子を並べる場合に於いても前記
スペクトル像面Pの位置に設けることにより偏向器を小
さくできる。第9図は本発明に係る中間調画像形成光学
系の一実施例を用いた走査光学系の概略を示す斜視図で
ある。
Even when a plurality of deflection elements are arranged in this way, the deflector can be made smaller by providing it at the position of the spectral image plane P. FIG. 9 is a perspective view schematically showing a scanning optical system using an embodiment of the halftone image forming optical system according to the present invention.

レーザー11より出た光東はビームェクスパンダー12
により拡大させ入射アパーチャー13aを照明する。照
明された入射ァパーチャー13aを2次光源とするビー
ムqは入射レンズ21により平行ビームとなり制御回路
16からの信号により制御されるAO素子15により偏
向された後、出射しンズ22により出射アパーチャー1
4a上に入射アパーチャーの像を結ぶ。この時入射アパ
ーチャーの像と出射アパーチャーの重なった部分のみ走
査用ビームが通過する。この出射アパ−チャー14aを
新たなる光源とする走査用ビームはコリメーターレンズ
23で平行ビームとされ回転多面鏡24で走査された後
、走査用結像レンズ25により走査面である感光ドラム
26上に結像する。回転多面鏡24が回転することによ
りドラム26上を走査ビームが直線的に走査すると共に
ドラム26は回転することにより二次元的な走査が行な
われる。第10図A,B,Cは第9図で示す光学系に於
いて、制御回路16により周波数変調を受けたAO素子
15によりAO素子出射後の走査用ビームの角度が変化
し、入射アパーチヤ−13のレンズ21,22による共
役像13′aと出射アパーチャ−14aの重なり具合の
変化、即ち走査用ビームの断面積の変化の具合を示した
ものである。第10図AはAO素子15内を伝播する超
音波周波数がのoの時に入射アパーチヤー13aのレン
ズ21,22による共役像13′aと出射アパーチャー
14aとの重なり部分S,を示すもので、第10図Bは
超音波周波数のo+△の,の時の重なり部分S2、第1
0図Cは同じくのo十△の2(1△の21>l△の,l
)の重なり部分S3を示している。この時ドラム26の
感光特性曲線の形状は第11図の実線もの如く表わされ
ていて、第10図で示した記録されるべき形状を有する
走査用ビームのドラム26上での光強度分布の最大強度
は前記曲線もの十分飽和した部分に来る様になっている
。今出射アパーチャ−14aと感光ドラム26の間の光
学系に収差がなく、又回折による広がりも感光ドラム2
6上に結像されるスポットの大きさに比して十分小さけ
れば、感光ドラム上での走査スポットの光強度分布は幾
何光学的な大きさとして定まる。従って感光ドラム26
上での走査スポットは出射アパーチャー14aを通過す
る光東の断面(S,,S2,S3)の形状で一定の光強
度分布と見なせることができ、この様子を示したものが
第12図に示されている。第12図は感光ドラムの面も
x−y座標とし、縦軸には光強度1が示されている。第
12図Aは第10図Aに、第12図Bは第10図Bに、
第12図Cは第10図Cにそれぞれ対応するスポットの
光強度を示しており、これが感光ドラム26上に記録さ
れた場合、第13図に示す如く各々S′,,S′2,S
′3と面積の異なる網点として記録される。第11図で
破線で示した特性曲線は環境の変化により特性曲線の形
状が変動した状態を示すもので、記録されるべき光分布
の最大値Q(明部)及び最小値6(暗部)とが十分強度
の差があれば特性曲線のその強度に対する変動は少なく
、記録される総点の形状は第13図に示す形状と変わり
ない。
Koto comes out of Laser 11 and is Beam Expander 12.
to illuminate the entrance aperture 13a. The beam q, which uses the illuminated input aperture 13a as a secondary light source, becomes a parallel beam by the input lens 21, is deflected by the AO element 15 controlled by a signal from the control circuit 16, and then is directed to the output aperture 1 by the output lens 22.
The image of the input aperture is focused on 4a. At this time, the scanning beam passes through only the portion where the image of the input aperture and the output aperture overlap. The scanning beam using the exit aperture 14a as a new light source is converted into a parallel beam by a collimator lens 23 and scanned by a rotating polygon mirror 24, and is then passed onto a photosensitive drum 26, which is a scanning surface, by a scanning imaging lens 25. image is formed. As the rotating polygon mirror 24 rotates, the scanning beam linearly scans the drum 26, and as the drum 26 rotates, two-dimensional scanning is performed. 10A, B, and C show that in the optical system shown in FIG. 9, the angle of the scanning beam after exiting the AO element is changed by the AO element 15 which has been frequency modulated by the control circuit 16, and the incident aperture This figure shows how the conjugate image 13'a formed by the 13 lenses 21 and 22 overlaps with the exit aperture 14a, that is, how the cross-sectional area of the scanning beam changes. FIG. 10A shows an overlapping portion S between the conjugate image 13'a of the input aperture 13a formed by the lenses 21 and 22 and the output aperture 14a when the ultrasonic frequency propagating in the AO element 15 is o. Figure 10B shows the overlapped portion S2, the first
0 diagram C is the same o ten △ 2 (1 △ 21 > l △, l
) shows an overlapping portion S3. At this time, the shape of the photosensitive characteristic curve of the drum 26 is represented by the solid line in FIG. 11, and the light intensity distribution on the drum 26 of the scanning beam having the shape to be recorded as shown in FIG. The maximum intensity is located at a fully saturated portion of the curve. There is no aberration in the optical system between the output aperture 14a and the photosensitive drum 26, and there is no spread due to diffraction on the photosensitive drum 26.
6, the light intensity distribution of the scanning spot on the photosensitive drum is determined as a geometric optical size. Therefore, the photosensitive drum 26
The scanning spot above can be regarded as a constant light intensity distribution in the shape of the cross section (S, , S2, S3) of the light beam passing through the output aperture 14a, and this situation is shown in Fig. 12. has been done. In FIG. 12, the surface of the photosensitive drum is also expressed in xy coordinates, and the light intensity 1 is shown on the vertical axis. Figure 12A is attached to Figure 10A, Figure 12B is attached to Figure 10B,
FIG. 12C shows the light intensity of the spots corresponding to FIG. 10C, and when these are recorded on the photosensitive drum 26, as shown in FIG.
'3 and are recorded as halftone dots with different areas. The characteristic curve shown by the broken line in Figure 11 shows the state in which the shape of the characteristic curve fluctuates due to changes in the environment, and the maximum value Q (bright area) and minimum value 6 (dark area) of the light distribution to be recorded. If there is a sufficient difference in intensity, there will be little variation in the characteristic curve with respect to that intensity, and the shape of the total points recorded will be the same as the shape shown in FIG.

又第3図に示される傾きの急な記録媒質も必要としない
。更にレーザー光源の出力の変動に対しては特性曲線の
十分飽和した部分を用いているので、常に中間調画像形
成光学系で得られる走査用ビームの断面積の変化に対応
した形状の記録が得られる。次に入射アパーチャ−と該
アパーチャーの空間スペクトルとの関係について説明す
る。
Further, a recording medium with a steep slope as shown in FIG. 3 is not required. Furthermore, since a sufficiently saturated portion of the characteristic curve is used for fluctuations in the output of the laser light source, it is possible to always record a shape that corresponds to changes in the cross-sectional area of the scanning beam obtained by the halftone image forming optical system. It will be done. Next, the relationship between the incident aperture and the spatial spectrum of the aperture will be explained.

第14図は中間調画像形成光学系の一実施例を示すもの
で入射レンズ21の焦点距離をfb、出射しンズの焦点
距離fcとする。AO素子15の置かれている位置は入
射レンズからfb、出射しンズからfcの位置であり、
入射アパーチャー13aは入射レンズ21からfb、出
射アパーチャー14aは出射しンズ22からfc離れた
位置に設けられている。レーザー11より出たコヒーレ
ント光はビームェクスパンダー12により広げられた平
面波に変換され入射ァパーチャー13aを照明する。入
射アパーチャー13aによる回折光は入射レンズ21に
より入射レンズの後方fbの位置にフラウン・ホーフア
ー・スペクトルを生ずる。このスペクトルの広がりg(
xi,yi)は入射アパーチャーの透過分布をf(xo
,yo)、光の波長を入とすると ご的f(
X。,y。)e−2竹ig(xi,yi)=ノノ(Xx
o十Yyo)d刈dy。
FIG. 14 shows an embodiment of the halftone image forming optical system, in which the focal length of the input lens 21 is fb, and the focal length of the output lens is fc. The AO element 15 is placed at a position fb from the input lens and fc from the output lens,
The entrance aperture 13a is located fb away from the entrance lens 21, and the exit aperture 14a is located fc away from the exit lens 22. Coherent light emitted from the laser 11 is converted into a plane wave expanded by the beam expander 12 and illuminates the input aperture 13a. The diffracted light by the input aperture 13a is caused by the input lens 21 to produce a Fraun-Hofer spectrum at a position fb behind the input lens. The spread of this spectrum g(
xi, yi) is the transmission distribution of the incident aperture f(xo
, yo), and the wavelength of light is the target f(
X. ,y. ) e-2 bamboo ig (xi, yi) = Nono (Xx
o ten Yyo) d cutting dy.

で与れられる。It is given by

但しxo,yo,xi,yiは光軸に垂直轍っ地標系で
x=誌,Y=器協る。例えば入射アパーチャーが直径1
の円とするとそのスペクトルの強度分布は第15図に示
す様に、y=ゾ坪了虎及びJ,を第1種のべッセル関数
とするとで与えられるいわゆるェアリーパターンであり
、そのエネルギー分布は中心である0次に約84%が集
中している。
However, xo, yo, xi, and yi are perpendicular to the optical axis and correspond to x = magazine and Y = vessel. For example, the entrance aperture has a diameter of 1
As shown in Fig. 15, the intensity distribution of the spectrum is a so-called Bayley pattern given by y = Bessel function of the first kind and J, and its energy distribution is Approximately 84% of the values are concentrated in the 0th order, which is the center.

そのエネルギー分布の最初の零点はy。=・‐22入‐
芋で与えられ、入、fb、1の値により多少異なるが1
》入であればyoは極小さし、ものとなる。このことは
円形のアパーチャー以外の形状のアパーチャーでも同様
である。AO素子の特性としてはAO素子に細いビーム
で走査用ビームを入射させる方が、換言すれば入射アパ
ーチャーの入射レンズによるビームの広がりが最も小さ
いスペクトル像面位置にAO素子を設ける方が、AO素
子内を伝播する超音波の周波数を変化させた場合、AO
素子から出射する走査用ビームの回折角の前記超音波の
周波数に対する応答は速い。
The first zero of that energy distribution is y. =・-22 pieces-
It is given by potato, and it varies slightly depending on the value of input, fb, and 1, but it is 1
》If it is, yo becomes extremely small and becomes a thing. This also applies to apertures having shapes other than circular apertures. As for the characteristics of the AO element, it is better to make the scanning beam enter the AO element as a narrow beam, or in other words, it is better to place the AO element at the spectral image plane position where the beam spread by the input lens of the input aperture is the smallest. If you change the frequency of the ultrasound propagating within the AO
The response of the diffraction angle of the scanning beam emitted from the element to the frequency of the ultrasonic wave is fast.

第16図はその状態を説明する図で、AO素子15の端
面に貼り付けられた振動子27により一定の周波数のo
の振動が与えられるとその振動により超音波の波面が矢
印への方向に進行するd次に周波数の。から別の周波数
の,に変化した場合、偏向角がの, に応じた角度へ変
位するのに要する時間すは素子15内での超音波速度を
V、同じく走査用ビームの広がりをEとすると水蔓 となる。
FIG. 16 is a diagram explaining this state.
When a vibration is given, the wavefront of the ultrasonic wave propagates in the direction of the arrow due to the vibration of the dth frequency. When the frequency changes from , to another frequency, the time required for the deflection angle to change to the angle corresponding to Becomes a water vine.

第17図はこの変化を横軸に時間、縦軸に偏向角を取っ
て表わしたものである。従って応答時間丁を遠いものに
するには素子内のビームの広がりEを小さくする必要が
ある。その為には前述の如く入射アパーチャーを結像レ
ンズによるフラゥンホーフアー回折像の位置即ち結像レ
ンズの焦点位置にAO素子を設ければ、最も応答特性の
速いものが得られる。且つこのスペクトル像の位置に設
ければ偏向器の大きさは最も小さくなるのである。尚入
射レンズ21による入射アパーチヤーのスペクトル像は
出射しンズ22により逆変換されるのであるが、入射レ
ンズ21の焦点距離と出射しンズ22の焦点距離が等し
くない場合結像倍率が1でない為、結像倍率に合わせて
入射アパーチャーと出射アパーチャ−の大きさを決める
事が必要であり、このことは第5図及び第6図に示した
中間調画像形成光学系に対しても同じ事が言えるのであ
る。
FIG. 17 shows this change with time on the horizontal axis and deflection angle on the vertical axis. Therefore, in order to make the response time long, it is necessary to reduce the beam spread E within the element. For this purpose, as described above, if the AO element is provided with the incident aperture at the position of the Fraunhofer diffraction image formed by the imaging lens, that is, at the focal point of the imaging lens, the fastest response characteristics can be obtained. Moreover, if the deflector is provided at the position of this spectral image, the size of the deflector will be the smallest. Note that the spectral image of the input aperture by the input lens 21 is inversely transformed by the output lens 22, but if the focal length of the input lens 21 and the focal length of the output lens 22 are not equal, the imaging magnification is not 1. It is necessary to determine the size of the entrance aperture and exit aperture according to the imaging magnification, and the same can be said for the halftone image forming optical system shown in Figures 5 and 6. It is.

次に前記応答時間7に関係して入射アパーチャーの形状
とAO素子の設け方について述べる。
Next, the shape of the incident aperture and the method of providing the AO element will be described in relation to the response time 7.

入射アパーチャー13aが円形でなく一方向に長い形状
例えば長方形の様な場合にはその長辺方向がAO素子内
を伝播する超音波波面の進行方向に一致する様に設ける
。このことは入射アパーチャーで回折される像の広がり
‘こ関係するもので、入射アパーチャーの開□幅の長い
方向に回折される像の広がりが前記開□幅の短い方向で
回折される像の広がりに比べて狭い為である。従ってA
O素子上での回折像の広がりが狭い方向とAO素子を伝
播する超音波の進行方向を合致させることにより前記応
答速度を上げることができる。又アパーチヤーの形状は
しーザービームがガウシアン・ビームである為、それに
応じた形状が望ましい。以上、本発明に於ける中間調画
像形成光学系を有する装置に於いては、光源部と受光面
との間に中間認画像形成光学系を設け、該光学系により
光ビームの断面積の変化させて中間調画像を得るもので
あり、安定した中間調画像を高速で得られるものである
When the entrance aperture 13a is not circular but has a shape elongated in one direction, such as a rectangle, it is provided so that its long side direction coincides with the traveling direction of the ultrasonic wavefront propagating within the AO element. This is related to the spread of the image diffracted by the incident aperture, and the spread of the image diffracted in the direction of the longer opening □ width of the input aperture is the spread of the image diffracted in the direction of the shorter width of the opening □. This is because it is narrower than . Therefore A
The response speed can be increased by matching the direction in which the spread of the diffraction image on the O element is narrow with the traveling direction of the ultrasonic wave propagating through the AO element. Furthermore, since the Caesar beam is a Gaussian beam, it is desirable that the shape of the aperture be in accordance with the Gaussian beam. As described above, in the apparatus having a halftone image forming optical system according to the present invention, an intermediate halftone image forming optical system is provided between the light source section and the light receiving surface, and the cross-sectional area of the light beam is changed by the optical system. This is to obtain a halftone image, and a stable halftone image can be obtained at high speed.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は従来の中間調画像形成光学系を有する走査光学
系の一実施例を示す斜視図、第2図A,B、第3図及び
第4図は感光部村の感光特性により中間調画像を形成す
る様子を説明する為の図、第5図A,B、第6図A,B
及び第7図A,B,Cはそれぞれ本発明に係る中間調画
像形成光学系の実施例を示す図、第8図A,B,Cはそ
れぞれ本発明に係る光偏向器の一実施例を示す図、第9
図は本発明の中間調画像形成光学系を有する走査光学系
の一実施例を示す斜視図、第10図A,B,C第11図
、第12図A,B,C及び第13図はそれぞれ本発明に
係る中間調画像形成の過程を説明する為の図、第14図
は入射アパーチャ−と該アパーチャ−の空間スペクトル
の関係を説明する為の図、第15図は入射アパーチヤー
のスペクトル強度分布を示す図、第16図及び第17図
はAO素子の応答速度を説明する為の図。 13a・・・・・・入射アパーチャー、14a・・・・
・・出射アパーチャー、15・・・・・・音響光学的光
偏調素子、16・・・・・・制御回路、17…・・・結
像レンズ、18・・・・・・電気光学的光偏調素子を用
いたプリズム、19・・・…電気光学的光偏調素子、2
0・・・・・・偏光光学素子、21・・・・・・入射レ
ンズ、22・・・・・・出射しンズ。 算/図第2図 第3図 菊子図 第3尾a 髪;図 髪ク図 窮め図 第8図 髪タ図 弟〃図 券/z図 髪/3図 秦仏図 秦体図 多ノ三図 沫〃図
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a scanning optical system having a conventional halftone image forming optical system, and FIGS. Diagrams for explaining how images are formed, Fig. 5 A, B, Fig. 6 A, B
7A, B, and C each show an embodiment of the halftone image forming optical system according to the present invention, and FIGS. 8A, B, and C each show an embodiment of the optical deflector according to the present invention. Figure shown, No. 9
The figure is a perspective view showing an embodiment of a scanning optical system having a halftone image forming optical system according to the present invention. 14 is a diagram for explaining the relationship between the incident aperture and the spatial spectrum of the aperture, and FIG. 15 is a diagram for explaining the spectral intensity of the incident aperture. FIGS. 16 and 17 are diagrams showing the distribution, and are diagrams for explaining the response speed of the AO element. 13a...Incidence aperture, 14a...
... Output aperture, 15 ... Acousto-optic light deflection element, 16 ... Control circuit, 17 ... Imaging lens, 18 ... Electro-optic light Prism using polarization element, 19... Electro-optic light polarization element, 2
0... Polarization optical element, 21... Input lens, 22... Output lens. Arithmetic/Figure 2 Figure 3 Chrysanthemum Figure 3 Tail a Hair; Figure 8 Hair Tazu younger brother Zuken/Z Figure Hair/3 Figure Qin Buddha Figure Qin Body Figure Tanosan Diagram

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 光源部、該光源部からの光ビームの断面形状を変化
させる中間調画像形成光学系、該光学系より射出される
光ビームを受光面上に結像させる結像光学系を備えた装
置に於いて、 前記中間調画像形成光学系は、光源部側
より順に、第1のアパーチヤー、第1結像光学系、結晶
より成る光偏向器、第2結像光学系、第2アパーチヤー
が設けられ、第1結像光学系の一方の焦点位置に第1の
アパーチヤーを、同じくもう一方の焦点位置に光偏向器
を配し、第2結像光学系の一方の焦点位置に光偏向器を
、同じくもう一方の焦点位置に第2のアパーチヤーを配
した事を特徴とする中間調画像形成光学系を有する装置
。 2 第1のアパーチヤーを平行光束で照明する特許請求
の範囲第1項記載の中間調画像形成光学系を有する装置
。 3 光偏向器が音響光学的光変調素子である特許請求の
範囲第2項記載の中間調画像形成光学系を有する装置。 4 光偏向器が電気光学的光変調素子を用いたプリズム
である特許請求の範囲第2項記載の中間調画像形成向学
系を有する装置。2 光偏向器が電気光学的光変調素子
と自然光を平行でない二本の直行する偏光面を有する光
束に分離する光学素子との組み合わせである特許請求の
範囲第2項記載の中間調画像形成光学系を有する装置。 6 第1アパーチヤーの最も長さが長い方向が光学的音
響光変調素子内を伝播する超音波の波面の進行方向と同
一である特許請求の範囲第3項記載の中間調画像形成光
学系を有する装置。
[Scope of Claims] 1. A light source section, a halftone image forming optical system that changes the cross-sectional shape of the light beam from the light source section, and an imaging optical system that images the light beam emitted from the optical system on a light receiving surface. The halftone image forming optical system includes, in order from the light source side, a first aperture, a first imaging optical system, an optical deflector made of crystal, a second imaging optical system, A second aperture is provided, the first aperture is disposed at one focal position of the first imaging optical system, an optical deflector is disposed at the other focal position, and the second aperture is disposed at one focal position of the second imaging optical system. 1. An apparatus having a halftone image forming optical system, characterized in that a light deflector is disposed at one of the focal positions, and a second aperture is disposed at the other focal position. 2. An apparatus having a halftone image forming optical system according to claim 1, which illuminates the first aperture with a parallel light beam. 3. An apparatus having a halftone image forming optical system according to claim 2, wherein the optical deflector is an acousto-optic light modulator. 4. An apparatus having a halftone image forming optical system according to claim 2, wherein the optical deflector is a prism using an electro-optic light modulation element. 2. Halftone image forming optics according to claim 2, wherein the light deflector is a combination of an electro-optic light modulation element and an optical element that separates natural light into a beam having two non-parallel orthogonal polarization planes. A device with a system. 6. The halftone image forming optical system according to claim 3, wherein the longest direction of the first aperture is the same as the traveling direction of the wavefront of the ultrasonic wave propagating within the optical acousto-light modulator. Device.
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