JPS607780B2 - 中間調画像形成光学系を有する装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は像走査装置に於いて、中間調画像を記録又は表
示媒体上に記録表示する中間調画像形成光学系を有する
装置に関するものである。

一般に回転多面鏡や振動ミラーを用いた走査光学系は走
査角度を大きく取れる事、色分散の少ない事等によりレ
ーザを用いたファクシミリ装置、各種ディスプレイ装置
、印刷装置等に多く用いられている。

特に回転多面鏡を用いる場合には高速の走査装置として
広く使用されている。斯る走査光学系に於いて中間調画
像を記録又は表示する方法としては従来光変調器により
走査用のビームに強度変調を与え、この強度変調された
ビームにより記録又は表示する方法があり、その一実施
例が第１図に示されている。第１図に於いてレーザー１
からの走査用ビームは入射レンズ２により収畝し音響光
学的光変調素子３（以下ＡＯ素子と言う）へ入射する。
ＡＯ素子は駆動系５により強度変調されたＡＭ信号によ
り超音波を発生し、この超音波の波面により走査用ビー
ムはブラック回折を起す。この回折光の強度はＡＱ素子
に印加する駆動系５からの信号の強度に比例する為、こ
の信号強度を画像の濃淡に応じて動作させる事により回
折光の強度を変化させる。この様にして強度変調された
走査用ビームは出射しンズ４で再び平行化されスＩＪッ
ト６により前記回折光のみ通過せしめビームェクスパン
ダー７によりビーム径が広げられた後回転多面鏡８で走
査され結像レンズ９を介して記録面１０上に結像される
。斯様な強度変調を受けた記録面１０上のスポットは、
第２図Ａに示す様に強度の強いスポット及び第２図Ｂに
示す如く強度の弱いスポットとの間を前記駆動系５の制
御により連続的又は不連続的に変化を受ける。上記の如
く強度変調された走査スポットを記録面又は表示面に照
射した場合その記録面又は表示面の露光量と濃度の関係
を示す特性曲線の形状により記録あるいは表示された時
の濃度分布が異なる。

第３図及び第４図は異なる２つの理想化された露光量と
濃度の関係を示す特性曲線を示している。第３図は特性
曲線（実線）が完全にステップ関数となっている場合、
第２図に示す光スポット（Ｃ，，Ｃ２）が記録又は表示
された場合は輪郭の明瞭な面積の異なるいわゆる絹点が
得られる。第４図に示す特性曲線（実線）は直線的形状
をした場合で、第２図に示す光スポットで照射した場合
得られる濃度分布は、第３図に示す如く明瞭な輪郭を有
するものでなく光スポットの光量の分布に応じて濃淡の
異なるものが得られる。第３図及び第４図に示した特性
曲線は理想的なモデルを示したもので、実際の特性曲線
は諸々の要因によりこの形状からずれている。例えば第
３図に於て実際の特性曲線は点線で示される様にだれた
ものであり従って縁のボケた網点となる。しかも光強度
の強さがそのま）絹点の大きさと比例せず、光強度が大
きくなると網点の径の変化が緩くなるため補正系が必要
でり網点の大きさにも限度がある。又第４図に示す方法
に於ても現実の特性曲線は点線で示す如く直線からずれ
たものである。従って特性曲線の線型部分以外の所を用
いた場合には濃度の飽和環境が生じるため、直線部分の
みを用いる事が必要である。又この直線部分が狭い場合
には多くの階調度をとる事ができない。この様に中間調
画像を感光部の感光特性を利用し形成する方法は、感光
部の特性に応じてその都度走査ビームの強度の変調方法
を変化させなければならない。又感光部の特性は周囲の
環境の変化例えば気温、湿等の変化により影響を受けや
すく、特に感光部に電子写真法を用いる場合には静電気
をとり扱うためこの影響が顕著に現われる。加うるにこ
の方法ではしーザー等の光源部の出力が隆時的に変動す
るドリフト現象の影響を除去する事ができなく長期間安
定した中間調画像を得る事は大変困難な事であった。本
発明は上述した欠点の改良を目的とするもので、記録表
示面での感光特性の変動の影響を受けることなく、安定
した中間調画像を得ることが可能な光学系を提供するも
のである。

本発明に於いては中間調画像を得る為に従来の走査ビー
ムの強度変化と感光部材の感光特性を利用する方法に代
えて走査ビームの断面の面積を変化させる光学系を用い
たものである。

即ちレーザー等の光源部、該光源部からのビームを受け
てその光ビームの断面の面積を変化させる中間調画像形
成光学系、この中間調画像形成光学系からの光ビームを
受光面上に結像させる為の結像光学系より成る。この中
間調画像形成光学系は、光源側より第１のアパーチャ−
、第１結像光学系、結晶より成る光偏向器、第２結像光
学系、第２のァパーチャーが順次配されており、第１結
像光学系の一方の焦点位置に第１のアパーチャー、同じ
くもう一方の焦点位置に光偏向器を配し、又、第２結像
光学系の一方の焦点位置に光偏向器、同じくもう一方の
焦点位置に第２のアパーチャーを配している。光源部か
らの光ビームは、第１のアパーチャーを通過した後、第
１結像光学系により平行ビームとなり結晶より成る光偏
向器に入射し、該偏向器で偏向作用を受けた後、第２結
像光学系により、第２のアパーチャー上に結像される。
そして、結晶より成る光偏向器の作用により、第２のア
パーチャ−上に結像される第１のァパーチャーの像の位
置は変位する。第２のアパーチャーを通過する光東は、
第１のアパーチャーの像と第２のアパーチヤーが重なっ
た部分で、この重なる部分の面積は上記偏向器により調
節され、この面積の変化により所望の中間調画像を得る
。第２のアパーチャーからの光東は結像光学系により、
記録、表示等の受光面上に結像される。上記結晶より成
る偏向器とは音響光学的結晶、電気光学的結晶を利用し
たプリズム又は電気光学的結晶とウオラストプリズム、
ロツシェンブリズムの如き自然光東を直交する偏光面を
有する二本の直線偏光の光束に分離し、該二光東が交角
を有する則ち二光東が平行でない様な光学素子の組み合
わせである。更に上記第１のアバーチャーを平行ビーム
で照明すると、第１のアパーチャ−が上記結像光学系に
より結像される位置と第１のアパーチャーによる回折光
の上記結像光学系によるスペクトル面位置を異ならせる
ことができるので、このスペクトル位置に偏向器を配す
る。

更に本発明に於いては上記感光部材の感光特性が飽和し
た部分を用いるものである。

従って本発明に於いては走査ビームの断面積を変化させ
る方式で中間調画像を形成しているのでほぼ感光部材の
特性曲線の飽和した部分のみを用いることができ、温度
及び湿度等の環境変化による画像への影響を除去し得る
ものである。

更に偏向器として音響光学的結晶或いは電気光学的結晶
を用いているので偏向の高速化及び信頼性を向上させて
いる。更には第１のアパーチャーの結像光学系によるス
ペクトル像面に前記偏向器を設けることにより偏向器を
小型化でき、更に音響光学的結晶の場合は該結晶の変調
周波数を変化させた場合の応答が速い。以下本発明を詳
述する。第５図Ａ，Ｂは本発明に係る中間調画像形成光
学系の一実施例を示す図で、第５図Ａは斜視図、第５図
Ｂは正面図である。

第５図Ａ，Ｂは上記偏向器として音響光学的光変調素子
（ＡＯ素子）を用い、一個の結像レンズで両アパーチャ
ーを光学的に共役な関係にせしめる場合が示されている
。以下の本発明に係る実施例の説明で同一の番号を付し
た部材は同一の部材を示すものとする。光源部であるレ
ーザー１１からの光東はビームェクスパンダ−１２でそ
の光東径を拡大された後、平行光東のままで入射スリッ
ト板１３に設けられた入射アパーチャー１３ａを照明す
る。この入射アパーチャーは同じく出射スリット板１４
上に設けられた出射アパーチャー１４ａと結像レンズ１
７を介して光学的に共役な位置に設けられている。結像
レンズ１７と出射アパーチャ−１４ａの間の光路上には
ＡＯ素子１５が設けられている。制御回路１６からの信
号はＡＯ素子に固設されたピェゾ素子（不図示）を振動
させ超音波を発生させると、該超音波はＡｑ素子内を伝
播する。この状態のＡＯ素子に光ビームが入射するとブ
ラッグ回折を起こし入射ビームはその方向を変えられる
。前記ブラッグ回折角ＡＯ素子内を伝播する超音波の周
波数変調いわゆるＦＭ変調により自由に変えることがで
きるので、このブラツグ回折角は制御回路１６からの信
号で任意に変化させることができる。従ってプラツグ回
折角を変化させることにより出射アパーチヤー１４ａを
通過する走査用ビームの断面積を変化させることができ
る。第５図に示す点線ｄ，は入射アパーチャー１３ａを
通過する０次の回折光を示すものであり、結像レンズ１
７の焦点面Ｐ，にそのスペクトル像を結ぶ。又実線ｄ２
は入射アパーチャー１３ａ内の点１３ｃを二次光源とし
結像レンズ１７を介して伝播して行く光東を示すもので
ある。前記ビームヱクスパンダー１２からの平行光東は
入射アパーチヤー１３ａで回折され、該回折光は結像レ
ンズ１７の焦点面Ｐにそのスペクトル像を結ぶ。この位
置Ｐの近傍に偏向器であるＡＯ素子を設けるとＡＯ素子
は小さくすることができ、且つ素子内の不均質性の影響
を緩和することができる。このことは入射アパーチャー
１３ａを照明する光東が入射アパーチヤー１３ａ上に集
光していない為に結像レンズ１７による入射アパーチャ
−１３ａのスペクトル面Ｐと入射アパーチャー１３ａの
後面１４ａが空間的に分離できるからである。第６図Ａ
及び第６図Ｂは上記第５図Ａの中間調画像形成光学系の
他の実施例で第６図ＡはＡＯ素子の代りに電気光学的光
変調素子（以下ＥＯ素子と略す）を使用したプリズムの
場合、第６図Ｂは偏向器としてＥＯ素子とウオラストン
プリズム及びロッシェンプリズム等の如く自然光が入射
した時、互いに直交した偏光面を有する二本の光線に分
離し、かっこの二本の光線が互いに偏角を有する、即ち
二本の光線が平行でない状態で取り出せる光学素子（以
後本明細書に於いては偏光光学素子と呼ぶ）との組合わ
せである。

第６図Ａに示す偏向器１８は結晶等に電界を加えると該
結晶の屈折率が変化する事を用いたもので、このＥＯ素
子によりプリズム１８を作り電界を変化させることによ
り該ＥＯ素子から出射する光東の角度を変化させるもの
である。該素子を第５図に示すＡＯ素子と互換しても同
様の効謀が得られる。第６図Ｂに示す偏向器はＥＯ素子
１９と前記偏光光学素子２０の組み合わせで、ＥＯ素子
１９に電界印加の時と無印加の時とで光線の出射方向を
２つの異なる方向に分ける事ができる。この時レーザー
１１からの光ビームは偏光しているものが望ましく、非
偏光の場合には偏光フィルターを入れる事が必要である
。即ちレーザー１１から出射する出射偏向ビームは、ビ
ームェクスパンダ−１２、入射アパーチャ−１３ａ、結
像レンズ１７を介してＥＯ素子１９及びウオラストンプ
リズムの如き偏光光学素子２０に入射する。この時ＥＯ
素子１９に電界をかけない時偏光光学素子２０からのビ
ームは上方へ出る様にレーザーからの偏光ビームの偏向
方向を定めておく。次にＥＯ素子１９に電界を印加した
場合ＥＯ素子１９を出たビームは偏光方向が９０ｏ回転
している為、偏光光学素子を出射するビームは下方へ曲
げられる。従ってこの一組のＥＯ素子と偏光光学素子と
で２つの不連続的な出射角度を選ぶことができ、この絹
をＮ組続ける事により２Ｎの不連続的な出射角度変化を
得る事ができる。この偏向器１９，２０を上記第５図の
ＡＯ素子１５と互換しても同様な効果が得られるもので
ある。第７図Ａ，Ｂ，Ｃは中間調画像光学系の他の実施
例を示したもので、各実施例共に両アパーチャー１３，
１４間に設けられた結像光学系２１，２２によりビーム
がアフオーカルになる位置に偏向器が配されたものであ
る。

第７図ＡはＡＯ素子１５を用いた場合を示すもので、入
射アパーチャー１３ａ内の点１３ｃを二次光源として伝
播して行くビーム４は該アパーチャー１３ａにその一方
の焦点面を有する入射レンズ２１により平行ビームとな
る。該平行ビームはＡＯ素子１ ５を通過した後、出射
アパーチャ−１４ａにその一方の焦点面を有する出射し
ンズ２２により出射アパーチャー１ ４ａ上に集光する
。尚ＡＯ素子１ ５は入射アパーチャー１３ａの前記入
射レンズ２１によるスペクトル像面Ｐに設ければ、ＡＯ
素子を小型化できる。第７図Ｂは偏向器としてＥＯ素子
を用いたプリズム１８による中間調画像形成光学系、第
７図Ｃは偏向器としてＥＯ素子１９と偏光光学素子２０
を使用した中間調画像形成光学系を示すもので各偏向器
１８，１９，２０は入射レンズ２１と出射しンズ２２の
間の平行ビーム間でかつ前記スべクトル像面Ｐの近傍に
設けられている。第５図、第６図及び第７図に示した中
間調画像形成光学系に於いては偏向器が単体で用いられ
ているが第８図Ａ，Ｂ，〇こ示す如く上記各偏向器１５
，１８，１９，２０を複数個直列的に設けることにより
大きな偏向角を得る事ができる。

この様に複数個の偏向素子を並べる場合に於いても前記
スペクトル像面Ｐの位置に設けることにより偏向器を小
さくできる。第９図は本発明に係る中間調画像形成光学
系の一実施例を用いた走査光学系の概略を示す斜視図で
ある。

レーザー１１より出た光東はビームェクスパンダー１２
により拡大させ入射アパーチャー１３ａを照明する。照
明された入射ァパーチャー１３ａを２次光源とするビー
ムｑは入射レンズ２１により平行ビームとなり制御回路
１６からの信号により制御されるＡＯ素子１５により偏
向された後、出射しンズ２２により出射アパーチャー１
４ａ上に入射アパーチャーの像を結ぶ。この時入射アパ
ーチャーの像と出射アパーチャーの重なった部分のみ走
査用ビームが通過する。この出射アパ−チャー１４ａを
新たなる光源とする走査用ビームはコリメーターレンズ
２３で平行ビームとされ回転多面鏡２４で走査された後
、走査用結像レンズ２５により走査面である感光ドラム
２６上に結像する。回転多面鏡２４が回転することによ
りドラム２６上を走査ビームが直線的に走査すると共に
ドラム２６は回転することにより二次元的な走査が行な
われる。第１０図Ａ，Ｂ，Ｃは第９図で示す光学系に於
いて、制御回路１６により周波数変調を受けたＡＯ素子
１５によりＡＯ素子出射後の走査用ビームの角度が変化
し、入射アパーチヤ−１３のレンズ２１，２２による共
役像１３′ａと出射アパーチャ−１４ａの重なり具合の
変化、即ち走査用ビームの断面積の変化の具合を示した
ものである。第１０図ＡはＡＯ素子１５内を伝播する超
音波周波数がのｏの時に入射アパーチヤー１３ａのレン
ズ２１，２２による共役像１３′ａと出射アパーチャー
１４ａとの重なり部分Ｓ，を示すもので、第１０図Ｂは
超音波周波数のｏ＋△の，の時の重なり部分Ｓ２、第１
０図Ｃは同じくのｏ十△の２（１△の２１＞ｌ△の，ｌ
）の重なり部分Ｓ３を示している。この時ドラム２６の
感光特性曲線の形状は第１１図の実線もの如く表わされ
ていて、第１０図で示した記録されるべき形状を有する
走査用ビームのドラム２６上での光強度分布の最大強度
は前記曲線もの十分飽和した部分に来る様になっている
。今出射アパーチャ−１４ａと感光ドラム２６の間の光
学系に収差がなく、又回折による広がりも感光ドラム２
６上に結像されるスポットの大きさに比して十分小さけ
れば、感光ドラム上での走査スポットの光強度分布は幾
何光学的な大きさとして定まる。従って感光ドラム２６
上での走査スポットは出射アパーチャー１４ａを通過す
る光東の断面（Ｓ，，Ｓ２，Ｓ３）の形状で一定の光強
度分布と見なせることができ、この様子を示したものが
第１２図に示されている。第１２図は感光ドラムの面も
ｘ−ｙ座標とし、縦軸には光強度１が示されている。第
１２図Ａは第１０図Ａに、第１２図Ｂは第１０図Ｂに、
第１２図Ｃは第１０図Ｃにそれぞれ対応するスポットの
光強度を示しており、これが感光ドラム２６上に記録さ
れた場合、第１３図に示す如く各々Ｓ′，，Ｓ′２，Ｓ
′３と面積の異なる網点として記録される。第１１図で
破線で示した特性曲線は環境の変化により特性曲線の形
状が変動した状態を示すもので、記録されるべき光分布
の最大値Ｑ（明部）及び最小値６（暗部）とが十分強度
の差があれば特性曲線のその強度に対する変動は少なく
、記録される総点の形状は第１３図に示す形状と変わり
ない。

又第３図に示される傾きの急な記録媒質も必要としない
。更にレーザー光源の出力の変動に対しては特性曲線の
十分飽和した部分を用いているので、常に中間調画像形
成光学系で得られる走査用ビームの断面積の変化に対応
した形状の記録が得られる。次に入射アパーチャ−と該
アパーチャーの空間スペクトルとの関係について説明す
る。

第１４図は中間調画像形成光学系の一実施例を示すもの
で入射レンズ２１の焦点距離をｆｂ、出射しンズの焦点
距離ｆｃとする。ＡＯ素子１５の置かれている位置は入
射レンズからｆｂ、出射しンズからｆｃの位置であり、
入射アパーチャー１３ａは入射レンズ２１からｆｂ、出
射アパーチャー１４ａは出射しンズ２２からｆｃ離れた
位置に設けられている。レーザー１１より出たコヒーレ
ント光はビームェクスパンダー１２により広げられた平
面波に変換され入射ァパーチャー１３ａを照明する。入
射アパーチャー１３ａによる回折光は入射レンズ２１に
より入射レンズの後方ｆｂの位置にフラウン・ホーフア
ー・スペクトルを生ずる。このスペクトルの広がりｇ（
ｘｉ，ｙｉ）は入射アパーチャーの透過分布をｆ（ｘｏ
，ｙｏ）、光の波長を入とすると ご的ｆ（
Ｘ。，ｙ。）ｅ−２竹ｉｇ（ｘｉ，ｙｉ）＝ノノ（Ｘｘ
ｏ十Ｙｙｏ）ｄ刈ｄｙ。

で与れられる。

但しｘｏ，ｙｏ，ｘｉ，ｙｉは光軸に垂直轍っ地標系で
ｘ＝誌，Ｙ＝器協る。例えば入射アパーチャーが直径１
の円とするとそのスペクトルの強度分布は第１５図に示
す様に、ｙ＝ゾ坪了虎及びＪ，を第１種のべッセル関数
とするとで与えられるいわゆるェアリーパターンであり
、そのエネルギー分布は中心である０次に約８４％が集
中している。

そのエネルギー分布の最初の零点はｙ。＝・‐２２入‐
芋で与えられ、入、ｆｂ、１の値により多少異なるが１
》入であればｙｏは極小さし、ものとなる。このことは
円形のアパーチャー以外の形状のアパーチャーでも同様
である。ＡＯ素子の特性としてはＡＯ素子に細いビーム
で走査用ビームを入射させる方が、換言すれば入射アパ
ーチャーの入射レンズによるビームの広がりが最も小さ
いスペクトル像面位置にＡＯ素子を設ける方が、ＡＯ素
子内を伝播する超音波の周波数を変化させた場合、ＡＯ
素子から出射する走査用ビームの回折角の前記超音波の
周波数に対する応答は速い。

第１６図はその状態を説明する図で、ＡＯ素子１５の端
面に貼り付けられた振動子２７により一定の周波数のｏ
の振動が与えられるとその振動により超音波の波面が矢
印への方向に進行するｄ次に周波数の。から別の周波数
の，に変化した場合、偏向角がの， に応じた角度へ変
位するのに要する時間すは素子１５内での超音波速度を
Ｖ、同じく走査用ビームの広がりをＥとすると水蔓 となる。

第１７図はこの変化を横軸に時間、縦軸に偏向角を取っ
て表わしたものである。従って応答時間丁を遠いものに
するには素子内のビームの広がりＥを小さくする必要が
ある。その為には前述の如く入射アパーチャーを結像レ
ンズによるフラゥンホーフアー回折像の位置即ち結像レ
ンズの焦点位置にＡＯ素子を設ければ、最も応答特性の
速いものが得られる。且つこのスペクトル像の位置に設
ければ偏向器の大きさは最も小さくなるのである。尚入
射レンズ２１による入射アパーチヤーのスペクトル像は
出射しンズ２２により逆変換されるのであるが、入射レ
ンズ２１の焦点距離と出射しンズ２２の焦点距離が等し
くない場合結像倍率が１でない為、結像倍率に合わせて
入射アパーチャーと出射アパーチャ−の大きさを決める
事が必要であり、このことは第５図及び第６図に示した
中間調画像形成光学系に対しても同じ事が言えるのであ
る。

次に前記応答時間７に関係して入射アパーチャーの形状
とＡＯ素子の設け方について述べる。

入射アパーチャー１３ａが円形でなく一方向に長い形状
例えば長方形の様な場合にはその長辺方向がＡＯ素子内
を伝播する超音波波面の進行方向に一致する様に設ける
。このことは入射アパーチャーで回折される像の広がり
‘こ関係するもので、入射アパーチャーの開□幅の長い
方向に回折される像の広がりが前記開□幅の短い方向で
回折される像の広がりに比べて狭い為である。従ってＡ
Ｏ素子上での回折像の広がりが狭い方向とＡＯ素子を伝
播する超音波の進行方向を合致させることにより前記応
答速度を上げることができる。又アパーチヤーの形状は
しーザービームがガウシアン・ビームである為、それに
応じた形状が望ましい。以上、本発明に於ける中間調画
像形成光学系を有する装置に於いては、光源部と受光面
との間に中間認画像形成光学系を設け、該光学系により
光ビームの断面積の変化させて中間調画像を得るもので
あり、安定した中間調画像を高速で得られるものである
。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の中間調画像形成光学系を有する走査光学
系の一実施例を示す斜視図、第２図Ａ，Ｂ、第３図及び
第４図は感光部村の感光特性により中間調画像を形成す
る様子を説明する為の図、第５図Ａ，Ｂ、第６図Ａ，Ｂ
及び第７図Ａ，Ｂ，Ｃはそれぞれ本発明に係る中間調画
像形成光学系の実施例を示す図、第８図Ａ，Ｂ，Ｃはそ
れぞれ本発明に係る光偏向器の一実施例を示す図、第９
図は本発明の中間調画像形成光学系を有する走査光学系
の一実施例を示す斜視図、第１０図Ａ，Ｂ，Ｃ第１１図
、第１２図Ａ，Ｂ，Ｃ及び第１３図はそれぞれ本発明に
係る中間調画像形成の過程を説明する為の図、第１４図
は入射アパーチャ−と該アパーチャ−の空間スペクトル
の関係を説明する為の図、第１５図は入射アパーチヤー
のスペクトル強度分布を示す図、第１６図及び第１７図
はＡＯ素子の応答速度を説明する為の図。 １３ａ・・・・・・入射アパーチャー、１４ａ・・・・
・・出射アパーチャー、１５・・・・・・音響光学的光
偏調素子、１６・・・・・・制御回路、１７…・・・結
像レンズ、１８・・・・・・電気光学的光偏調素子を用
いたプリズム、１９・・・…電気光学的光偏調素子、２
０・・・・・・偏光光学素子、２１・・・・・・入射レ
ンズ、２２・・・・・・出射しンズ。 算／図第２図 第３図 菊子図 第３尾ａ 髪；図 髪ク図 窮め図 第８図 髪タ図 弟〃図 券／ｚ図 髪／３図 秦仏図 秦体図 多ノ三図 沫〃図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 光源部、該光源部からの光ビームの断面形状を変化
   させる中間調画像形成光学系、該光学系より射出される
   光ビームを受光面上に結像させる結像光学系を備えた装
   置に於いて、 前記中間調画像形成光学系は、光源部側
   より順に、第１のアパーチヤー、第１結像光学系、結晶
   より成る光偏向器、第２結像光学系、第２アパーチヤー
   が設けられ、第１結像光学系の一方の焦点位置に第１の
   アパーチヤーを、同じくもう一方の焦点位置に光偏向器
   を配し、第２結像光学系の一方の焦点位置に光偏向器を
   、同じくもう一方の焦点位置に第２のアパーチヤーを配
   した事を特徴とする中間調画像形成光学系を有する装置
   。 ２ 第１のアパーチヤーを平行光束で照明する特許請求
   の範囲第１項記載の中間調画像形成光学系を有する装置
   。 ３ 光偏向器が音響光学的光変調素子である特許請求の
   範囲第２項記載の中間調画像形成光学系を有する装置。 ４ 光偏向器が電気光学的光変調素子を用いたプリズム
   である特許請求の範囲第２項記載の中間調画像形成向学
   系を有する装置。２ 光偏向器が電気光学的光変調素子
   と自然光を平行でない二本の直行する偏光面を有する光
   束に分離する光学素子との組み合わせである特許請求の
   範囲第２項記載の中間調画像形成光学系を有する装置。 ６ 第１アパーチヤーの最も長さが長い方向が光学的音
   響光変調素子内を伝播する超音波の波面の進行方向と同
   一である特許請求の範囲第３項記載の中間調画像形成光
   学系を有する装置。