JPS6139699B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明はカラー受像管の蒸着膜製作方法に関
するもので、特に、メタルバツク構造のカラー受
像管の螢光面内簿に光反射性金属薄膜を真空蒸着
により形成する方法に関する。

通常のカラー受像管の螢光面は、受像管の管体
の一部を構成するガラスフエースプレート（パネ
ルの内面に被着して螢光体膜上に、この螢光体膜
から発した光を有効にカラー受像管前方へ取り出
すための光反射性金属膜を形成することにより実
現されるのが一般的であり、これはメタルバツク
構造と称されるものである。

このメタルパツク螢光面は、カラー受像管の輝
度を増加させるとともに、イオン焼けの現象を防
止するという利点を有していて、その製造工程を
第１図を参照しながら説明する。

第１図はカラー受像管の螢光面部の製造工程を
説明するための断面図である。第１図において、
１はガラスフエースプレート、２はこのプレート
１の内面に被着された螢光体膜、３はこの螢光体
膜２の表面を平滑にするための有機物質を主成分
とするフイルム用ラツカー材料により形成された
中間膜、４はアルミニウム薄膜である。螢光体膜
２はプレート１の内面に一様の厚さに塗布され、
これを乾燥させることにより形成される。また、
アルミニウム薄膜４は、中間膜３上にアルミニウ
ムを真空中で蒸着させて形成されるものである
り、しかる後にベーキング処理により中間膜３は
除去される。

第２図は従来の蒸着装置の一例を示す。この第
２図に示すように、従来、アルミニウム薄膜を蒸
着により形成するには、中間膜３を形成したガラ
スフエースプレート１を、真空外囲器６内の所定
の位置に支持した状態で配置する。真空外囲器６
には、タングステン線の３本または４本撚り線に
よりバスケツト状とした１個または複数個の蒸発
源が設けられ、10^-4torrの真空状態に保たれる。
このようにして、中間膜３上にアルミニウムを蒸
着させる方法が用いられているが、蒸発源５とし
てタングテン線からなるコイルを用いているもの
で、寿命が短かいという欠点があつた。

この欠点を除去するために、タングステン線コ
イルにかえて、抵抗加熱体を使用する方法が提案
され、すでに実用に供されている。抵抗加熱体と
しては、窒化硼素を主成分とするものが一般に用
いられている。この種の抵抗加熱体の一例は、第
３図に斜視図として示される。この第３図に示す
ように、直方体状の抵抗加熱体７の上面には、凹
部７ａが形成されていて、いわゆるボード状の構
造となつている。なお、前記凹部７ａを設けず、
単なる平面としたものもある。この窒化硼素を主
成分とするボート状抵抗加熱体蒸発源（以下、
「窒化硼素加熱体」と称する。）を使用した場合の
蒸着膜製作方法を第４図を参照して説明する。

第４図は窒化硼素加熱体を用いた蒸着装置の一
例を概略的に示す構成図である。第４図におい
て、前述した各図に示す部分に相当の部分は同様
の参照符号を付し、その説明は省略する。ここに
示す蒸着装置は、入口室６ａ、アルミニウム蒸着
室６ｂおよび出口室６ｃを備える直空外囲器を含
む。蒸着室６ｂには、アルミニウム線自動挿入器
８が設けられ、それによつてアルミニウム線９が
供給される。さた、入口室６ａと出口室６ｃに
は、外部雰囲気との間を仕切るための仕切弁１
０，１０が設けられ、アルミニウム蒸着室６ｂと
入口室６ａおよび出口室６ｃとの間を仕切るため
に仕切弁１１，１１が設けられる。

上述のような構成において、中間膜３を形成し
たガラスフエースプレート１を真空外囲器の入口
室６ａに搬入し、図示しない真空ポンプなどの排
気機器により、真空外囲器入口室６ａおよび出口
室６ｃを0.05〜0.01torrの真空に、アルミニウム
蒸着室６ｂを１〜２×10^-4torrの真空にそれぞれ
する。次に、仕切弁１１を開いて、ガラスフエー
スプレート１をアルミニウム着室６ｂの所定の位
置に搬送し、仕切弁１１を閉じる。次に、入口室
６ａを大気圧にし、仕切弁１０を開いて、中間膜
３を形成した別の、すなわち次に蒸着処理される
べきガラスフエースプレート１を搬入し、再び入
口室６ａと出口室６ｃは0.05〜0.01torrの真空
に、アルミニウム蒸着室６ｂは１〜２×10^-4torr
の真空にされる。

窒化硼素加熱体７はアルミニウム蒸着室６ｂ内
の底部の所定の位置に設置されていて、これは通
電により約1350〜1500℃に加熱されるのである。
この窒化硼素加熱体７の凹部（蒸着物質載置部）
７ａに、蒸着物質であるアルミニウム線９を自動
挿入器８により挿入し、アルミニウム線９を加熱
体７の発熱による温度上昇により蒸発させ、これ
は上方に飛散する。この蒸発により、中間膜３上
にアルミニウム薄膜４が形成されることになる。
このとき、窒化硼素加熱体７は常時加熱（1350〜
1500℃）され、蒸着時以外はアルミニウム線自動
挿入器８を停止し、したがつてアルミニウム線９
は挿入されない。受像管として必要なアルミニウ
ム蒸着量にコントロールするために、アルミニウ
ム線９の自動挿入時のスピードおよび時間がコン
トロールされる。このようにして、アルミニウム
薄膜４が形成される。

次に、仕切弁１１，１１を開き、アルミニウム
蒸着室６ｂのガラスフエースプレート１は出口室
６ｃへ、入口室６ａのガラスフエースプレート１
はアルミニウム蒸着室６ｂに搬送する。また、入
口室６ａおよび出口室６ｃを大気圧とし、出口室
６ｃのガラスフエースプレート１は真空外囲器外
に搬出し、蒸着工程を完了する。同時に、入口室
６ａには、別のガラスフエースプレート１が搬入
され、上述したような工程が繰り返される。

上述のような工程には、以下に述べるような間
題点が存在する。すなわち、それは窒化硼素加熱
体７が常時加熱されることに起因されるものであ
る。より詳細に述べると、被蒸着物であるガラス
フエースプレート１に対して蒸着する時以外は、
アルミニウム線９を挿入停止し、その挿入時のス
ピードおよび時間で蒸着量をコントロールする方
法において、ガラスフエースプレート１の搬送時
にはアルミニウム線９は停止の状態にある。その
ため、加熱体７の熱により、第５図に示すよう
に、アルミニウム線９の先端が熔融し、玉状とな
る。また、加熱体７は常時加熱されているので、
加熱体７の凹部７ａには、アルミニウムの熔融物
が全く残つていない状態となつてしまう。そのた
めに、次の被蒸着物であるガラスフエースプレー
ト１が搬入されたとき、再びアルミニウム線９が
加熱体７の凹部７ａに挿入されるが、アルミニウ
ム線９の玉状となつた先端はすぐにはとけにく
く、かつ凹部７ａにアルミニウムの熔融物が残存
していないのでアルミニウム線９に熱が伝わりに
くく、それによつてまたアルミニウム線９がすぐ
にはとけにくいことになる。このような理由によ
り、アルミニウム線９を加熱体７の凹部７ａに挿
入しても、凹部７ａをすべり、熔融蒸着しないま
ま加熱体７より前方まではずれてしまい、蒸着で
きなくなることが生じる。このような場合、その
状態が発生するごとに、蒸着装置の真空状態を大
気圧にもどし、再調整を行なわなければならず。
したがつて調整時間および真空復帰に多くの時間
を費やしていた。また、窒化硼素加熱体７を連続
加熱しているため、寿命が短かくなるという欠点
もあつた。

この発明は上記の欠点に鑑みてなされたもの
で、抵抗加熱体を蒸発源として用いるる真空蒸着
による蒸着膜製作において、蒸着物質としてのた
とえばアルミニウム線が容易に熔融蒸着しうる、
カラー受像管の蒸着膜製作方法を提供しようとす
るものである。

この発明は、要約すれば、抵抗加熱体の加熱温
度を蒸着時以外は蒸着時の加熱温度より低い温度
にすることを特徴とするカラー受像管の蒸着膜製
作方法である。

この発明のその他の目的と特徴は以下に図面を
参照して行なう詳細な説明から一層明らかとなろ
う。

この発明の一実施例は、前述の第４図を参照し
ながら説明することができる。第４図において、
ガラスフエースプレート１の内面に螢光体を塗布
し、これを乾燥させて螢光体膜２を形成し、され
にこの上に中間膜３を形成する工程は、従来の場
合と同様である。また、蒸着されるべきガラスフ
エースプレート１の搬送や、真空外囲器内の真空
ないし圧力条件の設定タイミングなども従来の場
合と同様である。以下に、従来の場合と異なるこ
の発明の特徴的な工程条件について述べる。

アルミニウム蒸着室６ｂにおいて、受像管とし
て必要なアルミニウム蒸着量にコントロールする
手段としては、従来どおり、アルミニウム線９の
自動挿入のスピードおよび時間でコントロールす
る。しかしながら、このアルミニウム線９の自動
挿入停止寸前に、通電により1350〜1500℃に加熱
されている窒化硼素加熱体７の電流値を急激に低
くし、たとえば加熱温度を約900℃にすることが
行なわれる。第６図はこの発明の一実施例を説明
するための図であり、窒化硼素加熱体７の加熱温
度変化を工程順次的に示した図である。この第６
図から明らかなように、ガラスフエースプレート
１の移送の間は、窒化硼素加熱体７に通電される
電流値が低く、したがつてその加熱温度は約900
℃に低下され、その状態を維持する。そして、次
のガラスフエースプレート１にアルミニウム薄膜
４を形成する時に、電流値を再び高くし、その加
熱温度を1350〜1500℃に上昇される。このよう
に、加熱体７の加熱温度を制御することにより、
蒸着工程を繰り返しても加熱体７の凹部７ａには
アルミニウム線９の熔融物の残量が常に存在する
ので、再度蒸着時に、アルミニウム線９を自動挿
入しても円滑に加熱体７の凹７ａにそれが熔融し
て広がり、蒸着することが理解されるよう。ま
た、ガラスフエースプレート１の移送送時には、
窒化硼素加熱体７の加熱温度を積極的に低くして
いるため、アルミニウム線の先端は、第５図のよ
うに玉状にならず、さらに滑らかなアルミニウム
蒸着が行なえる。

なお、上述した実施例では、ガラスフエースプ
レート１の内面にある中間膜３上にアルミニウム
蒸着する時以外は、窒化硼素加熱体７の加熱温度
を900℃としたが、それ以下の温度にしてもよい
ことはいうまでもない。しかしながら、再び蒸着
する時に温度を復帰させる時間を考えると、900
℃前後の温度であることが望ましい。

以上のように、この発明によれば、抵抗加熱体
の加熱温度を蒸着時以外は蒸着時の加熱温度より
低い温度にするという簡単な手段でありながら、
挿入される蒸着物質と発熱した抵抗加熱体とのな
じみがよくなり、したがつて再調整のための時間
やそれに伴う真空復帰のための時間を大幅に減少
させることができる。また、抵抗加熱体の加熱は
連続的でないため、その寿命を約1.5倍と長くす
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はカラー受像管の螢光面部の製造工程を
説明するための断面図である。第２図は従来の蒸
着装置の一例を示し、蒸発源にタングステンコイ
ルを用いた場合の概略的構成図である。第３図は
窒化硼素を主成分とするボード状抵抗加熱体の斜
視図である。第４図は蒸発源に窒化硼素を主成分
とするボード状低抗加熱体を用いた蒸着装置の一
例を概略的に示す構成図である。第５図はアルミ
ニウム線の先端が抵抗加熱体の発熱により熔融し
玉状となつたものを示す。第６図はこの発明の一
実施例を説明するための図であり、窒化硼素を主
成分とするボート状抵抗加熱体の加熱温度変化を
工程順次的に示す図である。 図において、１はガラスフエースプレート、２
は螢光体膜、３は中間膜、４はアルミニウム薄
膜、６ａは真空外囲器入口室、６ｂは蒸着室、６
ｃは出口室、７は窒化硼素を主成分とするボート
状抵抗加熱体、７ａは蒸着物質載置部としての凹
部、８はアルミニウム線自動挿入器、９は蒸着物
質としてのアルミニウム線、１０，１１は仕切弁
である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 蒸着物質載置部を有する低抗加熱体を蒸発源
   として、カラー受像管の螢光面部の中間膜上に光
   反射性金属薄膜を真空蒸着させる蒸着膜製作方法
   において、 前記低抗加熱体の加熱温度を蒸着時以外は蒸着
   時の加熱温度より低い温度にすることを特徴とす
   る、カラー受像管の蒸着膜製作方法。