JPS6140984B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6140984B2 JPS6140984B2 JP1978978A JP1978978A JPS6140984B2 JP S6140984 B2 JPS6140984 B2 JP S6140984B2 JP 1978978 A JP1978978 A JP 1978978A JP 1978978 A JP1978978 A JP 1978978A JP S6140984 B2 JPS6140984 B2 JP S6140984B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hole
- dry plate
- glass
- photomask
- glass dry
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はプリント回路板等の製造に用いられる
ガラスフオトマスクに関するものであり、フオト
マスクとその被転写物に相対的に同じ位置にガイ
ド穴を設け、そのガイド穴にピンを通して、フオ
トマスクと被転写物の位置合わせを行なつた後、
フオトマスクに描かれた印刷回路等を転写する方
法で使用するガラスフオトマスクの製造方法であ
る。
ガラスフオトマスクに関するものであり、フオト
マスクとその被転写物に相対的に同じ位置にガイ
ド穴を設け、そのガイド穴にピンを通して、フオ
トマスクと被転写物の位置合わせを行なつた後、
フオトマスクに描かれた印刷回路等を転写する方
法で使用するガラスフオトマスクの製造方法であ
る。
従来ガラスフオトマスク材料であるガラス乾板
へのガイド穴明けは、ガラスに直接穴明けするか
ガラス乾板のガイド穴部に金属を埋込みそれにジ
グボーラ等の工作機械で穴明けしていた。しか
し、ガラスに直接穴明けする方法ではガラスの加
工性が悪いため、明けられたガイド穴の精度が悪
くなり、また、ガラス乾板に金属を埋込みそれに
穴明けする方法ではガイド穴を精度よく加工する
工作機械が必要で特に最近のようにプリント基板
及びその製造のワークサイズが大きくなるとその
ガイド工作機械も大型のものが必要となりその工
作機械は大変高価なものになるとともに、ガラス
乾板を描かれたプリント回路に合わせて工作機械
に取付けガイド穴を加工するのに長時間かかるた
めその結果、ガラスフオトマスクが非常に高価な
ものになつてしまう欠点があつた。
へのガイド穴明けは、ガラスに直接穴明けするか
ガラス乾板のガイド穴部に金属を埋込みそれにジ
グボーラ等の工作機械で穴明けしていた。しか
し、ガラスに直接穴明けする方法ではガラスの加
工性が悪いため、明けられたガイド穴の精度が悪
くなり、また、ガラス乾板に金属を埋込みそれに
穴明けする方法ではガイド穴を精度よく加工する
工作機械が必要で特に最近のようにプリント基板
及びその製造のワークサイズが大きくなるとその
ガイド工作機械も大型のものが必要となりその工
作機械は大変高価なものになるとともに、ガラス
乾板を描かれたプリント回路に合わせて工作機械
に取付けガイド穴を加工するのに長時間かかるた
めその結果、ガラスフオトマスクが非常に高価な
ものになつてしまう欠点があつた。
本発明の目的とするところは、ガラスフオトマ
スクの精度のよいガイド穴を簡単に安価に加工で
きるガラスフオトマスク製造方法を提供すること
である。本発明の特徴とするところは、プリント
回路が描かれたガラス乾板にバカ穴を明け、そこ
にガイド穴に相当する穴が明いたブシユをブシユ
埋込定盤を用いて精度よく樹脂等で固定すること
によりガラス乾板にガイド穴を形成することにあ
る。
スクの精度のよいガイド穴を簡単に安価に加工で
きるガラスフオトマスク製造方法を提供すること
である。本発明の特徴とするところは、プリント
回路が描かれたガラス乾板にバカ穴を明け、そこ
にガイド穴に相当する穴が明いたブシユをブシユ
埋込定盤を用いて精度よく樹脂等で固定すること
によりガラス乾板にガイド穴を形成することにあ
る。
以下図面を用いて本発明の一実施例を説明す
る。まず、第１図に示すようにプリント回路４及
び位置合わせマーク２の描かれたガラス乾板１の
ガイド穴に相当する部分にバカ穴３を明ける。バ
カ穴３の径は後工程で埋込まれるブシユ５の外形
より10mm程度大きく明けたほうがよい。
る。まず、第１図に示すようにプリント回路４及
び位置合わせマーク２の描かれたガラス乾板１の
ガイド穴に相当する部分にバカ穴３を明ける。バ
カ穴３の径は後工程で埋込まれるブシユ５の外形
より10mm程度大きく明けたほうがよい。
次に、第２図に示すようにこのガラス乾板１を
ブシユ埋込定盤８に載せ、ガラス乾板１の位置合
わせマーク２とブシユ埋込定盤８の位置合わせマ
ーク２′を重ね合わせることによりガラス乾板１
とブシユ埋込定盤８の位置合わせを行なつた後、
ガイド穴に相当する穴が明けられたブシユ５をピ
ン７に挿入しそのピン７のブシユ埋込定盤８のガ
イド穴９′に挿入しそのブシユ５をエポキシ樹脂
性充填接着剤６（例えば、日本デブコン社製の商
品名デブコンAQ）で、ガラス乾板１のバカ穴３
に固定する。
ブシユ埋込定盤８に載せ、ガラス乾板１の位置合
わせマーク２とブシユ埋込定盤８の位置合わせマ
ーク２′を重ね合わせることによりガラス乾板１
とブシユ埋込定盤８の位置合わせを行なつた後、
ガイド穴に相当する穴が明けられたブシユ５をピ
ン７に挿入しそのピン７のブシユ埋込定盤８のガ
イド穴９′に挿入しそのブシユ５をエポキシ樹脂
性充填接着剤６（例えば、日本デブコン社製の商
品名デブコンAQ）で、ガラス乾板１のバカ穴３
に固定する。
なお、ブシユ５の外周はローレツト仕上げ等で
凹凸を設けておく。しかる後ブシユ５に挿入され
たピンを抜き取ることにより第３図の如くガイド
穴９を有するガラスフオトマスクが得られる。
凹凸を設けておく。しかる後ブシユ５に挿入され
たピンを抜き取ることにより第３図の如くガイド
穴９を有するガラスフオトマスクが得られる。
以上の説明の如く本発明によれば位置精度の良
いガイド穴を簡単にしかも安価に形成することが
できる。
いガイド穴を簡単にしかも安価に形成することが
できる。
第１図はプリント回路と位置合わせマークが描
かれたガラス乾板にバカ穴を明けた後のガラス乾
板の平面図、第２図は、ガラス乾板にブツシユを
樹脂で固定しているときのガラス乾板とブシユ埋
込定盤の断面図、第３図は完成したガイド穴を有
するガラスフオトマスクの平面図である。 符号の説明、１……ガラス乾板、２，２′……
位置合せマーク、３……バカ穴、４……プリント
回路の描かれた領域、５……ブシユ、６……埋込
樹脂、７……ピン、８……ブツシユ埋込定盤、
９，９′……ガイド穴。
かれたガラス乾板にバカ穴を明けた後のガラス乾
板の平面図、第２図は、ガラス乾板にブツシユを
樹脂で固定しているときのガラス乾板とブシユ埋
込定盤の断面図、第３図は完成したガイド穴を有
するガラスフオトマスクの平面図である。 符号の説明、１……ガラス乾板、２，２′……
位置合せマーク、３……バカ穴、４……プリント
回路の描かれた領域、５……ブシユ、６……埋込
樹脂、７……ピン、８……ブツシユ埋込定盤、
９，９′……ガイド穴。
Claims (1)
- １ プリント回路が描かれたフオトマスクと該フ
オトマスクのプリント回路を転写する被転写物の
相対的に同じ位置にガイド穴を有し、該ガイド穴
にピンを挿入してフオトマスクおよび被転写物を
重ね合せフオトマスクのプリント回路を被転写物
に転写する写真焼付方法で使用されるフオトマス
クの製造方法であつて、ガラス乾板に位置合せ用
のマークを付けた該ガラス乾板のガイド穴部にガ
イド穴より大きな径を有するバカ穴を明け、該ガ
ラス乾板の位置合せ用マークと相対的に同じ位置
に位置合せ用マークおよびガイド穴が設けられた
定盤に前記ガラス乾板を載せ、前記位置合せ用マ
ークを用いてガラス乾板と定盤を位置合せをし、
ガイド穴と同じ径の穴が明けられたブシユにピン
を挿入し、該ピンおよびブシユをガラス乾板のバ
カ穴および定盤のガイド穴に挿入しブシユとバカ
穴の隙間に接着剤を流入してブシユをガラス乾板
に固定し、前記ピンを抜き取りガラス乾板にガイ
ド穴を形成してなることを特徴とするガラスマス
ク製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1978978A JPS54114304A (en) | 1978-02-24 | 1978-02-24 | Method of making glass mask |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1978978A JPS54114304A (en) | 1978-02-24 | 1978-02-24 | Method of making glass mask |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS54114304A JPS54114304A (en) | 1979-09-06 |
| JPS6140984B2 true JPS6140984B2 (ja) | 1986-09-12 |
Family
ID=12009097
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1978978A Granted JPS54114304A (en) | 1978-02-24 | 1978-02-24 | Method of making glass mask |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS54114304A (ja) |
-
1978
- 1978-02-24 JP JP1978978A patent/JPS54114304A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS54114304A (en) | 1979-09-06 |
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