JPS6148404B2 - - Google Patents
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- JPS6148404B2 JPS6148404B2 JP3609280A JP3609280A JPS6148404B2 JP S6148404 B2 JPS6148404 B2 JP S6148404B2 JP 3609280 A JP3609280 A JP 3609280A JP 3609280 A JP3609280 A JP 3609280A JP S6148404 B2 JPS6148404 B2 JP S6148404B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- blade
- pass filter
- bearing
- workpiece
- amplifier
- Prior art date
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- Expired
Links
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- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 13
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 13
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
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Landscapes
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、通電法によるダイサ加工状態の検出
装置に関する。
装置に関する。
ダイサ加工に際しては、ブレードの摩耗、目詰
り、チツピングやワークのチツピング発生をモニ
タして、能率的加工を行うことが必要である。例
えば、磁気ヘツドの精密加工においては、ブレー
ドの摩耗等によるワークのチツピングが生じ易い
ため、加工状態をモニタして製品歩留りの工場を
図らなければならない。
り、チツピングやワークのチツピング発生をモニ
タして、能率的加工を行うことが必要である。例
えば、磁気ヘツドの精密加工においては、ブレー
ドの摩耗等によるワークのチツピングが生じ易い
ため、加工状態をモニタして製品歩留りの工場を
図らなければならない。
従来、このような加工状態のモニタ方式として
ワークをテーブルに装着したときの加工力測定器
を利用する方法が行われるが、モニタ装置は複雑
かつ高価であつて取扱いに熟練を要する。また、
手軽な方法としてワークの加工後の形状を顕微鏡
観察する技法もあるが、加工中のモニタはできな
い上、観察結果は観察者によつて一致し難いとい
う問題があつた。従来、ブレード３とワーク４
（またはテーブル５）との接触位置を電気的に検
出して、ブレードのワークへの切り換え深さを決
めるため、第１図に示すように直流電源８を用い
てブレード３とワーク４間を通電する方式が提案
されている。本図において、１は固定した軸受、
２は回転する主軸、５はテーブル、６は絶縁物、
７は高周波モータ、９は測定用インピーダンスで
ある。この方法では、印加される電源が直流電源
で、軸受１が高抵抗を有する関係から、測定用イ
ンピーダンス９の両端から熱起電力によるモニタ
用出力Voutを検出するがすることが不可能であ
る。反面、通電電流を検出し易くするため、図示
のようにブラシ１０を設けて通電性を良くするこ
とが考えられるが、このブラシ１０は摩耗により
寿命が短いという問題があつた。
ワークをテーブルに装着したときの加工力測定器
を利用する方法が行われるが、モニタ装置は複雑
かつ高価であつて取扱いに熟練を要する。また、
手軽な方法としてワークの加工後の形状を顕微鏡
観察する技法もあるが、加工中のモニタはできな
い上、観察結果は観察者によつて一致し難いとい
う問題があつた。従来、ブレード３とワーク４
（またはテーブル５）との接触位置を電気的に検
出して、ブレードのワークへの切り換え深さを決
めるため、第１図に示すように直流電源８を用い
てブレード３とワーク４間を通電する方式が提案
されている。本図において、１は固定した軸受、
２は回転する主軸、５はテーブル、６は絶縁物、
７は高周波モータ、９は測定用インピーダンスで
ある。この方法では、印加される電源が直流電源
で、軸受１が高抵抗を有する関係から、測定用イ
ンピーダンス９の両端から熱起電力によるモニタ
用出力Voutを検出するがすることが不可能であ
る。反面、通電電流を検出し易くするため、図示
のようにブラシ１０を設けて通電性を良くするこ
とが考えられるが、このブラシ１０は摩耗により
寿命が短いという問題があつた。
本発明の目的は、上記従来の諸問題を解決し、
ブラシを使用することなく、少なくともブレード
とワークとの間、及び軸受に発生する熱起電力を
検出して種々の精密な加工状態を検出できるよう
にしたダイサ加工状態検出装置を提供することに
ある。
ブラシを使用することなく、少なくともブレード
とワークとの間、及び軸受に発生する熱起電力を
検出して種々の精密な加工状態を検出できるよう
にしたダイサ加工状態検出装置を提供することに
ある。
即ち、本発明は、上記目的を達成するために、
ブレードを先端に固定した主軸を回転駆動できる
ように回転自在に支持した軸受と、ワークを載置
したテーブルとを備え付けたダイサ加工装置にお
いて、上記ブレードまたは主軸に水等の導電性流
体を注ぐためにブレードに対向して設置された流
体ノズルを設け、この流体ノズルの金属部と上記
テーブル及び上記軸受との間に交流電源と第１、
及び第２の測定用インピーダンスとを直列に接続
し、これら第１、及び第２の測定用インピダンス
の両端から検出される各信号を増幅する増幅器を
設け、該増幅器で増幅された信号にローパスフイ
ルタを接続してこのローパスフイルタから検出さ
れる信号により熱起電力を検出し、更に上記増幅
器で増幅された信号にバンドパスフイルクを接続
し、この出力に整流器を接続して通電電流を検出
するように構成したことを特徴とするダイサ加工
状態検出装置である。
ブレードを先端に固定した主軸を回転駆動できる
ように回転自在に支持した軸受と、ワークを載置
したテーブルとを備え付けたダイサ加工装置にお
いて、上記ブレードまたは主軸に水等の導電性流
体を注ぐためにブレードに対向して設置された流
体ノズルを設け、この流体ノズルの金属部と上記
テーブル及び上記軸受との間に交流電源と第１、
及び第２の測定用インピーダンスとを直列に接続
し、これら第１、及び第２の測定用インピダンス
の両端から検出される各信号を増幅する増幅器を
設け、該増幅器で増幅された信号にローパスフイ
ルタを接続してこのローパスフイルタから検出さ
れる信号により熱起電力を検出し、更に上記増幅
器で増幅された信号にバンドパスフイルクを接続
し、この出力に整流器を接続して通電電流を検出
するように構成したことを特徴とするダイサ加工
状態検出装置である。
以下、図面に従つて本発明を具体的に説明す
る。第２図、及び第３図に、本発明のダイサ加工
状態検出装置の一実施例を示す。即ち、主軸２の
先端に固定したブレード３に対して流体ノズル１
４を配設し、交流電源１１を流体ノズル１４の金
属部とテーブル５及び主軸２との間に図示の如く
別の測定用インピーダンスZ1とZ2を介在させて直
列に接続する。いま、流体ノズル１４から水など
の導電性流体を主軸２の先端部に注ぐと、並列す
る両測定回路の夫々の測定用インピーダンスZ1と
Z2の両端に現れる出力電圧V1及びV2を検出する
ことができる。この出力電圧を第３図に示すよう
に処理することにより、ブレード３とワーク４
間、及び軸受の熱起電力及び通電電流を独立に測
定できる。即ち、第３図に示す検出信号の処理回
路を用い、出力Voutを増幅器１９で増幅してロ
ーパスフイルタ２２で処理すれば、直流分である
熱起電力を検出することができる。一方出力
Voutをバンドパスフイルタ２０を通して交流の
搬送成分を取出し、整流回路２１で整流してロー
パスフイルタ２２′を通せば測定回路を流れる通
電電流を検出することができる。このように交流
電源１１を接続したことにより、熱起電力と通電
電流とを検出することが可能になつた。更に熱起
電力と通電電流とを検出することにより精密な加
工状態をモニタすることが可能となる。ブレード
３とワーク４間の熱起電力が大きく検出された場
合は、ブレード３とワーク４との間の摩擦熱が大
きくなつたことを意味し、ブレード３の砥粒の切
刃が摩耗したか、砥粒間に切粉が詰まつて目詰り
の状態になつたことである。またブレード３とワ
ーク４間の通電電流を検出することにより、この
両者間の抵抗値の変動、即ち両者の接触、並びに
ブレード一回転中の細かい振動、（ブレードの局
部の摩耗や破損、偏り摩耗、ワークのチツピング
等に起因する振動）が検出される。また軸受の熱
起電力を検出することにより、軸受部の摩擦熱の
発生要因、即ち軸受の寿命やブレードによる加工
の過負荷状態が検出される。また軸受は、通常一
定の高抵抗値を示すので、軸受の通電電流を検出
することにより、軸受の異常が検出される。
る。第２図、及び第３図に、本発明のダイサ加工
状態検出装置の一実施例を示す。即ち、主軸２の
先端に固定したブレード３に対して流体ノズル１
４を配設し、交流電源１１を流体ノズル１４の金
属部とテーブル５及び主軸２との間に図示の如く
別の測定用インピーダンスZ1とZ2を介在させて直
列に接続する。いま、流体ノズル１４から水など
の導電性流体を主軸２の先端部に注ぐと、並列す
る両測定回路の夫々の測定用インピーダンスZ1と
Z2の両端に現れる出力電圧V1及びV2を検出する
ことができる。この出力電圧を第３図に示すよう
に処理することにより、ブレード３とワーク４
間、及び軸受の熱起電力及び通電電流を独立に測
定できる。即ち、第３図に示す検出信号の処理回
路を用い、出力Voutを増幅器１９で増幅してロ
ーパスフイルタ２２で処理すれば、直流分である
熱起電力を検出することができる。一方出力
Voutをバンドパスフイルタ２０を通して交流の
搬送成分を取出し、整流回路２１で整流してロー
パスフイルタ２２′を通せば測定回路を流れる通
電電流を検出することができる。このように交流
電源１１を接続したことにより、熱起電力と通電
電流とを検出することが可能になつた。更に熱起
電力と通電電流とを検出することにより精密な加
工状態をモニタすることが可能となる。ブレード
３とワーク４間の熱起電力が大きく検出された場
合は、ブレード３とワーク４との間の摩擦熱が大
きくなつたことを意味し、ブレード３の砥粒の切
刃が摩耗したか、砥粒間に切粉が詰まつて目詰り
の状態になつたことである。またブレード３とワ
ーク４間の通電電流を検出することにより、この
両者間の抵抗値の変動、即ち両者の接触、並びに
ブレード一回転中の細かい振動、（ブレードの局
部の摩耗や破損、偏り摩耗、ワークのチツピング
等に起因する振動）が検出される。また軸受の熱
起電力を検出することにより、軸受部の摩擦熱の
発生要因、即ち軸受の寿命やブレードによる加工
の過負荷状態が検出される。また軸受は、通常一
定の高抵抗値を示すので、軸受の通電電流を検出
することにより、軸受の異常が検出される。
上記実施例の場合、流体ノズル１４の代りに冷
却用ノズル１５を光流電源１１に接続すれば、ワ
ーク４の加工部が冷却されるので、更に精密なモ
ニタができることが判つた。このような流体ノズ
ル１４を用いる方法は、測定回路の導電性がよく
なるので正確なモニタができる。尚、ブレード３
を固定した主軸２の先端に凹部を設け、そこに流
体を注ぐと少量の流体を用いて確実な回路の導通
が図れる。
却用ノズル１５を光流電源１１に接続すれば、ワ
ーク４の加工部が冷却されるので、更に精密なモ
ニタができることが判つた。このような流体ノズ
ル１４を用いる方法は、測定回路の導電性がよく
なるので正確なモニタができる。尚、ブレード３
を固定した主軸２の先端に凹部を設け、そこに流
体を注ぐと少量の流体を用いて確実な回路の導通
が図れる。
以上説明したように本発明によれば、流体ノズ
ルより流す導電性流体によりダイサと導通を取
り、流体ノズルとテーブル及び軸受とに流れる電
流の周波数特性によつて簡単な構成で、しかも高
速回転するダイサに対して高信頼度でもつて軸受
の過負荷状態やブレードの刃先破損状態やワーク
の仕上りのチツピング状態等、ダイサの加工状態
を検出することができる効果を奏する。
ルより流す導電性流体によりダイサと導通を取
り、流体ノズルとテーブル及び軸受とに流れる電
流の周波数特性によつて簡単な構成で、しかも高
速回転するダイサに対して高信頼度でもつて軸受
の過負荷状態やブレードの刃先破損状態やワーク
の仕上りのチツピング状態等、ダイサの加工状態
を検出することができる効果を奏する。
第１図は従来のダイサにおけるブレードとワー
ク間の通電方式を示す図、第２図は本発明の一実
施例であるダイサにおける通電方式を示す図、第
３図は本発明に係る検出出力の信号処理方式を示
す図である。 １……軸受、２……主軸、３……ブレード、４
……ワーク、５……テーブル、６……絶縁物、９
……測定用インピーダンス、１１……交流電源、
１４……流体ノズル、１５……冷却ノズル。
ク間の通電方式を示す図、第２図は本発明の一実
施例であるダイサにおける通電方式を示す図、第
３図は本発明に係る検出出力の信号処理方式を示
す図である。 １……軸受、２……主軸、３……ブレード、４
……ワーク、５……テーブル、６……絶縁物、９
……測定用インピーダンス、１１……交流電源、
１４……流体ノズル、１５……冷却ノズル。
Claims (1)
- １ ブレードを先端に固定した主軸を回転駆動で
きるように回転自在に支持した軸受と、ワークを
載置したテーブルとを備え付けたダイサ加工装置
において、上記ブレードまたは主軸に水等の導電
性流体を注ぐためにブレードに対向して設置され
た流体ノズルを設け、この流体ノズルの金属部と
上記テーブル及び上記軸受との間に交流電源と第
１、及び第２の測定用インピーダンスとを直列に
接続し、これら第１、及び第２の測定用インピダ
ンスの両端から検出される各信号を増幅する増幅
器を設け、該増幅器で増幅された信号にローパス
フイルタを接続してこのローパスフイルタから検
出される信号により熱起電力を検出し、更に上記
増幅器で増幅された信号にバンドパスフイルタを
接続し、この出力に整流器を接続して通電電流を
検出するように構成したことを特徴とするダイサ
加工状態検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3609280A JPS56133114A (en) | 1980-03-24 | 1980-03-24 | Method of monitoring dicer working condition by conduction method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3609280A JPS56133114A (en) | 1980-03-24 | 1980-03-24 | Method of monitoring dicer working condition by conduction method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56133114A JPS56133114A (en) | 1981-10-19 |
| JPS6148404B2 true JPS6148404B2 (ja) | 1986-10-24 |
Family
ID=12460104
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3609280A Granted JPS56133114A (en) | 1980-03-24 | 1980-03-24 | Method of monitoring dicer working condition by conduction method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS56133114A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6365101U (ja) * | 1986-10-15 | 1988-04-28 | ||
| JPH02282904A (ja) * | 1989-04-25 | 1990-11-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | テープガイドドラム装置 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008018479A (ja) * | 2006-07-11 | 2008-01-31 | Nic:Kk | 切断砥石 |
| JP5431853B2 (ja) * | 2009-10-01 | 2014-03-05 | 株式会社ディスコ | 切削装置及び検出方法 |
| JP7098239B2 (ja) * | 2018-08-13 | 2022-07-11 | 株式会社ディスコ | ノズル高さ検査方法及び切削装置 |
| CN109531657A (zh) * | 2019-01-04 | 2019-03-29 | 东阳市伟群制刀缝配有限公司 | 一种裁布机用砂带自动精细分切机刀具校正系统 |
-
1980
- 1980-03-24 JP JP3609280A patent/JPS56133114A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6365101U (ja) * | 1986-10-15 | 1988-04-28 | ||
| JPH02282904A (ja) * | 1989-04-25 | 1990-11-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | テープガイドドラム装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56133114A (en) | 1981-10-19 |
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