JPS6154598B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6154598B2 JPS6154598B2 JP57039337A JP3933782A JPS6154598B2 JP S6154598 B2 JPS6154598 B2 JP S6154598B2 JP 57039337 A JP57039337 A JP 57039337A JP 3933782 A JP3933782 A JP 3933782A JP S6154598 B2 JPS6154598 B2 JP S6154598B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- workpiece
- opening
- monitoring
- evaporation source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Laminated Bodies (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は被加工物上に複数の蒸発源からの蒸発
物質を多層の薄膜状に形成する多層薄膜形成装置
における膜厚監視装置に関する。
物質を多層の薄膜状に形成する多層薄膜形成装置
における膜厚監視装置に関する。
従来この種装置として第１図及び第２図示のよ
うに被加工物ａを真空処理室ｂ内の複数の蒸発源
ｃ上を移動させてこれに第３図示のような多層の
薄膜ｄ，ｄを形成すると共に、該被加工物ａの一
部ｅに、該被加工物ａと各蒸発源ｃとの間に介在
させた各蒸発源毎に段階的に遮蔽幅が減少する遮
板ｆの開口部ｇを介して監視用の薄膜ｈを形成
し、各段階ｉから新たに露出する薄膜ｈを夫々投
受光器ｊ，ｊを用いて測定することにより膜厚を
監視する式のものは知られている（特公昭53−
40189号）。而してこの式のものでは投受光器ｊ，
ｊを薄膜の層数に応じて多数設置するを要し、ま
たその設置個所は各蒸発源ｃの直後に制限される
ので比較的設置の困難性を生じ易い欠点があり、
また薄膜の層数の増加に伴ない製品として利用出
来ない監視用薄膜ｈの幅が拡がりロスが多くなつ
て経済的でない不都合があつた。
うに被加工物ａを真空処理室ｂ内の複数の蒸発源
ｃ上を移動させてこれに第３図示のような多層の
薄膜ｄ，ｄを形成すると共に、該被加工物ａの一
部ｅに、該被加工物ａと各蒸発源ｃとの間に介在
させた各蒸発源毎に段階的に遮蔽幅が減少する遮
板ｆの開口部ｇを介して監視用の薄膜ｈを形成
し、各段階ｉから新たに露出する薄膜ｈを夫々投
受光器ｊ，ｊを用いて測定することにより膜厚を
監視する式のものは知られている（特公昭53−
40189号）。而してこの式のものでは投受光器ｊ，
ｊを薄膜の層数に応じて多数設置するを要し、ま
たその設置個所は各蒸発源ｃの直後に制限される
ので比較的設置の困難性を生じ易い欠点があり、
また薄膜の層数の増加に伴ない製品として利用出
来ない監視用薄膜ｈの幅が拡がりロスが多くなつ
て経済的でない不都合があつた。
本発明はこうした欠点を解決することをその目
的としたもので、被加工物を真空処理室内の複数
の蒸発源上を移動させてこれに多層に薄膜を形成
すると共に該被加工物と一体にこれと各蒸発源と
の間に介在させた遮板の開口部を介して監視用の
薄膜を形成し、該監視用薄膜を投受光器用の光に
より測定して多層の薄膜の膜厚を監視する式のも
のに於て、該遮板の開口部を該被加工物の移動方
向に沿つて直線的に配置されると共に各蒸発源と
夫々対向した複数個の開口部に構成し、各開口部
にこれを開閉するシヤツタを夫々設けたことを特
徴とする。
的としたもので、被加工物を真空処理室内の複数
の蒸発源上を移動させてこれに多層に薄膜を形成
すると共に該被加工物と一体にこれと各蒸発源と
の間に介在させた遮板の開口部を介して監視用の
薄膜を形成し、該監視用薄膜を投受光器用の光に
より測定して多層の薄膜の膜厚を監視する式のも
のに於て、該遮板の開口部を該被加工物の移動方
向に沿つて直線的に配置されると共に各蒸発源と
夫々対向した複数個の開口部に構成し、各開口部
にこれを開閉するシヤツタを夫々設けたことを特
徴とする。
本発明装置の実施の１例を別紙図面につき説明
するに、第４図に於て１は真空処理室、２は該室
１内を一方のロール３ａから解かれ他方のロール
３ｂに巻取られるべく移動するポリエステルフイ
ルムその他の被加工物、４は該真空処理室１内の
下方に該被加工物２と対向させてその移動方向に
配置した複数個の幅方向に長手の蒸発源を示し、
各蒸発源４から蒸発する物質がその上方を移動す
る被加工物２の表面に順次附着して多層の薄膜５
が形成される。また該被加工物２と各蒸発源４と
の間には開口部６を備えた遮板７が介在され、該
開口部６を介して被加工物２の例えば１側に予め
用意した監視帯域２ａに監視用の薄膜８が形成さ
れる。該監視用の薄膜８は投光器９ａと受光器９
ｂとの１対からなる投受光器９によりその厚さが
監視されるもので、投光器９ａからの該薄膜８の
透過光量或は反射光量をアンプ１０、記録装置１
１に連結された受光器９ｂに於て測定し、該監視
用薄膜８の膜厚の異常が測定されると例えば蒸発
源４の蒸発量を制御して予定の膜厚が得られるよ
うに制御される。
するに、第４図に於て１は真空処理室、２は該室
１内を一方のロール３ａから解かれ他方のロール
３ｂに巻取られるべく移動するポリエステルフイ
ルムその他の被加工物、４は該真空処理室１内の
下方に該被加工物２と対向させてその移動方向に
配置した複数個の幅方向に長手の蒸発源を示し、
各蒸発源４から蒸発する物質がその上方を移動す
る被加工物２の表面に順次附着して多層の薄膜５
が形成される。また該被加工物２と各蒸発源４と
の間には開口部６を備えた遮板７が介在され、該
開口部６を介して被加工物２の例えば１側に予め
用意した監視帯域２ａに監視用の薄膜８が形成さ
れる。該監視用の薄膜８は投光器９ａと受光器９
ｂとの１対からなる投受光器９によりその厚さが
監視されるもので、投光器９ａからの該薄膜８の
透過光量或は反射光量をアンプ１０、記録装置１
１に連結された受光器９ｂに於て測定し、該監視
用薄膜８の膜厚の異常が測定されると例えば蒸発
源４の蒸発量を制御して予定の膜厚が得られるよ
うに制御される。
以上の構成は従来のものと特に変わりがない
が、本発明のものに於ては遮板７の開口部６を被
加工物２の移動方向に沿つて直線的に配置すると
共に各蒸発源４に夫々対向した複数個の開口部に
構成し、各蒸発源４からの蒸発物質の一部が該開
口部６を介してその上方の被加工物２の監視帯域
２ａに直線的な配列の監視用薄膜８として附着す
るようにし、さらに各開口部６にはこれを開閉す
るシヤツタ１２を夫々設け、各シヤツタ１２を間
歇的に開閉することにより前記帯域２ａに各蒸発
源４の蒸発物質による薄膜８が第６図示のように
分離した直線的な配列で形成されるようにした。
この場合該薄膜８は該シヤツタ１２を迅速に開閉
出来るようにすれば、詳細には第７図示の如く被
加工物２の移動方向に傾斜８ａを備えた膜厚形状
に形成されるが、膜厚の測定に際しては各蒸発源
４を過ぎた巻取ロール３ｂの前方に於てその定常
部分８ｂに対する投受光器９の出力を測定する。
が、本発明のものに於ては遮板７の開口部６を被
加工物２の移動方向に沿つて直線的に配置すると
共に各蒸発源４に夫々対向した複数個の開口部に
構成し、各蒸発源４からの蒸発物質の一部が該開
口部６を介してその上方の被加工物２の監視帯域
２ａに直線的な配列の監視用薄膜８として附着す
るようにし、さらに各開口部６にはこれを開閉す
るシヤツタ１２を夫々設け、各シヤツタ１２を間
歇的に開閉することにより前記帯域２ａに各蒸発
源４の蒸発物質による薄膜８が第６図示のように
分離した直線的な配列で形成されるようにした。
この場合該薄膜８は該シヤツタ１２を迅速に開閉
出来るようにすれば、詳細には第７図示の如く被
加工物２の移動方向に傾斜８ａを備えた膜厚形状
に形成されるが、膜厚の測定に際しては各蒸発源
４を過ぎた巻取ロール３ｂの前方に於てその定常
部分８ｂに対する投受光器９の出力を測定する。
該開口部６は第８図、第９図示のように偏平三
角形或は偏平五角形に形成してもよく、また第１
０図、第１１図示のように遮板７の被加工物２の
製品となる帯域２ｂに対向する部分に各蒸発源４
毎の開口部１３を備えるものにあつては該開口部
１３に連続してシヤツタ１２を有する方形、三角
形の開口部６を形成してもよい。
角形或は偏平五角形に形成してもよく、また第１
０図、第１１図示のように遮板７の被加工物２の
製品となる帯域２ｂに対向する部分に各蒸発源４
毎の開口部１３を備えるものにあつては該開口部
１３に連続してシヤツタ１２を有する方形、三角
形の開口部６を形成してもよい。
その作動を第４図及び第５図示の実施例につい
て説明するに、ロール３ａ，３ｂを回動して被加
工物２を図面右方に移動させると下方の各蒸発源
４からのZnS，MgF2等の蒸発物質が順次附着
し、該被加工物２の下面に多層の薄膜５が形成さ
れる。この場合移動方向下流の開口部６ａのシヤ
ツタ１２ａを一定時間開き、順次その上流側の開
口部６ｂのシヤツタ１２ｂを一定時間開くように
すれば該被加工物２の監視帯域２ａには第６図示
のように各蒸発源４からの単層の薄膜８が直線的
に形成され、各薄膜８の厚さを一基の投受光器９
により順次測定し監視することが出来る。従つて
予定の膜厚でない薄膜８が出現すると例えば被加
工物２の移動速度から逆算してこれを形成した蒸
発源４を判定出来、その蒸発量を適正量に補正す
る。尚、シヤツタ１２は下流側から順に開閉する
ように説明したが、これに限らず任意のものを開
閉して単層の薄膜８を形成するようにしてもよ
い。また該被加工物２は長尺の移送帯に取付けて
移動されるレンズその他の単物品であつてもよ
い。
て説明するに、ロール３ａ，３ｂを回動して被加
工物２を図面右方に移動させると下方の各蒸発源
４からのZnS，MgF2等の蒸発物質が順次附着
し、該被加工物２の下面に多層の薄膜５が形成さ
れる。この場合移動方向下流の開口部６ａのシヤ
ツタ１２ａを一定時間開き、順次その上流側の開
口部６ｂのシヤツタ１２ｂを一定時間開くように
すれば該被加工物２の監視帯域２ａには第６図示
のように各蒸発源４からの単層の薄膜８が直線的
に形成され、各薄膜８の厚さを一基の投受光器９
により順次測定し監視することが出来る。従つて
予定の膜厚でない薄膜８が出現すると例えば被加
工物２の移動速度から逆算してこれを形成した蒸
発源４を判定出来、その蒸発量を適正量に補正す
る。尚、シヤツタ１２は下流側から順に開閉する
ように説明したが、これに限らず任意のものを開
閉して単層の薄膜８を形成するようにしてもよ
い。また該被加工物２は長尺の移送帯に取付けて
移動されるレンズその他の単物品であつてもよ
い。
このように本発明によるときは監視用の薄膜を
形成するための開口部を直線的に且つ各蒸発源に
対向した複数個のものとし、各開口部に夫々シヤ
ツタを設けたので、監視用薄膜を間歇直線的に形
成し得、該薄膜を監視する投受光器の設置台数を
１台に削減出来、安価に製作出来ると共にその設
置個所は蒸発源から離せるので設置が容易でその
投受光面が蒸発物質で曇ることも少なくなり、監
視用薄膜を形成する監視帯域は比較的狭幅で済む
ので被加工物のロスも少なく、また単層の監視用
薄膜の夫々を監視して被加工物の多層の薄膜を監
視するので監視精度が向上する等の効果がある。
形成するための開口部を直線的に且つ各蒸発源に
対向した複数個のものとし、各開口部に夫々シヤ
ツタを設けたので、監視用薄膜を間歇直線的に形
成し得、該薄膜を監視する投受光器の設置台数を
１台に削減出来、安価に製作出来ると共にその設
置個所は蒸発源から離せるので設置が容易でその
投受光面が蒸発物質で曇ることも少なくなり、監
視用薄膜を形成する監視帯域は比較的狭幅で済む
ので被加工物のロスも少なく、また単層の監視用
薄膜の夫々を監視して被加工物の多層の薄膜を監
視するので監視精度が向上する等の効果がある。
第１図は従来例の截断側面図、第２図はその
−線截断面図、第３図は多層の薄膜の拡大断面
図、第４図は本発明装置の１例の截断側面図、第
５図はその−線截断面図、第６図被加工物の
底面図、第７図は監視用薄膜の形成状態を示す線
図、第８図乃至第１１図は開口部の変形例の底面
図である。 １……真空処理室、２……被加工物、４……蒸
発源、５……多層の薄膜、６……開口部、７……
遮板、８……監視用の薄膜、９……投受光器、１
２……シヤツタ。
−線截断面図、第３図は多層の薄膜の拡大断面
図、第４図は本発明装置の１例の截断側面図、第
５図はその−線截断面図、第６図被加工物の
底面図、第７図は監視用薄膜の形成状態を示す線
図、第８図乃至第１１図は開口部の変形例の底面
図である。 １……真空処理室、２……被加工物、４……蒸
発源、５……多層の薄膜、６……開口部、７……
遮板、８……監視用の薄膜、９……投受光器、１
２……シヤツタ。
Claims (1)
- １ 被加工物を真空処理室内の複数の蒸発源上を
移動させてこれに多層に薄膜を形成すると共に該
被加工物と一体にこれと各蒸発源との間に介在さ
せた遮板の開口部を介して監視用の薄膜を形成
し、該監視用薄膜を投受光器間の光により測定し
て多層の薄膜の膜厚を監視する式のものに於て、
該遮板の開口部を該被加工物の移動方向に沿つて
直線的に配置されると共に各蒸発源と夫々対向し
た複数個の開口部に構成し、各開口部にこれを開
閉するシヤツタを夫々設けたことを特徴とする多
層薄膜形成装置における膜厚監視装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57039337A JPS58158255A (ja) | 1982-03-15 | 1982-03-15 | 多層薄膜形成装置における膜厚監視装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57039337A JPS58158255A (ja) | 1982-03-15 | 1982-03-15 | 多層薄膜形成装置における膜厚監視装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58158255A JPS58158255A (ja) | 1983-09-20 |
| JPS6154598B2 true JPS6154598B2 (ja) | 1986-11-22 |
Family
ID=12550273
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57039337A Granted JPS58158255A (ja) | 1982-03-15 | 1982-03-15 | 多層薄膜形成装置における膜厚監視装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58158255A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102016221529A1 (de) * | 2016-11-03 | 2018-05-03 | Koenig & Bauer Ag | Laminierungsmaschine |
| DE102016221527A1 (de) * | 2016-11-03 | 2018-05-03 | Koenig & Bauer Ag | Laminierungsmaschine mit Einziehmittel und ein Verfahren zum Laminieren eines Materials |
| DE102016221530A1 (de) | 2016-11-03 | 2018-05-03 | Koenig & Bauer Ag | Laminierungsmaschine und ein Verfahren zum Laminieren von Bogen eines Materials |
-
1982
- 1982-03-15 JP JP57039337A patent/JPS58158255A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58158255A (ja) | 1983-09-20 |
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