JPS6158889B2 - - Google Patents
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Description
【発明の詳細な説明】
情報信号と対応するビツトが渦巻状あるいは同
心円状に配列されることによつて形成された記録
跡を備えている情報記録媒体円盤(デイスク)に
おける記録跡上に再生素子(ピツクアツプ)の再
生針を摺接し、記録跡中の情報信号の状態に従つ
て生じる静電容量値の変化を電気量の変化として
検出することにより、デイスクに高密度で記録さ
れている情報信号を再生するようにしたいわゆる
静電容量値の変化検出型の情報記録再生方式は、
デイスクにおける記録跡中の情報信号の読取り
が、再生針に設けた電極によつて静電容量値の変
化の検出によつて行なわれるから、前記した再生
針における電極の厚さ寸法を情報信号と対応する
ビツトの長さ(記録跡が延びている方向における
ビツトの大きさ)寸法に比べて充分に小さくして
分解能を高めることができ、したがつて、デイス
クの回転数を低くしても情報信号の記録再生が可
能であるという特長を有する他に、その他多くの
利点を有するために、その実用化研究が推進され
て来ている。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION A reproducing element is placed on a recording trace in an information recording medium disk (disc) having a recording trace formed by arranging bits corresponding to an information signal in a spiral or concentric pattern. By sliding the playback stylus of a pickup (pick-up) into contact and detecting the change in capacitance value that occurs according to the state of the information signal in the recorded trace as a change in the amount of electricity, the information signal that is recorded at high density on the disk can be detected. The so-called capacitance value change detection type information recording and reproducing method that reproduces the
Since the information signal in the recording trace on the disk is read by detecting the change in capacitance value using the electrode provided on the playback needle, the thickness dimension of the electrode on the playback needle described above is used as the information signal. The length of the corresponding bit (the size of the bit in the direction in which the recording trace extends) can be made sufficiently small to increase the resolution, so even if the rotational speed of the disk is low, the information In addition to being capable of recording and reproducing signals, it also has many other advantages, so research into its practical application has been promoted.
ところで、情報信号が高密度記録されているデ
イスクは、記録跡間隔(トラツクピツチ)が小さ
く、かつ、デイスク面上での記録波長が著るしく
短いものとなされているから、デイスクからの情
報信号の読取りに使用される再生素子の再生針で
は、デイスク面上の最短記録波長の1/2以下の寸
法となされている電極厚さと、隣接記録跡からの
クロストークが問題とならないように記録跡間隔
に略々等しくなされている電極巾とを有するよう
な電極端部を摺接面に出現させうるような電極部
を摺接面本体における電極形成面上に導電性物質
によつて形成させているが、再生針に形成させる
べき上記の電極部としては、デイスク面との摺接
によつても摺接面本体から剥離しないように、再
生針本体に対して充分に大きな付着力で付着され
ている状態となされていることが必要であると共
に、情報信号の検出が良好なC/Nを示すような
状態で行なわれうるように、電極部が低い電気抵
抗値を示すものとして構成されていることが必要
とされる。 Incidentally, a disk on which information signals are recorded at high density has a small track pitch and a significantly short recording wavelength on the disk surface. The reproduction needle of the reproduction element used for reading has an electrode thickness that is less than 1/2 of the shortest recording wavelength on the disk surface, and a recording trace spacing so that crosstalk from adjacent recording traces does not become a problem. An electrode part is formed of a conductive material on the electrode forming surface of the sliding contact surface main body so that an electrode end portion having an electrode width approximately equal to , can appear on the sliding contact surface. However, the above-mentioned electrode portion to be formed on the regenerated needle must be attached to the regenerated needle body with a sufficiently large adhesion force so that it will not peel off from the sliding contact surface body even when it comes into sliding contact with the disk surface. In addition, the electrode portion is configured to exhibit a low electrical resistance value so that the information signal can be detected in a condition that exhibits a good C/N ratio. That is required.
すなわち、静電容量値の変化検出型検出再生素
子の再生針ではその摺接面が高速回転状態となさ
れているデイスク面上に摺接した状態で、電極
部、主として電極端部によりデイスクの記録情報
を静電容量値の変化によつて検出しているもので
あるが、再生針本体と電極部を構成している導電
性物質による被膜との間の付着力が小さいと、高
速回転するデイスクと摺接状態にある電極端部に
加わる外力によつて電極部が再生針本体から剥離
されて、再生針が使用不能なものとなされたり、
あるいは、再生針を所望の外形々状に加工する
時、または電極部を所望の形状に整形加工する時
などに電極部に加えられる外力によつて、電極部
が再生針本体から剥離されて、完全な再生針を得
ることが困難となり、再生針の製作時の歩留りが
低下するなどの問題点が生じる。 In other words, the reproducing needle of the capacitance value change detecting type detecting reproducing element records data on the disc using the electrode part, mainly the electrode end, while its sliding surface is in sliding contact with the disk surface which is rotating at high speed. Information is detected by changes in capacitance, but if the adhesive force between the regenerating needle body and the conductive material coating that makes up the electrode part is small, the high-speed rotating disk The electrode part may be peeled off from the regenerated needle body due to external force applied to the end of the electrode that is in sliding contact with the regenerated needle, and the regenerated needle may become unusable.
Alternatively, the electrode portion may be peeled off from the regenerated needle body due to an external force applied to the electrode portion when processing the regenerated needle into a desired external shape, or when shaping the electrode portion into a desired shape, etc. It becomes difficult to obtain a completely regenerated needle, which causes problems such as a decrease in the yield when manufacturing the regenerated needle.
また、静電容量値の変化検出再生素子では、再
生針の電極部とデイスクの情報面との間の静電容
量を、高周波発振器から固定の周波数の信号が与
えられている同調回路における同調周波数の決定
用のコンデンサの全部または一部として用い、再
生針の電極部とデイスクの情報面との間の静電容
量値の変化による同調回路の共振周波数の変化に
よつて、同調回路からデイスクの記録情報によつ
て振幅変調された状態の信号を取出し、それを振
幅復調してデイスクの記録情報(FM波)が得ら
れるようにしているのが通常なのであるが、デイ
スクの情報信号を静電容量値の変化として検出す
るための再生針の電極部は、前記のように共振回
路中の素子として用いられているものであるか
ら、電極部の電気抵抗は共振回路の共振の鋭るど
さQを決定する要素となる。それで、電極部の電
気抵抗が大きくて共振回路のQが低くなつた場合
には、静電容量値の変化によつて共振周波数が第
1図示のように2から1まで変化して共振曲
線が,のように変化しても、高周波発振器か
ら共振回路に供給されている信号の周波数hの
位置における共振曲線の変量αは極めて小さくな
り、したがつて、静電容量値の変化によつて検出
されたデイスクの情報信号はC/Nの悪い状態の
信号として再生素子から出力されることになるの
である。第1図中において、曲線,は再生針
の電極部が電気抵抗値が小さなものとして構成さ
れていた場合における共振回路の共振曲線であ
り、静電容量値の変化によつて共振回路の周波数
が2から1まで変化すると、高周波発振器か
ら共振回路に供給されている信号の周波数hの
位置における共振曲線の変化量βは既述した変化
量αに比べて大きなものであり、したがつて、再
生素子からはC/Nの良好な再生信号が得られる
のである。 In addition, in the capacitance change detection playback element, the capacitance between the electrode part of the playback needle and the information surface of the disk is measured at the tuning frequency of a tuning circuit to which a signal of a fixed frequency is given from a high-frequency oscillator. It is used as all or part of the capacitor for determining Normally, a signal whose amplitude has been modulated by the recorded information is extracted and amplitude demodulated to obtain the recorded information (FM wave) on the disk, but the information signal on the disk is electrostatically modulated. The electrode part of the regeneration needle used to detect changes in capacitance value is used as an element in the resonant circuit as described above, so the electrical resistance of the electrode part is a function of the sharpness of the resonance of the resonant circuit. This is a factor that determines Q. Therefore, when the electrical resistance of the electrode part is large and the Q of the resonant circuit becomes low, the resonant frequency changes from 2 to 1 as shown in the first diagram due to the change in capacitance value, and the resonance curve changes. , the variation α of the resonance curve at the position of the frequency h of the signal supplied from the high-frequency oscillator to the resonant circuit becomes extremely small, and therefore it can be detected by the change in the capacitance value. The information signal of the disc that has been processed will be output from the reproducing element as a signal with a poor C/N ratio. In Figure 1, the curve indicates the resonance curve of the resonant circuit when the electrode part of the regeneration needle is constructed with a small electrical resistance value, and the frequency of the resonant circuit changes as the capacitance value changes. When changing from 2 to 1 , the amount of change β in the resonance curve at the position of frequency h of the signal supplied from the high-frequency oscillator to the resonant circuit is larger than the amount of change α described above, and therefore, the reproduction A reproduced signal with a good C/N ratio can be obtained from the element.
このように、静電容量値の変化検出型再生素子
の再生針としては、電極部と再生針本体との付着
状態が充分に強固であること、電極部の電気抵抗
が低いこと、などの諸条件も満足されていなけれ
ばならないのである。 As described above, the regeneration needle of the regeneration element that detects changes in capacitance requires several factors, such as the adhesion between the electrode part and the regeneration needle body to be sufficiently strong, and the electrical resistance of the electrode part to be low. The conditions must also be satisfied.
従来、再生針の電極部は、再生針本体として用
いられる耐摩耗性を有する高硬度材料物質との間
で大きな付着物が得られるような導電性物質を選
定し、その導電性物質を再生針本体の電極形成面
上にスパツタリング法あるいは蒸着法などの適用
によつて所望の厚さの被膜として付着させること
が最も一般的に行なわれて来ており、例えば、再
生針本体がダイヤモンドの場合には、チタンを用
いて電極部を構成させ、また例えば再生針本体が
サフアイアの場合には、ハフニウムを用いて電極
部を構成させることによつて、電気抵抗が低く、
かつ、実用上で大きな支障が生じない程度におい
て充分な付着力を以つて再生針本体に付着された
状態の電極部を再生針本体に付着形成させるよう
にしていたが、長寿命で安定な再生特性を示す再
生針を得ることは困難であつた。 Conventionally, for the electrode part of a recycled needle, a conductive material is selected that can form a large deposit with the wear-resistant, high-hardness material used for the recycled needle body, and the conductive material is used as the material for the recycled needle. The most common method has been to deposit a film of a desired thickness on the electrode forming surface of the main body by sputtering or vapor deposition. For example, when the regenerated needle main body is made of diamond, The electrode part is made of titanium, and if the recycled needle body is made of sapphire, the electrode part is made of hafnium, which results in low electrical resistance.
In addition, the electrode part was attached to the regenerated needle body with sufficient adhesion force to the extent that it did not cause any major problems in practical use. It has been difficult to obtain regenerated needles exhibiting these characteristics.
本出願人会社では、長寿命で安定な再生特性を
示す再生針を容易に提供できるようにするため
に、従来から引続き再生針に関する実用化研究を
推進して来ているが、先に、再生針本体の素材と
してダイヤモンドを用いた再生針について、それ
の電極形成面の表面にダイヤモンド自体の炭素に
よる導電化層を形成させ、それを電極とするよう
な構成形態を有する再生針を完成した。 The applicant company has been promoting practical research on recycled needles in order to easily provide recycled needles that have a long life and stable regeneration characteristics. A regenerated needle using diamond as the material for the needle body was completed by forming a conductive layer of the diamond's own carbon on the electrode-forming surface of the needle, and using this as an electrode.
そして前記の構成形態を有する再生針では、電
極が再生針本体の素材として用いられているダイ
ヤモンド自体の炭素による導電化層であるため
に、再生針の使用中に電極の剥離が生じることも
なく、長寿命で、かつ、良好な再生特性を示す再
生針を容易に提供することを可能としたが、ダイ
ヤモンド自体の炭素による導電化層としてそれの
電気抵抗値の低いものを得ようとした場合には、
長い熱処理時間が必要とされるなどの問題点があ
り、それの改善が望まれた。 In the regenerated needle having the above configuration, since the electrode is a conductive layer made of carbon of the diamond itself used as the material of the regenerated needle body, the electrode does not peel off during use of the regenerated needle. , it was possible to easily provide a regenerated needle that has a long life and exhibits good regeneration characteristics, but when trying to obtain a conductive layer of carbon with a low electrical resistance value of the diamond itself. for,
There were problems such as the long heat treatment time required, and improvement of these problems was desired.
本発明は、ダイヤモンド製の再生針本体におけ
る電極形成面に設けられたダイヤモンド自体の炭
素による導電化層に、所要の厚さの導電性物質に
よる電極被膜を構成させることにより、前記した
問題点の解決された再生針を容易に提供すること
ができるようにしたものであり、以下、添付図面
を参照しながら本発明の静電容量値の変化検出再
生針の具体的な内容を詳細に説明する。 The present invention solves the above-mentioned problems by forming an electrode coating of a conductive material with a required thickness on the conductive layer made of carbon of the diamond itself, which is provided on the electrode forming surface of the regenerated diamond needle body. The regeneration needle that solves the problem can be easily provided, and the specific contents of the capacitance value change detection regeneration needle of the present invention will be explained in detail below with reference to the attached drawings. .
第2図は、本発明の静電容量値の変化検出再生
針の一実施態様のものの斜視図であり、この第2
図において1はダイヤモンドを素材とする再生針
本体、2は電極形成面、3,4は電極形成面に隣
り合う背面、5,6は導入面(ただし、導入面6
は導入面5と背面4との間に形成されている面で
あるために図面中には示されていない)、7は摺
接面であり、また、Dは前記の摺接面7が再生動
作時に摺接すべきデイスク面の位置を参考のため
に示した線である。 FIG. 2 is a perspective view of one embodiment of the capacitance value change detection regeneration needle of the present invention;
In the figure, 1 is the regenerated needle body made of diamond, 2 is the electrode formation surface, 3 and 4 are the back surfaces adjacent to the electrode formation surface, and 5 and 6 are the introduction surfaces (however, the introduction surface 6
is a surface formed between the introduction surface 5 and the back surface 4 (not shown in the drawing), 7 is a sliding surface, and D is a surface formed between the sliding surface 7 and the rear surface 4. This line shows for reference the position of the disk surface that should come into sliding contact during operation.
この第2図示の本発明の再生針において、再生
針本体1の電極形成面2に形成されている電極部
は、第3図に示すように電極形成面2の表面にダ
イヤモンド自体の炭素により形成された導電化層
8と、前記の導電化層8上に付着された導電性物
質による電極被膜9とによつて構成されているか
ら、電極部は充分に低い電気抵抗値の電極被膜9
によつて再生信号が良好なC/Nを有するものと
なされ、また、電極被膜9は電極形成面2の表面
に形成されたダイヤモンド自体よりなる導電化層
8と良好な付着強度で付着されるために、電極部
の剥離しない再生針が容易に得られるのである。 In the regenerated needle of the present invention shown in FIG. 2, the electrode portion formed on the electrode forming surface 2 of the regenerated needle main body 1 is formed of the carbon of the diamond itself on the surface of the electrode forming surface 2, as shown in FIG. Since the electrode part is constituted by the conductive layer 8 and the electrode coating 9 made of a conductive material deposited on the conductive layer 8, the electrode portion has a sufficiently low electrical resistance value.
The reproduced signal is made to have a good C/N, and the electrode coating 9 is adhered to the conductive layer 8 made of diamond itself formed on the surface of the electrode forming surface 2 with good adhesion strength. Therefore, a regenerated needle without peeling of the electrode portion can be easily obtained.
前述のような本発明の再生針において、それの
電極形成面2の表面にダイヤモンド自体の炭素に
より形成されている導電化層8は、例えば再生針
本体の素材となるダイヤモンドを、微量な酸素を
含む真空中、または微量な酸素を含む不活性ガス
中で高温処理して、再生針本体の素材の表面部分
にダイヤモンド自体の炭素による導電化層を形成
させ、次いで前記の導電化層が電極形成面と対応
する部分だけに残されるように、電極形成面2と
対応する部分以外の導電化層を研磨によつて除去
したり、あるいは電極形成面2と対応する部分以
外の導電化層にレーザ光、X線、電子線、ガンマ
線、熱線などのようなエネルギ線を照射して高抵
抗体化することによつて形成することができる
他、例えば前記の導電化層8は、ダイヤモンドよ
りなる再生針本体を微量な酸素を含む真空中また
は微量な酸素を含む不活性ガス中で、再生針本体
における電極形成予定面における電極形成部と
略々対応する部分だけをレーザービームまたは電
子ビームで照射して加熱することによつても形成
することができるのであるが、ここで、ダイヤモ
ンドの表面に、ダイヤモンド自体の炭素により厚
さ3000オングストローム程度の導電化層を形成さ
せようとする場合の一具体例を示すと次のとおり
である。 In the regenerated needle of the present invention as described above, the conductive layer 8 formed of the carbon of the diamond itself on the electrode forming surface 2 of the regenerated needle is formed by, for example, using the diamond, which is the material of the regenerated needle body, with a trace amount of oxygen. A conductive layer made of the carbon of the diamond itself is formed on the surface of the material of the regenerated needle body by high-temperature treatment in a vacuum containing a small amount of oxygen or in an inert gas containing a trace amount of oxygen, and then the conductive layer is used to form an electrode. The conductive layer other than the part corresponding to the electrode forming surface 2 is removed by polishing so that only the part corresponding to the electrode forming surface 2 is left, or the conductive layer other than the part corresponding to the electrode forming surface 2 is removed by laser treatment. In addition to being able to be formed by irradiating energy rays such as light, X-rays, electron beams, gamma rays, heat rays, etc. to form a high-resistance material, for example, the conductive layer 8 described above can be formed by regenerating diamond. The needle body is irradiated with a laser beam or an electron beam in a vacuum containing a trace amount of oxygen or in an inert gas containing a trace amount of oxygen, and only a portion of the regenerated needle body that approximately corresponds to the electrode formation portion on the electrode formation surface is irradiated with a laser beam or an electron beam. However, here is a specific example of forming a conductive layer with a thickness of about 3000 angstroms on the surface of the diamond using the carbon of the diamond itself. is as follows.
すなわち、ダイヤモンドを例えば15×
10-3Torrの空気中で1150℃に加熱し、そのまま
で6時間保持すると、ダイヤモンドの表面には厚
さ3000オングストローム程度の導電化層を形成さ
せうるのである。 i.e. diamond for example 15×
By heating the diamond to 1150°C in air at 10 -3 Torr and holding it there for 6 hours, a conductive layer about 3000 angstroms thick can be formed on the diamond surface.
第4図a〜e及び第5図a〜e図は、電極形成
面2の表面に形成させたダイヤモンド自体の炭素
による導電化層8と、前記した導電化層8上に付
着させた導電性物質による電極被膜9とによつて
電極部が形成されている既述した本発明の再生針
を一例製作法に従つて製作する場合の製作工程を
例示する図面であつて、第4図は再生針本体の素
材として第4図a図示のようなダイヤモンドの角
柱体を使用して再生針を作る場合を示し、また第
5図は再生針本体の素材として第5図a図示のよ
うなダイヤモンドの円柱体を使用して再生針を作
る場合を示している。 4a to 5e and 5a to 5e show a conductive layer 8 made of carbon of the diamond itself formed on the surface of the electrode forming surface 2, and a conductive layer 8 deposited on the conductive layer 8 described above. FIG. 4 is a drawing illustrating a manufacturing process in the case of manufacturing the regenerated needle of the present invention described above, in which the electrode part is formed by an electrode coating 9 made of a substance, according to an example manufacturing method, and FIG. A case is shown in which a recycled needle is made using a diamond prismatic body as shown in Figure 4a as the material for the needle body, and a case where a diamond prismatic body as shown in Figure 5a is used as the material for the recycled needle body is shown in Figure 5. This shows the case where a regenerated needle is made using a cylindrical body.
第4図及び第5図における各a図における再生
針本体の素材となるダイヤモンドの角柱体、円柱
体10には、まず、第4図b図及び第5図b図に
示すように、それの一端部付近に角柱体、円柱体
の面に対してある角度(例えば15度程度)だけ傾
斜した面11が研磨加工によつて形成される。 First, as shown in FIG. 4b and FIG. A surface 11 inclined at a certain angle (for example, about 15 degrees) with respect to the surface of the prismatic or cylindrical body is formed near one end by polishing.
第4図及び第5図の各b図で示される形態とな
された素材は、それが15×10-3Torrの空気中で
1150℃で加熱され、そのままで6時間保持される
ことにより、表面にダイヤモンド自体の炭素によ
る約3000オングストローム程度の導電化層8が形
成される。前記のようにして表面に導電化層8が
形成された素材を第4図及び第5図における各C
図に示す。 The material formed into the form shown in each figure b of Fig. 4 and Fig. 5 is
By heating at 1150° C. and keeping it as it is for 6 hours, a conductive layer 8 of about 3000 angstroms is formed on the surface by carbon of the diamond itself. The materials with the conductive layer 8 formed on the surface as described above are shown in each C in FIGS. 4 and 5.
As shown in the figure.
次に、第4図及び第5図における各C図に示さ
れる素材の表面に、例えばスパツタリング法、あ
るいは真空蒸着法、もしくはイオンプレーテイン
グ法、その他適当な方法によつて導電性物質の薄
膜、例えばチタニウムあるいはハフニウムの薄膜
を付着させる。前記の導電性物質の薄膜はそれが
例えば1000〜3000オングストロームの厚さの範囲
内の厚さとされるようにするとよい。なお、前記
した工程においてダイヤモンド自体の炭素によつ
て形成されるべき導電化層8の厚みは、500〜
3000オングストロームの範囲内で所要のように選
定されてもよいのであり、導電化層の厚みは加熱
時間を変更することによつて所要のようになされ
うる。第4図及び第5図における各d図は表面に
導電性物質の薄膜を付着させた状態の素材を示し
ている。 Next, a thin film of a conductive material is formed on the surface of the material shown in each diagram C in FIGS. 4 and 5 by, for example, sputtering, vacuum evaporation, ion plating, or any other suitable method. For example, a thin film of titanium or hafnium is deposited. The thin film of conductive material may have a thickness, for example, in the range of 1000 to 3000 angstroms. In addition, in the above-described process, the thickness of the conductive layer 8 to be formed from the carbon of the diamond itself is 500 to 500 mm.
It may be chosen as desired within the range of 3000 angstroms, and the thickness of the conductive layer can be made as desired by varying the heating time. Each figure d in FIGS. 4 and 5 shows a material with a thin film of conductive material adhered to its surface.
第4図及び第5図における各d図に示されてい
る素材には、研磨加工により背面3,4、導入面
5,6が形成されることにより、第3図及び第4
図における各e図のように前記した面11には狭
い電極開き角(例えば6゜程度)を有する電極形
成面2が形成される。そして電極形成面2には導
電化層8と電極被膜9とによる電極部が設けられ
た状態となされているのであり、この第4図及び
第5図における各e図示のものに摺接面が形成さ
れると、完成された再生針本体となされるのであ
る。 The back surfaces 3, 4 and the introduction surfaces 5, 6 are formed by polishing on the materials shown in each d diagram in FIGS. 4 and 5.
As shown in each figure e in the figure, an electrode forming surface 2 having a narrow electrode opening angle (for example, about 6 degrees) is formed on the above-mentioned surface 11. The electrode forming surface 2 is provided with an electrode portion made of a conductive layer 8 and an electrode coating 9, and each of the sliding contact surfaces shown in FIG. 4 and FIG. Once formed, it becomes a completed recycled needle body.
第4図及び第5図を参照して説明し再生針の一
例製作法では、再生針本体の素材としてダイヤモ
ンドの角柱、円柱を使用するとしたが、再生針本
体の素材として、先端部分だけにダイヤモンドが
用いられており基部の金属棒あるいはセラミツク
ス棒などになされている構成形態のものを使用す
るようにしてもよく、この場合には、ダイヤモン
ドとして安価な天然の屑ダイヤ、あるいは安価な
人造ダイヤを用いることもできるので安価な再生
針が得られるという利点がある。なお、チタニウ
ムの棒のような金属棒が用いられている場合に
は、素材を第4図e図、第5図e図に示すような
形状に加工した後に、それを微量な酸素を含む真
空中あるいは微量な酸素を含む不活性ガス中にお
き、先端のダイヤモンド部分に形成された電極形
成面2だけに対してレーザービーム、あるいは電
子線などのエネルギ線を照射して電極形成面の表
面にダイヤモンド自体の炭素による所要厚さの導
電化層に形成させるようにすれば加工時に金属棒
に酸化が生じたり、金属棒とダイヤモンドとの結
合が熱によつて離れたりすることがなく、ダイヤ
モンドの電極形成面の表面にダイヤモンド自体の
炭素による導電化層を形成させることができる。
前記のように電極形成面の表面に導電化層が形成
された素材は、それの針先端部を第6図示のよう
にマスキング材Mでマスキングして、表面に導電
物質による電極被膜を例えばスパツタリング法、
真空蒸着法の適用によつて付着させ、次いでマス
キング材を除去して再生針をうることができる。 In the manufacturing method for an example of a regenerated needle described with reference to FIGS. 4 and 5, a prismatic or cylindrical diamond is used as the material for the regenerated needle body. It is also possible to use a metal rod or a ceramic rod at the base.In this case, cheap natural scrap diamonds or cheap artificial diamonds can be used as diamonds. This has the advantage that inexpensive recycled needles can be obtained. In addition, when a metal rod such as a titanium rod is used, after processing the material into the shape shown in Figures 4e and 5e, it is heated in a vacuum containing a trace amount of oxygen. The electrode is placed in an inert gas containing medium or a small amount of oxygen, and an energy beam such as a laser beam or an electron beam is irradiated only on the electrode forming surface 2 formed on the diamond portion at the tip, so that the surface of the electrode forming surface is irradiated. By forming a conductive layer of the required thickness using the carbon of the diamond itself, the metal rod will not be oxidized during processing, and the bond between the metal rod and the diamond will not be separated by heat, and the diamond A conductive layer made of carbon of diamond itself can be formed on the surface of the electrode formation surface.
For the material on which the conductive layer is formed on the surface of the electrode forming surface as described above, the needle tip thereof is masked with masking material M as shown in Figure 6, and an electrode coating made of a conductive material is formed on the surface by sputtering, for example. law,
The regenerated needle can be obtained by applying a vacuum deposition method and then removing the masking material.
第6図中のマスキング材Mとしては、例えば、
0.1mm角で厚さが0.02mm程度の軟質アルミニウム
を使用することができ、この場合にはマスキング
材Mに素材の針先端部を突きさすことにより、素
材の針先端部は約20ミクロンメータにわたつてマ
スキング材Mによりマスキングされてその部分に
は導電性材料が付着されない状態となされる。前
記したマスキング量の20ミクロンメータという数
字は一例であり、マスキング量としては数ミクロ
ンメータでもよいが、前記のマスキング量として
は再生針の先端部に摺接面が形成された状態にお
いて、摺接面から少なくとも数ミクロンメータの
長さにわたつて導電化層だけによる電極が形成さ
れているものとなされるようなマスキング量が必
要とされる。 As the masking material M in FIG. 6, for example,
Soft aluminum that is 0.1 mm square and approximately 0.02 mm thick can be used. In this case, by sticking the needle tip of the material into the masking material M, the needle tip of the material will be approximately 20 micrometers thick. The portions are masked with the masking material M so that no conductive material is attached to those portions. The above masking amount of 20 micrometers is just an example, and the masking amount may be several micrometers, but the above masking amount is based on the amount of sliding contact when a sliding surface is formed at the tip of the regenerated needle. An amount of masking is required so that an electrode consisting only of the conductive layer is formed over a length of at least several micrometers from the surface.
また、前記のように、マスキング材Mを使用す
る再生針の製法は、既述した第4図及び第5図を
参照して述べた再生針の製法に導入することもで
きる。すなわち、第4図及び第5図における各d
図の工程を省き、第4図及び第5図における各C
図の状態の素材に対して研磨加工を施こして第4
図及び第5図における各C図示の形態のものを作
り、この第4図及び第5図の各e図示の形態のも
のの先端部をマスキング材Mに突きさし、それか
らスパツタリング法、蒸着法などによつて素材の
表面に導電性物質による薄膜を付着させる、とい
う方法による再生針の製法によつても本発明の再
生針を得ることができるのである。 Further, as described above, the method for manufacturing a regenerated needle using the masking material M can also be introduced into the method for manufacturing a regenerated needle described above with reference to FIGS. 4 and 5. That is, each d in FIGS. 4 and 5
Omitting the steps in the figure, each C in Figures 4 and 5
The material in the state shown in the figure is polished and the fourth
The shapes shown in each C in FIGS. 4 and 5 are made, and the tips of the shapes shown in each e in FIGS. The regenerated needle of the present invention can also be obtained by a regenerated needle manufacturing method in which a thin film of an electrically conductive substance is attached to the surface of the material.
以上、詳細に説明したところから明らかなよう
に、本発明の静電容量値の変化検出型再生針は、
ダイヤモンドに形成された電極形成面2に、ダイ
ヤモンド自体の炭素による導電化層と、前記の導
電化層上に付着された導電性物質による電極薄膜
とからなる電極部を構成させたから、電極部にお
ける電極薄膜の先端部にだれが生じても電極薄膜
の端部がデイスク面から浮上がつても、電極形成
面2の表面に形成された導電化層によつてデイス
クからの情報の再生は良好に行なわれ、また、導
電化層に付着された電極薄膜は電極部の電気抵抗
を下げる働きをするので、導電化層だけによつて
電極部を構成させた再生針に比べてC/Nの良好
な再生信号を容易に得ることができるのであり、
本発明によれば既述した問題点の解消された再生
針を容易に提供できる。 As is clear from the detailed explanation above, the capacitance value change detection type regeneration needle of the present invention is
Since an electrode portion consisting of a conductive layer made of carbon of the diamond itself and an electrode thin film made of a conductive material deposited on the conductive layer is formed on the electrode forming surface 2 formed on the diamond, Even if the tip of the electrode thin film is sagging or the edge of the electrode thin film floats off the disk surface, the conductive layer formed on the surface of the electrode forming surface 2 ensures good reproduction of information from the disk. In addition, since the electrode thin film attached to the conductive layer works to lower the electrical resistance of the electrode part, the C/N is better than that of a regenerated needle in which the electrode part is composed of only the conductive layer. It is possible to easily obtain a reproduced signal,
According to the present invention, it is possible to easily provide a regenerated needle that eliminates the above-mentioned problems.
第1図は問題点の説明のための曲線図、第2図
は本発明の再生針の一実施態様の斜視図、第3図
は電極部の構成を示す拡大断面図、第4図a〜e
図及び第5図a〜e図は再生針の製作工程の説明
図、第6図はマスキング材の説明図である。
1……再生針本体、2……電極形成面、3,4
……背面、5,6……導入面、7……摺接面、8
……導電化層、9……電極被膜。
Fig. 1 is a curve diagram for explaining the problem, Fig. 2 is a perspective view of an embodiment of the regenerated needle of the present invention, Fig. 3 is an enlarged sectional view showing the structure of the electrode part, and Figs. e
Figures 5 and 5a to 5e are explanatory diagrams of the manufacturing process of the regenerated needle, and Fig. 6 is an explanatory diagram of the masking material. 1... Regenerated needle body, 2... Electrode forming surface, 3, 4
... Back, 5, 6 ... Introduction surface, 7 ... Sliding surface, 8
. . . conductive layer, 9 . . . electrode coating.
Claims (1)
成面に設けられたダイヤモンド自体の炭素による
導電化層上に、所要の厚さの導電性物質による電
極被膜を構成させてなる静電容量値の変化検出型
再生針。1. A capacitance change detection type in which an electrode coating of a conductive material with a required thickness is formed on a conductive layer made of carbon of the diamond itself provided on the electrode forming surface of a regenerated diamond needle body. Recycled needle.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4270681A JPS57158051A (en) | 1981-03-24 | 1981-03-24 | Reproducing stylus of variation detection type for electrostatic capacity value |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4270681A JPS57158051A (en) | 1981-03-24 | 1981-03-24 | Reproducing stylus of variation detection type for electrostatic capacity value |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57158051A JPS57158051A (en) | 1982-09-29 |
| JPS6158889B2 true JPS6158889B2 (en) | 1986-12-13 |
Family
ID=12643505
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4270681A Granted JPS57158051A (en) | 1981-03-24 | 1981-03-24 | Reproducing stylus of variation detection type for electrostatic capacity value |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57158051A (en) |
-
1981
- 1981-03-24 JP JP4270681A patent/JPS57158051A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57158051A (en) | 1982-09-29 |
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