JPS6213295B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6213295B2 JPS6213295B2 JP56072425A JP7242581A JPS6213295B2 JP S6213295 B2 JPS6213295 B2 JP S6213295B2 JP 56072425 A JP56072425 A JP 56072425A JP 7242581 A JP7242581 A JP 7242581A JP S6213295 B2 JPS6213295 B2 JP S6213295B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exhaust
- glass ribbon
- spray
- glass
- exhaust tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B13/00—Machines or plants for applying liquids or other fluent materials to surfaces of objects or other work by spraying, not covered by groups B05B1/00 - B05B11/00
- B05B13/02—Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work
- B05B13/0207—Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work the work being an elongated body, e.g. wire or pipe
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/001—General methods for coating; Devices therefor
- C03C17/002—General methods for coating; Devices therefor for flat glass, e.g. float glass
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S118/00—Coating apparatus
- Y10S118/07—Hoods
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Details Or Accessories Of Spraying Plant Or Apparatus (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は熱線反射ガラスの製造装置に係り、更
に詳しくは板ガラス面に金属酸化物被膜を形成さ
せる熱線反射ガラスの製造装置に関するものであ
る。
に詳しくは板ガラス面に金属酸化物被膜を形成さ
せる熱線反射ガラスの製造装置に関するものであ
る。
熱線反射ガラスの製造装置として、移送される
ガラスリボンの幅方向に往復運動するスプレー装
置からガラスリボン面に熱分解によつて金属酸化
物になる金属化合物溶液が噴霧されると共にスプ
レー装置の走行経路の両側近傍に配設された排気
装置によつて金属化合物溶液の分解ガス、未反応
残渣を吸引除去するものが知られている。
ガラスリボンの幅方向に往復運動するスプレー装
置からガラスリボン面に熱分解によつて金属酸化
物になる金属化合物溶液が噴霧されると共にスプ
レー装置の走行経路の両側近傍に配設された排気
装置によつて金属化合物溶液の分解ガス、未反応
残渣を吸引除去するものが知られている。
このような熱線反射ガラスの製造装置におい
て、金属化合物溶液を噴霧する空間の雰囲気温度
およびこの温度に付随的に支配される排気温度に
よつてガラス面に付着する金属酸化物皮膜の光学
的物理的特性が、大きく影響される。このためガ
ラス面に付着される金属酸化物被膜の光学的・物
理的特性を均一する手段として第１図に示す熱線
反射ガラスの製造装置が公知である。
て、金属化合物溶液を噴霧する空間の雰囲気温度
およびこの温度に付随的に支配される排気温度に
よつてガラス面に付着する金属酸化物皮膜の光学
的物理的特性が、大きく影響される。このためガ
ラス面に付着される金属酸化物被膜の光学的・物
理的特性を均一する手段として第１図に示す熱線
反射ガラスの製造装置が公知である。
第１図に示す熱線反射ガラスの製造装置は、移
送ロール１上を移送されるガラスリボン２を横切
るように往復運動する噴霧装置３と、一端がこの
噴霧装置３の往復運動線上に両側に間隔をもつて
設けられ下方に一定の傾斜度をもつて延設された
傾斜部５Ａと、かつ排気装置４を備えた内部フー
ド５と、この内部フード５と間隔をもつてこれを
包囲するように設けられた外部フード６とから主
として構成されている。
送ロール１上を移送されるガラスリボン２を横切
るように往復運動する噴霧装置３と、一端がこの
噴霧装置３の往復運動線上に両側に間隔をもつて
設けられ下方に一定の傾斜度をもつて延設された
傾斜部５Ａと、かつ排気装置４を備えた内部フー
ド５と、この内部フード５と間隔をもつてこれを
包囲するように設けられた外部フード６とから主
として構成されている。
噴霧装置３の先端部にはスプレーノズル３Ａが
設けられ、熱分解して金属酸化物となる金属化合
物溶液をガラスリボン２面に噴霧するようになつ
ている。排気装置４では排気筒部４Ａに整流板７
が設けられ、排気筒部４Ａの上端は図示していな
いブロワーに連設されている。
設けられ、熱分解して金属酸化物となる金属化合
物溶液をガラスリボン２面に噴霧するようになつ
ている。排気装置４では排気筒部４Ａに整流板７
が設けられ、排気筒部４Ａの上端は図示していな
いブロワーに連設されている。
このような熱線反射ガラスの製造装置におい
て、高温のガラスリボン２によつて加熱された外
部雰囲気は開口部８から内部フード５と外部フー
ド６とによつて構成される空間９を経てスプレー
領域１０内に流入する流れと、排気筒部４Ａの下
端部とガラスリボン２との間隙を通つて直接排気
筒部４Ａ内に流入する流れとに分岐される。スプ
レー領域１０内に流入した外部雰囲気の気流は内
部フード２を構成する傾斜部５Ａの内面に沿つて
流れる。このときスプレーノズル３Ａから金属化
合物溶液が噴霧されるスプレー流れ１１と、金属
化合物の熱分解による発生ガス、スプレー残渣が
排気筒４Ａ側に吸引されるときの流れ１２が生じ
る。この結果、スプレー領域１０に流入した外部
雰囲気の気流がスプレー流れ１１の広がりを助長
するとともに外部雰囲気の気流と上記発生ガス、
スプレー残渣とが傾斜部５Ａと排気筒部４Ａとの
連設部１３付近に集中し、排気筒部４Ａ入口にお
ける吸引効果を阻害し、スプレー領域１０におけ
る気流の流れが不均一となる。したがつて第１図
に示す装置ではガラス面に付着される金属酸化物
被膜の光学的・物理的特性は均質化される傾向に
あるが、金属酸化物被膜厚が不均一となり、また
金属酸化物被膜とガラス面との接着強度が低下す
る問題がある。
て、高温のガラスリボン２によつて加熱された外
部雰囲気は開口部８から内部フード５と外部フー
ド６とによつて構成される空間９を経てスプレー
領域１０内に流入する流れと、排気筒部４Ａの下
端部とガラスリボン２との間隙を通つて直接排気
筒部４Ａ内に流入する流れとに分岐される。スプ
レー領域１０内に流入した外部雰囲気の気流は内
部フード２を構成する傾斜部５Ａの内面に沿つて
流れる。このときスプレーノズル３Ａから金属化
合物溶液が噴霧されるスプレー流れ１１と、金属
化合物の熱分解による発生ガス、スプレー残渣が
排気筒４Ａ側に吸引されるときの流れ１２が生じ
る。この結果、スプレー領域１０に流入した外部
雰囲気の気流がスプレー流れ１１の広がりを助長
するとともに外部雰囲気の気流と上記発生ガス、
スプレー残渣とが傾斜部５Ａと排気筒部４Ａとの
連設部１３付近に集中し、排気筒部４Ａ入口にお
ける吸引効果を阻害し、スプレー領域１０におけ
る気流の流れが不均一となる。したがつて第１図
に示す装置ではガラス面に付着される金属酸化物
被膜の光学的・物理的特性は均質化される傾向に
あるが、金属酸化物被膜厚が不均一となり、また
金属酸化物被膜とガラス面との接着強度が低下す
る問題がある。
本発明の目的は、上記した従来技術の問題点を
解消し、金属化合物溶液のスプレー流れの乱れを
防止し、金属化合物の分解ガス、スプレー残渣等
の吸引排気を効率的に行うことによつて金属酸化
物被膜を均一とし、金属酸化物被膜とガラス面と
の接着強度と向上させることができる熱線反射ガ
ラスの製造装置を提供することにある。
解消し、金属化合物溶液のスプレー流れの乱れを
防止し、金属化合物の分解ガス、スプレー残渣等
の吸引排気を効率的に行うことによつて金属酸化
物被膜を均一とし、金属酸化物被膜とガラス面と
の接着強度と向上させることができる熱線反射ガ
ラスの製造装置を提供することにある。
本発明は移送中の高温ガラスリボン面の上方に
設けられ、熱分解によつて金属酸化物となる金属
化合物溶液を噴霧するためのノズルを有する噴霧
装置と、この噴霧装置の両側にそれぞれ一端が噴
霧装置と間隔をもつて設けられ、他端がガラスリ
ボン面に近接して設けられるとともに排気筒部を
有する内部フードと、この内部フードと間隔をも
つてこれを包囲するように設けられた外部フード
とを備えた熱線反射ガラスの製造装置において、
前記内部フードのそれぞれの噴霧装置近接部分よ
り下方にほぼ垂直に延設され、下端部がガラスリ
ボン面に対して離設されたガイド板と、これらの
ガイド板の外側に下端部がガラスリボン面上近傍
であつて上端部が前記ノズル付近に位置するガス
吸引口を有する排気筒部を設けたことを特徴とす
る熱線反射ガラスの製造装置である。
設けられ、熱分解によつて金属酸化物となる金属
化合物溶液を噴霧するためのノズルを有する噴霧
装置と、この噴霧装置の両側にそれぞれ一端が噴
霧装置と間隔をもつて設けられ、他端がガラスリ
ボン面に近接して設けられるとともに排気筒部を
有する内部フードと、この内部フードと間隔をも
つてこれを包囲するように設けられた外部フード
とを備えた熱線反射ガラスの製造装置において、
前記内部フードのそれぞれの噴霧装置近接部分よ
り下方にほぼ垂直に延設され、下端部がガラスリ
ボン面に対して離設されたガイド板と、これらの
ガイド板の外側に下端部がガラスリボン面上近傍
であつて上端部が前記ノズル付近に位置するガス
吸引口を有する排気筒部を設けたことを特徴とす
る熱線反射ガラスの製造装置である。
以下、添付図面に基づいて本発明の実施例を説
明する。
明する。
第２図は本発明の一例を示す概略的構成図であ
つて、本実施例と第１図に示す従来装置との相違
は、内部フード５の噴霧装置３に対するそれぞれ
の近接部分５Ｂから垂直に延設され、下端部がス
プレーノズル３Ａ付近に位置するガイド板１４が
設けられていることと、排気筒部４Ａにおけるガ
ス吸引口の下端部は第１図同様ガラスリボン２面
上近傍に位置するが、ガス吸引口の上端部（すな
わち傾斜部５Ａと排気筒部４Ａとの連設部１３）
がスプレーノズル３Ａ付近の高さに位置している
ことである。したがつて本実施例において、第１
図に示す従来の部材又は装置と同一部分は同一符
号で示している。
つて、本実施例と第１図に示す従来装置との相違
は、内部フード５の噴霧装置３に対するそれぞれ
の近接部分５Ｂから垂直に延設され、下端部がス
プレーノズル３Ａ付近に位置するガイド板１４が
設けられていることと、排気筒部４Ａにおけるガ
ス吸引口の下端部は第１図同様ガラスリボン２面
上近傍に位置するが、ガス吸引口の上端部（すな
わち傾斜部５Ａと排気筒部４Ａとの連設部１３）
がスプレーノズル３Ａ付近の高さに位置している
ことである。したがつて本実施例において、第１
図に示す従来の部材又は装置と同一部分は同一符
号で示している。
第２図に示す構成からなる熱線反射ガラスの製
造装置において、高温のガラスリボン２によつて
加熱された外部雰囲気は開口部８から内部フード
５と外部フードとによつて構成される空間９を経
てスプレー領域１０内に流入する流れと、排気筒
部４Ａの下端部とガラスリボン２との間隙を通つ
て直接排気筒部４Ａ内に流入する流れとに分岐さ
れる点は従来と同じである。
造装置において、高温のガラスリボン２によつて
加熱された外部雰囲気は開口部８から内部フード
５と外部フードとによつて構成される空間９を経
てスプレー領域１０内に流入する流れと、排気筒
部４Ａの下端部とガラスリボン２との間隙を通つ
て直接排気筒部４Ａ内に流入する流れとに分岐さ
れる点は従来と同じである。
本実施例では、空間９を経てスプレー領域１０
内に流入した気流は一対のガイド板１４によつて
垂直方向に下方に流れる。したがつてこのような
気流の流れに追従してスプレーノズル３Ａから噴
霧されるスプレー流はほぼ垂直方向に下方に流
れ、ガラスリボン２面に衝突し、ガラスリボン２
面に金属酸化物被膜が形成される。さらに金属化
合物の分解によつて発生したガス、スプレー残渣
およびスプレー領域１０内に流入された外部雰囲
気は、スプレー領域１０内に停滞することなく、
図中矢印Ａで示す如くガス吸引口Ｂにより上方に
向つて吸引される。
内に流入した気流は一対のガイド板１４によつて
垂直方向に下方に流れる。したがつてこのような
気流の流れに追従してスプレーノズル３Ａから噴
霧されるスプレー流はほぼ垂直方向に下方に流
れ、ガラスリボン２面に衝突し、ガラスリボン２
面に金属酸化物被膜が形成される。さらに金属化
合物の分解によつて発生したガス、スプレー残渣
およびスプレー領域１０内に流入された外部雰囲
気は、スプレー領域１０内に停滞することなく、
図中矢印Ａで示す如くガス吸引口Ｂにより上方に
向つて吸引される。
なお、本発明において、外部フード６の縦壁部
分を本発明装置に付設される徐冷窯の壁体で構成
することができ、この場合、外部フード６の縦壁
を特別に製作する必要がなくなる。
分を本発明装置に付設される徐冷窯の壁体で構成
することができ、この場合、外部フード６の縦壁
を特別に製作する必要がなくなる。
以上のように本発明によれば、内部フードのそ
れぞれの噴霧装置近接部分より下方にほぼ垂直に
延設され、下端部がガラスリボン面に対して離設
されたガイド板と、これらのガイド板の外側に下
端部がガラスリボン面上近傍であつて上端部が金
属化合物を噴霧するノズル付近の高さに位置する
ガス吸引口を有する排気筒部を設けたので、スプ
レー流はスプレーノズルからほぼ垂直方向に流れ
が一定して乱れることがなく、また分解ガス、ス
プレー残渣およびスプレー領域内に流入した気流
はスムーズに吸引されるので、均一でガラスリボ
ン面に対し接着強度が高い金属酸化物被膜を形成
することができる。
れぞれの噴霧装置近接部分より下方にほぼ垂直に
延設され、下端部がガラスリボン面に対して離設
されたガイド板と、これらのガイド板の外側に下
端部がガラスリボン面上近傍であつて上端部が金
属化合物を噴霧するノズル付近の高さに位置する
ガス吸引口を有する排気筒部を設けたので、スプ
レー流はスプレーノズルからほぼ垂直方向に流れ
が一定して乱れることがなく、また分解ガス、ス
プレー残渣およびスプレー領域内に流入した気流
はスムーズに吸引されるので、均一でガラスリボ
ン面に対し接着強度が高い金属酸化物被膜を形成
することができる。
第１図は従来の熱線反射ガラスの製造装置を示
す概略的構成図、第２図は本発明の一例を示す概
略的構成図である。 １……移送ロール、２……ガラスリボン、３…
…噴霧装置、３Ａ……スプレーノズル、４Ａ……
排気筒部、５……内部フード、６……外部フー
ド、Ｂ……ガス吸引口。
す概略的構成図、第２図は本発明の一例を示す概
略的構成図である。 １……移送ロール、２……ガラスリボン、３…
…噴霧装置、３Ａ……スプレーノズル、４Ａ……
排気筒部、５……内部フード、６……外部フー
ド、Ｂ……ガス吸引口。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 移送中の高温ガラスリボン面の上方で幅方向
に往復走行し、熱分解によつて金属酸化物となる
金属化合物溶液を噴霧するためのノズルを有する
噴霧装置と、 断面が前記噴霧装置をはさみ左右対称で分解ガ
スを吸引除去する排気装置を上方にもち、該排気
装置より垂下する排気筒部および傾斜部を有する
内部フードと、 該内部フードと間隔をもつてこれを包囲するよ
うに設けられた外部フードとを備えた熱線反射ガ
ラスの製造装置において、 垂下する前記排気筒部の外側端部がガラスリボ
ンに近接し、内側端部が前記ノズル付近の高さ位
置より前記噴霧装置に近接する位置まで斜め上方
に曲設する傾斜部の端部上方から下方にほゞ垂直
に延設され、その下端部がガラスリボン面に対し
て離設されたガイド板と、前記排気筒部の内外端
部位置によつて傾斜するガス吸引口を有する排気
筒部とを設けたことを特徴とする熱線反射ガラス
の製造装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56072425A JPS57188434A (en) | 1981-05-14 | 1981-05-14 | Manufacture apparatus for heat ray reflecting glass |
| US06/377,955 US4397259A (en) | 1981-05-14 | 1982-05-13 | Spraying apparatus for coating glass sheet with metal oxide |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56072425A JPS57188434A (en) | 1981-05-14 | 1981-05-14 | Manufacture apparatus for heat ray reflecting glass |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57188434A JPS57188434A (en) | 1982-11-19 |
| JPS6213295B2 true JPS6213295B2 (ja) | 1987-03-25 |
Family
ID=13488919
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56072425A Granted JPS57188434A (en) | 1981-05-14 | 1981-05-14 | Manufacture apparatus for heat ray reflecting glass |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4397259A (ja) |
| JP (1) | JPS57188434A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0396499U (ja) * | 1990-01-24 | 1991-10-02 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2575679B1 (fr) * | 1985-01-07 | 1988-05-27 | Saint Gobain Vitrage | Perfectionnement au procede de revetement d'un substrat tel un ruban de verre, par un produit pulverulent, et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procede |
| GB2209176A (en) * | 1987-08-28 | 1989-05-04 | Pilkington Plc | Coating glass |
| FR2626872B1 (fr) * | 1988-02-09 | 1992-10-30 | Saint Gobain Vitrage | Procede et dispositif ameliores pour le revetement d'un substrat, tel un ruban de verre par un produit pulverulent |
| CH681815A5 (ja) * | 1989-08-29 | 1993-05-28 | Biac Holding Ag | |
| DE19923591A1 (de) * | 1999-05-21 | 2000-11-23 | Fleissner Maschf Gmbh Co | Vorrichtung mit einem Düsenbalken zur Erzeugung von Flüssigkeitsstrahlen zur Strahlbeaufschlagung der Fasern einer Warenbahn |
| DE102004033338B4 (de) * | 2004-07-09 | 2010-12-09 | Airbus Deutschland Gmbh | Spritzvorrichtung mit Tröpfchenrückhalt und Verfahren |
| KR101509864B1 (ko) * | 2012-11-07 | 2015-04-06 | (주)엘지하우시스 | 비산 파우더 크리닝 장치 |
| CN119186883B (zh) * | 2024-11-28 | 2025-03-11 | 山西义云生物激光科技有限公司 | 一种医用激光针灸治疗仪生产用喷涂设备 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3601089A (en) * | 1967-11-17 | 1971-08-24 | Georgia Pacific Corp | Spray booth |
| GB1307216A (en) * | 1969-04-23 | 1973-02-14 | Pilkington Brothers Ltd | Treating glass |
| JPS5128090B2 (ja) * | 1972-03-17 | 1976-08-17 | ||
| US3885066A (en) * | 1972-11-24 | 1975-05-20 | Ppg Industries Inc | Method for coating continuously advancing substrate |
-
1981
- 1981-05-14 JP JP56072425A patent/JPS57188434A/ja active Granted
-
1982
- 1982-05-13 US US06/377,955 patent/US4397259A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0396499U (ja) * | 1990-01-24 | 1991-10-02 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57188434A (en) | 1982-11-19 |
| US4397259A (en) | 1983-08-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6213295B2 (ja) | ||
| FI61858C (fi) | Saett att bilda en belaeggning av en metall eller metallfoerening pao ytan av ett glasunderlag samt anordning foer att bilda dyligt underlag | |
| US5041150A (en) | Process for coating glass | |
| SE7703973L (sv) | Sett att bilda en beleggning av en metall eller metallforening pa en yta av ett glassubstrat och anordning lemplig for att bilda en sadan beleggning | |
| US4878934A (en) | Process and apparatus for coating glass | |
| EP0365240B1 (en) | Coating glass | |
| CS339191A3 (en) | Apparatus for applying coatings onto glass articles | |
| US4655810A (en) | Coating hot glass with metals or metal compounds, especially oxides | |
| US4917717A (en) | Apparatus for and process of coating glass | |
| KR101276999B1 (ko) | 기판 냉각 장치 | |
| US4064832A (en) | Apparatus for fabricating heat-reflecting glass | |
| ES412671A1 (es) | Dispositivo para el deposito de un revestimiento de oxidos metalicos sobre una banda de vidrio. | |
| KR910002528B1 (ko) | 기체에 분체 재료를 피복하는 방법의 개량과 상기 방법을 실시하는 장치 | |
| US20030029202A1 (en) | Method and apparatus for producing porous glass soot body | |
| JPS6213294B2 (ja) | ||
| US4042363A (en) | Method and apparatus for coating glass | |
| CN207775340U (zh) | 一种蒸发源以及蒸镀装置 | |
| CN215162104U (zh) | 一种玻璃电熔炉流液洞的水雾式冷却系统 | |
| JPS6048459B2 (ja) | 金属酸化物被膜を付着した帯状ガラスを製造する方法及び装置 | |
| SU563365A1 (ru) | Устройство дл выт гивани ленты стекла сверху вниз | |
| CN217775010U (zh) | 清洁装置、洁净设备及具有清洁装置的加热设备 | |
| JP2588075Y2 (ja) | 薄膜形成装置 | |
| JP2000269200A (ja) | 常圧化学的気相成長装置 | |
| JPH0729388Y2 (ja) | 煙突外壁冷却装置 | |
| CN108004512A (zh) | 一种蒸发源以及蒸镀装置 |